JP2001329963A - Diaphragm type pump and deaerating device using the pump - Google Patents
Diaphragm type pump and deaerating device using the pumpInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、直流ブラシレスモ
ータで動作するダイアフラム式ポンプ及びそのダイアフ
ラム式ポンプを用いてなる脱気装置に関する。更に詳し
くは、真空脱気装置に組込まれた真空容器（チャンバ）
の内部を減圧するための真空ポンプとして用いられるダ
イアフラム式ポンプ、及び真空容器の内部に気体のみを
通し液体の透過を阻止する透過膜を設置し、真空容器内
を真空ポンプ等で減圧することにより上記透過膜と接触
している液体（被脱気液体）からその溶存気体を当該透
過膜を通して脱気する、特に液体クロマトグラフを含む
各種理化学・分析機器や製薬，半導体，液晶等を含む各
種の生産プロセス設備等において液体（被脱気液体）か
ら溶存気体を除去するのに適した真空脱気装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diaphragm pump operated by a direct current brushless motor and a deaerator using the diaphragm pump. More specifically, a vacuum vessel (chamber) incorporated in a vacuum deaerator
By installing a diaphragm pump used as a vacuum pump for depressurizing the inside of the vacuum vessel, and a permeable membrane that allows only gas to pass through the vacuum vessel and blocks liquid permeation, and depressurizes the vacuum vessel with a vacuum pump etc. The dissolved gas is degassed from the liquid in contact with the permeable membrane (liquid to be degassed) through the permeable membrane. In particular, various physics and analysis instruments including liquid chromatographs, various kinds of drugs including pharmaceuticals, semiconductors, liquid crystals, etc. The present invention relates to a vacuum degassing apparatus suitable for removing dissolved gas from a liquid (liquid to be degassed) in a production process facility or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ダイアフラム式ポンプの駆動原として直
流ブラシレスモータを用いる場合、モータの駆動を制御
するモータ駆動回路を具備しているので高い精度で回転
制御を行なおうとすればするほどモータ駆動回路が複雑
となると共に、回路を構成する電子部品が増加し大型化
してしまう構成上の問題がある。その為に、従来のこの
種ダイアフラム式ポンプでは、モータ駆動回路（基板）
をモータケーシングの外部に設備せざるを得ず、その分
どうしてもポンプ全体が大型化してしまい、延いては係
るポンプを用いた真空脱気装置も大型化してしまう不具
合があった。一方、真空脱気装置において、透過膜と接
触している液体（被脱気液体）からその溶存気体をオン
ラインで連続的に脱気する場合に、真空ポンプを高い精
度でコントロールすることは、脱気量を安定させる上で
欠かせない技術である。2. Description of the Related Art When a DC brushless motor is used as a driving source of a diaphragm pump, a motor driving circuit for controlling the driving of the motor is provided. Is complicated, and the number of electronic components constituting the circuit is increased to increase the size. Therefore, in this type of conventional diaphragm pump, the motor drive circuit (board)
The pump must be installed outside the motor casing, and the entire pump is inevitably increased in size, and the vacuum deaerator using the pump is also increased in size. On the other hand, in a vacuum degassing apparatus, when the dissolved gas is continuously degassed online from a liquid (liquid to be degassed) in contact with the permeable membrane, controlling the vacuum pump with high precision requires degassing. This technology is indispensable for stabilizing the air volume.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような現
状に鑑みてなされたものであり、真空ポンプとして高い
排気性能を得ることができると共に、高い精度でコント
ロールし得るにも拘わらずポンプ全体の大型化を抑制す
ることが可能なダイアフラム式ポンプを提供し、且つ安
定した脱気量を維持しながらオンラインで連続的に脱気
することが可能な真空脱気装置を提供せんとするもので
ある。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and a high pumping performance can be obtained as a vacuum pump. The purpose of the present invention is to provide a diaphragm pump capable of suppressing an increase in the size of the vacuum pump and a vacuum degasifier capable of continuously degassing online while maintaining a stable degassing amount. is there.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の請求項１記載のダイアフラム式ポンプは、駆動用
ロッドの往復運動によりダイアフラムを動作させるよう
にしたダイアフラム式ポンプであって、直流ブラシレス
モータの出力軸をモータケーシングの一方又は左右両方
から突出せしめ、該突出せしめた出力軸に前記駆動用ロ
ッドを連携せしめてなる事を特徴としたものである。ま
た、本発明の請求項２記載のダイアフラム式ポンプは、
前記直流ブラシレスモータの駆動を制御する電子部品を
備えたモータ駆動回路基板を、前記出力軸にほぼ直交す
るように貫通させて配設することにより上記モータ駆動
