JP2001202123A - 搬送ロボットの教示方法 - Google Patents
搬送ロボットの教示方法Info
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- JP2001202123A JP2001202123A JP2000009164A JP2000009164A JP2001202123A JP 2001202123 A JP2001202123 A JP 2001202123A JP 2000009164 A JP2000009164 A JP 2000009164A JP 2000009164 A JP2000009164 A JP 2000009164A JP 2001202123 A JP2001202123 A JP 2001202123A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 容易に搬送ロボットの移動制御に対する教示
を行う。 【解決手段】 搬送アーム220に第2治具(マーク付
透明ウェーハ)を載置して真上から目視しながら各ユニ
ット102〜105に対する前後左右位置を教示する。
次に、第1治具(金属ウェーハ)300を例えば収納用
カセット102の最下段に載せ、第1治具300のリー
ド線310を制御装置のコモン端子へ接続する。一方、
搬送アーム220にはアルミテープ等の導電性テープで
リード線222を固定し、制御装置の入力信号端子へ接
続する。搬送アーム220を第1治具300の下側より
ジョグ送りで上昇させることにより、第1治具300と
搬送アーム220が接触し、導通(信号の入力)があっ
た時点で停止させる、または強制的に停止するプログラ
ムとする。このような作業により求めた点を教示ポイン
トとして設定することにより、教示作業を確実かつ容易
に行うものである。
を行う。 【解決手段】 搬送アーム220に第2治具(マーク付
透明ウェーハ)を載置して真上から目視しながら各ユニ
ット102〜105に対する前後左右位置を教示する。
次に、第1治具(金属ウェーハ)300を例えば収納用
カセット102の最下段に載せ、第1治具300のリー
ド線310を制御装置のコモン端子へ接続する。一方、
搬送アーム220にはアルミテープ等の導電性テープで
リード線222を固定し、制御装置の入力信号端子へ接
続する。搬送アーム220を第1治具300の下側より
ジョグ送りで上昇させることにより、第1治具300と
搬送アーム220が接触し、導通(信号の入力)があっ
た時点で停止させる、または強制的に停止するプログラ
ムとする。このような作業により求めた点を教示ポイン
トとして設定することにより、教示作業を確実かつ容易
に行うものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボットの可
動体によって被搬送物の搬送制御を行う作業位置を教示
する教示方法に関する。
動体によって被搬送物の搬送制御を行う作業位置を教示
する教示方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、搬送ロボットによって被搬送
物の搬送制御を行う場合に、この搬送ロボットの搬送ア
ーム(可動体)の移動位置を教示する方法としては、そ
の移動位置を直接データ入力する方法がある。しかしな
がら、このように搬送アームの移動位置をデータ入力す
る方法では、実際の設備を構成する各装置の配置や各部
材の寸法等に誤差がある場合は、適正な制御を行うこと
は困難となる。そこで従来は、搬送アームを手動操作に
よる調整動作によって実際の移動位置に移動させ、この
移動位置を搬送ロボットによって読み取らせることによ
り、この読み取った位置データを教示データとしてホス
トコンピュータの制御データに設定するような教示方法
が採用されている。
物の搬送制御を行う場合に、この搬送ロボットの搬送ア
ーム(可動体)の移動位置を教示する方法としては、そ
の移動位置を直接データ入力する方法がある。しかしな
がら、このように搬送アームの移動位置をデータ入力す
る方法では、実際の設備を構成する各装置の配置や各部
材の寸法等に誤差がある場合は、適正な制御を行うこと
は困難となる。そこで従来は、搬送アームを手動操作に
よる調整動作によって実際の移動位置に移動させ、この
移動位置を搬送ロボットによって読み取らせることによ
り、この読み取った位置データを教示データとしてホス
トコンピュータの制御データに設定するような教示方法
が採用されている。
【0003】図5は、このような従来の教示方法による
ロボット搬送作業の具体例を示す側面図である。図示の
例は、被搬送物としての半導体ウェーハ10を洗浄する
ための洗浄装置に搬送ロボットを設けたものである。こ
の洗浄装置においては、ウェーハ洗浄用装置の収納用カ
セット30のウェーハ受け部32に載置された半導体ウ
ェーハ10を搬送アーム20によって取り出し、これを
洗浄ユニットに搬送して洗浄を行う(図5において矢線
イ、ロ、ハで示す)。その後、搬送アーム20によって
再び半導体ウェーハ10を収納用カセット30のウェー
ハ受け部32に収納し、次工程に備えて待機する(図5
において矢線ニ、ホ、ヘで示す)。収納用カセット30
