JP2001236670A - 光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置 - Google Patents

光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置

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彰生 三島
Toru Katakura
亨 片倉
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化された場合であっても、記録媒体に対
する信号の記録及び／又は再生を適切に行うことがで
き、且つ製造が容易な構造を実現する。 【解決手段】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
再生時に記録媒体上を浮上走行するスライダ部材と、ス
ライダ部材に接合された光学レンズと、光学レンズが接
合されたスライダ部材の記録媒体と対向する面側に設け
られた磁界発生手段とを備え、スライダ部材には、記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
されており、この端子溝の内部に導電性材料が充填され
ることにより、磁気発生手段と電気的に接続されるとと
もに、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外
部に臨む端子が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の記
録媒体に対する信号の記録及び／又は再生を行う光学ヘ
ッドに用いられる光学ヘッド用スライダ、及び、その製
造方法、並びに、そのような光学ヘッド用スライダを用
いた光学ヘッドにより記録媒体に対する信号の記録及び
／又は再生を行う記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光磁気ディスクや相変化型光
ディスク等のように、信号記録面に光を照射することに
より、信号の記録再生が行われる光ディスクが普及して
いる。そして、これら光ディスクにおいては、できるだ
け多くの情報を記録可能とすべく、記録密度の高密度化
が盛んに行われている。
【０００３】また、このような光ディスクの高記録密度
化に伴って、光ディスクに対して信号の記録再生を行う
光学ピックアップに対しても、光ディスクの信号記録面
に照射される光のスポット径を小さくすることにより、
記録密度を向上させる試みが行われている。
【０００４】特に、近年では、ハードディスク装置等に
おける浮上型ヘッドスライダの技術を応用し、光学レン
ズをスライダ部材に搭載して光学ヘッド用スライダを構
成し、光ディスクの信号記録面上を所定の浮上量で浮上
させながら、このスライダ部材に搭載された光学レンズ
により集光された光を光ディスクの信号記録面に照射す
ることにより、光ディスクに対する信号の記録再生を行
うことが提案されている。
【０００５】光ディスク装置において、このような光学
ヘッド用スライダを用いた場合には、光学レンズと光デ
ィスクの信号記録面との距離を、光学ヘッドからの光を
光ディスクの信号記録面に照射させる場合に比べて、大
幅に短くすることができる。これにより、高ＮＡレンズ
を使用することが可能となり、その結果、光ディスクの
信号記録面に照射される光のスポット径を小さくするこ
とが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した光
ディスク装置において、光磁気ディスクを用いる場合に
は、記録時に、この光磁気ディスクに磁界を印加させる
ための磁界発生手段を設ける必要がある。この磁界発生
手段は、上述した光学ヘッド用スライダとは別体に設け
られていてもよいが、光ディスク装置の小型化や構成の
簡素化を図るためには、この光学ヘッド用スライダと一
体に設けられることが望ましい。この場合、磁界発生手
段は、例えば、スライダ部材の光磁気ディスクと対向す
る面側に、レーザービームの焦点位置の周りを巻回する
ように埋設された薄膜コイル等より構成される。
【０００７】ここで、このような光学ヘッド用スライダ
の一例を図１３に示す。この図１３に示す光学ヘッド用
スライダ１００は、光磁気ディスク１０１に対する信号
の記録再生時に、この光磁気ディスク１０１上を浮上走
行するスライダ部材１０２と、このスライダ部材１０２
に接合された対物レンズ１０３とを備えている。また、
スライダ部材１０２には、光ファイバ１０４と偏光ミラ
ー１０５とが組み込まれており、光ファイバ１０４によ
り導かれたレーザービームＬが偏光ミラー１０５を介し
て対物レンズ１０３に入射され、この対物レンズ１０３
により集光されたレーザービームＬが光磁気ディスク１
０１の信号記録層１０１ａに照射されるようになされて
いる。
【０００８】そして、このスライダ部材１０２には、記
録時に、光磁気ディスク１０１に磁界を印加させるため
の薄膜コイル１０６と、この薄膜コイル１０６と電気的
に接続される端子１０７とが設けられている。薄膜コイ
ル１０６は、スライダ部材１０２の光磁気ディスク１０
１と対向する面に、対物レンズ１０３の周りを巻回する
ように薄膜形成されている。一方、端子１０７は、スラ
イダ部材１０２を薄膜コイル１０６に当接する位置まで
厚み方向に貫いて形成された孔部１０８の内部に、導電
性材料が充填されることにより形成されている。
【０００９】また、このスライダ部材１０２は、光ディ
スク装置内に設けられた支持アーム１０９の先端部に取
り付けられ、この支持アーム１０９が光磁気ディスク４
の径方向に沿って回動されることにより、回転操作され
る光磁気ディスク１０１上を走査することになる。
【００１０】以上のように構成された光学ヘッド用スラ
イダ１００は、光磁気ディスク１０１の回転により生じ
