JP2001272790A

JP2001272790A - 露光用光源装置

Info

Publication number: JP2001272790A
Application number: JP2000088448A
Authority: JP
Inventors: Yoshito Matsuura; 義人松浦
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2000-03-28
Filing date: 2000-03-28
Publication date: 2001-10-05

Abstract

(57)【要約】【課題】カラー陰極線管の種類ごとに新たにマスキン
グプレートを作成する必要をなくす。同時に、従来と比
較して、作成期間が短く、安価であると共に、露光用光
源の輻射熱により、蛍光面上の照射位置の変化が少ない
光源装置を提供する。【解決手段】露光用光源６からの光の一部を遮断する
２枚の遮光板１９、２０を互いに交線において交差する
ように組み合わせることにより、従来のＶ字型マスキン
グプレートと同様の作用を有する遮光部材を形成する。
また、遮光板の端部に係合して遮光板を保持する保持部
材２３を用い、該保持部材２３の係合位置を変えること
により、遮光板１９、２０の交差角度θを変えることが
できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管の
蛍光面形成に用いられる露光装置、特に露光用光源装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、カラー陰極線管のフェースパ
ネル内面に蛍光面を形成する際、シャドウマスクをパタ
ーンとした写真印刷の技術が用いられている。これは、
偏向された電子ビームの経路と偏向中心に置かれた露光
用光源からの光の経路が略同じであることを利用したも
のである。この方法による蛍光面の形成においては、ま
ず、フェースパネル内面に、感光して硬化する性質を有
する蛍光体懸濁液を塗布する。乾燥後、シャドウマスク
を装着し、偏向中心に露光用光源装置を置いて露光した
後、シャドウマスクを外して現像することにより、未露
光部分を除去する。以上の一連の操作を３色蛍光体のそ
れぞれについて行うことにより、カラー陰極線管の蛍光
面が完成する。フェースパネル内面に光吸収層であるブ
ラックマトリクス層を形成する場合には、蛍光面形成前
に形成する。

【０００３】露光装置としては、例えば図１０〜図１３
に示すものが使用される。これは、陰極線管で電子ビー
ムがフェースパネル内面の蛍光面に到達する軌跡と同じ
軌跡で露光するものである。具体的には、筺体２内に設
置された露光用光源装置３の、ランプハウス５内の露光
用光源６より放射された光が光学系４で屈折し、シャド
ウマスク９の孔を介して、フェースパネル１０の内面に
塗布された蛍光体懸濁液の塗布層１１に照射される。

【０００４】図１１は、図１０の露光用光源装置３の拡
大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＳ５−Ｓ５線に
沿う断面図、（ｃ）はＳ６−Ｓ６線に沿う断面図であ
る。露光用光源装置３は、露光用光源６として、直管状
水銀ランプをランプハウス５内に固定配備し、冷却水注
排孔５ａを通して冷却水を循環させて光源６を冷却す
る。また、光源６の上方には、一定間隔をおいて光通過
部８ａを形成したＶ字型マスキングプレート８を配備
し、マスキングプレート８の位置決め穴８ｂをランプハ
ウス５の位置決め突起５ｂに嵌め込み、Ｏリング１２で
固定している。更に、マスキングプレート８の上部に採
光用窓ガラス１３を配備し、ロックリング１４、Ｏリン
グ１５で密閉している。

【０００５】図１２は、露光中の光源装置３の動きを示
す。露光用光源６から放射された光Ｌは、マスキングプ
レート８の光通過部８ａを通過し、フェースパネル１０
内面上の蛍光体懸濁液の塗布層１１に照射される。ま
た、ランプハウス５は、フェースパネル１０内面に円形
の光照射部１６（実線の円）を形成するべく、自転する
ことなく楕円軌道Ｅに沿って公転する。

【０００６】また、図１２に示す様に、フェースパネル
１０と露光用光源６の間には補正レンズ１７と補正フィ
ルター１８を配備する。補正レンズ１７は非球面のガラ
スレンズで、光源からの光の軌道を補正して、光の軌道
を電子ビームの軌道と同一にするためのものである。補
正フィルター１８は、蒸着などにより、表面に（図示し
ない）所定パターンの調光膜を形成したガラスフィルタ
ーで、フェースパネル１０内面上での光の照度分布を補
正するものである。