は、上下方向に所定間隔おきに複数のウェーハ受け部3
2を並列配置したものであり、各ウェーハ受け部32毎
に半導体ウェーハ10を載置して洗浄作業を行う。
ロボット搬送作業の具体例を示す側面図である。図示の
例は、被搬送物としての半導体ウェーハ10を洗浄する
ための洗浄装置に搬送ロボットを設けたものである。こ
の洗浄装置においては、ウェーハ洗浄用装置の収納用カ
セット30のウェーハ受け部32に載置された半導体ウ
ェーハ10を搬送アーム20によって取り出し、これを
洗浄ユニットに搬送して洗浄を行う(図5において矢線
イ、ロ、ハで示す)。その後、搬送アーム20によって
再び半導体ウェーハ10を収納用カセット30のウェー
ハ受け部32に収納し、次工程に備えて待機する(図5
において矢線ニ、ホ、ヘで示す)。収納用カセット30
は、上下方向に所定間隔おきに複数のウェーハ受け部3
2を並列配置したものであり、各ウェーハ受け部32毎
に半導体ウェーハ10を載置して洗浄作業を行う。
【0004】そして、このような収納用カセット30の
ウェーハ受け部32に半導体ウェーハ10を載置すると
ともに、この半導体ウェーハ10を収納用カセット30
のウェーハ受け部32から取り出すために、搬送アーム
20を手動操作による調整動作(ジョグ送り動作)によ
って実際の移動位置A、B、C、Dに順次移動させる。
そして、これらの移動位置を搬送ロボットによって読み
取らせることにより、この読み取った位置データを教示
データとしてホストコンピュータの制御データに設定す
るようにしている。
ウェーハ受け部32に半導体ウェーハ10を載置すると
ともに、この半導体ウェーハ10を収納用カセット30
のウェーハ受け部32から取り出すために、搬送アーム
20を手動操作による調整動作(ジョグ送り動作)によ
って実際の移動位置A、B、C、Dに順次移動させる。
そして、これらの移動位置を搬送ロボットによって読み
取らせることにより、この読み取った位置データを教示
データとしてホストコンピュータの制御データに設定す
るようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の教示方法では、必要な移動位置の全ての教示を行う
ため教示ポイントが多く、多くの作業時間を必要とする
という問題がある。また、手動操作による調整動作(ジ
ョグ送り動作)による教示を行うためには高度の熟練と
多くの作業時間を要求されることが通常であった。すな
わち、正確な教示を行うためには、ツールの先端の位置
をあらゆる方向から目視によって確認しながらロボット
を試行錯誤に細かく操作する必要があった。
来の教示方法では、必要な移動位置の全ての教示を行う
ため教示ポイントが多く、多くの作業時間を必要とする
という問題がある。また、手動操作による調整動作(ジ
ョグ送り動作)による教示を行うためには高度の熟練と
多くの作業時間を要求されることが通常であった。すな
わち、正確な教示を行うためには、ツールの先端の位置
をあらゆる方向から目視によって確認しながらロボット
を試行錯誤に細かく操作する必要があった。
【0006】そこで本発明の目的は、容易に搬送ロボッ
トの移動制御に対する教示を行うことができる搬送ロボ
ットの教示方法を提供することにある。
トの移動制御に対する教示を行うことができる搬送ロボ
ットの教示方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、搬送ロボットの可動体によって被搬送物の搬
送制御を行う作業位置を教示する教示方法において、前
記可動体の移動位置のうち厳格な位置出しが必要な特定
の第1移動位置については、手動操作による調整動作に
よって実際に可動体を前記第1移動位置に移動し、前記
第1移動位置における位置データを前記搬送ロボットに
読み取らせることにより、教示データの設定を行い、前
記可動体の移動位置のうち前記第1移動位置以外の第2
移動位置については、予め確定している位置データを前
記搬送ロボットに入力することにより、教示データの設
定を行うようにしたことを特徴とする。
するため、搬送ロボットの可動体によって被搬送物の搬
送制御を行う作業位置を教示する教示方法において、前
記可動体の移動位置のうち厳格な位置出しが必要な特定
の第1移動位置については、手動操作による調整動作に
よって実際に可動体を前記第1移動位置に移動し、前記
第1移動位置における位置データを前記搬送ロボットに
読み取らせることにより、教示データの設定を行い、前
記可動体の移動位置のうち前記第1移動位置以外の第2
移動位置については、予め確定している位置データを前
記搬送ロボットに入力することにより、教示データの設
定を行うようにしたことを特徴とする。
【0008】本発明の搬送ロボットの教示方法では、可
動体の移動位置のうち厳格な位置出しが必要な特定の第
1移動位置については、手動操作による調整動作によっ
て実際に可動体を第1移動位置に移動し、第1移動位置
における位置データを搬送ロボットに読み取らせること
により、教示データの設定を行う。また、可動体の移動
位置のうち第1移動位置以外の第2移動位置について
は、予め確定している位置データを搬送ロボットに入力
することにより、教示データの設定を行う。したがっ
