JP2001296320A - プローブユニット及び計測装置 - Google Patents
プローブユニット及び計測装置Info
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- probe unit
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/36—Overload-protection arrangements or circuits for electric measuring instruments
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06788—Hand-held or hand-manipulated probes, e.g. for oscilloscopes or for portable test instruments
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06766—Input circuits therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回路基板に帯電した静電気による計測器の破
壊を防止し得るプローブユニット等を提供すること。 【解決手段】 回路基板１００上の回路配線１０１に接
触する一対のピン１ａ及び１ｂを有するプローブユニッ
トにおいて、ピン１ａと１ｂとの間を電気的に切り離し
可能に短絡するスイッチ１ｄを設け、ピン１ａ及び１ｂ
を回路配線１０１に接触する瞬間には、スイッチ１ｄを
閉じてピン１ａ及び１ｂを短絡させることにより、静電
気をＧＮＤに逃がし、その後、スイッチ１ｄを開いて計
測を行う。
壊を防止し得るプローブユニット等を提供すること。 【解決手段】 回路基板１００上の回路配線１０１に接
触する一対のピン１ａ及び１ｂを有するプローブユニッ
トにおいて、ピン１ａと１ｂとの間を電気的に切り離し
可能に短絡するスイッチ１ｄを設け、ピン１ａ及び１ｂ
を回路配線１０１に接触する瞬間には、スイッチ１ｄを
閉じてピン１ａ及び１ｂを短絡させることにより、静電
気をＧＮＤに逃がし、その後、スイッチ１ｄを開いて計
測を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板の回路配
線の特性を計測するためのプローブユニット及び計測装
置に関し、特に、回路配線間のインピーダンスを計測す
るのに好適なプローブユニットおよび計測装置に関す
る。
線の特性を計測するためのプローブユニット及び計測装
置に関し、特に、回路配線間のインピーダンスを計測す
るのに好適なプローブユニットおよび計測装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子機器の処理速度の高速化に伴
い、回路基板の回路配線には、高周波な電気信号が印加
される。このため、回路配線間、特に、ＧＮＤパターン
と他のパターンとの間のインピーダンスを計測し、該回
路配線が回路を正常に動作させることができるかを検査
することが必要とされている。
い、回路基板の回路配線には、高周波な電気信号が印加
される。このため、回路配線間、特に、ＧＮＤパターン
と他のパターンとの間のインピーダンスを計測し、該回
路配線が回路を正常に動作させることができるかを検査
することが必要とされている。
【０００３】従来のインピーダンスの計測装置を図４に
より説明する。
より説明する。
【０００４】計測装置は、プローブユニット２０１と、
計測器２０２と、からなる。
計測器２０２と、からなる。
【０００５】プローブユニット２０１は、計測の対象と
なる２つの回路配線１０１にそれぞれ接触する一対のピ
ン２０１ａ及び２０１ｂを備え、各ピン２０１ａ又は２
０１ｂは、計測器の計測信号の送受信端子２０２ａとＧ
ＮＤ端子２０２ｂとにそれぞれ接続される。
なる２つの回路配線１０１にそれぞれ接触する一対のピ
ン２０１ａ及び２０１ｂを備え、各ピン２０１ａ又は２
０１ｂは、計測器の計測信号の送受信端子２０２ａとＧ
ＮＤ端子２０２ｂとにそれぞれ接続される。
【０００６】計測においては、一対のピン２０１ａ及び
２０１ｂを回路配線１０１にそれぞれ接触させ、計測器
２０２の送受信端子２０２ａからピン２０１ａを介して
回路配線に計測信号を発して、その反射波を同じくピン
を介して送受信端子２０２ａにおいて受信し、観察・計
算することによりインピーダンスが計測される。
２０１ｂを回路配線１０１にそれぞれ接触させ、計測器
２０２の送受信端子２０２ａからピン２０１ａを介して
回路配線に計測信号を発して、その反射波を同じくピン
を介して送受信端子２０２ａにおいて受信し、観察・計
算することによりインピーダンスが計測される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の回路基板
は、実装密度の向上等の観点からいわゆる多層基板化が
進んでいる。このような多層基板は、導体としての回路
配線が積層されることにより、キャパシタンスが存在
し、静電気が高電圧で帯電しやすい。
は、実装密度の向上等の観点からいわゆる多層基板化が
進んでいる。このような多層基板は、導体としての回路
配線が積層されることにより、キャパシタンスが存在
し、静電気が高電圧で帯電しやすい。
【０００８】このため、プローブユニットのピンを回路
配線に接触させると、回路基板に蓄積された静電気が計
測器へ突入し、計測器の破壊の一因となっており、これ
を防止する必要がある。
配線に接触させると、回路基板に蓄積された静電気が計
測器へ突入し、計測器の破壊の一因となっており、これ
を防止する必要がある。
【０００９】静電気による計測器の破壊を防止する方法
としては、例えば、いわゆるイオンブロアーによる回路
基板の帯電除去が提案されているが、この手法によれば
回路基板の表層の静電気は除去できても、内層の静電気
は除去しきれない場合がある。
としては、例えば、いわゆるイオンブロアーによる回路
基板の帯電除去が提案されているが、この手法によれば
