JP2001324384A - Spectroscope - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、分光すべき光を
分散型分光素子によって分光した後、配列検出器に入射
させるようにした分光器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectroscope in which light to be split is split by a dispersion type splitter and then incident on an array detector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４（Ａ）は、従来公知の例えばツェル
ニ・ターナ型分光器など平面回折格子型分光器の分光器
の構成を概略的に示すもので、この図において、４１は
入射スリット、４２は凹面鏡よりなるコリメート鏡、４
３は紙面に垂直な回転軸４３ａを中心にして回転する回
折格子、４４は凹面鏡よりなるカメラ鏡、４５は出射ス
リット、４６は単一検出器よりなる光検出器である。2. Description of the Related Art FIG. 4A schematically shows a configuration of a conventional well-known flat grating type spectroscope such as a Czerni-Turna type spectroscope. In FIG. , 42 are collimating mirrors composed of concave mirrors, 4
Reference numeral 3 denotes a diffraction grating that rotates around a rotation axis 43a perpendicular to the paper surface, 44 denotes a camera mirror formed of a concave mirror, 45 denotes an exit slit, and 46 denotes a photodetector formed by a single detector.
【０００３】上記分光器においては、外部からの光５１
は、入射スリット４１を介してコリメート鏡４２に入射
する。このコリメート鏡４２に入射した光５２は、コリ
メート鏡４３で平行光束５３となり、回転軸４３ａを中
心にして回転している回折格子４３にある入射角で入射
する。この回折格子４３は、ある入射角で入射した光５
３を回転軸４３ａと平行な刻線（図示してない）に直交
した平面に分光する。回折格子４３で分光された光５４
は、カメラ鏡４４で集光され、出射スリット４５におい
て結像し、その後、光検出器４６に入射する。In the above-mentioned spectroscope, external light 51
Is incident on the collimator mirror 42 through the entrance slit 41. The light 52 incident on the collimating mirror 42 is converted into a parallel light beam 53 by the collimating mirror 43, and is incident on the diffraction grating 43 rotating around the rotation axis 43a at an incident angle. The diffraction grating 43 reflects light 5 incident at a certain incident angle.
3 is split into a plane perpendicular to a score line (not shown) parallel to the rotation axis 43a. Light 54 split by diffraction grating 43
Are condensed by a camera mirror 44, form an image at an exit slit 45, and then enter a photodetector 46.
【０００４】そして、前記回折格子４３を回転させる
と、その回転角に対応して光５３の入射角が変化し、分
光されて光検出器４６の受光面上に集光された光５５の
中心波長が変化する。したがって、回折格子４３を回転
させながら光検出器４６で受光された光５５の強度を測
定することにより、光５５の各波長におけるスペクトラ
ムが得られる。[0004] When the diffraction grating 43 is rotated, the incident angle of the light 53 changes in accordance with the rotation angle, and the center of the light 55 which is split and condensed on the light receiving surface of the photodetector 46 is changed. The wavelength changes. Therefore, the spectrum at each wavelength of the light 55 is obtained by measuring the intensity of the light 55 received by the photodetector 46 while rotating the diffraction grating 43.
【０００５】ところで、前記平面回折格子型分光器にお
ける出射スリット４５や単一検出器４６に代えて、図４
（Ｂ）に示すように、配列検出器（アレイディテクタ）
４７を配置した電子的波長走査型分光器が用いられるよ
うになってきているが、この種の分光器においても、前
記平面回折格子型分光器と同様に、二つの凹面鏡４２，
４４を用いていた。By the way, in place of the exit slit 45 and the single detector 46 in the above-mentioned plane diffraction grating type spectroscope, FIG.
As shown in (B), an array detector (array detector)
An electronic wavelength scanning type spectrometer provided with 47 has been used. In this type of spectrometer, similarly to the plane diffraction grating type spectroscope, two concave mirrors 42, 42 are provided.
