JP2001236670A - 光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置 - Google Patents
光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 99
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 4
- 230000033458 reproduction Effects 0.000 abstract 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 27
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 230000005514 two-phase flow Effects 0.000 description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 10
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 101150041326 air-2 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
- G11B11/1058—Flying heads
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
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- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化された場合であっても、記録媒体に対
する信号の記録及び/又は再生を適切に行うことがで
き、且つ製造が容易な構造を実現する。 【解決手段】 記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生時に記録媒体上を浮上走行するスライダ部材と、ス
ライダ部材に接合された光学レンズと、光学レンズが接
合されたスライダ部材の記録媒体と対向する面側に設け
られた磁界発生手段とを備え、スライダ部材には、記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
されており、この端子溝の内部に導電性材料が充填され
ることにより、磁気発生手段と電気的に接続されるとと
もに、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外
部に臨む端子が形成されている。
する信号の記録及び/又は再生を適切に行うことがで
き、且つ製造が容易な構造を実現する。 【解決手段】 記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生時に記録媒体上を浮上走行するスライダ部材と、ス
ライダ部材に接合された光学レンズと、光学レンズが接
合されたスライダ部材の記録媒体と対向する面側に設け
られた磁界発生手段とを備え、スライダ部材には、記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
されており、この端子溝の内部に導電性材料が充填され
ることにより、磁気発生手段と電気的に接続されるとと
もに、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外
部に臨む端子が形成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の記
録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を行う光学ヘ
ッドに用いられる光学ヘッド用スライダ、及び、その製
造方法、並びに、そのような光学ヘッド用スライダを用
いた光学ヘッドにより記録媒体に対する信号の記録及び
/又は再生を行う記録再生装置に関する。
録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を行う光学ヘ
ッドに用いられる光学ヘッド用スライダ、及び、その製
造方法、並びに、そのような光学ヘッド用スライダを用
いた光学ヘッドにより記録媒体に対する信号の記録及び
/又は再生を行う記録再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、光磁気ディスクや相変化型光
ディスク等のように、信号記録面に光を照射することに
より、信号の記録再生が行われる光ディスクが普及して
いる。そして、これら光ディスクにおいては、できるだ
け多くの情報を記録可能とすべく、記録密度の高密度化
が盛んに行われている。
ディスク等のように、信号記録面に光を照射することに
より、信号の記録再生が行われる光ディスクが普及して
いる。そして、これら光ディスクにおいては、できるだ
け多くの情報を記録可能とすべく、記録密度の高密度化
が盛んに行われている。
【0003】また、このような光ディスクの高記録密度
化に伴って、光ディスクに対して信号の記録再生を行う
光学ピックアップに対しても、光ディスクの信号記録面
に照射される光のスポット径を小さくすることにより、
記録密度を向上させる試みが行われている。
化に伴って、光ディスクに対して信号の記録再生を行う
光学ピックアップに対しても、光ディスクの信号記録面
に照射される光のスポット径を小さくすることにより、
記録密度を向上させる試みが行われている。
【0004】特に、近年では、ハードディスク装置等に
おける浮上型ヘッドスライダの技術を応用し、光学レン
ズをスライダ部材に搭載して光学ヘッド用スライダを構
成し、光ディスクの信号記録面上を所定の浮上量で浮上
させながら、このスライダ部材に搭載された光学レンズ
により集光された光を光ディスクの信号記録面に照射す
ることにより、光ディスクに対する信号の記録再生を行
うことが提案されている。
おける浮上型ヘッドスライダの技術を応用し、光学レン
ズをスライダ部材に搭載して光学ヘッド用スライダを構
成し、光ディスクの信号記録面上を所定の浮上量で浮上
させながら、このスライダ部材に搭載された光学レンズ
により集光された光を光ディスクの信号記録面に照射す
ることにより、光ディスクに対する信号の記録再生を行
うことが提案されている。
【0005】光ディスク装置において、このような光学
ヘッド用スライダを用いた場合には、光学レンズと光デ
ィスクの信号記録面との距離を、光学ヘッドからの光を
光ディスクの信号記録面に照射させる場合に比べて、大
幅に短くすることができる。これにより、高NAレンズ
を使用することが可能となり、その結果、光ディスクの
信号記録面に照射される光のスポット径を小さくするこ
とが可能となる。
ヘッド用スライダを用いた場合には、光学レンズと光デ
ィスクの信号記録面との距離を、光学ヘッドからの光を
光ディスクの信号記録面に照射させる場合に比べて、大
幅に短くすることができる。これにより、高NAレンズ
を使用することが可能となり、その結果、光ディスクの
信号記録面に照射される光のスポット径を小さくするこ
とが可能となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した光
ディスク装置において、光磁気ディスクを用いる場合に
は、記録時に、この光磁気ディスクに磁界を印加させる
ための磁界発生手段を設ける必要がある。この磁界発生
手段は、上述した光学ヘッド用スライダとは別体に設け
られていてもよいが、光ディスク装置の小型化や構成の
簡素化を図るためには、この光学ヘッド用スライダと一
体に設けられることが望ましい。この場合、磁界発生手
段は、例えば、スライダ部材の光磁気ディスクと対向す
る面側に、レーザービームの焦点位置の周りを巻回する
ように埋設された薄膜コイル等より構成される。
ディスク装置において、光磁気ディスクを用いる場合に
は、記録時に、この光磁気ディスクに磁界を印加させる
ための磁界発生手段を設ける必要がある。この磁界発生
手段は、上述した光学ヘッド用スライダとは別体に設け
られていてもよいが、光ディスク装置の小型化や構成の
簡素化を図るためには、この光学ヘッド用スライダと一
体に設けられることが望ましい。この場合、磁界発生手
段は、例えば、スライダ部材の光磁気ディスクと対向す
る面側に、レーザービームの焦点位置の周りを巻回する
ように埋設された薄膜コイル等より構成される。
【0007】ここで、このような光学ヘッド用スライダ
の一例を図13に示す。この図13に示す光学ヘッド用
スライダ100は、光磁気ディスク101に対する信号
の記録再生時に、この光磁気ディスク101上を浮上走
行するスライダ部材102と、このスライダ部材102
に接合された対物レンズ103とを備えている。また、
スライダ部材102には、光ファイバ104と偏光ミラ
ー105とが組み込まれており、光ファイバ104によ
り導かれたレーザービームLが偏光ミラー105を介し
て対物レンズ103に入射され、この対物レンズ103
により集光されたレーザービームLが光磁気ディスク1
01の信号記録層101aに照射されるようになされて
いる。
の一例を図13に示す。この図13に示す光学ヘッド用
スライダ100は、光磁気ディスク101に対する信号
の記録再生時に、この光磁気ディスク101上を浮上走
行するスライダ部材102と、このスライダ部材102
に接合された対物レンズ103とを備えている。また、
スライダ部材102には、光ファイバ104と偏光ミラ
ー105とが組み込まれており、光ファイバ104によ
り導かれたレーザービームLが偏光ミラー105を介し
て対物レンズ103に入射され、この対物レンズ103
により集光されたレーザービームLが光磁気ディスク1
01の信号記録層101aに照射されるようになされて
いる。
【0008】そして、このスライダ部材102には、記
録時に、光磁気ディスク101に磁界を印加させるため
の薄膜コイル106と、この薄膜コイル106と電気的
に接続される端子107とが設けられている。薄膜コイ
ル106は、スライダ部材102の光磁気ディスク10
1と対向する面に、対物レンズ103の周りを巻回する
ように薄膜形成されている。一方、端子107は、スラ
イダ部材102を薄膜コイル106に当接する位置まで
厚み方向に貫いて形成された孔部108の内部に、導電
性材料が充填されることにより形成されている。
録時に、光磁気ディスク101に磁界を印加させるため
の薄膜コイル106と、この薄膜コイル106と電気的
に接続される端子107とが設けられている。薄膜コイ
ル106は、スライダ部材102の光磁気ディスク10
1と対向する面に、対物レンズ103の周りを巻回する
ように薄膜形成されている。一方、端子107は、スラ
イダ部材102を薄膜コイル106に当接する位置まで
厚み方向に貫いて形成された孔部108の内部に、導電
性材料が充填されることにより形成されている。
【0009】また、このスライダ部材102は、光ディ
スク装置内に設けられた支持アーム109の先端部に取
り付けられ、この支持アーム109が光磁気ディスク4
の径方向に沿って回動されることにより、回転操作され
る光磁気ディスク101上を走査することになる。
スク装置内に設けられた支持アーム109の先端部に取
り付けられ、この支持アーム109が光磁気ディスク4
の径方向に沿って回動されることにより、回転操作され
る光磁気ディスク101上を走査することになる。
【0010】以上のように構成された光学ヘッド用スラ
イダ100は、光磁気ディスク101の回転により生じ
る空気流を受けて、この光磁気ディスク101上を所定
の浮上量で浮上しながら、スライダ部材102に搭載さ
れた対物レンズ103により集光されたレーザービーム
Lを光磁気ディスク101の信号記録層101aに照射
することにより、光磁気ディスク101に対する信号の
記録再生を行う。また、記録時においては、薄膜コイル
106が所定の強度の磁界を発生して、この磁界を光磁