る空気流を受けて、この光磁気ディスク１０１上を所定
の浮上量で浮上しながら、スライダ部材１０２に搭載さ
れた対物レンズ１０３により集光されたレーザービーム
Ｌを光磁気ディスク１０１の信号記録層１０１ａに照射
することにより、光磁気ディスク１０１に対する信号の
記録再生を行う。また、記録時においては、薄膜コイル
１０６が所定の強度の磁界を発生して、この磁界を光磁
気ディスク１０１の信号記録層１０１ａのレーザービー
ムＬが照射された箇所に印加する。
【００１１】ところで、この光学ヘッド用スライダ１０
０には、上述したように、スライダ部材１０２を薄膜コ
イル１０６に当接する位置まで厚み方向に貫いて孔部１
０８を形成し、この孔部１０８の内部に導電性材料を充
填することにより、薄膜コイル１０６と電気的に接続さ
れる端子１０７が形成されている。
【００１２】しかしながら、スライダ部材１０２には、
光ファイバ１０４や偏光ミラー１０５等の光学素子が組
み込まれており、光学ヘッド用スライダ１００の小型化
が進むにつれて、このスライダ部材１０２に上述したよ
うな端子１０７を埋設するための孔部１０８を形成する
ことが非常に困難となってきている。
【００１３】また、この孔部１０８を形成する際は、ス
ライダ部材１０２にダイヤモンドドリルや超音波加工機
等を用いた孔開け加工を行うことになる。しかしなが
ら、この場合、非常に微細な加工が要求されるために、
形成される孔部１０８の一部にチッピングと呼ばれる欠
け等が発生してしまったり、またスライダ部材１０２の
所定の位置に孔部１０８を精度良く形成することができ
ないことがあった。
【００１４】そこで、本発明はこのような従来の事情に
鑑みて提案されたものであり、小型化された場合であっ
ても、記録媒体に対する信号の記録及び／又は再生を適
切に行うことができ、且つ製造が容易な構造とされた信
頼性の高い光学ヘッド用スライダを提供することを目的
とする。また、そのような光学ヘッド用スライダを高精
度且つ簡便に作製することを可能とした光学ヘッド用ス
ライダの製造方法を提供することを目的とする。また、
そのような光学ヘッド用スライダを用いた光学ヘッドを
備える記録再生装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明に係る光学ヘッド用スライダは、記録媒体に対する信
号の記録及び／又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備え、スラ
イダ部材には、記録媒体と対向する面及び側面にて開放
される端子溝が形成されており、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁気発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成されていること
を特徴とする。
【００１６】この光学ヘッド用スライダでは、磁界発生
手段と電気的に接続される端子が、スライダ部材に記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されること
により、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の
外部に臨むように形成されていることから、製造が容易
な構造となり、且つ小型化を実現することができる。
【００１７】また、この目的を達成する本発明に係る光
学ヘッド用スライダの製造方法は、記録媒体に対する信
号の記録及び／又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備える光学
ヘッド用スライダの製造方法であって、スライダ部材と
なる基板上に、研磨材を圧縮ガス中に分散させた噴流を
所定の角度で噴射することにより、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝を形成する第１の工程と、基板上に形成
された溝の内部に、磁気発生手段と電気的に接続される
端子となる導電性材料を充填する第２の工程と、基板を
溝の端部付近において切断し、個々のスライダ部材に分
割する第３の工程とを有することを特徴とする。
【００１８】この光学ヘッド用スライダの製造方法によ
れば、スライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面に
て開放される端子溝が形成され、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁界発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成された光学ヘッ
ド用スライダが一括して複数作製されることになる。す
なわち、以上のような工程を経て光学ヘッド用スライダ
を製造するようにすれば、小型化された光学ヘッド用ス
ライダを精度良く且つ簡便な方法で製造することができ
る。また、この製造方法では、品質の安定した光学ヘッ
ド用スライダを一括して大量に製造することができるの
で、製造コストの低減を図ることができる。
【００１９】また、この目的を達成する本発明に係る記
録再生装置は、記録媒体に対する信号の記録及び／又は
再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、
光学ヘッドは、回転操作される記録媒体上を走査するヘ
ッドスライダと、このヘッドスライダを支持する支持ア
ームとを備える。そして、ヘッドスライダは、記録媒体
に対する信号の記録及び／又は再生時に記録媒体上を浮
上走行するスライダ部材と、スライダ部材に接合された
光学レンズと、光学レンズが接合されたスライダ部材の
記録媒体と対向する面側に設けられた磁界発生手段とを
有し、スライダ部材には、記録媒体と対向する面及び側
面にて開放される端子溝が形成されており、この端子溝
の内部に導電性材料が充填されることにより、磁気発生
