JP2002039742A - Combination type calibration gauge - Google Patents
Combination type calibration gaugeInfo
- Publication number
- JP2002039742A JP2002039742A JP2000227829A JP2000227829A JP2002039742A JP 2002039742 A JP2002039742 A JP 2002039742A JP 2000227829 A JP2000227829 A JP 2000227829A JP 2000227829 A JP2000227829 A JP 2000227829A JP 2002039742 A JP2002039742 A JP 2002039742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gauge
- pedestal
- dumbbell
- calibration
- gauges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、三次元測定器など
の測定器の精度検査に用いるためのＣＭＭ校正ゲージに
関し、特に台座に標準円ゲージを有しかつダンベル型長
さゲージを固定したＣＭＭ校正ゲージに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CMM calibration gauge for use in checking the accuracy of a measuring instrument such as a three-dimensional measuring instrument, and more particularly to a CMM having a standard circular gauge on a base and a fixed dumbbell-type length gauge. Related to calibration gauge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】三次元測定器（coordinate measuring m
achine：以下「ＣＭＭ」という。）は、三次元空間に存
在する離散したＸ、Ｙ、Ｚの座標点を用いて計算機の支
援により寸法及び形状を測定するための計測器であり、
より具体的には、定盤上に載置した被測定物と、測定器
においてＺ軸先端に取り付けたプローブとを、Ｘ、Ｙ、
Ｚの三次元方向へ相対移動させ、プローブが被測定物に
接触した瞬間をとらえ、この瞬間を電気的トリガとして
各送り軸方向の座標値を読みとり、計算機により寸法及
び形状を計測するものである。2. Description of the Related Art Coordinate measuring instruments
achine: Hereinafter referred to as “CMM”. ) Is a measuring instrument for measuring dimensions and shapes with the aid of a computer using discrete X, Y, Z coordinate points existing in a three-dimensional space,
More specifically, the object to be measured placed on the surface plate and the probe attached to the tip of the Z-axis in the measuring device are X, Y,
Relative movement in the three-dimensional direction of Z, captures the moment when the probe comes into contact with the object to be measured, reads this coordinate value in the direction of each feed axis as an electrical trigger, and measures the size and shape by a computer. .
【０００３】上記のようなＣＭＭは特に高精度を要求さ
れることが多く、高精度の測定を保証する意味から、精
度検査を逐次行い、その後このＣＭＭを用いて測定する
際には、精度検査の結果を補正値として用いて測定値を
校正し、或いは調整手段によりＣＭＭの微調整を行って
いる。このＣＭＭの精度検査に際しては、基準となるゲ
ージが必要であり、このゲージとしては、プローブを三
次元的に移動させることによりその検出値を評価できる
ようにしなければならない。[0003] The above-mentioned CMM often requires particularly high precision, and in order to guarantee high-precision measurement, precision tests are sequentially performed, and then when the CMM is used for measurement, the precision test is performed. Is used as a correction value to calibrate the measured value, or fine adjustment of the CMM is performed by the adjusting means. In the accuracy inspection of the CMM, a gauge serving as a reference is required, and the gauge must be capable of evaluating a detection value by moving a probe three-dimensionally.
【０００４】ＣＭＭの各軸の誤差をどのように調べるか
ということは多くの研究者の重大な課題であった。そこ
で、まずＣＭＭの誤差を求める目的にあったゲージの考
案がなされ、基本的には球体の測定を行ってなされるべ
きであることは周知の事実となっている。そして、球体
をどのような形態で配置した測定評価ゲージとするかが
次の問題となり、球体を同一平面内にどのように配置す
るのか、或いは立体的に配置するのかなど、種々検討さ
れている。[0004] How to check the error of each axis of the CMM has been a serious problem for many researchers. Therefore, it is a well-known fact that a gauge for the purpose of obtaining an error of the CMM is first devised, and basically, the measurement should be performed by measuring a sphere. The next problem is how to form the measurement evaluation gauge in which the spheres are arranged, and various studies have been made on how to arrange the spheres in the same plane or how to arrange them three-dimensionally. .
【０００５】このようなＣＭＭ校正用のゲージとして
は、例えば実開平１−６４００４号公報に従来例として
記載されているようなものが知られている。即ち、この
校正ゲージにおいては、図３に示すように、扁平直方体
形状のブロック本体２１の上面２１Ａに、そのブロック
本体２１の一端面２１Ｂ方向に沿って略立方体形状の多
数の指示精度検査用凸部２２を一定ピッチ間隔で配列す
ると共に、所定位置に略半球形状の繰り返し精度検査用
凸部２３を一体的に設けたものである。これを用いて精
度検査する際には、ＣＭＭのテーブル上にブロック本体
２１をセットした後、プローブを例えば指示精度検査用
凸部２２に順に当接させ、この時の測定器の指示値を読
みとり、この指示値と各指示精度検査用凸部２２のピッ
チ間隔とから測定器の精度検査を行っている。また、上
記の従来例のほか、これに類似する各種のＣＭＭ用校正
ゲージが提案され、使用されている。[0005] As such a gauge for CMM calibration, for example, a gauge described as a conventional example in Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-64004 is known. That is, in this calibration gauge, as shown in FIG. 3, a large number of substantially cube-shaped projections for indicating accuracy inspection are formed on the upper surface 21A of the flat rectangular parallelepiped block main body 21 along the one end surface 21B of the block main body 21. The portions 22 are arranged at a constant pitch interval, and a substantially hemispherical convex portion 23 for inspection of repeatability is integrally provided at a predetermined position. When performing an accuracy test using this, after setting the block main body 21 on the table of the CMM, the probe is sequentially brought into contact with, for example, the projection 22 for indicating accuracy inspection, and the indicated value of the measuring instrument at this time is read. The accuracy of the measuring instrument is inspected from the indicated value and the pitch interval between the indicated accuracy inspection projections 22. In addition to the above conventional examples, various similar CMM calibration gauges have been proposed and used.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、球体を
同一平面内にどのように配置するのか、或いは立体的に
配置するのか等の検討がなされているものの、現状にお
いて、球体中心間距離の長さの国家標準器が存在しない
ことから、球体をどのように配置しても結局球体の中心
間距離の値はサブマイクロメータの程度では値付けされ
ておらず、また、球体間の中心間距離、及びそこから計
算によって求められる球体の直径のみの測定しか行えな
いものである。また、上記公知のＣＭＭ校正ゲージにお
いても同様に、ゲージの各部分を正確に測定することに
より基準データを得てこれをゲージとするものであり、
したがって、この基準データ自体が単なる測定値に過ぎ
ず、誤差を含むものであって必ずしも信用性のあるもの
とはいうことができない。As described above, although it has been studied how to arrange the spheres in the same plane or how to arrange them three-dimensionally, at present, the distance between the centers of the spheres is considered. Since there is no national standard of length, no matter how the spheres are arranged, the value of the distance between the centers of the spheres is not priced in the order of submicrometers, Only the distance between them and the diameter of the sphere obtained by calculation therefrom can be measured. Similarly, in the above-mentioned known CMM calibration gauge, similarly, the reference data is obtained by accurately measuring each part of the gauge, and this is used as the gauge.
