JP2001357803A - Image display device and its manufacturing method - Google Patents
Image display device and its manufacturing methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、画像表示装置に
関し、特に、真空排気された外囲器を有した画像表示装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device, and more particularly to an image display device having an evacuated envelope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、画像表示装置の低消費電力化、お
よび薄型化の要望に対して種々の検討がなされている。
このような画像表示装置として、陰極線管（ＣＲＴ）、
フィールドエミションディスプレイ（ＦＥＤ）、液晶表
示装置（ＬＣＤ）、プラズマ表示パネル（ＰＤＰ）、エ
レクトロルミネッセンス（ＥＬ）等などが知られてい
る。中でも、ＦＥＤはカソードから放出された電子が蛍
光体を励起させ発光を得る表示装置で、その発光原理は
ＣＲＴと同じでありＣＲＴ並みの優れた色再現性、階
調、視野角、応答性を有していることから注目されてい
る。2. Description of the Related Art In recent years, various studies have been made on demands for lower power consumption and thinner image display devices.
As such an image display device, a cathode ray tube (CRT),
Field emission displays (FED), liquid crystal display devices (LCD), plasma display panels (PDP), electroluminescence (EL), and the like are known. Among them, the FED is a display device in which electrons emitted from a cathode excite phosphors to emit light, and the light emission principle is the same as that of a CRT. Attention is paid to having.
【０００３】一般に、ＦＥＤは対向配置された２枚のガ
ラスパネルを有した外囲器を備え、一方のガラスパネル
の内面には蛍光体スクリーンが形成され、他方のガラス
パネル上には蛍光体スクリーンを励起する電子放出源が
設けられている。また、外囲器の内部は真空排気され、
高い真空度に維持されている。In general, an FED has an envelope having two glass panels disposed opposite to each other, and a phosphor screen is formed on the inner surface of one glass panel and a phosphor screen is formed on the other glass panel. Is provided. In addition, the inside of the envelope is evacuated,
It is maintained at a high vacuum.
【０００４】外囲器内を真空排気する方法としては、一
方のガラスパネルに接続された排気管を介して外囲器内
を排気した後、この排気管を気密に封止し、外囲器内を
真空に維持する方法が取られている。そして、排気管と
しては、通常、接着し易く安価なガラス管を用い、排気
後、このガラス管を溶断することで気密封止を行なって
いる。As a method of evacuating the inside of the envelope, the inside of the envelope is evacuated through an exhaust pipe connected to one of the glass panels, and then the exhaust pipe is hermetically sealed, and the envelope is evacuated. A method of maintaining a vacuum in the inside is adopted. As an exhaust pipe, an inexpensive glass tube that is easily adhered is usually used, and after evacuation, the glass tube is melted to hermetically seal.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、外囲器内を排気した後にガラス管を封止する
際、ガラス管の吸蔵ガスが外囲器内に放出される。その
ため、外囲器内の真空度が劣化し、電子放出源の電子放
出特性が劣化する要因となる。However, as described above, when the inside of the envelope is evacuated and the glass tube is sealed, the occluded gas in the glass tube is released into the envelope. For this reason, the degree of vacuum in the envelope is deteriorated, which causes deterioration of the electron emission characteristics of the electron emission source.
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、排気管の気密封止時にお
けるガスの発生を防止し、外囲器内を高い真空度に維持
可能な画像表示装置、およびその製造方法を提供するこ
とにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to prevent the generation of gas at the time of hermetic sealing of an exhaust pipe and to maintain a high degree of vacuum in an envelope. And a method of manufacturing the same.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る画像表示装置およびその製造方法
は、排気管として、ガラス管の代りに金属管を用い、中
間部材を介して金属管を外囲器に取付け、外囲器の真空
排気後に金属管を圧接して気密に封止することでガス放
出を軽減するものである。In order to achieve the above object, an image display apparatus and a method of manufacturing the same according to the present invention use a metal tube as an exhaust pipe instead of a glass tube, and use a metal pipe via an intermediate member. Is attached to an envelope, and after evacuation of the envelope, the metal tube is pressed into contact and hermetically sealed to reduce gas emission.