手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライダ部
材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成され
ていることを特徴とする。
【００２０】この記録再生装置では、スライダ部材に記
録媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形
成され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されるこ
とにより、磁界発生手段と電気的に接続されるととも
に、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外部
に臨む端子が形成されたヘッドスライダを備えることか
ら、小型化された場合であっても、記録媒体に対する信
号の記録及び／又は再生を適切に行うことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】本発明を適用した光ディスク装置の一例を
図１に示す。この図１に示す光ディスク装置１は、パー
ソナルコンピュータ等における記憶装置として使用され
るハードディスク装置の技術を応用したものであり、筐
体２の内部に設けられたスピンドルモータ３には、信号
の記録再生が行われる光磁気ディスク４が取り付けら
れ、クランパ５により固定されている。この光磁気ディ
スク４は、制御回路により駆動制御されるスピンドルモ
ータ３の回転に伴い、所定の回転数で回転操作されるこ
とになる。
【００２３】また、筐体２の内部には、ハードディスク
装置で用いられる磁気ヘッド装置の代わりに、光学ヘッ
ド装置６が設けられている。この光学ヘッド装置６は、
スピンドルモータ３により回転操作される光磁気ディス
ク４に対して信号の記録再生を行うものであり、ボイス
コイルモータ７の駆動により回動操作されるアーム８
と、このアーム８と一体に形成されたヘッド支持バネ９
と、このヘッド支持バネ９の先端部に取り付けられたヘ
ッドスライダ１０とを備えている。
【００２４】ボイスコイルモータ７は、アーム８に取り
付けられたボイスコイルと、このボイスコイルを挟持す
るように配設された一対のマグネットとにより構成さ
れ、ボイスコイルに外部から電流が供給されることによ
り、このボイスコイルに流れる電流とマグネットの磁界
とによって駆動力が生じ、アーム８及びヘッド支持バネ
９を、支軸８ａを回動中心として、図１中矢印Ｘで示す
方向に回動操作する。
【００２５】この光学ヘッド装置６では、アーム８及び
ヘッド支持バネ９が、ボイスコイルモータ７の駆動によ
って回動操作されることにより、ヘッド支持バネ９の先
端部に取り付けられたヘッドスライダ１０が、スピンド
ルモータ３の駆動により回転操作される光磁気ディスク
４の径方向に沿って移動操作されることになる。そし
て、ヘッド支持バネ９の先端部に取り付けられたヘッド
スライダ１０は、光磁気ディスク４の回転により生じる
空気流を受けて、光磁気ディスク４上を所定の浮上量で
浮上しながら、光磁気ディスク４上を走査することにな
る。
【００２６】この光学ヘッド装置６が備えるヘッドスラ
イダ１０の一例を図２に示す。
【００２７】このヘッドスライダ１０は、本発明を適用
した光学ヘッド用スライダであり、光磁気ディスク４に
対する信号の記録再生時に、この光磁気ディスク４の信
号記録面上を浮上走行するスライダ部材１１と、このス
ライダ部材１１に接合された対物レンズ１２とを備えて
いる。
【００２８】スライダ部材１１は、例えばアルチック
（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）等が略矩形状に成形されてなり、
ヘッド支持バネ９の先端部に光磁気ディスク４と相対向
するように支持されている。また、スライダ部材１１に
は、光磁気ディスク４と対向する面１１ａに、光磁気デ
ィスク４の回転に伴って発生する空気流により浮揚力を
発生させるための空気潤滑面が形成されている。なお、
この空気潤滑面の形状は、特に限定されるものではな
く、任意の形状とすることができる。
【００２９】このスライダ部材１１には、所定の箇所に
その厚み方向に貫通する貫通孔１３が設けられている。
この貫通孔１３は、その孔径が対物レンズ１２の外径と
略々等しい大きさとなるように形成されている。
【００３０】対物レンズ１２は、光磁気ディスク４に対
する信号の記録再生時に、光磁気ディスク４の信号記録
面上に形成された信号記録層４ａに照射するレーザービ
ームＬを集光するためのものであり、例えば光学ガラス
や光学プラスチック等のレーザービームＬの波長域にお
いて光透過率が十分に高く、且つ屈折率が高い材料が略
半球状に成形されてなる。そして、この対物レンズ１２
は、その側面部の一部を接着面として、スライダ部材１
１に設けられた貫通孔１３の周壁に接着されて、スライ
ダ部材１１と接合一体化されている。
【００３１】また、スライダ部材１１には、光学ヘッド
装置６内に設けられた図示しない半導体レーザから出射
されたレーザービームＬを対物レンズ１２へと導くため
の光ファイバ１４と偏光ミラー１５とが組み込まれてい
る。光ファイバ１４は、その一端がスライダ部材１１の
側面部から貫通孔１３の内部に臨むように設けられてい
る。偏光ミラー１５は、スライダ部材１１の貫通孔１３
の内部に、光ファイバ１４と対物レンズ１２との間の光
路中に位置して設けられている。
【００３２】したがって、このヘッドスライダ１０で
は、光ファイバ１４により導かれたレーザービームＬが
偏光ミラー１５を介して対物レンズ１２に入射され、こ
の対物レンズ１２により集光されたレーザービームＬが
光磁気ディスク４の信号記録層４ａに照射されるように
なされている。
【００３３】また、スライダ部材１１には、図２及び図
３に示すように、記録時に、光磁気ディスク４に磁界を