回路基板の表層の静電気は除去できても、内層の静電気
は除去しきれない場合がある。
【００１０】従って、本発明の目的は、回路基板に帯電
した静電気による計測器の破壊を防止し得るプローブユ
ニット及び計測装置を提供することにある。
した静電気による計測器の破壊を防止し得るプローブユ
ニット及び計測装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を達成するための手段】本発明によれば、回路基
板上の回路配線に接触する一対の接触部材を有するプロ
ーブユニットにおいて、前記接触部材間を電気的に切り
離し可能に短絡する短絡手段を備えたことを特徴とする
プローブユニットが提供される。
板上の回路配線に接触する一対の接触部材を有するプロ
ーブユニットにおいて、前記接触部材間を電気的に切り
離し可能に短絡する短絡手段を備えたことを特徴とする
プローブユニットが提供される。
【００１２】この場合、前記短絡手段は、少なくとも前
記接触部材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記２
つの部材間を電気的に短絡することができる。
記接触部材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記２
つの部材間を電気的に短絡することができる。
【００１３】また、前記短絡手段は、前記回路配線の計
測時に、前記接触部材間を電気的に切り離すことができ
る。
測時に、前記接触部材間を電気的に切り離すことができ
る。
【００１４】また、本発明によれば、回路基板上の回路
配線に接触する一対の接触部材を有するプローブユニッ
トにおいて、前記接触部材が前記回路配線に接触した
際、前記回路配線へ向かう方向に移動可能に前記接触部
材と連結された基体と、前記基体に設けられ、かつ、各
々の前記接触部材が電気的に接続された一対の導電部材
と、双方の前記導電部材に接触し、前記接触部材間を電
気的に短絡する短絡部材と、を備え、前記基体が前記回
路配線へ向かう方向に移動することにより前記導電部材
が移動した際、前記導電部材が前記短絡部材から離れる
ように前記短絡部材を設けたことを特徴とするプローブ
ユニットが提供される。
配線に接触する一対の接触部材を有するプローブユニッ
トにおいて、前記接触部材が前記回路配線に接触した
際、前記回路配線へ向かう方向に移動可能に前記接触部
材と連結された基体と、前記基体に設けられ、かつ、各
々の前記接触部材が電気的に接続された一対の導電部材
と、双方の前記導電部材に接触し、前記接触部材間を電
気的に短絡する短絡部材と、を備え、前記基体が前記回
路配線へ向かう方向に移動することにより前記導電部材
が移動した際、前記導電部材が前記短絡部材から離れる
ように前記短絡部材を設けたことを特徴とするプローブ
ユニットが提供される。
【００１５】この場合、前記短絡部材に取り付けられ、
前記短絡部材と前記回路基板との間に介在し、前記短絡
部材が前記回路基板に近接する距離を制限する部材を設
けることもできる。
前記短絡部材と前記回路基板との間に介在し、前記短絡
部材が前記回路基板に近接する距離を制限する部材を設
けることもできる。
【００１６】また、前記短絡部材は、弾性部材を介して
前記基体に取り付けることもできる。
前記基体に取り付けることもできる。
【００１７】また、前記短絡部材は、少なくとも前記接
触部材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記導電部
材に接触しているようにすることができる。
触部材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記導電部
材に接触しているようにすることができる。
【００１８】また、前記短絡部材は、前記基体が前記回
路配線へ向かう方向に所定量移動した後に、前記導電部
材が前記短絡部材から離れるように設けることもでき
る。
路配線へ向かう方向に所定量移動した後に、前記導電部
材が前記短絡部材から離れるように設けることもでき
る。
【００１９】また、本発明によれば、回路基板上の回路
配線に接触する一対の接触部材を有するプローブユニッ
トにおいて、前記接触部材が前記回路配線に接触した
際、前記回路配線へ向かう方向に移動可能に前記接触部
材と連結された基体と、前記接触部材にそれぞれ設けら
れた突出部に接触し、前記接触部材間を電気的に短絡す
る短絡部材と、を備え、前記短絡部材は、前記基体が前
記回路配線へ向かう方向に移動することにより、前記突
出部から離れるように前記基体に取り付けられたことを
特徴とするプローブユニットが提供される。
配線に接触する一対の接触部材を有するプローブユニッ
トにおいて、前記接触部材が前記回路配線に接触した
際、前記回路配線へ向かう方向に移動可能に前記接触部
材と連結された基体と、前記接触部材にそれぞれ設けら
れた突出部に接触し、前記接触部材間を電気的に短絡す
る短絡部材と、を備え、前記短絡部材は、前記基体が前
記回路配線へ向かう方向に移動することにより、前記突
出部から離れるように前記基体に取り付けられたことを
特徴とするプローブユニットが提供される。
【００２０】この場合、前記基体と前記接触部材との間
に弾性部材を介在させることにより、前記基体を前記回
路配線へ向かう方向に移動可能にすることができる。
に弾性部材を介在させることにより、前記基体を前記回
路配線へ向かう方向に移動可能にすることができる。
【００２１】また、本発明によれば、回路基板の回路配
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記接触部材間を電気的に切り離し可能に短絡する
短絡手段を備えたことを特徴とする計測装置が提供され
る。
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記接触部材間を電気的に切り離し可能に短絡する
短絡手段を備えたことを特徴とする計測装置が提供され
る。
【００２２】また、本発明によれば、回路基板の回路配
