JP2001175316A - Fa system provided with lot progress/stop function - Google Patents

Fa system provided with lot progress/stop function

Info

Publication number
JP2001175316A
JP2001175316A JP35687699A JP35687699A JP2001175316A JP 2001175316 A JP2001175316 A JP 2001175316A JP 35687699 A JP35687699 A JP 35687699A JP 35687699 A JP35687699 A JP 35687699A JP 2001175316 A JP2001175316 A JP 2001175316A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
progress
lot
stop
information
reservation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP35687699A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Sakaguchi
賢司 坂口
Yasuhiro Marume
康博 丸目
Takatsugu Takechi
隆次 武智
Toshiyuki Watanabe
稔之 渡邊
Masaki Otani
雅樹 大谷
Takamasa Inobe
隆昌 伊野部
Katsuya Ota
勝也 太田
Yasuhiro Sato
康弘 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Engineering Corp, Mitsubishi Electric Corp filed Critical Renesas Semiconductor Engineering Corp
Priority to JP35687699A priority Critical patent/JP2001175316A/en
Priority to TW089126770A priority patent/TW460368B/en
Publication of JP2001175316A publication Critical patent/JP2001175316A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Landscapes

  • General Factory Administration (AREA)
  • Control By Computers (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an FA system provided with a function for automatically and temporarily stopping the progress of a lot by reserving the progress/stop of the lot. SOLUTION: The FA system provided with an FA computer 1 for controlling the manufacturing processes of a semiconductor device or the like and capable of controlling the aggregate (lot) of articles to be processed by the same processing condition under the control of the FA computer 1 and processing the lot of the articles by the determined order of processes while automatically distributing the lot through a semiconductor manufacturing equipment 3, a stocker 4 and carrying equipment 6 is provided with a progress/stop reservation means for reserving the progress/stop of the lot by specifying the identification number of the lot and a prescribed process to be progressed/stopped and a function for automatically progressing/stopping the lot on a stage satisfying the condition specified by the progress/stop reservation means.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体装
置の製造プロセスを制御するＦＡ計算機を備えたＦＡシ
ステムにおいて、ロットの進捗停止を予約することで自
動的にロットの進捗を一時停止させる機能を持たせたＦ
Ａシステムに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an FA system provided with an FA computer for controlling a semiconductor device manufacturing process, for example. F held
A system.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体装置、液晶装置等の製造ラインに
おいて、同一処理条件で処理される物品（ウエハ、液晶
等）の集合体であるロットは、ＦＡ計算機システムの制
御の下で管理され、あらかじめ決められた工程の順番で
加工処理される。しかしながら、実験や開発などの理由
によって、任意に指定する工程において、ロットの進捗
を一度止めて、ロットの処理状況や出来具合を測定又は
確認することがある。2. Description of the Related Art In a manufacturing line for semiconductor devices, liquid crystal devices, etc., a lot, which is an aggregate of articles (wafers, liquid crystals, etc.) processed under the same processing conditions, is managed under the control of an FA computer system. Processing is performed in the order of the determined steps. However, in an arbitrarily designated step, the progress of the lot may be stopped once, and the processing status and the state of the lot may be measured or confirmed for a reason such as an experiment or development.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置等の
製造ラインにおいて、ロットを任意の工程で進捗を停止
させるためには、作業者により進捗停止が必要な全ての
ロット（数１００ロット）の進捗を細かく追跡する必要
があり、人手による追跡はかなり困難で、ストップさせ
たい工程を通過していることが多々あった。In a conventional manufacturing line for semiconductor devices and the like, in order to stop the progress of a lot at an arbitrary step, all lots (several hundred lots) that need to be stopped by an operator are required. It was necessary to track the progress in detail, and tracking by hand was quite difficult.

【０００４】また、ロットを任意の工程で進捗停止させ
るためには、多くの作業時間と人手を必要とした。[0004] In order to stop the progress of a lot in an arbitrary process, much work time and labor are required.

【０００５】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたものであり、自動的にロットの進捗を
停止させる機能を備えたＦＡシステムを提供することを
目的とするThe present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to provide an FA system having a function of automatically stopping the progress of a lot.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、製造
プロセスを制御するＦＡ計算機を備え、同一処理条件で
処理される物品の集合体（ロット）を、ＦＡ計算機の制
御下で管理し、決められた工程の順番で自動物流しなが
ら加工処理されるＦＡシステムにおいて、ロットの識別
番号（ロットＮＯ）と進捗停止させたい所定の工程を指
定してロットの進捗停止を予約する進捗停止予約手段
と、この進捗停止予約手段により指定した条件を満たし
た段階で、該当ロットを自動的に一時進捗停止させる機
能を備えたことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, an FA computer for controlling a manufacturing process is provided, and an assembly (lot) of articles processed under the same processing conditions is managed under the control of the FA computer. In an FA system in which processing is performed while performing automatic distribution in a predetermined process order, a progress stop reservation in which a lot progress stop is reserved by designating a lot identification number (lot NO) and a predetermined process to be stopped. Means and a function for automatically and temporarily stopping the progress of the lot when the condition specified by the progress stop reservation means is satisfied.

【０００７】請求項２の発明は、製造プロセスを制御す
るＦＡ計算機を備え、同一処理条件で処理される物品の
集合体（ロット）を、ＦＡ計算機の制御下で管理し、決
められた工程の順番で自動物流しながら加工処理される
ＦＡシステムにおいて、加工処理される工程の順番が同
一のロットに対して、進捗停止させたい工程を指定して
ロットの進捗停止を予約する進捗停止予約手段と、この
進捗停止予約手段により指定した条件を満たしたロット
の進捗を自動的に一時停止させる機能を備えたことを特
徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided an FA computer for controlling a manufacturing process, wherein an assembly (lot) of articles processed under the same processing conditions is managed under the control of the FA computer, and a predetermined process is performed. A progress stop reservation means for designating a process to be stopped for a lot in which the order of the processes to be processed is the same in a FA system which is processed while performing automatic distribution in an order, and reserves the progress stop of the lot; And a function of automatically suspending the progress of a lot satisfying the condition specified by the progress stop reservation means.

【０００８】請求項３の発明は、進捗停止予約手段にお
いて、進捗停止させたい場所、例えばストッカ、装置、
ロットの物流上停止可能な場所を指定してロットの進捗
停止を予約することを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the progress stop reservation means, a place where the progress is to be stopped, for example, a stocker, an apparatus,
The present invention is characterized in that a stop of the progress of a lot is reserved by designating a place where the lot can be stopped in distribution.

