JP2001296314A - Coaxial-type contact probe - Google Patents
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Landscapes
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板上の
回路パターンを検査するプリント基板検査装置に用いら
れる同軸型コンタクトプローブに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coaxial contact probe used in a printed circuit board inspection apparatus for inspecting a circuit pattern on a printed circuit board.
【０００２】[0002]
【従来の技術】実装基板即ち多数の電子部品等を具備す
るプリント基板（Print Circuit Board）の所定の測
定点に適宜プローブ（詳細にはスプリングプローブ）の
先端を接触させ、検査装置側から所要の検査信号を入力
して所定の電気的特性が測定され、その測定結果に基づ
いてプリント基板の良否検査が行われている。2. Description of the Related Art The tip of a probe (specifically, a spring probe) is brought into contact with a predetermined measurement point of a mounting board, that is, a printed circuit board (Print Circuit Board) having a large number of electronic components, etc. A predetermined electrical characteristic is measured by inputting an inspection signal, and a quality inspection of a printed circuit board is performed based on the measurement result.
【０００３】特にマイクロプロセッサなどの高周波信号
を扱う電子部品が搭載されるプリント基板では高周波信
号の伝送特性が重要であるため、ＴＤＲ（Time Domain
Reflectometry）測定と呼ばれる伝即特性を確認する
ための測定が行なわれている。[0003] In particular, the transmission characteristics of high-frequency signals are important for a printed circuit board on which electronic components handling high-frequency signals such as a microprocessor are mounted.
Reflectometry) measurement is performed to confirm the instantaneous characteristics.
【０００４】このＴＤＲ測定はプリントパターンの特性
インピーダンスを測定するもので、プリント基板はその
測定結果が規格値の範囲内に入っているか否かで良否が
判定される。[0004] The TDR measurement is for measuring the characteristic impedance of a printed pattern, and the quality of a printed circuit board is determined based on whether or not the measurement result is within a standard value range.
【０００５】図３はプリント基板におけるＴＤＲ測定の
動作原理を示す図であり、図４は従来の同軸型コンタク
トプローブの構成を示す図である。また、図５はプリン
ト基板における測定対象の回路パターンの一例を示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing the operation principle of TDR measurement on a printed circuit board, and FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a conventional coaxial contact probe. FIG. 5 is a diagram showing an example of a circuit pattern to be measured on a printed circuit board.
【０００６】図４に示すように、コンタクトプローブ２
０４は同軸パイプからなり、その先端に内導体（信号ラ
イン）を延長してシグナルピン２０４ａが形成されると
ともに、外導体（ＧＮＤライン）の適所にＧＮＤピン２
０４ｂがシグナルピン２０４ａに沿うように突設されて
いる。[0006] As shown in FIG.
A signal pin 204a is formed by extending an inner conductor (signal line) at the tip of the coaxial pipe, and a GND pin 2 is provided at an appropriate position on the outer conductor (GND line).
04b protrudes along the signal pin 204a.
【０００７】測定においては、コンタクトプローブ２０
４のシグナルピン２０４ａをプリント基板２０６のパタ
ーン２０８（被測定伝送線路）の基端部２０８ａに接触
させるとともに、コンタクトプローブ２０４のＧＮＤピ
ン２０４ｂをプリント基板２０６のＧＮＤ位置に接触さ
せ、ＴＤＲジェネレータ２０２で発信した高周波信号
を、パターン２０８に入射（印加）する。そして、その
入力した高周波信号の反射信号をサンプラー２１０を含
む計測器（図示していない）で測定して、入射信号と反
射信号を時間軸上に合成して表示することにより、イン
ピーダンス特性が測定される。In the measurement, the contact probe 20
No. 4 signal pin 204a is brought into contact with the base end 208a of the pattern 208 (transmission line to be measured) of the printed circuit board 206, and the GND pin 204b of the contact probe 204 is brought into contact with the GND position of the printed circuit board 206. The transmitted high-frequency signal is incident (applied) to the pattern 208. Then, the reflected signal of the input high-frequency signal is measured by a measuring instrument (not shown) including the sampler 210, and the incident signal and the reflected signal are synthesized and displayed on the time axis, whereby the impedance characteristic is measured. Is done.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近ではマ
イクロプロセッサーのクロック・スピードが高くなり、
デジタル信号の動作速度周波数が１００ＭＨｚから１Ｇ
Ｈｚと上昇してきているため、プリント基板２０６にお
ける信号ラインの線路長は益々短くなる傾向にある。こ
のため、可能な限り線路長の短いプリントパターンのイ
ンピーダンス特性を正確に測定することが求められてい
る。By the way, recently, the clock speed of the microprocessor has been increased,
Digital signal operating speed frequency from 100MHz to 1G
Hz, the line length of the signal line on the printed circuit board 206 tends to become shorter and shorter. Therefore, it is required to accurately measure the impedance characteristic of a printed pattern having a line length as short as possible.
