JP2002015699A - Ion guide and mass spectrometer using this - Google Patents
Ion guide and mass spectrometer using thisInfo
- Publication number
- JP2002015699A JP2002015699A JP2000193974A JP2000193974A JP2002015699A JP 2002015699 A JP2002015699 A JP 2002015699A JP 2000193974 A JP2000193974 A JP 2000193974A JP 2000193974 A JP2000193974 A JP 2000193974A JP 2002015699 A JP2002015699 A JP 2002015699A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion guide
- flexible substrate
- electrode
- electrodes
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空空間内でイオ
ンを収束させつつ輸送するのに用いるイオンガイド、お
よびそのイオンガイドを利用してイオンを質量分析計に
導き分析を行う質量分析装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ion guide used for transporting ions in a vacuum space while converging the ions, and a mass spectrometer for guiding the ions to a mass spectrometer using the ion guide for analysis. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】質量分析装置は、真空中又は大気圧下で
測定物質をイオン化し、生成されたイオンを質量の違い
に基づいて質量分離器により分離し、分離されたイオン
を検出器に導いて検出するものである。質量分析装置で
は、イオンの質量分離や検出を行う質量分析室はイオン
が生成されるイオン化室から離れた位置にあり、そのた
めイオン化室で生成されたイオンを質量分析室まで輸送
する必要がある。質量分析を高分解能かつ高感度に行う
には、イオンの質量分離や検出の工程を原理上真空中で
行う必要があるため、質量分析装置の分解能や検出感度
の性能向上を考える上で、真空中のイオン輸送をいかに
うまく行うかがポイントとなる。つまり、イオン化室か
ら質量分析室へイオンをできるかぎり損失することなく
導くことが重要である。2. Description of the Related Art A mass spectrometer ionizes a substance to be measured in a vacuum or at atmospheric pressure, separates generated ions by a mass separator based on a difference in mass, and guides the separated ions to a detector. To detect. In a mass spectrometer, a mass spectrometry chamber for mass separation and detection of ions is located at a position distant from an ionization chamber in which ions are generated. Therefore, it is necessary to transport ions generated in the ionization chamber to the mass spectrometry chamber. In order to perform mass spectrometry with high resolution and high sensitivity, the process of mass separation and detection of ions must be performed in vacuum in principle. The point is how to carry out the ion transport inside. That is, it is important to guide ions from the ionization chamber to the mass spectrometry chamber as little as possible.
【０００３】従来より損失の少ないイオン輸送を行うた
めの種々の工夫がなされているが、イオンガイドを用い
て真空中のイオン輸送を行うこともそのひとつである。
イオンガイドを用いた質量分析装置の従来例として、大
気圧下で測定物質のイオン化を行い、生成したイオンを
真空中の質量分析室に導いて分析を行う液体クロマトグ
ラフ質量分析装置の概略構成を図１３に示す。図の装置
において、１１０はイオン化室（大気圧状態）、１１１
は図示しない電源から高電圧が印加された状態で、液体
クロマトグラフ装置の分離カラムから試料を含む溶出液
が供給されることにより試料のイオン化を行うノズル、
１１２は油回転ポンプ（ＲＰ）により低真空状態に維持
される第１中間室、１１３は隔壁で隔てられているイオ
ン化室１１０と第１中間室１１２との間を連通するキャ
ピラリであって図示しない加熱機構によりその中を通過
するイオン液滴の脱溶媒化を促進する加熱キャピラリ
管、１１４はイオンの進行方向を調整するためのデフレ
クタ電極、１１５はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）により
中真空状態に維持される第２中間室、１１６は頂点にオ
リフィスを有する円錐形状のスキマー、１１７はイオン
ガイド、１１８はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）により高
真空状態に維持される質量分析室、１１９は四重極質量
分離器、１２０は検出器、である。[0003] Conventionally, various devices have been devised for performing ion transport with less loss. One of them is to perform ion transport in a vacuum using an ion guide.
As a conventional example of a mass spectrometer using an ion guide, a schematic configuration of a liquid chromatograph mass spectrometer that ionizes a measured substance under atmospheric pressure and guides generated ions to a mass spectrometry chamber in a vacuum for analysis. As shown in FIG. In the illustrated apparatus, reference numeral 110 denotes an ionization chamber (atmospheric pressure);
A nozzle for ionizing the sample by supplying an eluate containing the sample from the separation column of the liquid chromatograph apparatus in a state where a high voltage is applied from a power supply (not shown);
Reference numeral 112 denotes a first intermediate chamber maintained in a low vacuum state by an oil rotary pump (RP). Reference numeral 113 denotes a capillary which communicates between the ionization chamber 110 and the first intermediate chamber 112 separated by a partition, and is not shown. A heating capillary tube for promoting the desolvation of ion droplets passing therethrough by a heating mechanism, 114 is a deflector electrode for adjusting the traveling direction of ions, and 115 is maintained in a medium vacuum state by a turbo molecular pump (TMP). A second intermediate chamber, 116 is a conical skimmer having an orifice at the apex, 117 is an ion guide, 118 is a mass spectrometry chamber maintained in a high vacuum state by a turbo-molecular pump (TMP), 119 is a quadrupole mass A separator 120 is a detector.
【０００４】ノズル１１１でイオン化されたイオン液滴
は、イオン化室１１０と第１中間室１１２との差圧によ
り加熱キャピラリ管１１３に引き込まれてこの管内を通
過し、その際に脱溶媒化が促進されつつ第１中間室１１
２内に送られて微小イオンとなる。第１中間室１１２で
はデフレクタ電極１１４によりイオンが収束されつつイ
オンの進行方向がスキマー１１６のオリフィスに向くよ
うに調整される。スキマー１１６を通過したイオンはイ
オンガイド１１７内に送られる。[0004] The ion droplets ionized by the nozzle 111 are drawn into the heating capillary tube 113 by the pressure difference between the ionization chamber 110 and the first intermediate chamber 112 and pass through this tube, and at this time, the desolvation is promoted. While the first intermediate chamber 11
2 and become small ions. In the first intermediate chamber 112, while the ions are converged by the deflector electrode 114, the traveling direction of the ions is adjusted so as to face the orifice of the skimmer 116. The ions that have passed through the skimmer 116 are sent into the ion guide 117.
