JP2001290100A - Mirror scanner - Google Patents
Mirror scannerInfo
- Publication number
- JP2001290100A JP2001290100A JP2000107906A JP2000107906A JP2001290100A JP 2001290100 A JP2001290100 A JP 2001290100A JP 2000107906 A JP2000107906 A JP 2000107906A JP 2000107906 A JP2000107906 A JP 2000107906A JP 2001290100 A JP2001290100 A JP 2001290100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- scanner
- arbitrary
- angle
- light beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はミラースキャナに
関し、特に光線を反射する鏡を微小に揺動させて光線の
方位を２次元面の任意の位置に照射させることのできる
ようにした装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mirror scanner and, more particularly, to an apparatus capable of irradiating an azimuth of a light beam to an arbitrary position on a two-dimensional surface by slightly swinging a mirror for reflecting the light beam. It is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、光線の方位を２次元面の任意の位
置に制御するためのミラースキャナは、たとえば図１２
のように構成されていた。図１２において、９８ａは図
のＸ軸方向から照射されたレーザビーム、１０ａはこの
レーザビーム９８ａを反射して、その方位を図のＹ軸方
向へ変化させるミラー、１０ｂはこのＹ軸方向へ進むレ
ーザビームの進行方位をさらにＺ軸方向へ変化させるミ
ラー、９７は最終的にレーザビームが照射される照射
面、９８ｂはミラー１０ａが微小角度回転したことによ
り方位が変化したレーザビーム、９８ｃはさらにミラー
１０ｂが微小角度回転したことにより方位が変化したレ
ーザビーム、１１ａはミラー１０ａをＺ軸回りに回転さ
せるスキャナ、１１ｂはミラー１０ｂをＸ軸回りに回転
させるスキャナである。2. Description of the Related Art Conventionally, a mirror scanner for controlling the azimuth of a light beam to an arbitrary position on a two-dimensional surface is disclosed in, for example, FIG.
It was configured as follows. In FIG. 12, reference numeral 98a denotes a laser beam emitted from the X-axis direction in the figure, 10a reflects this laser beam 98a, and changes the direction of the laser beam 98a in the Y-axis direction in the figure. 10b advances in the Y-axis direction. A mirror for further changing the traveling direction of the laser beam in the Z-axis direction; 97, an irradiation surface on which the laser beam is finally irradiated; 98b, a laser beam whose direction has been changed by a slight angle rotation of the mirror 10a; A laser beam whose azimuth has changed due to a slight angle rotation of the mirror 10b, a scanner 11a for rotating the mirror 10a around the Z axis, and a scanner 11b for rotating the mirror 10b around the X axis.
【０００３】次に、この従来技術によるミラースキャナ
の動作を説明する。Ｘ軸方向へ進行するレーザビーム９
８ａがミラー１０ａにより反射して、その進行方位をＹ
軸方向へ変える際、ミラー１０ａの反射面とＸ軸とのな
す角度が４５度から微小角δ1 だけ回転したとすると、
その結果としてレーザビーム９８ａの進路はレーザビー
ム９８ｂで示される進路に変位し、レーザビーム９８ｂ
の照射面９７への照射点はＸ軸方向にｒ1 δ1 だけ変位
する。ここで、ｒ1 はミラー１０ａから照射面９７まで
のレーザビームの光路長である。Next, the operation of this conventional mirror scanner will be described. Laser beam 9 traveling in the X-axis direction
8a is reflected by the mirror 10a and its traveling direction is Y
When changing in the axial direction, assuming that the angle between the reflection surface of the mirror 10a and the X axis is rotated by a small angle δ1 from 45 degrees,
As a result, the path of the laser beam 98a is displaced to the path indicated by the laser beam 98b, and the laser beam 98b
The irradiation point on the irradiation surface 97 is displaced by r1 .delta.1 in the X-axis direction. Here, r1 is the optical path length of the laser beam from the mirror 10a to the irradiation surface 97.
【０００４】さらに、ミラー１０ｂの反射面のＹ軸とな
す角度が４５度から微小角δ2 だけ回転したとすると、
その結果として照射面９７への照射点はｙ軸方向にｒ2
δ2だけ変位する。ここで、ｒ2 はミラー１０ｂから照
射面９７までのレーザビームの光路長である。このよう
にして、２つのミラー１０ａ、１０ｂの角度をそれぞれ
微小角度δ1 、δ2 だけ回転させることにより、照射面
９７へのレーザー照射点を任意に位置決めすることがで
きる。Further, assuming that the angle between the reflecting surface of the mirror 10b and the Y axis is rotated from 45 degrees by a small angle δ2,
As a result, the irradiation point on the irradiation surface 97 is r2 in the y-axis direction.
Displaced by δ2. Here, r2 is the optical path length of the laser beam from the mirror 10b to the irradiation surface 97. In this way, by rotating the angles of the two mirrors 10a and 10b by the minute angles δ1 and δ2, the laser irradiation point on the irradiation surface 97 can be arbitrarily positioned.
【０００５】また、図１３はミラーを回転させて、その
反射光の方位を変化させるミラースキャナの、従来の構
造を示す。図１３はジェネラルスキャンニングジャパン
株式会社の川蒲孝和氏の文献『可動マグネット型ガルバ
ノメータスキャナ』光進技術（１９９２年）で公表され
ているスキャナの構成図をもとに描いたものであり、ジ
ェネラルスキャニング社もしくはコンブリッジテクノロ
ジー社（Combridge Technology Inc. ）が製造した光捜
査駆動装置と同等のものである。FIG. 13 shows a conventional structure of a mirror scanner which rotates a mirror to change the direction of reflected light. FIG. 13 is a drawing based on the configuration diagram of a scanner published in Koshin Technology (1992), a document "Movable magnet type galvanometer scanner" by Takakazu Kawaga of General Scanning Japan, Inc. Or a light search drive manufactured by Combridge Technology Inc.
【０００６】図１３において、１０はミラー、１２はこ
のミラー１０を保持し、これを回転させるロータ、９５
はこのロータ１２とともに回転する電機子巻線、９６
ａ、９６ｂは永久磁石である。In FIG. 13, reference numeral 10 denotes a mirror, 12 denotes a rotor which holds the mirror 10 and rotates it, 95
Is an armature winding rotating with the rotor 12, 96
a and 96b are permanent magnets.
【０００７】永久磁石９６ａ、９６ｂは電機子巻線９５
の回りに一様な磁界を形成しているので、電機子巻線９
５に電流を供給すると、その方向と大きさに応じて、電
機子巻線９５を回転させるモーメントが発生する。その
ために、この電機子巻線９５に固定されたロータ１２及
びそのロータ１２に固定されたミラー１０も電機子巻線
９５とともに回転する。このようにして、ミラー１０を
回転駆動することにより、このミラー１０に入射する光
線はミラー１０の回転角度に応じて、その進行方位を変
更されることができる。The permanent magnets 96a and 96b are
, A uniform magnetic field is formed around the armature winding 9.
When a current is supplied to the motor 5, a moment for rotating the armature winding 95 is generated according to the direction and magnitude of the current. Therefore, the rotor 12 fixed to the armature winding 95 and the mirror 10 fixed to the rotor 12 also rotate together with the armature winding 95. By driving the mirror 10 in this manner, the traveling direction of the light beam incident on the mirror 10 can be changed according to the rotation angle of the mirror 10.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の方式の
ミラースキャナではミラーを１つの軸回りに回転させる
ようにしているので、照射面の任意の点に光線を照射す
る場合にはどうしても２枚のミラーとこれを回転させる
２つのミラースキャナを用いる必要があった。そのため
に、反射による光学的な特性劣化を伴い、高価なミラー
やスキャナが２台必要になるという問題があった．However, in the conventional mirror scanner, since the mirror is rotated around one axis, when irradiating an arbitrary point on the irradiation surface with a light beam, two mirrors are inevitably used. Mirror and two mirror scanners for rotating the mirror had to be used. For this reason, there is a problem that two expensive mirrors and scanners are required, accompanied by deterioration of optical characteristics due to reflection.
【０００９】本発明は上述のような問題点を解決するた
めになされたもので、必要なミラーの数や駆動装置の数
を減らすことができるのみならず、１回の反射で２次元
の位置決めができる結果、損失が少なく、しかも光学的
性能の劣化も最小にできるミラースキャナを提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can reduce not only the number of necessary mirrors and the number of driving devices but also two-dimensional positioning by one reflection. As a result, an object of the present invention is to provide a mirror scanner which can reduce loss and minimize deterioration of optical performance.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明に係るミラースキ
ャナは、ミラーを傾動させて光線を任意の方向に反射さ
せるようにしたミラースキャナにおいて、１枚のミラー
を相互に交叉する２つの軸回りに回転可能に支持する支
持手段と、上記１枚のミラーを上記２つの軸のうちの任
意の軸回りに回転させるモーメント発生手段とを備え、
上記１枚のミラーを上記２つの軸回りにそれぞれ任意の
角度だけ回転させて、光線の方位を２次元面の任意の位
置に指向させるように構成されたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION A mirror scanner according to the present invention is a mirror scanner in which a mirror is tilted to reflect a light beam in an arbitrary direction. And a moment generating means for rotating the one mirror around any one of the two axes.
