JP2001351271A - 光記録媒体 - Google Patents
光記録媒体Info
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- JP2001351271A JP2001351271A JP2000174217A JP2000174217A JP2001351271A JP 2001351271 A JP2001351271 A JP 2001351271A JP 2000174217 A JP2000174217 A JP 2000174217A JP 2000174217 A JP2000174217 A JP 2000174217A JP 2001351271 A JP2001351271 A JP 2001351271A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 均一な記録再生信号を得られ、媒体と光
学ヘッドとのクラッシュが起きにくい信頼性の高い光記
録媒体を提供する。 【解決手段】 ヘッダーとランド/グルーブとを設けた
基板に、反射層及び記録層をこの順に積層し、浮上式光
学ヘッドにより記録再生を行う光記録媒体であって、使
用する光学ヘッドの有効開口数をNA、使用するレーザ
ーの波長をλとし、記録再生領域における半径上の任意
長において、媒体表面最大高さからヘッダーの中心線ま
での深さをRph、同最大高さからランド/グルーブの
中心線までの深さをRpdとしたとき、複数の位置で測
定された各Rph及び各Rpdの値において、例えば、
|Rpd(最大値)ーRph(最小値)|≦λ/16N
Aなる関係を満足する。
学ヘッドとのクラッシュが起きにくい信頼性の高い光記
録媒体を提供する。 【解決手段】 ヘッダーとランド/グルーブとを設けた
基板に、反射層及び記録層をこの順に積層し、浮上式光
学ヘッドにより記録再生を行う光記録媒体であって、使
用する光学ヘッドの有効開口数をNA、使用するレーザ
ーの波長をλとし、記録再生領域における半径上の任意
長において、媒体表面最大高さからヘッダーの中心線ま
での深さをRph、同最大高さからランド/グルーブの
中心線までの深さをRpdとしたとき、複数の位置で測
定された各Rph及び各Rpdの値において、例えば、
|Rpd(最大値)ーRph(最小値)|≦λ/16N
Aなる関係を満足する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は書き換えが可能な光
記録媒体に関するものである。
記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体は、大容量・高密度記録が可
能な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア化に
伴なうコンピュータの大容量保存ファイルとして動画等
を記録する書き換え型メディアとして需要が急増しつつ
ある。
能な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア化に
伴なうコンピュータの大容量保存ファイルとして動画等
を記録する書き換え型メディアとして需要が急増しつつ
ある。
【0003】従来の書き換え型光記録媒体は、一般に射
出成形により得られたプラスチックの円盤状基板に記録
層を含む多層膜を形成し、プラスチック基板側からレー
ザーを照射して記録、再生、消去を行っていた。
出成形により得られたプラスチックの円盤状基板に記録
層を含む多層膜を形成し、プラスチック基板側からレー
ザーを照射して記録、再生、消去を行っていた。
【0004】近年、記録膜に光学ヘッドを近づけて記録
再生する、表面記録再生方式が高記録化の手段として注
目されている。この表面記録再生方法では、光学ヘッド
を記録媒体に近付ける必要があるために、従来の光記録
媒体のように基板を通して記録膜にレーザービームを照
射するのではなく、基板を通さずに直接記録膜にレーザ
ービームを照射する方法を用いる。
再生する、表面記録再生方式が高記録化の手段として注
目されている。この表面記録再生方法では、光学ヘッド
を記録媒体に近付ける必要があるために、従来の光記録
媒体のように基板を通して記録膜にレーザービームを照
射するのではなく、基板を通さずに直接記録膜にレーザ
ービームを照射する方法を用いる。
【0005】すなわち、記録膜の構成が従来の光記録媒
体では基板/第1保護膜/記録膜/第2保護膜/反射膜
としているのが一般的であるのに対して、表面記録媒体
では例えば、基板/反射膜/記録膜/保護膜という逆構
成の膜構造として保護膜表面側からレーザービームを照
射し、記録再生を行なう(表面記録再生)。
体では基板/第1保護膜/記録膜/第2保護膜/反射膜
としているのが一般的であるのに対して、表面記録媒体
では例えば、基板/反射膜/記録膜/保護膜という逆構
成の膜構造として保護膜表面側からレーザービームを照
