JP2002014361A - Method and device for manufacturing liquid crystal display panel - Google Patents
Method and device for manufacturing liquid crystal display panelInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルの製
造方法及び装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルは一対の基板間に液晶材
料層を挟持させたものが一般的である。また通常、液晶
材料層を囲繞するシール壁が両基板間に形成される。2. Description of the Related Art In general, a liquid crystal display panel has a liquid crystal material layer sandwiched between a pair of substrates. Usually, a seal wall surrounding the liquid crystal material layer is formed between the two substrates.
【０００３】基板には通常液晶材料層を駆動して画像を
表示させるための電極が設けられており、必要に応じて
配向膜や絶縁膜等が形成される。The substrate is usually provided with electrodes for driving a liquid crystal material layer to display an image, and an alignment film, an insulating film and the like are formed as necessary.
【０００４】このような液晶表示パネルの製造について
は幾つかの方法が提案されている。Several methods have been proposed for manufacturing such a liquid crystal display panel.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、一対の基
板のうち片方にシール壁を形成しておき、該両基板の所
定端部同士を該シール壁及び液晶材料を間にして重ね合
わせ、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材
で両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね
合わせ端部側から順次仮貼り合わせし、さらに両基板の
仮貼り合わせされた部分を加熱部材で本貼り合わせ温度
下に本貼り合わせすることで液晶表示パネルを製造する
方法及び装置を研究している。The inventor of the present invention has formed a seal wall on one of a pair of substrates, and superposed predetermined ends of the two substrates with the seal wall and a liquid crystal material interposed therebetween. The two substrates on which predetermined ends are overlapped are temporarily bonded together sequentially from the overlapping end side of the two substrates while spreading the liquid crystal material between the two substrates with a pressing member, and furthermore, the two substrates are temporarily bonded together. We are researching a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel by performing a final bonding at a final bonding temperature using a heating member.
【０００６】本発明者の研究によると、このように押圧
部材で仮貼り合わせし、加熱部材で本貼り合わせする液
晶表示パネルの製造方法及び装置では、押圧部材による
仮貼り合わせのときに液晶材料に外気が入り込まないよ
うにシール壁から余分な液晶材料をオーバーフローさせ
ながら仮貼り合わせしていくのが好ましい。ところが、
このような仮貼り合わせにおいては、両基板に対する押
圧部材の進行方向における下流側のシール壁の端部ま
で、換言すれば全シール壁にわたって押圧部材を相対移
動させて仮貼り合わせを実施すると、引き続き加熱部材
で本貼り合わせ工程を実施するとき、該シール壁端部近
傍に液晶材料が押し寄せられてシール壁端部に沿って液
晶材料溜まりが発生し、その部分だけ液晶材料が厚くな
ってしまい、液晶溜まりの部分の基板間ギャップ（換言
すれば液晶材料層の厚み）がそれ以外の部分の基板間ギ
ャップより厚い表示パネルが作製される。According to the study of the present inventor, in the method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel in which a temporary bonding is performed by a pressing member and a final bonding is performed by a heating member, the liquid crystal material is temporarily bonded by the pressing member. It is preferable to perform temporary bonding while allowing excess liquid crystal material to overflow from the seal wall so that no outside air enters. However,
In such temporary bonding, when the temporary bonding is performed by relatively moving the pressing member to the end of the sealing wall on the downstream side in the traveling direction of the pressing member with respect to both substrates, in other words, over the entire sealing wall, When performing the main bonding step with the heating member, the liquid crystal material is pushed toward the vicinity of the end of the seal wall, a liquid crystal material pool is generated along the end of the seal wall, and the liquid crystal material is thickened only at that portion. A display panel is manufactured in which the gap between the substrates in the liquid crystal reservoir (in other words, the thickness of the liquid crystal material layer) is larger than the gap between the substrates in the other portions.
【０００７】このような表示パネルにおいては、液晶溜
まり部分の画像表示特性がそれ以外の部分の画像表示特
性と異なってくるため、画像表示ムラ等が生じ易い。In such a display panel, since the image display characteristics of the liquid crystal accumulation portion are different from the image display characteristics of the other portions, image display unevenness and the like are likely to occur.
【０００８】また、押圧部材で仮貼り合わせし、加熱部
材で本貼り合わせする液晶表示パネルの製造方法及び装
置では、各基板に液晶材料層を駆動して画像表示するた
めの、前記シール壁の内側に対応する領域から該シール
壁の外側に対応する領域に至る電極が形成されている場
合、押圧部材による加圧力が該シール壁の外側に対応す
る領域における電極部分にもおよぶことや、加熱部材に
よる加熱（或いは加熱加圧）が該シール壁の外側に対応
する領域における電極部分にもおよぶことに起因して、
該外側の電極部分にクラックが入る等して損傷が生じ易
い。かかるシール壁外側に対応する領域の電極部分は、
各種リード線や液晶駆動素子が接続される部分であるか
ら、かかるクラック発生等の不良状態が生じると画像表
示不良が生じ易くなる。Further, in the method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel, which is temporarily bonded by a pressing member and permanently bonded by a heating member, the sealing wall for driving a liquid crystal material layer on each substrate to display an image. When an electrode is formed from the region corresponding to the inside to the region corresponding to the outside of the seal wall, the pressing force of the pressing member extends to the electrode portion in the region corresponding to the outside of the seal wall, Due to the heating (or heating and pressing) by the member reaching the electrode portion in the area corresponding to the outside of the seal wall,
The outer electrode portion is easily damaged due to cracks or the like. The electrode portion in the region corresponding to the outside of the seal wall is:
Since it is a portion to which various lead wires and a liquid crystal driving element are connected, if a defective state such as crack generation occurs, an image display defect tends to occur.
【０００９】そこで本発明は、第１及び第２の基板間に
液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着し
た液晶表示パネルを、シール壁端部に沿って局部的に基
板間ギャップが他の部分より大きくなるという不都合、
換言すればシール壁端部に沿って局部的に液晶材料層の
厚みが他の部分より大きくなるという不都合を招くこと
なく得ることができ、それだけ良好に画像表示できる液
晶表示パネルを得ることができる液晶表示パネルの製造
方法及び装置を提供することを課題とする。Accordingly, the present invention provides a liquid crystal display panel in which a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer are sandwiched between the first and second substrates. The disadvantage that the gap is larger than the rest,
In other words, it is possible to obtain the liquid crystal display panel which can be obtained without inconvenience that the thickness of the liquid crystal material layer is locally larger along the end portion of the seal wall than the other portions, and a liquid crystal display panel which can display an image accordingly is obtained. It is an object to provide a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel.
【００１０】また本発明は、第１及び第２の基板間に液
晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した
液晶表示パネルを、液晶材料層を駆動して画像表示する
ための、前記シール壁の内側に対応する領域から該シー
ル壁の外側に対応する領域に至る電極が形成されている
場合において、該シール壁外側の電極部分にクラック等
の損傷を発生させることなく得ることができ、それだけ
良好に画像表示できる液晶表示パネルを得ることができ
る液晶表示パネルの製造方法及び装置を提供することを
課題とする。Further, the present invention provides a liquid crystal display panel having a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer sandwiched between the first and second substrates for displaying an image by driving the liquid crystal material layer. In the case where an electrode is formed from a region corresponding to the inside of the seal wall to a region corresponding to the outside of the seal wall, it is possible to obtain the electrode portion outside the seal wall without causing a damage such as a crack. It is therefore an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel which can obtain a liquid crystal display panel capable of displaying images satisfactorily.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は次の液晶表示パネルの製造方法を提供する。す
なわち、第１及び第２の基板間に液晶材料層及び該液晶
材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの製造
方法であり、第１基板及び第２基板のうち少なくとも一
方にシール壁を形成するシール壁形成工程と、第１基板
及び第２基板のうち一方の基板を支持部材に支持させる
工程と、支持部材に支持させた基板に（例えば基板の所
定端部に）液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程と、第
１基板及び第２基板のうち他方の基板の所定端部をシー
ル壁及び液晶材料を間にして前記一方の基板の所定端部
に重ね合わせる端部重ね合わせ工程と、所定端部同士が
重ねあわされた両基板を押圧部材により前記支持部材と
の間で所定の加圧力下に挟着しつつ該両基板に対し該押
圧部材を相対的に移動させることで両基板間に液晶材料
を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基
板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ工程と、両基板
を加熱部材により前記支持部材との間で本貼り合わせ温
度下に挟着しつつ該両基板に対し該加熱部材を相対的に
移動させることで全シール壁にわたって両基板を本貼り
合わせする本貼り合わせ工程とを含み、前記仮貼り合わ
せ工程で用いる押圧部材は、基板に対し相対的に転動可
能の凸曲面からなる基板押圧面を有し、該基板押圧面
は、仮貼り合わせ工程における両基板に対する該押圧部
材の相対的進行方向において下流側に位置する前記シー
ル壁の端部の直前から該押圧部材による加圧力を解放す
べく基板に臨む加圧力解放凹所を含んでいる液晶表示パ
ネルの製造方法である。According to the present invention, there is provided the following method for manufacturing a liquid crystal display panel. That is, this is a method for manufacturing a liquid crystal display panel in which a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer are sandwiched between the first and second substrates. At least one of the first substrate and the second substrate has a seal wall. Forming a seal wall, supporting one of the first substrate and the second substrate on a supporting member, and applying a liquid crystal material to the substrate supported on the supporting member (for example, at a predetermined end of the substrate). A step of applying a liquid crystal material to be applied and an end overlapping step of overlapping a predetermined end of the other of the first substrate and the second substrate with a predetermined end of the one of the substrates with a sealing wall and a liquid crystal material therebetween. By moving the pressing member relatively to the two substrates while holding the two substrates, the predetermined ends of which are overlapped with each other, under a predetermined pressing force with the supporting member by the pressing member. While spreading liquid crystal material between both substrates A temporary bonding step of temporarily bonding the two substrates from the overlapping end side of the substrates, and the two substrates being sandwiched between the supporting member and the supporting member at a final bonding temperature by a heating member. And a main bonding step of main bonding the two substrates over the entire seal wall by relatively moving the heating member, wherein the pressing member used in the temporary bonding step is relatively rolled with respect to the substrate. The substrate pressing surface has a movable convex curved surface, and the substrate pressing surface is located immediately before an end of the seal wall located on the downstream side in the relative advancing direction of the pressing member with respect to both substrates in the temporary bonding process. A method for manufacturing a liquid crystal display panel including a pressing force release recess facing the substrate to release the pressing force from the pressing member.
【００１２】この液晶表示パネルの製造方法によると、
シール壁及び液晶材料を間にして所定端部同士が重ねあ
わされた両基板を押圧部材と支持部材との間に所定の加
圧力下に挟着しつつ該押圧部材を両基板に対し相対的に
移動させることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両
基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせ
していくことができる。引き続き、両基板の仮貼り合わ
せされた部分から本貼り合わせ温度下に加熱部材と支持
部材との間で挟着しつつ該加熱部材を両基板に対し相対
的に移動させることで本貼り合わせし、液晶表示パネル
を得ることができる。According to this method of manufacturing a liquid crystal display panel,
The two substrates, whose predetermined ends are overlapped with each other with the sealing wall and the liquid crystal material interposed therebetween, are sandwiched between the pressing member and the supporting member under a predetermined pressing force, and the pressing member is moved relative to the two substrates. The two substrates can be temporarily bonded together from the overlapping end side of the two substrates while spreading the liquid crystal material between the two substrates. Subsequently, the main bonding is performed by moving the heating member relative to the two substrates while holding the substrate between the temporarily bonded portion and the heating member and the supporting member at the final bonding temperature. Thus, a liquid crystal display panel can be obtained.
【００１３】仮貼り合わせ工程においては、両基板に対
する押圧部材の相対的進行方向において下流側に位置す
るシール壁端部の直前から該押圧部材の基板押圧面にお
ける加圧力解放凹所（第１の加圧力解放凹所）が仮貼り
合わせ中の基板に臨むから、これにより、押圧部材を上
昇させる等の特段の制御の必要なく簡単に該押圧部材に
よる加圧を解除でき、該シール壁端部については仮貼り
合わせをしないでおくことができる。[0013] In the temporary bonding step, the pressing force releasing recesses (the first pressing recesses) on the substrate pressing surface of the pressing member from just before the end of the seal wall located downstream in the direction of relative movement of the pressing member with respect to both substrates. The pressure release recess) faces the substrate that is being temporarily bonded, so that pressurization by the pressing member can be easily released without the need for special control such as raising the pressing member, and the sealing wall end portion can be released. Can be left without temporary bonding.
【００１４】そして、引き続く本貼り合わせ工程におい
ては、加熱部材が両基板に対し相対的に進行するときに
該下流側に位置するシール壁端部へと押し寄せられる傾
向にある液晶材料は、仮貼り合わせがなされなかった該
シール壁端部を越えてオーバーフローできるので、本貼
り合わせ工程において該シール壁端部に沿って液晶溜ま
りが発生することが回避される。In the subsequent main bonding step, the liquid crystal material which tends to be pushed toward the end of the sealing wall located on the downstream side when the heating member advances relative to both substrates is temporarily bonded. Since overflow can occur beyond the end of the seal wall that has not been aligned, it is possible to avoid the occurrence of liquid crystal accumulation along the end of the seal wall in the actual bonding step.
【００１５】かくして、基板間ギャップ（液晶材料層の
厚み）がそれだけ全体的に均一となり、それにより良好
な画像表示が行える液晶表示パネルを得ることができ
る。Thus, the gap between the substrates (the thickness of the liquid crystal material layer) becomes uniform as a whole, whereby a liquid crystal display panel capable of displaying a good image can be obtained.
【００１６】本発明に係る液晶表示パネルの製造方法の
さらに具体例として次の方法を挙げることができる。す
なわち、前記の液晶表示パネルの製造方法において、前
記第１基板及び第２基板のうち一方の基板を支持部材に
支持させる工程では、該支持部材として第１ステージを
採用し、該一方の基板を該第１ステージに位置合わせし
て保持させ、前記液晶材料塗布工程では該第１ステージ
に位置合わせして保持された一方の基板に（例えば基板
の所定端部に）液晶材料を塗布し、前記端部重ね合わせ
工程に先立って、前記第１基板及び第２基板のうち他方
の基板を第１ステージに対し所定の位置関係で配置され
た第２ステージに位置合わせして保持させ、前記端部重
ね合わせ工程では、位置合わせされた一方の基板を保持
した第１ステージ及び位置合わせされた他方の基板を保
持した第２ステージのうち少なくとも一方を動かして両
基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を液
晶材料を間にして重ね合わせ、前記仮貼り合わせ工程で
は、所定端部同士が重ねあわされた両基板を前記押圧部
材により第１ステージとの間に所定の加圧力下に挟着し
つつ該第１ステージに対し該押圧部材を相対的に移動さ
せることで両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の
前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせてい
き、前記本貼り合わせ工程では、両基板を前記加熱部材
により第１ステージとの間に本貼り合わせ温度下に挟着
しつつ該第１ステージに対し該加熱部材を相対的に移動
させることで全シール壁にわたって両基板を本貼り合わ
せする、液晶表示パネルの製造方法である。The following method can be mentioned as a more specific example of the method for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention. That is, in the method of manufacturing a liquid crystal display panel, in the step of supporting one of the first substrate and the second substrate on a supporting member, a first stage is employed as the supporting member, and the one substrate is In the liquid crystal material applying step, a liquid crystal material is applied to one of the substrates (e.g., at a predetermined end of the substrate) that is aligned and held in the first stage, and Prior to the edge overlapping step, the other of the first substrate and the second substrate is positioned and held on a second stage disposed in a predetermined positional relationship with respect to the first stage, and In the overlapping step, at least one of the first stage holding one of the aligned substrates and the second stage holding the other of the aligned substrates is moved so that the two substrates face each other. At the same time, the predetermined ends of the two substrates are overlapped with a liquid crystal material therebetween, and in the temporary bonding step, the two substrates having the predetermined ends overlapped are fixed to the first stage by the pressing member. By moving the pressing member relatively to the first stage while holding the substrate under the pressing force, the liquid crystal material is spread between the two substrates, and the two substrates are temporarily moved from the overlapping end side of the two substrates. In the final bonding step, the heating member is moved relative to the first stage while both substrates are sandwiched between the first stage and the first member at a final bonding temperature. This is a method for manufacturing a liquid crystal display panel in which both substrates are permanently bonded together over the entire seal wall.
