JP2001167422A - Information-recording medium and information storage device - Google Patents
Information-recording medium and information storage deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大量の情報を迅速
かつ正確に格納するための情報記録媒体にかかり、特
に、高性能でかつ高信頼性を有する情報記録用磁性膜の
構造およびそれを用いた磁気ディスク、磁気ディスク装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording medium for storing a large amount of information quickly and accurately, and more particularly, to a structure of a high-performance and highly reliable magnetic film for information recording and a structure thereof. The present invention relates to a magnetic disk and a magnetic disk device used.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざま
しいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメデ
ィアが急速に普及してきている。これを支える情報記録
装置の１つに磁気ディスク装置がある。現在、磁気ディ
スク装置は、記録密度を向上させつつ小型化が図られて
いる。それと並行して、ディスク装置の低価格化が急速
に進められている。ところで、磁気ディスクの記録容量
の高密度化を実現するためには、１）ディスクと磁気ヘ
ッドとの距離をつめること、２）媒体の保磁力を増大さ
せること、３）信号処理方法を工夫すること、４）熱揺
らぎの小さい媒体を開発するなどが必須の技術である。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable progress in the advanced information society, and multimedia in which various forms of information are integrated has rapidly spread. One of the information recording devices that support this is a magnetic disk device. At present, the magnetic disk drive is being downsized while improving the recording density. At the same time, the cost of disk devices has been rapidly reduced. By the way, in order to realize a higher recording capacity of the magnetic disk, 1) shorten the distance between the disk and the magnetic head, 2) increase the coercive force of the medium, and 3) devise a signal processing method. 4) Developing a medium with small thermal fluctuation is an essential technology.
【０００３】中でも、磁気記録媒体においては、高密度
磁気記録を実現するためには、保磁力の増大が必須であ
る。現在、磁気記録媒体としてはCo-Cr-Pt(-Ta)系が広
く用いられている。この材料は、20nm程度のCoの結晶粒
子が析出した結晶質材料である。この材料を用いて、40
Gb/in2を超える面記録密度を実現するためには、記録や
消去時に磁化反転が生じる単位(磁気クラスター)をさら
に小さくしたり、さらには、その粒子サイズの分布を小
さくするなど精密に制御しなければならない。この結
果、再生時に媒体から発生するノイズを低減することが
できる。さらに、結晶粒子サイズに分布が存在すると、
特に、サイズの小さな粒子が存在していると熱減磁が生
じたり、熱揺らぎが生じることにより、形成した磁区が
安定に存在できない場合があった。このように、熱減磁
ならびに熱揺らぎ低減の観点から、結晶粒子サイズの分
布を制御することが重要な技術となってきている。これ
らを実現する方法として、磁性膜の下にシード膜を設け
ることが提案されている。その一例としてUSP-4652499
をあげることができる。[0003] Above all, in a magnetic recording medium, an increase in coercive force is essential for realizing high-density magnetic recording. At present, a Co-Cr-Pt (-Ta) system is widely used as a magnetic recording medium. This material is a crystalline material in which about 20 nm of Co crystal particles are precipitated. Using this material, 40
In order to achieve a surface recording density exceeding Gb / in 2 , precise control is performed by further reducing the unit (magnetic cluster) where magnetization reversal occurs during recording or erasing, and further reducing the particle size distribution. Must. As a result, noise generated from the medium during reproduction can be reduced. Furthermore, if there is a distribution in the crystal grain size,
In particular, when small-sized particles are present, thermal demagnetization occurs or thermal fluctuations occur, so that the formed magnetic domains may not exist stably. As described above, from the viewpoint of thermal demagnetization and thermal fluctuation reduction, controlling the crystal grain size distribution has become an important technique. As a method for achieving these, it has been proposed to provide a seed film below the magnetic film. USP-4652499 as an example
Can be given.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
磁気ディスクにおいては、シード層による情報記録用磁
性膜の結晶粒子サイズの分布を制御するには限度があ
り、微小な粒子や粗大化した粒子が共存している場合が
あった。これらの微小な粒子や粗大化した粒子は、情報
を記録する場合(磁化を反転させる場合)に、周囲の磁性
粒子からの漏洩磁界の影響を受けたり、逆に、大きな粒
子では相互作用を与えるために、40Gb/inch2を超える超
高密度記録を行う場合、安定した記録が行えないという
課題があった。この点について、Ku・V/k・T(Ku:磁気異方
性エネルギー、V:活性化体積、k:ボルツマン定数、T:温
度)により表した熱的安定性において、活性化体積の値
が重要なパラメータになる。この値が大きいほど熱的に
安定である。これと同時に、Kuも熱的安定性に大きく関
わっている。このような傾向は、Co-Cr系の垂直磁気記
録用の磁性膜においても同様である。これは、結晶性の
磁性材料を用いる上で発生する解決するための必然的な
課題である。In the above prior art,
In a magnetic disk, there is a limit in controlling the crystal particle size distribution of the information recording magnetic film by the seed layer, and fine particles and coarse particles may coexist. These fine particles and coarse particles are affected by the leakage magnetic field from surrounding magnetic particles when recording information (when reversing the magnetization), or conversely, interact with large particles. Therefore, when performing ultra-high density recording exceeding 40 Gb / inch 2 , there has been a problem that stable recording cannot be performed. In this regard, in thermal stability expressed by KuV / kT (Ku: magnetic anisotropic energy, V: activation volume, k: Boltzmann constant, T: temperature), the value of the activation volume is Become an important parameter. The larger the value, the more thermally stable. At the same time, Ku is also significantly involved in thermal stability. This tendency is the same in a Co—Cr-based magnetic film for perpendicular magnetic recording. This is an inevitable problem to be solved when using a crystalline magnetic material.