射し、記録再生を行なう(表面記録再生)。
【0006】この際、記録膜と光学ヘッドとを近づける
ために、浮上式のスライダーヘッドを利用することが提
案されている。
ために、浮上式のスライダーヘッドを利用することが提
案されている。
【0007】この表面記録再生方式においては、浮上式
光学ヘッドと光記録媒体との距離が非常に近くなってお
り、ヘッドの記録媒体からの浮上高さが僅かに変動して
も、記録再生信号強度がばらつき記録再生に支障をきた
したり、さらにはヘッドと光記録媒体とが接触すること
により、ヘッドおよび記録媒体が破損することも考えら
れる。
光学ヘッドと光記録媒体との距離が非常に近くなってお
り、ヘッドの記録媒体からの浮上高さが僅かに変動して
も、記録再生信号強度がばらつき記録再生に支障をきた
したり、さらにはヘッドと光記録媒体とが接触すること
により、ヘッドおよび記録媒体が破損することも考えら
れる。
【0008】光記録媒体には、一般にフォーマット情報
を有するヘッダー部とデータを記録再生するランド/グ
ルーブ部とが存在するが、このヘッダー部上を浮上する
ときのヘッド浮上高さとランド/グルーブ部上を浮上す
るときのヘッド浮上高さとが異なっているため、記録再
生時のヘッド浮上高さが変動してしまう。
を有するヘッダー部とデータを記録再生するランド/グ
ルーブ部とが存在するが、このヘッダー部上を浮上する
ときのヘッド浮上高さとランド/グルーブ部上を浮上す
るときのヘッド浮上高さとが異なっているため、記録再
生時のヘッド浮上高さが変動してしまう。
【0009】従来、浮上式スライダーヘッドを使用した
表面記録再生方式による光記録媒体では、記録再生領域
の全域においてヘッドの浮上高さを一定に保つことが難
しく、均一な記録再生信号を得ることは困難であった。
表面記録再生方式による光記録媒体では、記録再生領域
の全域においてヘッドの浮上高さを一定に保つことが難
しく、均一な記録再生信号を得ることは困難であった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、光記録媒体上を浮上するヘッドの浮上高さ
を記録再生領域の全域で一定に保つことにより、均一な
記録再生信号を得られ、ヘッドとのクラッシュが起きに
くい信頼性の高い光記録媒体を提供することである。
する課題は、光記録媒体上を浮上するヘッドの浮上高さ
を記録再生領域の全域で一定に保つことにより、均一な
記録再生信号を得られ、ヘッドとのクラッシュが起きに
くい信頼性の高い光記録媒体を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成す
るに至った。
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成す
るに至った。
【0012】すなわち、ヘッダーと、データ記録再生を
行うランドおよびグルーブとを設けた基板に、少なくと
も反射層および記録層をこの順に積層し、浮上式光学ヘ
ッドにより情報の記録再生を行う光記録媒体であって、
使用する光学ヘッドの有効開口数をNA、使用するレー
ザーの波長をλとし、光記録媒体の情報を記録再生する
領域における半径上の任意長において、記録媒体表面の
最大高さからヘッダーの中心線までの深さをRph、記
録媒体表面の最大高さからランドおよびグルーブの中心
線までの深さをRpdとすると、複数の位置で測定され
た各Rphおよび各Rpdの値において、Rphの最大
値からRpdの最小値を引いた値の絶対値、またはRp
dの最大値からRphの最小値を引いた値の絶対値のど
ちらか大きい方をΔRpとしたとき、ΔRp≦λ/16
NAなる関係を満足する表面形状を有することを特徴と
する光記録媒体に関する。
行うランドおよびグルーブとを設けた基板に、少なくと
も反射層および記録層をこの順に積層し、浮上式光学ヘ
ッドにより情報の記録再生を行う光記録媒体であって、
使用する光学ヘッドの有効開口数をNA、使用するレー
ザーの波長をλとし、光記録媒体の情報を記録再生する
領域における半径上の任意長において、記録媒体表面の
最大高さからヘッダーの中心線までの深さをRph、記
録媒体表面の最大高さからランドおよびグルーブの中心
線までの深さをRpdとすると、複数の位置で測定され
た各Rphおよび各Rpdの値において、Rphの最大
値からRpdの最小値を引いた値の絶対値、またはRp
dの最大値からRphの最小値を引いた値の絶対値のど
ちらか大きい方をΔRpとしたとき、ΔRp≦λ/16
NAなる関係を満足する表面形状を有することを特徴と
する光記録媒体に関する。
【0013】以下に、本発明を詳細に説明する。
【0014】図1は、本発明の光記録媒体の一例を示す
断面図である。基板11の上に反射層12、記録層1
3、誘電体層14をこの順にて積層してある。
断面図である。基板11の上に反射層12、記録層1
3、誘電体層14をこの順にて積層してある。
【0015】基板11としては、樹脂、ガラスまたは平
