JP2001351203A - Thin-film magnetic head, its manufacturing method, and magnetic storage device equipped with the thin-film magnetic head - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make compatible both narrow track width for achieving high TPI and thick upper magnetic pole for generating a sufficient recording magnetic field. SOLUTION: A thin recording gap film 12 of several 100 nm is formed to have a desired track width, and upper and lower magnetic poles 17 and 11 are connected at both end parts C thereof. A magnetic flux flows through the upper and lower magnetic poles connected at both ends of the recording gap film, and the magnetic field is confined in the magnetic pole to set a recording gap width to be an effective recording track width. Since the thin recording gap film is formed, the recording track width is set with high accuracy. In addition, the upper magnetic pole is set wider by several 100 nm than the desired track width.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッドの
記録ヘッド部、特に磁極先端部の構造並びにその製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording head of a thin-film magnetic head, and more particularly to a structure of a magnetic pole tip and a method of manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気記憶装置の高密度化の傾向はますま
す著しくなり、それに伴って磁気ヘッドの狭トラック化
が要求されている。特に近年は、記録トラック幅が１ミ
クロンをきっており、サブミクロンのトラック幅形成技
術が必須である。しかし、現在のフォトリソグラフィー
技術、あるいは、イオン集束加工では、光や粒子の波長
が数１００ｎｍであること、同時に線記録密度の増加に
よる磁気媒体の保磁力の増加に対抗して記録ヘッドが十
分な磁界を発生する為には厚いヘッド磁極が必要である
ことなど問題点は多い。2. Description of the Related Art The trend toward higher densities of magnetic storage devices has become more and more remarkable, and accordingly, there has been a demand for narrower tracks of magnetic heads. In particular, in recent years, the recording track width has been reduced to 1 micron, and a submicron track width forming technique is essential. However, with the current photolithography technology or ion focusing, the wavelength of light or particles is several hundred nm, and at the same time, the recording head is not sufficiently resistant to an increase in the coercive force of the magnetic medium due to an increase in the linear recording density. There are many problems such as the need for a thick head magnetic pole to generate a magnetic field.

【０００３】このような要求に答えて、例えば、図４の
特開平１−１１６９１０号公報に示す様に、上部磁極１
７幅を下部磁極１１幅よりも大きくし上部磁極１７と記
録ギャップ１２が下部磁極１１を覆い込むような構造と
し、サイドの記録ギャップ１２にアジマスを持たせるこ
とによって隣接トラックへの干渉をなくす方式、図５の
特開平７−２９６３３１号公報に示すように、下部磁極
１１を上部磁極１７と同じ幅にトリミングする構造によ
って消去幅を減少させる方式、図６の特開平１０−１４
９５１５号公報に示すように、上部磁極１７のトリミン
グによる再付着が上部磁極１７及び記録ギャップ１２の
側面に軟磁性シールド膜１９を形成する構造とし、記録
磁界のサイドフリンジを減少させる方式、図７の特開平
１１−０４５４１１号公報に示すように、上部磁極１７
の側面に非磁性膜２０を介して軟磁性膜２１を設け、前
記軟磁性膜２１によるシールド効果で側部の記録磁界の
吸い込みサイドフリンジを減少させる方式、等が報告さ
れているが、これらは記録トラック幅それ自体を小さく
させるものではない。In response to such a request, for example, as shown in FIG.
The width of the upper magnetic pole 7 is made larger than the width of the lower magnetic pole 11 so that the upper magnetic pole 17 and the recording gap 12 cover the lower magnetic pole 11. As shown in JP-A-7-296331 in FIG. 5, the erasing width is reduced by a structure in which the lower magnetic pole 11 is trimmed to the same width as the upper magnetic pole 17.
As shown in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 9515, a structure in which the upper magnetic pole 17 is reattached by trimming to form a soft magnetic shield film 19 on the side surfaces of the upper magnetic pole 17 and the recording gap 12 to reduce the side fringe of the recording magnetic field, FIG. As disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
A method of providing a soft magnetic film 21 on the side surface of a non-magnetic film 20 via a non-magnetic film 20 and reducing a side fringe of a side recording magnetic field sucked by a shielding effect of the soft magnetic film 21 has been reported. It does not reduce the recording track width itself.

