JP2001179504A - 硬質炭素膜被覆工具 - Google Patents
硬質炭素膜被覆工具Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモンドと
摺動性が優れたグラファイトの両者が、相互に密着性良
く、適当量含まれている硬質炭素膜を被覆することによ
り、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実現
し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被覆
工具を提供する。 【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜を被覆した
硬質炭素膜被覆工具において、硬質炭素膜に組織係数Ｔ
Ｃ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイヤ
モンドとＸ線回折の最強ピークが（００８）面指数であ
る六方晶グラファイトの両者を含有せしめて構成する。
摺動性が優れたグラファイトの両者が、相互に密着性良
く、適当量含まれている硬質炭素膜を被覆することによ
り、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実現
し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被覆
工具を提供する。 【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜を被覆した
硬質炭素膜被覆工具において、硬質炭素膜に組織係数Ｔ
Ｃ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイヤ
モンドとＸ線回折の最強ピークが（００８）面指数であ
る六方晶グラファイトの両者を含有せしめて構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、硬質炭素膜被覆工
具に関するものである。
具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の被加工部材の高硬度及び軽量化に
伴って、高硬度、高熱伝導であるダイヤモンド膜を被覆
した切削工具や耐摩耗部材を活用する機運が高まってい
る。特に、ダイヤモンド被覆工具は、アルミ合金やグラ
ファイト材の加工に有望であり、盛んに研究されてい
る。これらのダイヤモンド膜は、一般に、炭化水素など
の炭素を含む原料ガスを熱フィラメント（特開昭５８−
９１１００）やマイクロ波プラズマ等（特開昭５８−１
１０４９４）により励起し、反応させることにより基体
表面に成膜される。
伴って、高硬度、高熱伝導であるダイヤモンド膜を被覆
した切削工具や耐摩耗部材を活用する機運が高まってい
る。特に、ダイヤモンド被覆工具は、アルミ合金やグラ
ファイト材の加工に有望であり、盛んに研究されてい
る。これらのダイヤモンド膜は、一般に、炭化水素など
の炭素を含む原料ガスを熱フィラメント（特開昭５８−
９１１００）やマイクロ波プラズマ等（特開昭５８−１
１０４９４）により励起し、反応させることにより基体
表面に成膜される。
【０００３】このように化学蒸着（ＣＶＤ）法により成
膜されたダイヤモンド膜は高硬度であるものの、（１１
１）面や（２２０）面が基体表面と平行方向に配向して
おり、膜表面の凹凸が大きく、摺動性が劣る欠点があ
る。また、（１１１）面は劈開し易い欠点がある。これ
に対して、特公平７−１３２９８では、刃部がファセッ
ト状の平均粒径０．１μm以上の多結晶質で、且つその
表面の５０％以上の面積が、劈開の少ない（１００）又
は（１１０）の結晶面であることを特徴とするダイヤモ
ンド被覆切削工具が開示されている。また、ダイヤモン
ド以外に非晶質カーボンやグラファイト、あるいは水素
などを硬質膜中に存在させることにより、膜表面の凹凸
を小さくし、平滑な膜を得ようとする試みも提案されて
いる。例えば、特開昭６０−７１５９７では摺動面にダ
イヤモンドと六方晶のグラファイトとの混晶からなる硬
質カーボン膜を有する摺動用機構部品が開示されてい
る。しかし、これらの方法では、ダイヤモンドと六方晶
グラファイトの結晶性や配向および両物質間の密着性に
関する考察が行われておらず、工具として用いた場合、
耐摩耗性が劣る欠点があった。
膜されたダイヤモンド膜は高硬度であるものの、（１１
１）面や（２２０）面が基体表面と平行方向に配向して
おり、膜表面の凹凸が大きく、摺動性が劣る欠点があ
る。また、（１１１）面は劈開し易い欠点がある。これ
に対して、特公平７−１３２９８では、刃部がファセッ
ト状の平均粒径０．１μm以上の多結晶質で、且つその
表面の５０％以上の面積が、劈開の少ない（１００）又
は（１１０）の結晶面であることを特徴とするダイヤモ
ンド被覆切削工具が開示されている。また、ダイヤモン
ド以外に非晶質カーボンやグラファイト、あるいは水素
などを硬質膜中に存在させることにより、膜表面の凹凸
を小さくし、平滑な膜を得ようとする試みも提案されて
いる。例えば、特開昭６０−７１５９７では摺動面にダ
イヤモンドと六方晶のグラファイトとの混晶からなる硬
質カーボン膜を有する摺動用機構部品が開示されてい
る。しかし、これらの方法では、ダイヤモンドと六方晶
グラファイトの結晶性や配向および両物質間の密着性に
関する考察が行われておらず、工具として用いた場合、
耐摩耗性が劣る欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の、従来のダイヤ
モンド被覆工具の欠点を踏まえて、本発明が解決しよう
とする課題は結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモン
ドと摺動性が優れたグラファイトの両者が、相互に密着
性良く、適当量含まれている硬質炭素膜を被覆すること
により、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実
現し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被
覆工具を提供することである。
モンド被覆工具の欠点を踏まえて、本発明が解決しよう
とする課題は結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモン
ドと摺動性が優れたグラファイトの両者が、相互に密着
性良く、適当量含まれている硬質炭素膜を被覆すること
により、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実