坦な金属板を例示することができる。基板材料として樹
脂を使用する場合、樹脂としては、機械特性、転写性等
の光ディスク基板の特性を満たす熱可塑性樹脂であれ
ば、特に限定されず、例えば、ポリカーボネート、ポリ
メチルメタクリレート、アモルファスポリオレフィン等
の透明プラスチックから、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリアリレート、ポリエーテルケトン、ポリエーテ
ルエーテルケトン等のいわゆるスーパーエンジニアリン
グプラスチックを使用することができる。これらの樹脂
を型(スタンパ)を用いて射出成形することにより、ラ
ンドおよびグルーブ構造を有する光記録媒体用の基板を
製造することができる。
坦な金属板を例示することができる。基板材料として樹
脂を使用する場合、樹脂としては、機械特性、転写性等
の光ディスク基板の特性を満たす熱可塑性樹脂であれ
ば、特に限定されず、例えば、ポリカーボネート、ポリ
メチルメタクリレート、アモルファスポリオレフィン等
の透明プラスチックから、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリアリレート、ポリエーテルケトン、ポリエーテ
ルエーテルケトン等のいわゆるスーパーエンジニアリン
グプラスチックを使用することができる。これらの樹脂
を型(スタンパ)を用いて射出成形することにより、ラ
ンドおよびグルーブ構造を有する光記録媒体用の基板を
製造することができる。
【0016】また、基板材料としてガラスあるいは平坦
な金属板を使用する場合、これらの基材上にフォトポリ
マー等によりランド/グルーブ構造を製造する、いわい
る2P法により、ランドおよびグルーブ構造を有する光
記録媒体用の基板を製造することができる。
な金属板を使用する場合、これらの基材上にフォトポリ
マー等によりランド/グルーブ構造を製造する、いわい
る2P法により、ランドおよびグルーブ構造を有する光
記録媒体用の基板を製造することができる。
【0017】反射層12としては、反射率の高い金属で
あれば特に限定されず、例えば、Al、Ag、Au、C
u等の単体金属あるいはそれらを各々主成分とする合金
等を用いることができる。
あれば特に限定されず、例えば、Al、Ag、Au、C
u等の単体金属あるいはそれらを各々主成分とする合金
等を用いることができる。
【0018】なお、ヘッダー部は、光記録媒体の半径方
向にほぼ一直線に並んでいることが好ましい。
向にほぼ一直線に並んでいることが好ましい。
【0019】記録層13としては、光記録層として用い
ることができる材料であれば特に限定されず、例えば、
TbFeCo、DyFeCo、GdTbFeCo、Nd
DyFeCo等の光磁気記録膜、GeSbTe、AgI
nSbTe等の相変化記録膜を用いることができ、ま
た、記録層は単層であっても良いし、機能や組成の異な
る膜を積層した積層膜であっても良い。
ることができる材料であれば特に限定されず、例えば、
TbFeCo、DyFeCo、GdTbFeCo、Nd
DyFeCo等の光磁気記録膜、GeSbTe、AgI
nSbTe等の相変化記録膜を用いることができ、ま
た、記録層は単層であっても良いし、機能や組成の異な
る膜を積層した積層膜であっても良い。
【0020】誘電体層14としては、SiN、AlN、
SiAlON、Ta2O5などの透明な誘電体で構成され
る。また、誘電体層の上にカーボンに水素や窒素を添加
させたダイヤモンドライクカーボン(DLC)等の固体
潤滑層を積層しても良い。
SiAlON、Ta2O5などの透明な誘電体で構成され
る。また、誘電体層の上にカーボンに水素や窒素を添加
させたダイヤモンドライクカーボン(DLC)等の固体
潤滑層を積層しても良い。
【0021】本発明の光記録媒体においては、更に媒体
の最表面に潤滑層を形成することが好ましい。
の最表面に潤滑層を形成することが好ましい。
【0022】潤滑層としては、シリコーンオイル、ある
いはフルオロポリエーテル系のフッ素オイル等、潤滑性
を示すものであれば使用できるが、特にパーフルオロポ
リエーテル及びパーフルオロポリエーテル誘導体が望ま
しい。
いはフルオロポリエーテル系のフッ素オイル等、潤滑性
を示すものであれば使用できるが、特にパーフルオロポ
リエーテル及びパーフルオロポリエーテル誘導体が望ま
しい。
【0023】パーフルオロポリエーテル誘導体として
は、アルコール変性パーフルオロポリエーテル、エステ
ル変性パーフルオロポリエーテル、イソシアネート変性
パーフルオロポリエーテル、カルボキシル基変性パーフ
ルオロポリエーテル、ピペロニル変性パーフルオロポリ
エーテル等が挙げられる。
は、アルコール変性パーフルオロポリエーテル、エステ
ル変性パーフルオロポリエーテル、イソシアネート変性
パーフルオロポリエーテル、カルボキシル基変性パーフ
ルオロポリエーテル、ピペロニル変性パーフルオロポリ
エーテル等が挙げられる。
【0024】潤滑層を設ける場合の膜厚としては、0.