【０００８】すなわち、この発明に係る画像表示装置
は、ガラスで形成された外囲器と、上記外囲器の内面に
形成された蛍光体スクリーンと、上記外囲器内に配設さ
れ、上記蛍光体スクリーンを励起するための電子を発生
する電子源と、中間部材を介して上記外囲器に取付けら
れ外囲器内部に連通した排気管と、を備え、上記排気管
は、金属管により形成され、上記外囲器内を排気後、圧
接により封止されていることを特徴とする画像表示装
置。That is, an image display device according to the present invention is provided with an envelope formed of glass, a phosphor screen formed on an inner surface of the envelope, and disposed in the envelope. An electron source for generating electrons for exciting the phosphor screen, and an exhaust pipe attached to the envelope via an intermediate member and communicating with the interior of the envelope, wherein the exhaust pipe is formed by a metal pipe. An image display device formed and evacuated from the envelope and sealed by pressure contact.
【０００９】また、この発明に係る画像表示装置の製造
方法は、ガラスで形成されているとともに真空排気され
た外囲器と、上記外囲器の内面に形成された蛍光体スク
リーンと、上記外囲器内に配設され、上記蛍光体スクリ
ーンを励起するための電子を発生する電子源と、を備え
た画像表示装置の製造方法において、上記蛍光体スクリ
ーンおよび電子源が設けられた外囲器を用意し、一端部
に中間部材が固定された金属管からなる排気管を用意
し、上記中間部材を上記外囲器の外面に接着することに
より上記排気管を外囲器に取付けるとともに、上記外囲
器に形成された排気口を介して上記排気管を外囲器内に
連通させ、上記排気管を通して上記外囲器内を真空排気
した後、上記中間部材の近傍で上記排気管を圧接により
封止および切断することを特徴としている。Further, a method of manufacturing an image display device according to the present invention is characterized in that an envelope formed of glass and evacuated, a phosphor screen formed on an inner surface of the envelope, An electron source disposed in the envelope and generating an electron for exciting the phosphor screen, wherein the envelope includes the phosphor screen and the electron source. Prepare an exhaust pipe made of a metal pipe with an intermediate member fixed to one end, and attach the exhaust pipe to the envelope by bonding the intermediate member to the outer surface of the envelope, The exhaust pipe is communicated with the inside of the envelope through an exhaust port formed in the envelope, and after evacuating the inside of the envelope through the exhaust pipe, the exhaust pipe is pressed against the vicinity of the intermediate member. Sealing and cutting by It is characterized by a door.
【００１０】上記のように構成された画像表示装置およ
びその製造方法によれば、金属管からなる排気管を用
い、外囲器に中間部材を介して排気管を取付け、外囲器
を真空排気した後、排気管の一部を圧接して封止および
切断することにより、外囲器内を気密に保持している。
そのため、ガラス排気管を用いた場合のように、ガラス
管の溶断によるガス放出がなく、外囲器内を高い真空度
に維持することができ、電子源の電子放出特性を長期間
に亘って良好に維持することができる。また、圧着によ
って排気管を封止することから、封止作業を容易にかつ
短時間で行なうことができる。According to the image display apparatus and the method of manufacturing the same, the exhaust pipe is made of a metal pipe, the exhaust pipe is attached to the envelope via an intermediate member, and the envelope is evacuated. After that, a part of the exhaust pipe is pressed and sealed and cut to keep the inside of the envelope airtight.