The one mirror is rotated around the two axes by an arbitrary angle to direct the azimuth of the light beam to an arbitrary position on a two-dimensional surface.
【００１１】また、本発明に係るミラースキャナは、ミ
ラーを傾動させて光線を任意の方向に反射させるように
したミラースキャナにおいて、１枚のミラーを任意の角
度方向に回転可能にピボット支持する支持手段と、上記
１枚のミラーを上記ピボットを中心として任意の角度方
向に回転させるモーメント発生手段とを備え、上記１枚
のミラーを上記ピボットを中心として任意の角度方向に
回転させて、光線の方位を２次元面の任意の位置に指向
させるように構成されたことを特徴とする。Further, according to the mirror scanner of the present invention, in a mirror scanner in which a mirror is tilted to reflect a light beam in an arbitrary direction, one mirror is pivotally supported so as to be rotatable in an arbitrary angle direction. Means, and a moment generating means for rotating the one mirror in an arbitrary angular direction about the pivot, and rotating the one mirror in an arbitrary angular direction about the pivot to generate a light beam. The azimuth is configured to be directed to an arbitrary position on a two-dimensional surface.
【００１２】本発明は１枚のミラーを相互に交叉する２
軸回りに又はピボットを中心として任意の角度に回転さ
せ得るようにした点に特徴の１つがある。これにより、
光線を任意の方向に変位させるのに必要なミラーの数は
１枚でよく、その駆動装置の数も減らせることができる
ばかりでなく、１回の反射で光線の２次元面上での位置
決めができるので、損失を少なくでき、又光学的性能の
劣化を最小にできることとなる。According to the present invention, two mirrors cross each other.
One of the features is that it can be rotated at an arbitrary angle around an axis or about a pivot. This allows
The number of mirrors required for displacing a light beam in an arbitrary direction may be one, and the number of driving devices can be reduced. In addition, the positioning of the light beam on a two-dimensional surface by one reflection can be performed. Therefore, the loss can be reduced and the deterioration of the optical performance can be minimized.
【００１３】支持手段は１枚のミラーを相互に交叉する
２軸回りに支持し、又はピボット支持すれことができれ
ばどのような構造、方式で支持してもよい。また、モー
メント発生手段は１枚のミラーを相互に交叉する２軸回
りに又はピボットを中心として任意の角度に回転させる
モーメントを発生できればどのような方式でもよい。し
かし、下記の態様を採用すると、簡単の方式によってミ
ラーの角度を高精度に制御できる。The support means may support the mirror about two axes crossing each other, or may support the mirror by any structure and method as long as it can be pivotally supported. Further, the moment generating means may be of any type as long as it can generate a moment for rotating one mirror around two axes crossing each other or at an arbitrary angle around a pivot. However, if the following mode is adopted, the angle of the mirror can be controlled with high accuracy by a simple method.
【００１４】即ち、スキャナ固定構造部分には自在継手
又はピボットによって１枚のミラーを回転可能に支持
し、該１枚のミラーには可動片を固定する一方、上記可
動片と対向してマグネットを配置し、該マグネットを用
いて上記可動片を吸引することによって上記１枚のミラ
ーが任意の方向に回転駆動されるように構成するのがよ
い。That is, one mirror is rotatably supported by a universal joint or a pivot on the scanner fixing structure portion, and a movable piece is fixed to the one mirror, while a magnet is opposed to the movable piece and a magnet is provided. It is preferable to arrange the mirror so that the one mirror is rotated in an arbitrary direction by attracting the movable piece using the magnet.
【００１５】ピボット支持方式を採用する場合、１枚の
ミラーを固定する回転子をスキャナ固定構造部分に鋼球
によって回転自在に支持し、回転子とスキャナ固定構造
部分との間には両者の離脱を阻止する保持器を設けるよ
うに構成すると、１枚のミラーの滑らかな回転性能を確
保でき、小さなモーメントによってミラーを任意の方向
に回転させることができる。In the case of adopting the pivot support method, a rotator for fixing one mirror is rotatably supported by a steel ball on a scanner fixing structure portion, and the two members are separated between the rotator and the scanner fixing structure portion. Is configured to provide a retainer for preventing the rotation of the mirror, smooth rotation performance of one mirror can be secured, and the mirror can be rotated in an arbitrary direction by a small moment.
【００１６】１枚のミラーを回転駆動するマグネットの
数は特に限定されず、ミラーの回転角度を制御する上
で、少なくとも３組のマグネットを設けるようにすれば
よく、例えば３組のマグネットでミラーを制御するよう
にすると、少ない部品点数で、従ってコスト高を招来す
ることなくミラーを制御でき、ミラースキャナを小型に
構成できる。The number of magnets for driving one mirror to rotate is not particularly limited, and at least three magnets may be provided to control the rotation angle of the mirror. Is controlled, the mirror can be controlled with a small number of parts and therefore without increasing the cost, and the mirror scanner can be made compact.
【００１７】モーメント発生手段は外部からの角度指令
に基づいてオープンループ制御を行ってもよいが、フィ
ードバック制御を行うこともできる。即ち、１枚のミラ
ーの回転角度を計測する計測手段と、該計測した角度信
号に基づいてモーメント発生手段をフィードバック制御
する制御手段を更に備えることもでき、これによってミ
ラーを所望の角度に高精度に駆動制御することができ
る。The moment generating means may perform open loop control based on an external angle command, but may also perform feedback control. That is, it is possible to further comprise a measuring means for measuring the rotation angle of one mirror and a control means for feedback-controlling the moment generating means based on the measured angle signal, whereby the mirror can be highly precisely adjusted to a desired angle. Can be controlled.
【００１８】計測手段には２次元の光学的位置センサを
用いることができる。このように２次元の光学的位置セ
ンサを用いるようにすると、少ないセンサ数でミラーの
回転角度を計測することができるので、ミラースキャナ
を簡単な構造に構成することが可能となる。As the measuring means, a two-dimensional optical position sensor can be used. When a two-dimensional optical position sensor is used as described above, the mirror rotation angle can be measured with a small number of sensors, so that the mirror scanner can be configured with a simple structure.
【００１９】また、計測手段は、１枚のミラーに第２の
光線を照射し、この反射光の変位を計測することによっ
て１枚のミラーの２軸回りの傾き角度又はピボット回り
の傾き角度を計測するように構成することもできる。こ
のように構成すると、方位を制御したい光線とミラー角
度の計測に使用する光線とを別個にできるので、方位を
制御したい光線を他の用途に利用することができ、ミラ
ースキャナの適用範囲を拡げることができる。The measuring means irradiates one mirror with a second light beam and measures the displacement of the reflected light to determine the tilt angle of one mirror about two axes or the tilt angle of the pivot. It can also be configured to measure. With this configuration, the light beam whose azimuth is to be controlled and the light beam used for measuring the mirror angle can be separated from each other, so that the light beam whose azimuth is to be controlled can be used for other purposes, and the application range of the mirror scanner can be expanded. be able to.
【００２０】さらに、計測手段は複数の１次元の光学的
位置センサを用いて構成されることもできる。このよう
に複数の１次元の光学的位置センサを用いるようにする
と、計測手段を安価に構成できる。Further, the measuring means may be constituted by using a plurality of one-dimensional optical position sensors. If a plurality of one-dimensional optical position sensors are used as described above, the measuring means can be configured at low cost.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１ないし図３に
本発明の実施の形態１によるミラースキャナを示す。ま
ず、図１の(a)(b)は本発明の実施の形態１によるミラー
スキャナの主要部の平面構造及び側面構造を示す。図に
おいて、１０はミラー、１３はこのミラー１０を固定し
た回転子、８０はこの回転子１３に固定され、磁性体よ
りなる可動片、５０ａ、５０ｂは回転子１３のＸ軸回り
の回転を許容するベアリング式軸受、５１ａ、５１ｂは
回転子１３のＹ軸回りの回転を許容するベアリング式軸
受、５２はこれらの軸受５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１
ｂを仲介する継手、２５はベース（スキャナ固定構造部
分）、１５は軸受５１ａ、５１ｂをベース２５に対して
支持する支柱（スキャナ固定構造部分）であり、軸受５
０ａ〜５１ｂ及び継手５２は１枚のミラー１０をＸ軸及
びＹ軸の２軸の回りに回転可能に支持する自在継手（支
持手段）を構成している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 1 to 3 show a mirror scanner according to a first embodiment of the present invention. First, FIGS. 1A and 1B show a planar structure and a side structure of a main part of a mirror scanner according to a first embodiment of the present invention. In the figure, 10 is a mirror, 13 is a rotor to which the mirror 10 is fixed, 80 is fixed to the rotor 13, and a movable piece made of a magnetic material, 50a and 50b allow the rotor 13 to rotate around the X axis. Bearings 51a, 51b are bearing-type bearings that allow the rotation of the rotor 13 around the Y-axis, and 52 is a bearing 50a, 50b, 51a, 51
b, a coupling (25) is a base (scanner fixing structure portion), 15 is a column (scanner fixing structure portion) that supports the bearings 51a and 51b with respect to the base 25, and is a bearing 5
The joints 52a and 51b and the joint 52 constitute a universal joint (supporting means) for supporting one mirror 10 rotatably about two axes of the X axis and the Y axis.