【０００９】請求項４の発明は、進捗停止となったロッ
トに対して進捗停止を解除する機能を備えたことを特徴
とする。The invention according to a fourth aspect is characterized in that a function is provided for canceling the progress stop for the lot whose progress has been stopped.

【００１０】請求項５の発明は、進捗停止予約手段にお
いて、ロットの進捗停止の予約を取り消す機能を備えた
ことを特徴とする。The invention according to claim 5 is characterized in that the progress stop reservation means is provided with a function of canceling the reservation of the progress stop of the lot.

【００１１】請求項６の発明は、進捗停止予約手段にお
いて、進捗停止させる条件を変更する機能を備えたこと
を特徴とする。The invention according to claim 6 is characterized in that the progress stop reservation means has a function of changing a condition for stopping progress.

【００１２】請求項７の発明は、ロットが進捗停止した
場合、作業者に進捗停止したロット識別番号、工程、場
所を通知する機能を備えたことを特徴とする。The invention according to claim 7 is characterized in that when a lot stops progressing, a function is provided for notifying an operator of a lot identification number, a process, and a place where the progress has stopped.

【００１３】請求項８の発明は、進捗停止予約手段にお
いて、進捗停止の予約は１回のオペレーションで複数工
程指定可能であることと、オペレーションを数回に分け
て行うことができる機能を備えたことを特徴とする。The invention of claim 8 is characterized in that the progress stop reservation means has a function that the reservation of progress stop can be designated in a plurality of steps by one operation and that the operation can be divided into several operations. It is characterized by the following.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１はこの発明の
実施の形態による半導体装置の製造プロセスを制御する
ＦＡ計算機を有するライン（ＦＡシステム）を示す構成
図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a configuration diagram showing a line (FA system) having an FA computer for controlling a manufacturing process of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【００１５】図１において、半導体装置の製造プロセス
を制御するＦＡ計算機１には、ＦＡ計算機１の情報表示
やＦＡ計算機１に対して所定事項を指示するＦＡマンマ
シン画面を有する端末２と、同一処理条件で処理される
ウエハの集合体であるロットを加工する複数台の半導体
製造装置３と、ロットの搬送を行う複数機の搬送機器６
と、半導体製造装置３又は搬送機器６による処理を待つ
ためロットを一時溜めておく複数台のストッカ４と、ロ
ットの進捗停止が発生したことを作業者に通知する進捗
停止報告手段５（Ｅメール、ポケットベル、放送等）が
接続されている。In FIG. 1, an FA computer 1 for controlling a manufacturing process of a semiconductor device is the same as a terminal 2 having an FA man-machine screen for displaying information of the FA computer 1 and instructing the FA computer 1 to perform predetermined items. A plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 3 for processing a lot, which is an aggregate of wafers processed under processing conditions, and a plurality of transfer apparatuses 6 for transferring the lot
A plurality of stockers 4 for temporarily storing lots to wait for processing by the semiconductor manufacturing apparatus 3 or the transport device 6; and a progress stop report means 5 (E-mail) for notifying an operator that the progress of the lot has stopped. , Pager, broadcast, etc.).

【００１６】ＦＡ計算機１が備える情報としては、半導
体装置の製造を行う上で必要となる、半導体製造装置３
により処理する工程の順番を表わす情報である「製造情
報β」と、ロットの仕掛場所や次に処理すべき工程を表
わす情報である「ロット進捗情報δ」があり、「ロット
進捗情報γ」は各工程処理終了時点で「製造情報β」を
基にして、次に処理すべき工程に更新される。更に、Ｆ
Ａ計算機１が有する情報として、端末２からの進捗停止
予約により指定した情報である「進捗停止予約情報α」
と、進捗停止が発生したか否かの情報である「ロット状
態情報γ」があり、この「ロット状態情報γ」を基に、
ＦＡ計算機１の制御上進捗を進めるか否かの判定を行
う。The information provided in the FA computer 1 includes a semiconductor manufacturing device 3 necessary for manufacturing a semiconductor device.
There is “manufacturing information β” which is information indicating the order of processes to be processed according to the above, and “lot progress information δ” which is information indicating a work place of a lot and a process to be processed next, and “lot progress information γ” is At the end of each process, the process is updated to the next process based on the “manufacturing information β”. Further, F
“Progress stop reservation information α” which is information designated by the progress stop reservation from the terminal 2 as information held by the A computer 1
And "lot status information γ" which is information on whether or not a progress stop has occurred. Based on this "lot status information γ",
It is determined whether or not the progress of the control of the FA computer 1 is advanced.

【００１７】図４から図９は、ＦＡ計算機１における上
記の情報群を表わした図である。図４は「製造情報β」
を表わすものであり、例えば製造情報がパターン１、パ
ターン２、パターン３とあり、それぞれ処理される工程
の順番が示されており、製造情報ＮＯにより区別されて
いる。すなわち、パターン１である製造情報ＮＯ．Ａ
は、工程Ａ→工程Ｂ→工程Ｃ→工程Ｄ…の順番で加工処
理される。パターン２である製造情報ＮＯ．Ｂは、工程
Ｅ→工程Ｆ→工程Ｇ→工程Ｈ…の順番で加工処理され
る。パターン３である製造情報ＮＯ．Ｃは、工程Ｉ→工
程Ｊ→工程Ｋ→工程Ｌ…の順番で加工処理される。FIGS. 4 to 9 are diagrams showing the above information group in the FA computer 1. FIG. FIG. 4 shows “manufacturing information β”.
For example, manufacturing information includes pattern 1, pattern 2, and pattern 3, indicating the order of the processes to be processed, and is distinguished by manufacturing information NO. That is, the manufacturing information NO. A
Are processed in the order of step A → step B → step C → step D. The manufacturing information NO. B is processed in the order of step E → step F → step G → step H. The manufacturing information NO. C is processed in the order of process I → process J → process K → process L.