Therefore, unlike the case where a glass exhaust pipe is used, no gas is released due to fusing of the glass tube, the inside of the envelope can be maintained at a high degree of vacuum, and the electron emission characteristics of the electron source can be maintained over a long period of time. It can be maintained well. Further, since the exhaust pipe is sealed by crimping, the sealing operation can be performed easily and in a short time.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明を、画像表示装置として、フィールドエミッション
ディスプレイ（以下、ＦＥＤと称する）に適用した実施
の形態について詳細に説明する。図１および図２に示す
ように、このＦＥＤは、それぞれ矩形状のガラスからな
るフェースパネル１１、およびリアパネル１２を備え、
これらのパネルは所定の隙間を置いて対向配置されてい
る。そして、フェースパネル１１およびリアパネル１２
は、矩形枠状のシーリング部材１８を介して周縁部同志
が接合され、偏平な矩形状の外囲器１０を構成してい
る。そして、外囲器１０の内部は真空排気され、高い真
空度に維持されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to a field emission display (hereinafter, referred to as FED) as an image display device will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the FED includes a face panel 11 and a rear panel 12, each of which is made of rectangular glass.
These panels are opposed to each other with a predetermined gap. Then, the face panel 11 and the rear panel 12
The peripheral portions are joined via a rectangular frame-shaped sealing member 18 to form a flat rectangular envelope 10. Then, the inside of the envelope 10 is evacuated and maintained at a high degree of vacuum.
【００１２】フェースパネル１１の内面上には蛍光体ス
クリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン
１６は、赤、青、緑のストライプ状の蛍光体層、および
非発光部としてのストライプ状の黒色着色層を並べて構
成されている。A phosphor screen 16 is formed on the inner surface of the face panel 11. The phosphor screen 16 is configured by arranging a striped phosphor layer of red, blue, and green and a striped black colored layer as a non-light emitting portion.
【００１３】リアパネル１２の内面上には、蛍光体層を
励起する電子源として、それぞれ電子を放出する多数の
電子放出素子２０が設けられている。これらの電子放出
素子２０は、各画素毎に対応して複数列および複数行に
配列されている。各電子放出素子２０は、図示しない電
子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子
電極等で構成されている。また、リアパネル１２上に
は、電子放出素子２０に電圧を印加するための図示しな
い多数本の配線がマトリック状に設けられている。な
お、リアパネル１２とフェースパネル１１との間には、
これらパネル間の間隔を保持するための図示しない多数
のスペーサ等が配設されている。On the inner surface of the rear panel 12, a large number of electron-emitting devices 20 for emitting electrons are provided as electron sources for exciting the phosphor layer. These electron-emitting devices 20 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to each pixel. Each electron-emitting device 20 includes an electron-emitting portion (not shown), a pair of device electrodes for applying a voltage to the electron-emitting portion, and the like. On the rear panel 12, a number of wirings (not shown) for applying a voltage to the electron-emitting devices 20 are provided in a matrix. In addition, between the rear panel 12 and the face panel 11,
A number of spacers (not shown) for maintaining the interval between the panels are provided.
【００１４】図２に示すように、リアパネル１２の周縁
部には排気口２２が貫通形成され、この排気口には、後
述するように、外囲器１０内を真空排気するための排気
管２４が中間部材２６を介して接続されている。As shown in FIG. 2, an exhaust port 22 is formed through the periphery of the rear panel 12, and an exhaust pipe 24 for evacuating the inside of the envelope 10 as described later. Are connected via an intermediate member 26.
【００１５】詳細に述べると、排気管２４は金属管で形
成され、その一端部は、環状の中間部材２６の内孔に嵌
合されているとともに銀ろう２８により中間部材にろう
付されている。そして、中間部材２６は、例えば低融点
のフリットガラス３０によりリアパネル１２の外面に接
着され、排気口２２の周囲を囲んで位置している。これ
により、排気管２４は排気口２２を介して外囲器１０内
に連通している。更に、排気管２４の外側端は圧接によ
り気密に封止され、外囲器１０内の真空度を維持してい
る。More specifically, the exhaust pipe 24 is formed of a metal pipe, one end of which is fitted into the inner hole of the annular intermediate member 26 and brazed to the intermediate member by a silver solder 28. . The intermediate member 26 is adhered to the outer surface of the rear panel 12 by, for example, a frit glass 30 having a low melting point, and is positioned so as to surround the exhaust port 22. Thereby, the exhaust pipe 24 communicates with the inside of the envelope 10 via the exhaust port 22. Further, the outer end of the exhaust pipe 24 is hermetically sealed by pressure contact to maintain the degree of vacuum in the envelope 10.
