JP2001341640A - Automatic guided vehicle system - Google Patents
Automatic guided vehicle systemInfo
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の利用分野】この発明は無人搬送車システムに関
し、特に無人搬送車の走行路の幅をカットしながら、高
い搬送能力を得ることに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic guided vehicle system and, more particularly, to obtaining a high transfer capability while cutting the width of a traveling path of the automatic guided vehicle.
【０００２】[0002]
【従来技術】無人搬送車は工場や倉庫などで物品を搬送
するためのもで、走行路には例えば無人搬送車の２車線
分、あるいは３車線分の幅を割り当てるのが普通であ
る。例えば走行路が一方通行の場合、ステーション横に
停止中の無人搬送車を追い越すために追加の１車線が必
要で、合計２車線が必要となる。また走行路を双方向の
対面交通とすると、ステーション横に停止中の無人搬送
車を追い越すために、中央に少なくとも１車線の追い越
し車線が必要で、合計３車線以上となる。2. Description of the Related Art Automated guided vehicles are used for transporting goods in factories, warehouses, and the like, and the width of two or three lanes of an unmanned guided vehicle is usually assigned to a traveling path. For example, when the traveling path is one-way, an additional one lane is required to pass the stopped automatic guided vehicle beside the station, and a total of two lanes are required. If the traveling path is two-way face-to-face traffic, at least one passing lane is required in the center in order to pass the stopped automatic guided vehicle beside the station, and the total number of lanes is three or more.
【０００３】[0003]
【従来技術の問題点】無人搬送車システムをクリーンル
ームなどに設ける場合、床面積当たりのコストが大きい
ため、走行路に追い越し用の車線を設けることは大きな
負担となる。2. Description of the Related Art When an automatic guided vehicle system is provided in a clean room or the like, the cost per floor area is large, and thus providing an overtaking lane on a traveling path is a heavy burden.
【０００４】[0004]
【発明の課題】この発明の基本的課題は、無人搬送車の
走行車線の数をカットしながら、無人搬送車システムの
搬送能力を維持することにある（請求項１〜３）。請求
項２の発明での追加の課題は、小さなバースに無人搬送
車が進入し得るようにすることにある。請求項３の発明
での追加の課題は、１つのバース内で、物品の荷下ろし
と荷積みの両方ができるようにすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is a basic object of the present invention to maintain the transfer capability of an automatic guided vehicle system while cutting the number of traveling lanes of the automatic guided vehicle. An additional object of the present invention is to enable an automatic guided vehicle to enter a small berth. It is an additional object of the present invention to enable both unloading and loading of articles in one berth.
【０００５】[0005]
【発明の構成】この発明の無人搬送車システムは、無人
搬送車の走行路の外側に、走行路と平行に無人搬送車を
横付けするためのバースを設けて、走行路とバースとの
間で無人搬送車が出入り自在にし、かつバースの前後の
少なくとも一方の端に、無人搬送車が物品を移載するた
めのステーションを設けたものである(請求項１)。According to the automatic guided vehicle system of the present invention, a berth is provided outside the traveling path of the automatic guided vehicle to lay the automatic guided vehicle horizontally in parallel with the traveling path, and between the traveling path and the berth. The automatic guided vehicle is capable of entering and leaving freely, and a station is provided at at least one end before and after the berth for the automatic guided vehicle to transfer articles (claim 1).
【０００６】好ましくは、走行路から見た前記バースの
開口の長さを無人搬送車の車体の長さ以下とし、かつ前
記ステーションの底部を空きスペースとして、無人搬送
車の車体の端部が進入し得るようする（請求項２）。Preferably, the length of the opening of the berth as viewed from the traveling path is equal to or less than the length of the vehicle body of the automatic guided vehicle, and the end of the vehicle body of the automatic guided vehicle enters when the bottom of the station is an empty space. (Claim 2).
【０００７】また好ましくは、バースの前後両端にステ
ーションを設ける（請求項３）。Preferably, stations are provided at both front and rear ends of the berth.
【０００８】[0008]
【発明の作用と効果】この発明では、無人搬送車の走行
路の外側に、走行路との間で無人搬送車が出入り自在に
バースを設け、無人搬送車をバースに走行路と平行に横
付けさせる。そしてバースの前後少なくとも一方の端に
ステーションを設ける。このようにすると、無人搬送車
の走行路には、ステーション横で停止中の無人搬送車を
追い越すための追い越し車線が不要になり、例えば２車
線分の走行路で従来の３車線分の走行路の走行能力が得
られ、１車線分の走行路で従来の２車線分の走行路の走
行能力が得られる。ステーションはバースの前後一方の
端に設けるので、ステーションを走行路から奥まった場
所に設ける必要はなく、バースの部分だけの面積を確保
できれば良い（請求項１）。According to the present invention, a berth is provided outside the traveling path of the automatic guided vehicle so that the automated guided vehicle can enter and exit from the traveling path, and the automatic guided vehicle is laid on the berth in parallel with the traveling path. Let it. A station is provided at least at one end before and after the berth. In this way, on the traveling path of the automatic guided vehicle, an overtaking lane for overtaking the stopped automatic guided vehicle beside the station becomes unnecessary. For example, the traveling path for two lanes is replaced with the traveling path for three conventional lanes. Is obtained, and the running ability of the conventional two-lane road is obtained on the one-lane running road. Since the station is provided at one of the front and rear ends of the berth, it is not necessary to provide the station in a place deep from the traveling path, and it is sufficient that the area of only the berth portion can be secured.