【０００９】しかし、従来のコンタクトプローブ２０４
は、パターンとの接触をピンで行なっているので、ピン
とパターンとの接触点での入射信号の反射が大きく、お
よそ３０ｍｍ以下の信号ラインのインピーダンスを正確
に測定することは困難であった。また、シグナルピン２
０４ａとＧＮＤピン２０４ｂとの間隔も物理的な制約が
あることから、プリント基板２０６において、ＧＮＤパ
ターンに対して１．０ｍｍ以下の間隔を設けて形成され
た信号ラインのインピーダンスも正確に測定することは
困難であった。However, the conventional contact probe 204
However, since the contact with the pattern is made by the pin, the reflection of the incident signal at the contact point between the pin and the pattern is large, and it has been difficult to accurately measure the impedance of the signal line of about 30 mm or less. In addition, signal pin 2
Since there is also a physical constraint on the distance between the ground pattern 04a and the GND pin 204b, it is necessary to accurately measure the impedance of a signal line formed at a distance of 1.0 mm or less from the GND pattern on the printed circuit board 206. Was difficult.
【００１０】さらに従来のコンタクトプローブ２０４
は、先の尖ったピンをプリント基板２０６に押し付けて
導通を取るようにしているので、プリント基板２０６を
損傷するとともに、接触状態が不安定で信頼性が低いと
いう問題もあった。Further, the conventional contact probe 204
However, there is a problem that the printed circuit board 206 is damaged, the contact state is unstable, and the reliability is low, because the pointed pins are pressed to the printed circuit board 206 to establish conduction.
【００１１】本発明は上記のような問題に鑑みてなされ
たものであり、パターン長の短い、または信号ラインと
ＧＮＤとの間隔の短いプリント基板においても正確にＴ
ＤＲ測定が可能な同軸型コンタクトプローブを提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has an advantage in accurately applying T to a printed circuit board having a short pattern length or a short distance between a signal line and GND.
An object of the present invention is to provide a coaxial contact probe capable of performing DR measurement.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１は、同軸線路が形成されたプロー
ブ本体の先端に、導電性弾性体からなる内導体とこれと
同軸に配置された導電性弾性体からなる外導体とが絶縁
性弾性体で絶縁されてなる薄板状の接触部が当該内導体
と外導体とをそれぞれ上記プローブ本体の内導体と外導
体とに電気的に接続させて設けられているものである。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a probe body on which a coaxial line is formed, at the tip of which is formed an inner conductor made of a conductive elastic body and a coaxial conductor. The thin plate-shaped contact portion, in which the outer conductor made of the conductive elastic body disposed is insulated by the insulating elastic body, electrically connects the inner conductor and the outer conductor to the inner conductor and the outer conductor of the probe body, respectively. It is provided to be connected to.
【００１３】なお、上記導電性弾性体及び絶縁性弾性体
はゴムで構成するとよい（請求項２）。また、上記接触
部は、プローブ本体の軸方向に対して垂直な接触面を有
するようにするとよい（請求項３）。更に上記プローブ
本体の基端部に同軸ケーブルが接続される接続部を設け
るとよい。Preferably, the conductive elastic body and the insulating elastic body are made of rubber. Preferably, the contact portion has a contact surface perpendicular to the axial direction of the probe main body. Further, it is preferable to provide a connecting portion to which a coaxial cable is connected at a base end of the probe main body.