3〜4.0nmが好ましい。0.3nm未満では潤滑層
の保護性能が足りなくなり薄膜に傷がはいりやすくなる
場合があり、4.0nmをこえると、スライダーヘッド
がディスクに張り付いてクラッシュする場合がある。
3〜4.0nmが好ましい。0.3nm未満では潤滑層
の保護性能が足りなくなり薄膜に傷がはいりやすくなる
場合があり、4.0nmをこえると、スライダーヘッド
がディスクに張り付いてクラッシュする場合がある。
【0025】図2は、本発明の光記録媒体に用いる基板
の一例を示す断面図である。基板の記録再生面には、レ
ーザートラッキング用としてスパイラル状にグルーブ2
1が形成されている。このグルーブ間には凸状のランド
22が形成されている。また、基板の記録再生面には、
図示されていないが、フォーマット情報を有するヘッダ
ーが形成されている。但し、図2は、光学ヘッド、ラン
ドおよびグルーブ等の相対的な大きさ/高さを正確に示
すものではない。
の一例を示す断面図である。基板の記録再生面には、レ
ーザートラッキング用としてスパイラル状にグルーブ2
1が形成されている。このグルーブ間には凸状のランド
22が形成されている。また、基板の記録再生面には、
図示されていないが、フォーマット情報を有するヘッダ
ーが形成されている。但し、図2は、光学ヘッド、ラン
ドおよびグルーブ等の相対的な大きさ/高さを正確に示
すものではない。
【0026】光記録再生の方式には、グルーブ上にデー
タを書き込むグルーブ記録方式とランド上にデータを書
き込むランド記録方式がある。それぞれの記録方式とも
データを書き込む面を基点としたヘッド24の浮上高さ
25が一定となることが記録再生上重要である。この記
録媒体上をヘッドが浮上する場合、記録媒体表面の形状
がヘッドの浮上高さに大きく影響を与える。すなわち、
記録媒体の最大高さからランドおよびグルーブの中心線
までの深さRp26に依存してヘッドの浮上高さが変動
する。
タを書き込むグルーブ記録方式とランド上にデータを書
き込むランド記録方式がある。それぞれの記録方式とも
データを書き込む面を基点としたヘッド24の浮上高さ
25が一定となることが記録再生上重要である。この記
録媒体上をヘッドが浮上する場合、記録媒体表面の形状
がヘッドの浮上高さに大きく影響を与える。すなわち、
記録媒体の最大高さからランドおよびグルーブの中心線
までの深さRp26に依存してヘッドの浮上高さが変動
する。
【0027】本発明でいうランドおよびグルーブの中心
線とは、光記録媒体の情報を記録再生する領域における
半径上の任意長において、任意長の範囲にあるランドお
よびグルーブの粗さ曲線に対して1本の直線を引いたと
きに、この直線と粗さ曲線で囲まれる面積がこの直線の
両側で等しくなるような直線のことをいう。
線とは、光記録媒体の情報を記録再生する領域における
半径上の任意長において、任意長の範囲にあるランドお
よびグルーブの粗さ曲線に対して1本の直線を引いたと
きに、この直線と粗さ曲線で囲まれる面積がこの直線の
両側で等しくなるような直線のことをいう。
【0028】また、ランドおよびグルーブの中心線やラ
ンドの最大高さは、光記録媒体の情報を記録再生する領
域における半径上の任意長において決定する。この任意
長は、グルーブのトラックピッチによっても異なるが、
トラックピッチの2〜100倍、好ましくは、10〜5
0倍に相当する長さとすることにより、光記録媒体のラ
ンドおよびグルーブの状態がRp等に反映される。ま
た、この任意長は、光記録媒体の記録再生領域の半径上
であれば任意の場所に設定してよい。
ンドの最大高さは、光記録媒体の情報を記録再生する領
域における半径上の任意長において決定する。この任意
長は、グルーブのトラックピッチによっても異なるが、
トラックピッチの2〜100倍、好ましくは、10〜5
0倍に相当する長さとすることにより、光記録媒体のラ
ンドおよびグルーブの状態がRp等に反映される。ま
た、この任意長は、光記録媒体の記録再生領域の半径上
であれば任意の場所に設定してよい。
【0029】ランドおよびグルーブの中心線やランドの
最大高さは、光記録媒体の断面形状の任意長部分を20
00〜4000倍の走査型電子顕微鏡(SEM)により
測定したり、原子間力顕微鏡(AFM)により測定する
ことができる。
最大高さは、光記録媒体の断面形状の任意長部分を20
00〜4000倍の走査型電子顕微鏡(SEM)により
測定したり、原子間力顕微鏡(AFM)により測定する
ことができる。
【0030】そして、本発明においては、使用する光学
ヘッドの有効開口数をNA、使用するレーザーの波長を
λとし、光記録媒体の情報を記録再生する領域における
半径上の任意長において、記録媒体表面の最大高さから
ヘッダーの中心線までの深さをRph、記録媒体表面の
最大高さからランドおよびグルーブの中心線までの深さ
をRpdとすると、複数の位置で測定されたRphおよ
びRpdの値において、Rphの最大値からRpdの最
小値を引いた値の絶対値、またはRpdの最大値からR
phの最小値を引いた値の絶対値のどちらか大きい方を
ΔRpとしたとき、ΔRp≦λ/16NA、さらにばら
つきの小さい、均一な記録再生信号強度を得るために、
