JP2001198671A

JP2001198671A - リフロー装置

Info

Publication number: JP2001198671A
Application number: JP2000344164A
Authority: JP
Inventors: Teruo Okano; 輝男岡野; Fumihiro Yamashita; 文弘山下; Hidekazu Imai; 英和今井; Shinichi Fujikawa; 真一藤川
Original assignee: Tamura Corp; Tamura FA System Corp
Current assignee: Tamura Corp; Tamura FA System Corp
Priority date: 1999-11-12
Filing date: 2000-11-10
Publication date: 2001-07-24

Abstract

(57)【要約】【課題】構成を複雑化せずにワークを輻射熱で加熱で
きるリフロー装置を提供する。【解決手段】上部炉体部11では、シロッコファン30を
動作させて送風路21からヒータ32，33方向に送風し、ヒ
ータ32，33で雰囲気を加熱して熱風とし、整流板41の透
孔42で整流した後、輻射パネル43の透孔44を介してワー
クｗの上面に熱風を供給する。ヒータ32，33は遠赤外線
を照射して輻射パネル43を加熱し、この輻射パネル43の
輻射熱によりワークｗの上面を均一に加熱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを加熱する
リフロー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、リフロー装置としては、たとえば
特開平８−２９３６６６号公報に記載の構成が知られて
いる。この特開平８−２９３６６６号公報には、炉体内
に加熱対象のワークを搬送する搬送用コンベアを配設
し、この搬送用コンベアの上方に雰囲気を過熱する雰囲
気加熱ヒータと、ワークを遠赤外線により加熱する赤外
線ヒータとを配設し、この炉体内の雰囲気を送風機によ
り循環させている。

【０００３】そして、送風機により循環している炉体内
の雰囲気を雰囲気加熱ヒータで加熱するとともに、ワー
クを赤外線ヒータによる輻射熱で直接加熱している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平８−２９３６６６号公報に記載のリフロー装置の場
合、雰囲気を過熱する雰囲気加熱ヒータおよびワークを
加熱する赤外線ヒータを備えているため、装置が大型化
するととともに複雑になる問題を有している。

【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、構成を複雑化せずにワークを輻射熱で加熱できるリ
フロー装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のリフロー
装置は、炉体と、この炉体内に設けられワークを載置す
る載置手段と、前記載置手段に対向して設けられワーク
を輻射熱で熱する輻射パネルと、この輻射パネルを加熱
する加熱手段とを具備したもので、加熱手段により輻射
パネルを加熱してこの輻射パネルによりワークを加熱す
るため、構成を複雑にすることなく均一にワークを加熱
できる。

【０００７】請求項２記載のリフロー装置は、請求項１
記載のリフロー装置において、載置手段のワークに向け
て送風する送風手段を備え、輻射パネルは、送風手段か
らの風を透過させる透孔を有し、加熱手段は、送風手段
により送風される雰囲気も加熱するもので、輻射パネル
の輻射熱によりワークを加熱するとともに、雰囲気も加
熱手段により加熱されるため、効率良くワークを加熱で
きる。

【０００８】請求項３記載のリフロー装置は、請求項２
記載のリフロー装置において、輻射パネルの透孔を介し
てワークに向け、このワークから輻射パネル周囲を介し
て戻して雰囲気を循環させる循環経路を具備したもの
で、加熱手段で加熱された雰囲気により効率良くワーク
を加熱できるとともに、輻射パネル周囲を介して雰囲気
を戻して循環経路が形成されることにより、戻る雰囲気
により輻射パネルなどに悪影響を与えにくく、空気以外
の雰囲気の場合にも雰囲気の損失が小さい。

【０００９】請求項４記載のリフロー装置は、請求項２
または３記載のリフロー装置において、送風手段および
輻射パネルは、載置手段の上下に配置されているもの
で、送風手段および輻射パネルによりワークの上面およ
び下面のいずれも加熱できる。

【００１０】請求項５記載のリフロー装置は、請求項１
ないし４いずれか記載のリフロー装置において、載置手
段は、搬送用コンベアであるもので、ワークを搬送しな
がら加熱できる。