Therefore, the reference data itself is merely a measured value and includes errors and cannot always be said to be reliable.
【０００７】その対策として本発明者は先に、長さの標
準器であるブロックゲージと球体とを用いることによっ
て、静的な目盛りの校正と球体の測定とを同時に行うこ
とにより検出器の動作性能を含めた各軸の目盛り誤差を
総合的に校正することができるようにしたＣＭＭ校正ゲ
ージを提案した（特許第３００５６８１号）。このＣＭ
Ｍ校正ゲージは図４に示すように、光波干渉計によって
長さの絶対値が補償された国家標準器であるブロックゲ
ージ２５の表面に球体２６を固定したものである。As a countermeasure, the present inventor has previously used a block gauge and a sphere, which are length standard devices, to simultaneously perform static calibration of the scale and measurement of the sphere to thereby operate the detector. We have proposed a CMM calibration gauge that can comprehensively calibrate the scale error of each axis including performance (Japanese Patent No. 3005681). This CM
As shown in FIG. 4, the M calibration gauge has a sphere 26 fixed on the surface of a block gauge 25 which is a national standard device whose absolute value of the length is compensated by a light wave interferometer.
【０００８】このＣＭＭ校正ゲージにおいては、その長
さの絶対値が補償されているため正確な校正を行うこと
ができるものであるが、ブロックゲージに対して球体を
固定する必要があり、球体を複数固定する際にはそれぞ
れの球体の固定作業が必要である。また、ゲージに球体
を固定するため、一つにブロックゲージに複数の球体を
固定した場合にはこれらを分解することができず、保
守、管理となるという問題点もあったがIn this CMM calibration gauge, accurate calibration can be performed because the absolute value of the length is compensated. However, it is necessary to fix the sphere to the block gauge, When fixing a plurality of spheres, it is necessary to fix each sphere. In addition, since the sphere is fixed to the gauge, if one or more spheres are fixed to the block gauge at one time, they cannot be disassembled, resulting in maintenance and management.
【０００９】したがって本発明は、ゲージに対する球体
の固定作業を必要とせず、適宜分離できることにより収
納が容易となり、保守、管理も容易になる組み合わせ型
校正用ゲージを提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a combination-type calibration gage which does not require the work of fixing the sphere to the gage and can be separated as appropriate, thereby facilitating storage and maintenance and management.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、請求項１に係る発明は、異なる長さの複数
個のダンベルゲージを台座に着脱自在に取り付けてなる
ことを特徴とする組み合わせ型校正用ゲージとしたもの
である。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is characterized in that a plurality of dumbbell gauges having different lengths are detachably attached to a base. It is a combination type calibration gauge.
【００１１】また、請求項２に係る発明は、平面視で台
形または三角形の台座の表面に設けた溝にダンベルゲー
ジのロッドを取り付けた請求項１記載の組み合わせ型校
正用ゲージとしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the combined calibration gauge according to the first aspect, wherein a dumbbell gauge rod is attached to a groove provided on the surface of a trapezoidal or triangular base in plan view. .
【００１２】また、請求項３に係る発明は、前記ダンベ
ルゲージを当て板により台座に押圧し着脱自在に固定し
た請求項１記載の組み合わせ型校正用ゲージとしたもの
である。According to a third aspect of the present invention, there is provided the combination-type calibration gauge according to the first aspect, wherein the dumbbell gauge is pressed against a pedestal by a backing plate and fixed detachably.
【００１３】また、請求項４に係る発明は、前記台座に
は、この台座を直立させることができる底縁を備えた請
求項１記載の組み合わせ型校正用ゲージとしたものであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the combination type calibration gauge according to the first aspect, wherein the pedestal is provided with a bottom edge capable of standing the pedestal.
【００１４】また、請求項５に係る発明は、前記台座に
は、ダンベルゲージを吸着固定する磁気固定手段を設け
た請求項１記載の組み合わせ型校正用ゲージとしたもの
である。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the combination-type calibration gauge according to the first aspect, wherein the pedestal is provided with magnetic fixing means for attracting and fixing the dumbbell gauge.
【００１５】また、請求項６に係る発明は、前記台座に
は、ダンベルケージを吸着固定する空気吸引固定手段を
設けた請求項１記載の組み合わせ型校正用ゲージとした
ものである。The invention according to claim 6 is the combination type calibration gauge according to claim 1, wherein the pedestal is provided with air suction fixing means for sucking and fixing the dumbbell cage.
【００１６】また、請求項７に係る発明は、前記台座に
は、ダンベルゲージ固定側表面から突出する複数の突起
を設け、該突起により表裏反転して支持可能とした請求
項１記載の組み合わせ型校正用ゲージとしたものであ
る。According to a seventh aspect of the present invention, the pedestal is provided with a plurality of projections projecting from the surface on the dumbbell gauge fixed side, and the projections can be turned upside down and supported. This is a calibration gauge.
