JP2001301230A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JP2001301230A JP2001301230A JP2000124578A JP2000124578A JP2001301230A JP 2001301230 A JP2001301230 A JP 2001301230A JP 2000124578 A JP2000124578 A JP 2000124578A JP 2000124578 A JP2000124578 A JP 2000124578A JP 2001301230 A JP2001301230 A JP 2001301230A
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- JP
- Japan
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- light emitting
- exposure apparatus
- microlens
- lens
- curable resin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小型で安定した光学特性を有し、しかも光学系
のレンズを金型等を用いることなく簡単に作製すること
が可能な構造を提供する。 【解決手段】千鳥配列された複数の発光素子（面発光型
ＬＥＤ素子）１１・・１１と、その各発光素子１１上に
形成されたマイクロレンズ３等によって露光装置を構成
するとともに、各発光素子１１上のマイクロレンズ３
を、例えばインクジェット方式により、発光素子チップ
１に非接触の状態で吐出された紫外線硬化樹脂の表面張
力によって形成する。
のレンズを金型等を用いることなく簡単に作製すること
が可能な構造を提供する。 【解決手段】千鳥配列された複数の発光素子（面発光型
ＬＥＤ素子）１１・・１１と、その各発光素子１１上に
形成されたマイクロレンズ３等によって露光装置を構成
するとともに、各発光素子１１上のマイクロレンズ３
を、例えばインクジェット方式により、発光素子チップ
１に非接触の状態で吐出された紫外線硬化樹脂の表面張
力によって形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリンタや複写機
などの電子写真装置に用いられる露光装置に関する。
などの電子写真装置に用いられる露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子写真装置の一例を図５に示す。
【０００３】図５の電子写真装置は、像担持体としての
感光体ドラム１０１と、感光体ドラム１０１に対向して
配置された帯電器１０２と、原稿画像データに応じた静
電潜像を感光体ドラム１０１表面に形成する露光装置１
０３と、露光装置１０３によって露光された感光体ドラ
ム１０１表面の静電潜像をトナーにより可視像に現像す
る現像装置１０４と、感光体ドラム１０１上のトナー像
を用紙Ｐに転写する転写ローラ１０５と、用紙Ｐ上のト
ナー像を熱により定着させる定着ローラ１０６と、感光
体ドラム１０１上に残留したトナーを除去するクリーナ
１０７などを主体として構成されている。
感光体ドラム１０１と、感光体ドラム１０１に対向して
配置された帯電器１０２と、原稿画像データに応じた静
電潜像を感光体ドラム１０１表面に形成する露光装置１
０３と、露光装置１０３によって露光された感光体ドラ
ム１０１表面の静電潜像をトナーにより可視像に現像す
る現像装置１０４と、感光体ドラム１０１上のトナー像
を用紙Ｐに転写する転写ローラ１０５と、用紙Ｐ上のト
ナー像を熱により定着させる定着ローラ１０６と、感光
体ドラム１０１上に残留したトナーを除去するクリーナ
１０７などを主体として構成されている。
【０００４】このような電子写真装置に用いられる露光
装置としては、従来、図６及び図７に示すように、複数
のＬＥＤチップ２１１・・２１１が基板２１０上に配列
されてなるＬＥＤアレイ２０１と、ＬＥＤチップ２１１
・・２１１上に配置されたセルフォックスレンズ２０２
とからなり、各ＬＥＤチップ２１１からの出力光を、セ
ルフォックスレンズ２０２にて線状（平行光）に集光し
て感光体ドラム１０１（図５参照）上に照射する構造の
ものが一般に使用さている。