【００１１】請求項６記載のリフロー装置は、請求項１
ないし５いずれか記載のリフロー装置において、加熱手
段は、棒状のヒータ体と、このヒータ体に突出して形成
された放熱フィンとを有するもので、放熱フィンにより
ヒータ体の熱を効率良く放熱できるとともに、棒状のヒ
ータ体であるため送風する場合にも雰囲気を完全に遮蔽
することはない。

【００１２】請求項７記載のリフロー装置は、請求項１
ないし６いずれか記載のリフロー装置において、加熱手
段は、表面に輻射パネルに対する輻射熱伝達率を向上さ
せる表面処理がなされているもので、この表面処理が施
された加熱手段から輻射パネルに効率良く輻射熱が伝達
され、輻射パネルを効率の良い放射伝熱により能率良く
加熱可能である。

【００１３】請求項８記載のリフロー装置は、請求項７
記載のリフロー装置において、加熱手段の表面処理は、
耐熱黒色塗装による赤外線放射表面処理であり、この表
面処理により遠赤外線が放射されやすく、輻射パネルを
高密度の遠赤外線の放射伝熱により迅速に加熱可能であ
る。

【００１４】請求項９記載のリフロー装置は、請求項２
ないし８いずれか記載のリフロー装置において、送風手
段により送風され加熱手段により加熱され輻射パネルの
透孔を経た熱風は、ジェット流となってワーク表面の境
界空気層を剥離しながらワークに達してワークを加熱す
るもので、熱風によるワーク加熱効率を向上できる。

【００１５】請求項１０記載のリフロー装置は、請求項
１ないし９いずれか記載のリフロー装置において、ワー
クは、フラックスを含むソルダーペーストを用いてはん
だ付けされ、加熱手段は、はんだ付け運転終了後の空焼
きにより炉体内に残留するフラックスを焼き切る触媒を
備えたもので、はんだ付け運転終了後は、リフロー用の
加熱手段と触媒の化学反応速度増大作用で、炉体内の残
留フラックスを自動的に除去する炉体内のクリーニング
運転ができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明のリフロー装置の一
実施の形態を図１ないし図４を参照して説明する。

【００１７】図１および図２に示すように、１はリフロ
ー装置で、このリフロー装置１は、部品が搭載された基
板などのワークｗを搬入する搬入口２および搬出する搬
出口３が形成され、たとえば内部に不活性雰囲気である
窒素Ｎ２あるいは空気が充填されたほぼ気密の筐体４を
有し、この筐体４の下部には設置用の脚５および移動用
のキャスタ６が取り付けられている。

【００１８】また、筐体４の搬入口２および搬出口３間
には、載置手段としての搬送用コンベア７が配設され、
この搬送用コンベア７は図示しない無端状のチェーンを
有し、このチェーンに取り付けられた搬送爪の間にワー
クｗを挟持して搬入口２から搬出口３に向けて水平搬送
する。

【００１９】そして、この搬送用コンベア７に沿って５
つの炉体8a，8b，8c，8d，8eが順次配設され、最下流側
には冷却ファン９が配設されている。

【００２０】また、５つの炉体8a，8b，8c，8d，8eは、
それぞれほぼ同一の構造で、たとえば炉体8aは、図１に
示すように、搬送用コンベア７の上下に対称に、それぞ
れ角筒状で上下方向に軸方向を有する上部炉体部11およ
び下部炉体部12を有している。

【００２１】上部炉体部11は上部が閉塞され、上部に径
が小さい径小部15が形成され、この径小部から段差部16
を介して下部に径小部15より径大の径大部17が形成され
ている。

【００２２】さらに、上部炉体部11の内側には上方から
下方に向けて送風する送風路21が形成され、上部炉体部
11の周囲には下方から上方に向けて雰囲気が流れる戻り
風路22が形成され、送風路21と戻り風路22とは径小部15
内の連結風路23にて連結され、循環経路としての循環風
路24が形成されている。

【００２３】さらに、隣り合う戻り風路22間には隔壁25
が形成され、この隔壁25の下端にはワークｗの搬送方向
に沿った水平の整流板26が逆Ｔ字状に設けられ、送風路
21から戻り風路22に流れる雰囲気が混合することを防止
している。

【００２４】そして、上部炉体部11の上部内には、上下
方向に軸方向を有し、連結風路23から吸い込んだ雰囲気
を送風路21に送風する循環用の送風手段としてのシロッ
コファン30が取り付けられ、このシロッコファン30は上
部炉体部11の上方に設けられた回転モータ31にて回転駆
動される。