【００１７】いずれにしても、前記押圧部材は基板に対
し相対的に転動可能の凸曲面からなる基板押圧面を有す
るものであるが、該押圧部材としては、断面円形の押圧
ローラ（加圧ローラ）、側面視（側面から見ると）扇形
状の押圧ローラ（加圧ローラ）等を例示できる。断面円
形の押圧ローラ（加圧ローラ）にあっては、その外周面
の全部又は一部が基板押圧面とてして用いられる。側面
視扇形状の押圧ローラ（加圧ローラ）にあっては、その
凸曲面の全部又は一部が基板押圧面とてして用いられ
る。In any case, the pressing member has a substrate pressing surface formed of a convex curved surface which can roll relatively to the substrate. The pressing member may be a pressing roller having a circular cross section (a pressing roller). Roller) and a fan-shaped pressing roller (pressure roller) in a side view (when viewed from the side). In a pressing roller (pressure roller) having a circular cross section, all or a part of the outer peripheral surface is used as a substrate pressing surface. In a pressing roller (pressing roller) having a fan shape in a side view, all or a part of the convex curved surface is used as a substrate pressing surface.
【００１８】本発明に係る液晶表示パネルの製造方法に
おいては、前記各基板に液晶材料層を駆動して画像表示
するための、前記シール壁の内側に対応する領域から該
シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成されて
いる場合、前記仮貼り合わせ工程で用いる押圧部材の基
板押圧面は、前記シール壁の外側に対応する領域に位置
する電極部分に対する該押圧部材による加圧力を解放す
べく基板に臨む第２の加圧力解放凹所を含んでいてもよ
い。In the method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, a region corresponding to the inside of the seal wall for driving the liquid crystal material layer on each of the substrates to display an image corresponds to the region outside the seal wall. When the electrode reaching the region to be formed is formed, the substrate pressing surface of the pressing member used in the temporary bonding step releases the pressing force by the pressing member against the electrode portion located in the region corresponding to the outside of the seal wall. A second pressure release recess facing the substrate may be included to facilitate.
【００１９】また、本発明に係る液晶表示パネルの製造
方法においては、前記各基板に液晶材料層を駆動して画
像表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されている場合、前記本貼り合わせ工程で用いる加熱部
材は、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面からなる基
板加熱面を有しており、該基板加熱面は、前記シール壁
の外側に対応する領域に位置する電極部分に対する該加
熱部材による加熱を抑制すべく基板に臨む加熱抑制凹所
を含んでいてもよい。In the method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, a liquid crystal material layer may be driven on each of the substrates to display an image from a region corresponding to the inside of the seal wall to the outside of the seal wall. In the case where an electrode reaching a region corresponding to the substrate is formed, the heating member used in the main bonding step has a substrate heating surface made of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, The heating surface may include a heating suppression recess facing the substrate to suppress heating of the electrode portion located in a region corresponding to the outside of the sealing wall by the heating member.
【００２０】また本発明に係る液晶表示パネルの製造方
法においては、前記シール壁形成工程で、前記仮貼り合
わせ工程において両基板に対する前記押圧部材の相対的
進行方向に複数のシール壁が所定のピッチで配列される
ように該所定の配列ピッチで複数のシール壁を形成して
もよい。このように複数のシール壁を形成するときには
本貼り合わせ工程後に、必要に応じ、シール壁毎に、換
言すればシール壁毎に形成される液晶表示パネル毎に分
断することができる。In the method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, in the seal wall forming step, the plurality of seal walls are provided at a predetermined pitch in a direction in which the pressing member moves relative to both substrates in the temporary bonding step. A plurality of seal walls may be formed at the predetermined arrangement pitch such that the seal walls are arranged in the same manner. When a plurality of seal walls are formed in this manner, the liquid crystal display panel formed for each seal wall, in other words, each liquid crystal display panel formed for each seal wall can be divided after the final bonding step, if necessary.
【００２１】この場合においては、前記仮貼り合わせ工
程で用いる前記押圧部材の基板押圧面の周長（基板の仮
貼り合わせ方向に対応する方向における周長）は該シー
ル壁配列ピッチの整数倍とし、シール壁配列ピッチ分に
対応する各基板押圧面部分に前記第１の加圧力解放凹所
を形成すればよい。In this case, the circumferential length of the pressing surface of the pressing member used in the temporary bonding step (the circumferential length in a direction corresponding to the temporary bonding direction of the substrate) is an integral multiple of the seal wall arrangement pitch. The first pressure release recess may be formed in each substrate pressing surface portion corresponding to the seal wall arrangement pitch.
【００２２】また、この場合においても、前記各基板に
は液晶材料層を駆動して画像表示するための、前記各シ
ール壁の内側に対応する領域から該シール壁の外側に対
応する領域に至る電極が形成されている場合に、前記押
圧部材の基板押圧面に、該各シール壁の外側に対応する
領域に位置する電極部分に対する該押圧部材による加圧
力を解放すべく基板に臨む第２の加圧力解放凹所を含ま
せることができるし、前記本貼り合わせ工程で用いる加
熱部材が、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面からな
る基板加熱面を有しているときには、該基板加熱面に、
該各シール壁の外側に対応する領域に位置する電極部分
に対する該加熱部材による加熱を抑制すべく基板に臨む
加熱抑制凹所を含ませることができる。Also in this case, in each of the substrates, a region corresponding to the inside of each of the sealing walls and a region corresponding to the outside of the sealing walls for driving the liquid crystal material layer to display an image are displayed. When an electrode is formed, a second surface facing the substrate to release a pressing force by the pressing member on an electrode portion located on a region corresponding to the outside of each seal wall on the substrate pressing surface of the pressing member. When the pressurizing release recess can be included, and the heating member used in the main bonding step has a substrate heating surface composed of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, the substrate On the heating surface,
A heating suppression recess facing the substrate may be included to suppress heating of the electrode portion located in a region corresponding to the outside of each sealing wall by the heating member.
【００２３】いずれにしても、押圧部材がシール壁の外
側に対応する領域に位置する電極部分に対する第２の加
圧力解放凹所を有していたり、加熱部材がシール壁の外
側に対応する領域に位置する電極部分に対する加熱抑制
凹所を有していると、該電極部分に不要な加圧力や熱が
加わって該電極部分にクラックが発生する等の損傷を回
避できる。In any case, the pressing member has a second pressing force releasing recess for the electrode portion located in the region corresponding to the outside of the sealing wall, or the heating member has the second pressing force releasing recess in the region corresponding to the outside of the sealing wall. In the case where the electrode portion is provided with a heat suppression recess, an unnecessary pressing force or heat is applied to the electrode portion, so that damage such as cracking of the electrode portion can be avoided.
【００２４】なお、加熱部材の加熱抑制凹所は、押圧部
材における第２の加圧力解放凹所を兼ねていてもよい。
また、前記の両基板に対する押圧部材の相対的進行方向
において下流側に位置するシール壁端部の直前から基板
に臨み始める押圧部材上の前記加圧力解放凹所（第１の
加圧力解放凹所）にかかる第２の加圧力解放凹所が連続
形成されていてもよい。The heating suppression recess of the heating member may also serve as the second pressure release recess in the pressing member.
Further, the pressing force releasing recess (first pressing force releasing recess) on the pressing member which starts to approach the substrate immediately before the end of the seal wall positioned on the downstream side in the direction of relative movement of the pressing member with respect to both substrates. ) May be continuously formed.
【００２５】いずれにしても本発明に係る液晶表示パネ
ルの製造方法では、前記両基板のうち少なくとも一方に
予め樹脂柱を形成しておく工程と、前記両基板のうち少
なくとも一方に予めスペーサを散布付着させておく工程
とをさらに含んでいてもよい。In any case, in the method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, a resin column is formed in advance on at least one of the two substrates, and a spacer is sprayed on at least one of the two substrates in advance. And a step of attaching the same.
【００２６】例えば、第１基板に樹脂柱を形成しておく
工程及び第２基板にスペーサを散布付着させておく工程
をさらに含んでいてもよい。この場合、前記シール壁形
成工程では第２基板にシール壁を形成する場合を例示で
きる。そして、第１基板及び第２基板のうち一方の基板
を支持部材（或いは前記の第１ステージ）に支持させる
工程では、第１基板を前記樹脂柱を設けた面とは反対側
の面で支持部材（或いは第１ステージ）に支持させ、或
いは第２基板をシール壁及びスペーサを設けた面とは反
対側の面で支持部材（或いは第１ステージ）に支持さ、
液晶材料塗布工程では、支持部材（或いは第１ステー
ジ）に支持された第１基板又は第２基板の所定端部に液
晶材料を塗布するとよい。For example, the method may further include a step of forming resin columns on the first substrate and a step of spraying and attaching spacers to the second substrate. In this case, in the seal wall forming step, a case where a seal wall is formed on the second substrate can be exemplified. In the step of supporting one of the first substrate and the second substrate on the supporting member (or the first stage), the first substrate is supported on a surface opposite to the surface on which the resin pillar is provided. The second substrate is supported by a support member (or the first stage), or the second substrate is supported by the support member (or the first stage) on a surface opposite to the surface on which the seal wall and the spacer are provided;
In the liquid crystal material application step, a liquid crystal material may be applied to a predetermined end of the first substrate or the second substrate supported by the support member (or the first stage).
【００２７】このようにスペーサや樹脂柱を採用する場
合、両基板間に挟着される液晶材料層は該スペーサや樹
脂柱を含んだものとなる。When the spacers and the resin columns are employed as described above, the liquid crystal material layer sandwiched between the two substrates includes the spacers and the resin columns.
【００２８】なお、加熱部材による本貼り合わせ工程
は、支持部材と加熱部材とによる両基板挟着が円滑、良
好な本貼り合わせのための加圧力下になされてもよい。The final bonding step using the heating member may be performed under a pressing force for smooth and excellent final bonding between the substrate and the supporting member and the heating member.
【００２９】またいずれにしても、前記貼り合わせ工程
（仮貼り合わせ工程、或いは仮貼り合わせ工程及び本貼
り合わせ工程）を所定の減圧雰囲気下で行ってもよい。
その場合、該減圧雰囲気圧として１３Ｐａ〜４０Ｐａ
（０．１Ｔｏｒｒ〜０．３ Ｔｏｒｒ）程度を例示でき
る。In any case, the bonding step (temporary bonding step or temporary bonding step and final bonding step) may be performed under a predetermined reduced pressure atmosphere.
In this case, the reduced pressure is 13 Pa to 40 Pa.
(0.1 Torr to 0.3 Torr).
【００３０】また、前記の第１及び第２のステージを用
いる液晶表示パネルの製造方法において、第１及び第２
のステージによる第１及び第２の基板の保持は、それに
は限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸
気孔を介して基板を吸引保持する場合を挙げることがで
きる。In the method of manufacturing a liquid crystal display panel using the first and second stages, the first and second
The holding of the first and second substrates by the stage is not limited thereto, but a typical example is a case where the substrate is sucked and held through an intake hole provided in the stage.
【００３１】また、前記の第１ステージ、第２ステージ
における第１及び第２の基板の位置合わせは各種手法で
行える。例えばそれ自体すでに知られている基板やパネ
ルの位置合わせ手法を用いて行える。The positioning of the first and second substrates in the first stage and the second stage can be performed by various methods. For example, it can be performed by using a substrate or panel alignment method which is known per se.
【００３２】位置合わせの方法として次の方法を例示で
きる。The following method can be exemplified as a method of positioning.
【００３３】先ず、第１、第２の基板が精度よく位置合
わせされた状態で後ほどの両基板の所定端部同士の重ね
合わせ、それに続く仮貼り合わせ工程等が実施されるよ
うに位置決めされた合わせマークを第１、第２のそれぞ
れのステージに予め設けておくとともに、第１基板に第
１ステージの合わせマークに合致させるべき合わせマー
クを、第２基板に第２ステージの合わせマークに合致さ
せるべき合わせマークを予め設けておく。そして、
（ａ）各ステージ上に対応する基板を配置し、該ステー
ジと基板の合わせマークを目視観察又はカメラ観察しな
がら該基板を手作業で動かして位置合わせする。或い
は、（ｂ）各ステージ上又はその上方に対応する基板を
配置し、該ステージと基板の合わせマークをカメラ観察
しながら基板をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして位置合わ
せする。ステージ上方に基板を配置して位置合わせする
ときは、位置合わせ後に該基板をステージに載置すれば
よい。First, in a state where the first and second substrates are accurately aligned, the substrates are positioned so that predetermined end portions of both substrates will be superimposed later, and a subsequent temporary bonding step and the like will be performed. An alignment mark is provided in advance on each of the first and second stages, and an alignment mark to be matched with the alignment mark of the first stage on the first substrate is matched with an alignment mark of the second stage on the second substrate. A power alignment mark is provided in advance. And
(A) A corresponding substrate is arranged on each stage, and the substrate is manually moved and aligned while visually observing the alignment mark between the stage and the substrate or using a camera. Alternatively, (b) a corresponding substrate is placed on or above each stage, and the substrate is moved by an XY-θ driving device and aligned while observing an alignment mark between the stage and the substrate with a camera. When positioning and aligning the substrate above the stage, the substrate may be placed on the stage after the alignment.
【００３４】或いは次の方法も例示できる。すなわち、
ステージにＸ−Ｙ−θ駆動が可能である基板保持部を設
けておき、該保持部に予め位置合わせマークを設けた基
板を保持させ、該基板の合わせマークをカメラで観察し
ながら該保持部をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かすことで基
板の位置合わせを行う。この場合基板の位置合わせは、
第１、第２の基板が精度よく位置合わせされた状態で後
ほどの工程が実施されるように行う。Alternatively, the following method can be exemplified. That is,
The stage is provided with a substrate holding portion capable of XY-θ driving, the holding portion holds a substrate provided with a positioning mark in advance, and the holding portion is observed while observing the alignment mark of the substrate with a camera. Is moved by an XY-θ driving device to align the substrate. In this case, the alignment of the substrate
The process is performed so that a later process is performed in a state where the first and second substrates are accurately aligned.
【００３５】いずれにしても、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置によ
る位置合わせは、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を手動操作して行
ってもよいが、カメラで検出されるマーク情報（例えば
その位置情報等）に基づいて基板を位置合わせするよう
にＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御することで行ってもよ
い。後者の場合には基板、パネル等の位置合わせのため
の画像処理法を利用できる。In any case, the positioning by the XY-θ driving device may be performed by manually operating the XY-θ driving device, but the mark information detected by the camera (for example, the position information Etc.) to control the operation of the XY-θ driving device so that the substrate is aligned. In the latter case, an image processing method for positioning a substrate, a panel, or the like can be used.
【００３６】なおＸ−Ｙ−θ駆動装置は、言うまでもな
く、物体を方向Ｘ、これに垂直な方向Ｙに動かすととも
にＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周りに回動させることができ
る装置である。It is needless to say that the XY-θ driving device is a device capable of moving an object in a direction X, a direction Y perpendicular thereto, and rotating the object about an axis perpendicular to the XY plane. .
【００３７】前記位置合わせマークは液晶マーク、エレ
クトロルミネッセンスマーク等として通電等により発光
するものとしてもよい。また、ダミー電極等により発光
させるものでもよい。The alignment mark may be a liquid crystal mark, an electroluminescence mark, or the like, which emits light when energized. Further, light may be emitted by a dummy electrode or the like.
