JP2001298077A - Substrate storage container - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、内部に半導体ウ
ェーハ（以下ウェーハと略称する）やマスクガラス、液
晶セルあるいは、記録媒体などの基板を収納し、基板の
輸送と、基板を加工・処理する加工装置に対する位置決
めや加工装置間の搬送及び又は貯蔵に使用される基板収
納容器に関し、より詳しくは、基板収納容器の開口部を
閉鎖する蓋体の取り付け構造等に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention accommodates a substrate such as a semiconductor wafer (hereinafter abbreviated as "wafer"), a mask glass, a liquid crystal cell or a recording medium, transports the substrate, and processes and processes the substrate. The present invention relates to a substrate storage container used for positioning with respect to a processing device and transporting and / or storing between processing devices, and more particularly, to a mounting structure of a lid for closing an opening of the substrate storage container.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造に関わるウェーハやマスク
ガラス等の基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に
伴い、基板の歩留向上によるコストダウンを目的とし
て、基板の口径の大型化（例えば３００ｍｍないし４０
０ｍｍ以上）が急ピッチで進められてきている。同時
に、半導体回路は、益々微細化が進められていて、ＤＲ
ＡＭのデザインルール（加工最小線幅）も０．２５μｍ
から０．１８μｍへと移行しつつあり、基板の加工が行
われる工場はもとより、基板の運搬時に使用される容器
に関しても益々高度にクリーンである状態が要求されて
きている。このような要求を実現する方法として、基板
の加工に必要な局所だけを高度にクリーンな環境とし、
基板をこうしてできた幾つかのクリーンな環境間を、密
閉された基板収納容器に基板を収納して搬送する方法が
提案されている。こうした中、収納された基板を汚染さ
せることなく自動搬送可能で、しかも、加工装置に直接
アクセス可能な基板収納容器の開発が進められている。2. Description of the Related Art Substrates such as wafers and mask glass involved in the manufacture of semiconductors have been increased in diameter (for example, 300 mm or less) for the purpose of cost reduction by improving the yield of the substrates due to severe price competition for semiconductor devices. 40
0 mm or more) at a rapid pace. At the same time, semiconductor circuits are being miniaturized more and more,
AM design rule (minimum processing line width) is 0.25μm
From 0.18 μm to a factory where processing of substrates is performed, as well as containers used for transporting the substrates, are required to be more and more clean. As a method of realizing such demands, only a local area required for processing a substrate is set as a highly clean environment,
A method has been proposed in which a substrate is stored and transported in a sealed substrate storage container between several clean environments thus formed. Under these circumstances, development of a substrate storage container that can be automatically transported without contaminating the stored substrate and that can directly access a processing apparatus is being promoted.
【０００３】基板の搬送や保管、あるいは加工装置への
位置決めに使われる基板収納容器６０は、例をあげる
と、図１０に示すように、複数枚の基板を整列収納する
容器本体６１と、該容器本体６１の開口部６２をシール
可能に閉鎖する蓋体６３とからなる。容器本体６１の相
対する内壁には、基板を水平に支持するための一対の支
持部材６４が相対して組み付けられており、容器本体６
１の底部には加工装置へ載置し位置決めするための逆Ｖ
字状の突起６５ａ（以下Ｖグループと称す）と基板収納
容器を加工装置に固定するための貫通穴６５ｂ（以下リ
テイニングフューチャーと称す）を有するボトムプレー
ト６５が取り付けられている。For example, as shown in FIG. 10, a substrate storage container 60 used for transporting and storing a substrate or positioning the substrate to a processing apparatus includes a container main body 61 for aligning and storing a plurality of substrates, and A lid 63 for sealingly closing the opening 62 of the container body 61. A pair of support members 64 for horizontally supporting the substrate are assembled on the opposite inner walls of the container body 61 so as to face each other.
1 has an inverted V for mounting and positioning on a processing device.
A bottom plate 65 having a letter-shaped protrusion 65a (hereinafter, referred to as a V group) and a through hole 65b (hereinafter, referred to as a retaining feature) for fixing a substrate storage container to a processing apparatus is attached.
【０００４】また、容器本体６１と蓋体６３との間に
は、シール用ガスケット６６が挟持され、基板収納容器
６０を密封状態に保つことに使われている。また、蓋体
６３には、外部から操作可能な係止爪６７が内包された
ラッチ機構６８によって容器本体６１の開口部６２をシ
ール可能に閉鎖している。A sealing gasket 66 is sandwiched between the container body 61 and the lid 63, and is used to keep the substrate storage container 60 in a sealed state. Further, the opening 63 of the container body 61 is sealably closed on the lid 63 by a latch mechanism 68 in which a locking claw 67 operable from the outside is included.
【０００５】基板の加工装置は、外界とは隔離された局
所環境（ミニエンバイロメント）の中に設けられ、該局
所環境は、基板に電子回路配線を作成するための各種処
理を高収率で行うために高度にクリーン化されている。
（米国連邦規格（Ｆｅｄｅｒａｌ ｓｔａｎｄａｒｄ
２０９Ｅ）のクリーン度が１以下、必要に応じて０．０
１レベル） 半導体生産工場全体をこうした高度なクリーン環境に保
つには、技術的な困難さと共に、莫大な投資が必要であ
ると予測されていた。従って、こうした局所環境を複数
形成してそれらの中で、基板に微細加工を行い、歩留ま
り向上させようと言う考えが近年主流になりつつある。[0005] The substrate processing apparatus is provided in a local environment (mini-environment) which is isolated from the outside world, and the local environment performs various processes for forming electronic circuit wiring on the substrate in high yield. It has been highly cleaned to do.
(U.S. Federal Standard
209E) has a cleanness of 1 or less, and 0.0 if necessary.
(Level 1) To maintain the entire semiconductor manufacturing plant in such a highly clean environment was expected to require enormous investment as well as technical difficulties. Therefore, in recent years, the idea of forming a plurality of such local environments and performing fine processing on the substrate to improve the yield has been becoming mainstream in recent years.