ΔRp≦λ/20NAとなる関係を満足する表面形状を
有することが好ましい。
ヘッドの有効開口数をNA、使用するレーザーの波長を
λとし、光記録媒体の情報を記録再生する領域における
半径上の任意長において、記録媒体表面の最大高さから
ヘッダーの中心線までの深さをRph、記録媒体表面の
最大高さからランドおよびグルーブの中心線までの深さ
をRpdとすると、複数の位置で測定されたRphおよ
びRpdの値において、Rphの最大値からRpdの最
小値を引いた値の絶対値、またはRpdの最大値からR
phの最小値を引いた値の絶対値のどちらか大きい方を
ΔRpとしたとき、ΔRp≦λ/16NA、さらにばら
つきの小さい、均一な記録再生信号強度を得るために、
ΔRp≦λ/20NAとなる関係を満足する表面形状を
有することが好ましい。
【0031】特に、記録媒体のヘッダー部は、ランド/
グルーブ部の表面形状と異なっているため、浮上したヘ
ッドがヘッダー部に差し掛かった際に浮上高さが変動し
ないように、ヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの
差を小さくすることが重要である。ヘッドの浮上高さ変
動は、ヘッドと記録媒体が接触してクラッシュを生じる
ことの無い程度に抑える必要がある。
グルーブ部の表面形状と異なっているため、浮上したヘ
ッドがヘッダー部に差し掛かった際に浮上高さが変動し
ないように、ヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの
差を小さくすることが重要である。ヘッドの浮上高さ変
動は、ヘッドと記録媒体が接触してクラッシュを生じる
ことの無い程度に抑える必要がある。
【0032】ΔRpを小さくする方法としては、基板の
ヘッダー部に凸状および、または凹状のピットを形成
し、媒体表面の最大高さからヘッダー部の中心線への深
さRphと、媒体表面の最大高さからランド/グルーブ
部の中心線への深さRpdを|Rph−Rpd|≦λ/
16NAなる関係とすることが好ましい。さらにばらつ
きの小さい、均一な記録再生信号強度を得るために、|
Rph−Rpd|≦λ/20NAとすることが好まし
い。
ヘッダー部に凸状および、または凹状のピットを形成
し、媒体表面の最大高さからヘッダー部の中心線への深
さRphと、媒体表面の最大高さからランド/グルーブ
部の中心線への深さRpdを|Rph−Rpd|≦λ/
16NAなる関係とすることが好ましい。さらにばらつ
きの小さい、均一な記録再生信号強度を得るために、|
Rph−Rpd|≦λ/20NAとすることが好まし
い。
【0033】また、ヘッダー部のRphは、ピットの面
積、深さ、高さを変えることで調整できる。また、ヘッ
ダー部に溝を形成し、|Rph−Rpd|≦λ/16N
Aなる関係とすることが好ましい。さらにばらつきの小
さい、均一な記録再生信号強度を得るために、|Rph
−Rpd|≦λ/20NAとすることが好ましい。溝の
形状は、記録媒体の中心に対して周方向、径方向の何れ
か一方向、または両方向でも構わない。Rphは溝の深
さ、幅を変えることで調整できる。また、光学ヘッドを
記録膜に近付けて記録再生する近接場光記録でも、浮上
式ヘッドを用いることから有効な方法である。
積、深さ、高さを変えることで調整できる。また、ヘッ
ダー部に溝を形成し、|Rph−Rpd|≦λ/16N
Aなる関係とすることが好ましい。さらにばらつきの小
さい、均一な記録再生信号強度を得るために、|Rph
−Rpd|≦λ/20NAとすることが好ましい。溝の
形状は、記録媒体の中心に対して周方向、径方向の何れ
か一方向、または両方向でも構わない。Rphは溝の深
さ、幅を変えることで調整できる。また、光学ヘッドを
記録膜に近付けて記録再生する近接場光記録でも、浮上
式ヘッドを用いることから有効な方法である。
【0034】このような条件を満足することにより、記
録再生領域全域においてヘッドの浮上高さが一定とな
り、均一な記録再生信号を得られ、ヘッドとのクラッシ
ュが起きにくい信頼性の高い光記録媒体が得られる。
録再生領域全域においてヘッドの浮上高さが一定とな
り、均一な記録再生信号を得られ、ヘッドとのクラッシ
ュが起きにくい信頼性の高い光記録媒体が得られる。
【0035】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
【0036】実施例1 表裏両面にトラックピッチ0.43μmのスパイラル状
のランド/グルーブ部とヘッダー部を有する、ポリカー
ボネート製の直径130mmの円形基板を射出成形法で
製造した。この際用いたスタンパにより、半径20〜6
0mmのヘッダーを除く領域において、基板のグルーブ
深さは90nmとし、また、ヘッダー部には深さ90n
mの凹状ピットを配列した。
のランド/グルーブ部とヘッダー部を有する、ポリカー
ボネート製の直径130mmの円形基板を射出成形法で
製造した。この際用いたスタンパにより、半径20〜6
0mmのヘッダーを除く領域において、基板のグルーブ
深さは90nmとし、また、ヘッダー部には深さ90n
mの凹状ピットを配列した。