【０００７】Ｖ字型マスキングプレート８は、図１３に
示す様に、露光用光源６の側に凸となるよう、断面で見
てＶ字型の傾斜面８ｂに開口部８ａを形成したものであ
り、この開口部８ａは、光源６の長手方向に対して直角
な方向に長く延びている。光源６から放射された光がマ
スキングプレート８の開口部８ａと交差する位置が、見
かけの光源の位置である。マスキングプレート８の形状
を変えるとこの見かけの光源の位置が変わるため、シャ
ドウマスク９への照射光の入射角が変わる。これによ
り、フェースパネル１０内面への照射位置をずらし、上
記補正レンズ１７と組み合わせることによって、照射光
Ｌが、実際の陰極線管で蛍光面を照射する電子ビームに
近似するよう設定している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ここで、シャドウマス
クに形成された個々の電子ビーム通過孔に対応する蛍光
体モザイクと通過ビームとの幾何学的な位置関係の一致
度をランディング特性と言う。両者が一致しているほど
ランディング特性は良い。このランディング特性は、カ
ラー陰極線管のサイズや電子ビームを偏向磁界によって
偏向させる偏向ヨークの特性、地磁気の影響等により異
なることから、上記補正レンズやＶ字型マスキングプレ
ートの形状は、各条件に合わせて設計する必要がある。
従って、カラー陰極線管の種類に応じて、多くのマスキ
ングプレートを作成しなければならないという問題があ
った。

【０００９】また、マスキングプレートの作成工程は、
平板にワイヤーカッタ等でスリットを設けた後、Ｖ字型
の金型を用いてプレス加工を行うことによりＶ字型形状
とし、黒つや消しメッキをして仕上げるというものであ
る。従って、マスキングプレートを新しく作成する際に
は、Ｖ字型金型の作成に期間及び費用を要するという問
題もあった。

【００１０】更に、露光用光源としては、一般に、高出
力の水冷式直管状水銀ランプが使用されるが、ランプハ
ウス内を冷却水で冷却しても、マスキングプレートが薄
いために、露光時に水銀ランプの輻射熱によりマスキン
グプレートが変形し、Ｖ字型底面部が水銀ランプ側に垂
れ下がり、あるいは浮き上がる結果、水銀ランプとマス
キングプレートのＶ字型底面部との距離やＶ字型両側部
傾斜面のなす角度が変化することがあった。また、マス
キングプレートが変形することにより、光通過部自体が
変形することもあった。このため、補正レンズや補正フ
ィルターによる露光用光源の指向方向の補正量が適切で
はなくなり、正常な蛍光面のパターンが得られないとい
う問題もあった。

【００１１】本発明は、上記問題点を解決することを目
的とする。

【００１２】本発明の他の目的は、カラー陰極線管の種
類ごとに新たにマスキングプレートを作成する必要をな
くし、マスキングプレートの作成のためのＶ字型金型を
用いたプレス加工を省くことによりＶ字型金型の作成の
ための期間及び費用を不要とし、作成期間が短く、かつ
安価な露光用光源装置を提供することにある。

【００１３】本発明の他の目的は、露光用光源の輻射熱
の影響を受けにくい露光用光源装置を提供することを目
的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の露光用
光源装置は、露光のための光を発する、第１の方向に延
びた露光用光源と、上記光源からの光の一部を遮断する
遮光部材とを有する露光用光源において、上記遮光部材
が、第１及び第２の遮光板を有し、上記第１及び第２の
遮光板は上記第１の方向に延びた交線において互いに交
差するように組み合わせられており、上記第１の遮光板
は、上記交線の一方の側に位置する第１の部分と、上記
交線の他方の側に位置する第２の部分とを有し、上記第
１の部分に第１の開口を有し、上記第１の開口は、その
幅が上記交線から離れるに従って次第に狭くなってお
り、上記第２の部分に、上記第１の開口と繋がった第２
の開口を有し、上記第２の遮光板は、上記交線の一方の
側に位置する第１の部分と、上記交線の他方の側に位置
する第２の部分とを有し、上記第１の部分に第１の開口
を有し、上記第１の開口は、その幅が上記交線から離れ
るに従って次第に狭くなっており、上記第２の部分に、
上記第１の開口と繋がった第２の開口を有し、上記光源
は、上記光源から放射された光が上記第１の遮光板の上
記第２の開口を通って上記第２の遮光板の上記第１の開
口に達するともに、上記第２の遮光板の上記第２の開口
を通って上記第１の遮光板の上記第１の開口に達するよ
うに配置されており、上記第１の遮光板の上記第２の開
口は、上記光源から放射されて上記第２の遮光板の上記
第１の開口の少なくとも上記交線の近傍の部分に至る光
を遮らないように形成され、上記第２の遮光板の上記第
２の開口は、上記光源から放射されて上記第１の遮光板
の上記第１の開口の少なくとも上記交線の近傍の部分に
至る光を遮らないように形成されていることを特徴とす
る。