印加させるための薄膜コイル１６と、この薄膜コイル１
６と電気的に接続された外部接続用端子１７とが設けら
れている。なお、図３において、（ａ）は、スライダ部
材１１の光磁気ディスク４と対向する面１１ａ側から見
た要部平面図であり、（ｂ）は、スライダ部材１１の光
磁気ディスク４の回転により発生する空気流の空気流出
側の端部から見た要部側面図である。
【００３４】薄膜コイル１６は、スライダ部材１１の光
磁気ディスク４と対向する面１１ａに、対物レンズ１２
の周りを巻回するように薄膜形成されている。この薄膜
コイル１６は、その内周側端部が引出導線１８を介して
外周側へと導出され、この薄膜コイル１６の外周側端部
とともに、スライダ部材１１の空気流出側へと導出され
る導出部１６ａを有している。そして、この導出部１６
ａが外部接続用端子１７と接続されている。
【００３５】外部接続用端子１７は、薄膜コイル１６と
導出部１６ａを介して電気的に接続されており、その端
部１７ａがスライダ部材１１の側面部１１ｂからスライ
ダ部材１１の外部に臨むように形成されている。すなわ
ち、この外部接続用端子１７は、スライダ部材１１に光
磁気ディスク４と対向する面１１ａ及び側面部１１ｂに
て開放される端子溝１９が形成され、この端子溝１９の
内部に導電性を有する材料が充填されることにより形成
されている。また、端子溝１９は、その底面がスライダ
部材１１の光磁気ディスク４と対向する面１１ａから側
面部１１ｂに向かって深くなるように傾斜して形成され
ている。
【００３６】具体的に、この外部接続用端子１７は、図
４に示すように、端子溝１９の内部に、例えば、下地膜
２０として、クロム２０ａ、銅２０ｂが順次積層され、
この下地膜２０上に、金２１、銅２２が順次積層された
多層構造を有し、このうち金２１がスライダ部材１１の
側面部１１ｂからスライダ部材１１の外部に臨むように
形成されている。すなわち、外部接続用端子１７の端部
１７ａからは、金２１が露出することになる。そして、
この外部接続用端子１７の端部１７ａには、同じく金か
らなる導線がワイヤーボンディング等により接続され、
これにより薄膜コイル１６に磁界を発生させるための電
流が外部から供給されることとなる。
【００３７】なお、ここでは、外部接続用端子１７が、
金と他の金属とからなる多層構造を有しているが、この
ような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば
図５に示すように、クロム２０ａ、銅２０ｂが順次積層
された下地膜２０上に、金２１のみが充填された構造で
あってもよい。
【００３８】また、ヘッドスライダ１０においては、薄
膜コイル１６及び外部接続用端子１７の表面に保護膜を
成膜し、この薄膜コイル１６及び外部接続用端子１７の
保護を図る構成としてもよい。
【００３９】以上のように構成されたヘッドスライダ１
０は、光磁気ディスク４の回転により生じる空気流を受
けて、この光磁気ディスク４の信号記録面上を所定の浮
上量で浮上しながら、スライダ部材１１に搭載された対
物レンズ１２により集光されたレーザービームＬを光磁
気ディスク４の信号記録層４ａに照射することにより、
光磁気ディスク４に対する信号の記録再生を行う。ま
た、記録時においては、薄膜コイル１７が所定の強度の
磁界を発生して、この磁界を光磁気ディスク４の信号記
録層４ａのレーザービームＬが照射された箇所に印加す
る。
【００４０】このヘッドスライダ１０では、上述したよ
うに、外部接続用端子１７が、スライダ部材１１に光磁
気ディスク４と対向する面１１ａ及び側面部１１ｂにて
開放される端子溝１９が形成され、この端子溝１９の内
部に導電性を有する材料が充填されることにより、薄膜
コイル１６と導出部１６ａを介して電気的に接続される
とともに、その端部１７ａがスライダ部材１１の側面部
１１ｂからスライダ部材１１の外部に臨むように形成さ
れている。
【００４１】このため、このヘッドスライダ１０では、
従来のようなスライダ部材１０２に端子１０７を埋設す
るための孔部１０８を形成するといった必要がなく、こ
の孔部１０８が光ファイバ１０４や偏光ミラー１０５等
の光学素子と干渉してしまうといった問題を回避するこ
とができる。また、スライダ部材１０２に上述したダイ
ヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開け加工を
行う必要もない。
【００４２】したがって、このヘッドスライダ１０は、
以上のような構造とされることにより、製造が容易なも
のとなり、且つ小型化を実現することができる。すなわ
ち、このヘッドスライダは、小型化された場合であって
も、光磁気ディスクに対する信号の記録再生を適切に行
うことができ、信頼性を十分確保したものとなってい
る。
【００４３】次に、上述したヘッドスライダ１０を製造
する方法について、その製造工程の一例を例示しながら
説明する。
【００４４】このヘッドスライダ１０を製造する際は、
先ず、例えばアルチック（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）等からな
る基板３０を用意する。この基板３０は、上述したスラ
イダ部材１１となるものであり、最終的に基板３０を切
り出すことで個々のヘッドスライダ１０が一括して作製
されることになる。
【００４５】次に、この基板３０に対して、個々のスラ
イダ部材１１に対応した所定の位置に、上述した貫通孔
１３を穿設し、光磁気ディスク４と対向する面１１ａ側
に空気潤滑面を形成するためのエッチング加工等を施
す。
【００４６】次に、基板３０上の個々のスライダ部材１
１に対応した所定の位置に、図４に示すような外部接続
用端子１７を形成する。
【００４７】この外部接続用端子１７を形成する際は、
先ず、基板３０の光磁気ディスク４と対向する面１１ａ
となる主面上の全面に亘ってシートレジストを貼り付け
た後、外部接続用端子１７に対応した開口部が複数形成