回路基板を前記モータケーシングの内部に内蔵せしめて
なる事を特徴としたものである。また、本発明の請求項
３記載の真空脱気装置は、真空容器内に気体のみを通し
液体の透過を阻止する透過膜を設置し、該真空容器内を
真空ポンプで減圧することにより上記透過膜を通して被
脱気液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置であっ
て、前記真空ポンプが駆動用ロッドの往復運動によりダ
イアフラムを動作させるようにしたダイアフラム式ポン
プであり、上記駆動用ロッドを直流ブラシレスモータの
出力軸に連携せしめてなる事を特徴としたものである。
この際、前記直流ブラシレスモータの出力軸をモータケ
ーシングの一方又は左右両方から突出せしめて、該出力
軸に前記駆動用ロッドを連携したり、また前記直流ブラ
シレスモータの駆動を制御する電子部品を備えたモータ
駆動回路基板を、前記出力軸にほぼ直交するように貫通
させて配設することにより上記モータ駆動回路基板を前
記モータケーシングの内部に内蔵せしめることが好まし
い。尚、上述の「モータ駆動回路基板を出力軸にほぼ直
交するように貫通させる」とは、厳密な意味でモータ駆
動回路基板を出力軸の軸方向と直交させることを言うも
のでないことは理解されるべきである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a diaphragm pump in which a diaphragm is operated by reciprocating motion of a driving rod. An output shaft of the brushless motor is protruded from one or both sides of the motor casing, and the driving rod is linked to the protruded output shaft. Further, the diaphragm pump according to claim 2 of the present invention,
A motor drive circuit board having electronic components for controlling the driving of the DC brushless motor is provided so as to penetrate so as to be substantially orthogonal to the output shaft, so that the motor drive circuit board is built in the motor casing. It is characterized by being at least done. Further, in the vacuum degassing apparatus according to claim 3 of the present invention, a permeable membrane that allows only gas to pass therethrough and blocks liquid permeation is installed in a vacuum vessel, and the inside of the vacuum vessel is depressurized by a vacuum pump to reduce the permeation. A vacuum degassing device for degassing a dissolved gas from a liquid to be degassed through a membrane, wherein the vacuum pump is a diaphragm pump in which a diaphragm is operated by reciprocating motion of a driving rod. It is characterized by being linked to the output shaft of a DC brushless motor.
At this time, the output shaft of the DC brushless motor is protruded from one or both of the left and right sides of the motor casing, and the output shaft is provided with an electronic component for linking the driving rod or controlling the driving of the DC brushless motor. It is preferable that the motor drive circuit board is provided so as to penetrate substantially perpendicularly to the output shaft so that the motor drive circuit board is built in the motor casing. It is understood that the above-mentioned "penetration of the motor drive circuit board so as to be substantially perpendicular to the output shaft" does not mean that the motor drive circuit board is perpendicular to the axial direction of the output shaft in a strict sense. Should be.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な好適実施
例を図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は図示実
施例のものに限定されるものではなく、いろいろなバリ
エーションが考えられる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the illustrated embodiment, and various variations are considered. Can be
【０００６】本発明に係るダイアフラム式ポンプＡは、
ダイアフラム１に連携された駆動用ロッド２を直流ブラ
シレスモータＢで往復運動させることによりダイアフラ
ム１を動作させて給排気を行なうように構成される。詳
しくは、図１ないし図３に示す通り、直流ブラシレスモ
ータＢの出力軸３（３ａ，３ｂ）をモータケーシング４
の左右両方から突出せしめると共に、該モータケーシン
グ４の左右両方に２つのポンプヘッド５ａ，５ｂを備え
たポンプ本体６ａ，６ｂをそれぞれ組付け、ポンプ本体
６ａ，６ｂ内に組込まれた駆動用ロッド２を直流ブラシ
レスモータＢの左右の出力軸３ａ，３ｂにそれぞれ連携
せしめて往復運動させることによりダイアフラム１を動
作させて給排気を行なうように構成されている。従っ
て、図示実施例のダイアフラム式ポンプＡでは、ポンプ
ヘッドが、図面において上下に２つずつ左右合わせて合
計４つ形成され、各ポンプヘッドを独立して使用しても
良いし或いは直列または並列に連通させて使用しても良
い。A diaphragm pump A according to the present invention comprises:
The drive rod 2 linked to the diaphragm 1 is reciprocated by a DC brushless motor B to operate the diaphragm 1 to supply and exhaust air. Specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, the output shaft 3 (3 a, 3 b) of the DC brushless motor B is connected to the motor casing 4.