【００１６】なお、中間部材２６とリアパネル１２との
接着面には圧縮応力が作用している。本実施の形態で
は、中間部材２６が接着されるリアパネル１２に排気口
２２が設けられている。この排気口２２は、ガラス用超
硬ドリルで加工され、この加工面には細かな傷が多数残
存している。これらの傷は、通常の熱処理では破壊の起
点になることはないが、過度の熱あるいは機械的応力が
作用した場合、破壊の原因になることがある。このよう
なリアパネル１２の破壊は、特に、このガラス加工面に
引張方向の応力が作用した時に顕著となる。このような
破壊を防止するため、本実施の形態では、加工面、すな
わち、リアパネル１２と中間部材２６との接着面におい
て、ガラス側であるリアパネル１２側に圧縮方向の応力
が作用するように各材料を選択している。具体的には、
中間部材２６の熱膨張係数がガラスの熱膨張係数よりも
若干大きくなる材料を使用している。Incidentally, a compressive stress acts on the bonding surface between the intermediate member 26 and the rear panel 12. In the present embodiment, exhaust port 22 is provided in rear panel 12 to which intermediate member 26 is bonded. The exhaust port 22 is machined by a carbide drill for glass, and many small scratches remain on the machined surface. These flaws do not serve as starting points for destruction by ordinary heat treatment, but may cause destruction when excessive heat or mechanical stress is applied. Such destruction of the rear panel 12 is particularly remarkable when a tensile stress acts on the glass processing surface. In order to prevent such destruction, in the present embodiment, on the processing surface, that is, on the bonding surface between the rear panel 12 and the intermediate member 26, each of the components is so formed that a stress in the compression direction acts on the rear panel 12 which is the glass side. Materials are selected. In particular,
A material in which the thermal expansion coefficient of the intermediate member 26 is slightly larger than the thermal expansion coefficient of glass is used.
【００１７】本実施の形態によれば、中間部材２６とし
て使用する材料は、ガラス外囲器１０がソーダライム等
により形成されている場合、熱膨張特性がソーダライム
等の熱膨張特性に近似していることが望ましく、例え
ば、５０％ニッケル−鉄合金、あるいは、４２％ニッケ
ル−６％クロム−鉄合金を使用している。According to the present embodiment, when the glass envelope 10 is made of soda lime or the like, the material used as the intermediate member 26 has a thermal expansion characteristic close to that of soda lime or the like. For example, a 50% nickel-iron alloy or a 42% nickel-6% chromium-iron alloy is used.
【００１８】また、排気管２４を構成する金属管には、
比較的弱い圧接力で切断が可能な銅管を使用している。
この金属管については、銅管以外の材料、例えば、ニッ
ケル管、ステンレス管、あるいは、Ｎｉ−Ｆｅ合金管、
Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ合金管、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｆｅ合金管等、
種々の材料を使用することができる。The metal pipe constituting the exhaust pipe 24 includes
Uses a copper tube that can be cut with relatively low pressure.
About this metal tube, materials other than a copper tube, for example, a nickel tube, a stainless steel tube, or a Ni-Fe alloy tube,
Ni-Cr-Fe alloy tubes, Ni-Co-Fe alloy tubes, etc.
Various materials can be used.
【００１９】なお、熱処理加工中に排気管２４の内面あ
るいは外面が酸化し、その酸化膜剥離等が問題となる場
合、排気管にニッケルメッキ、金メッキ等の耐酸化処理
を施すことが望ましい。If the inner or outer surface of the exhaust pipe 24 is oxidized during the heat treatment, and the oxide film is peeled off, it is preferable that the exhaust pipe be subjected to an oxidation-resistant treatment such as nickel plating or gold plating.