されてなるマスクを被せ露光する。そして、この露光さ
れた部分のシートレジストを現像液にて溶解して除去す
ることにより、図６に示すような基板３０上の所定の位
置に、開口部３１ａが複数形成されてなるレジストマス
ク３１を形成する。なお、このレジストマスク３１に対
しては、十分に乾燥させた後、さらに基板３０との密着
性及び耐久性の向上を図るために、約８０℃で加熱する
ベーキング処理を施すことが望ましい。
【００４８】次に、図７に示すように、基板３０のレジ
ストマスク３１が形成された面に対して、研磨材を圧縮
空気中に分散させた噴流を所定の角度で噴射することに
よりエッチングを行い、深さ方向に傾斜した底面を有す
る溝３２を形成する。この基板３０上に形成される溝３
２は、最終的にスライダ部材１１に形成される端子溝１
９となるものである。
【００４９】ここで、基板３０上に、このような溝３２
を形成する際に用いられるパウダービーム加工装置の一
例を図８に示す。
【００５０】このパウダービーム加工装置は、エアー源
４０から供給される高圧エアーAirをドライユニット４
１において乾燥させた後、流量センサ４２、流量制御部
４３を介して分岐部４４に入力して分岐し、得られた一
方の高圧エアー（以下、第１の分岐高圧エアーAir1とい
う。）を分散室４５に送出すると共に、他方の高圧エア
ー（以下、第２の分岐高圧エアーAir2という。）をエゼ
クタ４６に送出するようになされている。
【００５１】分散室４５は、研磨材Ｐが溜められた混合
タンク４７と連結部４８を介して連結されており、この
混合タンク４７から連結部４８を通して研磨材Ｐが供給
されるようになされている。
【００５２】詳述すると、混合タンク４７の内部には、
研磨材Ｐを分散室４５へと送り出すスクリュー４９が設
けられている。このスクリュー４９は、その外周面に螺
旋状の溝部を有し、混合タンク４７に固定されたモータ
５０により回転駆動されることで、溝部に入り込んだ研
磨材Ｐを連結部４８を介して分散室４５へと送り出す。
すなわち、混合タンク４７では、スクリュー４９の回転
に応じた分量の研磨材Ｐが分散室４５へと送り出される
ことになる。
【００５３】また、混合タンク４７の内部には、研磨材
Ｐを攪拌する攪拌フレーム５１が設けられている。ま
た、この攪拌フレーム５１は、混合タンク４７に固定さ
れたモータ５２により回転駆動されることで、上記スク
リュー４９と連動しながら、このスクリュー４９の溝部
に研磨材Ｐを供給する。
【００５４】なお、混合タンク４７の上部には、研磨材
Ｐが戻される開口部５３と、駆動機構５４の推進力に基
づいて昇降動作することにより開口部５３を開閉する三
角弁５５とが設けられている。また、混合タンク４７の
底部には、研磨材Ｐの重さを測定するための電子天秤５
６が設けられている。
【００５５】これにより、このパウダービーム加工装置
では、混合タンク４７の開口部５３を三角弁５５により
開閉自在とすることができ、混合タンク４７内の研磨材
Ｐの重さを電子天秤５６により正確に測定しながら、常
に一定量の研磨材Ｐを分散室４５に送り出すことができ
る。
【００５６】そして、分散室４５に送り出された研磨材
Ｐは、この分散室４５を流れる第１の分岐高圧エアーAi
r1によって吹き上げられ、この第１の分岐高圧エアーAi
r1中に分散された状態でエゼクタ４６に送出される。エ
ゼクタ４６は、分散室４５から送出された研磨材Ｐと第
２の分岐高圧エアーAir2とを混合して固気二相流Air3を
生成し、生成された固気二相流Air3を加工室５７内に設
けられた噴射ノズル５８に圧送する。
【００５７】加工室５７には、噴射ノズル５８と対向し
て、上述した基板３０が設置されるワーク５９が設けら
れており、このワーク５９上に設置された基板３０に対
して、噴射ノズル５８から固気二相流Air3を噴射し、こ
の固気二相流Air3中に分散された研磨材Ｐによりエッチ
ングを行うようになされている。
【００５８】噴射ノズル５８は、ＸＹステージ６０と連
結されたアーム６１の先端部に設けられており、このＸ
Ｙステージ６０からアーム６１を介して与えられる推進
力により、水平方向に移動自在とされている。また、噴
射ノズル５８は、固気二相流Air3の吹付角度を、ワーク
５９上に設置された基板３０に対して調節自在とするこ
とができる。
【００５９】そして、噴射ノズル５８から噴射された固
気二相流Air3は、配管６２を通じて分離室６３に送出さ
れる。この分離室６３には、１次フィルタ６４が設けら
れており、固気二相流Air3の一部が、この１次フィルタ
６４により濾過された後、配管６５を通じて加工室５７
内に送り戻され、残りがさらにヘパフィルタなる２次フ
ィルタにより濾過された後、外部へと排出される。
【００６０】また、１次フィルタ６４により回収された
研磨材Ｐは、バタフライ弁６６により開閉自在とされた
連結部６７を通って貯蔵室６８に送られる。この貯蔵室
６８には、スクリュー６９が設けられており、このスク
リュー６９が貯蔵室６８に固定されたモータ７０により
回転駆動されることで、研磨材Ｐを混合タンク４７の開
口部５３へと送り出すようになされている。
【００６１】以上のようにして、このパウダービーム加
工装置では、固気二相流Air3中に分散された研磨材Ｐ
を、加工室５７、分離室６３及び貯蔵室６８を順次介し
て再び混合タンク４７に戻すことができる。これによ
り、このパウダービーム加工装置では、研磨材Ｐを効率
よく再利用することが可能となっている。
【００６２】本例では、以上のように構成されるパウダ
ービーム加工装置を用いてエッチング加工を行う。すな
わち、本例では、図７に示すように、基板３０に対し
て、噴射ノズル５８から所定の角度で固気二相流Air3を
噴射させ、この固気二相流Air3中に分散された研磨材Ｐ
によりエッチングを行う。そして、基板３０に対して
は、噴射ノズル５８を図７中矢印Ａ方向、すなわち基板
３０の切断方向と略直交する方向にスキャンさせなが
