JP2001267591A - 光通信用光学ユニットのシールド構造 - Google Patents

光通信用光学ユニットのシールド構造

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JP2001267591A
JP2001267591A JP2000070221A JP2000070221A JP2001267591A JP 2001267591 A JP2001267591 A JP 2001267591A JP 2000070221 A JP2000070221 A JP 2000070221A JP 2000070221 A JP2000070221 A JP 2000070221A JP 2001267591 A JP2001267591 A JP 2001267591A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造で廉価な光学ユニットのシールド
構造を提供すること。 【解決手段】 Si基板1上に配設された導波路型受光
素子3及び増幅用集積回路4は、金属板を塑性加工して
形成されると共に接地電位に接続された凸型キャップ6
によって覆われてシールドされ又、モールド樹脂17に
よってモールドされており、これによって、外来ノイズ
の影響を受けることなく、光ファイバ5から受信した光
信号を電気信号に変換して、増幅用集積回路4へ出力す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の技術分野】本発明は、光信号の送信あるいは
受信に用いられる光通信用光学ユニットのシールド構造
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光ファイバを用いた音声通信やデ
ータ通信の分野において、低価格な光モジュールが求め
られている。Si基板上に光半導体素子を実装し、Si
基板に設けられたV溝にファイバを実装することで、光
半導体素子とファイバを光学的結合を実現する光モジュ
ールが開発されている。更に、この光学系ユニットをリ
ードフレーム上に実装し、更に全体をモールド樹脂で覆
ことで低コスト化を実現するモジュールが盛んに開発が
行われている。このような光モジュール構造は、Electr
onic Components & Technology Conference 1999、Cars
ten Schwantes,”Surface mount type LD module with
receptacle structure”(講演番号S31P10)に
示されている。
【0003】受光素子を前記光モジュールに適用した場
合に次のような問題点がある。即ち、低いレベルの信号
光を受光した時、受光素子にはμAオーダの電流が流れ
る。この際、モジュール外部に有る電気部品や他の電気
機器から電磁放射(ノイズ)があると、受光素子に流れ
る電流に電磁波に相当するノイズが重畳され、正常なデ
ータ受信ができなくなる。そのため、受光素子を用いた
光モジュールを外部からの電磁波に対して充分にシール
ドする必要がある。
【0004】ところで、データ通信の分野で、一つの筐
体内に送信機能と受信機能を持たせた光トランシーバが
開発されている。特に、オプトコム(98年4月号、P
60)に示されるような小型の2芯アレイ端末(例え
ば、IEC 874-16に規定のMTフェルール)に対
応したレセプタクル対応小型光トランシーバでは、送受
信用ファイバ間隔が0.75mmと狭いため、「99年
電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会講
演集、高橋他「SFF光トランシーバ用光素子実装方法
の検討」(講演番号C−3−28)」に示されるよう送
信用発光素子及び受信用受光素子を近接して並べる必要
がある。
【0005】レーザダイオードには数十mA幅のパルス
電流を流して信号光を生成するため、パルス電流の立上
り/立下り時に様々な周波数成分を有する電磁波を発生
する。受光素子はこの電磁波を受けるため、受光素子に
流れる電流に電磁波に相当するノイズが重畳され、場合
によっては正常な動作ができなくなるという問題点があ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記問題を解決するた
めにシールド構造を採用しているが、前記シールド構造
として、受光用光学ユニットのパッケージに、メタライ
ズ処理したセラミック製のものや金属製のものを用いて