【０００６】このような複数の局所環境間で基板を搬送
するために標準化された上記のような基板収納容器６０
が提案されている。局所環境内にある加工装置には、外
界から搬送されてくる基板収納容器を接続し、基板収納
容器から、内部に収納した基板を加工装置内部にロード
したり、加工装置から基板収納容器にアンロードしたり
するための、アクセス部が設けられている。該アクセス
部には、基板収納容器を搭載し、位置決めと加工装置へ
の接続操作を行うロードポートと、基板収納容器６０の
蓋体６３と対向する位置に配置されて蓋体の開閉を行う
蓋体開閉装置とが備えらている。[0006] The substrate storage container 60 described above, which is standardized for transporting a substrate between a plurality of local environments, is provided.
Has been proposed. A substrate storage container conveyed from the outside world is connected to the processing device in the local environment, and the substrate stored inside is loaded into the processing device from the substrate storage container, or unloaded from the processing device to the substrate storage container. An access unit for loading or the like is provided. The access unit is provided with a substrate storage container, a load port for positioning and connecting to a processing device, and a lid disposed at a position facing the lid 63 of the substrate storage container 60 to open and close the lid. And a body opening / closing device.
【０００７】前記ロードポートの表面には、先端が球面
状をした複数本の位置決めピンと基板収納容器のボトム
プレート中央部の貫通孔に挿入されてリテイニングフュ
ーチャーを固定する固定部材が設けられている。複数の
位置決めピンは、基板収納容器の底部に配設されたＶグ
ループと当接して基板収納容器を自動求心させて所定の
位置に精度良く位置決めして、固定部材を使って基板収
納容器を加工装置に固定する。その後、前記基板収納容
器の搭載部分である位置決めユニットを前進させて基板
収納容器を並行移動させ、蓋体開閉装置のカバー部材に
蓋体をシール可能に当接させる。On the surface of the load port, there are provided a plurality of positioning pins each having a spherical tip, and a fixing member which is inserted into a through hole at the center of the bottom plate of the substrate storage container to fix the retaining feature. . The plurality of positioning pins are brought into contact with a V group arranged at the bottom of the substrate storage container to automatically center the substrate storage container, accurately position the substrate storage container at a predetermined position, and process the substrate storage container using a fixing member. Secure to the device. Thereafter, the positioning unit, which is the mounting portion of the substrate storage container, is moved forward to move the substrate storage container in parallel, and the cover is brought into contact with the cover member of the cover opening / closing device in a sealable manner.
【０００８】蓋体開閉装置は、通常前記ロードポートの
基板搭載面と垂直な壁部である接続面を有し、前記接続
面は外部環境に有る基板収納容器から基板を加工装置内
に移し替えるための開口を有している。通常この開口は
カバー部材にてシールされていて、内部の環境が外界に
浮遊するパーティクルの侵入により汚染されることを防
いでいる。カバー部材は、基板収納容器の蓋体を位置決
めして保持し、蓋体の内部に収納されたラッチ機構の解
錠と施錠を行う、ラッチ機構の操作装置を有している。The lid opening / closing device usually has a connection surface which is a wall perpendicular to the substrate mounting surface of the load port, and the connection surface transfers a substrate from a substrate storage container in an external environment into the processing apparatus. Has an opening for it. Usually, this opening is sealed with a cover member to prevent the inside environment from being contaminated by intrusion of particles floating in the outside world. The cover member has a latch mechanism operating device that positions and holds the lid of the substrate storage container and unlocks and locks the latch mechanism housed inside the lid.
【０００９】上記ミニエンバイロメントの環境におい
て、基板を処理・加工する場合には、先ず、位置決めさ
れた基板収納容器がロードポートの開口部のシールゾー
ンに設けられたカバー部材に当接するまで前進させ、蓋
体外周をシール可能に覆う。そして、前記カバー部材の
内面には、一対のレジストレーションピンと呼ばれる位
置決めピンと、ラッチ機構の操作装置に接続された一対
の回転可能な操作キーが配置されているとともに、蓋体
を真空吸着する吸着部が適宜設けられている。一方、図
１０示すように、蓋体６３には、ラッチキーを挿嵌する
キー溝６９と、位置決めピンを係合する一対の円形の位
置決め凹部（図示せず、通常蓋体の中心点を通る斜線上
に中心点を対称に配置されている。）が形成されてい
る。When processing and processing a substrate in the environment of the mini-environment, first, the positioned substrate storage container is advanced until it comes into contact with a cover member provided in a seal zone at the opening of the load port. The outer periphery of the lid is sealably covered. On the inner surface of the cover member, a pair of positioning pins called registration pins, and a pair of rotatable operation keys connected to an operation device of a latch mechanism are arranged, and a suction unit for vacuum-sucking the lid. Are provided as appropriate. On the other hand, as shown in FIG. 10, the lid 63 has a key groove 69 into which a latch key is inserted, and a pair of circular positioning recesses (not shown, which are generally inclined through a center point of the lid). The center point is arranged symmetrically on the line.).
【００１０】こうして位置決めピンによる基板収納容器
６０の正面の位置決めがなされた後、蓋体６３のキー溝
６９に挿嵌された操作キーが回転して容器本体６１と蓋
体６３のラッチ機構が解除されて容器本体６１の開口部
内周に設けられた係止凹部７０から係止爪６７が外れ、
蓋体６３が取り外し可能な状態となる。次に、蓋体６３
がカバー部材に保持されたまま、一緒に後退並びに下降
して容器本体６１と分離され、容器本体６１の開口部６
２が加工装置の内部と連通する。この時、容器本体６１
の開口部６２の周縁部は蓋体開閉装置壁部のシール領域
によってシールされているので、外環境に浮遊する汚染
物が内部に入り込むことはない。このようにして、蓋体
６３が取り外され容器本体６１の開口部６２が加工装置
と練通したら、基板は基板収納容器６０の内部から加工
装置にローディングされて取り込まれ、その後、各種の
処理加工される。After the positioning of the front surface of the substrate storage container 60 by the positioning pins is performed, the operation key inserted into the key groove 69 of the lid 63 rotates to release the latch mechanism between the container main body 61 and the lid 63. As a result, the locking claw 67 is disengaged from the locking concave portion 70 provided on the inner periphery of the opening of the container body 61,
The lid 63 is in a removable state. Next, the lid 63
While being held by the cover member, are retracted and lowered together to be separated from the container main body 61, and the opening 6 of the container main body 61 is opened.
