JP2001351438A - Flexible electric conductor, its manufacturing method and vacuum switch - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a long-life flexible electric conductor of which conductive thin films are not combined with each other in vacuum. SOLUTION: A plurality of conductive thin plate members 2 and thin plate members 3 with a through-hole around the center and a high-temperature stable thin film are laminated alternately one on another, and a relevant part is integrated to make up a flexible conductor. Thin plates 2, 3 are not adhered with each other in a part s. The thin plates 2, 3 are kept in line and adhered with each other at a part r, and are brazed at a part x. Therefore, connection structure is simple, with small level of fatigue at movable parts, hence a long life.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はフレキシブル導体、
その製造方法及びそれを用いた真空スイッチに係る。本
発明のフレキシブル導体は、特に真空中の通電導体とし
て好適である。The present invention relates to a flexible conductor,
The present invention relates to a manufacturing method thereof and a vacuum switch using the same. The flexible conductor of the present invention is particularly suitable as a current-carrying conductor in a vacuum.

【０００２】[0002]

【従来の技術】可動部同士又は可動部と固定部を電気的
に接続するためにフレキシブル導体を用いることは古く
から良く知られている。真空中の通電導体としてフレキ
シブル導体を真空スイッチに用いることは、例えば特開
平１１−８９０２４号公報，特開平１１−８９０２５号
公報，特開平１１−２７３５１３号公報，特開平１１−
２８３４７３号公報，特開平１１−２８３５１２号公
報，特開平１１−２８５１１７号公報，実開昭５５−５
２７３９号公報などに記載されている。これらには回動
する可動電極と負荷側導体との通電導体としてフレキシ
ブル導体を用いることが記載されているが、その具体的
な構成は記載されていない。2. Description of the Related Art The use of flexible conductors for electrically connecting movable parts or between a movable part and a fixed part has been well known for a long time. The use of a flexible conductor as a current-carrying conductor in a vacuum for a vacuum switch is disclosed in, for example, JP-A-11-89024, JP-A-11-89025, JP-A-11-273513, and JP-A-11-873.
283473, JP-A-11-283512, JP-A-11-285117, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 55-5
No. 2739, for example. These documents disclose that a flexible conductor is used as a current-carrying conductor between the rotating movable electrode and the load-side conductor, but the specific configuration is not described.

【０００３】特開平１１−２７３５１４号公報には、導
体板の間にカーボンシートを挿入して導体間の凝着を防
止することが記載されている。[0003] Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-273514 describes that a carbon sheet is inserted between conductor plates to prevent adhesion between conductors.

【０００４】その他、大気中又はガス雰囲気中で使用さ
れるフレキシブル導体が実開平３−７１５１２号公報，
実開昭６０−５７０１１号公報，特開和５８−１６５２
１０号公報などに記載されている。これらは真空中で使
用されるものではなく、真空中で使用可能なフレキシブ
ル導体に関し参考になる情報は得られない。[0004] In addition, a flexible conductor used in the air or gas atmosphere is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-71512,
Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 60-57011, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 58-1652.
No. 10, for example. These are not used in a vacuum, and no useful information is obtained on flexible conductors that can be used in a vacuum.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は真空中
の通電導体として信頼性の高いフレキシブル導体、その
製造方法及びそれを用いた真空スイッチを提供すること
である。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a highly reliable flexible conductor as a current-carrying conductor in a vacuum, a method of manufacturing the same, and a vacuum switch using the same.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は真空中の通電
導体として用いられるのに好適なフレキシブル導体の構
成をあらゆる観点から検討を行った。この結果、フレキ
シブル導体の主構成材料として、適切な機械的強度を持
ち、電気抵抗が小さく、真空中でのガス発生量の少ない
無酸素銅製などの導電性薄板部材の積層構造が適してい
るところが判った。ところが、無酸素銅製の薄板部材の
積層構造とした場合、その動作停止時、真空中で薄板部
材同士が結合(bonding）して、フレキシブル導体の可動
性，柔軟性が著しく損なわれることが分かった。本発明
者はこの結合が起こる原因について究明したところ、真
空中で導電性薄板部材の清浄な金属原子同士が結晶格子
間隔まで近づいて金属原子間引力(van der Waals力）が
作用することにより起きる現象であり、真空中の独自の
現象であることが判った。この現象は、真空接合法とし
て知られている技術と類似するものであり、接触した母
材間で金属原子の相互拡散を伴う接合であり、広義には
拡散接合の１種と考えられる。The present inventor has studied the configuration of a flexible conductor suitable for use as a current-carrying conductor in a vacuum from all viewpoints. As a result, as the main constituent material of the flexible conductor, a laminated structure of a conductive thin plate member made of oxygen-free copper having appropriate mechanical strength, low electric resistance, and a small amount of gas generated in a vacuum is suitable. understood. However, when the laminated structure of the oxygen-free copper sheet members was used, it was found that when the operation was stopped, the sheet members were bonded in a vacuum and the mobility and flexibility of the flexible conductor were significantly impaired. . The present inventors have investigated the cause of this bond, and found that the metal atoms of the conductive thin plate member approach each other up to the crystal lattice spacing in a vacuum and the attraction between the metal atoms (van der Waals force) acts. It was a phenomenon, and it turned out to be a unique phenomenon in a vacuum. This phenomenon is similar to a technique known as a vacuum bonding method, and is a bonding involving mutual diffusion of metal atoms between contacting base materials, and is considered to be a kind of diffusion bonding in a broad sense.

【０００７】この真空中での導電部材の結合を防止する
ために本発明者は、フレキシブル導体を構成する銅板の
表面に例えばグラファイトやテフロンなどの真空用固体
潤滑材をコーティングすることを検討した。しかし、こ
れらの方法では電気的特性，耐久性，耐熱性，ガス放出
量のうちいずれかの特性が著しく悪くなることから、真
空中で使用される薄板部材同士の結合防止には適さない
ことが判った。本発明で真空とは１０^-3Torr以下、特に
１０^-5Torr以下の真空度を意味する。In order to prevent the coupling of the conductive members in the vacuum, the present inventor studied coating the surface of the copper plate constituting the flexible conductor with a solid lubricant for vacuum such as graphite or Teflon. However, these methods significantly deteriorate any of electrical characteristics, durability, heat resistance, and gas emission amount, and thus are not suitable for preventing bonding between thin plate members used in a vacuum. understood. In the present invention, the vacuum means a degree of vacuum of 10 ⁻³ Torr or less, particularly 10 ⁻⁵ Torr or less.

【０００８】そこで、本発明者は、薄板部材同士の結合
(bonding）を防止し、真空中におけるガス放出量が少な
く、薄板部材同士の接合に用いられるろう付接合の温度
にも耐えることのできる方法について研究を進めた。そ
の結果、十分に高い機械的強度を持つ基体の表面に強固
に密着した高温安定性のある被膜を形成した薄板部材を
導電性薄板部材の間に介在させることによって、導電性
薄板部材の結合を良く防止できることを見出した。ここ
に高温で安定性があるとき、８００℃以上好ましくは、
１０００℃以上で分解や溶融せず、導電性薄板中になる
べく拡散しない薄膜で、例えば、酸化物，窒化物，炭化
物，硼化物等がある。一般に融点が高く、蒸発しにくい
高融点金属の上記化合物が有効である。Therefore, the present inventor has proposed connecting thin plate members.
Research has been conducted on a method that can prevent (bonding), release a small amount of gas in a vacuum, and withstand the temperature of brazing joining used for joining thin plate members. As a result, the bonding of the conductive thin plate members is achieved by interposing a thin plate member having a high temperature stable coating firmly adhered to the surface of the substrate having sufficiently high mechanical strength between the conductive thin plate members. I found that it can be prevented well. When there is stability at a high temperature here, 800 ° C. or higher, preferably
A thin film that does not decompose or melt at a temperature of 1000 ° C. or higher and does not diffuse into a conductive thin plate as much as possible, and examples thereof include oxides, nitrides, carbides, and borides. Generally, the above-mentioned compound of a high melting point metal which has a high melting point and is difficult to evaporate is effective.

