JP2001281075A - 静電容量型荷重センサー - Google Patents
静電容量型荷重センサーInfo
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- G01G7/00—Weighing apparatus wherein the balancing is effected by magnetic, electromagnetic, or electrostatic action, or by means not provided for in the preceding groups
- G01G7/06—Weighing apparatus wherein the balancing is effected by magnetic, electromagnetic, or electrostatic action, or by means not provided for in the preceding groups by electrostatic action
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 荷重の変化に対する静電容量の変化を大きく
して、荷重の測定精度を高める。電極の損傷をなくして
長期信頼性を高める。 【解決手段】 コイルバネ22の一端側に外筒24を固定
し、他端側に内筒26を固定して、コイルバネ22と外筒24
と内筒26を同軸配置する。外筒24の内周面に円筒状の外
側電極28を設け、内筒26の外周面に円筒状の内側電極30
を設けて、両電極28、30を一定の空隙Ｇを保って対向さ
せる。引張荷重がかかってコイルバネ22が伸びると、そ
れに応じて電極28と30の対向面積が減少するので、電極
28、30間の静電容量が変化する。この静電容量の変化か
ら荷重の大きさを検出する。
して、荷重の測定精度を高める。電極の損傷をなくして
長期信頼性を高める。 【解決手段】 コイルバネ22の一端側に外筒24を固定
し、他端側に内筒26を固定して、コイルバネ22と外筒24
と内筒26を同軸配置する。外筒24の内周面に円筒状の外
側電極28を設け、内筒26の外周面に円筒状の内側電極30
を設けて、両電極28、30を一定の空隙Ｇを保って対向さ
せる。引張荷重がかかってコイルバネ22が伸びると、そ
れに応じて電極28と30の対向面積が減少するので、電極
28、30間の静電容量が変化する。この静電容量の変化か
ら荷重の大きさを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷重の変化を静電
容量の変化として検出する静電容量型荷重センサーに関
するものである。
容量の変化として検出する静電容量型荷重センサーに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７に従来の静電容量型荷重センサーを
示す。図において、10はプリント回路基板の絶縁基板、
12は絶縁基板10上に形成された電極パターン、14は絶縁
基板10上にスペーサ16を介して積層されたステンレス板
等からなる電極板、18は電極板14とスペーサ16と絶縁基
板10を一体化するリベットである。電極パターン12と電
極板14の間には空隙Ｇが設けられ、電極パターン12と電
極板14はコンデンサを構成している。20Ａは電極パター
ン12に接続されたリード線、20Ｂは電極板14に接続され
たリード線である。
示す。図において、10はプリント回路基板の絶縁基板、
12は絶縁基板10上に形成された電極パターン、14は絶縁
基板10上にスペーサ16を介して積層されたステンレス板
等からなる電極板、18は電極板14とスペーサ16と絶縁基
板10を一体化するリベットである。電極パターン12と電
極板14の間には空隙Ｇが設けられ、電極パターン12と電
極板14はコンデンサを構成している。20Ａは電極パター
ン12に接続されたリード線、20Ｂは電極板14に接続され
たリード線である。
【０００３】この荷重センサーは、電極板14に矢印Ｐ方
向の荷重がかかると、電極板14がたわんで空隙Ｇの大き
さが変化し、電極パターン12と電極板14で構成されるコ
ンデンサの静電容量が変化するので、この静電容量の変
化量から荷重の大きさを測定するものである。
向の荷重がかかると、電極板14がたわんで空隙Ｇの大き
さが変化し、電極パターン12と電極板14で構成されるコ
ンデンサの静電容量が変化するので、この静電容量の変
化量から荷重の大きさを測定するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】静電容量型の荷重セン
サーは、測定精度を高め、測定をしやすくするために
は、荷重の変化で静電容量が大きく変化することが必要
である。従来の荷重センサーでは、静電容量の変化を大
きくするためには、電極板14のたわみ量を大きくしなけ
ればならない。一方、電極板にはたわみと共に応力が発
生するので、荷重センサーの長期信頼性を高めるために
は、電極板の発生応力が弾性限度内であること、疲労限
界内であること、衝撃破壊限度内であること、などが必
要であり、電極板の応力をできるだけ小さくすることが
求められる。
サーは、測定精度を高め、測定をしやすくするために
は、荷重の変化で静電容量が大きく変化することが必要
である。従来の荷重センサーでは、静電容量の変化を大
きくするためには、電極板14のたわみ量を大きくしなけ
ればならない。一方、電極板にはたわみと共に応力が発
生するので、荷重センサーの長期信頼性を高めるために
は、電極板の発生応力が弾性限度内であること、疲労限
界内であること、衝撃破壊限度内であること、などが必
要であり、電極板の応力をできるだけ小さくすることが
求められる。
【０００５】電極板のたわみ量を大きくすることと、電
極板の発生応力を小さくすることとは、相反することで
あるので、これらを両立させることは設計上非常に難し
く、従来の構造では測定精度が高く、しかも長期信頼性
の高い荷重センサーを得ることは困難であった。
極板の発生応力を小さくすることとは、相反することで
あるので、これらを両立させることは設計上非常に難し
く、従来の構造では測定精度が高く、しかも長期信頼性
の高い荷重センサーを得ることは困難であった。
【０００６】本発明の目的は、以上のような問題点に鑑
み、測定精度が高く、しかも長期信頼性の高い静電容量
型荷重センサーを提供することにある。
み、測定精度が高く、しかも長期信頼性の高い静電容量
型荷重センサーを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の静電容量型荷重センサーは、コンデンサを
構成する二つの電極と、この二つの電極を、それらの間
隔を一定に保ったまま対向面積が増減する方向に相対的
に移動できるように保持する絶縁部材と、荷重がかかる
と前記二つの電極の相対的な移動方向に弾性変形するよ
うに配置され、一端側が一方の電極側に、他端側が他方
の電極側に取り付けられている弾性部材とを備えている
ことを特徴とするものである。
め、本発明の静電容量型荷重センサーは、コンデンサを
構成する二つの電極と、この二つの電極を、それらの間
隔を一定に保ったまま対向面積が増減する方向に相対的
に移動できるように保持する絶縁部材と、荷重がかかる
と前記二つの電極の相対的な移動方向に弾性変形するよ
うに配置され、一端側が一方の電極側に、他端側が他方
の電極側に取り付けられている弾性部材とを備えている
ことを特徴とするものである。
【０００８】この荷重センサーは、荷重がかかると弾性
部材が弾性変形し、二つの電極の対向面積が増加又は減
少して、静電容量が変化するので、この静電容量の変化
から荷重の大きさを検出するものである。このような構
成にすると、弾性部材の弾力性を、測定しようとする荷
重の大きさに応じて適当に選定することにより、荷重の
変化に対する静電容量の変化を十分大きくすることが可
能となり、測定精度の高い、測定の容易な荷重センサー
を得ることができる。また電極に荷重がかからないの
で、電極が変形又は破損するおそれがなく、長期信頼性
の高い荷重センサーが得られる。
部材が弾性変形し、二つの電極の対向面積が増加又は減
少して、静電容量が変化するので、この静電容量の変化
から荷重の大きさを検出するものである。このような構
成にすると、弾性部材の弾力性を、測定しようとする荷
重の大きさに応じて適当に選定することにより、荷重の
変化に対する静電容量の変化を十分大きくすることが可
能となり、測定精度の高い、測定の容易な荷重センサー
を得ることができる。また電極に荷重がかからないの
で、電極が変形又は破損するおそれがなく、長期信頼性
の高い荷重センサーが得られる。
【０００９】本発明の荷重センサーは、二つの電極が、
筒状外側電極と、この筒状外側電極に同軸状に挿入さ
れ、筒状外側電極に対して軸線方向に相対的に移動可能
な筒状内側電極とからなる構成とすることが好ましい。
このような構成にすると、小型で、測定精度の高い荷重
センサーを得ることができる。
筒状外側電極と、この筒状外側電極に同軸状に挿入さ
れ、筒状外側電極に対して軸線方向に相対的に移動可能
な筒状内側電極とからなる構成とすることが好ましい。
このような構成にすると、小型で、測定精度の高い荷重
センサーを得ることができる。
【００１０】また本発明の荷重センサーは、絶縁部材
が、外筒と、この外筒に同軸状に挿入され、外筒に対し
て軸線方向に相対的に移動可能な内筒とからなり、二つ
の電極が、前記外筒の内周面に取り付けられた筒状外側
電極と、前記内筒の外周面に取り付けられた筒状内側電
極とからなる構成とすることもできる。このような構成
でも、小型で、測定精度の高い荷重センサーを得ること
ができる。
が、外筒と、この外筒に同軸状に挿入され、外筒に対し
て軸線方向に相対的に移動可能な内筒とからなり、二つ
の電極が、前記外筒の内周面に取り付けられた筒状外側
電極と、前記内筒の外周面に取り付けられた筒状内側電
極とからなる構成とすることもできる。このような構成
でも、小型で、測定精度の高い荷重センサーを得ること
ができる。
【００１１】また本発明の荷重センサーにおける絶縁部
材は、筒状外側電極と筒状内側電極の間に設けられた絶
縁スペーサで構成することもできる。筒状外側電極及び
筒状内側電極の少なくとも一方が、自己形状を保持でき
るだけの強度を有する場合は、このような形態の方がコ
スト安である。
材は、筒状外側電極と筒状内側電極の間に設けられた絶
縁スペーサで構成することもできる。筒状外側電極及び
筒状内側電極の少なくとも一方が、自己形状を保持でき
るだけの強度を有する場合は、このような形態の方がコ
スト安である。
【００１２】また本発明の荷重センサーは、弾性部材と
してコイルバネを使用することが好ましい。コイルバネ
は、荷重に対する弾性変形量を大きくとれるので、これ
を使用すると静電容量の変化量を大きくすることがで
き、荷重の測定精度を高め、測定を容易にするのに有効
である。
してコイルバネを使用することが好ましい。コイルバネ
は、荷重に対する弾性変形量を大きくとれるので、これ
を使用すると静電容量の変化量を大きくすることがで
き、荷重の測定精度を高め、測定を容易にするのに有効
である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して詳細に説明する。 〔実施形態１〕図１〜図３は本発明の一実施形態を示
す。図において、22はコイルバネ、22ａ、22ｂはコイル
バネ22の両端に形成された引張荷重印加用のフック、24
はコイルバネ22の外周にコイルバネ22と同軸状に設けら
れ、一端側が一方のフック22ａの基部に接着等の手段で
固定された外筒、26はコイルバネ22と外筒24の間にそれ
らと同軸状に設けられ、一端側が他方のフック22ｂの基
部に接着等の手段で固定された内筒、28は外筒24の内周
面に取り付けられた円筒状の外側電極、30は内筒26の外
周面に取り付けられた円筒状の内側電極である。
参照して詳細に説明する。 〔実施形態１〕図１〜図３は本発明の一実施形態を示
す。図において、22はコイルバネ、22ａ、22ｂはコイル
バネ22の両端に形成された引張荷重印加用のフック、24
はコイルバネ22の外周にコイルバネ22と同軸状に設けら
れ、一端側が一方のフック22ａの基部に接着等の手段で
固定された外筒、26はコイルバネ22と外筒24の間にそれ
らと同軸状に設けられ、一端側が他方のフック22ｂの基
部に接着等の手段で固定された内筒、28は外筒24の内周
面に取り付けられた円筒状の外側電極、30は内筒26の外
周面に取り付けられた円筒状の内側電極である。
【００１４】外筒24及び内筒26は硬質のプラスチック
（絶縁体）で形成される。外筒24は端面にフック22ａへ
の固定部24ａを有し、内筒26は端面にフック22ｂへの固
定部26ａを有している（図２参照）。また内筒26の外周
面には軸線方向に２本の突条32が 180°間隔で形成さ
れ、外筒24の内周面にはこの突条32とスライド嵌合する
２本の溝34が形成されている（図３参照）。外筒24と内
筒26は、上記突条32と溝34がスライド嵌合することで、
外側電極28と内側電極30の間隔を一定に保ったまま軸線
方向に相対的に移動できるようになっている。
（絶縁体）で形成される。外筒24は端面にフック22ａへ
の固定部24ａを有し、内筒26は端面にフック22ｂへの固
定部26ａを有している（図２参照）。また内筒26の外周
面には軸線方向に２本の突条32が 180°間隔で形成さ
れ、外筒24の内周面にはこの突条32とスライド嵌合する
２本の溝34が形成されている（図３参照）。外筒24と内
筒26は、上記突条32と溝34がスライド嵌合することで、
外側電極28と内側電極30の間隔を一定に保ったまま軸線
方向に相対的に移動できるようになっている。
【００１５】また外側電極28は外筒24の外に突出する端
子36を有し、内側電極30は内筒26の外に突出する端子38
を有しており、これらの端子36、38はリード線を介して
測定器（図示せず）に接続される。
子36を有し、内側電極30は内筒26の外に突出する端子38
を有しており、これらの端子36、38はリード線を介して
測定器（図示せず）に接続される。
【００１６】この荷重センサーはコイルバネ22に荷重が
かかっていないときは、図１及び図２（Ａ）、（Ｂ）の
ような状態にあり、外側電極28と内側電極30はほぼ全面
で対向している。この状態からコイルバネ22に引張荷重
がかかると、図２（Ｃ）、（ｄ）のように、コイルバネ
22が引張荷重の大きさに比例して伸びる。このため、外
筒24と内筒26が軸線方向に相対的に移動し、外側電極28
と内側電極30の対向面積が減少するので、両電極28、30
間の静電容量が小さくなる。したがって静電容量の変化
量を測定すれば引張荷重の大きさを検出することができ
る。
かかっていないときは、図１及び図２（Ａ）、（Ｂ）の
ような状態にあり、外側電極28と内側電極30はほぼ全面
で対向している。この状態からコイルバネ22に引張荷重
がかかると、図２（Ｃ）、（ｄ）のように、コイルバネ
22が引張荷重の大きさに比例して伸びる。このため、外
筒24と内筒26が軸線方向に相対的に移動し、外側電極28
と内側電極30の対向面積が減少するので、両電極28、30
間の静電容量が小さくなる。したがって静電容量の変化
量を測定すれば引張荷重の大きさを検出することができ
る。
【００１７】この荷重センサーの場合は、コイルバネ22
の伸び量と静電容量の変化量がほぼ比例するので、コイ
ルバネ22のバネ定数を、測定する荷重の大きさに応じて
適当に選定することにより、静電容量の変化の大きい、
すなわち測定精度の高い、測定の容易な荷重センサーを
得ることができる。また外側電極28と内側電極30には荷
重がかからないので、電極28、30が変形又は破損するお
それもなく、長期信頼性の高い荷重センサーを得ること
ができる。
の伸び量と静電容量の変化量がほぼ比例するので、コイ
ルバネ22のバネ定数を、測定する荷重の大きさに応じて
適当に選定することにより、静電容量の変化の大きい、
すなわち測定精度の高い、測定の容易な荷重センサーを
得ることができる。また外側電極28と内側電極30には荷
重がかからないので、電極28、30が変形又は破損するお
それもなく、長期信頼性の高い荷重センサーを得ること
ができる。
【００１８】〔実施形態２〕図４は本発明の他の実施形
態を示す。実施形態１ではコイルバネ22の外側に外筒24
及び内筒26を設けた場合を示したが、この実施形態は、
コイルバネ22の内側に外筒24及び内筒26を設けたもので
ある。この場合は、コイルバネ22の一端側が外筒24の端
部に形成したフランジ部40に固定され、他端側が内筒26
の反対側の端部に形成したフランジ部42に固定されてい
る。また外筒24及び内筒26の端面には互いに反対側に突
出する荷重印加部44、46が形成されている。さらに内筒
26には、外筒24の端面から内筒26内にのびる中心軸48が
スライド嵌合しており、これにより外筒24と内筒26は、
外側電極28と内側電極30の間隔を一定に保ったまま軸線
方向に相対的に移動できるようになっている。
態を示す。実施形態１ではコイルバネ22の外側に外筒24
及び内筒26を設けた場合を示したが、この実施形態は、
コイルバネ22の内側に外筒24及び内筒26を設けたもので
ある。この場合は、コイルバネ22の一端側が外筒24の端
部に形成したフランジ部40に固定され、他端側が内筒26
の反対側の端部に形成したフランジ部42に固定されてい
る。また外筒24及び内筒26の端面には互いに反対側に突
出する荷重印加部44、46が形成されている。さらに内筒
26には、外筒24の端面から内筒26内にのびる中心軸48が
スライド嵌合しており、これにより外筒24と内筒26は、
外側電極28と内側電極30の間隔を一定に保ったまま軸線
方向に相対的に移動できるようになっている。
【００１９】このような構造でも、荷重印加部44、46に
引張荷重がかかると、コイルバネ22が伸び、二つの電極
28、30の対向面積が減少するので、実施形態１と同様の
効果を得ることができる。
引張荷重がかかると、コイルバネ22が伸び、二つの電極
28、30の対向面積が減少するので、実施形態１と同様の
効果を得ることができる。
【００２０】〔実施形態３〕図５は本発明のさらに他の
実施形態を示す。この実施形態は、外筒24と内筒26の間
にコイルバネ22を配置した場合である。外筒24には荷重
印加部44と反対側の端部に内向きにフランジ部40が設け
られ、内筒26には荷重印加部46と反対側の端部に外向き
にフランジ部42が設けられており、両フランジ部40、42
の間に圧縮可能なコイルバネ22が配置されている。内筒
26内に外筒24側の中心軸48がスライド嵌合している点は
実施形態２と同じである。
実施形態を示す。この実施形態は、外筒24と内筒26の間
にコイルバネ22を配置した場合である。外筒24には荷重
印加部44と反対側の端部に内向きにフランジ部40が設け
られ、内筒26には荷重印加部46と反対側の端部に外向き
にフランジ部42が設けられており、両フランジ部40、42
の間に圧縮可能なコイルバネ22が配置されている。内筒
26内に外筒24側の中心軸48がスライド嵌合している点は
実施形態２と同じである。
【００２１】この構造の場合は、荷重印加部44、46に引
張荷重がかかると、コイルバネ22が圧縮されて、二つの
電極28、30の対向面積が減少するので、やはり実施形態
１と同様の効果を得ることができる。
張荷重がかかると、コイルバネ22が圧縮されて、二つの
電極28、30の対向面積が減少するので、やはり実施形態
１と同様の効果を得ることができる。
【００２２】〔実施形態４〕図６は本発明のさらに他の
実施形態を示す。以上の実施形態では、薄い外側電極及
び内側電極の円筒形状を保持するために、外側電極及び
内側電極をプラスチック製の外筒及び内筒に支持させた
が、この実施形態は、円筒状の外側電極28及び内側電極
30を、自己形状を保持できるだけの厚さの絞り加工品で
構成したものである。このようにするとプラスチック製
の外筒及び内筒を省略でき、コストダウンを図ることが
できる。
実施形態を示す。以上の実施形態では、薄い外側電極及
び内側電極の円筒形状を保持するために、外側電極及び
内側電極をプラスチック製の外筒及び内筒に支持させた
が、この実施形態は、円筒状の外側電極28及び内側電極
30を、自己形状を保持できるだけの厚さの絞り加工品で
構成したものである。このようにするとプラスチック製
の外筒及び内筒を省略でき、コストダウンを図ることが
できる。
【００２３】この場合は、内側電極30の外周面（外側電
極28の内周面でも可）には、絶縁スペーサ50が取り付け
られている。この絶縁スペーサ50は内側電極30と外側電
極28の間隔を一定に保ち、かつ内側電極30と外側電極28
を軸線方向に相対的に移動可能に保持するものである。
絶縁スペーサ50は周方向に適当な間隔をあけて複数箇所
に設けることもできるし、全周に設けることもできる。
外側電極28の一方の端部は絶縁ブッシュ52を介してコイ
ルバネ22の一方のフック22ａの基部に固定され、内側電
極30の反対側の端部は絶縁ブッシュ54を介してコイルバ
ネ22の他方のフック22ｂの基部に固定されている。
極28の内周面でも可）には、絶縁スペーサ50が取り付け
られている。この絶縁スペーサ50は内側電極30と外側電
極28の間隔を一定に保ち、かつ内側電極30と外側電極28
を軸線方向に相対的に移動可能に保持するものである。
絶縁スペーサ50は周方向に適当な間隔をあけて複数箇所
に設けることもできるし、全周に設けることもできる。
外側電極28の一方の端部は絶縁ブッシュ52を介してコイ
ルバネ22の一方のフック22ａの基部に固定され、内側電
極30の反対側の端部は絶縁ブッシュ54を介してコイルバ
ネ22の他方のフック22ｂの基部に固定されている。
【００２４】なお、この実施形態では、外側電極28と内
側電極30の双方を絞り加工品としたが、一方の電極を絞
り加工品とし、他方の電極をプラスチック製の筒体に支
持させたものとすることもできる。
側電極30の双方を絞り加工品としたが、一方の電極を絞
り加工品とし、他方の電極をプラスチック製の筒体に支
持させたものとすることもできる。
【００２５】〔その他の実施形態〕以上の実施形態で
は、二つの電極が円筒形である場合を示したが、二つの
電極は円筒形以外の形状にすることもできる。また弾性
部材としてはコイルバネを使用することが好ましいが、
コイルバネ以外の弾性部材例えばゴム等を使用すること
も考えられる。また以上の実施形態では引張荷重を検出
する場合を説明したが、例えば図１と同様な構成で、コ
イルバネを圧縮可能なものとすれば、圧縮荷重を検出す
ることも可能である。
は、二つの電極が円筒形である場合を示したが、二つの
電極は円筒形以外の形状にすることもできる。また弾性
部材としてはコイルバネを使用することが好ましいが、
コイルバネ以外の弾性部材例えばゴム等を使用すること
も考えられる。また以上の実施形態では引張荷重を検出
する場合を説明したが、例えば図１と同様な構成で、コ
イルバネを圧縮可能なものとすれば、圧縮荷重を検出す
ることも可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、荷
重がかかったときの弾性部材の弾性変形に応じて二つの
電極の対向面積を変化させ、それによる静電容量の変化
で荷重を検出するようにしたので、弾性部材の弾力性
を、測定しようとする荷重の大きさに応じて適当に選定
することにより、荷重の変化に対する静電容量の変化を
十分大きくすることが可能となり、測定精度の高い、測
定の容易な荷重センサーを得ることができる。また電極
に荷重がかからないので、電極が変形又は破損するおそ
れがなく、長期信頼性の高い荷重センサーを得ることが
できる。
重がかかったときの弾性部材の弾性変形に応じて二つの
電極の対向面積を変化させ、それによる静電容量の変化
で荷重を検出するようにしたので、弾性部材の弾力性
を、測定しようとする荷重の大きさに応じて適当に選定
することにより、荷重の変化に対する静電容量の変化を
十分大きくすることが可能となり、測定精度の高い、測
定の容易な荷重センサーを得ることができる。また電極
に荷重がかからないので、電極が変形又は破損するおそ
れがなく、長期信頼性の高い荷重センサーを得ることが
できる。
【図１】 本発明に係る荷重センサーの一実施形態を示
す断面図。
す断面図。
【図２】 図１の荷重センサーの具体的な構造を示すも
ので、（Ａ）は荷重印加前の斜視図、（Ｂ）は同断面
図、（Ｃ）は荷重印加後の斜視図、（Ｄ）は同断面図。
ので、（Ａ）は荷重印加前の斜視図、（Ｂ）は同断面
図、（Ｃ）は荷重印加後の斜視図、（Ｄ）は同断面図。
【図３】 （Ａ）は図２の荷重センサーの分解斜視図、
（Ｂ）は（Ａ）の状態から外筒と外側電極を一体化し、
内筒と内側電極を一体化した状態を示す斜視図。
（Ｂ）は（Ａ）の状態から外筒と外側電極を一体化し、
内筒と内側電極を一体化した状態を示す斜視図。
【図４】 本発明に係る荷重センサーの他の実施形態を
示す断面図。
示す断面図。
【図５】 本発明に係る荷重センサーのさらに他の実施
形態を示す断面図。
形態を示す断面図。
【図６】 本発明に係る荷重センサーのさらに他の実施
形態を示す断面図。
形態を示す断面図。
【図７】 従来の静電容量型荷重センサーの断面図。
22：コイルバネ（弾性部材） 24：外筒 26：内筒 28：円筒状の外側電極（コンデンサの一方の電極） 30：円筒状の内側電極（コンデンサの他方の電極） 36、38：端子 50：絶縁スペーサ Ｇ：空隙
Claims (5)
- 【請求項１】コンデンサを構成する二つの電極と、 この二つの電極を、それらの間隔を一定に保ったまま対
向面積が増減する方向に相対的に移動できるように保持
する絶縁部材と、 荷重がかかると前記二つの電極の相対的な移動方向に弾
性変形するように配置され、一端側が一方の電極側に、
他端側が他方の電極側に取り付けられている弾性部材、 を備えていることを特徴とする静電容量型荷重センサ
ー。 - 【請求項２】二つの電極が、筒状外側電極と、この筒状
外側電極に同軸状に挿入され、筒状外側電極に対して軸
線方向に相対的に移動可能な筒状内側電極とからなるこ
とを特徴とする請求項１記載の静電容量型荷重センサ
ー。 - 【請求項３】絶縁部材が、外筒と、この外筒に同軸状に
挿入され、外筒に対して軸線方向に相対的に移動可能な
内筒とからなり、二つの電極が、前記外筒の内周面に取
り付けられた筒状外側電極と、前記内筒の外周面に取り
付けられた筒状内側電極とからなることを特徴とする請
求項１記載の静電容量型荷重センサー。 - 【請求項４】絶縁部材が、筒状外側電極と筒状内側電極
の間に設けられた絶縁スペーサであることを特徴とする
請求項２記載の静電容量型荷重センサー。 - 【請求項５】弾性部材がコイルバネであることを特徴と
する請求項１ないし４のいずれかに記載の静電容量型荷
重センサー。
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