JP2001251108A - 自動整合装置 - Google Patents
自動整合装置Info
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- JP2001251108A JP2001251108A JP2000061603A JP2000061603A JP2001251108A JP 2001251108 A JP2001251108 A JP 2001251108A JP 2000061603 A JP2000061603 A JP 2000061603A JP 2000061603 A JP2000061603 A JP 2000061603A JP 2001251108 A JP2001251108 A JP 2001251108A
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Abstract
用いることにより、耐電力特性に優れかつ小型で制御が
簡単な自動整合装置を提供する。 【解決手段】 発信機と負荷との間に導波管伝送線路を
接続し、その伝送線路上に3本の導波管分岐可変リアク
タンスを設ける。方向性結合器または容量結合器を設け
て負荷の反射係数の絶対値と位相を算出し、これらの信
号を用いて可変リアクタンスを駆動して整合動作を行わ
せる。伝送線路が同軸管のときは、3本の同軸管分岐可
変リアクタンスを設ける。
Description
る負荷の変動に対するマイクロ波の自動整合装置に関す
る。
し各種の用途に用いられている。発信機(マイクロ波電
源)で発生させたマイクロ波電力を負荷に有効に印加
し、その印加するマイクロ波電力を常に安定にすること
は品質管理上重要である。そのため整合回路を用いて電
源と負荷のインピーダンスの整合をとることにより、負
荷からの反射電力を打消すことが広く用いられている。
わゆるスタブがよく用いられる。スタブは方形導波管の
場合広い面(E面)または狭い面(H面)から金属棒を
挿入することにより反射波を発生させ、これを2〜3本
組み合わせたもので、構造が比較的簡単となる。
大電力化に伴い、スタブを使用する際の耐電力特性が問
題となる。例えばスタブの金属棒の先端の電界の集中に
よる電界強度の増大、金属棒の温度上昇の増大、スタブ
の導波管面との接続構造による電波漏れの対策、チョー
ク構造における電界強度の増大など解決すべきいろいろ
な問題をかかえている。
鑑みて提案されたもので、スタブを用いた整合回路に代
わる整合回路を用いることにより、耐電力特性に優れか
つ小型で制御が簡単な方式を実現することを目的とする
ものである。
めの本発明は、マイクロ波電力を伝送する導波管回路に
おいて、発信機と負荷との間に接続した導波管伝送線路
に3本の導波管分岐可変リアクタンス(以下単に「可変
リアクタンス」という)を設けた自動整合装置である。
方形導波管の場合、分岐回路を広い面(E面)に設ける
方式が、可変リアクタンスを形成する構造が小型になる
利点があるが、狭い面(H面)の場合も可能である。
るが、例えば構造が簡単な可動短絡器(短絡板)を使用
する方式を採用することができる。短絡板の可動距離を
0〜λg/4(λgは管内波長、以下略す)とすれば可
変リアクタンスは0〜jX(Ω)で、Xは0〜∞をと
る。可変リアクタンスの分岐回路の間隔をλg/4の整
数倍にとることにより、この回路はスミスチャートの全
範囲をカバーできる整合回路として作動する。
信機側に方向性結合器を設け、進行波電力と反射波電力
に結合させ、反射波電力信号をθ1とθ2(例えばθ1≒
0゜、θ2≒90゜)の信号に分割し、進行波電力信号
をθ3とθ4(例えばθ3≒0゜、θ4≒180゜)に分割
した信号を得、それらによって方向性結合器より見た負
荷の反射係数の絶対値Γおよび位相θを算出し、この反
射係数の絶対値Γと位相θの信号を用いて、可変リアク
タンスを駆動し整合動作を行わせることができる。
変リアクタンスの位置より発信機側の導波管伝送線路に
3個以上の容量結合器をλg/8間隔に配置し、これに
より取り出した各信号を検波し、演算処理を行って負荷
の反射係数の絶対値Γおよび位相θを算出し、このΓと
θの信号を用いて、可変リアクタンスを駆動し整合動作
を行わしめることもできる。
ールねじを使用してもよく、あるいはパルスモータを使
用することもできる。もしくは両方を使用し、パルスモ
ータとボールねじ駆動部との結合を回転板に設けた2本
のピンにより行うこともできる。可変リアクタンスの基
準位置を導波管面と同一面とし、この位置からパルス数
に応じたステップ数を選び最大移動幅を決めてもよい。
信機と負荷の間に同軸管伝送線路を接続し、その伝送線
路上に3本の同軸管可変リアクタンス分岐回路を用いて
整合器を構成することができる。
絶対値Γと位相θとにより各可変リアクタンスの値とそ
の間隔の電気角を計算することにより、最も負荷に近い