【００２５】また、上部炉体部11の径大部17の上部内で
あってシロッコファン30の下側には、遠赤外線を放射す
る加熱手段としての一対のヒータ32，33が配設され、こ
れらヒータ32，33は図３に示すようにほぼＷ字状に折り
曲げて形成された棒状のシーズヒータ体34に径方向に沿
った円環状の放熱フィン35が取り付けられて形成され、
これらヒータ32，33の表面には耐熱黒色塗装がなされて
赤外線放射表面処理がなされており、ヒータ32，33の曲
部の位置を反対側に位置させて平面方向に均一に加熱す
るように配置されている。

【００２６】さらに、ヒータ32，33の下部には、径大部
17を閉塞するように金属板で形成された整流板41が取り
付けられ、この整流板41にはパンチングメタルなどで熱
風透過用の透孔42が多数形成されている。この透孔42
は、ヒータ32，33から照射された遠赤外線を透過し易い
ように大径に形成しておく。

【００２７】またさらに、整流板41より下方の径大部17
の最下端部を閉塞するように遠赤外線を拡散して輻射す
るたとえばアルミニウム製の輻射パネル43が取り付けら
れ、この輻射パネル43にもパンチングメタルなどで熱風
透過用の透孔44が多数形成されている。

【００２８】一方、下部炉体部12は搬送用コンベア７を
対称面として上部炉体部11と上下対称に形成され、下部
が閉塞され、下部に径が小さい径小部51が形成され、こ
の径小部51から段差部52を介して上部に径小部51より径
大の径大部53が形成されている。

【００２９】さらに、下部炉体部12の内側には下方から
上方に向けて送風する送風路56が形成され、下部炉体部
12の周囲には上方から下方に向けて雰囲気が流れる戻り
風路57が形成され、送風路56と戻り風路57とは径小部51
内の連結風路58にて連結され、循環経路としての循環風
路59が形成され、隣り合う戻り風路57間には隔壁61が形
成され、この隔壁61の上端にはワークｗの搬送方向に沿
った水平の整流板62がＴ字状に設けられ、送風路56から
戻り風路57に流れる雰囲気が混合することを防止してい
る。

【００３０】そして、下部炉体部12の下部内には、上下
方向に軸方向を有し、連結風路58から吸い込んだ雰囲気
を送風路56に送風する循環用の送風手段としてのシロッ
コファン63が取り付けられ、このシロッコファン63は下
部炉体部12の下方に設けられた回転モータ64にて回転駆
動される。

【００３１】また、下部炉体部12の径大部53の下部内で
あってシロッコファン63の上側には、遠赤外線を放射す
る加熱手段としての一対のヒータ65，66が配設され、こ
れらヒータ65，66も図３に示すようにほぼＷ字状に折り
曲げて形成された棒状のシーズヒータ体34に径方向に沿
った円環状の放熱フィン35が取り付けられて形成され、
これらヒータ65，66の表面には耐熱黒色塗装がなされて
赤外線放射表面処理がなされており、ヒータ65，66の曲
部の位置を反対側に位置させて平面方向に均一に加熱す
るように配置されている。

【００３２】さらに、ヒータ65，66の上部には、径大部
53を閉塞するように金属板で形成された整流板71が取り
付けられ、この整流板71にはパンチングメタルなどで熱
風透過用の透孔72が多数形成されている。この透孔72
は、ヒータ65，66から照射された遠赤外線を透過し易い
ように大径に形成しておく。

【００３３】またさらに、整流板71より上方の径大部53
の最上端部を閉塞するように遠赤外線を拡散して輻射す
るたとえばアルミニウム製の輻射パネル73が取り付けら
れ、この輻射パネル73にもパンチングメタルなどで熱風
透過用の透孔74が多数形成されている。

【００３４】次に、上記実施の形態の動作について説明
する。

【００３５】まず、それぞれ炉体8a，8b，8c，8d，8eの
内、上部炉体部11では、シロッコファン30を動作させて
送風路21からヒータ32，33方向に送風し、ヒータ32，33
で雰囲気を加熱して熱風とし、整流板41の透孔42で整流
された後、輻射パネル43の透孔44を介してワークｗの上
面に熱風が供給される。