2 communicates with the inside of the processing device. At this time, the container body 61
The peripheral edge of the opening 62 is sealed by the sealing area of the lid opening / closing device wall, so that contaminants floating in the external environment do not enter inside. In this way, when the lid 63 is removed and the opening 62 of the container body 61 is kneaded with the processing device, the substrate is loaded from the inside of the substrate storage container 60 into the processing device and taken in. Is done.
【００１１】また、基板収納容器の組立時や洗浄後の容
器本体への蓋体の取り付けは、作業員が手動で行う場合
が多かった。そのため、蓋体の表面には文字または記号
で上下の表示をして取り付け方向の間違えを防ぐように
している。In addition, in many cases, a worker manually attaches the lid to the container body after assembling the substrate storage container or after cleaning. For this reason, characters or symbols are displayed on the surface of the lid so as to prevent the mounting direction from being mistaken.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】従来からこうした精密
基板の処理工程内で使用される基板収納容器は、使用回
数に応じて洗浄がなされて再使用されていた。この時容
器本体と蓋体とは、分離されてそれぞれの内面が洗浄さ
れていた。その後、洗浄時についた水分が乾燥除去され
た容器本体と蓋体とを組立てて、再使用することになる
が、容器本体に蓋体を取り付ける作業は作業員が行うた
め、上記のように蓋体の表面には文字または記号による
上下の表示があっても、蓋体の上下を間違えて取り付け
ることがあった。また、蓋体に内蔵されたラッチ機構に
耐久性の限界がきたり、トラブルが生じた場合等には、
新たな蓋体が容器本体に取り付けられることになるが、
この時にも作業員の不注意により上下が間違えられるこ
とがあった。Conventionally, substrate storage containers used in such precision substrate processing steps have been cleaned and reused according to the number of uses. At this time, the container main body and the lid were separated from each other and the inner surfaces thereof were washed. After that, the container body and the lid body from which the moisture attached at the time of washing has been dried and removed will be assembled and reused.However, since the operation of attaching the lid body to the container body is performed by an operator, the lid as described above is used. Even though the upper and lower signs or symbols were displayed on the surface of the body, the top and bottom of the lid were sometimes mistakenly attached. In addition, if the durability of the latch mechanism built into the lid is limited or if a trouble occurs,
A new lid will be attached to the container body,
At this time, the operator sometimes made a mistake due to the carelessness of the worker.
【００１３】このように、蓋体の上下を間違えて取り付
けた場合、蓋体の表面に設けられた位置決め凹部の配置
が正規の位置から１８０°回転した状態になり、基板収
納容器から蓋体を取り除く際に、蓋体開閉装置の位置決
めピンと蓋体の凹部との嵌め合いが合わなかったり、あ
るいは寸法誤差が累積され易い上側の嵌合できつくな
り、寸法精度の良好な下側の嵌合でガタを生じることと
なって、蓋体の位置決め精度が悪くなる恐れがあった。
こうした場合に、基板収納容器は複数の蓋体開閉装置で
共通して使用されるので、機構によってはラッチキーが
正しくキー溝に入らなかったり、負荷が掛かってラッチ
機構の開閉が正しく行われなくなるといったトラブルが
発生してしまう恐れがあり、問題であった。As described above, when the lid is mounted upside down, the positioning recess provided on the surface of the lid is rotated by 180 ° from the normal position, and the lid is removed from the substrate storage container. At the time of removal, the positioning pin of the lid opening / closing device does not fit with the recess of the lid, or the upper fitting, which tends to accumulate dimensional errors, becomes tighter. As a result, there is a possibility that the positioning accuracy of the lid body is deteriorated.
In such a case, since the substrate storage container is commonly used by a plurality of lid opening / closing devices, depending on the mechanism, the latch key may not correctly enter the key groove, or a load may be applied to prevent the latch mechanism from being opened / closed correctly. There was a risk that trouble would occur, which was a problem.