気ディスク101の信号記録層101aのレーザービー
ムLが照射された箇所に印加する。
イダ100は、光磁気ディスク101の回転により生じ
る空気流を受けて、この光磁気ディスク101上を所定
の浮上量で浮上しながら、スライダ部材102に搭載さ
れた対物レンズ103により集光されたレーザービーム
Lを光磁気ディスク101の信号記録層101aに照射
することにより、光磁気ディスク101に対する信号の
記録再生を行う。また、記録時においては、薄膜コイル
106が所定の強度の磁界を発生して、この磁界を光磁
気ディスク101の信号記録層101aのレーザービー
ムLが照射された箇所に印加する。
【0011】ところで、この光学ヘッド用スライダ10
0には、上述したように、スライダ部材102を薄膜コ
イル106に当接する位置まで厚み方向に貫いて孔部1
08を形成し、この孔部108の内部に導電性材料を充
填することにより、薄膜コイル106と電気的に接続さ
れる端子107が形成されている。
0には、上述したように、スライダ部材102を薄膜コ
イル106に当接する位置まで厚み方向に貫いて孔部1
08を形成し、この孔部108の内部に導電性材料を充
填することにより、薄膜コイル106と電気的に接続さ
れる端子107が形成されている。
【0012】しかしながら、スライダ部材102には、
光ファイバ104や偏光ミラー105等の光学素子が組
み込まれており、光学ヘッド用スライダ100の小型化
が進むにつれて、このスライダ部材102に上述したよ
うな端子107を埋設するための孔部108を形成する
ことが非常に困難となってきている。
光ファイバ104や偏光ミラー105等の光学素子が組
み込まれており、光学ヘッド用スライダ100の小型化
が進むにつれて、このスライダ部材102に上述したよ
うな端子107を埋設するための孔部108を形成する
ことが非常に困難となってきている。
【0013】また、この孔部108を形成する際は、ス
ライダ部材102にダイヤモンドドリルや超音波加工機
等を用いた孔開け加工を行うことになる。しかしなが
ら、この場合、非常に微細な加工が要求されるために、
形成される孔部108の一部にチッピングと呼ばれる欠
け等が発生してしまったり、またスライダ部材102の
所定の位置に孔部108を精度良く形成することができ
ないことがあった。
ライダ部材102にダイヤモンドドリルや超音波加工機
等を用いた孔開け加工を行うことになる。しかしなが
ら、この場合、非常に微細な加工が要求されるために、
形成される孔部108の一部にチッピングと呼ばれる欠
け等が発生してしまったり、またスライダ部材102の
所定の位置に孔部108を精度良く形成することができ
ないことがあった。
【0014】そこで、本発明はこのような従来の事情に
鑑みて提案されたものであり、小型化された場合であっ
ても、記録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を適
切に行うことができ、且つ製造が容易な構造とされた信
頼性の高い光学ヘッド用スライダを提供することを目的
とする。また、そのような光学ヘッド用スライダを高精
度且つ簡便に作製することを可能とした光学ヘッド用ス
ライダの製造方法を提供することを目的とする。また、
そのような光学ヘッド用スライダを用いた光学ヘッドを
備える記録再生装置を提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、小型化された場合であっ
ても、記録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を適
切に行うことができ、且つ製造が容易な構造とされた信
頼性の高い光学ヘッド用スライダを提供することを目的
とする。また、そのような光学ヘッド用スライダを高精
度且つ簡便に作製することを可能とした光学ヘッド用ス
ライダの製造方法を提供することを目的とする。また、
そのような光学ヘッド用スライダを用いた光学ヘッドを
備える記録再生装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明に係る光学ヘッド用スライダは、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備え、スラ
イダ部材には、記録媒体と対向する面及び側面にて開放
される端子溝が形成されており、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁気発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成されていること
を特徴とする。
明に係る光学ヘッド用スライダは、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備え、スラ
イダ部材には、記録媒体と対向する面及び側面にて開放
される端子溝が形成されており、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁気発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成されていること
を特徴とする。
【0016】この光学ヘッド用スライダでは、磁界発生
手段と電気的に接続される端子が、スライダ部材に記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されること
により、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の
外部に臨むように形成されていることから、製造が容易
な構造となり、且つ小型化を実現することができる。
手段と電気的に接続される端子が、スライダ部材に記録
媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形成
され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されること
により、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の
外部に臨むように形成されていることから、製造が容易
な構造となり、且つ小型化を実現することができる。
【0017】また、この目的を達成する本発明に係る光
学ヘッド用スライダの製造方法は、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備える光学
ヘッド用スライダの製造方法であって、スライダ部材と
なる基板上に、研磨材を圧縮ガス中に分散させた噴流を
所定の角度で噴射することにより、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝を形成する第1の工程と、基板上に形成
された溝の内部に、磁気発生手段と電気的に接続される
端子となる導電性材料を充填する第2の工程と、基板を
溝の端部付近において切断し、個々のスライダ部材に分
割する第3の工程とを有することを特徴とする。
学ヘッド用スライダの製造方法は、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮上走行する
スライダ部材と、スライダ部材に接合された光学レンズ
と、光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備える光学
ヘッド用スライダの製造方法であって、スライダ部材と
なる基板上に、研磨材を圧縮ガス中に分散させた噴流を
所定の角度で噴射することにより、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝を形成する第1の工程と、基板上に形成
された溝の内部に、磁気発生手段と電気的に接続される
端子となる導電性材料を充填する第2の工程と、基板を
溝の端部付近において切断し、個々のスライダ部材に分
割する第3の工程とを有することを特徴とする。
【0018】この光学ヘッド用スライダの製造方法によ
れば、スライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面に
て開放される端子溝が形成され、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁界発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成された光学ヘッ
ド用スライダが一括して複数作製されることになる。す
なわち、以上のような工程を経て光学ヘッド用スライダ
を製造するようにすれば、小型化された光学ヘッド用ス
ライダを精度良く且つ簡便な方法で製造することができ
る。また、この製造方法では、品質の安定した光学ヘッ
ド用スライダを一括して大量に製造することができるの
で、製造コストの低減を図ることができる。
れば、スライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面に
て開放される端子溝が形成され、この端子溝の内部に導
電性材料が充填されることにより、磁界発生手段と電気
的に接続されるとともに、一端がスライダ部材の側面か
らスライダ部材の外部に臨む端子が形成された光学ヘッ
ド用スライダが一括して複数作製されることになる。す
なわち、以上のような工程を経て光学ヘッド用スライダ
を製造するようにすれば、小型化された光学ヘッド用ス
ライダを精度良く且つ簡便な方法で製造することができ
る。また、この製造方法では、品質の安定した光学ヘッ
ド用スライダを一括して大量に製造することができるの
で、製造コストの低減を図ることができる。
【0019】また、この目的を達成する本発明に係る記
録再生装置は、記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、
光学ヘッドは、回転操作される記録媒体上を走査するヘ
ッドスライダと、このヘッドスライダを支持する支持ア
ームとを備える。そして、ヘッドスライダは、記録媒体
に対する信号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮
上走行するスライダ部材と、スライダ部材に接合された
光学レンズと、光学レンズが接合されたスライダ部材の
記録媒体と対向する面側に設けられた磁界発生手段とを
有し、スライダ部材には、記録媒体と対向する面及び側
面にて開放される端子溝が形成されており、この端子溝
の内部に導電性材料が充填されることにより、磁気発生
手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライダ部
材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成され
ていることを特徴とする。
録再生装置は、記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、
光学ヘッドは、回転操作される記録媒体上を走査するヘ
ッドスライダと、このヘッドスライダを支持する支持ア
ームとを備える。そして、ヘッドスライダは、記録媒体
に対する信号の記録及び/又は再生時に記録媒体上を浮
上走行するスライダ部材と、スライダ部材に接合された
光学レンズと、光学レンズが接合されたスライダ部材の
記録媒体と対向する面側に設けられた磁界発生手段とを
有し、スライダ部材には、記録媒体と対向する面及び側
面にて開放される端子溝が形成されており、この端子溝
の内部に導電性材料が充填されることにより、磁気発生
手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライダ部
材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成され
ていることを特徴とする。
【0020】この記録再生装置では、スライダ部材に記
録媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形