【０００５】イオンガイド１１７は、図示しないＡＣ電
源（あるいは直流＋ＡＣ電源）に接続されており、電圧
を印加することで形成される電場によって真空中を進行
するイオンを収束させつつ、イオンガイド１１７の後段
側に設けられる質量分析室１１８内の四重極１１９（質
量分離器）に送り込む。このようにイオンガイド１１７
は真空中で輸送されるイオンを収束させつつ、さらに必
要に応じて加速・減速させつつ後段の質量分離器に効率
よくイオンを送り込む機能を有するものである。The ion guide 117 is connected to an AC power supply (not shown) (or a DC + AC power supply), and converges ions traveling in a vacuum by an electric field formed by applying a voltage. It is sent to the quadrupole 119 (mass separator) in the mass spectrometry chamber 118 provided at the subsequent stage. Thus, the ion guide 117
Has a function of efficiently feeding ions to a subsequent mass separator while converging ions transported in a vacuum and further accelerating and decelerating as necessary.
【０００６】イオンガイド１１７にはリング形状の電極
を連続的に並べて配置したのものや螺旋形状の電極のも
の等、従来から多種の形状のものが考案されている。そ
のなかで形状が最も簡単なもののひとつに複数本の電極
棒を用いて形成されるマルチポール型のイオンガイドが
ある。マルチポール型のイオンガイドの従来例としてオ
クタポールイオンガイドの構成図を図１０に示す。図に
おいて１１はＡロッド、１２はＢロッドである。Ａロッ
ド１１とＢロッド１２とは同一形状であり、それぞれ４
本ずつで構成される。これらはイオン軸Ｘを中心として
一定距離離れた円周上に交互に配置され、かつすべての
ロッドがイオン軸Ｘの軸線と平行となるように配置され
ている。Various types of ion guides have been devised, such as those in which ring-shaped electrodes are continuously arranged and spiral-shaped electrodes. Among them, one of the simplest shapes is a multipole ion guide formed using a plurality of electrode rods. FIG. 10 shows a configuration diagram of an octapole ion guide as a conventional example of a multipole ion guide. In the figure, 11 is an A rod, and 12 is a B rod. The A rod 11 and the B rod 12 have the same shape.
It consists of books. These are alternately arranged on a circumference separated by a fixed distance about the ion axis X, and all the rods are arranged so as to be parallel to the axis of the ion axis X.
【０００７】１３は４本のＡロッド１１と電気的に接続
されるＡリングである。図１１は、Ａロッド１１とＡリ
ング１３との接続状態を示すためにイオン軸方向から見
たときの図である。各Ａロッド１１にはＬ字型の端子１
８が溶接されており、各Ａロッド１１は、端子１８がＡ
リング１３に対して図示しないボルトにより固定される
ことにより位置が定められる。同様に、１４は４本のＢ
ロッド１２と電気的に接続されるＢリングである。図１
２は、Ｂロッド１２とＢリング１４との接続状態を示す
ためにイオン軸方向（図１１とは反対方向）から見たと
きの図である。各Ｂロッド１２にもＬ字型の端子１９が
溶接されており、各Ｂロッド１２は、端子１９がＢリン
グ１３に対して図示しないボルトにより固定されること
により位置が定められる。そして、Ａリング１３とＢリ
ング１４とは図１０に見られるように絶縁リング１５を
挟んで電気的に絶縁された状態で固定されている。Ａリ
ング１３、絶縁リング１５、Ｂリング１４からなるロッ
ドの固定保持部はさらにもう１対が図示しないロッドの
他端側に取り付けてあり、これら２つの固定保持部によ
ってオクタポールイオンガイドが一体構造となるように
固定保持されている。Reference numeral 13 denotes an A-ring electrically connected to the four A-rods 11. FIG. 11 is a diagram when viewed from the ion axis direction to show the connection state between the A rod 11 and the A ring 13. Each A rod 11 has an L-shaped terminal 1
8 are welded, and each A rod 11
The position is determined by being fixed to the ring 13 by a bolt (not shown). Similarly, fourteen are four B
This is a B-ring electrically connected to the rod 12. Figure 1
2 is a view when viewed from the ion axis direction (a direction opposite to FIG. 11) to show the connection state between the B rod 12 and the B ring 14. An L-shaped terminal 19 is also welded to each B rod 12, and the position of each B rod 12 is determined by fixing the terminal 19 to the B ring 13 with a bolt (not shown). The A ring 13 and the B ring 14 are fixed in an electrically insulated state with the insulating ring 15 interposed therebetween as shown in FIG. Another fixed holding portion of the rod composed of the A ring 13, the insulating ring 15, and the B ring 14 is attached to the other end of the rod (not shown). It is fixed and held so that
【０００８】ＡリングとＢリングとにはそれぞれ図示し
ない電源から電圧が印加されるようになっており、これ
らリングを介して各ロッド１１、１２に、ＡＣ交流電圧
を隣接する電極どうしの位相が反転するように印加され
る。これにより、イオン軸方向に輸送されてきたイオン
がイオンガイド内の空間を通過する際に電場の影響を受
けて、一定周期で振動しつつ進行することとなり、イオ
ンを収束しつつ後段に送り込むことが可能となる。A voltage is applied to each of the A-ring and the B-ring from a power source (not shown), and an AC AC voltage is applied to each of the rods 11 and 12 via these rings so that the phase between adjacent electrodes is changed. Applied to be inverted. As a result, the ions transported in the ion axis direction are affected by the electric field when passing through the space inside the ion guide, and proceed while oscillating at a constant cycle. Becomes possible.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述したようなイオン
ガイドを形成するには、複数（例えば８本）のロッドを
一体構造として固定保持する必要があり、しかも通過す
るイオンを振動させつつ進行させるためのＡＣ電圧を与
えるために、隣合う電極どうしの位相を反転させた形で
電圧を印加する必要があることから、電圧導入ラインを
兼ねたロッド保持機構はどうしても複雑な機構となって
いた。しかもイオンガイドの組み立てにおいては、各ロ
ッドどうしが正確な軸対称性を保ちつつ組み立てなけれ
ばイオン軸に沿った正確なイオン輸送ができないため、
その組立調整作業には熟練を要し、煩雑でかつ難関な作
業となっていた。さらにはロッドが汚れた場合に洗浄な
どのメンテナンス作業を行う必要があるが、その際にも
電極の位置関係が変化してイオンガイドの再調整が必要
となららにように慎重に作業する必要があった。また、
イオンガイドは、イオンが通過する内部空間をできるだ
け小さくするのが好ましいが、上述するような固定保持
機構によるものでは小型化には限界があった。In order to form the above-described ion guide, it is necessary to fix and hold a plurality of (for example, eight) rods as an integral structure, and to move the passing ions while vibrating them. It is necessary to apply a voltage in a form in which the phases of adjacent electrodes are inverted in order to provide an AC voltage for the purpose, so that the rod holding mechanism also serving as a voltage introduction line is a complicated mechanism. Moreover, in assembling the ion guide, accurate ion transport along the ion axis cannot be performed unless the rods are assembled while maintaining accurate axial symmetry.