【０００４】また、例えば、図８の特開平１１−３３９
２２４号公報、特開平１１−３５３６１６号公報に示す
ように、まずは薄い上部磁極１７を所望の狭トラック幅
で形成し、前記上部磁極１７の上に厚く上記のトラック
幅より広い第二の上部磁極２２を追加形成する構造を採
用した、上部磁極１７薄膜化による高精度なトラック幅
加工方法（狭トラック幅を形成するには磁極の厚さを厚
くすると加工精度が確保でき難くなるので、トラック幅
を規定する上部磁極１７の厚みを薄くするもの）が報告
されているが、これらにしても高い記録磁界の確保の為
に上部磁極１７の厚膜化或は高飽和磁束密度材料化が要
求されるため、これからの狭トラック高線記録密度傾向
において、ますます厳しくなることは自明である。[0004] For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-339 of FIG.
No. 224 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-353616, a thin upper magnetic pole 17 is first formed with a desired narrow track width, and a second upper magnetic pole thicker and wider than the above-mentioned track width is formed on the upper magnetic pole 17. High-precision track width processing method by thinning the upper magnetic pole 17 adopting a structure in which the additional magnetic pole 22 is formed. The thickness of the upper magnetic pole 17 which reduces the thickness of the upper magnetic pole 17 is reported. However, in order to secure a high recording magnetic field, it is required to increase the thickness of the upper magnetic pole 17 or use a material having a high saturation magnetic flux density. Therefore, it is obvious that the future trend of narrow track high linear recording density will become more severe.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、例え
ば数１００ｎｍの記録トラック幅を形成し、しかも、十
分な記録磁界を発生する厚い上部磁極１７を保持するこ
とは従来の方式では困難である。As described above, it is difficult to form a recording track width of, for example, several hundreds of nm and to maintain a thick upper magnetic pole 17 which generates a sufficient recording magnetic field by the conventional method. .

【０００６】本発明の目的は、高精度の記録トラック幅
の加工が可能な磁極先端部の構造とその製造方法を提供
することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a structure of a magnetic pole tip portion capable of processing a recording track width with high precision and a method of manufacturing the same.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は次のような構成を採用する。In order to solve the above problems, the present invention employs the following configuration.

【０００８】磁気媒体へ情報を記録する薄膜磁気ヘッド
において、前記薄膜磁気ヘッドの記録ヘッド部が、下部
磁極、記録ギャップ、上部磁極で磁気回路を構成すると
ともに、前記上部磁極と前記下部磁極の間に電気絶縁層
を挟んで前記磁気回路に起磁力を与えるコイルを構成
し、前記薄膜磁気ヘッドのエアベアリング面で、トラッ
ク幅方向における前記記録ギャップの幅が前記上部磁極
の幅及び前記下部磁極の幅よりも狭く形成され、前記記
録ギャップの幅端部で前記上部磁極と前記下部磁極が接
触している薄膜磁気ヘッド。In a thin-film magnetic head for recording information on a magnetic medium, a recording head of the thin-film magnetic head forms a magnetic circuit with a lower magnetic pole, a recording gap, and an upper magnetic pole, and a magnetic circuit between the upper magnetic pole and the lower magnetic pole. A coil that applies a magnetomotive force to the magnetic circuit with an electrical insulating layer interposed therebetween, and the width of the recording gap in the track width direction is greater than the width of the upper magnetic pole and the lower magnetic pole on the air bearing surface of the thin-film magnetic head. A thin film magnetic head formed to be narrower than a width, wherein the upper magnetic pole and the lower magnetic pole are in contact at a width end of the recording gap.

【０００９】また、磁気媒体へ情報を記録する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、シールド膜上で下部磁極の
成膜・パターニング後に、磁気的絶縁性をもつ記録ギャ
ップを成膜し、次に、エアベアリング面を含めた近傍で
所望のトラック幅に相当する長さ分だけ前記記録ギャッ
プが残るように前記記録ギャップ膜にスルーホールをパ
ターニングし、続いて、コイルを電気的磁気的絶縁層で
絶縁形成後に上部磁極を形成し、前記上部磁極形成に際
して、トラック幅方向における前記記録ギャップの幅よ
りも広く形成して前記上部磁極と下部磁極が前記記録ギ
ャップの幅端部で磁気的結合する薄膜磁気ヘッドの製造
方法。In a method of manufacturing a thin-film magnetic head for recording information on a magnetic medium, a recording gap having magnetic insulation is formed after forming and patterning a lower magnetic pole on a shield film. A through hole is patterned in the recording gap film so that the recording gap remains by a length corresponding to a desired track width in the vicinity including the bearing surface, and then, the coil is formed with an electric and magnetic insulating layer. A thin-film magnetic head in which an upper magnetic pole is formed later and the upper magnetic pole is formed so as to be wider than the recording gap in the track width direction so that the upper magnetic pole and the lower magnetic pole are magnetically coupled at the width end of the recording gap; Manufacturing method.