The pump rods 6a and 6b having two pump heads 5a and 5b are respectively mounted on both the left and right sides of the motor casing 4, and the driving rod 2 incorporated in the pump bodies 6a and 6b. Are linked to the left and right output shafts 3a and 3b of the DC brushless motor B, and are reciprocated to operate the diaphragm 1 to supply and exhaust air. Therefore, in the diaphragm type pump A of the illustrated embodiment, a total of four pump heads are formed in the drawing, two vertically and two vertically, and each pump head may be used independently or in series or in parallel. It may be used in communication.
【０００７】ポンプ本体６ａ，６ｂは、ハウジング７
と，その内部に組込まれるダイアフラム１及び駆動用ロ
ッド２と，バルブ８を備えたバルブシート９等で構成さ
れ、バルブシート９の上面に略平板形状をしたヘッド部
材１０を重ね合わせ状に且つ分解可能に取付けてポンプ
ヘッド５ａ，５ｂが形成される。The pump bodies 6a and 6b are
And a head member 10 having a substantially flat plate shape on the upper surface of the valve seat 9 and comprising a diaphragm 1 and a driving rod 2 incorporated therein, a valve seat 9 provided with a valve 8 and the like. The pump heads 5a, 5b are formed as possible.
【０００８】ダイアフラム１は、ハウジング７にバルブ
シート９で定置気密状に固定され、その中央部分にリテ
ーナ１１を介して駆動用ロッド２がネジ止め連結され、
駆動用ロッド２の他端側が直流ブラシレスモータＢの出
力軸３（３ａ，３ｂ）に、往復運動可能なように連携さ
れる。駆動用ロッド２を直流ブラシレスモータＢの出力
軸３（３ａ，３ｂ）に往復運動可能なように連携するた
めの具体的機構としてはいろいろ考えられるが、図示実
施例では駆動用ロッド２をコネクチングロッド様に形成
して、直流ブラシレスモータＢの出力軸３（３ａ，３
ｂ）に固定状に取付けた偏芯軸１２に連結させたもので
ある。The diaphragm 1 is fixedly and airtightly fixed to the housing 7 with a valve seat 9, and a driving rod 2 is screwed and connected to a central portion thereof via a retainer 11.
The other end of the driving rod 2 is linked to the output shaft 3 (3a, 3b) of the DC brushless motor B so as to be able to reciprocate. Various specific mechanisms are possible for linking the driving rod 2 to the output shaft 3 (3a, 3b) of the DC brushless motor B so that the driving rod 2 can reciprocate. In the illustrated embodiment, the driving rod 2 is connected to the connecting rod. And the output shaft 3 (3a, 3a) of the DC brushless motor B.
b) is connected to the eccentric shaft 12 fixedly mounted in FIG.
【０００９】バルブシート９は、ハウジング７の内部、
詳しくはヘッド部材１０の下面にあってダイアフラム１
と直接対向するように設置せしめ、ダイアフラム１と協
働してエア室１３を形成すると共に、エア室１３とは反
対側の面に薄いシート状に形成されたゴム製のバルブ８
を設け、このバルブ８と対応する位置にエア室１３と連
通する通気口１４を形成してなる。そして、バルブシー
ト９の上面を覆うようにヘッド部材１０をバルブ８上に
重ね合わせると共に、このヘッド部材１０をハウジング
７に締付けネジ又は締付けクリップ１５等で締結し取付
けて、ポンプヘッド５ａ，５ｂを形成する。The valve seat 9 is provided inside the housing 7,
Specifically, the diaphragm 1 is provided on the lower surface of the head member 10.
The air valve 13 is formed in cooperation with the diaphragm 1, and a thin sheet-shaped rubber valve 8 is formed on the surface opposite to the air chamber 13.