The assembling adjustment work requires skill, and is a complicated and difficult task. In addition, when the rod becomes dirty, it is necessary to perform maintenance work such as cleaning, but also in this case, it is necessary to work carefully so that the positional relationship of the electrodes changes and the ion guide needs to be readjusted was there. Also,
It is preferable that the ion guide be as small as possible in the internal space through which the ions pass, but there is a limit to miniaturization by the above-described fixed holding mechanism.
【００１０】そこで、本発明は組立作業や調整作業を非
常に簡単に行うことが可能で、しかも小型化が容易なイ
オンガイド、およびそのようなイオンガイドを用いた質
量分析装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention provides an ion guide which can perform assembling work and adjustment work very easily and is easy to downsize, and a mass spectrometer using such an ion guide. Aim.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明のイオンガイドは、フレキシブルな基
板上に電極部をパターン形成し、このフレキシブル基板
を円筒形状のベース部材を用いて支持することにより形
成したことを特徴とする。According to the ion guide of the present invention, which has been made to solve the above problems, an electrode portion is formed on a flexible substrate by patterning, and the flexible substrate is supported by using a cylindrical base member. It is characterized by being formed by performing.
【００１２】又、本発明に係る質量分析装置は、イオン
化室で生成されたイオンを、イオンガイドを介して質量
分離器に導き、所定の質量分離を行った上で検出器に導
いて分析を行う質量分析装置において、前期イオンガイ
ドは、フレキシブルな基板上に電極部をパターン形成
し、このフレキシブル基板を円筒形状のベース部材を用
いて支持することにより形成したことを特徴とする。In the mass spectrometer according to the present invention, the ions generated in the ionization chamber are guided to a mass separator via an ion guide, subjected to a predetermined mass separation, and then guided to a detector for analysis. In the mass spectrometer to be performed, the ion guide is characterized in that an electrode portion is formed on a flexible substrate by patterning, and the flexible substrate is supported by using a cylindrical base member.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例を用いて
説明する。図１は本発明の一実施例であるイオンガイド
の概略構成を示す図である。図２は図１のイオンガイド
に用いるフレキシブル基板を展開して表側から見た状態
を示す図であり、図３はそのフレキシブル基板を展開し
て裏側から見た状態を示す図であり、、図４そのフレキ
シブル基板を円筒形状に丸めた状態を示す図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an ion guide according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing a state in which the flexible substrate used for the ion guide of FIG. 1 is developed and viewed from the front side, and FIG. 3 is a view showing a state in which the flexible substrate is developed and viewed from the back side. 4 is a view showing a state where the flexible substrate is rounded into a cylindrical shape.
【００１４】図２において３０は電気絶縁性を有する方
形のフレキシブル基板である。フレキシブル基板３０と
しては後述するように丸めて円筒形状にすることができ
る程度の屈曲性が必要があり、例えばカプトンフィルム
が好適である。フレキシブル基板３０の表面には電極１
１、１２がそれぞれ４本ずつパターン形成される。これ
ら電極はマスクを用いた周知のスパッタリング法や真空
蒸着法或いは銀ペースト塗布により形成することができ
る。電極１１と電極１２とはθ方向に一定間隔ずつ離さ
れて縞状となるように形成され、フレキシブル基板３０
のｚ方向の一辺３１と他辺３２とが接するようにθ方向
に丸めて円筒形状としたときにすべての電極１１、１２
が円周上で等間隔に配置されるように構成される。４本
の電極１１それぞれに貫通部２１が形成され、４本の電
極１２それぞれに貫通部２５が形成され、後述するよう
にフレキシブル基板３０の裏面に形成される接続電極と
電気的に接続されるようにしてある。In FIG. 2, reference numeral 30 denotes a rectangular flexible substrate having electrical insulation. As described later, the flexible substrate 30 needs to be flexible enough to be rolled into a cylindrical shape. For example, a Kapton film is suitable. The electrode 1 is provided on the surface of the flexible substrate 30.
Patterns 1 and 12 are formed four each. These electrodes can be formed by a well-known sputtering method using a mask, a vacuum evaporation method, or a silver paste application. The electrodes 11 and 12 are formed so as to be striped at regular intervals in the θ direction.
When all the electrodes 11 and 12 are rounded in the θ direction so that one side 31 and the other side 32 of
Are arranged at equal intervals on the circumference. A through portion 21 is formed in each of the four electrodes 11, and a through portion 25 is formed in each of the four electrodes 12, and is electrically connected to a connection electrode formed on the back surface of the flexible substrate 30 as described later. It is like that.