【００２２】また、２０ａ、２０ｂは両者で馬蹄形電磁
石を構成するマグネットコア、２０ｃ、２０ｄは両者で
馬蹄形電磁石を構成するマグネットコア、２０ｅ、２０
ｆは両者で馬蹄形電磁石を構成するマグネットコア、２
０ｇ、２０ｈは両者で馬蹄形電磁石を構成するマグネッ
トコア、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３
０ｆ、３０ｇ、３０ｈは各々マグネットコア２０ａ、２
０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０
ｈに巻かれた巻線であり、可動片８０とマグネットコア
２０ａ〜２０ｈ及び巻線２０ａ〜２０ｈとは１枚のミラ
ー１０をＸ軸及びＹ軸の２軸の回りに回転させるモーメ
ント発生手段を構成している。Reference numerals 20a and 20b denote magnet cores which together constitute a horseshoe electromagnet, 20c and 20d denote magnet cores which both constitute a horseshoe electromagnet, 20e and 20d
f is a magnet core forming a horseshoe electromagnet together;
Reference numerals 0g and 20h denote magnet cores 30a, 30b, 30c, 30d, 30e, and 3 which together constitute a horseshoe-shaped electromagnet.
0f, 30g and 30h are the magnet cores 20a and 2h, respectively.
0b, 20c, 20d, 20e, 20f, 20g, 20
h, and the movable piece 80, the magnet cores 20a to 20h, and the windings 20a to 20h form a moment generating means for rotating one mirror 10 around two axes of the X axis and the Y axis. Make up.
【００２３】さらに、４０は回転子１３の裏面側に固定
され、電流の供給を受けて光線を発するＬＥＤなどの発
光素子、４１は支柱１５に支持された固定子、８０は回
転子１３に固定され、マグネットコア２０ａ〜２０ｈと
対向する可動片である。Further, reference numeral 40 denotes a light-emitting element such as an LED which is fixed to the back side of the rotor 13 and emits a light beam when supplied with electric current, 41 denotes a stator supported by the column 15, and 80 denotes a stator fixed to the rotor 13. The movable piece is opposed to the magnet cores 20a to 20h.
【００２４】次に、このミラースキャナの動作について
説明する．回転子１３は軸受５０ａ、５０ｂ、５１ａ、
５１ｂによってベース２５に対して図１の(a) における
Ｘ軸及びＹ軸の２つの軸回りの微小回転が可能である。
この回転子１３にはレーザビーム等の光線を反射するミ
ラー１０が固定されているので、ミラー１０もまたベー
ス２５に対して２軸回りの回転が可能である。Next, the operation of the mirror scanner will be described. The rotor 13 has bearings 50a, 50b, 51a,
51b enables the base 25 to be slightly rotated about two axes, the X axis and the Y axis in FIG. 1A.
Since a mirror 10 that reflects a light beam such as a laser beam is fixed to the rotator 13, the mirror 10 can also rotate around two axes with respect to the base 25.
【００２５】回転子１３には円錐台筒状の磁性体である
可動片８０が固定されており、この可動片８０はこれと
対向して配置されたマグネットコア２０ａ〜２０ｈによ
って吸引力を受ける。たとえば、マグネットコア２０ａ
と２０ｂの組が巻線３０ａと３０ｂの組によって励磁さ
れたとき、マグネットコア２０ａと２０ｂは図の(b)に
おける矢印Ａ方向の吸引力を回転子１３に対して作用さ
せることになる。従って、この吸引力は回転子１３を図
１の(b) においてＹ軸回りに反時計回り方向に回転させ
る。A movable piece 80, which is a frustoconical cylindrical magnetic material, is fixed to the rotor 13, and the movable piece 80 receives an attractive force by the magnet cores 20a to 20h arranged opposite to the movable piece. For example, the magnet core 20a
When the pair of coils 20a and 20b are excited by the pair of windings 30a and 30b, the magnet cores 20a and 20b exert an attractive force on the rotor 13 in the direction of arrow A in FIG. Therefore, the suction force rotates the rotor 13 counterclockwise around the Y axis in FIG.
【００２６】同様にして、マグネットコア２０ｅと２０
ｆの組が巻線３０ｅと３０ｆの組によって励磁されたと
き、マグネットコア２０ｅと２０ｆは図１の(b) の矢印
Ｂ方向の吸引力を回転子１３に対して作用させることに
なる。従って、この吸引力は回転子１３を図１の(b) に
おいてＹ軸回りに時計回り方向に回転させる。全く同様
にして、マグネットコア２０ｃと２０ｄの組が発生する
吸引力は回転子１３をＸ軸回りに反時計回り方向に回転
させ、マグネットコア２０ｇ、２０ｈの組が発生する吸
引力は回転子１３をＸ軸回りに時計回り方向に回転させ
る。Similarly, the magnet cores 20e and 20e
When the set f is excited by the set of the windings 30e and 30f, the magnet cores 20e and 20f exert an attractive force on the rotor 13 in the direction of arrow B in FIG. Therefore, the suction force rotates the rotor 13 clockwise around the Y axis in FIG. In exactly the same way, the attraction generated by the pair of magnet cores 20c and 20d rotates the rotor 13 counterclockwise around the X axis, and the attraction generated by the pair of magnet cores 20g and 20h is the rotor 13 Is rotated clockwise around the X axis.
【００２７】図２は図１に示された本発明の実施の形態
１によるミラースキャナにおける回転部の構造を示した
模式図である。図２において、１３はミラーが固定され
る回転子、１４ａ、１４ｂは回転子１３に下方に延びて
固定されたフランジであり、それぞれ軸受５０ａ、５０
ｂが設けられている。同様に、１５ａ、１５ｂはベース
２５に固定されたフランジであり（なお、図１では支柱
１５として説明されている）、それぞれ軸受５１ａ、５
１ｂが設けられている。これらの軸受５０ａ及び５０ｂ
と５１ａ及び５１ｂとは十文字状の継手５２を介して結
合されているので、回転子１３は継手５２に対しては軸
受５０ａ、５０ｂによってＸ軸回りに回転可能であり、
同様に、継手５２はベース２５に対しては軸受５１ａ、
５１ｂによってＹ軸回りに回転可能であり、こうして回
転子１３はベース２５に対してはＸ軸及びＹ軸の２軸の
回りに回転可能である。FIG. 2 is a schematic diagram showing the structure of the rotating unit in the mirror scanner according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. In FIG. 2, 13 is a rotor to which the mirror is fixed, and 14a and 14b are flanges extending downward and fixed to the rotor 13, and bearings 50a and 50, respectively.
b is provided. Similarly, reference numerals 15a and 15b denote flanges fixed to the base 25 (which are described as the pillars 15 in FIG. 1), and bearings 51a and 51b, respectively.
1b is provided. These bearings 50a and 50b
And 51a and 51b are connected via a cross-shaped joint 52, so that the rotor 13 can rotate around the X axis with respect to the joint 52 by bearings 50a and 50b.
Similarly, the joint 52 has a bearing 51a with respect to the base 25,
51b allows the rotor 13 to rotate around the Y axis, and thus the rotor 13 can rotate around the X axis and the Y axis with respect to the base 25.
【００２８】図３は図１に示された本発明の実施の形態
１によるミラースキャナにおいて、ミラー１０の回転角
度を検出するための角度検出回路を示す機能ブロック図
である。図において、４２は四角形の各辺に電極を有
し、固定子４１に固定され、発光素子４０の放つ光束を
受光し、受光スポットと各辺の電極との間の距離に反比
例する電流を発生する受光素子、４３は受光素子４２上
の光束のスポット、４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄは
受素子４２の信号を入力とする電流／電圧変換器、４５
ａ、４５ｂは電流／電圧変換器４４ａ〜４４ｄの信号を
入力とする加減算演算器、４６は電流／電圧変換器４４
ａ〜４４ｄの信号を入力とする加算器、４７ａ、４７ｂ
は加減算演算器４５ａ、４５ｂの信号と加算器４６の信
号を入力とする除算器である。FIG. 3 is a functional block diagram showing an angle detection circuit for detecting the rotation angle of the mirror 10 in the mirror scanner according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. In the figure, reference numeral 42 denotes an electrode having electrodes on each side of a square, fixed to the stator 41, receives a light beam emitted from the light emitting element 40, and generates a current inversely proportional to the distance between the light receiving spot and the electrode on each side. 43, a light beam spot on the light receiving element 42; 44a, 44b, 44c, 44d current / voltage converters which receive the signal of the receiving element 42 as input;
Reference numerals a and 45b denote addition / subtraction arithmetic units which receive signals from the current / voltage converters 44a to 44d as inputs, and reference numeral 46 denotes a current / voltage converter 44
adders 47a and 47b which receive signals a to 44d as inputs
Is a divider which receives the signals of the addition / subtraction units 45a and 45b and the signal of the adder 46 as inputs.
