JP2001189039A - 基板の貼り合わせ方法および装置 - Google Patents
基板の貼り合わせ方法および装置Info
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- JP2001189039A JP2001189039A JP2000000233A JP2000000233A JP2001189039A JP 2001189039 A JP2001189039 A JP 2001189039A JP 2000000233 A JP2000000233 A JP 2000000233A JP 2000000233 A JP2000000233 A JP 2000000233A JP 2001189039 A JP2001189039 A JP 2001189039A
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- Japan
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 DVD等の基板を貼り合わせる際に、少なく
とも2枚の基板に位置ズレが無く、接着剤の膜厚分布の
均一な良好な貼り合わせ基板を得る。 【解決手段】 基板7a、7bを貼り合わせる際に、接
着剤9を広げるため基板7a、7bを回転させる工程で
所定の膜厚を形成する時、同時にその遠心力で摺動可能
なウェイト4をもつ矯正ピン3で2枚の基板7a、7b
の位置ズレを矯正する。
とも2枚の基板に位置ズレが無く、接着剤の膜厚分布の
均一な良好な貼り合わせ基板を得る。 【解決手段】 基板7a、7bを貼り合わせる際に、接
着剤9を広げるため基板7a、7bを回転させる工程で
所定の膜厚を形成する時、同時にその遠心力で摺動可能
なウェイト4をもつ矯正ピン3で2枚の基板7a、7b
の位置ズレを矯正する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板または薄板の
貼り合わせ方法に関するものであり、より詳細には、情
報記録媒体のデジタルビデオディスク(以下DVDと略
す)等の基板や、光学部品例えばホロプレート、偏光板
等の貼り合わせ方法に関するものである。
貼り合わせ方法に関するものであり、より詳細には、情
報記録媒体のデジタルビデオディスク(以下DVDと略
す)等の基板や、光学部品例えばホロプレート、偏光板
等の貼り合わせ方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光を利用した情報記録媒体としてDVD
がある。通常のCD−ROMなどに比べて、はるかに高
密度に大量の情報が記録でき、映画などの映像の高品質
長時間記録やコンピュータデータの大量記憶に適してい
るとされている。
がある。通常のCD−ROMなどに比べて、はるかに高
密度に大量の情報が記録でき、映画などの映像の高品質
長時間記録やコンピュータデータの大量記憶に適してい
るとされている。
【0003】このDVD、特に2層記録ディスクにおい
ては2層間の距離が規定範囲を越えると信号の読み出し
が出来なくなる為、2層間の距離すなわち重ね合わせた
基板間の膜厚が一定であることが重要である。
ては2層間の距離が規定範囲を越えると信号の読み出し
が出来なくなる為、2層間の距離すなわち重ね合わせた
基板間の膜厚が一定であることが重要である。
【0004】図6〜図7に従来の一対の基板間に形成さ
れた接着剤を広げその後UV硬化する工程を示す。
れた接着剤を広げその後UV硬化する工程を示す。
【0005】図6において、載置台27内の吸着回路2
8によって保持され案内ピン29により仮位置決めされ
た基板19b中心付近の表面にドーナツ状に接着剤20
を塗布した後、基板19aを案内ピン29により仮位置
決めしつつ重ね合わせた後、一対の基板19a、19b
が回転駆動部11によって回転し、一対の基板19a、
19b間に形成された接着剤20を遠心力により広げ所
定の膜厚にする。
8によって保持され案内ピン29により仮位置決めされ
た基板19b中心付近の表面にドーナツ状に接着剤20
を塗布した後、基板19aを案内ピン29により仮位置
決めしつつ重ね合わせた後、一対の基板19a、19b
が回転駆動部11によって回転し、一対の基板19a、
19b間に形成された接着剤20を遠心力により広げ所
定の膜厚にする。
【0006】この時、案内ピン29と基板19a、19
bの中心孔の隙間lによって、一対の基板19a、19
b間にズレlが発生する。
bの中心孔の隙間lによって、一対の基板19a、19
b間にズレlが発生する。
【0007】次に一対の基板19a、19bを、図7に