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記プローブユニットが、前記接触部材が前記回路
配線に接触した際、前記回路配線へ向かう方向に移動可
能に前記接触部材と連結された基体と、前記基体に設け
られ、かつ、各々の前記接触部材が電気的に接続された
一対の導電部材と、双方の前記導電部材に接触し、前記
接触部材間を電気的に短絡する短絡部材と、を備え、前
記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動することによ
り前記導電部材が移動した際、前記導電部材が前記短絡
部材から離れるように前記短絡部材を設けたことを特徴
とする計測装置が提供される。
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記プローブユニットが、前記接触部材が前記回路
配線に接触した際、前記回路配線へ向かう方向に移動可
能に前記接触部材と連結された基体と、前記基体に設け
られ、かつ、各々の前記接触部材が電気的に接続された
一対の導電部材と、双方の前記導電部材に接触し、前記
接触部材間を電気的に短絡する短絡部材と、を備え、前
記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動することによ
り前記導電部材が移動した際、前記導電部材が前記短絡
部材から離れるように前記短絡部材を設けたことを特徴
とする計測装置が提供される。
【００２３】また、本発明によれば、回路基板の回路配
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記プローブユニットが、前記接触部材が前記回路
配線に接触した際、前記回路配線へ向かう方向に移動可
能に前記接触部材と連結された基体と、前記接触部材に
それぞれ設けられた突出部に接触し、前記接触部材間を
電気的に短絡する短絡部材と、を備え、前記短絡部材
は、前記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動するこ
とにより、前記突出部から離れるように前記基体に取り
付けられたことを特徴とする計測装置が提供される。
線間のインピーダンスを計測するために、前記回路配線
に接触する一対の接触部材を有するプローブユニット
と、該プローブユニットを介して前記回路配線のインピ
ーダンスを計測する計測器と、を備えた計測装置におい
て、前記プローブユニットが、前記接触部材が前記回路
配線に接触した際、前記回路配線へ向かう方向に移動可
能に前記接触部材と連結された基体と、前記接触部材に
それぞれ設けられた突出部に接触し、前記接触部材間を
電気的に短絡する短絡部材と、を備え、前記短絡部材
は、前記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動するこ
とにより、前記突出部から離れるように前記基体に取り
付けられたことを特徴とする計測装置が提供される。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
について図面を参照して説明する。
【００２５】図１は、本発明の一実施形態に係る計測装
置Ａの概略図である。
置Ａの概略図である。
【００２６】計測装置Ａは、プローブユニット１と、計
測器２と、からなる。
測器２と、からなる。
【００２７】プローブユニット１は、計測の対象となる
回路基板１００上の２つの回路配線１０１にそれぞれ接
触する一対の接触部材であるピン１ａ及び１ｂと、これ
らを支持する絶縁材料からなる本体１ｃと、ピン１ａと
１ｂとの間に設けられたスイッチ１ｄと、を備える。
回路基板１００上の２つの回路配線１０１にそれぞれ接
触する一対の接触部材であるピン１ａ及び１ｂと、これ
らを支持する絶縁材料からなる本体１ｃと、ピン１ａと
１ｂとの間に設けられたスイッチ１ｄと、を備える。
【００２８】各ピン１ａ及び１ｂが接触する回路配線１
０１は、通常一方の配線がＧＮＤ配線である。
０１は、通常一方の配線がＧＮＤ配線である。
【００２９】各ピン１ａ又は１ｂは、計測器２の計測信
号の送受信端子２ａとＧＮＤ端子２ｂとにそれぞれ接続
される。
号の送受信端子２ａとＧＮＤ端子２ｂとにそれぞれ接続
される。
【００３０】スイッチ１ｄは、ピン１ａと１ｂとを電気
的に切り離し可能に短絡する短絡手段として機能するも
のであり、手動により開閉するスイッチの他、計測器２
からの制御信号２ｃにより開閉するリレー又は半導体素
子等である計測器２は、公知の計測器と同様に、送受信
端子２ａからプローブユニット１を介して回路配線に計
測信号を発して、その反射波を送受信端子２ａにおいて
受信し、観察・計算することによりインピーダンスを計
測するものである。
的に切り離し可能に短絡する短絡手段として機能するも
のであり、手動により開閉するスイッチの他、計測器２
からの制御信号２ｃにより開閉するリレー又は半導体素
子等である計測器２は、公知の計測器と同様に、送受信
端子２ａからプローブユニット１を介して回路配線に計
測信号を発して、その反射波を送受信端子２ａにおいて
受信し、観察・計算することによりインピーダンスを計
測するものである。
【００３１】係る構成からなる計測装置Ａでは、スイッ
チ１ｄを閉じてピン１ａと１ｂとを短絡した状態で、プ
ローブユニット１の各ピン１ａ及び１ｂを回路配線１０
１に接触させる。すなわち、少なくともピン１ａと１ｄ
とを回路配線１０１に接触する瞬間には、スイッチ１ｄ
を閉じるのである。
チ１ｄを閉じてピン１ａと１ｂとを短絡した状態で、プ
ローブユニット１の各ピン１ａ及び１ｂを回路配線１０
１に接触させる。すなわち、少なくともピン１ａと１ｄ
とを回路配線１０１に接触する瞬間には、スイッチ１ｄ
を閉じるのである。
【００３２】すると、回路配線１０１間に帯電した静電
気がスイッチ１ｄを通って、計測器２のＧＮＤ端子２ｄ
からＧＮＤへ流れ込むこととなる。この結果、静電気が
送受信端子２ａから計測器２へ突入し、計測器２が破壊
されることが防止される。なお、静電気をＧＮＤへ逃が
すのに必要な時間はおよそ１００ｍｓｅｃ程度で十分で
ある。