【００１０】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態に係る薄膜磁気
ヘッドの構造並びにその製造方法について、図１、図２
及び図３を用いて以下説明する。図１は、本発明の第１
の実施形態に係る薄膜磁気ヘッドをエアベアリング面
（浮上面）側から見た図である。図２は、前記第１の実
施形態に係る薄膜磁気ヘッドの磁極先端近傍を素子形成
面から見た図である。図３は本発明の第２の実施形態に
係る薄膜磁気ヘッドをエアベアリング面から見た図であ
る。1 and 2 show the structure of a thin film magnetic head and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention.
This will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view of the thin-film magnetic head according to the embodiment viewed from an air bearing surface (floating surface) side. FIG. 2 is a view of the vicinity of the tip of the magnetic pole of the thin-film magnetic head according to the first embodiment viewed from the element formation surface. FIG. 3 is a view of a thin-film magnetic head according to a second embodiment of the present invention as viewed from an air bearing surface.

【００１１】ここで、１は基板、２は下地膜、３はセン
サ部、４は第一シールド膜、５は第一再生ギャップ膜、
６はセンサ膜、７は第二再生ギャップ膜、８は第二シー
ルド膜、９は磁気的絶縁膜、１０は記録ヘッド部、１１
は下部磁極、１２は記録ギャップ、１３はエアベアリン
グ面、１４はトラック幅、１５はスルーホール、１６は
コイル、１７は上部磁極、１８は保護膜、をそれぞれ表
す。Here, 1 is a substrate, 2 is a base film, 3 is a sensor portion, 4 is a first shield film, 5 is a first reproducing gap film,
6 is a sensor film, 7 is a second reproducing gap film, 8 is a second shield film, 9 is a magnetic insulating film, 10 is a recording head section, 11
Denotes a lower magnetic pole, 12 denotes a recording gap, 13 denotes an air bearing surface, 14 denotes a track width, 15 denotes a through hole, 16 denotes a coil, 17 denotes an upper magnetic pole, and 18 denotes a protective film.

【００１２】薄膜磁気ヘッド、例えば、記録を担う部分
と再生を担う部分が分離した複合型薄膜磁気ヘッドは、
例えば、セラミックの基板１の上にアルミナなどの下地
膜２を数μｍ形成し、その表面に研磨処理などを行った
後、例えば、磁気抵抗効果を持つ膜から構成されるセン
サ部３を形成する。A thin film magnetic head, for example, a composite type thin film magnetic head in which a portion responsible for recording and a portion responsible for reproduction are separated,
For example, a base film 2 made of alumina or the like is formed on the ceramic substrate 1 by a thickness of several μm, the surface thereof is polished, and then the sensor unit 3 formed of a film having a magnetoresistive effect is formed. .

【００１３】前記センサ部３は、例えば、パーマロイ等
の軟磁性膜の第一シールド膜４を数μｍ、アルミナなど
の絶縁材料からなる第一再生ギャップ膜５を数１０ｎ
ｍ、トータル膜厚数１０ｎｍの磁気抵抗効果膜を中心に
積層されるセンサ膜６、さらに数１０ｎｍの第二再生ギ
ャップ膜７、数μｍの第二シールド膜８を成膜・パター
ニングすることで形成される。The sensor section 3 has a first shield film 4 made of a soft magnetic film such as permalloy having a thickness of several μm and a first reproducing gap film 5 made of an insulating material such as alumina having a thickness of several tens nm.
m, a sensor film 6 laminated around a magnetoresistive film having a total film thickness of several tens nm, a second reproducing gap film 7 of several tens nm, and a second shield film 8 of several μm formed and patterned. Is done.