And a vent 14 communicating with the air chamber 13 is formed at a position corresponding to the valve 8. Then, the head member 10 is superimposed on the valve 8 so as to cover the upper surface of the valve seat 9, and the head member 10 is fastened to the housing 7 by fastening screws or fastening clips 15 and the like, and the pump heads 5a and 5b are mounted. Form.
【００１０】ヘッド部材１０は、ハウジング７のポンプ
ヘッド５ａ，５ｂと適合する大きさを有する略矩形板形
状に形成し、その内部にバルブ８と連通する給排気通路
１６を形成すると共に、外部側面には給排気ホース（図
示せず）を接続させるための接続口１７を突設せしめて
なり、この接続口１７を上記給排気通路１６と連通させ
る。The head member 10 is formed in a substantially rectangular plate shape having a size compatible with the pump heads 5a and 5b of the housing 7, and inside thereof forms a supply / exhaust passage 16 communicating with the valve 8, and has an external side surface. Is provided with a connection port 17 for connecting a supply / exhaust hose (not shown), and this connection port 17 communicates with the supply / exhaust passage 16.
【００１１】かくして、直流ブラシレスモータＢを駆動
させると、モータケーシング４の左右両方から突出せし
めた出力軸３の両端部３ａ，３ｂに取付けられた偏芯軸
１２の回転により各駆動用ロッド２が往復運動し、各駆
動用ロッド２を介してそれぞれダイアフラム１が動作す
る。すると、エア室１３からバルブ８→給排気通路１６
→接続口１７→給排気ホースを通して、真空脱気装置の
真空容器（チャンバ）２０の内部が減圧される。Thus, when the DC brushless motor B is driven, each drive rod 2 is rotated by the rotation of the eccentric shafts 12 attached to both ends 3a, 3b of the output shaft 3 protruding from both the left and right sides of the motor casing 4. The diaphragm 1 reciprocates, and the diaphragm 1 operates via each driving rod 2. Then, from the air chamber 13, the valve 8 → the supply / exhaust passage 16
The pressure inside the vacuum container (chamber) 20 of the vacuum deaerator is reduced through the connection port 17 and the supply / exhaust hose.
【００１２】直流ブラシレスモータＢは、モータケーシ
ング４と、モータケーシング４の内部に設置される回転
子２１及び固定子２２と、上記回転子２１に連携されそ
の左右両端部３a，３bがモータケーシング４から突出さ
れる出力軸３と、モータ駆動回路基板２３等で構成され
ている。The DC brushless motor B includes a motor casing 4, a rotor 21 and a stator 22 installed inside the motor casing 4, and left and right ends 3 a and 3 b of the motor casing 4 which are linked to the rotor 21. And an output shaft 3 protruding from the motor drive circuit board 23 and the like.
【００１３】モータケーシング４は、例えばダイカスト
鋳造等により略カップ状に形成されたカップ状ケーシン
グ４ａと、カップ状ケーシング４ａの一方の開口を閉塞
する蓋状ケーシング４ｂとで構成され、カップ状ケーシ
ング４ａの内部に回転子２１と固定子２２及び上記回転
子２１に連携された出力軸３を内蔵すると共に、モータ
の駆動を制御する電子部品２３aを備えたモータ駆動回
路基板２３を具備せしめ、蓋状ケーシング４ｂをカップ
状ケーシング４ａにネジ２４で分離可能に取付ける。The motor casing 4 includes a cup-shaped casing 4a formed in a substantially cup shape by, for example, die casting, and a lid-shaped casing 4b for closing one opening of the cup-shaped casing 4a. A motor drive circuit board 23 having a rotor 21 and a stator 22 and an output shaft 3 associated with the rotor 21 therein, and having an electronic component 23a for controlling the driving of the motor. The casing 4b is detachably attached to the cup-shaped casing 4a with screws 24.