【００３８】本発明は前記課題を解決するため次の液晶
表示パネルの製造装置も提供する。すなわち、第１及び
第２の基板間に液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシ
ール壁を挟着した液晶表示パネルの製造装置であり、少
なくとも一方に前記シール壁が形成された第１基板及び
第２基板のうち一方を保持する第１ステージと、該一方
の基板を第１ステージ上に位置合わせするための手段
と、該第１基板及び第２基板のうち他方の基板を保持す
る第２ステージであって第１ステージに対し所定の位置
関係に配置された第２ステージと、該他方の基板を第２
ステージ上に位置合わせするための手段と、第１ステー
ジに位置合わせして保持される基板に（例えば基板の所
定端部に）液晶材料を塗布する液晶材料塗布装置と、第
１及び第２のステージ上にそれぞれ位置合わせされて保
持される前記基板を対向させるとともに該両基板の所定
端部同士を前記液晶材料塗布装置により塗布された液晶
材料を間にして重ね合わせるように第１及び第２のステ
ージを相対的に移動させる第１駆動装置と、所定端部同
士が重ね合わされた両基板を所定の加圧力下に第１ステ
ージとの間に挟着可能に配置された押圧部材と、両基板
が押圧部材により第１ステージとの間に所定の加圧力下
に挟着された状態で、両基板間に液晶材料を押し広げつ
つ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合
わせしていくように第１ステージに対し該押圧部材を相
対的に移動させる第２駆動装置と、両基板を第１ステー
ジとの間に本貼り合わせ温度下に挟着しつつ第１ステー
ジに対して相対的に移動可能の加熱部材と、を備えてお
り、前記押圧部材は、基板に対し相対的に転動可能の凸
曲面からなる基板押圧面を有し、該基板押圧面は、前記
両基板の仮貼り合わせにおいて第１ステージに対する該
押圧部材の相対的進行方向において下流側に位置する前
記シール壁の端部の直前から該押圧部材による加圧力を
解放すべく基板に臨む加圧力解放凹所（第１の加圧力解
放凹所）を含んでいる液晶表示パネルの製造装置であ
る。The present invention also provides the following apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel to solve the above problems. That is, the present invention is an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel in which a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer are sandwiched between first and second substrates, and wherein at least one of the first substrate and the seal wall is formed. A first stage for holding one of the second substrates, a means for aligning the one substrate on the first stage, and a second stage for holding the other of the first substrate and the second substrate A second stage, which is arranged in a predetermined positional relationship with respect to the first stage;
Means for positioning on a stage, a liquid crystal material coating apparatus for coating a liquid crystal material on a substrate (for example, at a predetermined end of the substrate) held on the first stage, and first and second The first and second substrates are positioned such that the substrates, which are respectively aligned and held on a stage, are opposed to each other, and predetermined ends of the two substrates are overlapped with a liquid crystal material applied by the liquid crystal material application device therebetween. A first driving device for relatively moving the stage, a pressing member disposed so as to be able to sandwich the two substrates having predetermined ends overlapped with the first stage under a predetermined pressing force, In a state where the substrate is sandwiched between the first stage and the first stage by the pressing member under a predetermined pressing force, the two substrates are temporarily bonded from the overlapping end side of the two substrates while spreading the liquid crystal material between the two substrates. Like to match A second driving device that relatively moves the pressing member with respect to the first stage, and relatively moves with respect to the first stage while clamping both substrates between the first stage and the first stage at a temperature for final bonding; And a pressing member, wherein the pressing member has a substrate pressing surface formed of a convex curved surface that can be rolled relatively to the substrate, and the substrate pressing surface is temporarily bonded to the two substrates. A pressing force releasing recess facing the substrate to release the pressing force of the pressing member from just before the end of the seal wall positioned downstream in the direction of relative movement of the pressing member with respect to the first stage (first This is an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel including a pressure release recess.
【００３９】この製造装置によると、第１基板を第１ス
テージに、第２基板を第２ステージに位置合わせ手段に
より位置合わせして保持させる。According to this manufacturing apparatus, the first substrate is positioned and held on the first stage, and the second substrate is positioned and held on the second stage by the positioning means.
【００４０】液晶材料塗布装置により第１ステージに位
置合わせして保持される第１基板の所定端部に液晶材料
を塗布する。A liquid crystal material is applied to a predetermined end of the first substrate which is held in alignment with the first stage by a liquid crystal material application device.
【００４１】しかるのち、第１駆動装置により第１及び
第２のステージを相対的に移動させて第１及び第２のス
テージ上にそれぞれ位置合わせされて保持された第１及
び第２の基板を対向させるとともに該両基板の所定端部
同士を液晶材料を間にして重ね合わせる。Thereafter, the first and second stages are relatively moved by the first driving device, and the first and second substrates, which are respectively positioned and held on the first and second stages, are moved. The substrates are made to face each other and predetermined ends of the substrates are overlapped with a liquid crystal material therebetween.
【００４２】さらに、両基板を押圧部材と第１ステージ
との間に所定の加圧力下に挟着しつつ第２駆動装置によ
り第１ステージに対し押圧部材を相対的に移動させて
（換言すれば第１ステージを押圧部材に対し相対的に移
動させて）両基板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の
前記重ね合わせ端部側から両基板を仮貼り合わせしてい
く。Further, the pressing member is moved relative to the first stage by the second driving device while holding both substrates between the pressing member and the first stage under a predetermined pressing force (in other words, in other words, For example, the first stage is relatively moved with respect to the pressing member), and the substrates are temporarily bonded from the overlapping end side of the substrates while spreading the liquid crystal material between the substrates.
【００４３】このとき両基板に対する押圧部材の相対的
進行方向において下流側に位置するシール壁端部の直前
から該押圧部材の基板押圧面における加圧力解放凹所
（第１の加圧力解放凹所）が仮貼り合わせ中の基板に臨
む。これにより、簡単に該押圧部材による加圧を解除で
き、該シール壁端部については仮貼り合わせをしないで
おくことができる。At this time, the pressing force releasing recess (first pressing force releasing recess) on the substrate pressing surface of the pressing member immediately before the end of the seal wall located downstream in the direction of relative movement of the pressing member with respect to both substrates. ) Faces the temporarily bonded substrate. Thereby, the pressurization by the pressing member can be easily released, and the end of the seal wall can not be temporarily bonded.
【００４４】そして、引き続く本貼り合わせ工程におい
ては、加熱部材が両基板に対し相対的に進行するときに
該下流側に位置するシール壁端部へと押し寄せられる傾
向にある液晶材料は、仮貼り合わせがなされなかった該
シール壁端部を越えてオーバーフローできるので、本貼
り合わせ工程において該シール壁端部に沿って液晶溜ま
りが発生することが回避される。In the subsequent main bonding step, the liquid crystal material which tends to be pushed toward the end of the seal wall located on the downstream side when the heating member advances relative to both substrates is temporarily bonded. Since overflow can occur beyond the end of the seal wall that has not been aligned, it is possible to avoid the occurrence of liquid crystal accumulation along the end of the seal wall in the actual bonding step.
【００４５】かくして、基板間ギャップ（液晶材料層の
厚み）がそれだけ全体的に均一となり、それにより良好
な画像表示が行える液晶表示パネルを得ることができ
る。Thus, the gap between the substrates (the thickness of the liquid crystal material layer) becomes uniform as a whole, whereby a liquid crystal display panel capable of displaying a good image can be obtained.
【００４６】この装置においても、前記押圧部材は基板
に対し相対的に転動可能の凸曲面からなる基板押圧面を
有するものであるが、該押圧部材としては、断面円形の
押圧ローラ（加圧ローラ）、側面視（側面から見ると）
円弧形状の押圧ローラ（加圧ローラ）等を例示できる。Also in this apparatus, the pressing member has a substrate pressing surface formed of a convex curved surface which can be rolled relatively to the substrate, and the pressing member includes a pressing roller having a circular cross section (a pressing roller). Roller), side view (when viewed from the side)
An arc-shaped pressing roller (pressure roller) can be exemplified.
【００４７】本発明に係る液晶表示パネルの製造装置に
おいては、前記各基板に液晶材料層を駆動して画像表示
するための、前記シール壁の内側に対応する領域から該
シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成されて
いる場合、前記押圧部材の基板押圧面に、前記シール壁
の外側に対応する領域に位置する電極部分に対する該押
圧部材による加圧力を解放すべく基板に臨む第２の加圧
力解放凹所を含ませてもよい。In the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, a region corresponding to the inside of the seal wall and a region corresponding to the outside of the seal wall for driving the liquid crystal material layer on each substrate to display an image. When the electrode reaching the area to be formed is formed, the substrate pressing surface of the pressing member faces the substrate to release the pressing force by the pressing member on the electrode portion located in the area corresponding to the outside of the seal wall. Two pressure release recesses may be included.
【００４８】また、本発明に係る液晶表示パネルの製造
装置においては、前記各基板に液晶材料層を駆動して画
像表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されている場合、前記加熱部材は、基板に対し相対的に
転動可能の凸曲面からなる基板加熱面を有するものと
し、該基板加熱面に、前記シール壁の外側に対応する領
域に位置する電極部分に対する該加熱部材による加熱を
抑制すべく基板に臨む加熱抑制凹所を含ませてもよい。In the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, a region corresponding to the inside of the seal wall for driving the liquid crystal material layer on each of the substrates to display an image may be used. In the case where the electrode reaching the region corresponding to the substrate is formed, the heating member has a substrate heating surface composed of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, and the sealing wall is provided on the substrate heating surface. May be included to suppress heating of the electrode portion located in a region corresponding to the outside of the substrate by the heating member.
【００４９】また本発明に係る液晶表示パネルの製造装
置においては、前記シール壁が両基板の仮貼り合わせに
おける該両基板に対する前記押圧部材の相対的進行方向
に複数所定ピッチで配列されるように前記基板に複数形
成されている場合、前記押圧部材の基板押圧面の周長
（基板仮貼り合わせ方向に対応する方向における周長）
は該シール壁配列ピッチの整数倍とし、シール壁配列ピ
ッチ分に対応する各基板押圧面部分に加圧力解放凹所
（第１の加圧力解放凹所）を含ませるとよい。Further, in the liquid crystal display panel manufacturing apparatus according to the present invention, the seal walls are arranged at a plurality of predetermined pitches in the direction in which the pressing member moves relative to the two substrates in the temporary bonding of the two substrates. In the case where a plurality of substrates are formed, the peripheral length of the substrate pressing surface of the pressing member (the peripheral length in a direction corresponding to the substrate temporary bonding direction).
Is preferably an integral multiple of the seal wall arrangement pitch, and a pressure release recess (first pressure release recess) may be included in each substrate pressing surface portion corresponding to the seal wall arrangement pitch.
【００５０】また、この場合においても、前記各基板に
は液晶材料層を駆動して画像表示するための、前記各シ
ール壁の内側に対応する領域から該シール壁の外側に対
応する領域に至る電極が形成されている場合に、前記押
圧部材の基板押圧面に、該各シール壁の外側に対応する
領域に位置する電極部分に対する該押圧部材による加圧
力を解放すべく基板に臨む第２の加圧力解放凹所を含ま
せることができるし、前記本貼り合わせ工程で用いる加
熱部材が、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面からな
る基板加熱面を有しているときには、該基板加熱面に、
該各シール壁の外側に対応する領域に位置する電極部分
に対する該加熱部材による加熱を抑制すべく基板に臨む
加熱抑制凹所を含ませることができる。Also, in this case, the area from the area corresponding to the inside of each seal wall to the area corresponding to the outside of the seal wall for driving the liquid crystal material layer on each of the substrates to display an image. When an electrode is formed, a second surface facing the substrate to release a pressing force by the pressing member on an electrode portion located on a region corresponding to the outside of each seal wall on the substrate pressing surface of the pressing member. When the pressurizing release recess can be included, and the heating member used in the main bonding step has a substrate heating surface composed of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, the substrate On the heating surface,
A heating suppression recess facing the substrate may be included to suppress heating of the electrode portion located in a region corresponding to the outside of each sealing wall by the heating member.
【００５１】本発明に係る液晶表示パネルの製造装置は
前記の第１及び第２のステージは基板保持のための装置
を含んでいる。かかる保持装置としては、それには限定
されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接
続される基板吸着のための吸気孔を挙げることができ
る。In the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention, the first and second stages include an apparatus for holding a substrate. Examples of such a holding device include, but are not limited to, a suction hole provided on a stage and connected to an exhaust device for sucking a substrate.
【００５２】また、各基板を対応するステージに位置合
わせする手段としては次のものを例示できる。 （ａ’）第１、第２の基板が精度よく位置合わせされた
状態で後ほどの両基板の端部重ね合わせ、仮貼り合わせ
及び本貼り合わせがなされるように位置決めされて設け
られた第１、第２の各ステージ上の合わせマーク。The following can be exemplified as means for aligning each substrate with the corresponding stage. (A ') A first substrate provided so as to be positioned so that the end portions of the two substrates will be later overlapped, temporarily bonded, and finally bonded in a state where the first and second substrates are accurately positioned. , Alignment marks on each second stage.
【００５３】かかる合わせマークを利用して前記表示パ
ネル製造方法の位置合わせ方法例（ａ）で述べたように
各ステージに基板を位置合わせできる。 （ｂ’）（ａ’）で述べた各ステージ上の合わせマーク
と、ステージ上又はその上方で該ステージで保持される
べき基板を前記表示パネル製造方法の位置合わせ方法例
（ｂ）で述べたように位置合わせするための合わせマー
ク検出カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置、或いはさらにカ
メラからの合わせマーク情報（例えばその位置情報）に
基づき基板を位置合わせするようにＸ−Ｙ−θ駆動装置
動作を制御する制御部とを含む位置合わせ装置。By using such alignment marks, the substrate can be aligned with each stage as described in the example of the alignment method (a) of the display panel manufacturing method. (B ′) The alignment mark on each stage described in (a ′) and the substrate to be held by the stage on or above the stage are described in the alignment method example (b) of the display panel manufacturing method. Mark detection camera and XY-θ driving device for position alignment, or XY-θ driving device to further position the substrate based on alignment mark information (for example, the position information) from the camera. And a control unit for controlling the operation.
【００５４】また次の位置合わせ装置も例示できる。す
なわち、ステージに設けられた基板保持部、該保持部を
駆動するＸ−Ｙ−θ駆動装置、保持部に保持された基板
の合わせマークを検出するカメラ、及び該カメラからの
合わせマーク情報に基づいて基板を位置合わせするよう
にＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部を含む位置
合わせ装置である。The following positioning apparatus can also be exemplified. That is, based on a substrate holding unit provided on a stage, an XY-θ driving device for driving the holding unit, a camera for detecting a registration mark of the substrate held on the holding unit, and a registration mark information from the camera. And a control unit that controls the operation of the XY-θ driving device so that the substrate is aligned with the substrate.
【００５５】前記の第１駆動装置と第２駆動装置は一部
が共通に構成されていてもよい。一方が他方の一部であ
ってもよい。The first driving device and the second driving device may be partially configured in common. One may be a part of the other.
【００５６】いずれにしても、本発明に係る製造装置
は、両基板の貼り合わせを所定の減圧雰囲気下で行うた
めの減圧室を備えていてもよい。その場合、該減圧雰囲
気圧として１３Ｐａ〜４０Ｐａ（０．１Ｔｏｒｒ〜０．
３ Ｔｏｒｒ）程度を例示できる。In any case, the manufacturing apparatus according to the present invention may include a decompression chamber for bonding the two substrates under a predetermined decompression atmosphere. In this case, the reduced pressure is 13 Pa to 40 Pa (0.1 Torr to 0.1 Pa).
3 Torr).
【００５７】[0057]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
説明する。Embodiments of the present invention will be described below.
【００５８】図１（Ａ）は製造しようとする反射型液晶
表示パネルの１例の概略断面図である。FIG. 1A is a schematic sectional view of an example of a reflection type liquid crystal display panel to be manufactured.
【００５９】この液晶表示パネルＡは対向する一対の透
明基板Ｓ１、Ｓ２間に定められた色で画像表示するため
の液晶材料層ＬＣを挟着したものである。The liquid crystal display panel A has a liquid crystal material layer LC for displaying an image in a predetermined color sandwiched between a pair of opposed transparent substrates S1 and S2.
【００６０】各基板Ｓ１、Ｓ２には液晶材料層ＬＣに対
向する面にそれぞれ電極Ｔ１、Ｔ２が形成されている。
電極Ｔ１は細い帯状の電極であり、基板Ｓ１にその長手
方向α（図１（Ｂ）参照）に平行に複数本形成されてい
る。電極Ｔ２も細い帯状の電極であり、基板Ｓ２にその
短手方向βに、従って電極Ｔ１に直交する方向に平行に
複数本形成されている。Electrodes T1 and T2 are formed on the substrates S1 and S2, respectively, on the surface facing the liquid crystal material layer LC.
The electrode T1 is a thin band-shaped electrode, and a plurality of electrodes T1 are formed on the substrate S1 in parallel with the longitudinal direction α (see FIG. 1B). The electrode T2 is also a thin band-shaped electrode, and a plurality of electrodes T2 are formed on the substrate S2 in parallel with the short direction β, that is, in the direction orthogonal to the electrode T1.
