JP2001284279A - Method for attaching and detaching cylindrical member - Google Patents
Method for attaching and detaching cylindrical memberInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は円筒状部材、例えば
縦型半導体製造装置が具備する縦型反応炉の反応管、ヒ
ータユニット等の円筒状部材、特に同心多重の構成を有
する場合の組立て、取外しに於ける円筒状部材着脱方法
に関するものである。The present invention relates to a cylindrical member, for example, a cylindrical member such as a reaction tube of a vertical reactor provided in a vertical semiconductor manufacturing apparatus, a heater unit, etc. The present invention relates to a method for attaching and detaching a cylindrical member during removal.
【0002】[0002]
【従来の技術】図23、図24は縦型半導体製造装置の
後部に位置する反応炉部分を示している。2. Description of the Related Art FIGS. 23 and 24 show a reactor portion located at the rear of a vertical semiconductor manufacturing apparatus.
【0003】縦型半導体製造装置について略述すると、
半導体製造装置はクリーンルームに設置され、更に、高
清浄雰囲気を保持する密閉な筐体1内部に主要な装置が
収納されている。[0003] Briefly describing a vertical semiconductor manufacturing apparatus,
The semiconductor manufacturing apparatus is installed in a clean room, and further, main devices are housed in a closed casing 1 that maintains a highly clean atmosphere.
【0004】前記筐体1内部には前面側から、カセット
授受ステージ(図示せず)、カセット搬送装置(図示せ
ず)、カセット収納棚(図示せず)、ウェーハ移載機
2、ボートを後述する反応炉4に挿脱するボートエレベ
ータ3が設けられ、該ボートエレベータ3の上方に前記
反応炉4が設けられている。Inside the casing 1, a cassette transfer stage (not shown), a cassette transfer device (not shown), a cassette storage shelf (not shown), a wafer transfer machine 2, and a boat are described below from the front side. A boat elevator 3 that is inserted into and removed from the reaction furnace 4 is provided, and the reaction furnace 4 is provided above the boat elevator 3.
【0005】半導体素子の材料であるシリコンウェーハ
は所定枚数、例えば25枚がカセットに装填され状態で
搬送される。図示しない外部搬送装置により、カセット
が前記カセット授受ステージに搬入されると、カセット
搬送装置によりカセット収納棚に移載され、又前記ウェ
ーハ移載機2はカセット収納棚(図示せず)の所定位置
のカセットからウェーハを降下状態のボートに移載す
る。前記ボートエレベータ3はボートを反応炉4に挿入
し、該反応炉4内でウェーハが加熱され、更に反応ガス
が前記反応炉4内に導入され、ウェーハ表面に薄膜が成
膜される等所要の処理がなされる。[0005] A predetermined number, for example, 25, of silicon wafers, which are materials of semiconductor elements, are loaded in a cassette and conveyed. When a cassette is carried into the cassette transfer stage by an external transfer device (not shown), the cassette is transferred to the cassette storage shelf by the cassette transfer device, and the wafer transfer device 2 is moved to a predetermined position on the cassette storage shelf (not shown). The wafer is transferred from the cassette to the boat in a lowered state. The boat elevator 3 inserts a boat into the reaction furnace 4, heats the wafer in the reaction furnace 4, further introduces a reaction gas into the reaction furnace 4, and forms a thin film on the wafer surface. Processing is performed.
【0006】処理が完了すると上記作動の逆の作動によ
り、ウェーハが搬出される。When the processing is completed, the wafer is carried out by the operation reverse to the above operation.
【0007】前記反応炉4は、特に図示していないが、
有天筒状の反応管、有天筒状の均熱管、有天筒状のヒー
タユニット等から構成され、これらは同心多重の配置と
なっいる。The reactor 4 is not particularly shown, but
It is composed of a cylindrical tube reaction tube, a cylindrical tube soaking tube, a cylindrical tube heater unit, and the like, which are arranged in a concentric multiple manner.
【0008】前記反応炉4内部でウェーハに対して薄膜
の生成等が行われるが、薄膜は前記反応管内面にも堆積
し、膜厚が厚くなるとやがて剥離し、パーティクルとな
って浮遊し、更にウェーハに付着してウェーハを汚染す
る。ウェーハがパーティクルに汚染されると製造した半
導体素子内部の断線等を引起し、半導体素子の製品品質
の低下、或は歩留りの低下の原因となるので、定期的に
或は所定稼働時間毎に反応管の清掃が行われる。或は、
ヒータユニットの経時的劣化により発熱線の断線等があ
る。[0008] A thin film is formed on the wafer inside the reactor 4, and the thin film is deposited on the inner surface of the reaction tube. When the film thickness is increased, the thin film is separated and floats as particles. Adhering to the wafer and contaminating the wafer. If the wafer is contaminated with particles, it will cause disconnection inside the manufactured semiconductor device, etc., which may cause a decrease in the product quality of the semiconductor device or a decrease in the yield. The pipe is cleaned. Or,
Heating wires may break due to the deterioration of the heater unit over time.
【0009】反応管の清掃は、半導体製造装置から取外
して行われるので、清掃作業には反応管の脱着作業が伴
い、更に、ヒータユニットに発熱線の断線があればヒー
タユニット自体の交換が伴う。Since the cleaning of the reaction tube is performed by detaching the reaction tube from the semiconductor manufacturing apparatus, the cleaning operation involves the attachment and detachment of the reaction tube, and further, if there is a break in the heating wire in the heater unit, the replacement of the heater unit itself is involved. .
【0010】従来より、半導体製造装置の筐体1の後部
には反応管の交換、ヒータユニットの交換等、前記反応
炉4の保守作業の為の保守作業空間5が設けられてい
た。Conventionally, a maintenance work space 5 for maintenance work of the reaction furnace 4, such as replacement of a reaction tube and replacement of a heater unit, is provided at a rear portion of the housing 1 of the semiconductor manufacturing apparatus.
【0011】図23、図24により、従来の反応管、ヒ
ータユニットの着脱方法について説明する。Referring to FIGS. 23 and 24, a conventional method for attaching and detaching a reaction tube and a heater unit will be described.
【0012】前記反応炉4の下方にはボートエレベータ
3等、半導体製造装置を構成する機器が設けられている
ので、保守作業空間5は反応炉4、ボートエレベータ3
の後方に設けられている。Since equipment constituting a semiconductor manufacturing apparatus such as the boat elevator 3 is provided below the reaction furnace 4, the maintenance work space 5 includes the reaction furnace 4, the boat elevator 3 and the like.
It is provided behind.
【0013】前記反応炉4はヒータベース7に固定さ
れ、該ヒータベース7を介して前記筐体1に取付けられ
る様になっており、又前記ヒータベース7は前記筐体1
に設けられた水平移動機構8にも連結される様になって
いる。該水平移動機構8は水平ガイド等のスライド支持
機構と、エアシリンダ等の駆動機から構成されている。The reactor 4 is fixed to a heater base 7 and is attached to the housing 1 via the heater base 7. The heater base 7 is attached to the housing 1.
Is also connected to the horizontal moving mechanism 8 provided in the first position. The horizontal moving mechanism 8 includes a slide support mechanism such as a horizontal guide and a driving device such as an air cylinder.
【0014】前記反応炉4の保守時には前記ヒータベー
ス7は筐体1から切離され、前記水平移動機構8によっ
て前記保守作業空間5迄水平移動される様になってい
る。この状態で、前記反応炉4が前記ヒータベース7よ
り取外され、下方の作業台11に降ろされ、更に筐体1
外に搬出されていた。When the reactor 4 is maintained, the heater base 7 is separated from the housing 1 and is horizontally moved to the maintenance work space 5 by the horizontal moving mechanism 8. In this state, the reaction furnace 4 is detached from the heater base 7, lowered onto the work table 11 below, and
Had been taken out.
【0015】前記保守作業空間5の壁面にはユーティリ
ティボックス9、コントロールボックス10等が設けら
れているので、充分な作業空間とはいえず、パワーリフ
タ等の作業機械を用いることはできず、前記反応炉4が
ヒータベース7より取外された後の作業は、ジャッキ、
或は支持台等が用いられるとしても、主に人手作業に頼
っていた。Since the utility box 9, the control box 10 and the like are provided on the wall surface of the maintenance work space 5, it cannot be said that the work space is sufficient, and a work machine such as a power lifter cannot be used. After the furnace 4 has been removed from the heater base 7, the work
Even if a support table or the like is used, it mainly relies on manual work.
【0016】[0016]
【発明が解決しようとする課題】前記均熱管、反応管は
石英製で長尺ものであると共に重量物である。この為、
一人では作業できず複数人の共同作業となり大変能率が
悪いと共に危険な作業となっていた。更に、前記均熱
管、反応管は僅かな隙間で同心配置となっているので、
組立、取外しには細心の注意が要求され、作業者の負担
は大きなものであった。The heat equalizing tube and the reaction tube are made of quartz and are long and heavy. Because of this,
It was a very inefficient and dangerous work because multiple people could not work together alone. Further, since the soaking tube and the reaction tube are concentrically arranged with a small gap,
Great care was required for assembly and removal, and the burden on the operator was heavy.
【0017】本発明は斯かる実情に鑑み、作業者の労力
が少なく、簡単に精度が出せ、作業時間も大幅に短縮で
きる円筒状部材着脱方法を提供しようとするものであ
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for attaching and detaching a cylindrical member, which requires less labor of an operator, can easily obtain accuracy, and can greatly shorten the operation time.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】本発明は、円筒状部材を
昇降機構により、装置の所定高さ位置に設置する場合に
於いて、前記装置設置場所に第1芯出し治具を取付け、
前記昇降機構の円筒状部材が載置される載置台に前記第
1芯出し治具に嵌合可能な部位を有する第2芯出し治具
を取付け、前記昇降機構の載置台を上昇させ前記第2芯
出し治具と第1芯出し治具とを嵌合させることで、前記
設置場所に対する前記載置台の芯出しを行い、その後前
記第1芯出し治具、第2芯出し治具を取外し、前記載置
台に円筒状部材を所定位置に設置し、前記載置台を上昇
させ円筒状部材を装置設置場所に取付ける円筒状部材着
脱方法に係るものである。According to the present invention, when a cylindrical member is installed at a predetermined height position of an apparatus by an elevating mechanism, a first centering jig is attached to the installation position of the apparatus.
A second centering jig having a portion that can be fitted to the first centering jig is attached to a mounting table on which the cylindrical member of the elevating mechanism is mounted, and the mounting table of the elevating mechanism is raised to raise the second centering jig. By fitting the two centering jigs and the first centering jig, the mounting table is centered on the installation location, and then the first centering jig and the second centering jig are removed. The present invention relates to a cylindrical member attaching / detaching method in which a cylindrical member is installed at a predetermined position on the mounting table, the mounting table is raised, and the cylindrical member is mounted on a device installation location.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0020】先ず、図1に於いて本発明の概要を説明す
る。First, an outline of the present invention will be described with reference to FIG.
【0021】本発明に係る方法は、反応炉着脱台車14
を用いて実施される。The method according to the present invention uses the detachable carriage 14 for the reactor.
It is implemented using.
【0022】尚、図1中、図23中で示したものと同一
のものには同符号を付してある。In FIG. 1, the same components as those shown in FIG. 23 are denoted by the same reference numerals.
【0023】走行自在な反応炉着脱台車14は、昇降且
つ水平方向に移動可能な受載ステージ15を有してお
り、該受載ステージ15には図示しない芯出しアタッチ
メントが取付け可能となっている。The movable reaction furnace detachable carriage 14 has a receiving stage 15 that can move up and down and move in the horizontal direction, and a centering attachment (not shown) can be attached to the receiving stage 15. .
【0024】先ず前記反応炉着脱台車14を筐体1の背
面に隣接させ(図1(A))、連結固定具16により前
記反応炉着脱台車14と筐体1とを固定する(図1
(B))。前記受載ステージ15を水平移動し、保守作
業空間5内に挿入する(図1(C))。前記受載ステー
ジ15を上昇させ該受載ステージ15と前記筐体1の反
応炉設置部との芯合わせを行う(図1(D))。First, the reactor detachable carriage 14 is made to be adjacent to the rear surface of the casing 1 (FIG. 1A), and the reactor detachable cart 14 and the casing 1 are fixed by the connecting fixture 16 (FIG. 1).
(B)). The receiving stage 15 is horizontally moved and inserted into the maintenance work space 5 (FIG. 1C). The receiving stage 15 is raised, and the receiving stage 15 is aligned with the reactor installation portion of the housing 1 (FIG. 1D).
【0025】芯合わせ完了後、前記反応炉着脱台車14
に受載ステージ15の芯合わせ位置を記憶させる。この
記憶手段は、ストッパ等を用いて機械的に芯合わせ位置
を設定し、反復再現可能とするか、或はセンサ、エンコ
ーダ等の位置検出手段を用いて電気的に記憶するか等任
意な手段が選択される。After the completion of the alignment, the carriage 14 for attaching and detaching the reactor is removed.
The centering position of the receiving stage 15 is stored. This storage means may be any means such as mechanically setting a centering position using a stopper or the like and enabling repetitive reproduction, or storing electrically using a position detecting means such as a sensor or an encoder. Is selected.
【0026】前記受載ステージ15を降下させ、前記反
応炉着脱台車14内に収納させた状態で、前記反応炉4
の構成部材、即ちヒータユニット、均熱管、反応管が前
記受載ステージ15に載置され、該受載ステージ15に
対する前記反応炉構成部材の位置決めが行われる。尚、
前記受載ステージ15には前記反応炉4の構成部材が受
載ステージ15の中心に簡単に受載される様にする為、
位置決めアタッチメント(図示せず)が用いられる(図
1(E))。With the receiving stage 15 lowered and housed in the reaction furnace detachable carriage 14, the reaction furnace 4
Are placed on the receiving stage 15, and the positioning of the reaction furnace components with respect to the receiving stage 15 is performed. still,
In order to allow the components of the reaction furnace 4 to be easily received at the center of the receiving stage 15,
A positioning attachment (not shown) is used (FIG. 1E).
【0027】前記受載ステージ15が水平移動され、移
動後の位置が前記記憶手段により位置決めされる(図1
(F))。前記受載ステージ15を上昇させる。該受載
ステージ15により前記反応炉4を取付けレベルで支持
すると、その位置が即ち反応炉構成部材の正確な取付け
位置であり、ボルト等により反応炉構成部材を固定すれ
ばよい(図1(G))。而して、反応炉構成部材が簡単
に而も正しい位置に容易に取付け可能となる。The receiving stage 15 is horizontally moved, and the position after the movement is determined by the storage means (FIG. 1).
(F)). The receiving stage 15 is raised. When the reaction furnace 4 is supported at the mounting level by the receiving stage 15, that position is an accurate mounting position of the reaction furnace components, and the reaction furnace components may be fixed with bolts or the like (FIG. 1 (G) )). Thus, the reactor components can be easily attached to the correct positions.
【0028】尚、前記反応炉構成部材はヒータユニッ
ト、均熱管、反応管等からなるが、大径のものから順
次、取付け作業を行い、必要であれば位置決めアタッチ
メントを各反応炉構成部材に適合したものとすればよ
い。The components of the reaction furnace include a heater unit, a soaking tube, a reaction tube, and the like. The mounting operation is performed sequentially from a large diameter one, and if necessary, a positioning attachment is adapted to each of the reaction furnace components. What should be done.
【0029】次に、図2〜図5により、前記反応炉着脱
台車14について具体的に説明する。Next, referring to FIGS. 2 to 5, the trolley 14 will be described in detail.
【0030】直方体形状の枠体に形成されたメインフレ
ーム17は、走行台座18にレベル調整具19を介して
取付けられている。該レベル調整具19は例えば図7で
示す様に、メインフレーム17側に螺合する押しボルト
21と該押しボルト21を貫通し、前記走行台座18側
に螺合する引きボルト22から構成される。The main frame 17 formed in a rectangular parallelepiped frame is mounted on a traveling pedestal 18 via a level adjuster 19. As shown in FIG. 7, for example, the level adjuster 19 includes a push bolt 21 screwed to the main frame 17 side and a pull bolt 22 penetrating the push bolt 21 and screwed to the traveling pedestal 18 side. .
【0031】前記メインフレーム17は平行に配設され
た一対の矩形枠17a,17aを水平に配置した所要本
数(本実施の形態では7本)の横ビーム23により連結
した構成を有しており、該横ビーム23の内上下に対向
する2本の横ビーム23にブラケット24,24を介し
て2本の支柱25,25が立設され、該支柱25にはそ
れぞれ鉛直スライドガイド26が固着されている。前記
横ビーム23の内上下に対向する他の2本の横ビーム2
3にブラケット27,27を介して1本の支柱28が立
設され、該支柱28には鉛直スライドガイド29が固着
されている。The main frame 17 has a structure in which a pair of rectangular frames 17a, 17a arranged in parallel are horizontally connected by a required number (seven in this embodiment) of horizontal beams 23. Two columns 25, 25 are provided upright on the two horizontal beams 23 facing up and down of the horizontal beams 23 via brackets 24, 24, and vertical slide guides 26 are fixed to the columns 25, respectively. ing. The other two horizontal beams 2 vertically facing each other among the horizontal beams 23
One support 28 is erected on the support 3 via brackets 27, 27, and a vertical slide guide 29 is fixed to the support 28.
【0032】前記3本の鉛直スライドガイド26,2
6、鉛直スライドガイド29を介して凹型形状の昇降ス
テージ31が昇降自在に設けられ、該昇降ステージ31
に2段水平スライドガイド32を介して載置台33が水
平方向に進退自在に設けられている。The three vertical slide guides 26, 2
6. A concave-shaped elevating stage 31 is provided via a vertical slide guide 29 so as to be movable up and down.
A mounting table 33 is provided via a two-stage horizontal slide guide 32 so as to be able to advance and retreat in the horizontal direction.
【0033】前記支柱25,25の中間に平行に配設さ
れた螺子ロッド34(好ましくはボール螺子ロッド)が
前記支柱25の上端及び下端近傍に於いて回転自在に支
持され、前記螺子ロッド34の上端に減速機35を介し
て昇降モータ36(好ましくは速度制御可能なサーボモ
ータ等)が連結されている。又、前記螺子ロッド34に
は螺子ブロック37が螺合し、該螺子ブロック37は前
記昇降ステージ31に固着されている。而して、前記昇
降モータ36の駆動により、前記螺子ロッド34が回転
され、前記螺子ブロック37を介して前記昇降ステージ
31が昇降する様になっている。尚、前記昇降モータ3
6は制御部(図示せず)を介して駆動され、該制御部に
は操作盤(図示せず)が設けられ、該操作盤を介して作
業者が前記昇降モータ36を駆動可能となっている。A screw rod 34 (preferably a ball screw rod) disposed in parallel between the supports 25, 25 is rotatably supported near the upper and lower ends of the support 25, and is supported by the screw rod 34. An elevating motor 36 (preferably a servomotor whose speed can be controlled) is connected to an upper end via a speed reducer 35. A screw block 37 is screwed to the screw rod 34, and the screw block 37 is fixed to the lifting stage 31. The screw rod 34 is rotated by the driving of the lift motor 36, and the lift stage 31 moves up and down via the screw block 37. The lifting motor 3
Reference numeral 6 is driven via a control unit (not shown). The control unit is provided with an operation panel (not shown) so that an operator can drive the elevating motor 36 via the operation panel. I have.
【0034】前記支柱28及び該支柱28と対向する支
柱25には略全長に亘って延びるラック38,38が固
定され、前記昇降ステージ31を水平なピニオンシャフ
ト39が回転自在に貫通し、該ピニオンシャフト39の
両端にピニオン41,41が固着され、該ピニオン41
は前記ラック38に噛合している。前記ピニオン41は
一本のピニオンシャフト39で連結されていることで、
両ピニオン41,41は位相のずれなく回転し、昇降ス
テージ31の両端で傾きが発生するのを防止する。即
ち、前記ラック38、ピニオンシャフト39、ピニオン
41は前記昇降ステージ31を局所で駆動した場合の傾
斜防止機構として機能する。Racks 38, 38 extending substantially over the entire length are fixed to the column 28 and the column 25 opposed to the column 28, and a horizontal pinion shaft 39 is rotatably penetrated through the elevating stage 31 so as to rotate. Pinions 41, 41 are fixed to both ends of the shaft 39.
Are engaged with the rack 38. Since the pinion 41 is connected by one pinion shaft 39,
Both pinions 41, 41 rotate without a phase shift, thereby preventing tilting at both ends of the elevating stage 31. That is, the rack 38, the pinion shaft 39, and the pinion 41 function as a tilt prevention mechanism when the elevation stage 31 is locally driven.
【0035】スプラインシャフト42が前記支柱25の
上端付近及び下端付近でブラケット43,44を介して
回転自在に支持され、前記スプラインシャフト42の下
端には被動プーリ45が嵌着されている。又、前記支柱
25にはブラケット46,47を介して進退駆動シャフ
ト48が回転自在に設けられ、該進退駆動シャフト48
上端にハンドル51が嵌着され、下端には駆動プーリ4
9が嵌着され、該駆動プーリ49と前記被動プーリ45
とは駆動ベルト52(好ましくはタイミングベルト)が
掛回さ、前記ハンドル51を回転させることで前記進退
駆動シャフト48、駆動プーリ49、駆動ベルト52、
被動プーリ45を介して前記スプラインシャフト42が
回転する様になっている。該スプラインシャフト42は
後述する回転伝達手段56を介してドライブシャフト5
5を回転する。A spline shaft 42 is rotatably supported by brackets 43 and 44 near the upper end and lower end of the column 25, and a driven pulley 45 is fitted to the lower end of the spline shaft 42. An advance / retreat drive shaft 48 is rotatably provided on the support 25 via brackets 46 and 47, and the advance / retreat drive shaft 48 is provided.
A handle 51 is fitted on the upper end, and a drive pulley 4 is
9, the driving pulley 49 and the driven pulley 45
Means that a drive belt 52 (preferably a timing belt) is wound around and the handle 51 is rotated so that the advance / retreat drive shaft 48, the drive pulley 49, the drive belt 52,
The spline shaft 42 rotates via the driven pulley 45. The spline shaft 42 is connected to the drive shaft 5 via a rotation transmitting means 56 described later.
Rotate 5
【0036】前記昇降ステージ31にはウォーム減速機
54が取付けられ、該ウォーム減速機54の入力軸(図
示せず)にはドライブシャフト55が連結され、該ドラ
イブシャフト55と前記被動プーリ45とは所要数のプ
ーリ、該プーリに掛回されたベルト(好ましくはタイミ
ングベルト)等から構成される回転伝達手段56により
連結されている。前記ウォーム減速機54の出力軸には
回動アーム57が固着され、該回動アーム57の先端は
連結部58(後述)を介して前記載置台33に摺動且つ
回転自在に連結している。前記回転伝達手段56を構成
するプーリの1つ50は前記スプラインシャフト42に
摺動自在に嵌合し、該スプラインシャフト42の回転が
伝達されると共に前記昇降ステージ31と一体に昇降可
能となっている。A worm speed reducer 54 is mounted on the elevating stage 31. A drive shaft 55 is connected to an input shaft (not shown) of the worm speed reducer 54. The drive shaft 55 and the driven pulley 45 They are connected by rotation transmitting means 56 composed of a required number of pulleys, a belt (preferably a timing belt) wound around the pulleys, and the like. A rotating arm 57 is fixed to the output shaft of the worm speed reducer 54, and the tip of the rotating arm 57 is slidably and rotatably connected to the mounting table 33 via a connecting portion 58 (described later). . One of the pulleys 50 constituting the rotation transmitting means 56 is slidably fitted to the spline shaft 42 so that the rotation of the spline shaft 42 is transmitted and the pulley 50 can be moved up and down integrally with the elevating stage 31. I have.
【0037】而して、前記ハンドル51を回転すること
で、前記進退駆動シャフト48、駆動ベルト52を介し
てスプラインシャフト42が回転され、該スプラインシ
ャフト42を介してプーリ50が回転され、更に回転伝
達手段56を介してドライブシャフト55が回転され、
又ウォーム減速機54を介して前記回動アーム57が回
動される。尚、特に図示しないが前記ハンドル51には
回転ロック機構が設けられ、所定の位置で回転をロック
可能となっている。By rotating the handle 51, the spline shaft 42 is rotated via the advance / retreat drive shaft 48 and the drive belt 52, and the pulley 50 is rotated via the spline shaft 42, and further rotated. The drive shaft 55 is rotated via the transmission means 56,
Further, the rotation arm 57 is rotated via the worm speed reducer 54. Although not shown, a rotation lock mechanism is provided on the handle 51 so that rotation can be locked at a predetermined position.
【0038】前記載置台33について図4を参照して説
明する。The mounting table 33 will be described with reference to FIG.
【0039】前記2段水平スライドガイド32の内側ス
ライドブロック61には進退ステージ62が取付けられ
ており、該進退ステージ62には前記2段水平スライド
ガイド32とは直角方向に延びる幅方向調整ガイド63
が取付けられ、該幅方向調整ガイド63を介して前記進
退ステージ62に荷受座64が進退方向とは直交する方
向(幅方向)に摺動自在に設けられている。前記進退ス
テージ62には覗き窓孔78が穿設され、前記荷受座6
4には覗き窓を兼ねる芯合せ孔79が穿設されている。An advance / retreat stage 62 is attached to the inner slide block 61 of the two-stage horizontal slide guide 32. The advance / retreat stage 62 has a width-direction adjusting guide 63 extending at right angles to the two-stage horizontal slide guide 32.
A load receiving seat 64 is slidably provided on the advance / retreat stage 62 via the width direction adjustment guide 63 in a direction (width direction) orthogonal to the advance / retreat direction. A viewing window hole 78 is formed in the advance / retreat stage 62 so that the
4 is provided with a centering hole 79 also serving as a viewing window.
【0040】前記進退ステージ62と荷受座64との間
には幅方向調整機構65が設けられている。A width direction adjusting mechanism 65 is provided between the advance / retreat stage 62 and the load receiving seat 64.
【0041】前記進退ステージ62にはボルト貫通片6
6が固着され、前記荷受座64にはボルト螺合片67が
固着され、該ボルト螺合片67と前記ボルト貫通片66
と幅位置調整ボルト68により連結されている。該幅位
置調整ボルト68は前記ボルト貫通片66を遊貫し、前
記ボルト螺合片67には螺合する。而して、前記幅位置
調整ボルト68を回転させることで、前記荷受座64が
前記進退ステージ62に対して幅方向に変位し、前記幅
位置調整ボルト68に螺合したロックナット69を締込
むことで、荷受座64の位置が固定される。The advancing / retreating stage 62 includes a bolt penetrating piece 6
6 is fixed, a bolt screwing piece 67 is fixed to the load receiving seat 64, and the bolt screwing piece 67 and the bolt penetrating piece 66 are fixed.
And a width position adjusting bolt 68. The width adjusting bolt 68 passes through the bolt penetrating piece 66 and is screwed to the bolt screwing piece 67. By rotating the width position adjusting bolt 68, the load receiving seat 64 is displaced in the width direction with respect to the advance / retreat stage 62, and the lock nut 69 screwed to the width position adjusting bolt 68 is tightened. Thus, the position of the cargo receiving seat 64 is fixed.
【0042】図8、図9を参照して前記連結部58につ
いて説明する。The connecting portion 58 will be described with reference to FIGS.
【0043】前記進退ステージ62の下面に前記幅方向
調整ガイド63と平行に連結スライドガイド71を取付
け、該連結スライドガイド71を介して前記進退ステー
ジ62に進退位置調整ガイド72を固着する。該進退位
置調整ガイド72の方向は前記2段水平スライドガイド
32と平行であり、前記幅方向調整ガイド63と直交す
る。前記進退位置調整ガイド72に連結スライド片73
を摺動自在に取付け、該連結スライド片73と前記進退
位置調整ガイド72とを進退位置調整螺子74により連
結する。該進退位置調整螺子74は進退位置調整ガイド
72を遊貫し、前記連結スライド片73に螺合する。
又、前記進退位置調整螺子74には固定ナット75が螺
着されており、前記進退位置調整螺子74の回転で回動
アーム57に対して前記進退位置調整ガイド72即ち前
記進退ステージ62が進退方向に変位する。更に、前記
固定ナット75を締込むことにより進退位置調整螺子7
4を前記進退位置調整ガイド72に固定することができ
る。A connecting slide guide 71 is mounted on the lower surface of the advance / retreat stage 62 in parallel with the width direction adjusting guide 63, and the advance / retreat position adjusting guide 72 is fixed to the advance / retreat stage 62 via the connecting slide guide 71. The direction of the advance / retreat position adjustment guide 72 is parallel to the two-stage horizontal slide guide 32 and orthogonal to the width direction adjustment guide 63. A connecting slide 73 is attached to the advance / retreat position adjusting guide 72.
Is slidably mounted, and the connecting slide piece 73 and the advance / retreat position adjusting guide 72 are connected by an advance / retreat position adjusting screw 74. The advance / retreat position adjusting screw 74 passes through the advance / retreat position adjustment guide 72 and is screwed to the connecting slide piece 73.
A fixing nut 75 is screwed to the advance / retreat position adjusting screw 74, and the advance / retreat position adjustment guide 72, that is, the advance / retreat stage 62 moves in the advance / retreat direction with respect to the rotating arm 57 by the rotation of the advance / retreat position adjustment screw 74. Is displaced. Further, by tightening the fixing nut 75, the advance / retreat position adjusting screw 7
4 can be fixed to the advance / retreat position adjustment guide 72.
【0044】前記連結スライド片73には連結ピン76
が突設され、該連結ピン76に前記回動アーム57の先
端が軸受77を介して回転自在に嵌合している。The connecting slide piece 73 includes a connecting pin 76.
The tip of the rotating arm 57 is rotatably fitted to the connecting pin 76 via a bearing 77.
【0045】而して、前記回動アーム57が回転すると
前記連結スライドガイド71に沿って前記進退位置調整
ガイド72が幅方向に移動し、前記回動アーム57先端
の進退方向のみの変位が前記昇降ステージ31に与えら
れる。即ち、前記回動アーム57の回動は連結部58に
より進退運動に変換され、前記回動アーム57の回動に
より前記載置台33が進退する。When the rotation arm 57 rotates, the advance / retreat position adjustment guide 72 moves in the width direction along the connection slide guide 71, and the displacement of the tip of the rotation arm 57 only in the advance / retreat direction is reduced. It is provided to the lifting stage 31. That is, the rotation of the rotation arm 57 is converted into a forward / backward movement by the connecting portion 58, and the mounting table 33 advances / retreats by the rotation of the rotation arm 57.
【0046】前記反応炉着脱台車14は前記走行台座1
8により自在に移動し得るが、前記反応炉4の保守作業
時にはドッキング手段により、筐体1と反応炉着脱台車
14とが所定の位置関係で連結される様になっている。The carriage 14 for attaching and detaching the reactor is mounted on the traveling pedestal 1.
8, the housing 1 and the reactor mounting / detaching carriage 14 are connected by a docking means in a predetermined positional relationship during maintenance work of the reactor 4.
【0047】図3、図10、図11により前記ドッキン
グ手段について説明する。The docking means will be described with reference to FIGS. 3, 10, and 11.
【0048】図10、図11中、図23、図24中で示
したものと同一のものには同符号を付してあり、又反応
炉着脱台車14については詳細を省略して示している。In FIGS. 10 and 11, the same components as those shown in FIGS. 23 and 24 are denoted by the same reference numerals, and the details of the reactor attaching / detaching vehicle 14 are omitted. .
【0049】前記筐体1の背面上部にドッキング金具8
0、背面下部にドッキングブラケット81を取付ける。
前記ドッキング金具80、ドッキングブラケット81は
位置決めピン等の手段で取付け位置が精度よく決定され
る様になっている。前記反応炉着脱台車14の前記ドッ
キング金具80が当接する部分には螺子孔(図示せず)
が穿設され、前記反応炉着脱台車14は固定ボルト82
により前記ドッキング金具80に固着される。A docking bracket 8 is provided on the upper rear surface of the housing 1.
0. Attach the docking bracket 81 to the lower back.
The mounting positions of the docking bracket 80 and the docking bracket 81 are determined accurately by means such as positioning pins. A screw hole (not shown) is provided in a portion of the reactor mounting / detaching carriage 14 where the docking fitting 80 abuts.
Are drilled, and the reactor attaching / detaching cart 14 is provided with fixing bolts 82.
Thus, it is fixed to the docking fitting 80.
【0050】又、前記ドッキングブラケット81は鉛直
軸心を有するドッキング孔が穿設され、反応炉着脱台車
14には前記ドッキングブラケット81に重合可能なド
ッキングブロック83が取付けられ、該ドッキングブロ
ック83には前記筐体1と反応炉着脱台車14の連結位
置で前記ドッキング孔と軸心が一致するドッキング受孔
(図示せず)が穿設されている。而して、前記ドッキン
グ孔、ドッキング受孔に固定ピン84を挿通して反応炉
着脱台車14と筐体1とを連結する。A docking hole having a vertical axis is formed in the docking bracket 81, and a docking block 83 which can be superimposed on the docking bracket 81 is attached to the reactor attaching / detaching carriage 14. A docking receiving hole (not shown) having an axis coincident with the docking hole is formed at a connection position between the housing 1 and the reaction furnace detachable carriage 14. Thus, the fixing pin 84 is inserted into the docking hole and the docking receiving hole to connect the reaction furnace detachable carriage 14 and the housing 1.
【0051】前記ドッキング金具80、ドッキングブラ
ケット81を介して反応炉着脱台車14と筐体1とを連
結することで両者の近接離反方向、水平方向の位置決め
がなされる。前記筐体1と反応炉着脱台車14の上下方
向の位置合せ(レベル出し)については図7で示したレ
ベル調整具19によって行う。By connecting the reactor mounting vehicle 14 and the housing 1 via the docking bracket 80 and the docking bracket 81, the two are positioned in the approaching / separating direction and the horizontal direction. The vertical positioning (leveling) of the housing 1 and the reactor mounting / detaching carriage 14 is performed by the level adjuster 19 shown in FIG.
【0052】上記した様に、前記反応炉4はヒータユニ
ット、均熱管、反応管によって構成されている。尚、機
種によってはヒータユニット、反応管、インナチューブ
のものもあり、反応炉の構成は種々異なる。As described above, the reaction furnace 4 includes a heater unit, a soaking tube, and a reaction tube. Note that, depending on the model, there are heater units, reaction tubes, and inner tubes, and the configuration of the reaction furnace is variously different.
【0053】前記ヒータユニット、均熱管、反応管は半
導体製造装置の反応炉4設置位置に同心に組立てられる
ものであり、これら円筒状部材は前記載置台33、即ち
荷受座64に中心が同一となる様に載置されなければな
らない。従って、図12に示される様に、前記荷受座6
4にはヒータ用アタッチメント85を介してヒータユニ
ット86が載置され、図13に示される様にアタッチメ
ント本体87、ナイロン等合成樹脂製の保護シート8
8、均熱管用アタッチメント89を介して均熱管91が
載置され、又、図14に示される様に前記アタッチメン
ト本体87、保護シート88を介して反応管92が載置
される様になっている。The heater unit, the soaking tube, and the reaction tube are assembled concentrically at the position where the reaction furnace 4 of the semiconductor manufacturing apparatus is installed, and these cylindrical members have the same center as the mounting table 33, that is, the load receiving seat 64. It must be placed as it is. Therefore, as shown in FIG.
A heater unit 86 is mounted on the heater unit 4 via a heater attachment 85. As shown in FIG. 13, an attachment body 87 and a protective sheet 8 made of synthetic resin such as nylon.
8. A soaking tube 91 is placed via a soaking tube attachment 89, and a reaction tube 92 is placed via the attachment body 87 and a protective sheet 88 as shown in FIG. I have.
【0054】前記アタッチメント本体87の下面には前
記荷受座64の芯合せ孔79に嵌合するテーパ下面突出
部95が設けられ、上面には前記反応管92の下端に嵌
合するテーパ上面突出部90が設けられている。又、均
熱管用アタッチメント89の下面には前記テーパ上面突
出部90と嵌合するテーパ凹部97が形成されると共に
均熱管用アタッチメント89の上面には前記均熱管91
の下端に嵌合するテーパ上面突出部99が設けられてい
る。The lower surface of the attachment body 87 is provided with a tapered lower surface projection 95 that fits into the centering hole 79 of the load receiving seat 64, and the upper surface is a tapered upper surface projection that fits into the lower end of the reaction tube 92. 90 are provided. In addition, a tapered recess 97 that fits with the tapered upper surface projecting portion 90 is formed on the lower surface of the heat equalizing tube attachment 89, and the heat equalizing tube 91 is formed on the upper surface of the heat equalizing tube attachment 89.
Is provided with a tapered upper surface protruding portion 99 that fits on the lower end of the taper.
【0055】而して、前記テーパ下面突出部95と前記
芯合せ孔79間の位置合せ作用により、アタッチメント
本体87は特に位置出し作業を行うことなく、正確に載
置台33に載置され、又反応管92は前記テーパ上面突
出部90との位置合せ作用により前記アタッチメント本
体87上に載置するだけで前記載置台33に対して正確
に位置決めされる。同様に、前記均熱管用アタッチメン
ト89を前記アタッチメント本体87に載置した場合
も、前記テーパ上面突出部90と前記テーパ凹部97と
の位置合せ作用により前記アタッチメント本体87と前
記テーパ上面突出部99間の芯出しが行われ、前記均熱
管用アタッチメント89に載置される均熱管91につい
ても、前記テーパ上面突出部99の芯出し作用により、
前記均熱管用アタッチメント89、アタッチメント本体
87を介して前記載置台33に正確に位置決めされる。Thus, the attachment body 87 is accurately placed on the mounting table 33 without performing a positioning operation by the positioning operation between the tapered lower surface projecting portion 95 and the centering hole 79. The reaction tube 92 is accurately positioned with respect to the mounting table 33 only by being mounted on the attachment main body 87 by the positioning action with the tapered upper surface projecting portion 90. Similarly, when the heat equalizing tube attachment 89 is placed on the attachment main body 87, the position between the attachment main body 87 and the tapered upper surface protruding portion 99 is also adjusted by the positioning action between the tapered upper surface protruding portion 90 and the tapered concave portion 97. The centering of the taper upper surface protruding portion 99 is also performed by the centering action of the taper upper surface protruding portion 99.
It is accurately positioned on the mounting table 33 via the heat equalizing tube attachment 89 and the attachment body 87.
【0056】以下、図13〜図21を参照して前記反応
炉4の組立て作業について説明する。Hereinafter, the assembling operation of the reaction furnace 4 will be described with reference to FIGS.
【0057】該反応炉4の組立ては保守作業空間5で行
われる。先ず、ヒータユニット86が組込まれ、該ヒー
タユニット86を基準として、前記均熱管91、反応管
92が組込まれていく。又既にヒータユニット86が組
込まれている場合は、組込まれている該ヒータユニット
86が基準となる。以下詳述する。The reactor 4 is assembled in the maintenance work space 5. First, the heater unit 86 is installed, and the soaking tube 91 and the reaction tube 92 are installed with the heater unit 86 as a reference. When the heater unit 86 is already installed, the installed heater unit 86 is used as a reference. The details will be described below.
【0058】前記反応炉着脱台車14を半導体製造装置
の背面近く迄移動し、前記載置台33に水準器(図示せ
ず)をセットし、該水準器を基に前記レベル調整具19
により前記載置台33の水平、及び高低位置を調整する
(図15参照)。The carriage 14 is moved to a position near the back of the semiconductor manufacturing apparatus, a level (not shown) is set on the mounting table 33, and the level adjuster 19 is set on the basis of the level.
To adjust the horizontal and vertical positions of the mounting table 33 (see FIG. 15).
【0059】次に、ドッキング手段により前記反応炉着
脱台車14と前記筐体1とを連結する。Next, the reactor mounting and dismounting cart 14 and the housing 1 are connected by docking means.
【0060】前記ドッキング金具80、ドッキングブラ
ケット81を前記筐体1の所定位置に取付け、前記固定
ボルト82、前記固定ピン84により前記ドッキング金
具80、ドッキングブラケット81を介して前記反応炉
着脱台車14と、前記筐体1とを連結する(図16参
照)。The docking bracket 80 and the docking bracket 81 are attached to predetermined positions of the housing 1, and the fixing bolt 82 and the fixing pins 84 are used to connect the docking bracket 80 and the docking bracket 81 to the reaction furnace attaching / detaching carriage 14. And the housing 1 (see FIG. 16).
【0061】前記水平移動機構8を保守作業空間5に移
動させ、前記載置台33を降下させ、又後退させた位置
とする。該載置台33に前記ヒータ用アタッチメント8
5を取付け、該ヒータ用アタッチメント85にヒータユ
ニット86をヒータベース7を介して固定する(図12
参照)。The horizontal moving mechanism 8 is moved to the maintenance work space 5, and the mounting table 33 is lowered and moved to a position where it is retracted. Attach the heater attachment 8 to the mounting table 33.
12 and the heater unit 86 is fixed to the heater attachment 85 via the heater base 7 (FIG. 12).
reference).
【0062】前記ハンドル51を回転し、前記回転伝達
手段56、ドライブシャフト55、ウォーム減速機54
を介して前記回動アーム57を回動させ、前記載置台3
3を筐体1の保守作業空間5内に前進させる。前記昇降
モータ36を駆動し、前記螺子ロッド34、螺子ブロッ
ク37を介して前記昇降ステージ31を上昇させる。前
記水平移動機構8は前記ヒータベース7を固定する為の
ヒータベース固定支柱93を具備しており、前記ヒータ
ベース7を該ヒータベース固定支柱93に固定する(図
17参照)。When the handle 51 is rotated, the rotation transmitting means 56, the drive shaft 55, the worm reducer 54
The rotation arm 57 is rotated via the
3 is advanced into the maintenance work space 5 of the housing 1. The lifting motor 36 is driven to raise the lifting stage 31 via the screw rod 34 and the screw block 37. The horizontal moving mechanism 8 includes a heater base fixing column 93 for fixing the heater base 7, and fixes the heater base 7 to the heater base fixing column 93 (see FIG. 17).
【0063】前記載置台33を下降させ、前記ヒータ用
アタッチメント85を取外し、前記アタッチメント本体
87を前記載置台33に取付ける。該載置台33に芯合
せピン96を取付ける。又、前記ヒータベース7下面に
は円周3等分位置に炉口部取付け柱94を取付け、該炉
口部取付け柱94を介して芯出しプレート98を前記ヒ
ータユニット86と同心に取付ける。該芯出しプレート
98は前記芯合せピン96と対応する位置に芯合せ用の
芯出し孔(図示せず)を有している。The mounting table 33 is lowered, the heater attachment 85 is removed, and the attachment body 87 is mounted on the mounting table 33. The centering pins 96 are mounted on the mounting table 33. Further, a furnace port mounting column 94 is mounted on the lower surface of the heater base 7 at three equally circumferential positions, and a centering plate 98 is mounted concentrically with the heater unit 86 via the furnace port mounting column 94. The centering plate 98 has a centering hole (not shown) for centering at a position corresponding to the centering pin 96.
【0064】前記ハンドル51を一杯迄回転し、前記載
置台33をストロークエンドとした状態で、前記ハンド
ル51を所要の手段でロックし、前記昇降モータ36を
駆動して前記載置台33を上昇させる。With the handle 51 fully rotated and the mounting table 33 at the stroke end, the handle 51 is locked by required means, and the lifting motor 36 is driven to raise the mounting table 33. .
【0065】前記芯合せピン96が前記芯出しプレート
98に当接する直前迄前記載置台33を上昇させる。前
記幅方向調整機構65の前記幅位置調整ボルト68を回
し、又前記連結部58の進退位置調整螺子74を回し
て、幅方向、進退方向の位置調整を行い、前記芯合せピ
ン96と芯出し孔が一致した状態で、又前記ロックナッ
ト69、固定ナット75を緩めた状態で前記載置台33
を更に上昇させ、前記芯合せピン96と芯出し孔を嵌合
させ、前記ロックナット69と前記固定ナット75とを
締込みロックする。この状態で、前記アタッチメント本
体87と前記ヒータベース7の芯が合致している(図1
8参照)。The mounting table 33 is raised just before the centering pins 96 come into contact with the centering plate 98. By turning the width position adjusting bolt 68 of the width direction adjusting mechanism 65 and turning the forward / backward position adjusting screw 74 of the connecting portion 58 to adjust the position in the width direction and the forward / backward direction, the centering pin 96 is aligned with the centering pin 96. With the holes aligned, and with the lock nut 69 and the fixing nut 75 loosened,
Is further raised, the centering pin 96 and the centering hole are fitted, and the lock nut 69 and the fixed nut 75 are tightened and locked. In this state, the core of the attachment main body 87 matches the core of the heater base 7 (FIG. 1).
8).
【0066】前記載置台33を下降させ、更に後退させ
て反応炉着脱台車14内に位置させる。この状態で、前
記均熱管用アタッチメント89を前記保護シート88を
介してアタッチメント本体87に載置し、更に前記均熱
管用アタッチメント89に均熱管91を載置する。上記
した様に均熱管91はアタッチメント本体87に対して
芯出しがなされる。前記ハンドル51を回転させ、前記
均熱管91を前記保守作業空間5内にストロークエンド
迄移動させる。この状態で、前記均熱管91と前記ヒー
タユニット86との芯は合致している。更に前記昇降モ
ータ36を駆動して均熱管91を前記ヒータユニット8
6内に挿入し、前記均熱管91のフランジを前記ヒータ
ベース7に固定する。(図19参照)。The mounting table 33 is lowered and further retracted so as to be positioned inside the reactor detachable carriage 14. In this state, the attachment 89 for the soaking tube is placed on the attachment body 87 via the protective sheet 88, and the soaking tube 91 is further placed on the attachment 89 for the soaking tube. As described above, the heat equalizing tube 91 is centered with respect to the attachment body 87. By rotating the handle 51, the heat equalizing tube 91 is moved into the maintenance work space 5 to the stroke end. In this state, the cores of the heat equalizing tube 91 and the heater unit 86 match. Further, the elevating motor 36 is driven to move the soaking tube 91 to the heater unit 8.
6 and fix the flange of the heat equalizing tube 91 to the heater base 7. (See FIG. 19).
【0067】前記載置台33を下降させ、更に後退させ
て反応炉着脱台車14内に位置させる。前記均熱管用ア
タッチメント89を取外し、前記アタッチメント本体8
7に反応管92を載置する。載置した状態で該反応管9
2と前記アタッチメント本体87との芯合せは完了して
いる。The mounting table 33 is lowered and further retracted so as to be positioned in the reaction furnace detachable carriage 14. The attachment 89 for the soaking tube is removed, and the attachment body 8 is removed.
The reaction tube 92 is placed on 7. The reaction tube 9
The alignment of the attachment 2 with the attachment body 87 has been completed.
【0068】前記ハンドル51を回転させ、前記反応管
92を前記保守作業空間5内にストロークエンド迄移動
させる。この状態で、前記反応管92と前記均熱管91
との芯は合致している。更に前記昇降モータ36を駆動
して反応管92を前記均熱管91内に挿入し、前記反応
管92のフランジを前記ヒータベース7に固定し、反応
管92の組込み、即ち反応炉4の組立が完了する(図2
0参照)。The handle 51 is rotated to move the reaction tube 92 into the maintenance work space 5 to the stroke end. In this state, the reaction tube 92 and the soaking tube 91
And the core match. Further, the elevating motor 36 is driven to insert the reaction tube 92 into the soaking tube 91, the flange of the reaction tube 92 is fixed to the heater base 7, and the reaction tube 92 is assembled, that is, the reactor 4 is assembled. Complete (Figure 2
0).
【0069】前記水平移動機構8を駆動して前記反応炉
4を保守作業空間5から反応炉4収納位置迄移動する。
又、前記載置台33を下降させ、後退させ、更にドッキ
ング手段を取外して、反応炉4と反応炉着脱台車14と
筐体1との連結を解除する。The horizontal moving mechanism 8 is driven to move the reaction furnace 4 from the maintenance work space 5 to the reaction furnace 4 storage position.
Further, the mounting table 33 is lowered and retracted, and further, the docking means is removed, and the connection between the reaction furnace 4, the reaction furnace detachable carriage 14 and the housing 1 is released.
【0070】反応炉4の分解、反応管92の取外し等に
ついては上記組込み、組立の逆の手順を行えばよいので
説明を省略する。The disassembly of the reaction furnace 4 and the removal of the reaction tube 92 may be performed in the reverse order of the above-described assembling and assembling.
【0071】而して、ヒータユニット86、均熱管9
1、反応管92の組込み前に芯合せ、更に姿勢の調整迄
が完了しており、半導体製造装置内での作業者の組込み
作業はヒータユニット86、均熱管91、反応管92の
固定作業だけでよく、作業が著しく簡単になると共に高
い位置でヒータユニット86、均熱管91、反応管92
を支持する作業がなく、ヒータユニット86、均熱管9
1、反応管92の人手による支持作業は低い位置で、而
も半導体製造装置外であるので作業性はよく、安全性が
向上する。The heater unit 86 and the soaking tube 9
1. The alignment before the installation of the reaction tube 92 and the adjustment of the posture have been completed, and the assembly work of the operator in the semiconductor manufacturing apparatus is only the fixing work of the heater unit 86, the soaking tube 91, and the reaction tube 92. The operation becomes extremely simple, and the heater unit 86, the soaking tube 91, the reaction tube 92
There is no work to support the heater unit 86 and the soaking tube 9
1. Since the work of supporting the reaction tube 92 manually is at a low position and is outside the semiconductor manufacturing apparatus, workability is good and safety is improved.
【0072】図21、図22は本発明の応用例を示して
おり、該応用例の対象となる反応炉4は反応管100の
内部に石英製のインナチューブ101が設けられている
ものである。FIGS. 21 and 22 show an application example of the present invention. The reaction furnace 4 to which the application example is applied has a quartz inner tube 101 provided inside a reaction tube 100. .
【0073】前記アタッチメント本体87の上にインナ
チューブアタッチメント102が載置される。該インナ
チューブアタッチメント102の下面にはアタッチメン
ト本体87上面に突設されるテーパ上面突出部90に嵌
合可能な下面凹部103が形成され、前記インナチュー
ブアタッチメント102を前記アタッチメント本体87
に乗置するだけで芯出しが行える様になっている。又、
前記インナチューブアタッチメント102には半径方向
に突出する位置合せハンドル104が設けられ、又調整
用覗き窓105が穿設されている。An inner tube attachment 102 is mounted on the attachment body 87. On the lower surface of the inner tube attachment 102, a lower surface concave portion 103 is formed which can be fitted to a tapered upper surface projecting portion 90 projecting from the upper surface of the attachment main body 87, and the inner tube attachment 102 is attached to the attachment main body 87.
The centering can be performed simply by placing it on the vehicle. or,
The inner tube attachment 102 is provided with a positioning handle 104 protruding in the radial direction, and an adjustment viewing window 105 is formed.
【0074】而して、前記インナチューブアタッチメン
ト102を介してインナチューブ101が載置され、更
に反応管100に挿入した後、前記調整用覗き窓105
からインナチューブ101と前記反応管100との位置
関係を見ながら前記ハンドル104により前記インナチ
ューブアタッチメント102を介して前記インナチュー
ブ101を回転し、前記インナチューブ101と反応管
100との回転方向の位置合せをする。After the inner tube 101 is placed via the inner tube attachment 102 and further inserted into the reaction tube 100, the adjustment viewing window 105
The handle 104 is used to rotate the inner tube 101 via the inner tube attachment 102 while observing the positional relationship between the inner tube 101 and the reaction tube 100 from the position of the inner tube 101 and the reaction tube 100 in the rotational direction. Make a match.