示す基板位置矯正UV硬化装置の載置台21に移動させ
るため載置台27から取出す。
示す基板位置矯正UV硬化装置の載置台21に移動させ
るため載置台27から取出す。
【0008】同図において、所定の膜厚の接着剤20を
はさみこんだ一対の基板19a、19bの中心孔の中心
方向にバネ22の力により移動した状態の複数に分割さ
れたピン23を一対の基板19a、19bの中心孔に緩
入し載置台21上に一対の基板19a、19bを設置す
る。その後、シリンダ25でピン24を押し上げ、ピン
23をバネ22に対抗して一対の基板19a、19b中
心孔の外形方向に押し広げることにより、一対の基板1
9a、19bの中心孔ズレ(図6に示したl)を矯正し
調芯、位置合わせを行なった後、一対の基板19a、1
9b間の接着剤20をUVランプ26で硬化し貼り合わ
せを行う。
はさみこんだ一対の基板19a、19bの中心孔の中心
方向にバネ22の力により移動した状態の複数に分割さ
れたピン23を一対の基板19a、19bの中心孔に緩
入し載置台21上に一対の基板19a、19bを設置す
る。その後、シリンダ25でピン24を押し上げ、ピン
23をバネ22に対抗して一対の基板19a、19b中
心孔の外形方向に押し広げることにより、一対の基板1
9a、19bの中心孔ズレ(図6に示したl)を矯正し
調芯、位置合わせを行なった後、一対の基板19a、1
9b間の接着剤20をUVランプ26で硬化し貼り合わ
せを行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来方法
では、2枚の基板間の位置ズレを矯正するため、UV硬
化前に2枚の基板を面方向に相対的にずらす事により、
均一に形成された接着剤の膜厚分布が乱れて不均一とな
っていた。そのため2枚の基板間の並行が崩れ傾きが発
生したり、UV硬化後基板に反りが発生する等の影響を
与えることがあり、安定したディスク品質を確保するこ
とが困難であった。
では、2枚の基板間の位置ズレを矯正するため、UV硬
化前に2枚の基板を面方向に相対的にずらす事により、
均一に形成された接着剤の膜厚分布が乱れて不均一とな
っていた。そのため2枚の基板間の並行が崩れ傾きが発
生したり、UV硬化後基板に反りが発生する等の影響を
与えることがあり、安定したディスク品質を確保するこ
とが困難であった。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明においては、基板
を貼り合わせる場合、基板間の接着剤を所定の均一な膜
厚にする工程と同時、またはその前に、動作する規正部
により重ね合わせた基板のズレを無くす事により、所定
の均一な膜厚に仕上げることができ、高品質の貼り合わ
せ基板が得られるものである。
を貼り合わせる場合、基板間の接着剤を所定の均一な膜
厚にする工程と同時、またはその前に、動作する規正部
により重ね合わせた基板のズレを無くす事により、所定
の均一な膜厚に仕上げることができ、高品質の貼り合わ
せ基板が得られるものである。
【0011】
【発明の実施の形態】図1〜図5に本発明の実施の形態
を示す。
を示す。
【0012】(実施の形態1)図1、図2は基板それぞ
れの中心孔を利用し、基板のズレを矯正する実施例を示
す平面図、断面図である。
れの中心孔を利用し、基板のズレを矯正する実施例を示
す平面図、断面図である。
【0013】回転伝達部11に載置台1が取付けられ、
中央には基板の中心孔をガイドする案内ピン2が配置さ
れている。載置台1の内部には、吸着回路10、遠心力
によって可動するウェイト4、ウェイト4に連結し、基
板7a、7bに接触可能な矯正ピン3、ウェイト4を中
心部に押し戻すバネ5、及び蓋6が用意されている。
中央には基板の中心孔をガイドする案内ピン2が配置さ
れている。載置台1の内部には、吸着回路10、遠心力
によって可動するウェイト4、ウェイト4に連結し、基
板7a、7bに接触可能な矯正ピン3、ウェイト4を中
心部に押し戻すバネ5、及び蓋6が用意されている。
【0014】基板7aは、吸着回路10により、載置台
1上に保持されている。基板7aの中心付近の表面に接
着剤9をドーナツ状に塗布した後、基板7bを案内ピン
2により仮位置決めをしつつ重ね合わせ基板7bの自重
により接着剤9が基板7a、7bの中心付近の間に不均
一に広がった状態で基板7a、7bは重ね合わされてい
る。この時矯正ピン3は案内ピン2の外形からとびださ
ない位置関係にある。駆動伝達部11に固定された載置
台1が回転を始めると、接着剤9は基板7a、7bの中
心付近に不均一に挟まれた状態で、遠心力により接着剤
が中心部から外側へと広がり膜厚が次第に均一になって