【０００５】このような状況を鑑み、本発明の第1の目
的は、磁性膜を形成する基板と平行方向に磁化容易軸を
有する磁性膜で、しかも、磁気異方性の大きな情報記録
用磁性膜を提供することにある。本発明の第２の目的
は、再生に十分なフラックスを有する情報記録用磁性
膜、および、その構造を提供することにある。さらに、
本発明の第３の目的は、見かけの活性化体積の大きな熱
的安定性に優れた磁気記録用磁性材料を提供することに
ある。本発明の第４の目的は、磁化遷移領域における磁
区の形状がジグザグパターンを形成しない低ノイズな磁
気記録用磁性材料を提供することにある。最後に、本発
明の第５の目的は、磁気ディスクを形成したときに積層
構造が簡素化でき、しかも、量産に適した磁気記録媒体
の構造を提供し、安価な磁気ディスクを提供することに
ある。In view of such circumstances, a first object of the present invention is to provide a magnetic film having an easy axis of magnetization in a direction parallel to a substrate on which the magnetic film is formed, and having a large magnetic anisotropy. It is to provide a membrane. A second object of the present invention is to provide a magnetic film for information recording having a flux sufficient for reproduction, and a structure thereof. further,
A third object of the present invention is to provide a magnetic material for magnetic recording which has a large apparent activation volume and is excellent in thermal stability. A fourth object of the present invention is to provide a low-noise magnetic recording magnetic material in which the shape of magnetic domains in a magnetization transition region does not form a zigzag pattern. Finally, a fifth object of the present invention is to provide a structure of a magnetic recording medium which can simplify a laminated structure when a magnetic disk is formed, is suitable for mass production, and provides an inexpensive magnetic disk. is there.
【０００６】以上の技術を総合することにより、40Gb/i
nch2を越える超高密度記録を行うのに好適な情報記録媒
体を提供することができる。[0006] By integrating the above technologies, 40Gb / i
An information recording medium suitable for performing ultra-high density recording exceeding nch 2 can be provided.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的は、少なくと
も基板と情報記録用の磁性膜を有する磁気ディスクにお
いて、該情報記録用の磁性膜が互いに磁気的に結合した
２つの部分より構成され、しかも、第２の部分の方が第
１の部分より飽和磁化が大きい構造の磁性膜を用いるこ
とにより実現できる。この情報記録用の磁性膜におい
て、この磁性膜の２つの部分が互いに磁気的に結合して
おり、しかも、第２の部分の方が第１の部分より飽和磁
化が大きく、しかも、第１の磁性膜の磁気フラックスを
互いに磁気的に結合した第２の磁性膜により増幅させて
いる磁性膜の構造を有している。An object of the present invention is to provide a magnetic disk having at least a substrate and a magnetic film for information recording, wherein the magnetic film for information recording is composed of two portions magnetically coupled to each other, Moreover, the second portion can be realized by using a magnetic film having a structure in which the saturation magnetization is larger than that of the first portion. In this information recording magnetic film, the two portions of the magnetic film are magnetically coupled to each other, and the second portion has a larger saturation magnetization than the first portion. The magnetic film has a structure in which the magnetic flux of the magnetic film is amplified by a second magnetic film magnetically coupled to each other.
【０００８】磁性的には、この情報記録用の磁性膜が、
第１の部分がフェリ磁性体で、しかも、基板面に平行な
方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜であり、かつ、該
薄膜には結晶粒界が存在しないで、さらにＸ線的に非晶
質であり、しかも、磁性膜の有する基板と垂直方向の垂
直磁気異方性エネルギーが1×104erg/cm3以下であり、
基板と平行方向の面内の磁気異方性エネルギーが1×107
erg/cm3以上であり、第２の部分が基板面に平行な方向
に磁化容易軸を有する強磁性薄膜である。Magnetically, the magnetic film for recording information is
The first portion is a ferrimagnetic material, and is a ferromagnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction parallel to the substrate surface, and the thin film has no crystal grain boundaries and is non-X-ray non-magnetic. Crystalline, and perpendicular magnetic anisotropy energy in a direction perpendicular to the substrate having the magnetic film is 1 × 10 4 erg / cm 3 or less,
The magnetic anisotropy energy in the plane parallel to the substrate is 1 × 10 7
erg / cm 3 or more, and the second portion is a ferromagnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction parallel to the substrate surface.
【０００９】材料的には、情報記録用の磁性膜は、磁気
的特性の異なる２つの部分よりなり、まず、磁性膜の第
１の部分が鉄族元素と希土類元素とからなる合金であ
り、さらに具体的には、鉄族元素がFe,Co,Niの内より選
ばれる少なくとも1種類の元素であり、希土類元素がLa,
Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Er,Tm,Yb,Lu,Yの内より選ばれる少
なくとも1種類の元素とからなる合金薄膜である。とこ
ろで、この磁性膜の第１の部分の磁性がフェリ磁性体で
あり、特に、鉄族元素の副格子磁化が優勢である磁性膜
が最も好ましい。また、この磁性膜の第２の部分は、Co
あるいはNiの内より選ばれる少なくとも１種類の元素と
Pt,Pd,Rhの内より選ばれる少なくとも１種類の元素との
合金あるいは、これら２つのグループより選ばれる少な
くとも１種類の元素を交互に積層した多層膜(人工格子
膜)であることが好ましい。この部分の磁性は、磁化容
易軸が磁性膜を形成した基板と平行方向であることが好
ましい。In terms of material, the magnetic film for information recording is composed of two parts having different magnetic properties. First, the first part of the magnetic film is an alloy comprising an iron group element and a rare earth element. More specifically, the iron group element is at least one element selected from among Fe, Co, and Ni, and the rare earth element is La,
It is an alloy thin film comprising at least one element selected from Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Er, Tm, Yb, Lu, and Y. By the way, the magnetic property of the first portion of the magnetic film is a ferrimagnetic material, and in particular, a magnetic film in which the sublattice magnetization of the iron group element is dominant is most preferable. The second part of the magnetic film is made of Co
Or at least one element selected from Ni
An alloy with at least one element selected from Pt, Pd, and Rh, or a multilayer film (artificial lattice film) in which at least one element selected from these two groups is alternately laminated is preferable. The magnetism of this portion is preferably such that the axis of easy magnetization is parallel to the substrate on which the magnetic film is formed.