装置としては、従来、図６及び図７に示すように、複数
のＬＥＤチップ２１１・・２１１が基板２１０上に配列
されてなるＬＥＤアレイ２０１と、ＬＥＤチップ２１１
・・２１１上に配置されたセルフォックスレンズ２０２
とからなり、各ＬＥＤチップ２１１からの出力光を、セ
ルフォックスレンズ２０２にて線状（平行光）に集光し
て感光体ドラム１０１（図５参照）上に照射する構造の
ものが一般に使用さている。
【０００５】他の露光装置として、特開平８−１５６３
２０号公報に、光源となるＬＥＤアレイからの出力光を
感光体ドラムに導く光学系を、導波路とマイクロレンズ
によって構成し、そのマイクロレンズを紫外線硬化樹脂
を用いて形成したもの（ＬＥＤプリンタヘッド）が開示
されている。この公報に記載の露光装置では、ウレタン
アクリレート系樹脂等の透明樹脂またはガラスなどで製
作した透明金型を用いて、紫外線硬化樹脂製のマイクロ
レンズをＬＥＤチップに一体形成している。
２０号公報に、光源となるＬＥＤアレイからの出力光を
感光体ドラムに導く光学系を、導波路とマイクロレンズ
によって構成し、そのマイクロレンズを紫外線硬化樹脂
を用いて形成したもの（ＬＥＤプリンタヘッド）が開示
されている。この公報に記載の露光装置では、ウレタン
アクリレート系樹脂等の透明樹脂またはガラスなどで製
作した透明金型を用いて、紫外線硬化樹脂製のマイクロ
レンズをＬＥＤチップに一体形成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、セルフォッ
クスレンズを用いた露光装置によれば、ＬＥＤチップと
セルフォックスレンズとを高精度に位置合わせする必要
があるので、生産性・装置コストの面で問題がある。ま
た、セルフォックスレンズの位置によって周期的な光変
動が生じて印字品位が低下するという問題もある。
クスレンズを用いた露光装置によれば、ＬＥＤチップと
セルフォックスレンズとを高精度に位置合わせする必要
があるので、生産性・装置コストの面で問題がある。ま
た、セルフォックスレンズの位置によって周期的な光変
動が生じて印字品位が低下するという問題もある。
【０００７】一方、特開平８−１５６３２０号公報の露
光装置では、マイクロレンズを成形する際に透明金型を
ＬＥＤチップ面に接触させる必要があるため、電極配線
パターンを破損する恐れがある。また、ボンディングワ
イヤの破損を避けるため、ウエハ上でマイクロレンズを
成形した後に、ＬＥＤチップを切り出す必要がある。さ
らに、ウレタンアクリレート系樹脂等の透明樹脂または
ガラスなどで製作した透明金型は寿命が短いという問題
もある。
光装置では、マイクロレンズを成形する際に透明金型を
ＬＥＤチップ面に接触させる必要があるため、電極配線
パターンを破損する恐れがある。また、ボンディングワ
イヤの破損を避けるため、ウエハ上でマイクロレンズを
成形した後に、ＬＥＤチップを切り出す必要がある。さ
らに、ウレタンアクリレート系樹脂等の透明樹脂または
ガラスなどで製作した透明金型は寿命が短いという問題
もある。
【０００８】本発明はそのような実情に鑑みてなされた
もので、小型で安定した光学特性を有し、しかも光学系
のレンズを金型等を用いることなく簡単に作製すること
が可能な露光装置の提供を目的とする。
もので、小型で安定した光学特性を有し、しかも光学系
のレンズを金型等を用いることなく簡単に作製すること
が可能な露光装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の露光装置は、プ
リンタや複写機などの電子写真装置に用いられる露光装
置であって、千鳥配列された複数の発光素子と、その各
発光素子上に形成されたマイクロレンズを備え、その各
マイクロレンズが、例えばインクジェット方式により、
各発光素子に向けて非接触状態で吐出された紫外線硬化
樹脂の表面張力によって形成されていることによって特
徴づけられる。
リンタや複写機などの電子写真装置に用いられる露光装
置であって、千鳥配列された複数の発光素子と、その各
発光素子上に形成されたマイクロレンズを備え、その各
マイクロレンズが、例えばインクジェット方式により、
各発光素子に向けて非接触状態で吐出された紫外線硬化
樹脂の表面張力によって形成されていることによって特
徴づけられる。
【００１０】本発明の露光装置によれば、インクジェッ
