JP2001296414A - Diffraction optical element and method for producing the same - Google Patents
Diffraction optical element and method for producing the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の波長帯域で
使用される回折光学素子及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diffractive optical element used in a plurality of wavelength bands and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】回折光学素子、例えば、集光作用を有す
る回折レンズを用いる光学系では、従来の屈折レンズ
を用いる場合に比べて、以下のような特長を有すること
が知られている。 回折レンズによって非球面波を容易に生成できるの
で、収差補正上効果的である。 回折レンズは、実質的に厚みを持たないので、光学系
をコンパクトにできると共に、設計の由由度を上げるこ
とができる。 屈折レンズで分散特性に相当する量が、回折レンズで
は逆の値を持つので、色収差を効果的に補正することが
できる。2. Description of the Related Art In an optical system using a diffractive optical element, for example, a diffractive lens having a condensing function, a conventional refractive lens is used.
It is known to have the following features as compared with the case of using. Since an aspherical wave can be easily generated by the diffractive lens, it is effective in correcting aberration. Since the diffractive lens has substantially no thickness, the optical system can be made compact, and the degree of design can be increased. Since the amount corresponding to the dispersion characteristic in the refractive lens has the opposite value in the diffractive lens, the chromatic aberration can be effectively corrected.
【０００３】このような回折レンズの特長を利用して、
光学系の性能を向上させることに関しては、例えば、Ｂ
ｉｎａｒｙ Ｏｐｔｉｃｓ Ｔｅｃｎｏｌｏｇｙ；Ｔｈ
ｅｏｒｙ ａｎｄ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ Ｍｕｌｔｉ
Ｌｅｖｅｌ Ｄｉｆｆｒａｃｔ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｌ
ｅｍｅｎｔ，Ｇａｒｙ Ｊ．Ｓｗａｓｏｎ，Ｔｅｃｈｉ
ｃａｌ Ｒｅｐｏｒｔ ８５４，ＭＩＴ，Ｌｉｎｃｏｌ
ｎ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ，Ａｕｇｕｓｔ １９８９．
に許しく記述されている。[0003] Utilizing the features of such a diffractive lens,
For improving the performance of the optical system, for example, B
inary Optics Technology; Th
eory and Design of Multi
Level Diffraction Optical El
element, Gary J. et al. Swerson, Techi
cal Report 854, MIT, Lincol
n Laboratory, August 1989.
It is described in the forgiveness.
【０００４】特開平１０−２６８１１６号公報には、異
なる複数の光学材料からなり、その境界面にレリーフパ
ターンを形成した回折素子が記載されている、この回折
光学素子は、第１の光学材料がガラスまたは樹脂、第２
の光学材料が紫外線硬化型樹脂または液体または弾性体
からなり、これらの光学材料の境界面に回折格子を有し
た位相型のものである。Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-268116 describes a diffractive element made of a plurality of different optical materials and having a relief pattern formed on the boundary surface. In this diffractive optical element, a first optical material is used. Glass or resin, second
Is a phase type having a diffraction grating at the boundary between these optical materials, which is made of an ultraviolet curable resin, a liquid, or an elastic body.
【０００５】特開平１０−２２１５１７号公報には、レ
リーフパターンの周縁部にリング状部材を当接して一体
化した回折光学素子が記載されている。リング状部材を
当接することにより、回折光学素子に強度を付与するも
のである。特開平１０−２２１５１３号公報には、レリ
ーフパターンと別の光学部材との周縁部を当接すると共
に、その間隙を真空としてレリーフパターンを保護する
回折光学素子が記載されている。特開平１０−３０７２
３０３号公報には、樹脂層にレリーフパターンを形成
し、このレリーフパターンに接着剤を介してガラス板を
積層することが記載されている。Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 10-221517 describes a diffractive optical element in which a ring-shaped member is brought into contact with a peripheral portion of a relief pattern and integrated. By contacting the ring-shaped member, strength is imparted to the diffractive optical element. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-221513 describes a diffractive optical element that abuts the periphery of a relief pattern and another optical member and protects the relief pattern by vacuuming the gap. JP-A-10-3072
No. 303 describes that a relief pattern is formed on a resin layer, and a glass plate is laminated on the relief pattern via an adhesive.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】回折光学素子には、従
来の屈折素子にはない多くの有用な特長があるが、他方
では、回折効率が波長に依存するために、以下のような
問題を有している。Diffractive optical elements have many useful features not found in conventional refractive elements. On the other hand, since the diffraction efficiency depends on the wavelength, the following problems arise. Have.
【０００７】例えば、光学系に適用される回折光学素子
は、レンズ素子として利用する場合が多いが、このよう
な用途においては、複数の回折光（視数の焦点）が存在
することは、一般に好ましくない。そこで、回折レンズ
においては、図９に示すように、使用する波長帯域で透
明である基材１に、断面形状が鋸歯波状のレリーフパタ
ーン２を形成して、特定次数の回折光にエネルギーを集
中させるようにしている。For example, a diffractive optical element applied to an optical system is often used as a lens element. In such an application, it is generally considered that a plurality of diffracted lights (focal points of a visual number) exist. Not preferred. Therefore, in the diffractive lens, as shown in FIG. 9, a relief pattern 2 having a sawtooth-shaped cross section is formed on a substrate 1 which is transparent in a wavelength band to be used, and energy is concentrated on diffracted light of a specific order. I try to make it.
【０００８】しかしながら、断面形状を図９に示すよう
に鋸歯波状に加工すると、その溝深さによってエネルギ
ーを集中できる波長が異なるため、波長幅を有する帯域
光のエネルギーを特定次数の回折光に集中させることが
できなくなる。このような現象は、例えばレーザのよう
な単色と見なせる光を利用する場合には問題とならない
が、カメラのように白色光を利用する光学系においては
無視できない問題となる。However, when the cross-sectional shape is processed into a sawtooth waveform as shown in FIG. 9, the wavelength at which the energy can be concentrated differs depending on the groove depth. You can't do that. Such a phenomenon is not a problem when using light that can be regarded as a single color such as a laser, but it is a problem that cannot be ignored in an optical system using white light such as a camera.