【００１４】この発明によれば、プローブ本体の先端に
当該プローブ本体の同軸線路を延長するような同軸型導
電線路が形成された弾性体からなる接触部が設けられて
いるので、プローブ本体の先端をプリント基板の測定位
置に押し付けると、接触部が弾性変形して当該接触部の
内導体と外導体とがそれぞれプリント基板の信号ライン
とＧＮＤパターンとに圧接される。According to the present invention, since the contact portion made of the elastic body having the coaxial conductive line formed so as to extend the coaxial line of the probe main body is provided at the front end of the probe main body. Is pressed against the measurement position of the printed circuit board, the contact portion is elastically deformed, and the inner conductor and the outer conductor of the contact portion are pressed against the signal line of the printed circuit board and the GND pattern, respectively.
【００１５】プローブ本体の同軸線路は接触部を介して
プリント基板の信号ラインとＧＮＤパターンとに密着さ
れるので、この接触点での信号の反射が少なく、信号ラ
インのインピーダンス特性を正確且つ安定して測定する
ことができる。特に接触部をゴムで構成し、先端面をプ
ローブ本体の軸方向に対して垂直すると、先端面が全体
が均一にプリント基板に接触されるので、安定性が向上
する。Since the coaxial line of the probe body is in close contact with the signal line of the printed circuit board and the GND pattern via the contact portion, signal reflection at this contact point is small, and the impedance characteristics of the signal line can be accurately and stably maintained. Can be measured. In particular, when the contact portion is made of rubber and the distal end surface is perpendicular to the axial direction of the probe main body, the entire distal end surface is uniformly contacted with the printed circuit board, so that the stability is improved.
【００１６】また、プローブ本体の基端部に設けられた
接続部に同軸ケーブルが接続可能になっているので、フ
レキシブル同軸ケーブルを接続することによりプローブ
の取扱が容易となる。Further, since the coaxial cable can be connected to the connecting portion provided at the base end of the probe main body, the handling of the probe is facilitated by connecting the flexible coaxial cable.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る同軸型コンタ
クトプローブを示す斜視図であり、図２は、プローブ先
端の接触部の拡大断面図である。FIG. 1 is a perspective view showing a coaxial contact probe according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a contact portion at the tip of the probe.
【００１８】同軸型コンタクトプローブ（以下、単に
「プローブ」と称する。）１はリジッドケーブル若しく
はセミリジッドケーブルからなるプローブ本体７とこの
プローブ本体７の先端に取り付けられたゴム材からなる
接触部２とで構成されている。A coaxial contact probe (hereinafter, simply referred to as a "probe") 1 comprises a probe body 7 made of a rigid cable or a semi-rigid cable and a contact portion 2 made of a rubber material attached to the tip of the probe body 7. It is configured.
【００１９】接触部２は、図２に示すようにプローブ本
体７と略同一の径（例えば外径３ｍｍ程度）若しくはそ
れよりも僅かに小さい径を有し、かつ、略０．２ｍｍ〜
２．０ｍｍの厚さを有する円盤状をなし、厚み方向に同
軸線路を構成するようにその内導体３と外導体５とが導
電性を有し、両者の間の層６は絶縁性を有する弾性体で
ある。As shown in FIG. 2, the contact portion 2 has a diameter substantially the same as the probe main body 7 (for example, an outer diameter of about 3 mm) or a diameter slightly smaller than the diameter.
It has a disc shape having a thickness of 2.0 mm, the inner conductor 3 and the outer conductor 5 have conductivity so as to form a coaxial line in the thickness direction, and the layer 6 between them has insulation. It is an elastic body.
【００２０】中心部３は、プローブ本体７の内導体（信
号ライン）７２と接続されて信号ライン７２を延長した
接触用の信号端子（以下、シグナル端子という。）を構
成している。また、外導体５は、プローブ本体７の外導
体（ＧＮＤライン）７０と接続されてＧＮＤライン７０
を延長した接続用の端子（以下、ＧＮＤ端子という。）
を構成している。なお、接触部２のシグナル端子３とＧ
ＮＤ端子５とを構成する導電性ゴムは導電材料としてカ
ーボン等を含侵したものでも良いが、より好ましくは
銅、ニッケル等の金属粉末を含侵したものにするとよ
い。The central portion 3 is connected to an inner conductor (signal line) 72 of the probe body 7 and constitutes a contact signal terminal (hereinafter, referred to as a signal terminal) extending from the signal line 72. The outer conductor 5 is connected to an outer conductor (GND line) 70 of the probe body 7 and
For connection (hereinafter referred to as GND terminal)
Is composed. In addition, the signal terminal 3 of the contact part 2 and G
The conductive rubber forming the ND terminal 5 may be impregnated with carbon or the like as a conductive material, but is more preferably impregnated with metal powder such as copper or nickel.