【００１７】また、請求項８に係る発明は、ダンベルゲ
ージのロッドには目盛りを付し、台座表面には目印を付
与した請求項１記載の組み合わせ型校正用ゲージ。The invention according to claim 8 is the combination type calibration gauge according to claim 1, wherein a scale is provided on a rod of the dumbbell gauge, and a mark is provided on a surface of the pedestal.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】本発明は、上記課題を解決するた
め、先のＣＭＭ校正用ゲージの開発の後更に研究の結
果、国家標準器として上記のようなブロックゲージを用
いる以外に、最初から球体を備えている長さゲージとし
てダンベル型をなす、いわゆるダンベルゲージがＣＭＭ
校正用ゲージに適していることを見出し、更にこのダン
ベルゲージを台座に対して着脱自在に取り付けることに
よりＣＭＭ校正用のゲージとして利用しやすくしたもの
である。以下その実施例を図面に沿って説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has been studied as a result of further development after the development of a CMM calibration gauge. The so-called dumbbell gauge, which is a dumbbell-shaped length gauge with a sphere, is CMM
It has been found that the dumbbell gauge is suitable for a calibration gauge, and that the dumbbell gauge is detachably attached to a pedestal so that the dumbbell gauge can be easily used as a CMM calibration gauge. The embodiment will be described below with reference to the drawings.
【００１９】ダンベルゲージは図１１に示すように、精
密な球形に形成された第１球体３１と第２球体３２をロ
ッド３３によって接続する構造をなし、第１球体３１の
中心Ｏ１と、第２球体３２の中心Ｏ２の長さＬが、国家
標準であるゲージブロックとの比較測定によって正確に
値付けされており、市販されている。このダンベルゲー
ジを通常の長さゲージと使用する際には、図１１に示す
ようにＣＭＭのプローブ３４を球体の赤道上の４点と極
の１点の合計５点に接触させ、これらの位置から幾何学
的に球体の中心位置を演算し、得られた各球の中心
Ｏ１、Ｏ２の座標間の長さを演算することによりその長
さを得て、これを基準の長さとして計測機器の校正等を
行うことができるようになっている。The dumbbell gauge as shown in FIG. 11, forms a structure for connecting the first sphere 31 and the second sphere 32 rod 33 formed to the precise spherical shape, the center O 1 of the first sphere 31, the the length L of the center O 2 of 2 spheres 32 are accurately priced by comparative measurements with the gauge block is the national standard, it is commercially available. When this dumbbell gauge is used with a normal length gauge, as shown in FIG. 11, the CMM probe 34 is brought into contact with a total of five points, four points on the equator of the sphere and one point of the pole, and these positions are determined. The geometrical position of the center of the sphere is calculated geometrically from, and the length between the coordinates of the obtained centers O 1 and O 2 of each sphere is calculated to obtain the length, and this is set as a reference length. Calibration of measurement equipment can be performed.
【００２０】本発明においてはこのようなダンベルゲー
ジの長さの異なるものを複数個用いるものである。この
ダンベルゲージを固定するに際し、図１の平面図及び図
２の側面図に示すように平面視で台形の平板状台座１を
用い、図２の断面図に示すように台座１の表面２に対し
て底縁３に平行な図中５個のＶ字状溝４を形成してい
る。この各Ｖ字状溝４に前記のようなダンベルゲージの
ロッド部分を載置する。各Ｖ字状溝４に載置するダンベ
ルゲージのロッドの長さは、少なくとも各Ｖ字状溝４よ
り長いものが選択され、各ダンベルゲージのロッド端部
に設けた球体が台座１の両傾斜側縁５の外側に位置する
ようなものが選択される。但し、各ロッドの長さは必ず
しもこの台座１の傾斜側縁５と同じ割合で傾斜する必要
はなく、任意の長さの異なるものを選択することができ
る。なお、台座１のＶ字状溝４の中心位置にマーク１７
を付与し、このマークとダンベルゲージのロッドに設け
た目盛り２１とを合わせることによりダンベルゲージを
所定の状態で台座１に固定することが容易にできるよう
になる。In the present invention, a plurality of such dumbbell gauges having different lengths are used. When fixing this dumbbell gauge, a flat base 1 having a trapezoidal shape in plan view as shown in the plan view of FIG. 1 and the side view of FIG. 2 is used, and as shown in the sectional view of FIG. On the other hand, five V-shaped grooves 4 in the figure parallel to the bottom edge 3 are formed. The rod portion of the dumbbell gauge as described above is placed in each of the V-shaped grooves 4. The length of the rod of the dumbbell gauge placed in each V-shaped groove 4 is selected to be at least longer than that of each V-shaped groove 4. Those that are located outside the side edge 5 are selected. However, the length of each rod does not necessarily need to be inclined at the same ratio as the inclined side edge 5 of the pedestal 1, and a rod having a different length can be selected. The mark 17 is located at the center of the V-shaped groove 4 of the base 1.
And the mark is aligned with the scale 21 provided on the rod of the dumbbell gauge, whereby the dumbbell gauge can be easily fixed to the pedestal 1 in a predetermined state.
【００２１】台座１のＶ字状溝４の深さは、図示実施例
においてはその中に載置する各ダンベルゲージのロッド
の上縁が台座１の表面２よりも突出するように設定さ
れ、それにより台座１の表面２から当て板６を当てて固
定できるようにしている。但し、図示実施例以外の各種
他の固定手段を用いる場合には、ロッドが溝内に嵌入し
ていてもこれを固定することができる。In the illustrated embodiment, the depth of the V-shaped groove 4 of the pedestal 1 is set such that the upper edge of the rod of each dumbbell gauge placed therein projects beyond the surface 2 of the pedestal 1. Thereby, the backing plate 6 can be fixed from the surface 2 of the pedestal 1. However, when using various other fixing means other than the illustrated embodiment, even if the rod is fitted in the groove, it can be fixed.
【００２２】図１中左右２本の当て板６は、図示実施例
においては台座１の表面２から突出する埋込ボルト７と
それに螺合する押圧ねじ８により支持されており、各Ｖ
字状溝４内にダンベルゲージのロッドを載置した後に、
当て板６に形成した貫通孔に埋込ボルト７を貫通させ、
埋め込みボルト７の上端部側から押圧ねじ８をねじ込
み、当て板６の下側表面で各ロッドの上縁を押さえるこ
とによりダンベルゲージが溝内で移動しないように、特
に後述するようにこの組み合わせゲージを立てて使用す
るとき、あるいは表裏反転させて使用するときもＶ字状
溝４からダンベルゲージが落下しないようにしている。In the illustrated embodiment, two right and left backing plates 6 in FIG. 1 are supported by embedded bolts 7 protruding from the surface 2 of the pedestal 1 and pressing screws 8 screwed thereto.