【０００９】このような高温安定性のある薄膜を有する
薄板部材を無酸素銅製の導電性薄板部材間に挟むことに
より、導電性薄板部材同士の結合を防止できることを発
見した。大気中で使用されるフレキシブル導体は、導電
性部材例えば銅，アルミニウムなどの表面に酸化膜が形
成されており、これが導体同士の結合を防止する働きが
ある。ガス中で使用される導体にしても同様である。し
かしながら真空中で使用される導体に、予め酸化膜など
を形成しておいても、真空中でその被膜が容易に消失し
てしまい、導体同士の結合防止には全く役に立たない事
が分かった。By sandwiching such a thin plate member having a thin film having high temperature stability between conductive thin plate members made of oxygen-free copper, it has been discovered that the coupling between the conductive thin plate members can be prevented. A flexible conductor used in the air has an oxide film formed on the surface of a conductive member such as copper or aluminum, which has a function of preventing coupling between conductors. The same applies to conductors used in gas. However, it has been found that even if an oxide film or the like is previously formed on a conductor used in a vacuum, the coating easily disappears in the vacuum, which is completely useless for preventing coupling between conductors.

【００１０】また、ステンレススチールは本来導電性薄
板として使用される銅となじまないし、自然に形成され
るごく薄い酸化膜が銅との結合を防止するのではないか
と考えられる。しかしステンレススチール薄板と銅薄板
とを重ねて、ある荷重下に置くと、両者はかなり強固に
結合してしまうことが分かった。したがって、単にステ
ンレススチール板あるいは箔を挟んだだけでは銅薄板と
の結合を防ぐことできないといえる。[0010] Further, it is considered that stainless steel is not compatible with copper which is originally used as a conductive thin plate, and that an extremely thin oxide film formed naturally prevents bonding with copper. However, it has been found that when a stainless steel sheet and a copper sheet are stacked and placed under a certain load, the two are strongly bonded to each other. Therefore, it can be said that the connection with the copper thin plate cannot be prevented merely by sandwiching the stainless steel plate or the foil.

【００１１】本発明の基本的な特徴は、高温安定性のあ
る薄膜を有する薄板部材を複数の導電性薄板部材間に配
置し、これらを必要に応じ一体化したフレキシブル導体
であって、中央部近傍の剛性を他の部分よりも小さく
し、よってフレキシブル導体の固定点あるいは固着点の
応力を小さくして、フレキシブル導体の寿命を長くす
る。また、本発明によるフレキシブルは、固定点の応力
が小さいため、フレキシブル導体の長さを短くしても長
寿命を有する。従って、真空スイッチをより一層小型に
できる。本発明はフレキシブル導体，フレキシブル導体
の製造方法及びそれを用いた真空スイッチを提供する。A basic feature of the present invention is a flexible conductor in which a thin plate member having a thin film having high temperature stability is arranged between a plurality of conductive thin plate members and these are integrated as required. The rigidity in the vicinity is made smaller than that of the other parts, so that the stress at the fixed point or the fixed point of the flexible conductor is reduced, and the life of the flexible conductor is extended. In addition, the flexible according to the present invention has a long life even if the length of the flexible conductor is shortened because the stress at the fixed point is small. Accordingly, the size of the vacuum switch can be further reduced. The present invention provides a flexible conductor, a method for manufacturing the flexible conductor, and a vacuum switch using the same.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】本発明のフレキシブル導体は、導
電性を有する薄板部材と、高温安定性の薄膜を有する薄
板部材とを交互に複数積層して構成する。大気中及びガ
ス雰囲気中で使用するフレキシブル導体においては、導
体表面に自然に形成される酸化膜などの作用により、導
体同士の融着や結合は起こりにくいことから、細線の撚
り線や、細線の織物など任意の形状が選択できるが、真
空中で使用するフレキシブル導体では、導電性部材同士
の結合を防止し、可撓性の観点から、厚さ１mm以下、好
ましくは０.７mm以下、特に好ましくは０.５mm以下の板
状導体を使う事が必要である。つまり、導体の表面積を
あまり大きくしないで、電流量を最大化するために、薄
板状の導体を複数枚重ねて使用する。導電性薄板の最小
厚さは使用する電気機器の電流容量によって選択する
が、フレキシブル導体としての強度を維持するため、
０.１mm以上、好ましくは０.２mm以上、特に０.２５mm
以上とするのが良い。従って、薄板部材の厚さの範囲
は、０.１ 〜１mm、好ましくは０.２ 〜０.７mm 、特に
好ましくは０.２５〜０.５mmである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The flexible conductor of the present invention is constituted by alternately laminating a plurality of thin plate members having conductivity and thin plate members having a high-temperature stable thin film. In flexible conductors used in air and gas atmospheres, fusion and bonding of conductors are unlikely to occur due to the action of an oxide film naturally formed on the conductor surface. Any shape such as woven fabric can be selected, but in the case of a flexible conductor used in a vacuum, from the viewpoint of flexibility, the thickness of the conductive member is 1 mm or less, preferably 0.7 mm or less, particularly preferably from the viewpoint of flexibility. It is necessary to use a plate conductor of 0.5 mm or less. That is, in order to maximize the amount of current without increasing the surface area of the conductor, a plurality of thin plate-shaped conductors are used. The minimum thickness of the conductive thin plate is selected according to the current capacity of the electrical equipment used, but to maintain the strength as a flexible conductor,
0.1 mm or more, preferably 0.2 mm or more, especially 0.25 mm
It is better to do above. Therefore, the thickness range of the thin plate member is 0.1 to 1 mm, preferably 0.2 to 0.7 mm, particularly preferably 0.25 to 0.5 mm.

【００１３】高温安定性の薄膜は、ステンレススチール
など機械的強度があり、高融点金属元素を含む薄板部材
を適切な雰囲気中で熱処理して、基体金属中の高融点金
属成分を酸化，窒化，炭化あるいは硼化して高温安定性
の薄膜を形成する。薄板部材を８００℃以上の温度で加
熱して該薄板部材に高温安定性の被膜を形成する。この
薄膜は薄板部材の表面に強固に固着して、フレキシブル
導体の使用中に剥離，分解，蒸発などが起こらないもの
であることが必要である。使用する金属元素が化合物膜
として電気機器の使用条件下及びフレキシブル導体の端
子部を電気的に接続する際のロウ付けや真空接合の温
度、及びフレキシブル導体を電気機器へ接合際の温度で
安定である物性を持つことが必要である。従って、本発
明において、高温安定性とは、ロウ付け，真空接合，真
空下で使用される機器の温度条件において、分解した
り、剥離，脱落したり、溶融したり、母材に溶け込んだ
りしないで、安定して薄板部材に存在することを意味す
る。そして、薄膜自体がなるべく薄いことが、基体との
密着性が良いことになる。一般に、１ミクロン以下、好
ましくは０.５ミクロン以下、特に０.０１ミクロン（１
００オングストローム）以下の薄膜が適切である。この
薄膜は導電性薄板部材の屈曲，変形，変化等によって、
剥離，脱落しないで、フレキシブル導体の長期間の使用
に十分追従できることが必要である。したがって、薄膜
の厚さは０.００１ 〜１ミクロン、好ましくは０.００
３〜０.５ミクロン、特に好ましくは０.００５〜０.１
ミクロンである。The high-temperature-stable thin film has mechanical strength such as stainless steel, and heat-treats a thin-plate member containing a high-melting-point metal element in an appropriate atmosphere to oxidize, nitride, and recycle the high-melting-point metal component in the base metal. It is carbonized or borated to form a high temperature stable thin film. The thin plate member is heated at a temperature of 800 ° C. or higher to form a high temperature stable film on the thin plate member. It is necessary that this thin film be firmly fixed to the surface of the thin plate member, and that peeling, decomposition, evaporation and the like do not occur during use of the flexible conductor. The metal element used is a compound film that is stable under the conditions of use of electrical equipment, the temperature of brazing and vacuum bonding when electrically connecting the terminals of flexible conductors, and the temperature at which flexible conductors are bonded to electrical equipment. It is necessary to have certain physical properties. Therefore, in the present invention, high-temperature stability means that it does not decompose, peel, drop off, melt, or dissolve in the base material under the temperature conditions of equipment used under brazing, vacuum bonding, and vacuum. Means that it is stably present on the thin plate member. The thinner the thin film itself, the better the adhesion to the substrate. In general, less than 1 micron, preferably less than 0.5 micron, especially 0.01 micron (1
00 Å or less are suitable. This thin film is formed by bending, deformation, change, etc. of the conductive thin plate member.
It is necessary that the flexible conductor can sufficiently follow a long-term use without peeling or falling off. Therefore, the thickness of the thin film is 0.001 to 1 micron, preferably 0.001.
3-0.5 microns, particularly preferably 0.005-0.1.
Micron.