【００２１】なお、図２において、接触部２の先端面
（すなわち、プリント基板との接触面）でＧＮＤ端子５
をシグナル端子３側に回り込ませた部分５ａを設けてい
るのは、プリント基板上の測定対象の信号ラインとＧＮ
Ｄパターンとの間隔を考慮したものである。In FIG. 2, the GND terminal 5 is connected to the tip end surface of the contact portion 2 (that is, the contact surface with the printed circuit board).
Is provided around the signal terminal 3 side because the signal line to be measured on the printed circuit board and the GN
This is in consideration of the distance from the D pattern.
【００２２】プローブ本体７はその基端部に同軸ケーブ
ル１１が接続可能なプローブトップ９を有しており、こ
のプローブトップ９にフレキシブルな同軸ケーブル１１
の一方端を接続すると、プローブトップ９及びプローブ
本体７を介して接触部２のシグナル端子３とＧＮＤ端子
５とがそれぞれ同軸ケーブル１１の内導体と外導体（図
示していない）とに接続される。The probe main body 7 has a probe top 9 at the base end thereof to which a coaxial cable 11 can be connected.
Is connected, the signal terminal 3 and the GND terminal 5 of the contact portion 2 are connected to the inner conductor and the outer conductor (not shown) of the coaxial cable 11 via the probe top 9 and the probe main body 7, respectively. You.
【００２３】同軸ケーブル１１の他方端にはコネクタ１
３が取り付けられており、例えばデジタイジング・オシ
ロシコープ等の測定装置１５に接続されるようになって
いる。The other end of the coaxial cable 11 has a connector 1
3 is attached, and is connected to a measuring device 15 such as a digitizing oscilloscope.
【００２４】上記構成において、プローブ１はプリント
基板の測定位置に対して接触部２の先端面を当該プリン
ト基板表面に平行にして軽く押し付けることにより、接
触部２のシグナル端子３とＧＮＤ端子５がそれぞれ測定
位置の信号ラインとＧＮＤパターンとに接触される。プ
リント基板の測定位置のパターンが、例えば図３に示す
ようなパターンの場合、接触部２のシグナル端子３とＧ
ＮＤ端子５がそれぞれパターン２０８の基端部２０８ａ
とＧＮＤ位置とに当該接触部２の弾性力で圧接される。In the above configuration, the probe 1 is lightly pressed with the tip end surface of the contact portion 2 parallel to the printed board surface with respect to the measurement position of the printed board, so that the signal terminal 3 and the GND terminal 5 of the contact portion 2 are connected. Each is contacted with the signal line at the measurement position and the GND pattern. When the pattern at the measurement position on the printed circuit board is, for example, a pattern as shown in FIG.
The ND terminal 5 is a base end 208a of the pattern 208.
And the GND position by the elastic force of the contact portion 2.
【００２５】従って、コンタクトプローブ１はプローブ
先端が極めて短い距離でしかも同軸状態でプリント基板
２０６上のパターン２０８に接触されるので、この接触
点でのインピーダンス不整合が少なく、測定に与える悪
影響が少ない。また、接触部２は面的にプリント基板２
０６に接触されるので、当該プリント基板２０６を損傷
させることもなく、プローブ先端も磨耗や損傷に対して
耐久性が向上し、長寿命化が可能となる。Accordingly, since the contact probe 1 is brought into contact with the pattern 208 on the printed circuit board 206 at a very short distance and coaxially with the probe tip, the impedance mismatch at this contact point is small, and the adverse effect on the measurement is small. . In addition, the contact portion 2 is printed
Since the contact is made with No. 06, the printed circuit board 206 is not damaged, the end of the probe also has improved durability against abrasion and damage, and a longer life can be achieved.
【００２６】更にプリント基板２０６に形成された信号
ラインやＧＮＤラインのランドに半田が盛られている場
合にもその凸凹の影響を受けることなく接触部２を安定
して接触させることができ、当該半田を損傷させること
もない。Further, even when solder is laid on the lands of the signal lines and GND lines formed on the printed circuit board 206, the contact portions 2 can be stably contacted without being affected by the unevenness. It does not damage the solder.