ら、ピッチ送りとした後、さらにスキャンさせながら順
次これを繰り返すことにより、レジストマスク３１が形
成された基板３０の全面に亘ってエッチング加工を施
す。
【００６３】ここで、形成される溝３２のチッピング
（欠け）の発生を防ぐためには、噴射ノズル５８から噴
出される固気二相流Air3の基板３０に対する衝撃力をで
きるだけ小さくすることが望ましい。
【００６４】このため、噴射ノズル５８の噴射口の形状
は、短辺の長さを０．３ｍｍ以上とし、長辺の長さを短
辺に対して５倍以上の長さ、例えば１０ｍｍ〜５０ｍｍ
とした略矩形状とすることが望ましい。また、噴射ノズ
ル５８（スリット）の奥行きは、短辺に対して２０倍以
上の長さとすることが望ましい。また、使用される研磨
材Ｐとしては、例えばＧＣ＃６００〜ＧＣ＃１５００の
ものを使用することが望ましい。
【００６５】また、噴射ノズル５８は、図７に示すよう
に、固気二相流Air3の吹付角度θを、基板３０の表面に
対して１０゜〜３０゜とすることが望ましい。
【００６６】これにより、基板３０のレジストマスク３
１の開口部３１ａから臨む面上に、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝３２を形成することができる。すなわ
ち、この溝３２は、深さ方向に傾斜した底面と、この底
面から略垂直に立ち上がるような側壁をもって形成され
ることになる。
【００６７】なお、ここでは、例えば研磨材としてＧＣ
＃６００を用い、エアー流量を５０Ｎｌ／ｍｉｎとし、
スキャンスピードを１００ｍｍ／ｓｅｃとしてエッチン
グ加工を行い、形成される溝３２の最深部の深さが約２
５０μｍとなる時点で加工を終了した。
【００６８】次に、図９に示すように、基板３０上に形
成されたレジストマスク３１を溶解して除去する。そし
て、基板３０を洗浄して乾燥させた後、この基板３０の
全面に亘って下地膜２０となる、例えば厚さ約２０ｎｍ
のクロム２０ａ及び厚さ約２μｍの銅２０ｂをこの順で
スパッタリングにより成膜する。
【００６９】次に、図１０に示すように、基板３０の下
地膜２０が形成された面の全面に亘ってシートレジスト
を貼り付けた後、上述した外部接続用端子１７に対応し
た開口部よりも一回り大きい開口部が複数形成されてな
るマスクを被せ露光する。そして、この露光された部分
のシートレジストを現像液にて溶解して除去することに
より、基板３０の溝３２に対応した位置に、この溝３２
よりも一回り大きい開口部３３ａが複数形成されてなる
レジストマスク３３を形成する。なお、このレジストマ
スク３３に対しては、十分に乾燥させた後、さらに下地
膜２０との密着性及び耐久性の向上を図るために、約８
０℃で加熱するベーキング処理を施すことが望ましい。
【００７０】次に、図１１に示すように、基板３０のレ
ジストマスク３３の開口部３３ａから臨む面上、すなわ
ち基板３０の下地膜２０が形成された溝３２が臨む面上
に、この溝３２の深さ約２５０μｍよりも僅かに厚くな
る、例えば厚さ約５０μｍの金２１及び厚さ約２３０μ
ｍの銅２２を電気鍍金法により順次積層する。
【００７１】次に、図１２に示すように、基板３０の下
地膜２０上に形成レジストマスク３３を溶解して除去す
る。そして、基板３０を洗浄して乾燥させた後、この基
板３０の表面が臨む位置まで研磨して平坦化する。
【００７２】次に、基板３０上の個々のスライダ部材１
１に対応した位置に、上述した引出導線１８を埋め込み
形成するとともに、この引出導線１８と内周側端部にて
接続され、外周側端部とともに、スライダ部材１１の空
気流出側へと導出される導出部１６ａを有する薄膜コイ
ル１６を薄膜形成する。これにより、薄膜コイル１６
は、導出部１６ａを介して基板３０の溝３２の内部に充
填された金２１と電気的に接続されることになる。
【００７３】次に、この基板３０を、溝３２の端部付
近、すなわち溝３２の側壁に沿って切断し、個々のスラ
イダ部材１１に分割する。そして、この分割されたスラ
イダ部材１１の切断された端面を金２１が露出するまで
研磨する。これにより、図４に示すような端子溝１９の
内部に導電性を有する材料が充填された外部接続用端子
１７が形成される。
【００７４】すなわち、この外部接続用端子１７は、上
述したように、端子溝１９の内部に、例えば、下地膜２
０として、クロム２０ａ、銅２０ｂが順次積層され、こ
の下地膜２０上に金２１、銅２２が順次積層された多層
構造を有し、このうち金２１がスライダ部材１１の側面
部１１ｂからスライダ部材１１の外部に臨むように形成
される。すなわち、外部接続用端子１７の端部１７ａか
らは、金２１が露出することになる。
【００７５】そして、この外部接続用端子１７の端部１
７ａに、同じく金からなる導線がワイヤーボンディング
等により接続される。これにより、薄膜コイル１６に磁
界を発生させるための電流が供給可能となる。
【００７６】ここで、外部接続用端子１７は、金と他の
金属とからなる多層構造を有しているが、このような構
成に必ずしも限定されるものではなく、例えば図５に示
すように、クロム２０ａ、銅２０ｂが順次積層された下
地膜２０上に、金２１のみを電気鍍金法により充填させ
た構造としてもよい。
【００７７】しかしながら、この外部接続用端子１７を
形成するに際しては、銅２２の鍍金速度が金２１よりも
６倍程度速いことから、図４に示すような下地膜２０上
に金２１、銅２２を順次積層した多層構造とし、このう
ち金２１がスライダ部材１１の側面部１１ｂからスライ
ダ部材１１の外部に臨むような構造とすることが望まし
い。
【００７８】これにより、図５に示す下地膜２０上に金
２１のみが充填された構造の場合に比べて、加工時間を
大幅に短縮することができ、しかも以上のような工程を
経て外部接続用端子１７を形成するようにすれば、金２
１をスライダ部材１１の側面部１１ｂからスライダ部材
１１の外部に臨むように形成することができる。すなわ
ち、外部接続用端子１７の端部１７ａから金２１を容易
に露出させることができる。