成され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されるこ
とにより、磁界発生手段と電気的に接続されるととも
に、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外部
に臨む端子が形成されたヘッドスライダを備えることか
ら、小型化された場合であっても、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生を適切に行うことができる。
録媒体と対向する面及び側面にて開放される端子溝が形
成され、この端子溝の内部に導電性材料が充填されるこ
とにより、磁界発生手段と電気的に接続されるととも
に、一端がスライダ部材の側面からスライダ部材の外部
に臨む端子が形成されたヘッドスライダを備えることか
ら、小型化された場合であっても、記録媒体に対する信
号の記録及び/又は再生を適切に行うことができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【0022】本発明を適用した光ディスク装置の一例を
図1に示す。この図1に示す光ディスク装置1は、パー
ソナルコンピュータ等における記憶装置として使用され
るハードディスク装置の技術を応用したものであり、筐
体2の内部に設けられたスピンドルモータ3には、信号
の記録再生が行われる光磁気ディスク4が取り付けら
れ、クランパ5により固定されている。この光磁気ディ
スク4は、制御回路により駆動制御されるスピンドルモ
ータ3の回転に伴い、所定の回転数で回転操作されるこ
とになる。
図1に示す。この図1に示す光ディスク装置1は、パー
ソナルコンピュータ等における記憶装置として使用され
るハードディスク装置の技術を応用したものであり、筐
体2の内部に設けられたスピンドルモータ3には、信号
の記録再生が行われる光磁気ディスク4が取り付けら
れ、クランパ5により固定されている。この光磁気ディ
スク4は、制御回路により駆動制御されるスピンドルモ
ータ3の回転に伴い、所定の回転数で回転操作されるこ
とになる。
【0023】また、筐体2の内部には、ハードディスク
装置で用いられる磁気ヘッド装置の代わりに、光学ヘッ
ド装置6が設けられている。この光学ヘッド装置6は、
スピンドルモータ3により回転操作される光磁気ディス
ク4に対して信号の記録再生を行うものであり、ボイス
コイルモータ7の駆動により回動操作されるアーム8
と、このアーム8と一体に形成されたヘッド支持バネ9
と、このヘッド支持バネ9の先端部に取り付けられたヘ
ッドスライダ10とを備えている。
装置で用いられる磁気ヘッド装置の代わりに、光学ヘッ
ド装置6が設けられている。この光学ヘッド装置6は、
スピンドルモータ3により回転操作される光磁気ディス
ク4に対して信号の記録再生を行うものであり、ボイス
コイルモータ7の駆動により回動操作されるアーム8
と、このアーム8と一体に形成されたヘッド支持バネ9
と、このヘッド支持バネ9の先端部に取り付けられたヘ
ッドスライダ10とを備えている。
【0024】ボイスコイルモータ7は、アーム8に取り
付けられたボイスコイルと、このボイスコイルを挟持す
るように配設された一対のマグネットとにより構成さ
れ、ボイスコイルに外部から電流が供給されることによ
り、このボイスコイルに流れる電流とマグネットの磁界
とによって駆動力が生じ、アーム8及びヘッド支持バネ
9を、支軸8aを回動中心として、図1中矢印Xで示す
方向に回動操作する。
付けられたボイスコイルと、このボイスコイルを挟持す
るように配設された一対のマグネットとにより構成さ
れ、ボイスコイルに外部から電流が供給されることによ
り、このボイスコイルに流れる電流とマグネットの磁界
とによって駆動力が生じ、アーム8及びヘッド支持バネ
9を、支軸8aを回動中心として、図1中矢印Xで示す
方向に回動操作する。
【0025】この光学ヘッド装置6では、アーム8及び
ヘッド支持バネ9が、ボイスコイルモータ7の駆動によ
って回動操作されることにより、ヘッド支持バネ9の先
端部に取り付けられたヘッドスライダ10が、スピンド
ルモータ3の駆動により回転操作される光磁気ディスク
4の径方向に沿って移動操作されることになる。そし
て、ヘッド支持バネ9の先端部に取り付けられたヘッド
スライダ10は、光磁気ディスク4の回転により生じる
空気流を受けて、光磁気ディスク4上を所定の浮上量で
浮上しながら、光磁気ディスク4上を走査することにな
る。
ヘッド支持バネ9が、ボイスコイルモータ7の駆動によ
って回動操作されることにより、ヘッド支持バネ9の先
端部に取り付けられたヘッドスライダ10が、スピンド
ルモータ3の駆動により回転操作される光磁気ディスク
4の径方向に沿って移動操作されることになる。そし
て、ヘッド支持バネ9の先端部に取り付けられたヘッド
スライダ10は、光磁気ディスク4の回転により生じる
空気流を受けて、光磁気ディスク4上を所定の浮上量で
浮上しながら、光磁気ディスク4上を走査することにな
る。
【0026】この光学ヘッド装置6が備えるヘッドスラ
イダ10の一例を図2に示す。
イダ10の一例を図2に示す。
【0027】このヘッドスライダ10は、本発明を適用
した光学ヘッド用スライダであり、光磁気ディスク4に
対する信号の記録再生時に、この光磁気ディスク4の信
号記録面上を浮上走行するスライダ部材11と、このス
ライダ部材11に接合された対物レンズ12とを備えて
いる。
した光学ヘッド用スライダであり、光磁気ディスク4に
対する信号の記録再生時に、この光磁気ディスク4の信
号記録面上を浮上走行するスライダ部材11と、このス
ライダ部材11に接合された対物レンズ12とを備えて
いる。
【0028】スライダ部材11は、例えばアルチック
(Al2O3−TiC)等が略矩形状に成形されてなり、
ヘッド支持バネ9の先端部に光磁気ディスク4と相対向
するように支持されている。また、スライダ部材11に
は、光磁気ディスク4と対向する面11aに、光磁気デ
ィスク4の回転に伴って発生する空気流により浮揚力を
発生させるための空気潤滑面が形成されている。なお、
この空気潤滑面の形状は、特に限定されるものではな
く、任意の形状とすることができる。
(Al2O3−TiC)等が略矩形状に成形されてなり、
ヘッド支持バネ9の先端部に光磁気ディスク4と相対向
するように支持されている。また、スライダ部材11に
は、光磁気ディスク4と対向する面11aに、光磁気デ
ィスク4の回転に伴って発生する空気流により浮揚力を
発生させるための空気潤滑面が形成されている。なお、
この空気潤滑面の形状は、特に限定されるものではな
く、任意の形状とすることができる。
【0029】このスライダ部材11には、所定の箇所に
その厚み方向に貫通する貫通孔13が設けられている。
この貫通孔13は、その孔径が対物レンズ12の外径と
略々等しい大きさとなるように形成されている。
その厚み方向に貫通する貫通孔13が設けられている。
この貫通孔13は、その孔径が対物レンズ12の外径と
略々等しい大きさとなるように形成されている。
【0030】対物レンズ12は、光磁気ディスク4に対
する信号の記録再生時に、光磁気ディスク4の信号記録
面上に形成された信号記録層4aに照射するレーザービ
ームLを集光するためのものであり、例えば光学ガラス
や光学プラスチック等のレーザービームLの波長域にお
いて光透過率が十分に高く、且つ屈折率が高い材料が略
半球状に成形されてなる。そして、この対物レンズ12
は、その側面部の一部を接着面として、スライダ部材1
1に設けられた貫通孔13の周壁に接着されて、スライ
ダ部材11と接合一体化されている。
する信号の記録再生時に、光磁気ディスク4の信号記録
面上に形成された信号記録層4aに照射するレーザービ
ームLを集光するためのものであり、例えば光学ガラス
や光学プラスチック等のレーザービームLの波長域にお
いて光透過率が十分に高く、且つ屈折率が高い材料が略
半球状に成形されてなる。そして、この対物レンズ12
は、その側面部の一部を接着面として、スライダ部材1
1に設けられた貫通孔13の周壁に接着されて、スライ
ダ部材11と接合一体化されている。
【0031】また、スライダ部材11には、光学ヘッド
装置6内に設けられた図示しない半導体レーザから出射
されたレーザービームLを対物レンズ12へと導くため
の光ファイバ14と偏光ミラー15とが組み込まれてい
る。光ファイバ14は、その一端がスライダ部材11の
側面部から貫通孔13の内部に臨むように設けられてい
る。偏光ミラー15は、スライダ部材11の貫通孔13
の内部に、光ファイバ14と対物レンズ12との間の光
路中に位置して設けられている。
装置6内に設けられた図示しない半導体レーザから出射
されたレーザービームLを対物レンズ12へと導くため
の光ファイバ14と偏光ミラー15とが組み込まれてい
る。光ファイバ14は、その一端がスライダ部材11の
側面部から貫通孔13の内部に臨むように設けられてい
る。偏光ミラー15は、スライダ部材11の貫通孔13
の内部に、光ファイバ14と対物レンズ12との間の光
路中に位置して設けられている。
【0032】したがって、このヘッドスライダ10で
は、光ファイバ14により導かれたレーザービームLが
偏光ミラー15を介して対物レンズ12に入射され、こ
の対物レンズ12により集光されたレーザービームLが
光磁気ディスク4の信号記録層4aに照射されるように
なされている。
は、光ファイバ14により導かれたレーザービームLが
偏光ミラー15を介して対物レンズ12に入射され、こ
の対物レンズ12により集光されたレーザービームLが
光磁気ディスク4の信号記録層4aに照射されるように
なされている。
【0033】また、スライダ部材11には、図2及び図
3に示すように、記録時に、光磁気ディスク4に磁界を
印加させるための薄膜コイル16と、この薄膜コイル1
6と電気的に接続された外部接続用端子17とが設けら
れている。なお、図3において、(a)は、スライダ部
材11の光磁気ディスク4と対向する面11a側から見
た要部平面図であり、(b)は、スライダ部材11の光
磁気ディスク4の回転により発生する空気流の空気流出
側の端部から見た要部側面図である。
3に示すように、記録時に、光磁気ディスク4に磁界を
印加させるための薄膜コイル16と、この薄膜コイル1
6と電気的に接続された外部接続用端子17とが設けら
れている。なお、図3において、(a)は、スライダ部
材11の光磁気ディスク4と対向する面11a側から見
た要部平面図であり、(b)は、スライダ部材11の光
磁気ディスク4の回転により発生する空気流の空気流出
側の端部から見た要部側面図である。
【0034】薄膜コイル16は、スライダ部材11の光
磁気ディスク4と対向する面11aに、対物レンズ12
の周りを巻回するように薄膜形成されている。この薄膜
コイル16は、その内周側端部が引出導線18を介して
外周側へと導出され、この薄膜コイル16の外周側端部
とともに、スライダ部材11の空気流出側へと導出され
る導出部16aを有している。そして、この導出部16
aが外部接続用端子17と接続されている。
磁気ディスク4と対向する面11aに、対物レンズ12
の周りを巻回するように薄膜形成されている。この薄膜
コイル16は、その内周側端部が引出導線18を介して
外周側へと導出され、この薄膜コイル16の外周側端部
とともに、スライダ部材11の空気流出側へと導出され
る導出部16aを有している。そして、この導出部16
aが外部接続用端子17と接続されている。
【0035】外部接続用端子17は、薄膜コイル16と
導出部16aを介して電気的に接続されており、その端
部17aがスライダ部材11の側面部11bからスライ
ダ部材11の外部に臨むように形成されている。すなわ
ち、この外部接続用端子17は、スライダ部材11に光
磁気ディスク4と対向する面11a及び側面部11bに
て開放される端子溝19が形成され、この端子溝19の
内部に導電性を有する材料が充填されることにより形成
されている。また、端子溝19は、その底面がスライダ
部材11の光磁気ディスク4と対向する面11aから側
面部11bに向かって深くなるように傾斜して形成され