可変リアクタンスの位置における負荷の反射係数の絶対
値ΓL、位相θLを算出する。この点における基準化した
負荷インピーダンス Z1=R1+jX1 (jX1<0)
において、R1=1、または R1<1、もしくは R1
>1 の3つの場合について判別を行い、その各々の場
合に応じた演算処理をして3本の可変リアクタンスを駆
動するように整合器を構成することができる。
ドミタンス Y1=G1+jB1 (jB1<0)におい
て、G1=1、または G1<1、もしくは G1>1、
の3つの場合について判別を行い、その各々の場合に応
じた演算処理をして3本の可変リアクタンスを駆動する
ように整合器を構成することもできる。
示し、これによって本発明を具体的に説明する。図1に
おいて、マイクロ波発信機5と負荷6との間に方形導波
管の伝送線路4が接続され、3本のE面導波管分岐回路
1,2および3はλg/4間隔に設けられる。この導波
管分岐回路には可動短絡器1a、2aおよび3aが設け
られていて、入射波を完全反射することにより可変リア
クタンス1,2および3として動作する。可動短絡器の
短絡面1b、2bおよび3bの可動距離をd(d1、
d2、d3)とすれば、導波管面の位置を0として基準化
した可変リアクタンスの値はjtan(β・d)(βは
位相定数)と表されるので、dを0〜λg/4として基
準化した可変リアクタンスは誘導性リアクタンス0〜j
Xで、Xは0〜∞の値をとる。7は方向性結合器であ
る。
の直列可変リアクタンスによる整合領域を示すスミスチ
ャート(この場合はインピーダンスチャート)である。
可変リアクタンス(図1の1、2および3)は、伝送回
路に対し直列回路として作用するので、λg/4の間隔
で配列した3本の可変リアクタンスのうち、負荷に近い
2本(図1の3および2)により図2に示すように、ス
ミスチャート(インピーダンスチャート)の斜線の領域
が整合範囲となる。一番電源側の3本目の可変リアクタ
ンス(図1の1)の位置でみれば、上記の非整合範囲は
スミスチャートの対称位置に移される。したがってこれ
らの3本の可変リアクタンスにより、スミスチャートの
全域の整合がとれることになる。
クタンスの場合、基準化した可変リアクタンスが容量性
であれば、アドミタンス Y=jB において、Bは0
〜∞をとり、スミスチャート(この場合はアドミタンス
チャート)の全域の整合がとれる。可動短絡器の短絡面
はチョーク構造とするか、場合により接触片による構造
であってもよい。可動短絡器の駆動方法はボールねじを
使用してもよいし、パルスモータを使用してもよい。あ
るいは可変リアクタンスの駆動方法にパルスモータとボ
ールねじ駆動部との結合を回転板に設けた2本のピンに
より行うようにしてもよい。可変リアクタンスの基準位
置を導波管面と同一面とし、この位置からパルス数に応
じたステップ数を選んで最大移動幅を決めてもよい。
結合器を設け、進行波電力と反射波電力に結合させ、反
射波電力信号を0゜と90゜に分割し、進行波電力信号
を0゜または180゜、あるいは0゜と180゜に分割
した信号を得、それらによって方向性結合器より見た負
荷の反射係数の絶対値│Γ│と位相θとを用いて、各可
変リアクタンスの値とその間隔の電気角を計算すること
により、最も負荷に近い可変リアクタンスの位置におけ
る負荷の反射係数の絶対値ΓLと位相θLとを算出する。
基準化した負荷インピーダンス Z 1=R1+jX1(j
X1<0)において、R1=1 または R1<1、もし
くは、R1>1、の3つの場合について判別を行い、そ
の各々の場合に応じた演算処理をして3本の可変リアク
タンスを駆動するように整合器を構成することができ
る。
+jX1 は反射係数の絶対値ΓL、位相θLを用いて次
の式から算出される。
θL+ΓL 2) X1=2ΓLsinθL /(1−2ΓLcosθL+ΓL 2) すでに説明したようにE面導波管分岐回路の基準化した
可変リアクタンス +jX は、伝送回路に対し直列回
路として作用するので、この位置で整合が成立するため
には R1=1、jX1<0 でなければならない。同じ
ように R1<1、jX1<0、または、R1>1、jX1
<0、の場合について判別を行い、その各々の場合に応
じた演算処理によって3本の可変リアクタンスを駆動す
るように整合器を構成することができる。
例を示したものである。図3において、8は容量結合器
で、他の符号は図1と同じである。図3は図1の方向性
結合器7の代わりに3個の容量結合器8を、可変リアク
タンスの位置より発信機側の導波管伝送線路にλg/8
間隔に配置した場合を示す。この容量結合器8により取
り出した各信号を検波し、演算処理を行って負荷の反射
係数の絶対値|Γ|および位相θを算出し、この|Γ|
とθの信号を用いて、可変リアクタンスを駆動し整合動
作を行わせることもできる。
の整合回路の動作手順を詳細に説明する。 1)初期設定 d1=0、d2=0、d3=0としてゼロセットする。 2)メモリ値に合わせてd1、d2、d3をセットする。 3)負荷を接続した整合回路の基準化入力インピーダン