て、従来のように搬送ロボットの主要な移動位置を全て
手動操作による調整動作によって教示することがなく、
必要な移動位置だけを手動操作による調整動作によって
教示することから、教示ポイントを減らすことができ、
作業の短縮、簡便化を図ることが可能となる。
動体の移動位置のうち厳格な位置出しが必要な特定の第
1移動位置については、手動操作による調整動作によっ
て実際に可動体を第1移動位置に移動し、第1移動位置
における位置データを搬送ロボットに読み取らせること
により、教示データの設定を行う。また、可動体の移動
位置のうち第1移動位置以外の第2移動位置について
は、予め確定している位置データを搬送ロボットに入力
することにより、教示データの設定を行う。したがっ
て、従来のように搬送ロボットの主要な移動位置を全て
手動操作による調整動作によって教示することがなく、
必要な移動位置だけを手動操作による調整動作によって
教示することから、教示ポイントを減らすことができ、
作業の短縮、簡便化を図ることが可能となる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明による搬送ロボット
の教示方法の実施の形態について具体的に説明する。図
1は、本発明の実施の形態による搬送ロボットの教示方
法を説明する側面図であり、図2は、図1に示す教示方
法に基づくロボット搬送作業の具体例を示す側面図であ
る。また、図3は、図1に示す搬送ロボットが設けられ
るウェーハ洗浄装置の概要を示す平面図である。まず、
図3において、この洗浄装置101には、収納用カセッ
ト102と、洗浄前位置決めユニット103と、洗浄後
位置決めユニット104と、洗浄ユニット105と、ウ
ェーハ搬送ロボット106とを有する。
の教示方法の実施の形態について具体的に説明する。図
1は、本発明の実施の形態による搬送ロボットの教示方
法を説明する側面図であり、図2は、図1に示す教示方
法に基づくロボット搬送作業の具体例を示す側面図であ
る。また、図3は、図1に示す搬送ロボットが設けられ
るウェーハ洗浄装置の概要を示す平面図である。まず、
図3において、この洗浄装置101には、収納用カセッ
ト102と、洗浄前位置決めユニット103と、洗浄後
位置決めユニット104と、洗浄ユニット105と、ウ
ェーハ搬送ロボット106とを有する。
【0010】このうち、収納用カセット102は、上下
に等間隔で25段の収納部を有し、各収納部に半導体ウ
ェーハを収納可能な構造となっている。また、ウェーハ
搬送ロボット106は、洗浄作業に沿って収納用カセッ
ト102、洗浄前位置決めユニット103、洗浄後位置
決めユニット104、及び洗浄ユニット105の各ユニ
ットに対して順番に半導体ウェーハ(被搬送物)100
を搬送し、半導体ウェーハ100の収納(セット)、取
り出しを繰り返し行うものである。例えば、半導体ウェ
ーハ100を収納用カセット102から取り出す場合に
は、搬送アーム220(可動体)を図2(A)に矢線
ア、イ、ウで示すように移動し、半導体ウェーハ100
を収納用カセット102のウェーハ受け部232から取
り出して次工程に移行する。また、半導体ウェーハ10
0を収納用カセット102に収納する場合には、半導体
ウェーハ100を保持した搬送アーム220を図2
(B)に矢線エ、オ、カで示すように移動し、半導体ウ
ェーハ100を収納用カセット102のウェーハ受け部
232の上面に載置する。
に等間隔で25段の収納部を有し、各収納部に半導体ウ
ェーハを収納可能な構造となっている。また、ウェーハ
搬送ロボット106は、洗浄作業に沿って収納用カセッ
ト102、洗浄前位置決めユニット103、洗浄後位置
決めユニット104、及び洗浄ユニット105の各ユニ
ットに対して順番に半導体ウェーハ(被搬送物)100
を搬送し、半導体ウェーハ100の収納(セット)、取
り出しを繰り返し行うものである。例えば、半導体ウェ
ーハ100を収納用カセット102から取り出す場合に
は、搬送アーム220(可動体)を図2(A)に矢線
ア、イ、ウで示すように移動し、半導体ウェーハ100
を収納用カセット102のウェーハ受け部232から取
り出して次工程に移行する。また、半導体ウェーハ10
0を収納用カセット102に収納する場合には、半導体
ウェーハ100を保持した搬送アーム220を図2
(B)に矢線エ、オ、カで示すように移動し、半導体ウ
ェーハ100を収納用カセット102のウェーハ受け部
232の上面に載置する。
【0011】そして、本例では、図2に示す点aを教示
ポイント(第1移動位置)として搬送ロボットに設定
し、その他の位置(第2移動位置)は、データ入力によ
って設定するものである。すなわち、図2に示す点a
は、搬送アーム220とウェーハ310とが接触する点
であり、厳格な位置精度が必要であるため、この点だけ
を手動操作による搬送アーム220の調整動作(ジョグ
送り動作)によって設定する。また、その他の位置は、
予め確定されているデータ(本例では点aからの差分デ
ータ)を用いて制御することが可能であり、このデータ
を入力することによって実際の移動位置による教示作業
を行うことなく、教示データを設定するものである。こ
のようにして、本形態の教示方法では、実際の移動調整