いるため、構造が複雑になり又、光トランシーバの低価
格化の妨げになっていた。
【0007】一方、実開昭61−134055号公報、
特開平63−142898号公報、特開平3−7110
1号公報、特開平7−169990号公報、特公平1−
37000号公報にも光通信用光学ユニットのシールド
構造が記載されている。しかしながら、実開昭61−1
34055号公報に記載されたシェル13は、金属製で
はあるが如何なる態様で形成されたものなのか記載され
ていない。仮に、シェル13を金属材料を削り加工によ
って形成するとすれば高価になるという問題がある。ま
た、シェル13にはレンズ14が設けられると共にセラ
ミック基板7に密着するように配設されており、容易な
モールド化を考慮した構成とはなっていない。
【0008】また、特開平63−142898号公報に
記載された発明においても、セラミックパッケージ2を
使用しているため高価になるという問題があり又、容易
なモールド化を考慮した構成とはなっていない。さら
に、特開平3−71101号公報、特開平7−1699
90号公報、特公平1−37000号公報についても、
前記同様の問題があった。
【0009】本発明は、簡単な構造で廉価な光通信用光
学ユニットのシールド構造を提供することを課題として
いる。また、本発明は、モールド化が容易な光通信用光
学ユニットのシールド構造を提供することを課題として
いる。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、基板
と、前記基板上に配設された光半導体素子と、金属板を
塑性加工して形成され前記光半導体素子を覆うと共に基
準電位に接続されたカバー部材とを備えて成ることを特
徴とする光通信用光学ユニットのシールド構造が提供さ
れる。光半導体素子は、金属板を塑性加工して形成され
基準電位に接続されたカバー部材によってシールドされ
る。
【0011】ここで、前記基板に設けられた複数の凸部
を備え、前記カバー部材は前記凸部上に固定されている
ように構成してもよい。また、前記凸部はバンプによっ
て構成され、前記カバー部材は導電性接着剤によって前
記バンプに固定されているように構成してもよい。さら
に、前記カバー部材と基板との間には前記バンプによっ
て隙間が形成され、前記光半導体素子、カバー部材及び
基板はモールドされているように構成してもよい。
【0012】また、本発明によれば、基板と、前記基板
上に配設された光半導体素子と、前記基板に設けられた
複数の凸部と、金属面を有し、前記光半導体素子を覆う
と共に基準電位に接続され、前記基板との間に所定の隙
間を介して前記凸部に固定されたカバー部材とを備え、
前記光半導体素子、カバー部材及び基板はモールドされ
ていることを特徴とする光通信用光学ユニットのシール
ド構造が提供される。光半導体素子は、カバー部材によ
ってシールドされ、カバー部材及び基板とともにモール
ドされる。
【0013】また、本発明によれば、基板と、前記基板
上に配設された受光用光半導体素子と、前記基板に設け
られた複数の凸部と、金属板を塑性加工して形成され、
前記受光用光半導体素子を覆うと共に基準電位に接続さ
れ、前記基板との間に所定の隙間を介して前記凸部に固
定された第1のカバー部材と、前記基板上に配設された
発光用光半導体素子と、金属板を塑性加工して形成さ
れ、前記発光用光半導体素子を覆うと共に前記基準電位
に接続され、前記基板との間に所定の隙間を介して前記
凸部に固定された第2のカバー部材とを備えて成ること
を特徴とする光通信用光学ユニットのシールド構造が提
供される。受光用半導体素子は第1のカバー部材でシー
ルドされ又、発光用半導体素子は第2のカバー部材でシ
ールドされる。
【0014】また、本発明によれば、光ファイバと、前
記光ファイバを支持する基板と、表面入射型受光素子
と、前記表面入射型受光素子が前記光ファイバに対面す
るように取付けられた保持部材と、金属板を塑性加工し
て形成され、前記表面入射型受光素子を覆うと共に基準
電位に接続され、前記基板と保持部材に固定されたカバ
ー部材とを備えて成ることを特徴とする光通信用光学ユ
ニットのシールド構造が提供される。表面入射型受光素
子は、金属板を塑性加工して形成され、前記表面入射型
受光素子を覆うと共に基準電位に接続され、前記基板と
保持部材に固定されたカバー部材によりシールドされ
る。
【0015】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1の実施の形
態に係る光学ユニットのシールド構造を示す平面図であ