気がスイッチ１ｄを通って、計測器２のＧＮＤ端子２ｄ
からＧＮＤへ流れ込むこととなる。この結果、静電気が
送受信端子２ａから計測器２へ突入し、計測器２が破壊
されることが防止される。なお、静電気をＧＮＤへ逃が
すのに必要な時間はおよそ１００ｍｓｅｃ程度で十分で
ある。
【００３３】その後、スイッチ１ｄを開いてピン１ａと
１ｂとを電気的に切り離すことにより、回路配線１０１
間のインピーダンスを計測することができる。すなわ
ち、計測時には、ピン１ａと１ｂとを電気的に切り離す
のである。
１ｂとを電気的に切り離すことにより、回路配線１０１
間のインピーダンスを計測することができる。すなわ
ち、計測時には、ピン１ａと１ｂとを電気的に切り離す
のである。
【００３４】次に、プローブユニット１の他の実施形態
について説明する。
について説明する。
【００３５】図２（ａ）は、本発明の他の実施形態に係
るプローブユニット１０の構成を示す断面図である。
るプローブユニット１０の構成を示す断面図である。
【００３６】プローブユニット１０は、回路配線１０１
に接触する一対の接触部材としてのピン１１ａ及び１１
ｂと、ピン１１ａ及びピン１１ｂに連結された基体１２
と、、スプリング１５を介して基体１２に取り付けられ
た導電性材料からなる短絡部材１３と、短絡部材１３に
取り付けられた脚部材１４と、を備える。
に接触する一対の接触部材としてのピン１１ａ及び１１
ｂと、ピン１１ａ及びピン１１ｂに連結された基体１２
と、、スプリング１５を介して基体１２に取り付けられ
た導電性材料からなる短絡部材１３と、短絡部材１３に
取り付けられた脚部材１４と、を備える。
【００３７】基体１２は、更に、絶縁性材料からなる本
体部１２ａと、導電性材料からなり本体部１２ａに固定
された筒状の２つの筒状部１２ｂと、を備える。
体部１２ａと、導電性材料からなり本体部１２ａに固定
された筒状の２つの筒状部１２ｂと、を備える。
【００３８】本体部１２ａの中央部は、スプリング１５
の一端が取り付けられ、また、スプリング１５の一端側
を収容するように凸状に形成されている。圧縮ばねであ
るスプリング１５の他端は、短絡部材１３の上面に取り
付けられており、常時短絡部材１３を回路基板１００側
へ押圧している。なお、スプリング１５は、弾性を有す
る材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこ
とはいうまでもない。
の一端が取り付けられ、また、スプリング１５の一端側
を収容するように凸状に形成されている。圧縮ばねであ
るスプリング１５の他端は、短絡部材１３の上面に取り
付けられており、常時短絡部材１３を回路基板１００側
へ押圧している。なお、スプリング１５は、弾性を有す
る材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこ
とはいうまでもない。
【００３９】筒状部１２ｂは、ピン１１ａ及びピン１１
ｂの一部が挿通される筒状を成し、これらのピン１１ａ
及びピン１１ｂが、筒状部１２ｂの内面を摺動するよう
にして出し入れ自在となっている。また、筒状部１２ｂ
の内部には、ピン１１ａ及びピン１１ｂを常時回路基板
１００の方向へ付勢するスプリング１６が設けられる。
このスプリング１６も圧縮ばねであるが、弾性を有する
材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこと
はいうまでもない。
ｂの一部が挿通される筒状を成し、これらのピン１１ａ
及びピン１１ｂが、筒状部１２ｂの内面を摺動するよう
にして出し入れ自在となっている。また、筒状部１２ｂ
の内部には、ピン１１ａ及びピン１１ｂを常時回路基板
１００の方向へ付勢するスプリング１６が設けられる。
このスプリング１６も圧縮ばねであるが、弾性を有する
材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこと
はいうまでもない。
【００４０】このように基体１２と、ピン１１ａ及びピ
ン１１ｂと、を連結することにより、ピン１１ａ及びピ
ン１１ｂを回路配線１０１に接触した際に、基体１２を
押圧すると、基体１２が回路配線１０１へ向かって移動
することが可能となる。
ン１１ｂと、を連結することにより、ピン１１ａ及びピ
ン１１ｂを回路配線１０１に接触した際に、基体１２を
押圧すると、基体１２が回路配線１０１へ向かって移動
することが可能となる。
【００４１】また、各々の筒状部１２ｂには、これに一
体に形成された導電性を有する導電部材としての突出部
１２ｃをそれぞれ備える。この突出部１２ｃは、短絡部
材１３の方向（図でいう内側）にそれぞれ突出してお
り、短絡部材１３がこれらを跨いで搭載されるように設
けられている。
体に形成された導電性を有する導電部材としての突出部
１２ｃをそれぞれ備える。この突出部１２ｃは、短絡部
材１３の方向（図でいう内側）にそれぞれ突出してお
り、短絡部材１３がこれらを跨いで搭載されるように設
けられている。
【００４２】短絡部材１３は、上述した通りスプリング
１５に付勢されており、通常、これら双方の突出部１２
ｃの上面に接触していることとなる。この結果、通常の
状態においては、ピン１１ａとピン１１ｂとは、導電性
を有する筒状部１２ｂ、突出部１２ｃ及び短絡部材１３
を介して、電気的に接続された（短絡された）状態にあ
る。
１５に付勢されており、通常、これら双方の突出部１２
ｃの上面に接触していることとなる。この結果、通常の
状態においては、ピン１１ａとピン１１ｂとは、導電性
を有する筒状部１２ｂ、突出部１２ｃ及び短絡部材１３
を介して、電気的に接続された（短絡された）状態にあ
る。
【００４３】また、短絡部材１３の下面には、短絡部材
１３と回路基板１００との間に介在して、回路基板１０
０に短絡部材１３が近接する距離を制限する脚部材１４
が設けられている。このように短絡部材１３を設けたの
は、後で説明するように、基体１２が回路配線１０１へ
向かう方向に移動することにより突出部１２ｃが移動し
た際、突出部１２ｃが短絡部材１３から離れるようにす
るためである。
１３と回路基板１００との間に介在して、回路基板１０
