JP2001222320A - Traveling controller for traveling object and anterior monitoring method - Google Patents
Traveling controller for traveling object and anterior monitoring methodInfo
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- Train Traffic Observation, Control, And Security (AREA)
- Traffic Control Systems (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体が走行しな
がら走行経路前方の障害物を監視する移動体の走行制御
装置および前方監視方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a traveling control apparatus and a forward monitoring method for a moving body for monitoring an obstacle ahead of a traveling route while the moving body is traveling.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体デバイスの製造設備には、半導体
ウエーハの搬送を自動的に行う天井走行式搬送装置が用
いられている。この搬送装置は、例えば天井に設置され
た軌道に沿って搬送台車である移動体を走行させるよう
に構成され、その軌道の側方に半導体ウエーハの加工を
行う各種の装置が配備されている。また、半導体デバイ
スの製造はクリーンルーム内で行われ、このクリーンル
ームはベイごとにパーティションで区切られているた
め、壁面が多く、これらの壁面間を縫って前記移動体が
走行することとなる。ところで、このような移動体は軌
道に沿って複数台が一定のタイミングで順次運行制御さ
れ、この運行制御では、各移動体に前方確認センサを設
けて、前後の移動体どうしが追突したり、軌道を含む走
行経路上にある入や物に移動体が衝突したりするのを防
止している。2. Description of the Related Art In a semiconductor device manufacturing facility, an overhead traveling transfer apparatus for automatically transferring a semiconductor wafer is used. The transfer device is configured to cause a moving body, which is a transfer trolley, to travel along, for example, a track installed on a ceiling, and various devices for processing a semiconductor wafer are provided beside the track. In addition, semiconductor devices are manufactured in a clean room. Since the clean room is partitioned by bays, there are many wall surfaces, and the moving body travels between these wall surfaces. By the way, a plurality of such moving bodies are sequentially operated and controlled at a constant timing along a track, and in this operation control, a forward confirmation sensor is provided for each moving body, and the moving bodies in front and behind collide, It prevents the moving object from colliding with objects or objects on the traveling route including the track.
【０００３】図３はこのような前方確認センサを持った
移動体１Ａ、１Ｂどうしが、カーブする軌道上で衝突す
るのを防正するための、従来の移動体の前方監視方法を
示す概念図である。これによれば、直線の軌道上では、
移動体１Ｂは前方の移動体１Ａを光センサなどの前方確
認センサを用いて検知し、この検知出力により移動体１
Ｂの走行を制脚することで、移動体１Ａとの衝突を防止
することができる。なお、前方確認センサは感度を上げ
ると検出幅が拡るため、壁面などの周辺の不要な物体を
検出しないように、この検出幅が移動体１Ａ、１Ｂの幅
に僅かの余裕幅を加えた大きさに設定される。一方、移
動体１Ａがカーブする軌道上に入ると、移動体１Ａは後
方の移動体１Ｂの前方確認センサの視野外になり、従っ
て追突の危険があるほか、移動体１Ａが十分に離れた前
方位置にあるにも拘らず、移動体１Ｂの前方確認センサ
の視野内にある、前記壁面、軌道を支持する柱、その他
の周辺装置を障害物として検出してしまい、軌道上に障
害物がないのに後続の移動体１Ｂが誤って停止してしま
う。FIG. 3 is a conceptual diagram showing a conventional method of monitoring the forward direction of a moving body 1A and 1B having such a forward confirmation sensor in order to prevent a collision between the moving bodies 1A and 1B on a curved orbit. It is. According to this, on a straight orbit,
The moving body 1B detects the moving body 1A ahead by using a forward confirmation sensor such as an optical sensor, and outputs the moving body 1A based on the detection output.
By controlling the running of B, it is possible to prevent collision with the moving body 1A. Since the detection width of the front confirmation sensor increases when the sensitivity is increased, the detection width has a small margin added to the width of the moving bodies 1A and 1B so as not to detect unnecessary objects such as wall surfaces. Set to size. On the other hand, when the moving body 1A enters a curved trajectory, the moving body 1A is out of the field of view of the front confirmation sensor of the rear moving body 1B, and therefore there is a danger of rear-end collision, and the moving body 1A is sufficiently far away from the front. Despite the position, the wall, the pillar supporting the track, and other peripheral devices within the field of view of the forward confirmation sensor of the moving body 1B are detected as obstacles, and there are no obstacles on the track. However, the following mobile unit 1B stops by mistake.