による教示ポイントを少なくし、教示作業の効率を改善
するものである。
ポイント(第1移動位置)として搬送ロボットに設定
し、その他の位置(第2移動位置)は、データ入力によ
って設定するものである。すなわち、図2に示す点a
は、搬送アーム220とウェーハ310とが接触する点
であり、厳格な位置精度が必要であるため、この点だけ
を手動操作による搬送アーム220の調整動作(ジョグ
送り動作)によって設定する。また、その他の位置は、
予め確定されているデータ(本例では点aからの差分デ
ータ)を用いて制御することが可能であり、このデータ
を入力することによって実際の移動位置による教示作業
を行うことなく、教示データを設定するものである。こ
のようにして、本形態の教示方法では、実際の移動調整
による教示ポイントを少なくし、教示作業の効率を改善
するものである。
【0012】例えば、図3に示すような設備において
は、図5で示した従来例のの教示方法では、各ユニット
102〜105で、それぞれA、B、C、Dの各4点を
教示してやらなければならない(4×4=16ポイント
の教示が必要である)。これに対して本形態の教示方法
では、搬送アーム220の逃げ量(ウェーハ受け部13
2の受け面から搬送アームの挿入高さまでの差)と、持
ち上げ量(ウェーハ受け部132の受け面からウェーハ
を持ち上げる高さ)を数値入力(初期設定)する。な
お、収納用カセット102は25段の収納部を有してい
るが、最下段の収納部のポイントだけを教示し、その他
の段は、各収納部の間隔に基づいて設定する。
は、図5で示した従来例のの教示方法では、各ユニット
102〜105で、それぞれA、B、C、Dの各4点を
教示してやらなければならない(4×4=16ポイント
の教示が必要である)。これに対して本形態の教示方法
では、搬送アーム220の逃げ量(ウェーハ受け部13
2の受け面から搬送アームの挿入高さまでの差)と、持
ち上げ量(ウェーハ受け部132の受け面からウェーハ
を持ち上げる高さ)を数値入力(初期設定)する。な
お、収納用カセット102は25段の収納部を有してい
るが、最下段の収納部のポイントだけを教示し、その他
の段は、各収納部の間隔に基づいて設定する。
【0013】これにより、各ユニツト102〜105に
対して、それぞれのa点を1ポイントずつ教示すればよ
い。このため、図2に示す設備構成において、4×1=
4ポイントの教示のみでよい。また、現状の設備では、
取出し用と収納、またはセット用の2本の搬送アームを
有しているため、この場合には、従来例では16×2=
32ポイントの教示が必要であるが、本形態の教示方法
を用いることにより、4×2=8ポイントの教示のみで
作業を完了することが可能である。
対して、それぞれのa点を1ポイントずつ教示すればよ
い。このため、図2に示す設備構成において、4×1=
4ポイントの教示のみでよい。また、現状の設備では、
取出し用と収納、またはセット用の2本の搬送アームを
有しているため、この場合には、従来例では16×2=
32ポイントの教示が必要であるが、本形態の教示方法
を用いることにより、4×2=8ポイントの教示のみで
作業を完了することが可能である。
【0014】そして、本例においては、上述したa点の
ポイントの教示を図1に示すような専用の治具を用いて
行うものである。図1において、実際のウェーハ受け部
132の上には、ウェーハ状に形成された導電性(金属
製)の第1治具300が配置されている。この第1治具
300は、例えば実際の半導体ウェーハと同様の形状を
有し、実際の半導体ウェーハと同じ位置に位置決めされ
て配置されている。また、この第1治具300には、リ
ード線310が接続され、測定用の小電圧信号が印加さ
れるようになっている。一方、搬送アーム220にもリ
ード線222が接続され、測定用の小電圧信号が印加さ
れるようになっている。
ポイントの教示を図1に示すような専用の治具を用いて
行うものである。図1において、実際のウェーハ受け部
132の上には、ウェーハ状に形成された導電性(金属
製)の第1治具300が配置されている。この第1治具
300は、例えば実際の半導体ウェーハと同様の形状を
有し、実際の半導体ウェーハと同じ位置に位置決めされ
て配置されている。また、この第1治具300には、リ
ード線310が接続され、測定用の小電圧信号が印加さ
れるようになっている。一方、搬送アーム220にもリ
ード線222が接続され、測定用の小電圧信号が印加さ
れるようになっている。
【0015】なお、搬送アーム220自体が導電性であ
る場合には、第1治具300と搬送アーム220とが接
触することにより、各リード線310、222間が導通
され、これによる電圧変化を測定することにより、第1
治具300と搬送アーム220の接触を検出し、この位
置が教示ポイントであることを判定できる。また、搬送
アーム220自体が導電性でない場合には、例えば搬送
アーム220の第1治具300と接触する部位にアルミ
テープ等の導電性テープを貼付し、リード線222を接
続する。そして、第1治具300と搬送アーム220の
導電性テープとが接触することにより、各リード線31
0、222間が導通され、これによる電圧変化を測定す
ることにより、第1治具300と搬送アーム220の接