【００３６】その後、ワークｗの上面で反射された熱風
は、整流板26で隣の戻り風路22には流れないように整流
されて自己の戻り風路22に流れ、連結風路23を介してシ
ロッコファン30に戻り、雰囲気は循環される。したがっ
て、隣り合う炉体8a，8b，8c，8d，8eの設定温度が異な
っても、雰囲気が混合することを防止できるため、温度
管理を適切にできる。

【００３７】また、ヒータ32，33は耐熱黒色塗装により
遠赤外線を照射しやすくしており、この遠赤外線を照射
して輻射パネル43を加熱し、この輻射パネル43の輻射熱
によりワークｗの上面を均一に加熱する。

【００３８】このように、ヒータ32，33は、送風路21内
の雰囲気を加熱するとともに、輻射パネル43を加熱して
輻射パネル43の輻射熱によりワークｗの上面を加熱する
ので、雰囲気用のヒータと遠赤外線用のヒータを別個に
する必要がなくなり、構成が簡単になる。

【００３９】一方、下部炉体部12では、シロッコファン
63を動作させて送風路56からヒータ65，66方向に送風
し、ヒータ65，66で雰囲気を加熱して熱風とし、整流板
71の透孔72で整流された後、輻射パネル73の透孔74を介
してワークｗの下面に熱風が供給される。

【００４０】その後、ワークｗの下面で反射された熱風
は、整流板62で隣の戻り風路57には流れないように整流
されて自己の戻り風路57に流れ、連結風路58を介してシ
ロッコファン63に戻り、雰囲気は循環される。したがっ
て、隣り合う炉体8a，8b，8c，8d，8eの設定温度が異な
っても、雰囲気が混合することを防止できるため、温度
管理を適切にできる。

【００４１】また、ヒータ65，66も耐熱黒色塗装により
遠赤外線を照射しやすくしており、この遠赤外線を照射
して輻射パネル73を加熱し、この輻射パネル73の輻射熱
によりワークｗの下面を均一に加熱する。

【００４２】この場合にも、ヒータ65，66は、送風路56
内の雰囲気を加熱するとともに、輻射パネル73を加熱し
て輻射パネル73の輻射熱によりワークｗの下面を加熱す
るので、雰囲気用のヒータと遠赤外線用のヒータを別個
にする必要がなくなり、構成が簡単になる。

【００４３】上述のように、炉体8a，8b，8c，8d，8e
は、それぞれ上部炉体部11および下部炉体部12を有して
いるため、炉体8a，8b，8c，8d，8e内に搬送用コンベヤ
７を対称基準面としたほぼ上下対称の対流が生じ、ワー
クｗの上面および下面のいずれも加熱できるので、近年
増加の傾向にあるワークｗの両面に実装部品が装着され
ている場合にも容易に対応できる。

【００４４】次に、上述のはんだ付け動作について説明
する。

【００４５】まず、それぞれ炉体8a，8b，8c内の雰囲気
温度をプリヒート用の１７０℃、炉体8d，8e内の雰囲気
温度をリフロー用の２４０℃に設定する。すなわち、近
年環境などの問題から鉛フリーはんだが用いられるよう
になり、鉛フリーはんだとしてたとえば表１に示すよう
なＳｎ−Ａｇ−Ｂｉ系はんだが用いられているが、従来
のＳｎ−３７Ｐｂ系はんだの融点１８３℃に比べて、表
１に示すように固相線／液相線温度が高いため、従来よ
り高めの温度に設定している。

【００４６】なお、ワークｗに半導体部品などが装着さ
れている場合には、半導体を必要以上に高温にさらすこ
とは好ましくないので、使用するはんだに従い液相線温
度の５℃ないし１０℃程度高い温度に、リフローに用い
る炉体8a，8b，8c，8d，8e内の雰囲気温度を設定すれば
良い。

【００４７】

【表１】このように、炉体8a，8b，8c，8d，8eの温度を設定し
て、搬送用コンベヤ７によりはんだであるソルダーペー
ストが塗布されたワークｗを搬送してはんだ付けをする
際には、たとえば図４に示すように、炉体8aでは室温の
ワークｗを温度上昇させ、炉体8b，8cで約７５秒±１５
秒程度の間ワークｗの温度を約１５０℃にプリベーク
し、炉体8d，8eで約３０秒ないし４０秒程度の間ワーク
ｗの温度を２３０℃程度にしてソルダーペーストをリフ
ローして溶融させ、冷却ファン９で急冷させてはんだ付
けする。