いく。同様にウェイト4は回転の遠心力でバネ5の力に
打ち勝ち中心部から外側へ移動しようとする。矯正ピン
3はウェイト4と連結しており、ウェイト4の移動とと
もに基板7a、7bの中心孔に接触し、基板7a、7b
の位置ズレを矯正する力が発生し、基板7a、7bは位
置矯正される。本実施例では、矯正ピン3を3個所使用
した例を示している。
1上に保持されている。基板7aの中心付近の表面に接
着剤9をドーナツ状に塗布した後、基板7bを案内ピン
2により仮位置決めをしつつ重ね合わせ基板7bの自重
により接着剤9が基板7a、7bの中心付近の間に不均
一に広がった状態で基板7a、7bは重ね合わされてい
る。この時矯正ピン3は案内ピン2の外形からとびださ
ない位置関係にある。駆動伝達部11に固定された載置
台1が回転を始めると、接着剤9は基板7a、7bの中
心付近に不均一に挟まれた状態で、遠心力により接着剤
が中心部から外側へと広がり膜厚が次第に均一になって
いく。同様にウェイト4は回転の遠心力でバネ5の力に
打ち勝ち中心部から外側へ移動しようとする。矯正ピン
3はウェイト4と連結しており、ウェイト4の移動とと
もに基板7a、7bの中心孔に接触し、基板7a、7b
の位置ズレを矯正する力が発生し、基板7a、7bは位
置矯正される。本実施例では、矯正ピン3を3個所使用
した例を示している。
【0015】しかも、膜厚を均一に形成するのと同時に
位置矯正を行うため、膜厚分布、均一性に影響を与える
ことなく重ね合わせた基板の調芯、位置合わせが出来
る。
位置矯正を行うため、膜厚分布、均一性に影響を与える
ことなく重ね合わせた基板の調芯、位置合わせが出来
る。
【0016】また、この時の回転数は1500rpm〜
6000rpm程度で使用することが多く、膜厚を決定
するパラメータのひとつとして利用ができる。
6000rpm程度で使用することが多く、膜厚を決定
するパラメータのひとつとして利用ができる。
【0017】重ね合わせた基板間接着剤の膜厚が均一に
なり、載置台1の回転数が徐徐に下がりやがて停止する
時にはバネ5によってウェイト4が載置台1の中心部に
押し戻される。したがって、矯正ピン3は案内ピン2の
外形からとびださない位置にもどり、基板7aの吸着を
開放すれば、容易に所定の均一な膜厚の形成された中心
孔ズレのない良好な貼り合わせディスクを取り出すこと
ができる。
なり、載置台1の回転数が徐徐に下がりやがて停止する
時にはバネ5によってウェイト4が載置台1の中心部に
押し戻される。したがって、矯正ピン3は案内ピン2の
外形からとびださない位置にもどり、基板7aの吸着を
開放すれば、容易に所定の均一な膜厚の形成された中心
孔ズレのない良好な貼り合わせディスクを取り出すこと
ができる。
【0018】(実施の形態2)図3、図4は基板それぞ
れの中心孔を利用し、基板のズレを矯正する他の実施の
形態を示す平面図、断面図である。
れの中心孔を利用し、基板のズレを矯正する他の実施の
形態を示す平面図、断面図である。
【0019】ここでは、基板の案内ピンと矯正ピンを兼
用したピン12を用いている以外は前記実施の形態1と
同じであるが、前記実施の形態1で基板7a、7bの位
置ズレを矯正ピン3で矯正する時に、基板7a、7bの
中心孔に対し矯正ピン3が点接触をするため基板7a、
7bの中心孔と矯正ピン3の接触点に傷が発生する恐れ
がある時に効果を発揮する。つまり、本実施の形態では
基板7a、7bの位置ズレを矯正する時に、基板7a、
7bの中心孔に対しピン12が面接触し基板の位置矯正
をするため、基板7a、7bの中心孔に傷を発生させる
ことは無い。
用したピン12を用いている以外は前記実施の形態1と
同じであるが、前記実施の形態1で基板7a、7bの位
置ズレを矯正ピン3で矯正する時に、基板7a、7bの
中心孔に対し矯正ピン3が点接触をするため基板7a、
7bの中心孔と矯正ピン3の接触点に傷が発生する恐れ
がある時に効果を発揮する。つまり、本実施の形態では
基板7a、7bの位置ズレを矯正する時に、基板7a、
7bの中心孔に対しピン12が面接触し基板の位置矯正
をするため、基板7a、7bの中心孔に傷を発生させる
ことは無い。
【0020】(実施の形態3)図5は基板それぞれの外
形を利用し、基板のズレを矯正する他の実施の形態を示
す断面図である。
形を利用し、基板のズレを矯正する他の実施の形態を示
す断面図である。
【0021】前記図1、2に示す実施例と同様に、この
場合は載置台15の内部にウェイト16、矯正爪18、
バネ17が配置されている。
場合は載置台15の内部にウェイト16、矯正爪18、
バネ17が配置されている。
【0022】中心孔の無い基板8a、8bの外形に同時
