JP2001239667A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】印字不良を発生させることがなく、製造工程を
簡素化することができ、インクの流れが遮断されること
がないようにする。 【解決手段】圧電体材料から成り、複数の一次加圧室が
形成された圧電体ユニットと、該圧電体ユニットの前方
に取り付けられ、前記各一次加圧室と対応させて二次加
圧室を形成し、かつ、該各二次加圧室に対応させて形成
されたオリフィス６４を備えるインク滴吐出部材とを有
する。そして、前記一次加圧室に、前記圧電体材料の変
形に伴う加圧力を前記二次加圧室に伝達する充填（て
ん）材が充填される。一次加圧室が変形させられると、
圧電体材料の変形に伴う加圧力が二次加圧室に伝達さ
れ、二次加圧室が変形させられる。電極５１ａと二次加
圧室内のインクとが分離させられているので、二次加圧
室に絶縁膜を被覆する必要がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、サーマルジェット方式のインクジ
ェットプリンタにおいては、インクジェットヘッドのイ
ンク加圧室内に配設された発熱体によって気泡を発生さ
せ、該気泡の圧力によってオリフィスからインク滴を吐
出させ、該インク滴によって印刷用紙上にドットを形成
し、印刷を行うようになっている。

【０００３】ところが、前記発熱体の発熱によってイン
クが劣化してしまうので、インクを最適な状態で使用す
ることができないだけでなく、前記気泡の圧力が不安定
であるので、インクがオリフィスに詰まったり、インク
流路内に気泡が進入したりして、印字品位が低下してし
まう。また、インクジェットヘッドの構成部品が熱応力
を受けてクラックを発生させてしまう。

【０００４】そこで、圧電剪（せん）断モード方式のイ
ンクジェットプリンタが提供されている。該インクジェ
ットプリンタにおいては、インクジェットヘッドが圧電
体から成るインク加圧室ブロックを備え、該インク加圧
室ブロックに複数の溝が形成され、前記インク加圧室ブ
ロックの一端がオリフィスプレートによって覆われて、
各溝がインク加圧室になる。そして、前記各溝の両側に
形成された溝壁を剪断モードで変形させることによって
インクを加圧すると、前記オリフィスプレートに形成さ
れたオリフィスからインク滴が吐出され、印刷が行われ
る。

【０００５】この場合、インクは加熱されないので劣化
することはない。また、電圧を変化させることによって
圧電体の変形量を変化させることができるので、インク
加圧室内の圧力を容易に制御することができる。したが
って、外乱に強いだけでなく、インク滴の吐出量を制御
して階調印字を容易に行うことができる。

【０００６】図２は従来のインクジェットヘッドの斜視
図、図３は従来のインクジェットヘッドの透視図であ
る。

【０００７】図において、１１は圧電体ベース、１２は
中間圧電体、１３は天板、１５はオリフィスプレート、
１４は前記圧電体ベース１１、中間圧電体１２及び天板
１３によって包囲されたインク加圧室、１８は各インク
加圧室１４に対応させて前記オリフィスプレート１５に
形成されたオリフィスである。前記圧電体ベース１１及
び中間圧電体１２に電圧を印加することによって、イン
ク加圧室１４を変形させると、所定のオリフィス１８か
らインク滴が吐出される。

【０００８】また、２３は図示されない共通インク室を
形成するマニホルド、２３ａは該マニホルド２３に形成
され、図示されないインクタンクからインクを吸入する
ためのインク吸入孔、２７は封止材である。

【０００９】図４は従来のインクジェットヘッドの製造
方法における第１工程を示す平面図、図５は従来のイン
クジェットヘッドの製造方法における第１工程を示す正
面図、図６は従来のインクジェットヘッドの製造方法に
おける第２工程を示す平面図、図７は従来のインクジェ
ットヘッドの製造方法における第２工程を示す正面図、
図８は従来のインクジェットヘッドの製造方法における
第３工程を示す平面図、図９は従来のインクジェットヘ
ッドの製造方法における第３工程を示す正面図、図１０
は従来のインクジェットヘッドの製造方法における第４
工程を示す平面図、図１１は従来のインクジェットヘッ
ドの製造方法における第４工程を示す正面図、図１２は
従来のインクジェットヘッドの製造方法における第５工
程を示す平面図、図１３は従来のインクジェットヘッド
の製造方法における第５工程を示す正面図、図１４は従
来のインクジェットヘッドの製造方法における第６工程
を示す平面図、図１５は従来のインクジェットヘッドの
製造方法における第６工程を示す正面図、図１６は従来
のインクジェットヘッドの製造方法における第７工程を
示す正面図、図１７は従来のインクジェットヘッドの製
造方法における第８工程を示す平面図、図１８は従来の
インクジェットヘッドの製造方法における第８工程を示
す正面図である。