【0075】[0075]
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、円筒状
部材を昇降機構により、装置の所定高さ位置に設置する
場合に於いて、前記装置設置場所に第1芯出し治具を取
付け、前記昇降機構の円筒状部材が載置される載置台に
前記第1芯出し治具に嵌合可能な部位を有する第2芯出
し治具を取付け、前記昇降機構の載置台を上昇させ前記
第2芯出し治具と第1芯出し治具とを嵌合させること
で、前記設置場所に対する前記載置台の芯出しを行い、
その後前記第1芯出し治具、第2芯出し治具を取外し、
前記載置台に円筒状部材を所定位置に設置し、前記載置
台を上昇させ円筒状部材を装置設置場所に取付ける様に
したので、円筒状部材を取付ける際に円筒状部材と装置
設置場所との位置合せを行う必要がなくなり、作業性が
著しく向上すると共に円筒状部材が重量物であった場合
に高所での人手による調整作業がなくなるので安全性が
向上する等の優れた効果を発揮する。As described above, according to the present invention, when the cylindrical member is installed at a predetermined height position of the apparatus by the elevating mechanism, the first centering jig is attached to the installation place of the apparatus. Attaching a second centering jig having a portion that can be fitted to the first centering jig to a mounting table on which the cylindrical member of the elevating mechanism is mounted, raising the mounting table of the elevating mechanism, By fitting the second centering jig and the first centering jig, the mounting table is centered with respect to the installation location,
Thereafter, the first centering jig and the second centering jig are removed,
The cylindrical member is installed at a predetermined position on the mounting table, and the mounting table is raised to mount the cylindrical member at the installation location. This eliminates the need for alignment, greatly improving workability and, when the cylindrical member is heavy, eliminates the need for manual adjustment work at high places, thereby exhibiting excellent effects such as improved safety. .
【図1】本発明の実施の形態の概略を示す説明図であ
る。FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an embodiment of the present invention.
【図2】本実施の形態に使用される反応炉着脱台車を示
す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a reaction furnace detachable cart used in the present embodiment.
【図3】同前反応炉着脱台車の側面図である。FIG. 3 is a side view of the vehicle for attaching and detaching a reactor in the same manner.
【図4】図2のA−A矢視図である。FIG. 4 is a view taken in the direction of arrows AA in FIG. 2;
【図5】同前反応炉着脱台車の立断面図である。FIG. 5 is a vertical sectional view of the carriage for attaching and detaching a reactor in the same manner.
【図6】図2のB−B矢視図である。FIG. 6 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 2;
【図7】反応炉着脱台車の走行台座の部分図である。FIG. 7 is a partial view of a traveling pedestal of the reaction furnace detachable carriage.
【図8】図4のC−C断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 4;
【図9】図8のD−D矢視図である。FIG. 9 is a view as viewed in the direction of arrows DD in FIG. 8;
【図10】本発明の実施の形態を示す全体側面図であ
る。FIG. 10 is an overall side view showing an embodiment of the present invention.
【図11】同前本発明の実施の形態を示す全体平面図で
ある。FIG. 11 is an overall plan view showing the embodiment of the present invention.
【図12】ヒータとアタッチメントの関係を示す説明図
である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing a relationship between a heater and an attachment.
【図13】均熱管とアタッチメントの関係を示す説明図
である。FIG. 13 is an explanatory diagram showing a relationship between a heat equalizing tube and an attachment.
【図14】反応管とアタッチメントの関係を示す説明図
である。FIG. 14 is an explanatory diagram showing a relationship between a reaction tube and an attachment.
【図15】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 15 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図16】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 16 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図17】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 17 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図18】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 18 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図19】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 19 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図20】本発明の実施の形態の詳細を示す説明図であ
る。FIG. 20 is an explanatory diagram showing details of an embodiment of the present invention.
【図21】本発明の他の実施の形態を示す要部の説明図
である。FIG. 21 is an explanatory diagram of a main part showing another embodiment of the present invention.
【図22】同前要部の平面図である。FIG. 22 is a plan view of the main part of FIG.
【図23】従来例を示す側面図である。FIG. 23 is a side view showing a conventional example.
【図24】従来例を示す背面図である。FIG. 24 is a rear view showing a conventional example.
1 筐体 4 反応炉 7 ヒータベース 8 水平移動機構 14 反応炉着脱台車 15 受載ステージ 17 メインフレーム 18 走行台座 31 昇降ステージ 32 2段水平スライドガイド 33 載置台 34 螺子ロッド 36 昇降モータ 42 スプラインシャフト 48 進退駆動シャフト 56 回転伝達手段 57 回動アーム 58 連結部 62 進退ステージ 68 幅位置調整ボルト 71 連結スライドガイド 73 連結スライド片 74 進退位置調整螺子 80 ドッキング金具 81 ドッキングブラケット 84 固定ピン 85 ヒータ用アタッチメント 87 アタッチメント本体 89 均熱管用アタッチメント 90 テーパ上面突出部 93 ヒータベース固定支柱 94 炉口部取付柱 95 テーパ下面突出部 96 芯合せピン 98 芯出しプレート 99 テーパ上面突出部 REFERENCE SIGNS LIST 1 housing 4 reaction furnace 7 heater base 8 horizontal moving mechanism 14 reaction furnace detachable carriage 15 receiving stage 17 main frame 18 traveling pedestal 31 elevating stage 32 two-stage horizontal slide guide 33 mounting table 34 screw rod 36 elevating motor 42 spline shaft 48 Advancing / retracting drive shaft 56 Rotation transmitting means 57 Rotating arm 58 Connecting portion 62 Advancing / retracting stage 68 Width position adjusting bolt 71 Connecting slide guide 73 Connecting slide piece 74 Advancing / retreating position adjusting screw 80 Docking bracket 81 Docking bracket 84 Fixing pin 85 Heater attachment 87 Attachment Body 89 Attachment for heat equalizing tube 90 Tapered upper surface protruding portion 93 Heater base fixing column 94 Furnace opening mounting column 95 Tapered lower surface protruding portion 96 Centering pin 98 Centering plate 99 Tapered upper surface Out section
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 守川 敦史 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 Fターム(参考) 4K055 AA00 BA03 HA02 HA19 5F045 BB10 DQ05 EB02 EC02 EN08 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Atsushi Morikawa 3-14-20 Higashinakano, Nakano-ku, Tokyo Kokusai Denki Co., Ltd. F-term (reference) 4K055 AA00 BA03 HA02 HA19 5F045 BB10 DQ05 EB02 EC02 EN08
Claims (1)
定高さ位置に設置する場合に於いて、前記装置設置場所
に第1芯出し治具を取付け、前記昇降機構の円筒状部材
が載置される載置台に前記第1芯出し治具に嵌合可能な
部位を有する第2芯出し治具を取付け、前記昇降機構の
載置台を上昇させ前記第2芯出し治具と第1芯出し治具
とを嵌合させることで、前記設置場所に対する前記載置
台の芯出しを行い、その後前記第1芯出し治具、第2芯
出し治具を取外し、前記載置台に円筒状部材を所定位置
に設置し、前記載置台を上昇させ円筒状部材を装置設置
場所に取付けることを特徴とする円筒状部材着脱方法。When a cylindrical member is installed at a predetermined height position of an apparatus by an elevating mechanism, a first centering jig is attached to the installation location of the apparatus, and the cylindrical member of the elevating mechanism is mounted. A second centering jig having a portion that can be fitted to the first centering jig is attached to the mounting table to be mounted, and the mounting table of the elevating mechanism is raised to raise the second centering jig and the first centering jig. By fitting a centering jig, the mounting table is centered on the installation location, and then the first centering jig and the second centering jig are removed, and the cylindrical member is mounted on the mounting table. A method for mounting and dismounting a cylindrical member, wherein the cylindrical member is installed at a predetermined position, the mounting table is raised, and the cylindrical member is mounted on an installation location of the apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000094236A JP2001284279A (en) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Method for attaching and detaching cylindrical member |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP (1) | JP2001284279A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2000
- 2000-03-30 JP JP2000094236A patent/JP2001284279A/en active Pending
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