ト方式等により紫外線硬化樹脂を発光素子チップに非接
触の状態で吐出させて、マイクロレンズを発光素子チッ
プに一体形成しているので、セルフォックスレンズのよ
うな組立精度による問題はない。また、金型を使用しな
いので電極配線パターン等の破損の恐れもない。
ト方式等により紫外線硬化樹脂を発光素子チップに非接
触の状態で吐出させて、マイクロレンズを発光素子チッ
プに一体形成しているので、セルフォックスレンズのよ
うな組立精度による問題はない。また、金型を使用しな
いので電極配線パターン等の破損の恐れもない。
【００１１】さらに、紫外線硬化樹脂の表面張力により
レンズ形状を得ているので、電極配線パターン等の凹凸
を吸収してマイクロレンズを形成することができる。ま
た、発光素子を千鳥配列としているので、レンズ径をド
ットピッチ以上の大きさとすることも可能になる。
レンズ形状を得ているので、電極配線パターン等の凹凸
を吸収してマイクロレンズを形成することができる。ま
た、発光素子を千鳥配列としているので、レンズ径をド
ットピッチ以上の大きさとすることも可能になる。
【００１２】本発明の露光装置において、発光素子には
面発光型ＬＥＤ素子を用いる。面発光型ＬＥＤ素子は、
端面発光型のものと比べて素子の製作が簡単であり、ま
た素子へのマイクロレンズの形成も簡単になるという利
点がある。
面発光型ＬＥＤ素子を用いる。面発光型ＬＥＤ素子は、
端面発光型のものと比べて素子の製作が簡単であり、ま
た素子へのマイクロレンズの形成も簡単になるという利
点がある。
【００１３】本発明の露光装置において、発光素子とマ
イクロレンズとの間に光路長調整層を形成しておくと、
マイクロレンズを適性な光学位置、つまり発光素子の接
合領域（深さ約５Å）からの光をほぼ平行光に集光でき
る位置に配置することができる。
イクロレンズとの間に光路長調整層を形成しておくと、
マイクロレンズを適性な光学位置、つまり発光素子の接
合領域（深さ約５Å）からの光をほぼ平行光に集光でき
る位置に配置することができる。
【００１４】本発明の露光装置において、マイクロレン
ズを表面張力調整層上に形成しておけば、紫外線硬化樹
脂の濡れ角を調整することが可能となり、目的とするレ
ンズ特性をもつマイクロレンズを作製することができ
る。なお、このような表面張力調整層の機能は、前記し
た光路長調整層に兼用させてもよい。
ズを表面張力調整層上に形成しておけば、紫外線硬化樹
脂の濡れ角を調整することが可能となり、目的とするレ
ンズ特性をもつマイクロレンズを作製することができ
る。なお、このような表面張力調整層の機能は、前記し
た光路長調整層に兼用させてもよい。
【００１５】本発明の露光装置において、紫外線硬化樹
脂の濡れ角は１２度以上が好ましく、より好ましくは４
０度以上である。紫外線硬化樹脂の濡れ角を１２度以上
とすると、濡れ角の変動による光学特性の変動を抑制す
ることができる。
脂の濡れ角は１２度以上が好ましく、より好ましくは４
０度以上である。紫外線硬化樹脂の濡れ角を１２度以上
とすると、濡れ角の変動による光学特性の変動を抑制す
ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を、以下、図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１７】図１は本発明の実施形態の要部構造を模式
的に示す平面図である。図２は図１のＡ−Ａ断面図であ
る。
的に示す平面図である。図２は図１のＡ−Ａ断面図であ
る。
【００１８】この例の露光装置の光源には、ＬＥＤアレ
イチップ１が用いられている。ＬＥＤアレイチップ１に
は、複数の面発光型ＬＥＤ素子１１・・１１が２列の千
鳥配列にて形成されている。各面発光型ＬＥＤ素子１１
の接合領域は基板１０の表面から約５Åの深さに形成さ
れている。各面発光型ＬＥＤ素子１１にはぞれぞれ電極
配線パターン１２が接続されている。
イチップ１が用いられている。ＬＥＤアレイチップ１に
は、複数の面発光型ＬＥＤ素子１１・・１１が２列の千
鳥配列にて形成されている。各面発光型ＬＥＤ素子１１
の接合領域は基板１０の表面から約５Åの深さに形成さ
れている。各面発光型ＬＥＤ素子１１にはぞれぞれ電極
配線パターン１２が接続されている。
【００１９】ＬＥＤアレイチップ１の表面（面発光型Ｌ
ＥＤ素子１１の形成面）には、シリコン系樹脂製の光路