【００１４】本発明の一実施例によるフレキシブル導体
の側断面構造を図１に示す。フレキシブル導体１は導電
性薄板部材例えば無酸素銅薄板２と高温安定性薄膜を有
する薄板部材３とを交互に複数枚積層し、各薄板部材２
間に薄板部材３が配置されるように構成する。フレキシ
ブル導体の可動部は互いに変形できるように結合されて
いないが、可動部の端部ではボルト１１を貫通孔５に挿
入してナット８で固定する。また、端子部では高温安定
性薄膜を有する薄板部材は存在せず、導電性部材２のみ
をロウ付け又は真空接合など、任意の方法で導電性薄板
同士及びそれを端子４に接合する。FIG. 1 shows a side sectional structure of a flexible conductor according to an embodiment of the present invention. The flexible conductor 1 is formed by alternately laminating a plurality of conductive thin plate members, for example, an oxygen-free copper thin plate 2 and a thin plate member 3 having a high-temperature stable thin film.
It is configured such that the thin plate member 3 is disposed between them. Although the movable parts of the flexible conductor are not coupled to each other so as to be deformable, bolts 11 are inserted into the through holes 5 at the ends of the movable parts and fixed with nuts 8. In the terminal portion, there is no thin plate member having a high-temperature stable thin film, and the conductive thin plates are joined to the terminal 4 by any method such as brazing or vacuum joining of only the conductive member 2.

【００１５】本発明のフレキシブル導体を真空中で用い
る場合には、高温安定性薄膜を有する薄板母材が外部に
露出しないように配置する。真空下で使用する場合は、
フレキシブル導体の外界からの保護が必要でないし、薄
膜が剥離したり脱落する危険性を避ける意味もある。When the flexible conductor of the present invention is used in a vacuum, the thin plate base material having the high temperature stable thin film is arranged so as not to be exposed to the outside. When using under vacuum,
There is no need to protect the flexible conductor from the outside world, and this also has the purpose of avoiding the risk of the thin film peeling or falling off.

【００１６】端子４を電気機器の必要部分に接合又は固
定する。貫通孔５は薄板部材２と薄板部材３とを積層し
た場合、薄板部材２の貫通孔５と重なる位置に設ける。
薄板部材２と薄板部材３の積層体はその両端部で、長手
方向の２ヶ所，合計４個所で接合する。このうちの１ヶ
所は導電性薄板部材２のみが積層され、導電性薄板部材
２の積層体が隙間なく接合できる貫通孔５′付近であ
り、薄板部材２の各間をろう付け接合している。ろう付
け接続点と機械的接続点（ボルト接続点）の間は結合さ
れていないので、自由に動くことができる。The terminal 4 is joined or fixed to a necessary part of the electric equipment. When the thin plate member 2 and the thin plate member 3 are stacked, the through hole 5 is provided at a position overlapping the through hole 5 of the thin plate member 2.
The laminated body of the thin plate member 2 and the thin plate member 3 is joined at two ends in the longitudinal direction, that is, at a total of four places. One of them is near the through hole 5 'where only the conductive thin plate member 2 is laminated, and the laminated body of the conductive thin plate member 2 can be joined without any gap, and the respective thin plate members 2 are joined by brazing. . Since there is no connection between the brazed connection point and the mechanical connection point (bolt connection point), it can move freely.

【００１７】ろう付け部分は導体との接続部であり、導
体への通電部となる。導体には貫通孔５が重なり合って
形成された接続孔に接続具４を挿通し接続する。他方の
１ヶ所は導電性薄板部材２と薄板部材３が積層され、そ
れらに形成された貫通孔５が重なり合う付近であり、貫
通孔５が重なり合って形成された締結孔１０にボルト１
１を挿通しボルト結合する。The brazing portion is a connection portion with the conductor, and serves as a current supply portion to the conductor. The connecting member 4 is inserted into and connected to the connection hole formed by overlapping the through hole 5 with the conductor. The other one is where the conductive thin plate member 2 and the thin plate member 3 are laminated and the through holes 5 formed in them are overlapped, and the bolt 1 is inserted into the fastening hole 10 formed by overlapping the through holes 5.
1 and bolted together.

【００１８】導電性薄板部材２として使用できる金属
は、電気抵抗が低い物が良く、無酸素銅，タフピッチ
銅，アルミニウム，銀などがある。ロウ付け等を８００
℃以上で行う場合には、信頼性の点から無酸素銅が好ま
しい材料である。無酸素銅は、１.７２４μΩcm の電気
抵抗を有する。薄板部材２の大きさは通電容量などによ
り決定されるが、本実施例では幅４０mm，長さ１５０m
m，厚さ０.２５mm の矩形板を用いた。The metal that can be used as the conductive thin plate member 2 is preferably one having a low electric resistance, such as oxygen-free copper, tough pitch copper, aluminum, and silver. 800 for brazing
When performed at a temperature of not less than ° C., oxygen-free copper is a preferable material from the viewpoint of reliability. Oxygen-free copper has an electrical resistance of 1.724 μΩcm. The size of the thin plate member 2 is determined by the current carrying capacity or the like. In this embodiment, the width is 40 mm and the length is 150 m.
A rectangular plate having a thickness of 0.25 mm and a thickness of 0.25 mm was used.

【００１９】高温安定性薄膜を有する薄板部材３の形状
は、図２（ａ)〜(ｅ）に例示されている。（ａ）は薄板
のままであるが、（ｂ)〜(ｅ）は薄板部材の中央部近傍
の剛性を調節するために、その平面形状を工夫した。
（ｂ）では、薄板の中央部を狭くしたもので、（ｃ）は
中間部分に複数個の孔６を設けた。（ｄ）は薄板の中央
部に１個の孔７を設け、（ｅ）では長手方向２ヶ所には
円形の貫通孔９，９′を設けた。このように薄板の形状
を制御することにより、フレキシブル導体の固着点間の
中央部近傍における剛性が調節される。これにより固着
点近傍の応力が緩和され、フレキシブル導体の準用を長
くすることができる。（ｃ）においては、直径６mmの円
形孔を９個形成した。（ｄ）においては、長さ５０mm，
幅２５mmの楕円形の孔を設けた。（ｅ）において、薄板
部材３の中央部には貫通孔７を幅方向に２列平行に設け
ている。貫通孔７は長手方向に長細い長円又は楕円形の
孔であり、長手方向の径寸法を５０mm，幅方向の径寸法
を１２mmとした。The shape of the thin plate member 3 having a high temperature stable thin film is illustrated in FIGS. 2 (a) to 2 (e). (A) is a thin plate, but (b) to (e) devised the planar shape thereof in order to adjust the rigidity near the center of the thin plate member.
In (b), the center of the thin plate is narrowed, and (c), a plurality of holes 6 are provided in the middle. In (d), one hole 7 is provided in the center of the thin plate, and in (e), circular through holes 9, 9 'are provided in two places in the longitudinal direction. By controlling the shape of the thin plate in this manner, the rigidity in the vicinity of the center between the fixing points of the flexible conductor is adjusted. This alleviates the stress in the vicinity of the fixing point, and makes it possible to extend the application of the flexible conductor. In (c), nine circular holes having a diameter of 6 mm were formed. In (d), the length is 50 mm,
An oval hole having a width of 25 mm was provided. In (e), two rows of through holes 7 are provided in the center of the thin plate member 3 in parallel in the width direction. The through-hole 7 is an oblong or elliptical hole elongated in the longitudinal direction, and has a diameter of 50 mm in the longitudinal direction and 12 mm in the width direction.

