JP2001236608A - Magnetic head slider and its manufacturing method - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure capable of preventing the magnetic leakage of a magnetic pole part and controlling a distance between a yoke tip part and an opposing medium surface in a magnetic head slider used for high-density recording. SOLUTION: An upper magnetic pole posited to a lower magnetic pole via a magnetic gap layer is composed of a magnetic pole part, a magnetic pole column and a yoke part. The magnetic pole part has a parallel part extended to a deep side to be nearly a track width, and a fan-shaped part in a deep side more than its apex. The magnetic pole part has a magnetic gap with the lower magnetic pole from an opposing medium surface to the apex, and a gap with the lower magnetic pole is wider in the deep side more than the apex than the magnetic gap. The yoke part has its tip part connected to be overlapped on the magnetic pole part from the rear of a FEAB shallow groove depth from the opposing medium surface, and is extended from there into a coil and a coil insulating layer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録再生分離型の
磁気ヘッドに関し、特に基板上に下部磁極、磁気ギャッ
プ層、コイルおよび上部磁極層を形成してなる磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの、特に記録ヘッド部の構造およびそ
の製造方法で、寄生イレーズを防ぐ機能を有する磁気ヘ
ッドスライダーに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording / reproducing separation type magnetic head, and more particularly to a magneto-resistance effect type magnetic head having a lower magnetic pole, a magnetic gap layer, a coil and an upper magnetic pole layer formed on a substrate. The present invention relates to a magnetic head slider having a function of preventing a parasitic erase in a structure of a recording head portion and a method of manufacturing the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気ディスクドライブの磁気ヘッドとし
ては、誘導磁気ヘッドと磁気抵抗ヘッドを複合したもの
が用いられており、誘導磁気ヘッドで情報を磁気ディス
クドライブの磁気記録媒体に記録し、磁気記録媒体に記
録されている磁気情報を磁気抵抗ヘッドで読み出すよう
になっている。磁気抵抗ヘッドとしては、Ni-Co などの
磁気抵抗効果素子層と導電性のあるＳＡＬ(soft adjace
nt layer) 層とを、電気抵抗の比較的大きいTaなどの層
を介して積層したものが用いられている。これら３層を
積層したものの長手方向に静磁界を印加するなどして、
磁気抵抗効果素子内の長手方向を向いた磁化を生じさせ
ておく。この３層の長手方向にセンス電流を流すと、Ｓ
ＡＬ層に分流した電流によってＳＡＬ層の軸の周囲に磁
界が生じるので、この磁界によって磁気抵抗効果素子層
内の磁化がその長手方向から約４５度の方向になる。こ
の磁気抵抗効果素子層を磁気記録媒体に対向させると、
磁気記録媒体の磁気情報によって、磁気抵抗効果素子内
の磁化角度が変動する。この変動に応じて、磁気抵抗効
果素子層のセンス電流に対する抵抗が変わるので、磁気
記録媒体の磁気情報を読み出すことができる。2. Description of the Related Art As a magnetic head of a magnetic disk drive, a combination of an induction magnetic head and a magnetoresistive head is used, and information is recorded on a magnetic recording medium of the magnetic disk drive by the induction magnetic head. Magnetic information recorded on the medium is read by a magnetoresistive head. The magnetoresistive head is composed of a magnetoresistive element layer such as Ni-Co and a conductive SAL (soft adjace).
An nt layer) is used in which layers are stacked via a layer such as Ta having a relatively high electric resistance. By applying a static magnetic field in the longitudinal direction of these three layers,
A longitudinal magnetization is generated in the magnetoresistive element. When a sense current flows in the longitudinal direction of these three layers, S
Since a magnetic field is generated around the axis of the SAL layer by the current shunted to the AL layer, the magnetic field causes the magnetization in the magnetoresistive element layer to be oriented at about 45 degrees from its longitudinal direction. When this magnetoresistive element layer faces the magnetic recording medium,
The magnetization angle in the magnetoresistive element fluctuates according to the magnetic information of the magnetic recording medium. Since the resistance of the magnetoresistive element layer to the sense current changes according to the fluctuation, magnetic information of the magnetic recording medium can be read.

【０００３】磁気抵抗ヘッドとしてはスピンバルブのも
のもある。スピンバルブ磁気抵抗ヘッドでは、２枚の強
磁性体薄膜を銅などの非磁性薄膜を介して積層してお
き、一方の強磁性体薄膜は反強磁性体薄膜と隣接させて
おいて、その強磁性体薄膜内の磁化の方向を固定（ピ
ン）しておく。他方の強磁性体薄膜内の磁化方向を自由
状態にしておいて、この磁気抵抗ヘッドを磁気記録媒体
に対向させると、磁気記録媒体の磁気情報に応じて、自
由状態になっている強磁性体薄膜内の磁化が変動する。
この磁化の方向が、もう一方の強磁性体薄膜内の固定さ
れた磁化に対して相対的に変化する。非磁性薄膜の両面
にある強磁性体薄膜内の相対的な磁化方向が変わるの
で、非磁性薄膜を流れるセンス電流に対する抵抗が変わ
り、磁気記録媒体の磁気情報を読み出すことができる。[0003] As a magnetoresistive head, there is also a spin valve type. In a spin-valve magnetoresistive head, two ferromagnetic thin films are stacked via a non-magnetic thin film such as copper, and one ferromagnetic thin film is adjacent to an antiferromagnetic thin film, and its strength is reduced. The direction of magnetization in the magnetic thin film is fixed (pinned). If the magnetization direction in the other ferromagnetic thin film is in a free state and this magnetoresistive head is opposed to a magnetic recording medium, the ferromagnetic material in a free state according to the magnetic information of the magnetic recording medium. The magnetization in the thin film fluctuates.
The direction of this magnetization changes relative to the fixed magnetization in the other ferromagnetic thin film. Since the relative magnetization directions in the ferromagnetic thin films on both sides of the non-magnetic thin film change, the resistance to the sense current flowing through the non-magnetic thin film changes, and magnetic information on the magnetic recording medium can be read.

【０００４】このように情報を読み出すのに用いられる
磁気抵抗ヘッドの代表的なものは磁気抵抗効果素子を用
いているもの、スピンバルブを用いているものであり、
これら以外の構造のヘッドも磁気記録媒体から磁気情報
を読み出すのに用いられている。[0004] Representative examples of the magnetoresistive head used for reading information as described above include those using a magnetoresistive element and those using a spin valve.
Heads having other structures are also used to read magnetic information from a magnetic recording medium.