【００１８】図５は「ロット進捗情報δ」を表わすもの
であり、各々のロット（ロット識別番号；ロットＮＯ．
Ａ，ロットＮＯ．Ｂ，ロットＮＯ．Ｃ…）の仕掛場所や
次に処理すべき工程を表わしている。また、この「ロッ
ト進捗情報δ」にある製造情報ＮＯにより上記のどのパ
ターンの「製造情報」を基に処理されるか決定される。
例えば、図５の「ロット進捗情報」において、製造情報
ＮＯがＡであるロット（ロットＮＯ．Ａ及びＮＯ．Ｂ）
は、図４の製造情報ＮＯがＡであるパターン１の製造情
報を基に処理されることになり、工程Ａ→工程Ｂ→工程
Ｃ→工程Ｄ…の順番で加工処理されることになる。ま
た、図５に示すロットＮＯ．Ａのロット進捗情報の現在
の工程は工程Ａであるが、工程Ａで処理が終了すると図
４の製造情報ＮＯ．Ａの情報を参照すると、工程Ａの次
に処理される工程は工程Ｂであるため工程Ｂに更新され
る。このようにしてロットは決められた処理工程で処理
される。FIG. 5 shows “lot progress information δ”, and each lot (lot identification number; lot number).
A, lot No. B, lot No. C ...) and the next process to be processed. Further, the manufacturing information NO in the "lot progress information δ" determines which pattern of the above "manufacturing information" is to be processed.
For example, in the “lot progress information” of FIG. 5, lots whose manufacturing information No. is A (lot No. A and No. B)
Are processed based on the manufacturing information of the pattern 1 in which the manufacturing information NO in FIG. 4 is A, and the processing is performed in the order of step A → step B → step C → step D. The lot No. shown in FIG. The current process of the lot progress information of process A is process A. When the process is completed in process A, the manufacturing information No. in FIG. Referring to the information of A, since the process to be processed after the process A is the process B, the process is updated to the process B. In this way, the lot is processed in a predetermined processing step.

【００１９】次に、端末２を介してのロットの進捗停止
の予約手順について説明する。例えば図６に示している
ロットＮＯ．Ａのロットは、「進捗停止予約情報」に
“データなし”とあるように進捗停止の予約がない状態
であり、また、「ロット進捗情報」に示すように、製造
情報ＮＯがＡ、次に処理される工程が工程Ａ、現在仕掛
っている場所がストッカＡの状態である。Next, a description will be given of a reservation procedure for stopping the progress of a lot via the terminal 2. For example, the lot No. shown in FIG. The lot A is in a state where there is no reservation for progress stop, as indicated by "no data" in the "progress stop reservation information". Also, as shown in the "lot progress information", the manufacturing information NO is A, then The process to be processed is the process A, and the place where the process is currently being performed is the state of the stocker A.

【００２０】そして、上記ロットＮＯ．Ａに対して進捗
停止の予約を行う。まず、図２のフローチャートに示す
ように、端末２から進捗停止させたいロットＮＯ＝Ａ、
進捗停止する工程＝工程Ｃ、進捗停止する場所＝ストッ
カＣを指定する。そうすると、図７に示すように、「進
捗停止予約情報」に端末２から指定した情報が登録さ
れ、進捗停止の予約は完了する。この状態では、「ロッ
ト状態情報」は進捗停止が発生していないため進捗停止
発生有無の情報は“無し”となっている。「ロット進捗
情報」はロットＮＯがＡであるロットが工程Ａで処理さ
れていないためそのままの状態となっている。なお、こ
こで進捗停止の予約を指定できる工程数は、１工程だけ
ではなく、１回のオペレーションで複数の進捗停止工程
を指定でき、オペレーションを数回に分けて行うこと
で、可能な限りの数の進捗停止工程を指定できる。The above lot No. A is reserved for A to stop progress. First, as shown in the flowchart of FIG.
The process to stop progress = process C and the place to stop progress = stocker C are specified. Then, as shown in FIG. 7, the information specified from the terminal 2 is registered in the "progress stop reservation information", and the reservation of the progress stop is completed. In this state, since the progress stop has not occurred in the “lot status information”, the information indicating whether the progress stop has occurred is “none”. The “lot progress information” remains as it is because the lot with the lot number A is not processed in the process A. Here, the number of processes for which progress stop reservation can be specified is not limited to one process, but a plurality of progress stop processes can be specified in one operation. You can specify a number of progress stop processes.

【００２１】次に、図３のフローチャートによりロット
が進捗停止になるまでの過程について説明する。図７に
示すように、進捗停止の予約を行ったロットＮＯがＡで
あるロットは、現在仕掛っているストッカＡから工程Ａ
の処理を行うために、半導体製造装置へ搬送機器により
搬送されて加工処理される。その後、次に処理される工
程は工程Ｂとなる。工程Ｂは進捗停止の予約工程ではな
いため、ストッカＢを経由して工程Ｂの処理を行うため
に半導体製造装置へ搬送機器により運ばれ加工処理され
る。Next, the process until the lot stops progressing will be described with reference to the flowchart of FIG. As shown in FIG. 7, the lot for which the lot number for which the reservation of the progress stop was made is A is made from the stocker A currently in process to the process A.
In order to perform the above processing, the wafer is transported to a semiconductor manufacturing apparatus by a transport device and processed. Thereafter, the next step to be processed is Step B. Since the process B is not a reservation process for stopping the progress, the process B is carried to the semiconductor manufacturing apparatus by the transfer device to be processed through the stocker B in order to perform the process of the process B.

【００２２】その後、次に処理される工程は工程Ｃとな
り、工程Ｃは進捗停止の予約工程であり、かつロットＮ
ＯがＡであるためストッカＣに到着すると、図７の進捗
停止予約情報の条件を満たすことになり、ＦＡシステム
は図８の「ロット状態情報」の進捗停止発生有無を“有
り”に更新する。このロット状態情報の進捗停止発生有
無が“有り”の状態にあるとＦＡシステム制御上、当該
ロットの進捗は停止状態のままとなる。Thereafter, the process to be processed next is the process C, which is a reservation process for stopping the progress, and
When O arrives at the stocker C because it is A, the condition of the progress stop reservation information in FIG. 7 is satisfied, and the FA system updates the progress stop occurrence presence / absence of “lot status information” in FIG. . If the progress stop occurrence in the lot state information is “present”, the progress of the lot remains stopped under FA system control.