【００２０】実施例で用いたＳＵＳ３０４の薄板部材３
は幅４０mm，長さ１２０mm，厚さ０.１mm の矩形板であ
り、その表面にクロム酸化皮膜を形成した。枚数は無酸
素銅１０枚，ステンレススチール板９枚であった。SUS304 thin plate member 3 used in the embodiment
Is a rectangular plate having a width of 40 mm, a length of 120 mm and a thickness of 0.1 mm, and a chromium oxide film is formed on the surface thereof. The number was 10 oxygen-free copper sheets and 9 stainless steel plates.

【００２１】上記の試料を用いて、図２に示した各種薄
板部材の形状による応力緩和効果について検討した。結
果を図３に示す。図において、□で囲ったＡ，Ｂはフレ
キシブル導体の積層部分の固定点を示し、ｐは変形前の
薄板部材、ｑは変形後の薄板部材の形状を示す。図３
（ａ）は平板のままで用いた応力分布を示す。固定点に
おける最大応力は２３.８kgf／mm²であった。図３
（ｂ）の場合、最大応力は１８.７kgf／mm²であり、以
下（ｃ)，(ｄ)，(ｅ）の場合最大応力はそれぞれ２３.
０kgf／mm²，１９.５kgf／mm²，１９.９kgf／mm²であっ
た。上記評価結果で、最大応力が高いものが必ずしも不
適当な形状ということではない。例えば、（ｃ）では孔
の大きさ，数を修正すれば最大応力を十分小さくできる
可能性がある。しかし、加工性，効果の大きさから、上
記評価結果から言えば、（ｅ）のように、長楕円あるい
は長方形の孔を薄板の長手方向に複数個設けたものが良
好である。Using the above-mentioned samples, the effect of stress relaxation by the shapes of the various thin plate members shown in FIG. 2 was examined. The results are shown in FIG. In the figure, A and B enclosed by squares indicate the fixing points of the laminated portions of the flexible conductor, p indicates the shape of the thin plate member before deformation, and q indicates the shape of the thin plate member after deformation. FIG.
(A) shows a stress distribution used as a flat plate. The maximum stress at the fixed point was 23.8 kgf / mm ² . FIG.
In the case of (b), the maximum stress is 18.7 kgf / mm ² , and in the following cases (c), (d) and (e), the maximum stress is 23.
^{0kgf / mm 2, 19.5kgf / mm} 2, was 19.9kgf / mm ^2. In the above evaluation results, the one with the highest maximum stress is not necessarily an inappropriate shape. For example, in (c), the maximum stress may be sufficiently reduced by modifying the size and number of the holes. However, from the above evaluation results, it is preferable that a plurality of oblong or rectangular holes are provided in the longitudinal direction of the thin plate as shown in FIG.

【００２２】以下に各種薄板基体を用いて、高温安定性
薄膜を形成する例を具体的に説明する。好ましい高温安
定性薄膜は、クロム，鉄，アルミニウム，ニッケル，け
い素，ベリリウム，ジルコニウム，タンタルの酸化膜，
窒化膜，炭化膜，硼化膜があるが、特にクロム酸化膜が
安定性があり好ましい。Hereinafter, an example of forming a high-temperature stable thin film using various thin-plate substrates will be specifically described. Preferred high temperature stable thin films are oxide films of chromium, iron, aluminum, nickel, silicon, beryllium, zirconium, tantalum,
There are a nitride film, a carbide film and a boride film, and a chromium oxide film is particularly preferable because of its stability.

【００２３】例１； Ｃｒ₂Ｏ₃：三酸化二クロム（単に酸化クロムともいう）
或いはＦｅＯ：酸化鉄又はＦｅ₂Ｏ₃：三酸化二鉄（単に
酸化鉄ともいう）Ｆｅ₃Ｏ₄：四酸化三鉄（単に酸化鉄と
もいう）を主成分とする酸化皮膜が形成されたステンレ
ススチール（ＳＵＳ３１６Ｌ）製の薄板部材。Example 1 Cr ₂ O ₃ : dichromium trioxide (also referred to simply as chromium oxide)
Alternatively, FeO: iron oxide or Fe ₂ O ₃ : diiron trioxide (also simply referred to as iron oxide) Fe ₃ O ₄ : stainless steel on which an oxide film mainly composed of triiron tetroxide (also simply referred to as iron oxide) is formed A thin plate made of steel (SUS316L).

【００２４】例２； Ａｌ₂Ｏ₃：三酸化二アルミニウム（単にアルミナともい
う）を主成分とする酸化皮膜が形成されたアルミニウム
含有の金属製の薄板部材。Example 2 Al ₂ O ₃ : An aluminum-containing metal sheet member on which an oxide film mainly composed of dialuminum trioxide (also referred to simply as alumina) is formed.

【００２５】例３； ＳｉＯ₂：二酸化シリコン（単にシリカともいう）を主
成分とする酸化皮膜が形成されたシリコン含有の金属製
の薄板部材。Example 3 SiO ₂ : A silicon-containing metal sheet member on which an oxide film mainly composed of silicon dioxide (also referred to simply as silica) is formed.

【００２６】例４； ＺｒＯ₂：二酸化ジルコニウム（単にジルコニアともい
う）を主成分とする酸化皮膜が形成されたジルコニウム
含有の金属製の薄板部材。Example 4 ZrO ₂ : A zirconium-containing metal sheet member formed with an oxide film containing zirconium dioxide (also referred to simply as zirconia) as a main component.

【００２７】例５； ＴｉＯ₂：二酸化チタン（単にチタニアともいう）を主
成分とする酸化皮膜が形成されたチタン含有の金属製の
薄板部材。Example 5: TiO ₂ : A titanium-containing metal sheet member on which an oxide film mainly composed of titanium dioxide (also referred to simply as titania) is formed.

【００２８】例６； ＮｉＯ：酸化ニッケルを主成分とする酸化皮膜が形成さ
れたニッケル含有の金属製の薄板部材。Example 6: NiO: a nickel-containing metal sheet member on which an oxide film mainly composed of nickel oxide is formed.

【００２９】例７； ＢｅＯ：酸化ベリリウム（単にベリリアともいう）を主
成分とする酸化皮膜が形成されたベリリウム含有の金属
製の薄板部材。Example 7: BeO: a beryllium-containing metal sheet member on which an oxide film mainly composed of beryllium oxide (also referred to simply as beryllia) is formed.

【００３０】例８； ＴｉＮ：窒化チタンを主成分とする窒化皮膜が形成され
たチタン含有の金属製の薄板部材。Example 8: TiN: a titanium-containing metal thin plate member formed with a nitride film containing titanium nitride as a main component.

【００３１】例９； ＭｏＮ：窒化モリブデンを主成分とする窒化皮膜が形成
されたモリブデン含有の金属製の薄板部材。Example 9: MoN: Molybdenum-containing metal sheet member on which a nitride film containing molybdenum nitride as a main component is formed.

【００３２】例１０； ＣｒＮ：窒化クロムを主成分とする窒化皮膜が形成され
たステンレス（ＳＵＳ３１６Ｌ）製の薄板部材。Example 10: CrN: a thin plate member made of stainless steel (SUS316L) on which a nitride film mainly composed of chromium nitride is formed.