０に短絡部材１３が近接する距離を制限する脚部材１４
が設けられている。このように短絡部材１３を設けたの
は、後で説明するように、基体１２が回路配線１０１へ
向かう方向に移動することにより突出部１２ｃが移動し
た際、突出部１２ｃが短絡部材１３から離れるようにす
るためである。
【００４４】また、この脚部材１４は、その下端がピン
１１ａ及び１１ｂの下端よりも距離ｄだけ高くなるよう
な長さを有している。このようにしたのは、後で説明す
るように、短絡部材１３が、基体１２が回路配線１０１
へ向かう方向に所定量移動した後に、突出部１２ｃから
離れるようにするためである。
１１ａ及び１１ｂの下端よりも距離ｄだけ高くなるよう
な長さを有している。このようにしたのは、後で説明す
るように、短絡部材１３が、基体１２が回路配線１０１
へ向かう方向に所定量移動した後に、突出部１２ｃから
離れるようにするためである。
【００４５】次に、プローブユニット１０の作用につい
て説明する。
て説明する。
【００４６】まず、ユーザは、基体１２の本体部１２ａ
をつまんで、図２（ａ）の状態からプローブユニット１
０を図の下方へ移動し、ピン１１ａ及びピン１１ｂを回
路配線１０１に接触させる。この場合、短絡部材１３
は、２つの突出部１２ｃの双方に接触しているので、ピ
ン１１ａとピン１１ｂとは電気的に短絡されている。
をつまんで、図２（ａ）の状態からプローブユニット１
０を図の下方へ移動し、ピン１１ａ及びピン１１ｂを回
路配線１０１に接触させる。この場合、短絡部材１３
は、２つの突出部１２ｃの双方に接触しているので、ピ
ン１１ａとピン１１ｂとは電気的に短絡されている。
【００４７】この結果、回路配線１０１間に帯電した静
電気が、計測器２のＧＮＤに流れ込み、計測器２の破壊
が防止される。
電気が、計測器２のＧＮＤに流れ込み、計測器２の破壊
が防止される。
【００４８】ユーザは、スプリング１６の付勢力に対抗
して、そのまま基体１２を回路配線１０１の方へ押圧
し、これを移動させると、ピン１１ａ及び１１ｂ以外の
部分は、回路配線１０１の方へ移動することとなるが、
やがて脚部材１４の下面が回路基板１００の表面に当接
し、スプリング１５に対抗して短絡部材１３が回路基板
１００に近接することが制限されることとなる。その一
方で、突出部１２ｃは基体１２と共に回路基板１００へ
向かって下降する。
して、そのまま基体１２を回路配線１０１の方へ押圧
し、これを移動させると、ピン１１ａ及び１１ｂ以外の
部分は、回路配線１０１の方へ移動することとなるが、
やがて脚部材１４の下面が回路基板１００の表面に当接
し、スプリング１５に対抗して短絡部材１３が回路基板
１００に近接することが制限されることとなる。その一
方で、突出部１２ｃは基体１２と共に回路基板１００へ
向かって下降する。
【００４９】この結果、短絡部材１３が突出部１２ｃの
双方から離れることとなり、ピン１１ａとピン１１ｂと
が電気的に切り離されることとなる。
双方から離れることとなり、ピン１１ａとピン１１ｂと
が電気的に切り離されることとなる。
【００５０】図２（ｂ）は、基体１２を回路配線１０１
へ向かって移動した結果、短絡部材１３が突出部１２ｃ
から離れた態様を示す図である。この後、回路配線１０
１間のインピーダンスの測定が可能となる。
へ向かって移動した結果、短絡部材１３が突出部１２ｃ
から離れた態様を示す図である。この後、回路配線１０
１間のインピーダンスの測定が可能となる。
【００５１】また、プローブユニット１０を回路基板１
００から離すと、スプリング１５及び１６の付勢力によ
り、各構成は図２（ａ）の態様に復元し、繰り返し計測
を行うことができる。
００から離すと、スプリング１５及び１６の付勢力によ
り、各構成は図２（ａ）の態様に復元し、繰り返し計測
を行うことができる。
【００５２】このように、プローブユニット１０では、
ピン１１ａと１１ｂとの間の短絡及び切り離しを、手動
又は計測器２の制御等によらず、プローブユニット１０
を回路基板１００に向かって押圧するだけで行うことが
できるので、計測が極めて簡単になる。
ピン１１ａと１１ｂとの間の短絡及び切り離しを、手動
又は計測器２の制御等によらず、プローブユニット１０
を回路基板１００に向かって押圧するだけで行うことが
できるので、計測が極めて簡単になる。
【００５３】また、プローブユニット１０では、脚部材
１４が回路基板１００に接触したときに、短絡部材１３
が突出部１２ｃから離れ、ピン１１ａと１１ｂとの短絡
が解除されるが、脚部材１４は、その下端がピン１１ａ
及び１１ｂの下端よりも距離ｄだけ高くなるような長さ
を有するので、ピン１１ａ及び１１ｂが回路配線１０１
に接触した瞬間には、回路基板１００に接触せず、基体
１２を少し押し込んでから接触することとなる。すなわ
ち、ピン１１ａと１１ｂとが回路配線１０１に接触して
から、これらの短絡が解除されるまで、一定の時間が稼
げる。
１４が回路基板１００に接触したときに、短絡部材１３
が突出部１２ｃから離れ、ピン１１ａと１１ｂとの短絡
が解除されるが、脚部材１４は、その下端がピン１１ａ
及び１１ｂの下端よりも距離ｄだけ高くなるような長さ
を有するので、ピン１１ａ及び１１ｂが回路配線１０１
に接触した瞬間には、回路基板１００に接触せず、基体
１２を少し押し込んでから接触することとなる。すなわ
ち、ピン１１ａと１１ｂとが回路配線１０１に接触して
から、これらの短絡が解除されるまで、一定の時間が稼
げる。
【００５４】このため、回路配線１０１間の静電気の十
分な放電時間（およそ１００ｍｓｅｃ）が確保され、ユ
ーザは、静電気の放電時間を意識することなく、プロー
ブユニット１０を扱うことができる。
分な放電時間（およそ１００ｍｓｅｃ）が確保され、ユ
ーザは、静電気の放電時間を意識することなく、プロー
ブユニット１０を扱うことができる。
【００５５】次に、プローブユニット１０の他の実施形
態について説明する。
態について説明する。
【００５６】図３（ａ）は、本発明の他の実施形態に係
るプローブユニット２０の構成を示す断面図である。
るプローブユニット２０の構成を示す断面図である。
