JP2001282120A - Method and apparatus for manufacturing display panel - Google Patents
Method and apparatus for manufacturing display panelInfo
- Publication number
- JP2001282120A JP2001282120A JP2000096542A JP2000096542A JP2001282120A JP 2001282120 A JP2001282120 A JP 2001282120A JP 2000096542 A JP2000096542 A JP 2000096542A JP 2000096542 A JP2000096542 A JP 2000096542A JP 2001282120 A JP2001282120 A JP 2001282120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- elements
- panel elements
- display panel
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 53
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 9
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 229920001821 foam rubber Polymers 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 101100321669 Fagopyrum esculentum FA02 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は画像を表示する表示
パネルの製造方法及び装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a display panel for displaying an image.
【０００２】[0002]
【従来の技術】画像表示パネルには、液晶表示パネル、
エレクトロルミネッセンス表示パネル、これらを組み合
わせた表示パネル等種々のものがある。2. Description of the Related Art An image display panel includes a liquid crystal display panel,
There are various types such as an electroluminescent display panel and a display panel combining these.
【０００３】かかる画像表示パネルには一層のパネル素
子からなるものもあるが、複数層のパネル素子を積層し
たものもある。Some of such image display panels are composed of a single layer of panel elements, while others are formed by laminating a plurality of panel elements.
【０００４】例えば、カラー画像を表示する表示パネル
では、異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積
層して形成されるものがある。For example, some display panels for displaying color images are formed by laminating a plurality of panel elements for displaying images of different colors.
【０００５】フルカラー画像表示を行う液晶表示パネル
では、例えば青色（ブルー）表示を行うパネル素子、緑
色（グリーン）表示を行うパネル素子及び赤色（レッ
ド）表示を行うパネル素子を積層してフルカラー画像表
示が可能な表示パネルを形成することがある。In a liquid crystal display panel for displaying a full-color image, for example, a panel element for displaying blue (blue), a panel for displaying green (green), and a panel for displaying red (red) are stacked to display a full-color image. May be formed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】いずれにしても、この
ように複数のパネル素子を積層して画像表示パネルを形
成する場合、所望の画像表示を行えるように各隣り合う
パネル素子を相互に貼り合わせることが要求される。す
なわち、所望の画像表示を行えるように、例えば各隣り
合うパネル素子を相互に位置合わせして貼り合わせるこ
と、密着させて貼り合わせること、皺等が生じないよう
に貼り合わせること等のうち少なくとも一つが要求され
る。In any case, when an image display panel is formed by laminating a plurality of panel elements as described above, adjacent panel elements are bonded to each other so that a desired image can be displayed. Matching is required. That is, at least one of, for example, aligning and adjoining each adjacent panel element, adhering and adhering each other, and adhering without wrinkles or the like so that a desired image can be displayed. One is required.
【０００７】本発明は画像を表示する表示パネルを形成
するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する
方法及び装置であって、隣り合うパネル素子が精度よく
位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な
画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製
造方法及び装置を提供することを課題とする。The present invention is a method and apparatus for manufacturing a display panel by laminating panel elements for forming a display panel for displaying an image, wherein adjacent panel elements are bonded in a state where they are accurately aligned. It is another object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a display panel capable of obtaining a display panel capable of displaying a good image.
【０００８】また本発明は画像を表示する表示パネルを
形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造
する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子を該両
パネル素子間から脱気して密着させ、皺よりの抑制され
た状態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像
表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方
法及び装置を提供することを課題とする。The present invention is also a method and apparatus for manufacturing a display panel by stacking panel elements for forming a display panel for displaying an image, wherein adjacent panel elements are degassed from between the two panel elements. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a display panel capable of obtaining a display panel which can be closely adhered to each other and bonded together in a state where wrinkles are suppressed, and which can display a good image.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は次の画像表示パ
ネルの製造方法を提供する。すなわち、画像を表示する
表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示
パネルを製造する方法であり、第１及び第２のパネル素
子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面
に接着剤を設ける工程と、第１及び第２のパネル素子を
相互に位置合わせして、互いに貼り合わすべき面が対向
するように配置する工程と、相互に位置合わせされた第
１及び第２のパネル素子を前記接着剤を介在させた状態
で相互に圧接する圧接工程とを含み、前記圧接工程にお
ける第１及び第２のパネル素子の相互圧接は、該両パネ
ル素子を当初は部分的に相互圧接し、該当初相互圧接部
分から次第に相互圧接部分を広げて全面的に相互圧接す
ることで行う表示パネルの製造方法である。The present invention provides the following method for manufacturing an image display panel. That is, this is a method of manufacturing a display panel by stacking panel elements for forming a display panel for displaying an image, and bonding the first and second panel elements to at least one of surfaces to be bonded to each other. Providing an agent; aligning the first and second panel elements with each other such that surfaces to be bonded to each other face each other; and aligning the first and second panels with each other. Press-contacting the elements with each other with the adhesive interposed therebetween, wherein the mutual pressing of the first and second panel elements in the pressing step includes initially partially pressing the two panel elements together. This is a method of manufacturing a display panel by gradually expanding the mutual pressure contact portion from the initial mutual pressure contact portion and performing mutual pressure contact on the entire surface.
【００１０】また本発明は、かかる表示パネルの製造方
法の代表例として次の製造方法を提供する。すなわち、
画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子
を積層して表示パネルを製造する方法であり、第１ステ
ージに第１パネル素子を保持させる工程と、第２ステー
ジに第２パネル素子を保持させる工程と、第１及び第２
のステージに保持された第１及び第２のパネル素子を互
いに貼り合わすべき面が対向するように配置する工程
と、第１及び第２のパネル素子を相互に位置合わせする
工程と、互いに貼り合わすべき第１及び第２のパネル素
子の面の少なくとも一方に接着剤を設ける工程と、相互
に位置合わせされて第１及び第２のステージに保持され
た第１及び第２のパネル素子を前記接着剤を介在させた
状態で第１及び第２のステージ間に挟んで相互に圧接す
る圧接工程とを含み、第１及び第２のステージのうち少
なくとも一方はパネル素子保持面を有する弾性パッドを
備えているとともに該パネル素子保持面が所定曲率の凸
曲面であるステージとし、前記圧接工程における第１及
び第２のパネル素子の相互圧接は、第１及び第２のステ
ージを相対的に接近させることで該両パネル素子を当初
は前記弾性パッドの凸曲面で部分的に相互圧接し、ひき
続き両ステージを接近させることで前記弾性パッドを弾
性変形させつつ該当初相互圧接部分から次第に相互圧接
部分を広げて全面的に相互圧接することで行う表示パネ
ルの製造方法である。The present invention also provides the following manufacturing method as a typical example of such a display panel manufacturing method. That is,
A method of manufacturing a display panel by stacking panel elements for forming a display panel for displaying an image, wherein a first stage holds a first panel element and a second stage holds a second panel element. And the first and second
Arranging the first and second panel elements held on the stage so that the surfaces to be bonded to each other face each other; and aligning the first and second panel elements with each other; Providing an adhesive on at least one of the surfaces of the first and second panel elements to be bonded, and bonding the first and second panel elements held on the first and second stages in alignment with each other. Pressurizing each other with the agent interposed between the first and second stages, wherein at least one of the first and second stages includes an elastic pad having a panel element holding surface. And a stage in which the panel element holding surface is a convex curved surface having a predetermined curvature. In the pressing step, the first and second panel elements are brought into close contact with each other by the first and second stages. Initially, the two panel elements are partially pressed against each other on the convex curved surface of the elastic pad, and then the elastic pads are resiliently deformed by bringing both stages closer together, and the mutual pressing gradually from the corresponding first mutual pressed part. This is a method for manufacturing a display panel, which is performed by widening a part and mutually pressing the whole area.
【００１１】いずれの製造方法においても、第１及び第
２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なく
とも一方の面に接着剤を設ける工程としては、予めパネ
ル素子面に接着され、且つ、未だ表面が保護シートで覆
われた両面接着シート（そのシートはテープ状でもよ
い）から該保護シートを除去して接着面を露出させる工
程や、パネル素子面に接着剤を手作業で或いは接着剤塗
布装置により塗布する工程を例示できる。接着剤の設け
方は支障がない限り任意である。In any of the manufacturing methods, the step of providing an adhesive on at least one of the surfaces of the first and second panel elements to be bonded to each other includes bonding the adhesive to the panel element surface in advance, and A step of removing the protective sheet from a double-sided adhesive sheet whose surface is covered with a protective sheet (the sheet may be tape-shaped) to expose the adhesive surface, or applying an adhesive to the panel element surface manually or by applying an adhesive. An example of a step of applying by an apparatus can be given. The method of providing the adhesive is arbitrary as long as there is no problem.
【００１２】接着剤を設ける工程は圧接工程前に実施す
る。圧接工程前であれば支障のない限り、いずれの段階
で実施してもよい。The step of providing the adhesive is performed before the pressing step. As long as there is no problem, it may be performed at any stage before the pressure welding step.
【００１３】圧接工程は接着剤が設けられ、両パネル素
子が相互に位置合わせされ、互いに貼り合わすべき面が
対向するように向かい合わされた後に実施する。The pressing step is performed after the adhesive is provided, the two panel elements are aligned with each other, and the surfaces to be bonded are opposed to each other.
【００１４】またいずれの製造方法においても、第１及
び第２のパネル素子の相互位置合わせは各種手法で行え
る。例えばそれ自体すでに知られている基板やパネルの
位置合わせ手法を用いて行える。In any of the manufacturing methods, the mutual alignment of the first and second panel elements can be performed by various methods. For example, it can be performed by using a substrate or panel alignment method which is known per se.
【００１５】位置合わせの方法として次の方法を例示で
きる。 （１）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、
第１及び第２のパネル素子のうち一方のパネル素子を所
定位置に固定しておいてその上に他方のパネル素子を重
ね配置し、両パネル素子の合わせマークを目視観察又は
カメラ観察しながら該他方のパネル素子を手作業で動か
して両パネル素子の合わせマークを合致させる方法。The following method can be exemplified as a method of positioning. (1) Each panel element is provided with an alignment mark in advance,
One of the first and second panel elements is fixed at a predetermined position, and the other panel element is overlaid thereon, and the alignment mark of both panel elements is visually observed or observed with a camera. A method in which the other panel element is manually moved to match the alignment marks of both panel elements.
【００１６】この位置合わせ方法を採用する場合におい
て、前記の第１及び第２のステージにそれぞれパネル素
子を保持させる手法を採用するときには、例えば、いず
れか一方のステージに一方のパネル素子を保持させ、そ
のパネル素子上に他方のパネル素子を重ね配置し、両パ
ネル素子の合わせマークを目視観察又はカメラ観察しな
がら該他方のパネル素子を手作業で動かして両パネル素
子の合わせマークを合致させ、その後該他方のパネル素
子を他方のステージに保持させることができる。 （２）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、
第１及び第２のパネル素子のうち一方のパネル素子を所
定位置に固定しておいてその上又は上方に他方のパネル
素子を配置し、両パネル素子の合わせマークをカメラで
観察しながら該他方のパネル素子をＸ−Ｙ−θ駆動装置
で動かして両パネル素子の合わせマークを合致させる方
法。In the case of adopting this alignment method, when the method of holding the panel elements on the first and second stages, respectively, is adopted, for example, one panel element is held on one of the stages. The other panel element is superimposed on the panel element, and the other panel element is manually moved while visually observing the alignment mark of both panel elements or the camera to match the alignment mark of both panel elements, Thereafter, the other panel element can be held on the other stage. (2) An alignment mark is provided on each panel element in advance,
One of the first and second panel elements is fixed at a predetermined position, and the other panel element is disposed above or above the other panel element, and the alignment mark of both panel elements is observed by a camera while the other panel element is being observed. And moving the panel elements of the above with an XY-θ driving device to match the alignment marks of both panel elements.
【００１７】この位置合わせ方法を採用する場合におい
て、前記の第１及び第２のステージにそれぞれパネル素
子を保持させる手法を採用するときには、例えば、いず
れか一方のステージに一方のパネル素子を保持させ、そ
のパネル素子上方に他方のパネル素子を配置し、両パネ
ル素子の合わせマークをカメラで観察しながら該他方の
パネル素子をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして両パネル素
子の合わせマークを合致させるとよい。In the case where this alignment method is adopted, when the method of holding the panel elements on the first and second stages is adopted, for example, one of the panel elements is held on one of the stages. The other panel element is arranged above the panel element, and the other panel element is moved by an XY-θ driving device while observing the alignment marks of both panel elements with a camera so that the alignment marks of both panel elements match. You should let
【００１８】該他方のパネル素子を保持するためのステ
ージがＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいてもよい。このと
きは該他方のパネル素子をそのステージに保持させてか
ら該パネル素子を位置合わせすべくＸ−Ｙ−θ駆動すれ
ばよい。該他方のパネル素子を保持するためのステージ
がＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいないときは、位置合わ
せした該他方のパネル素子を前記一方のパネル素子上に
載置したのち、その載置された他方のパネル素子をその
素子用のステージに保持させるとよい。The stage for holding the other panel element may include an XY-θ driving device. In this case, the other panel element may be held on the stage and then driven by XY-θ to align the panel element. When the stage for holding the other panel element does not include the XY-θ driving device, the aligned other panel element is mounted on the one panel element, and then the mounting is performed. It is preferable to hold the other panel element on a stage for the element.
【００１９】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置による位置合わせは、
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を手動操作して行ってもよいが、カ
メラで検出されるマーク情報（例えばその位置情報等）
に基づいてＸ−Ｙ−θ駆動装置を自動制御することで行
ってもよい。後者の場合には基板、パネル等の位置合わ
せのための画像処理法を利用できる。The alignment by the XY-θ driving device is as follows.
The XY-θ driving device may be operated manually, but mark information detected by the camera (for example, its position information, etc.)
May be performed by automatically controlling the XY-θ driving device based on In the latter case, an image processing method for positioning a substrate, a panel, or the like can be used.
【００２０】なおＸ−Ｙ−θ駆動装置は、言うまでもな
く、物体を方向Ｘ、これに垂直な方向Ｙに動かすととも
にＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周りに回動させることができ
る装置である。It is needless to say that the XY-θ driving device is a device capable of moving an object in a direction X, a direction Y perpendicular thereto, and rotating about an axis perpendicular to the XY plane. .
【００２１】前記位置合わせマークは液晶マーク、エレ
クトロルミネッセンスマーク等として通電により発光す
るものとしてもよい。The alignment mark may emit light upon energization as a liquid crystal mark, an electroluminescence mark, or the like.
【００２２】前記のいずれの表示パネル製造方法におい
ても、圧接工程では第１及び第２のパネル素子を前記接
着剤を介在させた状態で相互に圧接し、積層された表示
パネルを得る。In any of the above display panel manufacturing methods, in the pressing step, the first and second panel elements are pressed against each other with the adhesive interposed therebetween to obtain a laminated display panel.
【００２３】第１及び第２のステージに第１及び第２の
パネル素子を保持させて両パネル素子を貼り合わせると
きには、それら両ステージで両パネル素子を挟んで相互
圧接する。When the first and second panel elements are held on the first and second stages and the two panel elements are bonded to each other, they are pressed against each other with both panel elements interposed therebetween.
【００２４】なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上
あるときは、圧接工程により得られる貼り合わされたパ
ネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼
り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子と
みなして実質的に前記各工程を繰り返すことで既に貼り
合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り
合わせていく。When there are three or more panel elements to be bonded, the bonded panel element obtained by the pressing step is regarded as the first panel element, and one panel element to be bonded next is the second panel element. By substantially repeating the above steps assuming that the panel element is a panel element, the next panel element is bonded one by one to the already bonded panel element.
【００２５】第１及び第２のステージに第１及び第２の
パネル素子を保持させる場合、該ステージによるパネル
素子の保持は、それには限定されないが、代表例とし
て、ステージに設けた吸気孔を介してパネル素子を吸引
保持する場合を挙げることができる。かかる吸気孔は前
記弾性パッドを備えたステージでは少なくとも該弾性パ
ッドに設ける。When the first and second stages hold the first and second panel elements, the holding of the panel elements by the stage is not limited to this. As a typical example, the suction holes provided in the stage are provided. The case where the panel element is sucked and held through the device can be given. Such a suction hole is provided in at least the elastic pad in a stage having the elastic pad.
【００２６】かかる弾性パッドとして、真空吸引にてパ
ネル素子を前記凸曲面に保持するための吸気用微細孔を
有しており、該微細孔が該弾性パッドの前記圧接工程に
おける弾性変形にて閉じられるものを例示できる。この
弾性パッドは、圧接工程における両パネル素子の相互圧
接時に弾性パッドに保持されたパネル素子のもう一つの
パネル素子へ圧接される部分を解放でき、それにより両
パネル素子をそれだけ円滑に貼り合わせることができ
る。As such an elastic pad, there is provided a suction fine hole for holding the panel element on the convex curved surface by vacuum suction, and the fine hole is closed by elastic deformation of the elastic pad in the pressing step. Can be exemplified. This elastic pad can release a portion of the panel element held by the elastic pad that is pressed against another panel element when the two panel elements are pressed against each other in the pressing step, so that both panel elements can be smoothly bonded together. Can be.
【００２７】前記圧接工程における第１及び第２のパネ
ル素子の相互圧接は、該両パネル素子を当初は部分的に
相互圧接し、該当初相互圧接部分から次第に相互圧接部
分を広げて全面的に相互圧接することで行う。このよう
な圧接手順により、両パネル素子は位置ずれが抑制され
て貼り合わせ開始されるとともに、両パネル素子間から
脱気されつつ、皺よりが抑制されつつ貼り合わされてい
く。The first and second panel elements are mutually pressure-welded in the above-mentioned pressure-welding step, and the two panel elements are initially partially mutually-welded, and the mutual-welded portion is gradually widened from the first mutually-welded portion, so that the entire panel is completely welded. This is done by mutual pressure welding. According to such a pressing procedure, the two panel elements are bonded together with the positional displacement being suppressed, and are bonded together while being degassed from between the two panel elements while suppressing wrinkles.
【００２８】圧接工程における第１及び第２のパネル素
子の相互圧接は、例えば、両パネル素子を当初はそれら
の中央部で相互圧接し、該当初相互圧接部分から次第に
（例えば周囲へ或いはパネル素子両端部へ向けて）相互
圧接部分を全面的に広げていくことで行う。或いは例え
ば、両パネル素子を当初はそれらのいずれかの端部で相
互圧接し、該当初相互圧接部分から（例えば反対側の端
部向けて）次第に相互圧接部分を全面的に広げていくこ
とで行う。The mutual pressing of the first and second panel elements in the pressing step is performed, for example, by initially pressing the two panel elements at the center thereof and gradually (for example, to the periphery or the panel element) from the corresponding first mutual pressing part. This is done by widening the mutual press contact part (toward both ends). Alternatively, for example, both panel elements are initially pressed together at one of their ends, and the mutual pressed part is gradually widened from the corresponding first mutual pressed part (for example, toward the opposite end). Do.
【００２９】少なくとも一方が前記弾性パッドを備えた
第１及び第２ステージにパネル素子を保持させて両パネ
ル素子を貼り合わせるときには、圧接工程では第１及び
第２のステージを相対的に接近させることで該両パネル
素子を当初は前記弾性パッドの凸曲面で部分的に相互圧
接し、ひき続き両ステージを接近させることで前記弾性
パッドを弾性変形させつつ該当初相互圧接部分から次第
に相互圧接部分を広げて全面的に相互圧接する。At least one of the first and second stages provided with the elastic pad holds the panel element and the two panel elements are bonded to each other. Initially, the two panel elements are partially pressed against each other on the convex curved surface of the elastic pad, and then the two pads are successively brought close to each other to elastically deform the elastic pad while gradually deforming the mutual pressed part from the first mutual pressed part. Spread out and make full contact with each other.
【００３０】この場合の具体例を挙げると、弾性パッド
の凸曲面を中央部が高くなった凸曲面、例えば球面、略
球面、半截円筒の外周面状の曲面とし、圧接工程におけ
る第１及び第２のパネル素子の相互圧接は、両パネル素
子を当初はそれらの中央部で相互圧接し、該当初相互圧
接部分から次第に（例えば周囲へ或いはパネル素子両端
部へ向けて）相互圧接部分を全面的に広げていくことで
行う。To give a specific example of this case, the convex curved surface of the elastic pad is a convex curved surface having a raised center portion, for example, a spherical surface, a substantially spherical surface, or a curved surface of an outer peripheral surface of a half-cut cylinder. In the mutual pressure welding of the two panel elements, the two panel elements are initially pressed against each other at the center thereof, and the mutual pressed parts are gradually formed (for example, toward the periphery or toward both ends of the panel element) from the corresponding first mutual pressed part. It is done by spreading it.
【００３１】或いは例えば、弾性パッドの凸曲面を一方
の端部で高く、該端部から他端部へ向かって次第に低く
なった凸曲面とし、両パネル素子を当初はそれらの一端
部で相互圧接し、該当初相互圧接部分から他端部へ向け
て次第に相互圧接部分を全面的に広げていくことで行
う。Alternatively, for example, the convex surface of the elastic pad is made higher at one end and becomes gradually lower from the end to the other end, and both panel elements are initially pressed against each other at one end thereof. Then, the mutual pressing portion is gradually widened from the initial mutual pressing portion toward the other end.
【００３２】パネル素子を傷つけることなく、一層両パ
ネル素子を位置ずれさせることなく、両パネル素子間か
ら円滑に脱気しつつ、またパネル素子の皺より等を十分
抑制しつつ第１及び第２のパネル素子を貼り合わせるた
めに、前記弾性パッドは弾性定数６０ｋｇｆ／ｃｍ2 〜
２００ｋｇｆ／ｃｍ2 の弾性体からなるものを推奨で
き、凸曲面を球面、半截円筒の外周面状の曲面、一方の
端部で高く、該端部から他端部へ向かって次第に低くな
った凸曲面のように滑らかな曲面とするときには、その
凸曲面の曲率半径として２０００ｍｍ〜５０００ｍｍ程
度を推奨できる。The first and second panels are smoothly evacuated from between the two panel elements without damaging the panel elements, displacing the two panel elements further, and sufficiently suppressing the wrinkles of the panel elements. The elastic pad has an elastic constant of 60 kgf / cm 2-
An elastic body of 200 kgf / cm 2 can be recommended, and the convex curved surface is a spherical surface, a curved surface in the shape of an outer peripheral surface of a half-cut cylinder, which is high at one end and gradually lowers from the end to the other end. When a smooth curved surface such as a curved surface is used, a radius of curvature of the convex curved surface of about 2000 mm to 5000 mm can be recommended.
【００３３】前記圧接工程では、より確実に両パネル素
子間から脱気するために、両パネル素子周囲雰囲気圧を
大気圧より低い所定の減圧雰囲気圧に設定して実施して
もよい。In the pressing step, the ambient pressure around both panel elements may be set to a predetermined reduced atmospheric pressure lower than the atmospheric pressure in order to more reliably degas from between the panel elements.
【００３４】その場合、該減圧雰囲気圧として１３Ｐａ
〜４０Ｐａ（０．１Ｔｏｒｒ〜０．３ Ｔｏｒｒ）程度
を例示できる。In this case, the reduced pressure is 13 Pa
-40 Pa (0.1 Torr-0.3 Torr).
【００３５】第１及び第２のステージにパネル素子を保
持させて両パネル素子を貼り合わせる場合、圧接工程で
は、気密シール用の弾性変形可能のリング部材で第１及
び第２のパネル素子を囲繞するとともに該リング部材を
第１及び第２のステージ間に挟着させることで該両パネ
ル素子周囲に気密室を形成し、該気密室から排気するこ
とで前記減圧雰囲気圧を得るようにしてもよい。In a case where the panel elements are bonded to each other while holding the panel elements on the first and second stages, the first and second panel elements are surrounded by an elastically deformable ring member for hermetic sealing in the pressing step. At the same time, the ring member is sandwiched between the first and second stages to form an airtight chamber around both panel elements, and the reduced pressure is obtained by evacuating from the airtight chamber. Good.
【００３６】本発明は次の画像表示パネルの製造装置も
提供する。すなわち、画像を表示する表示パネルを形成
するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する
装置であり、一つのパネル素子を保持するための第１ス
テージと、もう一つのパネル素子を保持するための第２
ステージと、第１及び第２のステージをそれらのパネル
素子保持面を対向させて相対的に接近離反させるための
ステージ駆動装置とを備えており、第１及び第２のステ
ージのうち少なくとも一方はパネル素子保持面を有する
弾性パッドを備えているとともに該パネル素子保持面が
所定曲率の凸曲面である表示パネルの製造装置である。The present invention also provides the following apparatus for manufacturing an image display panel. That is, this is an apparatus for manufacturing a display panel by stacking panel elements for forming a display panel for displaying an image, a first stage for holding one panel element, and holding another panel element. Second for
A stage, and a stage driving device for relatively moving the first and second stages toward and away from each other with their panel element holding surfaces facing each other, and at least one of the first and second stages includes A display panel manufacturing apparatus comprising: an elastic pad having a panel element holding surface; and wherein the panel element holding surface is a convex curved surface having a predetermined curvature.
【００３７】第１及び第２のステージはパネル素子保持
のための装置を含んでいる。かかる保持装置としては、
それには限定されないが、例えばステージに設けられ、
排気装置に接続されるパネル素子吸着のための吸気孔を
挙げることができる。かかる吸気孔は弾性パッドを備え
たステージでは少なくとも該弾性パッドに設ける。The first and second stages include devices for holding panel elements. As such a holding device,
Although not limited thereto, for example, provided on the stage,
An intake hole for adsorbing a panel element connected to an exhaust device can be given. Such a suction hole is provided in at least the elastic pad in a stage having the elastic pad.
【００３８】かかる弾性パッドとして、真空吸引にてパ
ネル素子を前記凸曲面に保持するための吸気用微細孔を
有しており、該微細孔が該弾性パッドのパネル素子圧接
工程における弾性変形にて閉じられ得るものを例示でき
る。この弾性パッドは、圧接工程における両パネル素子
の相互圧接時に弾性パッドに保持されたパネル素子のも
う一つのパネル素子へ圧接される部分を解放でき、それ
により両パネル素子をそれだけ円滑に貼り合わせること
ができる。As such an elastic pad, there is provided a suction fine hole for holding the panel element on the convex curved surface by vacuum suction, and the fine hole is elastically deformed by the elastic pad in the panel element pressing process. What can be closed can be exemplified. This elastic pad can release a portion of the panel element held by the elastic pad that is pressed against another panel element when the two panel elements are pressed against each other in the pressing step, so that both panel elements can be smoothly bonded together. Can be.
【００３９】この表示パネルの製造装置によると、互い
に貼り合わすべきパネル素子のうち一方は第１ステージ
に保持させ、他方は第２ステージに保持させる。According to the display panel manufacturing apparatus, one of the panel elements to be bonded to each other is held on the first stage, and the other is held on the second stage.
【００４０】しかるのちステージ駆動装置により第１及
び第２のステージをそれらのパネル素子保持面を対向さ
せて、換言すればそれらステージに保持されたパネル素
子の互いに貼り合わすべき面を対向させて相対的に接近
させ両パネル素子を両ステージで挟着して貼り合わせ
る。Thereafter, the first and second stages are caused to face each other by the stage driving device with their panel element holding surfaces facing each other, in other words, the surfaces of the panel elements held by these stages to be bonded are opposed to each other. And both panels are sandwiched between both stages and bonded together.
【００４１】このパネル素子貼り合わせは接着剤を用い
て行う。該接着剤は貼り合わせに先立って両パネル素子
の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方に、表
示パネル製造方法で説明したように設ける。本発明装置
は接着剤の塗布装置を備えていてもよい。This panel element bonding is performed using an adhesive. The adhesive is provided on at least one of the surfaces of both panel elements to be bonded to each other before bonding as described in the display panel manufacturing method. The device of the present invention may include a device for applying an adhesive.
【００４２】また両パネル素子の貼り合わせに先立って
両パネル素子を相互位置合わせする。この位置合わせは
前記表示パネルの製造方法で述べたと同様にして行えば
よい。本発明装置はパネル素子の相互位置合わせ装置、
例えば互いに貼り合わすべき二つのパネル素子を第１又
は第２のステージ上で相互に位置合わせする装置を備え
ていてもよい。次の装置を例示できる。 （１）各パネル素子に予め形成された合わせマークを観
察するカメラと、第１及び第２のステージのうちいずれ
か一方のステージに保持させた一方のパネル素子上又は
その上方で他方のパネル素子を両パネル素子の合わせマ
ークを合致させて位置合わせすべく動かすＸ−Ｙ−θ駆
動装置を含む位置合わせ装置、（２）各パネル素子に予
め形成された合わせマークを観察するカメラと、第１及
び第２のステージのうちいずれか一方のステージに保持
させた一方のパネル素子上又はその上方で他方のパネル
素子を動かすＸ−Ｙ−θ駆動装置と、前記カメラからの
合わせマーク情報（例えばその位置情報等）に基づいて
両パネル素子を合わせマークを合致させて位置合わせす
べく該他方のパネル素子を動かすようにＸ−Ｙ−θ駆動
装置の動作を制御する制御部とを備えた位置合わせ装
置。かかる制御部としては、基板やパネル等の位置合わ
せのための画像処理による位置合わせ法を利用したもの
を例示できる。Prior to the bonding of the panel elements, the panel elements are aligned with each other. This alignment may be performed in the same manner as described in the method of manufacturing the display panel. The device of the present invention is a device for mutual alignment of panel elements,
For example, a device for aligning two panel elements to be bonded to each other on the first or second stage may be provided. The following devices can be exemplified. (1) A camera for observing alignment marks formed in advance on each panel element, and a panel element on or above one panel element held on one of the first and second stages , An XY-θ driving device that moves the alignment marks of both panel elements so that they align with each other, (2) a camera for observing alignment marks formed in advance on each panel element, and a first camera. And an XY-θ driving device that moves the other panel element on or above one of the panel elements held on one of the second and second stages, and alignment mark information from the camera (for example, The operation of the XY-θ driving device is controlled so as to move the other panel element based on the position information) so as to move the other panel element so that the two panel elements are aligned with the alignment mark. Positioning device and a control unit. An example of such a control unit is one that uses an alignment method based on image processing for alignment of a substrate, a panel, or the like.