触を検出し、この位置が教示ポイントであることを判定
できる。
る場合には、第1治具300と搬送アーム220とが接
触することにより、各リード線310、222間が導通
され、これによる電圧変化を測定することにより、第1
治具300と搬送アーム220の接触を検出し、この位
置が教示ポイントであることを判定できる。また、搬送
アーム220自体が導電性でない場合には、例えば搬送
アーム220の第1治具300と接触する部位にアルミ
テープ等の導電性テープを貼付し、リード線222を接
続する。そして、第1治具300と搬送アーム220の
導電性テープとが接触することにより、各リード線31
0、222間が導通され、これによる電圧変化を測定す
ることにより、第1治具300と搬送アーム220の接
触を検出し、この位置が教示ポイントであることを判定
できる。
【0016】また、このような教示ポイントaの判定に
先立って、搬送アーム220の水平方向の位置出しを行
う。これは、搬送アーム220に第2治具(図示せず)
を載置し、この位置を目視によって判定することにより
行うものである。第2治具は、中心にマークを付した透
明ウェーハであり、これを搬送アーム220に乗せて搬
送アーム220を移動させることにより、第2治具のマ
ークを視認しながら、搬送アーム220を所定の位置に
合わせるようにする。
先立って、搬送アーム220の水平方向の位置出しを行
う。これは、搬送アーム220に第2治具(図示せず)
を載置し、この位置を目視によって判定することにより
行うものである。第2治具は、中心にマークを付した透
明ウェーハであり、これを搬送アーム220に乗せて搬
送アーム220を移動させることにより、第2治具のマ
ークを視認しながら、搬送アーム220を所定の位置に
合わせるようにする。
【0017】以上のような構成において、実際の教示手
順としては、まず搬送アーム220に第2治具(マーク
付透明ウェーハ)を載置して真上から目視しながら各ユ
ニット102〜105に対する前後左右位置を教示す
る。次に、第1治具(金属ウェーハ)を例えば収納用カ
セット102の最下段に載せ、第1治具300のリード
線310を制御装置(図示せず)のコモン端子へ接続す
る。一方、搬送アーム220にはアルミテープ等の導電
性テープでリード線222を固定し、制御装置の入力信
号端子へ接続する。搬送アーム220を第1治具300
の下側よりジョグ送りで上昇させることにより、第1治
具300と搬送アーム220が接触し、導通(信号の入
力)があった時点で停止させる、または強制的に停止す
るプログラムとする。このような作業により求めた点を
教示ポイントとして設定することにより、教示作業を確
実かつ容易に行うものである。
順としては、まず搬送アーム220に第2治具(マーク
付透明ウェーハ)を載置して真上から目視しながら各ユ
ニット102〜105に対する前後左右位置を教示す
る。次に、第1治具(金属ウェーハ)を例えば収納用カ
セット102の最下段に載せ、第1治具300のリード
線310を制御装置(図示せず)のコモン端子へ接続す
る。一方、搬送アーム220にはアルミテープ等の導電
性テープでリード線222を固定し、制御装置の入力信
号端子へ接続する。搬送アーム220を第1治具300
の下側よりジョグ送りで上昇させることにより、第1治
具300と搬送アーム220が接触し、導通(信号の入
力)があった時点で停止させる、または強制的に停止す
るプログラムとする。このような作業により求めた点を
教示ポイントとして設定することにより、教示作業を確
実かつ容易に行うものである。
【0018】なお、以上の例では、上下に1列の収納部
を有する収納用カセット102に対して1つのポイント
だけを教示する例について説明したが、例えば図4に示
すような複数列の収納部を有する収納用カセット400
に対して、複数箇所(本例では3箇所)のポイントを教
示することにより、各収納部の位置及び全体の傾きを算
出することが可能である。すなわち、図4に示す複数列
カセット400で、上下段の間隔と左右列の間隔を演算
によって求めることが可能な場合には、図4に示す最左
列最下段のポイントa1、最左列最上段のポイントa
2、及び最右列最下段のポイントa3の3点を上述した
本形態の教示手順で教示することにより、これらの教示
データに基づいて、他の収納部の位置を演算によって算
出するものである。
を有する収納用カセット102に対して1つのポイント
だけを教示する例について説明したが、例えば図4に示
すような複数列の収納部を有する収納用カセット400
に対して、複数箇所(本例では3箇所)のポイントを教
示することにより、各収納部の位置及び全体の傾きを算
出することが可能である。すなわち、図4に示す複数列
カセット400で、上下段の間隔と左右列の間隔を演算
によって求めることが可能な場合には、図4に示す最左
列最下段のポイントa1、最左列最上段のポイントa
2、及び最右列最下段のポイントa3の3点を上述した
本形態の教示手順で教示することにより、これらの教示
データに基づいて、他の収納部の位置を演算によって算
出するものである。
【0019】例えば、左右方向をX、上下方向をZと
し、a1点の左右方向の教示位置をa1X、a2点の左