【００１４】次に、前記第二シールド膜８の上に磁気的
絶縁膜９を介して、記録ヘッド部１０が形成されるが、
この第二シールド膜８は、例えば、図３に示すように、
記録ヘッド部１０の下部磁極１１を兼ねてもよい。前記
記録ヘッド部１０は、厚さ数μｍの前記下部磁極１１の
成膜・パターニング後、例えば、アルミナなどの磁気的
絶縁性をもつ記録ギャップ１２を数１００ｎｍ成膜し、
これを、図２に示すように、エアベアリング面１３近傍
では、エアベアリング面１３から数１００〜数１，００
０ｎｍ範囲で所望のトラック幅１４数１００ｎｍだけ前
記記録ギャップ１２が残るようにスルーホール１５をパ
ターニングする。Next, a recording head unit 10 is formed on the second shield film 8 with a magnetic insulating film 9 interposed therebetween.
The second shield film 8 is, for example, as shown in FIG.
The lower magnetic pole 11 of the recording head unit 10 may also be used. After forming and patterning the lower magnetic pole 11 having a thickness of several μm, the recording head unit 10 forms a recording gap 12 having a magnetic insulating property of, for example, alumina having a thickness of several 100 nm,
As shown in FIG. 2, in the vicinity of the air bearing surface 13, several hundred to several hundred
The through hole 15 is patterned so that the recording gap 12 remains in a range of 0 nm with a desired track width 14 and several 100 nm.

【００１５】次に、例えば、数μｍ厚さの銅などのコイ
ル１６を、数μｍの例えばフォトレジストのような電気
的磁気的絶縁層で絶縁して形成し、その上に膜厚数μｍ
の上部磁極１７を形成する。この時、上部磁極１７の幅
は、既にパターニングされている記録ギャップ１２の幅
よりも数１００ｎｍ広く形成し、前記上部磁極１７が記
録ギャップ１２の両端で露出した下部磁極１１と、図１
と図２に図示するＣの範囲で結合する。Next, a coil 16 of, for example, copper having a thickness of several μm is formed insulated by an electric and magnetic insulating layer of, for example, photoresist having a thickness of several μm.
The upper magnetic pole 17 is formed. At this time, the width of the upper magnetic pole 17 is formed to be several hundred nm wider than the width of the recording gap 12 already patterned, and the lower magnetic pole 11 where the upper magnetic pole 17 is exposed at both ends of the recording gap 12 and FIG.
And in the range of C shown in FIG.

【００１６】以上のように、本実施形態は、下部磁極１
１の成膜後に記録ギャップ膜１２を積層した後、記録ギ
ャップ膜１２に図２に図示のようなスルーホール１５を
形成し、続いて上部磁極１７を成膜・パターニングして
記録ヘッド部１０を製造するのであるが、ここにおい
て、狭小のトラック幅１４を規定するスルーホール１５
は、厚みが例えば０．１〜０．３μｍ程度の薄い厚さの
膜を加工するものであるから、精度を高く維持してスル
ーホールを形成、引いては高精度寸法の狭小トラック幅
を形成することができる（狭小のトラック幅を規定する
図８に示す従来例では、上部磁極１７の幅でトラック幅
を規定するが、その上部磁極の厚みは２〜３μｍ程度で
あるから上部磁極の幅、即ちトラック幅はそれ程精度を
高くしてパターニング加工することができない）。As described above, in the present embodiment, the lower magnetic pole 1
After the formation of the recording gap film 12, the recording head film 10 is formed by laminating the recording gap film 12 and then forming a through hole 15 as shown in FIG. Here, a through hole 15 for defining a narrow track width 14 is manufactured.
Is used to process a thin film having a thickness of, for example, about 0.1 to 0.3 μm, so that a through hole is formed while maintaining high accuracy, and a narrow track width of high precision is formed. (In the conventional example shown in FIG. 8 that defines a narrow track width, the track width is defined by the width of the upper magnetic pole 17. However, since the thickness of the upper magnetic pole is about 2 to 3 μm, the width of the upper magnetic pole can be reduced. That is, the track width cannot be patterned with high accuracy.)

【００１７】更に加えて、上述した高精度トラック幅を
規定する記録ギャップ膜１２のスルーホール１５の加工
は、上部磁極と下部磁極のバックコンタクト部（磁極の
媒体浮上面側と反対側において両磁極を磁気的に直結す
る部分）の形成（磁気ヘッドの製造における必須工程）
と同時にパターニングさえ変えれば実施することができ
るので、本実施形態では記録ギャップ膜形成に別途の工
程を必要としないものである。In addition, the above-described processing of the through hole 15 of the recording gap film 12 for defining the high-precision track width is performed by back contact portions of the upper magnetic pole and the lower magnetic pole (both magnetic poles on the opposite side of the magnetic pole from the medium floating surface side). Of magnetically directly connected parts) (essential process in manufacturing magnetic head)
At the same time, the present invention can be carried out only by changing the patterning. Therefore, this embodiment does not require a separate step for forming the recording gap film.