【００２９】受光素子４２は光線のスポット４３の位置
から各辺にある電極までの距離に反比例した４つの電流
を出力し、これらの電流は各辺の電極に接続された４つ
の電流／電圧変換器４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄに
よってその電流に比例した電圧信号に変換される。従っ
て、これら４つの電圧信号の和と差をとることにより、
ミラー１０の傾きに比例した電圧を得ることができる。The light receiving element 42 outputs four currents which are inversely proportional to the distance from the position of the light spot 43 to the electrodes on each side, and these currents are converted into four current / voltage conversions connected to the electrodes on each side. The voltage is converted into a voltage signal proportional to the current by the devices 44a, 44b, 44c and 44d. Therefore, by taking the sum and difference of these four voltage signals,
A voltage proportional to the tilt of the mirror 10 can be obtained.
【００３０】たとえば、加減算演算器４５ａは対向する
２つの辺の電極に接続された電流／電圧変換器４４ａ、
４４ｄの出力と、これも対向する２つの辺の電極に接続
された２つの電流／電圧変換器４４ｂ、４４ｃの出力と
の差を演算するので、その出力は受光素子４２上におけ
るスポット４３のＸ軸方向の動き、即ち回転子１３のＹ
軸回りの回転角度に比例した電圧となる。また、加減算
演算器４５ｂは直交する２つの辺の電極に接続された電
流／電圧変換器４４ａ、４４ｂの出力と、これも直交す
る２つの辺の電極に接続された電流／電圧変換器４４
ｃ、４４ｄの出力との差を演算するので、その出力は受
光素子４２上におけるスポット４３のＹ軸方向の動き、
即ち回転子１３のＸ軸回りの回転角度に比例した電圧と
なる。For example, the addition / subtraction operation unit 45a includes a current / voltage converter 44a connected to electrodes on two opposite sides,
The difference between the output of the spot 44d and the output of the two current / voltage converters 44b and 44c connected to the electrodes on the two opposite sides is calculated. Axial movement, i.e. Y of rotor 13
The voltage is proportional to the rotation angle around the axis. The adder / subtractor 45b is connected to the outputs of the current / voltage converters 44a and 44b connected to the electrodes on the two orthogonal sides and the current / voltage converter 44 connected to the electrodes on the two orthogonal sides.
Since the difference from the outputs of c and 44d is calculated, the output is the movement of the spot 43 on the light receiving element 42 in the Y-axis direction,
That is, the voltage is proportional to the rotation angle of the rotor 13 about the X axis.
【００３１】さらに、加算器４６は電流／電圧変換器４
４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄの出力の総和、即ち総入
射光量を算出する。これは加減算演算器４５ａ、４５ｂ
の出力をこの総入射光量に比例した電圧で除算すること
によって、発光素子４０の経年変化等による総入射光量
の増減が、検出信号へ影響しないようにするためであ
る。このようにして、受光素子４２に入射した光線の方
位だけに感度を有する角度センサが構成される．Further, the adder 46 is connected to the current / voltage converter 4
The sum of the outputs of 4a, 44b, 44c and 44d, that is, the total incident light amount is calculated. This is the addition / subtraction operation unit 45a, 45b
Is divided by the voltage proportional to the total incident light amount, so that an increase or decrease in the total incident light amount due to aging of the light emitting element 40 does not affect the detection signal. Thus, an angle sensor having sensitivity only to the azimuth of the light beam incident on the light receiving element 42 is configured.
【００３２】図４は図１、図２、図３に示したミラース
キャナを駆動制御する回路を示す機能ブロック図であ
る。図において、４２は図２及び図３に示された受光素
子に相当するセンサ部、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０
ｄはマグネットコア２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに
巻かれた巻線、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄはそれ
ぞれ巻線３０ａと３０ｂ、３０ｃと３０ｄ、３０ｅと３
０ｆ、３０ｇと３０ｈに電流を供給する電力増幅器（モ
ーメント発生手段）、３８は図３に示された回転子１３
の角度を検出する角度検出回路である。FIG. 4 is a functional block diagram showing a circuit for driving and controlling the mirror scanner shown in FIGS. 1, 2 and 3. In the figure, reference numeral 42 denotes a sensor unit corresponding to the light receiving element shown in FIGS. 2 and 3, 30a, 30b, 30c, 30
d is a winding wound around the magnet cores 20a, 20b, 20c, and 20d, and 35a, 35b, 35c, and 35d are windings 30a and 30b, 30c and 30d, and 30e and 3 respectively.
0f, a power amplifier (moment generating means) for supplying current to 30g and 30h, 38 is a rotor 13 shown in FIG.
Is an angle detection circuit for detecting the angle of the angle.
【００３３】また、３７ａ、３７ｂはそれぞれ角度指令
値と回転子１３の回転角度の差により得られた角度誤差
信号を入力とし、これらの信号の位相を調整する位相補
償器、５３はこれらの位相補償器３７ａ、３７ｂの出力
から各巻線３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄに流す電流
を決定する制御力分配演算部（モーメント発生手段）で
あり、角度検出回路３８及び位相補償器３７ａ、３７ｂ
は計測されたミラー１０の角度信号に基づいてモーメン
ト発生手段をフィードバック制御する制御手段を構成し
ている。Reference numerals 37a and 37b each input an angle error signal obtained by a difference between the angle command value and the rotation angle of the rotor 13, and a phase compensator for adjusting the phase of these signals. A control force distribution calculating unit (moment generating means) that determines a current flowing through each of the windings 30a, 30b, 30c, 30d from the outputs of the compensators 37a, 37b, and includes an angle detection circuit 38 and phase compensators 37a, 37b.
Constitutes a control means for performing feedback control of the moment generating means based on the measured angle signal of the mirror 10.
【００３４】図４において、Ｘ軸及びＹ軸回りの回転角
度指令値が与えられると、回転角度指令値から、センサ
部４２によって計測された角度信号が減算され、それぞ
れの軸の角度誤差信号が求められる。位相補償器３７
ａ、３７ｂ及び制御力分配器５３は得られた角度誤差信
号を補正するように８つのマグネットコア２０ａ〜２０
ｈに巻かれた巻線３０ａ〜３０ｈに電流を供給する。In FIG. 4, when a rotation angle command value around the X axis and the Y axis is given, the angle signal measured by the sensor unit 42 is subtracted from the rotation angle command value, and the angle error signal of each axis is converted. Desired. Phase compensator 37
a, 37b and the control force distributor 53 are provided with eight magnet cores 20a to 20c so as to correct the obtained angle error signal.
The current is supplied to the windings 30a to 30h wound around h.
【００３５】たとえば、Ｘ軸回りに正の誤差がある場合
には図１の(a) に示されるＸ−Ｙ座標における−Ｙの位
置に配置されたマグネットコア２０ｇ、２０ｈに電流を
多く供給する必要があるので、制御力分配部５３は巻線
３０ｇ、３０ｈに電流を供給する電力増幅器３５ｄへ指
令を与えるように制御を行う。逆に、Ｘ軸回りに負の角
度がある場合には図１の(a) に示されるＸ−Ｙ座標にお
ける＋Ｙの位置に配置されたマグネットコア２０ｃ、２
０ｄに電流を多く供給する必要があるので、制御力分配
部５３は巻線３０ｃ、３０ｄに電流を供給する電力増幅
器３５ｂへ指令を与えるように制御を行う。For example, when there is a positive error around the X axis, a large amount of current is supplied to the magnet cores 20g and 20h arranged at the -Y position on the XY coordinate shown in FIG. Since it is necessary, the control force distribution unit 53 performs control so as to give a command to the power amplifier 35d that supplies current to the windings 30g and 30h. Conversely, when there is a negative angle around the X axis, the magnet cores 20c, 2c arranged at the + Y position in the XY coordinates shown in FIG.
Since a large amount of current needs to be supplied to 0d, the control force distribution unit 53 performs control so as to give a command to the power amplifier 35b that supplies current to the windings 30c and 30d.
【００３６】Ｙ軸回りの角度誤差についてもまったく同
様であって、制御力分配部５３はＹ軸回りの正の誤差に
対してはマグネットコア２０ｅ、２０ｆに電流を供給す
る電力増幅器３５ｃへ指令を与え、逆にＹ軸回りの負の
誤差に対しては電力増幅器３５ａへ指令を与えるように
制御を行う。The same applies to the angle error about the Y axis. The control force distribution unit 53 issues a command to the power amplifier 35c that supplies current to the magnet cores 20e and 20f for a positive error about the Y axis. Conversely, control is performed so as to give a command to the power amplifier 35a for a negative error about the Y axis.
【００３７】本発明の実施の形態１によるミラースキャ
ナは以上のように構成されているので、１枚のミラー１
０は２つの軸回りに同時に回転することが可能であり、
その回転角度は光学的なセンサ４２によって計測可能で
あり、又マグネットコア２０ａ〜２０ｈの吸引力はこの
ミラー１０を任意方向に回転させることができ、更には
検出された角度誤差のフィードバック制御によって、こ
れらの角度を任意の大きさに制御することができる。The mirror scanner according to the first embodiment of the present invention is configured as described above.
0 can rotate around two axes simultaneously,
The rotation angle can be measured by an optical sensor 42, and the attractive force of the magnet cores 20a to 20h can rotate the mirror 10 in an arbitrary direction, and further, by feedback control of the detected angle error, These angles can be controlled to any size.
【００３８】実施の形態２．図６の(a)(b)は実施の形態
２によるミラースキャナの側面構造、及び主要部の平面
構造を示す。本実施の形態２においては、マグネットコ
ア及びこれらのマグネットコアに巻かれた巻線が４組で
なく、３組のマグネットコア２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、
２０ｄ、２０ｅ、２０ｆと巻線３０ａ、３０ｂ、３０
ｃ、３０ｄ、３０ｅ、３０ｆにより構成されている点が
図１に示される実施例と異なっている。Embodiment 2 FIGS. 6A and 6B show a side structure of a mirror scanner according to the second embodiment and a plan structure of a main part. In the second embodiment, the magnet cores and the windings wound around these magnet cores are not four sets but three sets of magnet cores 20a, 20b, 20c,
20d, 20e, 20f and windings 30a, 30b, 30
The embodiment is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that it is constituted by c, 30d, 30e, and 30f.
【００３９】図６においても、回転子１３の支持方式や
２つの軸回りの回転角度を計測する手段は図１の実施例
とまったく同一である。しかし、回転駆動力を発生する
マグネットコア２０ａ〜２０ｆの配置や個数が異なるた
めに、制御回路はやや異なっている。In FIG. 6, the method of supporting the rotor 13 and the means for measuring the rotation angles about the two axes are exactly the same as those in the embodiment of FIG. However, the control circuit is slightly different because the arrangement and number of the magnet cores 20a to 20f that generate the rotational driving force are different.
【００４０】図５は図６に示す本発明の実施の形態２に
よるミラースキャナの駆動制御回路の機能ブロック図で
ある。図において、駆動する巻線の数が３組に減ったた
め、これらを駆動する電力増幅器の数も４個でなく、３
個の電力増幅器３５ａ、３５ｂ、３５ｃが採用されてい
る。図６のミラースキャナを図５の駆動制御回路を用い
て制御する際、制御力分配器は以下のように動作する。FIG. 5 is a functional block diagram of the drive control circuit of the mirror scanner according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. In the figure, since the number of windings to be driven is reduced to three sets, the number of power amplifiers for driving them is not four, but three.
Power amplifiers 35a, 35b, 35c are employed. When controlling the mirror scanner of FIG. 6 using the drive control circuit of FIG. 5, the control force distributor operates as follows.
【００４１】図６に示す実施の形態２によるミラースキ
ャナの回転子１３がＸ軸回りに正の誤差を有するとき、
この誤差を補正するための制御力はマグネットコア２０
ｅと２０ｆの組によって発生される。逆に、回転子１３
がＸ軸回りに負の誤差を有するとき、この誤差を補正す
るための制御力はマグネットコア２０ａと２０ｂの組、
およびマグネットコア２０ｃと２０ｄの組の合力によっ
て発生される。When the rotor 13 of the mirror scanner according to the second embodiment shown in FIG. 6 has a positive error around the X axis,
The control force for correcting this error is the magnet core 20
Generated by the set of e and 20f. Conversely, the rotor 13
Has a negative error around the X axis, the control force for correcting this error is a set of magnet cores 20a and 20b,
And the resultant force of the set of the magnet cores 20c and 20d.
【００４２】一方、回転子１３がＹ軸回りに正の誤差を
有するとき、この誤差を補正するための制御力はマグネ
ットコア２０ｃと２０ｄの組、およびマグネットコア２
０ｅと２０ｆの組の合力によって発生される。ただし、
その合力の配分は前者と後者とではおよそ２対１の比と
する。逆に、回転子１３がＹ軸回りに負の誤差を有する
とき、この誤差を補正するための制御力はマグネットコ
ア２０ａと２０ｂの組、およびマグネットコア２０ｅと
２０ｆの組の合力によって発生される。ただし、その合
力の配分は前者と後者とではおよそ２対１の比とする。On the other hand, when the rotor 13 has a positive error around the Y axis, the control force for correcting this error is a set of the magnet cores 20c and 20d and the magnet core 2d.
It is generated by the combined force of the set of 0e and 20f. However,
The distribution of the resultant force is approximately 2: 1 for the former and the latter. Conversely, when the rotor 13 has a negative error around the Y axis, the control force for correcting this error is generated by the combined force of the set of the magnet cores 20a and 20b and the set of the magnet cores 20e and 20f. . However, the distribution of the resultant force is approximately 2: 1 for the former and the latter.
【００４３】以上のように制御力分配演算部５３の演算
を実施すれば、図６のように構成された３組のマグネッ
トコア２０ａ〜２０ｆおよび巻線３０ａ〜３０ｆを、図
５のように構成された３個の電力増幅器３５ａ、３５
ｂ、３５ｃで駆動させることができる。By performing the calculation of the control force distribution calculator 53 as described above, the three sets of magnet cores 20a to 20f and the windings 30a to 30f configured as shown in FIG. 6 are configured as shown in FIG. Three power amplifiers 35a, 35
b, 35c.
【００４４】実施の形態３．図７は本発明の実施の形態
３によるミラースキャナの側面構造を示す。図において
は、巻線３０ａ〜３０ｈ又は３０ａ〜３０ｆの空間を充
分多量に確保するために、マグネットコア２０ａ〜２０
ｈ又は２０ａ〜２０ｆのベース２５への取付け位置を半
径方向に広げ、マグネットコア２０ａ〜２０ｈ又は２０
ａ〜２０ｆのの上方部分を可動片８０の近傍で内方に湾
曲させることによって、吸引力の特性を損なわずに巻線
のスペースを確保している。Embodiment 3 FIG. FIG. 7 shows a side structure of the mirror scanner according to the third embodiment of the present invention. In the figure, in order to secure a sufficiently large space for the windings 30a to 30h or 30a to 30f, the magnet cores 20a to 20f
h or 20a to 20f is attached to the base 25 in the radial direction, and the magnet cores 20a to 20h or 20
By bending the upper part of a to 20f inward in the vicinity of the movable piece 80, a space for the winding is secured without impairing the characteristics of the suction force.
【００４５】実施の形態４．図８は本発明の実施の形態
４によるミラースキャナの側面構造を示す。図におい
て、４０は発光素子、９１は方位を制御したい光線、９
２は発光素子４０から発せられる光線、４２はその光線
９２の受光素子である。また、５５は回転子１３と固定
子２７との間に挿入された鋼球、５４は回転子１３と固
定子２７とが分離することを防止するための保持器であ
る。Embodiment 4 FIG. 8 shows a side structure of a mirror scanner according to Embodiment 4 of the present invention. In the figure, 40 is a light emitting element, 91 is a light beam whose direction is to be controlled, 9
2 is a light beam emitted from the light emitting element 40, and 42 is a light receiving element of the light ray 92. Reference numeral 55 denotes a steel ball inserted between the rotor 13 and the stator 27, and reference numeral 54 denotes a retainer for preventing the rotor 13 and the stator 27 from separating.
【００４６】次に、図８の実施の形態４の動作を説明す
る。発光素子４０から発せられた光線はミラー１０の表
面で反射されて受光素子４２に像を結ぶ。発光素子４０
は回転子１３と共に運動するので、回転子１３が２つの
軸回りに回転すれば、その像は受光素子４２上を２方向
に移動する。受光素子４２は図３に示した原理によっ
て、その像の位置を検出する機能を有するので、検出さ
れた位置からミラー１０の２軸回りの角度を算出するこ
とができる。Next, the operation of the fourth embodiment shown in FIG. 8 will be described. Light emitted from the light emitting element 40 is reflected on the surface of the mirror 10 and forms an image on the light receiving element 42. Light emitting element 40
Moves together with the rotator 13, so if the rotator 13 rotates about two axes, the image moves on the light receiving element 42 in two directions. Since the light receiving element 42 has a function of detecting the position of the image according to the principle shown in FIG. 3, it is possible to calculate the angle around the two axes of the mirror 10 from the detected position.