【００１５】フレキシブル基板３０の裏面側には図３に
見られるように、４つの貫通部２１を電気的に接続する
ため接続電極２２が形成され、又、４つの貫通部２５を
電気的に接続するための接続電極２６が形成される。こ
こで貫通部２１、２５は図２における貫通部２１、貫通
部２５と同じものである。なおフレキシブル基板３０が
円筒形状となるように丸めた際に接続電極２２の端部２
４Ａと端部２４Ｂとが接し、また接続電極２６の端部２
８Ａと端部２８Ｂとが接する。したがって４本の電極１
１間、４本の電極１２間はそれぞれ接続電極で導通され
ることにより同電位となる。さらに裏面上には接続電極
２２から電気的に接続される引込電極２３、接続電極２
６から電気的に接続される引込電極２７が形成され、そ
の一端がフレキシブル基板のθ方向の一辺に至り、端部
２３Ａ、２７Ａが形成されるようにしてある。端部２３
Ａ、２７Ａにおいて図示しない外部の電圧導入端子と接
続される。As shown in FIG. 3, a connection electrode 22 for electrically connecting the four through-holes 21 is formed on the back side of the flexible substrate 30, and the four through-holes 25 are electrically connected to each other. Connection electrode 26 is formed. Here, the penetrating portions 21 and 25 are the same as the penetrating portions 21 and 25 in FIG. When the flexible substrate 30 is rolled into a cylindrical shape, the end 2
4A and the end 24B are in contact with each other, and the end 2
8A and end 28B contact. Therefore, four electrodes 1
The connection between the one electrode and the four electrodes 12 becomes the same potential by being conducted by the connection electrodes. Furthermore, on the back surface, the lead-in electrode 23 electrically connected from the connection electrode 22 and the connection electrode 2
A lead-in electrode 27 that is electrically connected to the flexible substrate 6 is formed, one end of which extends to one side in the θ direction of the flexible substrate, and ends 23A and 27A are formed. End 23
A and 27A are connected to an external voltage introducing terminal (not shown).
【００１６】図４はフレキシブル基板３０を丸めて円筒
形状にしたときの状態を示す図である。円筒の内側面に
は縞状の電極１１、電極１２が互いに円周方向に等間隔
離れて形成されている。円筒の外側面には環状の接続電
極２２、２６が形成されている。貫通部２１、２５では
図４の断面拡大図にて示すように貫通部内壁の電極２１
Ａで接続される。なお、この電極２１Ａはスパッタリン
グや真空蒸着の際の回りこみにより電極１１等と同時に
形成されるが、表裏両面に形成される電極の電気的接続
を確実なものとするために、電極２１Ａの部分に後から
銀ペーストを塗布しておいてもよい。FIG. 4 is a view showing a state where the flexible substrate 30 is rolled into a cylindrical shape. Striped electrodes 11 and 12 are formed at equal intervals in the circumferential direction on the inner surface of the cylinder. Ring connection electrodes 22 and 26 are formed on the outer surface of the cylinder. As shown in the enlarged cross-sectional view of FIG.
Connected with A. The electrode 21A is formed at the same time as the electrode 11 and the like by wraparound during sputtering or vacuum deposition. However, in order to secure electrical connection of the electrodes formed on both front and back surfaces, the electrode 21A is Silver paste may be applied later.
【００１７】フレキシブル基板は図１に示すように辺３
３（辺３１と辺３２とが接続されて形成される）で接す
るように丸めることにより円筒形状にしてあり、これを
同じく円筒形状であるベース部材１０の内面に貼り付け
るようにして固定される。なお、辺３３で接続電極２２
の端部２４Ａ、２４Ｂ、接続電極２６の端部２８Ａ、２
８Ｂが確実に電気接続されるように、この部分に銀ペー
スト等を塗布するのが望ましい。As shown in FIG.
3 (formed by connecting the side 31 and the side 32) to form a cylindrical shape by being rounded so as to be in contact with the base member 10 and fixed to the inner surface of the base member 10 also having a cylindrical shape. . Note that the connection electrode 22 is
24A, 24B, end 28A of connection electrode 26, 2
It is desirable to apply a silver paste or the like to this portion so that the 8B is reliably electrically connected.
【００１８】ベース部材１０としては絶縁性を有し、熱
的・機械的に変形しにくいものが求められる。そのた
め、ベース部材の材料としては例えばガラスやテフロン
（登録商標）のパイプが適している。The base member 10 is required to have an insulating property and to be hardly thermally and mechanically deformed. Therefore, for example, a glass or Teflon (registered trademark) pipe is suitable as a material of the base member.
【００１９】なお、外部電源との接続が簡単にできるよ
うに端部２３Ａ、２７Ａがベース部材の端から少し突き
出すようにして固定するのが望ましい。このようにして
円筒の内面には電極１１と電極１２とが交互に円周上に
等間隔に形成されるように貼り付けられる。It is desirable that the ends 23A and 27A are slightly protruded from the end of the base member so that the connection with an external power supply can be easily made. In this manner, the electrodes 11 and the electrodes 12 are attached to the inner surface of the cylinder so as to be alternately formed at equal intervals on the circumference.
【００２０】フレキシブル基板３０の外側面とベース部
材１０の内面との間には図１において点線にて示すよう
に引込電極２３、２７、接続電極２２，２６が形成され
ており、これらと貫通部２１、２５とを介して印加電圧
が各電極１１、１２に供給される。フレキシブル基板３
０のベース部材１０への貼り付けは、適当な接着剤、例
えばボンド（登録商標）等が用いられる。As shown by dotted lines in FIG. 1, lead-in electrodes 23 and 27 and connection electrodes 22 and 26 are formed between the outer surface of the flexible substrate 30 and the inner surface of the base member 10, and these are penetrated. An applied voltage is supplied to each of the electrodes 11 and 12 via 21 and 25. Flexible board 3
A suitable adhesive, for example, Bond (registered trademark) or the like is used for attaching the “0” to the base member 10.
【００２１】このようにして形成されたオクタポールイ
オンガイドは従来の棒状（円筒形状）の電極を平板（パ
ターン電極）で近似していることになるが、パターンの
幅、距離を最適な値に調整することにより、従来の棒状
のオクタポールイオンガイドと同等の電界を発生させる
ことが可能である。In the octapole ion guide formed in this manner, the conventional rod-shaped (cylindrical) electrode is approximated by a flat plate (pattern electrode), but the width and distance of the pattern are optimized. By adjusting, an electric field equivalent to that of a conventional rod-shaped octapole ion guide can be generated.
