JP2001209019A - 音響光学型可変波長ｔｅ／ｔｍモード変換器、及びこれを用いた可変波長光フィルタ - Google Patents
音響光学型可変波長ｔｅ／ｔｍモード変換器、及びこれを用いた可変波長光フィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】高周波電気信号のパワーの増大を回避しつつ、
互いに近接する多波長の光を同時選択可能な音響光学型
可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器、及びこれを用いた可
変波長光フィルタを提供する。 【解決手段】櫛形電極１３、１４にそれぞれ異なる周波
数の高周波電気信号を印加すると、圧電性基板の表面に
それぞれの周波数に対応した表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12
が発生し、これらは結合性音響導波路１２によってガイ
ドされながら基板表面を蛇行しつつ伝播していき、最終
的に、それぞれ対応する吸収体１５、１６に吸収され
る。表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12の強度分布は、光導波路
１１に沿って中央部で強度が強くその両端で強度が弱く
なるような分布となり、その強度のピーク位置が互いに
ずれており、かつ、分布の裾部分が吸収体１５、１６間
で互いに一部重なり合っている。
互いに近接する多波長の光を同時選択可能な音響光学型
可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器、及びこれを用いた可
変波長光フィルタを提供する。 【解決手段】櫛形電極１３、１４にそれぞれ異なる周波
数の高周波電気信号を印加すると、圧電性基板の表面に
それぞれの周波数に対応した表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12
が発生し、これらは結合性音響導波路１２によってガイ
ドされながら基板表面を蛇行しつつ伝播していき、最終
的に、それぞれ対応する吸収体１５、１６に吸収され
る。表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12の強度分布は、光導波路
１１に沿って中央部で強度が強くその両端で強度が弱く
なるような分布となり、その強度のピーク位置が互いに
ずれており、かつ、分布の裾部分が吸収体１５、１６間
で互いに一部重なり合っている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、音響光学型の可変
波長ＴＥ／ＴＭモード変換器、及びこれを用いた可変波
長光フィルタに関する。
波長ＴＥ／ＴＭモード変換器、及びこれを用いた可変波
長光フィルタに関する。
【０００２】この種のＴＥ／ＴＭモード変換器は、音響
光学相互作用を利用して、ＴＥモードの光をＴＭモード
の光に、或いは、ＴＭモードの光をＴＥモードの光に変
換することができるため、各種の光デバイスや光システ
ムに利用可能である。例えば、このＴＥ／ＴＭモード変
換器と偏光子とを組み合わせて可変波長フィルタを構成
することが可能であって、このような可変波長フィルタ
は、例えば波長分割多重（ＷＤＭ）光通信システムにお
ける可変波長合分波器等に使用される可変波長フィルタ
として利用可能である。
光学相互作用を利用して、ＴＥモードの光をＴＭモード
の光に、或いは、ＴＭモードの光をＴＥモードの光に変
換することができるため、各種の光デバイスや光システ
ムに利用可能である。例えば、このＴＥ／ＴＭモード変
換器と偏光子とを組み合わせて可変波長フィルタを構成
することが可能であって、このような可変波長フィルタ
は、例えば波長分割多重（ＷＤＭ）光通信システムにお
ける可変波長合分波器等に使用される可変波長フィルタ
として利用可能である。
【０００３】
【従来の技術】音響光学型のＴＥ／ＴＭモード変換器
は、従来から知られており、一般には、圧電性基板上に
設けられた、表面弾性音響波（Surface Acoustic Wave;
ＳＡＷ）を励起伝播させる領域と、これと音響光学相互
作用するように配置された光導波路とから構成されてい
る。
は、従来から知られており、一般には、圧電性基板上に
設けられた、表面弾性音響波（Surface Acoustic Wave;
ＳＡＷ）を励起伝播させる領域と、これと音響光学相互
作用するように配置された光導波路とから構成されてい
る。
【０００４】表面弾性音響波は、基板表面に設けられた
櫛形電極に高周波（ＲＦ）電気信号を印加することで励
起され、基板上に設けられた結合性音響導波路によって
ガイドされながら伝播する。この表面弾性音響波の伝播
領域に光導波路を配することで、光と表面弾性音響波と
を相互作用させる。その結果、表面弾性音響波の波長と
位相整合がとれる波長の光のみが、選択的にＴＥ／ＴＭ
モード変換を受ける。櫛形電極に印加する高周波信号の
周波数を変えて表面弾性音響波の波長を変えることによ
り、ＴＥ／ＴＭモード変換を受ける光の波長を選択する
ことができる。なお、このようなＴＥ／ＴＭモード変換
器に関する参考文献としては、例えば「光集積回路」
（西原著、オーム社）や「光エレクトロニクスの基礎」
（A.Yariv著、丸善）等があるので、詳しくはそれらを
参考にされたい。
櫛形電極に高周波（ＲＦ）電気信号を印加することで励
起され、基板上に設けられた結合性音響導波路によって
ガイドされながら伝播する。この表面弾性音響波の伝播
領域に光導波路を配することで、光と表面弾性音響波と
を相互作用させる。その結果、表面弾性音響波の波長と
位相整合がとれる波長の光のみが、選択的にＴＥ／ＴＭ
モード変換を受ける。櫛形電極に印加する高周波信号の
周波数を変えて表面弾性音響波の波長を変えることによ
り、ＴＥ／ＴＭモード変換を受ける光の波長を選択する
ことができる。なお、このようなＴＥ／ＴＭモード変換
器に関する参考文献としては、例えば「光集積回路」
（西原著、オーム社）や「光エレクトロニクスの基礎」
（A.Yariv著、丸善）等があるので、詳しくはそれらを
参考にされたい。
【０００５】上述のようなＴＥ／ＴＭモード変換器は、
そのモード変換機能を利用して、様々な光デバイスに応
用可能である。例えば、上記のＴＥ／ＴＭモード変換器
における光導波路の入力部と出力部にそれぞれ偏光子を