【００１０】まず、図４及び５に示されるように、表面
にあらかじめ所定のパターンによって電極Ｐ１が形成さ
れた圧電体ベース１１（図２）用の圧電体材料（ＰＺＴ
材）３１の上に、図６及び７に示されるように、導電性
シート接着剤３２を仮圧着する。次に、図８及び９に示
されるように、あらかじめ所定のパターンによって電極
Ｐ２が形成され、圧電体ベース１１とは逆の極性を有す
る中間圧電体１２用の圧電体材料３３と前記圧電体材料
３１とを、導電性シート接着剤３２を挟んで、かつ、互
いに電極Ｐ１、Ｐ２を対向させ、図１０及び１１に示さ
れるように、接合し加圧する。その結果、ＰＺＴ複合材
３４を形成することができる。

【００１１】続いて、図１２及び１３に示されるよう
に、ＰＺＴ複合材３４に、ダイシングソー等によって各
電極Ｐ１、Ｐ２間に複数の溝３５を形成する。次に、図
１４及び１５に示されるように、前記ＰＺＴ複合材３４
に、導電性シート接着剤３６を介して天板１３用の圧電
体材料３７によって蓋（ふた）をすると、前記溝３５に
よってインク加圧室１４が形成される。

【００１２】続いて、図１６に示されるように、前記各
インク加圧室１４の内周面に絶縁膜（パリレン）３８が
被覆され、図１７及び１８に示されるように、オリフィ
スプレート１５、マニホルド２３及び封止材２７が取り
付けられる。なお、１８はオリフィスである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のインクジェットヘッドにおいては、前記絶縁膜３８
の膜厚が小さかったり、絶縁性能が劣化したりすると、
インクが水溶性であるので、前記各電極Ｐ１、Ｐ２とイ
ンクとの間でリーク電流が発生し、該リーク電流によっ
てインクが電気分解され、気泡を発生させてしまう。し
たがって、インク加圧室１４内のインクを十分に加圧す
ることができなくなるので、インク滴を確実に吐出させ
ることができず、印字不良を発生させてしまう。

【００１４】また、前記インクの流れを円滑にするため
に、前記インク加圧室１４の内周面に親水化処理を施す
必要があるので、インクジェットヘッドの製造工程が複
雑になってしまう。

【００１５】そして、インクジェットヘッドは、通常、
オリフィスプレート１５を下に向けて図示されないキャ
リッジに搭載されるので、オリフィス１８を介してイン
ク加圧室１４に進入した空気が、インク加圧室１４内を
上昇し、前記共通インク室に溜（た）まると、図示され
ないクリーニング機構のバキューム装置を使用しても、
空気を抜き取ることができず、インクの流れが遮断され
てしまう。

【００１６】本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、印字不良を発生させることがな
く、製造工程を簡素化することができ、インクの流れが
遮断されることがないインクジェットヘッドを提供する
ことを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】そのために、本発明のイ
ンクジェットヘッドにおいては、圧電体材料から成り、
複数の一次加圧室が形成された圧電体ユニットと、該圧
電体ユニットの前方に取り付けられ、前記各一次加圧室
と対応させて二次加圧室を形成し、かつ、該各二次加圧
室に対応させて形成されたオリフィスを備えるインク滴
吐出部材とを有する。

【００１８】そして、前記一次加圧室に、前記圧電体材
料の変形に伴う加圧力を前記二次加圧室に伝達する充填
（てん）材が充填される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２０】図１は本発明の第１の実施の形態における
インクジェットヘッドの断面図、図１９は本発明の第１
の実施の形態におけるインクジェットヘッドの部分正面
図、図２０は本発明の第１の実施の形態におけるインク
ジェットヘッドの部分斜視図である。