【００１４】回転子２１は、ヨークを兼ねたアウターロ
ータになるものであり、モータケーシング４を構成して
いるカップ状ケーシング４ａの内周より僅かに小径な略
カップ状に形成し、その回転中心部分に略筒形状に形成
された回転軸２５を一体的に取付けると共に、内周面に
はリング形状に形成された永久磁石２６を一体的に設置
してなり、上記回転軸２５を出力軸３の外周に一体的に
固着して連携させ、上記永久磁石２６の内周面に固定子
２２の外周を相対峙させる。The rotor 21 is an outer rotor also serving as a yoke. The rotor 21 is formed in a substantially cup shape having a diameter slightly smaller than the inner circumference of a cup-shaped casing 4a constituting the motor casing 4, and has a rotation center. A rotating shaft 25 formed in a substantially cylindrical shape is integrally attached to the portion, and a permanent magnet 26 formed in a ring shape is integrally provided on the inner peripheral surface. The outer periphery of the stator 22 is opposed to the inner peripheral surface of the permanent magnet 26 integrally and fixedly to the outer periphery of the permanent magnet 26.
【００１５】固定子２２は、鉄芯２７にコイル２８を環
状に巻回してなり、モータケーシング４を構成している
蓋状ケーシング４ｂ側に一体的に固定される。また、出
力軸３は、回転子２１と同一体に回転するように回転子
２１の回転軸２５に一体的に固着連結せしめ、その左右
両端側３ａ，３ｂを、モータケーシング４を構成してい
るカップ状ケーシング４ａと蓋状ケーシング４ｂにそれ
ぞれ設けた玉軸受け２９a，２９bに回転自由に軸支させ
ると共に、左右両端部３a，３bをそれぞれ出力軸として
モータケーシング４の左右から突出せしめる。The stator 22 is formed by winding a coil 28 around an iron core 27 in an annular shape, and is integrally fixed to the lid-like casing 4b constituting the motor casing 4. The output shaft 3 is integrally fixedly connected to a rotation shaft 25 of the rotor 21 so as to rotate in the same manner as the rotor 21, and the left and right ends 3 a and 3 b constitute a motor casing 4. The ball bearings 29a and 29b provided on the cup-shaped casing 4a and the lid-shaped casing 4b are rotatably supported on the ball bearings 29a and 29b, respectively.
【００１６】モータ駆動回路基板２３は、モータケーシ
ング４の内形形状とほぼ適合する形状に形成された絶縁
性基板５ｂ上に、モータの駆動を制御する電子部品２３
aを設置すると共に、中央部には出力軸３を貫通させる
ための貫通穴２３cを開口形成してなり、上記貫通穴２
３cに出力軸３を貫通させて当該モータ駆動回路基板２
３を出力軸３の軸方向とほぼ直交するように配設してカ
ップ状ケーシング４ａの一方の開口と並列させることに
より、当該モータ駆動回路基板２３をモータケーシング
４の内部に内蔵させる。尚、図中の符号３０は、リング
状永久磁石２６の磁極位置を検出するためのホール素子
を示し、３１は外部電源と接続されるコードを示す。The motor drive circuit board 23 is provided with an electronic component 23 for controlling the driving of the motor on an insulating board 5b formed in a shape substantially conforming to the inner shape of the motor casing 4.
a, and a through hole 23c through which the output shaft 3 penetrates is formed in the center portion.
3c so that the output shaft 3 passes through the motor drive circuit board 2
The motor drive circuit board 23 is built in the motor casing 4 by disposing the motor drive circuit board 3 substantially perpendicular to the axial direction of the output shaft 3 and arranging the motor drive circuit board 3 in parallel with one opening of the cup-shaped casing 4a. Reference numeral 30 in the figure denotes a Hall element for detecting the magnetic pole position of the ring-shaped permanent magnet 26, and reference numeral 31 denotes a cord connected to an external power supply.
【００１７】また、本発明に係る真空脱気装置は、図４
に示したごとく、真空容器２０内に気体のみを通し液体
の透過を阻止する透過膜３２を設置し、真空容器２０内
を真空ポンプＡで減圧することにより透過膜３２を通し
て被脱気液体Ｌ1から溶存気体を脱気するように構成さ
れ、上記真空ポンプＡとして上述したダイアフラム式ポ
ンプが使用される。Further, the vacuum deaerator according to the present invention has a structure shown in FIG.
As shown in the figure, a permeable membrane 32 for passing only gas and preventing liquid permeation is installed in the vacuum container 20, and the inside of the vacuum container 20 is depressurized by the vacuum pump A, so that the degassed liquid L 1 passes through the permeable membrane 32. The above-mentioned diaphragm pump is used as the vacuum pump A so as to degas dissolved gas.