現し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被
覆工具を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意研究してきた結果、組織係数ＴＣ
（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイヤモ
ンドとＸ線回折最強ピークが（００８）面指数である六
方晶グラファイトの両者を含有している硬質炭素膜を被
覆することにより、優れた切削耐久特性を持つ工具を実
現できることを見出し、本発明に想到した。
解決するために鋭意研究してきた結果、組織係数ＴＣ
（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイヤモ
ンドとＸ線回折最強ピークが（００８）面指数である六
方晶グラファイトの両者を含有している硬質炭素膜を被
覆することにより、優れた切削耐久特性を持つ工具を実
現できることを見出し、本発明に想到した。
【０００６】すなわち本発明は、ダイヤモンドを含有す
る硬質炭素膜を被覆した硬質炭素膜被覆工具において、
組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大で
あるダイヤモンドとＸ線回折の最強ピークが（００８）
面指数である六方晶グラファイトの両者を含有している
ことを特徴とする硬質炭素膜被覆工具である。組織係数
ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイ
ヤモンドとＸ線回折最強ピークが（００８）面指数であ
る六方晶グラファイトの両者を含有していることによ
り、ダイヤモンドの優れた耐摩耗性とグラファイトの優
れた摺動特性の両者を併せ持った、優れた工具特性が実
現されていると判断される。
る硬質炭素膜を被覆した硬質炭素膜被覆工具において、
組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大で
あるダイヤモンドとＸ線回折の最強ピークが（００８）
面指数である六方晶グラファイトの両者を含有している
ことを特徴とする硬質炭素膜被覆工具である。組織係数
ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大であるダイ
ヤモンドとＸ線回折最強ピークが（００８）面指数であ
る六方晶グラファイトの両者を含有していることによ
り、ダイヤモンドの優れた耐摩耗性とグラファイトの優
れた摺動特性の両者を併せ持った、優れた工具特性が実
現されていると判断される。
【０００７】ここで、組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）は次式に
より定義される。 TC(hkl)＝4×{I(hkl)／I0(hkl)}／[{I(111)／I0(111)}＋{I(311)／I0(311)} ＋{I(400)／I0(400)}＋{I(331)／I0(331)}] …数式１ 但し、（ｈｋｌ）＝（１１１）、（３１１）、（４０
０）、（３３１）Ｉ（ｈｋｌ）はダイヤモンド膜の（ｈ
ｋｌ）面からの実測Ｘ線回折強度である。Ｉ０(ｈｋｌ)
はＪＣＰＤＳ ファイルＮｏ．６−０６７５（Powder Di
ffractionFile Published by JCPDS International Cen
ter for Diffraction Data）に記載されているダイヤモ
ンドの標準Ｘ線回折強度であり、等方的に配向したダイ
ヤモンド粉末粒子の（ｈｋｌ）面からのＸ線回折強度を
表すものである。数式１で定義されたＴＣ（ｈｋｌ）
は、ダイヤモンド膜の（ｈｋｌ）面からの実測Ｘ線回折
ピーク強度の相対強度を示しており、ＴＣ（ｈｋｌ）値
が大きい程（ｈｋｌ）面が基体表面の接線方向に強く配
向していることを示すものである。なお、ダイヤモンド
は（１１１）、（２２０）、（３１１）、（４００）、
（３３１）の五つのＸ線回折ピークが観察されるが（２
２０）のＸ線回折ピーク（２θ＝７５．３０°）はＷＣ
の（２００）ピーク（２θ＝７５．５１°）と重なるた
め、数式１の組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の計算には用いな
かった。
より定義される。 TC(hkl)＝4×{I(hkl)／I0(hkl)}／[{I(111)／I0(111)}＋{I(311)／I0(311)} ＋{I(400)／I0(400)}＋{I(331)／I0(331)}] …数式１ 但し、（ｈｋｌ）＝（１１１）、（３１１）、（４０
０）、（３３１）Ｉ（ｈｋｌ）はダイヤモンド膜の（ｈ
ｋｌ）面からの実測Ｘ線回折強度である。Ｉ０(ｈｋｌ)
はＪＣＰＤＳ ファイルＮｏ．６−０６７５（Powder Di
ffractionFile Published by JCPDS International Cen
ter for Diffraction Data）に記載されているダイヤモ
ンドの標準Ｘ線回折強度であり、等方的に配向したダイ
ヤモンド粉末粒子の（ｈｋｌ）面からのＸ線回折強度を
表すものである。数式１で定義されたＴＣ（ｈｋｌ）
は、ダイヤモンド膜の（ｈｋｌ）面からの実測Ｘ線回折
ピーク強度の相対強度を示しており、ＴＣ（ｈｋｌ）値
が大きい程（ｈｋｌ）面が基体表面の接線方向に強く配
向していることを示すものである。なお、ダイヤモンド
は（１１１）、（２２０）、（３１１）、（４００）、
（３３１）の五つのＸ線回折ピークが観察されるが（２
２０）のＸ線回折ピーク（２θ＝７５．３０°）はＷＣ
の（２００）ピーク（２θ＝７５．５１°）と重なるた
め、数式１の組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の計算には用いな
かった。
【０００８】本発明の硬質炭素膜に含有されているダイ
ヤモンド成分は、組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ
（４００）が最大であるため、ダイヤモンドの（１０
０）結晶面が基体の接線方向に配向しており、結晶粒の
劈開が少なく、表面が平坦であり、優れた耐摩耗性を有
していると判断される。同時に、Ｘ線回折最強ピークが
（００８）面指数である六方晶グラファイトを含有して
いることにより、優れた摺動性を有していると判断され
る。しかも、本発明の硬質炭素膜は、後述の理由によ
り、これらダイヤモンド成分と六方晶グラファイト成分
との間に優れた結合力が期待され、その結果、耐摩耗性
と摺動性の両特性が優れていると判断される。