【０００９】また、回折光学素子の有用な特長の一つで
ある色収差補正効果を実現する場合には、使用する波長
が必然的に複数であるため、特定の波長の光に対して回
折効率を最適化しても、その他の波長では回折効率が低
下する。特に、可視帯域光で撮像する撮像光学系に適用
する場合には、回折効率の波長依存特性によって、色む
らや不要次数光によるフレアが生じる問題がある。In order to realize the chromatic aberration correction effect, which is one of the useful features of the diffractive optical element, since a plurality of wavelengths are inevitably used, the diffraction efficiency is reduced for light of a specific wavelength. Even with optimization, the diffraction efficiency decreases at other wavelengths. In particular, when applied to an imaging optical system that performs imaging with visible band light, there is a problem that color unevenness and flare due to unnecessary order light may occur due to the wavelength dependence of diffraction efficiency.
【００１０】上述した特開平１０−２６８１１６号公報
では、このような問題を解決するため、２つの光学材料
の境界面に回折格子を有した回折光学素子とするもので
あり、第１及び第２の光学材料として、光学特性がある
特定な条件式を満たす光学材料を選択することにより、
設計次数での回折効率が波長によらず高くなるように
し、回折効率の波長依存性を低減させている。また、第
１の光学材料としてガラスまたは樹脂を選択し、第２の
光学材料として紫外線硬化型樹脂、液体または弾性体を
選択することにより、製造を容易としている。In order to solve such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-268116 describes a diffractive optical element having a diffraction grating on the boundary surface between two optical materials. By selecting an optical material that satisfies a specific conditional expression as an optical material,
The diffraction efficiency at the design order is increased regardless of the wavelength, and the wavelength dependence of the diffraction efficiency is reduced. In addition, glass or resin is selected as the first optical material, and ultraviolet curable resin, liquid, or elastic body is selected as the second optical material, thereby facilitating the manufacture.
【００１１】しかしながら、回折格子の溝の深さについ
ては何ら制限がないため、２つの光学材料の組み合わせ
によっては、回折格子の溝深さが大きくなり、第２の光
学材料として液状の紫外線硬化樹脂又は液体を用いた場
合、回折格子の谷部に気泡が残る問題がある。一方、第
２の光学材料が弾性体の場合には、回折格子の形状に完
全に追従することが難しく、同様に気泡が残る問題を有
している。又、第２の光学材料として紫外線硬化樹脂、
弾性体、低融点樹脂のいずれかの場合、金型を用いて成
形する必要があり、高価で大きな製造設備が必要とな
る。However, since there is no limitation on the depth of the groove of the diffraction grating, the groove depth of the diffraction grating increases depending on the combination of the two optical materials, and the liquid ultraviolet curable resin is used as the second optical material. Alternatively, when a liquid is used, there is a problem that bubbles remain in the valleys of the diffraction grating. On the other hand, when the second optical material is an elastic body, it is difficult to completely follow the shape of the diffraction grating, and similarly, there is a problem that air bubbles remain. Also, an ultraviolet curable resin as the second optical material,
In the case of either the elastic body or the low melting point resin, it is necessary to mold using a mold, and expensive and large manufacturing equipment is required.
【００１２】特開平１０−２２１５１７号及び同１０−
２２１５１３号公報に記載されている回折光学素子で
は、異なる光学材料の境界面にレリーフパターンが形成
されていないため、回折効率の波長依存特性によっては
色むらや不要次数光によるフレアが発生する問題を有し
ている。JP-A-10-221517 and 10-
In the diffractive optical element described in Japanese Patent No. 221513, since a relief pattern is not formed at a boundary surface between different optical materials, there is a problem that color unevenness or flare due to unnecessary order light occurs depending on the wavelength dependence of diffraction efficiency. Have.
【００１３】特開平１０−３０７２０３号公報に記載さ
れている回折光学素子は、異なる光学材料の境界面にレ
リーフパターンが形成されているが、この回折光学素子
は樹脂層とガラス板とを単に接着するだけであり、光学
特性が何ら考慮されていないため、同様に回折効率の波
長依存特性によっては色むらや不要次数光によるフレア
が発生する問題を有している。In the diffractive optical element described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-307203, a relief pattern is formed on a boundary surface between different optical materials, but this diffractive optical element simply bonds a resin layer and a glass plate. Since no optical characteristics are taken into account, there is a problem that color unevenness and flare due to unnecessary-order light occur similarly depending on the wavelength dependence of the diffraction efficiency.
【００１４】本発明は、このような従来の問題点を考慮
してなされたものであり、気泡の混入を防止すると共
に、精度の高い回折光学素子を提供することを目的とす
る。又、本発明は、この回折光学素子を簡単で安価な製
造設備で製造することが可能な回折光学素子の製造方法
を提供することを目的とする。The present invention has been made in consideration of such conventional problems, and has as its object to provide a highly accurate diffractive optical element while preventing air bubbles from being mixed. It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a diffractive optical element which can be manufactured with simple and inexpensive manufacturing equipment.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の回折光学素子は、使用する波長帯
域で実質的に透明であり、異なった少なくとも２つの第
１及び第２の光学材料が積層されると共に、少なくとも
第１の光学材料の境界面にレリーフパターンが形成され
た回折光学素子であって、前記レリーフパターンの有効
面外に設けられたカバー材当て付け部と、使用する波長
帯域で実質的に透明であり、前記カバー当て付け部に接
合されると共に前記第２の光学材料に積層されるカバー
材と、を備えていることを特徴とする。In order to achieve the above object, the diffractive optical element according to the first aspect of the present invention is substantially transparent in a wavelength band to be used, and has at least two different first and second optical elements. A diffractive optical element having an optical material laminated thereon and a relief pattern formed at least on a boundary surface of the first optical material, wherein a cover material abutting portion provided outside an effective plane of the relief pattern, A cover material that is substantially transparent in a wavelength band of the second optical material and that is bonded to the cover abutting portion and laminated on the second optical material.
【００１６】請求項２の発明は、請求項１記載の発明で
あって、前記カバー材当て付け部が、第１の光学材料又
はカバー材に一体的に形成されていることを特徴とす
る。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the cover material applying portion is formed integrally with the first optical material or the cover material.
【００１７】請求項３の発明は、前記カバー材当て付け
部が、第１の光学材料及びカバー材と別体となってお
り、前記レリーフパターンの有効面外に位置するように
第１の光学材料に固定されることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the cover material abutting portion is separate from the first optical material and the cover material, and the first optical material is positioned outside the effective plane of the relief pattern. It is characterized by being fixed to a material.