【００５７】上述したプローブユニット１０では、突出
部１２ｃを基体１２に設け、基体１２と共に突出部１２
ｃが移動することにより、短絡部材１３が突出部１２ｃ
から離れるようにした。しかし、短絡部材１３を基体１
２と共に移動させ、突出部１２ｃから離れるようにする
ことも可能である。図３（ａ）は、係る構成のプローブ
ユニット２０である。
部１２ｃを基体１２に設け、基体１２と共に突出部１２
ｃが移動することにより、短絡部材１３が突出部１２ｃ
から離れるようにした。しかし、短絡部材１３を基体１
２と共に移動させ、突出部１２ｃから離れるようにする
ことも可能である。図３（ａ）は、係る構成のプローブ
ユニット２０である。
【００５８】プローブユニット２０は、回路配線１０１
に接触する一対の接触部材としてのピン２１ａ及び２１
ｂと、ピン２１ａ及びピン２１ｂに連結された基体２２
と、、基体２２に取り付けられた短絡部材２３と、を備
える。
に接触する一対の接触部材としてのピン２１ａ及び２１
ｂと、ピン２１ａ及びピン２１ｂに連結された基体２２
と、、基体２２に取り付けられた短絡部材２３と、を備
える。
【００５９】基体２２は、更に、絶縁性材料からなる本
体部２２ａと、本体部１２ａに固定された筒状の２つの
筒状部２２ｂと、を備える。
体部２２ａと、本体部１２ａに固定された筒状の２つの
筒状部２２ｂと、を備える。
【００６０】筒状部２２ｂは、ピン２１ａ及びピン２１
ｂの一部が挿通される筒状を成し、これらのピン２１ａ
及びピン２１ｂが、筒状部１２ｂの内面を摺動するよう
にして出し入れ自在となっている。また、筒状部２２ｂ
の内部には、ピン２１ａ及びピン２１ｂを常時回路基板
１００の方向へ付勢するスプリング２４が設けられる。
このスプリング２４は圧縮ばねであるが、弾性を有する
材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこと
はいうまでもない。
ｂの一部が挿通される筒状を成し、これらのピン２１ａ
及びピン２１ｂが、筒状部１２ｂの内面を摺動するよう
にして出し入れ自在となっている。また、筒状部２２ｂ
の内部には、ピン２１ａ及びピン２１ｂを常時回路基板
１００の方向へ付勢するスプリング２４が設けられる。
このスプリング２４は圧縮ばねであるが、弾性を有する
材料であれば、例えば、ゴム等から構成してもよいこと
はいうまでもない。
【００６１】このように基体２２と、ピン２１ａ及びピ
ン２１ｂと、を連結することにより、ピン２１ａ及びピ
ン２１ｂを回路配線１０１に接触した際に、基体２２を
押圧すると、基体２２が回路配線１０１へ向かって移動
することが可能となる。
ン２１ｂと、を連結することにより、ピン２１ａ及びピ
ン２１ｂを回路配線１０１に接触した際に、基体２２を
押圧すると、基体２２が回路配線１０１へ向かって移動
することが可能となる。
【００６２】また、ピン２１ａ及びピン２１ｂは、これ
らに一体に設けられた導電性材料からなる突出部２５ａ
及び２５ｂを有する。この突出部２５ａ及び２５ｂは、
筒状部２２ｂの内側の側面に設けられたスリット２２
ｂ’から筒状部２２ｂ外へ突出しており、短絡部材２３
の平板部２３ａがこれらを跨いで搭載されるように設け
られている。
らに一体に設けられた導電性材料からなる突出部２５ａ
及び２５ｂを有する。この突出部２５ａ及び２５ｂは、
筒状部２２ｂの内側の側面に設けられたスリット２２
ｂ’から筒状部２２ｂ外へ突出しており、短絡部材２３
の平板部２３ａがこれらを跨いで搭載されるように設け
られている。
【００６３】短絡部材２３は、導電性を有する平板状の
平板部２３ａと、この平板部２３ａを基体２２の本体部
２２ａに固定するための支柱部２３ｂと、からなる。
平板部２３ａと、この平板部２３ａを基体２２の本体部
２２ａに固定するための支柱部２３ｂと、からなる。
【００６４】上述した通り、ピン２１ａと２１ｂとは、
スプリング２４により常時回路配線１０１側へ付勢され
ており、これらに一体に設けられた突出部２５ａ及び２
５ｂは、通常、短絡部材２３の平板部２３ａの上面に接
触していることとなる。
スプリング２４により常時回路配線１０１側へ付勢され
ており、これらに一体に設けられた突出部２５ａ及び２
５ｂは、通常、短絡部材２３の平板部２３ａの上面に接
触していることとなる。
【００６５】この結果、通常の状態においては、ピン２
１ａとピン２１ｂとは、突出部２５ａ及び２５ｂ、及
び、短絡部材２３の平板部２３ａを介して、電気的に接
続された（短絡された）状態にある。
１ａとピン２１ｂとは、突出部２５ａ及び２５ｂ、及
び、短絡部材２３の平板部２３ａを介して、電気的に接
続された（短絡された）状態にある。
【００６６】なお、後で説明するように、短絡部材２３
は、基体２２に取り付けられているので、基体２２が回
路配線１０１へ向かう方向に移動することにより、これ
と共に移動し、突出部２５ａ及び２５ｂから離れるよう
になる。
は、基体２２に取り付けられているので、基体２２が回
路配線１０１へ向かう方向に移動することにより、これ
と共に移動し、突出部２５ａ及び２５ｂから離れるよう
になる。
【００６７】次に、プローブユニット２０の作用につい
て説明する。
て説明する。
【００６８】まず、ユーザは、基体２２の本体部２２ａ
をつまんで、図３（ａ）の状態からプローブユニット２
０を図の下方へ移動し、ピン２１ａ及びピン２１ｂを回
路配線１０１に接触させる。接触した瞬間、短絡部材２
３の平板部２３ａは、突出部２５ａ及び２５ｂの双方に
接触しているので、ピン２１ａとピン２１ｂとは電気的
に短絡されている。
をつまんで、図３（ａ）の状態からプローブユニット２
０を図の下方へ移動し、ピン２１ａ及びピン２１ｂを回
路配線１０１に接触させる。接触した瞬間、短絡部材２
３の平板部２３ａは、突出部２５ａ及び２５ｂの双方に
接触しているので、ピン２１ａとピン２１ｂとは電気的
に短絡されている。
【００６９】この結果、回路配線１０１間に帯電した静
電気が、計測器２のＧＮＤに流れ込み、計測器２の破壊
が防止される。
電気が、計測器２のＧＮＤに流れ込み、計測器２の破壊
が防止される。
【００７０】ユーザは、スプリング２４の付勢力に対抗