【００２０】また、リアパネル１２と中間部材２６との
十分な接続強度を確保するため、中間部材の外径は、排
気管２４の外径の約２倍以上に形成されている。例え
ば、排気管２４の内径を１０ｍｍ、外径を１２ｍｍとし
た場合、中間部材２６の外径は２４ｍｍ以上に形成され
る。Further, in order to secure a sufficient connection strength between the rear panel 12 and the intermediate member 26, the outer diameter of the intermediate member is formed to be about twice or more the outer diameter of the exhaust pipe 24. For example, when the inner diameter of the exhaust pipe 24 is 10 mm and the outer diameter is 12 mm, the outer diameter of the intermediate member 26 is formed to be 24 mm or more.
【００２１】次に、上記のように構成されたＦＥＤの製
造方法について説明する。図３に示すように、まず、予
め内面に蛍光体スクリーンが形成されたフェースパネル
１１と、内面上に多数の電子放出素子が設けられたリア
パネル１２と、を対向配置し、シーリング部材１８を介
して周縁部同士を接合することにより外囲器１０を形成
する。一方、銅管からなる排気管２４および中間部材２
６を用意し、予め排気管の一端部を中間部材にろう付し
て組立排気管３２を形成しておく。なお、排気管３２
は、ろう付に限らず、溶接により中間部材２６に連結し
てもよい。Next, a method of manufacturing the FED configured as described above will be described. As shown in FIG. 3, first, a face panel 11 in which a phosphor screen is formed on an inner surface in advance and a rear panel 12 in which a number of electron-emitting devices are provided on the inner surface are opposed to each other. The envelope 10 is formed by joining the peripheral portions together. On the other hand, the exhaust pipe 24 made of a copper pipe and the intermediate member 2
6 is prepared, and one end of the exhaust pipe is brazed to an intermediate member in advance to form an assembled exhaust pipe 32. The exhaust pipe 32
Is not limited to brazing, but may be connected to the intermediate member 26 by welding.
【００２２】続いて、図４に示すように、排気口２２を
囲むように中間部材２６をフリットガラス３０によって
リアパネル１２の外面に接着固定する。これにより、組
立排気管３２がリアパネル１２に取付けられ、排気管３
２は排気口２２を通して外囲器１０内に連通する。その
後、排気ポンプ３４等の排気手段により、排気管２４を
通して外囲器１０内を真空排気する。Subsequently, as shown in FIG. 4, an intermediate member 26 is bonded and fixed to the outer surface of the rear panel 12 by frit glass 30 so as to surround the exhaust port 22. Thereby, the assembled exhaust pipe 32 is attached to the rear panel 12, and the exhaust pipe 3
2 communicates with the inside of the envelope 10 through the exhaust port 22. After that, the inside of the envelope 10 is evacuated through the exhaust pipe 24 by exhaust means such as an exhaust pump 34.
【００２３】外囲器１０内が所定の真空度に達した後、
排気管２４を気密に封止する。この場合、図６（ａ）な
いし６（ｃ）に示すように、中間部材２６の近傍で排気
管２４の両側にペンチ状の一対の圧接子３６ａ、３６ｂ
を配置した後、これらの圧接子を互いに接近する方向に
移動させ、排気管を所定の圧力、例えば、数トンの圧力
で挟持する。After the inside of the envelope 10 reaches a predetermined degree of vacuum,
The exhaust pipe 24 is hermetically sealed. In this case, as shown in FIGS. 6 (a) to 6 (c), a pair of pliers-like press contacts 36a, 36b are provided on both sides of the exhaust pipe 24 near the intermediate member 26.
After these are arranged, these pressure welders are moved in a direction approaching each other, and the exhaust pipe is clamped at a predetermined pressure, for example, a pressure of several tons.
【００２４】それにより、排気管２４は挟持された部分
が潰れ、圧接子３６ａ、３６ｂ間で金属結合、すなわ
ち、圧接する。そして、圧接子３６ａ、３６ｂに更に圧
力をかけることにより、排気管２４を完全に封止し同時
に切断する。切断部分は前述した様に金属結合している
ため気密性が保持される。以上の工程により排気管２４
の封止および切断が終了しＦＥＤが完成する。As a result, the held portion of the exhaust pipe 24 is crushed, and the exhaust pipes 24 are metal-bonded, that is, press-contacted between the press contacts 36a and 36b. Then, by further applying pressure to the press contacts 36a and 36b, the exhaust pipe 24 is completely sealed and cut at the same time. Since the cut portion is metal-bonded as described above, airtightness is maintained. Through the above steps, the exhaust pipe 24
Is completed and the FED is completed.