【００１８】これらの発明に用いる少なくとも２つの光
学材料は、使用する波長帯域、例えばカメラなどの白色
光を用いる場合は４００〜８００ｎｍで実質的に透明で
あり、設計次数での回折効率が波長によらず高くなよう
に回折効率の波長依存性を低減させるため、高屈折率低
分散材料及び低屈折高分散材料の光学特性を有した組み
合わせが選択される。高屈折率低分散材料としては、ガ
ラスあるいは熱可塑性樹脂が選択され、低屈折率高分散
材料としては紫外線硬化型樹脂あるいは熱硬化性樹脂が
選択される。At least two optical materials used in these inventions are substantially transparent in a wavelength band to be used, for example, 400 to 800 nm when white light is used for a camera or the like, and the diffraction efficiency at the design order is different from the wavelength. In order to reduce the wavelength dependence of the diffraction efficiency so as to be higher, a combination having the optical characteristics of a high refractive index low dispersion material and a low refractive index high dispersion material is selected. Glass or a thermoplastic resin is selected as the high-refractive-index low-dispersion material, and an ultraviolet-curable resin or a thermosetting resin is selected as the low-refractive-index high-dispersion material.
【００１９】２つの光学材料の境界面に形成されるレリ
ーフパターンは、２つの光学材料の光学特性や光学設計
から断面形状、ピッチ、溝の深さが決定される。例え
ば、断面形状としては、ブレーズ、台形、サインカーブ
状、櫛歯状、階段状などが選択され、ピッチは、レンズ
作用を持たせる場合には連続的に変化させ、回折作用を
持たせる場合は等ピッチにする。The cross-sectional shape, pitch, and groove depth of the relief pattern formed on the boundary surface between two optical materials are determined from the optical characteristics and optical design of the two optical materials. For example, as the cross-sectional shape, a blaze, a trapezoid, a sine curve, a comb shape, a step shape, or the like is selected, and the pitch is continuously changed when having a lens effect, and when having a diffractive effect. Make the pitch equal.
【００２０】カバー材は、使用する波長帯域で実質的に
透明であれば特に制限はない。又、その形状は光学設計
に適した任意の形状で良く、光学性能の影響に与えない
単に平板状でも良く、球面あるいは非球面形状等のレン
ズ作用を有していても良い。カバー材の材質としては、
アクリル樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、非晶質ポリ
オレフィンなどの樹脂又はガラスを選択することができ
る。The cover material is not particularly limited as long as it is substantially transparent in the wavelength band used. Further, the shape may be any shape suitable for optical design, may be a simple plate shape which does not affect the optical performance, or may have a lens action such as a spherical or aspherical shape. As the material of the cover material,
Resin such as acrylic resin, polycarbonate (PC), amorphous polyolefin, or glass can be selected.
【００２１】カバー当て付け部は、ポリスチレン（Ｐ
Ｓ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）などを用いることができる．カバー
当て付け部としては、使用する波長帯域で透明である必
要はなく、黒色等の不透明にして遮光性を付与しても良
い。The cover contact portion is made of polystyrene (P
S), polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET) and the like can be used. The cover attaching portion does not need to be transparent in the wavelength band to be used, and may be made opaque such as black to give a light-shielding property.
【００２２】カバー当て付け部は、レリーフパターンの
有効面外に設けられるものであれば、境界面を形成する
光学材料或いはカバー材の片方の面或いは両方の面に対
して設けることができる。カバー当て付け部はレリーフ
パターンの有効面外に位置するものであれば、全周が閉
鎖したリング状や一部が欠けているリング状であっても
良い。又、カバー当て付け部の断面形状に制限はなく、
液状の第２の光学材料を保持でき、カバー材が当て付け
られるものであれば良い。従って、断面形状としては、
平坦状、凸状、ジグザグ状などであっても良い。The cover abutting portion can be provided on one or both surfaces of the optical material or the cover material forming the boundary surface as long as it is provided outside the effective surface of the relief pattern. As long as the cover contact portion is located outside the effective surface of the relief pattern, the cover contact portion may have a ring shape in which the entire circumference is closed or a ring shape in which a part is missing. In addition, there is no restriction on the cross-sectional shape of the cover contact part,
What is necessary is just to be able to hold the liquid second optical material and to apply the cover material. Therefore, the cross-sectional shape
The shape may be flat, convex, zigzag, or the like.
【００２３】カバー当て付け部は、請求項２，請求項３
に記載されるように、いずれかの光学材料又はカバー材
と同一材料で一体的に形成されていても良く、これらと
同一材料あるいは異なる材料を用いてこれらと別体で作
製されても良く、印刷や塗布などの手段によって形成さ
れても良い。[0023] The cover abutting portion may be a second or third aspect.
As described in, may be formed integrally with any optical material or the same material as the cover material, may be manufactured separately from these using the same material or a different material, It may be formed by means such as printing or coating.
【００２４】請求項４の発明の回折光学素子の製造方法
は、使用する波長帯域で実質的に透明であり、異なった
少なくとも２つの第１及び第２の光学材料が積層され、
少なくとも第１の光学材料の境界面にレリーフパターン
が形成された回折光学素子を製造する方法であって、前
記レリーフパターンの有効面外にカバー材当て付け部を
設け、このカバー材当て付け部によって囲まれたレリー
フパターン上に未硬化状態の第２の光学材料を充填した
後、使用する波長帯域で実質的に透明であるカバー材を
前記カバー当て付け部に接合して第２の光学材料に積層
し、その後、第２の光学材料を硬化することを特徴とす
る。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element, wherein at least two different first and second optical materials which are substantially transparent in a wavelength band to be used are laminated,
A method for manufacturing a diffractive optical element having a relief pattern formed on at least a boundary surface of a first optical material, wherein a cover material applying portion is provided outside an effective surface of the relief pattern, and the cover material applying portion After filling the uncured second optical material on the enclosed relief pattern, a cover material that is substantially transparent in the wavelength band to be used is joined to the cover abutting portion to form the second optical material. Laminating and then curing the second optical material.
【００２５】この発明では、第１の光学材料の境界面に
レリーフパターンを形成する。この工程では、ガラス、
熱可塑性樹脂、紫外線硬化型樹脂或いは熱硬化型樹脂に
対し、機械加工、金型を用いた射出成形、ガラスあるい
は樹指の型を用いた注型など任意な方法によつて、少な
くても片面にレリーフパターンを有する第１の光学材料
作製する。According to the present invention, a relief pattern is formed on the boundary surface of the first optical material. In this process, glass,
At least one side of the thermoplastic resin, ultraviolet curable resin or thermosetting resin by any method such as machining, injection molding using a mold, or casting using a glass or tree finger mold. First, a first optical material having a relief pattern is prepared.