【００１５】請求項２に記載の露光用光源装置は、請求
項１に記載の装置において、上記第１の遮光板の上記第
２の開口は、上記光源から放射されて上記第２の遮光板
の上記第１の開口の全体に至る光を遮らないように形成
され、上記第２の遮光板の上記第２の開口は、上記光源
から放射されて上記第１の遮光板の上記第１の開口の全
体に至る光を遮らないように形成されていることを特徴
とする。

【００１６】請求項３に記載の露光用光源装置は、請求
項１に記載の装置において、上記第１及び第２の遮光板
の、上記第１の開口側に位置する第１の端部と上記第２
の開口側に位置する第２の端部とに係合して上記第１及
び第２の遮光板を保持する保持部材をさらに有すること
を特徴とする。

【００１７】請求項４に記載の露光用光源装置は、請求
項３に記載の装置において、上記保持部材は、上記第１
の方向に対して垂直な第２の方向に延びた第１及び第２
の縁部を有する底板と、第１の端部が、上記底板の上記
第１及び第２の縁部に接続されてそれぞれ第１及び第２
の隅部を形成する第１及び第２の側板と、上記第１及び
第２の側板の上記第１の端部とは反対側の第２の端部に
接続されてそれぞれ第３及び第４の隅部を形成するとと
もに、互いに近づく方向に延びた第１及び第２の突出部
とを有し、上記第３及び第２の隅部にそれぞれ上記第１
の遮光板の第１及び第２の端部が係合することにより上
記第１の遮光板が保持され、上記第４及び第１の隅部に
それぞれ上記第２の遮光板の第１及び第２の端部が係合
することにより上記第２の遮光板が保持されていること
を特徴とする。

【００１８】請求項５に記載の露光用光源装置は、請求
項１に記載の装置において、上記第１及び第２の遮光板
は、上記第１の開口の略中心を通り、上記交線に対して
垂直な方向に延びた中心線の一方の側に位置する第１の
側縁部と他方の側に位置する第２の側縁部とを有し、上
記第１の遮光板には、上記交線に沿い、第１の側縁部の
外側の縁から上記第１及び第２の開口に至るスリットが
形成され、上記第２の遮光板には、上記交線に沿い、第
２の側縁部の外側の縁から上記第１及び第２の開口に至
るスリットが形成され、上記第１の遮光板の上記スリッ
トを上記第２の遮光板の上記第１の側縁部が貫通し、上
記第２の遮光板の上記スリットを上記第１の遮光板の上
記第２の側縁部が貫通していることを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施の形態の
露光用光源装置３を組み込んだ露光装置１の平面図であ
る。また、図２は図１のＳ１−Ｓ１線に沿う断面図、図
３は図１のＳ２−Ｓ２線に沿う断面図である。図１〜３
において、露光装置１は、当該装置の外壁を構成すると
共に、その上に露光対象となるカラー陰極線管のフェー
スパネル１０（シャドウマスク９を備えている）が載置
される筺体２と、この筺体２の中に配置された露光用光
源装置３と、同じく筺体２の内部に配置されて、露光用
光源装置３から放射され、フェースパネル１０に向かう
光の通路及び照度を補正する光学系４とを有する。ま
た、露光装置１には、従来の装置と同様に、露光用光源
装置３を（図１２と同様に）自転することなく楕円軌道
に沿って公転させるための（図示しない）機構が備えら
れている。