【００１４】本発明は上記した問題に鑑みなされたもの
で、ＳＥＭＩ規格で標準化された複数種の蓋体開閉装置
で正しく位置決めでき、手動での蓋体の取り付け作業に
おいても上下を誤って取り付けることがなく、基板収納
容器を洗浄して複数回使用する時にも、蓋体開閉装置と
蓋体との嵌合がスムーズで、ラッチ機構の開閉操作が確
実に行え、かつ収納した基板を汚染することのない基板
収納容器を供給することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and can be correctly positioned by a plurality of types of lid opening / closing devices standardized by the SEMI standard. Even when the substrate storage container is washed and used multiple times, the lid opening and closing device and the lid can be smoothly fitted, the latch mechanism can be opened and closed reliably, and the stored substrate is contaminated. It is an object of the present invention to supply a substrate storage container without any.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明の基板収納容器
は、蓋体の取り付け方向を統一するため、開口部を有
し、相対向する内壁に基板を収納する基板支持部が設け
られた容器本体と、前記開口部をシール可能に閉鎖する
蓋体とを有する基板収納容器であって、前記容器本体の
開口部周縁の少なくと一辺に凸部又は凹部である一又は
複数個の第一の凹凸部を設け、かつ容器本体の開口部を
閉鎖する蓋体周縁にも、前記第一の凹凸部と相対してこ
れと遊嵌状態又は嵌合状態で嵌り込む凹部又は凸部であ
る第二の凹凸部を設けるとともに、前記凹凸部を前記開
口部の上下方向で非対称となるように配置したことを特
徴としている。より具体的には、容器本体の開口部周縁
の二辺に凸部又は、凹部である一又は複数個の第一の凹
凸部を開口部の中心線を挟んで非対称に設け、容器本体
の開口部と対向する蓋体周縁にも、凹部又は、凸部であ
る第二の凹凸部を開口部の中心線を挟んで非対称に設け
ておき、蓋体が容器本体の開口部を閉鎖するときに、正
規の天地方向で蓋体を取り付ける場合にのみこれらの第
一第二の凹凸部が遊嵌又は嵌合するようにしておく。容
器本体開口部周縁と蓋体周縁にこのような凹凸部を設け
ることで、蓋体の天地を間違えて取り付けようとする場
合には、凹凸部の凸部が平坦部にぶつかるので、取り付
けができなくり、不注意による取り付けミスを防ぐこと
ができる。SUMMARY OF THE INVENTION A substrate storage container of the present invention has an opening in order to unify the mounting direction of a lid, and a substrate support portion for storing a substrate on opposing inner walls is provided. A substrate storage container having a main body and a lid that sealably closes the opening, wherein at least one or more first or plural first protrusions or depressions on at least one side of an opening periphery of the container main body. A concave or convex portion which is provided with a concave and convex portion and is also fitted to the periphery of the lid closing the opening of the container body, in a loosely fitted state or a fitted state with the first concave and convex portion. And the irregularities are arranged so as to be asymmetric in the vertical direction of the opening. More specifically, one or a plurality of first concave and convex portions which are convex portions or concave portions on two sides of the periphery of the opening of the container main body are provided asymmetrically with respect to the center line of the opening, and the opening of the container main body is provided. A concave portion or a second uneven portion which is a convex portion is also provided asymmetrically with respect to the center line of the opening also on the periphery of the lid facing the portion, and when the lid closes the opening of the container body, The first and second concave and convex portions are allowed to be loosely fitted or fitted only when the lid is attached in the normal vertical direction. By providing such irregularities on the periphery of the opening of the container body and the periphery of the lid, if the lid is intended to be installed upside down, the projections of the irregularities will hit the flat part, so it can be attached. It is possible to prevent misplacement and inadvertent mounting errors.
【００１６】また、容器本体の開口部をシール可能に閉
鎖する蓋体の外表面に設けられて、蓋体開閉装置との位
置決めに使われる一対の位置決め凹部のうちの１方を、
一対の凹部の中心点を結ぶ対角線上に長軸を有する長穴
として設け、呼び込み量を大きくし、蓋体開閉装置の種
類による寸法の違いを吸収して、位置決めピン先端の誘
い込み用の面部を十分に設けて位置決めピンの挿入を容
易とし、最終的には、位置決めピンと凹部のそれぞれと
をはめ合い寸法にてガタ無く嵌合するものであり、許容
される精度で正しく位置決め可能とできる。このように
正しく位置決めがされるので、操作キーによるラッチ機
構の開閉操作も無理がなく確実に行うことができる。Also, one of a pair of positioning recesses provided on the outer surface of the lid for sealingly closing the opening of the container body and used for positioning with the lid opening / closing device,
It is provided as a long hole with a long axis on the diagonal line connecting the center points of the pair of recesses, increasing the amount of attraction, absorbing the dimensional difference due to the type of lid opening and closing device, and providing a surface for guiding the tip of the positioning pin. The positioning pins are sufficiently provided to facilitate the insertion of the positioning pins, and finally, the positioning pins and the concave portions are fitted without looseness in fitting dimensions, so that the positioning can be performed correctly with an acceptable accuracy. Since the positioning is performed correctly in this manner, the operation of opening and closing the latch mechanism using the operation keys can be performed without difficulty and reliably.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照にして本発明の
実施の形態を説明する。基板収納容器１０は、図１〜６
に示すように、基板収納容器１０の前面に開口部２０ａ
を有する略立方形をした容器本体２０と、該開口部２０
ａをシール可能に閉鎖する蓋体４０と、容器本体２０と
蓋体４０を密封状態で閉鎖するためのガスケット５０と
を備えている。なお、図１は容器本体２０の正面図、図
２は蓋体４０の背面図、図３はガスケット５０の断面
図、図４は基板収納容器１０の正面図、図５は基板収納
容器１０の斜視図、図６は基板収納容器１０の底面図で
ある。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The substrate storage container 10 is shown in FIGS.
As shown in FIG.
Container body 20 having a substantially cubic shape having
a and a gasket 50 for closing the container body 20 and the lid 40 in a sealed state. 1 is a front view of the container body 20, FIG. 2 is a rear view of the lid 40, FIG. 3 is a sectional view of the gasket 50, FIG. 4 is a front view of the substrate storage container 10, and FIG. FIG. 6 is a perspective view, and FIG.
【００１８】図６に示すように、容器本体２０の底面に
は基板加工装置に位置決めするために複数個の位置決め
手段であるＶグループ２１とこれら位置決め手段のそれ
ぞれに嵌合されて保持される誘導部２２ａを備えたボト
ムプレート２２とが取り付けられている。さらに、基板
収納容器１０を搬送するための部品として、図５に示す
ように、容器本体２０の天面に着脱自在に取り付けられ
るロボティックフランジ２３と容器本体２０の相対する
側壁に取り付けられる一対のサイドレール２４と一対の
マニュアルハンドル２５並びに底部に設けられる一対の
ボトムレール２６が備えられている。As shown in FIG. 6, on the bottom surface of the container body 20, a plurality of V-groups 21 as positioning means for positioning the substrate processing apparatus, and guides which are fitted and held by each of these positioning means. A bottom plate 22 having a portion 22a is attached. Further, as components for transporting the substrate storage container 10, as shown in FIG. 5, a pair of robotic flanges 23 detachably attached to the top surface of the container main body 20 and a pair of opposite side walls attached to the container main body 20. A side rail 24, a pair of manual handles 25, and a pair of bottom rails 26 provided on the bottom are provided.
【００１９】少なくとも容器本体２０、ロボティックフ
ランジ２３、ボトムプレート２２及びサイドレール２４
は、十分な剛性と強度を有するポリカーボネートや、ア
クリル樹脂、ＰＥＥＫ等のベース樹脂と導電性樹脂との
アロイ化技術や炭素繊維や金属繊維などの導電性添加物
が添加されたりして帯電防止性が付与された熱可塑性樹
脂などから成形されている。あるいは、熱可塑性樹脂に
導電性ポリマーの被膜を塗布したり、コーティングした
りして導電性を付与したもので良い。At least the container body 20, the robotic flange 23, the bottom plate 22, and the side rails 24
Has anti-static properties due to alloying technology of base resin such as polycarbonate, acrylic resin, PEEK etc. and conductive resin with sufficient rigidity and strength, and addition of conductive additives such as carbon fiber and metal fiber. Molded from a thermoplastic resin or the like. Alternatively, a conductive resin may be applied to a thermoplastic resin by applying or coating a film of the conductive polymer.
【００２０】また、前記ボトムプレート２２の誘導部２
２ａは、ボトムプレート２２と一体に形成することもで
きるが、耐摩耗性の良好なポリエーテルエーテルケトン
や、ポリプチレンテレフタレートあるいはポリカーボネ
ート樹脂やポリエーテルイミドや、または、それらにＰ
ＴＦＥ等の摩耗性改質剤を配合した樹脂を使って成形
し、別部品として取り付けて使用することもできる。The guiding portion 2 of the bottom plate 22
2a can be formed integrally with the bottom plate 22, but it has good abrasion resistance, such as polyetheretherketone, polybutyleneterephthalate, polycarbonate resin, polyetherimide, or P.I.
It can be molded using a resin containing a wear modifier such as TFE and attached as a separate part for use.
【００２１】また、図１に示すように、容器本体２０の
相対向する内壁には、複数枚の基板を一定間隔で隔離さ
せてこれを水平に収納するための基板支持部２７が棚状
に、容器本体２０の両側壁のそれぞれと一体に形成され
ている。なお、容器本体２０の背面には、収納する基板
を外部から確認可能な透明部材によって形成された窓部
２８を設けることが好ましい。また、容器本体２０の開
口部２０ａの内周には、蓋体４０を係止するための係止
凹部３１が複数個設けられていて、開口部の外周部は、
全周に渡ってフランジ部３０が形成されている。さらに
蓋体４０の取り付け方向の誤りを防止するための開口部
２０ａの周縁部の天側の一辺に隔置して一対と、下辺に
はこれらと非対称となる１箇所からなる第一の凹凸部２
９を設けておく。この第一の凹凸部は、凸や凹形状に限
らず、これらの組み合わせであっても良いし、凸部と凹
部を交互に配置しても良い。As shown in FIG. 1, a substrate supporting portion 27 for holding a plurality of substrates at regular intervals and horizontally storing the substrates is provided on the opposing inner walls of the container body 20 in a shelf shape. , Are formed integrally with each of both side walls of the container body 20. In addition, it is preferable to provide a window portion 28 formed of a transparent member on the back surface of the container main body 20 so that the substrate to be stored can be checked from the outside. A plurality of locking recesses 31 for locking the lid 40 are provided on the inner periphery of the opening 20a of the container body 20, and the outer periphery of the opening is
A flange portion 30 is formed over the entire circumference. Further, a first concave / convex portion formed of one pair spaced apart on one side of the top side of the peripheral portion of the opening 20a for preventing the mounting direction of the lid 40 from being erroneous and one portion asymmetrical to the lower side. 2
9 is provided. The first concave / convex portion is not limited to the convex or concave shape, and may be a combination thereof, or the convex portions and the concave portions may be arranged alternately.
【００２２】一方、蓋体４０は、図２、図４に示すよう
に、矩形をした箱形に形成されており、断面コの字状を
したベース部４１と、該ベース部４１の開口部を覆うよ
うにねじ等で固定される表面プレート４２とから構成さ
れている。蓋体４０は内部が中空状となっておりこの中
空部には、容器本体２０に蓋体４０を係止するための一
対のラッチ機構（図示せず、図１０符号３８参照）が設
けられている。ベース部４１の側壁には、ラッチ機構の
係止部が出入りする略長方形状の貫通穴が複数個設けら
れているとともに、蓋体４０内面には基板を保持するた
めに複数個のリテーナ４３が設けられている。なお、蓋
体４０は、容器本体２０と同様のポリカーボネート等の
合成樹脂あるいはこれに帯電防止性が付与された材料か
ら形成されている。On the other hand, as shown in FIGS. 2 and 4, the lid 40 is formed in a rectangular box shape, and has a base portion 41 having a U-shaped cross section and an opening portion of the base portion 41. And a surface plate 42 fixed with screws or the like so as to cover the surface. The inside of the lid 40 is hollow, and a pair of latch mechanisms (not shown, see reference numeral 38 in FIG. 10) for locking the lid 40 to the container body 20 are provided in the hollow portion. I have. The side wall of the base portion 41 is provided with a plurality of substantially rectangular through holes into and out of which the locking portion of the latch mechanism enters and exits, and a plurality of retainers 43 are provided on the inner surface of the lid 40 to hold the substrate. Is provided. The lid 40 is made of the same synthetic resin as the container body 20 such as polycarbonate or a material having antistatic properties.
【００２３】このリテーナ４３の基板との当接部の断面
はＶ字またはＵ字状に形成され、搬送時に基板が動いて
汚染されたり、破損しないように適切な撓み力で保持し
ている。リテーナ４３は、ポリエーテルエーテルケトン
樹脂やポリカーボネート樹脂、ポリプチレンテレフタレ
ート樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、各種の熱可
塑性エラストマー（ＴＰＯ・ＴＰＥＥ）の合成樹脂から
形成される。The cross section of the contact portion of the retainer 43 with the substrate is formed in a V-shape or a U-shape, and is held with an appropriate bending force so that the substrate does not move and is contaminated or damaged during transportation. The retainer 43 is formed of a synthetic resin of a polyetheretherketone resin, a polycarbonate resin, a polybutyleneterephthalate resin, a polyetherimide (PEI), and various thermoplastic elastomers (TPO / TPEE).