After placing the dumbbell gauge rod in the V-shaped groove 4,
The embedding bolt 7 is passed through the through hole formed in the backing plate 6,
Pressing screws 8 are screwed in from the upper end side of the buried bolt 7, and the upper surface of each rod is pressed by the lower surface of the backing plate 6 so that the dumbbell gauge does not move in the groove. The dumbbell gauge is prevented from dropping from the V-shaped groove 4 even when using it upright or when using it upside down.
【００２３】なお、図示実施例においては２枚の当て板
６を両端側に配置した各々２本の埋込ボルト７により固
定する例を示しているが、例えば各Ｖ字状溝４間に全て
埋込ロッドを設け、各ダンベルゲージを均一に押圧する
ようにすることもできる。また、ダンベルゲージを押さ
える手段として上記実施例のような長い当て板を用いる
ことなく、各ダンベルゲージに対して左右を個々に押さ
える当て板を用い、あるいは中心部を押さえる当て板等
を用いることもできる。In the illustrated embodiment, an example is shown in which two backing plates 6 are fixed by two embedding bolts 7 arranged at both ends, but, for example, all between the V-shaped grooves 4 An embedding rod may be provided to uniformly press each dumbbell gauge. Further, without using a long backing plate as in the above embodiment as a means for holding down the dumbbell gauge, it is also possible to use a backing plate that individually presses the right and left for each dumbbell gauge, or to use a backing plate or the like that presses the center. it can.
【００２４】更に例えば図４に示すように、台座１の側
縁に沿って永久磁石２２を設け、それにより磁性体から
なるダンベルゲージのロッドをＶ字状溝に吸着保持し、
あるいはこれを台座から引き離すことができるようにし
ても良い。なお、この永久磁石の代わりに例えば空気に
よる吸引手段を設ける等、種々の公知の固定手段を適用
することができる。Further, as shown in FIG. 4, for example, a permanent magnet 22 is provided along the side edge of the pedestal 1, whereby a rod of a dumbbell gauge made of a magnetic material is sucked and held in a V-shaped groove.
Alternatively, this may be made to be able to be separated from the pedestal. It should be noted that various known fixing means, such as providing air suction means in place of the permanent magnet, can be applied.
【００２５】また、台座１の表面２には図中３個の突起
部１６を設けており、この突起の高さは図１（ｂ）に示
すようにダンベルゲージの球体、及び埋め込みボルト７
のいずれよりも高く、かつ同一高さで頂面を平面に形成
している。それにより図２に示すように、（ａ）の台座
１の表面２を上にして配置した状態と、同図（ｂ）に示
すようにこれを同一位置で反転して突起の１６の平面基
準用頂面で全体を支持し、この反転状態で同様な計測を
行いデータ処理した後ゲージの直角度、真直度と測定器
のそれとを分離でき、これらを同時に求めることができ
るようにしている。Also, three projections 16 are provided on the surface 2 of the pedestal 1 in the figure, and the height of the projections is as shown in FIG.
And the top surface is formed flat at the same height. As a result, as shown in FIG. 2, the surface 2 of the pedestal 1 in FIG. 2A is arranged upside down, and as shown in FIG. The entire surface is supported by the top surface, and the same measurement is performed in this inverted state, and after data processing, the squareness and straightness of the gauge can be separated from that of the measuring instrument, and these can be obtained simultaneously.
【００２６】台座１には更に図中３個の径の異なる円形
の孔が形成されており、これを標準円ゲージ１８，１
９．２０として使用することができるようにしている。
このような標準円ゲージを形成することにより台座全体
の重量を小さくすることもできるが、ゲージをＸ−Ｙ、
Ｘ−Ｚ、そしてＹ−Ｚ平面内に定置することによりそれ
ら平面内でのＣＭＭの性能を評価することが可能とな
る。The pedestal 1 is further provided with three circular holes having different diameters as shown in the figure, and these are formed into standard circular gauges 18,1.
9.20.
By forming such a standard circular gauge, the weight of the entire pedestal can be reduced.
By placing them in the XZ and YZ planes, it is possible to evaluate the performance of the CMM in those planes.
【００２７】また、上記実施例において、台座１をその
両側縁が傾斜する平面視で台形状のものを示したが、こ
の台座は例えば図３に示すように平面視で長方形のもの
を用いることができる。なお、同時の実施例においては
異なる長さのダンベルゲージを用い、全てのダンベルゲ
ージの片側の位置を揃えたものを示している。そのほか
図７に示すような片側側縁が直角をなす台形を用いるこ
ともでき、更に図８（ａ）に示すように略菱形のもの、
あるいは（ｂ）に示すように円形のものを用いることが
でき、各台座に固定するダンベルゲージの長さも台座の
側縁に沿った長さとする等、種々の態様とすることもで
きる。また、台座１に形成した標準円ゲージ１８，１
９，２０を用いることにより、Ｘ−Ｙ、Ｘ−Ｚ、Ｙ−Ｚ
平面内でのＣＭＭの精度も調べることもできるようにな
る。In the above embodiment, the pedestal 1 has a trapezoidal shape in a plan view in which both side edges thereof are inclined. For example, the pedestal 1 may have a rectangular shape in a plan view as shown in FIG. Can be. Note that, in the same embodiment, dumbbell gauges having different lengths are used, and the positions of one side of all the dumbbell gauges are aligned. In addition, a trapezoid in which one side edge forms a right angle as shown in FIG. 7 can be used. Further, as shown in FIG.
Alternatively, a circular shape as shown in (b) can be used, and the dumbbell gauge fixed to each pedestal can have various forms such as a length along a side edge of the pedestal. Also, the standard circular gauges 18, 1 formed on the pedestal 1
By using 9, 20, XY, XZ, YZ
The accuracy of the CMM in the plane can also be checked.