【００１８】また、図１及び図２に示したＣの範囲で上
部磁極１７と下部磁極１１とが磁気的接続するために、
記録ギャップ幅１４の両端部で両磁極間の漏洩磁束が殆
どなくなるので記録媒体上で記録トラック幅がにじみな
く記録される。Further, since the upper magnetic pole 17 and the lower magnetic pole 11 are magnetically connected in the range of C shown in FIGS. 1 and 2,
Since almost no magnetic flux leaks between the two magnetic poles at both ends of the recording gap width 14, the recording track width is recorded on the recording medium without bleeding.

【００１９】上部磁極１７の形成後は、アルミナ等の絶
縁膜による保護膜１８数１０μｍと銅などをメッキして
できる端子部を形成する。After the formation of the upper magnetic pole 17, a protective film 18 made of an insulating film such as alumina is formed, and a terminal portion formed by plating copper and the like is formed.

【００２０】以上説明したように、本発明の薄膜磁気ヘ
ッドでは、記録ギャップ１２の幅を上部磁極１７の幅又
は下部磁極１１の幅よりも狭く形成し、記録ギャップ１
２の端部で上部磁極１７と下部磁極１１とを磁気的に結
合させる。このように、記録ヘッド部１０の形状は、エ
アベアリング面１３からみると図１の様になるが、記録
ギャップ１２の側面では記録磁界は上部磁極１７から下
部磁極１１に流れ磁極内に閉じ込められる為、記録ギャ
ップ１２の幅でトラック幅が決定する。この時、厚い上
部磁極１７は既に記録ギャップ１２形成時に達成されて
いる所望のトラック幅より数１００ｎｍ広い幅でパター
ニングすればよい（トラック幅を規定するという細心の
注意を払うことなく、上部磁極の幅を形成することがで
きる）。As described above, in the thin-film magnetic head of the present invention, the width of the recording gap 12 is made smaller than the width of the upper magnetic pole 17 or the width of the lower magnetic pole 11, and
The upper magnetic pole 17 and the lower magnetic pole 11 are magnetically coupled at the end of the second magnetic pole 2. As described above, the shape of the recording head unit 10 is as shown in FIG. 1 when viewed from the air bearing surface 13, but on the side surface of the recording gap 12, the recording magnetic field flows from the upper magnetic pole 17 to the lower magnetic pole 11, and is confined in the magnetic pole. Therefore, the track width is determined by the width of the recording gap 12. At this time, the thick upper magnetic pole 17 may be patterned with a width several hundred nm wider than the desired track width already achieved at the time of forming the recording gap 12 (without paying close attention to defining the track width, Width can be formed).

【００２１】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、所望のトラック幅は膜
厚数１００ｎｍの記録ギャップ１２をパターニングする
ことで形成されるので高精度のトラック幅加工が可能と
なる。According to the present invention, a desired track width is formed by patterning the recording gap 12 having a film thickness of several 100 nm, so that the track width can be processed with high precision.

【００２２】また、記録ギャップのパターニングは、磁
極のバックコンタクト部の形成と同時に実施することが
できるので余分な工程を要しない。Since the patterning of the recording gap can be performed simultaneously with the formation of the back contact portion of the magnetic pole, no extra step is required.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施形態に係る薄膜磁気ヘッドをエア
ベアリング面から見た図である。FIG. 1 is a view of a thin-film magnetic head according to an embodiment of the present invention as viewed from an air bearing surface.

【図２】本実施形態に係る薄膜磁気ヘッドの磁極先端近
傍を素子形成面から見た図である。FIG. 2 is a diagram showing the vicinity of the tip of a magnetic pole of the thin-film magnetic head according to the embodiment, viewed from an element formation surface.

【図３】本発明の他の実施形態をエアベアリング面から
見た図である。FIG. 3 is a view of another embodiment of the present invention as viewed from an air bearing surface.

【図４】従来技術の第１実施形態に係る薄膜磁気ヘッド
をエアベアリング面から見た図である。FIG. 4 is a view of the thin-film magnetic head according to the first embodiment of the prior art as viewed from an air bearing surface.

【図５】従来技術の第２実施形態をエアベアリング面か
ら見た図である。FIG. 5 is a view of a second embodiment of the related art as viewed from an air bearing surface.