【００２２】本発明の他の実施例を図５、６、７に示
す。図５は展開した状態のフレキシブル基板を表面側か
ら見た状態を示す図であり、図６そのフレキシブル基板
を裏面側から見た状態を示す図であり、図７はそのフレ
キシブル基板を丸めた状態を示す図である。Another embodiment of the present invention is shown in FIGS. FIG. 5 is a view showing the unfolded state of the flexible board viewed from the front side, FIG. 6 is a view showing the state of the flexible board viewed from the back side, and FIG. 7 is a state of the flexible board rolled up FIG.
【００２３】この例のものでは、図５に見られるように
フレキシブル基板３０上においてＺ方向に一定間隔ずつ
隔てて電極４１〜４５が縞状にパターン形成される。そ
して各電極４１〜４５にそれぞれ貫通部４６〜５０が形
成される。図６に示すようにフレキシブル基板３０の裏
側において、貫通部４６〜５０は接続電極５１〜５４を
介して電気的に接続される。この接続電極５１〜５４に
ついては、良伝導性の接続電極とすることも、又、一定
の抵抗成分を有する接続電極とすることも可能である。
良導体の場合、抵抗成分を有する場合のいずれであって
もスパッタリング、真空蒸着によりパターン形成するこ
とにより容易に形成することができる。即ち、パターン
形成する部分に抵抗率の高い材料を選択したり、この部
分の厚みや幅を小さくすることにより抵抗を大きくする
ことで抵抗成分を備えることが可能である。５つの貫通
部４６〜５０のうち両端に位置する貫通部４６、５０に
ついては引込電極５８、５９が形成され、フレキシブル
基板３０の端部５８Ａ、５９Ａにて外部電圧端子と接続
できるようにしてある。このフレキシブル基板３０を丸
めて円筒形状とすることにより、図７に示すように軸方
向に一定間隔ずつ離れたリング状電極が形成される。こ
の円筒状のフレキシブル基板３０を、図１と同様にベー
ス部材を用いて固定保持することにより、従来のリング
状電極と同様の機能を持たせることができる。In this example, as shown in FIG. 5, the electrodes 41 to 45 are formed in a striped pattern on the flexible substrate 30 at regular intervals in the Z direction. Then, through portions 46 to 50 are formed in the respective electrodes 41 to 45, respectively. As shown in FIG. 6, on the back side of the flexible substrate 30, the penetrating portions 46 to 50 are electrically connected via connection electrodes 51 to 54. The connection electrodes 51 to 54 may be connection electrodes having good conductivity or connection electrodes having a certain resistance component.
A good conductor can easily be formed by patterning by sputtering or vacuum deposition regardless of whether it has a resistance component. That is, it is possible to provide a resistance component by selecting a material having a high resistivity in the portion where the pattern is to be formed, or by increasing the resistance by reducing the thickness or width of this portion. Outgoing electrodes 58 and 59 are formed in the through portions 46 and 50 located at both ends of the five through portions 46 to 50 so that the end portions 58A and 59A of the flexible substrate 30 can be connected to an external voltage terminal. . By rounding the flexible substrate 30 into a cylindrical shape, ring-shaped electrodes spaced at regular intervals in the axial direction are formed as shown in FIG. By fixing and holding this cylindrical flexible substrate 30 using a base member in the same manner as in FIG. 1, it is possible to have the same function as a conventional ring-shaped electrode.
【００２４】なお、接続電極に抵抗成分を与えた場合に
おいて、電極にＡＣ電圧とともに直流電圧を印加するこ
とにより、電極間にＤＣ勾配を持たせることが可能とな
り、簡単にイオンの減速・加速を行うことができるよう
になる。When a resistance component is applied to the connection electrode, by applying a DC voltage together with an AC voltage to the electrode, a DC gradient can be provided between the electrodes, and deceleration and acceleration of ions can be easily performed. Will be able to do it.
【００２５】さらに本発明の他の実施例を図８、９に示
す。ここで図８は展開した状態のフレキシブル基板を表
面側から見た状態を示す図であり、図９はこのフレキシ
ブル基板を丸めた状態を示す図である。FIGS. 8 and 9 show still another embodiment of the present invention. Here, FIG. 8 is a diagram showing a state in which the expanded flexible substrate is viewed from the front side, and FIG. 9 is a diagram showing a state in which the flexible substrate is rolled.
【００２６】この例のものでは図８に見られるようにフ
レキシブル基板３０上においてｚ方向に一定間隔ずつ隔
てて電極６１〜６８が縞状に形成される。各電極６１〜
６８はｚ方向と直角ではなく斜めに傾斜させてあり、フ
レキシブル基板３０をθ方向に丸めたときに電極６１の
一端６１Ｂと電極６２の一端６２Ａとが接し、電極６２
の他端６２Ｂと電極６３の一端６３Ａとが接するように
してある。したがって丸めた状態では電極端どうしが接
続され、図９に見られるように螺旋形状の１本の電極が
形成される。なお、左端の電極６１の一端６１Ａはフレ
キシブル基板３０の左辺に至り、この位置に端部６１Ａ
が形成される。また、右端の電極６８はフレキシブル基
板３０の右辺に至り、この位置に端部６８Ｂが形成され
る。この６１Ａと６８Ｂは外部電圧端子に接続されるこ
とができる。In this example, as shown in FIG. 8, the electrodes 61 to 68 are formed in stripes on the flexible substrate 30 at regular intervals in the z direction. Each electrode 61-
Numeral 68 is not perpendicular to the z direction but inclined obliquely. One end 61B of the electrode 61 contacts one end 62A of the electrode 62 when the flexible substrate 30 is rolled in the θ direction,
Of the electrode 63 and the other end 62B of the electrode 63 are in contact with each other. Therefore, in the rolled state, the electrode ends are connected to each other, and one spiral electrode is formed as shown in FIG. Note that one end 61A of the left end electrode 61 reaches the left side of the flexible substrate 30, and the end 61A is located at this position.
Is formed. The right end electrode 68 reaches the right side of the flexible substrate 30, and an end 68B is formed at this position. These 61A and 68B can be connected to an external voltage terminal.