【００６１】各基板Ｓ１、Ｓ２にはさらに、絶縁膜ＩＳ
及び配向膜Ｆも形成されている。Each of the substrates S1 and S2 is further provided with an insulating film IS.
Also, an alignment film F is formed.
【００６２】液晶材料層ＬＣにはスペーサＳＰ及び樹脂
柱ＲＣが含まれている。スペーサＳＰは両基板間隙を所
定のものに維持するためのものであり、樹脂柱ＲＣは、
それには限定されないがここでは、両基板間隙を所定の
ものに維持するとともに両基板を互いに結合するもので
ある。The liquid crystal material layer LC includes a spacer SP and a resin pillar RC. The spacer SP is for maintaining a predetermined gap between both substrates, and the resin pillar RC is
In this case, the gap between the two substrates is maintained at a predetermined value, and the two substrates are connected to each other.
【００６３】また液晶材料層ＬＣを囲繞して両基板周縁
部間隙を閉じるシール壁ＳＬも設けられている。A seal wall SL surrounding the liquid crystal material layer LC and closing the gap between the peripheral portions of both substrates is also provided.
【００６４】それには限定されないが、例えば樹脂柱Ｒ
Ｃは熱可塑性樹脂で形成し、シール壁ＳＬは熱硬化性樹
脂で形成する。Although not limited thereto, for example, the resin pillar R
C is formed of a thermoplastic resin, and the seal wall SL is formed of a thermosetting resin.
【００６５】より具体的には、それには限定されないが
ここでは、樹脂柱ＲＣはポリウレタン樹脂で形成され、
シール壁ＳＬはエポキシ樹脂で形成される。More specifically, but not exclusively, here, the resin column RC is formed of polyurethane resin,
The seal wall SL is formed of an epoxy resin.
【００６６】この反射型液晶表示パネルＡは例えば次の
ように製造できる。 (1) 予め電極Ｔ１、絶縁膜ＩＳ及び配向膜Ｆを形成した
ポリカーボネート製の透明基板Ｓ１の片面に前記のシー
ル壁ＳＬを形成するとともに該シール壁ＳＬの内側領域
にスペーサＳＰを散布付着させる。図２（Ａ）は基板Ｓ
１上の電極Ｔ１とシール壁ＳＬとの相互位置関係を示し
ている。電極Ｔ１はシール壁ＳＬの内側領域から外側領
域まで延在している。The reflection type liquid crystal display panel A can be manufactured, for example, as follows. (1) The seal wall SL is formed on one surface of a transparent substrate S1 made of polycarbonate on which the electrode T1, the insulating film IS, and the alignment film F have been formed in advance, and the spacer SP is dispersed and adhered to the inner region of the seal wall SL. FIG. 2A shows the substrate S
1 shows a mutual positional relationship between the upper electrode T1 and the seal wall SL. The electrode T1 extends from the inner region to the outer region of the seal wall SL.
【００６７】また、予め電極Ｔ２、絶縁膜ＩＳ及び配向
膜Ｆを形成したポリカーボネート製の透明基板Ｓ２の片
面に樹脂柱ＲＣを形成する。図２（Ｂ）は基板Ｓ２上の
電極Ｔ２と両基板Ｓ１、Ｓ２が貼り合わせされたときの
シール壁ＳＬとの相互位置関係を示している。電極Ｔ２
はシール壁ＳＬの内側領域から外側領域まで延在する。
シール壁ＳＬの外側領域の電極部分Ｔ１’、Ｔ２’は
図示を省略した液晶駆動素子等の接続に用いられる。A resin column RC is formed on one surface of a polycarbonate transparent substrate S2 on which an electrode T2, an insulating film IS and an alignment film F have been formed in advance. FIG. 2B shows a mutual positional relationship between the electrode T2 on the substrate S2 and the sealing wall SL when the two substrates S1 and S2 are bonded together. Electrode T2
Extends from the inner region to the outer region of the seal wall SL.
The electrode portions T1 'and T2' in the outer region of the seal wall SL are used for connecting a liquid crystal drive element or the like (not shown).
【００６８】樹脂柱ＲＣやシール壁ＳＬは所定の高さよ
り若干高く形成しておく。シール壁ＳＬにもスペーサＳ
Ｐを混入しておいてもよい。また基板Ｓ１の反対側の外
面には黒色の光吸収層ＢＫを形成しておく。The resin column RC and the sealing wall SL are formed slightly higher than predetermined heights. Spacer S on seal wall SL
P may be mixed. A black light absorbing layer BK is formed on the outer surface on the opposite side of the substrate S1.
【００６９】樹脂柱ＲＣは個々に独立形成されていても
よいが、部分的あるいは全体的に連続していてもよい。
樹脂柱ＲＣの形状としては断面円形、多角形等の柱や、
壁状に延在する柱等種々採用できる。 (2) 基板Ｓ１の予めシール壁ＳＬを設けた面の端部（こ
こではシール壁ＳＬの端部ＳＬａに沿ったその内側部位
ＬＰ）に液晶材料Ｌを塗布する（図３（Ａ）も参照）。 (3) 基板Ｓ２をその樹脂柱ＲＣを設けた面を基板Ｓ１に
向けて両基板Ｓ１、Ｓ２の端部同士を液晶材料Ｌを間に
して重ね合わせる。The resin columns RC may be formed independently of each other, or may be partially or wholly continuous.
As the shape of the resin pillar RC, a pillar having a circular cross section, a polygon, or the like,
Various pillars extending in a wall shape can be employed. (2) The liquid crystal material L is applied to the end of the surface of the substrate S1 on which the seal wall SL is provided in advance (here, the inner portion LP along the end SLa of the seal wall SL) (see also FIG. 3A). ). (3) The substrate S2 is overlapped with the liquid crystal material L in between the ends of the substrates S1 and S2 with the surface on which the resin pillar RC is provided facing the substrate S1.
【００７０】なお、基板Ｓ２の予め樹脂柱ＲＣを設けた
面の端部に液晶材料Ｌを塗布し、基板Ｓ１をそのシール
壁ＳＬを設けた面を基板Ｓ２に向けて両基板Ｓ２、Ｓ１
の端部同士を液晶材料Ｌを間にして重ね合わせてもよ
い。 (4) 両基板Ｓ１、Ｓ２を押圧部材とそれに対向する支持
部材を用いて両側から順次挟着しつつ、両基板間に液晶
材料Ｌを押し広げながらシール壁ＳＬにて両基板を仮貼
り合わせしていく。図３（Ａ）及び（Ｂ) はその１例を
示している。図３においてＲ１は押圧部材、ＳＰＴは板
状の支持部材である。図３に示す例では押圧部材Ｒ１は
定位置にあり、支持部材ＳＰＴが矢印γ方向に駆動され
る。A liquid crystal material L is applied to the end of the surface of the substrate S2 on which the resin pillars RC are provided in advance, and the substrate S1 is turned with the surface on which the sealing wall SL is provided facing the substrate S2.
May be overlapped with the liquid crystal material L therebetween. (4) While both substrates S1 and S2 are sequentially sandwiched from both sides using a pressing member and a supporting member opposed thereto, while the liquid crystal material L is being spread between the two substrates, the two substrates are temporarily bonded together at the seal wall SL. I will do it. FIGS. 3A and 3B show one example. In FIG. 3, R1 is a pressing member, and SPT is a plate-like supporting member. In the example shown in FIG. 3, the pressing member R1 is at a fixed position, and the support member SPT is driven in the direction of arrow γ.
【００７１】この両基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせにお
いては、第１基板Ｓ１のシール壁ＳＬのうち押圧部材Ｒ
１に対する基板進行方向γにおいて最上流側の（換言す
れば両基板に対する押圧部材Ｒ１の相対的進行方向にお
いて最下流側の）貼り合わせ終端部ＳＬｂの手前（直
前）からシール壁ＳＬの外側の電極部分Ｔ１’までに対
し押圧部材Ｒ１による加圧力を解放する。また、シール
壁ＳＬの外側の電極Ｔ２’に対しても押圧部材Ｒ１によ
る加圧力を解放する。In the temporary bonding of the two substrates S1 and S2, the pressing member R of the seal wall SL of the first substrate S1 is used.
The electrode on the most upstream side in the substrate traveling direction γ with respect to the substrate 1 (in other words, the most downstream side in the traveling direction of the pressing member R1 relative to both substrates) from (before) the bonding end portion SLb to the electrode outside the sealing wall SL. The pressing force by the pressing member R1 is released up to the portion T1 '. Also, the pressing force by the pressing member R1 is released to the electrode T2 ′ outside the seal wall SL.
【００７２】この加圧力の解放は押圧部材Ｒ１それ自身
によってなされる。すなわち、押圧部材Ｒ１は、図４
（Ｃ）に示すように断面円形の押圧ローラ（加圧ロー
ラ）Ｒ１である。その周面Ｒ１ｓが基板に接触回転する
基板押圧面となっており、該基板押圧面に第１の加圧力
解放凹所ｒｓ１、これに連続する第２の加圧力解放凹所
ｒｓ２、さらにもう一つの第２の加圧力解放凹所ｒｓ
２’が形成されている。The pressing force is released by the pressing member R1 itself. That is, the pressing member R1 is provided as shown in FIG.
As shown in (C), the pressing roller (pressure roller) R1 has a circular cross section. The peripheral surface R1s is a substrate pressing surface that rotates in contact with the substrate. The substrate pressing surface has a first pressing force releasing recess rs1, a second pressing force releasing recess rs2 continuous with the first pressing force releasing recess rs2, and another one. Two second pressure release recesses rs
2 'is formed.
【００７３】基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせ工程におい
ては、両基板に対する押圧ローラＲ１の相対的進行方向
において下流側に位置するシール壁端部ＳＬｂの直前か
ら該押圧ローラの第１の加圧力解放凹所ｒｓ１を仮貼り
合わせ中の基板に臨ませ、引き続き第２の加圧力解放凹
所ｒｓ２を基板に臨ませる。また仮貼り合わせ中、第２
の加圧力解放凹所ｒｓ２’も基板に臨ませる。In the temporary bonding step of the substrates S1 and S2, the first pressing force release of the pressing roller R1 is started immediately before the seal wall end SLb located on the downstream side in the direction of relative movement of the pressing roller R1 with respect to both substrates. The recess rs1 faces the substrate that is being temporarily bonded, and the second pressing force releasing recess rs2 continues to face the substrate. Also, during the temporary bonding, the second
The pressure release recess rs2 ′ of the above also faces the substrate.
【００７４】これら凹所部分で簡単に押圧ローラＲ１に
よる加圧を解除できる。すなわち、第１の加圧解放凹所
ｒｓ１により、シール壁端部ＳＬｂについては仮貼り合
わせをしないでおくことができる。また、シール壁ＳＬ
の外側領域における電極部分Ｔ１’、Ｔ２’に対する加
圧も、これらに第２の加圧力解放凹所ｒｓ２、ｒｓ２’
を臨ませることで回避でき、該電極部分のクラック入り
等の不都合を回避できる。なお、換言すれば、加圧力解
放凹所ｒｓ１、ｒｓ２、ｒｓ２’はそのように設けてあ
る。The pressurization by the pressing roller R1 can be easily released at these concave portions. That is, the first pressure release recess rs1 makes it possible to keep the sealing wall end SLb from being temporarily bonded. Also, seal wall SL
Of the electrode portions T1 ′, T2 ′ in the outer region of the second pressing force release recesses rs2, rs2 ′.
And the inconvenience such as cracking of the electrode portion can be avoided. In other words, the pressing force release recesses rs1, rs2, rs2 'are provided as such.
【００７５】なお押圧部材としては、図４（Ｂ）に例示
するような側面視扇形状の押圧ローラＲ１’等も採用で
きる。その凸曲面を基板押圧面として、そこに加圧力解
放凹所ｒｓ１、ｒｓ２、ｒｓ２’を形成すればよい。 (5) 引き続き両基板を本貼り合わせ温度下に両側から所
定の本貼り合わせ加圧下に順次挟着していき、両基板を
本貼り合わせする。この本貼り合わせではシール壁ＳＬ
は硬化するとともに基板に接着し、樹脂柱ＲＣは基板に
融着し、且つ、シール壁及び樹脂柱は両基板間隔を所定
の間隔とする高さに押圧調整される。この本貼り合わせ
工程例を図３（Ｂ）、図３（Ｃ）に示す。As the pressing member, a pressing roller R1 'having a fan shape in a side view as exemplified in FIG. 4B can be employed. The convex curved surface may be used as the substrate pressing surface, and the pressure release recesses rs1, rs2, rs2 'may be formed there. (5) Subsequently, the two substrates are successively sandwiched from both sides under a predetermined bonding pressure under the final bonding temperature, and the both substrates are finally bonded. In this book bonding, seal wall SL
Is cured and adhered to the substrate, the resin column RC is fused to the substrate, and the seal wall and the resin column are adjusted to be pressed to a height at which the distance between the substrates is a predetermined distance. FIGS. 3B and 3C show an example of this main bonding step.
【００７６】この本貼り合わせ工程では、例えばヒータ
７１を内蔵した定位置の加熱部材ＨＲ１を用いる。この
部材ＨＲ１が両基板Ｓ１、Ｓ２に対し相対的に進行する
ときにおける下流側に位置するシール壁端部ＳＬｂへと
押し寄せられる傾向にある液晶材料Ｌは、仮貼り合わせ
がなされなかった該シール壁端部を越えてオーバーフロ
ーできるので、本貼り合わせ工程において該シール壁端
部に沿って液晶溜まりが発生することが回避される。In this bonding step, for example, a fixed-position heating member HR1 incorporating a heater 71 is used. When the member HR1 advances relative to the substrates S1 and S2, the liquid crystal material L that tends to be pushed toward the seal wall end SLb located on the downstream side is not subjected to the temporary bonding. Since overflow can occur beyond the end, the occurrence of liquid crystal accumulation along the end of the seal wall in the main bonding step is avoided.
【００７７】また、本貼り合わせ工程では、シール壁Ｓ
Ｌの外側の電極部分Ｔ１’、Ｔ２’に対する加熱部材Ｈ
Ｒ１による加熱を抑制し、該電極部分の加熱によるクラ
ック入り等の損傷を避ける。In the final bonding step, the sealing wall S
Heating member H for electrode portions T1 ', T2' outside L
Heating by R1 is suppressed, and damage such as cracking due to heating of the electrode portion is avoided.
【００７８】この加熱抑制は加熱部材ＨＲ１それ自身に
よってなされる。すなわち、加熱部材ＨＲ１は、ここで
は図４（Ｃ）に示すように前記のヒータ７１を内蔵した
断面円形の加熱加圧ローラである。その周面ＨＲ１ｓが
基板加熱加圧面となっており、該基板加熱加圧面に、シ
ール壁外側の電極部分Ｔ１’、Ｔ２’に臨むべき加熱抑
制凹所ｈｒｓ１、ｈｒｓ２が形成されている。This heating suppression is performed by the heating member HR1 itself. That is, here, the heating member HR1 is a heating / pressing roller having a circular section in which the heater 71 is built as shown in FIG. 4C. The peripheral surface HR1s is a substrate heating / pressing surface, and the heating / pressing recesses hrs1, hrs2 facing the electrode portions T1 ′, T2 ′ outside the seal wall are formed on the substrate heating / pressing surface.
【００７９】基板Ｓ１、Ｓ２の本貼り合わせ工程におい
ては、これら凹所を電極部分Ｔ１’、Ｔ２’に対応する
基板面部分に臨ませる。これにより、簡単に加熱加圧ロ
ーラＨＲ１による加熱を抑制して、該電極部分の熱によ
るクラック入り等の損傷を回避できる。なお、換言すれ
ば、加熱抑制凹所ｈｒｓ１、ｈｒｓ２はそのように設け
てある。In the actual bonding step of the substrates S1 and S2, these recesses are made to face the substrate surface portions corresponding to the electrode portions T1 'and T2'. This makes it possible to easily suppress the heating by the heating / pressurizing roller HR1 and avoid damage such as cracking due to the heat of the electrode portion. In other words, the heat suppression recesses hrs1 and hrs2 are provided as such.
【００８０】このようにして反射型液晶表示パネルＡが
得られる。Thus, the reflection type liquid crystal display panel A is obtained.
【００８１】図５はかかる液晶表示パネルＡの製造に用
いることができる液晶表示パネル製造装置例の概略構成
を示している。FIG. 5 shows a schematic configuration of an example of a liquid crystal display panel manufacturing apparatus which can be used for manufacturing such a liquid crystal display panel A.