り、光通信モジュールの一種である増幅器内蔵の受光モ
ジュールの例を示している。また、図2は、図1の正断
面図であり、図1と同一部分には同一符号を付してい
る。尚、図1においては、モールド樹脂17の上部を取
り除いた状態を示している。
【0016】図1及び図2において、受光モジュール
は、基板としてのSi基板1、リードフレーム2、光半
導体素子としての導波路型受光素子3、増幅回路を構成
する増幅用集積回路(LSI;Large scale Integratio
n Ciruit)4、光ファイバ5、シールド部材として機能
するカバー部材としての凸型キャップ6、Auによって
形成された凸部としての複数のバンプ7、モールド樹脂
17から構成されている。導波路型受光素子3及び増幅
用集積回路4はリードフレーム2上に装着されている。
Si基板1には、光ファイバ5を実装するV溝16が設
けられ又、受光素子3との距離を決めるための、スリッ
ト26が設けられている。なお、Si基板1の所定の位
置にAuにより形成された複数のバンプ7が設けられて
いる。Auバンプ7の形成方法としては公知の方法が使
用できるが、例えば、香山著”VLSIパッケージング
技術(下)”(日経BP社、1997年)85ページに示
されるような、Auメッキを用いる方法が使用できる。
【0017】Si基板1はリードフレーム2上にハンダ
等を用いて実装され、リードフレーム2には、導波路型
受光素子3に逆バイスを供給する端子11、出力信号端
子10及び増幅用LSI給電端子9が設けられており、
導波路型受光素子3及び増幅用LSI4の各電極はSi
基板1上に設けられたパターンを介して各端子とワイヤ
8で接続されている。
【0018】本実施の形態では、Si基板1に実装する
光半導体素子として、導波路型受光素子3を用いている
が、発光モジュールを構成する場合には、導波路型受光
素子3の代わりに、発光ダイオード(LED)やレーザ
ダイオード(LD)等の発光素子を使用してもよい。増
幅用LSI4は、導波路型受光素子3で変換した信号光
のレベルに相当する電流を必要なレベルまで増幅する。
なお、光半導体素子にLDやLED等の発光素子を用い
た場合、増幅用LSI4はLDやLEDに必要なレベル
の電流を供給するための増幅器を使用する。
【0019】次に、シールド部材としての凸型キャップ
6は、金属板を塑性加工することにより形成されてお
り、導波路型受光素子3や増幅器4と干渉しないよう
に、絞り加工によって深絞りしてあり、中央に凸状部が
形成されると共に周囲に平坦部が形成されている。前記
凸状部内に、導波路型受光素子3や増幅用LSI4が収
容されると共に、前記平坦部がバンプ7に固着されるよ
うに構成されている。更に、Si基板1への実装時に光
通信用光ファイバ5と干渉しないように、凸型キャップ
6には、光ファイバ5実装用の切欠き25を設けてい
る。なお、凸型キャップ6は、予めSi基板1上の所定
の位置に設けられたAuバンプ7と凸型キャップ6の表
面に塗布された導電性接着剤30によってSi基板1に
固定される。
【0020】凸型キャップ6はAuバンプ7、Si基板
1上に設けられたメタライズ面、及びワイヤ22を介し
て、基準電位である光通信用伝送装置の接地電位に接続
されている。なお、凸型キャップ6の材質としては、凸
型キャップ6の外側あるいは内側に、導波路型受光素子
3及び増幅器4を覆う領域に導電性メッキを施した樹脂
を使用することも可能である。また、凸型キャップ6の
材質として導電性樹脂を用いることが可能である。Si
基板1とリードフレーム2はモールド化され、透湿性の
低い、エポキシ等の樹脂17で覆われている。また、導
波路型受光素子3と光ファイバ5間は透明性の高い、或
いは信号光波長にて透明性の高い樹脂15を予め充填
し、モールド樹脂17が導波路型受光素子3と光ファイ
バ5間の光路を妨げないようにしている。
【0021】上記構成の光学ユニットにおいては、凸型
キャップ6はAuバンプ7とSi基板1上のメタライズ
面、ワイヤボンディング22及びグランド端子12を介
して、基準電位である光通信用伝送装置側のグランドと
接続されている。そのため、凸型キャップ6内部にある
導波路型受光素子3及び増幅器4は、シールド部材とし
ての凸型キャップ6によって電磁波(ノイズ)を効果的に
遮蔽することができる。なお、Auバンプ7を用いて凸
型キャップ6とSi基板1を実装すると、凸型キャップ
6とSi基板1の間に隙間ができる。そのため、Si基
板1の表面に設けられた導波路型受光素子3の逆バイア
ス電圧印加用等の電極パターンが、凸型キャップ6と電