【００２５】以上のように構成されたＦＥＤおよびその
製造方法によれば、排気管として金属管を用い、中間部
材を介してこの排気管をガラス外囲器１０に取付けると
ともに、外囲器の真空排気後、圧接により排気管を封止
および切断している。そのため、ガラス排気管を加熱し
て封止する場合のようなガス放出を生じることがなく、
外囲器１０内の真空度を劣化させることなく排気管２４
を封止することができる。従って、外囲器１０内の真空
度が高く電子放出特性に優れたＦＥＤを容易に得ること
ができる。また、圧接によって排気管２４を封止してい
ることから、ガラス管を溶断する場合に比較して、封止
作業を容易にかつ短時間で行なうことができ、製造効率
の向上を図ることが可能となる。According to the FED and the method of manufacturing the same as described above, a metal pipe is used as an exhaust pipe, and this exhaust pipe is attached to the glass envelope 10 via an intermediate member, and the vacuum of the envelope is After the exhaust, the exhaust pipe is sealed and cut by pressure contact. Therefore, there is no outgassing that occurs when the glass exhaust pipe is heated and sealed,
The exhaust pipe 24 without deteriorating the degree of vacuum in the envelope 10.
Can be sealed. Therefore, an FED having a high degree of vacuum in the envelope 10 and having excellent electron emission characteristics can be easily obtained. Further, since the exhaust pipe 24 is sealed by pressure welding, the sealing operation can be performed easily and in a short time as compared with the case where the glass tube is blown, and the production efficiency can be improved. It becomes possible.
【００２６】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、この発明は、ＦＥＤに限らず、他の画像
表示装置にも適用することもできる。また、排気管およ
び中間部材を形成する材料は金属であればよく、必要に
応じて種々選択可能である。また、排気管の取付け位置
も必要に応じて変更可能である。上述した実施の形態に
おいて、排気管は、その一端部が中間部材に挿入された
状態で固定されているが、逆に、中間部材の一部が排気
管の一端部内に挿入された状態で、排気管と中間部材と
を固定しても良い。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified within the scope of the present invention. For example, the present invention is not limited to the FED, but can be applied to other image display devices. The material forming the exhaust pipe and the intermediate member may be a metal, and various materials can be selected as needed. Further, the attachment position of the exhaust pipe can be changed as needed. In the above-described embodiment, the exhaust pipe is fixed in a state where one end thereof is inserted into the intermediate member. Conversely, in a state where a part of the intermediate member is inserted into one end of the exhaust pipe, The exhaust pipe and the intermediate member may be fixed.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、排気管として金属管を用い、中間部材を介してこの
排気管をガラス外囲器に取付けるとともに、外囲器の真
空排気後、圧接により排気管を封止する構成としたこと
から、排気管の気密封止時におけるガスの発生を防止
し、外囲器内を高い真空度に維持可能な画像表示装置、
およびその製造方法を提供することができる。As described above in detail, according to the present invention, a metal pipe is used as an exhaust pipe, and this exhaust pipe is attached to a glass envelope via an intermediate member. Since the exhaust pipe is sealed by pressure contact, an image display device capable of preventing generation of gas at the time of hermetic sealing of the exhaust pipe and maintaining the inside of the envelope at a high degree of vacuum,
And a method for manufacturing the same.
【図１】この発明の実施の形態に係るＦＥＤを示す斜視
図。FIG. 1 is a perspective view showing an FED according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿った上記ＦＥＤの断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of the FED taken along line AA in FIG.
【図３】上記ＦＥＤの製造工程を概略的に示す図。FIG. 3 is a view schematically showing a manufacturing process of the FED.