【００２８】使用するダンベルゲージは複数であるなら
ば任意の数使用することができ、使用する数に合わせて
台座のＶ字状溝の数を設定し、あるいは多めに形成して
いるＶ字状溝に対して必要な数だけのダンベルゲージを
載置し、固定して使用することができる。また、ダンベ
ルゲージのロッドには等間隔で目盛り２１が付されてい
るので、この目盛りと台座１の表面２に設けたマーク１
７とを任意に合わせて用いることにより、種々の状態で
ダンベルゲージを固定することができ、種々の態様での
多様な校正形態を実現することができる。Any number of dumbbell gauges can be used as long as they are plural. The number of V-shaped grooves on the pedestal is set according to the number to be used, or the V-shaped groove formed overly large. The required number of dumbbell gauges can be placed in the groove and used by fixing them. Since the dumbbell gauge rods are provided with scales 21 at equal intervals, the scale and the mark 1 provided on the surface 2 of the base 1 are provided.
By using arbitrarily with 7, the dumbbell gauge can be fixed in various states, and various calibration modes in various modes can be realized.
【００２９】上記のように、ダンベルゲージを複数個台
座１に固定してなる組み合わせ型校正ゲージの使用に際
しては、ＣＭＭの測定テーブルとしての定盤上に固定治
具を取り付け、その上に台座１を最初図１における台座
１の長手方向中心線ＣがＣＭＭのＸ軸またはＹ軸に平行
になるようにセットする。次いで台座１の底縁３側の第
１ダンベルゲージ１１の両側の球体の中心を、各々前記
図３に示す方法で測定し、その位置を計測する。同様に
台座１の逆側に位置する第５ダンベルゲージ１５の両側
の球体を測定し、それにより第１ダンベルゲージ１１の
両端の球体と第２ダンベルゲージ１５の両端の球体の中
心位置との合計４個の座標点を得ることにより、この組
立ゲージの仮想基準平面Ｐを決定する。また、前記第１
ダンベルゲージ１１の軸線を基準線Ｄとし、その中間点
を原点Ｏとしてゲージ座標系を設定する。As described above, when using a combination type calibration gauge in which a plurality of dumbbell gauges are fixed to the pedestal 1, a fixing jig is mounted on a surface plate serving as a CMM measurement table, and the pedestal 1 is placed thereon. Is set so that the longitudinal center line C of the pedestal 1 in FIG. 1 is parallel to the X axis or the Y axis of the CMM. Next, the centers of the spheres on both sides of the first dumbbell gauge 11 on the bottom edge 3 side of the pedestal 1 are measured by the method shown in FIG. Similarly, the spheres on both sides of the fifth dumbbell gauge 15 located on the opposite side of the pedestal 1 are measured, whereby the sum of the spheres at both ends of the first dumbbell gauge 11 and the center positions of the spheres at both ends of the second dumbbell gauge 15 are obtained. By obtaining four coordinate points, the virtual reference plane P of this assembly gauge is determined. In addition, the first
A gage coordinate system is set with the axis of the dumbbell gauge 11 as a reference line D and an intermediate point as the origin O.
【００３０】このゲージ座標系は、仮想基準平面内で基
準軸の方向をＸ軸、台座の長手方向中心線をＹ軸とした
直角座標系で、ＣＭＭの機械軸方向に設定されている機
械座標系と一対一に対応しているので、以降は各球体中
心の座標値は全てゲージ座標系で取り扱うことができ
る。このような座標設定後、全てのダンベルゲージの球
体の中心位置を例えば第１ダンベルゲージ１１から第５
ダンベルゲージ１５まで図１中の左側球体を順に測定
し、次いで第５ダンベルゲージ１５の右側球体から第１
ダンベルゲージ１１の右側球体まで順にその中心位置を
測定する。次いで逆方向に同様に測定を行う。更に、台
座１をその支持台と共に前記平面内で１８０度回転さ
せ、その状態で先と同様の測定を行う。This gauge coordinate system is a rectangular coordinate system in which the direction of the reference axis is the X axis and the center line in the longitudinal direction of the pedestal is the Y axis in the virtual reference plane, and the machine coordinate set in the machine axis direction of the CMM. Since they correspond one-to-one with the system, all coordinate values of the centers of the respective spheres can be handled in the gauge coordinate system thereafter. After such coordinate setting, the center positions of the spheres of all the dumbbell gauges are set, for example, from the first dumbbell gauge 11 to the fifth
The left sphere in FIG. 1 is sequentially measured up to the dumbbell gauge 15, and then the first sphere is measured from the right sphere of the fifth dumbbell gauge 15.
The center position of the dumbbell gauge 11 is sequentially measured up to the right sphere. Next, the measurement is performed in the opposite direction. Further, the pedestal 1 is rotated by 180 degrees in the plane together with the support, and the same measurement is performed in this state.
【００３１】このようにして測定される各ダンベルゲー
ジの両球体の中心間距離と、予め得られているこのダン
ベルゲージの公称長さと比較することにより、ＣＭＭの
目盛りの校正を行うことができる。このとき、国家標準
としてのブロックゲージと同様にその値が補償されてい
るダンベルゲージの球体間距離と実測値とを比較するこ
とにより正確な長さ測定誤差、ＣＭＭの移動特性誤差の
評価を行うことができる。また、このダンベルゲージと
台座とを組み立てた状態で、特に精度の高い測定器によ
り各ダンベルゲージ間の各球体の中心位置の値を得てい
る場合には、そのデータに基づいた誤差評価データも用
いることができる。By comparing the measured distance between the centers of the two spheres of each dumbbell gauge with the nominal length of the dumbbell gauge obtained in advance, the calibration of the scale of the CMM can be performed. At this time, an accurate length measurement error and a movement characteristic error of the CMM are evaluated by comparing the measured distance with the distance between spheres of the dumbbell gage whose value is compensated in the same manner as the block gauge as a national standard. be able to. In addition, when the dumbbell gauge and the pedestal are assembled and the value of the center position of each sphere between the dumbbell gauges is obtained by a particularly accurate measuring device, the error evaluation data based on the data is also obtained. Can be used.