スZ1または複素反射係数Γ1を測定する。外部設定信号
Z1”,Γ1”の有無を判定する。外部設定信号有りの場
合はこの外部設定信号を上記にベクトル的に加えたもの
をZ1またはΓ1と表現する。 4)Xs1=tanβd1、 Xs2=tanβd2、 X
s3=tanβd3 を計算する。 5)Z1−jXs1=Z1’ を求めて複素反射係数Γ1’およびその絶対値│Γ1’
│、位相θ1’(「偏角」ともいうが、以下統一して
「位相」と呼称する)を計算する。 6)θ2=θ1’+π/2 なる位相θ2と絶対値│Γ1’│から複素反射係数Γ2お
よび基準化入力インピーダンスZ2を算出する。 7)Z2−jXs2=Z2’ を求めて複素反射係数Γ2およびその絶対値│Γ2’│、
位相θ2’を計算する。 8)θ3=θ2’+π/2 なる位相θ3と絶対値│Γ2’│から複素反射係数Γ3お
よび基準化入力インピーダンスZ3を算出する。 9)Z3−jXs3=Z1 を求めて次の式を計算する。 Z1=R1+jX1, 1/Z1=Y1=G1+jB1 複素反射係数Γ1およびその絶対値│Γ1│、位相θ1を
計算する。 10)Z1、θ1、Γ1、Y1を表示する。
作を説明する。 場合(a) R1=1、X1<0 場合(b) R1<1、X1<0、またはG1>1、B1<
0 場合(c) 上記以外の場合である。
(11〜13) 11) Xs1=0、Xs2=0として−X1=Xs1と
なるXs1からd1を算出する。 12)現在のd1と新しいd1を比較しモータを駆動す
る。 13)新しいd1よりXs1を算出しZ3=1になること
を確認する。
1>1、B1<0)(21〜29) 21)Z3=Z1+jXs3 Y3=G3+jB3 を計算し、G3=1にしたときのX
s3を算出する。Xs3の値からd3を算出する。 22)短絡面の位置からd3との差を算出して、モータ
を駆動する。 23)新しいd3よりXs3を算出し Z3=Z1+jXs3 から複素反射係数Γ3および位相θ3 を算出する。 24)θ2’=θ3−π/2 なる位相θ2’と絶対値│Γ3│から複素反射係数Γ2’
および基準化入力インピーダンスZ2’を算出する。 25)新しいd3よりXs3を算出し、Z2=Z2’+jX
s2とし=C2’+j(D2’+Xs2) この式の第2項を0にするXs2すなわち −D2’=Xs2 からd2を算出する。 26)Z2から複素反射係数Γ2および位相θ2を算出す
る。 27)θ1’=θ2−π/2 なる位相θ1’と絶対値│Γ2│から複素反射係数Γ1’
および基準化入力インピーダンスZ1’を算出する。 28)Xs1=0であるから Z1=Z1’、 Γ1=Γ1’となる。 29)外部信号がある場合 Γ1+Γ1’=Γ1 Z1+Z1”= Z1 とする。5)へもどる。
(b)以外の状態をいう〕(31〜39) 31)Xs3=0、d3=0とする。Z1から複素反射係
数Γ1およびその絶対値│Γ1│、位相θ1を計算する。 32)θ2’=θ1−π/2 なる位相θ2’と絶対値│Γ1│から複素反射係数Γ2’
および基準化入力インピーダンスZ2’を算出する。 33)Z2=Z2+jXs2,Y2=G2+jB2 G2=1となるXs2を計算し、d2を計算する。 34)モータ駆動 35)新しいd2よりXs2を計算しZ2=Z2+jXs2
を算出する。Z2から複素反射係数Γ2および位相θ2を
算出する。 36)θ1’=θ2−π/2 なる位相θ1’と絶対値│Γ2│から複素反射係数Γ1’
および基準化入力インピーダンスZ1’を算出する。 37)Z1=Z1’+jXs1,Y1=G1+jB1 G1=1となるXs1を計算し、d1を計算する。 38)現在のd1と新しいd1との差でモータを駆動す
る。 39)Z1=Z1’+jXs1 Γ1=0、Z1=1の確認を行う。
であるから、以下に列挙する効果を奏する。 (1)耐電力性に優れた構造のためマイクロ波大電力で
使用できる。 (2)短絡面が導波管面から分岐リアクタンスとして使
用できるので、形状が小型化できる。 (3)構造が簡単で信頼性が高い。
る整合領域を示すスミスチャート(インピーダンスチャ
ート)
Claims (13)
- 【請求項1】 発信機と負荷との間に導波管伝送線路を
接続し、該伝送線路に3本の導波管分岐可変リアクタン
スを設けた自動整合装置。 - 【請求項2】 導波管分岐可変リアクタンスとして短絡
面を0〜λg/4(λgは管内波長)の範囲で可変にし
た請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項3】 導波管分岐可変リアクタンスをλg/4
(λgは管内波長)の整数倍の間隔で配置した請求項1
記載の自動整合装置。 - 【請求項4】 導波管分岐可変リアクタンスの位置より
発信機側の導波管伝送線路に方向性結合器を設けて進行
波電力と反射波電力とに結合させ、進行波電力信号をθ