ている。
導出部16aを介して電気的に接続されており、その端
部17aがスライダ部材11の側面部11bからスライ
ダ部材11の外部に臨むように形成されている。すなわ
ち、この外部接続用端子17は、スライダ部材11に光
磁気ディスク4と対向する面11a及び側面部11bに
て開放される端子溝19が形成され、この端子溝19の
内部に導電性を有する材料が充填されることにより形成
されている。また、端子溝19は、その底面がスライダ
部材11の光磁気ディスク4と対向する面11aから側
面部11bに向かって深くなるように傾斜して形成され
ている。
【0036】具体的に、この外部接続用端子17は、図
4に示すように、端子溝19の内部に、例えば、下地膜
20として、クロム20a、銅20bが順次積層され、
この下地膜20上に、金21、銅22が順次積層された
多層構造を有し、このうち金21がスライダ部材11の
側面部11bからスライダ部材11の外部に臨むように
形成されている。すなわち、外部接続用端子17の端部
17aからは、金21が露出することになる。そして、
この外部接続用端子17の端部17aには、同じく金か
らなる導線がワイヤーボンディング等により接続され、
これにより薄膜コイル16に磁界を発生させるための電
流が外部から供給されることとなる。
4に示すように、端子溝19の内部に、例えば、下地膜
20として、クロム20a、銅20bが順次積層され、
この下地膜20上に、金21、銅22が順次積層された
多層構造を有し、このうち金21がスライダ部材11の
側面部11bからスライダ部材11の外部に臨むように
形成されている。すなわち、外部接続用端子17の端部
17aからは、金21が露出することになる。そして、
この外部接続用端子17の端部17aには、同じく金か
らなる導線がワイヤーボンディング等により接続され、
これにより薄膜コイル16に磁界を発生させるための電
流が外部から供給されることとなる。
【0037】なお、ここでは、外部接続用端子17が、
金と他の金属とからなる多層構造を有しているが、この
ような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば
図5に示すように、クロム20a、銅20bが順次積層
された下地膜20上に、金21のみが充填された構造で
あってもよい。
金と他の金属とからなる多層構造を有しているが、この
ような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば
図5に示すように、クロム20a、銅20bが順次積層
された下地膜20上に、金21のみが充填された構造で
あってもよい。
【0038】また、ヘッドスライダ10においては、薄
膜コイル16及び外部接続用端子17の表面に保護膜を
成膜し、この薄膜コイル16及び外部接続用端子17の
保護を図る構成としてもよい。
膜コイル16及び外部接続用端子17の表面に保護膜を
成膜し、この薄膜コイル16及び外部接続用端子17の
保護を図る構成としてもよい。
【0039】以上のように構成されたヘッドスライダ1
0は、光磁気ディスク4の回転により生じる空気流を受
けて、この光磁気ディスク4の信号記録面上を所定の浮
上量で浮上しながら、スライダ部材11に搭載された対
物レンズ12により集光されたレーザービームLを光磁
気ディスク4の信号記録層4aに照射することにより、
光磁気ディスク4に対する信号の記録再生を行う。ま
た、記録時においては、薄膜コイル17が所定の強度の
磁界を発生して、この磁界を光磁気ディスク4の信号記
録層4aのレーザービームLが照射された箇所に印加す
る。
0は、光磁気ディスク4の回転により生じる空気流を受
けて、この光磁気ディスク4の信号記録面上を所定の浮
上量で浮上しながら、スライダ部材11に搭載された対
物レンズ12により集光されたレーザービームLを光磁
気ディスク4の信号記録層4aに照射することにより、
光磁気ディスク4に対する信号の記録再生を行う。ま
た、記録時においては、薄膜コイル17が所定の強度の
磁界を発生して、この磁界を光磁気ディスク4の信号記
録層4aのレーザービームLが照射された箇所に印加す
る。
【0040】このヘッドスライダ10では、上述したよ
うに、外部接続用端子17が、スライダ部材11に光磁
気ディスク4と対向する面11a及び側面部11bにて
開放される端子溝19が形成され、この端子溝19の内
部に導電性を有する材料が充填されることにより、薄膜
コイル16と導出部16aを介して電気的に接続される
とともに、その端部17aがスライダ部材11の側面部
11bからスライダ部材11の外部に臨むように形成さ
れている。
うに、外部接続用端子17が、スライダ部材11に光磁
気ディスク4と対向する面11a及び側面部11bにて
開放される端子溝19が形成され、この端子溝19の内
部に導電性を有する材料が充填されることにより、薄膜
コイル16と導出部16aを介して電気的に接続される
とともに、その端部17aがスライダ部材11の側面部
11bからスライダ部材11の外部に臨むように形成さ
れている。
【0041】このため、このヘッドスライダ10では、
従来のようなスライダ部材102に端子107を埋設す
るための孔部108を形成するといった必要がなく、こ
の孔部108が光ファイバ104や偏光ミラー105等
の光学素子と干渉してしまうといった問題を回避するこ
とができる。また、スライダ部材102に上述したダイ
ヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開け加工を
行う必要もない。
従来のようなスライダ部材102に端子107を埋設す
るための孔部108を形成するといった必要がなく、こ
の孔部108が光ファイバ104や偏光ミラー105等
の光学素子と干渉してしまうといった問題を回避するこ
とができる。また、スライダ部材102に上述したダイ
ヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開け加工を
行う必要もない。
【0042】したがって、このヘッドスライダ10は、
以上のような構造とされることにより、製造が容易なも
のとなり、且つ小型化を実現することができる。すなわ
ち、このヘッドスライダは、小型化された場合であって
も、光磁気ディスクに対する信号の記録再生を適切に行
うことができ、信頼性を十分確保したものとなってい
る。
以上のような構造とされることにより、製造が容易なも
のとなり、且つ小型化を実現することができる。すなわ
ち、このヘッドスライダは、小型化された場合であって
も、光磁気ディスクに対する信号の記録再生を適切に行
うことができ、信頼性を十分確保したものとなってい
る。
【0043】次に、上述したヘッドスライダ10を製造
する方法について、その製造工程の一例を例示しながら
説明する。
する方法について、その製造工程の一例を例示しながら
説明する。
【0044】このヘッドスライダ10を製造する際は、
先ず、例えばアルチック(Al2O3−TiC)等からな
る基板30を用意する。この基板30は、上述したスラ
イダ部材11となるものであり、最終的に基板30を切
り出すことで個々のヘッドスライダ10が一括して作製
されることになる。
先ず、例えばアルチック(Al2O3−TiC)等からな
る基板30を用意する。この基板30は、上述したスラ
イダ部材11となるものであり、最終的に基板30を切
り出すことで個々のヘッドスライダ10が一括して作製
されることになる。
【0045】次に、この基板30に対して、個々のスラ
イダ部材11に対応した所定の位置に、上述した貫通孔
13を穿設し、光磁気ディスク4と対向する面11a側
に空気潤滑面を形成するためのエッチング加工等を施
す。
イダ部材11に対応した所定の位置に、上述した貫通孔
13を穿設し、光磁気ディスク4と対向する面11a側
に空気潤滑面を形成するためのエッチング加工等を施
す。
【0046】次に、基板30上の個々のスライダ部材1
1に対応した所定の位置に、図4に示すような外部接続
用端子17を形成する。
1に対応した所定の位置に、図4に示すような外部接続
用端子17を形成する。
【0047】この外部接続用端子17を形成する際は、
先ず、基板30の光磁気ディスク4と対向する面11a
となる主面上の全面に亘ってシートレジストを貼り付け
た後、外部接続用端子17に対応した開口部が複数形成
されてなるマスクを被せ露光する。そして、この露光さ
れた部分のシートレジストを現像液にて溶解して除去す
ることにより、図6に示すような基板30上の所定の位
置に、開口部31aが複数形成されてなるレジストマス
ク31を形成する。なお、このレジストマスク31に対
しては、十分に乾燥させた後、さらに基板30との密着
性及び耐久性の向上を図るために、約80℃で加熱する
ベーキング処理を施すことが望ましい。
先ず、基板30の光磁気ディスク4と対向する面11a
となる主面上の全面に亘ってシートレジストを貼り付け
た後、外部接続用端子17に対応した開口部が複数形成
されてなるマスクを被せ露光する。そして、この露光さ
れた部分のシートレジストを現像液にて溶解して除去す
ることにより、図6に示すような基板30上の所定の位
置に、開口部31aが複数形成されてなるレジストマス
ク31を形成する。なお、このレジストマスク31に対
しては、十分に乾燥させた後、さらに基板30との密着
性及び耐久性の向上を図るために、約80℃で加熱する
ベーキング処理を施すことが望ましい。
【0048】次に、図7に示すように、基板30のレジ
ストマスク31が形成された面に対して、研磨材を圧縮
空気中に分散させた噴流を所定の角度で噴射することに
よりエッチングを行い、深さ方向に傾斜した底面を有す
る溝32を形成する。この基板30上に形成される溝3
2は、最終的にスライダ部材11に形成される端子溝1
9となるものである。
ストマスク31が形成された面に対して、研磨材を圧縮
空気中に分散させた噴流を所定の角度で噴射することに
よりエッチングを行い、深さ方向に傾斜した底面を有す
る溝32を形成する。この基板30上に形成される溝3
2は、最終的にスライダ部材11に形成される端子溝1
9となるものである。
【0049】ここで、基板30上に、このような溝32
を形成する際に用いられるパウダービーム加工装置の一
例を図8に示す。
を形成する際に用いられるパウダービーム加工装置の一
例を図8に示す。
【0050】このパウダービーム加工装置は、エアー源
40から供給される高圧エアーAirをドライユニット4
1において乾燥させた後、流量センサ42、流量制御部
43を介して分岐部44に入力して分岐し、得られた一
方の高圧エアー(以下、第1の分岐高圧エアーAir1とい
う。)を分散室45に送出すると共に、他方の高圧エア
ー(以下、第2の分岐高圧エアーAir2という。)をエゼ
クタ46に送出するようになされている。
40から供給される高圧エアーAirをドライユニット4
1において乾燥させた後、流量センサ42、流量制御部
43を介して分岐部44に入力して分岐し、得られた一
方の高圧エアー(以下、第1の分岐高圧エアーAir1とい
う。)を分散室45に送出すると共に、他方の高圧エア
ー(以下、第2の分岐高圧エアーAir2という。)をエゼ
クタ46に送出するようになされている。
【0051】分散室45は、研磨材Pが溜められた混合
タンク47と連結部48を介して連結されており、この
混合タンク47から連結部48を通して研磨材Pが供給
されるようになされている。
タンク47と連結部48を介して連結されており、この
混合タンク47から連結部48を通して研磨材Pが供給
されるようになされている。
【0052】詳述すると、混合タンク47の内部には、
研磨材Pを分散室45へと送り出すスクリュー49が設
けられている。このスクリュー49は、その外周面に螺
旋状の溝部を有し、混合タンク47に固定されたモータ
50により回転駆動されることで、溝部に入り込んだ研
磨材Pを連結部48を介して分散室45へと送り出す。
すなわち、混合タンク47では、スクリュー49の回転
に応じた分量の研磨材Pが分散室45へと送り出される