【図６】従来技術の第３実施形態をエアベアリング面か
ら見た図である。FIG. 6 is a view of a third embodiment of the related art as viewed from an air bearing surface.

【図７】従来技術の第４実施形態をエアベアリング面か
ら見た図である。FIG. 7 is a view of a fourth embodiment of the related art as viewed from an air bearing surface.

【図８】従来技術の第５実施形態をエアベアリング面か
ら見た図である。FIG. 8 is a view of a fifth embodiment of the related art viewed from an air bearing surface.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 基板 ２ 下地膜 ３ センサ部 ４ 第一シールド膜 ５ 第一再生ギャップ膜 ６ センサ膜 ７ 第二再生ギャップ膜 ８ 第二シールド膜 ９ 磁気的絶縁膜 １０ 記録ヘッド部 １１ 下部磁極 １２ 記録ギャップ １３ エアベアリング面 １４ トラック幅 １５ スルーホール １６ コイル １７ 上部磁極 １８ 保護膜 １９ 軟磁性シールド膜 ２０ 非磁性層 ２１ 軟磁性層 ２２ 第二の上部磁極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Underlayer 3 Sensor part 4 First shield film 5 First reproduction gap film 6 Sensor film 7 Second reproduction gap film 8 Second shield film 9 Magnetic insulating film 10 Recording head part 11 Lower magnetic pole 12 Recording gap 13 Air Bearing surface 14 Track width 15 Through hole 16 Coil 17 Upper magnetic pole 18 Protective film 19 Soft magnetic shield film 20 Nonmagnetic layer 21 Soft magnetic layer 22 Second upper magnetic pole

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 磁気媒体へ情報を記録する薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、 前記薄膜磁気ヘッドの記録ヘッド部が、下部磁極、記録
ギャップ、上部磁極で磁気回路を構成するとともに、前
記上部磁極と前記下部磁極の間に電気絶縁層を挟んで前
記磁気回路に起磁力を与えるコイルを構成し、 前記薄膜磁気ヘッドのエアベアリング面で、トラック幅
方向における前記記録ギャップの幅が前記上部磁極の幅
及び前記下部磁極の幅よりも狭く形成され、前記記録ギ
ャップの幅端部で前記上部磁極と前記下部磁極が接触し
ていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。1. A thin-film magnetic head for recording information on a magnetic medium, wherein a recording head of the thin-film magnetic head forms a magnetic circuit with a lower magnetic pole, a recording gap, and an upper magnetic pole, and the upper magnetic pole and the lower magnetic pole. Forming a coil that applies a magnetomotive force to the magnetic circuit with an electric insulating layer interposed therebetween, wherein the width of the recording gap in the track width direction is the width of the upper magnetic pole and the lower magnetic pole on the air bearing surface of the thin-film magnetic head. A thin-film magnetic head having a width smaller than a width of a magnetic pole, wherein the upper magnetic pole and the lower magnetic pole are in contact with each other at a width end of the recording gap. 【請求項２】 磁気媒体へ情報を記録する薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法において、 シールド膜上で下部磁極の成膜・パターニング後に、磁
気的絶縁性をもつ記録ギャップを成膜し、 次に、エアベアリング面を含めた近傍で所望のトラック
幅に相当する長さ分だけ前記記録ギャップが残るように
前記記録ギャップ膜にスルーホールをパターニングし、 続いて、コイルを電気的磁気的絶縁層で絶縁形成後に上
部磁極を形成し、前記上部磁極形成に際して、トラック
幅方向における前記記録ギャップの幅よりも広く形成し
て前記上部磁極と下部磁極が前記記録ギャップの幅端部
で磁気的結合することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製
造方法。2. A method of manufacturing a thin-film magnetic head for recording information on a magnetic medium, comprising: forming and patterning a lower magnetic pole on a shield film; forming a recording gap having magnetic insulation; A through hole is patterned in the recording gap film so that the recording gap remains by a length corresponding to a desired track width in the vicinity including the bearing surface, and then, the coil is formed with an electric and magnetic insulating layer. An upper magnetic pole is formed later, and when the upper magnetic pole is formed, the upper magnetic pole and the lower magnetic pole are formed to be wider than a width of the recording gap in a track width direction, and are magnetically coupled at a width end of the recording gap. Of manufacturing a thin film magnetic head. 【請求項３】 請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドを搭載
した磁気記憶装置。3. A magnetic storage device equipped with the thin-film magnetic head according to claim 1.