【００１８】透過膜３２は、気体を通し液体の透過を阻
止する材料、例えばフッ素系樹脂重合体などからなる公
知の材料を用いて、チューブ状または膜状或いはフィル
ム状に形成される。図示実施例では、透過膜３２をチュ
ーブ状に形成し、その１本または複数本を真空容器２０
の内部に収容設置すると共に、両端の開口部（入口側３
２ａと出口側３２ｂ）を脱気処理通路に連通接続させ、
真空容器２０の内部をダイアフラム式ポンプからなる真
空ポンプＡで減圧しながらこのチューブ状透過膜３２内
に被脱気液体Ｌ１を流通させることにより、チューブ状
透過膜３２を通して被脱気液体Ｌ１中の溶存気体が真空
容器２０内から外部へ排出され、チューブ状透過膜３２
の出口側３２ｂから出てくる間に被脱気液体Ｌ１中の溶
存気体が脱気される仕組みになっている。The permeable membrane 32 is formed in a tube shape, a film shape, or a film shape by using a material that allows gas to pass therethrough and blocks liquid permeation, for example, a known material made of a fluororesin polymer or the like. In the illustrated embodiment, the permeable membrane 32 is formed in a tubular shape, and one or a plurality thereof is
And the openings at both ends (entrance side 3)
2a and the outlet side 32b) are communicatively connected to the degassing passage,
The degassed liquid L1 is allowed to flow through the tubular permeable membrane 32 while the inside of the vacuum vessel 20 is depressurized by the vacuum pump A composed of a diaphragm pump. The dissolved gas is discharged from the inside of the vacuum vessel 20 to the outside, and the tubular permeable membrane 32 is discharged.
The dissolved gas in the liquid to be degassed L1 is degassed while coming out of the outlet side 32b of the liquid.
【００１９】尚、図４中の符号３３は圧力センサーを示
し、３４は一定圧力で動作する逆止弁をそれぞれ示す
が、必ずしもなくとも良く、これらの圧力センサー３３
や逆止弁３４を設置すれば、真空容器２０内部の圧力を
精度良く適確にコントロールすることが容易となる。In FIG. 4, reference numeral 33 denotes a pressure sensor, and reference numeral 34 denotes a check valve which operates at a constant pressure.
If the check valve 34 is installed, the pressure inside the vacuum vessel 20 can be easily and accurately controlled.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明に係るダイアフラム式ポンプは斯
様に、直流ブラシレスモータの出力軸をモータケーシン
グの一方又は左右両方から突出せしめ、該突出せしめた
出力軸にダイアフラムを動作させる駆動用ロッドを連携
せしめてなるので、直流ブラシレスモータの出力軸の片
側だけでなく左右両側を有効に使用することが出来、従
って小型であっても高い給排気性能を得ることができ
る。The diaphragm pump according to the present invention has a drive rod for projecting the output shaft of the DC brushless motor from one or both of the left and right sides of the motor casing and operating the diaphragm on the projected output shaft. Because of the coordination, not only one side but also the left and right sides of the output shaft of the DC brushless motor can be used effectively, so that a high air supply / exhaust performance can be obtained even with a small size.
【００２１】また、本発明の請求項２記載のダイアフラ
ム式ポンプによれば、前記直流ブラシレスモータの駆動
を制御する電子部品を備えたモータ駆動回路基板を、前
記出力軸にほぼ直交するように貫通させて配設すること
により上記モータ駆動回路基板を前記モータケーシング
の内部に内蔵せしめてなるので、モータの駆動を制御す
るモータ駆動回路基板をモータケーシングの内部に内蔵
させることが容易に可能となり、その結果、モータ駆動
回路基板を含むポンプ全体をコンパクトに形成すること
が出来、高い精度でコントロールし得るにも拘わらずポ
ンプ全体の大型化を抑制することが可能となる。According to the diaphragm pump of the second aspect of the present invention, a motor drive circuit board having electronic components for controlling the drive of the DC brushless motor is penetrated so as to be substantially orthogonal to the output shaft. By arranging the motor drive circuit board inside the motor casing, the motor drive circuit board for controlling the driving of the motor can be easily housed inside the motor casing. As a result, the entire pump including the motor drive circuit board can be formed compactly, and it is possible to suppress an increase in the size of the entire pump despite control with high accuracy.