【０００４】そこで、このような不都合を回避するため
に、移動体１Ｂがカーブする軌道に差し掛かったときに
は、前記確認センサの出力を無効にするとともに、カー
ブする軌道を通過する移動体１Ａを、リフレクタ２から
の反射信号の遮断によってセンサ３により検出し、この
検出信号にもとづいて、カーブする前記軌道の入口付近
に配置された進入禁止信号投光器４から、後続の移動体
１Ｂの進入禁止受光器５に進入禁止信号を投射して、そ
の後続の移動体１Ｂの走行を停止または遅延させるよう
に制御して、衝突を防止している。Therefore, in order to avoid such inconvenience, when the moving body 1B approaches a curved trajectory, the output of the confirmation sensor is invalidated, and the moving body 1A passing through the curved trajectory is removed by a reflector. The signal is detected by the sensor 3 by interrupting the reflection signal from the sensor 2 and, based on the detection signal, the entry prohibition signal light emitter 4 disposed near the entrance of the curved orbit and the entry prohibition light receiver 5 of the subsequent moving body 1B are detected. Is controlled to stop or delay the subsequent movement of the moving body 1B to prevent collision.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の移動体の前方監視方法にあっては、軌道のカーブ
数が多くなると、リフレクタ２、センサ３、進入禁止信
号投光器４の設置数も増大し、設備が大掛りで設備コス
トおよび管理コストの上昇を招くほか、軌道を含む走行
経路上の移動体１Ａ以外の障害物との衝突に関しては打
つ手がないという問題があった。However, in such a conventional method for monitoring the front of a moving body, as the number of tracks in the track increases, the number of reflectors 2, sensors 3, and entry prohibition signal light emitters 4 also increases. In addition to the large size of the equipment, there is a problem that equipment costs and management costs are increased, and there is no way to deal with collisions with obstacles other than the moving body 1A on the traveling route including the track.
【０００６】本発明はこのような従来の問題を解消する
ものであり、走行経路周辺の壁や柱などの監視を行わず
に、走行経路上のみにある前方の移動体および移動体以
外の障害物をともに監視することができるとともに、こ
の監視を走行経路のカーブにおいても誤りなく、しかも
簡単かつローコストな構成にて実現できる移動体の前方
監視方法を得ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves such a conventional problem, and does not monitor a wall or a pillar around the traveling route, and obstructs a moving object in front of the traveling route and other obstacles only on the traveling route. It is an object of the present invention to provide a method for monitoring a moving object in a forward direction, which can monitor an object together and can realize this monitoring with a simple and low-cost configuration without error even in a curve of a traveling route.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】前記目的達成のために、
本発明は所定の走行経路に沿って移動する移動体と、該
移動体に設けられて移動方向前方の障害物を検知するセ
ンサと、該センサによる障害物の検出の有無により前記
移動体の移動を制御する制御部とから構成されてなり、
該制御部は、前記移動体の前記走行経路上の位置によっ
て前記センサの障害物検知エリアを変更することを特徴
とする。To achieve the above object,
The present invention relates to a moving body that moves along a predetermined traveling route, a sensor provided on the moving body for detecting an obstacle ahead in the moving direction, and movement of the moving body based on whether or not the sensor detects an obstacle. And a control unit for controlling the
The control unit changes an obstacle detection area of the sensor according to a position of the moving body on the traveling route.
【０００８】また、本発明は所定の走行経路に沿って移
動する移動体の前方の障害物を検知し、障害物が検出さ
れた場合に前記移動体を停止させるよう制御する移動体
の前方監視方法において、前記移動体の前記走行経路上
の位置によって障害物検知エリアを変更することを特徴
とする。Further, the present invention detects an obstacle in front of a moving object moving along a predetermined traveling route, and monitors the moving object to stop the moving object when an obstacle is detected. In the method, an obstacle detection area is changed according to a position of the moving body on the traveling route.
【０００９】また、本発明は前記検知エリアの変更は、
前記移動体の前記走行経路中の位置の検出信号により制
御され、あるいは、前記移動体の前記走行経路における
走行距離の測定値により制御されることを特徴とする。In the present invention, the change of the detection area may be
It is controlled by a detection signal of a position of the moving body on the traveling route, or is controlled by a measured value of a traveling distance of the moving body on the traveling route.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
に基づいて説明する。図１は本発明の移動体の前方監視
方法を概念的に示す説明図である。同図において、１１
Ａ、１１Ｂ、１１Ｃは走行体で、これらは軌道を含む直
線の走行経路およびＵ字状にカーブする走行経路に沿っ
て矢印方向に走行するものとする。また、これらの走行
経路に沿って少なくともカーブに入る入口付近、カーブ
の途中およびカーブが終る出口付近などに、複数（ここ
では４個）のマークであるカーブマーク１２Ａ、１２
Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄが設置されている。これらのカーブ
マーク１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄは走行経路の変
化（例えば、直線から曲線への変化、あるいは、曲線か
ら直線への変化）についてのカーブ情報を示し、例えば
光学的、電気的、あるいは磁気的に各走行体１１Ａ、１
１Ｂ、１１Ｃに検出される。一方、各走行体１１Ａ、１
１Ｂ、１１Ｃは検知エリア可変のセンサである前方確認
センサ１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを有する。また、これら
の各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃには制御回路（図示
しない）が設けられ、カーブマーク１２Ａ、１２Ｂ、１
２Ｃ、１２Ｄのいずれかからのカーブ情報を受信する
と、その制御回路により各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１
Ｃの前方確認センサ１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃに、予め設
定した衝突可能領域内に先行する移動体があるか否か
を、図中に点線で囲むような検知エリアＥを変化させて
検出する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view conceptually showing a forward monitoring method for a moving object according to the present invention. In FIG.
A, 11B, and 11C denote traveling bodies that travel in the direction of the arrow along a straight traveling path including a track and a traveling path that curves in a U-shape. In addition, at least near the entrance to the curve, near the middle of the curve, and near the exit where the curve ends along the traveling route, the curve marks 12A, 12A, which are a plurality of (here, four) marks, are provided.
B, 12C and 12D are provided. These curve marks 12A, 12B, 12C, and 12D indicate curve information about a change in the traveling route (for example, a change from a straight line to a curve, or a change from a curve to a straight line), for example, optically, electrically, or Each traveling body 11A, 1
1B and 11C are detected. On the other hand, each traveling body 11A, 1
1B and 11C have forward confirmation sensors 13A, 13B and 13C which are sensors whose detection areas are variable. In addition, a control circuit (not shown) is provided in each of the traveling bodies 11A, 11B, and 11C, and the curve marks 12A, 12B, and 1C are provided.
When receiving the curve information from any of 2C and 12D, the control circuit controls the traveling bodies 11A, 11B and 11D.
The front confirmation sensors 13A, 13B, and 13C of C detect whether or not there is a preceding moving body in a preset collision possible area by changing a detection area E surrounded by a dotted line in the figure.
【００１１】このようにすることで、前方確認センサ１
３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１
Ｃの前方の壁面や柱などの物体を検出せずに、走行経路
上のみにおける前方の移動体および障害物を検出でき、
従って、各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃが走行経路上
にある前方の移動体や障害物に衝突することを未然に回
避して、各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを安全に運行
させることが可能になる。By doing so, the front confirmation sensor 1
3A, 13B, and 13C are the traveling bodies 11A, 11B, and 11 respectively.
Without detecting objects such as walls and columns in front of C, it can detect moving objects and obstacles ahead only on the traveling route,
Therefore, it is possible to prevent the traveling bodies 11A, 11B, 11C from colliding with a moving body or an obstacle ahead on the traveling route, and to safely operate the traveling bodies 11A, 11B, 11C. become.
【００１２】同２はＳ字状にカーブする走行経路に移動
体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを走行させる場合を示す。こ
の場合には、走行経路においてＳ字状のカーブに入る入
ロ付近から、このカーブから出る出口付近までに複数
（ここでは４個）のカーブマーク１４Ａ、１４Ｂ、１４
Ｃ、１４Ｄを設置し、これら走行経路のカーブ情報を各
走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃが検出するようになって
いる。各走行体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃは前記同様の検
知エリア可変の前方確認センサ１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ
を有する。FIG. 2 shows a case where the moving bodies 11A, 11B, and 11C travel on a traveling path that curves in an S-shape. In this case, a plurality (four in this example) of the curve marks 14A, 14B, and 14 are provided from the vicinity of the entrance to the S-shaped curve on the traveling route to the vicinity of the exit from the curve.
C and 14D are installed, and each traveling body 11A, 11B, 11C detects the curve information of these traveling routes. Each of the traveling bodies 11A, 11B, and 11C is a detection area variable forward confirmation sensor 13A, 13B, and 13C similar to the above.
Having.
【００１３】この場合にも、各走行体１１Ａ、１１Ｂ、
１１Ｃに設けられた制御回路が、カーブマーク１４Ａ、
１４Ｂ、１４Ｃのいずれかからカーブに入る旨を検知す
ると、前方確認センサ１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃに、予め
設定した衝突可能領域内に先行する移動体があるか否か
を、前記カーブ惰報にもとづいて検知エリアを変えて検
出させる。従って、前方確認センサ１３Ａ、１３Ｂ、１
３Ｃは前方に臨む壁面や柱などを検出せずに、走行逢路
上にある移動体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃやその他の障害
物を検出して、これらとの衝突事故を確実に防止でき
る。そして、このような移動体１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ
の安全運行は、前記のようにカーブマーク１４Ａ、１４
Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄを走行経路に沿って配置するなどの
簡単な構成にてローコストに実現できることとなる。Also in this case, each of the traveling bodies 11A, 11B,
The control circuit provided in 11C includes a curve mark 14A,
When it is detected that the vehicle enters the curve from any one of 14B and 14C, the front confirmation sensors 13A, 13B and 13C determine whether or not there is a preceding moving body within a preset collision possible area based on the curve coast information. To change the detection area. Therefore, the front confirmation sensors 13A, 13B, 1
The 3C detects the moving bodies 11A, 11B, 11C and other obstacles on the traveling road without detecting a wall surface or a pillar facing forward, and can reliably prevent a collision accident with these. And such moving bodies 11A, 11B, 11C
As described above, the safe operation of the
B, 14C, and 14D can be realized at low cost with a simple configuration such as disposing them along the traveling route.
【００１４】なお、前記においては、カーブマーク１２
Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄを４個とし、走行体１１
Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを３個とした場合について述べた
が、その数はこれに限定されるものではない。また、カ
ーブマーク１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄとして、各
走行体１１Ａ〜１１Ｃが近接したことを検出して信号を
出力するスイッチを用いることは任意である。また、検
知エリアを変更すべき位置に到達したと判断するための
他の手段として、スタート地点からどの距離に直線やカ
ーブが存在しているかについての既知のデータと、移動
体のスタート地点からの走行距離の測定値とにより、格
別なセンサを用いることなく、所定の走行距離に達する
毎にシーケンシャルに検知エリアを変更する方式を採用
してもよい。In the above description, the curve mark 12
A, 12B, 12C, and 12D, and the traveling body 11
A case has been described in which A, 11B, and 11C are three, but the number is not limited to this. As the curve marks 12A, 12B, 12C, and 12D, it is optional to use a switch that detects that each of the traveling bodies 11A to 11C has approached and outputs a signal. Also, as another means for judging that the detection area has been reached, the known data on the distance from the start point at which a straight line or a curve exists, and the distance from the start point of the moving object. A method of sequentially changing the detection area every time a predetermined traveling distance is reached without using a special sensor based on the measured value of the traveling distance may be adopted.
【００１５】また、本発明の技術は、天井に設けられた
軌道に沿って走行するＯＨＴと呼ばれる搬送システムの
他、床上に設けられた軌道に沿って走行する移動体、さ
らには、軌道を用いずに、床上に配置されたマークを検
出しながら走行する移動体にも適用することができる。The technology of the present invention uses a transport system called an OHT running on a track provided on a ceiling, a moving body running on a track provided on a floor, and a track. Instead, the present invention can be applied to a moving body that travels while detecting a mark arranged on the floor.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、移動体
の走行経路の形状に沿うように、センサとしての前方確
認センサの検知エリアのパターンを変化させることで、
走行経路周辺の壁面などを誤検出することなく、走行経
路上の移動体および移動体以外の障害物をともに高精度
に監視することができるとともに、この監視を走行経路
のカーブにおいても誤りなく、しかも簡単かつローコス
トな構成にて実現できるという効果が得られる。As described above, according to the present invention, the pattern of the detection area of the front confirmation sensor as a sensor is changed so as to follow the shape of the traveling route of the moving body.
It is possible to monitor both the moving body and obstacles other than the moving body on the traveling route with high accuracy without erroneously detecting the wall around the traveling route and the like. In addition, an effect can be obtained that it can be realized with a simple and low-cost configuration.
【００１７】また、本発明によれば、前記検知エリアの
パターンを、前記走行経路に付けたマークにもとづいて
切り換えるようにしたので、設置が簡単でローコストな
マークを利用するのみで、走行経路上にある前方の移動
体や障害物を高精度に検出でき、さらに前記検知エリア
のパターンを、前記移動体の走行経路における走行距離
にもとづいて切り換えるようにしたことで、カーブ位置
や長さなどが決められているー定の走行経路内において
直線およびカーブ（曲線）の走行経路に沿った移動体や
障害物の監視を、前記マークを使用することなく、より
簡単な構成にてローコストに実施できるという効果が得
られる。Further, according to the present invention, the pattern of the detection area is switched based on the mark attached to the travel route. Moving objects and obstacles in front of the vehicle can be detected with high accuracy, and the pattern of the detection area is switched based on the traveling distance of the moving object on the traveling route, so that the curve position and length can be changed. It is decided that monitoring of moving objects and obstacles along straight and curved traveling routes within a fixed traveling route can be performed at a low cost with a simpler configuration without using the marks. The effect is obtained.
【図１】 本発明の実施の一形態による移動体の前方監
視方法を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a forward monitoring method for a moving object according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の他の形態による移動体の前方
監視方法を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a method for monitoring a moving object in a forward direction according to another embodiment of the present invention.
【図３】 従来の移動体の前方監視方法を示す説明図で
ある。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a conventional method for monitoring the front of a moving object.
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１４Ａ、１４Ｂ、１
４Ｃ、１４Ｄ カーブマーク（マーク） １１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ 移動体 １３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ 前方確認センサ（センサ） Ｅ 検知エリア12A, 12B, 12C, 12D, 14A, 14B, 1
4C, 14D Curve mark (mark) 11A, 11B, 11C Moving body 13A, 13B, 13C Forward confirmation sensor (sensor) E Detection area
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 宗訓 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 新谷 勉 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 大西 正紀 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 村田 正直 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 篠原 健嗣 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 Ｆターム(参考） 5H161 AA07 FF01 MM02 MM12 NN11 NN15 PP14 5H180 AA27 FF04 LL04 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 EE02 FF04 FF06 FF18 FF27 GG07 LL03 LL08 LL11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Munekuni Oshima 100 Takegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture Inside Shinsei Electric Co., Ltd. In-house (72) Inventor Masaki Onishi 100 Takegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd. Person Kenji Shinohara 100 Takekahana-cho, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd. Ise Works F-term (reference)
Claims (6)
と、該移動体に設けられて移動方向前方の障害物を検知
するセンサと、該センサによる障害物の検出の有無によ
り前記移動体の移動を制御する制御部とから構成されて
なり、 該制御部は、前記移動体の前記走行経路上の位置によっ
て前記センサの障害物検知エリアを変更することを特徴
とする移動体の走行制御装置。1. A moving body that moves along a predetermined traveling route, a sensor provided on the moving body for detecting an obstacle ahead in a moving direction, and the moving body based on whether an obstacle is detected by the sensor. And a control unit for controlling the movement of the moving object. The control unit changes an obstacle detection area of the sensor according to a position of the moving object on the traveling route. apparatus.
前記走行経路中の位置の検出信号により制御されること
を特徴とする請求項１記載の移動体の走行制御装置。2. The travel control device for a moving body according to claim 1, wherein the change of the detection area is controlled by a detection signal of a position of the moving body on the travel route.
前記走行経路における走行距離の測定値により制御され
ることを特徴とする請求項１記載の移動体の走行制御装
置。3. The traveling control device for a moving body according to claim 1, wherein the change of the detection area is controlled by a measured value of a traveling distance of the moving body on the traveling route.
の前方の障害物を検知し、障害物が検出された場合に前
記移動体を停止させるよう制御する移動体の前方監視方
法において、 前記移動体の前記走行経路上の位置によって障害物検知
エリアを変更することを特徴とする移動体の前方監視方
法。4. A method for monitoring a front of a moving body, which detects an obstacle in front of the moving body moving along a predetermined traveling route, and controls to stop the moving body when the obstacle is detected. A forward monitoring method for a moving object, wherein an obstacle detection area is changed according to a position of the moving object on the traveling route.
前記走行経路中の所定位置を通過した旨の検出結果によ
り制御されることを特徴とする請求項４記載の移動体の
前方監視方法。5. The method according to claim 4, wherein the change of the detection area is controlled by a detection result indicating that the moving body has passed a predetermined position in the travel route. .
前記走行経路における走行距離の測定値により制御され
ることを特徴とする請求項４記載の移動体の走行前方監
視方法。6. The method according to claim 4, wherein the change of the detection area is controlled by a measured value of a traveling distance of the moving body on the traveling route.
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
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-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000034183A patent/JP2001222320A/en active Pending
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