【００３３】例１１； ＺｒＮ：窒化ジルコニウムを主成分とする窒化皮膜が形
成されたジルコニウム含有の金属製の薄板部材。Example 11 ZrN: Zirconium-containing metal sheet member on which a nitride film containing zirconium nitride as a main component is formed.

【００３４】例１２；炭化クロムを主成分とする炭化皮
膜が形成されたステンレス(ＳＵＳ３１６Ｌ)製の薄板部
材。Example 12: A thin plate made of stainless steel (SUS316L) on which a carbonized film mainly composed of chromium carbide is formed.

【００３５】例１３；炭化チタンを主成分とする炭化皮
膜が形成されたチタン含有の金属製の薄板部材。Example 13: A titanium-containing metal sheet member on which a carbonized film containing titanium carbide as a main component is formed.

【００３６】例１４；炭化ジルコニウムを主成分とする
炭化皮膜が形成されたジルコニウム含有の金属製の薄板
部材。Example 14: A zirconium-containing metal sheet member having a zirconium carbide-based carbonized film formed thereon.

【００３７】例１５；炭化モリブデンを主成分とする炭
化皮膜が形成されたモリブデン含有の金属製の薄板部
材。Example 15: A molybdenum-containing metal sheet member formed with a carbonized film containing molybdenum carbide as a main component.

【００３８】次に、フレキシブル導体１の製造方法につ
いて説明する。 （製造工程１）幅４０mm，長さ１５０mm，厚さ０.２５m
m の矩形状の無酸素銅製の薄板部材２を２０枚用意し、
薄板部材２の各々の両端部の長手方向２ヶ所に貫通孔
４，５を設けた。 （製造工程２）幅４０mm，長さ１２０mm，厚さ０.１mm
の矩形状のステンレススチール製薄板部材３を１９枚用
意し、薄板部材３の各々の両端部に貫通孔６を設けた。
また、薄板部材３の中央部に長手方向の径寸法が５０m
m，幅方向の径寸法が１２mmの長円又は楕円形の貫通孔
７を幅方向に２列平行に設けた。 （製造工程３）薄板部材３を８００℃の温度で１時間加
熱する。この時、酸化皮膜を形成する際は大気中で加熱
し、窒化皮膜を形成する際は窒素雰囲気中で加熱し、炭
化皮膜を形成する際は炭化水素ガス雰囲気中で加熱す
る。これにより、薄板部材３の表面には厚み０.００１
〜０.０１ミクロン程度の酸化皮膜又は窒化皮膜又は炭
化皮膜を形成することができる。 （製造工程４）薄板部材２と薄板部材３とを交互に積層
し、薄板部材２の各間に薄板部材３が配置された積層体
を得る。 （製造工程５）積層体の両端部の薄板部材２のみが積層
され、薄板部材２の積層体が隙間なく接合できる貫通孔
５付近にロウ材を挟み、これを真空炉中内において８０
０℃以上の温度で加熱する。これにより、ロウ材が融解
し、貫通孔５付近が一体に接合される。 （製造工程６）積層体の両端部の薄板部材２と薄板部材
３が積層され、貫通孔５と貫通孔６が重なり合う付近
を、貫通孔７と貫通孔９が重なり合って形成された締結
孔６にボルト１１，ナット８を挿通しボルト結合する。
これにより、通電面積が少なくとも２００mm²，通電容
量２５ｋＡで１秒もつ強度を有するフレキシブル導体１
を得ることができる。Next, a method of manufacturing the flexible conductor 1 will be described. (Manufacturing process 1) width 40mm, length 150mm, thickness 0.25m
Prepare 20 rectangular thin plate members 2 of oxygen-free copper
Through holes 4 and 5 were provided at two longitudinal ends of each end of the thin plate member 2. (Manufacturing process 2) width 40mm, length 120mm, thickness 0.1mm
19 thin stainless steel thin plate members 3 were prepared, and through holes 6 were provided at both ends of each of the thin plate members 3.
In the center of the thin plate member 3, the diameter in the longitudinal direction is 50m.
m, elliptical or elliptical through holes 7 having a diameter of 12 mm in the width direction were provided in two rows parallel to the width direction. (Manufacturing process 3) The thin plate member 3 is heated at a temperature of 800 ° C. for 1 hour. At this time, heating is performed in the air when forming an oxide film, heating in a nitrogen atmosphere when forming a nitride film, and heating in a hydrocarbon gas atmosphere when forming a carbonized film. Thus, the surface of the thin plate member 3 has a thickness of 0.001.
An oxide film, a nitride film, or a carbonized film having a thickness of about 0.01 μm can be formed. (Manufacturing process 4) The thin plate members 2 and the thin plate members 3 are alternately stacked to obtain a laminate in which the thin plate members 3 are arranged between the thin plate members 2. (Manufacturing process 5) Only the thin plate members 2 at both ends of the laminate are laminated, and a brazing material is sandwiched in the vicinity of the through hole 5 where the laminate of the thin plate members 2 can be joined without a gap.
Heat at a temperature above 0 ° C. Thereby, the brazing material is melted and the vicinity of the through hole 5 is integrally joined. (Manufacturing process 6) The thin plate member 2 and the thin plate member 3 at both ends of the laminated body are laminated, and the vicinity of the overlap of the through hole 5 and the through hole 6 is defined as the fastening hole 6 formed by the overlap of the through hole 7 and the through hole 9 , And bolts 11 and nuts 8 are inserted and bolted together.
As a result, a flexible conductor 1 having a current carrying area of at least 200 mm ² and a current carrying capacity of 25 kA and having a strength of 1 second
Can be obtained.

【００３９】本発明のフレキシブル導体は真空中でガス
発生がないから、真空度を悪化させることがなく、動作
性，耐熱性，耐久性，電気的特性が優れている。また、
本発明のフレキシブル導体は、編組構造のフレキシブル
導体に比べ、動作性（真空中での結合の起こりにくさ，
可動性），製造コスト，疲労強度，ガス放出性において
優れている。また、ベローズ型フレキシブル導体に比べ
て通電容量（通電面積の確保し易さ），製造コストの点
で優れている。Since the flexible conductor of the present invention does not generate gas in a vacuum, it does not deteriorate the degree of vacuum and is excellent in operability, heat resistance, durability and electrical characteristics. Also,
The flexible conductor of the present invention has a higher operability (the lower the possibility of bonding in a vacuum,
(Movability), manufacturing cost, fatigue strength, and gas release. In addition, compared with the bellows-type flexible conductor, it is superior in terms of current carrying capacity (easiness of securing a current carrying area) and manufacturing cost.

【００４０】次に、上述した本発明のフレキシブル導体
１を用いた真空スイッチの構造を図４に示す。本実施例
の真空スイッチギアは、図示しない金属外被内に、遮断
器を収納した第１真空容器２１，第１真空容器２１を収
納した第２真空容器２２を備える。第２真空容器２２と
絶縁物４１及び導電性部材４５を介して接続され、接地
装置４６と断路器４７を収納した第３真空容器２３が配
置されている。FIG. 4 shows the structure of a vacuum switch using the above-described flexible conductor 1 of the present invention. The vacuum switchgear of this embodiment includes a first vacuum vessel 21 containing a circuit breaker and a second vacuum vessel 22 containing the first vacuum vessel 21 in a metal jacket (not shown). A third vacuum vessel 23 connected to the second vacuum vessel 22 via an insulator 41 and a conductive member 45 and containing a grounding device 46 and a disconnector 47 is provided.