【００２７】図６は本発明のコンタクトプローブを用い
て図５に示す測定パターンのＴＤＲ測定を行った実験デ
ータを示す図であり、図７は従来のプローブを用いて図
５に示す測定パターンのＴＤＲ測定を行った実験データ
を示す図である。なお、ＴＤＲ測定は、図３に示したも
のと同様の方法である。FIG. 6 is a view showing experimental data obtained by performing a TDR measurement of the measurement pattern shown in FIG. 5 using the contact probe of the present invention, and FIG. 7 is a view showing the measurement pattern shown in FIG. It is a figure which shows the experimental data which performed TDR measurement. The TDR measurement is a method similar to that shown in FIG.
【００２８】図６及び図７においては、Ｘ軸は時間
（Ｔ、単位はｎｓ）であり、Ｙ軸は反射係数（ｍρ）で
ある。そして、シグナル端子３、ＧＮＤ端子５、プロー
ブ本体７及び同軸ケーブル１１を含めた特性インピーダ
ンスＺ0が５０Ωのプローブ１を用いて測定を行ったも
のである。In FIGS. 6 and 7, the X-axis is time (T, unit is ns), and the Y-axis is reflection coefficient (mρ). Then, in which the signal terminal 3, GND terminal 5, the characteristic impedance Z 0, including a probe body 7 and the coaxial cable 11 is measured by using a probe 1 of 50 [Omega.
【００２９】図６においては、Ａ点はプローブ１の接触
部２と測定パターンとの接触点すなわち基端部２０８ａ
に相当し、Ｂ点は測定パターン２０８の先端（すなわ
ち、開放端の位置）に相当している。従って、Ａ点とＢ
点との距離が図５に示す測定パターン２０８のライン長
Ｌに対応している。In FIG. 6, a point A is a contact point between the contact portion 2 of the probe 1 and the measurement pattern, that is, a base end portion 208a.
, And point B corresponds to the tip of the measurement pattern 208 (that is, the position of the open end). Therefore, point A and B
The distance from the point corresponds to the line length L of the measurement pattern 208 shown in FIG.
【００３０】測定パターンの特性インピーダンスＺ0は
およそ３０Ωであるので、Ａ点からＢ点の間は反射係数
がおよそ−２４０ｍρになっている。また、測定パター
ン２０８の先端は開放端となっているので、プローブ１
から入射された高周波信号はこの開放端で全反射される
ので、反射係数はおよそ−２４０ｍρから＋４００ｍρ
以上に急上昇している。Since the characteristic impedance Z 0 of the measurement pattern is about 30Ω, the reflection coefficient between point A and point B is about −240 mρ. Further, since the tip of the measurement pattern 208 is an open end, the probe 1
Since the high-frequency signal incident from is totally reflected at this open end, the reflection coefficient is approximately from −240 mρ to +400 mρ.
Soaring above.
【００３１】ＴＤＲ測定では、図６に示すように測定パ
ターン２０８の基端部（Ａ点近傍に相当）と先端部（Ｂ
点近傍に相当）で反射係数が変化するため、この部分の
反射係数では測定パターン２０８の特性インピーダンス
Ｚ0を正確に測定することはできないので、Ａ−Ｂ間の
うち、５０％〜７０％の区間（図６のＣの部分）の測定
値の平均値を用いて測定パターンの特性インピーダンス
Ｚ0としている。In the TDR measurement, as shown in FIG. 6, the base end (corresponding to the vicinity of point A) and the front end (B
(Corresponding to the vicinity of the point), the characteristic impedance Z 0 of the measurement pattern 208 cannot be accurately measured with the reflection coefficient of this portion. The characteristic impedance Z 0 of the measurement pattern is determined using the average value of the measured values in the section (portion C in FIG. 6).
【００３２】図６では、測定区間Ｃが十分に安定してい
る区間になっているので、正確な特性インピーダンスＺ
0が得られるものとなっている。図５において、測定パ
ターン長Ｌが短くなると、その測定データは図６におい
て、Ｂ点がＡ点に近づく波形となり、測定区間ＣもＡ点
に近づくようになる。In FIG. 6, since the measurement section C is a section that is sufficiently stable, an accurate characteristic impedance Z
0 is obtained. In FIG. 5, when the measurement pattern length L becomes short, the measured data has a waveform in which the point B approaches the point A in FIG. 6, and the measurement section C also approaches the point A.