ことになる。
研磨材Pを分散室45へと送り出すスクリュー49が設
けられている。このスクリュー49は、その外周面に螺
旋状の溝部を有し、混合タンク47に固定されたモータ
50により回転駆動されることで、溝部に入り込んだ研
磨材Pを連結部48を介して分散室45へと送り出す。
すなわち、混合タンク47では、スクリュー49の回転
に応じた分量の研磨材Pが分散室45へと送り出される
ことになる。
【0053】また、混合タンク47の内部には、研磨材
Pを攪拌する攪拌フレーム51が設けられている。ま
た、この攪拌フレーム51は、混合タンク47に固定さ
れたモータ52により回転駆動されることで、上記スク
リュー49と連動しながら、このスクリュー49の溝部
に研磨材Pを供給する。
Pを攪拌する攪拌フレーム51が設けられている。ま
た、この攪拌フレーム51は、混合タンク47に固定さ
れたモータ52により回転駆動されることで、上記スク
リュー49と連動しながら、このスクリュー49の溝部
に研磨材Pを供給する。
【0054】なお、混合タンク47の上部には、研磨材
Pが戻される開口部53と、駆動機構54の推進力に基
づいて昇降動作することにより開口部53を開閉する三
角弁55とが設けられている。また、混合タンク47の
底部には、研磨材Pの重さを測定するための電子天秤5
6が設けられている。
Pが戻される開口部53と、駆動機構54の推進力に基
づいて昇降動作することにより開口部53を開閉する三
角弁55とが設けられている。また、混合タンク47の
底部には、研磨材Pの重さを測定するための電子天秤5
6が設けられている。
【0055】これにより、このパウダービーム加工装置
では、混合タンク47の開口部53を三角弁55により
開閉自在とすることができ、混合タンク47内の研磨材
Pの重さを電子天秤56により正確に測定しながら、常
に一定量の研磨材Pを分散室45に送り出すことができ
る。
では、混合タンク47の開口部53を三角弁55により
開閉自在とすることができ、混合タンク47内の研磨材
Pの重さを電子天秤56により正確に測定しながら、常
に一定量の研磨材Pを分散室45に送り出すことができ
る。
【0056】そして、分散室45に送り出された研磨材
Pは、この分散室45を流れる第1の分岐高圧エアーAi
r1によって吹き上げられ、この第1の分岐高圧エアーAi
r1中に分散された状態でエゼクタ46に送出される。エ
ゼクタ46は、分散室45から送出された研磨材Pと第
2の分岐高圧エアーAir2とを混合して固気二相流Air3を
生成し、生成された固気二相流Air3を加工室57内に設
けられた噴射ノズル58に圧送する。
Pは、この分散室45を流れる第1の分岐高圧エアーAi
r1によって吹き上げられ、この第1の分岐高圧エアーAi
r1中に分散された状態でエゼクタ46に送出される。エ
ゼクタ46は、分散室45から送出された研磨材Pと第
2の分岐高圧エアーAir2とを混合して固気二相流Air3を
生成し、生成された固気二相流Air3を加工室57内に設
けられた噴射ノズル58に圧送する。
【0057】加工室57には、噴射ノズル58と対向し
て、上述した基板30が設置されるワーク59が設けら
れており、このワーク59上に設置された基板30に対
して、噴射ノズル58から固気二相流Air3を噴射し、こ
の固気二相流Air3中に分散された研磨材Pによりエッチ
ングを行うようになされている。
て、上述した基板30が設置されるワーク59が設けら
れており、このワーク59上に設置された基板30に対
して、噴射ノズル58から固気二相流Air3を噴射し、こ
の固気二相流Air3中に分散された研磨材Pによりエッチ
ングを行うようになされている。
【0058】噴射ノズル58は、XYステージ60と連
結されたアーム61の先端部に設けられており、このX
Yステージ60からアーム61を介して与えられる推進
力により、水平方向に移動自在とされている。また、噴
射ノズル58は、固気二相流Air3の吹付角度を、ワーク
59上に設置された基板30に対して調節自在とするこ
とができる。
結されたアーム61の先端部に設けられており、このX
Yステージ60からアーム61を介して与えられる推進
力により、水平方向に移動自在とされている。また、噴
射ノズル58は、固気二相流Air3の吹付角度を、ワーク
59上に設置された基板30に対して調節自在とするこ
とができる。
【0059】そして、噴射ノズル58から噴射された固
気二相流Air3は、配管62を通じて分離室63に送出さ
れる。この分離室63には、1次フィルタ64が設けら
れており、固気二相流Air3の一部が、この1次フィルタ
64により濾過された後、配管65を通じて加工室57
内に送り戻され、残りがさらにヘパフィルタなる2次フ
ィルタにより濾過された後、外部へと排出される。
気二相流Air3は、配管62を通じて分離室63に送出さ
れる。この分離室63には、1次フィルタ64が設けら
れており、固気二相流Air3の一部が、この1次フィルタ
64により濾過された後、配管65を通じて加工室57
内に送り戻され、残りがさらにヘパフィルタなる2次フ
ィルタにより濾過された後、外部へと排出される。
【0060】また、1次フィルタ64により回収された
研磨材Pは、バタフライ弁66により開閉自在とされた
連結部67を通って貯蔵室68に送られる。この貯蔵室
68には、スクリュー69が設けられており、このスク
リュー69が貯蔵室68に固定されたモータ70により
回転駆動されることで、研磨材Pを混合タンク47の開
口部53へと送り出すようになされている。
研磨材Pは、バタフライ弁66により開閉自在とされた
連結部67を通って貯蔵室68に送られる。この貯蔵室
68には、スクリュー69が設けられており、このスク
リュー69が貯蔵室68に固定されたモータ70により
回転駆動されることで、研磨材Pを混合タンク47の開
口部53へと送り出すようになされている。
【0061】以上のようにして、このパウダービーム加
工装置では、固気二相流Air3中に分散された研磨材P
を、加工室57、分離室63及び貯蔵室68を順次介し
て再び混合タンク47に戻すことができる。これによ
り、このパウダービーム加工装置では、研磨材Pを効率
よく再利用することが可能となっている。
工装置では、固気二相流Air3中に分散された研磨材P
を、加工室57、分離室63及び貯蔵室68を順次介し
て再び混合タンク47に戻すことができる。これによ
り、このパウダービーム加工装置では、研磨材Pを効率
よく再利用することが可能となっている。
【0062】本例では、以上のように構成されるパウダ
ービーム加工装置を用いてエッチング加工を行う。すな
わち、本例では、図7に示すように、基板30に対し
て、噴射ノズル58から所定の角度で固気二相流Air3を
噴射させ、この固気二相流Air3中に分散された研磨材P
によりエッチングを行う。そして、基板30に対して
は、噴射ノズル58を図7中矢印A方向、すなわち基板
30の切断方向と略直交する方向にスキャンさせなが
ら、ピッチ送りとした後、さらにスキャンさせながら順
次これを繰り返すことにより、レジストマスク31が形
成された基板30の全面に亘ってエッチング加工を施
す。
ービーム加工装置を用いてエッチング加工を行う。すな
わち、本例では、図7に示すように、基板30に対し
て、噴射ノズル58から所定の角度で固気二相流Air3を
噴射させ、この固気二相流Air3中に分散された研磨材P
によりエッチングを行う。そして、基板30に対して
は、噴射ノズル58を図7中矢印A方向、すなわち基板
30の切断方向と略直交する方向にスキャンさせなが
ら、ピッチ送りとした後、さらにスキャンさせながら順
次これを繰り返すことにより、レジストマスク31が形
成された基板30の全面に亘ってエッチング加工を施
す。
【0063】ここで、形成される溝32のチッピング
(欠け)の発生を防ぐためには、噴射ノズル58から噴
出される固気二相流Air3の基板30に対する衝撃力をで
きるだけ小さくすることが望ましい。
(欠け)の発生を防ぐためには、噴射ノズル58から噴
出される固気二相流Air3の基板30に対する衝撃力をで
きるだけ小さくすることが望ましい。
【0064】このため、噴射ノズル58の噴射口の形状
は、短辺の長さを0.3mm以上とし、長辺の長さを短
辺に対して5倍以上の長さ、例えば10mm〜50mm
とした略矩形状とすることが望ましい。また、噴射ノズ
ル58(スリット)の奥行きは、短辺に対して20倍以
上の長さとすることが望ましい。また、使用される研磨
材Pとしては、例えばGC#600〜GC#1500の
ものを使用することが望ましい。
は、短辺の長さを0.3mm以上とし、長辺の長さを短
辺に対して5倍以上の長さ、例えば10mm〜50mm
とした略矩形状とすることが望ましい。また、噴射ノズ
ル58(スリット)の奥行きは、短辺に対して20倍以
上の長さとすることが望ましい。また、使用される研磨
材Pとしては、例えばGC#600〜GC#1500の
ものを使用することが望ましい。
【0065】また、噴射ノズル58は、図7に示すよう
に、固気二相流Air3の吹付角度θを、基板30の表面に
対して10゜〜30゜とすることが望ましい。
に、固気二相流Air3の吹付角度θを、基板30の表面に
対して10゜〜30゜とすることが望ましい。
【0066】これにより、基板30のレジストマスク3
1の開口部31aから臨む面上に、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝32を形成することができる。すなわ
ち、この溝32は、深さ方向に傾斜した底面と、この底
面から略垂直に立ち上がるような側壁をもって形成され
ることになる。
1の開口部31aから臨む面上に、深さ方向に傾斜した
底面を有する溝32を形成することができる。すなわ
ち、この溝32は、深さ方向に傾斜した底面と、この底
面から略垂直に立ち上がるような側壁をもって形成され
ることになる。
【0067】なお、ここでは、例えば研磨材としてGC
#600を用い、エアー流量を50Nl/minとし、
スキャンスピードを100mm/secとしてエッチン
グ加工を行い、形成される溝32の最深部の深さが約2
50μmとなる時点で加工を終了した。
#600を用い、エアー流量を50Nl/minとし、
スキャンスピードを100mm/secとしてエッチン
グ加工を行い、形成される溝32の最深部の深さが約2
50μmとなる時点で加工を終了した。
【0068】次に、図9に示すように、基板30上に形
成されたレジストマスク31を溶解して除去する。そし
て、基板30を洗浄して乾燥させた後、この基板30の
全面に亘って下地膜20となる、例えば厚さ約20nm
のクロム20a及び厚さ約2μmの銅20bをこの順で
スパッタリングにより成膜する。
成されたレジストマスク31を溶解して除去する。そし
て、基板30を洗浄して乾燥させた後、この基板30の
全面に亘って下地膜20となる、例えば厚さ約20nm
のクロム20a及び厚さ約2μmの銅20bをこの順で
スパッタリングにより成膜する。
【0069】次に、図10に示すように、基板30の下
地膜20が形成された面の全面に亘ってシートレジスト
を貼り付けた後、上述した外部接続用端子17に対応し
た開口部よりも一回り大きい開口部が複数形成されてな
るマスクを被せ露光する。そして、この露光された部分
のシートレジストを現像液にて溶解して除去することに
より、基板30の溝32に対応した位置に、この溝32
よりも一回り大きい開口部33aが複数形成されてなる
レジストマスク33を形成する。なお、このレジストマ
スク33に対しては、十分に乾燥させた後、さらに下地
膜20との密着性及び耐久性の向上を図るために、約8
0℃で加熱するベーキング処理を施すことが望ましい。
地膜20が形成された面の全面に亘ってシートレジスト
を貼り付けた後、上述した外部接続用端子17に対応し
た開口部よりも一回り大きい開口部が複数形成されてな
るマスクを被せ露光する。そして、この露光された部分
のシートレジストを現像液にて溶解して除去することに
より、基板30の溝32に対応した位置に、この溝32