右方向の教示位置をa2X、a3点の左右方向の教示位
置をa3Xとし、また、a1点の上下方向の教示位置を
a1Zとし、a2点の上下方向の教示位置をa2Zと
し、a3点の上下方向の教示位置をa3Zとする。この
場合、(a3X−a1X)/(列数−1)の演算を行う
ことにより各収納部の水平方向の位置を算出し、(a2
Z−a1Z)/(段数−1)の演算を行うことにより各
収納部の上下方向の位置を算出できる。また、(a3Z
−a1Z)/(列数−1)の演算することによりカセッ
ト全体の傾きを算出できる。これらの算出結果により、
各収納部のポイントを算出し、教示データとして設定で
きる。
し、a1点の左右方向の教示位置をa1X、a2点の左
右方向の教示位置をa2X、a3点の左右方向の教示位
置をa3Xとし、また、a1点の上下方向の教示位置を
a1Zとし、a2点の上下方向の教示位置をa2Zと
し、a3点の上下方向の教示位置をa3Zとする。この
場合、(a3X−a1X)/(列数−1)の演算を行う
ことにより各収納部の水平方向の位置を算出し、(a2
Z−a1Z)/(段数−1)の演算を行うことにより各
収納部の上下方向の位置を算出できる。また、(a3Z
−a1Z)/(列数−1)の演算することによりカセッ
ト全体の傾きを算出できる。これらの算出結果により、
各収納部のポイントを算出し、教示データとして設定で
きる。
【0020】なお、このような実際の教示データを採取
するポイントの選定や演算方法については種々採用し得
るものであり、2箇所以上のポイントの教示データを用
いて種々の演算により他のポイントのデータを算出する
ことが可能であり、上記の例に限定されないものであ
る。例えば、1列の収納部を有するカセットに対して最
上段と最下段のポイントを教示することにより、段数の
設定をもとに他の段の位置を演算し、取出し高さや収納
高さを求めることができる。また、複数列カセットの場
合は、左右両端の教示と列数の設定より、列の間隔の演
算、カセットの左右方向の傾き補正が可能である。ま
た、以上の例では、ウェーハ洗浄装置に設けられる搬送
ロボットの教示方法を例に説明したが、本発明はその他
の各種ロボットに対する教示方法としても同様に適用し
得るものである。
するポイントの選定や演算方法については種々採用し得
るものであり、2箇所以上のポイントの教示データを用
いて種々の演算により他のポイントのデータを算出する
ことが可能であり、上記の例に限定されないものであ
る。例えば、1列の収納部を有するカセットに対して最
上段と最下段のポイントを教示することにより、段数の
設定をもとに他の段の位置を演算し、取出し高さや収納
高さを求めることができる。また、複数列カセットの場
合は、左右両端の教示と列数の設定より、列の間隔の演
算、カセットの左右方向の傾き補正が可能である。ま
た、以上の例では、ウェーハ洗浄装置に設けられる搬送
ロボットの教示方法を例に説明したが、本発明はその他
の各種ロボットに対する教示方法としても同様に適用し
得るものである。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明による搬送ロ
ボットの教示方法では、可動体の移動位置のうち厳格な
位置出しが必要な特定の第1移動位置については、手動
操作による調整動作によって実際に可動体を第1移動位
置に移動し、第1移動位置における位置データを搬送ロ
ボットに読み取らせることにより、教示データの設定を
行い、可動体の移動位置のうち第1移動位置以外の第2
移動位置については、予め確定している位置データを搬
送ロボットに入力することにより、教示データの設定を
行うようにした。したがって、従来のように搬送ロボッ
トの主要な移動位置を全て手動操作による調整動作によ
って教示することがなく、必要な移動位置だけを手動操
作による調整動作によって教示することから、教示ポイ
ントを減らすことができ、作業の短縮、簡便化を図るこ
とが可能となる。この結果、作業の熟練度に関係なくロ
ボットの教示を容易に行える。
ボットの教示方法では、可動体の移動位置のうち厳格な
位置出しが必要な特定の第1移動位置については、手動
操作による調整動作によって実際に可動体を第1移動位
置に移動し、第1移動位置における位置データを搬送ロ
ボットに読み取らせることにより、教示データの設定を
行い、可動体の移動位置のうち第1移動位置以外の第2
移動位置については、予め確定している位置データを搬
送ロボットに入力することにより、教示データの設定を
行うようにした。したがって、従来のように搬送ロボッ
トの主要な移動位置を全て手動操作による調整動作によ
って教示することがなく、必要な移動位置だけを手動操
作による調整動作によって教示することから、教示ポイ
ントを減らすことができ、作業の短縮、簡便化を図るこ
とが可能となる。この結果、作業の熟練度に関係なくロ
ボットの教示を容易に行える。
【図1】図1は、本発明の実施の形態による搬送ロボッ
トの教示方法を説明する側面図である。
トの教示方法を説明する側面図である。
【図2】図1に示す教示方法によるロボット搬送作業の
具体例を示す側面図である。
具体例を示す側面図である。
【図3】図1に示す搬送ロボットが設けられるウェーハ
洗浄装置の概要を示す平面図である。