【００２６】次に、第１の光学材料におけるレリーフパ
ターンの有効面外にカバー材当て付け部を設ける。この
場合は、第１の光学材料におけるレリーフパターンの有
効面外に対し、インク、接着剤、液状樹脂あるいはペー
ストなどの材料をスクリーン印刷或いはレリーフパター
ン面にマスキングを施した状態でスプレー塗布、浸漬塗
布などを行うことにより、カバー材当て付け部を所定の
厚さで形成する。Next, a cover material applying portion is provided outside the effective surface of the relief pattern in the first optical material. In this case, a material such as an ink, an adhesive, a liquid resin, or a paste is screen-printed or mask-coated on the relief pattern surface, and spray-coated or dip-coated on the outside of the effective surface of the relief pattern in the first optical material. By performing such operations, the cover material applying portion is formed with a predetermined thickness.
【００２７】次に、レリーフパターン面の有効面であ
り、カバー材当て付け部に囲まれた部分に、未硬化の第
２の光学材料を充填する。この充填は、注射器を用いて
適量を滴下したり、スプレー塗布あるいは浸漬塗布など
の任意な方法で行うことができる。この場合、気泡の巻
き込みを防止し、塗布量や膜厚の調整などを容易にする
ため、第２の光学材料を有機溶剤で希釈しても良い。加
温して粘度を低下させて気泡の除去を促進しても良い。
さらに、第２の光学材料の充填の後、真空状態に一定時
間保持し、その後大気圧に戻す操作を１回あるいは数回
繰り返すことにより、レリーフパターンの谷部などに残
っている気泡を効果的に除することができる。Next, an uncured second optical material is filled into a portion, which is an effective surface of the relief pattern surface and is surrounded by the cover material application portion. This filling can be performed by an arbitrary method such as dropping an appropriate amount using a syringe, spray coating or dip coating. In this case, the second optical material may be diluted with an organic solvent to prevent entrapment of air bubbles and to facilitate adjustment of the coating amount and the film thickness. The removal of air bubbles may be promoted by lowering the viscosity by heating.
Further, after filling the second optical material, the operation of maintaining the vacuum state for a certain period of time and then returning to the atmospheric pressure once or several times is repeated, so that the air bubbles remaining in the valleys of the relief pattern can be effectively removed. Can be divided.
【００２８】その後、第２の光学材料の上にカバー材を
積層する。このとき、第２の光学材料の内部に気泡を巻
き込まないようにゆっくり重ねるなどの工夫を行う。
又、カバー材をカバー材当て付け部に当て付けながら積
層し、カバー材当て付け部にカバー材を接合する。な
お、第２の光学材料がレンズ作用など何らかの光学作用
を有するような回折光学素子を製造する場合は、第１の
光学材料に形成されたレリーフパターンと光軸を一致さ
せる必要があるため、治具あるいは芯出し装置などを用
いると良い。Thereafter, a cover material is laminated on the second optical material. At this time, a contrivance such as slowly overlapping the second optical material so that air bubbles are not caught in the inside is performed.
Further, the cover material is laminated while being applied to the cover material application portion, and the cover material is joined to the cover material application portion. In the case of manufacturing a diffractive optical element in which the second optical material has some optical function such as a lens function, it is necessary to align the optical axis with the relief pattern formed on the first optical material. It is preferable to use a tool or a centering device.
【００２９】以上の回折光学素子の製造方法では、第２
の光学材料を積層する際に高価で大きな成形設備が不要
で、しかもレリーフパターンの谷部に気泡が残ることな
く製造することができる。特に、治具や芯出し装置を用
いることにより、回折格子と光学作用の２つを有する高
機能を有した回折光学素子を高精度に製造することがで
きる。In the above method of manufacturing a diffractive optical element, the second
When laminating the above optical materials, expensive and large molding equipment is not required, and the optical material can be manufactured without leaving bubbles in the valleys of the relief pattern. In particular, by using a jig and a centering device, a highly functional diffractive optical element having a diffraction grating and an optical function can be manufactured with high accuracy.
【００３０】請求項５の発明の回折光学素子の製造方法
は、使用する波長帯域で実質的に透明であり、異なった
少なくとも２つの第１及び第２の光学材料が積層され、
少なくとも第１の光学材料の境界面にレリーフパターン
が形成された回折光学素子を製造する方法であって、前
記レリーフパターンの有効面外にカバー材当て付け部を
設け、使用する波長帯域で実質的に透明であるカバー材
を前記カバー当て付け部に接合して第１の光学材料とカ
バー材との間に空間を形成した後、前記空間内に未硬化
状態の第２の光学材料を充填して硬化することを特徴と
する。According to a fifth aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing a diffractive optical element, wherein at least two different first and second optical materials are substantially transparent in a wavelength band to be used, and
A method for manufacturing a diffractive optical element having a relief pattern formed on at least a boundary surface of a first optical material, wherein a cover material abutting portion is provided outside an effective surface of the relief pattern, and substantially in a wavelength band to be used. After a transparent cover material is joined to the cover contact portion to form a space between the first optical material and the cover material, the space is filled with an uncured second optical material. It is characterized by being cured.
【００３１】この発明の回折光学素子の製造では、請求
項４の製造方法と同様に、第１の光学材料にレリーフパ
ターンを形成した後、レリーフパターンの有効面外にカ
バー材当て付け部を設ける。なお、この発明において
は、カバー材当て付け部としては、一部に切り欠き部を
設けたものを用いることが良好である。In the manufacturing of the diffractive optical element according to the present invention, similarly to the manufacturing method of the fourth aspect, after forming a relief pattern on the first optical material, a cover material applying portion is provided outside the effective surface of the relief pattern. . In the present invention, it is preferable to use a part provided with a cutout part as the cover material applying part.