【００８２】図５に示す装置は、第１基板Ｓ１を保持す
るための第１ステージ１００、第２基板Ｓ２を保持する
ための、第１ステージ１００に対し所定の位置関係を維
持している第２ステージ２００、第１ステージ１００に
第１基板Ｓ１を位置合わせする位置合わせ装置４００、
第２ステージ２００に第２基板Ｓ２を位置合わせする位
置合わせ装置５００、第１ステージ１００に保持される
第１基板Ｓ１に液晶材料Ｌを配置する液晶材料塗布装置
１０００、第１及び第２ステージ１００、２００に保持
される第１及び第２の基板Ｓ１、Ｓ２を対向させるとと
もに両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部同士を重ね合わせるよ
うに第１及び第２ステージ１００、２００を相対的に移
動させる第１駆動装置（ステージ１００の駆動装置３１
０とステージ２００の駆動装置３２０の組み合わせ）、
該重ね合わされる第１及び第２の基板Ｓ１、Ｓ２の端部
を第１ステージ１００との間に挟着できる押圧ローラＲ
１（既述の押圧ローラＲ１）、押圧ローラＲ１にて両基
板Ｓ１、Ｓ２が押圧される第１ステージ１００を駆動す
る第２駆動装置３１０、両基板Ｓ１、Ｓ２を第１ステー
ジ１００の移動に伴って加熱しつつ加圧する加熱加圧ロ
ーラＨＲ１（既述の加熱加圧ローラＨＲ１）、ステージ
１００、２００に保持される基板Ｓ１、Ｓ２の周囲気雰
囲気圧を所定の減圧状態に設定するための減圧室８及び
これに接続された排気装置９を備えている。The apparatus shown in FIG. 5 has a first stage 100 for holding the first substrate S1 and a second stage for holding the second substrate S2, which maintains a predetermined positional relationship with the first stage 100. A two-stage 200, a positioning device 400 for positioning the first substrate S1 on the first stage 100,
Positioning device 500 for positioning second substrate S2 on second stage 200, liquid crystal material coating device 1000 for disposing liquid crystal material L on first substrate S1 held on first stage 100, first and second stages 100 , 200, the first and second substrates S1, S2 are opposed to each other, and the first and second stages 100, 200 are relatively moved so that predetermined ends of the substrates S1, S2 are overlapped with each other. The first driving device (the driving device 31 of the stage 100)
0 and the driving device 320 of the stage 200),
A pressing roller R capable of sandwiching the ends of the superposed first and second substrates S1 and S2 between the first and second substrates S1 and S2.
1 (the above-described pressing roller R1), the second driving device 310 that drives the first stage 100 on which the two substrates S1 and S2 are pressed by the pressing roller R1, and the two substrates S1 and S2 are used to move the first stage 100. A heating / pressing roller HR1 (the above-described heating / pressing roller HR1) for pressurizing while heating, and for setting the ambient atmospheric pressure of the substrates S1 and S2 held on the stages 100 and 200 to a predetermined reduced pressure state. A decompression chamber 8 and an exhaust device 9 connected thereto are provided.
【００８３】第２駆動装置３１０は、押圧ローラＲ１に
よる基板加圧状態を維持しつつ、且つ、第２基板Ｓ２を
第２ステージ２００から引出しつつ第１ステージ１００
上で両基板Ｓ１、Ｓ２を順次仮貼り合わせしていくよう
に、押圧ローラＲ１及び第２ステージ２００に対し第１
ステージ１００を相対的に移動させるものである。The second driving device 310 keeps the substrate pressed by the pressing roller R 1, and pulls out the second substrate S 2 from the second stage 200.
The first and second substrates S1 and S2 are firstly stuck to the pressing roller R1 and the second stage 200 so as to be temporarily bonded together.
The stage 100 is relatively moved.
【００８４】第２駆動装置３１０は第１駆動装置（第１
ステージの駆動装置３１０及び第２ステージの駆動装置
３２０）の一部でもある。The second driving device 310 is a first driving device (first driving device).
It is also a part of the stage driving device 310 and the second stage driving device 320).
【００８５】第１及び第２ステージ１００、２００は第
１及び第２吸着テーブル１０１、２０１、基板保持のた
めの基板保持装置１１０、２１０をそれぞれ含んでい
る。The first and second stages 100 and 200 include first and second suction tables 101 and 201 and substrate holding devices 110 and 210 for holding substrates, respectively.
【００８６】第１及び第２吸着テーブル１０１、２０１
には基板Ｓ１、Ｓ２を保持する領域に基板吸着のための
吸気孔１０１ａ、２０１ａがそれぞれ所定の間隔をおい
て複数設けられている。First and second suction tables 101 and 201
Are provided with a plurality of suction holes 101a and 201a for holding the substrates S1 and S2 at predetermined intervals in a region for holding the substrates.
【００８７】基板保持装置１１０、２１０はかかる吸気
孔１０１ａ、２０１ａのほか、吸着テーブルにおける排
気室１１１、２１１、フレキシブルチューブ１１２、２
１２、排気装置１１３、２１３を含んでいる。排気装置
１１３、２１３はチューブ１１２、２１２の一端部に、
チューブ１１２、２１２の他端部は排気室１１１、２１
１にそれぞれ接続されており、排気室１１１、２１１は
吸着テーブル１０１、２０１の吸気孔１０１ａ、２０１
ａにそれぞれ連通している。かくして排気装置１１３、
２１３の運転により、空気が吸気孔１０１ａ、２０１ａ
から排気室１１１、２１１、チューブ１１２、２１２を
通ってそれぞれ排気される。The substrate holding devices 110 and 210 include, in addition to the suction holes 101a and 201a, the exhaust chambers 111 and 211, the flexible tubes 112 and
12. Exhaust devices 113 and 213 are included. The exhaust devices 113 and 213 are provided at one end of the tubes 112 and 212,
The other ends of the tubes 112 and 212 are connected to the exhaust chambers 111 and 21 respectively.
1 and the exhaust chambers 111 and 211 are connected to the suction holes 101a and 201 of the suction tables 101 and 201, respectively.
a. Thus, the exhaust device 113,
213 causes air to flow through the intake holes 101a and 201a.
The air is exhausted through the exhaust chambers 111 and 211 and the tubes 112 and 212, respectively.
【００８８】第１ステージ１００の駆動装置３１０は、
それには限定されないが、ガイドレール３１１に沿って
設けたラックギア３１１ａに第１ステージ１００に設け
たピニオンギア３１３を噛み合わさせ、このピニオンギ
ア３１３を第１ステージ１００に搭載したモータ３１２
で往復回転させるものである。第１ステージ１００は駆
動装置３１０によりガイドレール３１１に沿って移動
し、基板位置合わせ位置Ｑ１、液晶材料塗布位置Ｑ２、
基板仮貼り合わせ開始位置Ｑ３又は基板本貼り合わせ開
始位置Ｑ４等に配置される。この移動にあたっては、第
１ステージ１００に設けたスライダ１０２がガイドレー
ル３１１に沿って摺動する。The driving device 310 of the first stage 100
Although not limited thereto, a pinion gear 313 provided on the first stage 100 is meshed with a rack gear 311a provided along the guide rail 311 and a motor 312 mounted on the first stage 100
To reciprocate. The first stage 100 is moved along the guide rail 311 by the driving device 310, and the substrate alignment position Q1, the liquid crystal material application position Q2,
It is arranged at the substrate temporary bonding start position Q3 or the main substrate bonding start position Q4. During this movement, the slider 102 provided on the first stage 100 slides along the guide rail 311.
【００８９】第２ステージ２００の駆動装置３２０は、
第２ステージ支持アーム３２１とこれを駆動する回転駆
動部３２２を含んでいる。The driving device 320 of the second stage 200
It includes a second stage support arm 321 and a rotation drive section 322 that drives the second stage support arm 321.
【００９０】第２ステージ支持アーム３２１は、一端部
で回転駆動部３２２の軸３２２ａに支持されており、他
端部で第２ステージ２００に連結されている。回転駆動
部３２２は定位置に配置されており、軸３２２ａを所定
のタイミングで所定方向（図中Ａ方向）又は反対方向
（図中Ｂ方向）に回動できる。かくして、回転駆動部３
２２の駆動による軸３２２ａの回動により支持アーム３
２１及び第２ステージ２００が所定のタイミングでＡ方
向又はＢ方向に旋回される。The second stage support arm 321 is supported at one end by the shaft 322a of the rotary drive 322, and is connected to the second stage 200 at the other end. The rotation drive unit 322 is arranged at a fixed position, and can rotate the shaft 322a in a predetermined direction (direction A in the drawing) or in the opposite direction (direction B in the drawing) at a predetermined timing. Thus, the rotation drive unit 3
The rotation of the shaft 322a by the driving of the
The 21 and the second stage 200 are turned in the A direction or the B direction at a predetermined timing.
【００９１】押圧ローラＲ１は図示を省略したローラ昇
降装置により昇降可能であり、所定のタイミングで基板
仮貼り合わせ開始位置Ｑ３に位置する第１及び第２基板
Ｓ１、Ｓ２を第１ステージ１００へ所定加圧力下に押圧
する押圧位置Ｐ１又は位置Ｐ１から上方へ退避する退避
位置Ｐ２に配置される。The pressing roller R1 can be moved up and down by a roller lifting device (not shown), and the first and second substrates S1 and S2 located at the substrate temporary bonding start position Q3 are moved to the first stage 100 at a predetermined timing. It is arranged at a pressing position P1 for pressing under a pressing force or a retreat position P2 retreating upward from the position P1.
【００９２】加熱加圧ローラＨＲ１は加熱装置７１を内
蔵している。加熱加圧ローラＨＲ１は図示を省略した昇
降駆動装置により昇降可能であり、所定のタイミングで
基板本貼り合わせ開始位置Ｑ４に位置する第１及び第２
基板Ｓ１、Ｓ２を第１ステージ１００へ所定加圧力下
に、所定温度に加熱しつつ押圧する押圧位置Ｐ５又は位
置Ｐ５から上方へ退避する退避位置Ｐ６に配置される。The heating / pressurizing roller HR1 has a built-in heating device 71. The heating / pressurizing roller HR1 can be moved up and down by an elevating drive device (not shown), and the first and second rollers located at the substrate actual bonding start position Q4 at a predetermined timing.
The substrates S1 and S2 are disposed at a pressing position P5 where the substrates S1 and S2 are pressed to the first stage 100 while being heated to a predetermined temperature while being heated to a predetermined temperature, or a retreat position P6 where the substrates S1 and S2 are retracted upward from the position P5.
【００９３】液晶材料塗布装置１０００は、液晶材料塗
布位置Ｑ２の上方に配置されており、図示を省略した昇
降駆動装置により昇降可能である。所定のタイミングで
第１基板Ｓ１に液晶材料Ｌを供給するための液晶材料供
給位置Ｐ３又は位置Ｐ３から上方へ退避する退避位置Ｐ
４に配置される。The liquid crystal material coating device 1000 is disposed above the liquid crystal material coating position Q2, and can be moved up and down by a lifting drive device (not shown). A liquid crystal material supply position P3 for supplying the liquid crystal material L to the first substrate S1 at a predetermined timing or a retract position P retracted upward from the position P3.
4.
【００９４】この液晶材料塗布装置１０００によると、
図示を省略した昇降駆動装置にて所定のタイミングで液
晶材料供給位置Ｐ３に配置して液晶材料Ｌを放出するこ
とで、液晶材料塗布位置Ｑ２に位置する基板Ｓ１の所定
一端部に液晶材料Ｌを配置できる。According to the liquid crystal material coating apparatus 1000,
The liquid crystal material L is discharged to the liquid crystal material supply position P3 at a predetermined timing by a lifting / lowering drive device (not shown) so that the liquid crystal material L is applied to a predetermined end of the substrate S1 located at the liquid crystal material application position Q2. Can be placed.
【００９５】位置合わせ装置４００は、基板位置合わせ
位置Ｑ１の上方に配置されている。The positioning device 400 is disposed above the substrate positioning position Q1.
【００９６】この位置合わせ装置４００は２台のカメラ
４１０（ここではＣＣＤカメラ）、ステージ１００に組
み込まれたＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１及び制御部４３０を
含んでいる。ステージ１００における吸着テーブル１０
１はＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１によりＸ−Ｙ−θ駆動可能
である。The positioning device 400 includes two cameras 410 (here, a CCD camera), an XY-θ driving device D1 incorporated in the stage 100, and a control unit 430. Suction table 10 in stage 100
1 can be driven XY-θ by an XY-θ driving device D1.
【００９７】図５に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４
３０に接続されており、ステージ１００の吸着テーブル
１０１に保持された基板Ｓ１に予め形成された合わせマ
ークを観察し、そのマーク情報を制御部４３０に送るこ
とができる。The CCD camera 410 shown in FIG.
30, the alignment mark formed on the substrate S <b> 1 held on the suction table 101 of the stage 100 can be observed, and the mark information can be sent to the control unit 430.
【００９８】制御部４３０はカメラ４１０からのマーク
情報に基づき、基板Ｓ１を所定位置に位置合わせするよ
うにＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１の動作を制御する。The control section 430 controls the operation of the XY-θ driving device D1 based on the mark information from the camera 410 so as to align the substrate S1 at a predetermined position.
【００９９】位置合わせ装置５００は、第２ステージ２
００の上方に配置されている。The positioning device 500 includes the second stage 2
It is located above the 00.
【０１００】この位置合わせ装置５００も２台のカメラ
５１０（ここではＣＣＤカメラ）、ステージ２００に組
み込まれたＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２及び制御部５３０を
含んでいる。ステージ２００における吸着テーブル２０
１はＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２によりＸ−Ｙ−θ駆動可能
である。The positioning device 500 also includes two cameras 510 (here, a CCD camera), an XY-θ driving device D2 incorporated in the stage 200, and a control unit 530. Suction table 20 in stage 200
1 can be driven XY-θ by an XY-θ driving device D2.
【０１０１】図５に示すＣＣＤカメラ５１０は制御部５
３０に接続されており、ステージ２００の吸着テーブル
２０１に保持された基板Ｓ２に予め形成された合わせマ
ークを観察し、そのマーク情報を制御部５３０に送るこ
とができる。The CCD camera 510 shown in FIG.
30, the alignment mark formed on the substrate S2 held on the suction table 201 of the stage 200 can be observed, and the mark information can be sent to the control unit 530.
【０１０２】制御部５３０はカメラ５１０からのマーク
情報に基づき、基板Ｓ２を所定位置に位置合わせするよ
うにＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２の動作を制御する。The control section 530 controls the operation of the XY-θ driving device D2 based on the mark information from the camera 510 so as to align the substrate S2 at a predetermined position.
【０１０３】位置合わせ装置５００におけるカメラ５１
０は、基板Ｓ２の位置合わせ時以外は第２ステージ２０
０の旋回を許すように図示を省略した装置により上昇退
避している。Camera 51 in Positioning Device 500
0 is the second stage 20 except when aligning the substrate S2.
The device is lifted and retracted by a device (not shown) so as to allow a zero turn.
【０１０４】ステージ１００、２００上での基板Ｓ１、
Ｓ２の位置合わせは、後ほどの両基板Ｓ１、Ｓ２の所定
端部同士の重ね合わせ、押圧ローラＲ１による両基板の
仮貼り合わせ及び加熱加圧ローラＨＲ１による両基板の
本貼り合わせが、両基板が精度よく位置合わせされた状
態でなされるように行われる。The substrates S1 on the stages 100 and 200
Positioning of S2 is performed by later overlapping predetermined ends of both substrates S1 and S2, temporarily bonding both substrates by pressing roller R1, and finally bonding both substrates by heating and pressing roller HR1. This is performed so that the alignment is performed with high accuracy.
【０１０５】なお、減圧室８は基板Ｓ１、Ｓ２を出入す
るための図示を省略した気密ドアを有している。The decompression chamber 8 has an airtight door (not shown) for entering and exiting the substrates S1 and S2.
【０１０６】次にかかる装置による図１に示すタイプの
反射型液晶表示パネルＡの製造の一例を図６から図８を
参照しながら説明する。Next, an example of the production of a reflection type liquid crystal display panel A of the type shown in FIG. 1 by such an apparatus will be described with reference to FIGS.