【0037】この基板上の表裏両面ともに反射層、記録
層、誘電体層および固体潤滑層をこの順で積層した。反
射層として膜厚50nmのAlCr合金をDCスパッタ
法で積層した。さらに記録層として膜厚20nmのTb
FeCoをDCスパッタ法で積層した。この上に誘電体
層として、ArとN2の混合雰囲気中でSiターゲット
を使用した反応性DCスパッタ法で膜厚50nmのSi
Nを積層した。さらにこの上に、固体潤滑層としてAr
とCH4の混合雰囲気中でCターゲットを使用した反応
性RFスパッタ法で膜厚20nmのダイヤモンドライク
カーボン(DLC)を積層し、両面記録再生可能な光磁
気記録媒体を製造した。
層、誘電体層および固体潤滑層をこの順で積層した。反
射層として膜厚50nmのAlCr合金をDCスパッタ
法で積層した。さらに記録層として膜厚20nmのTb
FeCoをDCスパッタ法で積層した。この上に誘電体
層として、ArとN2の混合雰囲気中でSiターゲット
を使用した反応性DCスパッタ法で膜厚50nmのSi
Nを積層した。さらにこの上に、固体潤滑層としてAr
とCH4の混合雰囲気中でCターゲットを使用した反応
性RFスパッタ法で膜厚20nmのダイヤモンドライク
カーボン(DLC)を積層し、両面記録再生可能な光磁
気記録媒体を製造した。
【0038】実施例2 表裏両面にトラックピッチ0.43μmのスパイラル状
のランド/グルーブ部とヘッダー部を有する、ポリカー
ボネート製の直径130mmの円形基板を射出成形法で
製造した。この際用いたスタンパにより、半径20〜6
0mmのヘッダーを除く領域において、基板のグルーブ
深さは90nmとし、また、ヘッダー部には深さ90n
mの溝を円弧状に配列した。
のランド/グルーブ部とヘッダー部を有する、ポリカー
ボネート製の直径130mmの円形基板を射出成形法で
製造した。この際用いたスタンパにより、半径20〜6
0mmのヘッダーを除く領域において、基板のグルーブ
深さは90nmとし、また、ヘッダー部には深さ90n
mの溝を円弧状に配列した。
【0039】この基板上の表裏両面ともに反射層、記録
層、誘電体層、固体潤滑層をこの順で積層した。反射層
として膜厚50nmのAlCr合金をDCスパッタ法で
積層した。さらに記録層として膜厚20nmのTbFe
CoをDCスパッタ法で積層した。この上に誘電体層と
して、ArとN2の混合雰囲気中でSiターゲットを使
用した反応性DCスパッタ法で膜厚50nmのSiNを
積層した。さらにこの上に、固体潤滑層としてArとC
H4の混合雰囲気中でCターゲットを使用した反応性R
Fスパッタ法で膜厚20nmのダイヤモンドライクカー
ボン(DLC)を積層し、両面記録再生可能な光磁気記
録媒体を製造した。
層、誘電体層、固体潤滑層をこの順で積層した。反射層
として膜厚50nmのAlCr合金をDCスパッタ法で
積層した。さらに記録層として膜厚20nmのTbFe
CoをDCスパッタ法で積層した。この上に誘電体層と
して、ArとN2の混合雰囲気中でSiターゲットを使
用した反応性DCスパッタ法で膜厚50nmのSiNを
積層した。さらにこの上に、固体潤滑層としてArとC
H4の混合雰囲気中でCターゲットを使用した反応性R
Fスパッタ法で膜厚20nmのダイヤモンドライクカー
ボン(DLC)を積層し、両面記録再生可能な光磁気記
録媒体を製造した。
【0040】比較例1 基板の表裏両面ともにヘッダー部の高さがランドと等し
くなるようにし、かつヘッダー部にピットも溝も形成し
ない表面形状とした以外は実施例1と同様の方法で両面
記録再生可能な光磁気記録媒体を製造した。
くなるようにし、かつヘッダー部にピットも溝も形成し
ない表面形状とした以外は実施例1と同様の方法で両面
記録再生可能な光磁気記録媒体を製造した。
【0041】実施例1、2及び比較例1の方法で製造し
た近接場光磁気記録媒体の一方向面について、以下の評
価を行った。最初に記録媒体の半径位置20、30、4
0、50、60mmの5ヶ所について、トラックピッチ
の50倍に相当する、半径方向21.5μmの範囲にお
ける、各々ヘッダー部とランド/グルーブ部の表面形状
を走査型電子顕微鏡で測定し、その形状結果から最大高
さから中心線までの深さRpを算出した。
た近接場光磁気記録媒体の一方向面について、以下の評
価を行った。最初に記録媒体の半径位置20、30、4
0、50、60mmの5ヶ所について、トラックピッチ
の50倍に相当する、半径方向21.5μmの範囲にお
ける、各々ヘッダー部とランド/グルーブ部の表面形状
を走査型電子顕微鏡で測定し、その形状結果から最大高
さから中心線までの深さRpを算出した。
【0042】続いてこの記録媒体の浮上特性を評価し
た。まず、記録媒体をグライドテスター(日立電子エン
ジニアリング社製)のスピンドル上に設置した。続いて
ピエゾ素子の付いた70%スライダー、6.0g荷重の
グライドヘッド(グライドライト社製)の記録媒体から
の浮上高さが50nm一定となるように、記録媒体を線
速度7m/秒で回転した。記録媒体の半径位置20、3
0、40、50、60mmの5ケ所について、ピエゾ素
子から出力された信号の実効電圧値を測定した。続いて
SNRの測定を行った。記録媒体を毎分2400回転で