【００２１】図において、５１は圧電体材料（ＰＺＴ
材）から成る圧電体ベース、５１ａは該圧電体ベース５
１上に所定のパターンによって形成された電極、５２は
圧電体材料から成る中間圧電体、５３は圧電体材料から
成る天板、５４は前記電極５１ａと接続された基板、５
５は前記圧電体ベース５１、中間圧電体５２及び天板５
３を包囲するヘッドカバー、５６は圧電体ベース５１、
中間圧電体５２及び天板５３の前端（図１における左
端）を覆う圧力伝達材としてのフィルム膜、５８は前記
圧電体ベース５１、中間圧電体５２及び天板５３の後端
（図１における右端）を覆う封止材である。前記圧電体
ベース５１及び中間圧電体５２には複数の溝が形成さ
れ、該溝を天板５３によって覆うとともに、溝の前端を
フィルム膜５６によって、溝の後端を封止材５８によっ
て覆うことにより、複数の一次加圧室としてのヘッド加
圧室５７が形成され、該ヘッド加圧室５７に充填材とし
ての電気絶縁性の高いシリコーンオイル等の図示されな
い流体が充填される。なお、圧電体ベース５１、中間圧
電体５２及び天板５３によって圧電体ユニットが構成さ
れる。

【００２２】また、６１は該圧電体ユニット及びフィル
ム膜５６より前方（図１における左方）においてヘッド
カバー５５の前端を覆うインク滴吐出部材としてのオリ
フィスユニットであり、該オリフィスユニット６１の下
方のプレート部６３には、各ヘッド加圧室５７に対応さ
せて凹部が形成され、オリフィスユニット６１を前記ヘ
ッドカバー５５に取り付けることによって、前記各凹部
は、各ヘッド加圧室５７に対応する独立の二次加圧室と
してのインク加圧室６２になる。

【００２３】そして、前記プレート部６３には、各イン
ク加圧室６２に対応させてオリフィス６４が形成され
る。また、６６は共通インク室、６７は該共通インク室
６６から分岐させて形成された分岐流路であり、前記各
インク加圧室６２は、前記分岐流路６７及び共通インク
室６６を介してインク吸入孔６８と接続される。該イン
ク吸入孔６８の上方には、インクタンク７１が着脱自在
に配設される。したがって、インクタンク７１内のイン
クは、インク吸入孔６８及び共通インク室６６を介して
各分岐流路６７に進入し、各分岐流路６７を介して各イ
ンク加圧室６２に供給される。

【００２４】次に、前記構成のインクジェットヘッドの
動作について説明する。

【００２５】図２１は本発明の第１の実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの動作を示す第１の図、図２２
は本発明の第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの動作を示す第２の図、図２３は本発明の第１の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの動作を示す第
３の図、図２４は本発明の第１の実施の形態におけるイ
ンクジェットヘッドの動作を示す第４の図である。

【００２６】図において、５１は圧電体ベース、５２は
中間圧電体、５３は天板、５７はヘッド加圧室、６１は
オリフィスユニット、６４はオリフィスである。また、
７２、７３は前記圧電体ベース５１及び中間圧電体５２
によって形成された壁である。

【００２７】まず、一方の壁７２に正の極性（＋）の電
圧を、他方の壁７３に負の極性（−）の電圧を印加する
と、圧電体ベース５１及び中間圧電体５２を形成する圧
電体材料が変形し、図２１に示されるように、ヘッド加
圧室５７が拡大され、図２２に示されるように、フィル
ム膜５６が後方（図２２及び２４における右方）に湾曲
させられ、インク加圧室６２が拡大される。このとき、
インクタンク７１（図２０）内のインクはインク吸入孔
６８及び共通インク室６６（図１）を介して各分岐流路
６７に進入し、各分岐流路６７を介して各インク加圧室
６２に供給される。