【００３３】図６から明らかなように、Ａ点の近傍の区
間Ｄではプローブ１と測定パターン２０８との特性イン
ピーダンスの不連続の影響を受け、波形が滑らかに低下
している。このため、この区間Ｄの測定データを用いて
は正確なインピーダンス測定はできない。従って、正確
なインピーダンス測定が可能な最も短い測定パターン２
０８のパターン長Ｌminは測定区間Ｃが区間Ｄに隣接す
る長さである。As is apparent from FIG. 6, in the section D near the point A, the waveform is smoothly reduced due to the influence of the discontinuity of the characteristic impedance between the probe 1 and the measurement pattern 208. Therefore, accurate impedance measurement cannot be performed using the measurement data in the section D. Therefore, the shortest measurement pattern 2 capable of accurate impedance measurement
A pattern length Lmin of 08 is a length in which the measurement section C is adjacent to the section D.
【００３４】図６において、区間Ｄの距離を１目盛分と
すると、この距離が測定可能な最短のパターン長Ｌmin
に対する５０％の距離に相当するから、パターン長Ｌmi
nは略２目盛分となる。すなわち、図６の例では図５の
測定パターン２０８のパターン長Ｌに対して略１／３の
パターン長まで測定可能であることが分かる。In FIG. 6, assuming that the distance of the section D is one scale, this distance is the shortest measurable pattern length Lmin.
Of the pattern length Lmi
n is about 2 divisions. That is, in the example of FIG. 6, it can be seen that the measurement can be performed up to a pattern length L that is approximately に 対 し て of the pattern length L of the measurement pattern 208 of FIG.
【００３５】これに対し、図７に示す従来のプローブを
用いたものでは、プローブをピンで測定パターン２０８
に接触させているので、そのピンの部分のインピーダン
ス不整合の影響を大きく受け、Ａ点の前の区間Ｅでも波
形が乱れ、Ａ点では＋側に大きく入力信号の反射が生じ
ている。このため、Ａ点の後も緩やかに波形が低下し、
区間Dに相当する部分が略３目盛分にもなっている。On the other hand, in the case of using the conventional probe shown in FIG.
Therefore, the waveform is disturbed even in the section E before the point A, and the input signal is largely reflected on the + side at the point A. Therefore, the waveform gradually decreases after the point A,
The portion corresponding to the section D is equivalent to approximately three scales.
【００３６】このため、パターン長Ｌminは略６目盛分
となり、図７の例では図４の測定パターンのパターン長
Ｌに対して略６／７のパターン長までしか測定できない
ことが分かる。従って、図６及び図７の例では、本実施
形態に係るプローブは従来のピンタイプのプローブに対
して測定可能なパターン長をおよそ７／１８（＝Ｌ／３
÷６Ｌ／７）にまで短くすることができる。例えば従来
のピンタイプのプローブで測定可能なパターン長が３５
ｍｍだったとすると、本実施形態に係るプローブ１では
略１４ｍｍの測定パターンまで測定できるようになる。For this reason, the pattern length Lmin is approximately six scales, and it can be seen that in the example of FIG. 7, the pattern length can be measured only up to approximately 6/7 of the pattern length L of the measurement pattern of FIG. Therefore, in the examples of FIGS. 6 and 7, the probe according to the present embodiment has a pattern length that can be measured with respect to the conventional pin type probe by about 7/18 (= L / 3).
(÷ 6L / 7). For example, the pattern length that can be measured with a conventional pin type probe is 35
mm, the probe 1 according to the present embodiment can measure up to a measurement pattern of about 14 mm.
【００３７】このように、本実施形態に係るプローブ１
は従来のプローブ２０４に比較して、より短い測定パタ
ーンのインピーダンスを正確に安定して測定することが
できることが確認された。As described above, the probe 1 according to the present embodiment
It was confirmed that compared to the conventional probe 204, the impedance of a shorter measurement pattern can be accurately and stably measured.