長調整層２が積層されている。光路長調整層２には、各
面発光型ＬＥＤ素子１１の真上に相当する位置にそれぞ
れマイクロレンズ３が形成されている。各マクロレンズ
３の光軸は面発光型ＬＥＤ素子１１の中心（光軸）に一
致している。
ＥＤ素子１１の形成面）には、シリコン系樹脂製の光路
長調整層２が積層されている。光路長調整層２には、各
面発光型ＬＥＤ素子１１の真上に相当する位置にそれぞ
れマイクロレンズ３が形成されている。各マクロレンズ
３の光軸は面発光型ＬＥＤ素子１１の中心（光軸）に一
致している。
【００２０】次に、マイクロレンズ３の成形方法を図３
を参照しつつ説明する。
を参照しつつ説明する。
【００２１】まず、インクジェットのノズルＮから所定
量の紫外線硬化樹脂を吐出させて、ＬＥＤアレイチップ
１上の光路長調整層２の表面に付着させる。このとき、
光路長調整層２の表面に付着した紫外線硬化樹脂Ｒは表
面張力により外面がレンズ形状になる。このレンズ形状
の紫外線硬化樹脂Ｒを図１に示すような千鳥配列で形成
する。そして、光路長調整層２上の全ての紫外線硬化樹
脂Ｒに、紫外線ランプ（図示せず）等からの紫外線を照
射して硬化させることにより、図２に示す形状のマイク
ロレンズ３を得ることができる。
量の紫外線硬化樹脂を吐出させて、ＬＥＤアレイチップ
１上の光路長調整層２の表面に付着させる。このとき、
光路長調整層２の表面に付着した紫外線硬化樹脂Ｒは表
面張力により外面がレンズ形状になる。このレンズ形状
の紫外線硬化樹脂Ｒを図１に示すような千鳥配列で形成
する。そして、光路長調整層２上の全ての紫外線硬化樹
脂Ｒに、紫外線ランプ（図示せず）等からの紫外線を照
射して硬化させることにより、図２に示す形状のマイク
ロレンズ３を得ることができる。
【００２２】ここで、マイクロレンズ３を構成する紫外
線硬化樹脂の濡れ角は、１２度以上であること好まし
い。紫外線硬化樹脂の濡れ角が１２度以上であると、図
４の濡れ角−焦点距離のグラフに示すように、濡れ角θ
が変化しても焦点距離ｆはあまり変化せず、濡れ角の変
動による光学特性の変動を抑制することができる。
線硬化樹脂の濡れ角は、１２度以上であること好まし
い。紫外線硬化樹脂の濡れ角が１２度以上であると、図
４の濡れ角−焦点距離のグラフに示すように、濡れ角θ
が変化しても焦点距離ｆはあまり変化せず、濡れ角の変
動による光学特性の変動を抑制することができる。
【００２３】また、図４のグラフから明らかなように、
濡れ角θが４０度以上であれば、焦点距離ｆはほぼ一定
の値を示すことから、紫外線硬化樹脂の濡れ角は４０度
以上とすることが、より安定した光学特性を得る上で好
ましい。
濡れ角θが４０度以上であれば、焦点距離ｆはほぼ一定
の値を示すことから、紫外線硬化樹脂の濡れ角は４０度
以上とすることが、より安定した光学特性を得る上で好
ましい。
【００２４】以上の実施形態によれば、面発光型ＬＥＤ
素子１１を２列の千鳥配列としているので、マイクロレ
ンズ３のレンズ径Ｄを、ドットピッチ以上の大きさ（Ｄ
＝ドットピッチＰ×√２＋α）とすることができる。
素子１１を２列の千鳥配列としているので、マイクロレ
ンズ３のレンズ径Ｄを、ドットピッチ以上の大きさ（Ｄ
＝ドットピッチＰ×√２＋α）とすることができる。
【００２５】また、マイクロレンズ３の下層に光路長調
整層２を形成しているので、電極配線パターン１２など
の異なる材質による濡れ角の違いを吸収することがで
き、常に安定した光学特性のマイクロレンズ３を得るこ
とができる。
整層２を形成しているので、電極配線パターン１２など
の異なる材質による濡れ角の違いを吸収することがで
き、常に安定した光学特性のマイクロレンズ３を得るこ
とができる。
【００２６】さらに、光路長調整層２を設けることによ
ってマイクロレンズ３を面発光型ＬＥＤ素子１１に対し
て適性な光学位置に配置することができる。すなわち、
面発光型ＬＥＤ素子１１の接合領域が基板１０表面から
約５Åの深さに形成されているので、ＬＥＤアレイチッ
プ１の表面にマイクロレンズ３を直接形成すると、面発
光型ＬＥＤ素子１１からの光を適性な形状に集光するこ
とが困難になるが、図２に示すように、ＬＥＤアレイチ
ップ１の表面に光路長調整層２を形成して、面発光型Ｌ
ＥＤ素子１１とマイクロレンズ３との間に距離をとるこ
とで、面発光型ＬＥＤ素子１１からの光をほぼ平行な光
に集光することができる。