【００２３】以上のように実施の形態１によれば、進捗
停止予約機能により、数百の進捗停止必要なロットの進
捗を細かく追跡する必要がなくなり、それによりライン
作業の負荷軽減が実現される効果がある。また、ライン
作業者のロット進捗の追跡ミスにより、進捗させたい工
程を既に通過していることもなくなり、確実に進捗停止
させることが可能となる。As described above, according to the first embodiment, the progress stop reservation function eliminates the need to finely track the progress of hundreds of lots requiring progress stop, thereby reducing the load on the line work. effective. Further, due to a mistake in tracking the progress of the lot by the line operator, it is no longer necessary to pass the process to be advanced, and the progress can be reliably stopped.

【００２４】上記では、ロットの進捗停止の予約につい
て説明したが、進捗停止の予約後、端末２より予約の取
り消しや予約の変更を行うことも可能である。進捗停止
予約の取り消しは、端末２から既に予約されているロッ
トのロットＮＯと進捗停止する工程、進捗停止する場所
を指定することで該当するデータが削除され、進捗停止
の予約は取り消される。In the above, the reservation of the progress stop of the lot has been described. However, after the reservation of the progress stop, the reservation can be canceled or the reservation can be changed from the terminal 2. The cancellation of the progress stop reservation is performed by designating the lot number of the already reserved lot, the process to stop the progress, and the place to stop the progress from the terminal 2 to delete the corresponding data and cancel the reservation for the progress stop.

【００２５】例えば、図７における進捗停止予約情報
は、ロットＮＯ．Ａのロットが次に処理される工程が工
程Ｃであり、仕掛場所がストッカＣの場合に進捗停止す
るように予約されている。この予約を取り消す場合は、
端末２からロットＮＯ＝Ａ、進捗停止する工程＝工程
Ｃ、進捗停止する場所＝ストッカＣを指定すると、この
指定した情報に該当する進捗停止予約情報が削除され、
進捗停止の予約は取り消される。For example, the progress stop reservation information in FIG. The process in which the lot A is processed next is the process C, and the reservation is made so that the progress is stopped when the in-process place is the stocker C. To cancel this reservation,
When the user designates the lot number = A, the step to stop the progress = step C, and the place to stop the progress = stocker C from the terminal 2, the progress stop reservation information corresponding to the specified information is deleted.
The reservation to stop progress is canceled.

【００２６】また、進捗停止の予約変更機能は、端末２
から既に予約されている進捗停止予約情報の進捗停止場
所の変更を行う機能であり、例えば、図７の進捗停止予
約情報において進捗停止場所はストッカＣであるが、進
捗停止場所をストッカＤに変更するには、端末２からロ
ットＮＯ＝Ａと進捗停止場所＝ストッカＤを指定するこ
とにより、進捗停止予約情報のロットＮＯがＡであるロ
ットの進捗停止予約情報の進捗停止場所はストッカＤに
更新される。なお、この進捗停止予約の取り消し機能と
進捗停止予約変更機能は、実施の形態２で説明する進捗
停止予約においても実現できる。The function for changing the reservation for stopping the progress is provided by the terminal 2.
This function is used to change the progress stop location of the progress stop reservation information that has already been reserved. For example, in the progress stop reservation information of FIG. 7, the progress stop location is the stocker C, but the progress stop location is changed to the stocker D. To do so, the lot number = A and the progress stop location = stocker D are designated from the terminal 2 so that the progress stop location of the progress stop reservation information of the lot whose lot number is A is updated to the stocker D. Is done. The function of canceling the progress stop reservation and the function of changing the progress stop reservation can also be realized in the progress stop reservation described in the second embodiment.

【００２７】上記実施の形態１では、進捗の停止場所を
ストッカとして説明したが、ストッカだけではなく、装
置やロットの物流上可能な場所で進捗停止可能である。In the first embodiment, the place where the progress is stopped is described as the stocker. However, the progress can be stopped not only at the stocker but also at a place where the distribution of the device or lot is possible.

【００２８】実施の形態２．実施の形態１では端末２か
らロット識別番号（ロットＮＯ）と進捗停止させたい工
程を指定することにより進捗停止の予約を行ったが、実
施の形態２では端末２から製造情報ＮＯと工程を指定す
ることによって条件を満たした該当ロットを自動的に進
捗停止する機能について説明する。Embodiment 2 In the first embodiment, the reservation of the progress stop is made by specifying the lot identification number (lot NO) and the process to be stopped from the terminal 2, but in the second embodiment, the manufacturing information NO and the process are specified from the terminal 2. The function for automatically stopping the progress of the lot satisfying the conditions will be described.

【００２９】前述したように、図４の「製造情報」は、
例えばパターン１、パターン２、パターン３とあり、そ
れぞれ処理される工程の順番が示されており、製造情報
ＮＯにより区別されている。また、図５の「ロット進捗
情報」にある製造情報ＮＯにより上記のどのパターンの
製造情報を基に処理されるか決定される。例えば、図５
のロット進捗情報において、ロットＮＯがＡであるロッ
トは製造情報ＮＯがＡであり、図４の製造情報ＮＯがＡ
であるパターン１の製造情報を基に処理されることにな
り、工程Ａ→工程Ｂ→工程Ｃ→工程Ｄ…の順番で加工処
理されることになる。ロットＮＯがＣのロットは製造情
報ＮＯがＣであり、図４の製造情報ＮＯがＣであるパタ
ーン３の製造情報を基に処理されることになり、工程Ｉ
→工程Ｊ→工程Ｃ→工程Ｌ…の順番で加工処理されるこ
とになる。また、図５の「ロット進捗情報」のロットＮ
ＯがＡであるロットの工程は工程Ａであるが、工程Ａで
処理が終了すると図４の製造情報ＮＯがＡの情報を参照
すると工程Ａの次に処理される工程は工程Ｂであるため
工程Ｂに更新される。このようにしてロットは決められ
た処理工程で処理される。As described above, the “manufacturing information” in FIG.
For example, there are a pattern 1, a pattern 2 and a pattern 3, which indicate the order of the processes to be processed, and are distinguished by the manufacturing information NO. Further, it is determined which pattern of the manufacturing information is processed based on the manufacturing information NO in the “lot progress information” of FIG. For example, FIG.
In the lot progress information, the lot whose lot number is A has the manufacturing information NO of A, and the manufacturing information NO of FIG.
Are processed on the basis of the manufacturing information of the pattern 1, which is the process A, the process B, the process C, the process D, and so on. The lot having the lot number C is processed based on the manufacturing information of the pattern 3 in which the manufacturing information NO is C and the manufacturing information NO is C in FIG.
Processing is performed in the order of → step J → step C → step L. Also, the lot N in the “lot progress information” of FIG.
The process of the lot in which O is A is the process A, but when the process is completed in the process A, if the manufacturing information NO in FIG. The process is updated to the process B. In this way, the lot is processed in a predetermined processing step.