洗浄装置の概要を示す平面図である。
【図4】複数列カセットに対する教示方法を示す正面図
である。
である。
【図5】従来の教示方法によるロボット搬送作業の具体
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
100……半導体ウェーハ、101……洗浄装置、10
2……収納用カセット、103……洗浄前位置決めユニ
ット、104……洗浄後位置決めユニット、105……
洗浄ユニット、106……ウェーハ搬送ロボット、13
2……ウェーハ受け部、220……搬送アーム、300
……第1治具。
2……収納用カセット、103……洗浄前位置決めユニ
ット、104……洗浄後位置決めユニット、105……
洗浄ユニット、106……ウェーハ搬送ロボット、13
2……ウェーハ受け部、220……搬送アーム、300
……第1治具。
Claims (12)
- 【請求項1】 搬送ロボットの可動体によって被搬送物
の搬送制御を行う作業位置を教示する教示方法におい
て、 前記可動体の移動位置のうち厳格な位置出しが必要な特
定の第1移動位置については、手動操作による調整動作
によって実際に可動体を前記第1移動位置に移動し、前
記第1移動位置における位置データを前記搬送ロボット
に読み取らせることにより、教示データの設定を行い、 前記可動体の移動位置のうち前記第1移動位置以外の第
2移動位置については、予め確定している位置データを
前記搬送ロボットに入力することにより、教示データの
設定を行うようにした、 ことを特徴とする搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項2】 前記可動体の移動位置のうち厳格な位置
出しが必要な第1移動位置には、前記可動体が被搬送物
に接触する位置を含むことを特徴とする請求項1記載の
搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項3】 前記可動体の移動位置のうち厳格な位置
出しが必要な第1移動位置には、設備毎に一定の誤差が
想定される位置を含むことを特徴とする請求項1記載の
搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項4】 前記第2移動位置の位置データは、前記
第1移動位置に対する差分データの形式で入力するもの
であることを特徴とする請求項1記載の搬送ロボットの
教示方法。 - 【請求項5】 前記第1移動位置は、実際の移動位置に
通電測定用の第1治具を配置して前記第1治具と可動体
との間に検出用の電圧を印加し、可動体を第1移動位置
に移動して第1治具と接触させることにより、第1治具
と可動体の通電の有無を検出して移動位置を判定するよ
うしたことを特徴とする請求項1記載の搬送ロボットの
教示方法。 - 【請求項6】 前記第1移動位置は、前記目視測定用の
第2治具を前記可動体に配置した状態で前記第2治具を
用いて可動体の位置を目視調整した後、前記通電測定用
の第1治具によって通電による判定を行うようにしたこ
とを特徴とする請求項5記載の搬送ロボットの教示方
法。 - 【請求項7】 前記目視測定用の第2治具では、前記可
動体が被搬送物に接触する方向と交差する方向の位置出
しを行い、前記通電測定用の第1治具では前記可動体が
被搬送物に接触する方向に可動体を移動し、通電による
判定を行うようにしたことを特徴とする請求項5記載の
搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項8】 前記可動体の移動位置に、複数の移動位
置を等間隔おきに配置して構成される移動位置群を有
し、 前記移動位置群については、その複数の移動位置のうち
の少なくとも2つの第1移動位置を設定し、各第1移動
位置について位置データを求めるとともに、その他の移
動位置については、前記2つの第1移動位置の位置デー
タと各移動位置の間隔データとに基づいて位置データを
算出し、それぞれ教示データとして設定することを特徴
とする請求項1記載の搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項9】 前記移動位置群は、複数の移動位置を縦
方向と横方向にマトリクス状に配置して構成され、前記
移動位置群内の直線状に位置しない少なくとも3つの第
1移動位置を設定し、各第1移動位置について位置デー
タを求めるとともに、その他の移動位置については、前
記3つの第1移動位置の位置データと各移動位置の間隔
データとに基づいて位置データを算出し、それぞれ教示
データとして設定することを特徴とする請求項8記載の
搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項10】 前記3つの第1移動位置の位置データ
に基づいて前記移動位置群の傾きを算出し、各移動位置
の位置データを補正することを特徴とする請求項9記載
の搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項11】 前記2つの第1移動位置は前記移動位
置群の最も外側の移動位置に設定することを特徴とする
請求項8記載の搬送ロボットの教示方法。 - 【請求項12】 前記3つの第1移動位置は前記移動位