回転させて、薄膜面上にレーザー波長680nm、有効
開口数1.2のスライダーを有する浮上式光学ヘッド
(λ/16NA:35.4nm、λ/20NA:28.
3nm)をダイナミックロードにより記録媒体上50n
mの高さに浮上させ、レーザーをパルス的に照射して記
録層をキュリー温度以上に暖めながら、SILヘッド上
のコイル磁界を10MHzで変調させながら記録し、1
0MHzで記録したときのSNRを記録媒体の半径位置
20、30、40、50、60mmの5ケ所について測
定した。なお、このSNRの値は、各媒体で再生パワー
を調整してSNRが最大になる条件で測定して得られた
ものである。各評価結果を表1にまとめる。
た。まず、記録媒体をグライドテスター(日立電子エン
ジニアリング社製)のスピンドル上に設置した。続いて
ピエゾ素子の付いた70%スライダー、6.0g荷重の
グライドヘッド(グライドライト社製)の記録媒体から
の浮上高さが50nm一定となるように、記録媒体を線
速度7m/秒で回転した。記録媒体の半径位置20、3
0、40、50、60mmの5ケ所について、ピエゾ素
子から出力された信号の実効電圧値を測定した。続いて
SNRの測定を行った。記録媒体を毎分2400回転で
回転させて、薄膜面上にレーザー波長680nm、有効
開口数1.2のスライダーを有する浮上式光学ヘッド
(λ/16NA:35.4nm、λ/20NA:28.
3nm)をダイナミックロードにより記録媒体上50n
mの高さに浮上させ、レーザーをパルス的に照射して記
録層をキュリー温度以上に暖めながら、SILヘッド上
のコイル磁界を10MHzで変調させながら記録し、1
0MHzで記録したときのSNRを記録媒体の半径位置
20、30、40、50、60mmの5ケ所について測
定した。なお、このSNRの値は、各媒体で再生パワー
を調整してSNRが最大になる条件で測定して得られた
ものである。各評価結果を表1にまとめる。
【0043】
【表1】
【0044】実施例1および2では、同一半径位置にお
けるヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの差が小さ
く、そのため半径20〜60mmの範囲でΔRpが各々
23.4nm(39.9−16.5nm)、13.8n
m(39.7−25.9nm)と小さい。また、半径方
向20〜60mmの各点における何れの値も浮上高さ5
0nmに対して、|Rph−Rpd|≦λ/16NAの
関係を満足していた。
けるヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの差が小さ
く、そのため半径20〜60mmの範囲でΔRpが各々
23.4nm(39.9−16.5nm)、13.8n
m(39.7−25.9nm)と小さい。また、半径方
向20〜60mmの各点における何れの値も浮上高さ5
0nmに対して、|Rph−Rpd|≦λ/16NAの
関係を満足していた。
【0045】比較例1では、ヘッダー部にピットも溝も
無いため、ランド/グルーブ部と比較してRpが小さく
なった。そのため、ΔRpは半径20〜60mmで3
9.2nm(40.3−1.1nm)とΔRp≦λ/1
6NAの関係を満足しなかった。
無いため、ランド/グルーブ部と比較してRpが小さく
なった。そのため、ΔRpは半径20〜60mmで3
9.2nm(40.3−1.1nm)とΔRp≦λ/1
6NAの関係を満足しなかった。
【0046】また、ピエゾ素子からの出力信号は実施例
1および2では半径20〜60mmの範囲で160mV
以下と良好な値となっており、ヘッドの浮上高さ変動が
小さく、安定した浮上特性であることを示している。一
方比較例1では、電圧値は340〜380mVと2倍以
上の強度を示し、ヘッダー部とランド/グルーブ部のR
pが大きく異なるため、ヘッドの浮上高さ変動が大きい
ことを示している。SNRの評価では、実施例1および
2では半径20〜60mmで25〜27dBと良好な結
果を示したが、比較例1ではヘッド浮上高さが変動した
ことによりノイズが大きくなり、SNRは20dB以下
と低い値を示した。
1および2では半径20〜60mmの範囲で160mV
以下と良好な値となっており、ヘッドの浮上高さ変動が
小さく、安定した浮上特性であることを示している。一
方比較例1では、電圧値は340〜380mVと2倍以
上の強度を示し、ヘッダー部とランド/グルーブ部のR
pが大きく異なるため、ヘッドの浮上高さ変動が大きい
ことを示している。SNRの評価では、実施例1および
2では半径20〜60mmで25〜27dBと良好な結
果を示したが、比較例1ではヘッド浮上高さが変動した
ことによりノイズが大きくなり、SNRは20dB以下
と低い値を示した。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、記録媒体上を浮上する
ヘッドの浮上高さを記録再生領域の全域で一定に保つこ
とにより、均一な記録再生信号を得られ、ヘッドとのク
ラッシュが起きにくい信頼性の高い光記録媒体が得られ
る。
ヘッドの浮上高さを記録再生領域の全域で一定に保つこ
とにより、均一な記録再生信号を得られ、ヘッドとのク