【００２７】なお、上述したイオンガイドの例では、い
ずれも外部電圧端子との接続を行う場所をフレキシブル
基板３０の辺の近傍で行うようにしているが、ベース部
材１０にも貫通孔を形成し、この貫通孔がフレキシブル
基板３０裏面の接続電極あるいは貫通部上に位置するよ
うにして、直接ベース部材に形成した貫通孔から電圧を
印加するようにしてもよい。この場合は引込電極を形成
する必要がなくなる。このようにして形成した電極によ
り、従来からある螺旋状電極によるイオンガイドと同等
の効果を得ることができる。In each of the above-described examples of the ion guide, the connection with the external voltage terminal is made in the vicinity of the side of the flexible substrate 30. However, a through hole is also formed in the base member 10. Alternatively, the through-hole may be located on the connection electrode or the through-hole on the back surface of the flexible substrate 30, and the voltage may be applied directly from the through-hole formed in the base member. In this case, there is no need to form a lead-in electrode. With the electrode formed in this manner, an effect equivalent to that of a conventional ion guide using a spiral electrode can be obtained.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上、説明したように本発明のイオンガ
イドでは、フレキシブル基板上に電極をパターン形成
し、このフレキシブル基板を円筒形状に丸めて固定する
ことによりイオンガイドを形成するようにしたので、電
極を組み立てるための保持部材等が不必要となるのでボ
ルト止め等も必要なくなる。又、これに伴い、イオンガ
イドを構成する各電極間の組立や調整作業は不要とな
る。又、小径のイオンガイドを構成することが可能とな
る。これにより、通過イオンの収束効率を向上させるこ
とができる。As described above, in the ion guide of the present invention, an electrode is formed on a flexible substrate by patterning, and the flexible substrate is rolled into a cylindrical shape and fixed to form the ion guide. Since no holding member or the like for assembling the electrodes is required, bolting or the like is not required. Accordingly, there is no need for assembling and adjusting between the electrodes constituting the ion guide. In addition, it is possible to configure a small-diameter ion guide. Thereby, the convergence efficiency of passing ions can be improved.
【図１】本発明の一実施例であるイオンガイドを組立て
た状態の概略構成を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an ion guide according to an embodiment of the present invention in an assembled state.
【図２】図１のイオンガイドに用いるフレキシブル基板
を展開して表側から見た状態を示す図。FIG. 2 is a view showing a state in which a flexible substrate used for the ion guide of FIG. 1 is developed and viewed from the front side.
【図３】図１のイオンガイドに用いるフレキシブル基板
を展開して裏側から見た状態を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a state in which a flexible substrate used for the ion guide of FIG. 1 is developed and viewed from the back side.
【図４】図１のイオンガイドに用いるフレキシブル基板
を丸めた状態を示す図。FIG. 4 is a view showing a state in which a flexible substrate used for the ion guide of FIG. 1 is rounded.
【図５】本発明の他の一実施例であるイオンガイドで用
いられるフレキシブル基板を展開して表側から見た状態
を示す図。FIG. 5 is a view showing a state in which a flexible substrate used in an ion guide according to another embodiment of the present invention is developed and viewed from the front side.
【図６】本発明の他の一実施例であるイオンガイドで用
いられるフレキシブル基板を展開して裏側から見た状態
を示す図。FIG. 6 is a view showing a state in which a flexible substrate used in an ion guide according to another embodiment of the present invention is developed and viewed from the back side.
【図７】図５のイオンガイドで用いるフレキシブル基板
を丸めた状態を示す図。FIG. 7 is a view showing a state in which a flexible substrate used in the ion guide of FIG. 5 is rounded.
【図８】本発明の他の一実施例であるイオンガイドで用
いられるフレキシブル基板を展開して表側から見た状態
を示す図。FIG. 8 is a view showing a state in which a flexible substrate used in an ion guide according to another embodiment of the present invention is developed and viewed from the front side.
【図９】図８のイオンガイドで用いるフレキシブル基板
を丸めた状態を示す図。FIG. 9 is a view showing a state in which a flexible substrate used in the ion guide of FIG. 8 is rounded.
【図１０】従来からのイオンガイドの構成を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a conventional ion guide.
【図１１】図１０のイオンガイドのＡロッドとＡリング
との関係を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a relationship between an A-rod and an A-ring of the ion guide of FIG. 10;
【図１２】図１０のイオンガイドのＢロッドとＢリング
との関係を示す図。FIG. 12 is a view showing a relationship between a B rod and a B ring of the ion guide of FIG. 10;
【図１３】イオンガイドを用いた質量分析装置の全体構
成を示す図。FIG. 13 is a diagram showing an overall configuration of a mass spectrometer using an ion guide.
１０：ベース部材 １１、１２：電極 ２１：貫通部 ２２：接続電極 ２３：引込電極 ２３Ａ：端部 ２５：貫通部 ２６：接続電極 ２７：引込電極 ２７Ａ：端部 ３０：フレキシブル基板 １１０：イオン化室 １１１：ノズル １１２：第１中間室 １１５：第２中間室 １１６：スキマー １１７：イオンガイド １１８：質量分析室 １１９：四重極 １２０：検出器 10: Base member 11, 12: Electrode 21: Penetration part 22: Connection electrode 23: Lead-in electrode 23A: End part 25: Penetration part 26: Connection electrode 27: Lead-in electrode 27A: End part 30: Flexible substrate 110: Ionization chamber 111 : Nozzle 112: First intermediate chamber 115: Second intermediate chamber 116: Skimmer 117: Ion guide 118: Mass spectrometry chamber 119: Quadrupole 120: Detector
Claims (2)
形成し、このフレキシブル基板を円筒形状のベース部材
を用いて支持することにより形成したことを特徴とする
イオンガイド。An ion guide formed by patterning an electrode portion on a flexible substrate and supporting the flexible substrate using a cylindrical base member.