置群の最も外側の移動位置に設定することを特徴とする
請求項9記載の搬送ロボットの教示方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000009164A JP2001202123A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 搬送ロボットの教示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000009164A JP2001202123A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 搬送ロボットの教示方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001202123A true JP2001202123A (ja) | 2001-07-27 |
Family
ID=18537348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000009164A Pending JP2001202123A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 搬送ロボットの教示方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001202123A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503926A (ja) * | 2000-06-13 | 2004-02-05 | バークレー・プロセス・コントロール・インコーポレーテッド | 自己学習式ロボット・キャリア・ハンドリング・システム |
WO2004048048A1 (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Tokyo Electron Limited | 搬送システムの搬送位置合わせ方法 |
JP2008080466A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Daihen Corp | 搬送用ロボットの教示方法 |
JP2014148031A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置 |
CN107026110A (zh) * | 2016-02-01 | 2017-08-08 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交接位置的示教方法和基板处理*** |
-
2000
- 2000-01-18 JP JP2000009164A patent/JP2001202123A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503926A (ja) * | 2000-06-13 | 2004-02-05 | バークレー・プロセス・コントロール・インコーポレーテッド | 自己学習式ロボット・キャリア・ハンドリング・システム |
WO2004048048A1 (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Tokyo Electron Limited | 搬送システムの搬送位置合わせ方法 |
US7129147B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-10-31 | Tokyo Electron Limited | Delivery position aligning method for use in a transfer system and a processing system employing the method |
CN100336634C (zh) * | 2002-11-27 | 2007-09-12 | 东京毅力科创株式会社 | 输送***的输送位置对准方法 |
JP2008080466A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Daihen Corp | 搬送用ロボットの教示方法 |
JP2014148031A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置 |
CN107026110A (zh) * | 2016-02-01 | 2017-08-08 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交接位置的示教方法和基板处理*** |
CN107026110B (zh) * | 2016-02-01 | 2020-02-14 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交接位置的示教方法和基板处理*** |
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