【００４７】次に、鋼球５５はその表面が滑らかに製造
されており、回転子１３が回転する際に発生する摩擦は
充分に小さいものとする。また、回転子１３と固定子２
７とが分離しないように設けられている保持器５４は回
転子１３が回転することを妨げる力も充分に小さいもの
とする。Next, it is assumed that the surface of the steel ball 55 is manufactured smoothly, and the friction generated when the rotor 13 rotates is sufficiently small. Further, the rotor 13 and the stator 2
The retainer 54 provided so as not to separate from the rotor 7 has a sufficiently small force to prevent the rotor 13 from rotating.
【００４８】実施の形態５．図９の(a)(b)は本発明の実
施の形態５によるミラースキャナの平面構造及び側面構
造を示す。図において、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０
ｄは回転子１３の周面に９０°毎に固定された発光素
子、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄはそれぞれ発光素
子４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄの光を受光して、そ
の鉛直方向の位置を検出する受光素子、４９ａ、４９
ｂ、４９ｃ、４９ｄは受光素子４２ａ、４２ｂ、４２
ｃ、４２ｄを固定子２７に接続するためのアングルであ
る。Embodiment 5 FIG. FIGS. 9A and 9B show a plane structure and a side structure of a mirror scanner according to a fifth embodiment of the present invention. In the figure, 40a, 40b, 40c, 40
d is a light emitting element fixed to the peripheral surface of the rotor 13 at every 90 °, and 42a, 42b, 42c, and 42d receive light of the light emitting elements 40a, 40b, 40c, and 40d, respectively, and set their vertical positions. Light receiving element to be detected, 49a, 49
b, 49c, 49d are light receiving elements 42a, 42b, 42
This is an angle for connecting c and 42d to the stator 27.
【００４９】次に、この実施の形態５によるミラースキ
ャナの回転角度の検出方法について説明する。回転子１
３がＹ軸回りに回転したとすると、この回転子１３に固
定された発光素子４０ａは下方に移動し、発光素子４０
ｃは上方へ移動する。受光素子４２ａ、４２ｃは発光素
子４０ａ、４０ｃの発する光線の上下方向の位置を検出
するように配置されているので、受光素子４２ａと４２
ｃの検出した発光素子４０ａ、４０ｃの光線位置の差が
回転子１３のＹ軸回りの回転角度に比例して得られる。
同様に、回転子１３がＸ軸回りに回転した場合にも受光
素子４２ｂと４２ｄの検出した発光素子４０ｂ、４０ｄ
の光線位置の差が回転子１３のＸ軸回りの回転角度に比
例して得られる。Next, a method of detecting the rotation angle of the mirror scanner according to the fifth embodiment will be described. Rotor 1
3 rotates around the Y axis, the light emitting element 40a fixed to the rotor 13 moves downward, and the light emitting element 40a rotates.
c moves upward. Since the light receiving elements 42a and 42c are arranged to detect the vertical position of the light beam emitted from the light emitting elements 40a and 40c, the light receiving elements 42a and 42c
The difference between the light beam positions of the light emitting elements 40a and 40c detected by c is obtained in proportion to the rotation angle of the rotor 13 around the Y axis.
Similarly, when the rotor 13 rotates around the X axis, the light emitting elements 40b and 40d detected by the light receiving elements 42b and 42d
Is obtained in proportion to the rotation angle of the rotator 13 about the X axis.
【００５０】実施の形態６．図１０の(a)(b)は本発明の
実施の形態６によるミラースキャナの平面構造及び側面
構造を示す。本図では図９でＸ軸とＹ軸とにそれぞれ２
つずつ配置されていた発光素子４０ａ〜４０ｄと受光素
子４２ａ〜４２ｄの組が３組の発光素子４０ａ〜４０ｃ
と受光素子４２ａ〜４２ｃに削減されている。このよう
にしたことにより、Ｘ軸、Ｙ軸回りの回転角度を算出す
るための演算はやや複雑になるが、センサのコストを下
げることができる。Embodiment 6 FIG. FIGS. 10A and 10B show a plane structure and a side structure of a mirror scanner according to a sixth embodiment of the present invention. In FIG. 9, the X axis and the Y axis in FIG.
The set of the light emitting elements 40a to 40d and the light receiving elements 42a to 42d, which are arranged one by one, is three sets of the light emitting elements 40a to 40c.
And light receiving elements 42a to 42c. By doing so, the calculation for calculating the rotation angles about the X axis and the Y axis becomes slightly complicated, but the cost of the sensor can be reduced.
【００５１】実施の形態７．図１１の(a)(b)は本発明の
実施の形態７によるミラースキャナの平面構造及び側面
構造を示す。図１１では図１において軸受５０ａ、５０
ｂ、５１ａ、５１ｂの上方に配置されていた回転角度セ
ンサを軸受５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂの下方に配
置し、軸受５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂは中間リン
グ２３を介して回転子１３の側部へ配置している。Embodiment 7 FIG. FIGS. 11A and 11B show a plane structure and a side structure of a mirror scanner according to a seventh embodiment of the present invention. In FIG. 11, the bearings 50a, 50 in FIG.
b, 51a, 51b are disposed below the bearings 50a, 50b, 51a, 51b, and the bearings 50a, 50b, 51a, 51b are disposed on the side of the rotor 13 via the intermediate ring 23. It is located in the department.
【００５２】即ち、固定子１３からＹ軸の正方向と負方
向に軸を設け、これらを軸受５１ａ、５１ｂにより支持
し、これらの軸受５１ａ、５１ｂは中間リング２３に固
定する一方、この中間リング２３のＸ軸の正方向と負方
向に軸を設け、これらを軸受５０ａ、５０ｂにより支持
する。従って、回転子１３はＸ軸とＹ軸回りに任意の角
度だけ自由の回転することができる。That is, shafts are provided from the stator 13 in the positive direction and the negative direction of the Y axis, and these are supported by bearings 51a and 51b. These bearings 51a and 51b are fixed to the intermediate ring 23, while Shafts are provided in the positive and negative directions of the X axis 23, and these are supported by bearings 50a and 50b. Therefore, the rotor 13 can freely rotate around the X axis and the Y axis by an arbitrary angle.
【００５３】[0053]
【発明の効果】以上のように，本発明によれば、ミラー
を２つの軸回り又はピボットを中心として回転可能に支
持する支持手段と、ミラーを任意の軸回りの回転させる
モーメントを発生するモーメント発生手段とを備え、更
に必要に応じてミラーの角度を計測する計測手段と、計
測した角度信号に基づいてモーメント発生手段をフィー
ドバック制御する制御手段を備えるようにしたので、従
来２台のスキャナと２枚のミラーとを用いて構成されて
いた２次元の光線の位置決め機能を、１台のスキャナと
１枚のミラーとで実現でき、光学的性能が向上するのみ
ならず、製造に要する費用が低減できるという利点があ
る。As described above, according to the present invention, the support means for supporting the mirror so as to be rotatable about two axes or about a pivot, and the moment for generating the moment for rotating the mirror about an arbitrary axis Generating means, and, if necessary, measuring means for measuring the angle of the mirror, and control means for performing feedback control on the moment generating means based on the measured angle signal. The two-dimensional light beam positioning function configured using two mirrors can be realized with one scanner and one mirror, which not only improves optical performance but also reduces manufacturing costs. There is an advantage that it can be reduced.
【００５４】より具体的には、本発明のミラースキャナ
は、１枚のミラーを相互に交叉する２軸回りに任意の角
度に回転させ得るようにしたことにより、光線を任意の
方向に変位させるのに必要なミラーの数は１枚でよく、
その駆動装置の数も減らすことができしかも１回の反射
で光線の２次元面上での位置決めができるので、損失を
少なくでき、又光学的性能の劣化を最小にできる。More specifically, the mirror scanner of the present invention displaces a light beam in an arbitrary direction by rotating one mirror at an arbitrary angle about two axes crossing each other. Only one mirror is required for
Since the number of the driving devices can be reduced and the light beam can be positioned on the two-dimensional surface by one reflection, the loss can be reduced and the deterioration of the optical performance can be minimized.
【００５５】本発明の別のミラースキャナは、１枚のミ
ラーをピボットを中心として任意の角度に回転させ得る
ようにしたことにより、光線を任意の方向に変位させる
のに必要なミラーの数は１枚でよく、その駆動装置の数
も減らすことができしかも１回の反射で光線の２次元面
上での位置決めができるので、損失を少なくでき、又光
学的性能の劣化を最小にできる。According to another mirror scanner of the present invention, since one mirror can be rotated at an arbitrary angle about the pivot, the number of mirrors required to displace the light beam in an arbitrary direction is reduced. Since only one light source is required, the number of driving devices can be reduced, and the light beam can be positioned on a two-dimensional surface by one reflection, so that the loss can be reduced and the deterioration of optical performance can be minimized.