気的に接触することを防止することが可能になる。
【0022】以上述べたように第1の実施に形態に係る
光ユニットのシールド構造は、光半導体素子を実装した
Si基板に於いて、金属板を塑性加工して形成した安価
な凸型キャップを、光半導体素子を覆うようにして実装
している。その際、凸型キャップはSi基板上に予め形
成したAuバンプに導電性接着剤を用いて実装してい
る。この凸型キャップを光通信用伝送装置側の基準電位
としての接地電位に接続することで、光学系ユニット外
で発生する電磁波が光半導体素子へ与える影響を抑制し
ている。更に、光半導体素子が発生する電磁波が光学系
ユニット外に放射するのを抑制している。
【0023】即ち、導波路型受光素3及び増幅用LSI
4を覆うようにして、Auバンプ7と導電性接着剤30
を用いて凸型キャップ6をSi基板1上に実装してい
る。この凸型キャップ6をAuバンプ7、Si基板上の
パタ−ン、ワイヤ22及び端子12を介して、光通信用
伝送装置側のグランドと接続することで、光学系ユニッ
ト外で発生する電磁波から導波路型受光素子3及び増幅
用LSI4を遮断している。したがって、Si基板1上
の所定の位置にAuバンプ7を設け、その上に凸型キャ
ップ6を実装しているため、構造が単純であり、製造工
程の簡略化が可能になる。また、凸型キャップ6の大き
さを変更することで、導波路型受光素子3だけでなく、
増幅用LSI4等までを含めた幅広いシールドが可能に
なる。
【0024】さらに、凸型キャップ6とSi基板1間に
は、Auバンプ7の高さに相当する隙間が空いている。
そのため、モールド時に、溶融樹脂がこの隙間を通して
容易に凸型キャップ6内に流入するため、凸型キャップ
6に印加される圧力が緩和される。その結果、モールド
樹脂注入時に凸型キャップ6が動いたり剥離することは
なく、凸型キャップ6とSi基板1を一括して容易にモ
ールド化が可能である。さらにまた、凸型キャップ6
は、金属板を塑性加工したものであるため低価格化が可
能である。また、透光性樹脂15によって導波路型受光
素子3と光ファイバ5を接続しているため、モールド樹
脂17が導波路型受光素子3と光ファイバ5間の光路を
妨げることを防止することが可能になる。尚、凸型キャ
ップ6は、金属板を塑性加工したものに限られず、導電
性メッキを施した樹脂、即ち、少なくとも光半導体素子
を覆う所定範囲にわたって金属面を有するカバー部材を
使用することが可能である。
【0025】図3は、本発明の第2の実施の形態に係る
光学ユニットのシールド構造を示す平面図である。図3
において、図1及び図2と同一部分には同一符号を付し
ており、その部分の説明は省略する。尚、図3におい
て、リードフレーム2や端子9〜12及びモールド樹脂
17は省略して描いている。本第2の実施の形態におい
ては、従来の技術の欄で述べたような一つの筐体内に送
信機能と受信機能を持たせた光トランシーバ用光学ユニ
ットを採用している。即ち、基板としてのSi基板1
と、Si基板1上に配設された受光用光半導体素子とし
ての導波路型受光素子3、Si基板1上に被着形成され
た凸部としての複数のバンプ7と、金属板を塑性加工し
て形成され、導波路型受光素子3を覆うと共に基準電位
である光通信用伝送装置の接地側に接続され又、Si基
板1との間に形成された所定の隙間を介してバンプ7に
固定され、シールド部材として機能する第1のカバー部
材としての凸型キャップ6aと、Si基板1上に配設さ
れた発光用光半導体素子としての発光素子18と、金属
板を塑性加工して形成され、発光素子18を覆うと共に
前記基準電位に接続され、Si基板1との間に形成され
た所定の隙間を介してバンプ7に固定され、シールド部
材として機能する第2のカバー部材としての凸型キャッ
プ6bとを備えている。以上のように構成した後、前記
第1の実施の形態と同様に、リードフレーム2や端子9
〜12とともに全体を樹脂でモールドする。なお、凸型
キャップ6a及び凸型キャップ6bは別体に分離したも
のを示しているが、これらを一体型にしたものでもよ
い。
【0026】以上のように構成することにより、第1の
実施の形態と同様の効果を奏する。即ち、導波路型受光
素子3や増幅用LSI4を、凸型キャップ6aでシール
ドすることにより、導波路型受光素子3や増幅用LSI
4を、光学ユニットの外部で発生する電磁波から遮蔽す
るだけでなく、発光素子18で発生する電磁波からも遮
蔽することが可能になるため、安定した受信性能を実現
することができる。また、発光素子18や増幅用LSI