【００１０】また、磁気特性で見ると、磁性膜の第１の
部分が飽和磁化が500emu/cm3以上、保磁力が3kOe以上、
さらに膜厚が20nm以下であり、第２の部分が飽和磁化が
800emu/cm3以上で、その膜厚が第１の磁性層部分と磁気
的結合が及ぶ範囲で、具体的には、その膜厚が1nm以
上、10nm以下であることが好ましい。この情報記録用磁
性膜の物性が、KuV/kT(Ku:結晶磁気異方性定数、V:活性
化体積、k：ボルツマン定数、T:温度)で表され、この中
で、磁性膜における活性化体積：Vが、該磁性膜に形成
される磁区の体積であることが好ましい。In terms of magnetic properties, the first portion of the magnetic film has a saturation magnetization of 500 emu / cm 3 or more, a coercive force of 3 kOe or more,
Further, the film thickness is 20 nm or less, and the second portion has a saturation magnetization.
At 800 emu / cm 3 or more, the film thickness is preferably in the range of magnetic coupling with the first magnetic layer portion, specifically, the film thickness is 1 nm or more and 10 nm or less. The physical properties of the magnetic film for information recording are expressed by KuV / kT (Ku: crystal magnetic anisotropy constant, V: activation volume, k: Boltzmann constant, T: temperature). It is preferable that the activation volume: V is the volume of a magnetic domain formed in the magnetic film.
【００１１】ところで、ガラス、樹脂あるいはAl合金の
内より選ばれる少なくとも1種類のディスク基板上に上
記の磁性膜を作製することで磁気ディスクを形成し、こ
のディスクに磁気ヘッドを用いて一定幅、一定長さの磁
区を形成することにより情報を記録あるいは消去するこ
とが好ましい。そして、ここで、情報の記録あるいは消
去により磁性膜に形成される磁区が、先の活性化体積で
ある。ところで、先の磁気記録用磁性膜を表面に凹凸の
テクスチャを有する円形の基板上に形成することによ
り、磁性膜に形成される磁区のサイズ、位置などを精密
に制御できるので、高密度記録に好適な磁気ディスクを
提供することができる。これは、基板表面に存在するテ
クスチャにより、形成される磁区のディスク上での移動
が制御できるからである。これは、基板の凹凸を反映し
て磁性膜にうねりが生じ(膜の応力に分布を生じるな
ど)、これがピンニングサイトとなり、磁壁の移動の障
害となるからである。By the way, a magnetic disk is formed by forming the above-mentioned magnetic film on at least one kind of disk substrate selected from glass, resin or Al alloy, and the magnetic disk is used to form a magnetic disk having a fixed width. It is preferable to record or erase information by forming magnetic domains of a fixed length. Here, the magnetic domain formed in the magnetic film by recording or erasing information is the previously activated volume. By forming the magnetic film for magnetic recording on a circular substrate having a texture with irregularities on the surface, the size and position of the magnetic domains formed in the magnetic film can be precisely controlled. A suitable magnetic disk can be provided. This is because the movement of the magnetic domain formed on the disk can be controlled by the texture existing on the substrate surface. This is because the magnetic film reflects the unevenness of the substrate and causes undulation (for example, distribution of stress in the film), which becomes a pinning site and hinders the movement of the domain wall.
【００１２】少なくとも磁気ディスク、磁気ヘッド、デ
ィスク駆動系、および電気回路からなる磁気ディスク装
置において、磁気ディスクとして上述の磁気記録用磁性
膜を用いた磁気ディスクを用いて磁気ディスク装置を構
成することが好ましい。そして、この磁気ディスク装置
において、上述の磁気記録用磁性膜を用いた磁気ディス
クを用いて、各種形態の情報を該装置により記録、再生
あるいは消去することが最も好ましい。In a magnetic disk device including at least a magnetic disk, a magnetic head, a disk drive system, and an electric circuit, it is possible to configure the magnetic disk device using a magnetic disk using the above-described magnetic film for magnetic recording as a magnetic disk. preferable. In this magnetic disk device, it is most preferable that various types of information be recorded, reproduced or erased by using the magnetic disk using the magnetic film for magnetic recording described above.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】実施例を用いて本発明を詳細に説
明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to embodiments.
【００１４】（実施例１）本実施例は、Er-Fe-Co膜/Pt-
Co合金膜の２層からなる情報記録用の磁性膜として用い
た場合である。作製した磁気ディスクの断面構造の模式
図を図１に示す。まず、磁気ディスク用の基板(1)とし
て、2.5″直径のガラス基板を用いた。ここで用いた基
板はほんの1例であり、いずれのサイズのディスク基板
を用いても、また、AlやAl合金などの金属の基板を用い
ても、用いる基板の材質やサイズに本発明の効果は左右
されるものではないことは言うまでもない。また、ガラ
ス、AlやAl合金の基板上にNiPをメッキ法により形成し
ても良い。(Embodiment 1) In this embodiment, an Er-Fe-Co film / Pt-
This is a case where it is used as a magnetic film for information recording composed of two layers of a Co alloy film. FIG. 1 shows a schematic diagram of a cross-sectional structure of the magnetic disk thus manufactured. First, a 2.5 ″ diameter glass substrate was used as a substrate (1) for a magnetic disk. The substrate used here is only one example, and a disk substrate of any size can be used. It goes without saying that the effect of the present invention does not depend on the material and size of the substrate to be used even if a metal substrate such as an alloy is used, and that NiP is plated on a glass, Al or Al alloy substrate. May be formed.