に接触して位置ズレを修正する矯正爪を有することを特
徴としているため、中心孔のない基板にも対応できる。
に接触して位置ズレを修正する矯正爪を有することを特
徴としているため、中心孔のない基板にも対応できる。
【0023】この場合も前記二つの実施の形態と同様な
効果を生み、上下の基板の位置ズレを防ぎ、所定の均一
な膜厚を形成する良好な貼り合わせ基板が得られるもの
である。
効果を生み、上下の基板の位置ズレを防ぎ、所定の均一
な膜厚を形成する良好な貼り合わせ基板が得られるもの
である。
【0024】また、本実施の形態では、遠心力により駆
動するウェイト4により矯正ピン3、ピン12、矯正爪
18を動作させているが、遠心力により動作するウェイ
ト4の代わりに、他方式の駆動力、好ましくは流体方式
駆動、電磁方式駆動、機械方式駆動、たとえば、シリン
ダー、モータ、ソレノイド、カム等を用いてもよい。さ
らに、本実施の形態では、遠心力により重ね合わせた2
枚の基板間の接着剤膜厚を均一に形成するのと同時に位
置矯正を行い調芯、位置合わせを行っているが、重ね合
わせた2枚の基板の位置矯正を最初に行い、その後位置
矯正をした状態で基板を回転させ遠心力により基板間の
接着剤膜厚を均一にし所定の膜厚を形成してもよい。
動するウェイト4により矯正ピン3、ピン12、矯正爪
18を動作させているが、遠心力により動作するウェイ
ト4の代わりに、他方式の駆動力、好ましくは流体方式
駆動、電磁方式駆動、機械方式駆動、たとえば、シリン
ダー、モータ、ソレノイド、カム等を用いてもよい。さ
らに、本実施の形態では、遠心力により重ね合わせた2
枚の基板間の接着剤膜厚を均一に形成するのと同時に位
置矯正を行い調芯、位置合わせを行っているが、重ね合
わせた2枚の基板の位置矯正を最初に行い、その後位置
矯正をした状態で基板を回転させ遠心力により基板間の
接着剤膜厚を均一にし所定の膜厚を形成してもよい。
【0025】また、本実施の形態では、矯正ピン3、ピ
ン12、矯正爪18が重ね合わされた基板を同時に位置
矯正しているが、2枚の基板を個別に位置矯正してもよ
い。
ン12、矯正爪18が重ね合わされた基板を同時に位置
矯正しているが、2枚の基板を個別に位置矯正してもよ
い。
【0026】また、重ね合わされた2枚の基板は重ね合
わされた複数の基板に置きかえる事ができる。
わされた複数の基板に置きかえる事ができる。
【0027】
【発明の効果】本発明の基板の貼り合わせ方法は、接着
剤を広げるため回転する工程と同時またはその前に規正
部を動作させる事により、接着剤により重ね合わされた
複数の基板の位置ズレを矯正し、所定の均一な膜厚を形
成することができる優れた貼り合わせ基板を得ることが
できるものである。
剤を広げるため回転する工程と同時またはその前に規正
部を動作させる事により、接着剤により重ね合わされた
複数の基板の位置ズレを矯正し、所定の均一な膜厚を形
成することができる優れた貼り合わせ基板を得ることが
できるものである。
【図1】本発明の実施の形態1を示す平面図
【図2】本発明の実施の形態1を示す断面図
【図3】本発明の実施の形態2を示す平面図
【図4】本発明の実施の形態2を示す断面図
【図5】本発明の実施の形態3を示す断面図
【図6】従来の一対の基板間に形成された接着剤を広げ
ようとする様子を示す断面図
ようとする様子を示す断面図
【図7】従来のUV硬化工程で位置ズレを矯正する様子
を示す断面図
を示す断面図
1 載置台(保持手段) 2 案内ピン(案内部) 3 矯正ピン(規制部) 4 ウェイト(可動子) 5 バネ(弾性体) 6 蓋 7a、7b 基板 9 接着剤 10 吸着回路 11 駆動伝達部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4D075 AC64 AC92 DC21 DC27 EA35 4F042 AA06 AB00 EB00 5D121 AA07 EE22 EE24 EE28 FF01 FF15 FF18 GG10
Claims (5)
- 【請求項1】 重ね合せた基板間に接着剤が形成された
一対の基板を回転させ基板間に形成された接着剤の膜厚
を均一にする工程と、前記工程と同時または、その前に
前記重ね合わせた一対の基板の位置合わせを行う工程を
有することを特徴とする基板の貼り合わせ方法。 - 【請求項2】 前記基板は孔を有し、前記重ね合せた一
対の基板の孔を同時または個別に規制し位置合わせを行
う請求項1記載の基板の貼り合わせ方法。 - 【請求項3】 前記重ね合わせた一対の基板の外形を同
時または個別に規制し位置合わせを行う請求項1記載の
基板の貼り合わせ方法。 - 【請求項4】 重ね合せた基板間に接着剤が形成された
一対の基板を保持する保持手段と、該保持手段に設けら
れた前記一対の基板の孔を案内する案内部と、前記保持
手段を回転させる回転手段と、前記保持手段に配置され
ているとともに、遠心力と逆の方向に付勢されてあっ
て、前記保持手段の回転により遠心力をうけて動作する
可動子と、前記可動子に連結されているとともに可動子
が遠心力により動作することにより前記一対の基板の孔
を規制する規制部とを有する特徴とする基板の貼り合わ
せ装置。 - 【請求項5】 前記規制部は前記重ね合わせた一対の基
板の外形を規制する事を特徴とした請求項4記載の基板
の貼り合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000000233A JP2001189039A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 基板の貼り合わせ方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000000233A JP2001189039A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 基板の貼り合わせ方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001189039A true JP2001189039A (ja) | 2001-07-10 |
Family
ID=18529611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000000233A Pending JP2001189039A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 基板の貼り合わせ方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001189039A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003028024A1 (fr) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Tdk Corporation | Procede de production d'un support d'enregistrement optique multicouche et systeme de production d'un support d'enregistrement optique multicouche |
WO2003030161A1 (fr) * | 2001-09-27 | 2003-04-10 | Tdk Corporation | Procede et dispositif permettant de preparer un support d'enregistrement optique |
CN100378840C (zh) * | 2002-05-10 | 2008-04-02 | 松下电器产业株式会社 | 制造多层光信息记录媒体的方法和设备 |
-
2000
- 2000-01-05 JP JP2000000233A patent/JP2001189039A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003028024A1 (fr) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Tdk Corporation | Procede de production d'un support d'enregistrement optique multicouche et systeme de production d'un support d'enregistrement optique multicouche |
WO2003030161A1 (fr) * | 2001-09-27 | 2003-04-10 | Tdk Corporation | Procede et dispositif permettant de preparer un support d'enregistrement optique |
CN100378840C (zh) * | 2002-05-10 | 2008-04-02 | 松下电器产业株式会社 | 制造多层光信息记录媒体的方法和设备 |
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