【０１０７】図６は図５に示す液晶表示パネル製造装置
による液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から
（３）を説明するための図であり、図７は図６に示す工
程の続きの工程（４）から（６）を説明するための図で
あり、図８は図７に示す工程の続きの工程（７）から
（９）を説明するための図である。FIG. 6 is a view for explaining a part (1) to (3) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process by the liquid crystal display panel manufacturing apparatus shown in FIG. 5, and FIG. 7 is a diagram showing the process shown in FIG. FIG. 8 is a view for explaining steps (4) to (6) subsequent to the step shown in FIG. 8, and FIG. 8 is a view for explaining steps (7) to (9) subsequent to the step shown in FIG.
【０１０８】なお、図６から図８では、簡略化のため一
部の部品については図示を省略してある。また、押圧ロ
ーラＲ１における加圧力解放凹所及び加熱加圧ローラＨ
Ｒ１における加熱抑制凹所についても図示を省略してあ
る。In FIGS. 6 to 8, some parts are not shown for simplicity. Further, the pressing force releasing recess in the pressing roller R1 and the heating / pressing roller H
The illustration of the heating suppression recess in R1 is also omitted.
【０１０９】図１に示す液晶表示パネルＡを製造するに
あたり、電極Ｔ１、絶縁膜ＩＳ及び配向膜Ｆを予め形成
した基板Ｓ１を準備するとともに、電極Ｔ２、絶縁膜Ｉ
Ｓ及び配向膜Ｆを予め形成した基板Ｓ２を準備する。In manufacturing the liquid crystal display panel A shown in FIG. 1, a substrate S1 on which an electrode T1, an insulating film IS and an alignment film F are formed in advance is prepared, and an electrode T2 and an insulating film I are prepared.
A substrate S2 on which S and an alignment film F are formed in advance is prepared.
【０１１０】さらに、第１基板Ｓ１にスペーサＳＰを散
布付着させるとともに前記のシール壁ＳＬを形成し、第
２基板Ｓ２に前記の樹脂柱ＲＣを形成する。そして、 （１）第１基板Ｓ１をスペーサＳＰ及びシール壁ＳＬを
設けた面とは反対側の面で第１ステージ１００に吸着保
持させる。また第２基板Ｓ２を樹脂柱ＲＣを設けた面と
は反対側の面で第２ステージ２００に吸着保持させる。Further, the spacers SP are formed on the first substrate S1 by scattering, and the sealing walls SL are formed, and the resin columns RC are formed on the second substrate S2. (1) The first substrate S1 is suction-held on the first stage 100 on the surface opposite to the surface on which the spacer SP and the seal wall SL are provided. Also, the second substrate S2 is suction-held on the second stage 200 on the surface opposite to the surface on which the resin columns RC are provided.
【０１１１】さらに第１ステージ１００に保持された基
板Ｓ１を位置合わせ装置４００にて位置合わせするとと
もに第２ステージ２００に保持された基板Ｓ２を位置合
わせ装置５００にて位置合わせする。位置合わせ後、装
置５００におけるカメラ５１０は上昇させておく。Further, the substrate S1 held on the first stage 100 is positioned by the positioning device 400, and the substrate S2 held on the second stage 200 is positioned by the positioning device 500. After the alignment, the camera 510 in the device 500 is raised.
【０１１２】また、減圧室８内を排気装置９の運転にて
減圧し、それには限定されないが、ここでは１３Ｐａ〜
４０Ｐａ（略０．１Ｔｏｒｒ〜０．３Ｔｏｒｒ）に設定
する。これは後述する両基板の貼り合わせにおいて液晶
材料Ｌから脱気するためである。 （２）ステージ１００の駆動装置３１０により第１基板
Ｓ１を吸着保持している第１ステージ１００を基板Ｓ１
の所定端部が液晶材料塗布装置１０００の下方に来る位
置、すなわち液晶材料塗布位置Ｑ２まで移動させ、液晶
材料塗布装置１０００を材料供給位置Ｐ３に降下させ
る。そして基板Ｓ１の所定一端部に液晶材料Ｌを所定量
配置する。このとき、塗布装置１０００は液晶材料Ｌを
基板Ｓ１の端部に基板幅方向にわたりライン状に塗布す
る（図２（Ａ）参照）。 （３）液晶材料塗布装置１０００を上昇させて位置Ｐ３
から退避位置Ｐ４に退避させ、ステージ駆動装置３１０
により第１基板Ｓ１を吸着保持している第１ステージ１
００を、基板Ｓ１の液晶材料が塗布された端部が押圧ロ
ーラＲ１の下方に来る位置、すなわち基板仮貼り合わせ
開始位置Ｑ３に移動させる。 （４）第２基板Ｓ２を吸着保持している第２ステージ２
００をステージ駆動装置３２０にてＡ方向に旋回させ、
両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部が押圧ローラＲ１の下方に
来る位置まで移動させることで、両基板Ｓ１、Ｓ２を対
向させるとともに両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部同士を重
ね合わせる。なお、この時点では、基板Ｓ２の端部は必
ずしも基板Ｓ１上の液晶材料Ｌに接触する必要はない。
該液晶材料Ｌの直近上方にあってもよい。 （５）押圧ローラＲ１を基板押圧位置Ｐ１に降下させ、
両基板Ｓ１、Ｓ２の重ね合わされた端部を第１ステージ
１００へ所定の加圧力下に押圧する。 （６）そのあと、ステージ駆動装置３１０により第１ス
テージ１００を第２ステージ２００及び押圧ローラＲ１
に対し相対的に移動させることで、すなわち押圧ローラ
Ｒ１を第１及び第２基板Ｓ１、Ｓ２介在状態で第１ステ
ージ１００に対し相対的に従動回転させることで、押圧
ローラＲ１による基板加圧状態を維持しつつ、且つ、第
２基板Ｓ２を第２ステージ２００から引出しつつ、さら
に両基板間に液晶材料Ｌを押し広げつつ、第１ステージ
１００上で両基板を順次仮貼り合わせしていく。The pressure in the decompression chamber 8 is reduced by the operation of the exhaust device 9, and the pressure is not limited to 13 Pa.
The pressure is set to 40 Pa (approximately 0.1 Torr to 0.3 Torr). This is for degassing from the liquid crystal material L at the time of bonding both substrates described later. (2) The first stage 100 holding the first substrate S1 by suction by the driving device 310 of the stage 100 is moved to the substrate S1.
Is moved to a position where the predetermined end of the liquid crystal material application device 1000 comes below the liquid crystal material application device 1000, that is, the liquid crystal material application position Q2, and the liquid crystal material application device 1000 is lowered to the material supply position P3. Then, a predetermined amount of the liquid crystal material L is arranged at a predetermined one end of the substrate S1. At this time, the coating apparatus 1000 applies the liquid crystal material L to the end of the substrate S1 in a line shape over the substrate width direction (see FIG. 2A). (3) The liquid crystal material coating device 1000 is raised to the position P3.
From the stage driving device 310 to the retreat position P4.
Stage 1 that holds first substrate S1 by suction
00 is moved to a position where the end of the substrate S1 coated with the liquid crystal material is below the pressing roller R1, that is, a substrate temporary bonding start position Q3. (4) The second stage 2 holding the second substrate S2 by suction
00 is rotated in the direction A by the stage driving device 320,
By moving the predetermined ends of the two substrates S1 and S2 to positions below the pressing roller R1, the two substrates S1 and S2 are opposed to each other and the predetermined ends of the two substrates S1 and S2 are overlapped. At this point, the end of the substrate S2 does not necessarily need to contact the liquid crystal material L on the substrate S1.
It may be located immediately above the liquid crystal material L. (5) Lower the pressing roller R1 to the substrate pressing position P1,
The overlapped ends of the substrates S1 and S2 are pressed against the first stage 100 under a predetermined pressure. (6) Then, the first stage 100 is moved by the stage driving device 310 to the second stage 200 and the pressing roller R1.
, That is, the pressing roller R1 is relatively driven to rotate with respect to the first stage 100 with the first and second substrates S1 and S2 interposed therebetween, so that the substrate is pressed by the pressing roller R1. Are maintained, and while the second substrate S2 is pulled out from the second stage 200 and the liquid crystal material L is further spread between the two substrates, the two substrates are sequentially temporarily bonded on the first stage 100.
【０１１３】引き続き、両基板Ｓ１、Ｓ２を加熱加圧ロ
ーラＨＲ１下に通過させる。加熱加圧ローラＨＲ１は基
板到来に先立って内蔵ヒータ７１で加熱されている。そ
して仮貼り合わせされた基板の前記シール壁ＳＬのうち
基板進行方向γにおいて最下流側の部分ＳＬａ（図１
（Ｂ）参照）が設けられている基板部位が到来するタイ
ミングで押圧位置Ｐ５へ下降せしめられ、これにより該
基板部位で加熱加圧ローラＨＲ１と第１ステージ１００
による所定の加圧力下の挟着が開始される。ステージ１
００の移動に伴い引き続き基板が進行することで、該基
板Ｓ１、Ｓ２は所定の温度に加熱されながら本貼り合わ
せされていく。この本貼り合わせ温度による加熱により
シール壁ＳＬ及び樹脂柱ＲＣが基板に接着するととも
に、それらの高さが両基板間隔を所定のものにするよう
に押圧調整される。 （７）そして、シール壁終端部ＳＬｂの手前からシール
壁外の電極部分Ｔ１’までに対し押圧ローラＲ１上の加
圧力解放凹所ｒｓ１、ｒｓ２を臨ませて押圧ローラＲ１
による加圧力を加えないようにする。また、シール壁外
の電極部分Ｔ２’についても押圧ローラＲ１上の加圧力
解放凹所ｒｓ２’を臨ませて押圧ローラＲ１による加圧
力を加えないようにする。Subsequently, both substrates S1 and S2 are passed under the heating and pressing roller HR1. The heating / pressurizing roller HR1 is heated by the built-in heater 71 prior to the arrival of the substrate. Then, a portion SLa on the most downstream side in the substrate traveling direction γ of the seal wall SL of the temporarily bonded substrate (FIG.
(B) is lowered to the pressing position P5 at the timing when the substrate portion provided with () is reached, whereby the heating and pressing roller HR1 and the first stage 100 are moved to the substrate portion.
Is started under a predetermined pressure. Stage 1
As the substrates continue to advance with the movement of 00, the substrates S1 and S2 are bonded together while being heated to a predetermined temperature. The sealing wall SL and the resin pillar RC are adhered to the substrate by the heating at the final bonding temperature, and the height thereof is adjusted so as to make the distance between the two substrates predetermined. (7) Then, the pressing force releasing recesses rs1 and rs2 on the pressing roller R1 face the portion from just before the sealing wall end portion SLb to the electrode portion T1 'outside the sealing wall, and press the pressing roller R1.
Not to apply pressure. Also, the pressing force releasing recess rs2 'on the pressing roller R1 is exposed to the electrode portion T2' outside the sealing wall so that the pressing force by the pressing roller R1 is not applied.
【０１１４】さらに、シール壁外側の電極部分Ｔ１’、
Ｔ２’に対して、加熱加圧ローラＨＲ１の加熱抑制凹所
ｈｒｓ１、ｈｒｓ２を臨ませて該電極部分の加熱を低減
する。Further, the electrode portion T1 'outside the seal wall,
With respect to T2 ', the heating suppression recesses hrs1 and hrs2 of the heating and pressing roller HR1 are exposed to reduce the heating of the electrode portion.
【０１１５】このようにして仮貼り合わせが終了する
と、押圧ローラＲ１は退避位置Ｐ２へ退避せしめられ、
本貼り合わせが終了すると、加熱加圧ローラＨＲ１は退
避位置Ｐ６へ退避せしめられる。 （９）その後は第１ステージ１００、２００による基板
保持を解除する。また、第２ステージ２００をＢ方向に
旋回させ、当初位置へ復帰させる。When the temporary bonding is completed in this way, the pressing roller R1 is retracted to the retreat position P2,
When this bonding is completed, the heating / pressurizing roller HR1 is retracted to the retracted position P6. (9) After that, the substrate holding by the first stages 100 and 200 is released. Further, the second stage 200 is turned in the direction B to return to the initial position.
【０１１６】かくして反射型液晶表示パネルＡが得られ
る。Thus, the reflection type liquid crystal display panel A is obtained.
【０１１７】以上説明した装置による液晶表示パネルＡ
の製造によると、両基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせにお
いては、第１ステージ１００に対する押圧ローラＲ１の
相対的進行方向において下流側に位置するシール壁端部
ＳＬｂの直前から押圧ローラＲ１による加圧が解除され
るので、引き続く本貼り合わせにおいては、加熱加圧ロ
ーラＨＲ１が第１ステージ１００に対し相対的に進行す
ることで該下流側に位置するシール壁端部ＳＬｂへと押
し寄せられる傾向にある液晶材料Ｌが、仮貼り合わせが
なされなかった該シール壁端部ＳＬｂを越えてオーバー
フローできる。これにより、本貼り合わせにおいて該シ
ール壁端部ＳＬｂに沿って液晶溜まりが発生することが
回避される。かくして、基板間ギャップ（液晶材料層の
厚み）がそれだけ全体的に均一で、それにより良好な画
像表示が行える画像表示パネルＡを作製できる。The liquid crystal display panel A using the device described above
According to the manufacturing method, in the temporary bonding of the two substrates S1 and S2, the pressing by the pressing roller R1 is performed immediately before the seal wall end SLb located on the downstream side in the direction of relative movement of the pressing roller R1 with respect to the first stage 100. Is released, in the subsequent actual bonding, the heating and pressing roller HR1 tends to be pushed toward the seal wall end SLb located on the downstream side by advancing relatively to the first stage 100. The liquid crystal material L can overflow beyond the seal wall end SLb where the temporary bonding has not been performed. This prevents the liquid crystal pool from being generated along the seal wall end SLb in the actual bonding. Thus, the image display panel A in which the inter-substrate gap (the thickness of the liquid crystal material layer) is uniform as a whole and thereby can display a good image can be manufactured.
【０１１８】また、シール壁外側の電極部分Ｔ１’、Ｔ
２’には押圧ローラＲ１による加圧力が加えられず、加
熱加圧ローラＨＲ１による加熱が抑制されるので、該電
極部分の損傷が回避される。The electrode portions T1 ', T1 outside the seal wall
Since no pressure is applied to 2 ′ by the pressing roller R1, and the heating by the heating and pressing roller HR1 is suppressed, damage to the electrode portion is avoided.
【０１１９】以上説明した液晶表示パネルの製造では、
一つの液晶表示パネルＡを製造したが、同様の工程で複
数の液晶表示パネルＡを製造してもよい。In the manufacture of the liquid crystal display panel described above,
Although one liquid crystal display panel A is manufactured, a plurality of liquid crystal display panels A may be manufactured in a similar process.
【０１２０】例えば図９に示すように、基板として複数
のパネルＡに対応する大きい面積の基板Ｓ１’、Ｓ２’
を採用する。また、押圧ローラとして大きいサイズの押
圧ローラＲ２を、加熱加圧ローラとして大きいサイズの
加熱加圧ローラＨＲ２を採用する。図１０（Ａ）に押圧
ローラＲ２の展開図を示す。図１０（Ｂ）に加熱加圧ロ
ーラＨＲ２の展開図を示す。For example, as shown in FIG. 9, large substrates S1 'and S2' corresponding to a plurality of panels A are used as substrates.
Is adopted. Also, a large-sized pressing roller R2 is used as the pressing roller, and a large-sized heating and pressing roller HR2 is used as the heating and pressing roller. FIG. 10A is a development view of the pressing roller R2. FIG. 10B is a development view of the heating and pressing roller HR2.
【０１２１】そして、図９（Ａ）に示すように、シール
壁形成工程では、後の基板仮貼り合わせ工程において両
基板Ｓ１’、Ｓ２’に対する押圧ローラＲ２の相対的進
行方向に複数のシール壁ＳＬが所定のピッチｐｔで配列
されるように、基板Ｓ１’に該所定の配列ピッチｐｔで
複数のシール壁ＳＬを形成する。図９（Ａ）に示すよう
に、後の基板仮貼り合わせ工程において両基板Ｓ１’、
Ｓ２’に対する押圧ローラＲ２の相対的進行方向に直交
する方向にも複数のシール壁ＳＬを形成してもよい。Then, as shown in FIG. 9A, in the seal wall forming step, a plurality of seal walls are formed in the relative advancing direction of the pressing roller R2 with respect to both substrates S1 ′ and S2 ′ in the subsequent substrate temporary bonding step. A plurality of seal walls SL are formed on the substrate S1 'at the predetermined arrangement pitch pt such that the SLs are arranged at the predetermined pitch pt. As shown in FIG. 9A, both substrates S1 ′,
A plurality of seal walls SL may be formed in a direction perpendicular to the direction in which the pressing roller R2 moves relative to S2 ′.
【０１２２】勿論、基板Ｓ１’には該シール壁の形成に
先立ち、前記のピッチｐｔと同ピッチで電極Ｔ１を形成
し、必要に応じ該電極上に絶縁膜や配向膜を形成してお
く。また各シール壁ＳＬの内側領域には必要に応じスペ
ーサＳＰを散布付着させる。基板Ｓ２’にも、図９
（Ｂ）に示すように、各シール壁に対応する部分に同ピ
ッチｐｔで電極Ｔ２を形成し、必要に応じ該電極上に絶
縁膜や配向膜を形成しておく。また各シール壁ＳＬの内
側に対応する領域には必要に応じ樹脂柱ＲＣを形成して
おく。Of course, prior to the formation of the sealing wall, an electrode T1 is formed on the substrate S1 'at the same pitch as the above-mentioned pitch pt, and an insulating film or an alignment film is formed on the electrode if necessary. Spacers SP are dispersed and attached to the inner region of each seal wall SL as necessary. FIG. 9 also shows the substrate S2 '
As shown in (B), electrodes T2 are formed at the same pitch pt in portions corresponding to the respective seal walls, and an insulating film and an alignment film are formed on the electrodes as necessary. In addition, a resin column RC is formed in a region corresponding to the inside of each seal wall SL as necessary.
【０１２３】そして図１０（Ａ）に示すように、押圧ロ
ーラＲ２の周長Ｒ２Ｌは該シール壁配列ピッチｐｔの整
数倍（図１０の例では２倍）とし、ピッチｐｔ分に対応
する各ローラ周面部分に前記と同じ加圧力解放凹所ｒｓ
１、ｒｓ２、ｒｓ２’を形成しておく。さらに図１０
（Ｂ）に示すように、加熱ローラＨＲ２についても周長
ＨＲ２Ｌはシール壁配列ピッチｐｔの整数倍（図１０の
例では２倍）とし、ピッチｐｔ分に対応する各ローラ周
面部分に前記と同じ加熱抑制凹所ｈｒｓ１、ｈｒｓ２を
形成しておく。As shown in FIG. 10A, the circumferential length R2L of the pressing roller R2 is an integral multiple of the sealing wall arrangement pitch pt (double in the example of FIG. 10), and each roller corresponding to the pitch pt is used. The same pressure release recess rs as above
1, rs2 and rs2 'are formed in advance. Further, FIG.
As shown in (B), the circumferential length HR2L of the heating roller HR2 is also an integral multiple of the seal wall arrangement pitch pt (twice in the example of FIG. 10), and the roller peripheral surface portion corresponding to the pitch pt is the same as described above. The same heat suppression recesses hrs1 and hrs2 are formed.
【０１２４】かくして既述の一つのパネルＡの製造の場
合と同様に、基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせを実施し、
引き続き基板の本貼り合わせを実施して複数のパネルＡ
を効率良く得ることができる。Thus, the temporary bonding of the substrates S1 and S2 is performed in the same manner as in the case of manufacturing one panel A described above.
Subsequent main bonding of the substrate is performed to obtain a plurality of panels A.
Can be obtained efficiently.
【０１２５】このように複数のパネルＡを製造したあ
と、必要に応じ、基板Ｓ１、Ｓ２を切断することで個々
の独立したパネルＡを得ることができる。After manufacturing a plurality of panels A as described above, the individual panels A can be obtained by cutting the substrates S1 and S2 as necessary.
【０１２６】液晶表示パネルの製造装置については、例
えば図５に示す製造装置において、第１ステージ１００
及び第２ステージ２００を、複数のシール壁に対応した
大面積の基板Ｓ１’、Ｓ２’を保持できるものに代え、
押圧ローラＲ１、加熱ローラＨＲ１に代えて前記の押圧
ローラＲ２、加熱ローラＨＲ２を採用する等して複数の
パネルＡを製造できる装置とすることができる。As for the manufacturing apparatus of the liquid crystal display panel, for example, in the manufacturing apparatus shown in FIG.
And replacing the second stage 200 with one that can hold large-area substrates S1 ′ and S2 ′ corresponding to a plurality of seal walls,
An apparatus capable of manufacturing a plurality of panels A by employing the pressing roller R2 and the heating roller HR2 instead of the pressing roller R1 and the heating roller HR1 can be provided.
【０１２７】[0127]
【発明の効果】以上説明したように本発明の液晶表示パ
ネルの製造方法及び装置によると、第１及び第２の基板
間に液晶材料層並びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟
着した液晶表示パネルを、シール壁端部に沿って局部的
に基板間ギャップが他の部分より大きくなるという不都
合、換言すればシール壁端部に沿って局部的に液晶材料
層の厚みが他の部分より大きくなるという不都合を招く
ことなく得ることができ、それだけ良好に画像表示でき
る液晶表示パネルを得ることができる。As described above, according to the method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel of the present invention, a liquid crystal in which a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer are sandwiched between first and second substrates. The display panel is disadvantageous in that the gap between the substrates is locally larger along the edge of the seal wall than in other portions, in other words, the thickness of the liquid crystal material layer is locally larger along the edge of the seal wall than in other portions. The liquid crystal display panel can be obtained without inconvenience of increasing the size, and a liquid crystal display panel that can display images satisfactorily can be obtained.
【０１２８】また本発明の液晶表示パネルの製造方法及
び装置によると、第１及び第２の基板間に液晶材料層並
びに該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パ
ネルを、液晶材料層を駆動して画像表示するための、前
記シール壁の内側に対応する領域から該シール壁の外側
に対応する領域に至る電極が形成されている場合におい
て、該シール壁外側の電極部分に損傷を発生させること
なく得ることができ、それだけ良好に画像表示できる液
晶表示パネルを得ることができる。According to the method and apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel of the present invention, a liquid crystal display panel having a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer sandwiched between the first and second substrates is provided. When an electrode for driving a layer to display an image is formed from a region corresponding to the inside of the seal wall to a region corresponding to the outside of the seal wall, an electrode portion outside the seal wall is damaged. , And a liquid crystal display panel capable of displaying images satisfactorily can be obtained.
【図１】図（Ａ）は製造しようとする液晶表示パネルの
１例の概略断面図であり、図（Ｂ）は基板に設けられる
シール壁を例示する図である。FIG. 1A is a schematic cross-sectional view of an example of a liquid crystal display panel to be manufactured, and FIG. 1B is a diagram illustrating a seal wall provided on a substrate.
【図２】図（Ａ）は一方の基板上の電極とシール壁の相
互位置関係の１例を示す図であり、図（Ｂ）は他方の基
板上の電極とシール壁の相互位置関係の１例を示す図で
ある。FIG. 2A is a diagram showing an example of a mutual positional relationship between an electrode on one substrate and a seal wall, and FIG. 2B is a diagram showing a mutual positional relationship between an electrode on the other substrate and a seal wall. It is a figure showing an example.
【図３】基板の仮貼り合わせ工程及び本貼り合わせ工程
の例を示す図で、図（Ａ）は基板の仮貼り合わせ開始を
示す図であり、図（Ｂ）は基板の仮貼り合わせと、基板
の本貼り合わせ開始を示す図であり、図（Ｃ）は基板の
本貼り合わせを示す図である。3A and 3B are diagrams illustrating an example of a temporary bonding step and a final bonding step of a substrate, wherein FIG. 3A is a diagram illustrating the start of temporary bonding of a substrate, and FIG. FIG. 7C is a diagram showing the start of the actual bonding of the substrate, and FIG. 7C is a diagram showing the actual bonding of the substrate.
【図４】図（Ａ）は押圧部材の１例の斜視図であり、図
（Ｂ）は押圧部材の他の例の側面図であり、図（Ｃ）は
加熱部材の１例の斜視図である。FIG. 4A is a perspective view of one example of a pressing member, FIG. 4B is a side view of another example of the pressing member, and FIG. 4C is a perspective view of one example of a heating member. It is.
【図５】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製
造装置例の概略構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of an example of a manufacturing apparatus for manufacturing the liquid crystal display panel shown in FIG.
【図６】図５に示すパネル製造装置による液晶表示パネ
ル製造工程の一例の一部（１）から（３）を説明するた
めの図である。6 is a view for explaining a part (1) to (3) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process by the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 5;
【図７】図６に示す工程の続きの工程（４）から（６）
を説明するための図である。7 is a step (4) to (6) subsequent to the step shown in FIG. 6;
FIG.
【図８】図７に示す工程の続きの工程（７）から（９）
を説明するための図である。8 is a step (7) to (9) subsequent to the step shown in FIG. 7;
FIG.
【図９】図（Ａ）は一方の基板上の電極とシール壁の相
互位置関係の他の例を示す図であり、図（Ｂ）は他方の
基板上の電極とシール壁の相互位置関係の他の例を示す
図である。9A is a diagram showing another example of the mutual positional relationship between an electrode on one substrate and a sealing wall, and FIG. 9B is a diagram showing the mutual positional relationship between an electrode on the other substrate and a sealing wall; It is a figure showing other examples of.
【図１０】図（Ａ）は押圧ローラの他の例の展開図であ
り、図（Ｂ）は加熱加圧ローラの他の例の展開図であ
る。FIG. 10A is a developed view of another example of the pressing roller, and FIG. 10B is a developed view of another example of the heating / pressing roller.
Ａ 液晶表示パネル Ｓ１、Ｓ２、Ｓ１’、Ｓ２’ 基板 Ｔ１、Ｔ２ 電極 Ｔ１’、Ｔ２’ シール壁外側の電極部分 ＩＳ 絶縁膜 Ｆ 配向膜 ＳＬ シール壁 ＳＬｂ シール壁終端部 ＳＰ スペーサ ＲＣ 樹脂柱 ＬＣ 液晶材料層 Ｌ 液晶材料 ＢＫ 光吸収層 Ｒ１、Ｒ１’、Ｒ２ 押圧ローラ（押圧部材） ｒｓ１ 第１の加圧力解放凹所 ｒｓ２、ｒｓ２’第２の加圧力解放凹所 Ｒ１ｓ ローラＲ１の周面（基板押圧面） ＨＲ１、ＨＲ２ 加熱加圧ローラ（加熱部材） ｈｒｓ１、ｈｒｓ２ 加熱抑制凹所 ＳＰＴ 板状の支持部材 １００ 第１ステージ １０１ 第１吸着テーブル １０１ａ 吸気孔 １０２ スライダ １１０ 基板保持装置 １１１ 排気室 １１２ フレキシブルチューブ １１３ 排気装置 ２００ 第２ステージ ２０１ 第２吸着テーブル ２０１ａ 吸気孔 ２１０ 基板保持装置 ２１１ 排気室 ２１２ フレキシブルチューブ ２１３ 排気装置 ３１０ 第１ステージ１００の駆動装置 ３１１ ガイドレール ３１１ａ ラックギア ３１２ モータ ３１３ ピニオンギア ３２０ 第２ステージ２００の駆動装置 ３２１ 第２ステージ支持アーム ３２２ 回転駆動部 ３２２ａ 軸 ４００、５００ 位置合わせ装置 ４１０、５１０ カメラ Ｄ１、Ｄ２ Ｘ−Ｙ−θ駆動装置 ４３０、５３０ 制御部 １０００ 液晶材料配置（塗布）装置 ７１ 加熱装置 ８ 減圧室 ９ 排気装置 Ｐ１ 押圧位置 Ｐ２ 退避位置 Ｐ３ 液晶材料供給位置 Ｐ４ 退避位置 Ｐ５ 加熱押圧位置 Ｐ６ 退避位置 Ｑ１ 基板位置合わせ位置 Ｑ２ 液晶材料配置位置 Ｑ３ 基板仮貼り合わせ開始位置 Ｑ４ 基板本貼り合わせ開始位置 A Liquid crystal display panel S1, S2, S1 ', S2' Substrate T1, T2 Electrode T1 ', T2' Electrode part outside seal wall IS Insulating film F Orientation film SL Seal wall SLb Seal wall end SP spacer RC Resin column LC Liquid crystal Material layer L Liquid crystal material BK Light absorbing layer R1, R1 ', R2 Pressing roller (pressing member) rs1 First pressing force release recess rs2, rs2' Second pressing force release recess R1s Peripheral surface of roller R1 (substrate) Pressing surface) HR1, HR2 Heating / pressurizing roller (heating member) hrs1, hrs2 Heat suppression recess SPT Plate-like support member 100 First stage 101 First suction table 101a Intake hole 102 Slider 110 Substrate holding device 111 Exhaust chamber 112 Flexible Tube 113 Exhaust device 200 Second stage 201 Second suction table 201a Intake hole 2 Reference Signs List 10 substrate holding device 211 exhaust chamber 212 flexible tube 213 exhaust device 310 driving device of first stage 100 311 guide rail 311a rack gear 312 motor 313 pinion gear 320 driving device of second stage 200 321 second stage support arm 322 rotation driving unit 322a Axis 400, 500 Alignment device 410, 510 Camera D1, D2 XY-θ drive device 430, 530 Control unit 1000 Liquid crystal material arrangement (coating) device 71 Heating device 8 Decompression chamber 9 Exhaust device P1 Pressing position P2 Retreat position P3 Liquid crystal material supply position P4 Evacuation position P5 Heat pressing position P6 Evacuation position Q1 Substrate alignment position Q2 Liquid crystal material arrangement position Q3 Substrate temporary bonding start position Q4 Substrate main bonding start position
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA04 FA09 FA24 FA30 HA01 HA04 KA02 MA17 2H089 LA07 LA09 LA19 LA20 MA04X MA04Y NA09 NA12 NA22 NA39 NA49 NA51 NA58 NA60 QA12 QA14 SA01 TA01 TA06 5G435 AA01 AA17 BB12 CC09 EE11 EE37 FF05 KK05 KK10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H088 FA04 FA09 FA24 FA30 HA01 HA04 KA02 MA17 2H089 LA07 LA09 LA19 LA20 MA04X MA04Y NA09 NA12 NA22 NA39 NA49 NA51 NA58 NA60 QA12 QA14 SA01 TA01 TA06 5G435 AA01 AA17 BB12 CC09 EE05 KK KK10
Claims (14)
液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネルの
製造方法であり、 第１基板及び第２基板のうち少なくとも一方にシール壁
を形成するシール壁形成工程と、 第１基板及び第２基板のうち一方の基板を支持部材に支
持させる工程と、 支持部材に支持させた基板に液晶材料を塗布する液晶材
料塗布工程と、 第１基板及び第２基板のうち他方の基板の所定端部をシ
ール壁及び液晶材料を間にして前記一方の基板の所定端
部に重ね合わせる端部重ね合わせ工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により
前記支持部材との間で所定の加圧力下に挟着しつつ該両
基板に対し該押圧部材を相対的に移動させることで両基
板間に液晶材料を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ
端部側から両基板を仮貼り合わせしていく仮貼り合わせ
工程と、 両基板を加熱部材により前記支持部材との間で本貼り合
わせ温度下に挟着しつつ該両基板に対し該加熱部材を相
対的に移動させることで全シール壁にわたって両基板を
本貼り合わせする本貼り合わせ工程とを含み、 前記仮貼り合わせ工程で用いる押圧部材は、基板に対し
相対的に転動可能の凸曲面からなる基板押圧面を有し、
該基板押圧面は、仮貼り合わせ工程における両基板に対
する該押圧部材の相対的進行方向において下流側に位置
する前記シール壁の端部の直前から該押圧部材による加
圧力を解放すべく基板に臨む加圧力解放凹所を含んでい
ることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。1. A method for manufacturing a liquid crystal display panel comprising a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer sandwiched between first and second substrates, wherein at least one of the first substrate and the second substrate is provided. Forming a seal wall on a substrate, supporting one of the first substrate and the second substrate on a supporting member, and applying a liquid crystal material on the substrate supported on the supporting member. An end overlapping step of overlapping a predetermined end of the other substrate of the first substrate and the second substrate with a predetermined end of the one substrate with a sealing wall and a liquid crystal material interposed therebetween; The liquid crystal material is interposed between the two substrates by moving the pressing member relative to the two substrates while holding the two substrates overlapped by the pressing member with the supporting member under a predetermined pressing force. While overlapping the two substrates A temporary bonding step of temporarily bonding the two substrates from an end side; and a heating member for the two substrates while holding the both substrates at a final bonding temperature with the supporting member by a heating member. And a main bonding step of main bonding the two substrates over the entire seal wall by relatively moving the pressing member, wherein the pressing member used in the temporary bonding step is a convex curved surface that can roll relatively to the substrate. Having a substrate pressing surface consisting of
The substrate pressing surface faces the substrate to release the pressing force from the pressing member immediately before the end of the seal wall located downstream in the direction of relative movement of the pressing member with respect to both substrates in the temporary bonding step. A method for manufacturing a liquid crystal display panel, comprising a pressing release recess.
表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域か
ら該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成さ
れており、 前記仮貼り合わせ工程で用いる押圧部材の基板押圧面
は、前記シール壁の外側に対応する領域に位置する電極
部分に対する該押圧部材による加圧力を解放すべく基板
に臨む第２の加圧力解放凹所を含んでいる請求項１記載
の液晶表示パネルの製造方法。2. An electrode for driving a liquid crystal material layer to display an image from an area corresponding to the inside of the seal wall to an area corresponding to the outside of the seal wall on each of the substrates. The substrate pressing surface of the pressing member used in the temporary bonding step is a second pressing force release facing the substrate to release the pressing force by the pressing member on the electrode portion located in a region corresponding to the outside of the seal wall. 2. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein said method includes a recess.
表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域か
ら該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成さ
れており、 前記本貼り合わせ工程で用いる加熱部材は、基板に対し
相対的に転動可能の凸曲面からなる基板加熱面を有して
おり、該基板加熱面は、前記シール壁の外側に対応する
領域に位置する電極部分に対する該加熱部材による加熱
を抑制すべく基板に臨む加熱抑制凹所を含んでいる請求
項１又は２記載の液晶表示パネルの製造方法。3. An electrode for driving a liquid crystal material layer and displaying an image from an area corresponding to the inside of the seal wall to an area corresponding to the outside of the seal wall on each of the substrates. The heating member used in the main bonding step has a substrate heating surface formed of a convex curved surface that can be rolled relatively to the substrate, and the substrate heating surface has an area corresponding to the outside of the seal wall. 3. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 1, further comprising a heat suppression recess facing the substrate so as to suppress heating of the electrode portion located by the heating member by the heating member.
わせ工程において両基板に対する前記押圧部材の相対的
進行方向に複数のシール壁が所定のピッチで配列される
ように該所定の配列ピッチで複数のシール壁を形成し、 前記仮貼り合わせ工程で用いる前記押圧部材の、前記加
圧力解放凹所を含んでいる基板押圧面の周長は該シール
壁配列ピッチの整数倍であり、シール壁配列ピッチ分に
対応する各基板押圧面部分に前記加圧力解放凹所が含ま
れている請求項１記載の液晶表示パネルの製造方法。4. In the sealing wall forming step, the plurality of sealing walls are arranged at a predetermined pitch in a direction of relative movement of the pressing member with respect to both substrates in the temporary bonding step. A plurality of seal walls are formed, and the peripheral length of the substrate pressing surface including the pressing release recess of the pressing member used in the temporary bonding step is an integral multiple of the seal wall array pitch, 2. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein said pressing force releasing recess is included in each substrate pressing surface portion corresponding to the arrangement pitch.
表示するための、前記各シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されており、 前記仮貼り合わせ工程で用いる押圧部材の基板押圧面
は、該各シール壁の外側に対応する領域に位置する電極
部分に対する該押圧部材による加圧力を解放すべく基板
に臨む第２の加圧力解放凹所を含んでいる請求項４記載
の液晶表示パネルの製造方法。5. An electrode is formed on each of said substrates from a region corresponding to the inside of each of said sealing walls to a region corresponding to the outside of said sealing walls, for driving a liquid crystal material layer to display an image. The substrate pressing surface of the pressing member used in the temporary bonding step has a second pressing surface facing the substrate in order to release the pressing force of the pressing member against the electrode portion located in a region corresponding to the outside of each seal wall. 5. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 4, comprising a pressure release recess.
表示するための、前記各シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されており、 前記本貼り合わせ工程で用いる加熱部材は、基板に対し
相対的に転動可能の凸曲面からなる基板加熱面を有して
おり、該基板加熱面は、該各シール壁の外側に対応する
領域に位置する電極部分に対する該加熱部材による加熱
を抑制すべく基板に臨む加熱抑制凹所を含んでいる請求
項４又は５記載の液晶表示パネルの製造方法。6. An electrode is formed on each substrate from a region corresponding to the inside of each seal wall to a region corresponding to the outside of the seal wall for driving the liquid crystal material layer to display an image. The heating member used in the main bonding step has a substrate heating surface formed of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, and the substrate heating surface corresponds to the outside of each of the seal walls. 6. The method of manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 4, further comprising a heating suppression recess facing the substrate to suppress heating of the electrode portion located in the region to be heated by the heating member.
脂柱を形成しておく工程と、前記両基板のうち少なくと
も一方に予めスペーサを散布付着させておく工程とをさ
らに含んでいる請求項１から６のいずれかに記載の液晶
表示パネルの製造方法。7. The method according to claim 1, further comprising a step of forming resin columns on at least one of the two substrates in advance, and a step of spraying and attaching spacers on at least one of the two substrates in advance. 7. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to any one of items 1 to 6.
板を支持部材に支持させる工程では、該支持部材として
第１ステージを採用し、該一方の基板を該第１ステージ
に位置合わせして保持させ、 前記液晶材料塗布工程では該第１ステージに位置合わせ
して保持された一方の基板に液晶材料を塗布し、 前記端部重ね合わせ工程に先立って、前記第１基板及び
第２基板のうち他方の基板を第１ステージに対し所定の
位置関係で配置された第２ステージに位置合わせして保
持させ、前記端部重ね合わせ工程では、位置合わせされ
た一方の基板を保持した第１ステージ及び位置合わせさ
れた他方の基板を保持した第２ステージのうち少なくと
も一方を動かして両基板を対向させるとともに該両基板
の所定端部同士を液晶材料を間にして重ね合わせ、 前記仮貼り合わせ工程では、所定端部同士が重ねあわさ
れた両基板を前記押圧部材により第１ステージとの間に
所定の加圧力下に挟着しつつ該第１ステージに対し該押
圧部材を相対的に移動させることで両基板間に液晶材料
を押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基
板を仮貼り合わせしていき、 前記本貼り合わせ工程では、両基板を前記加熱部材によ
り第１ステージとの間に本貼り合わせ温度下に挟着しつ
つ該第１ステージに対し該加熱部材を相対的に移動させ
ることで全シール壁にわたって両基板を本貼り合わせす
る、請求項１から７のいずれかに記載の液晶表示パネル
の製造方法。8. A step of supporting one of the first substrate and the second substrate on a supporting member, employing a first stage as the supporting member, and aligning the one substrate with the first stage. In the liquid crystal material application step, a liquid crystal material is applied to one of the substrates which is positioned and held on the first stage, and the first substrate and the second substrate are placed prior to the edge overlapping step. The other substrate of the substrates is aligned and held on a second stage arranged in a predetermined positional relationship with respect to the first stage, and in the edge overlapping step, the second substrate holding one aligned substrate is held. At least one of the first stage and the second stage holding the other aligned substrate is moved so that both substrates are opposed to each other, and predetermined ends of both substrates are overlapped with a liquid crystal material therebetween. In the temporary bonding step, the pressing member is pressed against the first stage while sandwiching the two substrates, the predetermined ends of which are overlapped with each other, under a predetermined pressure between the pressing member and the first stage. The two substrates are temporarily bonded together from the overlapping end side of the two substrates while spreading the liquid crystal material between the two substrates by relatively moving the two substrates together. 2. The two substrates are completely bonded over the entire seal wall by moving the heating member relatively to the first stage while holding the substrate at a final bonding temperature with the first stage. 8. The method for manufacturing a liquid crystal display panel according to any one of items 1 to 7.
該液晶材料層を囲むシール壁を挟着した液晶表示パネル
の製造装置であり、 少なくとも一方に前記シール壁が形成された第１基板及
び第２基板のうち一方を保持する第１ステージと、 該一方の基板を第１ステージ上に位置合わせするための
手段と、 該第１基板及び第２基板のうち他方の基板を保持する第
２ステージであって第１ステージに対し所定の位置関係
に配置された第２ステージと、 該他方の基板を第２ステージ上に位置合わせするための
手段と、 第１ステージに位置合わせして保持される基板に液晶材
料を塗布する液晶材料塗布装置と、 第１及び第２のステージ上にそれぞれ位置合わせされて
保持される前記基板を対向させるとともに該両基板の所
定端部同士を前記液晶材料塗布装置により塗布された液
晶材料を間にして重ね合わせるように第１及び第２のス
テージを相対的に移動させる第１駆動装置と、 所定端部同士が重ね合わされた両基板を所定の加圧力下
に第１ステージとの間に挟着可能に配置された押圧部材
と、 両基板が押圧部材により第１ステージとの間に所定の加
圧力下に挟着された状態で、両基板間に液晶材料を押し
広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を仮
貼り合わせしていくように第１ステージに対し該押圧部
材を相対的に移動させる第２駆動装置と、 両基板を第１ステージとの間に本貼り合わせ温度下に挟
着しつつ第１ステージに対して相対的に移動可能の加熱
部材と、 を備えており、 前記押圧部材は、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面
からなる基板押圧面を有し、該基板押圧面は、前記両基
板の仮貼り合わせにおいて第１ステージに対する該押圧
部材の相対的進行方向において下流側に位置する前記シ
ール壁の端部の直前から該押圧部材による加圧力を解放
すべく基板に臨む加圧力解放凹所を含んでいることを特
徴とする液晶表示パネルの製造装置。9. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel having a liquid crystal material layer and a seal wall surrounding the liquid crystal material layer sandwiched between first and second substrates, wherein at least one of the first and second substrates has the seal wall formed thereon. A first stage for holding one of the first substrate and the second substrate, a unit for aligning the one substrate on the first stage, and a holding for the other of the first and second substrates A second stage arranged in a predetermined positional relationship with respect to the first stage, means for positioning the other substrate on the second stage, and positioning the second substrate on the first stage. A liquid crystal material application device for applying a liquid crystal material to a substrate held by the first and second stages; Liquid crystal material A first driving device for relatively moving the first and second stages so that the liquid crystal material applied by the coating device is interposed and overlapped with each other; A pressing member disposed so as to be sandwiched between the first stage and the first stage, and a state in which both substrates are sandwiched between the first stage and the first stage by the pressing member under a predetermined pressing force. A second driving device that relatively moves the pressing member with respect to the first stage so as to temporarily bond the two substrates from the overlapping end side of the two substrates while spreading the liquid crystal material; A heating member that is relatively movable with respect to the first stage while being sandwiched between the first stage and the main stage at a final bonding temperature. A substrate pressing surface having a movable convex curved surface; The plate pressing surface is configured to release the pressing force by the pressing member immediately before the end of the seal wall positioned downstream in the direction of relative movement of the pressing member with respect to the first stage in the temporary bonding of the two substrates. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel, comprising a pressurizing release recess facing a substrate.
像表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されており、 前記押圧部材の基板押圧面は、該シール壁の外側に対応
する領域に位置する電極部分に対する該押圧部材による
加圧力を解放すべく基板に臨む第２の加圧力解放凹所を
含んでいる請求項９記載の液晶表示パネルの製造装置。10. An electrode for driving a liquid crystal material layer and displaying an image from an area corresponding to the inside of the seal wall to an area corresponding to the outside of the seal wall on each of the substrates. The substrate pressing surface of the pressing member includes a second pressing force releasing recess facing the substrate to release the pressing force of the pressing member on the electrode portion located in a region corresponding to the outside of the seal wall. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 9.
像表示するための、前記シール壁の内側に対応する領域
から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形成
されており、 前記加熱部材は、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面
からなる基板加熱面を有しており、該基板加熱面は、前
記シール壁の外側に対応する領域に位置する電極部分に
対する該加熱部材による加熱を抑制すべく基板に臨む加
熱抑制凹所を含んでいる請求項９又は１０記載の液晶表
示パネルの製造装置。11. An electrode for driving a liquid crystal material layer to display an image from an area corresponding to the inside of the seal wall to an area corresponding to the outside of the seal wall on each of the substrates. The heating member has a substrate heating surface formed of a convex curved surface that can be rolled relatively to the substrate, and the substrate heating surface corresponds to an electrode portion located in a region corresponding to the outside of the seal wall. 11. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 9, further comprising a heat suppression recess facing the substrate to suppress heating by the heating member.
における該両基板に対する前記押圧部材の相対的進行方
向に複数所定ピッチで配列されるように前記基板に複数
形成されており、 前記押圧部材の基板押圧面の周長は該シール壁配列ピッ
チの整数倍であり、シール壁配列ピッチ分に対応する各
基板押圧面部分に前記加圧力解放凹所が含まれている請
求項９記載の液晶表示パネルの製造装置。12. A plurality of said seal walls are formed on said substrate so as to be arranged at a plurality of predetermined pitches in a direction of relative movement of said pressing member with respect to said two substrates in temporary bonding of said two substrates. The peripheral length of the substrate pressing surface of the member is an integral multiple of the seal wall arrangement pitch, and the pressure release recess is included in each substrate pressing surface portion corresponding to the seal wall arrangement pitch. Liquid crystal display panel manufacturing equipment.
像表示するための、前記各シール壁の内側に対応する領
域から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形
成されており、 前記押圧部材の基板押圧面は、該各シール壁の外側に対
応する領域に位置する電極部分に対する該押圧部材によ
る加圧力を解放すべく基板に臨む第２の加圧力解放凹所
を含んでいる請求項１２記載の液晶表示パネルの製造装
置。13. An electrode is formed on each of said substrates from a region corresponding to the inside of each of said sealing walls to a region corresponding to the outside of said sealing walls for driving a liquid crystal material layer to display an image. The substrate pressing surface of the pressing member includes a second pressing force release recess facing the substrate to release the pressing force of the pressing member on the electrode portion located in a region corresponding to the outside of each seal wall. 13. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to claim 12, wherein:
像表示するための、前記各シール壁の内側に対応する領
域から該シール壁の外側に対応する領域に至る電極が形
成されており、 前記加熱部材は、基板に対し相対的に転動可能の凸曲面
からなる基板加熱面を有しており、該基板加熱面は、該
各シール壁の外側に対応する領域に位置する電極部分に
対する該加熱部材による加熱を抑制すべく基板に臨む加
熱抑制凹所を含んでいる請求項１２又は１３記載の液晶
表示パネルの製造装置。14. An electrode is formed on each of the substrates from a region corresponding to the inside of each of the sealing walls to a region corresponding to the outside of the sealing walls for driving the liquid crystal material layer to display an image. The heating member has a substrate heating surface composed of a convex curved surface that can roll relatively to the substrate, and the substrate heating surface is located in a region corresponding to the outside of each seal wall. 14. The liquid crystal display panel manufacturing apparatus according to claim 12, further comprising a heat suppression recess facing the substrate to suppress heating of the portion by the heating member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000197962A JP2002014361A (en) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | Method and device for manufacturing liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000197962A JP2002014361A (en) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | Method and device for manufacturing liquid crystal display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002014361A true JP2002014361A (en) | 2002-01-18 |
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ID=18696212
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000197962A Withdrawn JP2002014361A (en) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | Method and device for manufacturing liquid crystal display panel |
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|---|---|
| JP (1) | JP2002014361A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008292997A (en) * | 2007-04-27 | 2008-12-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Method for manufacturing liquid crystal display device |
| JP2016534394A (en) * | 2013-08-13 | 2016-11-04 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Ｂｏｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｇｒｏｕｐ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Equipment and production equipment for separating flexible substrates from glass substrates |
| KR101783244B1 (en) * | 2016-07-18 | 2017-10-23 | 하이텍 주식회사 | A method for attaching a flexible display to the multiple bending plate |
-
2000
- 2000-06-30 JP JP2000197962A patent/JP2002014361A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050613 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |