JP2001273867A - Device for detection of micro channel - Google Patents
Device for detection of micro channelInfo
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- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
- H01J43/246—Microchannel plates [MCP]
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する分野】本発明はシンプルな構造のマイク
ロチャンネル検出装置に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a microchannel detector having a simple structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近、荷電粒子ビームを用いた分析装置
等で荷電粒子を検出する場合、寿命の点及びダイナミッ
クレンジが広いなどの理由からマイクロチャンネルプレ
ート（ＭＣＰ）が使用されることがある。特に、飛行時
間型質量分析装置の検出器は、検出面の有効面積が大き
く、且つ、応答が速いことが要求されるので、イオン検
出器としてＭＣＰが使用されることが多い。2. Description of the Related Art Recently, when a charged particle is detected by an analyzer using a charged particle beam, a microchannel plate (MCP) is sometimes used because of a long life and a wide dynamic range. In particular, a detector of a time-of-flight mass spectrometer is required to have a large effective area of a detection surface and a fast response. Therefore, an MCP is often used as an ion detector.
【０００３】所で、ＭＣＰは、検出したイオンを電子へ
変換し、更に増幅しているが、その応答を速め、リンギ
ングの如き波形の歪みを抑えるためには、ＭＣＰからの
二次電子を捉えるアノード電極表面から信号の伝送路ま
でのインピーダンスを一定に保つことが重要である。通
常、信号の伝送路として特性インピーダンス５０Ωの同
軸ケーブルが使用されることが多く、その様な同軸ケー
ブルが使用された場合、アノード電極自体の特性インピ
ーダンスをほぼ５０Ωに保つ必要がある。The MCP converts the detected ions into electrons and further amplifies the ions. In order to speed up the response and suppress waveform distortion such as ringing, the MCP captures secondary electrons from the MCP. It is important to keep the impedance from the anode electrode surface to the signal transmission path constant. Usually, a coaxial cable having a characteristic impedance of 50Ω is often used as a signal transmission path. When such a coaxial cable is used, it is necessary to maintain the characteristic impedance of the anode electrode itself at approximately 50Ω.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、アノード電極
の特性インピーダンスを５０Ωに保とうとすると、検出
器全体の外径がアノード電極に比べて著しく大きなもの
となってしまう。However, if the characteristic impedance of the anode electrode is to be kept at 50Ω, the outer diameter of the entire detector becomes significantly larger than that of the anode electrode.
【０００５】図１はＭＣＰを使用したイオン検出器の概
略を示したもので、図中１０はシェブロン型のＭＣＰ、
１１は内部導体１２と外部導体１３から成るガイドで、
内部導体は円錐形状を成しており、その底面部にアノー
ド電極１４が取り付けられている。外部導体１３は前記
内部導体との間に空間を有した円錐状に形成されてお
り、前記した様に、アノード電極１４の特性インピーダ
ンスを５０Ωに保とうとする為に、外部導体の一番大き
く広がった部分の径はアノード電極１４の底面の径より
著しく大きな径（例えば、アノードの底面の径の約２．
３倍）を有している。１５は同軸ケーブルで、その芯線
１６は前記内部導体１２の端部に、編み線１７は前記外
部導体１３に繋がっている。FIG. 1 schematically shows an ion detector using an MCP. In the figure, reference numeral 10 denotes a chevron type MCP,
11 is a guide composed of an inner conductor 12 and an outer conductor 13.
The inner conductor has a conical shape, and the anode electrode 14 is attached to the bottom surface thereof. The outer conductor 13 is formed in a conical shape having a space between the outer conductor 13 and the inner conductor. As described above, in order to maintain the characteristic impedance of the anode electrode 14 at 50Ω, the outer conductor 13 has the largest spread. The diameter of the bent portion is significantly larger than the diameter of the bottom surface of the anode electrode 14 (for example, about 2.
3 times). A coaxial cable 15 has a core 16 connected to an end of the inner conductor 12 and a knitted wire 17 connected to the outer conductor 13.
【０００６】この様に、アノード電極１４の特性インピ
ーダンスを５０Ωに保とうとする為に、外部導体１２の
大きく広がった部分の径をアノード電極１４の底面の径
より著しく大きな径にせざるを得ず、結果的に、ＭＣＰ
を使用したイオン検出器全体が著しく大きなものとなっ
てしまう。As described above, in order to maintain the characteristic impedance of the anode electrode 14 at 50Ω, the diameter of the greatly expanded portion of the outer conductor 12 must be significantly larger than the diameter of the bottom surface of the anode electrode 14. As a result, MCP
The overall size of the ion detector using the laser becomes extremely large.
【０００７】本発明は、この様な問題を解決する新規な
マイクロチャンネル検出装置を提供することを目的とし
たものである。An object of the present invention is to provide a novel microchannel detection device which solves such a problem.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】 本発明のマイクロチャ
ンネル検出装置は、マイクロチャンネルプレートの電子
出射側にアノード電極を配置し、該アノード電極と対向
配置されるグランド電極との間に誘電体部材を配置する
ように成し、前記アノード電極で捉えられた電子に基づ
く信号をアノード電極とグランド電極に接続された伝送
路体で伝送するように成すことを特徴とする。Means for Solving the Problems In the microchannel detection device of the present invention, an anode electrode is arranged on the electron emission side of a microchannel plate, and a dielectric member is provided between the anode electrode and a ground electrode opposed to the anode electrode. And a signal based on the electrons captured by the anode electrode is transmitted by a transmission path connected to the anode electrode and the ground electrode.
【０００９】本発明のマイクロチャンネル検出装置は、
マイクロチャンネルプレートの電子出射側に、誘電体部
材を挟んだコレクタ電極と電導板とから成るアノード電
極を配置し、該アノード電極と対向配置されるグランド
電極との間に空間を設けるように成し、前記アノード電
極で捉えられた電子に基づく信号をアノード電極とグラ
ンド電極に接続された伝送路体で伝送するように成すこ
とを特徴とする。[0009] The microchannel detection device of the present invention comprises:
On the electron emission side of the microchannel plate, an anode electrode composed of a collector electrode and a conductive plate sandwiching a dielectric member is arranged, and a space is provided between the anode electrode and a ground electrode arranged opposite to the anode electrode. A signal based on the electrons captured by the anode electrode is transmitted by a transmission path connected to the anode electrode and the ground electrode.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１１】図３は本発明の一例として示したＭＣＰを
備えたイオン検出器の概略を示したものである。FIG. 3 schematically shows an ion detector provided with the MCP shown as an example of the present invention.
【００１２】図中２０は例えば、円盤状のＭＣＰを２つ
シリーズに重ねた形の、いわゆるシェブロン型のＭＣＰ
である。２１は該ＭＣＰ２０との間に空間を有して配置
された、例えば円盤状のアノード電極である。このアノ
ード電極２１は、グランド電極２２の上に、例えば、セ
ラミックスの如き誘電体部材２３を挟んで支持されてい
る。２４は同軸ケーブルで、その芯線２５がグランド電
極２２と誘電体部材２３に開けられた穴を介して前記ア
ノード電極２１の下面に繋がっており、編み線２６はグ
ランド電極２２に繋がっている。尚、２７は直流電源
で、２８は分割抵抗回路である。In the figure, reference numeral 20 denotes, for example, a so-called chevron-type MCP in which two disk-shaped MCPs are stacked in series.
It is. Reference numeral 21 denotes, for example, a disk-shaped anode electrode arranged with a space between the MCP 20 and the MCP 20. The anode electrode 21 is supported on the ground electrode 22 with a dielectric member 23 such as ceramics interposed therebetween. A coaxial cable 24 has a core wire 25 connected to the ground electrode 22 and a lower surface of the anode electrode 21 through a hole formed in the dielectric member 23, and a knitted wire 26 is connected to the ground electrode 22. Here, 27 is a DC power supply, and 28 is a divided resistance circuit.
【００１３】この様なイオン検出器においては、アノー
ド電極２１とグランド電極２２の間が容量的に結合され
ることとなり、前記誘電体部材２３の厚み、その比誘電
率、アノード電極２１の面積、グランド電極２２の面積
を適宜を選ぶことにより前記アノード電極２１の特性イ
ンピーダンスを同軸ケーブル２４の特性インピーダンス
（５０Ω）とほぼ等しくすることが出来る。誘電体部材
としては、セラミックスの他に、例えば、テフロン（登
録商標）等も利用できる。In such an ion detector, the anode electrode 21 and the ground electrode 22 are capacitively coupled, and the thickness of the dielectric member 23, its relative permittivity, the area of the anode electrode 21, By appropriately selecting the area of the ground electrode 22, the characteristic impedance of the anode electrode 21 can be made substantially equal to the characteristic impedance (50Ω) of the coaxial cable 24. As the dielectric member, for example, Teflon (registered trademark) or the like can be used in addition to ceramics.
【００１４】尚、アノード電極２１の特性インピーダン
スが同軸ケーブル２４の特性インピーダンスにマッチン
グしたかどうかを確認するには、例えば、同軸ケーブル
２４の反アノード側に高周波発振器を繋ぎ、該高周波の
周波数を掃引しながら同軸ケーブルに高周波を流すと共
に、アノード電極２１から戻って来る周波数を検出す
る。この際、掃引した全ての周波数の高周波が戻って来
ればマッチングしたことになり、戻ってこない周波数が
あればマッチングが取れていないことが確認される。In order to confirm whether the characteristic impedance of the anode electrode 21 matches the characteristic impedance of the coaxial cable 24, for example, a high frequency oscillator is connected to the opposite side of the coaxial cable 24 to sweep the high frequency. While passing a high frequency through the coaxial cable, the frequency returning from the anode electrode 21 is detected. At this time, if the high frequencies of all the swept frequencies return, it is determined that the matching has been performed, and if there is a frequency that does not return, it is confirmed that the matching has not been achieved.
【００１５】この様なイオン検出器を、例えば、質量分
析装置のイオン検出器として使用すれば、ＭＣＰ２０に
検出されたイオンはここで電子に変換され、更に増倍さ
れてアノード電極２１に捉えられる。そして、同軸ケー
ブル２４及びアンプ（図示せず）を通じて信号処理回路
（図示せず）に送られ、記録計（図示せず）にマススペ
クトルが記録される。If such an ion detector is used, for example, as an ion detector of a mass spectrometer, the ions detected by the MCP 20 are converted into electrons here, further multiplied and captured by the anode electrode 21. . Then, the signal is sent to a signal processing circuit (not shown) through the coaxial cable 24 and an amplifier (not shown), and a mass spectrum is recorded on a recorder (not shown).
【００１６】図４は他のＭＣＰを備えたイオン検出器の
概略を示したものである。図中前記図３にて使用した記
号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。FIG. 4 schematically shows an ion detector provided with another MCP. In the figure, components denoted by the same symbols as those used in FIG. 3 are the same components.
【００１７】この例では、図３の例の様に、アノード電
極２１とグランド電極２２との間を完全に誘電体で埋め
るのではなく、一部に空間部２９を設ける。この空間部
はアノード電極２１と誘電体部材２３との間に設けても
良いし、誘電体部材２３とグランド電極２２との間に設
けても良し、誘電体部材２３を上下２段に分割し、その
間を空間部としても良い。この様に成せば、アノード電
極２１とグランド電極２２との間に誘電体部材２３と異
なる誘電率を持つ空気層が形成されるため、アノード電
極２１の特性インピーダンスと同軸ケーブル２４の特性
インピーダンスとのマッチングを行う際、アノード電極
２１とグランド基板２２との間の距離を微調整して空気
層の厚みを変えることにより、より高精度なマッチング
が可能となる。In this example, the space between the anode electrode 21 and the ground electrode 22 is not completely filled with a dielectric material as in the example of FIG. This space may be provided between the anode electrode 21 and the dielectric member 23, or may be provided between the dielectric member 23 and the ground electrode 22, and the dielectric member 23 is divided into upper and lower stages. The space between them may be used as a space. With this configuration, an air layer having a dielectric constant different from that of the dielectric member 23 is formed between the anode electrode 21 and the ground electrode 22, so that the characteristic impedance of the anode electrode 21 and the characteristic impedance of the coaxial cable 24 are different. At the time of matching, finer adjustment of the distance between the anode electrode 21 and the ground substrate 22 to change the thickness of the air layer enables more accurate matching.
【００１８】図５は他のＭＣＰを備えたイオン検出器の
概略を示したものである。図中前記図３にて使用した記
号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。FIG. 5 schematically shows an ion detector provided with another MCP. In the figure, components denoted by the same symbols as those used in FIG. 3 are the same components.
【００１９】この例では、誘電体部材２３中に位置する
同軸ケーブル２４の芯線２５の途中にコンデンサ３０を
接続している。この様に芯線の途中にコンデンサを接続
してアノード電極に該芯線を接続しておくと、アノード
電極２１の表面に直流電圧が加わっていても、該コンデ
ンサ３０が直流分をカットするので、例えば、飛行時間
型質量分析装置のマススペクトルの如きパルス的な信号
はコンデンサ３０を通過して観測することが可能とな
る。従って、ＭＣＰ２０の表面の電位を自由に変えられ
る様になり、その結果、ＭＣＰ２０の前段に設けられる
分析部を高電位に浮かせたタイプの飛行時間型質量分析
装置等のイオン検出器として使用可能となる。尚、この
例においても、誘電体部材の厚みの選択及び／又は比誘
電率の選択によりアノード電極２１の特性インピーダン
スと同軸ケーブル２４の特性インピーダンスのマッチン
グを行う。又、この例において、前記図４に示す例の様
に、誘電体部材２３とグランド基板２２との間に空間を
設けるようにしても良く、この様にすれば、前記図４の
例の場合と同じく、より高精度なマッチングが可能とな
る。In this example, a capacitor 30 is connected in the middle of a core wire 25 of a coaxial cable 24 located in a dielectric member 23. When a capacitor is connected in the middle of the core wire and the core wire is connected to the anode electrode in this way, even if a DC voltage is applied to the surface of the anode electrode 21, the capacitor 30 cuts the DC component. A pulse-like signal such as a mass spectrum of a time-of-flight mass spectrometer can be observed after passing through the condenser 30. Therefore, the potential of the surface of the MCP 20 can be freely changed, and as a result, it can be used as an ion detector of a time-of-flight mass spectrometer or the like of a type in which an analysis unit provided in front of the MCP 20 is floated at a high potential. Become. Also in this example, the characteristic impedance of the anode electrode 21 and the characteristic impedance of the coaxial cable 24 are matched by selecting the thickness of the dielectric member and / or selecting the relative permittivity. Further, in this example, a space may be provided between the dielectric member 23 and the ground substrate 22 as in the example shown in FIG. 4, and in this case, in the case of FIG. As in the above, more accurate matching is possible.
【００２０】図６は他のＭＣＰを備えたイオン検出器の
概略を示したものである。図中前記図３にて使用した記
号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。FIG. 6 schematically shows an ion detector provided with another MCP. In the figure, components denoted by the same symbols as those used in FIG. 3 are the same components.
【００２１】この例では、誘電体部材２３の上に電導板
（電極）３１を設け、これに同軸ケーブル２４の芯線２
５を繋ぎ、該電導板３１とＭＣＰ２０との間にコレクタ
電極３２を設け、前記電導板３１と前記コレクタ電極３
２とで本来のアノード電極の働きをさせるように成す。
更に、前記コレクタ電極３２と前記電導板３１の間に、
例えば、フィルム状の誘電体部材３３を配置する。尚、
ＭＣＰ２０とコレクタ電極３２、コレクタ電極３２と誘
電体部材３３、誘電体部材３３と電導板３１との各間に
は空間が設けられている。尚、後者２つの空間はなくて
も良い。この様に成せば、フィルム状誘電体部材３３と
空間を挟むコレクタ電極３２と電導板３１がコンデンサ
の働きをするので、前記図５の例と同じ効果が発生す
る。尚、この例においても、誘電体部材の厚みの選択及
び／又は比誘電率の選択によりコレクタ電極３２と電導
板３１とから成るアノード電極の特性インピーダンスと
同軸ケーブル２４の特性インピーダンスのマッチングを
行う。又、この例において、前記図４に示す例の様に、
誘電体部材２３とグランド電極２２との間に空間を設け
るようにしても良く、この様にすれば、前記図４の例の
場合と同じく、より高精度なマッチングが可能となる。In this example, a conductive plate (electrode) 31 is provided on a dielectric member 23, and a core 2 of a coaxial cable 24 is
5, a collector electrode 32 is provided between the conductive plate 31 and the MCP 20, and the conductive plate 31 and the collector electrode 3 are connected to each other.
2 is made to work as the original anode electrode.
Further, between the collector electrode 32 and the conductive plate 31,
For example, a film-shaped dielectric member 33 is arranged. still,
Spaces are provided between the MCP 20 and the collector electrode 32, between the collector electrode 32 and the dielectric member 33, and between the dielectric member 33 and the conductive plate 31. Note that the latter two spaces may not be required. With this arrangement, the film-like dielectric member 33, the collector electrode 32 sandwiching the space, and the conductive plate 31 function as a capacitor, so that the same effect as in the example of FIG. 5 is produced. Also in this example, the characteristic impedance of the anode electrode composed of the collector electrode 32 and the conductive plate 31 and the characteristic impedance of the coaxial cable 24 are matched by selecting the thickness of the dielectric member and / or selecting the relative permittivity. In this example, as in the example shown in FIG.
A space may be provided between the dielectric member 23 and the ground electrode 22. In this case, more accurate matching can be performed as in the case of the example of FIG.
【００２２】図７は他のＭＣＰを備えたイオン検出器の
概略を示したものである。図中前記図６にて使用した記
号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。FIG. 7 schematically shows an ion detector provided with another MCP. In the figure, components denoted by the same symbols as those used in FIG. 6 are the same components.
【００２３】この例は、図６におけるフィルム状誘電体
部材３３を取り除き、電導板３１を誘電体部材２３中に
埋め込み、該電導板３１との間に誘電体部材の一部が挟
まれるように、該誘電体部材２３の表面にコレクタ電極
３２を設ける。この様に成せば、コレクタ電極３２と電
導板３１がコンデンサの働きをするので、前記図５の例
と同じ効果が発生する。尚、この例においても、誘電体
部材の厚みの選択及び／又は比誘電率の選択によりコレ
クタ電極３２と電導板３１とから成るアノード電極の特
性インピーダンスと同軸ケーブル２４の特性インピーダ
ンスのマッチングを行う。又、この例において、前記図
４に示す例の様に、誘電体部材２３とグランド基板２２
との間に空間を設けるようにしても良く、この様にすれ
ば、前記図４の例の場合と同じく、より高精度なマッチ
ングが可能となる。In this example, the film-shaped dielectric member 33 in FIG. 6 is removed, the conductive plate 31 is embedded in the dielectric member 23, and a part of the dielectric member is sandwiched between the conductive plate 31 and the conductive plate 31. A collector electrode 32 is provided on the surface of the dielectric member 23. With this configuration, the collector electrode 32 and the conductive plate 31 function as a capacitor, so that the same effect as in the example of FIG. 5 is produced. Also in this example, the characteristic impedance of the anode electrode composed of the collector electrode 32 and the conductive plate 31 and the characteristic impedance of the coaxial cable 24 are matched by selecting the thickness of the dielectric member and / or selecting the relative dielectric constant. In this example, as in the example shown in FIG.
A space may be provided between them, and in this case, as in the case of the example of FIG. 4, more accurate matching can be performed.
【００２４】図８は他のＭＣＰを備えたイオン検出器の
概略を示したものである。図中前記図７にて使用した記
号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。FIG. 8 schematically shows an ion detector provided with another MCP. In the figure, components denoted by the same symbols as those used in FIG. 7 are the same components.
【００２５】この例は、図７の例で、誘電体部材２３
を、コレクタ電極３２と電導板３１の間の挟まれるもの
のみにし、電導板３１とグランド電極２２間の誘電体部
材を無くして空間にしたものに対応している。この様に
成せば、コレクタ電極３２と電導板３１の間及び電導板
３１とグランド電極２２の間がコンデンサの働きをする
ので、前記図５の例と同じ効果が発生する。尚、この例
においても、誘電体部材の厚みの選択及び／又は比誘電
率の選択によりコレクタ電極３２と電導板３１とから成
るアノード電極の特性インピーダンスと同軸ケーブル２
４の特性インピーダンスのマッチングを行う。又、この
例においても、電導板３１とグランド電極２２との間の
距離を微調整することにより、より高精度なマッチング
が可能となる。This example is the same as the example shown in FIG.
Corresponds only to the one sandwiched between the collector electrode 32 and the conductive plate 31, eliminating the dielectric member between the conductive plate 31 and the ground electrode 22 to form a space. With such a configuration, since the capacitor functions between the collector electrode 32 and the conductive plate 31 and between the conductive plate 31 and the ground electrode 22, the same effect as in the example of FIG. 5 is produced. In this example, the characteristic impedance of the anode electrode composed of the collector electrode 32 and the conductive plate 31 and the characteristic impedance of the coaxial cable 2 are selected by selecting the thickness of the dielectric member and / or the relative permittivity.
The characteristic impedance of No. 4 is matched. Also in this example, fine adjustment of the distance between the conductive plate 31 and the ground electrode 22 enables more accurate matching.
【００２６】尚、前記各例ではイオンを検出する場合を
例に上げたが、電子，高エネルギーの中性粒子，紫外
線，Ｘ線などの検出の場合にも応用可能である。In each of the above examples, the case of detecting ions has been described as an example. However, the present invention can also be applied to the detection of electrons, high energy neutral particles, ultraviolet rays, X-rays and the like.
【００２７】この様に、本発明のマイクロチャンネル検
出装置は、ＭＣＰの出力側にアノード電極を配置し、該
アノード電極とグランド電極との間に誘電体部材を挟む
ように成し、前記アノード電極で捉えられた電子に基づ
く信号を伝送路体で伝送するように成し、アノード電極
と伝送体とのインピーダンスマッチングを前記誘電体部
材の厚みの選択及び／又は比誘電率の選択により可能に
しているので、極めてシンプルなマイクロチャンネル検
出装置が実現できる。As described above, the microchannel detection device according to the present invention has the anode electrode disposed on the output side of the MCP and the dielectric member interposed between the anode electrode and the ground electrode. A signal based on the electrons captured in the above is transmitted through a transmission path body, and impedance matching between the anode electrode and the transmission body is enabled by selecting the thickness of the dielectric member and / or selecting the relative permittivity. Therefore, a very simple microchannel detection device can be realized.
【図１】 ＭＣＰを使用した従来のイオン検出器の概略
を示したものである。FIG. 1 schematically shows a conventional ion detector using an MCP.