【００２４】蓋体４０の表面プレート４２の外表面に
は、図４に示すようにラッチ機構を外部から操作するた
めの蓋体開閉装置の操作キーが挿入されるキー溝４４が
設けられている。また、蓋体４０の表面プレート４２の
外側には蓋体開閉装置がラッチ機構を操作する時に、蓋
体開閉装置に設けられた位置決めピンを使って蓋体との
位置決めを行うための位置決め凹部４５が対角線上に設
けられている。そして、図４に示すように、少なくとも
一対の位置決め凹部４５の一方、好ましくは基板収納容
器１０の基準面から遠距離のある基板収納容器１０の上
部側を対角線上に長軸を有する長穴として蓋体開閉装置
の位置決めピンとの嵌合のための呼び込み量を十分に取
り、公差内で考えられる位置決めピンと位置決め凹部の
位置ずれの範囲をカバー可能としている。As shown in FIG. 4, a key groove 44 into which an operation key of a lid opening / closing device for operating the latch mechanism from outside is provided on the outer surface of the surface plate 42 of the lid 40. . Outside the surface plate 42 of the lid 40, a positioning recess 45 for positioning the lid using a positioning pin provided on the lid opening / closing device when the lid opening / closing device operates the latch mechanism. Are provided on a diagonal line. Then, as shown in FIG. 4, at least one of the pair of positioning recesses 45, preferably, the upper side of the substrate storage container 10 far from the reference plane of the substrate storage container 10 is formed as a long hole having a long axis on a diagonal line. A sufficient amount of attraction for fitting with the positioning pin of the lid opening / closing device is taken, so that the range of the positional deviation between the positioning pin and the positioning recess which can be considered within the tolerance can be covered.
【００２５】さらに、蓋体４０の前記容器本体２０の開
口部周縁に非対称に設けられた第一の凹凸部２９に対向
する位置に係止凸部４９からなる第二の凹凸部を有す
る。このため、蓋体４０の取り付けに際して上下を間違
えることが無く、メーカーの異なる複数種の蓋体開閉装
置でも容易に位置決めでき、問題なく使用可能とでき
る。Further, a second concave / convex portion including a locking convex portion 49 is provided at a position facing the first concave / convex portion 29 provided asymmetrically on the periphery of the opening of the container body 20 of the lid 40. For this reason, there is no mistake in mounting the lid 40 up and down, and a plurality of types of lid opening / closing devices from different manufacturers can be easily positioned and used without any problem.
【００２６】また、蓋体４０の側面全周にはシール用の
ガスケット５０が取り付けられている。ガスケット５０
は、各種の熱可塑性エラストマーやフッ素ゴム、ＥＰＤ
Ｍ、ＥＰＭ、ＮＢＲ、ＩＲなどから形成される。ガスケ
ットの原材料は、シール性能から形状、硬度にあわせて
適宜選択し、また、加熱時のガス発生量が少ないフッ素
ゴムを主材料としたものがもっとも望ましい。また、ガ
スケット５０は、正面からみるとコーナーがＲ状に形成
された四角形をしたエンドレス部材であり、断面の詳細
は図３に示すように内側に蓋体側面の凹部に嵌合用の中
実な段差部５１を有し、表面にはずれ防止用の複数の凸
状リブが全周に渡ってエンドレスに形成されている。外
側部は略コの字状をした薄肉の被圧縮部５３が形成さ
れ、被圧縮部の最外周部には突片５４が全周に渡って形
成されている。このように形成される被圧縮部５３は、
容器本体２０の開口部内周の段差部に形成された突起部
との間に第一のシールを形成し、前記最外周部の突片５
４は、容器本体２０の開口部２０ａとの間に第二のシー
ル面を形成している。A gasket 50 for sealing is attached all around the side surface of the lid 40. Gasket 50
Are various thermoplastic elastomers, fluoro rubbers, EPD
M, EPM, NBR, IR, etc. The raw material of the gasket is appropriately selected in accordance with the shape and hardness in view of the sealing performance, and most preferably, the main material is a fluororubber which generates a small amount of gas upon heating. The gasket 50 is a quadrangular endless member having a rounded corner when viewed from the front. The details of the cross section are as shown in FIG. It has a stepped portion 51, and a plurality of convex ribs for preventing slippage are formed on the surface endlessly over the entire circumference. On the outer side, a substantially U-shaped thin compressed portion 53 is formed, and at the outermost peripheral portion of the compressed portion, a projecting piece 54 is formed over the entire circumference. The compressed portion 53 thus formed is
A first seal is formed between a projection formed on a step on the inner periphery of the opening of the container body 20 and the projection 5 on the outermost periphery is formed.
4 forms a second sealing surface with the opening 20a of the container body 20.
【００２７】図７（ａ）、（ｂ）は、上記実施形態の凹
凸部２９，４９が、容器本体２０の開口部２０ａと蓋体
４０の外周部に設けられた場合の正規の天地方向での係
合状態を示しており、第一の凹凸部である容器本体２０
の開口部２０ａ内周部に設けられた凹部２９と蓋体４０
に設けられた第二の凹凸部となる凸部４９が遊嵌又は嵌
合して、蓋体４０が容器本体２０の開口部２０ａを閉鎖
する。また、凸部４９の形状は、特に制限が無く棒状の
リブや断面が半円状や台形状等をした突起でもよく、凹
部２９は凸部４９を受入可能な形状となるように適宜選
択して決めるとよい。凹部２９の幅寸法は、凸部４９の
幅寸法よりも広く設定して、逆さまにしたときに入らな
くなるようにことが無い限り、遊嵌状態となるようにし
ても良いし、凹部２９の幅寸法を凸部４９の幅寸法とほ
ぼ同一として嵌合状態となるようにして容器本体２０と
蓋体４０との位置決めができるようにすることもでき
る。この場合、少なくとも一方の凹凸部には、傾斜面か
らなる誘導部を設けておくのが好ましい。FIGS. 7 (a) and 7 (b) show normal top and bottom directions when the concave and convex portions 29 and 49 of the above embodiment are provided at the opening 20a of the container body 20 and the outer peripheral portion of the lid 40. And the container body 20 as the first uneven portion.