【００１５】この基板(1)上に、磁性膜の保護や基板と
磁性膜との接着性向上を図ることを目的とした下地膜
(2)を形成した。用いた材料は窒化シリコン膜で、膜厚
は10nmである。もちろん、この膜は磁気特性に影響する
膜ではないことは言うまでもない。この膜の作製には、
マグネトロンスパッタ法を用いて行った。ターゲットに
はSi3N4を、放電ガスにArをそれぞれ用いた。放電ガス
圧力は10mTorr、投入RF電力は1kW/150mmφである。この
他に、Siをターゲットに、Ar/N2を放電ガスに用いた反
応性スパッタ法により成膜してもよいことは言うまでも
ない。On this substrate (1), a base film for the purpose of protecting the magnetic film and improving the adhesiveness between the substrate and the magnetic film.
(2) was formed. The material used is a silicon nitride film, and the film thickness is 10 nm. Of course, it is needless to say that this film does not affect the magnetic properties. To make this film,
This was performed using a magnetron sputtering method. Si 3 N 4 was used as a target, and Ar was used as a discharge gas. The discharge gas pressure is 10 mTorr, and the input RF power is 1 kW / 150 mmφ. In addition, it goes without saying that a film may be formed by a reactive sputtering method using Si / target as a target and Ar / N 2 as a discharge gas.
【００１６】この膜の上に、情報記録用の磁性膜Ｉ(3)
としてEr19Fe71Co10膜をRFマグネトロンスパッタ法によ
り形成した。この組成は遷移金属の副格子磁化優勢側の
Er-Fe-Co合金をターゲットに、純Arを放電ガスにそれぞ
れ使用した。形成した磁性膜の厚さは20nmである。スパ
ッタ時の圧力は3mTorr、投入RF電力は1kW/150mmφであ
る。ここでは、RFマグネトロンスパッタ法で作製した
が、DCマグネトロンスパッタ法を用いて行ってもよいこ
とは言うまでもない。On this film, a magnetic film for information recording I (3)
An Er 19 Fe 71 Co 10 film was formed by RF magnetron sputtering. This composition is
Er-Fe-Co alloy was used as a target, and pure Ar was used as a discharge gas. The thickness of the formed magnetic film is 20 nm. The pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input RF power is 1 kW / 150 mmφ. Here, it was manufactured by the RF magnetron sputtering method, but it goes without saying that it may be performed by using the DC magnetron sputtering method.
【００１７】次に、磁性膜II(４)として、Pt20Co80合金
膜を形成した。形成した磁性膜の厚さは５nmである。ス
パッタ時の圧力は3mTorr、投入RF電力は1kW/150mmφで
ある。膜厚は3nmである。この膜厚が厚くなると、磁性
膜の第1の部分の膜厚にもある程度は依存するが、磁気
的な結合が及ぶ範囲に限界があり、その最大が10nmであ
る。さらに、高密度記録を行うためには、磁気ヘッドと
媒体間の距離を短くしなければならない。そのために
は、この第２の磁性膜の膜厚には限界がある。この上に
作製する保護膜と合わせた膜厚となり、その値は合計で
10nm以下が好ましく、特に、5nm以下が最も好ましい。
その場合、磁性膜の第２の部分の磁性が発現するのは２
nm以上で、３nmが最も好ましい膜厚である。このように
なると、保護膜は２〜３nm程度となる。この膜厚で、被
覆性の良い保護膜を作製するには、ECRスパッタ法を用
いることが好ましい。次に、その手法について説明す
る。Next, a Pt 20 Co 80 alloy film was formed as the magnetic film II (4). The thickness of the formed magnetic film is 5 nm. The pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input RF power is 1 kW / 150 mmφ. The thickness is 3 nm. When this film thickness is increased, it depends to some extent on the film thickness of the first portion of the magnetic film, but there is a limit to the range that magnetic coupling can reach, and the maximum is 10 nm. Further, in order to perform high-density recording, the distance between the magnetic head and the medium must be reduced. Therefore, there is a limit to the thickness of the second magnetic film. The film thickness is combined with the protective film to be formed on this, and the value is a total
It is preferably at most 10 nm, particularly preferably at most 5 nm.
In that case, the magnetism of the second portion of the magnetic film is expressed only by 2
Above nm, 3 nm is the most preferable film thickness. In this case, the protective film has a thickness of about 2 to 3 nm. In order to produce a protective film having good film coverage with this film thickness, it is preferable to use the ECR sputtering method. Next, the method will be described.
【００１８】最後に、保護膜(５)としてC膜をマイクロ
波を用いたECRスパッタ法を用いて3nmの膜厚に形成し
た。ターゲットにCを、放電ガスにArをそれぞれ用い
た。スパッタ時の圧力は3 mTorr、投入マイクロ波電力
は1kWである。また、マイクロ波により励起されたプラ
ズマを引き込むために500VのDCバイアス電圧を印加し
た。ここでは、スパッタガスにArを使用したが、窒素を
含むガスを用いて、窒素化炭素膜を成膜してもよいこと
は言うまでもない。窒素を含むガスを用いると、粒子が
微細化するとともに、得られるC膜が緻密化するととも
に硬度を増すことができるので、保護性能をさらに向上
させることができる。この膜の膜質は、このようなスパ
ッタの条件や電極構造など装置構成に大きく依存してい
るので、この条件は絶対的なものではない。Finally, as a protective film (5), a C film was formed to a thickness of 3 nm by ECR sputtering using microwaves. C was used for the target, and Ar was used for the discharge gas. The pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input microwave power is 1 kW. In addition, a DC bias voltage of 500 V was applied to draw in plasma excited by microwaves. Here, Ar is used as a sputtering gas, but it goes without saying that a nitrogen-containing carbon film may be formed using a gas containing nitrogen. When a gas containing nitrogen is used, the particles can be miniaturized, and the obtained C film can be densified and increased in hardness, so that the protection performance can be further improved. The film quality of this film largely depends on the sputtering conditions and the device configuration such as the electrode structure, and the conditions are not absolute.