【０００９】請求項２の発明では、走行路から見たバー
スの開口の長さを、無人搬送車の車体の長さ以下とす
る。そしてステーションの底部を空きスペースとして、
バースに無人搬送車の車体中心部を進入させ、ステーシ
ョンの底部に無人搬送車の車体の端部を進入させる。こ
のようにすれば、小さな面積のバースに無人搬送車を進
入させることができる（請求項２）。According to the second aspect of the present invention, the length of the opening of the berth as viewed from the traveling path is equal to or less than the length of the vehicle body of the automatic guided vehicle. And make the bottom of the station an empty space,
The center part of the automatic guided vehicle body enters the berth, and the end of the automatic guided vehicle body enters the bottom of the station. In this way, the automatic guided vehicle can enter a berth having a small area (claim 2).
【００１０】請求項３の発明では、バースの前後両端に
ステーションを設けるので、無人搬送車から一方のステ
ーションに物品を荷下ろしした後、同じバース内で他方
のステーションから物品を荷積みすることができる。こ
のため無人搬送車システムでの荷積みや荷下ろしの能力
が向上する。According to the third aspect of the present invention, since the stations are provided at the front and rear ends of the berth, it is possible to unload the articles from the automatic guided vehicle to one station and then load the articles from the other station in the same berth. it can. For this reason, the loading and unloading capability of the automatic guided vehicle system is improved.
【００１１】[0011]
【実施例】図１〜図３に、実施例の無人搬送車システム
を示す。無人搬送車システムはクリーンルーム内に設け
られ、半導体ウエハや液晶基板等の搬送に用いるものと
し、２は走行路で、４は無人搬送車で、走行路２はここ
では２車線で、追い越し車線を設けていないのが特徴で
ある。1 to 3 show an automatic guided vehicle system according to an embodiment. The automatic guided vehicle system is provided in a clean room and is used for transporting semiconductor wafers, liquid crystal substrates, etc., 2 is a traveling path, 4 is an unmanned guided vehicle, traveling path 2 is 2 lanes here, and passing lanes are used. The feature is that it is not provided.
【００１２】走行路２に沿って多数の処理装置６を配列
し、処理装置６には走行路２の付近に入庫ステーション
８と出庫ステーション９とを設ける。そしてステーショ
ン８，９の間をバース１０とする。図１から明らかなよ
うに、バース１０の間口は無人搬送車４の車体長以下
で、据え切りや急カーブ等により、無人搬送車４が走行
路２からバース１０内に進入するようにしてある。また
ステーション８，９の底部は空きスペースで、無人搬送
車４はその前後の端部をステーション８，９の底部に進
入させる。A number of processing units 6 are arranged along the traveling path 2, and the processing units 6 are provided with an entry station 8 and an exit station 9 near the traveling path 2. A berth 10 is defined between the stations 8 and 9. As is apparent from FIG. 1, the frontage of the berth 10 is shorter than the vehicle length of the automatic guided vehicle 4, and the automatic guided vehicle 4 enters the berth 10 from the traveling path 2 due to a stationary or sharp curve. . The bottoms of the stations 8 and 9 are empty spaces, and the front and rear ends of the automatic guided vehicle 4 enter the bottoms of the stations 8 and 9.
【００１３】ここでは走行路２に沿って処理装置６を配
列したが、処理装置６ではなくストッカにステーション
を設ける場合も同様である。またステーション８，９は
一方を入庫専用、他方を出庫専用としたが、入出庫兼用
でも良い。さらに実施例では、バース１０の前後両端に
ステーション８，９を設けたが、前後一方の端のみに設
けても良い。なお１２は無人搬送車４の中央部に設けた
シールドで、その内部にシャッタを介して出し入れ自在
に、半導体や液晶基板等のカセットが収容してある。Although the processing devices 6 are arranged along the traveling path 2 here, the same applies to a case where a station is provided not in the processing device 6 but in a stocker. In addition, one of the stations 8 and 9 is dedicated to storage and the other is dedicated to storage. Further, in the embodiment, the stations 8 and 9 are provided at both front and rear ends of the berth 10, but may be provided at only one of the front and rear ends. Reference numeral 12 denotes a shield provided at the center of the automatic guided vehicle 4, in which a cassette such as a semiconductor or a liquid crystal substrate is housed so as to be freely inserted and removed through a shutter.