【００３２】その後、カバー材を積層する。この積層に
よって第１の光学材料、カバー材当て付け部及びカバー
材によって囲まれた空間が形成される。次に、これを適
当な治具を用いて保持して真空槽内に投入し、槽内を負
圧または真空にする。真空度は第２の光学材料の粘度、
タクトタイム、真空槽の大ききなどにより、適宜選択す
ることができ、例えば、０．０１〜７００ｔｏｒｒ程度
の真空度が良好である。このとき、切り欠き部を、液状
の第２の光学材料にわずかに浸漬させて数秒間保持す
る。なお、気泡の巻き込みを防止するため、第２の光学
材料は十分に脱泡しておく。また粘度調整のため加温し
て低粘度化しても良い。Thereafter, a cover material is laminated. By this lamination, a space surrounded by the first optical material, the cover material applying section, and the cover material is formed. Next, this is held by using a suitable jig and put into a vacuum tank, and the inside of the tank is made negative pressure or vacuum. The degree of vacuum is the viscosity of the second optical material,
It can be appropriately selected depending on the tact time, the size of the vacuum tank, and the like. For example, a degree of vacuum of about 0.01 to 700 torr is good. At this time, the notch is slightly immersed in the liquid second optical material and held for several seconds. Note that the second optical material is sufficiently defoamed to prevent entrapment of air bubbles. In addition, the viscosity may be reduced by heating to adjust the viscosity.
【００３３】毛管現象によって第２の光学材料が第１の
光学材料、カバー材当て付け部及びカバー材によって形
成されている空間内に侵入した後、真空槽内を大気圧に
戻す。次に、切り欠き部に付着した第２の光学材料を除
去した後、切り欠き部をカバー材当て付け部と同種ある
いは異種の材料により封止する。そして、第２の光学材
料を硬化させて回折光学素子とする。After the second optical material enters the space formed by the first optical material, the cover material applying section and the cover material by capillary action, the inside of the vacuum chamber is returned to the atmospheric pressure. Next, after removing the second optical material adhered to the cutout portion, the cutout portion is sealed with a material of the same or different type as the cover material application portion. Then, the second optical material is cured to form a diffractive optical element.
【００３４】この方法によれば、レリーフパターンの谷
部に気泡が混入することをより確実に防止できるとも
に、真空槽内での注入のため、第２の光学材料に塵など
の異物が侵入することを防止することができる。According to this method, air bubbles can be more reliably prevented from entering the valleys of the relief pattern, and foreign matter such as dust enters the second optical material due to the injection in the vacuum chamber. Can be prevented.
【００３５】なお、以上の発明の製造方法では、カバー
当て付け部を第１光学材料と別個に作製した後、レリー
フパターンの有効面外に固定しても良い。すなわち、カ
バー材当て付け部としては、樹脂を所定の径に打ち抜く
などあらかじめ任意な方法で製作しておき、このカバー
材当て付け部を第１の光学材料のレリーフパターンの有
効面外に接着などによって積層することができる。この
方法によれば、カバー材当て付け部を単独で製作するの
で、厚さや形状などの寸法を精度良くすることが可能で
ある。In the manufacturing method of the present invention, the cover abutting portion may be formed separately from the first optical material and then fixed outside the effective surface of the relief pattern. That is, the cover material application portion is manufactured in advance by an arbitrary method such as punching a resin to a predetermined diameter, and the cover material application portion is bonded to the outside of the effective surface of the relief pattern of the first optical material. Can be laminated. According to this method, since the cover material abutting portion is manufactured independently, it is possible to improve the dimensions such as the thickness and the shape with high accuracy.
【００３６】[0036]
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１に本発明の
実施の形態１の回折光学素子を示す。第１の光学材料３
及び第２の光学材料４は、使用する波長帯域で実質的に
透明な材質が使用される。これらの光学材料３及び４の
境界面には、レリーフパターン５が形成されている。レ
リーフパターン５は第１の光学材料３に形成されるもの
である。(Embodiment 1) FIG. 1 shows a diffractive optical element according to Embodiment 1 of the present invention. First optical material 3
As the second optical material 4, a material that is substantially transparent in a wavelength band to be used is used. A relief pattern 5 is formed on the interface between the optical materials 3 and 4. The relief pattern 5 is formed on the first optical material 3.
【００３７】第２の光学材料４には、カバー材６が積層
される。カバー材６は両面が平面となるように形成され
ている。このカバー材６には、レリーフパターン５の有
効面外で垂下する脚部６ａが一体的に形成されており、
この脚部６ａが第１の光学材料３におけるレリーフパタ
ーン５の有効面外に当接することにより、カバー材当て
付け部７となっている。従って、カバー材当て付け部７
はカバー材６に一体的に形成されるものである。なお、
この実施の形態の回折光学素子は、後述する実施の形態
３と同様な方法で製造されるものである。The cover material 6 is laminated on the second optical material 4. The cover member 6 is formed such that both surfaces are flat. The cover member 6 is integrally formed with legs 6a that hang down outside the effective plane of the relief pattern 5,
The leg 6a comes into contact with the outside of the effective surface of the relief pattern 5 of the first optical material 3 to form the cover material applying section 7. Therefore, the cover material applying section 7
Is formed integrally with the cover member 6. In addition,
The diffractive optical element of this embodiment is manufactured by a method similar to that of a third embodiment described later.
【００３８】（実施の形態２）図２は実施の形態２の回
折光学素子を示し、第１の光学材料８と第２の光学材料
９の境界面にレリーフパターン１０が存在している点は
実施の形態１と同様であるが、カバー材１１はレンズ作
用を持たせるため、上面が非球面の凹面になっている。
なお、カバー材１１の下面は平面に成形されている。
又、第１の光学材料８の外周部からは、周壁部８ａが起
立しる。周壁部８ａはレリーフパターン１０の有効面外
から起立しており、その上端部にカバー材１１の下面が
当接している。従って、この実施の形態では、周壁部８
ａがカバー材当て付け部１２となるものであり、カバー
材当て付け部１２は第１の光学材料８と一体的に形成さ
れている。(Embodiment 2) FIG. 2 shows a diffractive optical element according to Embodiment 2, in which a relief pattern 10 exists at a boundary surface between a first optical material 8 and a second optical material 9. As in the first embodiment, the upper surface of the cover member 11 is an aspherical concave surface so as to have a lens function.
The lower surface of the cover member 11 is formed to be flat.
Further, a peripheral wall portion 8a stands upright from the outer peripheral portion of the first optical material 8. The peripheral wall portion 8a stands up from outside the effective plane of the relief pattern 10, and the lower surface of the cover member 11 is in contact with the upper end thereof. Therefore, in this embodiment, the peripheral wall portion 8
“a” is the cover material applying portion 12, and the cover material applying portion 12 is formed integrally with the first optical material 8.
【００３９】図３はこの実施の形態の変形々態を示す。
この形態では、レンズ作用を付与するため、カバー材１
８の上面が凸面となっているものであり、カバー材１８
の下面は平面に成形されており、この下面が第２の光学
材料１４に積層されている。FIG. 3 shows a modification of this embodiment.