44 was used.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記電
子的波長走査型分光器のように配列検出器４７を光検出
器として用いる分光器においては、小型化を図るため、
カメラ鏡４４として焦点距離の短い凹面鏡を用いた場
合、配列検出器４７としてが比較的大型のものを用いた
ときは問題がないが、配列検出器４７として小型のもの
を用いたときには、配列検出器４７が回折光束５５を遮
らないように、カメラ鏡４４における入射角および反射
角を大きく取らざるを得ず、カメラ鏡４４によるコマ収
差が大きかった。また、カメラ鏡４４へ斜め入射すると
きの焦点距離短縮効果により、スリット像の横ピントと
縦ピントの位置が大きくずれていた。However, in a spectroscope using the array detector 47 as a photodetector, such as the above-mentioned electronic wavelength scanning type spectroscope, to reduce the size,
When a concave mirror having a short focal length is used as the camera mirror 44, there is no problem when a relatively large array detector 47 is used, but when a small array detector 47 is used, array detection is not performed. The incident angle and the reflection angle at the camera mirror 44 had to be made large so that the detector 47 did not block the diffracted light beam 55, and the coma caused by the camera mirror 44 was large. Further, due to the effect of shortening the focal length when the light is obliquely incident on the camera mirror 44, the positions of the horizontal focus and the vertical focus of the slit image are largely shifted.
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、小型の配列検出器を用いた場合
においても、収差の少ない、高性能の分光器を提供する
ことである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a high-performance spectroscope having little aberration even when a small array detector is used. .
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、分光すべき光を分散型分光素子によ
って分光した後、配列検出器に入射させるようにした分
光器において、前記分散型分光素子の後段に比較的短い
焦点距離のレンズ系を設け、このレンズ系を経た光を配
列検出器に入射させるようしている（請求項１）。In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a spectroscope in which light to be separated is dispersed by a dispersion type spectral element and then incident on an array detector. A lens system having a relatively short focal length is provided downstream of the spectral element, and light passing through the lens system is incident on the array detector.
【０００９】上記分光器においては、比較的短焦点のと
きでも軸外は０でよいため、コマ収差は最小であり、
縦、横両ピントが合致し、分解能やエネルギー効率を最
適なものが得られる。In the above-mentioned spectroscope, the off-axis may be zero even at a relatively short focus, so that the coma aberration is minimized.
Both vertical and horizontal focus are matched, and the one with the optimum resolution and energy efficiency can be obtained.
【００１０】そして、前記比較的短い焦点距離のレンズ
系の具体例としては、（１）２つの平凸レンズからなる
ホイヘンス型アクロマティック（色消し）カメラレンズ
からなるもの（請求項２）や、（２）異なる曲率半径か
らなる単一の両凸レンズを、曲率半径の小さい側を分散
型分光素子側に配置したもの（請求項３）や、（３）屈
折率の異なる複数のレンズからなるアクロマティック
（色消し）カメラレンズ（請求項４）などがある。この
場合、収差の少なさは、（３），（１），（２）の順で
あり、価格の安さは、（２），（１），（３）の順であ
る。Specific examples of the lens system having a relatively short focal length include: (1) a lens system composed of a Huygens-type achromatic (achromatic) camera lens composed of two plano-convex lenses (claim 2); 2) a single biconvex lens having a different radius of curvature, a side having a smaller radius of curvature arranged on the dispersion-type spectral element side (Claim 3), or (3) an achromatic system comprising a plurality of lenses having different refractive indexes. (Achromatized) camera lenses (claim 4) and the like. In this case, the least aberration is in the order of (3), (1), and (2), and the cheapness is in the order of (2), (1), and (3).
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、図面を
参照しながら説明する。まず、図１は、この発明の第１
の実施の形態を示し、この図において、１は光源部で、
その詳細はこの発明とは関係がないので、主要部は省略
し、分光されるべき光２の光軸上に設けられる高次カッ
トフィルタ３のみを図示している。４は前記光２を分光
する分光器で、次のように構成されている。すなわち、
５は入射スリット、６は凹面鏡よりなるコリメート鏡、
７は紙面に垂直な回転軸７ａを中心にして回転する分散
型分光素子としての平面回折格子である。８は比較的短
い焦点距離のレンズ系としてのホイヘンス型アクロマテ
ィックカメラレンズ系で、２つの平凸レンズ９，１０を
レンズ支持部材１１によって保持してなる。１２はホイ
ヘンス型アクロマティックカメラレンズ系８の後段に設
けられる近赤外配列検出器であり、例えばＩｎＧａＡｓ
（インジウム・ガリウム・砒素）よりなる。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
In this figure, 1 is a light source unit,
Since the details are not related to the present invention, the main part is omitted, and only the high-order cut filter 3 provided on the optical axis of the light 2 to be split is shown. Reference numeral 4 denotes a spectroscope that splits the light 2 and is configured as follows. That is,
5 is an entrance slit, 6 is a collimating mirror composed of a concave mirror,
Reference numeral 7 denotes a plane diffraction grating as a dispersion type spectral element that rotates around a rotation axis 7a perpendicular to the paper surface. Reference numeral 8 denotes a Huygens-type achromatic camera lens system as a lens system having a relatively short focal length, and two plano-convex lenses 9 and 10 are held by a lens support member 11. Reference numeral 12 denotes a near-infrared array detector provided after the Huygens type achromatic camera lens system 8, for example, InGaAs.