ってマイクロレンズ３を面発光型ＬＥＤ素子１１に対し
て適性な光学位置に配置することができる。すなわち、
面発光型ＬＥＤ素子１１の接合領域が基板１０表面から
約５Åの深さに形成されているので、ＬＥＤアレイチッ
プ１の表面にマイクロレンズ３を直接形成すると、面発
光型ＬＥＤ素子１１からの光を適性な形状に集光するこ
とが困難になるが、図２に示すように、ＬＥＤアレイチ
ップ１の表面に光路長調整層２を形成して、面発光型Ｌ
ＥＤ素子１１とマイクロレンズ３との間に距離をとるこ
とで、面発光型ＬＥＤ素子１１からの光をほぼ平行な光
に集光することができる。
【００２７】なお、光路長調整層２の表面に、フッ素樹
脂等による表面張力調整層をコーティングすれば、紫外
線硬化樹脂の濡れ角を調整することが可能となり、目的
とするレンズ特性を有するマイクロレンズ３を形成する
ことができる。また、このような表面張力調整層の機能
を、光路長調整層２に兼用させることもできる。
脂等による表面張力調整層をコーティングすれば、紫外
線硬化樹脂の濡れ角を調整することが可能となり、目的
とするレンズ特性を有するマイクロレンズ３を形成する
ことができる。また、このような表面張力調整層の機能
を、光路長調整層２に兼用させることもできる。
【００２８】
【実施例】この実施例では、図１、図２において、ＬＥ
Ｄアレイチップ１、光路長調整層２及びマイクロレンズ
３の各寸法・材質を以下のように設定した。 ・ＬＥＤアレイチップ１ ドットピッチ：Ｐ＝１２００ｄｐｉ（２１．２μｍ） ・光路長調整層２ シリコン系樹脂（屈折率１．５） 膜厚：７５μｍ ・マイクロレンズ３ 紫外線硬化樹脂（屈折率１．５） 濡れ角：５０度 レンズ径：Ｄ＝３５μｍ レンズ焦点距離：Ｆ＝３０μｍ（ｎ＝１．５）
Ｄアレイチップ１、光路長調整層２及びマイクロレンズ
３の各寸法・材質を以下のように設定した。 ・ＬＥＤアレイチップ１ ドットピッチ：Ｐ＝１２００ｄｐｉ（２１．２μｍ） ・光路長調整層２ シリコン系樹脂（屈折率１．５） 膜厚：７５μｍ ・マイクロレンズ３ 紫外線硬化樹脂（屈折率１．５） 濡れ角：５０度 レンズ径：Ｄ＝３５μｍ レンズ焦点距離：Ｆ＝３０μｍ（ｎ＝１．５）
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
千鳥配列された各発光素子上にマイクロレンズを一体形
成しているので、光量変動及び組立精度等に問題がある
セルフフォックレンジを用いることなく、発光素子から
の出力光を適性な状態に集光することができる。また、
セルフフォックレンジを用いた場合に比べて装置の小型
化をはかることができる。
千鳥配列された各発光素子上にマイクロレンズを一体形
成しているので、光量変動及び組立精度等に問題がある
セルフフォックレンジを用いることなく、発光素子から
の出力光を適性な状態に集光することができる。また、
セルフフォックレンジを用いた場合に比べて装置の小型
化をはかることができる。
【００３０】さらに、マイクロレンズを、発光素子チッ
プに非接触の状態で吐出された紫外線硬化樹脂の表面張
力によって形成しているので、電極配線パターン等が破
損する恐れもない。また、マイクロレンズを透明金型等
を用いることなく簡単に製作することができるので生産
性も良い。
プに非接触の状態で吐出された紫外線硬化樹脂の表面張
力によって形成しているので、電極配線パターン等が破
損する恐れもない。また、マイクロレンズを透明金型等
を用いることなく簡単に製作することができるので生産
性も良い。
【図１】本発明の実施形態の要部構造を模式的に示す平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】マイクロレンズの成形法の説明図である。
【図４】マイクロレンズを構成する紫外線硬化樹脂の濡
れ角と焦点距離の関係を示す図である。
れ角と焦点距離の関係を示す図である。
【図５】電子写真装置の一例を示す図である。
【図６】従来の露光装置の要部構造を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ断面図である。