【００３２】上記のように台座１をＣＭＭの測定テーブ
ル上に横にしてセットした状態において、これを９０度
回転させて同様の測定を行い、更にそれらの測定が終了
した後、台座１の底縁３を下にして測定テーブル上に立
てて固定し、同様の測定を繰り返し、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向
の目盛りの校正、各軸の真直度及び各軸相互の直角度の
評価、校正を行うことができる。また、図２（ｂ）に示
すように台座の表裏を反転させて同一場所に固定し、こ
の状態でも更に計測することにより直角度、真直度を正
確に測定することができるようになる。なお、台座に形
成した標準円ゲージ１８，１９，２０を用いてＸ−Ｙ、
Ｘ−Ｚ，Ｙ−Ｚ平面内のＣＭＭ精度校正を行わせること
もできる。In the state where the pedestal 1 is set horizontally on the measurement table of the CMM as described above, the same measurement is performed by rotating the pedestal 1 by 90 degrees. The same measurement is repeated by repeating the same measurement by setting the edge 3 down on the measurement table, and calibrating the scale in the X, Y, and Z axis directions, evaluating the straightness of each axis and the squareness of each axis, and calibrating. It can be carried out. Further, as shown in FIG. 2B, the pedestal is turned upside down and fixed at the same place, and the squareness and straightness can be accurately measured by further measuring even in this state. In addition, XY, using standard circular gauges 18, 19, 20 formed on the pedestal.
CMM accuracy calibration in the XZ and YZ planes can also be performed.
【００３３】また、上記のようなＣＭＭの評価、校正を
行った後には、押圧ねじ８を植込ボルト７から取り外
し、当て板６を植え込みボルト７から抜き出し、自由と
なったダンベルゲージを台座１から取り外すことにより
分解することができ、全体をコンパクトにして収納、保
管することができる。、After the evaluation and calibration of the CMM as described above, the pressing screw 8 is removed from the stud 7, and the backing plate 6 is removed from the stud 7, and the free dumbbell gauge is attached to the pedestal 1. It can be disassembled by removing it from, and the whole can be compactly stored and stored. ,
【００３４】[0034]
【発明の効果】上記のように、本願の請求項１に係る発
明においては、その長さの正確度が補償されているゲー
ジであるダンベルゲージを用いるので、従来の高精度の
測定器で測定された校正用ゲージよりも遙かに正確で信
頼性のある校正用ゲージを容易に得ることができる。特
にダンベルゲージは両端に球体を備えており、球体の中
心位置を座標形成、及び座標中の位置データとしてその
まま用いることができ、別途正確な球形に製作された球
体を用意する必要が無く、容易にＣＭＭ用校正ゲージを
得ることができる。As described above, in the invention according to the first aspect of the present invention, since the dumbbell gage which is a gage whose length accuracy is compensated is used, it is measured with a conventional high-precision measuring instrument. A much more accurate and reliable calibration gauge can be easily obtained than the provided calibration gauge. In particular, the dumbbell gauge has spheres at both ends, and the center position of the sphere can be used for coordinate formation and as it is as position data in the coordinates, so there is no need to prepare a separate accurate spherical sphere, making it easy The calibration gauge for CMM can be obtained.
【００３５】このゲージにおいては基本的にはダンベル
ゲージ測定によりＣＭＭの各軸スケールの校正を行うも
のであるが、これを種々の形態で反転させる反転法によ
り、各軸の真直度、各軸相互の直角度も評価することが
できる。更に、ダンベルゲージが台座に対して着脱自在
であるので、取り扱いが容易であり、不使用時には両者
を分離して小型化して収納することができるので、収
納、保管、運搬が容易となる。更に台座に形成した標準
円ゲージ１８，１９，２０を用いてＸ−Ｙ、Ｘ−Ｚ、Ｙ
−Ｚ平面内のＣＭＭ精度校正を行わせることもできる。In this gauge, each axis scale of the CMM is basically calibrated by dumbbell gauge measurement, but the straightness of each axis and the mutual axis are calibrated by an inversion method of inverting this in various forms. Can also be evaluated. Further, since the dumbbell gauge is detachable from the base, handling is easy, and when not in use, the two can be separated and miniaturized and stored, thereby facilitating storage, storage and transportation. Further, using standard circular gauges 18, 19, 20 formed on the pedestal, XY, XZ, Y
Calibration of CMM accuracy in the -Z plane can also be performed.
【００３６】請求項２に係る発明は、平面視で台形また
は三角形の台座にダンベルゲージのロッドを取り付ける
ので、長さの異なるダンベルゲージを台座に容易に、且
つ確実に取り付けることができる。また、台座の表面の
溝の中にダンベルゲージのロッドを取り付けることによ
り、容易にダンベルゲージを台座の所定位置に取り付け
ることができる。According to the second aspect of the present invention, since the dumbbell gauge rods are attached to the trapezoidal or triangular pedestal in plan view, dumbbell gauges having different lengths can be easily and reliably attached to the pedestal. Further, by attaching the rod of the dumbbell gauge in the groove on the surface of the pedestal, the dumbbell gauge can be easily attached to a predetermined position of the pedestal.
【００３７】請求項３に係る発明は、ダンベルゲージを
当て板により台座に押圧し着脱自在に固定したので、ダ
ンベルゲージの着脱が容易となり、取り扱いの容易なも
のとすることができる。According to the third aspect of the present invention, the dumbbell gauge is pressed against the pedestal by the backing plate and fixed detachably, so that the dumbbell gauge can be easily attached and detached, and the handling can be made easy.
【００３８】請求項４に係る発明は、台座にはこの台座
を直立させることができる底縁を備えているので、特別
の器具がなくてもこのゲージを容易に立てることがで
き、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の長さの校正、軸の真直度、軸相
互の直角度の校正を容易に行うことが可能となる。According to the fourth aspect of the present invention, since the pedestal is provided with a bottom edge capable of erecting the pedestal, the gauge can be easily set up without any special equipment. , The length in the Z-axis direction, the straightness of the axes, and the squareness between the axes can be easily calibrated.
【００３９】請求項５に係る発明は、前記台座には、ダ
ンベルゲージを吸着固定する磁気固定手段を設けている
ので、ダンベルゲージの台座への固定、取り外しが容易
となり、校正作業を容易に行うことができるようにな
る。According to the fifth aspect of the present invention, since the pedestal is provided with magnetic fixing means for attracting and fixing the dumbbell gauge, the dumbbell gauge can be easily fixed to and removed from the pedestal, and the calibration operation can be easily performed. Will be able to do it.