ガイドを介して質量分離器に導き、所定の質量分離を行
った上で検出器に導いて分析を行う質量分析装置におい
て、前期イオンガイドは、フレキシブルな基板上に電極
部をパターン形成し、このフレキシブル基板を円筒形状
のベース部材を用いて支持することにより形成したこと
を特徴とする質量分析装置。2. A mass spectrometer which conducts ions generated in an ionization chamber to a mass separator via an ion guide, performs predetermined mass separation, and then guides the ions to a detector for analysis. A mass spectrometer characterized by forming an electrode portion on a flexible substrate in a pattern and supporting the flexible substrate using a cylindrical base member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000193974A JP2002015699A (en) | 2000-06-28 | 2000-06-28 | Ion guide and mass spectrometer using this |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000193974A JP2002015699A (en) | 2000-06-28 | 2000-06-28 | Ion guide and mass spectrometer using this |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002015699A true JP2002015699A (en) | 2002-01-18 |
Family
ID=18692875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000193974A Pending JP2002015699A (en) | 2000-06-28 | 2000-06-28 | Ion guide and mass spectrometer using this |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002015699A (en) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6642514B2 (en) | 2000-11-29 | 2003-11-04 | Micromass Limited | Mass spectrometers and methods of mass spectrometry |
| GB2395599A (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-26 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| US6835928B2 (en) | 2002-09-04 | 2004-12-28 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
| US6891153B2 (en) | 2000-11-29 | 2005-05-10 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometers and methods of mass spectrometry |
| GB2421845A (en) * | 2004-12-17 | 2006-07-05 | Micromass Ltd | Ion guide comprising tubular conductor |
| JP2008502097A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | フダン ユニバーシティー | Ion trap mass spectrometer |
| WO2013098610A1 (en) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ionization with femtosecond lasers at elevated pressure |
| WO2013098612A1 (en) * | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ion optical elements |
| US20140264021A1 (en) * | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Smiths Detection Montreal Inc. | Ion mobility spectrometry (ims) device with charged material transportation chamber |
| WO2016017712A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | 俊 保坂 | Ultra-compact mass analysis device and ultra-compact particle acceleration device |
| WO2017044159A1 (en) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | Battelle Memorial Institute | Method and device for ion mobility separation |
| WO2017062102A1 (en) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| GB2571995A (en) * | 2018-03-16 | 2019-09-18 | Univ Liverpool | Ion Guide |
| US10497552B2 (en) | 2017-08-16 | 2019-12-03 | Battelle Memorial Institute | Methods and systems for ion manipulation |
| US10692710B2 (en) | 2017-08-16 | 2020-06-23 | Battelle Memorial Institute | Frequency modulated radio frequency electric field for ion manipulation |
| US10804089B2 (en) | 2017-10-04 | 2020-10-13 | Batelle Memorial Institute | Methods and systems for integrating ion manipulation devices |
| US11828724B2 (en) | 2018-03-16 | 2023-11-28 | The University Of Liverpool (Inc. In The Uk) | Ion guide |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642189A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Fujitsu Ltd | Pen type portable information storage and processor |
| JPH03165444A (en) * | 1989-11-22 | 1991-07-17 | Jeol Ltd | Electrostatic multipole lens for charged particle beams |
| JPH0785834A (en) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer and electrostatic lens |
| JPH07201304A (en) * | 1993-12-29 | 1995-08-04 | Shimadzu Corp | Ms/ms-type mass spectrometer |
| JPH0887976A (en) * | 1994-07-08 | 1996-04-02 | Res Inst Of Natl Defence | Ionic mobility spectrometer |
| JPH10188879A (en) * | 1996-06-10 | 1998-07-21 | Micromass Ltd | Plasma mass spectrometer |
| US5994695A (en) * | 1998-05-29 | 1999-11-30 | Hewlett-Packard Company | Optical path devices for mass spectrometry |
| JP2000113852A (en) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Jeol Ltd | Atmospheric pressure ionization mass spectrograph |
| JP2003507854A (en) * | 1999-08-16 | 2003-02-25 | ザ ジョンズ ホプキンズ ユニバーシティ | Ion reflectron with flexible printed circuit board |
| JP2003533851A (en) * | 2000-05-12 | 2003-11-11 | ザ ジョンズ ホプキンズ ユニバーシティ | A gridless, focusing ion extractor for a time-of-flight mass spectrometer |
-
2000
- 2000-06-28 JP JP2000193974A patent/JP2002015699A/en active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642189A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Fujitsu Ltd | Pen type portable information storage and processor |
| JPH03165444A (en) * | 1989-11-22 | 1991-07-17 | Jeol Ltd | Electrostatic multipole lens for charged particle beams |
| JPH0785834A (en) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer and electrostatic lens |
| JPH07201304A (en) * | 1993-12-29 | 1995-08-04 | Shimadzu Corp | Ms/ms-type mass spectrometer |
| JPH0887976A (en) * | 1994-07-08 | 1996-04-02 | Res Inst Of Natl Defence | Ionic mobility spectrometer |
| JPH10188879A (en) * | 1996-06-10 | 1998-07-21 | Micromass Ltd | Plasma mass spectrometer |
| US5994695A (en) * | 1998-05-29 | 1999-11-30 | Hewlett-Packard Company | Optical path devices for mass spectrometry |
| JP2000113852A (en) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Jeol Ltd | Atmospheric pressure ionization mass spectrograph |
| JP2003507854A (en) * | 1999-08-16 | 2003-02-25 | ザ ジョンズ ホプキンズ ユニバーシティ | Ion reflectron with flexible printed circuit board |
| JP2003533851A (en) * | 2000-05-12 | 2003-11-11 | ザ ジョンズ ホプキンズ ユニバーシティ | A gridless, focusing ion extractor for a time-of-flight mass spectrometer |
Cited By (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6642514B2 (en) | 2000-11-29 | 2003-11-04 | Micromass Limited | Mass spectrometers and methods of mass spectrometry |
| US6891153B2 (en) | 2000-11-29 | 2005-05-10 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometers and methods of mass spectrometry |
| GB2395599A (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-26 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| US6835928B2 (en) | 2002-09-04 | 2004-12-28 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
| GB2395599B (en) * | 2002-09-04 | 2005-01-19 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| JP2008502097A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | フダン ユニバーシティー | Ion trap mass spectrometer |
