JP2001331931A - Floppy disk - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ferromagnetic metallic thin film type floppy disk which has high running durability and in which generation of thermal asperity is suppressed. SOLUTION: In the magnetic recording medium with a magnetic layer consisting of a ferromagnetic metal thin film with fine projections on the surface on at least one face of a nonmagnetic substrate and a carbon protective layer and a lubricant on the magnetic layer, the area of projections of the height of >=15 nm from a reference surface determined by measuring the surface of the magnetic layer with an atomic force microscope is <=10 times the area of projections of the height of >=30 nm from the reference surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は面記録密度の高い強
磁性薄膜を有したフロッピーディスク型磁気記録媒体に
関するものである。The present invention relates to a floppy disk type magnetic recording medium having a ferromagnetic thin film having a high areal recording density.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、画像データ等を始めとした高容量
のデータを保存する要求から、記録密度の高密度化の要
請が年々高くなってきており、スパッタリング法や蒸着
法等の真空成膜法によって作製した強磁性金属薄膜を記
録層とするテープ型磁気記録媒体や、剛性のある基材上
に強磁性金属薄膜を形成した磁気記録媒体が実用化され
ている。このような磁気記録媒体では、高い磁気エネル
ギーが容易に得られ、さらに非磁性基板の表面を平滑に
することによって平滑な表面性を容易に達成できるため
スペーシング損失が少なく、高い電磁変換特性を有する
特徴があるために高密度記録材料に適している。2. Description of the Related Art In recent years, demands for storing high-capacity data such as image data have been increasing year by year, and demands for higher recording densities have been increasing year by year. A tape type magnetic recording medium using a ferromagnetic metal thin film produced by a recording layer as a recording layer and a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film formed on a rigid base material have been put to practical use. In such a magnetic recording medium, high magnetic energy can be easily obtained, and smooth surface properties can be easily achieved by smoothing the surface of the non-magnetic substrate. Because of its characteristics, it is suitable for high-density recording materials.

【０００３】一方、フロッピーディスク型の磁気記録媒
体は、対衝撃性に優れ、低コストであるために２ＨＤク
ラスを中心に広く使用されてきたが、さらに最近は薄層
塗布技術を用いたＺｉｐ（アイオメガ社）、ＨｉＦＤ
（ソニー社）に代表されるような高密度磁気記録媒体も
実用化されている。これらのフロッピーディスクシステ
ムは３０００ｒｐｍ程度の高速で回転させて記録再生を
行うものであり、ハードディスク並の転送速度を達成し
ている。しかしながら、その記録密度は未だハードディ
スクの１／２０以下である。これはハードディスクのよ
うな強磁性金属薄膜を磁性層に有するフロッピーディス
クが未だ実用化には至っていないこと、また、記録密度
の向上に有効な磁気抵抗素子からなるＭＲヘッドを使用
することが、フロッピーディスクでは技術的に困難であ
ることが大きな要因である。これには様々な理由がある
が、その理由の一つに強磁性金属薄膜を有するフロッピ
ーディスクでは十分な走行耐久性を確保し、実用信頼性
を得ることが困難であることが挙げられる。On the other hand, floppy disk type magnetic recording media have been widely used mainly in the 2HD class because of their excellent impact resistance and low cost, but more recently Zip (Zip) using thin layer coating technology has been used. Iomega), HiFD
High-density magnetic recording media represented by (Sony Corporation) have also been put to practical use. These floppy disk systems rotate at a high speed of about 3000 rpm to perform recording and reproduction, and achieve a transfer speed comparable to that of a hard disk. However, the recording density is still less than 1/20 that of a hard disk. This is because floppy disks such as hard disks having a ferromagnetic metal thin film in the magnetic layer have not yet been put to practical use, and the use of MR heads composed of magnetoresistive elements effective for improving the recording density has A major factor is the technical difficulty with disks. There are various reasons for this. One of the reasons is that it is difficult to secure sufficient running durability and obtain practical reliability with a floppy disk having a ferromagnetic metal thin film.

【０００４】主にスパッタリング法で作製される強磁性
金属薄膜を有するフロッピーディスクが塗布法で作製さ
れるフロッピーディスクよりも耐久性を確保するのが困
難である理由は、塗布法で作製されるフロッピーディス
クの磁性膜が有機物バインダーでくるまれた磁性粒子、
無機粒子等からなり最表層が有機物バインダーであるこ
と、粒子間に空隙があること、磁性膜中に潤滑剤を含有
している事などにより耐摩耗性、耐衝撃性と潤滑性に優
れるのに対し、スパッタリング法で作製されるフロッピ
ーディスクの場合は磁性膜が摩耗しやすい金属薄膜であ
るためである。[0004] The reason that it is more difficult to secure the durability of a floppy disk having a ferromagnetic metal thin film produced by a sputtering method than to a floppy disk produced by a coating method is that a floppy disk produced by a coating method is used. Magnetic particles whose magnetic film is wrapped with an organic binder,
It is excellent in wear resistance, impact resistance and lubricity due to inorganic particles etc., the outermost layer is an organic binder, there are voids between the particles, the lubricant is contained in the magnetic film, etc. On the other hand, in the case of a floppy disk manufactured by the sputtering method, the magnetic film is a metal thin film that is easily worn.

【０００５】そこで、ハードディスクと同様に磁性膜の
上に固体保護層を設けることで走行耐久性を改善する検
討が行われてきた。なかでも炭素膜が耐久性に優れてい
ることが知られている。しかしながら、フロッピーディ
スクにハードディスクと同様な炭素保護膜を設けただけ
では、走行耐久性を向上させる効果は有るものの必ずし
も十分な実用信頼性を得ることができていない。Therefore, studies have been made to improve running durability by providing a solid protective layer on a magnetic film as in a hard disk. Among them, it is known that carbon films have excellent durability. However, merely providing a carbon protective film similar to a hard disk on a floppy disk has the effect of improving running durability, but does not always provide sufficient practical reliability.

【０００６】潤滑剤に関しても強磁性金属薄膜を有する
フロッピーディスクの走行耐久性を十分に改善すること
はできていなかった。[0006] Regarding a lubricant, the running durability of a floppy disk having a ferromagnetic metal thin film cannot be sufficiently improved.

【０００７】また、ＭＲヘッドを使用することが困難で
あることにも様々な理由があるが、その最大の理由はデ
ィスクとＭＲヘッドが接触する際に発生するノイズ、い
わゆるサーマルアスペリティーの発生をハードデイスク
並に抑えられていないことである。サーマルアスペリテ
ィーはディスクとヘッドが接触した際に発生する摩擦熱
等の影響によってＭＲ素子の温度が変化し、磁気的信号
とは関係なく再生ヘッド出力変動が生じる現象である。
このサーマルアスペリティーの出力は磁気記録信号の再
生出力の数倍に達することがある。このような場合、ヘ
ッドアンプの飽和を招き、信号の読み取りができず、読
み取りエラーを発生してしまう。There are various reasons why it is difficult to use an MR head. One of the biggest reasons is the generation of so-called thermal asperity, which occurs when the disk and the MR head come into contact with each other. It is not kept as low as a hard disk. Thermal asperity is a phenomenon in which the temperature of the MR element changes due to the influence of frictional heat or the like generated when the disk and the head come into contact, and the output of the reproducing head varies regardless of the magnetic signal.
The output of this thermal asperity may reach several times the reproduction output of the magnetic recording signal. In such a case, saturation of the head amplifier is caused, signal cannot be read, and a reading error occurs.

【０００８】ハードディスクでは、ディスクの回転数を
増加させるとヘッドに働く浮上力の効果でヘッドが浮上
し、ヘッドとハードディスクが接触しない状態で使用さ
れるのに対し、フロッピーディスクではハードディスク
と同じようにディスクの回転数を増加させても、ディス
クの振動（面ぶれ）が大きいため、ヘッドが安定に浮上
することができず、高速回転時においてもヘッドとフロ
ッピーディスクが頻繁に接触してしまう。これが、十分
な走行耐久性を得る上で、また、ＭＲヘッドを使用する
上で、非常に大きな問題となる。In the case of a hard disk, when the number of revolutions of the disk is increased, the head floats due to the effect of a floating force acting on the head, and the head is used in a state where the hard disk does not come into contact with the disk. Even if the number of rotations of the disk is increased, the vibration of the disk (runout) is large, so that the head cannot float stably, and the head frequently comes into contact with the floppy disk even during high-speed rotation. This is a very serious problem in obtaining sufficient running durability and in using the MR head.

【０００９】したがって、強磁性金属薄膜を有するフロ
ッピーディスクで十分な走行耐久性を得、ＭＲヘッドの
使用を可能にするためには、 １．潤滑性に優れる潤滑膜 ２．耐摩耗性に優れる保護膜 ３．接触の頻度を少なくするための少ない面ぶれ ４．ヘッドとディスクが接触しても剥離、破壊を生じさ
せない制御された表面硬さ ５．ヘッドとディスクの接触頻度を少なくするための制
御された表面粗さ、などの従来から必要とされてきた要
請に加え、 ６．ヘッドとディスクが接触した時に発生する摩擦を最
小限に抑えるための制御された表面形状が必要となる。
特に、基本的に非接触状態での走行を前提としたハード
ディスクとは異なり、走行時にヘッドとディスクが接触
することを考慮した媒体設計が必要となる。Therefore, in order to obtain sufficient running durability with a floppy disk having a ferromagnetic metal thin film and enable use of an MR head, it is necessary to: 1. Lubricating film with excellent lubricity 2. A protective film with excellent wear resistance. 3. Low runout to reduce the frequency of contact. 4. A controlled surface hardness that does not cause peeling or destruction even when the head and disk contact. 5. In addition to the conventionally required requirements such as controlled surface roughness for reducing the frequency of contact between the head and the disk, A controlled surface profile is required to minimize the friction that occurs when the head and disk come into contact.
In particular, unlike a hard disk which is basically supposed to run in a non-contact state, a medium design is required in consideration of the contact between the head and the disk during running.