【００４０】請求項６に係る発明は、前記台座には、ダ
ンベルケージを吸着固定する空気吸引固定手段を設けて
いるので、上記と同様に、ダンベルゲージの台座への固
定、取り外しが容易となり、校正作業を容易に行うこと
ができるようになる。According to the sixth aspect of the present invention, since the pedestal is provided with air suction fixing means for adsorbing and fixing the dumbbell cage, it is easy to fix and remove the dumbbell gauge to and from the pedestal as described above. Calibration work can be performed easily.
【００４１】また、請求項７に係る発明は、前記台座に
は、ダンベルゲージ固定側表面から突出する複数の突起
を設け、該突起により表裏反転して支持可能としている
ので、ゲージの表裏反転によっても反転法により真直度
の校正、及び各軸間の直角度の校正を行うことができ、
正確な校正を行うことが可能となる。In the invention according to claim 7, the pedestal is provided with a plurality of projections protruding from the surface on the dumbbell gauge fixing side, and can be supported upside down by the projections. Also, the straightness calibration and the squareness between each axis can be calibrated by the inversion method.
Accurate calibration can be performed.
【００４２】また、請求項８に係る発明は、ダンベルゲ
ージのロッドには目盛りを付し、台座表面には目印を付
与したので、ダンベルゲージの目盛りと台座の目印を合
わせることによりダンベルゲージを台座に対して所定の
位置に容易に固定することができる。According to the eighth aspect of the present invention, since the scale of the dumbbell gauge is marked on the rod of the dumbbell gauge and the mark on the surface of the pedestal is aligned, the dumbbell gauge is aligned with the mark of the pedestal to adjust the dumbbell gauge to the pedestal. Can be easily fixed at a predetermined position.
【図１】本発明による組み合わせ型校正用ゲージの実施
例を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ方向の側面図である。FIG. 1 is a view showing an embodiment of a combination type calibration gauge according to the present invention, wherein FIG. 1 (a) is a plan view thereof, and FIG. 1 (b) is a side view in the AA direction of FIG. 1 (a).
【図２】同実施例の断面図であり、（ａ）は図１におけ
るＢ−Ｂ方向の断面図、（ｂ）は表裏反転させた状態の
断面図である。FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views of the same embodiment, in which FIG. 2A is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1, and FIG.
【図３】本発明において台座の平面形状を長方形とし、
異なった長さのダンベルゲージを片側を揃えて固定した
実施例であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面
図である。FIG. 3 is a plan view of the pedestal having a rectangular shape according to the present invention;
FIG. 4A is an embodiment in which dumbbell gauges having different lengths are fixed with one side aligned, and FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a front view.
【図４】ダンベルゲージを永久磁石により台座に固定し
たものを示し（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図
である。4A and 4B show a dumbbell gauge fixed to a pedestal by a permanent magnet, wherein FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a side view.
【図５】平面視長方形の台座に同じ長さのダンベルゲー
ジを固定した例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an example in which dumbbell gauges having the same length are fixed to a pedestal having a rectangular shape in plan view.
【図６】平面視長方形の台座に異なった長さのダンベル
ゲージを固定した例を示す平面図であり（ａ）と（ｂ）
はその長さの順序を互いに逆にした状態を示す平面図で
ある。6A and 6B are plan views showing examples in which dumbbell gauges having different lengths are fixed to a pedestal having a rectangular shape in plan view.
Is a plan view showing a state in which the order of the lengths is reversed.
【図７】平面視で片側側縁が直角をなす台形の台座を用
いると共に異なった長さのダンベルゲージを固定した例
を示し、（ａ）と（ｂ）は台座形状の異なるものを示す
平面図である。FIG. 7 shows an example in which a trapezoidal pedestal having one side edge forming a right angle in plan view is used and dumbbell gauges having different lengths are fixed, and (a) and (b) show planes having different pedestal shapes. FIG.
【図８】台座を種々の形状とする実施例の平面図であ
り、（ａ）は略菱形の台座、（ｂ）は円形の台座とした
例を示す。FIG. 8 is a plan view of an embodiment in which the pedestal has various shapes, wherein (a) shows an example having a substantially rhombic pedestal, and (b) shows an example having a circular pedestal.
【図９】従来のＣＭＭ校正用ゲージの例を示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing an example of a conventional CMM calibration gauge.
【図１０】先に提案したブロックゲージと球体を用いた
ＣＭＭ校正用ゲージの実施例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an example of a previously proposed CMM calibration gauge using a block gauge and a sphere.
【図１１】従来のダンベルゲージとその使用形態を示す
平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a conventional dumbbell gauge and its usage.
１ 台座 ２ 表面 ３ 底縁 ４ Ｖ字状溝 ６ 当て板 ７ 埋込ボルト ８ 押圧ねじ １１〜１５ ダンベルゲージ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pedestal 2 Surface 3 Bottom edge 4 V-shaped groove 6 Backing plate 7 Embedded bolt 8 Press screw 11-15 Dumbbell gauge
Claims (8)
複数の標準円ゲージを有する台座に着脱自在に取り付け
てなることを特徴とする組み合わせ型校正用ゲージ。1. A combination type calibration gauge, wherein a plurality of dumbbell gauges having different lengths are detachably attached to a pedestal having a plurality of standard circular gauges.
に設けた溝にダンベルゲージのロッドを取り付けた請求
項１記載の組み合わせ型校正用ゲージ。2. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein a dumbbell gauge rod is attached to a groove provided on a surface of a trapezoidal or rectangular base in plan view.
に押圧し着脱自在に固定した請求項１記載の組み合わせ
型校正用ゲージ。3. The combination type calibration gauge according to claim 1, wherein said dumbbell gauge is pressed against a pedestal by a backing plate and fixed detachably.
とができる底縁を備えた請求項１記載の組み合わせ型校
正用ゲージ。4. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein the pedestal has a bottom edge on which the pedestal can be erected.