【００７９】そして、作製された個々のスライダ部材１
１の所定の位置に、対物レンズ１２、光ファイバ１４、
偏光ミラー１５を配設することにより、図２に示すよう
なヘッドスライダ１０が一括して複数作製される。
【００８０】以上のように作製されたヘッドスライダ１
０では、上述したように、外部接続用端子１７が、スラ
イダ部材１１に光磁気ディスク４と対向する面１１ａ及
び側面部１１ｂにて開放される端子溝１９が形成され、
この端子溝１９の内部に導電性を有する材料が充填され
ることにより、薄膜コイル１６と導出部１６ａを介して
電気的に接続されるとともに、その端部１７ａがスライ
ダ部材１１の側面部１１ｂからスライダ部材１１の外部
に臨むように形成されている。
【００８１】この場合、従来のようなスライダ部材１０
２にダイヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開
け加工を行う場合に比べて、基板３０上に形成される溝
３２の再現性が高く、スライダ部材１１に端子溝１９を
精度良く形成することができる。
【００８２】したがって、以上のような工程を経てヘッ
ドスライダ１０を製造するようにすれば、小型化された
ヘッドスライダ１０を精度良く且つ簡便な方法で製造す
ることができる。また、この製造方法では、品質の安定
したヘッドスライダ１０を一括して大量に製造すること
ができるので、製造コストの低減を図ることができる。
【００８３】なお、本発明は、ヘッドスライダが光磁気
ディスクの信号記録面上を微小な間隔で浮上しながら、
ニアフィールド記録と呼ばれる近接場光を利用した信号
の記録及び／又は再生が行われるものについても適用可
能である。
【００８４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光学ヘッド用スライダでは、磁界発生手段と電気的に
接続される端子が、スライダ部材に記録媒体と対向する
面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端子
溝の内部に導電性材料が充填されることにより、一端が
スライダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨むよう
に形成されていることから、製造が容易な構造となり、
且つ小型化を実現することができる。
【００８５】また、本発明に係る光学ヘッド用スライダ
の製造方法によれば、スライダ部材に記録媒体と対向す
る面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端
子溝の内部に導電性材料が充填されることにより、磁界
発生手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライ
ダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成
された光学ヘッド用スライダが一括して複数作製される
ことになる。すなわち、以上のような工程を経て光学ヘ
ッド用スライダを製造するようにすれば、小型化された
光学ヘッド用スライダを精度良く且つ簡便な方法で製造
することができる。また、この製造方法では、品質の安
定した光学ヘッド用スライダを一括して大量に製造する
ことができるので、製造コストの低減を図ることができ
る。
【００８６】また、本発明に係る記録再生装置では、ス
ライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面にて開放さ
れる端子溝が形成され、この端子溝の内部に導電性材料
が充填されることにより、磁界発生手段と電気的に接続
されるとともに、一端がスライダ部材の側面からスライ
ダ部材の外部に臨む端子が形成されたヘッドスライダを
備えることから、小型化された場合であっても、記録媒
体に対する信号の記録及び／又は再生を適切に行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した光ディスク装置の一例を示す
概略斜視図である。
【図２】上記光ディスク装置が備えるヘッドスライダの
構成を説明するための図である。
【図３】上記ヘッドスライダを構成するスライダ部材を
示す図であり、（ａ）は、スライダ部材の光磁気ディス
クと対向する面側から見た要部平面図であり、（ｂ）
は、スライダ部材の光磁気ディスクの回転により発生す
る空気流の空気流出側の端部から見た要部側面図であ
る。
【図４】外部接続用端子の一例を示す要部断面図であ
る。
【図５】外部接続用端子の他の例を示す要部断面図であ
る。
【図６】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、基
板上にレジストマスクを形成した状態を示す要部断面図
である。
【図７】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、基
板上に深さ方向に傾斜した底面を有する溝を形成した状
態を示す要部断面図である。
【図８】パウダービーム加工装置の構成を説明するため
の図である。
【図９】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、溝
が形成された基板上に下地膜を成膜した状態を示す要部
断面図である。
【図１０】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
下地膜が成膜された基板上にレジストマスクを形成した
状態を示す要部断面図である。
【図１１】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
金及び銅を電気鍍金法により順次積層した状態を示す要
部断面図である。
【図１２】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