| JP2014089980A (en) * | 2004-06-04 | 2014-05-15 | Fudan Univ | Ion trap mass spectrometer |
| JP2008524788A (en) * | 2004-12-17 | 2008-07-10 | マイクロマス ユーケー リミテッド | Mass spectrometer |
| GB2421845B (en) * | 2004-12-17 | 2009-06-24 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| GB2421845A (en) * | 2004-12-17 | 2006-07-05 | Micromass Ltd | Ion guide comprising tubular conductor |
| US9620346B2 (en) | 2004-12-17 | 2017-04-11 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
| US9165753B2 (en) | 2011-12-29 | 2015-10-20 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ionization with femtosecond lasers at elevated pressure |
| WO2013098610A1 (en) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ionization with femtosecond lasers at elevated pressure |
| WO2013098612A1 (en) * | 2011-12-30 | 2013-07-04 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ion optical elements |
| US9653273B2 (en) | 2011-12-30 | 2017-05-16 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Ion optical elements |
| US11307172B2 (en) | 2013-03-18 | 2022-04-19 | Smiths Detection Montreal, Inc. | Ion mobility spectrometry (IMS) device with charged material transportation chamber |
| US20140264021A1 (en) * | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Smiths Detection Montreal Inc. | Ion mobility spectrometry (ims) device with charged material transportation chamber |
| US10139366B2 (en) * | 2013-03-18 | 2018-11-27 | Smiths Detection Montreal Inc. | Ion mobility spectrometry (IMS) device with charged material transportation chamber |
| WO2016017712A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | 俊 保坂 | Ultra-compact mass analysis device and ultra-compact particle acceleration device |
| US10804087B2 (en) | 2014-07-29 | 2020-10-13 | Takashi Hosaka | Ultra-compact mass analysis device and ultra-compact particle acceleration device |
| US10249483B2 (en) | 2014-07-29 | 2019-04-02 | Takashi Hosaka | Ultra-compact mass analysis device and ultra-compact particle acceleration device |
| CN108352288A (en) * | 2015-09-11 | 2018-07-31 | ***纪念研究院 | Method and apparatus for Ion transfer separation |
| US10424474B2 (en) | 2015-09-11 | 2019-09-24 | Battelle Memorial Institute | Method and device for ion mobility separation |
| WO2017044159A1 (en) * | 2015-09-11 | 2017-03-16 | Battelle Memorial Institute | Method and device for ion mobility separation |
| JP2018528427A (en) * | 2015-09-11 | 2018-09-27 | バッテル メモリアル インスティチュート | Ion mobility separation method and apparatus |
| US9704701B2 (en) | 2015-09-11 | 2017-07-11 | Battelle Memorial Institute | Method and device for ion mobility separations |
| EP3812755A1 (en) * | 2015-10-07 | 2021-04-28 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| US11209393B2 (en) | 2015-10-07 | 2021-12-28 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| US10317364B2 (en) | 2015-10-07 | 2019-06-11 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| US11761925B2 (en) | 2015-10-07 | 2023-09-19 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| CN109154583A (en) * | 2015-10-07 | 2019-01-04 | ***纪念研究院 | Method and apparatus for carrying out ionic mobility separation using AC wave shape |
| CN113345790A (en) * | 2015-10-07 | 2021-09-03 | ***纪念研究院 | Method and apparatus for ion mobility separation using alternating current waveforms |
| WO2017062102A1 (en) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| EP3359960B1 (en) * | 2015-10-07 | 2020-12-23 | Battelle Memorial Institute | Method and apparatus for ion mobility separations utilizing alternating current waveforms |
| JP2019500579A (en) * | 2015-10-07 | 2019-01-10 | バテル メモリアル インスティチュート | Method and apparatus for ion mobility separation using alternating current waveform |
| US10692710B2 (en) | 2017-08-16 | 2020-06-23 | Battelle Memorial Institute | Frequency modulated radio frequency electric field for ion manipulation |
| US10497552B2 (en) | 2017-08-16 | 2019-12-03 | Battelle Memorial Institute | Methods and systems for ion manipulation |
| US10804089B2 (en) | 2017-10-04 | 2020-10-13 | Batelle Memorial Institute | Methods and systems for integrating ion manipulation devices |
| GB2571995A (en) * | 2018-03-16 | 2019-09-18 | Univ Liverpool | Ion Guide |
| US11828724B2 (en) | 2018-03-16 | 2023-11-28 | The University Of Liverpool (Inc. In The Uk) | Ion guide |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002015699A (en) | Ion guide and mass spectrometer using this | |
| JP3791479B2 (en) | Ion guide | |
| CA2607230C (en) | Apparatus and method for providing ions to a mass analyzer | |
| US7550717B1 (en) | Quadrupole FAIMS apparatus | |
| US7112786B2 (en) | Atmospheric pressure ion source high pass ion filter | |
| CA2801914C (en) | Ion guide and electrode for its assembly | |
| US9570281B2 (en) | Ion generation device and ion generation method | |
| US7915580B2 (en) | Electro-dynamic or electro-static lens coupled to a stacked ring ion guide | |
| US20080251712A1 (en) | Measurement of the mobility of mass-selected ions | |
| US20100044557A1 (en) | Partial ovoidal faims electrode | |
| JP2008538646A (en) | Generation of a combination of an RF electric field and an axial DC electric field in an RF single multipole | |
| KR102384936B1 (en) | Dielectric barrier discharge ionization source for spectrometry | |
| CN109155231B (en) | Ion guide device | |
| JP2004014177A (en) | Mass spectrometer | |
| JP4581184B2 (en) | Mass spectrometer | |
| US7365315B2 (en) | Method and apparatus for ionization via interaction with metastable species | |
| JP4415490B2 (en) | Liquid chromatograph mass spectrometer | |
| US4888482A (en) | Atmospheric pressure ionization mass spectrometer | |
| EP2603307B1 (en) | Curtain gas filter for high-flux ion sources | |
| JP4844557B2 (en) | Mass spectrometer | |
| JP2015503745A (en) | Generation of reagent ions for ion-ion reactions | |
| US7989765B2 (en) | Method and apparatus for trapping ions | |
| US7880140B2 (en) | Multipole mass filter having improved mass resolution | |
| JP7294535B2 (en) | ion analyzer | |
| JP2003107054A (en) | Liquid chromatograph-mass spectrograph |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061023 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090327 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090414 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090612 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100916 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101228 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110328 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110405 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110610 |