よりも一回り大きい開口部33aが複数形成されてなる
レジストマスク33を形成する。なお、このレジストマ
スク33に対しては、十分に乾燥させた後、さらに下地
膜20との密着性及び耐久性の向上を図るために、約8
0℃で加熱するベーキング処理を施すことが望ましい。
【0070】次に、図11に示すように、基板30のレ
ジストマスク33の開口部33aから臨む面上、すなわ
ち基板30の下地膜20が形成された溝32が臨む面上
に、この溝32の深さ約250μmよりも僅かに厚くな
る、例えば厚さ約50μmの金21及び厚さ約230μ
mの銅22を電気鍍金法により順次積層する。
ジストマスク33の開口部33aから臨む面上、すなわ
ち基板30の下地膜20が形成された溝32が臨む面上
に、この溝32の深さ約250μmよりも僅かに厚くな
る、例えば厚さ約50μmの金21及び厚さ約230μ
mの銅22を電気鍍金法により順次積層する。
【0071】次に、図12に示すように、基板30の下
地膜20上に形成レジストマスク33を溶解して除去す
る。そして、基板30を洗浄して乾燥させた後、この基
板30の表面が臨む位置まで研磨して平坦化する。
地膜20上に形成レジストマスク33を溶解して除去す
る。そして、基板30を洗浄して乾燥させた後、この基
板30の表面が臨む位置まで研磨して平坦化する。
【0072】次に、基板30上の個々のスライダ部材1
1に対応した位置に、上述した引出導線18を埋め込み
形成するとともに、この引出導線18と内周側端部にて
接続され、外周側端部とともに、スライダ部材11の空
気流出側へと導出される導出部16aを有する薄膜コイ
ル16を薄膜形成する。これにより、薄膜コイル16
は、導出部16aを介して基板30の溝32の内部に充
填された金21と電気的に接続されることになる。
1に対応した位置に、上述した引出導線18を埋め込み
形成するとともに、この引出導線18と内周側端部にて
接続され、外周側端部とともに、スライダ部材11の空
気流出側へと導出される導出部16aを有する薄膜コイ
ル16を薄膜形成する。これにより、薄膜コイル16
は、導出部16aを介して基板30の溝32の内部に充
填された金21と電気的に接続されることになる。
【0073】次に、この基板30を、溝32の端部付
近、すなわち溝32の側壁に沿って切断し、個々のスラ
イダ部材11に分割する。そして、この分割されたスラ
イダ部材11の切断された端面を金21が露出するまで
研磨する。これにより、図4に示すような端子溝19の
内部に導電性を有する材料が充填された外部接続用端子
17が形成される。
近、すなわち溝32の側壁に沿って切断し、個々のスラ
イダ部材11に分割する。そして、この分割されたスラ
イダ部材11の切断された端面を金21が露出するまで
研磨する。これにより、図4に示すような端子溝19の
内部に導電性を有する材料が充填された外部接続用端子
17が形成される。
【0074】すなわち、この外部接続用端子17は、上
述したように、端子溝19の内部に、例えば、下地膜2
0として、クロム20a、銅20bが順次積層され、こ
の下地膜20上に金21、銅22が順次積層された多層
構造を有し、このうち金21がスライダ部材11の側面
部11bからスライダ部材11の外部に臨むように形成
される。すなわち、外部接続用端子17の端部17aか
らは、金21が露出することになる。
述したように、端子溝19の内部に、例えば、下地膜2
0として、クロム20a、銅20bが順次積層され、こ
の下地膜20上に金21、銅22が順次積層された多層
構造を有し、このうち金21がスライダ部材11の側面
部11bからスライダ部材11の外部に臨むように形成
される。すなわち、外部接続用端子17の端部17aか
らは、金21が露出することになる。
【0075】そして、この外部接続用端子17の端部1
7aに、同じく金からなる導線がワイヤーボンディング
等により接続される。これにより、薄膜コイル16に磁
界を発生させるための電流が供給可能となる。
7aに、同じく金からなる導線がワイヤーボンディング
等により接続される。これにより、薄膜コイル16に磁
界を発生させるための電流が供給可能となる。
【0076】ここで、外部接続用端子17は、金と他の
金属とからなる多層構造を有しているが、このような構
成に必ずしも限定されるものではなく、例えば図5に示
すように、クロム20a、銅20bが順次積層された下
地膜20上に、金21のみを電気鍍金法により充填させ
た構造としてもよい。
金属とからなる多層構造を有しているが、このような構
成に必ずしも限定されるものではなく、例えば図5に示
すように、クロム20a、銅20bが順次積層された下
地膜20上に、金21のみを電気鍍金法により充填させ
た構造としてもよい。
【0077】しかしながら、この外部接続用端子17を
形成するに際しては、銅22の鍍金速度が金21よりも
6倍程度速いことから、図4に示すような下地膜20上
に金21、銅22を順次積層した多層構造とし、このう
ち金21がスライダ部材11の側面部11bからスライ
ダ部材11の外部に臨むような構造とすることが望まし
い。
形成するに際しては、銅22の鍍金速度が金21よりも
6倍程度速いことから、図4に示すような下地膜20上
に金21、銅22を順次積層した多層構造とし、このう
ち金21がスライダ部材11の側面部11bからスライ
ダ部材11の外部に臨むような構造とすることが望まし
い。
【0078】これにより、図5に示す下地膜20上に金
21のみが充填された構造の場合に比べて、加工時間を
大幅に短縮することができ、しかも以上のような工程を
経て外部接続用端子17を形成するようにすれば、金2
1をスライダ部材11の側面部11bからスライダ部材
11の外部に臨むように形成することができる。すなわ
ち、外部接続用端子17の端部17aから金21を容易
に露出させることができる。
21のみが充填された構造の場合に比べて、加工時間を
大幅に短縮することができ、しかも以上のような工程を
経て外部接続用端子17を形成するようにすれば、金2
1をスライダ部材11の側面部11bからスライダ部材
11の外部に臨むように形成することができる。すなわ
ち、外部接続用端子17の端部17aから金21を容易
に露出させることができる。
【0079】そして、作製された個々のスライダ部材1
1の所定の位置に、対物レンズ12、光ファイバ14、
偏光ミラー15を配設することにより、図2に示すよう
なヘッドスライダ10が一括して複数作製される。
1の所定の位置に、対物レンズ12、光ファイバ14、
偏光ミラー15を配設することにより、図2に示すよう
なヘッドスライダ10が一括して複数作製される。
【0080】以上のように作製されたヘッドスライダ1
0では、上述したように、外部接続用端子17が、スラ
イダ部材11に光磁気ディスク4と対向する面11a及
び側面部11bにて開放される端子溝19が形成され、
この端子溝19の内部に導電性を有する材料が充填され
ることにより、薄膜コイル16と導出部16aを介して
電気的に接続されるとともに、その端部17aがスライ
ダ部材11の側面部11bからスライダ部材11の外部
に臨むように形成されている。
0では、上述したように、外部接続用端子17が、スラ
イダ部材11に光磁気ディスク4と対向する面11a及
び側面部11bにて開放される端子溝19が形成され、
この端子溝19の内部に導電性を有する材料が充填され
ることにより、薄膜コイル16と導出部16aを介して
電気的に接続されるとともに、その端部17aがスライ
ダ部材11の側面部11bからスライダ部材11の外部
に臨むように形成されている。
【0081】この場合、従来のようなスライダ部材10
2にダイヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開
け加工を行う場合に比べて、基板30上に形成される溝
32の再現性が高く、スライダ部材11に端子溝19を
精度良く形成することができる。
2にダイヤモンドドリルや超音波加工機等を用いた孔開
け加工を行う場合に比べて、基板30上に形成される溝
32の再現性が高く、スライダ部材11に端子溝19を
精度良く形成することができる。
【0082】したがって、以上のような工程を経てヘッ
ドスライダ10を製造するようにすれば、小型化された
ヘッドスライダ10を精度良く且つ簡便な方法で製造す
ることができる。また、この製造方法では、品質の安定
したヘッドスライダ10を一括して大量に製造すること
ができるので、製造コストの低減を図ることができる。
ドスライダ10を製造するようにすれば、小型化された
ヘッドスライダ10を精度良く且つ簡便な方法で製造す
ることができる。また、この製造方法では、品質の安定
したヘッドスライダ10を一括して大量に製造すること
ができるので、製造コストの低減を図ることができる。
【0083】なお、本発明は、ヘッドスライダが光磁気
ディスクの信号記録面上を微小な間隔で浮上しながら、
ニアフィールド記録と呼ばれる近接場光を利用した信号
の記録及び/又は再生が行われるものについても適用可
能である。
ディスクの信号記録面上を微小な間隔で浮上しながら、
ニアフィールド記録と呼ばれる近接場光を利用した信号
の記録及び/又は再生が行われるものについても適用可
能である。
【0084】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光学ヘッド用スライダでは、磁界発生手段と電気的に
接続される端子が、スライダ部材に記録媒体と対向する
面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端子
溝の内部に導電性材料が充填されることにより、一端が
スライダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨むよう
に形成されていることから、製造が容易な構造となり、
且つ小型化を実現することができる。
る光学ヘッド用スライダでは、磁界発生手段と電気的に
接続される端子が、スライダ部材に記録媒体と対向する
面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端子
溝の内部に導電性材料が充填されることにより、一端が
スライダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨むよう
に形成されていることから、製造が容易な構造となり、
且つ小型化を実現することができる。
【0085】また、本発明に係る光学ヘッド用スライダ
の製造方法によれば、スライダ部材に記録媒体と対向す
る面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端
子溝の内部に導電性材料が充填されることにより、磁界
発生手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライ
ダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成
された光学ヘッド用スライダが一括して複数作製される
ことになる。すなわち、以上のような工程を経て光学ヘ
ッド用スライダを製造するようにすれば、小型化された
光学ヘッド用スライダを精度良く且つ簡便な方法で製造
することができる。また、この製造方法では、品質の安
定した光学ヘッド用スライダを一括して大量に製造する
ことができるので、製造コストの低減を図ることができ
る。
の製造方法によれば、スライダ部材に記録媒体と対向す
る面及び側面にて開放される端子溝が形成され、この端
子溝の内部に導電性材料が充填されることにより、磁界
発生手段と電気的に接続されるとともに、一端がスライ
ダ部材の側面からスライダ部材の外部に臨む端子が形成
された光学ヘッド用スライダが一括して複数作製される
ことになる。すなわち、以上のような工程を経て光学ヘ
ッド用スライダを製造するようにすれば、小型化された
光学ヘッド用スライダを精度良く且つ簡便な方法で製造
することができる。また、この製造方法では、品質の安
定した光学ヘッド用スライダを一括して大量に製造する
ことができるので、製造コストの低減を図ることができ
る。
【0086】また、本発明に係る記録再生装置では、ス
ライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面にて開放さ
れる端子溝が形成され、この端子溝の内部に導電性材料
が充填されることにより、磁界発生手段と電気的に接続
されるとともに、一端がスライダ部材の側面からスライ
ダ部材の外部に臨む端子が形成されたヘッドスライダを
備えることから、小型化された場合であっても、記録媒
体に対する信号の記録及び/又は再生を適切に行うこと
ができる。
ライダ部材に記録媒体と対向する面及び側面にて開放さ
れる端子溝が形成され、この端子溝の内部に導電性材料
が充填されることにより、磁界発生手段と電気的に接続
されるとともに、一端がスライダ部材の側面からスライ
ダ部材の外部に臨む端子が形成されたヘッドスライダを
備えることから、小型化された場合であっても、記録媒
体に対する信号の記録及び/又は再生を適切に行うこと
ができる。
【図1】本発明を適用した光ディスク装置の一例を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図2】上記光ディスク装置が備えるヘッドスライダの
構成を説明するための図である。
構成を説明するための図である。
【図3】上記ヘッドスライダを構成するスライダ部材を
示す図であり、(a)は、スライダ部材の光磁気ディス
クと対向する面側から見た要部平面図であり、(b)
は、スライダ部材の光磁気ディスクの回転により発生す
る空気流の空気流出側の端部から見た要部側面図であ
る。
示す図であり、(a)は、スライダ部材の光磁気ディス
クと対向する面側から見た要部平面図であり、(b)
は、スライダ部材の光磁気ディスクの回転により発生す
る空気流の空気流出側の端部から見た要部側面図であ
る。
【図4】外部接続用端子の一例を示す要部断面図であ
る。
る。
【図5】外部接続用端子の他の例を示す要部断面図であ
る。
る。
【図6】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、基
板上にレジストマスクを形成した状態を示す要部断面図
である。
板上にレジストマスクを形成した状態を示す要部断面図
である。
【図7】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、基
板上に深さ方向に傾斜した底面を有する溝を形成した状
態を示す要部断面図である。
板上に深さ方向に傾斜した底面を有する溝を形成した状
態を示す要部断面図である。
【図8】パウダービーム加工装置の構成を説明するため
の図である。
の図である。
【図9】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、溝
が形成された基板上に下地膜を成膜した状態を示す要部
断面図である。
が形成された基板上に下地膜を成膜した状態を示す要部
断面図である。
【図10】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
下地膜が成膜された基板上にレジストマスクを形成した
状態を示す要部断面図である。
下地膜が成膜された基板上にレジストマスクを形成した
状態を示す要部断面図である。
【図11】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
金及び銅を電気鍍金法により順次積層した状態を示す要
部断面図である。
金及び銅を電気鍍金法により順次積層した状態を示す要
部断面図である。
【図12】外部接続用端子の形成工程を示す図であり、
基板表面を研磨した状態を示す要部断面図である。
基板表面を研磨した状態を示す要部断面図である。
【図13】従来の光学ヘッド用スライダの構成を説明す
るための図である。
るための図である。
1 光ディスク装置、4 光磁気ディスク、10 ヘッ
ドスライダ、11 スライダ部材、11a 光磁気ディ
スクと対向する面、11b 側面、12 対物レンズ、
16 薄膜コイル、17 外部接続用端子、19 端子
溝、20 下地膜、21 金、22 銅、30 基板、
32 溝、40 パウダービーム加工装置、58 噴射
ノズル
ドスライダ、11 スライダ部材、11a 光磁気ディ
スクと対向する面、11b 側面、12 対物レンズ、
16 薄膜コイル、17 外部接続用端子、19 端子
溝、20 下地膜、21 金、22 銅、30 基板、
32 溝、40 パウダービーム加工装置、58 噴射
ノズル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年2月22日(2000.2.2
2)
2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
と、 上記スライダ部材に接合された光学レンズと、 上記光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と
対向する面側に設けられた磁界発生手段とを備え、 上記スライダ部材には、上記記録媒体と対向する面及び
側面にて開放される端子溝が形成されており、この端子
溝の内部に導電性材料が充填されることにより、上記磁
気発生手段と電気的に接続されるとともに、一端が当該
スライダ部材の側面から当該スライダ部材の外部に臨む
端子が形成されていることを特徴とする光学ヘッド用ス
ライダ。 【請求項2】 上記端子溝は、その底面が上記スライダ
部材の記録媒体と対向する面から上記スライダ部材の側
面に向かって深くなるように傾斜して形成されているこ
とを特徴とする請求項1記載の光学ヘッド用スライダ。 【請求項3】 上記端子は、少なくとも金を含む複数の
金属が上記端子溝の内部に充填され、このうち金が上記
スライダ部材の側面から上記スライダ部材の外部に臨む
ように形成されていることを特徴とする請求項1記載の
光学ヘッド用スライダ。 【請求項4】 記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
と、上記スライダ部材に接合された光学レンズと、上記
光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と対向
する面側に設けられた磁界発生手段とを備える光学ヘッ
ド用スライダの製造方法であって、 上記スライダ部材となる基板上に、研磨材を圧縮ガス中
に分散させた噴流を所定の角度で噴射することにより、
深さ方向に傾斜した底面を有する溝を形成する第1の工
程と、 上記基板上に形成された溝の内部に、上記磁気発生手段
と電気的に接続される端子となる導電性材料を充填する
第2の工程と、 上記基板を上記溝の端部付近において切断し、個々のス
ライダ部材に分割する第3の工程とを有することを特徴
とする光学ヘッド用スライダの製造方法。 【請求項6】 上記第1の工程において、上記研磨材を
圧縮ガス中に分散させた噴流を上記基板の表面に対して
10゜〜30゜の角度で噴射することを特徴とする請求
項5記載の光学ヘッド用スライダの製造方法。 【請求項7】 上記第2の工程において、上記基板上に
形成された溝の内部に、導電性材料を鍍金法により充填
することを特徴とする請求項5記載の光学ヘッド用スラ
イダの製造方法。 【請求項8】 上記第2の工程において、上記基板上に
形成された溝の内部に、少なくとも金を含む複数の金属
を順次積層しながら充填し、 上記第3の工程において、上記基板を上記溝の端部付近
において切断し、個々のスライダ部材に分割した後、 上記分割されたスライダ部材の切断面を金が露出するま
で研磨することを特徴とする請求項5記載の光学ヘッド
用スライダの製造方法。 【請求項9】 記録媒体に対する信号の記録及び/又は
再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、 上記光学ヘッドは、回転操作される上記記録媒体上を走
査するヘッドスライダと、このヘッドスライダを支持す
る支持アームとを備え、 上記ヘッドスライダは、記録媒体に対する信号の記録及
び/又は再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスラ
イダ部材と、上記スライダ部材に接合された光学レンズ
と、上記光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒
体と対向する面側に設けられた磁界発生手段とを有し、
上記スライダ部材には、上記記録媒体と対向する面及び
側面にて開放される端子溝が形成されており、この端子
溝の内部に導電性材料が充填されることにより、上記磁
気発生手段と電気的に接続されるとともに、一端が当該
スライダ部材の側面から当該スライダ部材の外部に臨む
端子が形成されていることを特徴とする記録再生装置。 【請求項10】 上記端子溝は、その底面が上記スライ
ダ部材の記録媒体と対向する面から上記スライダ部材の
側面に向かって深くなるように傾斜して形成されている
ことを特徴とする請求項9記載の記録再生装置。 【請求項11】 上記端子は、少なくとも金を含む複数
の金属が上記端子溝の内部に充填され、このうち金が上
記スライダ部材の側面から上記スライダ部材の外部に臨
むように形成されていることを特徴とする請求項9記載
の記録再生装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000046834A JP2001236670A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置 |
US09/782,274 US6781950B2 (en) | 2000-02-18 | 2001-02-14 | Slider for an optical head with a terminal groove having an inclined bottom surface |
NL1017371A NL1017371C2 (nl) | 2000-02-18 | 2001-02-15 | Schuif voor een optische kop, werkwijze voor het vervaardigen daarvan en een inrichting voor het opnemen en/of weergeven. |
KR1020010007740A KR100746571B1 (ko) | 2000-02-18 | 2001-02-16 | 광학 헤드용 슬라이더와 그 제조 방법 및 기록 및/또는재생 장치 |
US10/251,773 US6895657B2 (en) | 2000-02-18 | 2002-09-23 | Method for producing a slider for an optical head |
NL1031444A NL1031444C2 (nl) | 2000-02-18 | 2006-03-27 | Schuif voor een optische kop, werkwijze voor het vervaardigen daarvan en een inrichting voor het opnemen en/of weergeven. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000046834A JP2001236670A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001236670A true JP2001236670A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18569179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000046834A Pending JP2001236670A (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | 光学ヘッド用スライダ及びその製造方法並びに記録再生装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6781950B2 (ja) |