ヤモンド成分は、組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ
（４００）が最大であるため、ダイヤモンドの（１０
０）結晶面が基体の接線方向に配向しており、結晶粒の
劈開が少なく、表面が平坦であり、優れた耐摩耗性を有
していると判断される。同時に、Ｘ線回折最強ピークが
（００８）面指数である六方晶グラファイトを含有して
いることにより、優れた摺動性を有していると判断され
る。しかも、本発明の硬質炭素膜は、後述の理由によ
り、これらダイヤモンド成分と六方晶グラファイト成分
との間に優れた結合力が期待され、その結果、耐摩耗性
と摺動性の両特性が優れていると判断される。
【０００９】図２はダイヤモンドの単位格子を図示した
ものである。立方構造で、格子定数は０．３５６６７ｎ
ｍである。図２より、ダイヤモンドは（４００）面の位
置、即ち面間距離０．０８９１６ｎｍの位置に二個の炭
素原子が存在していることがわかる。本発明の一つの特
徴は、この（４００）のＸ線回折ピーク強度が強いこと
である。
ものである。立方構造で、格子定数は０．３５６６７ｎ
ｍである。図２より、ダイヤモンドは（４００）面の位
置、即ち面間距離０．０８９１６ｎｍの位置に二個の炭
素原子が存在していることがわかる。本発明の一つの特
徴は、この（４００）のＸ線回折ピーク強度が強いこと
である。
【００１０】図３は六方晶グラファイト（ＪＣＰＤＳ
Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４と２５−２８４）の単位格
子を図示したもので、格子定数はａ０＝０．２４５６ｎ
ｍ、ｃ０＝０．６６９６ｎｍ（Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２５−
２８４）乃至はａ０＝０．２４６３ｎｍ、ｃ０＝０．６
７１４ｎｍ（Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４）である。六
方晶グラファイトの、Ｃ軸の実際の長さは結晶度や層の
配向の乱れに依存しており、０．６６９６〜０．６８８
ｎｍに変化する。表１、２はそれぞれ、ＪＣＰＤＳのＦ
ｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４と２５−２８４に示されてい
る、六方晶グラファイトの各面指数に対する標準Ｘ線回
折強度の（００２〜８）に関する部分を抜粋したもので
ある。表１、２より、（００８）のＸ線回折強度ＩＧ
（００８）は（００２）のＸ線回折強度ＩＧ（００２）
の１０分の１乃至は１００分の１であることがわかる。
Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４と２５−２８４）の単位格
子を図示したもので、格子定数はａ０＝０．２４５６ｎ
ｍ、ｃ０＝０．６６９６ｎｍ（Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２５−
２８４）乃至はａ０＝０．２４６３ｎｍ、ｃ０＝０．６
７１４ｎｍ（Ｆｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４）である。六
方晶グラファイトの、Ｃ軸の実際の長さは結晶度や層の
配向の乱れに依存しており、０．６６９６〜０．６８８
ｎｍに変化する。表１、２はそれぞれ、ＪＣＰＤＳのＦ
ｉｌｅ Ｎｏ．２３−６４と２５−２８４に示されてい
る、六方晶グラファイトの各面指数に対する標準Ｘ線回
折強度の（００２〜８）に関する部分を抜粋したもので
ある。表１、２より、（００８）のＸ線回折強度ＩＧ
（００８）は（００２）のＸ線回折強度ＩＧ（００２）
の１０分の１乃至は１００分の１であることがわかる。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【表２】
【００１３】図３からもわかるように、六方晶グラファ
イトの（００８）面が基体表面の接線方向に配向してい
ることと（００２）面が配向していることとは同一であ
り、本来は、ＩＧ（００８）／ＩＧ（００２）は常に
０．１乃至は０．０１である。しかし、本発明品の場
合、ＩＧ（００８）≫ＩＧ（００２）である。この理由
は明確ではないが、六方晶グラファイトの（００８）面
の位置、即ち面間距離０．０８３７０ｎｍの位置に原子
が存在している確率が高くなっていると考えられる。
イトの（００８）面が基体表面の接線方向に配向してい
ることと（００２）面が配向していることとは同一であ
り、本来は、ＩＧ（００８）／ＩＧ（００２）は常に
０．１乃至は０．０１である。しかし、本発明品の場
合、ＩＧ（００８）≫ＩＧ（００２）である。この理由
は明確ではないが、六方晶グラファイトの（００８）面
の位置、即ち面間距離０．０８３７０ｎｍの位置に原子
が存在している確率が高くなっていると考えられる。
【００１４】このように、本発明品に於いては、含有さ
れている六方晶グラファイト成分とダイヤモンド成分の
両者において、面間距離が０．０８３７０ｎｍと０．０
８９１６ｎｍの位置に原子が存在している確立が高いこ
とから、両者の間で、原子の共有等、何らかの干渉があ
ると見られ、両者間に強い結合力が存在している可能性
があると判断される。なお、以上の考察からもわかるよ
うに、本発明における（００８）Ｘ線回折ピークが最強
の六方晶グラファイトとは、面間距離が０．０８３７０
ｎｍ近傍にＸ線回折ピーク強度を有するグラファイト系
の物質であれば良く、一概に六方晶グラファイトである
必要は無いことは明らかである。
れている六方晶グラファイト成分とダイヤモンド成分の
両者において、面間距離が０．０８３７０ｎｍと０．０
８９１６ｎｍの位置に原子が存在している確立が高いこ
とから、両者の間で、原子の共有等、何らかの干渉があ
ると見られ、両者間に強い結合力が存在している可能性
があると判断される。なお、以上の考察からもわかるよ
うに、本発明における（００８）Ｘ線回折ピークが最強
の六方晶グラファイトとは、面間距離が０．０８３７０
ｎｍ近傍にＸ線回折ピーク強度を有するグラファイト系
の物質であれば良く、一概に六方晶グラファイトである
必要は無いことは明らかである。
【００１５】上記と同時に、本発明の被覆工具は、六方
晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピーク強度がダイ
ヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク強度の０．１〜３
倍であることが好ましく、０．１５〜２．５倍あること
が更に好ましく、さらに０．３５〜２倍であることが最