【００５６】また、本発明のミラースキャナは、スキャ
ナ固定構造部分に自在継手又はピボットによって１枚の
ミラーを回転可能に支持し、該１枚のミラーには可動片
を固定する一方、上記可動片と対向してマグネットを配
置し、該マグネットを用いて上記可動片を吸引すること
によって、容易に上記１枚のミラーを任意の方向に回転
駆動可能に構成できる。In the mirror scanner of the present invention, one mirror is rotatably supported on the scanner fixing structure by a universal joint or a pivot, and a movable piece is fixed to the one mirror while the movable piece is fixed. By arranging a magnet in opposition to the above, and using the magnet to attract the movable piece, the one mirror can be easily rotatably driven in any direction.
【００５７】また、ピボット支持方式を採用する場合、
１枚のミラーを固定する回転子をスキャナ固定構造部分
に鋼球によって回転自在に支持し、回転子とスキャナ固
定構造部分との間には両者の離脱を阻止する保持器を設
けるように構成すると、１枚のミラーの滑らかな回転性
能を確保でき、小さなモーメントによって容易にミラー
を任意の方向に回転させることができる。When the pivot support method is adopted,
A rotator for fixing one mirror is rotatably supported on a scanner fixing structure by a steel ball, and a retainer is provided between the rotator and the scanner fixing structure to prevent separation of the two. (1) Smooth rotation performance of one mirror can be secured, and the mirror can be easily rotated in an arbitrary direction by a small moment.
【００５８】さらに、本発明のミラースキャナにおい
て、少なくとも３組のマグネットを設けるようにするこ
とにより、少ない部品点数で、コスト高を招来すること
なくミラーを制御でき、ミラースキャナを小型に構成で
きる。Furthermore, in the mirror scanner of the present invention, by providing at least three sets of magnets, the number of parts can be reduced, the mirror can be controlled without increasing the cost, and the mirror scanner can be made compact.
【００５９】また、本発明のミラースキャナにおいて、
１枚のミラーの回転角度を計測する計測手段と、該計測
した角度信号に基づいてモーメント発生手段をフィード
バック制御する制御手段を更に備えることにより、ミラ
ーを所望の角度に高精度に駆動制御することができる。In the mirror scanner of the present invention,
By further comprising measuring means for measuring the rotation angle of one mirror and control means for feedback-controlling the moment generating means based on the measured angle signal, the mirror can be driven and controlled to a desired angle with high accuracy. Can be.
【００６０】また、本発明のミラースキャナにおいて、
計測手段として２次元の光学的位置センサを用いること
により、少ないセンサ数でミラーの回転角度を計測する
ことができるので、ミラースキャナを簡単な構造にでき
る。Also, in the mirror scanner of the present invention,
By using a two-dimensional optical position sensor as the measuring means, the rotation angle of the mirror can be measured with a small number of sensors, so that the mirror scanner can have a simple structure.
【００６１】また、計測手段を、１枚のミラーに第２の
光線を照射し、この反射光の変位を計測することによっ
て１枚のミラーの２軸回りの傾き角度又はピボット回り
の傾き角度を計測するように構成することにより、方位
を制御したい光線とミラー角度の計測に使用する光線と
を別個にできるので、方位を制御したい光線を他の用途
に利用することができ、ミラースキャナの適用範囲を拡
げることができる。The measuring means irradiates one mirror with a second light beam and measures the displacement of the reflected light to determine the tilt angle of one mirror about two axes or the tilt angle of the pivot. By configuring to measure, the light beam whose azimuth is desired to be controlled and the light beam used for measuring the mirror angle can be separated, so that the light beam whose azimuth is desired to be controlled can be used for other purposes. The range can be expanded.
【００６２】さらに、計測手段を複数の１次元の光学的
位置センサを用いて構成することにより、計測手段を安
価に構成できる。Further, by configuring the measuring means using a plurality of one-dimensional optical position sensors, the measuring means can be configured at low cost.
【図１】 本発明の実施の形態１によるミラースキャナ
の要部の平面構造(a) 及び側面構造(b) を示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing a planar structure (a) and a side structure (b) of a main part of a mirror scanner according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態１によるミラースキャナ
における回転支持部構造を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a rotation support structure of the mirror scanner according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態１によるミラースキャナ
における角度検出回路を示す機能ブロック図である。FIG. 3 is a functional block diagram illustrating an angle detection circuit in the mirror scanner according to the first embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施の形態１によるミラースキャナ
における制御装置を示す機能ブロック図である。FIG. 4 is a functional block diagram showing a control device in the mirror scanner according to the first embodiment of the present invention.
【図５】 本発明の実施の形態２によるミラースキャナ
の制御装置を示す機能ブロック図である。FIG. 5 is a functional block diagram illustrating a mirror scanner control device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】 本発明の実施の形態２によるミラースキャナ
の要部の平面構造(a) 及び側面構造(b) を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a planar structure (a) and a side structure (b) of a main part of a mirror scanner according to a second embodiment of the present invention.
【図７】 本発明の実施の形態３によるミラースキャナ
の側面構造を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a side structure of a mirror scanner according to a third embodiment of the present invention.
【図８】 本発明の実施の形態４によるミラースキャナ
の側面構造を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a side structure of a mirror scanner according to a fourth embodiment of the present invention.
【図９】 本発明の実施の形態５によるミラースキャナ
の平面構造(a) 及び側面構造(b) を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a plane structure (a) and a side structure (b) of a mirror scanner according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１０】 本発明の実施の形態６によるミラースキャ
ナの平面構造(a) 及び側面構造(b) を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a planar structure (a) and a side structure (b) of a mirror scanner according to a sixth embodiment of the present invention.
【図１１】 本発明の実施の形態７によるミラースキャ
ナの平面構造(a) 及び側面構造(b) を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a plane structure (a) and a side structure (b) of a mirror scanner according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１２】 ミラースキャナを２台用いてレーザ光線を
任意の位置に照射する従来の装置の構造の１例を示す原
理図である。FIG. 12 is a principle diagram showing an example of the structure of a conventional apparatus that irradiates a laser beam to an arbitrary position using two mirror scanners.
【図１３】 従来のミラースキャナの構造を示す外観図
である。FIG. 13 is an external view showing the structure of a conventional mirror scanner.
１０ ミラー、１３ 回転子、２５ ベース、２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ，２
０ｈ マグネットコア、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０
ｄ，３０ｅ，３０ｆ，３０ｇ，３０ｈ 巻線、３５ａ，
３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ 電力増幅器、３７ａ，３７ｂ
位相補償器、３９ 角度検出回路、４０ 発光素子、
４２ 受光素子、４４ 電流／電圧変換器、４５ 加減
算演算器、４６ 加算器、４７ 除算器、５０ａ，５０
ｂ Ｘ軸の軸受、５１ａ，５１ｂＹ軸の軸受、５２ 継
手、５３ 制御力分配演算部、５４ 保持器、５５ 鋼
球、８０ 可動片10 mirrors, 13 rotors, 25 bases, 20a,
20b, 20c, 20d, 20e, 20f, 20g, 2
0h magnet core, 30a, 30b, 30c, 30
d, 30e, 30f, 30g, 30h winding, 35a,
35b, 35c, 35d Power amplifiers, 37a, 37b
Phase compensator, 39 angle detection circuit, 40 light emitting element,
42 light receiving element, 44 current / voltage converter, 45 addition / subtraction operation unit, 46 adder, 47 divider, 50a, 50
b X-axis bearing, 51a, 51b Y-axis bearing, 52 joint, 53 control force distribution calculation unit, 54 cage, 55 steel ball, 80 movable piece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 芳昭 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 齊藤 光伯 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H041 AA11 AB12 AC04 AZ06 2H045 AB03 AB13 AB54 BA12 5H633 BB07 BB16 GG02 GG04 GG09 GG15 GG23 HH02 HH06 HH13 JA08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yoshiaki Yamazaki 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Mitsubishi Electric Co., Ltd. (72) Inventor Mitsunori Saito 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo F term in Mitsubishi Electric Corporation (reference) 2H041 AA11 AB12 AC04 AZ06 2H045 AB03 AB13 AB54 BA12 5H633 BB07 BB16 GG02 GG04 GG09 GG15 GG23 HH02 HH06 HH13 JA08
Claims (9)
反射させるようにしたミラースキャナにおいて、１枚の
ミラーを相互に交叉する２つの軸回りに回転可能に支持
する支持手段と、上記１枚のミラーを上記２つの軸のう
ちの任意の軸回りに回転させるモーメント発生手段とを
備え、上記１枚のミラーを上記２つの軸回りにそれぞれ
任意の角度だけ回転させて、光線の方位を２次元面の任
意の位置に指向させるように構成されたことを特徴とす
るミラースキャナ。1. A mirror scanner in which a mirror is tilted so as to reflect a light beam in an arbitrary direction. A supporting means for supporting one mirror rotatably around two axes crossing each other. Moment generating means for rotating the mirrors about any one of the two axes, and rotating the one mirror about the two axes by an arbitrary angle to change the azimuth of the light beam. A mirror scanner configured to be directed to an arbitrary position on a two-dimensional surface.