JP (1) | JP2001236670A (ja) |
KR (1) | KR100746571B1 (ja) |
NL (2) | NL1017371C2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8077418B1 (en) * | 2009-03-31 | 2011-12-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Reducing thermal protrusion of a near field transducer in an energy assisted magnetic recording head |
US8351152B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-01-08 | International Business Machines Corporation | Magnetic writer structures formed using post-deposition tilting |
US8240024B2 (en) | 2009-08-25 | 2012-08-14 | International Business Machines Corporation | Methods for fabricating magnetic transducers using post-deposition tilting |
US8416537B2 (en) * | 2009-11-06 | 2013-04-09 | International Business Machines Corporation | Recording head with tilted orientation |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54114223A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of floating type thin film magnetic head |
DE3730969A1 (de) * | 1987-09-15 | 1989-03-23 | Siemens Ag | Magneto-optischer speicher mit einem in die abtasteinheit integrierten magnetkopf |
JPH0334110A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-14 | Yamaha Corp | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
US5124961A (en) * | 1989-12-28 | 1992-06-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Floating head for use with a recording apparatus of magneto-optical memory device |
JPH0474335A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-09 | Sony Corp | 磁界変調型オーバーライト磁気ヘッド |
US5402293A (en) * | 1990-12-27 | 1995-03-28 | Sony Electronics Inc. | Magneto-optical head having a thin film coil recessed into a magnetic substrate |
JPH04345928A (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-01 | Sony Corp | 記録媒体ディスクのドライブ装置 |
US5199090A (en) * | 1992-03-06 | 1993-03-30 | Hewlett-Packard Company | Flying magnetooptical read/write head employing an optical integrated circuit waveguide |
US5444678A (en) * | 1992-09-09 | 1995-08-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Magneto-optic recording magnetic head having magnetic gap which has different sizes in magnetic field modulation mode and light modulation recording mode |
US5406694A (en) * | 1993-11-24 | 1995-04-18 | Rocky Mountain Magnetics, Inc. | Scalable method of fabricating thin-film sliders |
US5722156A (en) * | 1995-05-22 | 1998-03-03 | Balfrey; Brian D. | Method for processing ceramic wafers comprising plural magnetic head forming units |
JP3306539B2 (ja) * | 1996-01-29 | 2002-07-24 | ミネベア株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
US6181673B1 (en) * | 1996-07-30 | 2001-01-30 | Read-Rite Corporation | Slider design |
US6044056A (en) * | 1996-07-30 | 2000-03-28 | Seagate Technology, Inc. | Flying optical head with dynamic mirror |
JPH10112036A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Hitachi Maxell Ltd | 記録再生装置 |
JP3405505B2 (ja) * | 1997-02-06 | 2003-05-12 | ミネベア株式会社 | 磁気記録装置用磁気ヘッドスライダー |
JPH10255424A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-25 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
US6167016A (en) * | 1997-04-11 | 2000-12-26 | Aerial Imaging Corporation | Optical head with a diffractive lens for focusing a laser beam |
WO1998048409A2 (en) * | 1997-04-18 | 1998-10-29 | Read-Rite Corporation | Electro-magnetic coil assembly |
US5850320A (en) * | 1997-05-13 | 1998-12-15 | Seagate Technology, Inc. | Head-gimbal assembly with reduced vertical spacing envelope and alignment structures |
US6130863A (en) * | 1997-11-06 | 2000-10-10 | Read-Rite Corporation | Slider and electro-magnetic coil assembly |
JPH11162034A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 光磁気ヘッドおよび光磁気記録再生装置 |
JP3502761B2 (ja) * | 1998-02-02 | 2004-03-02 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型圧電フィルタの導通溝形成方法 |
US6307818B1 (en) * | 1998-06-09 | 2001-10-23 | Seagate Technology Llc | Magneto-optical head with integral mounting of lens holder and coil |
US5986995A (en) * | 1998-07-06 | 1999-11-16 | Read-Rite Corporation | High NA catadioptric focusing device having flat diffractive surfaces |
US6097575A (en) * | 1998-07-14 | 2000-08-01 | Read-Rite Corporation | Composite slider with housing and interlocked body |
-
2000
- 2000-02-18 JP JP2000046834A patent/JP2001236670A/ja active Pending
-
2001
- 2001-02-14 US US09/782,274 patent/US6781950B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-15 NL NL1017371A patent/NL1017371C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2001-02-16 KR KR1020010007740A patent/KR100746571B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-09-23 US US10/251,773 patent/US6895657B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-03-27 NL NL1031444A patent/NL1031444C2/nl not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010082701A (ko) | 2001-08-30 |
NL1031444C2 (nl) | 2006-09-14 |
NL1031444A1 (nl) | 2006-07-17 |
US6781950B2 (en) | 2004-08-24 |
NL1017371C2 (nl) | 2006-04-06 |
US20030016620A1 (en) | 2003-01-23 |
US20020001259A1 (en) | 2002-01-03 |
NL1017371A1 (nl) | 2001-08-22 |
US6895657B2 (en) | 2005-05-24 |
KR100746571B1 (ko) | 2007-08-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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