も好ましい。六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折
ピーク強度とダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク
強度との比ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が０．１〜
３であることにより、耐摩耗性の優れたダイヤモンド成
分と、摺動性の優れたグラファイト成分が適当量含有さ
れており、耐摩耗性と摺動性のバランスが優れ、優れた
工具耐久特性が実現されていると判断される。上記Ｘ線
回折ピーク強度比ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が
０．１倍未満では、六方晶グラファイトの含有量が少な
く、摺動特性が劣る欠点が現れ、同３倍を越えると膜の
硬度が低下し、耐摩耗性が低下する欠点が現れる。ま
た、上記Ｘ線回折ピーク強度比ＩＧ（００８）／ＩＤ
（４００）が０．１５〜２であることにより、耐摩耗性
と耐摺動性のバランスが良く、さらに長い工具寿命が得
られ、０．３５〜２であることにより最も長い工具寿命
が得られる。
晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピーク強度がダイ
ヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク強度の０．１〜３
倍であることが好ましく、０．１５〜２．５倍あること
が更に好ましく、さらに０．３５〜２倍であることが最
も好ましい。六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折
ピーク強度とダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク
強度との比ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が０．１〜
３であることにより、耐摩耗性の優れたダイヤモンド成
分と、摺動性の優れたグラファイト成分が適当量含有さ
れており、耐摩耗性と摺動性のバランスが優れ、優れた
工具耐久特性が実現されていると判断される。上記Ｘ線
回折ピーク強度比ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が
０．１倍未満では、六方晶グラファイトの含有量が少な
く、摺動特性が劣る欠点が現れ、同３倍を越えると膜の
硬度が低下し、耐摩耗性が低下する欠点が現れる。ま
た、上記Ｘ線回折ピーク強度比ＩＧ（００８）／ＩＤ
（４００）が０．１５〜２であることにより、耐摩耗性
と耐摺動性のバランスが良く、さらに長い工具寿命が得
られ、０．３５〜２であることにより最も長い工具寿命
が得られる。
【００１６】また、本発明の被覆工具において、周期律
表のIVａ、Ｖａ、VIａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化
物のうちの少なくとも一種以上とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、
Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒのうちの少なくとも一種以上とよりなる
超硬合金を基体とすることが更に好ましく、更にはＷの
炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの少なくとも一種以上
とＣｏからなり、他の周期律表のIVａ、Ｖａ、VIａ族金
属の炭化物、窒化物、炭窒化物成分が１質量％以下であ
る超硬合金を基体とすることが最も好ましい。上記の超
硬合金を基体とすることにより本発明の被覆工具全体の
靭性、硬度、耐熱性がバランス良く高まり、被覆工具と
して良好な切削耐久特性が実現されていると判断され
る。また、Ｗの炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの少な
くとも一種以上とＣｏからなり、Ｗを除く周期律表のIV
ａ、Ｖａ、VIａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物成分
が１質量％以下である超硬合金を基体とすることによ
り、超硬合金基体と硬質炭素膜との間の密着性が高ま
り、更に良好な工具耐久特性が実現されていると判断さ
れる。
表のIVａ、Ｖａ、VIａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化
物のうちの少なくとも一種以上とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、
Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒのうちの少なくとも一種以上とよりなる
超硬合金を基体とすることが更に好ましく、更にはＷの
炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの少なくとも一種以上
とＣｏからなり、他の周期律表のIVａ、Ｖａ、VIａ族金
属の炭化物、窒化物、炭窒化物成分が１質量％以下であ
る超硬合金を基体とすることが最も好ましい。上記の超
硬合金を基体とすることにより本発明の被覆工具全体の
靭性、硬度、耐熱性がバランス良く高まり、被覆工具と
して良好な切削耐久特性が実現されていると判断され
る。また、Ｗの炭化物、窒化物、炭窒化物のうちの少な
くとも一種以上とＣｏからなり、Ｗを除く周期律表のIV
ａ、Ｖａ、VIａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物成分
が１質量％以下である超硬合金を基体とすることによ
り、超硬合金基体と硬質炭素膜との間の密着性が高ま
り、更に良好な工具耐久特性が実現されていると判断さ
れる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明における硬質炭素
膜被覆工具の代表例である硬質炭素膜被覆エンドミルに
則って、本発明をより具体的に詳説する。
膜被覆工具の代表例である硬質炭素膜被覆エンドミルに
則って、本発明をより具体的に詳説する。
【００１８】本発明の被覆工具において、ダイヤモンド
のＸ線回折ピークの同定は、先述のＪＣＰＤＳファイル
のＸ線回折データ（ファイルＮｏ．６−０６７５）を用
い、六方晶グラファイトのＸ線回折ピークの同定は、同
ファイルＮｏ．２５−２８４のデータを用いて行った。
のＸ線回折ピークの同定は、先述のＪＣＰＤＳファイル
のＸ線回折データ（ファイルＮｏ．６−０６７５）を用