【００１０】表面粗さ、中でも表面突起の高さや密度だ
けでなく、形状、面積については、テクスチャやバンプ
を設けるハードディスクの分野で検討が行われてきた。
例えば、特開平７−２９６３７５号公報には突起の頂点
から１６オングストローム下の断面と等しい底面積を持
つ円錐の底角について、その角度が０．６０〜１．４０
°とする事が提案されており、特開平８−１０６６３０
号公報には突起の頂点から１ｎｍ下の図形の面積の平均
値を２μｍ² 以下とすることが提案されている。しか
し、これらはＣＳＳ（コンタクトスタートストップ）時
の特性改善に関連したバンプ等の形状に関するもので、
強磁性金属薄膜を有する磁気記録媒体表面の微小突起の
形状としては適当な形状とはいえない。また、特開平１
０−３０２２３８号公報にはヘッド側スライダーの突起
高さ、面積に関する記載があり、磁気記録媒体だけでな
く、機構部品側でも表面形状の最適化が検討されてい
る。[0010] The surface roughness, especially the height and density of the surface projections, as well as the shape and area, have been studied in the field of hard disks provided with textures and bumps.
For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-296375 discloses that the base angle of a cone having a base area equal to the cross section 16 angstroms below the apex of the projection is 0.60 to 1.40.
° has been proposed.
The publication proposes that the average value of the area of the figure 1 nm below the vertex of the protrusion be 2 μm ² or less. However, these are related to the shape of bumps etc. related to the improvement of characteristics at the time of CSS (contact start / stop).
The shape of the fine protrusions on the surface of the magnetic recording medium having the ferromagnetic metal thin film is not an appropriate shape. Also, Japanese Patent Application Laid-Open
Japanese Patent Laid-Open No. 0-302238 discloses a description of the height and area of a protrusion of a head-side slider. Optimization of the surface shape is being studied not only for a magnetic recording medium but also for a mechanical component.

【００１１】磁気記録媒体表面に関しては、特開平１１
−１９５２１７号公報には突起の頂点から４５ｎｍ下で
の負荷比（Ｂｅａｒｉｎｇ ｒａｔｉｏ）を３〜６０
％、接触面積を５ｍｍ² 以上とすることが提案されてお
り、特開平１１−２３２６３４号公報には測定面積をＳ
として断面積が０．８Ｓとなる高さと０．２Ｓとなる高
さの間隔をを５〜８ｎｍとするとの記載がある。しかし
ながら、これら従来技術をもってしても、十分な走行耐
久性の確保、ＭＲヘッドの使用という問題を満たす強磁
性金属薄膜を有するフロッピーディスクを実現すること
はできなかった。Regarding the surface of a magnetic recording medium, see
JP-A-195217 discloses a load ratio (bearing ratio) of 3 to 60 below 45 nm from the apex of a projection.
% And a contact area of 5 mm ² or more have been proposed, and JP-A-11-232634 discloses that the measurement area is S
It is described that the interval between the height at which the cross-sectional area is 0.8S and the height at which the cross-sectional area is 0.2S is 5 to 8 nm. However, even with these conventional techniques, it has not been possible to realize a floppy disk having a ferromagnetic metal thin film satisfying the problems of securing sufficient running durability and using an MR head.

【００１２】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、十分な走行
耐久性を有し、ＭＲヘッドを使用することによって記録
密度を大幅に向上させた磁気記録方式におけるサーマル
アスペリティーの発生を抑制した、十分な実用信頼性を
達成した強磁性金属薄膜型フロッピーディスクを供給し
ようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention suppresses the occurrence of thermal asperity in a magnetic recording system having sufficient running durability and using a MR head to greatly improve the recording density. An object of the present invention is to provide a ferromagnetic metal thin film type floppy disk which has achieved sufficient practical reliability.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の課題は、非磁性
基板の少なくとも一方の面に表面に微小突起を有する強
磁性金属薄膜より成る磁性層とその上にカーボン保護
層、潤滑剤を有する磁気記録媒体において、その表面を
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で測定した際に、凸部と凹部
の体積が等しくなる面を基準面とし、基準面から１５ｎ
ｍ以上の突起面積が、基準面から３０ｎｍ以上の突起面
積の１０倍以下であるフロッピーディスクによって解決
することができる。また、その表面をＡＦＭで測定した
基準面から１５ｎｍ以上の突起個数が９００μｍ² 中に
３００個以下、かつ基準面から１５ｎｍ以上の突起面積
が９００μｍ² 中に１〜７μｍ² であることを特徴とす
る磁気記録媒体によって達成される。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic layer comprising a ferromagnetic metal thin film having fine protrusions on at least one surface of a non-magnetic substrate, a carbon protective layer and a lubricant on the magnetic layer. When the surface of the magnetic recording medium is measured by an atomic force microscope (AFM), the surface where the volume of the convex portion and the volume of the concave portion are equal is set as a reference surface, and 15 n from the reference surface.
The problem can be solved by a floppy disk in which the protrusion area of m or more is 10 times or less the protrusion area of 30 nm or more from the reference plane. Moreover, said the number of projections of more than 15nm from a reference plane obtained by measuring the surface with AFM following 300 in 900 .mu.m ^2, and projection area of more than 15nm from the reference plane is 1 to 7 [mu] m ² during 900 .mu.m ² This is achieved by a magnetic recording medium.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】本発明は、フロッピーディスクの
表面を特定の表面性状とすることによって、ＭＲヘッド
を使用した磁気記録媒体への情報の記録再生において、
安定し、かつ十分な耐久性を持った走行を可能としたも
のである。本発明のフロッピーディスクについて説明す
る。フロッピーディスクは可撓性支持体の少なくとも片
面に、下塗り膜、下地膜、強磁性金属薄膜、保護膜、潤
滑膜を積層したものである。フロッピーディスク表面に
設ける微小突起について、突起数が同じ前提で高さにつ
いて考えてみる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention provides a method for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium using an MR head by making the surface of a floppy disk a specific surface property.
This makes it possible to run with stability and sufficient durability. The floppy disk of the present invention will be described. The floppy disk is obtained by laminating an undercoat film, a base film, a ferromagnetic metal thin film, a protective film, and a lubricating film on at least one surface of a flexible support. With regard to the minute projections provided on the floppy disk surface, the height will be considered on the assumption that the number of projections is the same.

【００１５】突起の高さが高くなると記録再生ヘッドと
媒体のスペーシング損失が増加して電磁変換特性が劣化
し、突起の高さが低くなると電磁変換特性には有利だが
摺動特性の改善効果が少なくなって、ヘッドの跳躍やサ
ーマルアスペリティーを発生しやすくなる。したがっ
て、電磁変換特性と摺動特性を両立する高さが求められ
る。さらにこの表面突起には特異的に高い突起のないこ
とが好ましく、特に高さが均一であることが好ましい。
突起の高さに広い分布があったり、局所的に高い突起が
存在すると、高さの高い突起のみが接触するため、局所
的な摩耗による寿命の劣化やＭＲヘッドを用いた時のサ
ーマルアスペリティーの発生を招くこととなる。When the height of the projections increases, the spacing loss between the recording / reproducing head and the medium increases and the electromagnetic conversion characteristics deteriorate. When the height of the projections decreases, the electromagnetic conversion characteristics are advantageous, but the sliding characteristics are improved. And jumping of the head and thermal asperity are easily generated. Therefore, a height that achieves both electromagnetic conversion characteristics and sliding characteristics is required. Further, it is preferable that the surface projections have no specifically high projections, and it is particularly preferable that the heights are uniform.
If there is a wide distribution of protrusion heights or locally high protrusions, only the tall protrusions will come into contact, resulting in deterioration of service life due to local wear and thermal asperity when using an MR head. Will occur.

【００１６】微小突起の数は、突起数を多くするために
フィラー粒子を多く添加するなどの手法を採ると凝集粒
子の増加などによる高い突起が増加して電磁変換特性が
劣化する。突起数が少ない場合には、単にフィラー粒子
の添加量を減らす等の手法では摺動特性の改善効果が少
なくなり、ヘッドの跳躍やサーマルアスペリティーを発
生しやすくなるが、少なくても摺動特性を十分に維持出
来るだけの状態にあれば、その目的は達せられる。When the number of microprojections is increased by adding a large amount of filler particles to increase the number of projections, the number of high projections due to an increase in agglomerated particles increases and the electromagnetic conversion characteristics deteriorate. When the number of projections is small, the effect of improving the sliding characteristics is reduced by simply reducing the amount of filler particles added, and head jumps and thermal asperity are likely to occur. If you are in a state where you can maintain enough, you can achieve that purpose.