【００４１】第１真空容器２１は、後述するようにアー
クシールドとしての役割を有するように構成することも
できる。第２真空容器２２及び第３真空容器２３内の導
体１１，１０は本発明のフレキシブル導体である。フレ
キシブル導体１１は導体６２，導体６１を介して、ブッ
シング６３に接続され、さらに図示しない接続部を用い
て、図示しない母線に接続されている。第２，第３真空
容器は三相分配列することもできるが図示していない。
母線は、真空容器の配列方向に三相分引き出されている
が、公知邸項などの図には示していない。第３真空容器
２３内の導体フレキシブル導体１０は、ブッシング２
６，接続部７２を介してケーブル(図示せず)に接続され
ている。The first vacuum vessel 21 can be configured to have a role as an arc shield as described later. The conductors 11 and 10 in the second vacuum vessel 22 and the third vacuum vessel 23 are flexible conductors of the present invention. The flexible conductor 11 is connected to the bushing 63 via the conductors 62 and 61, and further connected to a bus (not shown) using a connection (not shown). The second and third vacuum vessels can be arranged for three phases, but are not shown.
The bus bars are drawn out for three phases in the arrangement direction of the vacuum containers, but are not shown in the figures of the public house. The conductor flexible conductor 10 in the third vacuum vessel 23 is
6, connected to a cable (not shown) via a connection portion 72.

【００４２】第２真空容器２２及び第３真空容器２３
は、後述するようにそれぞれ接地されており、その側壁
は接地電位となっているので、三相分接触もしくは近接
させて配置することができる。図示しない金属箱外被内
には、保護継電器を収納した箱が配置され、この保護継
電器により事故の発生等が検知されると、操作箱の操作
機構部を制御して遮断器４８，接地装置４６及び断路器
４７の開閉操作を制御する。これら操作箱及び保護継電
器を収納した箱により操作コンパートメントが形成され
ている。操作コンパートメントの各機器は、後述するよ
うに第２真空容器２２，第３真空容器２３とが接地電位
となっているため、これらの真空容器に近接させて配置
することができ、スイッチギア全体の大きさをコンパク
トなものにすることができる。Second vacuum vessel 22 and third vacuum vessel 23
Are grounded as described later, and their side walls are at the ground potential, so that they can be arranged in contact with or close to three phases. A box housing a protective relay is disposed in a metal box jacket (not shown). When an occurrence of an accident or the like is detected by the protective relay, the operation mechanism of the operation box is controlled to control the circuit breaker 48 and the grounding device. The opening and closing operations of the disconnector 46 and the disconnector 47 are controlled. An operation compartment is formed by a box containing the operation box and the protective relay. Since the second vacuum vessel 22 and the third vacuum vessel 23 are at the ground potential as described later, each device in the operation compartment can be arranged close to these vacuum vessels, and the entire switchgear can be arranged. The size can be made compact.

【００４３】第１真空容器２１の円筒状の側壁は、例え
ばステンレススチールなどの導電性材料で形成され、側
壁は例えばセラミックで形成された絶縁物４１，４５で
固定支持され、絶縁物４０部で支持されている。絶縁物
４０の中央部には、導体５０が設けられ、第１真空容器
１内の導体５０の端部には固定電極１２が設けられてい
る。固定電極１２に対向して可動電極１３が設けられ、
遮断器を構成している。第１真空容器１内の可動電極１
３を操作する可動ブレード４９は、絶縁物１７を貫通し
て図示しない操作ロッドに接続される。操作ロッドは、
操作機構部を収納した遮断器の図示しない操作箱に接続
されており、操作機構部の動作により可動電極１３と固
定電極１２との接離が行われる。The cylindrical side wall of the first vacuum vessel 21 is formed of a conductive material such as stainless steel, and the side wall is fixed and supported by insulators 41 and 45 formed of, for example, ceramic. Supported. A conductor 50 is provided at the center of the insulator 40, and the fixed electrode 12 is provided at an end of the conductor 50 in the first vacuum vessel 1. A movable electrode 13 is provided to face the fixed electrode 12,
Constructs a circuit breaker. Movable electrode 1 in first vacuum vessel 1
The movable blade 49 for operating 3 is connected to an operating rod (not shown) through the insulator 17. The operating rod is
It is connected to an operation box (not shown) of the circuit breaker that houses the operation mechanism, and the operation of the operation mechanism causes the movable electrode 13 and the fixed electrode 12 to approach and separate from each other.

【００４４】固定電極１２と絶縁物４１及び可動電極１
３と絶縁物４０との間には側壁に固定されたセラミッ
ク，酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃），酸化亜鉛（ＺｒＯ₂）の
少なくとも１種類の絶縁物が溶射によりコーティングさ
れたアークシールド１９，２０が設けられている。第１
真空容器１の内側の絶縁物４０にもアークシールド１８
が設けられている。The fixed electrode 12, the insulator 41 and the movable electrode 1
Arc shields 19, 20 coated by thermal spraying with at least one kind of insulator of ceramic, aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ), and zinc oxide (ZrO ₂ ) fixed to the side wall between insulator 3 and insulator 40. Is provided. First
The arc shield 18 is also provided on the insulator 40 inside the vacuum vessel 1.
Is provided.

【００４５】このように、第１真空容器２１を接地され
た真空容器２２に収納しているので、第１真空容器２１
は、中間的な電位になり、第２真空容器２２との間で絶
縁破壊が生じるのを防止することができる。又、第１真
空容器と第２真空容器で真空を維持するので、第１真空
容器が万一壊れても真空絶縁を保つことができる。As described above, since the first vacuum vessel 21 is housed in the grounded vacuum vessel 22, the first vacuum vessel 21
Becomes an intermediate potential, which can prevent the occurrence of dielectric breakdown with the second vacuum vessel 22. Further, since vacuum is maintained in the first vacuum vessel and the second vacuum vessel, even if the first vacuum vessel is broken, vacuum insulation can be maintained.

【００４６】第１真空容器２１を収納している第２真空
容器２２は、Ｌ字状に形成され、その軸線方向が第１真
空容器２１の軸線方向と同一の部分と直行する部分を有
している。第２真空容器２２の側壁には、円筒状の筒部
が設けられ、筒部と可動ブレード３６とはベローズ３４
で接続されて第２真空容器２２の気密を保っている。絶
縁物４０を貫通して設けられる可動ブレード３６と可動
導体５１との間には、絶縁物１７が設けられる。絶縁物
１７の第１真空容器２１側には、フレキシブル導体１１
が取り付けられている。側壁には、絶縁物を介してフレ
キシブル導体１１の一方の端部が固定されている。この
導体１１が固定されている部分には、接続導体６２がと
もに取り付けられており、接続導体６２は、導体６１に
接続されている。側壁には、導体６１の外周側にブッシ
ング２７が設けられる。フレキシブル導体１０の一方の
端部が固定されている部分の絶縁物４１とは反対側には
接地装置２４の固定電極３１が設けられている。固定電
極３１には対向して可動電極３０が設置されており、可
動電極３１は可動ブレード２９に接続されている。側壁
の筒部内にはベローズ３２が設けられており、ベローズ
３２の一端が筒部に、他端が可動ブレード３２に絶縁物
１６を介して接続されて第２真空容器２の気密を保って
いる。可動ブレード３２には接地導体２８が取り付けら
れており、接地されている。可動ブレード２９はリンク
に接続され、リンクは図示しない操作機構部に接続され
ている。このように、遮断器の可動ブレードを往復運動
するように構成したので、固定電極と可動電極の接点を
簡単な構成にすることができる。The second vacuum vessel 22 containing the first vacuum vessel 21 is formed in an L-shape, and has a portion whose axial direction is orthogonal to the same portion as the axial direction of the first vacuum vessel 21. ing. A cylindrical tube portion is provided on the side wall of the second vacuum vessel 22, and the tube portion and the movable blade 36 are connected to a bellows 34.
To keep the second vacuum vessel 22 airtight. The insulator 17 is provided between the movable blade 36 provided through the insulator 40 and the movable conductor 51. The flexible conductor 11 is provided on the first vacuum vessel 21 side of the insulator 17.
Is attached. One end of the flexible conductor 11 is fixed to the side wall via an insulator. A connection conductor 62 is attached to a portion to which the conductor 11 is fixed, and the connection conductor 62 is connected to the conductor 61. On the side wall, a bushing 27 is provided on the outer peripheral side of the conductor 61. The fixed electrode 31 of the grounding device 24 is provided on the opposite side of the portion where one end of the flexible conductor 10 is fixed to the insulator 41. A movable electrode 30 is provided facing the fixed electrode 31, and the movable electrode 31 is connected to a movable blade 29. A bellows 32 is provided in the cylindrical portion of the side wall. One end of the bellows 32 is connected to the cylindrical portion, and the other end is connected to the movable blade 32 via the insulator 16 to keep the second vacuum vessel 2 airtight. . A ground conductor 28 is attached to the movable blade 32 and is grounded. The movable blade 29 is connected to a link, and the link is connected to an operation mechanism (not shown). As described above, since the movable blade of the circuit breaker is configured to reciprocate, the contact between the fixed electrode and the movable electrode can be simplified.