【００３８】次に、図８は本実施形態に係るコンタクト
プルーブ１を複数本用いた多点測定用のコンタクトプロ
ーブの一実施例を示す他の実施形態を示す図であり、同
図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。Next, FIG. 8 is a view showing another embodiment of a contact probe for multi-point measurement using a plurality of contact probes 1 according to the present embodiment. Is a plan view, and FIG. 2B is a sectional view.
【００３９】この実施形態においては、プローブ１を多
数、具体的には４本用いて多点測定を可能にしたもので
ある。この場合には、構成を簡略するが、４本の同軸ケ
ーブル１１を直接ホルダー２１で支持させたものを例示
する。この実施形態においては、４本のプローブ１の先
端部を平面状の導電性弾性体２３で覆っている。なお、
この導電性弾性体２３は各プローブ１の先端に対向する
位置にそれぞれシグナル端子（図示略）とＧＮＤ端子
（図示略）とが設けられ、これらの端子以外の部分は絶
縁性を有する弾性体で構成されている。この測定プロー
ブではプリント基板２０６の回路パターン２０８を複数
箇所同時に測定することができるので、作業効率が向上
する。In this embodiment, multi-point measurement is enabled by using a large number of probes 1, specifically, four probes. In this case, the configuration is simplified, but an example in which four coaxial cables 11 are directly supported by the holder 21 is exemplified. In this embodiment, the tips of the four probes 1 are covered with a planar conductive elastic body 23. In addition,
The conductive elastic body 23 is provided with a signal terminal (not shown) and a GND terminal (not shown) at positions facing the tip of each probe 1, and the other parts than these terminals are made of an insulating elastic body. It is configured. With this measurement probe, the circuit pattern 208 of the printed circuit board 206 can be measured at a plurality of locations at the same time, so that work efficiency is improved.
【００４０】なお、上記実施形態においては、プローブ
１を作業者が移動させていたが、予め測定箇所を認識さ
せておき、ＸＹ方向に自動的に移動させるようにするこ
とも可能である。In the above embodiment, the probe 1 is moved by an operator. However, it is also possible to recognize a measurement location in advance and automatically move the probe 1 in the XY directions.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、同軸線
路が形成されたプローブ本体の先端に、導電性弾性体か
らなる内導体とこれと同軸に配置された導電性弾性体か
らなる外導体とが絶縁性弾性体で絶縁されてなる薄板状
の接触部を設けたので、プローブ先端をプリント基板の
測定位置に極めて短い距離でインピーダンスの整合性を
乱すことなく接触させることができ、これによりプリン
ト基板に形成された線路長の短いプリントパターンも正
確且つ安定してインピーダンス特性を測定することがで
きる。As described above, according to the present invention, at the tip of the probe body on which the coaxial line is formed, the inner conductor made of a conductive elastic body and the conductive elastic body arranged coaxially with the inner conductor are formed. Since a thin plate-shaped contact portion is provided, which is insulated from the outer conductor by an insulating elastic body, the probe tip can be brought into contact with the measurement position of the printed circuit board at a very short distance without disturbing impedance matching. This makes it possible to accurately and stably measure impedance characteristics of a printed pattern having a short line length formed on a printed circuit board.
【００４２】特に、弾性体をゴムで構成し、ゴムの弾性
力でプローブ先端をプリント基板に押し付けるようにし
ているので、プローブ先端の接触部の構造が簡単である
とともに、従来のピンを用いたものに比べて磨耗や損傷
に強く、プローブ自体の長寿命化を図ることができる。In particular, since the elastic body is made of rubber and the tip of the probe is pressed against the printed circuit board by the elastic force of the rubber, the structure of the contact portion at the tip of the probe is simple and a conventional pin is used. The probe is more resistant to wear and damage than the probe, and the life of the probe itself can be extended.
【００４３】更に、プローブ先端の接触部が同軸線路の
軸方向に対して垂直な平面になっているので、当該接触
部をプリント基板に押し付けてもプリント基板を損傷す
ることがない。Further, since the contact portion at the tip of the probe is a plane perpendicular to the axial direction of the coaxial line, the printed circuit board is not damaged even if the contact portion is pressed against the printed circuit board.