【００２８】次に、一方の壁７２に負の極性（−）の電
圧を、他方の壁７３に正の極性（＋）の電圧を印加する
と、圧電体ベース５１及び中間圧電体５２を形成する圧
電体材料が変形し、図２３に示されるように、ヘッド加
圧室５７が縮小され、図２４に示されるように、フィル
ム膜５６が前方（図２２及び２４における左方）に湾曲
させられ、インク加圧室６２が縮小される。このとき、
前記圧電体材料の変形に伴う加圧力が前記流体を介して
インク加圧室６２に伝達され、オリフィス６４からイン
ク滴７４が吐出される。

【００２９】前記構成のインクジェットヘッドにおいて
は、ヘッド加圧室５７に流体が充填され、ヘッド加圧室
５７とインク加圧室６２との間にフィルム膜５６が配設
され、電極５１ａとインク加圧室６２内のインクとが前
記流体及びフィルム膜５６によって分離させられている
ので、インク加圧室６２に絶縁膜を被覆する必要がな
い。また、電極５１ａとインクとの間でリーク電流が発
生することがないので、該リーク電流によってインクが
電気分解されることがなくなり、気泡を発生させること
がなくなる。

【００３０】したがって、インク加圧室６２内のインク
を十分に加圧することができるので、インク滴７４を確
実に吐出させることができ、印字不良を発生させるのを
防止することができる。

【００３１】また、前記インク加圧室６２の内周面に親
水化処理を施す必要がないので、インクジェットヘッド
の製造工程を簡素化することができる。

【００３２】そして、インクジェットヘッドは、通常、
オリフィスユニット６１を下に向けて図示されないキャ
リッジに搭載されるので、オリフィス６４を介してイン
ク加圧室６２に進入した空気がインク加圧室６２内を上
昇するが、前記空気は、インク加圧室６２内に溜まり、
共通インク室６６には溜まらない。したがって、図示さ
れないクリーニング機構のバキューム装置を使用して空
気を抜き取ることができるので、インクの流れが遮断さ
れることがない。

【００３３】また、ヘッド加圧室５７及びインク加圧室
６２は、固有振動数に対応させて効率的に変形させる必
要があるが、加圧される部分がヘッド加圧室５７とイン
ク加圧室６２とに分けられるので、ヘッド加圧室５７及
びインク加圧室６２を最適な形状にすることができ、設
計の自由度を高くすることができる。

【００３４】ところで、前記第１の実施の形態において
は、ヘッド加圧室５７内に流体を充填する必要があるの
で、流体がヘッド加圧室５７から漏れるのを防止する必
要があり、その分インクジェットヘッドのコストが高く
なってしまう。

【００３５】次に、ヘッド加圧室５７内に流体を充填す
る必要がないようにした本発明の第２の実施の形態につ
いて説明する。なお、第１の実施の形態と同じ構造を有
するものについては、同じ符号を付与することによって
その説明を省略する。

【００３６】図２５は本発明の第２の実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの断面図である。

【００３７】この場合、圧電体ベース５１及び中間圧電
体５２には複数の溝が形成され、該溝を天板５３によっ
て覆うとともに、後端（図における右端）を封止材５８
によって覆うことにより、複数の一次加圧室としてのヘ
ッド加圧室５７が形成され、該ヘッド加圧室５７に電気
絶縁性の高いシリコーンゴム等の弾性体７６が充填され
る。該弾性体７６は、前記圧電体ベース５１及び中間圧
電体５２を形成する圧電体材料が変形するのに伴って変
形させられ、変形に伴ってインク加圧室６２内のインク
を十分に加圧することができるだけの硬度を有する。

【００３８】次に、前記構成のインクジェットヘッドの
動作について説明する。

【００３９】図２６は本発明の第２の実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの動作を示す第１の図、図２７
は本発明の第２の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの動作を示す第２の図、図２８は本発明の第２の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの動作を示す第
３の図、図２９は本発明の第２の実施の形態におけるイ
ンクジェットヘッドの動作を示す第４の図である。

【００４０】この場合、一方の壁７２に正の極性（＋）
の電圧を、他方の壁７３に負の極性（−）の電圧を印加
すると、図２６に示されるように、ヘッド加圧室５７が
拡大され、図２７に示されるように、弾性体７６の前端
面（図２７及び２９における左端面）が後方（図２７及
び２９における右方）に湾曲させられ、二次加圧室とし
てのインク加圧室６２が拡大される。このとき、インク
タンク７１（図２０）内のインクはインク吸入孔６８及
び共通インク室６６（図２５）を介して各分岐流路６７
に進入し、各分岐流路６７を介して各インク加圧室６２
に供給される。

【００４１】次に、一方の壁７２に負の極性（−）の電
圧を、他方の壁７３に正の極性（＋）の電圧を印加する
と、図２８に示されるように、ヘッド加圧室５７が縮小
され、図２９に示されるように、弾性体７６の前端面が
前方（図２７及び２９における左方）に湾曲させられ、
インク加圧室６２が縮小される。このとき、オリフィス
６４からインク滴７４が吐出される。

【００４２】このように、ヘッド加圧室５７に弾性体７
６が充填されていて、インク加圧室６２内のインクと電
極５１ａとが弾性体７６によって分離させられているの
で、インク加圧室６２に絶縁膜を被覆する必要がない。
そして、電極５１ａとインクとの間でリーク電流が発生
することがないので、該リーク電流によってインクが電
気分解されることがなくなり、気泡を発生させることが
なくなる。

【００４３】また、ヘッド加圧室５７内に流体を充填す
る必要がないので、流体がヘッド加圧室５７から漏れる
ことがない。したがって、その分インクジェットヘッド
のコストを低くすることができる。

【００４４】次に、本発明の第３の実施の形態について
説明する。なお、第１の実施の形態と同じ構造を有する
ものについては、同じ符号を付与することによってその
説明を省略する。

【００４５】図３０は本発明の第３の実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの断面図、図３１は本発明の第
３の実施の形態におけるインクジェットヘッドの部分正
面図である。

【００４６】この場合、一次加圧室としてのヘッド加圧
室５７に電気絶縁性の高いシリコーンゴム等の弾性体７
７が充填され、該弾性体７７の前端面（図３０における
左端面）に環状の突起７８が形成され、該突起７８によ
って空気を保持する領域が形成される。

【００４７】次に、前記構成のインクジェットヘッドの
動作について説明する。

【００４８】図３２は本発明の第３の実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの動作を示す第１の図、図３３
は本発明の第３の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの動作を示す第２の図、図３４は本発明の第３の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの動作を示す第
３の図である。

【００４９】この場合、オリフィス６４を介して二次加
圧室としてのインク加圧室６２に進入した空気７９がイ
ンク加圧室６２内を上昇するが、前記空気７９は、図３
２に示されるように、突起７８によって包囲された領域
に溜まって保持され、共通インク室６６（図３０）には
溜まらない。したがって、図３３及び３４に示されるよ
うに、クリーニング機構のバキューム装置８１を使用し
て空気７９を抜き取ることができるので、インクの流れ
が遮断されることがない。

【００５０】前記突起７８によって包囲される領域の容
積は、オリフィス６４を介してインク加圧室６２に進入
する空気の量の総和より十分に大きく設定される。した
がって、前記空気７９は前記領域に溜まったまま保持さ
れる。また、空気７９はオリフィス６４の近傍に溜まる
ので、前記バキューム装置８１を使用して、空気７９を
インク加圧室６２外に容易に排出することができる。

【００５１】なお、弾性体７７としてシリコーンゴムを
使用する場合、弾性体７７を成形型によって容易に形成
することができる。したがって、突起７８も成形型によ
って容易に形成することができる。

【００５２】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させ
ることが可能であり、それらを本発明の範囲から排除す
るものではない。

【００５３】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、インクジェットヘッドにおいては、圧電体材料か
ら成り、複数の一次加圧室が形成された圧電体ユニット
と、該圧電体ユニットの前方に取り付けられ、前記各一
次加圧室と対応させて二次加圧室を形成し、かつ、該各
二次加圧室に対応させて形成されたオリフィスを備える
インク滴吐出部材とを有する。

【００５４】そして、前記一次加圧室に、前記圧電体材
料の変形に伴う加圧力を前記二次加圧室に伝達する充填
材が充填される。

【００５５】この場合、圧電体ユニットの圧電体材料が
変形させられると、一次加圧室が変形させられ、圧電体
材料の変形に伴う加圧力が二次加圧室に伝達され、二次
加圧室が変形させられて、インク滴が吐出される。