して、そのまま基体２２を回路配線１０１の方へ押圧
し、これを移動させると、ピン２１ａ及び２１ｂ、更
に、これに一体化された突出部２５ａ及び２５ｂ以外の
構成は、回路配線１０１の方へ移動することとなり、短
絡部材２３は、基体２２と共に回路基板１００へ向かっ
て下降する。
して、そのまま基体２２を回路配線１０１の方へ押圧
し、これを移動させると、ピン２１ａ及び２１ｂ、更
に、これに一体化された突出部２５ａ及び２５ｂ以外の
構成は、回路配線１０１の方へ移動することとなり、短
絡部材２３は、基体２２と共に回路基板１００へ向かっ
て下降する。
【００７１】この結果、短絡部材２３の平板部２３ａが
突出部２５ａ及び２５ｂの双方から離れることとなり、
ピン２１ａとピン２１ｂとが電気的に切り離されること
となる。
突出部２５ａ及び２５ｂの双方から離れることとなり、
ピン２１ａとピン２１ｂとが電気的に切り離されること
となる。
【００７２】図３（ｂ）は、基体２２を回路配線１０１
へ向かって移動した結果、短絡部材２３の平板部２３ａ
が突出部２５ａ及び２５ｂから離れた態様を示す図であ
る。この後、回路配線１０１間のインピーダンスの測定
が可能となる。
へ向かって移動した結果、短絡部材２３の平板部２３ａ
が突出部２５ａ及び２５ｂから離れた態様を示す図であ
る。この後、回路配線１０１間のインピーダンスの測定
が可能となる。
【００７３】また、プローブユニット２０を回路基板１
００から離すと、スプリング２４の付勢力により、各構
成は図３（ａ）の態様に復元し、繰り返し計測を行うこ
とができる。
００から離すと、スプリング２４の付勢力により、各構
成は図３（ａ）の態様に復元し、繰り返し計測を行うこ
とができる。
【００７４】このように、プローブユニット２０では、
上述したプローブユニット１０と同様に、ピン２１ａと
２１ｂとの間の短絡及び切り離しを、手動又は計測器２
の制御等によらず、プローブユニット２０を回路基板１
００に向かって押圧するだけで行うことができるので、
計測が極めて簡単になる。
上述したプローブユニット１０と同様に、ピン２１ａと
２１ｂとの間の短絡及び切り離しを、手動又は計測器２
の制御等によらず、プローブユニット２０を回路基板１
００に向かって押圧するだけで行うことができるので、
計測が極めて簡単になる。
【００７５】以上、本発明の好適な実施形態について説
明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは
いうまでもなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種
々の変形が可能である。
明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは
いうまでもなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種
々の変形が可能である。
【００７６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路基板に帯電した静電気による計測器の破壊を防止す
ることができる。
回路基板に帯電した静電気による計測器の破壊を防止す
ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る計測装置Ａの概略図
である。
である。
【図２】（ａ）は、本発明の他の実施形態に係るプロー
ブユニット１０の構成を示す断面図である。（ｂ）は、
短絡部材１３が突出部１２ｃから離れた態様を示す図で
ある。
ブユニット１０の構成を示す断面図である。（ｂ）は、
短絡部材１３が突出部１２ｃから離れた態様を示す図で
ある。
【図３】（ａ）は、本発明の更に他の実施形態に係るプ
ローブユニット２０の構成を示す断面図である。（ｂ）
は、短絡部材２３の平板部２３ａが突出部２５ａ及び２
５ｂから離れた態様を示す図である。
ローブユニット２０の構成を示す断面図である。（ｂ）
は、短絡部材２３の平板部２３ａが突出部２５ａ及び２
５ｂから離れた態様を示す図である。
【図４】従来の計測装置の概略図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA09 AB01 AC08 AD01 AE01 AF01 2G028 AA04 BB10 BC01 CG08 HM05 MS05
Claims (13)
- 【請求項１】 回路基板上の回路配線に接触する一対の
接触部材を有するプローブユニットにおいて、 前記接触部材間を電気的に切り離し可能に短絡する短絡
手段を備えたことを特徴とするプローブユニット。 - 【請求項２】 前記短絡手段は、少なくとも前記接触部
材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記２つの部材
間を電気的に短絡することを特徴とする請求項１に記載
のプローブユニット。 - 【請求項３】 前記短絡手段は、前記回路配線の計測時
に、前記接触部材間を電気的に切り離すことを特徴とす
る請求項１に記載のプローブユニット。 - 【請求項４】 回路基板上の回路配線に接触する一対の
接触部材を有するプローブユニットにおいて、 前記接触部材が前記回路配線に接触した際、前記回路配
線へ向かう方向に移動可能に前記接触部材と連結された
基体と、 前記基体に設けられ、かつ、各々の前記接触部材が電気
的に接続された一対の導電部材と、 双方の前記導電部材に接触し、前記接触部材間を電気的
に短絡する短絡部材と、を備え、 前記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動することに
より前記導電部材が移動した際、前記導電部材が前記短
絡部材から離れるように前記短絡部材を設けたことを特
徴とするプローブユニット。 - 【請求項５】 前記短絡部材に取り付けられ、前記短絡
部材と前記回路基板との間に介在し、前記短絡部材が前
記回路基板に近接する距離を制限する部材を設けたこと
を特徴とする請求項４に記載のプローブユニット。 - 【請求項６】 前記短絡部材は、弾性部材を介して前記