【００４８】なお、リフロー時間を従来のＳｎ−３７Ｐ
ｂ系はんだに比べて長くとることにより、はんだのリフ
トオフ発生率を小さくする。

【００４９】また、上記実施の形態では、隣り合う戻り
風路22，57の雰囲気が混ざらないように整流板26，62で
整流しているが、戻り風路22，57に隣の雰囲気を混ぜな
いためには図５に示すように閉塞板75を整流板26，62に
取り付けて、隣り合う戻り風路22，57の一方の開口を閉
塞するようにしても良い。

【００５０】次に、図６および図７を参照して、さらに
別の実施の形態を説明する。なお、図１に示された実施
の形態と同様の部分には同一の符号を付して、その説明
を省略する。

【００５１】加熱手段としてのヒータ32，33の表面に
は、輻射パネル43に対する輻射熱伝達率を向上させる表
面処理がなされているから、この表面処理が施されたヒ
ータ32，33から輻射パネル43に効率良く輻射熱が伝達さ
れ、輻射パネル43を効率の良い放射伝熱により能率良く
加熱できる。

【００５２】例えば、ヒータ32，33の表面処理として、
耐熱黒色塗装などの耐熱輻射塗料の塗装による赤外線放
射表面処理をすることにより、ヒータ32，33の表面から
遠赤外線が放射されやすく、輻射パネル43を高密度の遠
赤外線の放射伝熱により迅速に加熱できる。

【００５３】また、加熱手段としてのヒータ32，33とワ
ークｗとの間に配置された整流板としても機能する輻射
パネル43は、パネル厚ｔを２〜２０mm、透孔44の孔径ｄ
を２〜４mm、２つの透孔44，44間の中心間距離Ｌを１５
〜３０mm、輻射パネル43とワークｗとの間隔Ｈを輻射パ
ネル43の透孔44内にとれる長さすなわちパネル厚ｔの５
〜２０倍に設定する。

【００５４】さらに、熱風を循環させる送風手段は、高
い風圧を発生させることができるターボファン81を用い
る。そして、このターボファン81から発生してヒータ3
2，33により加熱された熱風は、輻射パネル43の上流側
での圧力Ｐが、５００Ｐa以上に保たれるように設定し
て、輻射パネル43の透孔44から噴射させる。

【００５５】このような条件で、ターボファン81により
送風されヒータ32，33により加熱され輻射パネル43の透
孔44を経た熱風は、ジェット流となってワーク表面の境
界空気層を剥離しながらワークＷに達してワークＷを加
熱するので、熱風によるワーク加熱効率を向上できる。

【００５６】また、ワークｗに対面する側の輻射パネル
43の表面温度が熱風の温度と等しいか、もしくは超えな
いようにする。これにより、ヒータ32，33で温度制御さ
れた熱風の温度が輻射パネル43により上昇することを防
止し、熱風の温度制御を容易にする。

【００５７】なお、図６および図７に示された実施の形
態は、ワークＷより上側に位置するヒータ32，33、輻射
パネル43およびターボファン81について説明したが、ワ
ークＷより下側にも、同様のヒータ、輻射パネルおよび
ターボファンが設けられ、同様に作用することは言うま
でもない。

【００５８】次に、図８は、加熱手段の他の実施の形態
を示し、ワークｗは、フラックスを含むソルダーペース
トを用いてはんだ付けされるから、炉体8a〜8e内にフラ
ックスが残留するおそれがあり、本実施の形態は、これ
に対応するものである。

【００５９】すなわち、図８に示されるように、リフロ
ー用の雰囲気を加熱する加熱手段としてのヒータ32，3
3，65，66には、通気性を有する円筒形の触媒82が一体
的に設けられている。

【００６０】前記ヒータ32，33，65，66は、円筒状のヒ
ータ本体83の内部に電熱線84が配線され、ヒータ本体83
の両端部に絶縁体85を介して嵌着された端子86に前記電
熱線84が接続されたものである。前記ヒータ本体83の外
周面に円筒状の触媒82が一体的に嵌着されている。