Concave portion 29 provided on the inner peripheral portion of opening 20a and lid 40
The convex portion 49 serving as the second concave / convex portion provided in the housing 40 is loosely fitted or fitted, and the lid 40 closes the opening 20 a of the container body 20. The shape of the convex portion 49 is not particularly limited, and may be a rod-like rib or a protrusion having a semicircular or trapezoidal cross section. The concave portion 29 is appropriately selected so as to be capable of receiving the convex portion 49. It is good to decide. The width of the concave portion 29 may be set to be wider than the width of the convex portion 49 so that the concave portion 29 is in a loosely fitted state as long as the concave portion 29 does not enter when it is turned upside down. The dimensions may be substantially the same as the width of the projection 49 so as to be in a fitted state so that the container body 20 and the lid 40 can be positioned. In this case, it is preferable that at least one of the concave and convex portions is provided with a guide portion formed of an inclined surface.
【００２８】一方、図７（ｃ）、（ｄ）は、蓋体４０の
天地を逆にした場合であり、蓋体４０に設けられた係止
凸部４９が容器本体２０の開口部２０ａの内周部に当接
して、蓋体４０がこれ以上奥に入らなくなってしまうの
で、蓋体４０を容器本体２０の開口部２０ａを正しく閉
鎖することができなくなる。このように本発明の実施の
形態で第一、第二の凹凸部２９，４９を容器本体２０の
開口部２０ａと蓋体４０とにそれぞれ非対称に設けるこ
とで、蓋体４０の天地方向を誤って逆に取り付けること
を防ぐことができる。On the other hand, FIGS. 7C and 7D show the case in which the lid 40 is turned upside down, and the locking projection 49 provided on the lid 40 has the opening 20 a of the container body 20. Since the lid 40 does not go further into the inner periphery, the lid 40 cannot correctly close the opening 20a of the container body 20. As described above, in the embodiment of the present invention, by providing the first and second concave and convex portions 29 and 49 asymmetrically in the opening 20a of the container body 20 and the lid 40, respectively, the top and bottom directions of the lid 40 are incorrectly set. Can be prevented from being installed in reverse.
【００２９】上記実施の形態では、容器本体２０の開口
部２０ａの周縁部の天側の一辺に設けられた第一の凹凸
部と係合する一対の第二の凹凸部となる凸部２２を蓋体
４０に隔置して設け、下辺にはこれらと非対称となる一
箇所に凸部を設けているが、前記第二の凹凸部は、第一
の凹凸部と同様に凸や凹形状に限らず、これらの組み合
わせであっても良いし、凸部と凹部を交互に配置しても
良い。In the above embodiment, the pair of second projections and depressions 22 engaging with the first projections and depressions provided on the top side of the periphery of the opening 20a of the container body 20 is formed. It is provided on the lid 40 at a distance, and the lower side is provided with a convex portion at one place that is asymmetric with these, but the second concave / convex portion has a convex or concave shape like the first concave / convex portion. The present invention is not limited thereto, and a combination of these may be used, and the convex portions and the concave portions may be arranged alternately.
【００３０】次に、他の実施の形態について図８、図９
に示す。これは、容器本体２０の開口部２０内周部と蓋
体４０のそれぞれ隣接する二片に凹部２９，凸部４９を
設けた場合である。この場合も、先の実施の形態と同様
に蓋体４０の上下を間違えることなく取り付けがなされ
る。なお、図８は容器本体２０の正面図、図９は蓋体４
０の背面図で、他の構造は先の実施形態と変わらないの
で説明は省略する。Next, another embodiment will be described with reference to FIGS.
Shown in This is a case where the concave portion 29 and the convex portion 49 are provided in two pieces adjacent to the inner peripheral portion of the opening 20 of the container body 20 and the lid 40, respectively. Also in this case, as in the previous embodiment, the lid 40 is attached without making any mistake in the upper and lower sides. 8 is a front view of the container body 20, and FIG.
0 is a rear view, and the other structure is the same as that of the previous embodiment, and thus the description is omitted.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る基板
収納容器は、蓋体の位置決めや凹部を位置決めピンの公
差内の全域をカバーするように一方を長穴形状に設けて
おり、開口部と蓋体のそれぞれに非対称に設けた凹凸部
により、蓋体の上下方向を常に一定とでき、種々の基板
加工装置に備えられた各種の蓋体の開閉装置での繰り返
しの使用に対しても安定した蓋体の開閉動作が保証され
る。また、本発明の第一、第二の凹凸部を嵌合させる場
合には、容器本体の開口部に蓋体を位置決めして、精度
良く収納する効果も得られる。As described above, in the substrate storage container according to the present invention, one of the lid positioning and the concave portion is provided in an elongated hole shape so as to cover the entire area within the tolerance of the positioning pin. The upper and lower sides of the lid can always be kept constant by the asymmetrical parts provided asymmetrically on the lid and the lid, and can be used repeatedly in various lid opening and closing devices provided in various substrate processing equipment. In addition, a stable opening and closing operation of the lid is guaranteed. Further, when the first and second concave and convex portions of the present invention are fitted, an effect of positioning the lid at the opening of the container body and accurately storing the lid is also obtained.
【図１】基板収納容器から蓋体を取り除いた状態の容器
本体の開口部からみた正面図である。FIG. 1 is a front view of an opening of a container main body with a lid removed from a substrate storage container.
【図２】基板収納容器の蓋体の背面図である。FIG. 2 is a rear view of a lid of the substrate storage container.