【００３０】次に、端末２を用いて実施の形態２による
進捗停止の予約手順について説明する。図１１〜図１４
は実施の形態２の手順によるＦＡシステム上の情報群を
示した図である。例えば図１１に示しているロットＮＯ
がＡのロットは進捗停止の予約がない状態であり、製造
情報ＮＯがＡ、次に処理される工程が工程Ａ、現在仕掛
っている場所がストッカＡである状態で、進捗停止の予
約を行う。Next, a description will be given of a reservation procedure for stopping progress according to the second embodiment using the terminal 2. 11 to 14
FIG. 8 is a diagram showing a group of information on the FA system according to the procedure of the second embodiment. For example, the lot number shown in FIG.
The lot A is in a state where there is no progress stop reservation, the manufacturing information NO is A, the next process to be processed is the process A, and the place where the work is currently being performed is the stocker A. Do.

【００３１】まず、図２のフローチャートに示すよう
に、端末２から進捗停止させたいロットの製造情報ＮＯ
＝Ａと進捗停止する工程＝工程Ｃ、進捗停止する場所＝
ストッカＣを指定する。この場合、指定した工程Ｃは上
記で製造情報ＮＯ＝Ａと指定したことから、図４よりパ
ターン１の情報に含まれていなければならない。First, as shown in the flow chart of FIG.
= A and the process where the progress stops = Process C, the place where the progress stops =
Specify the stocker C. In this case, since the specified process C is specified as manufacturing information NO = A above, it must be included in the information of pattern 1 from FIG.

【００３２】そして、図１２に示すように「進捗停止予
約情報」に端末２から指定した情報が登録され進捗停止
の予約は完了する。この状態では、ロット状態情報は進
捗停止が発生していないため進捗停止発生有無の情報は
“無し”となっている。また、「ロット進捗情報」はロ
ットＮＯがＡであるロットは工程Ａで処理されていない
ためそのままの状態となっている。Then, as shown in FIG. 12, the information specified by the terminal 2 is registered in the "progress stop reservation information", and the reservation of the progress stop is completed. In this state, since the lot status information does not indicate that the progress stop has occurred, the information indicating whether the progress stop has occurred is “none”. The “lot progress information” remains unchanged since the lot with the lot number A is not processed in the process A.

【００３３】次に、図１０のフローチャートに基づきロ
ットが進捗停止になるまでの過程について説明する。例
えば、ロットＮＯがＡであるロットは現在仕掛っている
ストッカＡから工程Ａの処理を行うために該当の半導体
製造装置へ搬送機器により運ばれて加工処理される。そ
の後、次に処理される工程は工程Ｂとなる。工程Ｂは進
捗停止の予約工程ではないため、ストッカＢを経由して
工程Ｂの処理を行うために半導体製造装置へ搬送機器に
より運ばれ加工処理される。Next, the process until the lot stops progressing will be described with reference to the flowchart of FIG. For example, a lot whose lot number is A is transported from a stocker A currently in process to a corresponding semiconductor manufacturing apparatus by a transfer device in order to perform a process A, and is processed. Thereafter, the next step to be processed is Step B. Since the process B is not a reservation process for stopping the progress, the process B is carried to the semiconductor manufacturing apparatus by the transfer device to be processed through the stocker B in order to perform the process of the process B.

【００３４】その後、次に処理される工程は工程Ｃとな
り、工程Ｃは図１２の「進捗停止予約情報」から分かる
ように進捗停止の予約工程であり、かつロットＮＯがＡ
であるロットのロット進捗情報の製造情報ＮＯがＡであ
るためストッカＣに到着すると、図１２の進捗停止予約
情報の条件を満たすことになり、ＦＡシステムは図１３
の「ロット状態情報」のロット進捗停止発生有無を“有
り”に更新し、ロットＮＯがＡのロットは進捗停止とな
る。このロット状態情報の進捗停止発生有無が“有り”
の状態にあるとＦＡシステムの制御上進捗は停止状態の
ままとなる。Thereafter, the process to be processed next is the process C. The process C is a reservation process for stopping the progress as can be seen from the "progress stop reservation information" in FIG.
13 arrives at the stocker C because the manufacturing information NO of the lot progress information of the lot is A, the condition of the progress stop reservation information of FIG.
Of the lot progress stop occurrence in the "lot status information" is updated to "present", and the lot with the lot number A is stopped. The presence / absence of progress stop of this lot status information is “Yes”
In the state described above, the progress of control of the FA system remains stopped.

【００３５】図５のロットＮＯがＢのロットも製造情報
ＮＯがＡであり、かつ工程Ｂの処理が終了すると次に処
理される工程は工程ＣであるためストッカＣに到着する
と図１２の進捗停止予約情報の条件を満たすことになり
進捗停止となる。ロットＮＯがＣのロットの場合は工程
Ｊで処理が終了すると、次に処理される工程は工程Ｃと
なるが、製造情報ＮＯがＣであるため、図１２の進捗停
止予約情報の条件を満たさないため進捗停止とならな
い。When the lot No. B shown in FIG. 5 also has the manufacturing information No. A, and when the process in the process B is completed, the next process to be processed is the process C. The condition of the stop reservation information is satisfied, and the progress is stopped. When the lot NO is the lot C, when the process is completed in the process J, the process to be processed next is the process C. However, since the manufacturing information NO is C, the condition of the progress stop reservation information in FIG. Because there is no progress, it does not stop.

【００３６】以上のように実施の形態２の進捗停止予約
機能により、数百の進捗停止必要なロットの進捗を細か
く追跡する必要がなくなり、それによりライン作業の負
荷軽減が実現される。また、ライン作業者のロット進捗
の追跡ミスにより、進捗させたい工程を既に通過してい
ることもなくなり、確実に進捗停止させることが可能と
なった。As described above, the progress stop reservation function of the second embodiment eliminates the need to finely track the progress of hundreds of lots whose progress needs to be stopped, thereby reducing the load on the line work. Further, due to a mistake in tracking the progress of the lot by the line operator, the process to be advanced is no longer passed, and the progress can be reliably stopped.