い、六方晶グラファイトのＸ線回折ピークの同定は、同
ファイルＮｏ．２５−２８４のデータを用いて行った。
【００１９】本発明の被覆工具を製作するためには、熱
フィラメント化学蒸着法（熱フィラメントＣＶＤ法）や
マイクロ波ＣＶＤ法、ｒｆプラズマＣＶＤ法、ＥＣＲプ
ラズマＣＶＤ法等を用いることができる。用途はソリッ
ドエンドミル型切削工具に限るものではなく、スローア
ウェイインサートを用いたエンドミル型切削工具やフラ
イス用工具、旋削用工具でも良い。また、硬質炭素膜を
被覆した耐摩耗材や金型、溶湯部品等でもよい。
フィラメント化学蒸着法（熱フィラメントＣＶＤ法）や
マイクロ波ＣＶＤ法、ｒｆプラズマＣＶＤ法、ＥＣＲプ
ラズマＣＶＤ法等を用いることができる。用途はソリッ
ドエンドミル型切削工具に限るものではなく、スローア
ウェイインサートを用いたエンドミル型切削工具やフラ
イス用工具、旋削用工具でも良い。また、硬質炭素膜を
被覆した耐摩耗材や金型、溶湯部品等でもよい。
【００２０】本発明の被覆工具において、硬質炭素膜の
成分は炭素だけに限るものではない。本発明の効果を消
失しない範囲でＣｏやＷ等の不可避の添加物、不純物を
例えば数質量％程度まで含むことが許容される。
成分は炭素だけに限るものではない。本発明の効果を消
失しない範囲でＣｏやＷ等の不可避の添加物、不純物を
例えば数質量％程度まで含むことが許容される。
【００２１】
【実施例】次に本発明の被覆工具を実施例によって具体
的に説明するが、これら実施例により本発明が限定され
るものでない。
的に説明するが、これら実施例により本発明が限定され
るものでない。
【００２２】（実施例１）ＷＣ：９４質量％、Ｃｏ：６
質量％の組成よりなり、同一ロットで焼結し作製したボ
ールエンドミル型の切削工具用超硬合金基体（直径６ｍ
ｍ、２枚刃）とＸ線回折測定用直方体基板（５×５×１
０ｍｍ３）を炉内にセットし、それらの表面に、熱フィ
ラメントＣＶＤ法により、約８μm厚さの硬質炭素膜を
成膜した。即ち、エンドミルの周辺に配置したタングス
テン製フィラメントに電流を流すことにより、これを約
２，５００℃に加熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比が０．５〜
３％のＣＨ4とＨ2の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍ
ｉｎだけ流し、圧力１．３３〜１３．３ｋＰａ、基板温
度９００〜１２００℃で成膜した。
質量％の組成よりなり、同一ロットで焼結し作製したボ
ールエンドミル型の切削工具用超硬合金基体（直径６ｍ
ｍ、２枚刃）とＸ線回折測定用直方体基板（５×５×１
０ｍｍ３）を炉内にセットし、それらの表面に、熱フィ
ラメントＣＶＤ法により、約８μm厚さの硬質炭素膜を
成膜した。即ち、エンドミルの周辺に配置したタングス
テン製フィラメントに電流を流すことにより、これを約
２，５００℃に加熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比が０．５〜
３％のＣＨ4とＨ2の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍ
ｉｎだけ流し、圧力１．３３〜１３．３ｋＰａ、基板温
度９００〜１２００℃で成膜した。
【００２３】図１は実施例１の条件で作製した本発明品
の代表的なＸ線回折パターンである。直方体基板の表面
に成膜した硬質炭素膜のＸ線回折パターンを、理学電気
（株）製のＸ線回折装置（ＲＵ−２００BH）で、ＣｕＫ
α１線（λ＝０．１５４０５ｎｍ）を用いて、２θ−θ
走査法により測定した。２θの測定範囲は１０〜１４５
°で、ノイズ（バックグランド）は装置に内蔵されたソ
フトにより除去した。表３に、図１のＸ線回折パターン
より求まった本発明品の硬質炭素膜の２θ値とＸ線回折
強度、および各ピークに対応する物質のＪＣＰＤＳファ
イルに記載されている２θ、面指数、Ｘ線回折強度の値
を示す。
の代表的なＸ線回折パターンである。直方体基板の表面
に成膜した硬質炭素膜のＸ線回折パターンを、理学電気
（株）製のＸ線回折装置（ＲＵ−２００BH）で、ＣｕＫ
α１線（λ＝０．１５４０５ｎｍ）を用いて、２θ−θ
走査法により測定した。２θの測定範囲は１０〜１４５
°で、ノイズ（バックグランド）は装置に内蔵されたソ
フトにより除去した。表３に、図１のＸ線回折パターン
より求まった本発明品の硬質炭素膜の２θ値とＸ線回折
強度、および各ピークに対応する物質のＪＣＰＤＳファ
イルに記載されている２θ、面指数、Ｘ線回折強度の値
を示す。
【００２４】
【表３】
【００２５】表４に、表３のダイヤモンド成分の実測値
と数式１とより求めたＴＣ（ｈｋｌ）値を示す。
と数式１とより求めたＴＣ（ｈｋｌ）値を示す。
【００２６】
【表４】
【００２７】図１と表３、４より、本発明品の硬質炭素
膜がダイヤモンドと六方晶グラファイトとより構成され
ており、ダイヤモンドの組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）が最大
であるピークは（４００）であり、六方晶グラファイト
は（００８）が最強であることがわかる。また、六方晶
グラファイトの（００８）のＸ線回折ピーク強度ＩＧ
（００８）はダイヤモンドの（４００）のＸ線回折ピー
ク強度ＩＤ（４００）の０．５１倍であることが分か
る。
膜がダイヤモンドと六方晶グラファイトとより構成され
ており、ダイヤモンドの組織係数ＴＣ（ｈｋｌ）が最大
であるピークは（４００）であり、六方晶グラファイト
は（００８）が最強であることがわかる。また、六方晶
グラファイトの（００８）のＸ線回折ピーク強度ＩＧ
（００８）はダイヤモンドの（４００）のＸ線回折ピー
ク強度ＩＤ（４００）の０．５１倍であることが分か
る。
【００２８】表５に実施例１によって作製した硬質炭素
膜被覆工具のＸ線回折測定結果を示す。
膜被覆工具のＸ線回折測定結果を示す。
【００２９】
【表５】
【００３０】いずれの試料も、ダイヤモンドの組織係数
はＴＣ（４００）が最大であった。これらの結果より、
本発明品は、いずれの硬質炭素膜も、組織係数ＴＣ（４
００）が最大であるダイヤモンドと、（００８）が最強
である六方晶グラファイトとから成っていることがわか
る。また、六方晶グラファイトの（００８）のＸ線回折
ピーク強度ＩＧ（００８）はダイヤモンドの（４００）
のＸ線回折ピーク強度ＩＤ（４００）の０．０５〜３．
７２倍であることがわかる。
はＴＣ（４００）が最大であった。これらの結果より、
本発明品は、いずれの硬質炭素膜も、組織係数ＴＣ（４
００）が最大であるダイヤモンドと、（００８）が最強