ラッシュが起きにくい信頼性の高い光記録媒体が得られ
る。
【図1】 本発明の光記録媒体の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図2】 本発明の光記録媒体に用いる基板の一例を示
す断面図である。
す断面図である。
11 : 基板 12 : 反射層 13 : 記録層 14 : 誘電体層 21 : グルーブ 22 : ランド 24 : ヘッド 25 : ヘッド浮上高さ 26 : 中心線深さRp
Claims (5)
- 【請求項1】 ヘッダーと、データ記録再生を行うラン
ドおよびグルーブとを設けた基板に、少なくとも反射層
および記録層をこの順に積層し、浮上式光学ヘッドによ
り情報の記録再生を行う光記録媒体であって、使用する
光学ヘッドの有効開口数をNA、使用するレーザーの波
長をλとし、光記録媒体の情報を記録再生する領域にお
ける半径上の任意長において、記録媒体表面の最大高さ
からヘッダーの中心線までの深さをRph、記録媒体表
面の最大高さからランドおよびグルーブの中心線までの
深さをRpdとすると、複数の位置で測定されたRph
およびRpdの値において、Rphの最大値からRpd
の最小値を引いた値の絶対値、またはRpdの最大値か
らRphの最小値を引いた値の絶対値のどちらか大きい
方をΔRpとしたとき、ΔRp≦λ/16NAなる関係
を満足する表面形状を有することを特徴とする光記録媒
体。 - 【請求項2】 ヘッダーに、凸状または凹状のピットに
よりフォーマット情報が記録されている請求項1記載の
光記録媒体。 - 【請求項3】 複数の位置で測定された各Rphおよび
各Rpdの値において、|Rph−Rpd|≦λ/16
NAなる関係を満足するよう、ヘッダーに凸状または凹
状のピットを形成することを特徴とする請求項2記載の
光記録媒体。 - 【請求項4】 複数の位置で測定された各Rphおよび
各Rpdの値において、|Rph−Rpd|≦λ/16
NAなる関係を満足するよう、ヘッダーに溝を形成する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の
光記録媒体。 - 【請求項5】 記録方法が近接場光記録方式であること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光記
録媒体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000174217A JP2001351271A (ja) | 2000-06-06 | 2000-06-06 | 光記録媒体 |
US09/777,686 US7050385B2 (en) | 2000-02-08 | 2001-02-07 | Optical recording medium |
US11/169,922 US20050237914A1 (en) | 2000-02-08 | 2005-06-30 | Optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000174217A JP2001351271A (ja) | 2000-06-06 | 2000-06-06 | 光記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001351271A true JP2001351271A (ja) | 2001-12-21 |
Family
ID=18676295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000174217A Pending JP2001351271A (ja) | 2000-02-08 | 2000-06-06 | 光記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001351271A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005202374A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-28 | Ricoh Printing Systems Ltd | 定着装置及び画像形成装置 |
-
2000
- 2000-06-06 JP JP2000174217A patent/JP2001351271A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005202374A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-28 | Ricoh Printing Systems Ltd | 定着装置及び画像形成装置 |
JP4723852B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2011-07-13 | 株式会社リコー | 定着装置及び画像形成装置 |
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