【００３７】なお、実施の形態２では進捗の停止場所を
ストッカとして説明したが、ストッカだけではなく、装
置やロットの物流上可能な場所で進捗停止可能である。In the second embodiment, the place where the progress is stopped is described as the stocker. However, the progress can be stopped not only in the stocker but also in a place where the distribution of the device or the lot is possible.

【００３８】実施の形態３．実施の形態１及び実施の形
態２では、２種類の進捗停止の予約について説明した
が、実施の形態３では進捗停止となったロットの仕掛停
止の解除（ロット進捗の再開）について説明する。Embodiment 3 In the first and second embodiments, two types of reservation of progress stop have been described. In the third embodiment, cancellation of work in progress of a lot whose progress has been stopped (resumption of lot progress) will be described.

【００３９】実施の形態１及び実施の形態２において、
進捗停止予約したロットが進捗停止した場合、ＦＡ計算
機１により作業者の所有するポケットベルやＥメール、
放送等の進捗停止報告手段５を用いて進捗停止したロッ
トのロットＮＯや、進捗停止した工程、進捗停止した場
所を通知する。その結果、上記通知を受けた作業者は、
敏速に進捗停止となったロットを探し出すことが可能と
なり、ロットの処理状況や出来具合の測定・確認ができ
る。作業者は、このロットの処理状況や出来具合の測定
・確認作業が終了すると、再びロットの進捗を進めるた
めに、ロットの進捗停止解除を行わなければならない。In the first and second embodiments,
When the progress of the reserved lot has been stopped, the FA computer 1 uses the pager, e-mail,
The lot number of the lot whose progress has been stopped, the process whose progress has been stopped, and the place where the progress has been stopped are notified using the progress stop reporting means 5 such as a broadcast. As a result, the worker who received the above notification,
It is possible to quickly find out the lot whose progress has been stopped, and it is possible to measure and check the processing status and the state of the lot. After finishing the work of measuring and confirming the processing status and performance of the lot, the operator must cancel the progress stop of the lot in order to advance the lot again.

【００４０】ここで、進捗停止の解除について図１５の
フローチャートを用いて説明する。端末２から進捗停止
となっているロットのロットＮＯを指定して進捗停止解
除の指示をする。そうすると図７又は図１４の「ロット
状態情報」の進捗停止発生有無が“無し”に更新され
る。ロット進捗停止発生有無が“無し”に更新されたこ
とにより、ロットの処理再開が可能な状態となる。次
に、当該ロットを人手によりストッカ４または半導体製
造装置３へ投入することによりＦＡ計算機１の制御上管
理され、自動で進捗を進める。また、人手でストッカ４
または半導体製造装置３に投入することにより、図７に
示すように「進捗停止予約情報」の予約データが抹消さ
れる。図１４に示される「進捗停止予約情報」は、端末
２からＦＡ計算機１に対して、進捗停止予約の取り消し
を指示することで「進捗停止予約情報」の予約データが
抹消される。Here, cancellation of the progress stop will be described with reference to the flowchart of FIG. The terminal 2 designates the lot number of the lot whose progress has been stopped, and issues an instruction to cancel the progress stop. Then, the presence / absence of the progress stoppage in the “lot status information” of FIG. 7 or FIG. 14 is updated to “none”. By updating the occurrence of the lot progress stop to “none”, the lot can be processed again. Next, by manually inputting the lot into the stocker 4 or the semiconductor manufacturing apparatus 3, the lot is managed under the control of the FA computer 1, and the progress is automatically advanced. In addition, stocker 4
Alternatively, the reservation data of the “progress stop reservation information” is deleted as shown in FIG. The “progress stop reservation information” shown in FIG. 14 is deleted from the terminal 2 by instructing the FA computer 1 to cancel the progress stop reservation information.

【００４１】以上のように実施の形態３によれば、進捗
停止を解除する機能を備えることにより、ロットの処理
状況や出来具合の測定・確認作業が終了後、再びロット
の進捗を敏速に進めることができる。As described above, according to the third embodiment, the function of canceling the progress stop is provided, and after the work of measuring and confirming the processing status of the lot and the state of completion are completed, the progress of the lot is promptly advanced again. be able to.

【００４２】また、ロットの進捗停止を進捗停止報告手
段５により作業者に通知することにより、敏速に進捗停
止となったロットを探し出すことが可能となり、ロット
の処理状況や出来具合の測定・確認ができる。Further, by notifying the worker of the stop of the progress of the lot by the progress stop report means 5, it is possible to quickly find the lot whose progress has been stopped, and to measure / confirm the lot processing status and performance. Can be.

【００４３】[0043]

【発明の効果】請求項１の発明によれば、ロットの識別
番号と進捗停止させたい所定の工程を指定してロットの
進捗停止を予約することができるので、例えば数百もの
進捗停止必要なロットの進捗を細かく追跡する必要がな
くなり、それによりライン作業の負荷軽減が実現される
効果がある。また、ライン作業者のロット進捗の追跡ミ
スにより、進捗させたい工程を既に通過していることも
なくなり、確実に進捗停止させることが可能となる。According to the first aspect of the present invention, the lot stoppage can be reserved by designating the lot identification number and the predetermined process to stop the progress. There is no need to finely track the progress of the lot, which has the effect of reducing the load on the line work. Further, due to a mistake in tracking the progress of the lot by the line operator, it is no longer necessary to pass the process to be advanced, and the progress can be reliably stopped.

【００４４】請求項２の発明によれば、加工処理される
工程の順番が同一のロットに対して、進捗停止させたい
工程を指定してロットの進捗停止を予約することができ
るので、例えば数百もの進捗停止必要なロットの進捗を
細かく追跡する必要がなくなり、それによりライン作業
の負荷軽減が実現される効果がある。また、ライン作業
者のロット進捗の追跡ミスにより、進捗させたい工程を
既に通過していることもなくなり、確実に進捗停止させ
ることが可能となる。According to the second aspect of the present invention, it is possible to reserve the stop of the progress of a lot by designating the process to be stopped for the same order of the steps to be processed. There is no need to finely track the progress of lots that require hundreds of stoppages, thereby reducing the line work load. Further, due to a mistake in tracking the progress of the lot by the line operator, it is no longer necessary to pass the process to be advanced, and the progress can be reliably stopped.

【００４５】請求項３の発明によれば、進捗停止させた
い場所を指定してロットの進捗停止を予約することがで
きるので、例えばストッカ、装置、ロットの物流上停止
可能な場所等、ロットの処理状況や出来具合の測定・確
認を行う上で好都合の場所を選ぶことができる。According to the third aspect of the present invention, it is possible to reserve the stoppage of the lot by designating the place where the progress is to be stopped. It is possible to select a convenient place for measuring and confirming the processing status and performance.