である六方晶グラファイトとから成っていることがわか
る。また、六方晶グラファイトの（００８）のＸ線回折
ピーク強度ＩＧ（００８）はダイヤモンドの（４００）
のＸ線回折ピーク強度ＩＤ（４００）の０．０５〜３．
７２倍であることがわかる。
【００３１】本発明品は、９００〜１２００℃の範囲内
で基板温度を高めるにつれてＩＧ（００８）とＴＣ（４
００）とが強まり、０．５〜３％の範囲内で成膜ガスの
ＣＨ 4／Ｈ2比を下げるにつれてＩＤ（４００）が強まっ
た。
で基板温度を高めるにつれてＩＧ（００８）とＴＣ（４
００）とが強まり、０．５〜３％の範囲内で成膜ガスの
ＣＨ 4／Ｈ2比を下げるにつれてＩＤ（４００）が強まっ
た。
【００３２】表５に本発明品の工具寿命の評価結果をま
とめて示す。工具寿命は、作製した発明品各３個を用い
て、グラファイト材を下記の条件で切削し、外周刃の刃
先の逃げ面摩耗量が０．０５ｍｍに達するまでに切削し
た切削長さにより示した。 被削材 グラファイト（Ｈs105） 工具形状 ボールノーズエンドミル（6φ、二枚刃） 工具回転数 ７９５８ 回転／分 切削速度 １５０ ｍ／分 送り速度 ３９８ｍｍ／分（０．０２５ｍｍ／刃） 切り込み ０．５ｍｍ 切削油 使用せず ショアー硬度Ｈｓが１０５と硬いグラファイト材を被削
材に用いることにより、工具の耐摩耗性を早期に評価で
きるようにした。逃げ面摩耗量は倍率１００の実体顕微
鏡と分解能１μmのスライドテーブルを用いて測定し
た。
とめて示す。工具寿命は、作製した発明品各３個を用い
て、グラファイト材を下記の条件で切削し、外周刃の刃
先の逃げ面摩耗量が０．０５ｍｍに達するまでに切削し
た切削長さにより示した。 被削材 グラファイト（Ｈs105） 工具形状 ボールノーズエンドミル（6φ、二枚刃） 工具回転数 ７９５８ 回転／分 切削速度 １５０ ｍ／分 送り速度 ３９８ｍｍ／分（０．０２５ｍｍ／刃） 切り込み ０．５ｍｍ 切削油 使用せず ショアー硬度Ｈｓが１０５と硬いグラファイト材を被削
材に用いることにより、工具の耐摩耗性を早期に評価で
きるようにした。逃げ面摩耗量は倍率１００の実体顕微
鏡と分解能１μmのスライドテーブルを用いて測定し
た。
【００３３】表５より、本発明品は、いずれも切削可能
長が５ｍ以上と長く、工具寿命が優れていることがわか
る。また、六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピ
ーク強度ＩＧ（００８）がダイヤモンドの（４００）Ｘ
線回折ピーク強度ＩＤ（４００）の０．１〜３倍の時切
削可能長が１０ｍ以上と長く、優れた工具寿命が得ら
れ、ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が０．１５〜２．
５の時は切削可能長が１５ｍ以上と更に長く、更に優れ
た工具寿命が得られ、ＩＧ（００８）／ ＩＤ（４０
０）が０．３５〜２の時は切削可能長が１８ｍ以上と最
も長く、最も優れた工具寿命が得られることがわかる。
長が５ｍ以上と長く、工具寿命が優れていることがわか
る。また、六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピ
ーク強度ＩＧ（００８）がダイヤモンドの（４００）Ｘ
線回折ピーク強度ＩＤ（４００）の０．１〜３倍の時切
削可能長が１０ｍ以上と長く、優れた工具寿命が得ら
れ、ＩＧ（００８）／ＩＤ（４００）が０．１５〜２．
５の時は切削可能長が１５ｍ以上と更に長く、更に優れ
た工具寿命が得られ、ＩＧ（００８）／ ＩＤ（４０
０）が０．３５〜２の時は切削可能長が１８ｍ以上と最
も長く、最も優れた工具寿命が得られることがわかる。
【００３４】（比較例１）硬質炭素膜において、ＴＣ
（４００）が最大であるダイヤモンドと（００８）のＸ
線回折強度が最強であるグラファイトの両者を含有する
ことの有無による工具寿命への影響を明らかにするため
に、実施例１と同一の組成と形状よりなるボールエンド
ミル型の切削工具用超硬合金基体（直径６ｍｍ、２枚
刃）とＸ線回折測定用直方体基板（５×５×１０ｍ
ｍ３）を炉内にセットし、それらの表面に、熱フィラメ
ントＣＶＤ法により、約８μm厚さの硬質炭素膜を成膜
した。タングステン製フィラメントを約２，３００℃に
加熱し、これに炭素濃度が４％のＣＨ 4とＨ2の混合ガス
を１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧力１３．３ｋＰ
ａ、基板温度８００℃で成膜した。
（４００）が最大であるダイヤモンドと（００８）のＸ
線回折強度が最強であるグラファイトの両者を含有する
ことの有無による工具寿命への影響を明らかにするため
に、実施例１と同一の組成と形状よりなるボールエンド
ミル型の切削工具用超硬合金基体（直径６ｍｍ、２枚
刃）とＸ線回折測定用直方体基板（５×５×１０ｍ
ｍ３）を炉内にセットし、それらの表面に、熱フィラメ
ントＣＶＤ法により、約８μm厚さの硬質炭素膜を成膜
した。タングステン製フィラメントを約２，３００℃に
加熱し、これに炭素濃度が４％のＣＨ 4とＨ2の混合ガス
を１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧力１３．３ｋＰ
ａ、基板温度８００℃で成膜した。
【００３５】作製した比較例１品の硬質炭素膜は、ＴＣ
（１１１）が最大のダイヤモンドから構成されており、
六方晶グラファイトのピークは観察されなかった。
（１１１）が最大のダイヤモンドから構成されており、
六方晶グラファイトのピークは観察されなかった。
【００３６】比較例１の条件で作製した切削工具各３個
を用いて実施例１と同一の条件で工具寿命を評価した結
果、３ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに達
し、本発明品よりも工具寿命が短く、工具として劣るこ
とがわかった。
を用いて実施例１と同一の条件で工具寿命を評価した結
果、３ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに達
し、本発明品よりも工具寿命が短く、工具として劣るこ
とがわかった。
【００３７】（実施例２）ＷＣ：９５．５質量％、Ｃ
ｏ：４．５質量％の組成よりなるスケアエンドミル型の
切削工具用超硬合金基体（直径６ｍｍ、２枚刃）を炉内
にセットし、それらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法
により、約８μm厚さの硬質炭素膜を成膜した。即ち、
エンドミルの周辺に配置したタングステン製フィラメン
トに電流を流すことにより、これを約２，５００℃に加
熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比が０．５〜３％のＣＨ4とＨ2
の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧
力１．３３〜１３．３ｋＰａ、基板温度９００〜１２０
０℃で成膜した。
ｏ：４．５質量％の組成よりなるスケアエンドミル型の
切削工具用超硬合金基体（直径６ｍｍ、２枚刃）を炉内
にセットし、それらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法
により、約８μm厚さの硬質炭素膜を成膜した。即ち、
エンドミルの周辺に配置したタングステン製フィラメン
トに電流を流すことにより、これを約２，５００℃に加
熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比が０．５〜３％のＣＨ4とＨ2
の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧
力１．３３〜１３．３ｋＰａ、基板温度９００〜１２０
０℃で成膜した。
【００３８】作製した本発明品の、スケアエンドミルの
刃先先端にある平坦部を試料面にして、Ｘ線回折パター
ンを、実施例１と同一の条件で測定した。スケアエンド
ミルの刃先先端の平坦部は面積が少ないため、平坦部以
外は出来るだけ加工で除去するとともに、ビニールテー
プで覆うことにより、出来るだけ、Ｘ線回折パターンに
影響しないように工夫した。
刃先先端にある平坦部を試料面にして、Ｘ線回折パター
ンを、実施例１と同一の条件で測定した。スケアエンド
ミルの刃先先端の平坦部は面積が少ないため、平坦部以
外は出来るだけ加工で除去するとともに、ビニールテー
プで覆うことにより、出来るだけ、Ｘ線回折パターンに
影響しないように工夫した。
【００３９】表６に上記の方法で測定した、本発明品の
硬質炭素膜中に含まれるダイヤモンドのＸ線回折ピーク
の代表的な測定結果を記した。
硬質炭素膜中に含まれるダイヤモンドのＸ線回折ピーク
の代表的な測定結果を記した。
【００４０】
【表６】
【００４１】表６より、本発明品の硬質炭素膜中は組織
係数ＴＣ（４００）が最大のダイヤモンドと（００８）
Ｘ線回折強度が最大の六方晶グラファイトの両者から成
っていることがわかる。また、六方晶グラファイトの
（００８）のＸ線回折ピーク強度ＩＧ（００８）はダイ
ヤモンドの（４００）のＸ線回折ピーク強度ＩＤ（４０
０）の１．５７倍であることがわかる。
係数ＴＣ（４００）が最大のダイヤモンドと（００８）
Ｘ線回折強度が最大の六方晶グラファイトの両者から成
っていることがわかる。また、六方晶グラファイトの
（００８）のＸ線回折ピーク強度ＩＧ（００８）はダイ
ヤモンドの（４００）のＸ線回折ピーク強度ＩＤ（４０
０）の１．５７倍であることがわかる。
【００４２】表７に、実施例２によって作製した硬質炭
素膜被覆工具のＸ線回折測定結果を示す。
素膜被覆工具のＸ線回折測定結果を示す。
【００４３】
【表７】
【００４４】実施例１と同様に、いずれの試料も、ダイ
ヤモンドの組織係数はＴＣ（４００）がＴＣ（ｈｋｌ）
中、最大であった。これらの結果より、本発明品は、い
ずれの硬質炭素膜も、組織係数ＴＣ（４００）が最大で
あるダイヤモンドと、（００８）が最強である六方晶グ
ラファイトとから成っていることがわかる。
ヤモンドの組織係数はＴＣ（４００）がＴＣ（ｈｋｌ）
中、最大であった。これらの結果より、本発明品は、い
ずれの硬質炭素膜も、組織係数ＴＣ（４００）が最大で
あるダイヤモンドと、（００８）が最強である六方晶グ
ラファイトとから成っていることがわかる。
【００４５】作製した発明品各３個を用いて、本発明品
の工具寿命を下記の条件で評価した。 被削材 Ａｌ−１１質量％Ｓｉ合金 工具形状 スケアエンドミル（6φ、二枚刃） 工具回転数 ７９５８ 回転／分 切削速度 １５０ ｍ／分 送り速度 ４７７ｍｍ／分（０．０３ｍｍ／刃） 切り込み ０．１ｍｍ 切削油 使用せず 工具寿命は実施例１と同様に、刃先の逃げ面摩耗量が
０．０５ｍｍに達するまでに切削した切削長さで示し
た。
の工具寿命を下記の条件で評価した。 被削材 Ａｌ−１１質量％Ｓｉ合金 工具形状 スケアエンドミル（6φ、二枚刃） 工具回転数 ７９５８ 回転／分 切削速度 １５０ ｍ／分 送り速度 ４７７ｍｍ／分（０．０３ｍｍ／刃） 切り込み ０．１ｍｍ 切削油 使用せず 工具寿命は実施例１と同様に、刃先の逃げ面摩耗量が
０．０５ｍｍに達するまでに切削した切削長さで示し
た。
【００４６】表７に工具寿命を併記する。これより本発
明品は、いずれも切削可能長が２０ｍ以上と長く、工具
寿命が優れていることがわかる。また、六方晶グラファ
イトの（００８）Ｘ線回折ピーク強度ＩＧ（００８）が
ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク強度ＩＤ（４
００）の０．１〜３倍の時、切削可能長が３０ｍ以上と
長く、優れた工具寿命が得られ、ＩＧ（００８）／ Ｉ
Ｄ（４００）が０．１５〜２．５の時は切削可能長が４
０ｍ以上と更に長く、更に優れた工具寿命が得られ、Ｉ
Ｇ（００８）／ ＩＤ（４００）が０．３５〜２の時は
切削可能長が５０ｍ以上と最も長く、特に優れた工具寿
命が得られることがわかる。
明品は、いずれも切削可能長が２０ｍ以上と長く、工具
寿命が優れていることがわかる。また、六方晶グラファ
イトの（００８）Ｘ線回折ピーク強度ＩＧ（００８）が
ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク強度ＩＤ（４
００）の０．１〜３倍の時、切削可能長が３０ｍ以上と
長く、優れた工具寿命が得られ、ＩＧ（００８）／ Ｉ
Ｄ（４００）が０．１５〜２．５の時は切削可能長が４
０ｍ以上と更に長く、更に優れた工具寿命が得られ、Ｉ
Ｇ（００８）／ ＩＤ（４００）が０．３５〜２の時は
切削可能長が５０ｍ以上と最も長く、特に優れた工具寿
命が得られることがわかる。
【００４７】（比較例２）硬質炭素膜において、ＴＣ
（４００）が最大であるダイヤモンドと（００８）のＸ
線回折強度が最強であるグラファイトの両者を含有する
ことの有無による工具寿命への影響を明らかにするため
に、実施例２と同一の組成と形状よりなるスケアエンド
ミル型の切削工具用超硬合金基体を炉内にセットし、そ
れらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法により、約８μ
m厚さの硬質炭素膜を成膜した。タングステン製フィラ
メントを約２，３００℃に加熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比