１ ＬＥＤアレイチップ １０ 基板 １１ 面発光型ＬＥＤ素子 １２ 電極配線パターン ２ 光路長調整層 ３ マイクロレンズ １０１ 感光体ドラム １０２ 帯電器 １０３ 露光装置 １０４ 現像装置 １０５ 転写ローラ １０６ 定着ローラ １０７ クリーナ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 1/036 (72)発明者 戸泉 潔 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 岩松 正 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 2C162 AE28 AE47 FA04 FA17 FA44 5C051 AA02 CA08 DA04 DB02 DB22 DC02 DC07 DD00 5F041 AA47 CA12 CB22 DA45 DA46 DA55 DA57 DA91 EE17 FF13
Claims (6)
- 【請求項１】 プリンタや複写機などの電子写真装置に
用いられる露光装置であって、千鳥配列された複数の発
光素子と、その各発光素子上に形成されたマイクロレン
ズを備え、その各マイクロレンズが、各発光素子に向け
て非接触状態で吐出された紫外線硬化樹脂の表面張力に
よって形成されていることを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】 発光素子が面発光型ＬＥＤ素子であるこ
とを特徴とする請求項１記載の露光装置。 - 【請求項３】 発光素子とマイクロレンズとの間に光路
長調整層が形成されていることを特徴とする請求項１記
載の露光装置。 - 【請求項４】 マイクロレンズが表面張力調整層上に形
成されていることを特徴とする請求項１記載の露光装
置。 - 【請求項５】 発光素子から出射しマイクロレンズを透
過した後の光がほぼ平行光となるように集光されている
ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。 - 【請求項６】 マイクロレンズを形成する紫外線硬化樹
脂の濡れ角が１２度以上であることを特徴とする請求項
１記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000124578A JP3550076B2 (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000124578A JP3550076B2 (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001301230A true JP2001301230A (ja) | 2001-10-30 |
| JP3550076B2 JP3550076B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=18634689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000124578A Expired - Fee Related JP3550076B2 (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3550076B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007249028A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Denso Corp | 表示盤及びその製造方法 |
| JP2010253882A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Konica Minolta Opto Inc | 画像形成装置及びレンズアレイ |
| US9048396B2 (en) | 2012-06-11 | 2015-06-02 | Cree, Inc. | LED package with encapsulant having planar surfaces |
| US9461024B2 (en) | 2013-08-01 | 2016-10-04 | Cree, Inc. | Light emitter devices and methods for light emitting diode (LED) chips |
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