定する磁気固定手段を設けた請求項１記載の組み合わせ
型校正用ゲージ。5. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein said pedestal is provided with magnetic fixing means for adsorbing and fixing a dumbbell gauge.
定する空気吸引固定手段を設けた請求項１記載の組み合
わせ型校正用ゲージ。6. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein said pedestal is provided with air suction fixing means for sucking and fixing a dumbbell cage.
面から突出する複数の突起を設け、該突起により表裏反
転して支持可能とした請求項１記載の組み合わせ型校正
用ゲージ。7. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein the pedestal is provided with a plurality of projections projecting from the surface on the dumbbell gauge fixed side, and the projections can be turned upside down and supported.
し、台座表面には目印を付与した請求項１記載の組み合
わせ型校正用ゲージ。8. The combination calibration gauge according to claim 1, wherein a scale is provided on a rod of the dumbbell gauge, and a mark is provided on a surface of the pedestal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000227829A JP3427376B2 (en) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | Combination type calibration gauge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000227829A JP3427376B2 (en) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | Combination type calibration gauge |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002039742A true JP2002039742A (en) | 2002-02-06 |
| JP3427376B2 JP3427376B2 (en) | 2003-07-14 |
Family
ID=18721226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000227829A Expired - Lifetime JP3427376B2 (en) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | Combination type calibration gauge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3427376B2 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004333368A (en) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Photron Ltd | Calibration tool for acquiring three dimensional constants for moving body photographing system |
| JP2006329694A (en) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Calibration jig and calibration method of three-dimensional measuring machine |
| JP2008139122A (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Iwate Industrial Research Center | Ball dimension gauge device |
| ES2369802A1 (en) * | 2010-05-07 | 2011-12-07 | Universidad De Vigo | Dimensional pattern for scanner and photogrammetric laser systems. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding) |
| CN102425996A (en) * | 2011-09-02 | 2012-04-25 | 黑龙江科技学院 | Optical three-dimensional measuring equipment precision integration detection method and detection apparatus thereof |
| CN106546186A (en) * | 2016-10-19 | 2017-03-29 | 中航飞机股份有限公司西安飞机分公司 | A kind of truing tool and calibration steps of handheld laser scanner precision |
| CN110553614A (en) * | 2019-10-16 | 2019-12-10 | 杭叉集团股份有限公司 | Three-coordinate measuring machine is with examining utensil |
| WO2020261623A1 (en) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | 株式会社浅沼技研 | Inspection master |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2997180B1 (en) | 2012-10-24 | 2015-01-16 | Commissariat Energie Atomique | BIDIMENSIONAL METROLOGICAL CALIBRATION |
-
2000
- 2000-07-27 JP JP2000227829A patent/JP3427376B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004333368A (en) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Photron Ltd | Calibration tool for acquiring three dimensional constants for moving body photographing system |
| JP2006329694A (en) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Calibration jig and calibration method of three-dimensional measuring machine |
| JP4584029B2 (en) * | 2005-05-24 | 2010-11-17 | パナソニック株式会社 | Calibration jig and calibration method for CMM |
| JP2008139122A (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Iwate Industrial Research Center | Ball dimension gauge device |
| ES2369802A1 (en) * | 2010-05-07 | 2011-12-07 | Universidad De Vigo | Dimensional pattern for scanner and photogrammetric laser systems. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding) |
| CN102425996A (en) * | 2011-09-02 | 2012-04-25 | 黑龙江科技学院 | Optical three-dimensional measuring equipment precision integration detection method and detection apparatus thereof |
| CN106546186A (en) * | 2016-10-19 | 2017-03-29 | 中航飞机股份有限公司西安飞机分公司 | A kind of truing tool and calibration steps of handheld laser scanner precision |
| WO2020261623A1 (en) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | 株式会社浅沼技研 | Inspection master |
| JP2021004746A (en) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 株式会社浅沼技研 | Inspection master |
| US11781849B2 (en) | 2019-06-25 | 2023-10-10 | Asanuma Giken Co., Ltd. | Inspection master |
| CN110553614A (en) * | 2019-10-16 | 2019-12-10 | 杭叉集团股份有限公司 | Three-coordinate measuring machine is with examining utensil |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3427376B2 (en) | 2003-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100616483B1 (en) | Gauge for three-dimensional coordinate measurer | |
| EP1225423B1 (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
| US6598306B2 (en) | Self-loading spatial reference point array | |
| JP2000180103A (en) | Cmm calibration gauge and calibrating method for cmm | |
| JP6631984B1 (en) | Inspection master | |
| US5134781A (en) | Geometric simulator for coordinate measuring machine | |
| JP3993784B2 (en) | Multidimensional coordinate measuring machine performance evaluation method, multidimensional coordinate measuring machine calibration gauge and calibration gauge jig | |
| EP2954286B1 (en) | Artefact for evaluating the performance of an x-ray computed tomography system | |
| JP3427376B2 (en) | Combination type calibration gauge | |
| JP2012058057A (en) | Gage for three-dimensional coordinate measuring instrument and precision evaluation method for three-dimensional coordinate measuring instrument | |
| JP2019174169A (en) | Three-dimensional gauge and three-dimensional position error measurement method of machine | |
| CN111649670A (en) | Method for calibrating center coordinate of rotation axis of swing table | |
| US20230136366A1 (en) | Three-dimensional-measuring-apparatus inspection gauges, three-dimensional-measuring-apparatus inspection methods and three-dimensional measuring apparatuses | |
| CN115683014A (en) | Inspection gauge and abnormality determination method for coordinate measuring apparatus | |
| JPH0522814Y2 (en) | ||
| JPH0413609Y2 (en) | ||
| KR100491267B1 (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
| TW523579B (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
| CN211904398U (en) | Correcting device for three-dimensional laser vibration meter | |
| RU2360217C2 (en) | Method of determining errors of three-dimensional measuring machines | |
| US20070084072A1 (en) | Kite square | |
| SU1523884A1 (en) | Method of determining errors of three-coordinate measuring machines | |
| AU779716B2 (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
| JPH0612483Y2 (en) | Measuring device for all angles of prism | |
| CN117984357A (en) | Mechanical arm calibration and motion precision detection assembly |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3427376 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |