JP2002002006A - 厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents
厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法Info
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- JP2002002006A JP2002002006A JP2000182910A JP2000182910A JP2002002006A JP 2002002006 A JP2002002006 A JP 2002002006A JP 2000182910 A JP2000182910 A JP 2000182910A JP 2000182910 A JP2000182910 A JP 2000182910A JP 2002002006 A JP2002002006 A JP 2002002006A
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Abstract
と、この発熱抵抗体に対する通電用の薄膜の電極パター
ン4,6と、これら発熱抵抗体及び電極パターンを覆う
保護膜8とを形成して成るサーマルプリントヘッドにお
いて、前記保護膜8のうち前記発熱抵抗体7の部分から
盛り上がることに起因する不具合を、耐久性の低下を招
来することなく、改善する。 【解決手段】 前記保護膜8のうち前記発熱抵抗体7の
部分における膜厚さを、他の部分よりも薄くして、この
保護膜8の表面に2層目の保護膜9を形成する。
Description
ヘッドのうち、印字を行う発熱抵抗体を、厚膜にして形
成した厚膜型のサーマルプリントヘッドと、その製造方
法とに関するものである。
この種のサーマルプリントヘッドは、ヘッド基板の表面
に、厚膜と発熱抵抗体と、この発熱抵抗体に対する電極
パターンと、これら発熱抵抗体及び各電極パターンを覆
うガラス等による保護膜とを形成するという構成にして
いることにより、前記保護膜における表面のうち発熱抵
抗体の部分が、当該発熱抵抗体を厚膜にした分だけ部分
的に盛り上がることになる。
記発熱抵抗体の部分に対して印字用紙をプラテンローラ
にて押圧した状態で送り移動したとき、印字用紙が、前
記保護膜の表面における盛り上がり部分に特に強く擦れ
てきしみ音が出たり、熱融着するというスティッキング
が発生し、円滑に紙送りすることができないとか、印字
不良になるという問題が発生するおそれがある。
るには、保護膜を形成したあとで、当該保護膜における
表面のうち前記発熱抵抗体に箇所において盛り上がる部
分を研磨にて切除すれば良い。
うち前記発熱抵抗体に箇所において盛り上がる部分を研
磨にて切除することは、保護膜のうち発熱抵抗体の部分
における膜厚さが薄くなるので、この部分における耐磨
耗性が低くなり、ひいては、サーマルプリントヘッドに
おける耐久性の低下を招来するのである。
招来することなく、解消したサーマルプリントヘッド、
及びその製造方法を提供することを技術的課題とするも
のである。
るため本発明は、「ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵
抗体と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極パターン
と、これら発熱抵抗体及び電極パターンを覆う保護膜と
を形成して成るサーマルプリントヘッドにおいて、前記
保護膜のうち前記発熱抵抗体の部分における膜厚さを、
他の部分よりも薄くして、この保護膜の表面に2層目の
保護膜を形成することを特徴とする。」ものである。
の表面に、厚膜の発熱抵抗体を形成する工程と、この発
熱抵抗体に対する通電用の電極パターンを形成する工程
と、これらを覆う保護膜を形成する工程とから成り、更
に、前記保護膜における表面のうち前記発熱抵抗体の部
分を除去する工程と、この除去工程に次いで、前記保護
膜の表面に2層目の保護膜を形成する工程とを備えるこ
とを特徴とする。」ものである。
抗体の部分における膜厚さを、他の部分よりも薄くした
上で、前記保護膜の表面に2層目の保護膜を形成したこ
とにより、前記発熱抵抗体の部分に、保護膜の一部と、
2層目の保護膜とによって所定の膜厚さを確保した状態
のもとで、前記発熱抵抗体の部分において盛り上がるこ
とを、保護膜の膜厚さを発熱抵抗体の部分において薄く
したことで、殆ど無くすることができるか、或いは、そ
の盛り上がりの高さを大幅に低くすることができるので
ある。
に起因する紙送りの不円滑、印字不良等を、耐久性の低
下を招来することなく、確実に改善できる効果を有す
る。
記載したように、その下の保護膜を同じガラス製にする
ことによって、保護膜を形成するのと同じ方法にて形成
するようにしても良いが、この2層目の保護膜を、請求
項3に記載したように、サイアロン製にすることによ
り、耐久性の向上とを図るようにしても良い。
のうち発熱抵抗体の部分における膜厚さを薄くすること
が簡単な加工にて容易にできるから、コストの大幅なア
ップを回避できるのである。
について説明する。
のヘッド基板を示し、その表面の全体に、グレーズ層2
が形成されている。
びるコモン電極3と、このコモン電極3から櫛歯状に細
く延びる多数本の第1電極パターン4と、多数本の個別
電極5と、この各個別電極5から細く延びる第2電極パ
ターン6とが、前記第1及び第2電極パターン4,6の
うち一方の電極パターンが他方の電極パターンの間に入
り込むようにして、膜厚さ1ミクロン以下の金にて形成
されているとともに、各第1電極パターン4及び第2電
極パターン6の両方を横切って前記コモン電極3と平行
のライン状に延びる発熱抵抗体7が、スクリーン印刷等
により厚さ約3〜9ミクロン程度の厚膜にして形成され
ている。
スによる厚さ約6〜10ミクロン程度の保護膜8を、前
記コモン電極2、前記各第1及び第2電極パターン4,
6、前記各個別電極4及び前記発熱抵抗体7の全体を覆
うように、スクリーン印刷及びその後における焼成にて
形成する。
より、この保護膜8における表面のうち前記発熱抵抗体
7の部分が、図3に符号8aで示すように、部分的に最
大で約6ミクロン程度の高さに盛り上がることになる。
示す前記盛り上がり部を、この部分に対して研磨加工を
施すことにより、図4に示すように、無くするように切
除するか、或いは、その高さを低くするように切削にて
除去する。この研磨加工による除去により、前記保護膜
8における膜厚さを、前記発熱抵抗体7の部分において
部分的に薄くすることができる。
保護膜8の表面に、図5に示すように、同じくガラスに
よる約6〜10ミクロン程度の膜厚さを有する2層目の
保護膜9を、スクリーン印刷及びその後における焼成に
て形成する。
保護膜8の一部と、2層目の保護膜9とによって所定の
膜厚さを確保した状態のもとで、前記発熱抵抗体7の部
分において盛り上がることを、保護膜8の膜厚さを発熱
抵抗体7の部分において薄くしたことで、殆ど無くする
ことができるか、或いは、その盛り上がりの高さを大幅
に低くすることができるのである。
分8aに対する研磨加工は、図6に示すように、回転す
る砥石車Aを接触して、この状態で発熱抵抗体7の長手
方向に相対的に移動するとか、或いは、図7に示すよう
に、複数個のローラBに、表面に研磨粒子を塗着したベ
ルトCを巻掛けし、このベルトCを回転しながら押圧接
触して、この状態で発熱抵抗体7の長手方向に相対的に
移動することによって行うのであり、また、別の研磨加
工の方法としては、前記保護膜8における盛り上がり部
分8aに対して、研磨粒子を吹き付けるという方法があ
る。また、前記研磨加工以外の方法としては、前記保護
膜8における盛り上がり部分8aを、薬品によるエッチ
ングにて除去する方法も存在する。
を示す。
の表面にグレーズ層を形成するにおいて、このグレーズ
層2′を、なだらかな円弧状断面に盛り上がるように部
分的に、このズレーズ層2′の表面に、前記発熱抵抗体
7′と、この発熱抵抗体7′に対する通電用の第1及び
第2電極パターン(図示せず)を形成する場合である。
グレーズ層2′の表面にガラスによる保護膜8′を形成
することにより、この保護膜8′における表面のうち前
記発熱抵抗体7′の部分は、図9に符号8a′で示すよ
うに、部分的に盛り上がることになるから、この盛り上
がり部分8a′を、前記と同様に、研磨加工等により除
去することにより、図10に示すように、無くするか、
或いは、その高さを低くするようにして、前記保護膜
8′における膜厚さを、前記発熱抵抗体7′の部分にお
いて部分的に薄くする。
に示すように、同じくガラスによる2層目の保護膜9′
を、スクリーン印刷及びその後における焼成にて略同じ
膜厚さにして形成するのであり、これにより、前記発熱
抵抗体7′の部分に、保護膜8′の一部と、2層目の保
護膜9′とによって所定の膜厚さを確保した状態のもと
で、前記発熱抵抗体7′の部分において盛り上がること
を、保護膜8′の膜厚さを発熱抵抗体7′の部分におい
て薄くしたことで、殆ど無くすることができるか、或い
は、その盛り上がりの高さを大幅に低くすることができ
るのである。
は、前記2層目の保護膜9″を、その下の保護膜8,
8′と同様にガラス製にすることに代えて、前記保護膜
8,8′よりも薄い膜厚さのSi−Al−N系の化合物
を主成分とするサイアロン製にしたものである。
に、研磨加工等による除去が終わると、ヘッド基板1,
1′を、高い真空度を維持したスパッタリング容器内に
入れて、このヘッド基板1,1′の表面と対向する位置
に、サイアロンのターゲットを配設し、このターゲット
と、前記ヘッド基板1,1′との間にターゲット電圧を
印加するというスパッタリングを施すことにより、前記
2層目の保護膜9″を、その膜厚さを前記保護膜8,
8′よりも薄くして形成する。
ガラスに代えてサイアロン製にすることにより、耐磨耗
性の向上、ひいては、耐久性の向上を図ることができる
とともに、軽量化をも図ることができる。
ドの要部を示す拡大断面図である。
態の拡大断面図である。
盛り上がり部を除去した状態の拡大断面図である。
2層目の保護膜を形成した状態の拡大断面図である。
を示す斜視図である。
る。
態の拡大断面図である。
る盛り上がり部を除去した状態の拡大断面図である。
に2層目の保護膜を形成した状態の拡大断面図である。
る。
Claims (5)
- 【請求項1】ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵抗体
と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極パターンと、
これら発熱抵抗体及び電極パターンを覆う保護膜とを形
成して成るサーマルプリントヘッドにおいて、 前記保護膜のうち前記発熱抵抗体の部分における膜厚さ
を、他の部分よりも薄くして、この保護膜の表面に2層
目の保護膜を形成することを特徴とする厚膜型サーマル
プリントヘッド。 - 【請求項2】前記請求項1の記載において、前記保護膜
がガラス製で、前記2層目の保護膜が前記保護膜と同じ
ガラス製であることを特徴とする厚膜型サーマルプリン
トヘッド。 - 【請求項3】前記請求項1の記載において、前記保護膜
がガラス製で、前記2層目の保護膜がSi−Al−N系
の化合物を主成分とするサイアロン製であることを特徴
とする厚膜型サーマルプリントヘッド。 - 【請求項4】ヘッド基板の表面に、厚膜の発熱抵抗体を
形成する工程と、この発熱抵抗体に対する通電用の電極
パターンを形成する工程と、これらを覆う保護膜を形成
する工程とから成り、更に、前記保護膜における表面の
うち前記発熱抵抗体の部分を除去する工程と、この除去
工程に次いで、前記保護膜の表面に2層目の保護膜を形
成する工程とを備えることを特徴とする厚膜型サーマル
プリントヘッドの製造方法。 - 【請求項5】前記2層目の保護膜を形成する工程が、S
i−Al−N系の化合物を主成分とするサイアロンをタ
ーゲットとするスパッタリングであることを特徴とする
厚膜型サーマルプリントヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000182910A JP2002002006A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法 |
US09/881,808 US6441840B1 (en) | 2000-06-19 | 2001-06-18 | Thick-film thermal printhead with improved paper transfer properties |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000182910A JP2002002006A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002002006A true JP2002002006A (ja) | 2002-01-08 |
Family
ID=18683577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000182910A Pending JP2002002006A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002002006A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020151903A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
-
2000
- 2000-06-19 JP JP2000182910A patent/JP2002002006A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020151903A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
JP7245684B2 (ja) | 2019-03-19 | 2023-03-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
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