【００１９】ここで、保護膜の作製にECRスパッタ法を
用いたのは、2〜3nmの極薄膜でも、高硬度、緻密でかつ
ピンホールフリーで、しかも、カバレージの良いC膜が
得られるからである。これは、RFスパッタ法やDCスパッ
タ法に比べて顕著な違いである。さらに、これに加え
て、保護膜を作製する場合に磁性膜の受けるダメージが
著しく小さいという特徴もある。これは、高密度化の進
行とともに、磁性膜の薄膜化が進むので、成膜時に受け
るダメージによる磁気特性の低下は致命的になる。この
他に、成膜にDCスパッタ法を用いても良いことは言うま
でもない。しかし、この手法では形成する保護膜の膜厚
が5nm以上の場合には用いることができるが、これより
薄い場合は不向きな場合がある。これは、1)磁性膜表面
のカバレージが悪い、2)膜の密度や硬度が十分ではな
い、などの理由による。もちろん、Pt-Co膜を保護膜と
して用いても良いことは言うまでもない。Here, the ECR sputtering method was used for forming the protective film because a C film having high hardness, dense, pinhole-free, and good coverage can be obtained even with an extremely thin film of 2 to 3 nm. It is. This is a remarkable difference compared to the RF sputtering method and the DC sputtering method. Further, in addition to this, there is a feature that the damage to the magnetic film when forming the protective film is extremely small. This is because the thinning of the magnetic film progresses as the density increases, so that the deterioration of the magnetic properties due to the damage received during the film formation is fatal. It goes without saying that a DC sputtering method may be used for film formation. However, this method can be used when the thickness of the protective film to be formed is 5 nm or more, but may be unsuitable when the thickness is smaller than 5 nm. This is due to 1) poor coverage of the magnetic film surface, and 2) insufficient density and hardness of the film. Of course, it goes without saying that a Pt-Co film may be used as the protective film.
【００２０】このようにして作製した磁気記録媒体の磁
気特性を測定した。VSMによるM-Hループから、角型比S
およびS*は1.0であり、良好な角型性が得られた。ま
た、保磁力：Hcは4.0kOe、飽和磁化：Msは1050emu/cm3
であった。また、磁性膜の有する基板と垂直方向の垂直
磁気異方性エネルギーが1×104erg/cm3であり、基板と
平行方向の面内の磁気異方性エネルギーが2×107erg/cm
3であり、基板と平行方向に大きな磁気異方性を有する
磁性体であった。この磁気記録媒体の活性化体積を測定
したところ、磁気記録媒体として広く用いられているCo
-Cr-Pt系磁性膜における値の約30倍と大きかった。この
ことは、この磁性膜が熱的安定性に優れていることを示
している。この磁性膜の構造をX線回折法により調べた
ところ、回折ピークは得られず、X線的には非晶質であ
った。また、高分解能透過型電子顕微鏡(高分解能TEM)
により組織や構造を調べたところ、明確な格子は見られ
ず、非晶質か、極微細な組織の集合体であることがわか
った。The magnetic characteristics of the magnetic recording medium thus manufactured were measured. From MH loop by VSM, squareness ratio S
And S * were 1.0, and good squareness was obtained. Coercive force: Hc is 4.0 kOe, saturation magnetization: Ms is 1050 emu / cm 3
Met. The perpendicular magnetic anisotropy energy in the direction perpendicular to the substrate having the magnetic film is 1 × 10 4 erg / cm 3 , and the magnetic anisotropy energy in the plane parallel to the substrate is 2 × 10 7 erg / cm 3.
The magnetic material had a large magnetic anisotropy in the direction parallel to the substrate. When the activation volume of this magnetic recording medium was measured, Co, which is widely used as a magnetic recording medium, was measured.
The value was about 30 times larger than that of the -Cr-Pt-based magnetic film. This indicates that this magnetic film has excellent thermal stability. When the structure of this magnetic film was examined by an X-ray diffraction method, no diffraction peak was obtained and the film was amorphous in X-ray. In addition, high-resolution transmission electron microscope (high-resolution TEM)
As a result of examining the structure and structure, it was found that no clear lattice was observed, and the structure was amorphous or an aggregate of extremely fine structures.
【００２１】次に、このような磁気特性を有する磁気記
録媒体を用いた磁気ディスクの媒体表面に潤滑剤を塗布
してディスクの記録再生特性を評価した。磁気ディスク
装置の構成の概略を図２に示す。磁気ヘッド(53)とし
て、記録には、2.1Tの高飽和磁束密度を有する軟磁性膜
を用いた薄膜磁気ヘッドを記録ヘッドとして用いた。ま
た、巨大磁気抵抗効果を有するデュアルスピンバルブ型
GMR磁気ヘッドにより再生した。磁気ヘッドのギャップ
長は0.12μmである。磁気ヘッドは駆動系(54)により制
御される。磁気ディスク(51)はスピンドル(52)により回
転し、ヘッド面と磁性膜との距離を12nmに保った。この
ディスクに４0 Gb/inch2に相当する信号(700kFCI)を記
録してディスクのS/Nを評価したところ、36dBの再生出
力が得られた。ここで、Co-Pt合金を有していないEr-Fe
-Co膜のみのディスクの再生出力は34dBであり、2dB小さ
かった。また、このディスクの欠陥レートを測定したと
ころ、信号処理を行わない場合の値で、１×10-6以下で
あった。Next, a lubricant was applied to the surface of a magnetic disk using a magnetic recording medium having such magnetic characteristics, and the recording / reproducing characteristics of the disk were evaluated. FIG. 2 schematically shows the configuration of the magnetic disk drive. As the magnetic head (53), a thin-film magnetic head using a soft magnetic film having a high saturation magnetic flux density of 2.1 T was used for recording. In addition, dual spin valve type with giant magnetoresistance effect
Reproduced with a GMR magnetic head. The gap length of the magnetic head is 0.12 μm. The magnetic head is controlled by a drive system (54). The magnetic disk (51) was rotated by the spindle (52), and the distance between the head surface and the magnetic film was kept at 12 nm. When a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk and the S / N of the disk was evaluated, a reproduction output of 36 dB was obtained. Here, Er-Fe without Co-Pt alloy
The reproduction output of the disk having only the -Co film was 34 dB, which was 2 dB smaller. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −6 or less when no signal processing was performed.