【００１７】摺動特性は、ディスクとヘッドの接触面積
を少なくすることで改善すると考えられる。つまりディ
スク表面の突起を設け、ある接触面でヘッドと接触させ
ている。この時、接触面の面積が小さすぎると、接触面
に力が集中してしまうため、突起の摩耗が促進され易く
なると考えられる。したがって、ヘッドと接触したとき
に個々の突起が受ける力を分散させる必要がある。その
ためには、例えば突起数を増加させて力を分散させるこ
となどによって、接触した突起の表面積を増加させるこ
とで力を分散させること、つまり接触時の圧力を小さく
することによって、その目的が達せられると考えられ、
突起の数、高さを一定範囲に設定するだけなく、その表
面積を増加させることが重要である。もちろん、摺動特
性を維持するためにも、また、ＭＲヘッド使用時のサー
マルアスペリティーを増加させないためにも、無制限に
接触面積を増加させることはできないが、耐久性、摺動
特性、ＭＲヘッド適性を満足できるような、強磁性金属
薄膜を有する磁気記録媒体に最適な突起面積の範囲が存
在すると推定される。It is considered that the sliding characteristics are improved by reducing the contact area between the disk and the head. That is, a protrusion on the disk surface is provided, and the disk is brought into contact with the head at a certain contact surface. At this time, if the area of the contact surface is too small, the force concentrates on the contact surface, and it is considered that the abrasion of the protrusion is likely to be promoted. Therefore, it is necessary to disperse the force applied to each projection when it comes into contact with the head. For that purpose, the purpose is achieved by increasing the surface area of the contacted projections, for example, by increasing the number of projections and dispersing the force, thereby dispersing the force, that is, by reducing the pressure at the time of contact. Is thought to be
It is important not only to set the number and height of the projections in a certain range but also to increase the surface area. Of course, in order to maintain the sliding characteristics and not to increase the thermal asperity when using the MR head, the contact area cannot be increased without limit, but the durability, the sliding characteristics, and the MR head It is presumed that there is an optimum projection area range for the magnetic recording medium having the ferromagnetic metal thin film that can satisfy the suitability.

【００１８】表面突起については、数、高さ、面積につ
いてだけではなく、その形状も重要である。モデル的に
円錐状の突起と半球状の突起を比較すると、円錐状の突
起はその先端が先鋭であるため、接触時に大きな力が加
わり、摩耗が促進され易く、その結果先端が丸くなると
考えられる。また、突起に横方向から進んできたヘッド
が、側面に当たるときの衝撃も大きく、クラックが入っ
たり、破断したりという損傷を受け易い。また、破断片
による摩耗等の２次的な摩耗、破壊を引き起こす可能性
もある。それに対し、半球状の突起では、先端近傍を微
小に見れば平面に近く、円錐の先端に比較すれば摩耗に
有利であり、また横方向から進んできたヘッドとの接触
においても、その衝撃を球面の接線方向に逃がしやすい
と考えられる。したがって、表面突起の形状としては、
例えば円錐の様な先端が先細って尖っている形状より
も、例えば半球形の形状が望ましいと考えられる。Regarding the surface projections, not only the number, height and area, but also the shape are important. Comparing a conical projection with a hemispherical projection in terms of a model, it is thought that the conical projection has a sharp tip, so a large force is applied at the time of contact, and wear is easily promoted, and as a result, the tip is rounded. . Further, the head that has advanced from the lateral direction to the projection has a large impact when hitting the side surface, and is susceptible to damage such as cracking or breakage. In addition, there is a possibility that secondary abrasion or destruction such as abrasion due to broken fragments may be caused. On the other hand, a hemispherical projection is close to a flat surface when viewed in the vicinity of the tip, is advantageous for abrasion when compared to the tip of a cone, and has an impact on contact with a head that has advanced from the side. It is thought that it is easy to escape in the tangential direction of the spherical surface. Therefore, as the shape of the surface projection,
For example, it is considered that a hemispherical shape is more preferable than a shape such as a cone having a tapered and pointed tip.

【００１９】この形状を特徴づけるものとして、表面積
の高さ方向への変化がある。円錐状の突起は、半球状の
突起と比較して、高い部分での表面積の減少率が大き
い。このことは同じ高さの円錐と半球についてモデル的
な関数を用いて積分することによって表面積を計算する
ことからも確認できる。実際の突起については、ある高
さａとｂ（ａ＜ｂ）を設定し、ａ以上の高さの突起面積
とｂ以上の高さの突起面積の差が、表面積の減少分と対
応しており、この突起面積の減少率が大きいものほど、
いわゆる尖った突起であることを示すことになる。As a characteristic of this shape, there is a change in the surface area in the height direction. The conical protrusion has a larger reduction rate of the surface area at a higher portion than the hemispherical protrusion. This can also be confirmed by calculating the surface area by integrating a cone and a hemisphere of the same height using a model function. For actual projections, certain heights a and b (a <b) are set, and the difference between the projection area at a height of a or more and the projection area at a height of b or more corresponds to the decrease in surface area. The larger the rate of decrease of this protrusion area,
This indicates a so-called sharp projection.

【００２０】この突起の数や高さ、表面積は原子間力顕
微鏡によって測定できる。またこの突起は支持体上、下
塗り膜上、磁性膜上、保護膜上のいずれかに微粒子を付
与して形成したものである。この時、微粒子の粒径、添
加量、溶剤組成、分散条件等を最適化して付与される
が、本発明において表面突起の調整手段は前記の手法に
限定されるべきものではなく、従来公知の手段、例えば
テクスチャー加工等を用いることもできる。The number, height and surface area of the projections can be measured by an atomic force microscope. The projections are formed by applying fine particles to any of the support, the undercoat film, the magnetic film, and the protective film. At this time, the particle size of the fine particles, the amount added, the solvent composition, the dispersion conditions and the like are provided by optimizing, but in the present invention, the means for adjusting the surface projections is not limited to the above-described method, and is conventionally known. Means, such as texturing, can also be used.

【００２１】表面の微小突起以外に関する形状について
は、フロッピーディスク装置として安定した走行を達成
するため、ディスクの面ぶれをヘッドがフロッピーディ
スク面に接触していない状態で１００μｍ以下、好まし
くは５０μｍ以下とする必要がある。この面ぶれは主に
フロッーピーディスクの静的な変形が原因となるため、
カールが小さいフロッピーディスクが必要であり、静的
なカール量は１ｍｍ以下であることが好ましい。With respect to the shape other than the minute projections on the surface, in order to achieve stable running as a floppy disk device, the disk runout should be 100 μm or less, preferably 50 μm or less when the head is not in contact with the floppy disk surface. There is a need to. Since this runout is mainly due to the static deformation of the floppy disk,
A floppy disk with a small curl is required, and the static curl amount is preferably 1 mm or less.

【００２２】以上の様な特長を有した、十分な走行耐久
性を有し、電磁変換特性を満足し、ＭＲヘッドを用いた
時にサーマルアスペリティーの発生を抑える様な磁気記
録媒体を構成する素材として、以下のようなものが挙げ
られる。A material constituting a magnetic recording medium having the above features, having sufficient running durability, satisfying electromagnetic conversion characteristics, and suppressing the occurrence of thermal asperity when an MR head is used. Examples include the following.

【００２３】非磁性基板としては可撓性基板が挙げら
れ、好ましくは、高分子基板が挙げられる。高分子基板
としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン
ナフタレー卜、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイ
ミド、ポリベンゾキシアゾール等が挙げられる。中で
も、好ましくはポリイミド、ポリアミドがあげられる。
これら高分子基板の厚さは、通常、２０〜２００μｍ、
好ましくは３０〜９０μｍである。この基板の厚みは一
般にディスク径が１．８型のように比較的小さい場合に
は３０〜５０μｍ、ディスク径が３．５型の様に比較的
大きい場合には５０〜９０μｍものが用いられる。カー
ル量はディスクの大きさにも依存するが、例えば３．５
型のフロッピーディスクの場合、２ｍｍ以下、好ましく
は１ｍｍである。また、高い電磁変換特性を確保するた
めに磁性膜面の表面粗さはＲａで２ｎｍ以下であり最大
表面粗さＲｍａｘは６０ｎｍ以下が好ましい。The non-magnetic substrate includes a flexible substrate, and preferably includes a polymer substrate. Examples of the polymer substrate include polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyimide, polyamide, polyamide imide, and polybenzoxazole. Among them, preferred are polyimide and polyamide.
The thickness of these polymer substrates is usually 20 to 200 μm,
Preferably it is 30 to 90 μm. Generally, the thickness of the substrate is 30 to 50 μm when the disk diameter is relatively small such as 1.8 type, and 50 to 90 μm when the disk diameter is relatively large such as 3.5 type. The amount of curl also depends on the size of the disc, for example, 3.5
In the case of a type floppy disk, it is 2 mm or less, preferably 1 mm. In order to ensure high electromagnetic conversion characteristics, the surface roughness of the magnetic film surface is preferably 2 nm or less in Ra, and the maximum surface roughness Rmax is preferably 60 nm or less.