【００６１】前記通気性を有する触媒82は、多孔材の表
面（孔内表面を含む）に触媒材料がコーティングされた
ものである。多孔材としては、Fe-Ni-Cr系合金を三次元
網状構造に成形した多孔質金属板（商品名セルメット、
住友電工製）を使用するとよい。

【００６２】また、この多孔材の表面にコーティングさ
れた触媒材料としては、白金、銅−マンガン系金属また
はパラジウム系金属等を使用するとよい。

【００６３】そして、この触媒82は、その多孔材中をリ
フロー用の雰囲気が通過するときに、多孔材の孔内表面
にコーティングされた触媒材料の化学反応速度増大作用
により、雰囲気中に含まれるフラックスガスと酸素との
化合を促進させて、液化しにくい分子量の小さな物質に
分解し、排気ガスとして処理できるようにする。

【００６４】したがって、はんだ付け運転終了後に、シ
ロッコファン30，63またはターボファン81を駆動して炉
内雰囲気を循環させながら、リフロー用のヒータ32，3
3，65，66に通電して、ワークＷのない状態で空焼き運
転することにより、触媒82の化学反応速度増大作用を利
用して炉体8a〜8e内に残留するフラックスを焼き切るこ
とで、炉体8a〜8e内の残留フラックスを自動的に除去す
るクリーニング運転ができる。

【００６５】特に、雰囲気温度１７０℃のプリヒートゾ
ーンであっても、ヒータ32，33，65，66が温度コントロ
ールを行う際のヒータ表面は２２０〜２７０℃程度まで
昇温するので、触媒反応を活性化させて十分な触媒効果
を得ることができる。

【００６６】

【発明の効果】請求項１記載のリフロー装置によれば、
加熱手段により輻射パネルを加熱してこの輻射パネルに
よりワークを加熱するため、構成を複雑にすることなく
均一にワークを加熱できる。

【００６７】請求項２記載のリフロー装置によれば、請
求項１記載のリフロー装置に加え、輻射パネルの輻射熱
によりワークを加熱するとともに、雰囲気も加熱手段に
より加熱されるため、効率良くワークを加熱できる。

【００６８】請求項３記載のリフロー装置によれば、請
求項２記載のリフロー装置に加え、加熱手段で加熱され
た雰囲気により効率良くワークを加熱できるとともに、
輻射パネル周囲を介して雰囲気を戻して循環経路が形成
されることにより、戻る雰囲気により輻射パネルなどに
悪影響を与えにくく、空気以外の雰囲気の場合にも雰囲
気の損失が小さくできる。

【００６９】請求項４記載のリフロー装置によれば、請
求項２または３記載のリフロー装置に加え、送風手段お
よび輻射パネルを載置手段の上下に配置しているので、
送風手段および輻射パネルによりワークの上面および下
面のいずれも加熱できる。

【００７０】請求項５記載のリフロー装置によれば、請
求項１ないし４いずれか記載のリフロー装置に加え、載
置手段は搬送用コンベアであるので、ワークを搬送しな
がら加熱できる。

【００７１】請求項６記載のリフロー装置によれば、請
求項１ないし５いずれか記載のリフロー装置に加え、放
熱フィンによりヒータ体の熱を効率良く放熱できるとと
もに、棒状のヒータ体であるため送風する場合にも雰囲
気を完全に遮蔽せず効率良く加熱して送風できる。

【００７２】請求項７記載のリフロー装置によれば、請
求項１ないし６いずれか記載のリフロー装置に加え、加
熱手段は、表面に輻射パネルに対する輻射熱伝達率を向
上させる表面処理がなされているので、この表面処理が
施された加熱手段から輻射パネルに効率良く輻射熱が伝
達され、輻射パネルを効率の良い放射伝熱により能率良
く加熱できる。

【００７３】請求項８記載のリフロー装置によれば、請
求項７記載のリフロー装置において、加熱手段の表面処
理は、耐熱黒色塗装による赤外線放射表面処理であるの
で、この表面処理により遠赤外線を放射しやすく、輻射
パネルを高密度の遠赤外線の放射伝熱により迅速に加熱
できる。

【００７４】請求項９記載のリフロー装置によれば、請
求項２ないし８いずれか記載のリフロー装置に加え、送
風手段により送風され加熱手段により加熱され輻射パネ
ルの透孔を経た熱風は、ジェット流となってワーク表面
の境界空気層を剥離しながらワークに達してワークを加
熱するので、熱風によるワーク加熱効率を向上できる。