【００２２】ここで、磁気力顕微鏡(MFM)により、記録
した部分の磁化状態を観察したところ、磁化遷移領域に
特有なジグザグパターンが観測されなかった。そのため
に、ノイズレベルがCo-Cr-Pt系の通常の磁気記録媒体に
比べて著しく小さかった。これに加えて、磁性膜が非晶
質であることもノイズレベルが低い原因である。Here, when the magnetization state of the recorded portion was observed by a magnetic force microscope (MFM), no zigzag pattern peculiar to the magnetization transition region was observed. For this reason, the noise level was significantly lower than that of a normal Co-Cr-Pt magnetic recording medium. In addition, the fact that the magnetic film is amorphous also causes a low noise level.
【００２３】本実施例では、磁性膜ＩにはEr-Fe-Co系を
用いた場合を示したが、Er以外にLa,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,E
u,Tm,Yb,Lu,Yのうちの1種類の元素を用いても同様の効
果が得られる。また、複数の元素を含んでも良いことは
言うまでもない。さらに、遷移金属としてFe-Co合金を
用いたが、Fe-Ni,Co-Niなどの合金を用いても良いこと
は言うまでもない。また、磁性膜2には、Pt-Co合金を用
いたが、Pt以外にPd,Rhなどの元素を用いても良く、あ
るいは、Pt-Pd,Pt-Rh,Pd-Rhなどの2元素を用いても良
い、また、Co以外にNiを用いても良い。あるいは、Fe系
でも磁性膜の第1の部分より大きな飽和磁化を有する組
成領域を用いても良い。さらに、これら2元素を交互積
層した多層膜(人工格子膜)を用いても良い。In this embodiment, the case where the Er—Fe—Co system is used for the magnetic film I has been described, but La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, E
The same effect can be obtained by using one kind of element among u, Tm, Yb, Lu, and Y. Needless to say, a plurality of elements may be included. Further, although an Fe-Co alloy is used as the transition metal, it goes without saying that an alloy such as Fe-Ni or Co-Ni may be used. Although a Pt-Co alloy was used for the magnetic film 2, elements other than Pt such as Pd and Rh may be used, or two elements such as Pt-Pd, Pt-Rh and Pd-Rh may be used. Ni may be used instead of Co. Alternatively, an Fe-based composition region having a larger saturation magnetization than the first portion of the magnetic film may be used. Further, a multilayer film (artificial lattice film) in which these two elements are alternately laminated may be used.
【００２４】（実施例２）本実施例は、磁性膜の第1の
部分にSm-Fe-Co系を用い、第2の部分にPt50Co50合金を
用いた場合である。作製した磁気ディスクの構造および
作製方法は、実施例1と同様である。また、媒体の構造
を示す模式図は図1に示すとおりである。用いた成膜の
方法は、スパッタリング法で、スパッタの条件などは実
施例1と同じである。(Embodiment 2) In this embodiment, the first portion of the magnetic film is made of Sm-Fe-Co, and the second portion is made of Pt 50 Co 50 alloy. The structure and manufacturing method of the manufactured magnetic disk are the same as those in the first embodiment. Further, a schematic diagram showing the structure of the medium is as shown in FIG. The method of film formation used was a sputtering method, and the sputtering conditions were the same as in Example 1.
【００２５】このようにして作製した磁気記録媒体の磁
気特性を測定した。VSMによるM-Hループから、角型比S
およびS*は1.0であり、良好な角型性が得られた。この
ループから、保磁力：Hcは4.0kOe、飽和磁化：Msは1300
emu/cm3であった。しかし、これら2層の磁性膜を第1の
磁性膜が200emu/mlで、第2の磁性膜が800 emu/mlであっ
た。このように、磁気的に結合させることにより、2層
の磁性層が見かけ上１層の磁性膜のように振舞うことが
わかった。その場合、飽和磁化の値は単純な加算ではな
く、加算値のさらに約3割増加した。このように、飽和
磁化の異なる磁性膜を磁気的に結合させることにより、
飽和磁化の値を大きく増加し、さらに、情報記録する場
合の再生出力の増加が期待できる。この点については、
後ほど述べる。また、磁性膜の有する基板と垂直方向の
垂直磁気異方性エネルギーが1×104erg/cm3であり、基
板と平行方向の面内の磁気異方性エネルギーが4×107er
g/cm3であり、基板と平行方向に大きな磁気異方性を有
する磁性体であった。この磁気記録媒体の活性化体積を
測定したところ、磁気記録媒体として広く用いられてい
るCo-Cr-Pt系磁性膜における値の約40倍と大きかった。
このことは、この磁性膜が熱的安定性に優れていること
を示している。この磁性膜の構造をX線回折法により調
べたところ、回折ピークは得られず、X線的には非晶質
であった。また、高分解能透過型電子顕微鏡(高分解能T
EM)により組織や構造を調べたところ、明確な格子は見
られず、非晶質か、極微細な組織の集合体であることが
わかった。The magnetic characteristics of the magnetic recording medium thus manufactured were measured. From MH loop by VSM, squareness ratio S
And S * were 1.0, and good squareness was obtained. From this loop, the coercive force: Hc is 4.0 kOe, the saturation magnetization: Ms is 1300
emu / cm 3 . However, these two magnetic films were 200 emu / ml for the first magnetic film and 800 emu / ml for the second magnetic film. Thus, it was found that by magnetically coupling, the two magnetic layers seemed to behave like a single magnetic film. In that case, the value of the saturation magnetization was not a simple addition but increased by about 30% of the added value. Thus, by magnetically coupling magnetic films having different saturation magnetizations,
It can be expected that the value of the saturation magnetization is greatly increased, and that the reproduction output for information recording is increased. In this regard,
Will be described later. The perpendicular magnetic anisotropy energy in the direction perpendicular to the substrate having the magnetic film is 1 × 10 4 erg / cm 3 , and the magnetic anisotropy energy in the plane parallel to the substrate is 4 × 10 7 er
g / cm 3 , and was a magnetic material having a large magnetic anisotropy in a direction parallel to the substrate. When the activation volume of this magnetic recording medium was measured, it was about 40 times larger than the value of a Co—Cr—Pt-based magnetic film widely used as a magnetic recording medium.