反射させるようにしたミラースキャナにおいて、１枚の
ミラーを任意の角度方向に回転可能にピボット支持する
支持手段と、上記１枚のミラーを上記ピボットを中心と
して任意の角度方向に回転させるモーメント発生手段と
を備え、上記１枚のミラーを上記ピボットを中心として
任意の角度方向に回転させて、光線の方位を２次元面の
任意の位置に指向させるように構成されたことを特徴と
するミラースキャナ。2. A mirror scanner in which a mirror is tilted to reflect a light beam in an arbitrary direction. A supporting means for pivotally supporting one mirror so as to be rotatable in an arbitrary angle direction, and said one mirror. And a moment generating means for rotating the mirror in an arbitrary angular direction about the pivot, and rotating the one mirror in an arbitrary angular direction about the pivot to change the azimuth of the light beam in an arbitrary two-dimensional plane. A mirror scanner configured to be directed to a position.
分に自在継手又はピボットによって回転可能に支持さ
れ、該１枚のミラーには可動片が固定される一方、該可
動片と対向してマグネットが配置され、該マグネットを
用いて上記可動片を吸引することによって上記１枚のミ
ラーが任意の方向に回転駆動されるように構成された請
求項１又は２記載のミラースキャナ。3. The one mirror is rotatably supported on a scanner fixing structure by a universal joint or a pivot. A movable piece is fixed to the one mirror, and a magnet is opposed to the movable piece. 3. The mirror scanner according to claim 1, wherein the mirror is configured to be driven to rotate in an arbitrary direction by attracting the movable piece using the magnet.
キャナ固定構造部分に鋼球によって回転自在に支持さ
れ、上記回転子とスキャナ固定構造部分との間には両者
の離脱を阻止する保持器が設けられている請求項２又は
３記載のミラースキャナ。4. A rotator for fixing the one mirror is rotatably supported by a steel ball on a scanner fixing structure portion, and a retainer for preventing separation between the rotator and the scanner fixing structure portion. 4. The mirror scanner according to claim 2, wherein a mirror is provided.
ットが少なくとも３組である請求項３又は４記載のミラ
ースキャナ。5. The mirror scanner according to claim 3, wherein at least three sets of magnets rotationally drive the one mirror.
計測手段と、該計測した角度信号に基づいて上記モーメ
ント発生手段をフィードバック制御する制御手段を更に
備えた請求項１又は２記載のミラースキャナ。6. The mirror according to claim 1, further comprising a measuring unit for measuring a rotation angle of the one mirror, and a control unit for performing feedback control of the moment generating unit based on the measured angle signal. Scanner.
サである請求項６記載のミラースキャナ。7. The mirror scanner according to claim 6, wherein said measuring means is a two-dimensional optical position sensor.
２の光線を照射し、この反射光の変位を計測することに
よって上記１枚のミラーの２軸回りの傾き角度又はピボ
ット回りの傾き角度を計測するようになした請求項６記
載のミラースキャナ。8. The measuring means irradiates the one mirror with a second light beam, and measures the displacement of the reflected light to thereby determine the tilt angle of the one mirror about two axes or the pivot angle of the one mirror. 7. The mirror scanner according to claim 6, wherein a tilt angle is measured.
置センサを用いて構成されている請求項６記載のミラー
スキャナ。9. The mirror scanner according to claim 6, wherein said measuring means is constituted by using a plurality of one-dimensional optical position sensors.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000107906A JP2001290100A (en) | 2000-04-10 | 2000-04-10 | Mirror scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000107906A JP2001290100A (en) | 2000-04-10 | 2000-04-10 | Mirror scanner |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001290100A true JP2001290100A (en) | 2001-10-19 |
Family
ID=18620837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000107906A Pending JP2001290100A (en) | 2000-04-10 | 2000-04-10 | Mirror scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001290100A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005515001A (en) * | 2002-01-09 | 2005-05-26 | シメッド ライフ システムズ インコーポレイテッド | Image apparatus and related method |
| CN1647356A (en) * | 2002-03-06 | 2005-07-27 | 格雷姆格拉斯网络公司 | Method and apparatus for actuation of a two-axis MEMS device using three actuation elements |
| WO2007139136A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Alps Electric Co., Ltd. | Actuator |
| JP2009542174A (en) * | 2006-06-22 | 2009-11-26 | オルボテック リミテッド | Tilting device |
| CN101833167A (en) * | 2009-03-06 | 2010-09-15 | 三洋电机株式会社 | Beam irradiation device and position detecting device |
| US8368874B2 (en) | 2009-01-29 | 2013-02-05 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Beam irradiation device and laser radar system |
| CN106774443A (en) * | 2016-08-31 | 2017-05-31 | 北京空间机电研究所 | A kind of spaceborne novel high-precision high stability two-dimensional pointing mechanism |
| CN116719145A (en) * | 2023-08-09 | 2023-09-08 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | Two-dimensional non-frame large-angle quick reflector |
-
2000
- 2000-04-10 JP JP2000107906A patent/JP2001290100A/en active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8423110B2 (en) | 2002-01-09 | 2013-04-16 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Imaging device and related methods |
| JP2005515001A (en) * | 2002-01-09 | 2005-05-26 | シメッド ライフ システムズ インコーポレイテッド | Image apparatus and related method |
| JP4672260B2 (en) * | 2002-01-09 | 2011-04-20 | ボストン サイエンティフィック サイムド，インコーポレイテッド | Imaging device |
| CN1647356A (en) * | 2002-03-06 | 2005-07-27 | 格雷姆格拉斯网络公司 | Method and apparatus for actuation of a two-axis MEMS device using three actuation elements |
| CN105068561A (en) * | 2002-03-06 | 2015-11-18 | 格雷姆格拉斯网络公司 | Method and apparatus for actuation of a two-axis MEMS device using three actuation elements |
| WO2007139136A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Alps Electric Co., Ltd. | Actuator |
| JP4832517B2 (en) * | 2006-05-31 | 2011-12-07 | アルプス電気株式会社 | Actuator |
| US7876002B2 (en) | 2006-05-31 | 2011-01-25 | Alps Electric Co., Ltd. | Actuator |
| JP2009542174A (en) * | 2006-06-22 | 2009-11-26 | オルボテック リミテッド | Tilting device |
| US8368874B2 (en) | 2009-01-29 | 2013-02-05 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Beam irradiation device and laser radar system |
| CN101833167A (en) * | 2009-03-06 | 2010-09-15 | 三洋电机株式会社 | Beam irradiation device and position detecting device |
| CN106774443A (en) * | 2016-08-31 | 2017-05-31 | 北京空间机电研究所 | A kind of spaceborne novel high-precision high stability two-dimensional pointing mechanism |
| CN116719145A (en) * | 2023-08-09 | 2023-09-08 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | Two-dimensional non-frame large-angle quick reflector |
| CN116719145B (en) * | 2023-08-09 | 2023-12-29 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | Two-dimensional non-frame large-angle quick reflector |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7037912B2 (en) | Position detectors, lens drives, camera devices and electronic devices | |
| US8090248B2 (en) | Anti-vibration actuator and lens unit/camera equipped therewith | |
| JP4309929B2 (en) | Actuator | |
| JP4133990B2 (en) | Actuator and lens unit and camera provided with the same | |
| WO1999010970A1 (en) | Positioning device, driving unit, and aligner equipped with the device | |
| US10634497B2 (en) | Shaft support structure, laser beam projecting unit and surveying instrument | |
| JP2003316440A (en) | Stage apparatus | |
| JP2001290100A (en) | Mirror scanner | |
| JP2011039424A (en) | Lens drive device | |
| JP2828871B2 (en) | Trepanning head | |
| JPH0882757A (en) | Biaxial luminous flux driving device | |
| JP2003043405A (en) | Scanner | |
| JP2015194722A (en) | Optical member drive unit and projection type image display device | |
| JP2005321484A (en) | Frequency response characteristic measuring device of optical deflection mirror system | |
| JP3780313B2 (en) | Biaxial actuator, drive circuit thereof, and drive method thereof | |
| JP2003346366A (en) | Optical means drive device | |
| JP2008012638A (en) | Multi-axis table | |
| JP2004301888A (en) | Light beam scanner | |
| JP2000142600A (en) | Rotary driving device | |
| WO2022123880A1 (en) | Shake correction mechanism and camera module including same | |
| JP2019008228A (en) | Optical unit with vibration correction function | |
| JP2713827B2 (en) | Objective lens drive | |
| JP2023047117A (en) | Optical axis adjustment device and optical communication device | |
| JPH08275497A (en) | Linear motor | |
| JP2023157834A (en) | Adjustment device and optical communication device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061017 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081224 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090220 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091208 |