【００２０】図４は、図１に示した露光用光源装置３の
拡大して示す平面図であり、図５は図４のＳ３−Ｓ３線
断面図、図６は図４のＳ４−Ｓ４線断面図である。図４
〜図６に示す様に、露光用光源装置３は、ランプハウス
５内に、露光用光源６と、２枚の遮光板１９、２０で構
成された遮光部材と、遮光板１９、２０の端部に係合し
てこれらを保持する保持部２３とを有する。露光用光源
６としては、例えば上記直管状水銀ランプが用いられ
る。この光源は、第１の方向、図示の例では、フェース
パネル１０の短辺の方向、即ちＸ軸方向に延びている。

【００２１】図７は遮光部材と光源とを示す立面図であ
る。図８は、組み合わせる前の遮光板１９を示し（ａ）
は平面図、（ｂ）は１９ｊ−１９ｊ線断面図である。図
９は、組み合わせる前の遮光板２０を示し（ａ）は平面
図、（ｂ）は２０ｊ−２０ｊ線断面図である。

【００２２】遮光板１９及び２０は、光源６の長手方向
（Ｘ軸方向）と平行な交線１９ａ、２０ａ（図７では紙
面に垂直であり、点（「×」で示す）に見える）におい
て互いに交差するように組み合わされて、Ｘ軸方向（図
６で紙面に垂直の方向）から見た形が略Ｘ字型である。

【００２３】遮光板１９、２０は、鉄製の平板に黒つや
消しメッキを施して形成したものであり、各々概して矩
形状であり、その一対の辺が交線１９ａ、２０ａに平行
であり、残りの一対の辺が交線１９ａ、２０ａに対して
垂直である。

【００２４】遮光板１９は、交線１９ａの一方の側、即
ち図７で上側、図２及び図３で上側、図６で左側に位置
する第１の部分即ち上半部１９ｈと、交線１９ａの他方
の側に位置する第２の部分即ち下半部１９ｉとを有す
る。上半部に１９ｈには第１の開口即ち上側開口１９ｂ
が設けられている。上側開口１９ｂは、その幅が交線１
９ａから離れるに従って次第に狭くなっている。即ちテ
ーパ状に形成されている。下半部１９ｉには、上側開口
１９ｂと繋がった第２の開口即ち下側開口１９ｃが設け
られている。

【００２５】同様に、遮光板２０は、交線２０ａの一方
の側、即ち図７で上側、図２及び図３で上側、図６で左
側に位置する第１の部分即ち上半部２０ｈと、交線２０
ａの他方の側に位置する第２の部分即ち下半部２０ｉと
を有する。上半部２０ｈには第１の開口即ち上側開口２
０ｂが設けられている。上側開口２０ｂは、その幅が交
線２０ａから離れるに従って次第に狭くなっている。即
ちテーパ状に形成されている。下半部２０ｉには、上側
開口２０ｈと繋がった第２の開口即ち下側開口２０ｃが
設けてある。

【００２６】光源６は、遮光板１９の下半部１９ｉと遮
光板２０の下半部２０ｉとで形成される角度範囲内に位
置し、また、光源６から放射された光が遮光板１９の下
側開口１９ｃを通って遮光板２０の上側開口２０ｂに達
するとともに、遮光板２０の下側開口２０ｃを通って遮
光板１９の上側開口１９ｂに達するように、光源６、第
１及び第２の遮光板１９及び２０の位置が決められてい
る。

【００２７】遮光板１９の下側開口１９ｃは、光源６か
ら放射されて遮光板２０の上側開口２０ｂに至る光を遮
らないように形成されている。即ち、図示の例では、下
側開口１９ｃは、一つの辺が交線１９ａに一致する長方
形状であり、その幅（交線１９aの方向の寸法）は上側
開口２０ｂの最大幅よりも広くしてあり、また長さ（交
線と垂直な方向の寸法）も上側開口２０ｂの長さ（交線
２０ａと垂直な方向の寸法）よりも大きくしてある。

【００２８】同様に、遮光板２０の下側開口２０ｃは、
光源６から放射されて遮光板１９の上側開口１９ｂに至
る光を遮らないように形成されている。即ち、図示の例
では、下側開口２０ｃは、一つの辺が交線２０ａに一致
する長方形状であり、その幅（交線２０aの方向の寸
法）は上側開口１９ｂの最大幅よりも広くしてあり、ま
た長さ（交線と垂直な方向の寸法）も上側開口１９ｂの
長さ（交線１９ａと垂直な方向の寸法）よりも大きくし
てある。

