JP2001215481A - Liquid crystal array device, its manufacturing method and liquid crystal display panel using the same - Google Patents
Liquid crystal array device, its manufacturing method and liquid crystal display panel using the sameInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶アレイ装置、
その製造方法、およびそれを用いた液晶表示パネルに関
する。The present invention relates to a liquid crystal array device,
The present invention relates to a manufacturing method thereof and a liquid crystal display panel using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルは、上下２枚の基板で液
晶セルを形成して液晶を充填したものであり、たとえ
ば、一方の基板は液晶を駆動する画素部を有する液晶ア
レイ装置（アレイ基板）として構成し、他方の基板は対
向電極を形成して構成している。2. Description of the Related Art A liquid crystal display panel is formed by forming a liquid crystal cell on two upper and lower substrates and filling a liquid crystal. For example, one substrate is a liquid crystal array device (an array substrate) having a pixel portion for driving the liquid crystal. ), And the other substrate is formed by forming a counter electrode.
【０００３】液晶アレイ装置は、通常はガラス基板を母
材としており、ガラス基板に成膜およびパターニング
（フォトリソグラフィを用いてレジストで回路形成した
後、エッチング工程で所望の場所以外の膜を除去して所
望の回路を形成する）を繰り返すアレイ工程を実施する
ことで製作している。近年では、液晶表示パネルを薄く
軽量にするために、ガラス基板を０．７ｍｍ厚から０．
５ｍｍ厚へと薄膜化したり、プラスチック基板を母材と
して使用することも行われている。A liquid crystal array device usually uses a glass substrate as a base material. Film formation and patterning are performed on a glass substrate (a circuit is formed using a resist by photolithography, and then a film other than a desired place is removed by an etching process). To form a desired circuit). In recent years, in order to make the liquid crystal display panel thinner and lighter, the glass substrate is reduced in thickness from 0.7 mm to 0.1 mm.
It is also practiced to reduce the thickness to 5 mm or to use a plastic substrate as a base material.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たように薄膜化したガラス基板を用いると、アレイ工程
で成膜した時の膜ストレスによってガラス基板が湾曲
し、アレイ工程装置の基板搬送不良やパターニングの基
板面内均一性の悪化が発生したり、薄膜化されたガラス
自体の破損不良が増大する。However, when a glass substrate thinned as described above is used, the glass substrate is bent by film stress at the time of film formation in the array process, and the substrate transfer failure or patterning of the array process device is caused. In this case, the in-plane uniformity of the substrate is deteriorated, and the failure of the thinned glass itself is increased.
【０００５】また、従来のガラス基板では最高６００度
近傍の熱処理が可能であったものが、プラスチック基板
を使用する場合は、熱による軟化があるため３００度程
度の低温プロセスにする必要がある。しかもプラスチッ
ク基板にあっても、膜ストレスによって基板と成膜種と
の密着性が悪化し膜ハガレが発生することがあった。[0005] Further, in the case of a conventional glass substrate, heat treatment at a maximum of about 600 ° C. was possible. However, when a plastic substrate is used, a low-temperature process of about 300 ° C. is required because of softening due to heat. In addition, even in the case of a plastic substrate, the adhesion between the substrate and the film-forming species is deteriorated due to film stress, and film peeling may occur.
【０００６】本発明は上記問題を解決するもので、薄膜
化したガラス基板を用いる時のような破損不良や、アレ
イ工程時の搬送不良、パターニング不均一が発生するこ
となく、またプラスチック基板を用いる時のようなプロ
セス変更を要することなく、液晶アレイ装置を製造する
ことを目的とするものである。The present invention solves the above-mentioned problems, and does not cause breakage failure such as when a thinned glass substrate is used, transportation failure in an array process, and non-uniform patterning, and uses a plastic substrate. An object of the present invention is to manufacture a liquid crystal array device without requiring a process change such as a time.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、現在主流となっている０．７ｍ
ｍ厚のガラス基板にアレイ工程を実施して作製した液晶
アレイ装置に対して、画素部に背反するガラス基板の裏
面にグラインダーをかけて基板を薄膜化し、そのガラス
基板の裏面をフッ酸などによるウエットエッチング処理
で平坦化かつ洗浄した後、プラスチック基板上に接着剤
で張り合わせるようにした。In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, 0.7 m, which is currently mainstream, is used.
For a liquid crystal array device produced by performing an array process on a glass substrate with a thickness of m, grind the back surface of the glass substrate opposite to the pixel section to make the substrate thinner, and then use a hydrofluoric acid or the like for the back surface of the glass substrate. After being flattened and washed by wet etching, it was bonded to a plastic substrate with an adhesive.
【０００８】すなわち、請求項１記載の本発明は、画素
部を形成したガラス基板を裏面側において接着剤により
プラスチック基板に接着した液晶アレイ装置である。請
求項２記載の本発明は、画素部を形成したガラス基板の
裏面を研削して基板厚みを低減した後、ウエットエッチ
ングして平坦化し、平坦化したガラス基板の裏面にプラ
スチック基板を接着剤により接着することを特徴とする
液晶アレイ装置の製造方法である。That is, the present invention according to claim 1 is a liquid crystal array device in which a glass substrate on which a pixel portion is formed is bonded to a plastic substrate with an adhesive on the back surface side. The present invention according to claim 2 is to reduce the substrate thickness by grinding the back surface of the glass substrate on which the pixel portion is formed, flatten by wet etching, and attach a plastic substrate to the back surface of the flattened glass substrate with an adhesive. A method for manufacturing a liquid crystal array device, characterized by bonding.
【０００９】請求項３記載の本発明は、画素部を形成し
たガラス基板を裏面側において接着剤によりプラスチッ
ク基板に接着した液晶アレイ装置を液晶の少なくとも一
側に配置した液晶表示パネルである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display panel in which a liquid crystal array device in which a glass substrate on which a pixel portion is formed is adhered to a plastic substrate with an adhesive on the back side is disposed on at least one side of liquid crystal.
【００１０】上記構成によれば、従来より実績のあるガ
ラス基板に対して画素部を形成するアレイ工程を実施す
ればよいため、薄膜化したガラス基板を使用する場合の
ようにアレイ工程でガラス基板の破損等が発生すること
はなく、アレイ工程の歩留まり悪化はなくなる。[0010] According to the above configuration, the array process for forming the pixel portion may be performed on a glass substrate that has been used in the past, so that the glass substrate may be formed in the array process as in the case of using a thinned glass substrate. No damage is caused, and the yield of the array process is not deteriorated.
【００１１】また、画素部を形成したガラス基板（アレ
イ基板）を最終的にプラスチック基板に張り合わせるた
め、プラスチック基板を母材としてアレイ工程を行う時
のような低温プロセスへのプロセス変更を要さない。Further, in order to finally bond the glass substrate (array substrate) on which the pixel portion is formed to a plastic substrate, it is necessary to change the process to a low-temperature process such as when an array process is performed using a plastic substrate as a base material. Absent.
【００１２】また、最終的に得る液晶アレイ装置の厚さ
は、プラスチック基板の厚さを変更することで調節でき
るので、所望の厚さの液晶アレイ装置を簡便に作製する
ことが可能となる。The thickness of the finally obtained liquid crystal array device can be adjusted by changing the thickness of the plastic substrate, so that a liquid crystal array device having a desired thickness can be easily manufactured.
【００１３】最終液晶アレイ装置は、アレイ工程を経た
ガラス基板を接着剤でプラスチック基板に張り合わせた
構造であるため、プラスチックとガラスとの膜ストレス
を接着剤が緩和することになり、プラスチック基板上に
作製したアレイ装置よりも力学的ストレス強度は増大す
る。Since the final liquid crystal array device has a structure in which a glass substrate that has undergone an array process is bonded to a plastic substrate with an adhesive, the adhesive relieves the film stress between the plastic and glass, and the liquid crystal array device is placed on the plastic substrate. The mechanical stress intensity is higher than that of the fabricated array device.
【００１４】したがって、この最終液晶アレイ装置を用
いた液晶表示パネルは従来よりも強度が大きい。Therefore, a liquid crystal display panel using the final liquid crystal array device has higher strength than the conventional one.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態におけ
る液晶アレイ装置の断面構造を示し、この液晶アレイ装
置１は、ガラス基板の表面に後述するような画素部を形
成したアレイ基板２を画素部に背反するガラス基板の裏
面においてプラスチック基板３に接着剤４で張り合わせ
た構造になっている。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a cross-sectional structure of a liquid crystal array device according to an embodiment of the present invention. In this liquid crystal array device 1, an array substrate 2 having a pixel portion formed on a surface of a glass substrate as described later is opposed to the pixel portion. On the back surface of the glass substrate, a plastic substrate 3 is bonded with an adhesive 4.
【００１６】液晶アレイ装置１の製造工程を図２の工程
断面図に基づき説明する。図２（ａ）に示すアレイ基板
２は０．７ｍｍ厚のガラス基板を母材として作製された
ものであり、実際には、５００ｍｍ2 程度の大きさのガ
ラス基板に多数に作製され１つずつ分断されたものであ
る。The manufacturing process of the liquid crystal array device 1 will be described with reference to the process sectional view of FIG. The array substrate 2 shown in FIG. 2A is manufactured using a glass substrate having a thickness of 0.7 mm as a base material, and is actually manufactured in large numbers on a glass substrate having a size of about 500 mm 2. It is divided.
【００１７】このようなアレイ基板２の裏面を、図２
（ｂ）に示すように、グラインダー５によってガラス基
板厚さ０．２ｍｍまで削る。図示を省略するが、ガラス
基板の表面には厚さ１ｍｍ程度の保護膜が貼られてい
て、ガラス基板厚さが０．２ｍｍまで薄くなっても破損
が生じないようになっている。The back surface of such an array substrate 2 is shown in FIG.
As shown in (b), the glass substrate is ground by a grinder 5 to a thickness of 0.2 mm. Although not shown, a protective film having a thickness of about 1 mm is attached to the surface of the glass substrate so that breakage does not occur even when the thickness of the glass substrate is reduced to 0.2 mm.
【００１８】次に、図２（ｃ）に示すように、図２
（ｂ）で削られたアレイ基板２の裏面を平坦かつ清浄に
するために、アレイ基板２の裏面を薄い濃度のフッ酸６
（１００：１＝Ｈ２Ｏ：ＨＦ）などのウエットエッチン
グ液に浸しガラス基板を１００ｎｍ程度エッチング除去
する。Next, as shown in FIG.
In order to make the back surface of the array substrate 2 shaved in (b) flat and clean, the back surface of the array substrate 2 is made of hydrofluoric acid 6 having a low concentration.
The glass substrate is immersed in a wet etchant such as (100: 1 = H2O: HF) and etched away by about 100 nm.
【００１９】その後、図２（ｄ）に示すような、０．３
ｍｍ厚のプラスチック基板３の上にエポキシ系の接着剤
４を均一に塗布したものに、図２（ｃ）でエッチングし
たアレイ基板２をガラス基板の裏面側において張り合わ
せることにより、図２（ｅ）に示すような、プラスチッ
ク基板４を母材とする液晶アレイ装置１を得る。Thereafter, as shown in FIG.
2 (e), by laminating the array substrate 2 etched in FIG. 2 (c) on the back surface side of the glass substrate to a plastic substrate 3 having a thickness of 3 mm, on which an epoxy adhesive 4 is uniformly applied. The liquid crystal array device 1 using the plastic substrate 4 as a base material as shown in FIG.
【００２０】以上のような液晶アレイ装置１およびその
製造方法によれば、従来より実績のあるガラス基板に画
素部を形成したアレイ基板２を材料として用いればよい
ため、このアレイ基板２を製造するアレイ工程でガラス
基板の破損等が発生することはなく、アレイ工程の歩留
まりは高くなる。また、プラスチック基板を母材として
アレイ工程を行う時のような低温プロセスへのプロセス
変更を要さない。According to the liquid crystal array device 1 and the method of manufacturing the same as described above, the array substrate 2 having a pixel portion formed on a glass substrate, which has been used in the past, may be used as a material. The glass substrate is not damaged in the array process, and the yield of the array process is increased. Further, there is no need to change the process to a low-temperature process as in the case of performing an array process using a plastic substrate as a base material.
【００２１】また、液晶アレイ装置１の厚さは、プラス
チック基板３の厚さを変更することで調節できるので、
所望の厚さの液晶アレイ装置１を簡便に作製できる。さ
らに、得られた液晶アレイ装置１は、プラスチックとガ
ラスとの膜ストレスを接着剤４が緩和することになり、
力学的ストレス強度は大きい。Further, since the thickness of the liquid crystal array device 1 can be adjusted by changing the thickness of the plastic substrate 3,
The liquid crystal array device 1 having a desired thickness can be easily manufactured. Further, in the obtained liquid crystal array device 1, the adhesive 4 reduces the film stress between the plastic and the glass,
The mechanical stress intensity is large.
【００２２】なお、液晶アレイ装置１は、ＴＦＴアレイ
装置やＳＴＮアレイ装置として構成可能である。図３は
本発明の実施の形態における液晶パネルであり、上述し
た液晶アレイ装置１と、対向電極を形成した対向基板７
との間に液晶層８を配置している。液晶アレイ装置１の
画素部９は、液晶層８を駆動するためのドライバ１９
ａ，９ｂ、画素領域部９ｃを有している。The liquid crystal array device 1 can be configured as a TFT array device or an STN array device. FIG. 3 shows a liquid crystal panel according to an embodiment of the present invention.
And the liquid crystal layer 8 is disposed between them. The pixel section 9 of the liquid crystal array device 1 includes a driver 19 for driving the liquid crystal layer 8.
a, 9b, and a pixel area section 9c.
【００２３】このような液晶表示パネルは、上述した液
晶アレイ装置１を用いているため薄型でかつ性能がよ
い。Since such a liquid crystal display panel uses the above-described liquid crystal array device 1, it is thin and has good performance.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、画素部を
形成したガラス基板の裏面を研削し、ウエットエッチン
グにより平坦化した後、プラスチック基板に接着剤によ
り接着して液晶アレイ装置を製造するようにしたので、
軽量でかつ薄型の液晶アレイ装置を簡便に作製すること
が可能である。As described above, according to the present invention, a back surface of a glass substrate on which a pixel portion is formed is ground, flattened by wet etching, and then adhered to a plastic substrate with an adhesive to manufacture a liquid crystal array device. I decided to
A lightweight and thin liquid crystal array device can be easily manufactured.
【００２５】また、プラスチック基板を母材とする時の
ような、アレイプロセス変更や力学的強度不足によるプ
ラスチック基板と成膜種とのハガレ等の問題の発生を無
くすことが可能となる。Further, it is possible to eliminate problems such as peeling between a plastic substrate and a film-forming type due to a change in an array process or a lack of mechanical strength, such as when a plastic substrate is used as a base material.
【００２６】その結果、この液晶アレイ装置を配した薄
型の性能のよい液晶表示パネルを実現できる。As a result, a thin, high-performance liquid crystal display panel provided with the liquid crystal array device can be realized.
【図１】本発明の実施の形態における液晶アレイ装置の
概略構成を示す断面図FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a liquid crystal array device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の液晶アレイ装置の製造工程を示す工程断
面図FIG. 2 is a process sectional view showing a manufacturing process of the liquid crystal array device of FIG. 1;
【図３】図１の液晶アレイ装置を備えた液晶表示パネル
の概略構成を示す説明図FIG. 3 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a liquid crystal display panel including the liquid crystal array device of FIG. 1;
１ 液晶アレイ装置 ２ アレイ基板 ３ プラスチック基板 ４ 接着剤 ５ グラインダー ６ フッ酸 ７ 対向基板 ８ 液晶層 ９ 画素部 Reference Signs List 1 liquid crystal array device 2 array substrate 3 plastic substrate 4 adhesive 5 grinder 6 hydrofluoric acid 7 counter substrate 8 liquid crystal layer 9 pixel section
Claims (3)
おいて接着剤によりプラスチック基板に接着した液晶ア
レイ装置。1. A liquid crystal array device in which a glass substrate on which a pixel portion is formed is bonded to a plastic substrate with an adhesive on a back surface side.
削して基板厚みを低減し、ウエットエッチングして平坦
化し、平坦化したガラス基板の裏面にプラスチック基板
を接着剤により接着することを特徴とする液晶アレイ装
置の製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the back surface of the glass substrate on which the pixel portion is formed is ground to reduce the thickness of the substrate, flattened by wet etching, and a plastic substrate is bonded to the back surface of the flattened glass substrate with an adhesive. Of manufacturing a liquid crystal array device.
おいて接着剤によりプラスチック基板に接着した液晶ア
レイ装置を液晶の少なくとも一側に配置した液晶表示パ
ネル。3. A liquid crystal display panel in which a liquid crystal array device in which a glass substrate on which a pixel portion is formed is bonded to a plastic substrate with an adhesive on the back surface side is disposed on at least one side of liquid crystal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000024548A JP2001215481A (en) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | Liquid crystal array device, its manufacturing method and liquid crystal display panel using the same |
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ID=18550513
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001215481A (en) |
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