が０．４％のＣＨ4とＨ2の混合ガスを１５０ｃｍ３／ｍ
ｉｎだけ流し、圧力１３．３ｋＰａ、基板温度８００℃
で成膜した。
（４００）が最大であるダイヤモンドと（００８）のＸ
線回折強度が最強であるグラファイトの両者を含有する
ことの有無による工具寿命への影響を明らかにするため
に、実施例２と同一の組成と形状よりなるスケアエンド
ミル型の切削工具用超硬合金基体を炉内にセットし、そ
れらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法により、約８μ
m厚さの硬質炭素膜を成膜した。タングステン製フィラ
メントを約２，３００℃に加熱し、これにＣＨ4／Ｈ2比
が０．４％のＣＨ4とＨ2の混合ガスを１５０ｃｍ３／ｍ
ｉｎだけ流し、圧力１３．３ｋＰａ、基板温度８００℃
で成膜した。
【００４８】作製した比較例２品の硬質炭素膜は、ＴＣ
（４００）が最大のダイヤモンド成分を含有しているも
のの、六方晶グラファイトのピークは観察されなかっ
た。
（４００）が最大のダイヤモンド成分を含有しているも
のの、六方晶グラファイトのピークは観察されなかっ
た。
【００４９】比較例２の条件で作製した切削工具各３個
を用いて実施例２と同一の条件で工具寿命を評価した結
果、１０ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに
達し、本発明品よりも工具寿命が短く、工具として劣る
ことが判明した。
を用いて実施例２と同一の条件で工具寿命を評価した結
果、１０ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに
達し、本発明品よりも工具寿命が短く、工具として劣る
ことが判明した。
【００５０】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、耐摩耗
性と摺動性の両特性が良好であり、優れた工具耐久特性
を示す硬質炭素膜被覆工具を実現することができる。
性と摺動性の両特性が良好であり、優れた工具耐久特性
を示す硬質炭素膜被覆工具を実現することができる。
【図１】図１は、本発明の硬質炭素膜被覆工具のＸ線回
折パターンの一例を示す。
折パターンの一例を示す。
【図２】図２は、ダイヤモンドの単位格子を示す説明図
を示す。
を示す。
【図３】図３は、六方晶グラファイトの単位格子を示す
説明図を示す。
説明図を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C046 FF03 FF12 4G077 AA03 AB08 BA03 DB07 HA13 TA03 TA04 4K030 AA10 AA17 BA28 CA03 FA01 FA10 HA14 JA13 JA20 LA22
Claims (2)
- 【請求項１】 ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜を被
覆した硬質炭素膜被覆工具において、硬質炭素膜は組織
係数ＴＣ（ｈｋｌ）の中でＴＣ（４００）が最大である
ダイヤモンドとＸ線回折の最強ピークが（００８）面指
数である六方晶グラファイトの両者を含有していること
を特徴とする硬質炭素膜被覆工具。 - 【請求項２】 請求項１に記載の硬質炭素膜被覆工具に
おいて、前記六方晶グラファイトの（００８）面指数の
Ｘ線回折ピーク強度がダイヤモンドの（４００）面指数
のＸ線回折ピーク強度の０．１〜３倍であることを特徴
とする硬質炭素膜被覆工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36898699A JP2001179504A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 硬質炭素膜被覆工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36898699A JP2001179504A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 硬質炭素膜被覆工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001179504A true JP2001179504A (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=18493275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36898699A Withdrawn JP2001179504A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 硬質炭素膜被覆工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001179504A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005011902A1 (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-10 | A.L.M.T.Corp. | ダイヤモンド膜被覆工具およびその製造方法 |
| JP2005524801A (ja) * | 2002-04-24 | 2005-08-18 | ディアッコン ゲーエムベーハー | 滑動部材および当該滑動部材を製造する方法 |
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| EP2671967A1 (en) * | 2012-06-07 | 2013-12-11 | Union Tool Co. | Diamond film for cutting-tools |
-
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- 1999-12-27 JP JP36898699A patent/JP2001179504A/ja not_active Withdrawn
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| WO2005011902A1 (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-10 | A.L.M.T.Corp. | ダイヤモンド膜被覆工具およびその製造方法 |
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