【０００５】磁気ディスクドライブなどの磁気記録媒体
に用いられる磁気ヘッドとしては、上に述べたような磁
気抵抗ヘッドと誘導磁気ヘッドとを積層した複合磁気ヘ
ッドをヘッドスライダー上に形成したものが用いられて
いる。非磁性絶縁性セラミックスで出来たヘッドスライ
ダー上に、絶縁薄膜を介して下部及び上部シールドの間
に磁気抵抗ヘッドが設けられている。この上部シールド
は誘導磁気ヘッドの下部磁極を兼ねて、その上に磁気ギ
ャップ層を介して上部磁極が設けられていて、これら下
部磁極と上部磁極が誘導磁気ヘッドの磁極となってい
る。誘導磁気ヘッドの磁極と磁気抵抗ヘッドはヘッドス
ライダーのエアベアリング面すなわち媒体対向面に向い
て設けられている。また、誘導磁気ヘッドの上部および
下部磁極でもって磁路が形成されており、この磁路を取
り巻くように励磁コイルが巻かれている。As a magnetic head used for a magnetic recording medium such as a magnetic disk drive, a magnetic head formed by laminating a magnetoresistive head and an inductive magnetic head as described above on a head slider is used. ing. A magnetoresistive head is provided between a lower and upper shield via a thin insulating film on a head slider made of nonmagnetic insulating ceramics. The upper shield also serves as a lower magnetic pole of the induction magnetic head, and an upper magnetic pole is provided thereon via a magnetic gap layer. The lower magnetic pole and the upper magnetic pole are magnetic poles of the induction magnetic head. The magnetic poles and the magnetoresistive head of the induction magnetic head are provided facing the air bearing surface of the head slider, that is, the medium facing surface. A magnetic path is formed by the upper and lower magnetic poles of the induction magnetic head, and an exciting coil is wound around the magnetic path.

【０００６】誘導磁気ヘッドの下部磁極はほぼ平坦な構
造をしていて、その上にほぼ全面に亘ってアルミナなど
の絶縁薄膜からなる磁気ギャップ層が形成されている。
磁気ギャップ層上には、絶縁樹脂層やコイル及びコイル
を囲み込んでいる絶縁層が形成され、その上に上部磁極
が形成されている。上部磁極は、媒体対向面側では磁気
ギャップ層上に直接に、下部磁極との接続部では下部磁
極上に直接に設けられていて、磁極と接続部の間にある
背の部分ではコイルとコイル絶縁層を積層した上に設け
られている。このように磁気ギャップ層上の部分と背の
部分のように段差が６〜２０μｍもあるところに上部磁
極を形成するためにレジストマスクを形成すると、パタ
ーニング誤差が大きくなって、高密度記録に対応した狭
トラックの磁極を形成するには適当でない。The lower magnetic pole of the induction magnetic head has a substantially flat structure, and a magnetic gap layer made of an insulating thin film of alumina or the like is formed on almost the entire surface of the lower magnetic pole.
An insulating resin layer, a coil, and an insulating layer surrounding the coil are formed on the magnetic gap layer, and an upper magnetic pole is formed thereon. The upper magnetic pole is provided directly on the magnetic gap layer on the medium facing surface side, directly on the lower magnetic pole at the connection with the lower magnetic pole, and the coil and the coil on the back part between the magnetic pole and the connecting part. It is provided on an insulating layer laminated. When a resist mask is formed to form an upper magnetic pole at a step having a height of 6 to 20 μm, such as a portion above and behind a magnetic gap layer, a patterning error becomes large, and it corresponds to high density recording. It is not suitable for forming a magnetic pole of a narrow track.

【０００７】そこで上部磁極を磁極部、磁極柱と、背の
部分のヨーク部とに分けて形成し、磁極部は磁気ギャッ
プ層上に直接設け、磁極柱は下部磁極上に直接設け、ヨ
ーク部は磁極部上からコイル及びコイルを覆うコイル絶
縁層の上に亘って設け磁極柱に接続する構造が提案され
ている。この構造においては磁極部ではその先端のとこ
ろすなわち媒体対向面ではトラック幅になるように絞ら
れた狭さを持っていて、媒体対向面から離れるに従って
広くなった扇形をしたものとするのが普通である。ま
た、ギャップ深さを正しく出すために磁極先端に近い部
分のギャップ対向面にエイペックスを付けて、磁極部の
ギャップ対向面の媒体対向面からエイペックスまでの部
分は磁気ギャップ層上に設けられて、エイペックスより
も奥の部分は磁気ギャップ層上に重なったエイペックス
規定用絶縁部の上に形成されている。このような構造に
することで、磁極部のエイペックスよりも奥の部分では
漏れ磁界が小さくなるようにしている。Therefore, the upper magnetic pole is divided into a magnetic pole portion, a magnetic pole column, and a yoke portion on the back, and the magnetic pole portion is provided directly on the magnetic gap layer, the magnetic pole column is provided directly on the lower magnetic pole, and the yoke portion is formed. There is proposed a structure in which a magnetic pole is provided over a coil and a coil insulating layer covering the coil from a magnetic pole portion and connected to a magnetic pole. In this structure, the magnetic pole portion has a narrow width narrowed to the track width at the tip end, that is, the medium facing surface, and generally has a fan shape that becomes wider as the distance from the medium facing surface increases. It is. In order to correctly determine the gap depth, an apex is attached to the gap facing surface near the tip of the magnetic pole, and the portion from the medium facing surface to the apex of the gap facing surface of the magnetic pole is provided on the magnetic gap layer. The portion deeper than the apex is formed on the apex defining insulating portion overlapping the magnetic gap layer. With such a structure, the leakage magnetic field is reduced in a portion deeper than the apex of the magnetic pole portion.

【０００８】また、ヨーク部は、その先端では磁極部の
上に接続されて設けられているが、媒体対向面からでき
るだけ離れたところに形成して、ヨーク部の先端からの
漏れ磁界を防いで寄生イレーズの発生を防いでいる。The yoke portion is provided at the tip thereof so as to be connected to the magnetic pole portion. However, the yoke portion is formed as far as possible from the medium facing surface to prevent a leakage magnetic field from the tip of the yoke portion. The occurrence of parasitic erase is prevented.