【図２】 本発明のマイクロチャンネル検出器の一例を
示したものである。FIG. 2 shows an example of a microchannel detector of the present invention.
【図３】 本発明のマイクロチャンネル検出器の他の例
を示したものである。FIG. 3 shows another example of the microchannel detector of the present invention.
【図４】 本発明のマイクロチャンネル検出器の他の例
を示したものである。FIG. 4 shows another example of the microchannel detector of the present invention.
【図５】 本発明のマイクロチャンネル検出器の他の例
を示したものである。FIG. 5 shows another example of the microchannel detector of the present invention.
【図６】 本発明のマイクロチャンネル検出器の他の例
を示したものである。FIG. 6 shows another example of the microchannel detector of the present invention.
【図７】 本発明のマイクロチャンネル検出器の他の例
を示したものである。FIG. 7 shows another example of the microchannel detector of the present invention.
１０…ＭＣＰ １１…ガイド １２…内部導体 １３…外部導体 １４…アノード電極 １５…同軸ケーブル １６…芯線 １７…編み線 ２０…ＭＣＰ ２１…アノード電極 ２２…グランド電極 ２３…誘電体部材 ２４…同軸ケーブル ２５…芯線 ２６…編み線 ２７…直流電源 ２８…分割抵抗回路 ２９…空間部 ３０…コンデンサ ３１…電導板 ３２…コレクタ電極 ３３…フィルム状誘電体部材 Reference Signs List 10 MCP 11 Guide 12 Inner conductor 13 Outer conductor 14 Anode electrode 15 Coaxial cable 16 Core wire 17 Knitted wire 20 MCP 21 Anode electrode 22 Ground electrode 23 Dielectric member 24 Coaxial cable 25 ... Core wire 26 ... Knitting wire 27 ... DC power supply 28 ... Divided resistance circuit 29 ... Space unit 30 ... Capacitor 31 ... Conducting plate 32 ... Collector electrode 33 ... Film dielectric member
フロントページの続き (72)発明者 ゲーリー サムエルソン アメリカ合衆国マサチューセッツ州 01960 ピィボディ，デァボーン通り11 ジオル ユウエスエイ インコーポレーテ ッド内 Ｆターム(参考） 5C033 NN01 NN05 NP01 NP08 5C038 BB03 BB06 FF04 HH19 Continuing on the front page (72) Inventor Gary Samuelson, 11960 Dabourne Street, Pibody, Massachusetts, USA 11-term in the Gior Yuwesway Inc. F-term (reference) 5C033 NN01 NN05 NP01 NP08 5C038 BB03 BB06 FF04 HH19
Claims (8)
側にアノード電極を配置し、該アノード電極と対向配置
されるグランド電極との間に誘電体部材を配置するよう
に成し、前記アノード電極で捉えられた電子に基づく信
号をアノード電極とグランド電極に接続された伝送路体
で伝送するように成したマイクロチャンネル検出装置。1. An anode electrode is arranged on an electron emission side of a microchannel plate, and a dielectric member is arranged between the anode electrode and a ground electrode opposed to the anode electrode. A microchannel detector configured to transmit a signal based on the generated electrons through a transmission path connected to an anode electrode and a ground electrode.
電極と対向配置されるグランド電極との間には空間を有
してこれらアノード電極とグランド電極との間に誘電体
部材を配置するように成した請求項１記載のマイクロチ
ャンネル検出装置。2. A space is provided between the anode electrode and a ground electrode opposed to the anode electrode, and a dielectric member is arranged between the anode electrode and the ground electrode. The microchannel detection device according to claim 1, wherein:
した請求項１記載のマイクロチャンネル検出装置。3. The micro-channel detection device according to claim 1, wherein a capacitor is connected in the middle of said transmission path body.
まれている請求項３記載のマイクロチャンネル検出装
置。4. The microchannel detection device according to claim 3, wherein the capacitor is embedded in a dielectric member.
体部材との間に互いに間を開けて配置されたコレクタ電
極と電導板とでアノード電極を成し、該コレクタ電極と
電導板の間に前記誘電体部材とは別の誘電体部材を配置
した請求項１記載のマイクロチャンネル検出装置。5. An anode electrode is formed by a collector electrode and a conductive plate, which are disposed between the microchannel plate and the dielectric member with a gap therebetween, and the dielectric member and the conductive member are disposed between the collector electrode and the conductive plate. The microchannel detection device according to claim 1, wherein another dielectric member is disposed.
板を互いに間を開けて埋め込み、該コレクタ電極と電導
板とでアノード電極を成した請求項１記載のマイクロチ
ャンネル検出装置。6. The microchannel detection device according to claim 1, wherein a collector electrode and a conductive plate are buried in the dielectric member with a space therebetween, and the collector electrode and the conductive plate form an anode electrode.
側に、誘電体部材を挟んだコレクタ電極と電導板とから
成るアノード電極を配置し、該アノード電極と対向配置
されるグランド電極との間に空間を設けるように成し、
前記アノード電極で捉えられた電子に基づく信号をアノ
ード電極とグランド電極に接続された伝送路体で伝送す
るように成したマイクロチャンネル検出装置。7. An anode electrode comprising a collector electrode and a conductive plate sandwiching a dielectric member is disposed on the electron emission side of the microchannel plate, and a space is provided between the anode electrode and a ground electrode opposed to the anode electrode. To provide
A microchannel detection device configured to transmit a signal based on electrons captured by the anode electrode through a transmission path connected to the anode electrode and the ground electrode.
求項１〜７の何れかに記載のマイクロチャンネル検出装
置。8. The micro-channel detection device according to claim 1, wherein said transmission path body comprises a coaxial cable.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000085690A JP2001273867A (en) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | Device for detection of micro channel |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2000085690A JP2001273867A (en) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | Device for detection of micro channel |
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ID=18601970
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| JP2000085690A Pending JP2001273867A (en) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | Device for detection of micro channel |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2399677A (en) * | 2003-02-13 | 2004-09-22 | Micromass Ltd | Ion detector comprising a mcp |
| US6906318B2 (en) | 2003-02-13 | 2005-06-14 | Micromass Uk Limited | Ion detector |
| JP2006294451A (en) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Jeol Ltd | Time-of-flight mass spectrometer |
| KR200446509Y1 (en) * | 2007-11-28 | 2009-11-05 | 단국대학교 산학협력단 | Complex dielectric constant measuring apparatus of jelly material |
| CN108630516A (en) * | 2017-03-24 | 2018-10-09 | 广州禾信仪器股份有限公司 | Mass spectrometer detector |
| JP2020191205A (en) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ion detector |
-
2000
- 2000-03-27 JP JP2000085690A patent/JP2001273867A/en active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2399677A (en) * | 2003-02-13 | 2004-09-22 | Micromass Ltd | Ion detector comprising a mcp |
| US6906318B2 (en) | 2003-02-13 | 2005-06-14 | Micromass Uk Limited | Ion detector |
| GB2399677B (en) * | 2003-02-13 | 2005-08-10 | Micromass Ltd | Ion detector |
| JP2006294451A (en) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Jeol Ltd | Time-of-flight mass spectrometer |
| JP4553782B2 (en) * | 2005-04-12 | 2010-09-29 | 日本電子株式会社 | Time-of-flight mass spectrometer |
| KR200446509Y1 (en) * | 2007-11-28 | 2009-11-05 | 단국대학교 산학협력단 | Complex dielectric constant measuring apparatus of jelly material |
| CN108630516A (en) * | 2017-03-24 | 2018-10-09 | 广州禾信仪器股份有限公司 | Mass spectrometer detector |
| CN108630516B (en) * | 2017-03-24 | 2024-02-13 | 广州禾信仪器股份有限公司 | Mass spectrometer detector |
| JP2020191205A (en) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ion detector |
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