【００２２】また、本発明に係る真空脱気装置は、真空
容器内に気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を
設置し、該真空容器内を真空ポンプで減圧することによ
り上記透過膜を通して被脱気液体から溶存気体を脱気す
る真空脱気装置において、前記真空ポンプが駆動用ロッ
ドの往復運動によりダイアフラムを動作させるようにし
たダイアフラム式ポンプであり、上記駆動用ロッドを直
流ブラシレスモータの出力軸に連携せしめてなるので、
安定した脱気量を維持しながらオンラインで連続的に脱
気することが可能となる。Further, in the vacuum degassing apparatus according to the present invention, a permeable membrane for passing only gas and preventing liquid permeation is provided in a vacuum vessel, and the inside of the vacuum vessel is depressurized by a vacuum pump to thereby reduce the permeable membrane. A vacuum degassing device for degassing a dissolved gas from a liquid to be degassed through a diaphragm pump, wherein the vacuum pump operates a diaphragm by reciprocating motion of a driving rod, and the driving rod is a DC brushless motor. Because it is linked to the output shaft of
It is possible to continuously degas online while maintaining a stable degassing amount.
【００２３】そして、請求項４記載の真空脱気装置によ
れば、ダイアフラム式ポンプを駆動させる直流ブラシレ
スモータの出力軸をモータケーシングの左右両方から突
出せしめ、該出力軸に前記駆動用ロッドを連携してなる
ので、１基のダイアフラム式ポンプで複数のポンプヘッ
ドを備えることが可能となり、従って小型であっても高
い排気性能を得ることができ、高い脱気効率を期するこ
とが出来る。According to the fourth aspect of the present invention, the output shaft of the DC brushless motor for driving the diaphragm pump is projected from both the left and right sides of the motor casing, and the driving rod is linked to the output shaft. Therefore, it is possible to provide a plurality of pump heads with one diaphragm pump, so that high exhaust performance can be obtained even with a small size, and high deaeration efficiency can be expected.
【００２４】また、請求項５記載の真空脱気装置によれ
ば、前記直流ブラシレスモータの駆動を制御する電子部
品を備えたモータ駆動回路基板を、前記出力軸にほぼ直
交するように貫通させて配設することにより上記モータ
駆動回路基板を前記モータケーシングの内部に内蔵せし
めてなるので、真空ポンプ（ダイアフラム式ポンプ）を
高い精度でコントロールし得るにも拘わらずポンプ全体
の大型化を抑制し、延いては真空脱気装置の大型化を抑
制することが可能となる。According to a fifth aspect of the present invention, a motor drive circuit board provided with electronic components for controlling the driving of the DC brushless motor is penetrated so as to be substantially orthogonal to the output shaft. By disposing the motor drive circuit board inside the motor casing, the vacuum pump (diaphragm type pump) can be controlled with high accuracy, thereby suppressing an increase in the size of the entire pump, As a result, it is possible to suppress an increase in the size of the vacuum deaerator.
【図１】 本発明に係るダイアフラム式ポンプの実施の
一例を示す一部切欠正面図。FIG. 1 is a partially cutaway front view showing an embodiment of a diaphragm pump according to the present invention.
【図２】 同ポンプ本体部分の断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of the pump main body.
【図３】 同モータ駆動回路基板の一実施例を示す正面
図。FIG. 3 is a front view showing one embodiment of the motor drive circuit board.
【図４】 本発明に係る真空脱気装置の実施の一例を示
す模式説明図。FIG. 4 is a schematic explanatory view showing an example of an embodiment of a vacuum deaerator according to the present invention.