【００４７】接地真空容器の少なくとも一方には、真空
度を測定するための真空測定装置２４，２５が取り付け
られている。この真空測定装置は、マグネトロン方式の
測定装置を採用している。At least one of the grounded vacuum vessels is provided with vacuum measuring devices 24 and 25 for measuring the degree of vacuum. This vacuum measuring device employs a magnetron type measuring device.

【００４８】第３真空容器２３の円筒状の側壁は、例え
ばステンレススチールの導体性材料で形成され、第３真
空容器２３は、その軸線方向が第１真空容器１の軸線方
向とは直行する方向で第２真空容器２の軸線方向に沿っ
て配置されている。The cylindrical side wall of the third vacuum vessel 23 is formed of, for example, a conductive material such as stainless steel. The third vacuum vessel 23 has a direction in which the axial direction is perpendicular to the axial direction of the first vacuum vessel 1. Are arranged along the axial direction of the second vacuum vessel 2.

【００４９】このように、遮断器の固定電極１２と断路
器４８の固定電極１５を導体５０の両端部に設けている
ので、断路器４８をゆっくり投入して力を加えた後、遮
断器を投入することにより遮断器の可動電極１３に加え
る力と断路器４８の可動電極４１をバランスさせること
ができるので、絶縁物４１を薄く形成しても良く、小型
化できる。本発明のフレキシブル導体は、固定点の中間
部分の剛性を他の部分より小さくした薄板３を用いてい
るので、集合体としてのフレキシブル導体の運動が容易
で、固定点における応力が小さくなるので、導体の長さ
を小さくしてもよい。この事が、真空スイッチの小型化
をより一層助けることになる。As described above, since the fixed electrode 12 of the circuit breaker and the fixed electrode 15 of the disconnector 48 are provided at both ends of the conductor 50, the disconnector 48 is slowly turned on and a force is applied. By applying the power, the force applied to the movable electrode 13 of the circuit breaker and the movable electrode 41 of the disconnector 48 can be balanced, so that the insulator 41 may be formed thinner, and the size can be reduced. Since the flexible conductor of the present invention uses the thin plate 3 in which the rigidity of the middle part of the fixed point is smaller than that of the other parts, the movement of the flexible conductor as an aggregate is easy, and the stress at the fixed point is reduced. The length of the conductor may be reduced. This will further help reduce the size of the vacuum switch.

【００５０】図５（ａ）は図４の真空スイッチに用いら
れたフレキシブル導体１の構造を示す断面図で、導電性
薄板２と高温安定性薄膜を有する薄板３との積層体をＵ
字型に成形した構造を有する。図の上部の屈曲部は薄板
が互いに僅かに離間できるように成形して取り付けてあ
る。この場合、ステンレススチールＳＵＳ３０４の薄板
３には図２（ｅ）の貫通孔を設けた。FIG. 5A is a cross-sectional view showing the structure of the flexible conductor 1 used in the vacuum switch of FIG. 4. A laminate of a conductive thin plate 2 and a thin plate 3 having a high-temperature stable thin film is referred to as U.
It has a structure that is shaped like a letter. The bends at the top of the figure are molded and attached so that the sheets can be slightly separated from each other. In this case, the thin plate 3 of stainless steel SUS304 was provided with the through hole shown in FIG.

【００５１】部分ｓは薄板２，３の上記積層部分である
が、上記のように互いに密着していない。部分ｒは導電
性薄板２と薄板３とが整列密着しているが、ロウ材や図
１に示したようなボルト等で固定されていない。部分ｘ
は導電性薄板２と薄板３との重ね部のロウ付け部分であ
り、板ロウ材９０を用いて導電性薄板２の端部を互いに
接合して、電気的に接合する。この実施例のフレキシブ
ル導体は、図１のフレキシブル導体に比べて、接続構造
が著しく簡単になり、可動部にかかる疲労度も少ないの
で長寿命である。図１の場合と異なって、導電性薄板２
の端部を互いに電気的に接続している。The portion s is the above-mentioned laminated portion of the thin plates 2 and 3, but does not adhere to each other as described above. In the portion r, the conductive thin plate 2 and the thin plate 3 are aligned and in close contact with each other, but are not fixed with a brazing material or bolts as shown in FIG. Part x
Is a brazing portion of the overlapping portion of the conductive thin plate 2 and the thin plate 3, and the ends of the conductive thin plate 2 are joined to each other by using a plate brazing material 90 to be electrically joined. Compared with the flexible conductor of FIG. 1, the flexible conductor of this embodiment has a significantly simpler connection structure and a less fatigue on the movable part, and thus has a longer life. Unlike the case of FIG.
Are electrically connected to each other.

【００５２】なお、本発明のフレキシブル導体は真空中
でなくとも使用可能である。The flexible conductor of the present invention can be used even in a vacuum.

【００５３】[0053]

【発明の効果】本発明によれば、導電性薄板部材間の結
合を防止することができ、特に真空中の通電導体として
好適なフレキシブル導体を提供することができる。ま
た、このフレキシブル導体を用いることにより、安定し
た動作をする真空スイッチを提供することができる。According to the present invention, it is possible to prevent coupling between the conductive thin plate members, and to provide a flexible conductor which is particularly suitable as a current-carrying conductor in a vacuum. Further, by using this flexible conductor, a vacuum switch that operates stably can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施例によるフレキシブル導体の構成
を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a flexible conductor according to an embodiment of the present invention.

【図２】（ａ)〜(ｅ）は、本発明で用いられる高温安定
性薄膜を有するステンレス部材の構造を示す平面図であ
る。FIGS. 2A to 2E are plan views showing the structure of a stainless steel member having a high-temperature stable thin film used in the present invention.

【図３】図２（ａ)〜(ｅ）の応力緩和効果を説明する図
である。FIG. 3 is a view for explaining the stress relaxation effects of FIGS. 2 (a) to 2 (e).

【図４】本発明による真空スイッチの構成を示す断面図
である。FIG. 4 is a sectional view showing a configuration of a vacuum switch according to the present invention.