【００４４】また、プローブ本体の基端部に同軸ケーブ
ルが接続される接続部を設けたので、任意長のフレキシ
ブル同軸ケーブルを接続することによりコンタクトプロ
ーブの取扱いが容易になる。Further, since the connecting portion for connecting the coaxial cable is provided at the base end of the probe main body, the handling of the contact probe becomes easy by connecting a flexible coaxial cable of an arbitrary length.
【図１】本発明に係る同軸型コンタクトプローブを示す
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a coaxial contact probe according to the present invention.
【図２】プローブ先端の接触部の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a contact portion of a probe tip.
【図３】プリント基板におけるＴＤＲ測定の動作原理を
示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the operation principle of TDR measurement on a printed circuit board.
【図４】従来の同軸型コンタクトプローブの構成を示す
図である。FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a conventional coaxial contact probe.
【図５】プリント基板における回路パターンの一例を示
す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a circuit pattern on a printed circuit board.
【図６】本発明のプローブを用いて測定した非測定回路
における反射係数を測定した実験データ示す図である。FIG. 6 is a diagram showing experimental data obtained by measuring a reflection coefficient in a non-measurement circuit measured using the probe of the present invention.
【図７】従来のプローブを用いて測定した非測定回路に
おける反射係数を測定した実験データ示す図である。FIG. 7 is a diagram showing experimental data obtained by measuring a reflection coefficient in a non-measurement circuit measured using a conventional probe.
【図８】本発明に係るコンタクトプルーブを複数本用い
た多点測定用のコンタクトプローブの一実施例を示す図
であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図であ
る。FIGS. 8A and 8B are views showing one embodiment of a contact probe for multipoint measurement using a plurality of contact probes according to the present invention, wherein FIG. 8A is a plan view and FIG. is there.
１ 同軸型コンタクトプローブ ２ 接触部 ３ シグナル端子（内導体） ５ ＧＮＤ端子（外導体） ６ 絶縁層 ７ プローブ本体 ２０６ プリント基板 ２０８ 回路パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coaxial contact probe 2 Contact part 3 Signal terminal (inner conductor) 5 GND terminal (outer conductor) 6 Insulating layer 7 Probe body 206 Printed circuit board 208 Circuit pattern
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA10 AA22 AB06 AB08 AB09 AC14 AC32 AD01 AE01 2G014 AA01 AA25 AB59 AC10 2G028 AA01 AA04 BC01 BF08 CG08 CG15 DH14 HM05 LR10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G011 AA10 AA22 AB06 AB08 AB09 AC14 AC32 AD01 AE01 2G014 AA01 AA25 AB59 AC10 2G028 AA01 AA04 BC01 BF08 CG08 CG15 DH14 HM05 LR10
Claims (4)
端に、導電性弾性体からなる内導体とこれと同軸に配置
された導電性弾性体からなる外導体とが絶縁性弾性体で
絶縁されてなる薄板状の接触部が当該内導体と外導体と
をそれぞれ上記プローブ本体の内導体と外導体とに電気
的に接続させて設けられていることを特徴とする同軸型
コンタクトプローブ。An insulated elastic body is provided at an end of a probe body on which a coaxial line is formed, with an inner conductor made of a conductive elastic body and an outer conductor made of a conductive elastic body disposed coaxially with the inner conductor. A coaxial contact probe, wherein the thin-plate contact portion is provided by electrically connecting the inner conductor and the outer conductor to the inner conductor and the outer conductor of the probe body, respectively.
ムで構成されていることを特徴とする請求項１記載の同
軸型コンタクトプローブ。2. The coaxial contact probe according to claim 1, wherein said conductive elastic body and insulating elastic body are made of rubber.
対して垂直な接触面を有していることを特徴とする請求
項１又は２記載の同軸型コンタクトプローブ。3. The coaxial contact probe according to claim 1, wherein the contact portion has a contact surface perpendicular to an axial direction of the probe main body.
ルが接続される接続部が設けられていることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれかに記載の同軸型コンタクトプ
ローブ。4. The coaxial contact probe according to claim 1, wherein a connecting portion to which a coaxial cable is connected is provided at a base end of said probe main body.
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|---|---|---|---|
| JP2000113558A JP2001296314A (en) | 2000-04-14 | 2000-04-14 | Coaxial-type contact probe |
Applications Claiming Priority (1)
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- 2000-04-14 JP JP2000113558A patent/JP2001296314A/en not_active Withdrawn
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