19も凸型キャップ6bでシールドすることで、導波路
型受光素子3及び増幅用LSI4の電気的シールド効果
をより向上させることができるだけでなく、本トランシ
ーバが外部に向かって放射する電磁波を抑制することが
可能になる。
【0027】図4は、本発明の第3の実施の形態に係る
光学ユニットのシールド構造を示す正断面図である。図
4において、図1及び図2と同一部分には同一符号を付
しており、その部分の説明は省略する。本第3の実施の
形態は、導波路型受光素子3の代わりに表面入射型受光
素子20を用いた例である。表面入射型受光素子20を
保持部材としてのキャリア21に実装し、光通信用光フ
ァイバ5の端面と向き合うように、キャリア21を立て
て実装を行っている。光ファイバ5は基板としてのSi
基板1によって支持されている。
【0028】また、シールド部材として機能するカバー
部材としてのキャップ6を、基板としてのSi基板1と
キャリア21の複数箇所、例えば2ヶ所で、固定してい
る。Si基板1とキャリア21はリードフレーム2上に
装着されている。キャップ6は、金属板を絞り加工ある
いはプレス加工によって塑性加工することにより、断面
L字形に形成されている。Si基板1とキャリア21の
高さが異なる場合でも、凸型キャップ6の形状を変更す
ることにより、Si基板1に固着されたAuバンプ7と
導電性接着剤30によって、Si基板1とキャリア21
に固着することができる。
【0029】即ち、本第3の実施の形態は、光ファイバ
5と、光ファイバ5を支持する基板としてのSi基板1
と、表面入射型受光素子20と、表面入射型受光素子2
0が光ファイバ5に対面するように取付けられたキャリ
ア21と、金属板を塑性加工して形成され、表面入射型
受光素子20を覆うと共に基準電位としての光通信用伝
送装置の接地電位に接続され、Si基板1とキャリア2
1に固定されたカバー部材6とを備えている。この構造
によっても、廉価で簡単な構造により表面入射型受光素
子20の電気的なシールドが可能になると共に、モール
ド化が容易になる。
【0030】図5は、本発明の第4の実施の形態に係る
光学ユニットのシールド構造を示す正断面図である。図
5において、図1及び図2と同一部分には同一符号を付
しており、その部分の説明は省略する。図5では、基板
としてのSi基板1に凸部としての複数のテラス24を
設け、シールド部材として機能するカバー部材としての
凸型キャップ6をテラス24にハンダ23を用いて固定
している。テラス4は、Si基板1を加工処理すること
によりSi基板1と一体に形成されている。また、Si
基板1は、リードフレーム2上に装着されている。凸型
キャップ6とSi基板1との間には所定間隔の隙間が形
成され、全体がモールド樹脂17によってモールドされ
ている。
【0031】即ち、本第4の実施の形態においては、S
i基板1と、Si基板1上に配設された光半導体素子と
しての導波路型受光素子3と、Si基板1に形成された
複数のテラス24と、金属板を塑性加工して形成され、
導波路型受光素子3を覆うと共に基準電位としての光通
信用電送装置の接地電位に接続され、Si基板1との間
に所定の隙間を介してテラス24に固定されたカバー部
材6とを備えている。この構造によって、導波路型受光
素子3をシールドすることが可能になると共に、モール
ド化が容易になるばかりでなく、Auバンプ7が不必要
になる。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、簡単な構造で廉価な光
学ユニットのシールド構造を提供することが可能にな
る。また、本発明によれば、モールド化が容易な光学ユ
ニットのシールド構造を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係る光学ユニッ
トのシールド構造の平面図である。
【図2】 本発明の第1の実施の形態に係る光学ユニッ
トのシールド構造の正断面図である。
【図3】 本発明の第2の実施の形態に係る光学ユニッ
トのシールド構造の平面図である。
【図4】 本発明の第3の実施の形態に係る光学ユニッ
トのシールド構造の正断面図である。
【図5】 本発明の第4の実施の形態に係る光学ユニッ