【００２９】遮光板１９、２０はまた、交線１９ａ、２
０ａに対して垂直な辺のうち、開口１９ｈ、２０ｈの中
心を通り、交線１９ａ、２０ａに対して垂直な中心線１
９ｄ、２０ｄの一方の側に位置する辺に沿う第１の側縁
部１９ｐ、２０ｐと他方の辺に沿う第２の側縁部１９
ｑ、２０ｑとを有する。遮光板１９には、中心線１９ｄ
の一方の側、即ち図８で右側に位置する第１の側縁部１
９ｐの外側の縁から、交線１９ａに沿って延び、上側開
口１９ｂ及び下側開口１９ｃに至るスリット１９ｆが形
成されている。同様に、遮光板２０には、交線２０ｄの
他方の側、即ち図９で左側に位置する第２の側縁部２０
ｑの外側の縁から交線２０ａに沿って延び、上側開口２
０ｂ及び下側開口２０ｃに至るスリット２０ｆが形成さ
れている。そして、遮光板１９のスリット１９ｆを遮光
板２０の第１の側縁部２０ｐが貫通し、遮光板２０のス
リット２０ｆを遮光板１９の第２の側縁部１９ｑが貫通
している（図７、図６）。

【００３０】このような２枚の遮光板１９、２０を組立
てるには、遮光板１９の第１の側縁部１９ｐと遮光板２
０の第２の側縁部２０ｑとが隣り合うように遮光板１
９、２０を並べ、互いに傾けてそれぞれのスリット１９
ｆ、２０ｆに他方の遮光板の側縁部２０ｐ、１９ｑを挿
入すれば良い。従って組み合わせのための作業が簡単で
ある。

【００３１】保持部材２３は、図６に示す様に、遮光板
１９、２０の、上側開口１９ｂ、２０ｂ側に位置する第
１の端部１９ｍ、２０ｍ（図８、図９）と下側開口１９
ｃ、２０ｃ側に位置する第２の端部１９ｎ、２０ｎ（図
８、図９）とに係合して遮光板１９、２０を保持する。

【００３２】より詳しく述べると、保持部材２３は、Ｘ
軸方向に延び、互いに反対側に位置する第１及び第２の
縁部を有する略矩形の底板２３ａと、第１の端部が、底
板２３ａの第１及び第２の縁部（図６で上側及び下側の
縁部）に接続されてそれぞれ第１及び第２の隅部を形成
する第１及び第２の側板２３ｂ、２３ｃと、第１及び第
２の側板２３ｂ、２３ｃの第１の端部とは反対側の第２
の端部に接続されてそれぞれ第３及び第４の隅部を形成
するとともに、互いに近づく方向に、即ち内側に延びた
第１及び第２の突出部２３ｄ、２３ｅとを有し、第３及
び第２の隅部にそれぞれ遮光板１９の第１及び第２の端
部１９ｍ、１９ｎが係合することにより遮光板１９が保
持され、第４及び第１の隅部にそれぞれ遮光板２０の第
１及び第２の端部２０ｍ、２０ｎが係合することにより
遮光板２０が保持されている。このように、遮光板１
９、２０の端部を隅部に係合させることにより、遮光板
１９、２０を保持することとしているので、別途締め付
け部材などを用いなくても、簡単に遮光板１９、２０の
保持を行なうことができる。

【００３３】また、上記のような構造であるので、遮光
板１９、２０自体は同じものを用いても、保持部材２３
の係合位置を変えることにより、例えば係合位置の異な
る保持部材２３を用意することにより、遮光板１９、２
０の交差角度を変えることができる。

【００３４】即ち、遮光板１９の上半部１９ｂと遮光板
２０の上半部２０ｂとで形成される角度（図６及び図７
のθ）に対応して保持部材２３の内側の幅、即ち側板２
３ｂと側板２３ｃの間隔（図６のＷ）と、保持部材２３
の内側の高さ、即ち底板２３ａの上面から突出部２３
ｄ、２３ｅの下面までの寸法（図６のＨ）を設定するこ
とで、遮光板１９、２０の交差角を変えることができ
る。