基体に取り付けられたことを特徴とする請求項５に記載
のプローブユニット。 - 【請求項７】 前記短絡部材は、少なくとも前記接触部
材が前記回路配線に接触した瞬間には、前記導電部材に
接触していることを特徴とする請求項４に記載のプロー
ブユニット。 - 【請求項８】 前記短絡部材は、前記基体が前記回路配
線へ向かう方向に所定量移動した後に、前記導電部材が
前記短絡部材から離れるように設けられたことを特徴と
するプローブユニット。 - 【請求項９】回路基板上の回路配線に接触する一対の接
触部材を有するプローブユニットにおいて、 前記接触部材が前記回路配線に接触した際、前記回路配
線へ向かう方向に移動可能に前記接触部材と連結された
基体と、 前記接触部材にそれぞれ設けられた突出部に接触し、前
記接触部材間を電気的に短絡する短絡部材と、を備え、 前記短絡部材は、前記基体が前記回路配線へ向かう方向
に移動することにより、前記突出部から離れるように前
記基体に取り付けられたことを特徴とするプローブユニ
ット。 - 【請求項１０】 前記基体と前記接触部材との間に弾性
部材を介在させることにより、前記基体を前記回路配線
へ向かう方向に移動可能にしたことを特徴とする請求項
４又は９に記載のプローブユニット。 - 【請求項１１】 回路基板の回路配線間のインピーダン
スを計測するために、前記回路配線に接触する一対の接
触部材を有するプローブユニットと、該プローブユニッ
トを介して前記回路配線のインピーダンスを計測する計
測器と、を備えた計測装置において、 前記接触部材間を電気的に切り離し可能に短絡する短絡
手段を備えたことを特徴とする計測装置。 - 【請求項１２】 回路基板の回路配線間のインピーダン
スを計測するために、前記回路配線に接触する一対の接
触部材を有するプローブユニットと、該プローブユニッ
トを介して前記回路配線のインピーダンスを計測する計
測器と、を備えた計測装置において、 前記プローブユニットが、 前記接触部材が前記回路配線に接触した際、前記回路配
線へ向かう方向に移動可能に前記接触部材と連結された
基体と、 前記基体に設けられ、かつ、各々の前記接触部材が電気
的に接続された一対の導電部材と、 双方の前記導電部材に接触し、前記接触部材間を電気的
に短絡する短絡部材と、を備え、 前記基体が前記回路配線へ向かう方向に移動することに
より前記導電部材が移動した際、前記導電部材が前記短
絡部材から離れるように前記短絡部材を設けたことを特
徴とする計測装置。 - 【請求項１３】 回路基板の回路配線間のインピーダン
スを計測するために、前記回路配線に接触する一対の接
触部材を有するプローブユニットと、該プローブユニッ
トを介して前記回路配線のインピーダンスを計測する計
測器と、を備えた計測装置において、 前記プローブユニットが、 前記接触部材が前記回路配線に接触した際、前記回路配
線へ向かう方向に移動可能に前記接触部材と連結された
基体と、 前記接触部材にそれぞれ設けられた突出部に接触し、前
記接触部材間を電気的に短絡する短絡部材と、を備え、 前記短絡部材は、前記基体が前記回路配線へ向かう方向
に移動することにより、前記突出部から離れるように前
記基体に取り付けられたことを特徴とする計測装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000114085A JP2001296320A (ja) | 2000-04-14 | 2000-04-14 | プローブユニット及び計測装置 |
| PCT/JP2001/003146 WO2001079866A1 (fr) | 2000-04-14 | 2001-04-12 | Unite de sonde et instrument de mesure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000114085A JP2001296320A (ja) | 2000-04-14 | 2000-04-14 | プローブユニット及び計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001296320A true JP2001296320A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=18625945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000114085A Pending JP2001296320A (ja) | 2000-04-14 | 2000-04-14 | プローブユニット及び計測装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001296320A (ja) |
| WO (1) | WO2001079866A1 (ja) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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| KR20170070491A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 배선 저항 측정 장치 |
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|---|---|---|---|---|
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| CN116539933B (zh) * | 2023-07-04 | 2023-09-08 | 深圳市微特精密科技股份有限公司 | 一种用于无线充电器测试的探针模组运动机构 |
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|---|---|---|---|---|
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