【００２４】また、ポリイミドフィルムまたはポリアミ
ドフィルムの磁性膜面の表面性がポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレンナフタレート等のフィルムほど平
滑でない場合はフィルムの磁性膜面にまず平滑化を目的
とした下塗り膜を作製しても良い。この下塗り膜の厚み
としては０．１〜３μｍが好ましい。When the surface property of the magnetic film surface of the polyimide film or the polyamide film is not as smooth as that of a film such as polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate, an undercoat film for the purpose of smoothing is first prepared on the magnetic film surface of the film. May be. The thickness of the undercoat film is preferably 0.1 to 3 μm.

【００２５】下塗り層に使用できる下塗り剤としてはポ
リエステルのように一般的なものが使用できるが、表面
硬度の観点からポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイ
ミド、ポリシロキサン等の熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂
が好ましい。熱硬化性樹脂は、例えば熱硬化イミド樹脂
は分子内にイミド構造と重合可能な末端基を有するモノ
マーを塗布し、加熱によって重合しポリイミド構造を形
成させる方法によって作製できる。この様な化合物は特
開昭５９−８０６６２号公報、特開昭６０−１７８８６
２号公報、特開昭６１−１８７６１号公報、特開昭６３
−１７０３５８号公報、特開平７−５３５１６号公報な
どに記載されている公知の合成法で合成された公知の化
合物を使用することができる、この様な化合物は丸善石
油化学からＢＡＮＩシリーズ、ＡＮＩシリーズとして市
販されている。また、エポキシ基を有するシランカップ
リング剤を含有するモノマーを塗布した後熱硬化させる
方法により熱硬化シリコン樹脂を使用することもでき
る。As the undercoating agent that can be used for the undercoating layer, a general undercoating agent such as polyester can be used. However, from the viewpoint of surface hardness, thermosetting resins and thermoplastic resins such as polyamide, polyimide, polyamideimide, and polysiloxane are used. preferable. The thermosetting resin can be prepared, for example, by applying a monomer having a terminal group capable of polymerizing with an imide structure in a molecule of a thermosetting imide resin, and polymerizing by heating to form a polyimide structure. Such compounds are disclosed in JP-A-59-80662 and JP-A-60-17886.
No. 2, JP-A-61-18761, JP-A-63
Known compounds synthesized by a known synthesis method described in JP-A-170358, JP-A-7-53516 and the like can be used. Such compounds are obtained from Maruzen Petrochemical's BANI series and ANI series. It is commercially available as Alternatively, a thermosetting silicone resin may be used by a method of applying a monomer containing a silane coupling agent having an epoxy group, followed by thermosetting.

【００２６】このようにして得られた平滑な非磁性支持
体上、下塗り膜上、磁性膜上、保護膜上のいずれかに、
高きが均一で低く微小突起を設けることが好ましく、例
えばＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＴｉＯ₂等又は有機物の微粒子
を上記のような樹脂結合剤と共に基板上または下塗り層
上に塗布することにより該突起を設けることができる。
なかでも非磁性支持体上または下塗り膜上が好ましい。On the thus obtained smooth non-magnetic support, undercoat film, magnetic film, or protective film,
It is preferable to provide fine projections having a uniform height and a low level, for example, by applying fine particles of SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , TiO _2, or the like or an organic substance on a substrate or an undercoat layer together with the above resin binder. Protrusions can be provided.
Of these, a nonmagnetic support or an undercoat film is preferred.

【００２７】この様な微小突起構造を作製する方法とし
ては溶剤に分散した球状シリカ粒子を塗布する方法、エ
マルジョンを塗布して有機物の突起を形成する方法など
が使用できるが、耐熱性を確保し、均一な粒子サイズを
達成するためにシリカ粒子が好ましい。また突起を表面
に固定するため、高さ、形状を調整するためにバインダ
ーを用いることも可能である。このような素材としては
熱硬化性イミドや熱硬化性シリコーン樹脂を用いること
が特に好ましい。微小突起はディスク表面で原子間力顕
微鏡（ＡＦＭ）で測定した時に、基準面からの高さが１
５ｎｍ以上の突起数が９００μｍ² あたり３００個以下
の範囲であるが、このような突起を形成するためにはこ
の上に形成する磁性膜や保護膜の厚みを考慮して粒子サ
イズが決める必要がある。一般的な下地膜、磁性膜、保
護膜を形成した場合の粒子は５ｎｍ〜５０ｎｍ程度の球
状粒子、その密度は０．１〜１００個／μｍ² 、好まし
くは１〜３０個／μｍ²である。As a method of producing such a fine projection structure, a method of applying spherical silica particles dispersed in a solvent, a method of forming an organic substance projection by applying an emulsion, and the like can be used. Silica particles are preferred to achieve a uniform particle size. Further, it is also possible to use a binder for adjusting the height and the shape in order to fix the projection to the surface. It is particularly preferable to use a thermosetting imide or a thermosetting silicone resin as such a material. The microprojections have a height from the reference plane of 1 when measured with an atomic force microscope (AFM) on the disk surface.
Although the number of protrusions of 5 nm or more is in a range of 300 or less per 900 μm ² , in order to form such protrusions, it is necessary to determine the particle size in consideration of the thickness of a magnetic film or a protective film formed thereon. is there. When a general underlayer, magnetic film, or protective film is formed, the particles are spherical particles of about 5 nm to 50 nm, and the density is 0.1 to 100 particles / μm ² , preferably 1 to 30 particles / μm ² . .

【００２８】微小突起の高さが高すぎると記録再生ヘッ
ドと媒体のスペーシング損失によって電磁変換特性が劣
化し、微小突起が低すぎると摺動特性の改善効果が少な
くなる。微小突起の密度が少なすぎる場合は摺動特性の
改善効果が少なくなり、多すぎると凝集粒子の増加によ
って高い突起が増加して電磁変換特性が劣化する。また
バインダーの塗膜厚みは２０ｎｍ以下が好ましい。バイ
ンダーが厚すぎると乾燥後にフィルム裏面と接着（ブロ
ッキング）を生じる場合がある。If the height of the fine projections is too high, the electromagnetic conversion characteristics are degraded due to the spacing loss between the recording / reproducing head and the medium. If the height of the fine projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced. If the density of the fine projections is too low, the effect of improving the sliding characteristics is reduced, and if it is too high, the number of high projections increases due to the increase in aggregated particles, and the electromagnetic conversion characteristics deteriorate. The thickness of the coating film of the binder is preferably 20 nm or less. If the binder is too thick, it may adhere (block) to the back surface of the film after drying.

【００２９】本発明の磁気記録媒体における磁性層とな
る強磁性全属薄膜は、真空成膜によって形成した強磁性
金属薄膜を使用することができ、特にスパッタリング法
によて成膜した膜が好ましい。組成としてはコバルトを
主体とした合金またはこれに酸化ケイ素などの非磁性物
質を添加したものが使用できる。合金の具体例としては
Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ
−Ｐｔ−Ｓｉ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ等が使用できる。
特に電磁変換特性を改善するためにＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａが好ましい。磁性層の厚みは１
０〜３０ｎｍとするのが望ましい。またこの場合磁性膜
の静磁気特性を改善するための下地膜を設けることが好
ましく、この下地膜の組成としては公知の金属または合
金などが使用できる。具体的にはＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ｔ
ａ、Ｗ、Ｓｉ等またはこれらの合金が使用でき、なかで
もＣｒ、Ｃｒ−Ｔｉ、Ｃｒ−Ｖが特に好ましい。この下
地膜の厚みとしては５ｎｍ〜５０ｎｍであり、好ましく
は１０ｎｍ〜３０ｎｍである。さらに下地膜の結晶配向
性を制御するために、下地膜の下にシード層を用いても
よく、具体的にはＴａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｒ
ｈ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｒｕ、Ｔｉまたは
これらの合金、特に好ましくはＴａ、Ｃｒ、Ｔｉまたは
これらの合金であり、この厚みは１５〜６０ｎｍであ
る。またスパッタリング法で磁性膜を作製する場合に
は、基板を加熱した状態で成膜することが好ましく、そ
のときの温度は２０℃〜３００℃、より好ましくは１５
０℃〜２５０℃である。The ferromagnetic metal thin film to be a magnetic layer in the magnetic recording medium of the present invention can be a ferromagnetic metal thin film formed by vacuum film formation, and a film formed by a sputtering method is particularly preferable. . As the composition, an alloy mainly containing cobalt or a material obtained by adding a nonmagnetic substance such as silicon oxide to the alloy can be used. Specific examples of the alloy include Co-Cr, Co-Ni-Cr, Co-Cr-Ta, C
o-Cr-Pt, Co-Cr-Ta-Pt, Co-Cr
-Pt-Si, Co-Cr-Pt-B and the like can be used.
In particular, Co-Cr-Pt for improving the electromagnetic conversion characteristics,
Co-Cr-Pt-Ta is preferred. The thickness of the magnetic layer is 1
It is desirable to set it to 0 to 30 nm. Further, in this case, it is preferable to provide a base film for improving the magnetostatic characteristics of the magnetic film, and a known metal or alloy can be used as the composition of the base film. Specifically, Cr, V, Ti, T
a, W, Si and the like or alloys thereof can be used, and among them, Cr, Cr-Ti, and Cr-V are particularly preferable. The thickness of the underlayer is 5 nm to 50 nm, preferably 10 nm to 30 nm. Further, in order to control the crystal orientation of the underlayer, a seed layer may be used under the underlayer. Specifically, Ta, Mo, W, V, Zr, Cr, R
h, Hf, Nb, Mn, Ni, Al, Ru, Ti or an alloy thereof, particularly preferably Ta, Cr, Ti or an alloy thereof, and has a thickness of 15 to 60 nm. When a magnetic film is formed by a sputtering method, the film is preferably formed while the substrate is heated, and the temperature at that time is 20 ° C. to 300 ° C., and more preferably 15 ° C.
0 ° C to 250 ° C.