基板表面を研磨した状態を示す要部断面図である。
【図１３】従来の光学ヘッド用スライダの構成を説明す
るための図である。
【符号の説明】
１ 光ディスク装置、４ 光磁気ディスク、１０ ヘッ
ドスライダ、１１ スライダ部材、１１ａ 光磁気ディ
スクと対向する面、１１ｂ 側面、１２ 対物レンズ、
１６ 薄膜コイル、１７ 外部接続用端子、１９ 端子
溝、２０ 下地膜、２１ 金、２２ 銅、３０ 基板、
３２ 溝、４０ パウダービーム加工装置、５８ 噴射
ノズル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年２月２２日（２０００．２．２
２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
    と、 上記スライダ部材に接合された光学レンズと、 上記光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
    対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備え、 上記スライダ部材には、上記記録媒体と対向する面及び
    側面にて開放される端子溝が形成されており、この端子
    溝の内部に導電性材料が充填されることにより、上記磁
    気発生手段と電気的に接続されるとともに、一端が当該
    スライダ部材の側面から当該スライダ部材の外部に臨む
    端子が形成されていることを特徴とする光学ヘッド用ス
    ライダ。 【請求項２】 上記端子溝は、その底面が上記スライダ
    部材の記録媒体と対向する面から上記スライダ部材の側
    面に向かって深くなるように傾斜して形成されているこ
    とを特徴とする請求項１記載の光学ヘッド用スライダ。 【請求項３】 上記端子は、少なくとも金を含む複数の
    金属が上記端子溝の内部に充填され、このうち金が上記
    スライダ部材の側面から上記スライダ部材の外部に臨む
    ように形成されていることを特徴とする請求項１記載の
    光学ヘッド用スライダ。 【請求項４】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
    と、上記スライダ部材に接合された光学レンズと、上記
    光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と対向
    する面側に設けられた磁界発生手段とを備える光学ヘッ
    ド用スライダの製造方法であって、 上記スライダ部材となる基板上に、研磨材を圧縮ガス中
    に分散させた噴流を所定の角度で噴射することにより、
    深さ方向に傾斜した底面を有する溝を形成する第１の工
    程と、 上記基板上に形成された溝の内部に、上記磁気発生手段
    と電気的に接続される端子となる導電性材料を充填する
    第２の工程と、 上記基板を上記溝の端部付近において切断し、個々のス
    ライダ部材に分割する第３の工程とを有することを特徴
    とする光学ヘッド用スライダの製造方法。 【請求項６】 上記第１の工程において、上記研磨材を
    圧縮ガス中に分散させた噴流を上記基板の表面に対して
    １０゜〜３０゜の角度で噴射することを特徴とする請求
    項５記載の光学ヘッド用スライダの製造方法。 【請求項７】 上記第２の工程において、上記基板上に
    形成された溝の内部に、導電性材料を鍍金法により充填
    することを特徴とする請求項５記載の光学ヘッド用スラ
    イダの製造方法。 【請求項８】 上記第２の工程において、上記基板上に
    形成された溝の内部に、少なくとも金を含む複数の金属
    を順次積層しながら充填し、 上記第３の工程において、上記基板を上記溝の端部付近
    において切断し、個々のスライダ部材に分割した後、 上記分割されたスライダ部材の切断面を金が露出するま
    で研磨することを特徴とする請求項５記載の光学ヘッド
    用スライダの製造方法。 【請求項９】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、 上記光学ヘッドは、回転操作される上記記録媒体上を走
    査するヘッドスライダと、このヘッドスライダを支持す
    る支持アームとを備え、 上記ヘッドスライダは、記録媒体に対する信号の記録及
    び／又は再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスラ
    イダ部材と、上記スライダ部材に接合された光学レンズ
    と、上記光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒
    体と対向する面側に設けられた磁界発生手段とを有し、
    上記スライダ部材には、上記記録媒体と対向する面及び
    側面にて開放される端子溝が形成されており、この端子
    溝の内部に導電性材料が充填されることにより、上記磁
    気発生手段と電気的に接続されるとともに、一端が当該
    スライダ部材の側面から当該スライダ部材の外部に臨む
    端子が形成されていることを特徴とする記録再生装置。 【請求項１０】 上記端子溝は、その底面が上記スライ
    ダ部材の記録媒体と対向する面から上記スライダ部材の
    側面に向かって深くなるように傾斜して形成されている
    ことを特徴とする請求項９記載の記録再生装置。 【請求項１１】 上記端子は、少なくとも金を含む複数
    の金属が上記端子溝の内部に充填され、このうち金が上
    記スライダ部材の側面から上記スライダ部材の外部に臨
    むように形成されていることを特徴とする請求項９記載
    の記録再生装置。
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