【０００９】磁気ヘッドの製造工程において、ヘッドス
ライダー上に積層形成した複合磁気ヘッドのエアーベア
リング面を研磨して、磁気ギャップ深さを出している。
上部磁気コア先端部全体を上記のように扇形にしている
と、エアベアリング面を研磨する際の研磨深さによって
トラック幅が変わってくる。このように先端部が扇形に
なっていると、トラック幅を正しく管理することが困難
なので、先端部の先端を矩形にして、エアーベアリング
面の加工深さに関係なくトラック幅を管理できるように
することも行われている。In the process of manufacturing the magnetic head, the air gap surface of the composite magnetic head laminated on the head slider is polished to determine the magnetic gap depth.
If the entire top end of the upper magnetic core has a sector shape as described above, the track width changes depending on the polishing depth when polishing the air bearing surface. If the tip is fan-shaped, it is difficult to manage the track width correctly, so make the tip of the tip rectangular so that the track width can be managed regardless of the processing depth of the air bearing surface. It has also been done.

【００１０】スライダー面は、周速やヨー角に関係なく
浮上量がほぼ一定になるように負圧を発生させる約１か
ら３μｍ深さの深溝が形成されている。しかし、近年、
外気圧に対する浮上量変化を抑えることや、スライダー
の浮上時間を短縮するため前記浮上面の周囲に約０．２
から０．５μｍ深さの浅溝を形成することが行われるよ
うになってきている。The slider surface is provided with a deep groove having a depth of about 1 to 3 μm for generating a negative pressure so that the flying height is substantially constant irrespective of the peripheral speed and the yaw angle. However, in recent years,
In order to suppress the change of the flying height with respect to the outside air pressure and to shorten the floating time of the slider, about 0.2
To form a shallow groove having a depth of 0.5 μm.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】磁極部のエイペックス
から媒体対向面までの寸法は2 μｍ程度と小さく、ヨー
ク先端部が媒体対向面より離れている寸法は０．１５か
ら０．５μｍ程度である。エイペックスとヨーク先端部
の位置が重要であり、ヨーク先端部の位置が媒体対向面
から遠ざかる方向にずれると磁極部の磁気飽和が生じ磁
気抵抗が大きくなり、そのために磁気漏洩が生じるとい
う問題が発生する。また、ヨーク先端部の位置が媒体対
向面に近づく方向にずれると、寄生イレーズの抑制効果
が薄れると言う問題がある。このことからヨーク先端部
とエイペックスの位置を正確に製造する必要があること
が判るが、製造する上では難しかった。The dimension of the magnetic pole portion from the apex to the medium facing surface is as small as about 2 μm, and the dimension of the yoke tip portion apart from the medium facing surface is about 0.15 to 0.5 μm. is there. The position of the apex and the tip of the yoke is important, and if the position of the tip of the yoke shifts away from the medium facing surface, magnetic saturation of the magnetic pole part occurs and the magnetic resistance increases, which causes the problem of magnetic leakage. appear. Further, if the position of the tip of the yoke shifts in the direction approaching the medium facing surface, there is a problem that the effect of suppressing the parasitic erase is weakened. From this, it can be seen that it is necessary to accurately manufacture the positions of the yoke tip and the apex, but it was difficult to manufacture.

【００１２】そこで本発明では、エイペックス位置とヨ
ーク先端部の位置が高精度に制御された、磁気ヘッドス
ライダーを提供することを目的としている。Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic head slider in which the position of the apex and the position of the yoke tip are controlled with high precision.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドスラ
イダーは、媒体対向面にＦＥＡＢ浅溝とＦＥＡＢ深溝と
が形成されているスライダーと、少なくとも磁気記録面
側においてギャップ層を挟んで対峙させて磁気回路を構
成する下部磁極と上部磁極を備えた記録再生分離型磁気
ヘッドであって、上部磁極は磁極部と磁極柱とヨーク部
を備え、前記磁極部にはエイペックス規定用絶縁部を備
えており、磁極部は媒体対向面の近くではトラック幅方
向の幅が小さくなっておりそのトラック幅方向の両端面
が平行部を有しているとともに、前記エイペックス規定
用絶縁部の上でトラック幅方向の幅が広くなっている扇
形部を有しているとともに、前記ヨーク部は磁極部上に
重なっており、そのヨーク先端部は、媒体対向面からほ
ぼＦＥＡＢ浅溝の深さだけ後ろの位置にあることを特徴
とする。A magnetic head slider according to the present invention faces a slider in which a FEAB shallow groove and a FEAB deep groove are formed on a medium facing surface with a gap layer interposed at least on a magnetic recording surface side. A recording / reproducing separation type magnetic head including a lower magnetic pole and an upper magnetic pole constituting a magnetic circuit, wherein the upper magnetic pole includes a magnetic pole part, a magnetic pole column, and a yoke part, and the magnetic pole part includes an apex defining insulating part. The magnetic pole portion has a narrow width in the track width direction near the medium facing surface, and both end surfaces in the track width direction have parallel portions, and the magnetic pole portion has a track on the apex defining insulating portion. The yoke portion has a fan-shaped portion whose width in the width direction is widened, and the yoke portion overlaps the magnetic pole portion. Characterized in that there is only a position behind the.

【００１４】本発明の磁気ヘッドスライダーは、前記ヨ
ーク先端部は媒体対向面からほぼＦＥＡＢ浅溝の深さだ
け後ろの位置にあり、その先端部は磁極部から離れた部
分のヨーク先端部の上部に、ほぼＦＥＡＢ深溝の深さだ
け後ろになっている面を持っていることが好ましい。In the magnetic head slider according to the present invention, the tip of the yoke is located at a position substantially behind the medium facing surface by the depth of the FEAB shallow groove, and the tip of the yoke is located above the tip of the yoke at a position apart from the magnetic pole. In addition, it is preferable to have a surface which is substantially behind by the depth of the FEAB deep groove.

【００１５】前記本発明の磁気ヘッドスライダーは、前
記磁極部の媒体対向面で、磁極部がその上部にほぼＦＥ
ＡＢ浅溝の深さだけ後ろになっている面を持つことがで
きる。In the magnetic head slider according to the present invention, the magnetic pole portion is substantially FE on the medium facing surface of the magnetic pole portion.
It is possible to have a surface behind by the depth of the AB shallow groove.

【００１６】本発明の磁気ヘッドスライダーは、磁極部
の扇形部がエイペックスよりも後ろにあることが好まし
い。In the magnetic head slider according to the present invention, it is preferable that the sector of the magnetic pole portion is located behind the apex.