【００１４】図２は変形例のバース１１を設けた処理装
置７を示し、ここではバース１１の間口が無人搬送車４
の車体長とほぼ等しくしてある。バース１１の走行路２
から見た間口をより長くすれば、バースへの無人搬送車
の出入り自体は容易になる。ただしバースの面積が増す
のと、バース内で車体を動かさずに荷下ろしと荷積みの
双方の作業を行うのが難しくなる。FIG. 2 shows a processing apparatus 7 provided with a berth 11 of a modified example.
It is almost equal to the vehicle length. Running path 2 of berth 11
If the frontage as viewed from above is made longer, it is easier for the automatic guided vehicle to enter and exit the berth. However, as the area of the berth increases, it becomes difficult to perform both unloading and loading without moving the vehicle inside the berth.
【００１５】図１に戻り、無人搬送車４は、走行路２を
通常は白抜き矢印の向きに走行し、バース１０へ進入す
る場合、据え切りや急カーブ等により、黒抜き矢印のよ
うに進入する。バース１０の間口は無人搬送車４の車体
長よりも短いが、ステーション８，９の底部は空きスペ
ースなので、ここに無人搬送車４の車体の前後を進入さ
せると、狭いバース１０に進入できる。これらのため、
走行路２に追い越し車線が不要になり、ステーション
８，９は従前通り走行路２に面した位置に配置できるの
で、処理装置６側のデッドスペースが小さく、バース１
０に割り当てるスペースは、ステーション８，９間のス
ペースのみである。Returning to FIG. 1, the automatic guided vehicle 4 normally travels on the travel path 2 in the direction of the white arrow, and when entering the berth 10, the stationary guided vehicle or a sharp curve causes the vehicle to move as shown by the black arrow. enter in. Although the frontage of the berth 10 is shorter than the length of the automatic guided vehicle 4, the bottoms of the stations 8 and 9 are empty spaces, so that when entering the front and rear of the automatic guided vehicle 4, the narrow berth 10 can be entered. For these,
The overtaking lane is not required on the traveling path 2 and the stations 8 and 9 can be arranged at the position facing the traveling path 2 as before, so that the dead space on the processing device 6 side is small and the berth 1
The space allocated to 0 is only the space between stations 8 and 9.
【００１６】図３にバース１０内の無人搬送車４を示す
と、１４は走行車輪で、無人搬送車４に３輪あるいは４
輪設け、走行モータ１６で駆動し、レース１８により車
体フレームに取り付けられて、車軸の向きを変えること
ができる。このため、無人搬送車４では、各車輪の車軸
の向きをレース１８を用いて急激に変えることができ、
据え切りや急カーブが容易である。無人搬送車４の中央
部にはシールド１２があり、２０は無人搬送車４の前後
双方に設けた一対のシャッタで、２２はシャッタ２０を
巻き上げるための巻き上げ部である。シールド１２の内
部にはスカラーアーム２４があり、スカラーアーム２４
の先端のハンドには例えばターンテーブル２６を設け
て、液晶基板や半導体ウエハ等を収容したカセット２８
を、ステーション８，９との間で移載できるようにして
ある。なおスカラアーム２４に代えてスライドフォーク
等でも良く、ターンテーブル２６はステーション８上と
９上とでカセット２８の向きを変えるもので、特に設け
なくても良い。FIG. 3 shows the automatic guided vehicle 4 in the berth 10. Reference numeral 14 denotes traveling wheels.
The wheels are provided, driven by a traveling motor 16 and mounted on a body frame by a race 18 to change the direction of the axle. For this reason, in the automatic guided vehicle 4, the direction of the axle of each wheel can be rapidly changed using the race 18.
Easy to turn off and make sharp turns. A shield 12 is provided at the center of the automatic guided vehicle 4, 20 is a pair of shutters provided on both front and rear sides of the automatic guided vehicle 4, and 22 is a winding portion for winding up the shutter 20. A scalar arm 24 is provided inside the shield 12.
For example, a turntable 26 is provided at the tip of the hand, and a cassette 28 containing a liquid crystal substrate, a semiconductor wafer, and the like is provided.
Can be transferred between the stations 8 and 9. Note that a slide fork or the like may be used instead of the SCARA arm 24, and the turntable 26 changes the direction of the cassette 28 on the stations 8 and 9 and need not be provided.
【００１７】図３に示すように、無人搬送車４がバース
１０内で停止すると、移載作業１で、入庫ステーション
８へカセット２８を荷下ろしする。そして無人搬送車４
の車体を固定したまま、移載作業２で出庫ステーション
９からカセット２８を受け取り、据え切りや急カーブに
より走行路へと出発する。このようにすればバース１０
に１回停止する毎に、入庫ステーション８と出庫ステー
ション９との間で２回の移載を行うことができる。処理
装置６の側から見ると、１つのバース１０に対して入庫
ステーションと出庫ステーションとをその両側に設ける
ことができ、処理前のカセットを受け取った後に処理済
みのカセットを引き渡すことができ、極めて効率的であ
る。As shown in FIG. 3, when the automatic guided vehicle 4 stops in the berth 10, the cassette 28 is unloaded to the storage station 8 in the transfer operation 1. And automatic guided vehicle 4
While the vehicle body is fixed, the cassette 28 is received from the unloading station 9 in the transfer operation 2, and the vehicle departs to the travel path by stationary or sharp curves. In this way, berth 10
Each time the stop is performed once, the transfer can be performed twice between the entrance station 8 and the exit station 9. When viewed from the processing apparatus 6 side, a receiving station and a discharging station can be provided on both sides of one berth 10, and a processed cassette can be delivered after receiving a cassette before processing. It is efficient.
【図１】 実施例の無人搬送車システムでの、走行路と
ステーションとのレイアウトを示す平面図FIG. 1 is a plan view showing a layout of a traveling path and stations in an automatic guided vehicle system according to an embodiment.
【図２】 ステーション間隔を拡げた変形例の平面図FIG. 2 is a plan view of a modification in which the station interval is increased.
【図３】 実施例でのバース内の無人搬送車とステーシ
ョンとを示す、一部切り欠き部付き側面図FIG. 3 is a side view with a partially cutaway portion showing an automatic guided vehicle and a station in a berth in an embodiment.
２ 走行路 ４ 無人搬送車 ６，７ 処理装置 ８ 入庫ステーション ９ 出庫ステーション １０，１１ バース １２ シールド １４ 走行車輪 １６ 走行モータ １８ レース ２０ シャッタ ２２ 巻き上げ部 ２４ スカラーアーム ２６ ターンテーブル ２８ カセット Reference Signs List 2 traveling path 4 automatic guided vehicle 6,7 processing unit 8 entry station 9 exit station 10,11 berth 12 shield 14 traveling wheel 16 traveling motor 18 race 20 shutter 22 winding section 24 scalar arm 26 turntable 28 cassette
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ // Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｔ ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 21/68 H01L 21/68 A // G05D 1/02 G05D 1/02 T
Claims (3)
平行に無人搬送車を横付けするためのバースを設けて、
走行路とバースとの間で無人搬送車が出入り自在にし、
かつ前記バースの前後の少なくとも一方の端に、無人搬
送車との間で物品を移載するためのステーションを設け
た、無人搬送車システム。A berth is provided outside the traveling path of the automatic guided vehicle to lay the automatic guided vehicle sideways in parallel with the traveling path,
An unmanned guided vehicle can freely enter and exit between the traveling path and the berth,
And an automatic guided vehicle system provided with a station for transferring articles to and from the automatic guided vehicle at at least one end before and after the berth.
を無人搬送車の車体の長さ以下とし、かつ前記ステーシ
ョンの底部を空きスペースとして、無人搬送車の車体の
端部が進入し得るようにしたことを特徴とする、請求項
１の無人搬送車システム。2. The length of the opening of the berth viewed from the traveling path is equal to or less than the length of the vehicle body of the automatic guided vehicle, and the end of the vehicle body of the automatic guided vehicle enters with the bottom of the station as an empty space. The automatic guided vehicle system according to claim 1, wherein the automatic guided vehicle system is provided.
設けたことを特徴とする、請求項１または２の無人搬送
車システム。3. The automatic guided vehicle system according to claim 1, wherein stations are provided at both front and rear ends of the berth.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A JP2001341640A (en) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | Automatic guided vehicle system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A JP2001341640A (en) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | Automatic guided vehicle system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001341640A true JP2001341640A (en) | 2001-12-11 |
Family
ID=18670458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000167281A Pending JP2001341640A (en) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | Automatic guided vehicle system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001341640A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501592A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | “カット”・トランスポート・ゲー・エム・ベー・ハー | Article conveying method and apparatus for carrying out the method |
| CN101850883A (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-06 | 株式会社Ihi | Traveling trolley system |
| KR101202268B1 (en) * | 2007-07-05 | 2012-11-19 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | Transfer system, transferring method and transfer vehicle |
| WO2021017778A1 (en) * | 2019-07-30 | 2021-02-04 | 深圳蓝胖子机器人有限公司 | Goods sorting method, device and system |
-
2000
- 2000-06-05 JP JP2000167281A patent/JP2001341640A/en active Pending
Cited By (5)
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