【００３０】また、強磁性金属薄膜は電磁変換特性を改
善するため重層構成としたり、非磁性下地層、さらに下
地層の結晶性を改善するためのシード層やこれらの中間
層を有していても良い。非磁性下地層の材料としては、
Ｃｒ、Ｃｏ合金、例えば、次の金属との合金、Ｗ、Ｔ
ｉ、Ｍｏ、Ｖ、Ｔａ、Ｂ、Ｓｉ及びＭｏまたＭｏと上記
元素との合金等が好ましい。。膜厚は、通常、５ｎｍ〜
５００ｎｍ、特に好ましいのは１０ｎｍ〜１５０ｎｍで
あるが、これら非磁性下地層の膜厚によっても表面形状
に影響を与えるため、最適な膜厚に設定する必要があ
る。Further, the ferromagnetic metal thin film may have a multilayer structure for improving the electromagnetic conversion characteristics, a nonmagnetic underlayer, a seed layer for improving the crystallinity of the underlayer, and an intermediate layer thereof. Is also good. As a material for the nonmagnetic underlayer,
Cr, Co alloys, for example, alloys with the following metals, W, T
i, Mo, V, Ta, B, Si, Mo and alloys of Mo and the above elements are preferable. . The film thickness is usually from 5 nm to
The thickness is 500 nm, and particularly preferably 10 nm to 150 nm. However, the thickness of these nonmagnetic underlayers also affects the surface shape, so it is necessary to set the thickness to an optimum thickness.

【００３１】本発明の磁気記録媒体においては走行耐久
性および耐食性を改善するため、強磁性金属薄膜上に保
護膜を形成する。保護膜としてはシリカ、アルミナ、チ
タニア、ジルコニア、酸化コバルト、酸化ニッケルなど
の酸化物、窒化チタン、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの
窒化物、炭化ケイ素、炭化クロム、炭化ホウ素等の炭化
物、グラファイト、無定型カーボンなどの炭素からなる
保護膜が使用できるが、なかでも摺動中に焼き付きを生
じ難く、その効果が安定して持続するダイヤモンド状炭
素（ＤＬＣ）といわれる硬質カーボン膜が好ましい。In the magnetic recording medium of the present invention, a protective film is formed on the ferromagnetic metal thin film in order to improve running durability and corrosion resistance. Examples of the protective film include oxides such as silica, alumina, titania, zirconia, cobalt oxide, and nickel oxide; nitrides such as titanium nitride, silicon nitride, and boron nitride; carbides such as silicon carbide, chromium carbide, and boron carbide; graphite; Although a protective film made of carbon such as fixed carbon can be used, a hard carbon film called diamond-like carbon (DLC), which hardly causes seizure during sliding and has a stable and stable effect, is preferable.

【００３２】ダイヤモンド状炭素膜の製造方法は、ＣＶ
Ｄ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ）法、例えば、微量の炭化水素が存在する雰囲気下で
プラズマを発生することにより炭化水素を分解し、発生
した活性種にバイアスを印可することによって基材上に
堆積させる方法が有効である。原料となる炭化水素とし
ては、メタン、エタン、プロパン、ブタン等のアルカ
ン、あるいはエチレン、プロピレン等のアルケン、また
はアセチレン等のアルキン等が挙げられるが、中でもエ
チレン、メタン、エタン等が好ましい。またこの炭化水
素ガスと同時にキャリアーガスとしてアルゴン、キセノ
ン、ヘリウム等の希ガス類を導入することが好ましい。The method for producing a diamond-like carbon film is CV
D (Chemical Vapor Deposition)
The n) method, for example, a method in which hydrocarbons are decomposed by generating plasma in an atmosphere in which a trace amount of hydrocarbons are present, and deposited on a substrate by applying a bias to the generated active species is effective. . Examples of the hydrocarbon as a raw material include alkanes such as methane, ethane, propane, and butane; alkenes such as ethylene and propylene; and alkynes such as acetylene. Among them, ethylene, methane, and ethane are preferable. It is preferable to introduce a rare gas such as argon, xenon, or helium as a carrier gas at the same time as the hydrocarbon gas.

【００３３】プラズマの発生方法としては、ＲＦを用い
る方法、ＥＣＲを用いる方法、熱フィラメントを用いる
方法等が使用できる。このとき成膜する側の磁性層に好
ましくは−２００〜−７００Ｖ、更に好ましくは−４０
０〜−６００Ｖの電圧を印加しながら、炭素膜を成膜す
る事によって緻密かつ高硬度のダイヤモンド状炭素膜を
作製できる。As a method for generating plasma, a method using RF, a method using ECR, a method using a hot filament, and the like can be used. At this time, the magnetic layer on the film formation side is preferably -200 to -700 V, more preferably -40.
By forming a carbon film while applying a voltage of 0 to -600 V, a dense and high-hardness diamond-like carbon film can be produced.

【００３４】保護層を設ける磁性層表面をあらかじめ逆
スパッタ法等によってエッチングしておくことができ
る。エッチングは、磁性層の表面がプラズマで容易に分
解又は離脱するものを少なくしておくことが好ましい。
エッチングに使用されるガスとしては、Ａｒ等の不活性
ガスやＨ₂、Ｏ₂の反応性ガスを用いることが好ましい。
また磁性膜表面にシリコン中間層等を作製することもで
きる。The surface of the magnetic layer on which the protective layer is provided can be etched in advance by a reverse sputtering method or the like. In the etching, it is preferable to reduce the amount of the surface of the magnetic layer that is easily decomposed or separated by plasma.
As a gas used for etching, it is preferable to use an inert gas such as Ar or a reactive gas such as H ₂ or O ₂ .
Further, a silicon intermediate layer or the like can be formed on the surface of the magnetic film.

【００３５】上述のようにして得られるカーボン保護層
におけるダイヤモンド状炭素膜の構造は、特に限定され
るものではないが、微視的にはＳＰ²結合 （グラファイ
ト構造）によるクラスターとＳＰ³結合（ダイヤモンド
構造） によるクラスターの混合物である。このダイヤ
モンド状炭素膜の硬度はビッカ-ス硬度で１０００ｋｇ
／ｍｍ² 以上、好ましくは２０００ｋｇ／ｍ² 以上であ
る。ダイヤモンド状炭素膜をラマン分光法によって測定
した場合には、１５５０ｃｍ^-1付近のいわゆるＧ（Ｇｒ
ａｐｈｉｔｅ）ピークと呼ばれるメインピークと、１３
９０ｃｍ^-1付近のいわゆるＤ（Ｄｉｓ−ｏｒｄｅｒ）ピ
ークと呼ばれるショルダー状のピークからなる左右非対
称なブロードなピークが得られる。The structure of the diamond-like carbon film in the carbon protective layer obtained as described above is not particularly limited, but microscopically, clusters formed by SP ² bonds (graphite structure) and SP ³ bonds (graphite structure). (Diamond structure). The hardness of this diamond-like carbon film is 1000 kg in Vickers hardness.
/ Mm ² or more, preferably 2000 kg / m ² or more. When a diamond-like carbon film is measured by Raman spectroscopy, the so-called G (Gr) around 1550 cm ^-1 is measured.
aphite) main peak, called peak, 13
A broad left-right asymmetric peak consisting of a shoulder-like peak called a so-called D (Dis-order) peak near 90 cm ^-1 is obtained.

【００３６】ダイヤモンド状炭素膜を改質するためプラ
ズマ中に窒素や水素を導入することができる。たとえば
水素を導入すると成膜中のエッチング効果が高くなるた
め、高硬度のダイヤモンド状炭素膜を得ることができ
る。また反応ガス中に窒素ガスを導入することで保護膜
中に窒素を含有させることによって膜の摩擦係数を減少
させることができる。窒素を含有させたダイヤモンド状
炭素膜の場合、前述のラマン分光法で測定した場合に２
２２０ｃｍ^-1付近にＣ≡Ｎ結合のピークが、また、Ｘ線
光電子分光法（ＸＰＳ）で測定した場合にＫｉｎｅｔｉ
ｃ Ｅｎｅｒｇｙが４００ｅＶ付近にＮ１ｓピークが見
られる。炭素保護層は、膜厚が厚いと電磁変換特性の悪
化や磁性層に対する密着性の低下が生じ、膜厚が薄いと
耐摩耗性が不足するために、膜厚２．５〜３０ｎｍが好
ましく、とくに好ましくは５〜２０ｎｍである。また、
この炭素保護層上に付与する潤滑剤との密着をさらに向
上させる。目的でカーボン保護層表面を酸化性もしくは
不活性気体によって表面処理しても良い。In order to modify the diamond-like carbon film, nitrogen or hydrogen can be introduced into the plasma. For example, when hydrogen is introduced, the etching effect during film formation is increased, so that a diamond-like carbon film having high hardness can be obtained. In addition, by introducing nitrogen gas into the reaction gas, nitrogen is contained in the protective film, whereby the coefficient of friction of the film can be reduced. In the case of a diamond-like carbon film containing nitrogen, when measured by the aforementioned Raman spectroscopy, 2
A peak of C≡N bond is found around 220 cm ^−1, and Kineti is measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
An N1s peak is observed when c Energy is around 400 eV. When the thickness of the carbon protective layer is large, the electromagnetic conversion characteristics are deteriorated and the adhesion to the magnetic layer is reduced, and when the thickness is small, the wear resistance is insufficient. Especially preferably, it is 5 to 20 nm. Also,
The adhesion with the lubricant provided on the carbon protective layer is further improved. For the purpose, the surface of the carbon protective layer may be treated with an oxidizing or inert gas.