【図４】上記ＦＥＤの外囲器内を排気管を通して真空排
気する工程を示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a step of evacuating the inside of the envelope of the FED through an exhaust pipe.
【図５】上記排気管の封止工程をそれぞれ示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a step of sealing the exhaust pipe.
【符号の説明】 １０…外囲器 １１…フェースパネル １２…リアパネル １６…蛍光体スクリーン １８…シーリング部材 ２０…電子放出素子 ２２…排気口 ２４…排気管 ２６…中間部材 ２８…銀ろう ３０…フリットガラス ３２…組立排気管DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Envelope 11 ... Face panel 12 ... Rear panel 16 ... Phosphor screen 18 ... Seal member 20 ... Emitting element 22 ... Exhaust port 24 ... Exhaust pipe 26 ... Intermediate member 28 ... Silver solder 30 ... Frit Glass 32: assembled exhaust pipe
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 29/86 Ｈ０１Ｊ 29/86 Ｚ Ｆターム(参考） 5C012 AA05 BC03 PP05 5C032 AA01 BB17 BB18 5C036 EG07 5C094 AA43 BA32 DA07 EB02 GB10 5G435 AA17 BB02 EE09 HH06 KK02 KK05 KK10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 29/86 H01J 29/86 Z F term (Reference) 5C012 AA05 BC03 PP05 5C032 AA01 BB17 BB18 5C036 EG07 5C094 AA43 BA32 DA07 EB02 GB10 5G435 AA17 BB02 EE09 HH06 KK02 KK05 KK10
Claims (15)
の内面に形成された蛍光体スクリーンと、上記外囲器内
に配設され、上記蛍光体スクリーンを励起するための電
子を発生する電子源と、中間部材を介して上記外囲器に
取付けられ外囲器内部に連通した排気管と、を備え、 上記排気管は、金属管により形成され、上記外囲器内を
排気後、圧接により封止されていることを特徴とする画
像表示装置。An envelope formed of glass, a phosphor screen formed on an inner surface of the envelope, and an electron disposed in the envelope for exciting the phosphor screen. And an exhaust pipe attached to the envelope via an intermediate member and communicating with the interior of the envelope, wherein the exhaust pipe is formed of a metal pipe, and the inside of the envelope is An image display device, which is sealed by pressure contact after evacuation.
はほぼ環状を有し、上記排気口を囲んで上記外囲器に接
着され、上記排気管は、その一端部が上記中間部材に固
定されていることを特徴とする請求項１に記載の画像表
示装置。2. The envelope has an exhaust port, the intermediate member has a substantially annular shape, and is adhered to the envelope around the exhaust port. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is fixed to an intermediate member.
挿入された状態で中間部材に固定されていることを特徴
とする請求項１に記載の画像表示装置。3. The image display device according to claim 1, wherein the exhaust pipe is fixed to the intermediate member with one end inserted into the intermediate member.
等しい内径を有しているとともに、上記排気管の外径の
約２倍以上の外径を有していることを特徴とする請求項
３に記載の画像表示装置。4. The intermediate member has an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the exhaust pipe, and has an outer diameter that is at least about twice the outer diameter of the exhaust pipe. The image display device according to claim 3.
の一部が挿入された状態で中間部材に固定されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。5. The image display device according to claim 1, wherein the exhaust pipe is fixed to the intermediate member with a part of the intermediate member inserted at one end.
外囲器外面に接着されていることを特徴とする請求項１
ないし４のいずれ１項に記載の画像表示装置6. An apparatus according to claim 1, wherein said intermediate member is bonded to an outer surface of said envelope by frit glass.
5. The image display device according to any one of items 1 to 4,
合金材で形成されていることを特徴とする請求項１ない
し６のいずれか１項に記載の画像表示装置7. The image display device according to claim 1, wherein said intermediate member is formed of an alloy material containing nickel and iron.
れ、この中間部材と外囲器との接着面のガラス側の応力
が圧縮応力であることを特徴とする請求項１ないし７の
いずれか１項に記載の画像表示装置。8. The method according to claim 1, wherein said intermediate member is bonded to an outer surface of said envelope, and a stress on a glass side of a bonding surface between said intermediate member and said envelope is a compressive stress. The image display device according to claim 1.
ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記
載の画像表示装置。9. The image display device according to claim 1, wherein said exhaust pipe is formed of a copper pipe.
管、あるいは、ニッケルを含む合金管により形成されて
いることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項
に記載の画像表示装置。10. The image display device according to claim 1, wherein the exhaust pipe is formed of a nickel pipe, a stainless steel pipe, or an alloy pipe containing nickel.
ることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項
に記載の画像表示装置。11. The image display device according to claim 1, wherein the exhaust pipe is subjected to an oxidation-resistant treatment.
が施されていることを特徴とする請求項１ないし１０の
いずれか１項に記載の画像表示装置。12. The image display device according to claim 1, wherein the exhaust pipe is subjected to an oxidation-resistant treatment by plating.
ーンが形成されたフェースパネルと、上記フェースパネ
ルと対向して配置されているとともに内面上に上記電子
源が設けられたリアパネルと、を備え、 上記排気管は、上記中間部材を介して上記リアパネルの
外面に取付けられていることを特徴とする請求項１ない
し１２のいずれか１項に記載の画像表示装置。13. The envelope includes a face panel having the phosphor screen formed on an inner surface thereof, a rear panel disposed to face the face panel and having the electron source provided on an inner surface thereof, 13. The image display device according to claim 1, further comprising: an exhaust pipe attached to an outer surface of the rear panel via the intermediate member.
外囲器と、上記外囲器の内面に形成された蛍光体スクリ
ーンと、上記外囲器内に配設され、上記蛍光体スクリー
ンを励起するための電子を発生する電子源と、を備えた
画像表示装置の製造方法において、 上記蛍光体スクリーンおよび電子源が設けられた外囲器
を用意し、 一端部に中間部材が固定された金属管からなる排気管を
用意し、 上記中間部材を上記外囲器の外面に接着することにより
上記排気管を外囲器に取付け、上記外囲器に形成された
排気口を介して上記排気管を外囲器内に連通させ、 上記排気管を通して上記外囲器内を真空排気した後、上
記中間部材の近傍で上記排気管を圧接により封止および
切断することを特徴とする画像表示装置の製造方法。14. An envelope formed of glass and the inside of which is evacuated, a phosphor screen formed on an inner surface of the envelope, and a phosphor screen provided in the envelope, An electron source for generating electrons for excitation, comprising: an envelope provided with the phosphor screen and the electron source; and an intermediate member fixed to one end. An exhaust pipe made of a metal pipe is prepared, and the exhaust pipe is attached to the envelope by bonding the intermediate member to the outer surface of the envelope, and the exhaust is performed through an exhaust port formed in the envelope. An image display device, wherein the pipe is communicated with the envelope, and after evacuating the interior of the envelope through the exhaust pipe, the exhaust pipe is sealed and cut by pressure contact in the vicinity of the intermediate member. Manufacturing method.
熱膨張率を有した金属により形成し、 上記排気管を上記中間部材に溶接あるいはろう付けによ
り固定し、 上記中間部材をフリットガラスにより上記外囲器に接着
することを特徴とする請求項１４に記載の画像表示装置
の製造方法。15. The intermediate member is made of metal having a coefficient of thermal expansion close to that of glass, the exhaust pipe is fixed to the intermediate member by welding or brazing, and the intermediate member is made of frit glass. The method according to claim 14, wherein the image display device is adhered to the envelope.
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| JP2000180163A JP2001357803A (en) | 2000-06-15 | 2000-06-15 | Image display device and its manufacturing method |
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| JP (1) | JP2001357803A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7812532B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube, radiation detecting device, and photomultiplier tube manufacturing method |
| US7902509B2 (en) | 2006-02-28 | 2011-03-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device |
-
2000
- 2000-06-15 JP JP2000180163A patent/JP2001357803A/en active Pending
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| US7838810B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-11-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and a radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
| US7847232B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-12-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
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