【００４６】請求項４の発明によれば、進捗停止を解除
する機能を備えることにより、ロットの進捗停止の終了
後の作業の流れを敏速にする。According to the fourth aspect of the present invention, by providing the function of canceling the progress stop, the work flow after the end of the lot progress stop is made quick.

【００４７】請求項５又は請求項６の発明によれば、進
捗停止の予約を取り消す機能又は進捗停止させる条件を
変更する機能を備えることにより、ロットの進捗停止予
約の作業に幅を持たせることができる。According to the fifth or sixth aspect of the present invention, by providing a function of canceling a reservation for progress stop or a function of changing a condition for stopping progress, the work of reservation for progress stop of a lot is given a range. Can be.

【００４８】請求項７の発明によれば、ロットの進捗停
止を作業者に通知することにより、敏速に進捗停止とな
ったロットを探し出すことが可能となり、ロットの処理
状況や出来具合の測定・確認ができる。According to the seventh aspect of the present invention, by notifying the operator of the stop of the progress of the lot, the lot whose progress has been stopped can be promptly searched for, and the processing status of the lot and the measurement of the performance can be measured. You can check.

【００４９】請求項８の発明によれば、進捗停止の予約
を１回のオペレーションで複数工程指定できる、またオ
ペレーションを数回に分けて行うことにより、可能な限
りの進捗停止工程を指定することができる。According to the eighth aspect of the present invention, the progress stop reservation can be designated in a plurality of steps by one operation, and the progress stop step can be designated as much as possible by dividing the operation into several steps. Can be.

【００５０】以上のように、この発明によれば、製造ラ
インの作業上の負荷及び人手による作業ミスを軽減し、
確実なロットの進捗停止と作業の敏速な対応が可能とな
る効果がある。As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the work load on the production line and the work error caused by manual operation.
This has the effect that it is possible to reliably stop the progress of the lot and promptly respond to the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 この発明の実施の形態によるＦＡ計算機シス
テムを有するラインを示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a line having an FA computer system according to an embodiment of the present invention.

【図２】 この発明のロットの進捗停止の予約の手順を
示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a procedure of a reservation for a lot progress stop according to the present invention.

【図３】 実施の形態１によるロットが進捗停止になる
までの過程を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing a process until a lot stops progressing according to the first embodiment.

【図４】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 4 is a diagram showing a group of information of the FA computer system according to the first embodiment.

【図５】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 5 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the first embodiment.

【図６】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 6 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the first embodiment.

【図７】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 7 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the first embodiment.

【図８】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 8 is a diagram showing a group of information of the FA computer system according to the first embodiment.

【図９】 実施の形態１によるＦＡ計算機システムの情
報群を表わした図である。FIG. 9 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the first embodiment.

【図１０】 実施の形態２によるロットが進捗停止にな
るまでの過程を示すフローチャートである。FIG. 10 is a flowchart illustrating a process until a lot stops progressing according to the second embodiment.

【図１１】 実施の形態２によるＦＡ計算機システムの
情報群を表わした図である。FIG. 11 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the second embodiment.

【図１２】 実施の形態２によるＦＡ計算機システムの
情報群を表わした図である。FIG. 12 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the second embodiment.

【図１３】 実施の形態２によるＦＡ計算機システムの
情報群を表わした図である。FIG. 13 is a diagram showing an information group of the FA computer system according to the second embodiment.

【図１４】 実施の形態２によるＦＡ計算機システムの
情報群を表わした図である。FIG. 14 is a diagram showing a group of information of the FA computer system according to the second embodiment.

【図１５】 実施の形態３によるロットの進捗停止が解
除される過程を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing a process of releasing progress stop of a lot according to the third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ＦＡ計算機、２ 端末、３ 半導体製造装置、４
ストッカ、５ 進捗停止報告手段、６ 搬送機器、α
進捗停止予約情報、β 製造情報、γ ロット状態情
報、δ ロット進捗情報。1 FA computer, 2 terminals, 3 Semiconductor manufacturing equipment, 4
Stocker, 5 Progress stop report means, 6 Transport equipment, α
Progress stop reservation information, β manufacturing information, γ lot status information, δ lot progress information.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丸目 康博 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 武智 隆次 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 渡邊 稔之 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 大谷 雅樹 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 伊野部 隆昌 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 太田 勝也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 佐藤 康弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5B049 BB07 CC21 CC32 FF03 FF04 GG04 GG07 5H215 AA06 BB09 CC07 CX01 CX06 GG09 JJ15  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yasuhiro Marume 4-1-1 Mizuhara, Itami-shi, Hyogo Ryoden Semiconductor System Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Ryuji Takechi 4-1-1 Mizuhara, Itami-shi, Hyogo Ryoden Semiconductor System Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Toshiyuki Watanabe 4-1-1 Mizuhara, Itami-shi, Hyogo Ryoden Semiconductor System Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Masaki Otani 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo (72) Inventor Takamasa Inobe 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsui Electric Co., Ltd. (72) Katsuya Ota 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo (72) Inventor Sato Hiroshi Chiyoda-ku, Tokyo Marunouchi 2-chome No. 2 No. 3 Mitsubishi Electric Co., Ltd. in the F-term (reference) 5B049 BB07 CC21 CC32 FF03 FF04 GG04 GG07 5H215 AA06 BB09 CC07 CX01 CX06 GG09 JJ15