In this embodiment, a cover material 1
8 has a convex upper surface.
Is formed in a flat surface, and this lower surface is laminated on the second optical material 14.
【００４０】図３に示すように、低融点ガラスである第
１の光学材料１３と、紫外線硬化型樹脂である第２の光
学材料１４の境界面には、外側ほどピッチが小さくなる
ようなレリーフパターン１５が存在している。カバー材
当て付け部１６は、厚さ２０μｍのポリスチレンフィル
ムを幅１ｍｍのリング状に打ち抜くことにより、別途作
製されるものであり、閉空間を形成するように封鎖され
たリング状となっている。このカバー材当て付け部１６
が第１の光学材料１３におけるレリーフパターン１５の
有効面外に当接される。従って、この形態では、カバー
材当て付け部１６は第１の光学材料１３及びカバー材１
８とは別個に作製され、この作製の後、回折光学素子を
製造するために使用されるものである。As shown in FIG. 3, the relief between the first optical material 13 which is a low melting glass and the second optical material 14 which is an ultraviolet curable resin is such that the pitch becomes smaller toward the outside. Pattern 15 exists. The cover material applying portion 16 is separately manufactured by punching a 20-μm-thick polystyrene film into a ring shape having a width of 1 mm, and has a closed ring shape so as to form a closed space. This cover material applying section 16
Are in contact with the first optical material 13 outside the effective plane of the relief pattern 15. Therefore, in this embodiment, the cover material applying section 16 includes the first optical material 13 and the cover material 1.
8 is manufactured separately, and after this manufacturing, it is used for manufacturing a diffractive optical element.
【００４１】次に、図３の回折光学素子の製造方法を説
明する。なお、図２の回折光学素子の製造は、図３の製
造におけるカバー材当て付け部１６の取り付けをなくす
だけで同様に行うことが可能である。Next, a method of manufacturing the diffractive optical element shown in FIG. 3 will be described. The production of the diffractive optical element shown in FIG. 2 can be performed in the same manner as in the production shown in FIG.
【００４２】まず、片面を所望の鋸歯形状のレリーフパ
ターン１５、他の片面を平面にする成形型を用いること
により、片方の面にレリーフパターン１５を有する第１
の光学材料１３を成形する。次に、ポリスチレンフィル
ムを打ち抜いて別途製作したカバー材当て付け部１６を
レリーフパターン１５の有効面外に接着する。First, a relief pattern 15 having a desired sawtooth shape on one side and a mold having a flat surface on the other side are used to form a first pattern having the relief pattern 15 on one side.
Is molded. Next, a polystyrene film is punched out, and a cover material applying portion 16 separately manufactured is bonded to the outside of the effective surface of the relief pattern 15.
【００４３】次に、カバー材当て付け部１６によって囲
まれているレリーフパターン１５上に液状の紫外線硬化
型樹脂からなる第２の光学材料１４を注射器を用いて所
定量滴下し、その上にアクリル樹脂からなる凸レンズ形
状のカバー部材１８を、心出し接合機を用いてレリーフ
パターン１５のパターン心と一致させるように位置出し
して積層する。その後、紫外線硬化型樹脂に紫外線（２
０００ｍＪ）を６０秒間照射し、第２の光学材料１４を
硬化させる。これにより、低融点ガラスおよび紫外線硬
化型樹脂からなり、境界面にレリーフパターンを有した
回折光学素子を製造する。Next, a predetermined amount of a second optical material 14 made of a liquid ultraviolet-curable resin is dropped on the relief pattern 15 surrounded by the cover material applying section 16 by using a syringe, and acrylic resin is further dropped thereon. A convex lens-shaped cover member 18 made of resin is positioned and laminated using a centering bonding machine so as to match the pattern center of the relief pattern 15. Then, the ultraviolet ray (2
000 mJ) for 60 seconds to cure the second optical material 14. Thus, a diffractive optical element made of low-melting glass and an ultraviolet-curable resin and having a relief pattern on the boundary surface is manufactured.
【００４４】この実施の形態では、別途作製したカバー
材当て付け部１６をレリーフパターン１５の有効面外に
接着し、レリーフパターン１５上に、第２の光学材料１
４を滴下するだけで、透明なカバー材１８と第１の光学
材料１３との空間部分に所定の厚さの第２の光学材料を
１４を形成することができる。従って、第２の光学材料
１４を形成するために、成形機等の高価な設備を用いる
必要なく、安価な生産設備で高精度の回折光学を製造す
ることができる。In this embodiment, the cover material applying portion 16 separately manufactured is bonded to the outside of the effective surface of the relief pattern 15, and the second optical material 1 is placed on the relief pattern 15.
The second optical material 14 having a predetermined thickness can be formed in the space between the transparent cover member 18 and the first optical material 13 only by dropping the 4. Therefore, in order to form the second optical material 14, it is not necessary to use expensive equipment such as a molding machine, and high-precision diffraction optics can be manufactured with inexpensive production equipment.
【００４５】（実施の形態３）図４は実施の形態４の回
折光学素子を示す。低融点ガラスからなる第１の光学材
料１９と、紫外線硬化型樹脂からなる第２の光学材料２
０の境界面には、外側ほどピッチが小さくなるレリーフ
パターン２１が設けられている。レリーフパターン２１
の有効面外には、エポキシ系インクをスクリーン印刷し
た幅３００μｍ、膜厚３０μｍのカバー材当て付け部２
２が設けられている。このカバー材当て付け部２２は、
リング状となっているが、その一部には、切り欠き部２
３（図５参照）が形成されている。カバー材２３はポリ
オレフィン系樹脂によって両面が平面となるように成形
されている。このカバー材２３はカバー材当て付け部２
２に当接している。(Embodiment 3) FIG. 4 shows a diffractive optical element of Embodiment 4. A first optical material 19 made of low melting point glass and a second optical material 2 made of ultraviolet curable resin
On the boundary surface of 0, a relief pattern 21 whose pitch becomes smaller toward the outside is provided. Relief pattern 21
Outside of the effective surface, a cover material applying portion 2 having a width of 300 μm and a thickness of 30 μm obtained by screen-printing an epoxy-based ink.
2 are provided. The cover material applying section 22 includes:
Although it has a ring shape, it has a cutout 2
3 (see FIG. 5). The cover member 23 is formed of a polyolefin resin so that both surfaces are flat. The cover member 23 is a cover member application section 2
It is in contact with 2.