【００５６】したがって、電極と二次加圧室内のインク
とが分離させられているので、二次加圧室に絶縁膜を被
覆する必要がない。また、電極とインクとの間でリーク
電流が発生することがないので、該リーク電流によって
インクが電気分解されることがなくなり、気泡を発生さ
せることがなくなる。

【００５７】その結果、二次加圧室内のインクを十分に
加圧することができるので、インク滴を確実に吐出させ
ることができ、印字不良を発生させるのを防止すること
ができる。

【００５８】また、前記二次加圧室の内周面に親水化処
理を施す必要がないので、インクジェットヘッドの製造
工程を簡素化することができる。

【００５９】そして、インクジェットヘッドは、通常、
インク滴吐出部材を下に向けてキャリッジに搭載される
ので、オリフィスを介して二次加圧室に進入した空気が
二次加圧室内を上昇するが、前記空気は、二次加圧室内
に溜まり、共通インク室には溜まらない。したがって、
クリーニング機構のバキューム装置を使用して空気を抜
き取ることができるので、インクの流れが遮断されるこ
とがない。

【００６０】また、一次加圧室及び二次加圧室は、固有
振動数に対応させて効率的に変形させる必要があるが、
加圧される部分が一次加圧室と二次加圧室とに分けられ
るので、一次加圧室及び二次加圧室を最適な形状にする
ことができ、設計の自由度を高くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態におけるインクジェ
ットヘッドの断面図である。

【図２】従来のインクジェットヘッドの斜視図である。

【図３】従来のインクジェットヘッドの透視図である。

【図４】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第１工程を示す平面図である。

【図５】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第１工程を示す正面図である。

【図６】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第２工程を示す平面図である。

【図７】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第２工程を示す正面図である。

【図８】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第３工程を示す平面図である。

【図９】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る第３工程を示す正面図である。

【図１０】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第４工程を示す平面図である。

【図１１】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第４工程を示す正面図である。

【図１２】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第５工程を示す平面図である。

【図１３】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第５工程を示す正面図である。

【図１４】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第６工程を示す平面図である。

【図１５】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第６工程を示す正面図である。

【図１６】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第７工程を示す正面図である。

【図１７】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第８工程を示す平面図である。

【図１８】従来のインクジェットヘッドの製造方法にお
ける第８工程を示す正面図である。

【図１９】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの部分正面図である。

【図２０】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの部分斜視図である。

【図２１】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第１の図である。

【図２２】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第２の図である。

【図２３】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第３の図である。

【図２４】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第４の図である。

【図２５】本発明の第２の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの断面図である。

【図２６】本発明の第２の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第１の図である。

【図２７】本発明の第２の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第２の図である。

【図２８】本発明の第２の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第３の図である。

【図２９】本発明の第２の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第４の図である。

【図３０】本発明の第３の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの断面図である。

【図３１】本発明の第３の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの部分正面図である。

【図３２】本発明の第３の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第１の図である。

【図３３】本発明の第３の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第２の図である。

【図３４】本発明の第３の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの動作を示す第３の図である。

【符号の説明】

５１ 圧電体ベース ５２ 中間圧電体 ５３ 天板 ５６ フィルム膜 ５７ ヘッド加圧室 ６１ オリフィスユニット ６２ インク加圧室 ６４ オリフィス ７６、７７ 弾性体 ７９ 空気

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）圧電体材料から成り、複数の一次
   加圧室が形成された圧電体ユニットと、（ｂ）該圧電体
   ユニットの前方に取り付けられ、前記各一次加圧室と対
   応させて二次加圧室を形成し、かつ、該各二次加圧室に
   対応させて形成されたオリフィスを備えるインク滴吐出
   部材とを有するとともに、（ｃ）前記一次加圧室に、前
   記圧電体材料の変形に伴う加圧力を前記二次加圧室に伝
   達する充填材が充填されることを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
2. 【請求項２】 前記充填材は電気的絶縁性が高い請求項
   １に記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 （ａ）前記充填材は流体であり、（ｂ）
   前記一次加圧室と二次加圧室との間にフィルム膜が配設
   される請求項１に記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記充填材は弾性体である請求項１又は
   ２に記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 前記弾性体の前端面に空気を保持する領
   域が形成される請求項４に記載のインクジェットヘッ
   ド。