【００７５】請求項１０記載のリフロー装置によれば、
請求項１ないし９いずれか記載のリフロー装置に加え、
加熱手段は、はんだ付け運転終了後の空焼きにより炉体
内に残留するフラックスを焼き切る触媒を備えたので、
はんだ付け運転終了後は、リフロー用の加熱手段と触媒
の化学反応速度増大作用で、炉体内の残留フラックスを
自動的に除去する炉体内のクリーニング運転ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリフロー装置の一実施の形態を示す断
面図である。

【図２】同上リフロー装置の筐体を切り欠いた側面図で
ある。

【図３】同上リフロー装置のヒータを示す平面図であ
る。

【図４】同上リフロー装置のはんだ付けの際の時間と温
度の関係を示すグラフである。

【図５】同上リフロー装置の一部の他の実施の形態を示
す断面図である。

【図６】同上リフロー装置のさらに別の実施の形態を示
す断面図である。

【図７】同上リフロー装置の輻射パネルを拡大した断面
図である。

【図８】同上リフロー装置の加熱手段の他の実施の形態
を示す一部を破断した斜視図である。

【符号の説明】

７載置手段としての搬送用コンベア 8a，8b，8c，8d，8e 炉体 24，59 循環経路としての循環風路 30，63 送風手段としてのシロッコファン 32，33，65，66 加熱手段としてのヒータ 34 ヒータ体 35 放熱フィン 43，73 輻射パネル 44，74 透孔 81 送風手段としてのターボファン 82 触媒ｗワーク

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ２７Ｂ 9/24 Ｆ２７Ｂ 9/24 ＥＦ２７Ｄ 7/02 Ｆ２７Ｄ 7/02 ＡＨ０５Ｋ 3/34 ５０７Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０７Ｋ５０７Ｊ (72)発明者山下文弘埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式会社タムラエフエーシステム内 (72)発明者今井英和埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式会社タムラエフエーシステム内 (72)発明者藤川真一埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式会社タムラエフエーシステム内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】炉体と、この炉体内に設けられワークを載置する載置手段と、前記載置手段に対向して設けられワークを輻射熱で熱す
る輻射パネルと、この輻射パネルを加熱する加熱手段とを具備したことを
特徴とするリフロー装置。
【請求項２】載置手段のワークに向けて送風する送風
手段を備え、輻射パネルは、送風手段からの風を透過させる透孔を有
し、加熱手段は、送風手段により送風される雰囲気も加熱す
ることを特徴とする請求項１記載のリフロー装置。
【請求項３】輻射パネルの透孔を介してワークに向
け、このワークから輻射パネル周囲を介して戻して雰囲
気を循環させる循環経路を具備したことを特徴とする請
求項２記載のリフロー装置。
【請求項４】送風手段および輻射パネルは、載置手段
の上下に配置されていることを特徴とする請求項２また
は３記載のリフロー装置。
【請求項５】載置手段は、搬送用コンベアであること
を特徴とする請求項１ないし４いずれか記載のリフロー
装置。
【請求項６】加熱手段は、棒状のヒータ体と、このヒ
ータ体に突出して形成された放熱フィンとを有すること
を特徴とする請求項１ないし５いずれか記載のリフロー
装置。
【請求項７】加熱手段は、表面に輻射パネルに対する
輻射熱伝達率を向上させる表面処理がなされていること
を特徴とする請求項１ないし６いずれか記載のリフロー
装置。
【請求項８】加熱手段の表面処理は、耐熱黒色塗装に
よる赤外線放射表面処理であることを特徴とする請求項
７記載のリフロー装置。
【請求項９】送風手段により送風され加熱手段により
加熱され輻射パネルの透孔を経た熱風は、ジェット流と
なってワーク表面の境界空気層を剥離しながらワークに
達してワークを加熱することを特徴とする請求項２ない
し８いずれか記載のリフロー装置。
【請求項１０】ワークは、フラックスを含むソルダー
ペーストを用いてはんだ付けされるものであり、加熱手段は、はんだ付け運転終了後の空焼きにより炉体
内に残留するフラックスを焼き切る触媒を備えたことを
特徴とする請求項１ないし９いずれか記載のリフロー装
置。