JP2001230172A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001230172A5 JP2001230172A5 JP2000039158A JP2000039158A JP2001230172A5 JP 2001230172 A5 JP2001230172 A5 JP 2001230172A5 JP 2000039158 A JP2000039158 A JP 2000039158A JP 2000039158 A JP2000039158 A JP 2000039158A JP 2001230172 A5 JP2001230172 A5 JP 2001230172A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- substrate
- heat
- processing apparatus
- substrate processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000039158A JP3998389B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000039158A JP3998389B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001230172A JP2001230172A (ja) | 2001-08-24 |
JP2001230172A5 true JP2001230172A5 (ko) | 2005-09-02 |
JP3998389B2 JP3998389B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=18562769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000039158A Expired - Fee Related JP3998389B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3998389B2 (ko) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3996845B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2007-10-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4410147B2 (ja) | 2005-05-09 | 2010-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱装置、塗布、現像装置及び加熱方法 |
JP4606355B2 (ja) * | 2006-03-14 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
WO2019038811A1 (ja) * | 2017-08-21 | 2019-02-28 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 蒸着装置、蒸着方法及び有機el表示装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-02-17 JP JP2000039158A patent/JP3998389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007125894A (ja) | ブロー成形用金型装置 | |
JP2017106711A (ja) | 加熱装置および加熱方法 | |
JP4735367B2 (ja) | 射出成形装置 | |
JP2007515781A5 (ko) | ||
JP2001230172A5 (ko) | ||
JP2006007755A (ja) | 熱転写プレス装置 | |
KR101492230B1 (ko) | 유전자 증폭 시스템 | |
KR102168837B1 (ko) | 열전발전장치 | |
JP5259522B2 (ja) | 熱転写装置 | |
JP4357497B2 (ja) | 熱媒通流ローラ | |
TWI422483B (zh) | 衝壓設備 | |
JP2013200077A (ja) | 加熱装置 | |
KR101598904B1 (ko) | 합금강 강관급냉시스템 | |
JP2006312171A (ja) | ホットプレス装置およびホットプレス装置の温度制御方法 | |
JP4628898B2 (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2008056980A (ja) | 前処理電着塗装装置 | |
JP2005152913A (ja) | ホットプレスおよびホットプレスの熱板の加熱冷却方法 | |
JP2015217417A (ja) | 加熱システム | |
KR101979019B1 (ko) | 강관냉각이송장치 | |
JP3998389B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4210833B2 (ja) | 連続焼成炉 | |
JP2010510649A (ja) | 基層の熱処理方法及び熱処理装置 | |
KR101699234B1 (ko) | 연속소둔로의 스트립 냉각 장치 및 냉각 방법 | |
JP6835940B2 (ja) | 熱伝導均一性及び熱履歴整合性を改善するための熱サイクル装置 | |
JP2020016384A5 (ko) |