【図５】（ａ）は図４の真空スイッチに用いたフレキシ
ブル導体の構造を示す断面図で、（ｂ）はその部分詳細
断面図である。5A is a sectional view showing a structure of a flexible conductor used in the vacuum switch of FIG. 4, and FIG. 5B is a partial detailed sectional view thereof.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…フレキシブル導体、２…導電性薄板部材、３…高温
安定性薄膜を有する薄板部材、４…接続具、５，５′…
貫通孔、１１…ボルト。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flexible conductor, 2 ... Conductive thin plate member, 3 ... Thin plate member having a high-temperature stable thin film, 4 ... Connector, 5, 5 '...
Through holes, 11 ... bolts.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷水 徹 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分事業所内 (72)発明者 小室 勝博 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 三代 拓也 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分事業所内 (72)発明者 横山 博 東京都千代田区内幸町１丁目１番３号 東 京電力株式会社内 (72)発明者 村田 孝一 東京都千代田区内幸町１丁目１番３号 東 京電力株式会社内 (72)発明者 花渕 良太郎 東京都千代田区内幸町１丁目１番３号 東 京電力株式会社内 Ｆターム(参考） 5G307 BA07 BB02 BC04 BC08 BC09 BC10  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Toru Tanimizu 1-1-1, Kokubuncho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside Kokubu Works, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Katsuhiro Komuro 7-1, Omikamachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Inside Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Takuya Mitshiro 1-1-1, Kokubuncho, Hitachi City, Ibaraki Pref., Japan Inside (72) Inventor Hiroshi Yokoyama 1, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo No. 1-3 Inside Tokyo Electric Power Company (72) Koichi Murata Inventor 1-3-1 Uchisaiwai-cho, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Tokyo Electric Power Company (72) Ryotaro Hanabuchi 1-1-1, Uchisaiwai-cho, Chiyoda-ku, Tokyo No. 3 Tokyo Electric Power Company F-term (reference) 5G307 BA07 BB02 BC04 BC08 BC09 BC10

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】複数の導電性薄板部材と、各導電性薄板部
材間に高温安定性の薄膜が密着した複数の薄板部材を交
互に積層し、積層部分において両者を機械的に一体化
し、端子部において上記導電性薄板同士を電気的に接続
したものであって、該高温安定性薄膜が密着した薄板部
材の長さ方向の上記一体化点間における中央部近傍の剛
性を他の部分よりも小さくしたことを特徴とするフレキ
シブル導体。A plurality of conductive thin plate members and a plurality of thin plate members having a high-temperature stable thin film adhered between the conductive thin plate members are alternately laminated, and the two are mechanically integrated in a laminated portion to form a terminal. In the part, the conductive thin plates are electrically connected to each other, and the rigidity near the center between the integration points in the length direction of the thin plate member to which the high-temperature stable thin film adheres is higher than that of the other parts. Flexible conductor characterized by reduced size. 【請求項２】請求項１において、前記導電性を有する薄
板部材は、無酸素銅であることを特徴とするフレキシブ
ル導体。2. A flexible conductor according to claim 1, wherein said conductive thin plate member is made of oxygen-free copper. 【請求項３】請求項１において、前記高温安定性の薄膜
は薄板表面に形成した酸化物，窒化物，炭化物，硼化物
のいずれかを含むことを特徴とするフレキシブル導体。3. The flexible conductor according to claim 1, wherein the high-temperature-stable thin film contains any of oxides, nitrides, carbides, and borides formed on the surface of the thin plate. 【請求項４】請求項１において、該薄膜は、クロム，
鉄，チタン，アルミニウム，ニッケル，けい素，ベリリ
ウム及びジルコニウムのいずれかを含むことを特徴とす
るフレキシブル導体。4. The method according to claim 1, wherein the thin film comprises chromium,
A flexible conductor containing any of iron, titanium, aluminum, nickel, silicon, beryllium, and zirconium. 【請求項５】請求項１において、上記高温安定性薄膜を
有する薄板の長さ方向における少なくとも中央部近傍に
１以上の貫通孔を設けたことを特徴とするフレキシブル
導体。5. The flexible conductor according to claim 1, wherein one or more through holes are provided at least in the vicinity of a central portion in a length direction of the thin plate having the high temperature stable thin film. 【請求項６】高温安定性の化合物を形成する金属元素を
含有する薄板部材の少なくとも中央部近傍に貫通孔を形
成し、該薄板部材の表面に該金属元素の高温安定性薄膜
を形成し、この薄膜を有する複数の薄板部材を複数の導
電性薄板部材とを交互に複数積層し、積層部分において
両者を一体化し、端子部において上記導電性薄板部材同
士を電気的に接続することを特徴とするフレキシブル導
体の製造方法。6. A thin plate member containing a metal element forming a high temperature stable compound, a through hole is formed at least in the vicinity of a central portion, and a high temperature stable thin film of the metal element is formed on the surface of the thin plate member. A plurality of thin plate members having this thin film are alternately stacked with a plurality of conductive thin plate members, the two are integrated at a laminated portion, and the conductive thin plate members are electrically connected to each other at a terminal portion. To manufacture flexible conductors. 【請求項７】請求項６において、該薄板部材を８００℃
以上の温度で加熱して厚さ１ミクロン以下の該高温安定
性薄膜を該薄板基板表面に形成することを特徴とするフ
レキシブル導体の製造方法。7. The thin plate member according to claim 6, wherein
A method for producing a flexible conductor, comprising forming the high-temperature stable thin film having a thickness of 1 μm or less on the surface of the thin substrate by heating at the above temperature. 【請求項８】請求項６において、加熱を酸化雰囲気で行
って該薄板部材の表面に密着した酸化物薄膜を形成する
ことを特徴とするフレキシブル導体の製造方法。8. The method according to claim 6, wherein the heating is performed in an oxidizing atmosphere to form an oxide thin film adhered to the surface of the thin plate member. 【請求項９】請求項６において、上記高温安定性薄膜を
有する薄板部材の長さ方向における中央部近傍の剛性が
他の部分よりも小さくなるように、その平面上の面積を
他の部分よりも小さくすることを特徴とするフレキシブ
ル導体の製造方法。9. The flat plate according to claim 6, wherein the rigidity near the center in the longitudinal direction of the thin plate member having the high-temperature stable thin film is smaller than that of the other portion. A method for manufacturing a flexible conductor, characterized in that the size is also reduced. 【請求項１０】真空容器内に配置された接離可能な一対
の電極と、前記真空容器内に少なくとも一部分が配置さ
れ前記電極の可動側に接続導体を介して接続された導体
とを有し、前記接続導体は、複数の導電性薄板部材と、
各導電性薄板部材間に高温安定性の薄膜を有する複数の
薄板部材を交互に積層配置し、少なくとも端子部におい
て上記導電性薄板部材同士を電気的に接続したフレキシ
ブル導体の一方を、上記電極の可動側に電気的に接続し
たものであって、該薄板部材の長さ方向における中央部
近傍の剛性が他の部分よりも小さくなるように、その平
面上の面積を他の部分よりも小さくしたことを特徴とす
る真空スイッチ。10. A pair of electrodes which are arranged in a vacuum chamber and which can be separated from each other, and a conductor which is at least partially arranged in the vacuum chamber and is connected to a movable side of the electrode via a connection conductor. , The connection conductor, a plurality of conductive thin plate members,
A plurality of thin plate members having a high-temperature stable thin film are alternately stacked and arranged between each conductive thin plate member, and at least a terminal portion of one of the flexible conductors electrically connected to the conductive thin plate members is connected to the electrode. It is electrically connected to the movable side, and its area on the plane is made smaller than the other parts so that the rigidity near the center in the length direction of the thin plate member is smaller than the other parts. A vacuum switch characterized in that: 【請求項１１】請求項１０において、上記フレキシブル
導体の高温安定性薄膜が酸化膜であって、その厚さが１
ミクロン以下であることを特徴とする真空スイッチ。11. The high-temperature stable thin film of the flexible conductor according to claim 10, wherein the thin film is an oxide film and has a thickness of 1
A vacuum switch characterized by a sub-micron size. 【請求項１２】請求項１０において、上記高温安定性薄
膜を形成する薄板部材はステンレススチールであること
を特徴とする真空スイッチ。12. A vacuum switch according to claim 10, wherein said thin plate member forming said high temperature stable thin film is made of stainless steel. 【請求項１３】請求項１０において、長さ方向における
中央部近傍の剛性が他の部分よりも小さくなるように、
中央部近傍に１以上の間通孔を形成した上記高温安定性
薄膜を有する薄板部材を使用したフレキシブル導体を用
いたことを特徴とする真空スイッチ。13. The method according to claim 10, wherein the rigidity in the vicinity of the central portion in the length direction is smaller than the other portions.
A vacuum switch using a flexible conductor using a thin plate member having the high temperature stable thin film having one or more through holes formed in the vicinity of a central portion.