【００３５】光源６は上記のように、遮光板１９の下半
部１９ｉと遮光板２０の下半部２０ｉとで形成される角
度範囲内に位置するとともに、下半部１９ｉ、２０ｉ
と、保持部材２３の底板２３ａとの間に位置し、かつこ
れらに接触せず、さらに、その中心軸線が交線１９ａ、
２０ａの真下に位置するように、図示しない手段（保持
部材の一部をなす）で保持されている。

【００３６】図６に示す様に、保持部材２３の内部に設
置された露光用光源６から放射された光は、図２、図３
の点線で示す様に、遮光板１９、２０の開口部１９ｃ、
２０ｃから２０ｂ、２０ｃを通って、突出部２３ｄ、２
３ｅの間に形成された開口２３ｆを通過し、フェースパ
ネル１０の内面に照射される。

【００３７】以上のように構成された光源装置において
は、開口を有する遮光板１９の上半部１９ｈと遮光板２
０の上半部２０ｈとが、光源６に対して凸である断面が
略Ｖ字状のマスキンブプレートと等価な機能を持つ。そ
して、遮光板１９、２０の交差角を変えることで、見か
けの光源の位置を変えることができ、同一の遮光板を用
いて異なる仕様の陰極線管の製造に利用することができ
る。

【００３８】遮光板１９、２０の上半部１９ｈ、２０ｈ
で形成されるＶ字型部分の開口の形状や寸法はカラー陰
極線の種類により異なるが、例えば１７インチカラー陰
極線管の場合、遮光板１９の上半部１９ｈと遮光板２０
の上半部２０ｈとで形成される角度（図６及び図７の
θ）を１００°、上半部１９ｈ及び上半部２０ｈの一辺
の長さをそれぞれ４．６ｍｍ、開口１９ｂ、２０ｂの最
大幅を１．５ｍｍ、最小幅を１．１ｍｍとしている。一
方、露光用光源６の直径は、例えば約２ｍｍである。

【００３９】上記の実施の形態では、遮光板１９、２０
は平板状であり、従って、制作が容易である。特に、プ
レスのための金型が不要であり、金型の制作のための時
間及び費用が不要となる。また、遮光板１９、２０の両
端が保持部材に保持されているので、光源６からの輻射
熱により遮光板が変形して、蛍光面上の照射位置が変わ
ると言った問題も少ない。

【００４０】なお、上記の実施の形態では、遮光板１９
の下側開口１９ｃは、光源６から放射されて遮光板２０
の上側開口２０ｂの全体に至る光を遮らないように形成
され、遮光板２０の下側開口２０ｃは、光源６から放射
されて遮光板１９の上側開口１９ｂの全体に至る光を遮
らないように形成されており、このような構成である
と、光源装置から発せられる光の強度分布が、下側開口
１９ｃ、２０ｃの影響を受けず、上側開口１９ｂ、２０
ｂのみによって決まるので、従来用いられている断面が
Ｖ字状の遮光板に関してのデータや経験をそのまま利用
して、上側開口１９ｂ、２０ｂの形状を決めることがで
きると言う利点がある。

【００４１】しかし、本発明はこれに限定されるもので
はなく、代りに、遮光板１９の下側開口１９ｃを、光源
６から放射されて遮光板２０の上側開口２０ｂの少なく
とも交線２０ａの近傍の部分に至る光を遮らないように
形成し、遮光板２０の下側開口２０ｃを、光源６から放
射されて遮光板１９の上側開口１９ｂの少なくとも交線
２０ａの近傍の部分に至る光を遮らないように形成して
も良い。このようにした場合にも、上側開口１９ｂ、２
０ｂの少なくとも交線１９ａ、２０ａの近傍を通過する
光については、強度分布が、下側開口２０ｃ、１９ｃの
影響を受けず、上側開口１９ｂ、２０ｂのみによって決
まるので、従来用いられている断面が略Ｖ字状の遮光板
と同様の作用を有する遮光部材を形成することができ
る。

【００４２】また、光源６は、開口部２０ｂ、１９ｂの
幅よりも長い形状を持ち、開口部２０ｂ、１９ｂを通っ
てフェースパネル１０の内面全域に光を照射できる形状
であれば管状以外の形状のものであっても良い。