【００３７】本発明の磁気記録媒体において、走行耐久
性および耐食性を改善するため、上記保護膜上に潤滑膜
を作製することが好ましい。潤滑剤としては炭化水素系
潤滑剤、フッ素系潤滑剤、極圧添加剤などが使用でき
る。炭化水素系潤滑剤としてはステアリン酸、オレイン
酸等のカルボン酸類、ステアリン酸ブチル等のエステル
類、オクタデシルスルホン酸等のスルホン酸類、リン酸
モノオクタデシル等のリン酸エステル類、ステアリルア
ルコール、オレイルアルコール等のアルコール類、ステ
アリン酸アミド等のカルボン酸アミド類、ステアリルア
ミン等のアミン類などが挙げられる。In the magnetic recording medium of the present invention, it is preferable to form a lubricating film on the protective film in order to improve running durability and corrosion resistance. As the lubricant, a hydrocarbon-based lubricant, a fluorine-based lubricant, an extreme pressure additive and the like can be used. Examples of the hydrocarbon-based lubricant include carboxylic acids such as stearic acid and oleic acid, esters such as butyl stearate, sulfonic acids such as octadecylsulfonic acid, phosphoric esters such as monooctadecyl phosphate, stearyl alcohol, oleyl alcohol and the like. Alcohols, carboxylic acid amides such as stearic acid amide, and amines such as stearylamine.

【００３８】フッ素系潤滑剤としては上記炭化水素系潤
滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキル
基、もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤
滑剤が挙げられる。パーフルオロポリエーテル基として
はパーフルオロメチレンオキシド重合体、パーフルオロ
エチレンオキシド重合体、パーフルオロ−ｎ−プロピレ
ンオキシド重合体（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_n、パーフルオ
ロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂
Ｏ）_n 、またはこれらの共重合体等である。またフォス
ファゼン環にフッ素またはフッ化アルキル基を導入した
化合物も熱的、化学的に安定であるので潤滑剤として使
用することができる。Examples of the fluorine-based lubricant include lubricants in which part or all of the alkyl group of the hydrocarbon-based lubricant is replaced with a fluoroalkyl group or a perfluoropolyether group. Examples of the perfluoropolyether group include a perfluoromethylene oxide polymer, a perfluoroethylene oxide polymer, a perfluoro-n-propylene oxide polymer (CF ₂ CF ₂ CF ₂ O) _n , and a perfluoroisopropylene oxide polymer (CF ( CF ₃ ) CF ₂
O) _n or a copolymer thereof. Further, a compound having a phosphazene ring into which a fluorine or fluorinated alkyl group is introduced can be used as a lubricant because it is thermally and chemically stable.

【００３９】極圧添加剤としてはリン酸トリラウリル等
のリン酸エステル類、亜リン酸トリラウリル等の亜リン
酸エステル類、トリチオ亜リン酸トリラウリル等のチオ
亜リン酸エステルやチオリン酸エステル類、二硫化ジベ
ンジル等の硫黄系極圧剤などが挙げられる。上記潤滑剤
は単独もしくは複数を併用して使用される。これらの潤
滑剤を保護膜上に付与する方法としては潤滑剤を有機溶
剤に溶解し、ワイヤーバー法、グラビア法、スピンコー
ト法、ディップコート法等で塗布するか、真空蒸着法に
よって付着させれぽよい。潤滑剤の塗布量としては１〜
３０ｍｇ／ｍ² が好ましく、２〜２０ｍｇ／ｍ² が特に
好ましい。Examples of extreme pressure additives include phosphates such as trilauryl phosphate, phosphites such as trilauryl phosphite, thiophosphites and thiophosphates such as trilauryl trithiophosphite and the like. And sulfur-based extreme pressure agents such as dibenzyl sulfide. The above lubricants are used alone or in combination of two or more. As a method of applying these lubricants on the protective film, the lubricant is dissolved in an organic solvent and applied by a wire bar method, a gravure method, a spin coating method, a dip coating method, or the like, or is attached by a vacuum evaporation method. Good. The amount of lubricant to be applied is 1 to
30 mg / m ² is preferable, and 2 to 20 mg / m ² is particularly preferable.

【００４０】本発明で使用できる防錆剤としてはベンゾ
トリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、ピリミジ
ン、テトラザインデン環化合物等の窒素含有複素環類お
よびこれらの母核にアルキル側鎖等を導入した誘導体、
ベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、
チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有複素環類お
よびこの誘導体等が挙げられる。Examples of the rust preventives usable in the present invention include nitrogen-containing heterocycles such as benzotriazole, benzimidazole, purine, pyrimidine, and tetrazaindene ring compounds, and derivatives having an alkyl side chain introduced into the mother nucleus thereof.
Benzothiazole, 2-mercaptobenzothiazole,
Nitrogen- and sulfur-containing heterocycles such as thiouracil compounds and derivatives thereof.

【００４１】本発明の磁気記録媒体をフロッピーディス
クとして使用する場合にはディスクをシェルに組み込ん
だ状態で使用する。シェルは外部からの汚れの付着を防
止するだけでなく、フロッピーディスクの回転安定性を
確保する上で非常に重要である。また、このシェルの内
部のディスクと接触する面にはライナーが設けられてい
ることが好ましい。ライナーはフロッピーディスク表面
から塵埃を除去してクリーニングする効果に加え、本発
明のフロッピーディスクとシェルの接着を防止する機能
も有する。ライナーとしては、レーヨン繊維、ポリノジ
ック繊維、キュプラ繊維、アセテート繊維等のセルロー
ス系繊維を中心としてポリエステル系繊維、アクリル系
繊維を配合した不織布を使用することができる。またラ
イナーには防錆剤、潤滑剤、制電剤、防かび剤などが含
有されていても良く、フロッピーディスクの使用中にフ
ロッピーディスク表面に付与されるので長期に安定して
フロッピーディスクを使用することができる。When the magnetic recording medium of the present invention is used as a floppy disk, it is used with the disk incorporated in a shell. The shell is very important not only for preventing the attachment of dirt from the outside, but also for ensuring the rotational stability of the floppy disk. Further, it is preferable that a liner is provided on a surface of the shell that contacts the disk. The liner has the effect of removing dust from the surface of the floppy disk for cleaning, and also has the function of preventing adhesion of the floppy disk to the shell of the present invention. As the liner, a non-woven fabric containing polyester fibers and acrylic fibers, mainly cellulose fibers such as rayon fibers, polynosic fibers, cupra fibers, and acetate fibers can be used. In addition, the liner may contain rust inhibitors, lubricants, antistatic agents, fungicides, etc., which are applied to the surface of the floppy disk during use of the floppy disk, so that the floppy disk can be used for a long period of time can do.

【００４２】[0042]

【実施例】以下、本発明の実施例および比較例を示し本
発明を説明する。 実施例１ 両面の最大突起粗さが２００ｎｍ、厚み７５μｍのポリ
イミドフィルムの両面に熱硬化型イミド樹脂（丸善石油
化学杜製ＢＡＮＩ−ＮＢ）をイソプロパノール：エタノ
ール：シクロヘキサノン（１：１：２重量比）の混合溶
剤に溶解した溶液を細孔径０．１μｍのメンブランフィ
ルターで濾過した後、ディップコート法で塗布し、２５
０℃で１２時間加熱し、厚み１．７μｍの下塗り膜を作
製した。この上に粒径１８ｎｍのオルガノシリカゾルを
その濃度が０．１５重量％になるようシクロヘキサノン
に分散し、さらに濃度が０．７５重量％になるようバイ
ンダー（熱硬化型イミド樹脂：丸善石油化学社製ＢＡＮ
Ｉ−ＮＢ）を添加して調製した液をディップコート法で
塗布した後、２５０℃で１時間乾燥して、表面に微小突
起を形成した支持体を作製した。粒径は、走査型電子顕
微鏡で計測し、２０個の平均値とした。The present invention will be described below with reference to examples and comparative examples of the present invention. Example 1 A thermosetting imide resin (BANI-NB manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) was coated on both sides of a polyimide film having a maximum projection roughness of 200 nm and a thickness of 75 μm on both sides with isopropanol: ethanol: cyclohexanone (1: 1: 2 weight ratio). The solution dissolved in the mixed solvent was filtered through a membrane filter having a pore size of 0.1 μm, and then applied by a dip coating method.
Heating was performed at 0 ° C. for 12 hours to prepare an undercoat film having a thickness of 1.7 μm. On top of this, an organosilica sol having a particle size of 18 nm is dispersed in cyclohexanone so as to have a concentration of 0.15% by weight, and further a binder (thermosetting imide resin: manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) having a concentration of 0.75% by weight. BAN
The solution prepared by adding I-NB) was applied by a dip coating method, and then dried at 250 ° C. for 1 hour to prepare a support having fine projections formed on the surface. The particle size was measured with a scanning electron microscope, and the average value of 20 particles was obtained.

【００４３】次にこの支持体をホルダーに挟み込んだ状
態で磁性膜形成用のスパッタリング装置に設置し、支持
体を２００℃に加熱した後、ＤＣマグネトロンスパッタ
リング法でＣｒ−Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ−Ｔｉ下地膜をそれ
ぞれ３０ｎｍ、２０ｎｍ、６０ｎｍの厚さに成膜し、引
き続きＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜を２５ｎｍの厚さに成膜
した。この下地膜、磁性膜は支持体の両面に対して成膜
した。さらにこの磁性膜表面をアルゴングロー放電によ
って清浄化した後、磁性膜に−５００Ｖのバイアス電圧
を印加した状態でこの上に、エチレン１５０ｃｃｍおよ
びアルゴン１５０ｃｃｍを原料気体としてＲＦプラズマ
ＣＶＤ法によって、基板バイアス電圧−５００Ｖ、ＲＦ
出力５００Ｗの条件で、厚み２０ｎｍのダイヤモンド状
炭素保護膜を成膜した。Next, this support was placed in a sputtering apparatus for forming a magnetic film while being sandwiched between holders, and the support was heated to 200 ° C., and then Cr—Ti, Ta, Cr—Ti was formed by DC magnetron sputtering. Underlayers were formed to a thickness of 30 nm, 20 nm, and 60 nm, respectively, and subsequently a Co—Cr—Pt magnetic film was formed to a thickness of 25 nm. The base film and the magnetic film were formed on both sides of the support. Further, after the surface of the magnetic film was cleaned by argon glow discharge, a bias voltage of -500 V was applied to the magnetic film, and a substrate bias voltage was further applied thereto by RF plasma CVD using ethylene 150 ccm and argon 150 ccm as source gases. -500V, RF
Under the condition of an output of 500 W, a diamond-like carbon protective film having a thickness of 20 nm was formed.

【００４４】次にこの試料をホルダーから取り出し、保
護膜上にパーフルオロポリエーテル系潤滑剤（アウジモ
ント社製ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ−ＤＯＬ）とフッ素を導入
したフォスファゼン環化合物（ダウケミカル社製Ｘ−１
Ｐ）をフッ素系溶剤（住友スリーエム仕製ＨＦＥ−７２
００）に溶解した溶液（組成９：１）を細孔径０．１μ
ｍのフィルターで濾過した後、ディップコート法で塗布
して厚み１ｎｍの潤滑膜を作製した。そして、表面突起
数、高さ、面積の評価は、この試料を切り出して行っ
た。また、この試料を３．７型の磁気ディスク形状に打
ち抜き、レーヨン繊維からなるライナーを設けたシェル
に組み込んでフロッピーディスクを作製し、走行耐久試
験、ＭＲヘッドによる試験を行った。Next, the sample was taken out of the holder, and a phosphazene ring compound (X-1 manufactured by Dow Chemical Co.) in which a perfluoropolyether-based lubricant (FOMBLIN Z-DOL manufactured by Ausimont) and fluorine were introduced on the protective film.
P) with a fluorinated solvent (HFE-72 manufactured by Sumitomo 3M Limited)
00) (composition 9: 1) with a pore size of 0.1 μm
After filtration through a filter having a thickness of 1 m, the resultant was applied by a dip coating method to form a lubricating film having a thickness of 1 nm. Then, the number of surface protrusions, the height, and the area were evaluated by cutting out this sample. Further, this sample was punched into a 3.7-type magnetic disk shape, incorporated into a shell provided with a liner made of rayon fiber to produce a floppy disk, and a running durability test and an MR head test were performed.

【００４５】実施例２ 実施例１において、微小突起を設けるときのバインダー
濃度を０．５重量％とした他は、実施例１と同様に作製
した。Example 2 A device was produced in the same manner as in Example 1 except that the binder concentration when providing the fine projections was 0.5% by weight.

【００４６】実施例３ 実施例２において、微小突起を設けるために用いたオル
ガノシリカゾルの粒径を２５ｎｍとした点を除き実施例
２と同様に作製した。Example 3 The procedure of Example 2 was repeated, except that the particle size of the organosilica sol used for forming the fine projections was changed to 25 nm.

【００４７】実施例４ 実施例２において、微小突起を設けるために用いたオル
ガノシリカゾルの濃度を０．３重量％とし、バインダー
を添加せずに微小突起を形成した点を除き実施例２と同
様に作製した。Example 4 In the same manner as in Example 2, except that the concentration of the organosilica sol used for providing the fine projections was 0.3% by weight and the fine projections were formed without adding a binder. Prepared.

【００４８】実施例５ 実施例１において、微小突起を設ける時のバインダー濃
度を１．５重量％とした点を除き実施例１と同様に作製
した。Example 5 A device was produced in the same manner as in Example 1 except that the binder concentration when providing the fine projections was 1.5% by weight.

【００４９】実施例６ 実施例１において、微小突起を設けるときのオルガノシ
リカゾルの分散溶媒をシクロヘキサノンからイソプロピ
ルアルコールに変更し、バインダーを添加せずに微小突
起を形成した点を除き実施例１と同様に作製した。Example 6 Example 1 was the same as Example 1 except that the dispersion solvent of the organosilica sol was changed from cyclohexanone to isopropyl alcohol when forming the fine projections, and the fine projections were formed without adding a binder. Prepared.

【００５０】実施例７ 実施例１において、下塗り層を設けず、また、微小突起
を設けるときのオルガノシリカゾルの粒径を１２ｎｍ、
濃度を０．５重量％とし、バインダーの濃度を０．５重
量％とした点を除き実施例１と同様に作製した。Example 7 In Example 1, the undercoat layer was not provided, and when the fine protrusions were provided, the particle size of the organosilica sol was 12 nm.
It was produced in the same manner as in Example 1 except that the concentration was 0.5% by weight and the binder concentration was 0.5% by weight.

【００５１】実施例８ 実施例１において、微小突起を設けるために用いたオル
ガノシリカゾルの濃度を１．５重量％とし、バインダー
を添加せずに微小突起を作製した点を除き実施例１と同
様に作製した。Example 8 In the same manner as in Example 1, except that the concentration of the organosilica sol used for providing the fine projections was 1.5% by weight, and the fine projections were produced without adding a binder. Prepared.

【００５２】比較例１ 実施例１において、微小突起を設けるために用いたオル
ガノシリカゾルの粒径を２５ｎｍとし、バインダー濃度
を１．０重量％とした点を除き実施例１と同様に作製し
た。Comparative Example 1 The procedure of Example 1 was repeated, except that the particle size of the organosilica sol used for forming the fine projections was 25 nm and the binder concentration was 1.0% by weight.

【００５３】比較例２ 実施例１において、微小突起を設ける時のバインダー濃
度を１．０重量％とした点を除き実施例１と同様に作製
した。Comparative Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the binder concentration when providing the fine projections was changed to 1.0% by weight.

【００５４】比較例３ 実施例１において、微小突起を設けずに作製した。Comparative Example 3 The same procedure as in Example 1 was carried out except that no fine projections were provided.

【００５５】（評価方法） １．突起面積の評価 作製したフロッピーディスクについて３０μｍ×３０μ
ｍの面積について原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）（ＤＩＧＩ
ＴＡＬ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ社製 ＮＡＮＯＳＣＯ
ＰＥ３）を用い、コンタクトモードでスキャンした。フ
ィルター処理により測定上の問題で生じた、本来の表面
形状とは関係のない歪み、ノイズを取り除いた検出画像
において、同原子間力顕微鏡のラフネス解析コマンドを
用いて凸部と凹部の体積が等しくなる面を基準面とし、
基準面から３０ｎｍ及び１５ｎｍの高さでスライスした
場合の突起に起因する表面積値を、各々基準面から３０
ｎｍ以上、１５ｎｍ以上の突起面積とし、結果を表１に
記載した。また、探針にはナノセンサーズ社製：窒化ケ
イ素探針、ＮＰ型を用いた。 ２．突起数の評価 突起数の評価と同様に３０μｍ×３０μｍの面積につい
て原子間力顕微鏡スキャンし、フィルター処理により測
定上の問題で生じた、本来の表面形状とは関係のない歪
み、ノイズを取り除いた検出画像において、同原子間力
顕微鏡のラフネス解析コマンドを用いて凸部と凹部の体
積が等しくなる面を基準面とし、基準面から１５ｎｍの
高さでスライスした場合のピーク数を、基準面から１５
ｎｍ以上の高さの突起個数とし、結果を表１に記載し
た。(Evaluation Method) Evaluation of protrusion area The prepared floppy disk was 30 μm × 30 μm.
Atomic force microscope (AFM) (DIGI
NANOSCO manufactured by TAL INSTRUMENTS
Scanning was performed in contact mode using PE3). In the detected image from which distortion and noise that are not related to the original surface shape caused by a measurement problem due to the filtering process have been removed, the volume of the convex and concave portions is equal using the roughness analysis command of the same atomic force microscope. Is the reference plane,
The surface area values attributable to the protrusions when sliced at a height of 30 nm and 15 nm from the reference plane were respectively calculated from the reference plane by 30 nm.
The results were shown in Table 1 with the protrusion area being not less than nm and not less than 15 nm. The probe used was a silicon nitride probe, NP type, manufactured by Nanosensors. 2. Evaluation of number of protrusions Similarly to the evaluation of the number of protrusions, an area of 30 μm × 30 μm was scanned by an atomic force microscope, and distortion and noise unrelated to the original surface shape, which were caused by a measurement problem due to filtering, were removed. In the detected image, using the roughness analysis command of the same atomic force microscope, the surface where the volume of the convex portion and the concave portion is equal is used as the reference surface, and the number of peaks when sliced at a height of 15 nm from the reference surface is calculated from the reference surface. Fifteen
The results are shown in Table 1 with the number of protrusions having a height of at least nm.

【００５６】３．走行耐久性試験 ディスクをＺｉｐドライブ（富士写真フイルム株式会社
製Ｚｉｐ−１００）に挿入し、ヘッドを同一トラックを
繰り返し走行するように設定し、周波数８ＭＨｚの信号
を記録し、再生した。この再生出力が当初の−３ｄＢと
なるまでの時間を測定し、結果を表１に記載した。測定
環境は２５℃、ＲＨ５０％とした。 ４．ＭＲヘッドによる試験 トラック幅：２．２μｍ、ヘッドギャップ：０．２６μ
ｍのＭＲヘッドを取り付けた負圧スライダーをトランス
バース型ヘッドアームに取り付け、１対のヘッド組立体
を作製した。このヘッドアームの上下のヘッド荷重がと
もに３４．３ｍＮ（３．５ｇｆ）となるようにフロッピ
ーディスクを挟み込んだ。このヘッドアームの中心高さ
はフロッピーディスク最内周の高さと一致するように、
ヘッドロード位置を調整した。この状態でディスクを３
６００ｒｐｍで回転させ、上側のヘッドを用い、半径３
２ｍｍ位置で線記録密度が１００ｋＦＣＩで信号の記録
再生を行い、Ｃ／Ｎ（信号／ノイズの比）を測定した。
次に信号を記録していない半径２０ｍｍ〜３０ｍｍの範
囲において０．１ｍｍ刻みでヘッドをスキャンさせ、ヘ
ッド出力を計測した。このヘッド出力においてＣ／Ｎ測
定時の出力値と同じ電圧をスレッショールドレベルとし
て、このスレッショールドレベル以上の出力が観察され
た部分をサーマルアスペリティーであるとして発生個数
を測定し、その発生数を「ＴＡ」として表１に記載し
た。環境は２５℃、．５０％とした。3. Running Durability Test The disc was inserted into a Zip drive (Zip-100, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), the head was set to run repeatedly on the same track, and a signal having a frequency of 8 MHz was recorded and reproduced. The time required for the reproduced output to reach the initial -3 dB was measured, and the results are shown in Table 1. The measurement environment was 25 ° C. and RH 50%. 4. Test with MR head Track width: 2.2 μm, head gap: 0.26 μ
A negative pressure slider to which a m MR head was attached was attached to a transverse head arm to produce a pair of head assemblies. The floppy disk was sandwiched so that the head loads above and below the head arm were both 34.3 mN (3.5 gf). The center height of this head arm matches the height of the innermost circumference of the floppy disk,
Adjusted the head load position. In this state, insert 3 disks
Rotate at 600 rpm, use upper head, radius 3
Signal recording and reproduction were performed at a linear recording density of 100 kFCI at a position of 2 mm, and the C / N (signal / noise ratio) was measured.
Next, the head was scanned at intervals of 0.1 mm in a radius of 20 mm to 30 mm where no signal was recorded, and the head output was measured. In the head output, the same voltage as the output value at the time of the C / N measurement is set as a threshold level, and a portion where the output equal to or higher than the threshold level is observed is regarded as thermal asperity, and the number of occurrences is measured. The number is shown in Table 1 as "TA". The environment is 25 ° C,. 50%.

【００５７】[0057]

【表１】 ３０nm以上の １５nm以上の １５nm以上の 耐久時間 ＴＡ 突起面積 突起面積 突起数（個） （時間） 実施例１ ０．２５ ２．１１ １４０ １９４ ２９ 実施例２ ０．４３ １．２６ １８０ ２２１ １１ 実施例３ ０．８９ ６．７１ ２２０ ３００以上 ３８ 実施例４ ０．５２ ３．８７ ２８８ ３００以上 １５ 実施例５ ０．１０ ０．９７ ７６ １４５ ２２ 実施例６ １．０８ ７．０９ １９８ ２９４ ９１ 実施例７ ０．２８ １．５５ ３２３ １５６ １８ 実施例８ ２．７１ １６．９９ ７７５ ３００以上 １３１ 比較例１ ０．３１ ３．５６ １６５ １１６ １６１ 比較例２ ０．０８ １．６２ １３８ １０２ ３３ 比較例３ ０．００ ０．２１ ２１ １０以下 ３７２ ただし、突起面積は、９００μｍ²当たりの面積に占め
る突起面積をμｍ²で表した。また、突起数について
は、９００μｍ²当たりの突起の個数で表した。Table 1 Durability of 30 nm or more, 15 nm or more, 15 nm or more TA projection area Projection area Number of projections (pieces) (time) Example 1 0.25 2.11 140 194 29 Example 2 0.43 1.26 180 221 11 Example 3 0.89 6.71 220 300 or more 38 Example 4 0.52 3.87 288 300 or more 15 Example 5 0.10 0.97 76 145 22 Example 6 1.08 7.09 198 294 91 Example 7 0.28 1.55 323 156 18 Example 8 2.71 16.99 775 300 or more 131 Comparative Example 1 0.31 3.56 165 116 161 Comparative Example 2 0.08 1.62 138 102 33 Comparative example 3 0.00 0.21 21 10 or less 372 However, Table projection area, the projection area occupied area per 900 .mu.m ² in [mu] m ² did. The number of projections was represented by the number of projections per 900 μm ² .

【００５８】本発明のフロッピーディスクを用いること
によって、十分な走行耐久性が確保されており、ＭＲヘ
ッドで走行させた場合にも、サーマルアスペリティーの
発生が非常に少ない、良好な結果が得られることがわか
る。By using the floppy disk of the present invention, sufficient running durability is ensured, and even when running with an MR head, very little thermal asperity is generated and good results are obtained. You can see that.

【００５９】[0059]

【発明の効果】十分な走行耐久性を有し、ＭＲヘッドを
用いた場合に発生するディスクとヘッドとの衝突による
サーマルアスペリティーの発生を抑制した、信頼性が高
い高密度記録が可能な強磁陛金属薄膜を有するフロッピ
ーディスクが得られる。The present invention has sufficient running durability and suppresses the occurrence of thermal asperity due to collision between a disk and a head which occurs when an MR head is used. A floppy disk having a magnetic metal thin film is obtained.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 非磁性基板の少なくとも一方の面に表面
に微小突起を有する強磁性金属薄膜より成る磁性層とそ
の上にカーボン保護層、潤滑剤を有する磁気記録媒体に
おいて、その表面を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で測定し
た際に、凸部と凹部の体積が等しくなる面を基準面と
し、基準面から１５ｎｍ以上の突起面積が、基準面から
３０ｎｍ以上の突起面積の１０倍以下であることを特徴
とするフロッピーディスク。1. A magnetic recording medium comprising a ferromagnetic metal thin film having fine projections on at least one surface of a non-magnetic substrate and a carbon protective layer and a lubricant on the magnetic layer. When measured by a force microscope (AFM), the surface where the volume of the convex portion and the concave portion is equal is defined as a reference surface, and the area of the projection 15 nm or more from the reference surface is 10 times or less the area of the projection 30 nm or more from the reference surface. A floppy disk characterized by that: 【請求項２】 表面を原子間力顕微鏡で測定した基準面
から１５ｎｍ以上の突起個数が９００μｍ² 中に３００
個以下、かつ基準面から１５ｎｍ以上の突起面積が９０
０μｍ² 中に１〜７μｍ² であることを特徴とする請求
項１記載のフロッピーディスク。2. The number of protrusions of 15 nm or more from a reference plane measured by an atomic force microscope is 300/900 μm ^2.
And a protrusion area of 15 nm or more from the reference plane is 90
^2. The floppy disk according to claim 1, wherein 1 to 7 [mu] m < ² > in 0 [mu] m < ² >. 【請求項３】 フロッピーディスクの表裏両面を先端に
ＭＲヘッドを有するスライダーを取り付けた磁気ヘッド
アームで挟み込み、フロッピーディスクと共にスライダ
ーを走行させて記録再生を行う磁気記録方式により記録
再生されることを特徴とするフロッピーデイスク。3. A magnetic recording system in which the front and back surfaces of a floppy disk are sandwiched between magnetic head arms each having a slider having an MR head at the end thereof, and the slider is run together with the floppy disk to perform recording and reproduction. Floppy disk.