【００４６】図５〜図８はこの実施の形態の製造工程を
示す。まず、実施の形態２と同様に、片面にレリーフパ
ターン２１を有する第１の光学材料１９を成形する。FIGS. 5 to 8 show the manufacturing steps of this embodiment. First, as in the second embodiment, the first optical material 19 having the relief pattern 21 on one side is formed.
【００４７】次に、図５に示すように、レリーフパター
ン２１の有効面外にエポキシ系インクをスクリーン印刷
して幅３００μｍ、膜厚３０μｍのカバー材当て付け部
２２を形成する。このときには、カバー材当て付け部２
２の一部に切り欠き部部２３を設け、全周には印刷しな
い。Next, as shown in FIG. 5, an epoxy-based ink is screen-printed outside the effective surface of the relief pattern 21 to form a cover material applying section 22 having a width of 300 μm and a thickness of 30 μm. At this time, the cover material applying section 2
2, a notch 23 is provided, and printing is not performed on the entire circumference.
【００４８】次に、図６で示すように、非晶質ポリオレ
フィン系樹脂からなる両平面のカバー材２３をカバー材
当て付け部２２に当接するように被せる。これにより、
第１の光学材料１９、カバー材当て付け部２２及びカバ
ー材２３の間に、一部が開いた空間２８が形成される。Next, as shown in FIG. 6, a cover member 23 made of an amorphous polyolefin resin on both flat surfaces is covered so as to abut on the cover member abutting portion 22. This allows
A partially open space 28 is formed between the first optical material 19, the cover material applying section 22, and the cover material 23.
【００４９】そして、図６の素子を、図７に示すように
切り欠き部２３が下になるように、保持治具２４を用い
て保持して真空槽２５に投入し槽内を真空とする。真空
槽２５の内部には、浸漬槽２６が設けられている。浸漬
槽２６には、第２の光学材料とするための液状の紫外線
硬化型樹脂２０が貯留されている。Then, the device shown in FIG. 6 is held by using a holding jig 24 so that the notch 23 is located downward as shown in FIG. . An immersion tank 26 is provided inside the vacuum tank 25. The immersion tank 26 stores a liquid ultraviolet curable resin 20 for use as a second optical material.
【００５０】そして、切り欠き部２３を紫外線硬化型樹
脂２０に僅かに浸漬させて数秒間保持し、紫外線硬化型
樹脂２０が第１の光学材料１９、カバー材当て付け部２
２及びカバー材２３に囲まれた空間２８に侵入した時点
で、真空槽２５の圧力を大気圧に戻す。完全に紫外線硬
化型樹脂２０が空間２８内に充填されたことを確認した
後、紫外線硬化型樹脂２０から引き上げ、切り欠き部２
３の周辺に付着している紫外線硬化型樹脂２０を拭き取
る。次に、図８に示すように、エポキシ系接着剤２９を
用いて切り欠き部２３を封止し、その後、紫外線硬化型
樹脂２０を硬化して第２の光学材料２０とする。Then, the notch 23 is slightly immersed in the ultraviolet curable resin 20 and held for a few seconds, so that the ultraviolet curable resin 20 is applied to the first optical material 19 and the cover material applying section 2.
The pressure in the vacuum chamber 25 is returned to the atmospheric pressure when it enters the space 28 surrounded by 2 and the cover member 23. After confirming that the ultraviolet curable resin 20 is completely filled in the space 28, the resin is pulled up from the ultraviolet curable resin 20, and the notch 2
The ultraviolet curable resin 20 adhering to the periphery of 3 is wiped off. Next, as shown in FIG. 8, the notch 23 is sealed with an epoxy adhesive 29, and thereafter, the ultraviolet curable resin 20 is cured to form the second optical material 20.
【００５１】この実施の形態では、レリーフパターン２
１の谷部に気泡が混入することをさらに確実に防止でき
るともに、真空槽内での注入のため第２の光学材料２０
に塵などの異物が混入することも防止できる。In this embodiment, the relief pattern 2
It is possible to more reliably prevent air bubbles from being mixed into the valleys of the first optical material 20 and to inject the second optical material 20 in the vacuum chamber.
It is also possible to prevent foreign matter such as dust from being mixed into the air.
【００５２】[0052]
【発明の効果】請求項１〜３の発明によれば、気泡の混
入を防止でき、精度の高く、色収差等に収差を低減させ
ることが可能な回折光学素子とすることができる。According to the first to third aspects of the present invention, it is possible to provide a diffractive optical element capable of preventing air bubbles from being mixed, having high accuracy, and capable of reducing chromatic aberration and the like.
【００５３】請求項４〜７の発明によれば、気泡の混入
のない精度の高い回折光学素子を簡単で安価な製造設備
で製造することができる。According to the fourth to seventh aspects of the present invention, a highly accurate diffractive optical element free from air bubbles can be manufactured with simple and inexpensive manufacturing equipment.
【図１】本発明の実施の形態１の回折光学素子の断面図
である。FIG. 1 is a sectional view of a diffractive optical element according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態２の回折光学素子の断面図
である。FIG. 2 is a sectional view of a diffractive optical element according to a second embodiment of the present invention.
【図３】実施の形態２の変形々態の回折光学素子の断面
図である。FIG. 3 is a sectional view of a diffractive optical element according to a modification of the second embodiment.
【図４】本発明の実施の形態３の回折光学素子の断面図
である。FIG. 4 is a sectional view of a diffractive optical element according to a third embodiment of the present invention.
【図５】実施の形態３における第１の光学材料の平面図
である。FIG. 5 is a plan view of a first optical material according to a third embodiment.
【図６】実施の形態３の製造工程の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a manufacturing process according to a third embodiment.
【図７】実施の形態３の製造工程における紫外線硬化型
樹脂の充填時の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view at the time of filling with an ultraviolet curable resin in a manufacturing process according to Embodiment 3.
【図８】実施の形態３の製造工程における紫外線硬化型
樹脂の充填後の平面図である。FIG. 8 is a plan view after filling with an ultraviolet curable resin in a manufacturing process of a third embodiment.
【図９】レリーフパターンを有する回折光学素子の部分
断面図である。FIG. 9 is a partial sectional view of a diffractive optical element having a relief pattern.
３ ８ １３ １９ 第１の光学材料 ４ ９ １４ ２０ 第２の光学材料 ５ １０ １５ ２１ レリーフパターン ６ １１ １８ ２３ カバー材 ７ １２ １６ ２２ カバー材当て付け部 3 8 13 19 First optical material 4 9 14 20 Second optical material 5 10 15 21 Relief pattern 6 11 18 23 Cover material 7 12 16 22 Cover material application part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H049 AA03 AA04 AA43 AA45 AA51 AA63 AA64 AA68 4F204 AG03 AH73 EA03 EB01 EB11 EF27 EK06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H049 AA03 AA04 AA43 AA45 AA51 AA63 AA64 AA68 4F204 AG03 AH73 EA03 EB01 EB11 EF27 EK06
Claims (7)
り、異なった少なくとも２つの第１及び第２の光学材料
が積層されると共に、少なくとも第１の光学材料の境界
面にレリーフパターンが形成された回折光学素子であっ
て、 前記レリーフパターンの有効面外に設けられたカバー材
当て付け部と、 使用する波長帯域で実質的に透明であり、前記カバー当
て付け部に接合されると共に前記第２の光学材料に積層
されるカバー材と、を備えていることを特徴とする回折
光学素子。At least two different first and second optical materials are substantially transparent in a wavelength band to be used, and a relief pattern is formed at least at an interface between the first optical materials. A diffractive optical element, wherein the cover pattern is provided outside the effective surface of the relief pattern, and is substantially transparent in a wavelength band to be used, and is bonded to the cover pattern and And a cover material laminated on the second optical material.
材料又はカバー材に一体的に形成されていることを特徴
とする請求項１記載の回折光学素子。2. The diffractive optical element according to claim 1, wherein the cover material applying section is formed integrally with the first optical material or the cover material.
材料及びカバー材と別体となっており、前記レリーフパ
ターンの有効面外に位置するように第１の光学材料に固
定されることを特徴とする請求項１記載の回折光学素
子。3. The cover material applying section is separate from the first optical material and the cover material, and is fixed to the first optical material so as to be located outside an effective surface of the relief pattern. 2. The diffractive optical element according to claim 1, wherein:
り、異なった少なくとも２つの第１及び第２の光学材料
が積層され、少なくとも第１の光学材料の境界面にレリ
ーフパターンが形成された回折光学素子を製造する方法
であって、 前記レリーフパターンの有効面外にカバー材当て付け部
を設け、このカバー材当て付け部によって囲まれたレリ
ーフパターン上に未硬化状態の第２の光学材料を充填し
た後、使用する波長帯域で実質的に透明であるカバー材
を前記カバー当て付け部に接合して第２の光学材料に積
層し、その後、第２の光学材料を硬化することを特徴と
する回折光学素子の製造方法。4. At least two different first and second optical materials that are substantially transparent in a wavelength band to be used are laminated, and a relief pattern is formed at least at an interface between the first optical materials. A method for manufacturing a diffractive optical element, comprising: providing a cover material abutting portion outside an effective surface of the relief pattern; and forming an uncured second optical material on the relief pattern surrounded by the cover material abutting portion. After filling, a cover material that is substantially transparent in the wavelength band to be used is bonded to the cover abutting portion and laminated on the second optical material, and thereafter, the second optical material is cured. Of manufacturing a diffractive optical element.
り、異なった少なくとも２つの第１及び第２の光学材料
が積層され、少なくとも第１の光学材料の境界面にレリ
ーフパターンが形成された回折光学素子を製造する方法
であって、 前記レリーフパターンの有効面外にカバー材当て付け部
を設け、使用する波長帯域で実質的に透明であるカバー
材を前記カバー当て付け部に接合して第１の光学材料と
カバー材との間に空間を形成した後、前記空間内に未硬
化状態の第２の光学材料を充填して硬化することを特徴
とする回折光学素子の製造方法。5. At least two different first and second optical materials, which are substantially transparent in a wavelength band to be used, are laminated, and a relief pattern is formed at least at an interface between the first optical materials. A method for manufacturing a diffractive optical element, comprising: providing a cover material applying portion outside the effective surface of the relief pattern, and bonding a cover material that is substantially transparent in a wavelength band to be used to the cover applying portion. A method for manufacturing a diffractive optical element, comprising: after forming a space between a first optical material and a cover material, filling the space with an uncured second optical material and curing.
するように前記カバー当て付け部を第１の光学材料に一
体的に形成することを特徴とする請求項４又は５記載の
回折光学素子の製造方法。6. The diffractive optical element according to claim 4, wherein the cover abutting portion is formed integrally with the first optical material so as to be located outside an effective plane of the relief pattern. Production method.
料と別個に作製した後、前記レリーフパターンの有効面
外に固定することを特徴とする請求項４又５記載の回折
光学素子の製造方法。7. The method of manufacturing a diffractive optical element according to claim 4, wherein the cover abutting portion is formed separately from the first optical material, and then fixed outside an effective plane of the relief pattern. Method.
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002166432A (en) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Asahi Optical Co Ltd | Method for producing lens and molding cell used for the same |
| JP2004213006A (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-29 | Samsung Electronics Co Ltd | Hybrid achromatic optical lens and its manufacturing method |
| WO2007145115A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Composite optical element and method for manufacturing same |
| WO2007145116A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Composite optical element and method for manufacturing same |
| WO2007145117A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Compound lens and method for manufacturing same |
-
2000
- 2000-04-11 JP JP2000109237A patent/JP2001296414A/en active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002166432A (en) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Asahi Optical Co Ltd | Method for producing lens and molding cell used for the same |
| JP2004213006A (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-29 | Samsung Electronics Co Ltd | Hybrid achromatic optical lens and its manufacturing method |
| US7298554B2 (en) | 2002-12-31 | 2007-11-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Hybrid achromatic optical lens and method for manufacturing the same |
| WO2007145115A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Composite optical element and method for manufacturing same |
| WO2007145116A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Composite optical element and method for manufacturing same |
| WO2007145117A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Panasonic Corporation | Compound lens and method for manufacturing same |
| US7859772B2 (en) | 2006-06-13 | 2010-12-28 | Panasonic Corporation | Composite optical element and method for manufacturing the same |
| US8111470B2 (en) | 2006-06-13 | 2012-02-07 | Panasonic Corporation | Composite lens and method for manufacturing the same |
| JP5159621B2 (en) * | 2006-06-13 | 2013-03-06 | パナソニック株式会社 | Compound lens and manufacturing method thereof |
| JP5159620B2 (en) * | 2006-06-13 | 2013-03-06 | パナソニック株式会社 | Compound optical element |
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