配置することで、可変波長光フィルタを形成できる。こ
の場合、２つの偏光子の配置関係等を変えることで、バ
ンドパスフィルタやバンドストップフィルタ（リジェク
ションフィルタ）として構成することが可能である。こ
のように構成された可変波長光フィルタは、ＴＥ／ＴＭ
モード変換器における櫛形電極に複数の高周波電気信号
を印加することにより、多波長を同時にフィルタリング
することが可能になる。すなわち、印加する高周波電気
信号の周波数に応じた波長の光を同時にフィルタリング
することができる。
そのモード変換機能を利用して、様々な光デバイスに応
用可能である。例えば、上記のＴＥ／ＴＭモード変換器
における光導波路の入力部と出力部にそれぞれ偏光子を
配置することで、可変波長光フィルタを形成できる。こ
の場合、２つの偏光子の配置関係等を変えることで、バ
ンドパスフィルタやバンドストップフィルタ（リジェク
ションフィルタ）として構成することが可能である。こ
のように構成された可変波長光フィルタは、ＴＥ／ＴＭ
モード変換器における櫛形電極に複数の高周波電気信号
を印加することにより、多波長を同時にフィルタリング
することが可能になる。すなわち、印加する高周波電気
信号の周波数に応じた波長の光を同時にフィルタリング
することができる。
【０００６】しかしながら、この種の可変波長光フィル
タでは、光フィルタ特性としては望ましくないサイドロ
ーブが発生して、選択波長以外の波長がフィルタリング
されてしまったり、或いは、フィルタリング特性のフラ
ットネスが悪化する、といった問題があった。
タでは、光フィルタ特性としては望ましくないサイドロ
ーブが発生して、選択波長以外の波長がフィルタリング
されてしまったり、或いは、フィルタリング特性のフラ
ットネスが悪化する、といった問題があった。
【０００７】そこで、このような問題を解消するため、
例えば米国特許第 5,400,171号に示されるように、光導
波路の長手方向に表面弾性音響波の強度分布を持たせる
という手法が採用されてきた。ところが、この手法を採
用しても、互いに近接する周波数の高周波信号を同時に
同一の音響光学相互作用領域に印加すると、選択波長が
ずれてしまったり、リジェクションの深さに劣化が生じ
る、といった問題が生じていた。そのため、互いに隣接
する多波長の光を同時に選択的にフィルタリングするこ
とができず、よって、このような光フィルタをＷＤＭ光
通信システムにおける可変波長合分波器等に使用するこ
とには困難があった。
例えば米国特許第 5,400,171号に示されるように、光導
波路の長手方向に表面弾性音響波の強度分布を持たせる
という手法が採用されてきた。ところが、この手法を採
用しても、互いに近接する周波数の高周波信号を同時に
同一の音響光学相互作用領域に印加すると、選択波長が
ずれてしまったり、リジェクションの深さに劣化が生じ
る、といった問題が生じていた。そのため、互いに隣接
する多波長の光を同時に選択的にフィルタリングするこ
とができず、よって、このような光フィルタをＷＤＭ光
通信システムにおける可変波長合分波器等に使用するこ
とには困難があった。
【０００８】これに対し、例えば米国特許第 5,455,877
号に示されるように、ＴＥ／ＴＭモード変換器における
相互作用領域を２つに分離し、そのそれぞれの領域に、
互いに近接する周波数の高周波信号を振り分ける、とい
った手法も考えられている。このような手法を採用した
ＴＥ／ＴＭモード変換器の平面構成を図５（ａ）に示
す。
号に示されるように、ＴＥ／ＴＭモード変換器における
相互作用領域を２つに分離し、そのそれぞれの領域に、
互いに近接する周波数の高周波信号を振り分ける、とい
った手法も考えられている。このような手法を採用した
ＴＥ／ＴＭモード変換器の平面構成を図５（ａ）に示
す。
【０００９】同図のＴＥ／ＴＭモード変換器は、圧電性
基板の表面に、光導波路１と、互いに隣接する第１及び
第２の音響導波路２ａ、２ｂからなる結合性音響導波路
２と、この結合性音響導波路２の両端部にそれぞれ配置
された第１、第２の櫛形電極３、４と、結合性音響導波
路２の中央を横断するように配置された表面弾性音響波
吸収体５とを備えている。結合性音響導波路２は、圧電
性基板の表面にＴｉ（チタン）拡散された３つの領域
（Ｔｉ拡散領域）７ａ、７ｂ、７ｃにより区画されてお
り、中央のＴｉ拡散領域７ｂが２つの音響導波路２ａ、
２ｂを互いに分離するギャップ（音響導波路間ギャッ
プ）であり、このギャップ７ｂにより分離された第１の
音響導波路２ａ内に櫛形電極３、４が配置され、第２の
音響導波路２ｂ内に光導波路１が配置されている。
基板の表面に、光導波路１と、互いに隣接する第１及び
第２の音響導波路２ａ、２ｂからなる結合性音響導波路
２と、この結合性音響導波路２の両端部にそれぞれ配置
された第１、第２の櫛形電極３、４と、結合性音響導波
路２の中央を横断するように配置された表面弾性音響波
吸収体５とを備えている。結合性音響導波路２は、圧電
性基板の表面にＴｉ（チタン）拡散された３つの領域
（Ｔｉ拡散領域）７ａ、７ｂ、７ｃにより区画されてお
り、中央のＴｉ拡散領域７ｂが２つの音響導波路２ａ、
２ｂを互いに分離するギャップ（音響導波路間ギャッ
プ）であり、このギャップ７ｂにより分離された第１の
音響導波路２ａ内に櫛形電極３、４が配置され、第２の
音響導波路２ｂ内に光導波路１が配置されている。
【００１０】このような構成からなるＴＥ／ＴＭモード
変換器においては、櫛形電極３、４に互いに近接する周
波数の高周波電気信号をそれぞれ印加すると、圧電性基
板の表面にそれぞれの周波数に対応した表面弾性音響波
Ｗ1 、Ｗ2 が発生し、これらの表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ
2 は結合性音響導波路２によってガイドされながら基板
表面を伝播していき、最終的に吸収体５に吸収される。
その伝播の際、各表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と、光導波
路１を伝播する光とが音響光学相互作用を生じ、光導波
路１の出射部からは、上記の高周波電気信号の各周波数
とそれぞれ対応する波長の光のみが選択的にＴＥ／ＴＭ
モード変換されて出力される。この場合、音響導波路２
の長手方向に沿った各表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 の強度
分布は、図５（ｂ）に示すようになり、実質的に、表面
弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と光との相互作用領域が２つに分
離される。
変換器においては、櫛形電極３、４に互いに近接する周
波数の高周波電気信号をそれぞれ印加すると、圧電性基
板の表面にそれぞれの周波数に対応した表面弾性音響波
Ｗ1 、Ｗ2 が発生し、これらの表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ
2 は結合性音響導波路２によってガイドされながら基板
表面を伝播していき、最終的に吸収体５に吸収される。
その伝播の際、各表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と、光導波
路１を伝播する光とが音響光学相互作用を生じ、光導波
路１の出射部からは、上記の高周波電気信号の各周波数
とそれぞれ対応する波長の光のみが選択的にＴＥ／ＴＭ
モード変換されて出力される。この場合、音響導波路２
の長手方向に沿った各表面弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 の強度
分布は、図５（ｂ）に示すようになり、実質的に、表面
弾性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と光との相互作用領域が２つに分
離される。
【００１１】よって、このような構成からなるＴＥ／Ｔ
Ｍモード変換器を用いて光フィルタを構成した場合、原
理的には、上述したような選択波長ずれやリジェクショ
ンの深さの劣化等の問題が解消され、互いに隣接する多
波長の光を同時に選択的にフィルタリングすることが可
能となる。
Ｍモード変換器を用いて光フィルタを構成した場合、原
理的には、上述したような選択波長ずれやリジェクショ
ンの深さの劣化等の問題が解消され、互いに隣接する多
波長の光を同時に選択的にフィルタリングすることが可
能となる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
４に示した構成のＴＥ／ＴＭモード変換器では、表面弾
性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と光との相互作用領域が音響導波路
２の長手方向に完全に２分されることになるため、相互
作用領域１つあたりの相互作用長が短くなってしまい、
そのままでは十分な相互作用が得難くなる。そのため、
十分な相互作用を確保するのに、必然的に高周波電気信
号のパワーを増大しなければならないといった問題が生
じるだけでなく、サイドローブ特性も劣化するといった
問題も生じる。
４に示した構成のＴＥ／ＴＭモード変換器では、表面弾
性音響波Ｗ1 、Ｗ2 と光との相互作用領域が音響導波路
２の長手方向に完全に２分されることになるため、相互
作用領域１つあたりの相互作用長が短くなってしまい、
そのままでは十分な相互作用が得難くなる。そのため、
十分な相互作用を確保するのに、必然的に高周波電気信
号のパワーを増大しなければならないといった問題が生
じるだけでなく、サイドローブ特性も劣化するといった
問題も生じる。
【００１３】本発明の課題は、上記従来の問題点に鑑
み、高周波電気信号のパワーの増大を回避しつつ、互い
に近接する多波長の光を同時に選択的にモード変換可能
な音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器を提供す
ることにある。
み、高周波電気信号のパワーの増大を回避しつつ、互い
に近接する多波長の光を同時に選択的にモード変換可能
な音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器を提供す
ることにある。
【００１４】また、本発明の他の課題は、高周波電気信
号のパワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長
の光を同時に選択的にフィルタリング可能な可変波長フ
ィルタを提供することにある。
号のパワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長
の光を同時に選択的にフィルタリング可能な可変波長フ
ィルタを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、以下のように構成する。まず、本発明の音
響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器は、圧電性基
板の表面に設けられた光導波路と、上記圧電性基板の表
面に表面弾性音響波を発生させる複数の櫛形電極と、上
記圧電性基板の表面を伝播する表面弾性音響波をガイド
する結合性音響導波路と、上記表面弾性音響波を吸収す
る表面弾性音響波吸収体とを備えている。そして、上記
結合性音響導波路を構成する２つの音響導波路間に配置
された音響導波路間ギャップを少なくとも一部の領域に
有し、この音響導波路間ギャップにより隔てられる上記
２つの音響導波路の一方の中に上記光導波路が配置さ
れ、他方の音響導波路中に上記櫛形電極が２つ配置され
る。更に、これら２つの櫛形電極に挟まれた位置であっ
て、これら２つの櫛形電極にそれぞれ対応する別々の位
置に、上記表面弾性音響波吸収体が１つずつ配置されて
いる。
決するため、以下のように構成する。まず、本発明の音
響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器は、圧電性基
板の表面に設けられた光導波路と、上記圧電性基板の表
面に表面弾性音響波を発生させる複数の櫛形電極と、上
記圧電性基板の表面を伝播する表面弾性音響波をガイド
する結合性音響導波路と、上記表面弾性音響波を吸収す
る表面弾性音響波吸収体とを備えている。そして、上記
結合性音響導波路を構成する２つの音響導波路間に配置
された音響導波路間ギャップを少なくとも一部の領域に
有し、この音響導波路間ギャップにより隔てられる上記
２つの音響導波路の一方の中に上記光導波路が配置さ
れ、他方の音響導波路中に上記櫛形電極が２つ配置され
る。更に、これら２つの櫛形電極に挟まれた位置であっ
て、これら２つの櫛形電極にそれぞれ対応する別々の位
置に、上記表面弾性音響波吸収体が１つずつ配置されて
いる。
【００１６】このような構成によれば、２つの櫛形電極
に挟まれた位置であって、これら２つの櫛形電極にそれ
ぞれ対応する別々の位置に、上記表面弾性音響波吸収体
が１つずつ配置されるため、各表面弾性音響波毎に相互
作用領域が存在し、これら２つの相互作用領域の位置が
互いに一致することはないため、互いに近接する周波数
の高周波電気信号を各櫛形電極に印加したとしても、選
択波長ずれやリジェクションの深さ劣化等の問題は生じ
ない。
に挟まれた位置であって、これら２つの櫛形電極にそれ
ぞれ対応する別々の位置に、上記表面弾性音響波吸収体
が１つずつ配置されるため、各表面弾性音響波毎に相互
作用領域が存在し、これら２つの相互作用領域の位置が
互いに一致することはないため、互いに近接する周波数
の高周波電気信号を各櫛形電極に印加したとしても、選
択波長ずれやリジェクションの深さ劣化等の問題は生じ
ない。
【００１７】しかも、表面弾性音響波吸収体を１つだけ
設けて相互作用領域を完全に２つに分離するようにした
図５の構成とは異なり、２つの櫛形電極にそれぞれ対応
する別々の位置に表面弾性音響波吸収体が１つずつ配置
されるため、相互作用領域が完全に２分されることはな
い。そのため、相互作用領域１つあたりの相互作用長を
十分に長く確保することができ、よって、櫛形電極に大
きなパワーの高周波電気信号を印加する必要もなくな
り、また、サイドローブ特性の劣化も防止される。
設けて相互作用領域を完全に２つに分離するようにした
図５の構成とは異なり、２つの櫛形電極にそれぞれ対応
する別々の位置に表面弾性音響波吸収体が１つずつ配置
されるため、相互作用領域が完全に２分されることはな
い。そのため、相互作用領域１つあたりの相互作用長を
十分に長く確保することができ、よって、櫛形電極に大
きなパワーの高周波電気信号を印加する必要もなくな
り、また、サイドローブ特性の劣化も防止される。
【００１８】なお、上記２つの櫛形電極をそれぞれ第
１、第２の櫛形電極とし、この第１、第２の櫛形電極に
対応する上記表面弾性音響波吸収体のそれぞれを第１、
第２の表面弾性音響波吸収体とした場合、以下のように
構成されることが望ましい。すなわち、上記他方の音響
導波路中に、上記第１の櫛形電極、上記第２の表面弾性
音響波吸収体、上記第１の表面弾性音響波吸収体、上記
第２の櫛形電極の順に配置され、上記第１の櫛形電極で
発生された第１の表面弾性音響波が上記第１の表面弾性
音響波吸収体で吸収され、上記第２の櫛形電極で発生さ
れた第２の表面弾性音響波が上記第２の表面弾性音響波
吸収体で吸収され、しかも、これら第１及び第２の表面
弾性音響波は、上記光導波路に沿って中央部で強度が強
くその両端で強度が弱くなる強度分布をそれぞれ有し、
かつ、この強度分布のピーク位置が互いにずれている構
成とすることが望ましい。
１、第２の櫛形電極とし、この第１、第２の櫛形電極に
対応する上記表面弾性音響波吸収体のそれぞれを第１、
第２の表面弾性音響波吸収体とした場合、以下のように
構成されることが望ましい。すなわち、上記他方の音響
導波路中に、上記第１の櫛形電極、上記第２の表面弾性
音響波吸収体、上記第１の表面弾性音響波吸収体、上記
第２の櫛形電極の順に配置され、上記第１の櫛形電極で
発生された第１の表面弾性音響波が上記第１の表面弾性
音響波吸収体で吸収され、上記第２の櫛形電極で発生さ
れた第２の表面弾性音響波が上記第２の表面弾性音響波
吸収体で吸収され、しかも、これら第１及び第２の表面
弾性音響波は、上記光導波路に沿って中央部で強度が強
くその両端で強度が弱くなる強度分布をそれぞれ有し、
かつ、この強度分布のピーク位置が互いにずれている構
成とすることが望ましい。
【００１９】また、ＷＤＭ光通信システム等において利
用する場合は、互いに近接する周波数の高周波電気信号
を上記２つの櫛形電極のそれぞれに割り振るようにする
のが望ましい。このようにすることで、同一の櫛形電極
に印加される高周波電気信号の周波数を極力広げること
が可能になり、一層良好な波長選択特性が期待できる。
用する場合は、互いに近接する周波数の高周波電気信号
を上記２つの櫛形電極のそれぞれに割り振るようにする
のが望ましい。このようにすることで、同一の櫛形電極
に印加される高周波電気信号の周波数を極力広げること
が可能になり、一層良好な波長選択特性が期待できる。
【００２０】一方、本発明の可変波長光フィルタは、上
記の構成からなる本発明の音響光学型可変波長ＴＥ／Ｔ
Ｍモード変換器と、この音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭ
モード変換器の入力部と出力部にそれぞれ配置された第
１及び第２の偏光子とを備えて構成される。
記の構成からなる本発明の音響光学型可変波長ＴＥ／Ｔ
Ｍモード変換器と、この音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭ
モード変換器の入力部と出力部にそれぞれ配置された第
１及び第２の偏光子とを備えて構成される。
【００２１】このように本発明の音響光学型可変波長Ｔ
Ｅ／ＴＭモード変換器を用いれば、高周波電気信号のパ
ワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長の光を
同時に選択的にフィルタリング可能な可変波長光フィル
タが実現可能である。
Ｅ／ＴＭモード変換器を用いれば、高周波電気信号のパ
ワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長の光を
同時に選択的にフィルタリング可能な可変波長光フィル
タが実現可能である。
【００２２】ここで、上記第１、第２の偏光子をそれら
の軸が互いに平行になるよう配置する構成とすれば、バ
ンドストップフィルタとなり、また、上記第１、第２の
偏光子をそれらの軸が互いに直交するよう配置する構成
とすれば、バンドパスフィルタとなる。
の軸が互いに平行になるよう配置する構成とすれば、バ
ンドストップフィルタとなり、また、上記第１、第２の
偏光子をそれらの軸が互いに直交するよう配置する構成
とすれば、バンドパスフィルタとなる。
【００２３】なお、本発明のＴＥ／ＴＭモード変換器に
おいては、光導波路、音響導波路、櫛形電極、表面弾性
音響波吸収体等の配置構成の如何にかかわらず、複数の
櫛形電極で発生されて圧電性基板の表面を伝播するそれ
ぞれの表面弾性音響波が、次のような強度分布を有する
のであれば、同様な作用が期待できる。すなわち、各表
面弾性音響波の強度分布が、光導波路に沿って中央部で
強度が強くその両端で強度が弱くなるような分布であっ
て、その強度のピーク位置が互いにずれており、かつ、
強度の弱まる領域で互いに一部重なり合っていればよ
い。
おいては、光導波路、音響導波路、櫛形電極、表面弾性
音響波吸収体等の配置構成の如何にかかわらず、複数の
櫛形電極で発生されて圧電性基板の表面を伝播するそれ
ぞれの表面弾性音響波が、次のような強度分布を有する
のであれば、同様な作用が期待できる。すなわち、各表
面弾性音響波の強度分布が、光導波路に沿って中央部で
強度が強くその両端で強度が弱くなるような分布であっ
て、その強度のピーク位置が互いにずれており、かつ、
強度の弱まる領域で互いに一部重なり合っていればよ
い。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は、本発
明のＴＥ／ＴＭモード変換器の一実施の形態を示す平面
図である。
て、図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は、本発
明のＴＥ／ＴＭモード変換器の一実施の形態を示す平面
図である。
【００２５】このＴＥ／ＴＭモード変換器１０は、例え
ばｘ-cutのLiNbO3結晶等からなる圧電性基板の表面に、
Ｔｉ拡散により形成された１本の光導波路１１と、互い
に隣接する第１及び第２の音響導波路１２ａ、１２ｂか
らなる結合性音響導波路１２と、第１の音響導波路１２
ａの両端部にそれぞれ配置された第１、第２の櫛形電極
１３、１４と、第１の音響導波路１２ａの途中２箇所を
横断するように配置された第１、第２の表面弾性音響波
吸収体１５、１６とを備えている。結合性音響導波路１
２は、圧電性基板の表面にＴｉ拡散された３つの領域
（Ｔｉ拡散領域）１７ａ、１７ｂ、１７ｃにより区画さ
れており、中央のＴｉ拡散領域１７ｂが２つの音響導波
路１２ａ、１２ｂを互いに分離するギャップ（音響導波
路間ギャップ）である。このギャップ１７ｂにより隔て
られた２つの音響導波路１２ａ、１２ｂのうち、第１の
音響導波路１２ａ内に櫛形電極１３、１４が配置され、
第２の音響導波路１２ｂ内に光導波路１１が配置されて
いる。
ばｘ-cutのLiNbO3結晶等からなる圧電性基板の表面に、
Ｔｉ拡散により形成された１本の光導波路１１と、互い
に隣接する第１及び第２の音響導波路１２ａ、１２ｂか
らなる結合性音響導波路１２と、第１の音響導波路１２
ａの両端部にそれぞれ配置された第１、第２の櫛形電極
１３、１４と、第１の音響導波路１２ａの途中２箇所を
横断するように配置された第１、第２の表面弾性音響波
吸収体１５、１６とを備えている。結合性音響導波路１
２は、圧電性基板の表面にＴｉ拡散された３つの領域
（Ｔｉ拡散領域）１７ａ、１７ｂ、１７ｃにより区画さ
れており、中央のＴｉ拡散領域１７ｂが２つの音響導波
路１２ａ、１２ｂを互いに分離するギャップ（音響導波
路間ギャップ）である。このギャップ１７ｂにより隔て
られた２つの音響導波路１２ａ、１２ｂのうち、第１の
音響導波路１２ａ内に櫛形電極１３、１４が配置され、
第２の音響導波路１２ｂ内に光導波路１１が配置されて
いる。
【００２６】ここで、互いに隔てられた２つの音響導波
路１２ａ、１２ｂで構成される結合性音響導波路１２
は、結合長Ｌｃを有するように形成されており、第１の
櫛形電極１３からその他端側へ結合長Ｌｃの位置に第１
の表面弾性音響波吸収体１５が配置され、かつ、第２の
櫛形電極１４からその他端側へ結合長Ｌｃの位置に第２
の表面弾性音響波吸収体１６が配置されている。この場
合、第２の音響導波路１２ｂの領域と光導波路１１との
重なる部分が、音響光学相互作用の発生する領域（相互
作用領域）となる。なお、結合長Ｌｃと２つの櫛形電極
１３、１４間の距離Ｌとの関係は、一般にはＬｃ＜Ｌ＜
２Ｌｃとなる。図１（ａ）に示した例では、２つの表面
弾性音響波吸収体１５、１６の間隔がＬｃ／２であり、
２つの櫛形電極１３、１４の間隔が３Ｌｃ／２である。
路１２ａ、１２ｂで構成される結合性音響導波路１２
は、結合長Ｌｃを有するように形成されており、第１の
櫛形電極１３からその他端側へ結合長Ｌｃの位置に第１
の表面弾性音響波吸収体１５が配置され、かつ、第２の
櫛形電極１４からその他端側へ結合長Ｌｃの位置に第２
の表面弾性音響波吸収体１６が配置されている。この場
合、第２の音響導波路１２ｂの領域と光導波路１１との
重なる部分が、音響光学相互作用の発生する領域（相互
作用領域）となる。なお、結合長Ｌｃと２つの櫛形電極
１３、１４間の距離Ｌとの関係は、一般にはＬｃ＜Ｌ＜
２Ｌｃとなる。図１（ａ）に示した例では、２つの表面
弾性音響波吸収体１５、１６の間隔がＬｃ／２であり、
２つの櫛形電極１３、１４の間隔が３Ｌｃ／２である。
【００２７】このような構成からなるＴＥ／ＴＭモード
変換器１０において、櫛形電極１３、１４にそれぞれ異
なる周波数の高周波電気信号を印加すると、圧電性基板
の表面にそれぞれの周波数に対応した第１、第２の表面
弾性音響波Ｗ11、Ｗ12が発生し、これらの表面弾性音響
波Ｗ11、Ｗ12は結合性音響導波路１２によってガイドさ
れながら基板表面を蛇行しつつ伝播していき、最終的
に、それぞれ対応する吸収体１５、１６に吸収される。
変換器１０において、櫛形電極１３、１４にそれぞれ異
なる周波数の高周波電気信号を印加すると、圧電性基板
の表面にそれぞれの周波数に対応した第１、第２の表面
弾性音響波Ｗ11、Ｗ12が発生し、これらの表面弾性音響
波Ｗ11、Ｗ12は結合性音響導波路１２によってガイドさ
れながら基板表面を蛇行しつつ伝播していき、最終的
に、それぞれ対応する吸収体１５、１６に吸収される。
【００２８】すなわち、第１の音響導波路１２ａにおい
て第１の櫛形電極１３により励起された第１の表面弾性
音響波Ｗ11は、図１（ａ）において左方へほぼＬｃ／２
だけ進行した地点で、第２の音響導波路１２ｂに強度が
遷移し、そこから更にＬｃ／２ほど進行してから第１の
音響導波路１２ａに戻り、第１の吸収体１５に吸収され
て消滅する。一方、第１の音響導波路１２ａにおいて第
２の櫛形電極１４により励起された第２の表面弾性音響
波Ｗ12は、図１（ａ）において右方へほぼＬｃ／２だけ
進行した地点で、第２の音響導波路１２ｂに強度が遷移
し、そこから更にＬｃ／２ほど進行してから第１の音響
導波路１２ａに戻り、第２の吸収体１６に吸収されて消
滅する。この場合、音響導波路１２の長手方向に沿った
各表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12の強度分布は、図１（ｂ）
に示すように、光導波路１１に沿って中央部で強度が強
くその両端で強度が弱くなるような分布となり、その強
度のピーク位置が互いにずれており、かつ、分布の裾部
分が吸収体１５、１６間で互いに一部重なり合ってい
る。
て第１の櫛形電極１３により励起された第１の表面弾性
音響波Ｗ11は、図１（ａ）において左方へほぼＬｃ／２
だけ進行した地点で、第２の音響導波路１２ｂに強度が
遷移し、そこから更にＬｃ／２ほど進行してから第１の
音響導波路１２ａに戻り、第１の吸収体１５に吸収され
て消滅する。一方、第１の音響導波路１２ａにおいて第
２の櫛形電極１４により励起された第２の表面弾性音響
波Ｗ12は、図１（ａ）において右方へほぼＬｃ／２だけ
進行した地点で、第２の音響導波路１２ｂに強度が遷移
し、そこから更にＬｃ／２ほど進行してから第１の音響
導波路１２ａに戻り、第２の吸収体１６に吸収されて消
滅する。この場合、音響導波路１２の長手方向に沿った
各表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12の強度分布は、図１（ｂ）
に示すように、光導波路１１に沿って中央部で強度が強
くその両端で強度が弱くなるような分布となり、その強
度のピーク位置が互いにずれており、かつ、分布の裾部
分が吸収体１５、１６間で互いに一部重なり合ってい
る。
【００２９】よって、光導波路１１を伝播する光と２つ
の表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12とは、実質的に互いに離れ
た領域でそれぞれの音響光学相互作用を生じることにな
るため、互いに近接する周波数の高周波電気信号を各櫛
形電極１３、１４に印加したとしても、前述したような
選択波長ずれやリジェクションの深さの劣化等の問題を
生じることなく、上記の互いに近接する周波数にそれぞ
れ対応する波長の光のみを同時に選択的にモード変換し
て出力させることができる。
の表面弾性音響波Ｗ11、Ｗ12とは、実質的に互いに離れ
た領域でそれぞれの音響光学相互作用を生じることにな
るため、互いに近接する周波数の高周波電気信号を各櫛
形電極１３、１４に印加したとしても、前述したような
選択波長ずれやリジェクションの深さの劣化等の問題を
生じることなく、上記の互いに近接する周波数にそれぞ
れ対応する波長の光のみを同時に選択的にモード変換し
て出力させることができる。
【００３０】しかも、吸収体５を１つだけ設けて相互作
用領域を完全に２分するようにした図５の構成とは異な
り、２つの櫛形電極１３、１４にそれぞれ対応する別々
の位置に各吸収体１５、１６が配置されるため、相互作
用領域が完全に２分されることはない。そのため、表面
弾性音響波Ｗ11、Ｗ12のそれぞれに対応する相互作用領
域１つあたりの相互作用長を十分に長く確保することが
でき、よって、櫛形電極１３、１４に大きなパワーの高
周波電気信号を印加する必要もなくなり、また、サイド
ローブ特性の劣化を防止することもできる。
用領域を完全に２分するようにした図５の構成とは異な
り、２つの櫛形電極１３、１４にそれぞれ対応する別々
の位置に各吸収体１５、１６が配置されるため、相互作
用領域が完全に２分されることはない。そのため、表面
弾性音響波Ｗ11、Ｗ12のそれぞれに対応する相互作用領
域１つあたりの相互作用長を十分に長く確保することが
でき、よって、櫛形電極１３、１４に大きなパワーの高
周波電気信号を印加する必要もなくなり、また、サイド
ローブ特性の劣化を防止することもできる。
【００３１】なお、互いに近接した周波数の高周波電気
信号を各櫛形電極１３、１４に印加する手法の一例を、
概念的に図２に示す。この例は、櫛形電極１３、１４に
印加すべき各周波数ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 、ｆ4 、・・・
（ただし、ｆ1 ＜ｆ2 ＜ｆ3 ＜ｆ4 ＜・・・）のうち、
互いに最も近接した周波数同士（例えば、ｆ1 とｆ2 、
ｆ3 とｆ4 、・・・）を別々の櫛形電極１３、１４に割
り振るするようにしたものである。このようにすること
により、同一の櫛形電極に印加される高周波電気信号の
周波数間隔を極力広げることができるため、良好な波長
選択特性を得ることができる。
信号を各櫛形電極１３、１４に印加する手法の一例を、
概念的に図２に示す。この例は、櫛形電極１３、１４に
印加すべき各周波数ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 、ｆ4 、・・・
（ただし、ｆ1 ＜ｆ2 ＜ｆ3 ＜ｆ4 ＜・・・）のうち、
互いに最も近接した周波数同士（例えば、ｆ1 とｆ2 、
ｆ3 とｆ4 、・・・）を別々の櫛形電極１３、１４に割
り振るするようにしたものである。このようにすること
により、同一の櫛形電極に印加される高周波電気信号の
周波数間隔を極力広げることができるため、良好な波長
選択特性を得ることができる。
【００３２】次に、図３は、本発明の可変波長光フィル
タの一実施の形態を示す平面図である。この可変波長光
フィルタは、図１（ａ）に示したＴＥ／ＴＭモード変換
器１０と、その入力部と出力部にそれぞれ配置された第
１及び第２の偏光子２１、２２とから構成されている。
偏光子２１、２２としては、例えば偏光ビームスプリッ
タ等を採用可能である。ここで、第１、第２の偏光子２
１、２２をそれらの軸が互いに平行になるよう配置する
構成とすれば、特定波長の光のみを通過させないバンド
ストップフィルタとなり、また、第１、第２の偏光子２
１、２２をそれらの軸が互いに直交するよう配置する構
成とすれば、特定波長の光のみを通過させるバンドパス
フィルタとなる。
タの一実施の形態を示す平面図である。この可変波長光
フィルタは、図１（ａ）に示したＴＥ／ＴＭモード変換
器１０と、その入力部と出力部にそれぞれ配置された第
１及び第２の偏光子２１、２２とから構成されている。
偏光子２１、２２としては、例えば偏光ビームスプリッ
タ等を採用可能である。ここで、第１、第２の偏光子２
１、２２をそれらの軸が互いに平行になるよう配置する
構成とすれば、特定波長の光のみを通過させないバンド
ストップフィルタとなり、また、第１、第２の偏光子２
１、２２をそれらの軸が互いに直交するよう配置する構
成とすれば、特定波長の光のみを通過させるバンドパス
フィルタとなる。
【００３３】このような構成からなる可変波長光フィル
タによれば、前述したＴＥ／ＴＭモード変換器１０を用
いているので、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパ
ワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長の光を
同時に選択的にフィルタリングできる。
タによれば、前述したＴＥ／ＴＭモード変換器１０を用
いているので、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパ
ワーの増大を回避しつつ、互いに近接する多波長の光を
同時に選択的にフィルタリングできる。
【００３４】このような可変波長光フィルタは、例えば
図４に示すように、ＷＤＭ光通信システムにおける、任
意の波長の光信号を分波する分波器３１や、任意の波長
の光信号を合波する合波器３２等に使用される可変波長
光フィルタとして利用可能である。
図４に示すように、ＷＤＭ光通信システムにおける、任
意の波長の光信号を分波する分波器３１や、任意の波長
の光信号を合波する合波器３２等に使用される可変波長
光フィルタとして利用可能である。
【００３５】以上に、本発明の一実施の形態について述
べたが、本発明はこれら実施の形態に限定されるもので
はなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で各種の構成
変更が可能である。
べたが、本発明はこれら実施の形態に限定されるもので
はなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で各種の構成
変更が可能である。
【００３６】例えば、図１（ａ）においては、音響導波
路間ギャップとして、結合性音響導波路１２の全長にわ
たってＴｉ拡散領域１７ｂを配置したが、このようなギ
ャップは、少なくとも一部の領域にのみ、必要に応じて
配置されていれば十分である。
路間ギャップとして、結合性音響導波路１２の全長にわ
たってＴｉ拡散領域１７ｂを配置したが、このようなギ
ャップは、少なくとも一部の領域にのみ、必要に応じて
配置されていれば十分である。
【００３７】また、前にも述べたが、複数の櫛形電極で
発生されて圧電性基板の表面を伝播するそれぞれの表面
弾性音響波が、相互作用領域において、例えば図１
（ｂ）のようにピーク位置のずれた強度分布を持つよう
な構成であれば、光導波路、音響導波路、櫛形電極、表
面弾性音響波吸収体等は必ずしも図１（ａ）に示したよ
うな配置構成である必要はない。
発生されて圧電性基板の表面を伝播するそれぞれの表面
弾性音響波が、相互作用領域において、例えば図１
（ｂ）のようにピーク位置のずれた強度分布を持つよう
な構成であれば、光導波路、音響導波路、櫛形電極、表
面弾性音響波吸収体等は必ずしも図１（ａ）に示したよ
うな配置構成である必要はない。
【００３８】
【発明の効果】本発明のＴＥ／ＴＭモード変換器によれ
ば、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパワーが増大
するのを回避しつつ、互いに近接する多波長を同時に選
択的にモード変換することができる。
ば、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパワーが増大
するのを回避しつつ、互いに近接する多波長を同時に選
択的にモード変換することができる。
【００３９】また、本発明の可変波長光フィルタによれ
ば、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパワーが増大
するのを回避しつつ、互いに近接する多波長を同時に選
択的にフィルタリングすることができ、極めて良好なフ
ィルタ特性を得ることができる。
ば、櫛形電極に印加する高周波電気信号のパワーが増大
するのを回避しつつ、互いに近接する多波長を同時に選
択的にフィルタリングすることができ、極めて良好なフ
ィルタ特性を得ることができる。
【００４０】なお、互いに近接する周波数の高周波電気
信号を、それぞれ別々の櫛形電極に割り振るようにすれ
ば、同一の櫛形電極に印加される高周波電気信号の周波
数を極力広げることが可能になり、一層良好な波長選択
特性を実現できる。
信号を、それぞれ別々の櫛形電極に割り振るようにすれ
ば、同一の櫛形電極に印加される高周波電気信号の周波
数を極力広げることが可能になり、一層良好な波長選択
特性を実現できる。
【図１】本発明のＴＥ／ＴＭモード変換器の一実施の形
態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその
表面弾性音響波の強度分布を示す図である。
態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその
表面弾性音響波の強度分布を示す図である。
【図２】図１に示したＴＥ／ＴＭモード変換器の櫛形電
極への高周波電気信号の印加手法の一例を概念的に示す
図である。
極への高周波電気信号の印加手法の一例を概念的に示す
図である。
【図３】本発明の可変波長光フィルタの一実施の形態を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図４】本発明の可変波長光フィルタを適用可能な、Ｗ
ＤＭ光通信システムにおける合分波器の構成例を示す図
である。
ＤＭ光通信システムにおける合分波器の構成例を示す図
である。
【図５】従来のＴＥ／ＴＭモード変換器の一例を示す図
であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその表面弾性音
響波の強度分布を示す図である。
であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその表面弾性音
響波の強度分布を示す図である。
１０ ＴＥ／ＴＭモード変換器 １１ 光導波路 １２ 結合性音響導波路 １２ａ、１２ｂ 音響導波路 １３、１４ 櫛形電極 １５、１６ 表面弾性音響波吸収体 １７ａ、１７ｂ、１７ｃ Ｔｉ拡散領域 ２１、２２ 偏光子 Ｗ11、Ｗ12 表面弾性音響波
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H047 KA04 NA07 PA12 QA03 RA08 TA22 2H079 AA04 BA02 CA07 CA24 EA03 EB14 EB23 GA01 HA07 HA08 HA12 KA05
Claims (8)
- 【請求項１】圧電性基板の表面に設けられた光導波路
と、前記圧電性基板の表面に表面弾性音響波を発生させ
る複数の櫛形電極と、前記圧電性基板の表面を伝播する
表面弾性音響波をガイドする結合性音響導波路と、前記
表面弾性音響波を吸収する表面弾性音響波吸収体とを備
える音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器におい
て、 前記結合性音響導波路を構成する２つの音響導波路間に
配置された音響導波路間ギャップを少なくとも一部の領
域に有し、該音響導波路間ギャップにより隔てられる前
記２つの音響導波路の一方の中に前記光導波路が配置さ
れ、他方の音響導波路中に前記櫛形電極が２つ配置さ
れ、該２つの櫛形電極に挟まれた位置であって該２つの
櫛形電極にそれぞれ対応する別々の位置に前記表面弾性
音響波吸収体が１つずつ配置されたことを特徴とする音
響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器。 - 【請求項２】前記２つの櫛形電極をそれぞれ第１、第２
の櫛形電極とし、該第１、第２の櫛形電極に対応する前
記表面弾性音響波吸収体のそれぞれを第１、第２の表面
弾性音響波吸収体とした場合、前記他方の音響導波路中
に、前記第１の櫛形電極、前記第２の表面弾性音響波吸
収体、前記第１の表面弾性音響波吸収体、前記第２の櫛
形電極の順に配置され、前記第１の櫛形電極で発生され
た第１の表面弾性音響波が前記第１の表面弾性音響波吸
収体で吸収され、前記第２の櫛形電極で発生された第２
の表面弾性音響波が前記第２の表面弾性音響波吸収体で
吸収され、該第１及び第２の表面弾性音響波は、前記光
導波路に沿って中央部で強度が強くその両端で強度が弱
くなる強度分布をそれぞれ有し、かつ、該強度分布のピ
ーク位置が互いにずれていることを特徴とする請求項１
記載の音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器。 - 【請求項３】互いに近接する周波数の高周波電気信号
が、前記２つの櫛形電極のそれぞれに割り振られて印加
されることを特徴とする請求項１又は２記載の音響光学
型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１つに記載の音
響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器と、該音響光
学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器の入力部と出力部
にそれぞれ配置された第１及び第２の偏光子とを備える
ことを特徴とする可変波長光フィルタ。 - 【請求項５】前記第１、第２の偏光子をそれらの軸が互
いに平行になるよう配置することで、バンドストップフ
ィルタを構成したことを特徴とする請求項４記載の可変
波長光フィルタ。 - 【請求項６】前記第１、第２の偏光子をそれらの軸が互
いに直交するよう配置することで、バンドパスフィルタ
を構成したことを特徴とする請求項４記載の可変波長光
フィルタ。 - 【請求項７】圧電性基板の表面に、光を伝播する光導波
路と、表面弾性音響波を発生させる複数の櫛形電極とを
備え、該複数の櫛形電極でそれぞれ発生されて前記圧電
性基板の表面を伝播する表面弾性音響波と前記光導波路
を伝播する光との音響光学相互作用により、前記光導波
路に入力した光のうち前記櫛形電極に印加された高周波
電気信号の周波数に対応する波長の光のみをＴＥ／ＴＭ
モード変換して出力する音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭ
モード変換器において、 前記複数の櫛形電極でそれぞれ発生されて伝播する各表
面弾性音響波が、前記光導波路に沿って中央部で強度が
強くその両端で強度が弱くなる強度分布を有し、該強度
分布は、そのピーク位置が互いにずれており、かつ、強
度の弱まる領域で互いに一部重なり合っていることを特
徴とする音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭモード変換器。 - 【請求項８】請求項７記載の音響光学型可変波長ＴＥ／
ＴＭモード変換器と、該音響光学型可変波長ＴＥ／ＴＭ
モード変換器の入力部と出力部にそれぞれ配置された第
１及び第２の偏光子とを備えることを特徴とする可変波
長光フィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000016250A JP2001209019A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 音響光学型可変波長ｔｅ／ｔｍモード変換器、及びこれを用いた可変波長光フィルタ |
| US09/748,180 US6466705B2 (en) | 2000-01-25 | 2000-12-27 | Acousto-optic variable-wavelength TE/TM mode converter, and a variable-wavelength optical filter using this converter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000016250A JP2001209019A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 音響光学型可変波長ｔｅ／ｔｍモード変換器、及びこれを用いた可変波長光フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001209019A true JP2001209019A (ja) | 2001-08-03 |
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