【００４３】また、上記の実施の形態では、遮光板１
９、２０は、鉄製の平板に黒つや消しメッキを施したも
のであるが、光を遮蔽できる剛性の材料であれば他の材
料で形成しても良い。

【００４４】

【発明の効果】請求項１の露光用光源装置によれば、上
記第１の遮光板の上記第１の部分と上記第２の遮光板の
上記第１の部分とが、光源に対して凸である断面が略Ｖ
字型の遮光板と等価な機能を持つ。特に、第１の開口の
少なくとも交線の近傍を通過する光については、強度分
布が、第２の開口の影響を受けず、第１の開口のみによ
って決まるので、従来用いられている断面が略Ｖ字型の
遮光板と同様の作用を有する遮光部材を形成することが
できる。一方、第１及び第２の遮光板は平板状でも良
く、従って、制作が容易である。特に、プレスのための
金型が不要であり、金型の制作のための時間及び費用が
不要となる。また、第１及び第２の遮光板の交差角を変
えることで、シャドウマスクへの照射光の入射角を調整
することができるため、同一の遮光板を用いて異なる仕
様のカラー陰極線管の製造に利用することができる。

【００４５】請求項２の露光用光源装置によれば、光源
から発せられる光の強度分布が、遮光板の第２の開口の
影響を受けず、第１の開口のみによって決まるので、従
来用いられている断面がＶ字型の遮光板に関してのデー
タや経験をそのまま利用して、第１の開口の形状を決め
ることができる。

【００４６】請求項３の露光用光源装置によれば、上記
遮光板自体は同じものを用いても、上記保持部材の係合
位置を変えることにより、例えば係合位置の異なる保持
部材を用意することにより、上記遮光板の交差角度を変
えることができる。また、保持部材により遮光板の端部
を係合することで、遮光板を保持しているので、露光用
光源からの輻射熱を受けても変形が少なく、その見かけ
の光源の位置の変化が小さく、従って、蛍光面の照射位
置の誤差を少なくすることができる。

【００４７】請求項４の露光用光源装置によれば、遮光
板の端部を隅部に係合させることにより遮光板を保持す
ることができるので、別途締め付け部材などを用いなく
ても、簡単に遮光板の保持を行なうことができる。

【００４８】請求項５の露光用光源装置によれば、第１
の遮光板の第１の側縁と第２の遮光板の第２の側縁とが
隣り合うように第１及び第２の遮光板を並べ、互いに傾
けてそれぞれのスリットに他方の遮光板の側縁部を挿入
することにより、第１及び第２の遮光板を組み合わせて
遮光部材を形成することができる。従って組合せのため
の作業が簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の露光用光源装置を組
み込んだ露光装置の平面図である。

【図２】図１のＳ１−Ｓ１線に沿う断面図である。

【図３】図１のＳ２−Ｓ２線に沿う断面図である。

【図４】本発明の一実施の形態の露光用光源装置の平
面図である。

【図５】図４のＳ３−Ｓ３線断面図である。

【図６】図４のＳ４−Ｓ４線断面図である。

【図７】本発明の一実施の形態の２枚の遮光板をＸ字
型に交差させた様子を示す図である。

【図８】本発明の一実施の形態の第１の遮光板の
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図９】本発明の一実施の形態の第２の遮光板の
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図１０】従来の露光装置の断面図である。

【図１１】従来の露光用光源装置であり、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）のＳ５−Ｓ５線に沿う断面図、
（ｃ）は（ａ）のＳ６−Ｓ６線に沿う断面図である。

【図１２】従来の露光用光源装置において、水銀ラン
プから放射された光がマスキングプレートのスリット及
びシャドウマスクの孔を通過し、フェースパネル内面に
照射される様子を概略的に示す図である。