Ａ：ダイアフラム式ポンプ Ｂ：直流ブラ
シレスモータ １：ダイアフラム ２：駆動用ロ
ッド ３：出力軸 ３ａ，３ｂ：出力軸の
両端部 ４：モータケーシング ５ａ，５ｂ：ポンプヘ
ッド ２３：モータ駆動回路基板A: Diaphragm type pump B: DC brushless motor 1: Diaphragm 2: Drive rod 3: Output shaft 3a, 3b: Both ends of output shaft 4: Motor casing 5a, 5b: Pump head 23: Motor drive circuit board
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｋ 7/14 Ｈ０２Ｋ 7/14 Ｂ ５Ｈ６０７ 29/08 29/08 Ｆターム(参考） 3H077 AA11 BB05 CC02 CC09 CC17 DD02 DD12 EE02 EE36 FF03 FF07 FF12 FF14 FF37 FF57 4D006 GA32 HA21 HA41 JA02Z JA54Z KA12 KA64 KB17 MA02 MA03 MB03 MC28X PB01 PB70 PC01 PC38 PC41 4D011 AA16 AA17 AC04 AC10 AD03 AD06 5H019 BB05 BB15 BB20 CC04 EE14 5H605 BB07 BB19 CC02 CC08 CC09 DD09 DD36 EA06 EC01 EC02 EC20 5H607 AA06 BB01 BB07 BB14 BB17 CC01 CC03 CC05 DD16 DD17 EE58 EE60 FF06 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H02K 7/14 H02K 7/14 B 5H607 29/08 29/08 F term (Reference) 3H077 AA11 BB05 CC02 CC09 CC17 DD02 DD12 EE02 EE36 FF03 FF07 FF12 FF14 FF37 FF57 4D006 GA32 HA21 HA41 JA02Z JA54Z KA12 KA64 KB17 MA02 MA03 MB03 MC28X PB01 PB70 PC01 PC38 PC41 4D011 AA16 AA17 AC04 AC10 AD03 AD06 5H019 BB05 CC06 5H019 BB05 CB05 EC01 EC02 EC20 5H607 AA06 BB01 BB07 BB14 BB17 CC01 CC03 CC05 DD16 DD17 EE58 EE60 FF06
Claims (5)
ラムを動作させるようにしたダイアフラム式ポンプであ
って、直流ブラシレスモータの出力軸をモータケーシン
グの一方又は左右両方から突出せしめ、該突出せしめた
出力軸に前記駆動用ロッドを連携せしめてなる事を特徴
とするダイアフラム式ポンプ。1. A diaphragm pump in which a diaphragm is operated by reciprocating motion of a driving rod, wherein an output shaft of a DC brushless motor protrudes from one or both right and left sides of a motor casing, and the protruding output shaft is provided. A diaphragm pump characterized in that the driving rod is linked to the pump.
する電子部品を備えたモータ駆動回路基板を、前記出力
軸にほぼ直交するように貫通させて配設することにより
上記モータ駆動回路基板を前記モータケーシングの内部
に内蔵せしめてなる請求項１記載のダイアフラム式ポン
プ。2. A motor drive circuit board having electronic components for controlling the drive of the DC brushless motor is provided so as to penetrate the motor drive circuit board so as to be substantially perpendicular to the output shaft. The diaphragm type pump according to claim 1, wherein the diaphragm type pump is built in a casing.
を阻止する透過膜を設置し、該真空容器内を真空ポンプ
で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液体か
ら溶存気体を脱気する真空脱気装置であって、前記真空
ポンプが駆動用ロッドの往復運動によりダイアフラムを
動作させるようにしたダイアフラム式ポンプであり、上
記駆動用ロッドを直流ブラシレスモータの出力軸に連携
せしめてなる事を特徴とする真空脱気装置。3. A vacuum chamber is provided with a permeable membrane that allows only gas to pass therethrough and blocks liquid permeation, and the inside of the vacuum vessel is depressurized by a vacuum pump to remove dissolved gas from the liquid to be degassed through the permeable membrane. A vacuum pump, wherein the vacuum pump is a diaphragm pump in which a diaphragm is operated by reciprocating motion of a driving rod, wherein the driving rod is linked to an output shaft of a DC brushless motor. A vacuum deaerator characterized by the following:
モータケーシングの左右両方から突出せしめ、該出力軸
に前記駆動用ロッドを連携してなる請求項３記載の真空
脱気装置。4. An output shaft of the DC brushless motor,
4. The vacuum degassing device according to claim 3, wherein the driving rod protrudes from both the left and right sides of the motor casing, and the output shaft is linked to the output shaft.
する電子部品を備えたモータ駆動回路基板を、前記出力
軸にほぼ直交するように貫通させて配設することにより
上記モータ駆動回路基板を前記モータケーシングの内部
に内蔵せしめてなる請求項３記載の真空脱気装置。5. A motor drive circuit board having electronic components for controlling the driving of the DC brushless motor is provided so as to penetrate so as to be substantially orthogonal to the output shaft. 4. The vacuum degassing device according to claim 3, wherein the vacuum degassing device is built in a casing.
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| JP2000145447A JP2001329963A (en) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Diaphragm type pump and deaerating device using the pump |
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