【００４３】本発明に係る装置では両パネル素子の貼り
合わせは次のようにして行う。すなわち、前記弾性パッ
ドの凸曲面を利用して両パネル素子を当初は部分的に相
互圧接し、ひき続き該当初相互圧接部分から次第に相互
圧接部分を全面的に広げていく。このようにして両パネ
ル素子の位置ずれを防止しつつ、且つ、両パネル素子間
から脱気しつつ、また、パネル素子に皺が生じないよう
に相互圧接部分を広げていき、両パネル素子を貼り合わ
せる。In the device according to the present invention, the two panel elements are bonded as follows. That is, the two panel elements are initially partially pressed against each other by using the convex curved surface of the elastic pad, and then the mutual pressed parts are gradually expanded from the initial mutual pressed parts. In this way, while preventing the displacement of both panel elements, and while evacuating from between the panel elements, and expanding the mutual pressure contact portion so that the panel elements do not wrinkle, the both panel elements are removed. to paste together.
【００４４】なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上
あるときは、前記最終的に貼り合わせにより得られる貼
り合わされたパネル素子を、互いに貼り合わすべき二つ
のパネル素子のうちの一つとして取り扱えばよい。When there are three or more panel elements to be bonded, the bonded panel element finally obtained by bonding may be treated as one of two panel elements to be bonded to each other. .
【００４５】第１及び第２のステージのうち少なくとも
一方に設けられる前記弾性パッドの凸曲面としては、中
央部が高くなった凸曲面、例えば球面、略球面、半截円
筒の外周面状の曲面を例示できる。このような凸曲面を
採用する場合、両パネル素子の相互圧接は、両パネル素
子が当初はそれらの中央部で相互圧接され、該当初相互
圧接部分から次第に（例えば周囲へ或いはパネル素子両
端部へ向けて）相互圧接部分が広げられるようになされ
る。As the convex curved surface of the elastic pad provided on at least one of the first and second stages, a convex curved surface having a raised central portion, for example, a spherical surface, a substantially spherical surface, or a curved surface having an outer peripheral surface of a half-cut cylinder is used. Can be illustrated. When such a convex curved surface is adopted, the mutual pressure welding of the two panel elements is performed by initially pressing the two panel elements mutually at the center thereof and gradually starting from the corresponding first mutual pressure contact portion (for example, to the periphery or to both ends of the panel element). (Towards) the mutual crimping portion is made to be widened.
【００４６】或いは例えば、前記弾性パッドの凸曲面を
一方の端部で高く、該端部から他端部へ向かって次第に
低くなった凸曲面としてもよい。この場合、両パネル素
子の相互圧接は、両パネル素子が当初はそれらの一端部
で相互圧接され、該当初相互圧接部分から他端部へ向け
て次第に相互圧接部分が広げられるようになされる。Alternatively, for example, the convex curved surface of the elastic pad may be a convex curved surface which is higher at one end and gradually lowers from the end to the other end. In this case, the mutual pressing of the two panel elements is such that the two panel elements are initially pressed against each other at one end thereof, and the mutual pressing parts are gradually expanded from the corresponding initial mutual pressing part to the other end.
【００４７】パネル素子を傷つけることなく、両パネル
素子を一層位置ずれさせることなく相互圧接し、両パネ
ル素子間から円滑に脱気し、パネル素子の皺より等を抑
制する等のために、弾性パッドは弾性定数６０ｋｇｆ／
ｃｍ2 〜２００ｋｇｆ／ｃｍ 2 の弾性体からなるものを
推奨できる。弾性パッドの凸曲面を球面、半截円筒の外
周面状の曲面、一方の端部で高く、該端部から他端部へ
向かって次第に低くなった凸曲面のように滑らかな曲面
とするときには、その凸曲面の曲率半径として２０００
ｍｍ〜５０００ｍｍ程度を推奨できる。Both panels can be used without damaging the panel elements.
The elements are pressed against each other without further displacement,
Degass smoothly from the space between the panel elements and suppresses the wrinkles of the panel elements.
The elastic pad has an elastic constant of 60 kgf /
cmTwo~ 200kgf / cm TwoMade of elastic body
Can be recommended. The convex curved surface of the elastic pad is spherical,
Circular surface, high at one end, from the end to the other
Smooth curved surface like a convex surface that gradually decreases
, The radius of curvature of the convex surface is 2000
A range of about mm to 5000 mm can be recommended.
【００４８】両パネル素子の貼り合わせにあたり、より
確実に両パネル素子間から脱気するために第１及び第２
ステージ間から排気減圧する排気装置を設けてもよい。In bonding the two panel elements together, the first and second panels are used in order to more reliably remove air from between the two panel elements.
An exhaust device for exhausting and reducing the pressure from between the stages may be provided.
【００４９】かかる排気装置の簡便なものとして、第１
及び第２のステージの相互接近により両ステージ間に挟
着されて該両ステージとともに両ステージ間のパネル素
子を囲繞する、前記排気減圧を行うための気密室を形成
する気密シール用の弾性変形可能のリング部材を含んで
いる排気装置を例示できる。As a simple example of such an exhaust device, the first
And an elastically deformable airtight seal forming an airtight chamber for performing the exhaust pressure reduction, which is sandwiched between the two stages by the mutual approach of the second stage and surrounds the panel element between the two stages together with the two stages. Exhaust device including the ring member of the above.
【００５０】[0050]
【発明の実施の形態】本発明は各種表示パネルの製造に
適用できるが、以下に液晶表示パネルの製造方法及び製
造装置の例について説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention can be applied to the manufacture of various display panels. An example of a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel will be described below.
【００５１】図１は製造しようとする反射型液晶表示パ
ネルの１例の概略側面図である。FIG. 1 is a schematic side view of an example of a reflection type liquid crystal display panel to be manufactured.
【００５２】この液晶表示パネルＡは、青色（ブルー）
表示を行うパネル素子（以下「Ｂパネル素子」とい
う。）Ｂ、緑色（グリーン）表示を行うパネル素子（以
下「Ｇパネル素子」という。）Ｇ及び赤色（レッド）表
示を行うパネル素子（以下「Ｒパネル素子」という。）
Ｒを積層してフルカラー画像表示を可能としたパネルで
あり、各隣り合うＢパネル素子とＧパネル素子、Ｇパネ
ル素子とＲパネル素子をそれぞれ接着剤Ｎで相互に貼り
合わせたものである。Ｒパネル素子の外面には黒色の光
吸収層ＢＫを設けてある。The liquid crystal display panel A has a blue color.
Panel element for performing display (hereinafter, referred to as "B panel element") B, panel element for performing green (green) display (hereinafter, referred to as "G panel element") G, and panel element for performing red (red) display (hereinafter, referred to as "panel element") R panel element ")
This is a panel in which R is stacked to enable full-color image display, in which adjacent B panel elements and G panel elements, and G panel elements and R panel elements are bonded to each other with an adhesive N. A black light absorbing layer BK is provided on the outer surface of the R panel element.
【００５３】Ｂ、Ｇ、Ｒパネル素子のそれぞれは対向す
る一対の透明基板Ｓ１、Ｓ２間に定められた色で画像表
示するための液晶含有層ＬＣを挟着したものである。各
基板Ｓ１、Ｓ２には液晶含有層ＬＣに対向する面にそれ
ぞれ図示省略の電極が形成されている。Each of the B, G, and R panel elements sandwiches a liquid crystal-containing layer LC for displaying an image in a predetermined color between a pair of opposing transparent substrates S1 and S2. On each of the substrates S1 and S2, an electrode (not shown) is formed on a surface facing the liquid crystal containing layer LC.
【００５４】図２はかかる液晶表示パネルＡを製造する
ための製造装置例の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an example of a manufacturing apparatus for manufacturing the liquid crystal display panel A.
【００５５】図示のパネル製造装置は、一つのパネル素
子ｃ１を保持するための第１ステージ１００、もう一つ
のパネル素子ｃ２を保持するための第２ステージ２０
０、第１及び第２ステージ１００、２００をそれらのパ
ネル素子保持面を対向させて相対的に接近離反させるた
めのステージ駆動装置３００を備えている。The illustrated panel manufacturing apparatus has a first stage 100 for holding one panel element c1 and a second stage 20 for holding another panel element c2.
There is provided a stage driving device 300 for moving the 0, 1st, and 2nd stages 100 and 200 relatively close to and away from each other with their panel element holding surfaces facing each other.
【００５６】このパネル製造装置では、第２ステージ２
００がパネル素子保持面２２０ａを有する弾性パッド２
２０を備えているとともにパネル素子保持面２２０ａが
所定曲率の凸曲面である。図４、図５を参照して後述す
るようにステージ駆動装置３００が、第１及び第２ステ
ージ１００、２００を互いに向かい合わせたうえ相対的
に接近させることで両パネル素子ｃ１、ｃ２を当初は弾
性パッド２２０の凸曲面２２０ａで部分的に相互圧接
し、ひき続き両ステージ１００、２００を接近させるこ
とで弾性パッド２２０を弾性圧縮変形させつつ該当初相
互圧接部分から次第に相互圧接部分を広げて全面的に相
互圧接することで、パネル素子ｃ１、ｃ２を積層して表
示パネルを製造する。In this panel manufacturing apparatus, the second stage 2
00 is an elastic pad 2 having a panel element holding surface 220a.
20 and the panel element holding surface 220a is a convex curved surface having a predetermined curvature. As will be described later with reference to FIGS. 4 and 5, the stage driving device 300 initially moves the first and second stages 100 and 200 toward each other and relatively close to each other so that the two panel elements c1 and c2 are initially placed. The elastic pad 220 is partially pressed against each other at the convex curved surface 220a, and then the two stages 100 and 200 are brought close to each other to elastically compress and deform the elastic pad 220 and gradually expand the mutual pressed portion from the first mutual pressed portion to the entire surface. By mutual pressure contact, the panel elements c1 and c2 are stacked to manufacture a display panel.
【００５７】第１及び第２ステージ１００、２００は第
１及び第２吸着テーブル１０１、２０１、パネル素子保
持のためのパネル素子保持装置１１０、２１０をそれぞ
れ含んでいる。The first and second stages 100 and 200 include first and second suction tables 101 and 201 and panel element holding devices 110 and 210 for holding panel elements, respectively.
【００５８】第１及び第２吸着テーブル１０１、２０１
はそれぞれ剛性を有する材料からなっており、パネル素
子ｃ１、ｃ２を保持する領域にパネル素子吸着のための
吸気孔１０１ａ、２０１ａがそれぞれ所定の間隔をおい
て複数設けられている。First and second suction tables 101 and 201
Are made of a material having rigidity, and a plurality of intake holes 101a and 201a for adsorbing panel elements are provided at predetermined intervals in a region holding the panel elements c1 and c2.
【００５９】パネル素子保持装置１１０、２１０はかか
る吸気孔１０１ａ、２０１ａのほか、吸着テーブルにお
ける排気室１１１、２１１、フレキシブルチューブ１１
２、２１２、排気装置１１３、２１３を含んでおり、排
気装置１１３、２１３はチューブ１１２、２１２の一端
部に、チューブ１１２、２１２の他端部は排気室１１
１、２１１にそれぞれ接続されており、排気室１１１、
２１１は吸着テーブル１０１、２０１の吸気孔１０１
ａ、２０１ａにそれぞれ連通している。かくして排気装
置１１３、２１３の運転により、空気が吸気孔１０１
ａ、２０１ａから排気室１１１、２１１、チューブ１１
２、２１２を通ってそれぞれ排気される。The panel element holding devices 110 and 210 include, in addition to the intake holes 101a and 201a, the exhaust chambers 111 and 211 of the suction table, the flexible tubes 11 and the like.
2 and 212, and exhaust devices 113 and 213. The exhaust devices 113 and 213 are provided at one ends of the tubes 112 and 212, and the other ends of the tubes 112 and 212 are provided at the exhaust chamber 11.
1, 211, and the exhaust chamber 111,
211 is the suction hole 101 of the suction tables 101 and 201
a, 201a. Thus, the operation of the exhaust devices 113 and 213 causes the air to flow into the intake holes 101.
a, 201a to exhaust chambers 111, 211, tube 11
2 and 212, respectively.
【００６０】第２ステージ２００は、既述のとおりパネ
ル素子保持面２２０ａを有する弾性パッド２２０を備え
ている。弾性パッド２２０は第２吸着テーブル２０１の
排気室２１１が設けられている側とは反対側に配置され
ている。The second stage 200 has the elastic pad 220 having the panel element holding surface 220a as described above. The elastic pad 220 is arranged on the second suction table 201 on the side opposite to the side where the exhaust chamber 211 is provided.
【００６１】弾性パッド２２０は、ここでは連続気泡性
の弾性ゴム発泡体からなっており、真空吸引にてパネル
素子ｃ２を凸曲面２２０ａに保持するための吸気用微細
孔２２０ｂを有している。この微細孔２２０ｂは弾性パ
ッド２２０の弾性圧縮変形にて閉じられる。なお、弾性
パッド２２０は、ここでは連続気泡性の弾性ゴム発泡体
からなるものであるが、中実の弾性体に多数の吸気孔が
穿設されているものでもよい。The elastic pad 220 is made of an elastic rubber foam having open cells in this case, and has a fine intake hole 220b for holding the panel element c2 on the convex curved surface 220a by vacuum suction. The fine holes 220 b are closed by elastic compression deformation of the elastic pad 220. Here, the elastic pad 220 is made of an elastic rubber foam having open cells, but may be a solid elastic body in which a number of air intake holes are formed.
【００６２】パネル素子保持面２２０ａは一方の端部２
２０ｃで高く、該端部２２０ｃから他端部２２０ｄへ向
かって次第に低くなった所定曲率の凸曲面（ここでは曲
率半径が４０００ｍｍ〜５０００ｍｍ程度の凸曲面）で
あり、その曲面に沿ってパネル素子ｃ２を保持できる。
このような凸曲面を採用することで、両パネル素子ｃ
１、ｃ２の相互圧接は、両パネル素子ｃ１、ｃ２が当初
はそれらの一端部で相互圧接され、該当初相互圧接部分
から他端部へ向けて次第に相互圧接部分が広げられるよ
うになされる。The panel element holding surface 220a is at one end 2
A convex curved surface having a predetermined curvature (here, a convex curved surface having a radius of curvature of about 4000 mm to 5000 mm) which is high at 20c and gradually lowers from the end 220c to the other end 220d, and along the curved surface, the panel element c2 is formed. Can be held.
By adopting such a convex curved surface, both panel elements c
The mutual pressure welding of the panels 1 and 2 is such that the two panel elements c1 and c2 are initially pressed against each other at one end thereof, and the mutual pressed portions are gradually expanded from the corresponding initial mutual pressed portion to the other end.
【００６３】この弾性パッド２２０は、圧接工程におけ
る両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互圧接時に該パッドの圧
縮にて吸気用微細孔が閉じられることで、弾性パッド２
２０に保持されたパネル素子ｃ２のもう一つのパネル素
子ｃ１へ圧接される部分を解放でき、それにより両パネ
ル素子ｃ１、ｃ２をそれだけ円滑に貼り合わせることが
できる。The elastic pad 220 is formed by compressing the pad when the two panel elements c1 and c2 are pressed against each other in the pressing step, thereby closing the intake fine hole.
The part of the panel element c2 held by 20 that is pressed against another panel element c1 can be released, so that the two panel elements c1 and c2 can be smoothly bonded together.
【００６４】なお、一層パネル素子を傷つけることな
く、両パネル素子ｃ１、ｃ２を位置ずれさせることなく
相互圧接し、両パネル素子ｃ１、ｃ２間から円滑に脱気
し、パネル素子の皺より等を抑制する等のために、弾性
パッド２２０は、ここでは弾性定数７０ｋｇｆ／ｃｍ2
〜１２０ｋｇｆ／ｃｍ2 の弾性体からなるものである。The two panel elements c1 and c2 are pressed against each other without displacing the panel elements without damaging the panel elements further, and are smoothly evacuated from between the panel elements c1 and c2 to reduce wrinkles of the panel elements. In order to suppress or the like, the elastic pad 220 has an elastic constant of 70 kgf / cm 2 here.
It is made of an elastic body of up to 120 kgf / cm 2 .
【００６５】ステージ駆動装置３００は第１ステージ１
００、第２ステージ２００を駆動するために設けられて
おり、第１ステージ１００を駆動する第１ステージ駆動
部３１０と、第２ステージ２００を駆動する第２ステー
ジ駆動部３２０を含んでいる。The stage driving device 300 includes the first stage 1
The second stage driving unit 310 is provided to drive the second stage 200 and includes a first stage driving unit 310 that drives the first stage 100 and a second stage driving unit 320 that drives the second stage 200.
【００６６】第１ステージ駆動部３１０は、それには限
定されないが、ガイドレール３１１に沿って設けたラッ
クギア３１１ａに第１ステージ１００に設けたピニオン
ギア３１３を噛み合わさせ、このピニオンギア３１３を
第１ステージ１００に搭載したモータ３１２で往復回転
させるものである。第１ステージ１００は第１ステージ
駆動部３１０によりガイドレール３１１に沿って移動
し、パネル素子保持位置Ｑ１又はパネル素子貼り合わせ
位置Ｑ２に配置される。この移動にあたっては、第１ス
テージ１００に設けたスライダ１０２がガイドレール３
１１に沿って摺動する。The first stage drive section 310 is not limited to this, but meshes a pinion gear 313 provided on the first stage 100 with a rack gear 311 a provided along the guide rail 311, and connects the pinion gear 313 to the first stage. The motor 312 is reciprocally rotated by a motor 312 mounted on the motor 100. The first stage 100 is moved along the guide rail 311 by the first stage drive unit 310, and is arranged at the panel element holding position Q1 or the panel element bonding position Q2. For this movement, the slider 102 provided on the first stage 100 moves the guide rail 3
It slides along 11.
【００６７】第２ステージ駆動部３２０は、それには限
定されないが、ピストンシリンダ装置３２１とこれを駆
動する空気回路３２２からなる。ピストンシリンダ装置
３２１は、複動型のもので、そのシリンダ部３２１ａが
定位置に配置され、ピストンロッド３２１ｂが第２ステ
ージ２００に連結されている。空気回路３２２は、所定
の圧力の圧縮空気をピストンシリンダ装置３２１へ供給
できる。The second stage drive section 320 includes, but is not limited to, a piston cylinder device 321 and an air circuit 322 for driving the same. The piston-cylinder device 321 is of a double-acting type. The cylinder portion 321 a is arranged at a fixed position, and the piston rod 321 b is connected to the second stage 200. The air circuit 322 can supply compressed air of a predetermined pressure to the piston cylinder device 321.
【００６８】図示の状態は、空気回路３２２からピスト
ンシリンダ装置３２１のピストンロッド側に圧縮空気が
供給されており、ピストンロッド３２１ｂがシリンダ部
３２１ａ内へ後退し、第２ステージ２００が上昇してい
る状態を示している。In the state shown in the figure, compressed air is supplied from the air circuit 322 to the piston rod side of the piston cylinder device 321, the piston rod 321 b retreats into the cylinder portion 321 a, and the second stage 200 rises. The state is shown.
【００６９】ピストンシリンダ装置３２１のシリンダヘ
ッドカバー側から圧縮空気が供給されると、ピストンロ
ッド３２１ｂが突出し、第２ステージ２００が下降す
る。その後、ピストンシリンダ装置３２１のピストンロ
ッドカバー側に圧縮空気が供給されると、ピストンロッ
ド３２１ｂ及び第２ステージ２００は再び上昇し、図示
の状態に戻る。When compressed air is supplied from the cylinder head cover side of the piston cylinder device 321, the piston rod 321 b projects and the second stage 200 descends. Thereafter, when compressed air is supplied to the piston rod cover side of the piston cylinder device 321, the piston rod 321 b and the second stage 200 rise again and return to the illustrated state.
【００７０】図２に示すパネル製造装置は、両パネル素
子ｃ１、ｃ２の貼り合わせに先立って両パネル素子ｃ
１、ｃ２を相互位置合わせするパネル素子の相互位置合
わせ装置４００を備えている。The panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2 has a configuration in which both panel elements c1 and c2 are bonded together prior to bonding.
1, a panel element mutual alignment apparatus 400 for mutually aligning c2.
【００７１】位置合わせ装置４００は、２個のカメラ４
１０（ここではＣＣＤカメラ）、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４
２０、制御部４３０を備えている。The positioning device 400 includes two cameras 4
10 (here, a CCD camera), XY-θ driving device 4
20 and a control unit 430.
【００７２】図３に各パネル素子ｃ１、ｃ２が相互に位
置合わせされる状態を上から見た図を示す。なお、第１
ステージ１００、位置合わせ装置４００等は図示を省略
してある。FIG. 3 shows a top view of a state where the panel elements c1 and c2 are aligned with each other. The first
The illustration of the stage 100, the positioning device 400, and the like is omitted.
【００７３】図３に示すように各パネル素子ｃ１、ｃ２
には予め位置合わせのためのマークｍ１、ｍ２がパネル
素子の表示領域外にそれぞれ形成されている。なお、合
わせマークは、ここでは十字形のパターンがパネル素子
の対角線両端域に形成されているが、それに限定される
ものではなく、各パネル素子を相互に位置合わせできる
ものであれば、いずれのパターンでもよいし、また表示
領域外であれば、いずれの位置に形成されていてもよ
い。また、この合わせマークは印刷等により形成されて
いてもよいし、パネル素子の電極形成の際に表示領域外
にマーカ用電極を設けておき、該マーカ用電極への電圧
印加により点灯するものでもよい。ここではパネル素子
ｃ１、ｃ２上に合わせマークｍ１、ｍ２がそれぞれ印刷
されている。As shown in FIG. 3, each panel element c1, c2
Are provided with marks m1 and m2 for alignment in advance outside the display area of the panel element. Here, the alignment mark has a cross-shaped pattern formed at both end areas of the diagonal line of the panel element. However, the alignment mark is not limited to this. Any alignment mark can be used as long as the panel elements can be aligned with each other. It may be a pattern or may be formed at any position outside the display area. Further, the alignment mark may be formed by printing or the like, or a marker electrode may be provided outside the display area when forming the electrode of the panel element, and may be lit by applying a voltage to the marker electrode. Good. Here, alignment marks m1 and m2 are printed on the panel elements c1 and c2, respectively.
【００７４】図２に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４
３０に接続されており、各パネル素子ｃ１、ｃ２の予め
形成された合わせマークｍ１、ｍ２を観察し、そのマー
ク情報を制御部４３０に送ることができる。The CCD camera 410 shown in FIG.
The control unit 430 is capable of observing alignment marks m1 and m2 formed in advance on the panel elements c1 and c2 and transmitting the mark information to the control unit 430.
【００７５】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０はパネル素子保
持アーム４２１及びＸ−Ｙ−θ駆動部４２２を含んでい
る。パネル素子保持アーム４２１は駆動部４２２のＸ−
Ｙ−θ方向可動部に接続されており、その先端部４２１
ａでパネル素子ｃ２を吸着保持することができる。Ｘ−
Ｙ−θ駆動部４２２は制御部４３０に接続されており、
パネル素子保持アーム４２１及びそれに保持されるパネ
ル素子ｃ２を予め第１ステージ１００に吸着保持された
パネル素子ｃ１の表面に沿って所定方向（図中Ｘ方
向）、これに垂直な方向（図中Ｙ方向）に動かすととも
にＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周り（図中θ方向）に回動さ
せることができる。これにより、制御部４３０の指示の
もと、第１ステージ１００に保持させたパネル素子ｃ１
上でパネル素子ｃ２を動かすことができる。The XY-θ driving device 420 includes a panel element holding arm 421 and an XY-θ driving section 422. The panel element holding arm 421 is connected to the X-
The tip 421 is connected to the Y-θ direction movable part.
The panel element c2 can be suction-held by a. X-
The Y-θ drive unit 422 is connected to the control unit 430,
The panel element holding arm 421 and the panel element c2 held by the arm are held in a predetermined direction (X direction in the figure) along the surface of the panel element c1 previously suction-held on the first stage 100, and in a direction perpendicular to the direction (Y in the figure). Direction), and can be rotated about an axis perpendicular to the XY plane (direction θ in the figure). Accordingly, the panel element c1 held on the first stage 100 under the instruction of the control unit 430
The panel element c2 can be moved above.
【００７６】制御部４３０は、既述の通りＣＣＤカメラ
４１０、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０に接続されており、
カメラ４１０からの合わせマークｍ１、ｍ２のマーク情
報を位置情報として処理し、その位置情報に基づいて両
パネル素子ｃ１、ｃ２を合わせマークｍ１、ｍ２を合致
させて位置合わせすべくパネル素子ｃ２を動かすように
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０の動作を制御する。なお、制
御部４３０は基板やパネル等の位置合わせのための画像
処理による位置合わせ法を利用する手段を含んでいる。The control unit 430 is connected to the CCD camera 410 and the XY-θ driving device 420 as described above.
The mark information of the alignment marks m1 and m2 from the camera 410 is processed as position information, and based on the position information, the panel element c2 is moved to align the two panel elements c1 and c2 with the alignment marks m1 and m2. The operation of the XY-θ driving device 420 is controlled as described above. The control unit 430 includes a unit that uses an alignment method based on image processing for alignment of a substrate, a panel, or the like.
【００７７】また、このパネル製造装置は、図２中２点
鎖線で示す気密性を有する気密室６００を備えていて気
密室６００が第１、第２ステージ１００、２００及び各
装置を囲んでいてもよいが、ここでのパネル製造装置は
気密室６００を備えていない。この気密室６００につい
ては後述する。The panel manufacturing apparatus includes an airtight chamber 600 having an airtight property indicated by a two-dot chain line in FIG. 2, and the airtight chamber 600 surrounds the first and second stages 100 and 200 and each device. However, the panel manufacturing apparatus here does not include the airtight chamber 600. This airtight chamber 600 will be described later.
【００７８】次にかかる装置による図１に示すタイプの
反射型液晶表示パネル製造の一例を図４及び図５を参照
しながら説明する。Next, an example of the production of a reflection type liquid crystal display panel of the type shown in FIG. 1 by using such an apparatus will be described with reference to FIGS.
【００７９】図４は図２に示すパネル製造装置の液晶表
示パネル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明
するための図であり、図５は図４に示す工程の続きの工
程（５）から（７）を説明するための図である。なお、
図４及び図５では、簡略化のため一部の部品については
図示を省略してある。FIG. 4 is a view for explaining a part (1) to (4) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process of the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a continuation of the process shown in FIG. FIG. 9 is a diagram for explaining steps (5) to (7). In addition,
4 and 5, some parts are not shown for simplicity.
【００８０】図１に示す液晶表示パネルＡを製造するに
あたり、赤色表示、緑色表示、青色表示を行うＲ、Ｇ、
Ｂパネル素子をそれぞれ１パネル素子ずつ作製してお
く。In manufacturing the liquid crystal display panel A shown in FIG. 1, R, G,
One B panel element is manufactured for each panel element.
【００８１】先ず、Ｒ、Ｇ、Ｂパネル素子のうちいずれ
か（ここではＲパネル素子）を一つのパネル素子（以
下、第１パネル素子という。）ｃ１とし、そのパネル素
子に貼り合わされるパネル素子（ここではＧパネル素
子）をもう一つのパネル素子（以下、第２パネル素子と
いう。）ｃ２として取り扱い、図４に示す工程（１）〜
（４）及び図５に示す工程（５）〜（７）にて両パネル
素子を貼り合わせる。すなわち、 （１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り
合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネ
ル素子ｃ１（Ｒパネル素子）の前記光吸収層ＢＫが設け
られている面とは反対側の面に、片方の表面が未だ保護
離型シートＮＮ１で覆われた両面接着テープＮＮを予め
接着しておく。なお、ここでは両面接着テープを用いる
が、それに限定されるものではない。いずれにしてもパ
ネル素子面に接着剤を手作業で塗布してもよいし或いは
接着剤塗布装置により塗布してもよい。接着剤の設け方
は支障がない限り任意である。また、この接着剤を設け
る工程は両パネル素子の相互圧接工程前に実施する。圧
接工程前であれば支障のない限り、いずれの段階で実施
してもよい。First, any one of the R, G, and B panel elements (here, the R panel element) is defined as one panel element (hereinafter, referred to as a first panel element) c1, and the panel element bonded to the panel element is c1. (Here, the G panel element) is treated as another panel element (hereinafter, referred to as a second panel element) c2, and steps (1) to (1) shown in FIG.
At step (4) and steps (5) to (7) shown in FIG. 5, both panel elements are bonded together. That is, (1) at least one of the surfaces of the first and second panel elements c1 and c2 to be bonded to each other, here the surface of the first panel element c1 (R panel element) on which the light absorption layer BK is provided. A double-sided adhesive tape NN whose one surface is still covered with the protective release sheet NN1 is bonded in advance to the surface on the opposite side. Although a double-sided adhesive tape is used here, the present invention is not limited to this. In any case, the adhesive may be manually applied to the panel element surface, or may be applied by an adhesive application device. The method of providing the adhesive is arbitrary as long as there is no problem. Also, the step of providing the adhesive is performed before the step of mutually pressing both panel elements. As long as there is no problem, it may be performed at any stage before the pressure welding step.
【００８２】この両面接着テープＮＮが設けられた第１
パネル素子ｃ１を光吸収層ＢＫを下にして第１ステージ
１００にセットし、パネル素子保持装置１１０によりパ
ネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に
吸着させる。 （２）第２パネル素子ｃ２（Ｇパネル素子）を第１パネ
ル素子ｃ１の上に載せ、両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互
位置合わせをする。The first side provided with the double-sided adhesive tape NN
The panel element c1 is set on the first stage 100 with the light absorbing layer BK facing down, and the panel element c1 is adsorbed on the adsorption table 101 of the stage 100 by the panel element holding device 110. (2) The second panel element c2 (G panel element) is placed on the first panel element c1, and the two panel elements c1 and c2 are aligned with each other.
【００８３】この位置合わせは次のようにして行う。す
なわち、パネル素子ｃ１上に載せたパネル素子ｃ２を一
旦位置合わせ装置４００の先端部４２１ａに保持させ、
その状態で両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ
１、ｍ２をＣＣＤカメラ４１０で観察しながら第２パネ
ル素子ｃ２をＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０で動かして両パ
ネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、ｍ２を合致さ
せる。この位置合わせ動作はカメラ４１０で検出される
マーク情報が位置情報として画像処理され、その位置情
報に基づいてＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０を自動制御する
ことで行う。位置合わせ処理が終了すると再びパネル素
子ｃ２をパネル素子ｃ１上に載せる。This positioning is performed as follows. That is, the panel element c2 placed on the panel element c1 is once held at the distal end portion 421a of the positioning device 400,
In this state, the alignment mark m of both panel elements c1 and c2
The second panel element c2 is moved by the XY-θ driving device 420 while observing the m1 and m2 with the CCD camera 410 so that the alignment marks m1 and m2 of the two panel elements c1 and c2 match. This positioning operation is performed by performing image processing on mark information detected by the camera 410 as position information and automatically controlling the XY-θ driving device 420 based on the position information. When the alignment processing is completed, the panel element c2 is mounted on the panel element c1 again.
【００８４】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０による位置合わ
せは、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０を手動操作して行って
もよい。また、第２パネル素子ｃ２を保持するための第
２ステージ２００がＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいても
よい。このときはパネル素子ｃ２をそのステージ２００
に保持させてからパネル素子ｃ２を位置合わせすべくＸ
−Ｙ−θ駆動すればよい。また、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を
用いずに両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、
ｍ２を目視観察又はカメラ観察しながら第２パネル素子
ｃ２を手作業で動かして両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わ
せマークｍ１、ｍ２を合致させてもよい。 （３）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ
が終わると、前述のとおり第２パネル素子ｃ２を保持し
ているＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０のパネル素子保持アー
ム４２１からパネル素子ｃ２を放してパネル素子ｃ１上
へ載置し、しかるのちステージ駆動装置３００の第１ス
テージ駆動部３１０により第１ステージ１００を第２ス
テージ２００の下方（図２中Ｑ２の位置）に移動させ、
第１及び第２ステージのパネル素子ｃ１、ｃ２保持面を
対向させる。The alignment by the XY-θ driving device 420 may be performed by manually operating the XY-θ driving device 420. Further, the second stage 200 for holding the second panel element c2 may include an XY-θ driving device. At this time, the panel element c2 is
To align the panel element c2.
-Y-θ drive may be performed. Also, without using the XY-θ driving device, the alignment mark m1 of both panel elements c1 and c2,
The second panel element c2 may be manually moved while visually observing or camera observation of m2 so that the alignment marks m1 and m2 of both panel elements c1 and c2 match. (3) When the alignment of the first and second panel elements c1 and c2 is completed, the panel elements are moved from the panel element holding arm 421 of the XY-θ driving device 420 holding the second panel element c2 as described above. Release c2 and place it on the panel element c1, and then move the first stage 100 below the second stage 200 (the position of Q2 in FIG. 2) by the first stage drive unit 310 of the stage drive device 300.
The holding surfaces of the panel elements c1 and c2 of the first and second stages are opposed to each other.
【００８５】次いでステージ駆動装置３００の第２ステ
ージ駆動部３２０により第２ステージ２００を降下さ
せ、ステージ２００の弾性パッド２２０が第２パネル素
子ｃ２に接触したところでパネル素子保持装置２１０に
よる真空吸引にて第２パネル素子ｃ２を弾性パッド２２
０の凸曲面２２０ａに吸引保持させ、さらに第２パネル
素子ｃ２を吸着した第２ステージ２００を第２ステージ
駆動部３２０により上昇させて待機させる。 （４）第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼ら
れた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除
去して接着剤Ｎを露出させる。 （５）ステージ駆動装置３００の第２ステージ駆動部３
２０により第２ステージ２００を降下させ、第１及び第
２ステージ１００、２００をそれらのパネル素子ｃ１、
ｃ２保持面を対向させて、換言すればそれらステージ１
００、２００に保持されたパネル素子ｃ１、ｃ２の互い
に貼り合わすべき面を対向させて相対的に接近させる。 （６）ステージ駆動装置３００の第２ステージ駆動部３
２０による所定の加圧力の下、弾性パッド２２０の凸曲
面２２０ａを利用して両パネル素子ｃ１、ｃ２を当初は
部分的（本例ではそれらの端部）で相互圧接開始し、ひ
き続き凸曲面を有する弾性パッド２２０を弾性圧縮変形
させつつ、該当初相互圧接部分から他端部に向け脱気し
ながら、弾性パッド２２０と第１ステージ１００の剛体
部１０１で両パネル素子ｃ１、ｃ２を挟着して次第に相
互圧接部分を広げていく。この間パッド２２０の弾性変
形した部分の吸気用微細孔は閉じられていき、第２パネ
ル素子ｃ２は次第に第２ステージパッド２２０から解放
されていく。これにより両パネル素子ｃ１、ｃ２は円滑
に貼り合わされていく。 （７）このようにして両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置ず
れを防止しつつ、且つ、両パネル素子ｃ１、ｃ２間から
脱気しつつ、また、パネル素子に波うちや皺が生じない
ように相互圧接部分を広げていき、両パネル素子ｃ１、
ｃ２を密着貼り合わせする。かくしてＲパネル素子及び
Ｇパネル素子が貼り合わされる。Next, the second stage 200 is lowered by the second stage driving section 320 of the stage driving device 300, and when the elastic pad 220 of the stage 200 comes into contact with the second panel element c 2, the panel element holding device 210 performs vacuum suction. The second panel element c2 is connected to the elastic pad 22.
The second stage 200 is sucked and held on the 0 convex curved surface 220a, and further, the second stage 200 having sucked the second panel element c2 is lifted by the second stage drive unit 320 to be on standby. (4) The protective release sheet NN1 is removed from the double-sided adhesive tape NN attached to the first panel element c1 of the first stage 100 to expose the adhesive N. (5) Second stage driving unit 3 of stage driving device 300
20, the second stage 200 is lowered, and the first and second stages 100 and 200 are moved to their panel elements c1,
With the c2 holding surfaces facing each other, in other words, stage 1
The surfaces to be bonded of the panel elements c1 and c2 held by 00 and 200 are opposed to each other and opposed to each other. (6) Second stage driving unit 3 of stage driving device 300
Under the predetermined pressing force of 20, the two panel elements c1 and c2 are initially partially pressed to each other (the ends in this example) using the convex curved surface 220a of the elastic pad 220, and subsequently the convex curved surface is continued. The panel elements c1 and c2 are sandwiched between the elastic pad 220 and the rigid portion 101 of the first stage 100 while elastically compressing and deforming the elastic pad 220 having the shape described above while degassing from the corresponding initial mutual pressure contact portion to the other end. Then gradually expand the mutual pressure contact part. During this time, the intake fine holes in the elastically deformed portion of the pad 220 are closed, and the second panel element c2 is gradually released from the second stage pad 220. As a result, the panel elements c1 and c2 are smoothly bonded. (7) In this way, while preventing the displacement of the two panel elements c1 and c2, deaeration between the two panel elements c1 and c2, and preventing the panel elements from waving or wrinkling. Expanding the mutual pressure contact part, both panel elements c1,
c2 is closely adhered. Thus, the R panel element and the G panel element are bonded.
【００８６】そして両パネル素子の貼り合わせが完了す
ると、パネル素子保持装置２１０による真空吸引が停止
され、第２ステージ２００は当初位置へ上昇復帰せしめ
られ、第１ステージ１００は貼り合わされたパネル素子
を保持したまま当初位置Ｑ１へ戻される。When the bonding of both panel elements is completed, the vacuum suction by the panel element holding device 210 is stopped, the second stage 200 is returned to the initial position, and the first stage 100 holds the bonded panel elements. It is returned to the initial position Q1 while holding it.
【００８７】次に、こうして得られたＲパネル素子及び
Ｇパネル素子が貼り合わされたパネル素子を第１パネル
素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢ
パネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして前記各工程
（１）から（７）を繰り返して、既に貼り合わされたパ
ネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。前記のよ
うに貼り合わされたパネル素子を保持した第１ステージ
１００が位置Ｑ１に戻し配置されることで工程（１）の
一部が実行されているとしてもよいことは言うまでもな
い。かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル
素子が積層された表示パネルＡが得られる。Next, the panel element obtained by bonding the R panel element and the G panel element thus obtained is regarded as the first panel element c1 and one B element to be bonded next is to be considered.
Assuming that the panel element is the second panel element c2, the above steps (1) to (7) are repeated, and the next B panel element is bonded to the already bonded panel element. It goes without saying that part of the step (1) may be performed by returning the first stage 100 holding the panel elements bonded as described above to the position Q1. Thus, the display panel A in which the R panel element, the G panel element, and the B panel element are stacked is obtained.
【００８８】図６に図１に示す液晶表示パネルＡを製造
するための製造装置の他の例を示す。FIG. 6 shows another example of a manufacturing apparatus for manufacturing the liquid crystal display panel A shown in FIG.
【００８９】図６に示すパネル製造装置は、図２に示す
パネル製造装置において、第１ステージ１００に対して
排気装置５００を設け、第２ステージ２００に代えて第
２ステージ２００’を設けてある。他の点は図２の装置
と同様であり、同じ構成、作用を有する部品には同じ参
照符号を付してある。The panel manufacturing apparatus shown in FIG. 6 is different from the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2 in that an exhaust device 500 is provided for the first stage 100, and a second stage 200 'is provided instead of the second stage 200. . The other points are the same as those of the apparatus of FIG. 2, and parts having the same configuration and operation are denoted by the same reference numerals.
【００９０】以下に図６に示すパネル製造装置につい
て、図２の装置と異なる点を中心に説明する。The panel manufacturing apparatus shown in FIG. 6 will be described below focusing on differences from the apparatus shown in FIG.
【００９１】図６のパネル製造装置は、一つのパネル素
子ｃ１を保持するための第１ステージ１００、もう一つ
のパネル素子ｃ２を保持するための第２ステージ２０
０’、第１及び第２ステージ１００、２００’をそれら
のパネル素子保持面を対向させて相対的に接近離反させ
るためのステージ駆動装置３００を備えている。The panel manufacturing apparatus shown in FIG. 6 has a first stage 100 for holding one panel element c1 and a second stage 20 for holding another panel element c2.
There is provided a stage driving device 300 for relatively moving the first and second stages 100 and 200 'toward and away from each other with their panel element holding surfaces facing each other.
【００９２】このパネル製造装置では、第２ステージ２
００’がパネル素子保持面２２０ａ’を有する弾性パッ
ド２２０’を備えているとともにパネル素子保持面２２
０ａ’が所定曲率の凸曲面であり、図７、図８を参照し
て後述するようにステージ駆動装置３００が、第１及び
第２ステージ１００、２００’を対向させたうえで相対
的に接近させることで両パネル素子ｃ１、ｃ２を当初は
弾性パッド２２０’の凸曲面２２０ａ’で部分的に相互
圧接し、ひき続き両ステージ１００、２００’を接近さ
せることで弾性パッド２２０’を弾性圧縮変形させつつ
該当初相互圧接部分から次第に相互圧接部分を広げて全
面的に相互圧接することで、パネル素子ｃ１、ｃ２を積
層して表示パネルを製造する。In this panel manufacturing apparatus, the second stage 2
00 ′ includes an elastic pad 220 ′ having a panel element holding surface 220a ′ and a panel element holding surface 22a.
Reference numeral 0a 'denotes a convex curved surface having a predetermined curvature. As will be described later with reference to FIGS. 7 and 8, the stage driving device 300 makes the first and second stages 100 and 200' face each other and then relatively approach each other. As a result, the panel elements c1 and c2 are initially partially pressed against each other by the convex curved surface 220a 'of the elastic pad 220', and the elastic pad 220 'is elastically compressed and deformed by bringing the two stages 100 and 200' closer together. The panel elements c1 and c2 are stacked to form a display panel by gradually expanding the mutual pressure contact part from the corresponding initial mutual pressure contact part and making a full mutual pressure contact.
【００９３】第２ステージ２００’は第２吸着テーブル
２０１’、パネル素子保持のためのパネル素子保持装置
２１０’を含んでいる。The second stage 200 'includes a second suction table 201' and a panel element holding device 210 'for holding panel elements.
【００９４】第２吸着テーブル２０１’は剛性を有する
材料からなっており、パネル素子ｃ２を保持する領域に
パネル素子吸着のための吸気孔２０１ａ’が所定の間隔
をおいて複数設けられている。The second suction table 201 'is made of a material having rigidity, and a plurality of suction holes 201a' for sucking panel elements are provided at predetermined intervals in a region for holding the panel elements c2.
【００９５】パネル素子保持装置２１０’はかかる吸気
孔２０１ａ’のほか、排気室２１１’、フレキシブルチ
ューブ２１２、排気装置２１３を含んでおり、排気装置
２１３はチューブ２１２の一端部に、チューブ２１２の
他端部は排気室２１１’にそれぞれ接続され、排気室２
１１’は吸着テーブル２０１’の吸気孔２０１ａ’に連
通している。かくして排気装置２１３の運転にて空気が
吸気孔２０１ａ’から排気室２１１’、チューブ２１２
を通って排気される。The panel element holding device 210 'includes an exhaust chamber 211', a flexible tube 212, and an exhaust device 213 in addition to the intake hole 201a '. The exhaust device 213 is provided at one end of the tube 212 and at the other end of the tube 212. The ends are respectively connected to the exhaust chambers 211 ′,
11 'communicates with the suction hole 201a' of the suction table 201 '. Thus, when the exhaust device 213 is operated, air flows from the intake port 201a 'through the exhaust chamber 211' and the tube 212.
Exhausted through.
【００９６】第２ステージ２００’は、既述のとおりパ
ネル素子保持面２２０ａ’を有する弾性パッド２２０’
を備えている。弾性パッド２２０’は第２吸着テーブル
２０１’の排気室２１１’が設けられている側とは反対
側に配置されている。As described above, the second stage 200 'has the elastic pad 220' having the panel element holding surface 220a '.
It has. The elastic pad 220 'is arranged on the side of the second suction table 201' opposite to the side on which the exhaust chamber 211 'is provided.
【００９７】弾性パッド２２０’は、ここでは図２の製
造装置の弾性パッド２２０と同様の材料、すなわち連続
気泡性の弾性ゴム発泡体からなっており、真空吸引にて
パネル素子ｃ２を凸曲面２２０ａ’に保持するための吸
気用微細孔２２０ｂ’を有している。この微細孔２２０
ｂ’は弾性圧縮変形にて閉じられる。The elastic pad 220 'is made of the same material as the elastic pad 220 of the manufacturing apparatus shown in FIG. 2, that is, an elastic rubber foam having an open cell shape. ′. This fine hole 220
b 'is closed by elastic compression deformation.
【００９８】パネル素子保持面２２０ａ’は中央が高く
なった所定曲率の凸曲面（ここでは曲率半径が４０００
ｍｍ〜５０００ｍｍ程度の凸曲面）であり、その曲面に
沿ってパネル素子ｃ２を保持できる。凸曲面２２０ａ’
としては例えば球面、略球面、半截円筒の外周面状の曲
面を採用でき、ここでは球面である。このような凸曲面
を採用することで、両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互圧接
は、両パネル素子ｃ１、ｃ２が当初はそれらの中央部で
相互圧接され、該当初相互圧接部分から次第に周囲へ相
互圧接部分が広げられるようになされる。The panel element holding surface 220a 'is a convex curved surface having a predetermined curvature with an increased center (here, the curvature radius is 4000).
mm to about 5000 mm), and the panel element c2 can be held along the curved surface. Convex curved surface 220a '
For example, a spherical surface, a substantially spherical surface, or a semicircular cylindrical curved surface having an outer peripheral surface shape can be adopted. By adopting such a convex curved surface, the mutual pressing of the panel elements c1 and c2 is initially performed by pressing the two panel elements c1 and c2 together at the center thereof, and gradually from the corresponding initial mutual pressing portion to the surroundings. The press-contact portion is made to be spread.
【００９９】この弾性パッド２２０’は、圧接工程にお
ける両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互圧接時に該パッドの
圧縮にて吸気用微細孔が閉じられることで弾性パッド２
２０’に保持されたパネル素子ｃ２のもう一つのパネル
素子ｃ１へ圧接される部分を解放でき、それにより両パ
ネル素子ｃ１、ｃ２をそれだけ円滑に貼り合わせること
ができる。The elastic pad 220 ′ is formed by compressing the pad when the two panel elements c 1 and c 2 are pressed against each other in the pressing step, so that the intake fine hole is closed.
The portion of the panel element c2 held at 20 ', which is pressed against another panel element c1, can be released, so that the two panel elements c1, c2 can be smoothly bonded together.
【０１００】なお、パネル素子を傷つけることなく、両
パネル素子ｃ１、ｃ２を位置ずれさせることなく相互圧
接し、両パネル素子ｃ１、ｃ２間から円滑に脱気し、パ
ネル素子の皺より等を抑制する等のために、弾性パッド
２２０’は、ここでは弾性定数７０ｋｇｆ／ｃｍ2 〜１
２０ｋｇｆ／ｃｍ2 の弾性体からなっている。The two panel elements c1 and c2 are pressed against each other without displacing them without damaging the panel elements, and smoothly deaerated from between the panel elements c1 and c2 to suppress wrinkles and the like of the panel elements. For example, the elastic pad 220 ′ has an elastic constant of 70 kgf / cm 2 to 1
It is made of an elastic body of 20 kgf / cm 2 .
【０１０１】排気装置５００は、両パネル素子ｃ１、ｃ
２の貼り合わせにあたり、より確実に両パネル素子ｃ
１、ｃ２間から脱気するために設けられており、リング
部材５１０、空気吸い込み用の管５２０、フレキシブル
チューブ５３０、真空ポンプ５４０を含んでいる。The exhaust device 500 includes both panel elements c1, c
When bonding the two, more reliably both panel elements c
It is provided for deaeration from between 1, 2 and c2, and includes a ring member 510, an air suction tube 520, a flexible tube 530, and a vacuum pump 540.
【０１０２】リング部材５１０は、第１及び第２ステー
ジ１００、２００’の相互接近により両ステージ間に挟
着されて該両ステージとともに両ステージ間のパネル素
子ｃ１、ｃ２を囲繞する、排気減圧を行うための気密室
を形成する気密シール用の弾性変形可能のリング部材で
ある。このリング部材５１０は、ここではゴム製のもの
であり、第１ステージ１００の吸着テーブル１０１に設
けられている。The ring member 510 is sandwiched between the first and second stages 100 and 200 ′ by mutual approach and surrounds the panel elements c 1 and c 2 between the two stages together with the two stages. This is an elastically deformable ring member for hermetic sealing that forms an airtight chamber for performing. The ring member 510 is made of rubber here, and is provided on the suction table 101 of the first stage 100.
【０１０３】空気吸い込み用の管５２０は、第１ステー
ジ１００のリング部材５１０とパネル素子ｃ１保持領域
の間に設けられた貫通孔に嵌合されており、フレキシブ
ルチューブ５３０の一端部に接続されている。チューブ
５３０の他端部は真空ポンプ５４０に接続されている。
これにより第１、第２ステージ１００、２００’及びリ
ング部材５１０で形成される気密室内を排気減圧でき
る。The air suction pipe 520 is fitted in a through hole provided between the ring member 510 of the first stage 100 and the panel element c1 holding area, and is connected to one end of the flexible tube 530. I have. The other end of the tube 530 is connected to a vacuum pump 540.
Thus, the airtight chamber formed by the first and second stages 100 and 200 ′ and the ring member 510 can be exhausted and decompressed.
【０１０４】また、このパネル製造装置は、図２の製造
装置と同様、図２中２点鎖線に示す気密室６００を備え
ていてもよいが、ここでは備えていない。The panel manufacturing apparatus may have an airtight chamber 600 shown by a two-dot chain line in FIG. 2, similarly to the manufacturing apparatus shown in FIG. 2, but is not provided here.
【０１０５】次にかかる装置による液晶表示パネル製造
の一例を図７及び図８を参照しながら説明する。Next, an example of the production of a liquid crystal display panel using such an apparatus will be described with reference to FIGS.
【０１０６】図７は図６に示すパネル製造装置の液晶表
示パネル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明
するための図であり、図８は図７に示す工程の続きの工
程（５）から（８）を説明するための図である。なお、
図７及び図８では、簡略化のため一部の部品については
図示を省略してある。FIG. 7 is a view for explaining a part (1) to (4) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process of the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 6, and FIG. 8 is a continuation of the process shown in FIG. FIG. 9 is a view for explaining steps (5) to (8). In addition,
7 and 8, some parts are not shown for simplicity.
【０１０７】図１に示す反射型液晶表示パネルＡを製造
するにあたり、赤色表示、緑色表示、青色表示を行う
Ｒ、Ｇ、Ｂパネル素子をそれぞれ１パネル素子ずつ作製
しておく。In manufacturing the reflection type liquid crystal display panel A shown in FIG. 1, one R, G, and B panel element for performing red display, green display, and blue display is manufactured one by one.
【０１０８】先ず、Ｒ、Ｇ、Ｂパネル素子のうちいずれ
か（ここではＲパネル素子）を一つのパネル素子（以
下、第１パネル素子という。）ｃ１とし、そのパネル素
子に貼り合わされるパネル素子（ここではＧパネル素
子）をもう一つのパネル素子（以下、第２パネル素子と
いう。）ｃ２として取り扱い、図４に示す工程（１）〜
（４）及び図５に示す工程（５）〜（８）にて両パネル
素子を貼り合わせる。すなわち、 （１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り
合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネ
ル素子ｃ１（Ｒパネル素子）の光吸収層ＢＫを設けてい
ない側の面に片方の表面が未だ保護離型シートＮＮ１で
覆われた両面接着テープＮＮを予め接着しておく。First, any one of the R, G, and B panel elements (here, the R panel element) is defined as one panel element (hereinafter, referred to as a first panel element) c1, and the panel element bonded to the panel element is c1. (Here, the G panel element) is treated as another panel element (hereinafter, referred to as a second panel element) c2, and steps (1) to (1) shown in FIG.
At step (4) and steps (5) to (8) shown in FIG. 5, both panel elements are bonded together. That is, (1) at least one of the surfaces of the first and second panel elements c1 and c2 to be bonded to each other, here the surface of the first panel element c1 (R panel element) on which the light absorbing layer BK is not provided. A double-sided adhesive tape NN whose one surface is still covered with the protective release sheet NN1 is previously bonded.
【０１０９】この両面接着テープＮＮが設けられた第１
パネル素子ｃ１を光吸収層ＢＫを下にして第１ステージ
１００にセットし、パネル素子保持装置１１０によりパ
ネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に
吸着させる。 （２）第２パネル素子ｃ２（Ｇパネル素子）を第１パネ
ル素子ｃ１の上に載せ、両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互
位置合わせをする。この位置合わせは、図２の装置によ
る図４の工程（２）と同様であり、ここでは説明を省略
する。 （３）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ
が終わると、第２パネル素子ｃ２を保持しているＸ−Ｙ
−θ駆動装置４２０のパネル素子保持アーム４２１から
パネル素子ｃ２を放してパネル素子ｃ１上に再載置し、
しかるのちステージ駆動装置３００の第１ステージ駆動
部３１０により第１ステージ１００を第２ステージ２０
０’の下方（図６中Ｑ２’の位置）に移動させ、第１及
び第２ステージのパネル素子ｃ１、ｃ２保持面を対向さ
せる。The first double-sided adhesive tape NN provided
The panel element c1 is set on the first stage 100 with the light absorbing layer BK facing down, and the panel element c1 is adsorbed on the adsorption table 101 of the stage 100 by the panel element holding device 110. (2) The second panel element c2 (G panel element) is placed on the first panel element c1, and the two panel elements c1 and c2 are aligned with each other. This alignment is the same as step (2) in FIG. 4 using the apparatus in FIG. 2, and a description thereof will be omitted. (3) When the alignment of the first and second panel elements c1 and c2 is completed, XY holding the second panel element c2
The panel element c2 is released from the panel element holding arm 421 of the −θ driving device 420 and is re-mounted on the panel element c1,
Thereafter, the first stage 100 is moved to the second stage 20 by the first stage driving section 310 of the stage driving device 300.
It is moved below 0 '(position Q2' in FIG. 6), and the panel element c1, c2 holding surfaces of the first and second stages are opposed to each other.
【０１１０】次いでステージ駆動装置３００の第２ステ
ージ駆動部３２０により第２ステージ２００’を降下さ
せ、ステージ２００’のパッド２２０’が第２パネル素
子ｃ２に接触したところでパネル素子保持装置２１０’
による真空吸引にて第２パネル素子ｃ２を弾性パッド２
２０’の凸曲面２２０ａ’に吸引保持させ、さらに第２
パネル素子ｃ２を吸着した第２ステージ２００’を第２
ステージ駆動部３２０により上昇させて待機させる。 （４）第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼ら
れた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除
去して接着剤Ｎを露出させる。 （５）ステージ駆動装置３００の第２ステージ駆動部３
２０により第２ステージ２００’を降下させ、第１及び
第２ステージ１００、２００’をそれらのパネル素子ｃ
１、ｃ２保持面を対向させて、換言すればそれらステー
ジ１００、２００’に保持されたパネル素子ｃ１、ｃ２
の互いに貼り合わすべき面を対向させて相対的に接近さ
せる。 （６）ステージ駆動装置３００の第２ステージ駆動部３
２０による所定の加圧力の下、弾性パッド２２０’の凸
曲面２２０ａ’を利用して両パネル素子ｃ１、ｃ２を当
初は部分的に（本例ではそれらの中央部で）相互圧接開
始する。この圧接工程において、第２ステージ２００’
がゴム製のリング部材５１０に接触したところで、排気
減圧を行うための気密室Ｄが形成される。そのとき気密
室Ｄの空気を真空ポンプ５４０により吸い出し、気密室
Ｄを大気圧より低い所定の圧力（ここでは２０Ｐａ〜３
０Ｐａ）にする。 （７）工程（６）の動作を開始してからも、ひき続き第
２ステージ２００’を降下させ、球面を有する弾性パッ
ド２２０’を弾性圧縮変形させつつ、前記当初相互圧接
部分から脱気しながら、弾性パッド２２０’と第１ステ
ージ１００の剛体部１０１で両パネル素子ｃ１、ｃ２を
挟着して、次第に相互圧接部分を広げていく。この間パ
ッド２２０’の弾性変形した部分の吸気用微細孔が閉じ
られていき、パネル素子ｃ２は次第に第２ステージパッ
ド２２０’から解放されていく。これにより両パネル素
子ｃ１、ｃ２は円滑に貼り合わされていく。 （８）このようにして両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置ず
れを防止しつつ、且つ、両パネル素子ｃ１、ｃ２間から
脱気しつつ、また、パネル素子に波うちや皺が生じない
ように相互圧接部分を広げていき、両パネル素子ｃ１、
ｃ２を挟着貼り合わせする。かくしてＲパネル素子及び
Ｇパネル素子が貼り合わされる。Next, the second stage 200 'is lowered by the second stage driving section 320 of the stage driving device 300, and when the pad 220' of the stage 200 'comes into contact with the second panel element c2, the panel element holding device 210'.
The second panel element c2 by the elastic pad 2
20 ′ is held by suction on the convex curved surface 220a ′.
The second stage 200 'that has absorbed the panel element c2 is moved to the second stage.
It is raised by the stage drive unit 320 and put on standby. (4) The protective release sheet NN1 is removed from the double-sided adhesive tape NN attached to the first panel element c1 of the first stage 100 to expose the adhesive N. (5) Second stage driving unit 3 of stage driving device 300
20, the second stage 200 'is lowered, and the first and second stages 100, 200' are moved to their panel elements c.
1, c2 with the holding surfaces facing each other, in other words, the panel elements c1, c2 held on the stages 100, 200 '.
The surfaces to be bonded to each other are opposed to each other and relatively approached. (6) Second stage driving unit 3 of stage driving device 300
Under a predetermined pressing force of 20, the two panel elements c1 and c2 are partially and initially (at the center in the present example) mutually press-contacted by utilizing the convex curved surface 220a 'of the elastic pad 220'. In this pressing process, the second stage 200 ′
Is in contact with the rubber ring member 510, an airtight chamber D for reducing the exhaust pressure is formed. At this time, the air in the hermetic chamber D is sucked out by the vacuum pump 540, and the air in the hermetic chamber D is supplied to a predetermined pressure lower than the atmospheric pressure (here, 20 Pa to 3 Pa).
0 Pa). (7) Even after the operation of the step (6) is started, the second stage 200 'is continuously lowered to elastically compress and deform the elastic pad 220' having a spherical surface while degassing from the initial mutual pressure contact portion. Meanwhile, the panel elements c1 and c2 are sandwiched between the elastic pad 220 'and the rigid body 101 of the first stage 100, and the mutual pressure contact portion is gradually widened. During this time, the fine holes for intake in the elastically deformed portion of the pad 220 'are closed, and the panel element c2 is gradually released from the second stage pad 220'. As a result, the panel elements c1 and c2 are smoothly bonded. (8) In this way, while preventing the displacement of both panel elements c1 and c2, degassing between both panel elements c1 and c2, and preventing the panel elements from waving or wrinkling. Expanding the mutual pressure contact part, both panel elements c1,
c2 is stuck and bonded. Thus, the R panel element and the G panel element are bonded.
【０１１１】そして両パネル素子の貼り合わせが完了す
ると、パネル素子保持装置２１０’による真空吸引が停
止され、第２ステージ２００’は当初位置へ上昇復帰せ
しめられ、第１ステージ１００は貼り合わされたパネル
素子を保持したまま当初位置Ｑ１へ復帰せしめられる。When the bonding of both panel elements is completed, the vacuum suction by the panel element holding device 210 'is stopped, the second stage 200' is returned to the initial position, and the first stage 100 is bonded to the panel. The device is returned to the initial position Q1 while holding the element.
【０１１２】次に、こうして得られたＲパネル素子及び
Ｇパネル素子が貼り合わされたパネル素子を第１パネル
素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢ
パネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして実質的に前
記各工程（１）から（８）を繰り返して、既に貼り合わ
されたパネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。
かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル素子
が積層された表示パネルＡが得られる。Next, the panel element obtained by bonding the R panel element and the G panel element thus obtained is regarded as a first panel element c1, and one B element to be bonded next is considered.
Assuming that the panel element is the second panel element c2, the above steps (1) to (8) are substantially repeated, and the next B panel element is bonded to the already bonded panel element.
Thus, the display panel A in which the R panel element, the G panel element, and the B panel element are stacked is obtained.
【０１１３】なお、図２及び図６に示すパネル製造装置
では、第２ステージ駆動部３２０によるステージ駆動と
して、空気圧駆動を採用するが、油圧駆動その他の駆動
機構を採用してもよい。また、第２ステージ駆動部とし
て、例えば、偏心カム機構その他の機構を採用すること
もできる。In the panel manufacturing apparatus shown in FIGS. 2 and 6, pneumatic drive is used as the stage drive by the second stage drive unit 320, but hydraulic drive or another drive mechanism may be used. Further, as the second stage driving unit, for example, an eccentric cam mechanism or another mechanism can be adopted.
【０１１４】また、図２に示すパネル製造装置におい
て、両パネル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせにあたり、よ
り確実に両パネル素子ｃ１、ｃ２間から脱気するため
に、図６に示すパネル製造装置の排気装置５００を用い
て気密室を形成し、該気密室内を排気減圧してもよい。
図２及び図６に示すパネル製造装置のいずれにおいて
も、排気装置５００に代えて又はそれとともに前記の気
密室６００（図２参照）及び該室内を排気減圧する排気
装置を設け、該排気装置により該室内を排気減圧しても
よい。Further, in the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2, in order to bond the two panel elements c1 and c2 more securely and to evacuate the space between the panel elements c1 and c2, the panel manufacturing apparatus shown in FIG. An airtight chamber may be formed using the exhaust device 500, and the pressure in the airtight chamber may be reduced.
In each of the panel manufacturing apparatuses shown in FIGS. 2 and 6, instead of or together with the exhaust device 500, the airtight chamber 600 (see FIG. 2) and an exhaust device that exhausts and decompresses the interior of the panel are provided. The room may be evacuated and depressurized.
【０１１５】なお、図２及び図６に示すパネル製造装置
において気密室６００を設けるときには、図２では排気
装置１１３、２１３及び空気回路３２２等が気密室内に
示されているが、気密室内に設置しておくことが不適当
なものは気密室外に設置すればよい。また排気装置５０
０を用いる場合には真空ポンプ５４０も気密室外に設置
する。When the airtight chamber 600 is provided in the panel manufacturing apparatus shown in FIGS. 2 and 6, the exhaust devices 113 and 213 and the air circuit 322 are shown in the airtight chamber in FIG. If it is inappropriate to do so, it may be installed outside the airtight room. Exhaust device 50
When 0 is used, the vacuum pump 540 is also installed outside the airtight room.
【０１１６】[0116]
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、画
像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を
積層して表示パネルを製造する方法及び装置であって、
隣り合うパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で
貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パ
ネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供す
ることができる。As described above, according to the present invention, there is provided a method and apparatus for manufacturing a display panel by laminating panel elements for forming a display panel for displaying an image,
It is possible to provide a method and an apparatus for manufacturing a display panel in which adjacent panel elements are bonded in a state where they are accurately aligned, and a display panel capable of displaying a good image can be obtained.
【０１１７】また本発明によると、画像を表示する表示
パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネ
ルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素
子を該両パネル素子間から脱気して密着させ、皺よりの
抑制された状態で貼り合わせることができ、それだけ良
好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネル
の製造方法及び装置を提供することができる。Further, according to the present invention, there is provided a method and an apparatus for manufacturing a display panel by laminating panel elements for forming a display panel for displaying an image, wherein adjacent panel elements are separated from both panel elements. It is possible to provide a method and apparatus for manufacturing a display panel which can be closely attached to each other and bonded together in a state where wrinkles are suppressed, thereby obtaining a display panel capable of displaying an excellent image.
【図１】製造しようとする液晶表示パネルの１例の概略
側面図である。FIG. 1 is a schematic side view of an example of a liquid crystal display panel to be manufactured.
【図２】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製
造装置例の概略構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of an example of a manufacturing apparatus for manufacturing the liquid crystal display panel shown in FIG.
【図３】各パネル素子が相互に位置合わせされる状態を
上から見た図である。FIG. 3 is a top view showing a state where the panel elements are aligned with each other;
【図４】図２に示すパネル製造装置による液晶表示パネ
ル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明するた
めの図である。FIG. 4 is a view for explaining a part (1) to (4) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process by the panel manufacturing apparatus shown in FIG. 2;
【図５】図４に示す工程の続きの工程（５）から（７）
を説明するための図である。5 is a step (5) to (7) subsequent to the step shown in FIG. 4;
FIG.
【図６】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製
造装置の他の例を示すものである。FIG. 6 shows another example of a manufacturing apparatus for manufacturing the liquid crystal display panel shown in FIG.
【図７】図６に示すパネル製造装置による液晶表示パネ
ル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明するた
めの図である。7 is a diagram for explaining a part (1) to (4) of an example of a liquid crystal display panel manufacturing process by the panel manufacturing apparatus shown in FIG.
【図８】図７に示す工程の続きの工程（５）から（８）
を説明するための図である。8 is a step (5) to (8) subsequent to the step shown in FIG. 7;
FIG.
１００ 第１ステージ １０１ 第１吸着テーブル １０１ａ 吸気孔 １０２ スライダ １１０ パネル素子保持装置 １１１ 排気室 １１２ フレキシブルチューブ １１３ 排気装置 ２００ 第２ステージ ２０１ 第２吸着テーブル ２０１ａ 吸気孔 ２１０ 保持装置 ２１１ 排気室 ２１２ フレキシブルチューブ ２１３ 排気装置 ２２０ 弾性パッド ２２０ａ パネル素子保持面 ２２０ｂ 吸気用微細孔 ２２０ｃ パネル素子保持面２２０ａの一方の端部 ２２０ｄ パネル素子保持面２２０ａの他端部 ２００’ 第２ステージ ２０１’ 第２吸着テーブル ２０１ａ’ 吸気孔 ２１０’ パネル素子保持装置 ２１１’ 排気室 ２２０’ 弾性パッド ２２０ａ’ パネル素子保持面 ２２０ｂ’ 吸気用微細孔 ３００ ステージ駆動装置 ３１０ 第１ステージ駆動部 ３１１ ガイドレール ３１１ａ ラックギア ３１２ モータ ３１３ ピニオンギア ３２０ 第２ステージ駆動部 ３２１ ピストンシリンダ装置 ３２１ａ シリンダ部 ３２１ｂ ピストンロッド ３２２ 空気回路 ４００ パネル素子の相互位置合わせ装置 ４１０ カメラ ４２０ Ｘ−Ｙ−θ駆動装置 ４２１ パネル素子保持アーム ４２２ Ｘ−Ｙ−θ駆動部 ４３０ 制御部 ５００ 排気装置 ５１０ リング部材 ５２０ 空気吸い込み用の管 ５３０ フレキシブルチューブ ５４０ 真空ポンプ ６００ 気密室 Ａ 液晶表示パネル Ｂ 青色（ブルー）表示を行うパネル素子 Ｇ 緑色（グリーン）表示を行うパネル素子 Ｒ 赤色（レッド）表示を行うパネル素子 ＢＫ 光吸収層 ｃ１ 一つのパネル素子 ｃ２ もう一つのパネル素子 Ｄ 気密室 ＬＣ 液晶含有層 ｍ１、ｍ２ 位置合わせのためのマーク Ｎ 接着剤 ＮＮ 両面接着テープ ＮＮ１ 保護離型シート Ｑ１ パネル素子保持位置 Ｑ２、Ｑ２’ パネル素子貼り合わせ位置 Ｓ１、Ｓ２ 透明基板 REFERENCE SIGNS LIST 100 first stage 101 first suction table 101a suction hole 102 slider 110 panel element holding device 111 exhaust chamber 112 flexible tube 113 exhaust device 200 second stage 201 second suction table 201a suction hole 210 holding device 211 exhaust chamber 212 flexible tube 213 Exhaust device 220 Elastic pad 220a Panel element holding surface 220b Inlet fine hole 220c One end of panel element holding surface 220a 220d The other end of panel element holding surface 220a 200 'Second stage 201' Second suction table 201a 'Suction Hole 210 ′ Panel element holding device 211 ′ Exhaust chamber 220 ′ Elastic pad 220 a ′ Panel element holding surface 220 b ′ Fine hole for intake 300 Stage driving device 310 First stage driving unit 311 Guide rail 311a Rack gear 312 Motor 313 Pinion gear 320 Second stage drive unit 321 Piston cylinder device 321a Cylinder unit 321b Piston rod 322 Air circuit 400 Panel device mutual alignment device 410 Camera 420 XY-θ drive device 421 Panel element holding Arm 422 XY-θ drive unit 430 control unit 500 exhaust device 510 ring member 520 air suction tube 530 flexible tube 540 vacuum pump 600 airtight room A liquid crystal display panel B panel element for displaying blue (blue) G green ( Green) Panel element for displaying R R Panel element for displaying red (red) BK Light absorbing layer c1 One panel element c2 Another panel element D Airtight chamber LC Liquid crystal containing layer m1, m2 Alignment Mark N Adhesive NN Double-sided adhesive tape NN1 Protection release sheet Q1 Panel element holding position Q2, Q2 'Panel element bonding position S1, S2 Transparent substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 保富 英雄 大阪府大阪市中央区安土町二丁目３番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H089 HA21 QA16 TA06 3K007 AB04 AB15 AB17 AB18 FA02 5G435 AA17 CC09 EE13 KK03 KK05 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hideo Hotomi 2-3-13 Azuchicho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka F-term in Osaka International Building Minolta Co., Ltd. 2H089 HA21 QA16 TA06 3K007 AB04 AB15 AB17 AB18 FA02 5G435 AA17 CC09 EE13 KK03 KK05
Claims (24)
のパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法であ
り、 第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面の
うち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、 第１及び第２のパネル素子を相互に位置合わせして、互
いに貼り合わすべき面が対向するように配置する工程
と、 相互に位置合わせされた第１及び第２のパネル素子を前
記接着剤を介在させた状態で相互に圧接する圧接工程と
を含み、 前記圧接工程における第１及び第２のパネル素子の相互
圧接は、該両パネル素子を当初は部分的に相互圧接し、
該当初相互圧接部分から次第に相互圧接部分を広げて全
面的に相互圧接することで行うことを特徴とする表示パ
ネルの製造方法。1. A method of manufacturing a display panel by laminating panel elements for forming a display panel for displaying an image, wherein at least one of surfaces of the first and second panel elements to be bonded to each other. A step of providing an adhesive on the surface; a step of aligning the first and second panel elements with each other so that the surfaces to be bonded to each other face each other; and a step of aligning the first and second panel elements with each other. And pressing the first and second panel elements in the pressing step by partially pressing the first and second panel elements partially together with the adhesive interposed therebetween. Mutually pressed against
A method for manufacturing a display panel, characterized in that the process is carried out by gradually expanding the mutual press contact portion from the initial mutual press contact portion and performing mutual press contact over the entire surface.
ル素子の相互圧接は、該両パネル素子を当初はそれらの
中央部で相互圧接し、該当初相互圧接部分から次第に相
互圧接部分を広げて全面的に相互圧接することで行う請
求項１記載の表示パネルの製造方法。2. The mutual pressing of the first and second panel elements in the pressing step, the two panel elements are initially pressed against each other at their central portions, and the mutual pressed parts are gradually expanded from the corresponding initial mutual pressed parts. The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein the entire surface is pressed against each other.
ル素子の相互圧接は、該両パネル素子を当初はそれらの
端部で相互圧接し、該当初相互圧接部分から次第に相互
圧接部分を広げて全面的に相互圧接することで行う請求
項１記載の表示パネルの製造方法。3. The mutual pressing of the first and second panel elements in the pressing step, the two panel elements are initially pressed against each other at their ends, and the mutual pressed parts are gradually expanded from the corresponding initial mutual pressed parts. The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein the entire surface is pressed against each other.
のパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法であ
り、 第１ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、 第２ステージに第２パネル素子を保持させる工程と、 第１及び第２のステージに保持された第１及び第２のパ
ネル素子を互いに貼り合わすべき面が対向するように配
置する工程と、 第１及び第２のパネル素子を相互に位置合わせする工程
と、 互いに貼り合わすべき第１及び第２のパネル素子の面の
少なくとも一方に接着剤を設ける工程と、 相互に位置合わせされて第１及び第２のステージに保持
された第１及び第２のパネル素子を前記接着剤を介在さ
せた状態で第１及び第２のステージ間に挟んで相互に圧
接する圧接工程とを含み、 第１及び第２のステージのうち少なくとも一方はパネル
素子保持面を有する弾性パッドを備えているとともに該
パネル素子保持面が所定曲率の凸曲面であるステージと
し、 前記圧接工程における第１及び第２のパネル素子の相互
圧接は、第１及び第２のステージを相対的に接近させる
ことで該両パネル素子を当初は前記弾性パッドの凸曲面
で部分的に相互圧接し、ひき続き両ステージを接近させ
ることで前記弾性パッドを弾性変形させつつ該当初相互
圧接部分から次第に相互圧接部分を広げて全面的に相互
圧接することで行うことを特徴とする表示パネルの製造
方法。4. A method for manufacturing a display panel by laminating panel elements for forming a display panel for displaying an image, comprising: holding a first panel element on a first stage; A step of holding the two panel elements; a step of arranging the first and second panel elements held by the first and second stages such that surfaces to be bonded to each other face each other; A step of aligning the panel elements with each other, a step of providing an adhesive on at least one of the surfaces of the first and second panel elements to be bonded to each other, and a step of aligning the panel elements with each other on the first and second stages. And pressing the held first and second panel elements between the first and second stages in a state where the adhesive is interposed between the first and second stages. Few At least one of the stages is provided with an elastic pad having a panel element holding surface and the panel element holding surface is a convex curved surface having a predetermined curvature, and the mutual pressing of the first and second panel elements in the pressing step is performed as follows. By bringing the first and second stages relatively close to each other, the two panel elements are initially partially pressed against each other on the convex curved surface of the elastic pad, and subsequently the two stages are brought closer to each other to resilient the elastic pad. A method for manufacturing a display panel, wherein the method is performed by gradually expanding a mutual press-contact portion from a corresponding initial mutual press-contact portion while deforming the entire portion and performing a mutual press-contact.
ｍ2 〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2 の弾性体からなる請求項４
記載の表示パネルの製造方法。5. The elastic pad has an elastic constant of 60 kgf / c.
5. An elastic body of m 2 to 200 kgf / cm 2.
The method for manufacturing the display panel described in the above.
形成された曲面を採用し、前記圧接工程における第１及
び第２のパネル素子の相互圧接は、第１及び第２のステ
ージを相対的に接近させることで該凸曲面により該両パ
ネル素子を当初はそれらの中央部で部分的に相互圧接
し、ひき続き両ステージを接近させて前記弾性パッドを
弾性変形させつつ該当初相互圧接部分から次第に相互圧
接部分を広げて全面的に相互圧接することで行う請求項
４又は５記載の表示パネルの製造方法。6. A convex curved surface of the elastic pad and a curved surface having a central portion formed to be high, and the first and second panel elements are pressed against each other by the first and second stages relative to each other in the pressing step. The two panel elements are initially partially pressed against each other by their convex curved surfaces at their central portions by approaching each other. 6. The method for manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the mutual press-contact portion is gradually widened and the entire portion is press-contacted with each other.
高く、該端部から他端部へ向かって次第に低くなった曲
面を採用し、前記圧接工程における第１及び第２のパネ
ル素子の相互圧接は、第１及び第２のステージを相対的
に接近させることで該凸曲面により該両パネル素子を当
初はそれらの端部で部分的に相互圧接し、ひき続き両ス
テージを接近させて前記弾性パッドを弾性変形させつつ
該当初相互圧接部分から次第に相互圧接部分を全面的に
広げることで行う請求項４又は５記載の表示パネルの製
造方法。7. The first and second panel elements in the pressing step, wherein the convex surface of the elastic pad is a curved surface which is higher at one end and gradually lowers from the end to the other end. Is that the first and second stages are relatively close to each other, so that the convex surface causes the two panel elements to be initially partially pressed against each other at their ends, and subsequently the two stages are brought closer to each other. 6. The method for manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the mutual pressing portion is gradually widened from the initial mutual pressing portion while elastically deforming the elastic pad.
０ｍｍ〜５０００ｍｍの曲面である請求項４から７のい
ずれかに記載の表示パネルの製造方法。8. The convex surface of the elastic pad has a radius of curvature of 200.
The method for manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the display panel has a curved surface of 0 mm to 5000 mm.
を前記凸曲面に保持するための吸気用微細孔を有してお
り、該微細孔は該弾性パッドの前記圧接工程における弾
性変形にて閉じられる請求項４から８のいずれかに記載
の表示パネルの製造方法。9. The elastic pad has a suction fine hole for holding the panel element on the convex surface by vacuum suction, and the fine hole is formed by elastic deformation of the elastic pad in the pressing step. The method for manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the display panel is closed.
圧を大気圧より低い所定の減圧雰囲気圧に設定して実施
する請求項１、２又は３記載の表示パネルの製造方法。10. The method of manufacturing a display panel according to claim 1, wherein said pressure contact step is performed by setting an ambient pressure around both panel elements to a predetermined reduced atmospheric pressure lower than the atmospheric pressure.
の圧力である請求項１０記載の表示パネルの製造方法。11. The reduced pressure atmosphere pressure is 13 Pa to 40 Pa.
The method for manufacturing a display panel according to claim 10, wherein the pressure is:
圧を大気圧より低い所定の減圧雰囲気圧に設定して実施
する請求項４から９のいずれかに記載の表示パネルの製
造方法。12. The method of manufacturing a display panel according to claim 4, wherein said pressing step is performed by setting an ambient pressure around both panel elements to a predetermined reduced atmospheric pressure lower than the atmospheric pressure.
の圧力である請求項１２記載の表示パネルの製造方法。13. The reduced-pressure atmosphere pressure is 13 Pa to 40 Pa.
The method for manufacturing a display panel according to claim 12, wherein the pressure is:
変形可能のリング部材で第１及び第２のパネル素子を囲
繞するとともに該リング部材を第１及び第２のステージ
間に挟着させることで該両パネル素子周囲に気密室を形
成し、該気密室から排気することで前記減圧雰囲気圧を
得る請求項１２又は１３記載の表示パネルの製造方法。14. In the pressing step, the first and second panel elements are surrounded by an elastically deformable ring member for hermetic sealing, and the ring member is sandwiched between the first and second stages. 14. The method for manufacturing a display panel according to claim 12, wherein an airtight chamber is formed around both of the panel elements, and the reduced-pressure atmospheric pressure is obtained by exhausting air from the airtight chamber.
示パネルの製造方法において、貼り合わすべきパネル素
子が３以上あるときは、前記圧接工程により得られる貼
り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなす
とともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第
２パネル素子とみなして前記各工程を繰り返すことで既
に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子
を貼り合わせていく表示パネルの製造方法。15. The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein when there are three or more panel elements to be bonded, the bonded panel elements obtained by the pressure contacting step are replaced with the first panel elements. One panel element to be bonded next is regarded as the panel element, and the above-mentioned steps are repeated by regarding one panel element to be bonded next as the second panel element, whereby the next panel element is bonded one by one to the already bonded panel elements. Display panel manufacturing method.
めのパネル素子を積層して表示パネルを製造する装置で
あり、 一つのパネル素子を保持するための第１ステージと、 もう一つのパネル素子を保持するための第２ステージ
と、 第１及び第２のステージをそれらのパネル素子保持面を
対向させて相対的に接近離反させるためのステージ駆動
装置とを備えており、 第１及び第２のステージのうち少なくとも一方はパネル
素子保持面を有する弾性パッドを備えているとともに該
パネル素子保持面が所定曲率の凸曲面であることを特徴
とする表示パネルの製造装置。16. An apparatus for manufacturing a display panel by stacking panel elements for forming a display panel for displaying an image, comprising: a first stage for holding one panel element; and another panel element. A second stage for holding the first and second stages, and a stage driving device for relatively approaching and separating the first and second stages with their panel element holding surfaces facing each other. At least one of the stages includes an elastic pad having a panel element holding surface, and the panel element holding surface is a convex curved surface having a predetermined curvature.
を第１又は第２のステージ上で相互に位置合わせする装
置を備えている請求項１６記載の表示パネルの製造装
置。17. An apparatus for manufacturing a display panel according to claim 16, further comprising an apparatus for mutually positioning two panel elements to be bonded to each other on the first or second stage.
ｃｍ2 〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2 の弾性体からなる請求項
１６又は１７記載の表示パネルの製造装置。18. The elastic pad has an elastic constant of 60 kgf /
18. The display panel manufacturing apparatus according to claim 16, wherein the display panel is made of an elastic body having a size of cm 2 to 200 kgf / cm 2 .
形成された曲面である請求項１６、１７又は１８記載の
表示パネルの製造装置。19. The apparatus for manufacturing a display panel according to claim 16, wherein the convex curved surface of the elastic pad is a curved surface having a high center portion.
高く、該端部から他端部へ向かって次第に低くなった曲
面である請求項１６、１７又は１８記載の表示パネルの
製造装置。20. The display panel manufacturing apparatus according to claim 16, wherein the convex curved surface of the elastic pad is a curved surface which is high at one end and gradually decreases from the end to the other end. .
００ｍｍ〜５０００ｍｍの曲面である請求項１６から２
０のいずれかに記載の表示パネルの製造装置。21. A convex curved surface of the elastic pad has a curvature radius of 20.
A curved surface having a diameter of 00 mm to 5000 mm.
0. An apparatus for manufacturing a display panel according to any one of the above items.
子を前記凸曲面に保持するための吸気用微細孔を有して
おり、該微細孔は該弾性パッドの弾性変形にて閉じるこ
とができる請求項１６から２１のいずれかに記載の表示
パネルの製造装置。22. The elastic pad has a fine intake hole for holding the panel element on the convex curved surface by vacuum suction, and the fine hole can be closed by elastic deformation of the elastic pad. An apparatus for manufacturing a display panel according to claim 16.
る排気装置を備えている請求項１６から２２のいずれか
に記載の表示パネルの製造装置。23. The display panel manufacturing apparatus according to claim 16, further comprising an exhaust device for exhausting and reducing the pressure between the first and second stages.
ジの相対的接近により両ステージ間に挟着されて該両ス
テージとともに両ステージ間のパネル素子を囲繞する、
前記排気減圧を行うための気密室を形成する気密シール
用の弾性変形可能のリング部材を含んでいる請求項２３
記載の表示パネルの製造装置。24. The exhaust device is sandwiched between the first and second stages by a relative approach of the first and second stages, and surrounds the panel element between the two stages together with the two stages.
24. An elastically deformable ring member for an airtight seal forming an airtight chamber for performing the exhaust pressure reduction.
An apparatus for manufacturing the display panel according to the above.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000096542A JP2001282120A (en) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | Method and apparatus for manufacturing display panel |
| TW90104016A TW472223B (en) | 2000-03-31 | 2001-02-22 | Method and apparatus for producing a display panel, method for adhering an adhesive sheet and method for adhering plates |
| US09/821,174 US6739929B2 (en) | 2000-03-31 | 2001-03-29 | Method and apparatus for producing a display panel, method for adhering an adhesive sheet and method for adhering plates |
| EP01107732A EP1139157A2 (en) | 2000-03-31 | 2001-03-30 | Method and appartus for producing a display panel |
| CNB011123125A CN1215363C (en) | 2000-03-31 | 2001-03-30 | Method and device for making display screen, adhesive paper adhesion method and board adhesion method |
| KR10-2001-0016874A KR100503903B1 (en) | 2000-03-31 | 2001-03-30 | Method and apparatus for producing a display panel |
| HK02103169.7A HK1041547B (en) | 2000-03-31 | 2002-04-29 | Method and apparatus for producing a display panel and adhering method using adhesive sheets together with panel adhering method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000096542A JP2001282120A (en) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | Method and apparatus for manufacturing display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001282120A true JP2001282120A (en) | 2001-10-12 |
Family
ID=18611295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000096542A Withdrawn JP2001282120A (en) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | Method and apparatus for manufacturing display panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001282120A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004185951A (en) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Production line for flexible polymer organic el display |
| KR100649982B1 (en) | 2005-08-26 | 2006-12-08 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Protecting cap attachment processing line and protecting cap attachment method using the same |
| WO2009139292A1 (en) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 財団法人山形県産業技術振興機構 | Organic el light emitting device and process for producing the organic el light emitting device |
| JP2014072030A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Japan Display Inc | Organic el display device and method of manufacturing organic el display device |
| CN107830801A (en) * | 2017-10-27 | 2018-03-23 | 东莞东聚电子电讯制品有限公司 | A kind of high-precision sphere laminating apparatus |
| CN110646960A (en) * | 2018-06-26 | 2020-01-03 | 株式会社日本显示器 | Pressure bonding device and method for manufacturing display device |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000096542A patent/JP2001282120A/en not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004185951A (en) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Production line for flexible polymer organic el display |
| KR100649982B1 (en) | 2005-08-26 | 2006-12-08 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Protecting cap attachment processing line and protecting cap attachment method using the same |
| WO2009139292A1 (en) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 財団法人山形県産業技術振興機構 | Organic el light emitting device and process for producing the organic el light emitting device |
| JPWO2009139292A1 (en) * | 2008-05-12 | 2011-09-22 | コイズミ照明株式会社 | Organic EL light emitting device and method for manufacturing the same |
| US8563112B2 (en) | 2008-05-12 | 2013-10-22 | Yamagata Promotional Organization For Industrial Technology | Organic EL light-emitting device and method for manufacturing the organic EL light-emitting device |
| JP2014072030A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Japan Display Inc | Organic el display device and method of manufacturing organic el display device |
| CN107830801A (en) * | 2017-10-27 | 2018-03-23 | 东莞东聚电子电讯制品有限公司 | A kind of high-precision sphere laminating apparatus |
| CN110646960A (en) * | 2018-06-26 | 2020-01-03 | 株式会社日本显示器 | Pressure bonding device and method for manufacturing display device |
| CN110646960B (en) * | 2018-06-26 | 2024-04-02 | 株式会社日本显示器 | Crimping device and manufacturing method of display device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100503903B1 (en) | Method and apparatus for producing a display panel | |
| TWI266104B (en) | Manufacturing method of liquid crystal display apparatus and substrate assembling apparatus | |
| JP5197089B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing flat display device | |
| JP4870046B2 (en) | Sheet glass bonding method and apparatus | |
| JP2002090759A (en) | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display element | |
| JP5654155B1 (en) | Work bonding machine | |
| JP2004029734A (en) | Bonding machine and method for manufacturing liquid crystal display device by using the same | |
| JP3542956B2 (en) | LCD panel substrate bonding equipment | |
| JP2003233078A (en) | Method for fabricating lcd | |
| JP2001282120A (en) | Method and apparatus for manufacturing display panel | |
| JP4417432B1 (en) | Work transfer device and vacuum bonding method | |
| JP2006195482A (en) | Method of assembling substrate and apparatus for the same | |
| JP2011035301A (en) | Work adhesion holding apparatus and vacuum attaching machine | |
| JP2001282125A (en) | Method and apparatus for manufacturing display panel | |
| JP3819797B2 (en) | Board assembly equipment | |
| JP2011022403A (en) | Method and device for laminating workpiece | |
| CN107219649B (en) | Direct jointing machine | |
| JP4543491B2 (en) | Display panel manufacturing method and apparatus | |
| JP2003233079A (en) | Method for fabricating liquid crystal display | |
| JP2004296139A (en) | Sticking device, sticking method, and manufacturing method of display device | |
| JP2001282124A (en) | Method and apparatus for manufacturing display panel | |
| JP6374132B1 (en) | Bonding device manufacturing apparatus and bonding device manufacturing method | |
| JP7272640B2 (en) | Work mounting device and work bonding system | |
| JP3848942B2 (en) | Substrate assembly method and apparatus | |
| JP2003205510A (en) | Method and apparatus for laminating green sheet |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050613 |
|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |