JP2001202877A

JP2001202877A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001202877A
Application number: JP2000008883A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Suzuki; 茂夫鈴木; Hiroyuki Yonehara; 浩幸米原; Hideki Ashida; 英樹芦田; Jun Endo; 順遠藤; Kazuo Takahashi; 一夫高橋; Kaneya Kiriyama; 兼冶桐山; Yasuyuki Akata; 靖幸赤田; Hajime Ueda; 一上田; Sadao Uemura; 貞夫植村
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-01-18
Filing date: 2000-01-18
Publication date: 2001-07-27

Abstract

(57)【要約】【課題】ストライプ構造の隔壁を有するプラズマディ
スプレイでは隣接放電空間との誤放電や高精細化に伴う
輝度低下があった。【解決手段】誘電体層および保護膜層で覆われた複数
の対を成す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮
光層を配した第１の絶縁基板と、絶縁体層で覆われた複
数のデータ電極と前記絶縁体層上に複数の隔壁と少なく
とも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶縁基板とを、放
電空間をはさんで対向配置してなるプラズマディスプレ
イパネルにおいて、第二の絶縁基板上の隔壁間に隔壁と
同一高さの障壁を設け、その障壁に隣接放電空間を連通
するスリットを設けたパネル構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルに関するもので、
特にプラズマディスプレイパネルの隔壁層を形成する方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のプラズマディスプレイパネルの構
成の一実施例としての一部斜視図を図５に示す。図５に
おいて、第一の絶縁基板１上には誘電体層２および保護
膜層３で覆われた複数の走査電極４と維持電極５とを対
を成して平行に付設するとともに、対を成す走査電極４
と維持電極５のそれぞれの対間に遮光層６が付設してあ
る。

【０００３】第二の絶縁基板７上には絶縁体層８で覆わ
れた複数のデータ電極９を付設し、さらに前記データ電
極９間の前記絶縁体層８上に前記データ電極９と平行し
て複数の隔壁を付設し、この隔壁１０間の隔壁側面およ
び前記絶縁体層８の表面に蛍光体層１１が付設してあ
る。

【０００４】前記第一の絶縁基板１と第２の絶縁基板７
は、前記複数の対を成す走査電極４および維持電極５と
前記データ電極９とが直交するように、放電空間１２を
はさんで対向して配置されている。

【０００５】前記走査電極４および維持電極５はそれぞ
れ透明電極４ａおよびこれに重なって電気的に接続され
た母線４ｂ、５ｂを銀等の低抵抗材料で形成することに
より、走査電極４および維持電極５の電極としての抵抗
値を小さくするようにしている。

【０００６】このように、走査電極４と維持電極５の一
対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放電空間１
２の領域は一つの放電セルを構成する。

【０００７】また、放電空間１２には放電ガスとしてヘ
リウム、ネオン、アルゴン、キセノンなどの一種または
混合ガスが封入されている。

【０００８】この様に従来の隔壁１０は単純なストライ
プ状であり、主としてサンドブラスト法やリフトオフ法
あるいはスクリーン印刷の重ね刷りなどの方法によって
形成されていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし以上説明した従
来のパネルでは、高精細化を実現するためにパネル電極
数を増やす場合、すなわち、第一の絶縁基板１上に走査
電極４と維持電極５および第２の絶縁基板７上に設けた
データ電極９の本数を増やし、隔壁１０間の間隔を小さ
くして放電空間を１２の領域を小さくして行った場合
に、次のような課題が発生するものであった。

【００１０】第１に、第一の走査電極と維持電極との対
で発生する放電が、隣接の走査電極間で発生し、誤放電
として表示品質を低下させる。

【００１１】第２に、高精細化により、維持放電電極幅
が狭くなるので、維持放電が弱くなることと、放電空間
の減少により、発光輝度が弱くなるものである。

【００１２】輝度を高める方法として蛍光体の改善や蛍
光体形成形状の改善、封入ガス組成やその分圧の最適化
などの積み重ね、さらには、駆動回路上の改善などによ
って徐々に輝度が向上してきているが、現状の隔壁スト
ライプ構造の発光面積の制約や発光効率の観点から、現
状構造では限界がある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、誘電体層および保護膜層で覆われた複数の対を成
す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮光層を少
なくとも配した第１の絶縁基板と、絶縁体層で覆われた
複数のデータ電極と前記絶縁体層上に複数の隔壁と少な
くとも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶縁基板とを、
前記複数対の対を成す走査電極および維持電極と前記複
数のデータ電極とが直交するようにして、放電空間をは
さんで対向配置してなるプラズマディスプレイパネルで
あって、前記第一の絶縁基板の前記遮光層に対向する位
置に、前記第二の絶縁基板上の前記絶縁基板上の隔壁間
に隔壁と高さの等しい障壁を設け、その障壁に隣接放電
空間を連通するスリットを設けている構造とする。

【００１４】その製造方法として、ガラスペーストを塗
布し、ガラスペーストを乾燥させ、その上面にドライフ
ィルムレジストを形成し、ドライフィルムをパターニン
グし、ドライフィルム上からサンドブラスト法によって
ガラスペーストを除去することで隔壁を形成するプラズ
マディスプレイパネルの製造方法であって、サンドブラ
ストにより主隔壁と障壁とよりなる略枡形形状の放電空
間を形成する際、一方向の桟部のドライフィルムに、主
隔壁方向の隣接放電空間につながる単一あるいは複数の
微細開口部を設けてサンドブラストして形成するもので
ある。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００１６】（ＰＤＰの全体的な構成及び製法）図１
に、本発明の概略断面一部斜視図を示す。

【００１７】図１において、第一の絶縁基板１上には誘
電体層２および保護層３で覆われた複数の走査電極４と
維持電極５とを対を成して平行に付設するとともに、対
を成す走査電極４と維持電極５とのそれぞれの対間に遮
光層６を付設している。

【００１８】第２の絶縁基板７上には絶縁体層８で覆わ
れた複数のデータ電極９を付設し、さらにデータ電極９
間の絶縁体層８上に、データ電極９と平行して複数の隔
壁１０を付設してある。

【００１９】前記第二の絶縁基板上の隔壁間には、第一
の絶縁基板１の前記遮光層６に対向する位置に障壁１３
を付設しているとともに、この隔壁１０間の隔壁側面と
障壁１３の側面および絶縁体層８の表面に蛍光体層１１
を設けてある。

【００２０】また、前記第一の絶縁基板１と第二の絶縁
基板７は、前記複数の対を成す走査電極４および維持電
極５と前記データ電極９とが直交するように放電空間１
２をはさんで対向配置している。

【００２１】このパネルにおいて、走査電極４と維持電
極５の一対とデータ電極９の一つとの交点に対応する放
電空間１２の領域は一つの放電セルを構成する。また放
電空間１２には放電ガスとしてヘリウム、ネオン、アル
ゴン、キセノンの内の一種または混合ガスが封入されて
いる。

【００２２】この時、従来パネルとの相違点は、第二の
絶縁基板７上の絶縁体層９上の隔壁１０間に、第一の絶
縁基板１上の遮光層６に対向する位置に障壁１３が設け
られていることである。さらには、この障壁１３は隔壁
１０と同一の高さで、障壁１３には隣接する放電空間１
４と放電空間１５を連通するスリット１６が設けられて
いることである。

【００２３】本発明はまた、第二の絶縁基板７の特に隔
壁１０と障壁１３の製造方法にも関し、この第二の絶縁
基板を背面パネルとし、この背面パネルの作成の実施例
について述べる。

【００２４】この背面パネルは通常次のような製造プロ
セスで作成する。

【００２５】すなわち、絶縁基板７である背面ガラス基
板上にスクリーン印刷法などによって銀などデータ電極
９を形成し、ガラス誘電体を印刷法によって形成して絶
縁体層８とし、その上に厚膜印刷とサンドブラスト法な
どによって絶縁性の隔壁１０を所定のピッチで形成し、
更に隔壁１０によって挟まれた各空間に印刷法などによ
って赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体による蛍光体
層１１を形成することにより作製する。またこの時、蛍
光体粉末としては次のようなものが使われる。

【００２６】赤色蛍光体：（Ｙ_XＧｄ_1-X）ＢＯ₃：Ｅｕ
³⁺あるいはＹＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ 緑色蛍光体：ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：ＭｎあるいはＺｎ₂Ｓｉ
Ｏ₄：Ｍｎ青色蛍光体：ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ さらに図２により本発明の隔壁形成方法の実施形態につ
いて説明する。

【００２７】図２には従来と本発明との隔壁形状の斜視
図を示している。図において図２−Ａは従来の隔壁形状
を示し、図２−Ｂは本発明の隔壁形状を示す。

【００２８】従来の場合、隔壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃ
はそれぞれに下部に設けられているアドレス電極２１
ａ、２１ｂと平行方向にストライプ状に形成されてお
り、アドレス電極は隔壁間に設けられている。またアド
レス電極２１ａ、２１ｂ上には誘電体２２が形成されて
いる。このように、隔壁はストライプ状であり隔壁内面
に蛍光体層が形成されているものである。

【００２９】一方、図２−Ｂの場合、図２−Ａに示す隔
壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃ間に障壁２２ａ、２２ｂ、２
２ｃ、２２ｄが設けられている。これら障壁は、その高
さが隔壁２０ａ、２０ｂ、２０ｃと同一であり、さらに
それぞれの障壁には、隣接放電空間２３ａ、２３ｂと連
通するスリット２４が設けられている。障壁その間隔は
画面垂直方向の一画素に対応し、前述の如く第一の絶縁
基板に設けられた遮光層と対向する位置に設けられてい
る。

【００３０】本発明では、隔壁および連通スリットを有
する障壁の形成方法について説明する。

【００３１】（第１の実施例）図３を参照して、本発明
の第１実施例にかかるプラズマディスプレイパネルの特
に隔壁の製造方法について説明する。図３−Ａでは、プ
ロセスのフローを示す。

【００３２】まず、１）アドレス電極と誘電体層が形成
されたガラス基板２５上に隔壁および障壁材料となる厚
膜のガラスペースト２６が塗布され乾燥される。次に、
２）耐サンドブラスト性を有するドライフィルム２７を
上面にラミネートし、図３−Ｂに示すように、フィルム
の斜線領域２８が開口するように露光・現像処理をし、
３）フィルム上部よりサンドブラスト装置３２によりガ
ラスペースト２６を切削除去する。この後、４）フィル
ム２７を剥離することにより井桁状の隔壁３０が形成さ
れ、焼成することにより図２−Ｂに示すような形状の背
面基板が形成され、さらにこの隔壁と障壁側壁および放
電空間の底部に蛍光体膜を形成することにより、プラズ
マディスプレイパネルの背面基板が完成するものであ
る。

【００３３】この時、図３−Ｂに示すように、ドライフ
ィルム２７をラミネート後、露光・現像して切削パター
ンを形成する際、それぞれ主隔壁形成部２８と交差する
障壁形成部２９に、ストライプパターン３１を形成し、
サンドブラストをする。このようにすることで、プラズ
マディスプレイの隣接放電空間での誤放電を防止し、な
おかつ排気工程での排気性能を損なわない幅と深さのス
トライプパターン形成が一回のサンドブラストによって
実現できるものである。

【００３４】ストライプパターンの開口幅Ｗによる、切
削深さＤはブラストの条件によっても異なるが、図４の
ように変化する。

【００３５】すなわち、ストライプ開口幅Ｗが切削粒子
の最大径ｄを単位とし、１．２ｄまでは広くなるに従
い、切削深さＤが深くなるが、ストライプ開口幅Ｗが
１．２ｄ以上では切削深さはほぼ飽和する。このことか
ら、ストライプ開口幅を粒子径に対して選択することに
より、切削の深さＤの制御が可能であることがわかる。

【００３６】本発明では、４２型ＶＧＡレベルで主隔壁
間ピッチが３６０μｍのプラズマディスプレイパネル
で、隔壁高さ１２０μｍで障壁に幅２０μｍ、深さ５０
μｍのストライプを２本形成することにより所望の特性
を得ることができた。

【００３７】また、図４に示す結果から、サンドブラス
トの切削粒子の最大粒子径の約半分の開口幅とすると、
放電空間を切削完了する時間で、約半分の深さを切削で
きるものであり、ストライプ開口幅Ｗを切削粒子の最大
粒子径の０．５倍以下にすることにより、排気工程での
排気性能を損なわない幅と深さを確保しつつ、隣接放電
空間での誤放電を防止することができる。

【００３８】さらに、障壁に形成するストライプは、排
気特性確保が目的である。従って、直線である必要はな
く、ジグザグなどの種々の形状が考えられることは当然
であり、これらの形成法にも本発明は対応可能であるこ
とはいうまでもない。

【００３９】

【発明の効果】本発明により、隣接放電空間との誤放電
防止を隣接空間を仕切る障壁により行い、なおかつ放電
電圧上昇の原因となる残留不純物ガスを短時間に取り除
くための排気が確実に行えるように、その障壁にストラ
イプ状の通路を設け、さらに障壁側面にも蛍光体塗布が
可能な井桁形状を有したプラズマディスプレイパネルを
確実、安価に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマディスプレイパネルの概略一
部断面斜視図

【図２】従来例と本発明の実施形態にかかる隔壁構造を
示す断面斜視図

【図３】本発明の実施形態にかかる隔壁および障壁の製
造工程図

【図４】本発明の実施形態にかかるドライフィルム開口
幅と切削深さの関係を示す図

【図５】従来のプラズマディスプレイパネルの概略一部
断面斜視図

【符号の説明】

１第一の絶縁基板２誘電体層３保護膜層４走査電極５維持電極６遮光層７第二の絶縁基板８絶縁体層９データ電極１０，２０，３０隔壁１１蛍光体１２放電空間１３，２９障壁２５ガラス基板２６ガラスペースト２７ドライフィルム３２サンドブラスト装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者芦田英樹大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者遠藤順大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者高橋一夫大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者桐山兼冶大阪府高槻市幸町１番１号松下電子工業株式会社内 (72)発明者赤田靖幸大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者上田一大阪府高槻市幸町１番１号松下電子工業株式会社内 (72)発明者植村貞夫大阪府高槻市幸町１番１号松下電子工業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 GF03 GF19 JA17 MA18 MA20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラスペーストを塗布する工程と、ガラス
ペーストを乾燥する工程と、前記ガラスペースト上面に
ドライフィルムレジストを形成する工程と、前記ドライ
フィルムをパターニングする工程と、前記ドライフィル
ム上からサンドブラスト法によってガラスペーストを除
去する工程により隔壁を形成するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、サンドブラストにより主隔
壁と障壁よりなる略枡形形状の放電空間を形成する際、
一方向の桟部のドライフィルムに、主隔壁方向の隣接放
電空間につながる単一あるいは複数の開口部を設けてサ
ンドブラストすることを特徴とするプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。
【請求項２】開口部の開口幅はサンドブラスト切削粒子
の最大粒子径の０．５倍以下であることを特徴とする請
求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】誘電体層および保護膜層で覆われた複数の
対を成す走査電極と維持電極とのそれぞれの対間に遮光
層を少なくとも配した第一の絶縁基板と、絶縁体層で覆
われた複数のデータ電極と前記絶縁体層上に設けた複数
の隔壁と少なくとも隔壁間に蛍光体層を配した第二の絶
縁基板とを、放電空間をはさんで対向配置してなるプラ
ズマディスプレイパネルであって、前記第二の絶縁基板
上の前記絶縁体層上の主隔壁間に障壁を設け、前記障壁
は前記第一の絶縁基板の前記遮光層に対向し、かつ前記
障壁には隣接放電空間と連通するスリットが設けられて
いることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。