トのシールド構造の正断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板としてのSi基板 2・・・リードフレーム 3・・・光半導体素子としての導波路型受光素子 4・・・増幅回路としての増幅用集積回路 5・・・光ファイバ 6・・・カバー部材としての凸型キャップ 7・・・凸部としてのバンプ 8・・・ワイヤボンディング 9・・・LSI給電端子 10・・・信号出力端子 11・・・受光素子逆バイアス端子 12・・・接地端子 15・・・保護用樹脂 16・・・V溝 17・・・モールド樹脂 18・・・光半導体素子としての発光素子 19・・・光半導体素子としての受光素子 20・・・光半導体素子としての表面入射型受光素子 21・・・保持部材としてのキャリア 22・・・接地用ワイヤボンディング 23・・・ハンダ層 24・・・凸部としてのテラス 25・・・光ファイバ挿入用切り欠き 26・・・スリット 30・・・導電性接着剤

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、前記基板上に配設された光半導
    体素子と、金属板を塑性加工して形成され前記光半導体
    素子を覆うと共に基準電位に接続されたカバー部材とを
    備えて成ることを特徴とする光通信用光学ユニットのシ
    ールド構造。
  2. 【請求項2】 前記基板に設けられた複数の凸部を備
    え、前記カバー部材は前記凸部上に固定されていること
    を特徴とする請求項1記載の光通信用光学ユニットのシ
    ールド構造。
  3. 【請求項3】 前記凸部はバンプによって構成され、前
    記カバー部材は導電性接着剤によって前記バンプに固定
    されていることを特徴とする請求項2記載の光通信用光
    学ユニットのシールド構造。
  4. 【請求項4】 前記カバー部材と基板との間には前記バ
    ンプによって隙間が形成され、前記光半導体素子、カバ
    ー部材及び基板はモールドされていることを特徴とする
    請求項3記載の光通信用光学ユニットのシールド構造。
  5. 【請求項5】 基板と、前記基板上に配設された光半導
    体素子と、前記基板に設けられた複数の凸部と、金属面
    を有し、前記光半導体素子を覆うと共に基準電位に接続
    され、前記基板との間に所定の隙間を介して前記凸部に
    固定されたカバー部材とを備え、前記光半導体素子、カ
    バー部材及び基板はモールドされていることを特徴とす
    る光通信用光学ユニットのシールド構造。
  6. 【請求項6】 基板と、前記基板上に配設された受光用
    光半導体素子と、前記基板に設けられた複数の凸部と、
    金属板を塑性加工して形成され、前記受光用光半導体素
    子を覆うと共に基準電位に接続され、前記基板との間に
    所定の隙間を介して前記凸部に固定された第1のカバー
    部材と、前記基板上に配設された発光用光半導体素子
    と、金属板を塑性加工して形成され、前記発光用光半導
    体素子を覆うと共に前記基準電位に接続され、前記基板
    との間に所定の隙間を介して前記凸部に固定された第2
    のカバー部材とを備えて成ることを特徴とする光通信用
    光学ユニットのシールド構造。
  7. 【請求項7】 光ファイバと、前記光ファイバを支持す
    る基板と、表面入射型受光素子と、前記表面入射型受光
    素子が前記光ファイバに対面するように取付けられた保
    持部材と、金属板を塑性加工して形成され、前記表面入
    射型受光素子を覆うと共に基準電位に接続され、前記基
    板と保持部材に固定されたカバー部材とを備えて成るこ
    とを特徴とする光通信用光学ユニットのシールド構造。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7655993B2 (en) 2001-11-15 2010-02-02 Renesas Technology Corporation Method for manufacturing semiconductor integrated circuit device
JP2010237641A (ja) * 2009-03-13 2010-10-21 Fujikura Ltd 光モジュールおよびモジュール付きケーブル
JP2011233620A (ja) * 2010-04-26 2011-11-17 Sumitomo Electric Ind Ltd 光電変換用モジュール部品
JP2012168443A (ja) * 2011-02-16 2012-09-06 Hitachi Cable Ltd コネクタ付き光電変換装置及びコネクタ付き光電変換装置の製造方法

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