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 製造プロセスを制御するＦＡ計算機を備
え、同一処理条件で処理される物品の集合体（ロット）
を、上記ＦＡ計算機の制御下で管理し、決められた工程
の順番で自動物流しながら加工処理されるＦＡシステム
において、 ロットの識別番号と進捗停止させたい所定の工程を指定
してロットの進捗停止を予約する進捗停止予約手段と、
この進捗停止予約手段により指定した条件を満たした段
階で、該当ロットを自動的に一時進捗停止させる機能を
備えたことを特徴とするＦＡシステム。1. An assembly (lot) of articles to be processed under the same processing conditions, comprising an FA computer for controlling a manufacturing process.
Is controlled under the control of the FA computer, and in the FA system in which processing is performed while performing automatic distribution in the determined order of processes, the lot identification number and a predetermined process to be stopped are designated by specifying the lot progress. Progress stop reservation means for reserving a stop;
An FA system having a function of automatically and temporarily stopping the progress of a corresponding lot when a condition specified by the progress stop reservation means is satisfied. 【請求項２】 製造プロセスを制御するＦＡ計算機を備
え、同一処理条件で処理される物品の集合体（ロット）
を、上記ＦＡ計算機の制御下で管理し、決められた工程
の順番で自動物流しながら加工処理されるＦＡシステム
において、 加工処理される工程の順番が同一のロットに対して、進
捗停止させたい工程を指定してロットの進捗停止を予約
する進捗停止予約手段と、この進捗停止予約手段により
指定した条件を満たしたロットの進捗を自動的に一時停
止させる機能を備えたことを特徴とするＦＡシステム。2. An assembly (lot) of articles to be processed under the same processing conditions, comprising an FA computer for controlling a manufacturing process.
Is controlled under the control of the FA computer, and in the FA system in which processing is performed while performing automatic distribution in the determined order of the processes, it is desired to stop the progress of the lot in which the order of the processing is the same. FA provided with progress stop reservation means for designating a process to reserve the progress stop of a lot, and a function for automatically suspending the progress of the lot satisfying the conditions specified by the progress stop reservation means. system. 【請求項３】 上記進捗停止予約手段において、進捗停
止させたい場所を指定してロットの進捗停止を予約する
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＦＡシ
ステム。3. The FA system according to claim 1, wherein the progress stop reservation means designates a place where the progress is to be stopped and reserves the progress stop of the lot. 【請求項４】 上記請求項１から請求項３のいずれか１
項に記載のＦＡシステムにおいて、進捗停止となったロ
ットに対して進捗停止を解除する機能を備えたことを特
徴とするＦＡシステム。4. The method according to claim 1, wherein
13. The FA system according to claim 13, further comprising a function of releasing the progress stop of the lot whose progress has been stopped. 【請求項５】 上記進捗停止予約手段において、ロット
の進捗停止の予約を取り消す機能を備えたことを特徴と
する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のＦＡ
システム。5. The FA according to claim 1, wherein the progress stop reservation means has a function of canceling a reservation for stopping the progress of a lot.
system. 【請求項６】 上記進捗停止予約手段において、進捗停
止させる条件を変更する機能を備えたことを特徴とする
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のＦＡシス
テム。6. The FA system according to claim 1, wherein the progress stop reservation means has a function of changing a condition for stopping the progress. 【請求項７】 ロットが進捗停止した場合、作業者に進
捗停止したロット識別番号、工程、場所を通知する機能
を備えたことを特徴とする請求項１から請求項６のいず
れか１項に記載のＦＡシステム。7. The apparatus according to claim 1, further comprising a function of notifying an operator of a lot identification number, a process, and a place when the progress of the lot is stopped. FA system as described. 【請求項８】 上記進捗停止予約手段において、進捗停
止の予約は１回のオペレーションで複数工程指定可能で
あることと、オペレーションを数回に分けて行うことが
できる機能を備えたことを特徴とする請求項１から請求
項６のいずれか１項に記載のＦＡシステム。8. The progress stop reservation means is characterized in that progress stop reservation can be designated for a plurality of processes in one operation, and a function of dividing the operation into several operations is provided. The FA system according to any one of claims 1 to 6, wherein:
JP35687699A 1999-12-16 1999-12-16 Fa system provided with lot progress/stop function Pending JP2001175316A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35687699A JP2001175316A (en) 1999-12-16 1999-12-16 Fa system provided with lot progress/stop function
TW089126770A TW460368B (en) 1999-12-16 2000-12-14 FA system provided with lot progress/stop function

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35687699A JP2001175316A (en) 1999-12-16 1999-12-16 Fa system provided with lot progress/stop function

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001175316A true JP2001175316A (en) 2001-06-29

Family

ID=18451211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35687699A Pending JP2001175316A (en) 1999-12-16 1999-12-16 Fa system provided with lot progress/stop function

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2001175316A (en)
TW (1) TW460368B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100411098C (en) * 2003-04-03 2008-08-13 精工爱普生株式会社 Manufacturing device and mfg. method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8132225B2 (en) * 2004-09-30 2012-03-06 Rockwell Automation Technologies, Inc. Scalable and flexible information security for industrial automation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100411098C (en) * 2003-04-03 2008-08-13 精工爱普生株式会社 Manufacturing device and mfg. method

Also Published As

Publication number Publication date
TW460368B (en) 2001-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100950796B1 (en) Agent reactive scheduling in an automated manufacturing environment
KR100315912B1 (en) Automation system using file server and method for controlling the same
US6434440B1 (en) Production estimate management system
US7085614B1 (en) Method, system, and computer program product for optimizing throughput of lots
US6622057B1 (en) Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle
JP2986146B2 (en) Recipe operation system for semiconductor manufacturing equipment
US6438441B1 (en) Semiconductor factory automation system and method for resetting process recipe by employing trace file
JPH10326729A (en) Manufacturing system
JP2001175316A (en) Fa system provided with lot progress/stop function
TWI600107B (en) A method for transporting a group of semiconductor wafers in a semiconductor processing facility and manufacturing system for a semiconductor processing facility
JP2001217299A (en) Carrying control system of special lot, method, device, and recording medium thereof in apparatus for carrying semiconductor
US6640148B1 (en) Method and apparatus for scheduled controller execution based upon impending lot arrival at a processing tool in an APC framework
US7539553B2 (en) System and method for automated dispatch and transportation of work-in-process
US6445967B1 (en) Method and apparatus for controlling the use of chemicals with expiration dates
JP2001102427A (en) Process treating method, device thereof, semicoductor manufacturing line and transfer method of substrate to be treated in semiconductor manufacturing line
JP4492525B2 (en) Transport control device, transport control program, and transport control method
Chung et al. An overview of semiconductor fab automation systems
US9939808B2 (en) Monitor data attachment to product lots for batch processes
JP2010128907A (en) Transportation management system and transportation management method
US7224442B2 (en) Supply control system and method, program, and information storage medium
JP2003228412A (en) Managing system of production line
KR100537190B1 (en) A method for reducing load of semiconductor fabricating line using buffer station
JP6172022B2 (en) Transport system
US6397119B1 (en) Semiconductor manufacturing system for simultaneous processing of prescribed number of lots
JP2746471B2 (en) Processing system management method