【００１７】本発明の磁気ヘッドスライダーは、ヨーク
部の磁極部に重なっている前記ヨーク先端部は、磁極部
の扇形部の幅よりも大で、厚さも大であることをが好ま
しい。In the magnetic head slider according to the present invention, it is preferable that the tip of the yoke overlapping the magnetic pole of the yoke is larger than the width and the thickness of the sector of the magnetic pole.

【００１８】本発明の磁気ヘッドスライダーは、非磁性
セラミックス基板からなるスライダーの上に、下部磁極
と、前記下部磁極上に形成された磁気ギャップ層と、前
記ギャップ層上に形成されたエイペックス規定用絶縁部
と、前記エイペックス規定用絶縁部から続く絶縁層上に
形成されたコイルと、前記コイルを覆うコイル絶縁層
と、媒体対向面から前記ギャップ層及び前記エイペック
ス規定用絶縁部の上に延びた磁極部と、この磁極部上に
その先端部を重ねてその先端部から始まってコイル絶縁
層上に延びているヨーク部とを順次形成する磁気ヘッド
スライダーの製造において、前記磁極部とコイル絶縁層
の上に亘って、ヨーク部となる磁性体膜を少なくとも磁
気ヘッド媒体対向面近くまで突出して形成し、スライダ
ーの媒体対向面にＦＥＡＢ浅溝をドライエッチング形成
するときに、ヨーク部となる磁性体膜のヨーク先端部を
媒体対向面からほぼＦＥＡＢ浅溝の深さまで媒体対向面
側からドライエッチングすることを特徴とするものであ
る。A magnetic head slider according to the present invention comprises a slider made of a nonmagnetic ceramic substrate, a lower magnetic pole, a magnetic gap layer formed on the lower magnetic pole, and an apex definition formed on the gap layer. An insulating section, a coil formed on an insulating layer continuing from the apex defining insulating section, a coil insulating layer covering the coil, and a medium facing surface on the gap layer and the apex defining insulating section. In the manufacture of a magnetic head slider in which a magnetic pole portion extending to the magnetic pole portion and a yoke portion extending from the distal end portion on the magnetic pole portion and extending on the coil insulating layer are sequentially formed, the magnetic pole portion and A magnetic film serving as a yoke is formed so as to protrude at least near the magnetic head medium facing surface over the coil insulating layer. When dry etching the AB shallow groove, the yoke tip of the magnetic film serving as the yoke portion is dry-etched from the medium facing surface side to the depth of the FEAB shallow groove from the medium facing surface. .

【００１９】ＦＥＡＢ浅溝を形成するフォトレジストマ
スクに、ＦＥＡＢ浅溝パターンとヨーク先端部を削るパ
ターンを入れることで、工程数を増やすことなくヨーク
先端部を加工することができる。By inserting the FEAB shallow groove pattern and the pattern for shaving the yoke tip into the photoresist mask for forming the FEAB shallow groove, the tip of the yoke can be processed without increasing the number of steps.

【００２０】ＦＥＡＢ浅溝だけでなく、深溝もしくは浅
溝と深溝の組み合わせとすることもできる。ドライエッ
チングはイオンミリング装置を用いることが好ましいも
のである。Not only the FEAB shallow groove but also a deep groove or a combination of the shallow groove and the deep groove can be used. For dry etching, it is preferable to use an ion milling device.

【００２１】ヨーク先端部を媒体対向面からほぼＦＥＡ
Ｂ浅溝深さまでドライエッチングした上でダイヤモンド
ライクカーボン等の媒体対向面保護膜をスライダー媒体
対向面全面に形成することが好ましいものである。ヨー
ク先端部をＦＥＡＢ浅溝もしくは深溝加工と同時に加工
することで、媒体対向面より奥まった個所にヨーク先端
部が露出することになるが、全面を媒体対向面保護膜で
覆うことにより、外気から遮断されるため腐食等の問題
もなくなる。The tip of the yoke is almost FEA from the medium facing surface.
It is preferable that a medium facing surface protection film such as diamond-like carbon is formed on the entire surface of the slider medium facing surface after dry etching to the depth of the shallow groove B. By processing the tip of the yoke at the same time as the FEAB shallow groove or deep groove processing, the tip of the yoke is exposed at a position deeper than the medium facing surface, but by covering the entire surface with the medium facing surface protective film, The problem of corrosion and the like is eliminated because of the interruption.

【００２２】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の磁気ヘッドを図１，２，
３に示す実施例を参照しながら詳細に説明する。ここで
図１は本発明による磁気ヘッドスライダー１００の実施
例の斜視図であり、図２は素子近傍部の断面図であり、
図３はそれを上部磁極側から見た平面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic head according to the present invention is shown in FIGS.
This will be described in detail with reference to the embodiment shown in FIG. Here, FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of a magnetic head slider 100 according to the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a plan view of this as viewed from the upper magnetic pole side.

【００２３】図１において、１はヘッドスライダーを構
成しているアルミナチタンカーバイドなどの非磁性セラ
ミックス基板であり、このスライダーの尾端面上に磁気
抵抗ヘッド２と誘導磁気ヘッド３が積層して形成されて
いる。媒体対向面には、正圧を発生させる浮上面４０と
負圧を発生させる浅溝４２と深溝４１が形成されてい
る。誘導磁気ヘッド３のヨーク先端部を取り囲むように
浅溝４２が形成されている。本明細書では誘導磁気ヘッ
ド３を単に磁気ヘッドと呼ぶ。また、磁気抵抗ヘッド２
と誘導磁気ヘッド３とを積層した複合磁気ヘッドを全体
として磁気ヘッドと呼ぶこともある。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a non-magnetic ceramic substrate such as alumina titanium carbide constituting a head slider. A magneto-resistive head 2 and an induction magnetic head 3 are formed on the tail end surface of the slider. ing. On the medium facing surface, a floating surface 40 for generating a positive pressure, a shallow groove 42 and a deep groove 41 for generating a negative pressure are formed. A shallow groove 42 is formed so as to surround the tip of the yoke of the induction magnetic head 3. In this specification, the induction magnetic head 3 is simply called a magnetic head. Also, the magnetoresistive head 2
The composite magnetic head in which the magnetic head and the induction magnetic head 3 are stacked may be referred to as a magnetic head as a whole.

【００２４】磁気抵抗ヘッド２は、セラミックス基板１
の上に付けられた絶縁層１１の上に形成されており、下
部シールド２１と上部シールド２２の間に磁気抵抗素子
２３が絶縁層２４を介して挟まれている。この磁気抵抗
素子２３は既に述べた磁気抵抗効果素子タイプのもの、
スピンバルブタイプ、トンネル効果タイプのもの等であ
り、ここでセンス電流を供給するためのリードは省略し
ている。磁気抵抗素子２３はエアベアリング面すなわち
媒体対向面４に接して設けられている。上部シールド２
２の上には絶縁層２５を挟んで下部磁極５が形成され
る。本実施例では上部シールド２２と下部磁極５が個別
に形成されたピギーバックタイプであるが、上部シール
ド２２が下部磁極５を兼ねたマージタイプでも同様であ
る。下部磁極の上には磁極柱６２が下部磁極５と接続さ
れる部分を除き、磁気ギャップ層５１が形成される。The magnetoresistive head 2 comprises a ceramic substrate 1
A magnetoresistive element 23 is sandwiched between a lower shield 21 and an upper shield 22 via an insulating layer 24. This magnetoresistive element 23 is of the magnetoresistive element type already described,
It is of a spin valve type, a tunnel effect type or the like, and a lead for supplying a sense current is omitted here. The magnetoresistive element 23 is provided in contact with the air bearing surface, that is, the medium facing surface 4. Upper shield 2
The lower magnetic pole 5 is formed on 2 with an insulating layer 25 interposed therebetween. In this embodiment, the piggyback type in which the upper shield 22 and the lower magnetic pole 5 are separately formed, but the same applies to the merge type in which the upper shield 22 also serves as the lower magnetic pole 5. A magnetic gap layer 51 is formed on the lower magnetic pole except for a portion where the pole column 62 is connected to the lower magnetic pole 5.

【００２５】磁気ギャップ層５１にはエイペックス６６
を決めるエイペックス規定用絶縁部６５と磁極部６１、
磁極柱６２、絶縁層２６が形成される。絶縁層２６の上
にはコイル７が形成され絶縁樹脂などからなるコイル絶
縁層２７で覆われている。コイル絶縁層２７を覆うよう
に、磁極部６１と磁極柱６２を磁気的に接続するヨーク
部６３が形成される。磁極部６１とヨーク部６３、磁極
柱６２で上部磁極６を構成することとなる。コイル７と
磁気抵抗素子２３の外部引き出し端子（図示せず）等を
形成した後、アルミナ等の絶縁材で構成される保護層１
２で上部磁極６等を全面覆い素子を保護することで基本
的な磁気ヘッド素子の形成が終了する。ヨーク部６３の
ヨーク先端部６４は、後で詳しく述べるＦＥＡＢ加工に
よって、ＦＥＡＢ浅溝４２の深さだけ媒体対向面４より
後退している。本実施例では後退量を０．３μｍとし
た。ＦＥＡＢ加工時にヨーク先端部だけでなく、ヨーク
先端部を取り囲む保護層１２もＦＥＡＢ浅溝深さだけ後
退している。後退している保護層１２の除去した幅寸法
はヨーク部寸法から５μｍとした。The magnetic gap layer 51 has an apex 66
Apex regulating insulating part 65 and magnetic pole part 61,
The pole pole 62 and the insulating layer 26 are formed. The coil 7 is formed on the insulating layer 26 and is covered with a coil insulating layer 27 made of an insulating resin or the like. A yoke portion 63 for magnetically connecting the magnetic pole portion 61 and the magnetic pole column 62 is formed so as to cover the coil insulating layer 27. The magnetic pole part 61, the yoke part 63, and the magnetic pole column 62 constitute the upper magnetic pole 6. After forming the coil 7 and external lead terminals (not shown) of the magnetoresistive element 23 and the like, the protective layer 1 made of an insulating material such as alumina is formed.
2, the upper magnetic pole 6 and the like are entirely covered to protect the elements, thereby completing the formation of the basic magnetic head element. The yoke tip 64 of the yoke 63 is retracted from the medium facing surface 4 by the depth of the FEAB shallow groove 42 by FEAB processing described later in detail. In this embodiment, the retreat amount is set to 0.3 μm. During the FEAB processing, not only the tip of the yoke but also the protective layer 12 surrounding the tip of the yoke is receded by the FEAB shallow groove depth. The width dimension of the removed protective layer 12 was set at 5 μm from the yoke dimension.

【００２６】磁極部６１はトラック幅Ｔｗをなすトラッ
ク部５５とそこから奥方向に延びた磁極扇形部５６から
形成されている。トラック部５５に近い部分では、磁気
ギャップ層５１を介して下部磁極５と対向していて、そ
の間が磁気ギャップとなっている。この磁気ギャップ層
５１との対向面で、媒体対向面４から奥まった位置から
エイペックス規定用絶縁部６５が始まって延びているの
で、磁極部６１はその上に続いて形成されていて、磁気
ギャップ層５１とエイペックス規定用絶縁部６５との境
界すなわちエイペックス規定用絶縁部６５の媒体対向面
４に最も近い先端のところにエイペックス６６を持つ。
磁極部６１は、エイペックス６６よりも奥のところでは
磁気ギャップよりも大きな間隙を下部磁極５との間に持
って、媒体対向面４からエイペックス６６までの間がギ
ャップ深さとなっている。ギャップ深さはほぼ１．０μ
ｍであり、磁極部６１のエイペックス６６よりも後ろの
部分は、ギャップ深さよりも通常長く延びているもので
あるが、エイペックス６６よりも後ろの部分では下部磁
極５との間に磁気ギャップよりも大きな間隙を持つの
で、その部分での磁気漏洩はほとんど生じないようにな
っている。The magnetic pole portion 61 is formed of a track portion 55 having a track width Tw and a magnetic pole sector portion 56 extending from the track portion 55 in the depth direction. The portion near the track portion 55 faces the lower magnetic pole 5 via the magnetic gap layer 51, and a gap therebetween forms a magnetic gap. On the surface facing the magnetic gap layer 51, the apex defining insulating portion 65 starts and extends from a position deeper than the medium facing surface 4, so that the magnetic pole portion 61 is formed continuously on top of it. An apex 66 is provided at the boundary between the gap layer 51 and the apex defining insulating portion 65, that is, at the tip closest to the medium facing surface 4 of the apex defining insulating portion 65.
The magnetic pole portion 61 has a gap between the lower magnetic pole 5 and the lower magnetic pole 5 at a position deeper than the apex 66 and has a gap depth from the medium facing surface 4 to the apex 66. Gap depth is approximately 1.0μ
m, the portion of the magnetic pole portion 61 behind the apex 66 usually extends longer than the gap depth, but the portion behind the apex 66 has a magnetic gap between the magnetic pole portion 61 and the lower magnetic pole 5. Since the gap is larger than the gap, magnetic leakage is hardly generated in the gap.

【００２７】磁極部６１の平面形状は、図３に示すよう
に、媒体対向面４のところではトラック幅Ｔｗになった
トラック部５５を持っており、媒体対向面４から遠いと
ころで、磁極部６１は磁極扇形部５６を持っている。ヨ
ーク部６３がトラック部５５の後部と磁極扇形部５６の
上に片側２μｍ位大きく覆うようにして取り付けられて
いるので、磁極扇形部５６とヨーク部６３との接触面積
が大きくなりその間の磁気抵抗が小さくなる。As shown in FIG. 3, the magnetic pole portion 61 has a track portion 55 having a track width Tw at the medium facing surface 4 and a magnetic pole portion 61 far from the medium facing surface 4 as shown in FIG. Has a magnetic pole sector 56. Since the yoke portion 63 is mounted on the rear portion of the track portion 55 and on the magnetic pole sector portion 56 so as to largely cover about 2 μm on one side, the contact area between the magnetic pole sector portion 56 and the yoke portion 63 is increased, and the magnetic resistance therebetween is increased. Becomes smaller.

【００２８】ヨーク先端部６４はエイペックス６６より
も媒体対向面４に近いところにあるとともに、ヨーク先
端部６４は、ほぼＦＥＡＢ浅溝の深さだけ媒体対向面４
から後退すなわち奥まった位置にある。ＦＥＡＢ浅溝の
深さは通常０．１〜０．５μｍなので、ヨーク先端部６
４が媒体対向面４から０．１〜０．５μｍ離れて設けら
れている。これだけの距離離れていることによって、こ
の部分から媒体への磁気漏洩を防ぐことが出来て、寄生
イレーズを防ぐことができる。The yoke tip 64 is closer to the medium facing surface 4 than the apex 66, and the yoke tip 64 is approximately the depth of the FEAB shallow groove.
From the back, that is, in the recessed position. Since the depth of the FEAB shallow groove is usually 0.1 to 0.5 μm, the yoke tip 6
4 is provided at a distance of 0.1 to 0.5 μm from the medium facing surface 4. With such a distance, magnetic leakage from this portion to the medium can be prevented, and parasitic erase can be prevented.

【００２９】図４に示すようにヨーク部６３が厚い場合
には、ＦＥＡＢ浅溝深さ分後退したヨーク先端部６４の
上の部分にＦＥＡＢ深溝深さ分である約１．０〜２．５
μｍ後退した部分を設けることもできる。ＦＥＡＢ深溝
の深さは約１．０〜２．５μｍなので、その程度離され
ていると、ヨーク部６３から媒体への磁気的な干渉が全
くなくなる。あるいは図５に示しているように、ヨーク
部６３と磁極部６１の上部にかかるようにして、ＦＥＡ
Ｂ浅溝の深さ程度に段差を付けることもできる。As shown in FIG. 4, when the yoke portion 63 is thick, the portion above the yoke tip portion 64 which is retracted by the FEAB shallow groove depth is approximately 1.0 to 2.5, which is the FEAB deep groove depth.
A portion recessed by μm can be provided. Since the depth of the FEAB deep groove is about 1.0 to 2.5 μm, when the FEAB deep groove is separated by such a degree, magnetic interference from the yoke 63 to the medium is completely eliminated. Alternatively, as shown in FIG. 5, the FEA extends over the yoke 63 and the magnetic pole 61.
It is also possible to form a step about the depth of the B shallow groove.

【００３０】磁極部６１にＦＥＡＢ浅溝、ヨーク先端部
６４にＦＥＡＢ浅溝と深溝を施した形状とすることもで
きる。すなわち図４と図５のものを組み合わせたように
することもできる。The magnetic pole portion 61 may have a shallow FEAB groove, and the yoke tip portion 64 may have a FEAB shallow groove and a deep groove. That is, the configuration shown in FIGS. 4 and 5 can be combined.

【００３１】「ＦＥＡＢ浅溝」および「ＦＥＡＢ深溝」
なる用語を本明細書で用いているが、これらの意味は以
下に述べる製造方法の説明の中で明らかになるであろ
う。ＦＥＡＢとは、フリーエッチングエアベアリングの
略語で、媒体対向面をフォトリソグラフィー技術とドラ
イエッチング技術を用いて形成することをさしている。"FEAB shallow groove" and "FEAB deep groove"
Although the terms are used herein, their meaning will become clear in the following description of the manufacturing method. FEAB is an abbreviation for free etching air bearing, and means that the medium facing surface is formed using photolithography technology and dry etching technology.

【００３２】本発明の対象になっている磁気ヘッドは、
通常４〜６インチの直径をした円板状の非磁性セラミッ
クス基板上に並べて形成される。１枚の非磁性セラミッ
クス基板の上に数千から数万個の磁気ヘッドが形成され
る。その製造方法は一般に知られているものに準じたも
ので、構成は前述しているので省略する。磁気ヘッドが
形成されている非磁性セラミックス円板をローバー（基
板のバーを短冊状に切断したもので、その上に磁気ヘッ
ドが一列に並んでいる）に切断し、媒体対向面をギャッ
プ深さを制御しながら鏡面に加工した後媒体対向面にＦ
ＥＡＢ加工を施す。図６にＦＥＡＢ加工工程を磁気ヘッ
ド素子部近傍のスライダー断面形状を使って示す。図６
ａ）は、ギャップ深さが所定の寸法に仕上げられ媒体対
向面が鏡面に仕上げられた状態である。ＦＥＡＢ浅溝深
さの約３〜５倍の厚みのフォトレジスト３０を媒体対向
面に塗布し、約９０度の温度でベーキングした状態を図
６ｂ）に示す。フォトレジスト３０をＦＥＡＢ浅溝深さ
より厚く塗布するのは、フォトレジストのイオンミリン
グによるエッチングレートが大きいためである。次に、
図６ｃ）に示すようにフォトマスク３１を所定の位置に
設け光を当ててフォトレジスト３０を感光する。図６
ｃ）の濃いフォトレジスト部が感光部３２である。フォ
トレジスト現像液を用い感光部３２を除去することで、
図６ｄ）に示すようにフォトレジスト開口部３３が形成
される。イオンミリング装置を用いアルゴンイオンを衝
突させることで、ＦＥＡＢ浅溝分の段差３４が図６ｅ）
に示すように形成される。ＦＥＡＢ浅溝深さはイオンミ
リングを行う時間で制御することが出来る。残ったフォ
トレジストを有機溶剤等で除去することで、図６ｆ）に
示す様に媒体対向面にＦＥＡＢ浅溝４２を形成すること
が出来る。図６ａ）〜図６ｂ）の工程を繰り返すことで
ＦＥＡＢ深溝４１（図１参照）も形成できるものであ
る。本実施例では、０．３μｍのＦＥＡＢ浅溝を形成し
た後、１．５μｍのＦＥＡＢ深溝を形成したが、逆にＦ
ＥＡＢ深溝から形成することも可能である。The magnetic head that is the object of the present invention is:
Usually, they are formed side by side on a disc-shaped non-magnetic ceramic substrate having a diameter of 4 to 6 inches. Thousands to tens of thousands of magnetic heads are formed on one non-magnetic ceramic substrate. The manufacturing method is based on a generally known method, and the configuration is described above, so that the description is omitted. The non-magnetic ceramic disk on which the magnetic head is formed is cut into row bars (bars of the substrate are cut into strips, on which the magnetic heads are arranged in a line), and the medium facing surface is gap depth. After processing into a mirror surface while controlling the
EAB processing is performed. FIG. 6 shows the FEAB processing step using a slider cross-sectional shape near the magnetic head element portion. FIG.
a) is a state in which the gap depth is finished to a predetermined size and the medium facing surface is finished to a mirror surface. FIG. 6B shows a state in which a photoresist 30 having a thickness of about 3 to 5 times the depth of the FEAB shallow groove is applied to the medium facing surface and baked at a temperature of about 90 degrees. The reason for applying the photoresist 30 thicker than the FEAB shallow groove depth is that the etching rate by ion milling of the photoresist is large. next,
As shown in FIG. 6C), a photomask 31 is provided at a predetermined position, and the photoresist 30 is exposed by applying light. FIG.
The photo-resist part 32 is a photoresist part with a high density in c). By removing the photosensitive portion 32 using a photoresist developer,
As shown in FIG. 6d), a photoresist opening 33 is formed. By colliding argon ions using an ion milling device, the step 34 of the FEAB shallow groove is formed as shown in FIG.
It is formed as shown in FIG. The FEAB shallow groove depth can be controlled by the time for performing ion milling. By removing the remaining photoresist with an organic solvent or the like, the FEAB shallow groove 42 can be formed on the medium facing surface as shown in FIG. 6F). The FEAB deep groove 41 (see FIG. 1) can also be formed by repeating the steps of FIGS. 6A) to 6B). In this embodiment, after forming a 0.3 μm FEAB shallow groove, a 1.5 μm FEAB deep groove is formed.
It is also possible to form from an EAB deep groove.

【００３３】媒体対向面をＦＥＡＢ加工おこなった後,
媒体対抗面全面にダイアモンドライクカーボン（ＤＬ
Ｃ）等の保護膜（図示せず）を数ｎｍの厚みに形成する
ことで、ヨーク先端部も外気から遮断されるので水分や
腐食性ガスからヨーク先端部を保護する事ができる。After performing the FEAB processing on the medium facing surface,
Diamond-like carbon (DL)
By forming a protective film (not shown) such as C) with a thickness of several nm, the tip of the yoke is also shielded from the outside air, so that the tip of the yoke can be protected from moisture and corrosive gas.

【００３４】[0034]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明の磁
気ヘッドスライダーでは製作の際に、エアベアリング面
の加工の際にＦＥＡＢ浅溝深さだけ上部磁気コア後部の
最先端をドライエッチングして、ほぼＦＥＡＢ浅溝深さ
だけ媒体対向面からそのヨーク先端部を深くしているの
で、その深さを容易に管理することが出来、その結果磁
気漏洩を防ぐことができるとともに、記録効率の良いも
のとなる。As described above in detail, in the magnetic head slider of the present invention, when manufacturing the air bearing surface, the leading edge of the rear portion of the upper magnetic core is dry-etched by the FEAB shallow groove depth when processing the air bearing surface. Since the yoke tip is made deeper from the medium facing surface by approximately the FEAB shallow groove depth, the depth can be easily controlled, thereby preventing magnetic leakage and improving recording efficiency. It will be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の磁気ヘッドスライダーの斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head slider of the present invention.

【図２】本発明の磁気ヘッドスライダーの磁気ヘッド素
子近傍部の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a magnetic head slider of the present invention in the vicinity of a magnetic head element.

【図３】本発明の磁気ヘッドを上部磁極側から見た平面
図である。FIG. 3 is a plan view of the magnetic head of the present invention as viewed from an upper magnetic pole side.

【図４】他の実施例による磁気ヘッド素子近傍部の断面
図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a portion near a magnetic head element according to another embodiment.

【図５】更に他の実施例による磁気ヘッド素子近傍部の
断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a portion near a magnetic head element according to still another embodiment.

【図６】ＦＥＡＢ加工工程を示す工程図である。FIG. 6 is a process chart showing a FEAB processing step.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ （非磁性）セラミックス基板 １００ （複合）磁気ヘッドスライダー ２ 磁気抵抗ヘッド ３ 誘導磁気ヘッド ４ 媒体対抗面 ５ 下部磁極 ６ 上部磁極 ７ コイル １１ 絶縁層 １２ 保護層 ２１ 下部シールド ２２ 上部シールド ２３ 磁気抵抗素子 ２４，２５，２６ 絶縁層 ２７ コイル絶縁層 ３０ フォトレジスト ３１ フォトマスク ３２ 感光部 ３３ フォトレジスト開口部 ３４ 段差 ４０ 浮上面 ４１ （ＦＥＡＢ）深溝 ４２ （ＦＥＡＢ）浅溝 ５１ 磁気ギャップ層 ５５ トラック部 ５６ 磁極扇形部 ６１ 磁極部 ６２ 磁極柱 ６３ ヨーク部 ６４ ヨーク先端部 ６５ エイペックス規定用絶縁部 ６６ エイペックス REFERENCE SIGNS LIST 1 (nonmagnetic) ceramic substrate 100 (composite) magnetic head slider 2 magnetoresistive head 3 induction magnetic head 4 medium facing surface 5 lower magnetic pole 6 upper magnetic pole 7 coil 11 insulating layer 12 protective layer 21 lower shield 22 upper shield 23 magnetoresistive element 24, 25, 26 Insulating layer 27 Coil insulating layer 30 Photoresist 31 Photomask 32 Photosensitive section 33 Photoresist opening 34 Step 40 Floating surface 41 (FEAB) Deep groove 42 (FEAB) Shallow groove 51 Magnetic gap layer 55 Track section 56 Magnetic pole Sector 61 Magnetic pole 62 Magnetic pole 63 Yoke 64 Yoke tip 65 Apex regulating insulating part 66 Apex

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 媒体対向面にＦＥＡＢ浅溝とＦＥＡＢ深
溝とが形成されているスライダーと、少なくとも磁気記
録面側においてギャップ層を挟んで対峙させて磁気回路
を構成する下部磁極と上部磁極を備えた記録再生分離型
磁気ヘッドであって、上部磁極は磁極部と磁極柱とヨー
ク部を備え、前記磁極部にはエイペックス規定用絶縁部
を備えており、 磁極部は媒体対向面の近くではトラック幅方向の幅が小
さくなっておりそのトラック幅方向の両端面が平行部を
有しているとともに、前記エイペックス規定用絶縁部の
上でトラック幅方向の幅が広くなっている扇形部を有し
ているとともに、 前記ヨーク部は磁極部上に重なっており、そのヨーク先
端部が、媒体対向面からほぼＦＥＡＢ浅溝の深さだけ後
ろの位置にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ
ー。1. A slider having a FEAB shallow groove and a FEAB deep groove formed in a medium facing surface, and a lower magnetic pole and an upper magnetic pole which constitute a magnetic circuit by being opposed to each other with a gap layer interposed therebetween at least on a magnetic recording surface side. Wherein the upper magnetic pole comprises a magnetic pole part, a magnetic pole column and a yoke part, the magnetic pole part comprises an apex defining insulating part, and the magnetic pole part is located near the medium facing surface. The fan-shaped portion whose width in the track width direction has a reduced width and both end surfaces in the track width direction have parallel portions, and the width in the track width direction is wider on the apex defining insulating portion. The yoke portion overlaps the magnetic pole portion, and the tip of the yoke is located at a position substantially behind the medium facing surface by the depth of the FEAB shallow groove. De slider. 【請求項２】 前記ヨーク先端部が媒体対向面からほぼ
ＦＥＡＢ浅溝の深さだけ後ろの位置にあり、その先端部
は磁極部から離れた部分のヨーク先端部の上部に、ほぼ
ＦＥＡＢ深溝の深さだけ後ろになっている面を持ってい
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ
ー。2. The front end of the yoke is located at a position substantially behind the medium facing surface by the depth of the FEAB shallow groove, and the front end of the yoke is located above the front end of the yoke at a portion away from the magnetic pole portion. 2. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the magnetic head slider has a surface that is rearward by a depth. 【請求項３】 前記磁極部の媒体対向面で、磁極部がそ
の上部にほぼＦＥＡＢ浅溝の深さだけ後ろになっている
面を持つことを特徴とする請求項１あるいは２記載の磁
気ヘッドスライダー。3. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic pole portion has a surface on the medium facing surface of the magnetic pole portion, the upper surface of which has a depth substantially behind the depth of the FEAB shallow groove. slider. 【請求項４】 前記磁極部の扇形部はエイペックスより
も後ろにあることを特徴とする請求項１〜３いずれか記
載の磁気ヘッドスライダー。4. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the sector portion of the magnetic pole portion is located behind the apex. 【請求項５】 前記ヨーク部の磁極部に重なっている前
記ヨーク先端部は、磁極部の扇形部の幅よりも大で、厚
さも大であることを特徴とする請求項１〜４いずれか記
載の磁気ヘッドスライダー。5. The yoke tip portion overlapping the magnetic pole portion of the yoke portion is larger in width and thickness than the width of the sector portion of the magnetic pole portion. The described magnetic head slider. 【請求項６】 非磁性セラミックス基板からなるスライ
ダーの上に、 下部磁極と、 前記下部磁極上に形成された磁気ギャップ層と、 前記ギャップ層上に形成されたエイペックス規定用絶縁
部と、 前記エイペックス規定用絶縁部から続いた絶縁層上に形
成されたコイルと、 前記コイルを覆うコイル絶縁層と、 媒体対向面から前記ギャップ層及び前記エイペックス規
定用絶縁部の上に延びた磁極部と、 この磁極部上にその先端部を重ねてその先端部から始ま
ってコイル絶縁層上に延びているヨーク部とを順次形成
する磁気ヘッドスライダーの製造において、 前記磁極部とコイル絶縁層の上に亘って、ヨーク部とな
る磁性体膜を少なくとも磁気ヘッド媒体対向面近くまで
突出して形成し、 スライダーの媒体対向面にＦＥＡＢ浅溝をドライエッチ
ング形成するときに、ヨーク部となる磁性体膜のヨーク
先端部を媒体対向面からほぼＦＥＡＢ浅溝の深さまで媒
体対向面側からドライエッチングすることを特徴とする
磁気ヘッドスライダーの製造方法。6. A lower magnetic pole, a magnetic gap layer formed on the lower magnetic pole, an apex defining insulating section formed on the gap layer, on a slider made of a nonmagnetic ceramic substrate, A coil formed on the insulating layer continued from the apex defining insulating portion; a coil insulating layer covering the coil; and a magnetic pole portion extending from the medium facing surface onto the gap layer and the apex defining insulating portion. And manufacturing a magnetic head slider in which a tip portion is superimposed on the magnetic pole portion and a yoke portion starting from the tip portion and extending on the coil insulating layer is sequentially formed. A magnetic film serving as a yoke portion is formed so as to protrude at least near the medium facing surface of the magnetic head, and a shallow FEAB groove is dry-etched in the medium facing surface of the slider. A method of manufacturing a magnetic head slider, characterized in that, when forming a yoke, a yoke tip portion of a magnetic film serving as a yoke portion is dry-etched from the medium facing surface side to a depth of a FEAB shallow groove from the medium facing surface. 【請求項７】 ヨーク先端部を媒体対向面からほぼＦＥ
ＡＢ浅溝深さまでドライエッチングした上で保護膜をス
ライダー媒体対向面に形成することを特徴とする請求項
６記載の磁気ヘッドスライダーの製造方法。7. The front end of the yoke is substantially FE from the medium facing surface.
7. The method for manufacturing a magnetic head slider according to claim 6, wherein a protective film is formed on the slider medium facing surface after dry etching to a depth of the AB groove.