【図３】ガスケットの断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a gasket.
【図４】基板収納容器の正面図である。FIG. 4 is a front view of the substrate storage container.
【図５】基板収納容器の全体斜視図である。FIG. 5 is an overall perspective view of the substrate storage container.
【図６】基板収納容器の底面図である。FIG. 6 is a bottom view of the substrate storage container.
【図７】（ａ）容器本体の開口部と蓋体を取り付ける状
態で表す略断面図、（ｂ）容器本体の開口部と蓋体の凹
凸部が嵌合した状態を表す略断面図、（ｃ）容器本体の
開口部に上下を逆にした蓋体を取り付ける状態を表す略
断面図、（ｄ）容器本体の開口部と、上下を逆にした蓋
体の凹凸部が嵌合しない状態を表す略断面図である。7A is a schematic cross-sectional view showing a state where an opening of a container main body and a lid are attached, FIG. 7B is a schematic cross-sectional view showing a state where an opening of the container main body is fitted with concave and convex portions of a lid, FIG. c) A schematic cross-sectional view showing a state in which an upside-down lid is attached to the opening of the container body, and (d) a state in which the opening of the container body and the concave and convex portions of the upside-down lid are not fitted. FIG.
【図８】凹凸部の別の実施形態を表す容器本体の開口部
の正面図である。FIG. 8 is a front view of an opening of a container body showing another embodiment of the uneven portion.
【図９】凹凸部部材の別の実施形態を表す蓋体の背面図
である。FIG. 9 is a rear view of a lid representing another embodiment of the uneven portion member.
【図１０】従来から使用されている基板収納容器の分解
斜視図である。FIG. 10 is an exploded perspective view of a conventionally used substrate storage container.
１０ 基板収納容器 ２０ 容器本体 ２０ａ 開口部 ２１ Ｖグループ ２７ 基板支持部 ２８ 窓部 ２９ 係止凹部（第一の凹凸部） ３０ フランジ部 ４０ 蓋体 ４１ ベース部 ４２ 表面プレート ４３ リテーナ ４４ キー溝 ４５ 位置決め凹部 ４９ 係止凸部（第二の凹凸部） ５０ ガスケット DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate storage container 20 Container main body 20a Opening part 21 V group 27 Substrate support part 28 Window part 29 Locking recessed part (1st uneven part) 30 Flange part 40 Lid 41 Base part 42 Surface plate 43 Retainer 44 Key groove 45 Positioning Concave part 49 Locking convex part (second concave and convex part) 50 Gasket
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA15 BB03 CA08 FA16 GA03 5F031 DA01 DA08 EA02 EA12 NA02 PA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3E096 AA06 BA15 BB03 CA08 FA16 GA03 5F031 DA01 DA08 EA02 EA12 NA02 PA06
Claims (3)
収納する基板支持部が設けられた容器本体と、前記開口
部をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器
であって、 前記容器本体の開口部周縁の少なくと一辺に凸部又は凹
部である一又は複数個の第一の凹凸部を設け、かつ容器
本体の開口部を閉鎖する蓋体周縁にも、前記第一の凹凸
部と相対してこれと遊嵌状態又は嵌合状態で嵌り込む凹
部又は凸部である第二の凹凸部を設けるとともに、前記
凹凸部を前記開口部の上下方向で非対称となるように配
置したことを特徴とする基板収納容器。1. A substrate storage container, comprising: a container main body having an opening and provided with a substrate supporting portion for storing substrates on opposing inner walls; and a lid for sealingly closing the opening. At least one side of the peripheral edge of the opening of the container body is provided with one or more first concave and convex portions that are convex portions or concave portions, and the peripheral edge of the lid closing the opening of the container main body, A second concave / convex portion, which is a concave portion or a convex portion fitted in a loosely fitted state or a fitted state with respect to the one concave / convex portion, is provided, and the concave / convex portion is asymmetric in the vertical direction of the opening. A substrate storage container, wherein:
装置に形成された位置決め突起に対応する位置に一対の
位置決め凹部を設け、かつこれら位置決め凹部の少なく
とも一ヶ所は、両者を結ぶ対角線上に長軸を有する長穴
に形成し、さらに前記容器本体の開口部周縁の少なくと
一辺に凸部又は凹部である一又は複数個の第一の凹凸部
を設け、かつ容器本体の開口部を閉鎖する蓋体周縁に
も、前記第一の凹凸部と相対してこれと遊嵌状態又は嵌
合状態で嵌り込む凹部又は凸部である第二の凹凸部を設
けるとともに、前記凹凸部を前記開口部の上下方向で非
対称となるように配置したことを特徴とする基板収納容
器。2. A pair of positioning recesses are provided on the surface of the lid at positions corresponding to positioning projections formed on an opening / closing device for opening and closing the lid, and at least one of the positioning recesses connects the two. Formed in a long hole having a major axis on a diagonal line, and provided at least one or more first concave and convex portions which are convex portions or concave portions on at least one side of an opening periphery of the container main body, and an opening of the container main body. The lid peripheral edge for closing the portion is also provided with a second concave / convex portion which is a concave portion or a convex portion which is fitted to the first concave / convex portion in a play-fitted state or a fitted state with the first concave / convex portion, and the concave / convex portion. Are arranged so as to be asymmetrical in the vertical direction of the opening.
非対称に配置された突起であり、前記第一の凹凸部と嵌
合するように蓋体周縁に設けられる第二の凹凸部が蓋体
の相対向する二辺に前記開口部の上下方向で非対称とな
るように配置したことを特徴とする請求項１又は２記載
の基板収納容器。3. The first unevenness is a protrusion which is asymmetrically arranged on two opposite sides, and is provided on a peripheral edge of the lid so as to be fitted with the first unevenness. 3. The substrate storage container according to claim 1, wherein the portions are disposed on two opposite sides of the lid so as to be asymmetric in the vertical direction of the opening.
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|---|---|---|---|
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