【図１３】従来のＶ字型マスキングプレートの概略図
である。

【符号の説明】

１露光装置、２筺体、３露光用光源装置、
４光学系、５ランプハウス、６直管状水銀ラ
ンプ、８Ｖ字型マスキングプレート、９シャドウ
マスク、１０フェースパネル、１１蛍光体塗布
層、１２、１５Ｏリング、１３採光用窓ガラ
ス、１４ロックリング、１６光照射部、１７
補正レンズ、１８補正フィルター、１９，２
０，２１，２２遮光板、２３保持部材。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光のための光を発する、第１の方向に
延びた露光用光源と、上記光源からの光の一部を遮断する遮光部材とを有する露光用光源において、上記遮光部材が、第１及び第２の遮光板を有し、上記第１及び第２の遮光板は上記第１の方向に延びた交
線において互いに交差するように組み合わせられてお
り、上記第１の遮光板は、上記交線の一方の側に位置する第
１の部分と、上記交線の他方の側に位置する第２の部分
とを有し、上記第１の部分に第１の開口を有し、上記第
１の開口は、その幅が上記交線から離れるに従って次第
に狭くなっており、上記第２の部分に、上記第１の開口
と繋がった第２の開口を有し、上記第２の遮光板は、上記交線の一方の側に位置する第
１の部分と、上記交線の他方の側に位置する第２の部分
とを有し、上記第１の部分に第１の開口を有し、上記第
１の開口は、その幅が上記交線から離れるに従って次第
に狭くなっており、上記第２の部分に、上記第１の開口
と繋がった第２の開口を有し、上記光源は、上記光源から放射された光が上記第１の遮
光板の上記第２の開口を通って上記第２の遮光板の上記
第１の開口に達するともに、上記第２の遮光板の上記第
２の開口を通って上記第１の遮光板の上記第１の開口に
達するように配置されており、上記第１の遮光板の上記第２の開口は、上記光源から放
射されて上記第２の遮光板の上記第１の開口の少なくと
も上記交線の近傍の部分に至る光を遮らないように形成
され、上記第２の遮光板の上記第２の開口は、上記光源から放
射されて上記第１の遮光板の上記第１の開口の少なくと
も上記交線の近傍の部分に至る光を遮らないように形成
されていることを特徴とする露光用光源装置。
【請求項２】上記第１の遮光板の上記第２の開口は、
上記光源から放射されて上記第２の遮光板の上記第１の
開口の全体に至る光を遮らないように形成され、上記第２の遮光板の上記第２の開口は、上記光源から放
射されて上記第１の遮光板の上記第１の開口の全体に至
る光を遮らないように形成されていることを特徴とする
請求項１に記載の露光用光源装置。
【請求項３】上記第１及び第２の遮光板の、上記第１
の開口側に位置する第１の端部と上記第２の開口側に位
置する第２の端部とに係合して上記第１及び第２の遮光
板を保持する保持部材をさらに有することを特徴とする
請求項１に記載の露光用光源装置。
【請求項４】上記保持部材は、上記第１の方向に対して垂直な第２の方向に延びた第１
及び第２の縁部を有する底板と、第１の端部が、上記底板の上記第１及び第２の縁部に接
続されてそれぞれ第１及び第２の隅部を形成する第１及
び第２の側板と、上記第１及び第２の側板の上記第１の端部とは反対側の
第２の端部に接続されてそれぞれ第３及び第４の隅部を
形成するとともに、互いに近づく方向に延びた第１及び
第２の突出部とを有し、上記第３及び第２の隅部にそれぞれ上記第１の遮光板の
第１及び第２の端部が係合することにより上記第１の遮
光板が保持され、上記第４及び第１の隅部にそれぞれ上記第２の遮光板の
第１及び第２の端部が係合することにより上記第２の遮
光板が保持されていることを特徴とする請求項３に記載
の露光用光源装置。
【請求項５】上記第１及び第２の遮光板は、上記第１
の開口の略中心を通り、上記交線に対して垂直な方向に
延びた中心線の一方の側に位置する第１の側縁部と他方
の側に位置する第２の側縁部とを有し、上記第１の遮光板には、上記交線に沿い、第１の側縁部
の外側の縁から上記第１及び第２の開口に至るスリット
が形成され、上記第２の遮光板には、上記交線に沿い、第２の側縁部
の外側の縁から上記第１及び第２の開口に至るスリット
が形成され、上記第１の遮光板の上記スリットを上記第２の遮光板の
上記第１の側縁部が貫通し、上記第２の遮光板の上記スリットを上記第１の遮光板の
上記第２の側縁部が貫通していることを特徴とする請求
項１に記載の露光用光源装置。