(Indium, Gallium, Arsenic).
【００１２】上記構成の分光器４においては、光源部１
から分光すべき光束が高次カットフィルタ３を経て入射
スリット５に入射する。このとき、高次カットフィルタ
３は、平面回折格子７の回折角が同じ領域に、短波長光
を回折（高次光）しないように、不要な短波長域を除去
する。そして、入射スリット５を経た光束１３は、コリ
メート鏡６で平行光束１４となり、平面回折格子７にあ
る角度αで入射し、波長に応じた回折角βで反射する。
この関係を所謂格子方程式で示すと、 ｍλ＝ａ（ｓｉｎα＋ｓｉｎβ） ……（１） となる。但し、ｍは回折次数で、０，±１，±２，……
であり、また、ａは格子定数であり、 ａ＝１０００／Ｎ ……（２） で表される。ここで、λおよびａの単位はμｍであり、
Ｎの単位は本／ｍｍである。In the spectroscope 4 configured as described above, the light source unit 1
The light to be split from the light enters the entrance slit 5 through the high-order cut filter 3. At this time, the high-order cut filter 3 removes an unnecessary short-wavelength region so that the short-wavelength light is not diffracted (high-order light) in a region where the diffraction angle of the plane diffraction grating 7 is the same. The light beam 13 passing through the entrance slit 5 becomes a parallel light beam 14 by the collimating mirror 6, enters the plane diffraction grating 7 at an angle α, and is reflected at a diffraction angle β according to the wavelength.
When this relationship is represented by a so-called lattice equation, mλ = a (sin α + sin β) (1) Here, m is the diffraction order, and 0, ± 1, ± 2,.
And a is a lattice constant, and is represented by a = 1000 / N (2). Here, the unit of λ and a is μm,
The unit of N is book / mm.
【００１３】そして、前記平面回折格子７を経た光１５
は、ホイヘンス型アクロマティックカメラレンズ系８を
経て、入射光１６として配列検出器１２に入射する。The light 15 that has passed through the plane diffraction grating 7
Passes through the Huygens type achromatic camera lens system 8 and enters the array detector 12 as incident light 16.
【００１４】今、波長１．２〜１．６μｍの近赤外域を
格子固定、次数ｍ＝１で分光するものとする。平面回折
格子７として、溝本数１５０本／ｍｍを入射角α＝０°
（直入射）で使用すると、 ａ＝２０／３μｍ、β1 ＝１０．３７０°、β2 ＝１
３．８８７°、Δβ≒３．５２° となる。この波長域を幅２ｍｍの配列検出器１２に入射
させるには、ホイヘンス型アクロマティックカメラレン
ズ系８の焦点距離として、約３２．５ｍｍを選べばよ
い。Now, it is assumed that the near-infrared region having a wavelength of 1.2 to 1.6 μm is fixed on a lattice and is spectrally separated by the order m = 1. As the plane diffraction grating 7, the number of grooves is 150 / mm, and the incident angle α = 0 °.
(Direct incidence), a = 20/3 μm, β 1 = 10.370 °, β 2 = 1
3.887 ° and Δβ ≒ 3.52 °. In order to make this wavelength range incident on the array detector 12 having a width of 2 mm, the focal length of the Huygens type achromatic camera lens system 8 may be selected to be about 32.5 mm.
【００１５】さらに詳細に説明すれば、コリメート鏡６
の焦点距離を９７．８ｍｍとすれば、入射スリット５の
高さと幅は、配列検出器１２の受光面上でそれぞれ１／
３（＝３２．５／９７．８）に縮小されるから、配列検
出器１２が小型の場合、好適である。More specifically, the collimating mirror 6
Is 97.8 mm, the height and the width of the entrance slit 5 are 1/1 on the light receiving surface of the array detector 12 respectively.
3 (= 32.5 / 97.8), which is suitable when the array detector 12 is small.
【００１６】上述した例からも理解されるように、配列
検出器１２の前段に設けられるレンズ系８として、配列
検出器１２の有効幅に対応した焦点距離と回折光域を取
り込むことができる口径を有するカメラレンズ系を選ぶ
ことにより、自由度の高い分光器を容易に得ることがで
きる。As can be understood from the above-described example, the lens system 8 provided in front of the array detector 12 has a focal length corresponding to the effective width of the array detector 12 and an aperture capable of capturing a diffracted light range. By selecting a camera lens system having the following, a spectroscope having a high degree of freedom can be easily obtained.
【００１７】上記実施の形態における分光器において
は、比較的短焦点のときでも軸外は０でよいため、コマ
収差は最小であり、縦、横両ピントが合致し、分解能や
エネルギー効率が最適なものとすることができ、高度な
分解能を要求される分野において好適に使用することが
できる。In the spectroscope in the above embodiment, the off-axis may be 0 even at a relatively short focal length, so that coma is minimized, vertical and horizontal focuses are matched, and resolution and energy efficiency are optimized. And can be suitably used in a field where high resolution is required.
【００１８】図２は、この発明の第２の実施の形態にお
ける分光器４Ａを示すもので、この分光器４Ａにおいて
は、配列検出器１２の前段に設けられるレンズ系８Ａと
して、異なる曲率半径からなる単一の両凸レンズ１７
を、曲率半径の小さい側１７ａを平面回折格子７に配置
したものを用いている。なお、１８はレンズ支持部材で
ある。FIG. 2 shows a spectroscope 4A according to a second embodiment of the present invention. In this spectroscope 4A, a lens system 8A provided at a stage preceding the array detector 12 has a different radius of curvature. A single biconvex lens 17
Is used in which the side 17a having a small radius of curvature is arranged on the plane diffraction grating 7. Reference numeral 18 denotes a lens support member.
【００１９】上記第２の実施の形態における分光器４Ａ
においては、レンズ１７の色収差が直接現れ、配列検出
器１２上の結像面が平面から離れ湾曲するが、レンズ系
８Ａとして単一の両凸レンズ１７のみを用いているだけ
であるので廉価であり、したがって、この分光器４Ａ
は、中程度以下の分解能で十分な分光応用分野において
安価に使用することができる。The spectroscope 4A according to the second embodiment.
In the above, the chromatic aberration of the lens 17 appears directly, and the image plane on the array detector 12 is curved away from the plane, but is inexpensive because only the single biconvex lens 17 is used as the lens system 8A. Therefore, this spectroscope 4A
Can be used inexpensively in sufficient spectroscopy applications with moderate or lower resolution.
【００２０】図３は、この発明の第３の実施の形態にお
ける分光器４Ｂを示すもので、この分光器４Ｂにおいて
は、配列検出器１２の前段に設けられるレンズ系８Ｂと
して、レンズ系が屈折率の異なる複数のレンズ１９ａ，
１９ｂからなるアクロマティックカメラレンズ１９を用
いている。この場合、曲率半径が小さいレンズ１９ａが
平面回折格子７に近くなるように配置される。なお、２
０はレンズ支持部材である。FIG. 3 shows a spectroscope 4B according to a third embodiment of the present invention. In this spectroscope 4B, a lens system is provided as a lens system 8B provided in front of the array detector 12 and has a refractive system. A plurality of lenses 19a having different rates,
An achromatic camera lens 19 composed of 19b is used. In this case, the lens 19 a having a small radius of curvature is arranged so as to be close to the plane diffraction grating 7. In addition, 2
0 is a lens support member.
【００２１】上記第３の実施の形態における分光器４Ｂ
においては、レンズ系８Ｂとして収差が上記第１および
第２の実施の形態のものに比べて小さいが、これらに比
べてやや高価であるといった難点がある。したがって、
この分光器４Ｂは、かなりの分解能が要求される分野に
おいて使用するのが好ましい。The spectroscope 4B according to the third embodiment.
However, although the aberration of the lens system 8B is smaller than that of the first and second embodiments, the lens system 8B is disadvantageous in that it is slightly more expensive. Therefore,
This spectroscope 4B is preferably used in a field where a considerable resolution is required.
【００２２】上述の各実施の形態では、配列検出器１２
として近赤外配列検出器を用いているが、この発明はこ
れに限られるものではなく、可視領域や紫外領域の配列
検出器を用いてもよい。In each of the above embodiments, the array detector 12
Although a near-infrared array detector is used as an example, the present invention is not limited to this, and an array detector in the visible or ultraviolet region may be used.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、小型の配列検出器を用いた場合においても、収差の
少ない、高性能の分光器が得られる。As described above, according to the present invention, even if a small array detector is used, a high-performance spectroscope with little aberration can be obtained.
【図１】第１の実施の形態における分光器の構成の一例
を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a configuration of a spectroscope according to a first embodiment.
【図２】第２の実施の形態における分光器の構成の一例
を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a configuration of a spectroscope according to a second embodiment.
【図３】第３の実施の形態における分光器の構成の一例
を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a configuration of a spectroscope according to a third embodiment.
【図４】従来技術を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional technique.
２…分光すべき光、４，４Ａ，４Ｂ…分光器、７…分散
型分光素子、８，８Ａ，８Ｂ…レンズ系、９，１０…平
凸レンズ、１２…配列検出器、１６…レンズ系を経た
光、１７…両凸レンズ、１９…カメラレンズ、１９ａ，
１９ｂ…レンズ。2, light to be split, 4, 4A, 4B: spectroscope, 7: dispersion type spectroscopic element, 8, 8A, 8B: lens system, 9, 10: plano-convex lens, 12: array detector, 16: lens system Transmitted light, 17: biconvex lens, 19: camera lens, 19a,
19b ... lens.
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G020 AA03 BA02 CA01 CB02 CB04 CB42 CC04 CC42 CD06 CD14 CD24 Continued on the front page F term (reference) 2G020 AA03 BA02 CA01 CB02 CB04 CB42 CC04 CC42 CD06 CD14 CD24
Claims (4)
分光した後、配列検出器に入射させるようにした分光器
において、前記分散型分光素子の後段に比較的短い焦点
距離のレンズ系を設け、このレンズ系を経た光を配列検
出器に入射させるようしたことを特徴とする分光器。1. A spectroscope in which light to be split is split by a dispersive spectroscopy element and then incident on an array detector. A lens system having a relatively short focal length is provided downstream of the dispersive spectroscopy element. A spectroscope wherein light passing through the lens system is incident on an array detector.
イヘンス型アクロマティックカメラレンズである請求項
１に記載の分光器。2. The spectroscope according to claim 1, wherein the lens system is a Huygens type achromatic camera lens comprising two plano-convex lenses.
の両凸レンズを、曲率半径の小さい側を分散型分光素子
側に配置したものからなる請求項１に記載の分光器。3. The spectroscope according to claim 1, wherein a single biconvex lens whose lens system has a different radius of curvature is arranged such that a side having a smaller radius of curvature is disposed on the dispersion-type spectral element side.
からなるアクロマティックカメラレンズである請求項１
に記載の分光器。4. The lens system according to claim 1, wherein the lens system is an achromatic camera lens including a plurality of lenses having different refractive indexes.
2. The spectroscope according to 1.
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310797A (en) * | 2001-04-13 | 2002-10-23 | Gigaphoton Inc | Spectroscope and laser device using the same |
| US6861757B2 (en) | 2001-09-03 | 2005-03-01 | Nec Corporation | Interconnecting substrate for carrying semiconductor device, method of producing thereof and package of semiconductor device |
| JP2009524814A (en) * | 2006-01-26 | 2009-07-02 | シュルンベルジェ ホールディングス リミテッド | Downhole spectral analysis tool including inorganic replica diffraction grating |
| CN105137724A (en) * | 2015-09-27 | 2015-12-09 | 上海华力微电子有限公司 | Photoetching machine lighting system and method with pupil plane quality monitoring and calibrating functions |
-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000145044A patent/JP2001324384A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310797A (en) * | 2001-04-13 | 2002-10-23 | Gigaphoton Inc | Spectroscope and laser device using the same |
| US6861757B2 (en) | 2001-09-03 | 2005-03-01 | Nec Corporation | Interconnecting substrate for carrying semiconductor device, method of producing thereof and package of semiconductor device |
| JP2009524814A (en) * | 2006-01-26 | 2009-07-02 | シュルンベルジェ ホールディングス リミテッド | Downhole spectral analysis tool including inorganic replica diffraction grating |
| CN105137724A (en) * | 2015-09-27 | 2015-12-09 | 上海华力微电子有限公司 | Photoetching machine lighting system and method with pupil plane quality monitoring and calibrating functions |
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