3とθ4の位相の信号に分割し、反射波電力信号をθ1と
θ2の位相の信号に分割し、それらの信号によって方向
性結合器より見た負荷の反射係数の絶対値Γおよび位相
θを算出し、この反射係数の絶対値Γと位相θの信号を
用いて、可変リアクタンスを駆動し整合動作を行わせる
請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項5】θ1を約0゜、θ2を約90゜、θ3を約0
゜、θ4を約180゜にした請求項4記載の自動整合装
置。 - 【請求項6】 導波管分岐可変リアクタンスより発信機
側の導波管伝送線路に3個以上の容量結合器をλg/8
(λg:管内波長)間隔に配置し、これにより取り出し
た各信号を検波し、演算処理を行って負荷の反射係数の
絶対値Γおよび位相θを算出し、この反射係数の絶対値
Γと位相θの信号を用いて、可変リアクタンスを駆動し
整合動作を行わせる請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項7】 可変リアクタンスの駆動方法にボールね
じを使用した請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項8】 可変リアクタンスの駆動方法にパルスモ
ータを使用した請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項9】 可変リアクタンスの駆動方法にパルスモ
ータとボールねじ駆動部との結合を回転板に設けた2本
のピンにより行う請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項10】 可変リアクタンスの基準位置を導波管
面と同一面とし、この位置からパルス数に対応するステ
ップ数を選んで最大移動幅を定めた請求項1記載の自動
整合装置。 - 【請求項11】 自動整合器の入力部で計測した反射係
数の絶対値Γ、位相θにより各可変リアクタンスの値と
その間隔の電気角を計算することにより、最も負荷に近
い可変リアクタンスの位置における負荷の反射係数の絶
対値ΓL 、位相θLを算出し、この点における基準化し
た負荷インピーダンス Z1=R1+jX1 (jX1<
0)において、R1=1、またはR1<1、もしくはR1
>1、の3つの場合について判別を行い、その各々の場
合に応じた演算処理をして3本の可変リアクタンスを駆
動する請求項1記載の自動整合装置。 - 【請求項12】 発信機と負荷との間に同軸管伝送線路
を接続し、該伝送線路に3本の同軸管分岐可変リアクタ
ンスを設けた自動整合装置。 - 【請求項13】 自動整合器の入力部で計測した反射係
数の絶対値Γと位相θとにより各可変リアクタンスの値
とその間隔の電気角を計算することにより、最も負荷に
近い可変リアクタンスの位置における負荷の反射係数の
絶対値ΓL、位相θLを算出し、この点における基準化し
た負荷アドミタンス Y1=G1+jB1 (jB1<0)
において、G1=1、または、G1<1、もしくは G1
>1、の3つの場合について判別を行い、その各々の場
合に応じた演算処理をして3本の可変リアクタンスを駆
動する請求項12記載の自動整合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000061603A JP3375591B2 (ja) | 2000-03-07 | 2000-03-07 | 自動整合装置 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2001251108A true JP2001251108A (ja) | 2001-09-14 |
JP3375591B2 JP3375591B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=18581721
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003110312A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 整合器およびプラズマ処理装置 |
KR20040048005A (ko) * | 2002-12-02 | 2004-06-07 | 한국전자통신연구원 | 가변 임피던스 매칭회로 |
JP2018032974A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 古河電気工業株式会社 | 自動整合装置および自動整合方法 |
-
2000
- 2000-03-07 JP JP2000061603A patent/JP3375591B2/ja not_active Expired - Fee Related
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