This indicates that this magnetic film has excellent thermal stability. When the structure of this magnetic film was examined by an X-ray diffraction method, no diffraction peak was obtained and the film was amorphous in X-ray. In addition, a high-resolution transmission electron microscope (high-resolution T
Examination of the structure and structure by EM) revealed no clear lattice, indicating that the structure was amorphous or an aggregate of extremely fine structures.
【００２６】次に、このような磁気特性を有する磁気記
録媒体を用いた磁気ディスクの媒体表面に潤滑剤を塗布
してディスクの記録再生特性を評価した。用いた磁気デ
ィスク装置の構成は実施例1と同様で、その模式図は図
２に示すとおりである。ヘッドと磁気記録媒体との距離
を12nmに保ち、このディスクに４0 Gb/inch2に相当する
信号(700kFCI)を記録してディスクのS/Nを評価した。そ
の結果、37dBの再生出力が得られた。ここで、磁性膜の
第2の部分を有していないディスクの再生出力を測定し
たところ、34dBであり、本発明を用いた場合より、3dB
小さかった。また、このディスクの欠陥レートを測定し
たところ、信号処理を行わない場合の値で、１×10-6以
下であった。Next, a lubricant was applied to the surface of a magnetic disk using a magnetic recording medium having such magnetic characteristics, and the recording / reproducing characteristics of the disk were evaluated. The configuration of the magnetic disk device used is the same as that of the first embodiment, and its schematic diagram is as shown in FIG. The distance between the head and the magnetic recording medium was kept at 12 nm, and a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk to evaluate the S / N of the disk. As a result, a reproduction output of 37 dB was obtained. Here, when the reproduction output of a disk not having the second portion of the magnetic film was measured, it was 34 dB, which was 3 dB higher than when the present invention was used.
It was small. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −6 or less when no signal processing was performed.
【００２７】ここで、磁気力顕微鏡(MFM)により、記録
した部分の磁化状態を観察したところ、磁化遷移領域に
特有なジグザグパターンが観測されなかった。そのため
に、ノイズレベルがCo-Cr-Pt系の通常の磁気記録媒体に
比べて著しく小さかった。Here, when the magnetization state of the recorded portion was observed with a magnetic force microscope (MFM), no zigzag pattern peculiar to the magnetization transition region was observed. For this reason, the noise level was significantly lower than that of a normal Co-Cr-Pt magnetic recording medium.
【００２８】本実施例では、磁性膜にはSm-Fe-Co系を用
いた場合の例を示したが、Sm以外にLa,Ce,Pr,Nd,Pm,Er,
Eu,Tm,Yb,Lu,Yのうちの1種類の元素を用いても同様の効
果が得られ、また、Co以外にFeやNiを用いても同様であ
る。In this embodiment, an example in which an Sm—Fe—Co system is used for the magnetic film has been described, but in addition to Sm, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Er,
The same effect can be obtained even if one kind of element among Eu, Tm, Yb, Lu, and Y is used, and the same applies when Fe or Ni is used in addition to Co.
【００２９】（実施例３）本実施例は、基板表面に凹凸
のテクスチャを有する基板を用いた場合である。テクス
チャの形成は、1)基板の表面を研磨と同時に設ける場
合、2)アイランド状の極薄の薄膜を形成し、これをテク
スチャとして用いる、などの手法がある。これらいずれ
の手法を用いても良いことは言うまでもない。この基板
上に、実施例1と同様の磁気記録媒体を形成した。(Embodiment 3) In this embodiment, a substrate having an uneven texture on the substrate surface is used. The texture may be formed by, for example, 1) forming the surface of the substrate at the same time as polishing, or 2) forming an extremely thin island-shaped thin film and using the thin film as the texture. It goes without saying that any of these methods may be used. On this substrate, the same magnetic recording medium as in Example 1 was formed.
【００３０】この磁気記録媒体の磁気特性は実施例1と
同様であった。このディスクの記録再生特性を図2に示
す磁気ディスク装置を用いて評価した。その結果、実施
例1よりノイズレベルが約1dB低かった。これは、基板表
面に形成されたテクスチャの凹凸のために、磁壁の移動
がピン止めされるので、情報を記録した後の磁化遷移領
域のジグザグパターンがより平坦になったためであるこ
とがMFMを用いた解析により判明した。この効果は、用
いる磁性膜材料に依存しないことは言うまでもない。The magnetic characteristics of this magnetic recording medium were the same as those of the first embodiment. The recording and reproduction characteristics of this disk were evaluated using the magnetic disk device shown in FIG. As a result, the noise level was about 1 dB lower than that of Example 1. This is because the movement of the domain wall is pinned due to the unevenness of the texture formed on the substrate surface, and the zigzag pattern of the magnetization transition region after recording the information has become flatter. The analysis used revealed this. Needless to say, this effect does not depend on the magnetic film material used.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明によれば、遷移金属の副格子磁化
優勢側の希土類―鉄族元素から成る非晶質合金の磁性膜
上に、この磁性膜より大きな飽和磁化を有する磁性膜を
互いに磁気的に結合するように設けることにより、磁性
膜からの磁気フラックスを増大できる。これにより、再
生信号出力の増大を図ることができる。これにより、高
密度記録に好適な磁気記録媒体を提供できた。さらに、
この磁気記録媒体は、大きな活性化体積を有するので熱
減磁や熱揺らぎの小さいなどの熱安定性に優れた磁気記
録材料を提供することができた。さらに、基板と平行方
向に大きな磁気異方性を有するので、これを磁気記録膜
に用いると再生信号出力の増大を図る効果がある。さら
に、この膜は非晶質であるので、媒体に起因するノイズ
を小さくできる。これに加えて、磁性膜が非晶質である
ので、磁性膜の結晶配向性を制御するためのシード層を
形成する必要がなく、磁気記録媒体の積層構造を簡素化
できるなど量産化および低価格化に有効である。さら
に、表面にテクスチャを有する基板を用いると磁区の形
成精度の向上ならびにノイズの低減に効果がある。ま
た、本実施例を用いると、装置上の仕様を変更すること
がほとんどないので、安価で高性能な磁気ディスク装置
を提供できる。According to the present invention, a magnetic film having a higher saturation magnetization than a magnetic film of an amorphous alloy composed of a rare earth-iron group element on the side of the sublattice magnetization of the transition metal is predominantly attached to each other. By providing the magnetic coupling, the magnetic flux from the magnetic film can be increased. Thereby, the output of the reproduction signal can be increased. This provided a magnetic recording medium suitable for high-density recording. further,
Since this magnetic recording medium has a large activation volume, a magnetic recording material excellent in thermal stability such as thermal demagnetization and small thermal fluctuation can be provided. Furthermore, since it has a large magnetic anisotropy in the direction parallel to the substrate, using this for the magnetic recording film has the effect of increasing the output of the reproduction signal. Further, since this film is amorphous, noise due to the medium can be reduced. In addition, since the magnetic film is amorphous, there is no need to form a seed layer for controlling the crystal orientation of the magnetic film, and mass production and low production can be achieved by simplifying the laminated structure of the magnetic recording medium. Effective for pricing. Furthermore, using a substrate having a texture on the surface is effective in improving the accuracy of forming magnetic domains and reducing noise. Further, according to the present embodiment, the specifications on the device are hardly changed, so that a low-cost and high-performance magnetic disk device can be provided.
【００３２】以上の技術により、40Gb/in2を超える面記
録密度を実現することができた。With the above technology, a surface recording density exceeding 40 Gb / in 2 could be realized.
【図１】 磁気ディスクの断面構造を示す模式図FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a magnetic disk.
【図２】 磁気ディスク装置の構成を示す図FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a magnetic disk drive.
１・・・ 基板 ２・・・ 無機化合物膜 ３・・・ 磁性膜Ｉ ４・・・ 磁性膜II ５・・・ 保護膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Inorganic compound film 3 ... Magnetic film I 4 ... Magnetic film II 5 ... Protective film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 康一郎 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 竹内 輝明 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 坂本 晴美 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 Ｆターム(参考） 5D006 BB01 BB07 BB08 DA03 DA04 EA03 FA09 5E049 AA01 AA04 AA07 AA09 AC05 BA06 CB01 DB04 GC01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Koichiro Wakabayashi 1-1-88 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Prefecture Inside Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Teruaki Takeuchi 1-188 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Hitachi Within Maxell Co., Ltd. (72) Inventor Harumi Sakamoto 1-88 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Prefecture F-term within Hitachi Maxell Co., Ltd. 5D006 BB01 BB07 BB08 DA03 DA04 EA03 FA09 5E049 AA01 AA04 AA07 AA09 AC05 BA06 CB01 DB04 GC01
Claims (14)
録媒体において、該磁性膜は互いに磁気的に結合した第
１の磁性膜と第２の磁性膜を少なくとも備え、該第２の
磁性膜は該第１の磁性膜より飽和磁化が大きく、かつ、
該第１の磁性膜は基体面に平行な方向に磁化容易軸を有
し垂直磁気異方性エネルギーが1×104erg/cm3以下であ
り面内の磁気異方性エネルギーが1×107erg/cm3以上で
ある非晶質フェリ磁性材料からなる強磁性薄膜であり、
該第２の磁性膜は基体面に平行な方向に磁化容易軸を有
する強磁性薄膜であることを特徴とする情報記録媒体。1. An information recording medium having at least a base and a magnetic film, wherein the magnetic film includes at least a first magnetic film and a second magnetic film magnetically coupled to each other, and wherein the second magnetic film is The saturation magnetization is larger than that of the first magnetic film, and
The first magnetic film has an easy axis of magnetization in a direction parallel to the substrate surface, has a perpendicular magnetic anisotropy energy of 1 × 10 4 erg / cm 3 or less, and has an in-plane magnetic anisotropy energy of 1 × 10 4 erg / cm 3. A ferromagnetic thin film made of an amorphous ferrimagnetic material having an energy of 7 erg / cm 3 or more,
The information recording medium according to claim 1, wherein said second magnetic film is a ferromagnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction parallel to a substrate surface.
２の磁性膜により増幅させたことを特徴とする請求項１
記載の情報記録媒体。2. The method according to claim 1, wherein the magnetic flux of the first magnetic film is amplified by a second magnetic film.
Information recording medium as described.
素とからなる合金であることを特徴とする請求項1およ
び２記載の情報記録媒体。3. The information recording medium according to claim 1, wherein said first magnetic film is an alloy comprising an iron group element and a rare earth element.
る少なくとも1種類の元素であり、前記希土類元素がLa,
Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Er,Tm,Yb,Lu,Yの内より選ばれる少
なくとも1種類の元素であることを特徴とする請求項３
記載の情報記録媒体。4. The iron group element is at least one element selected from the group consisting of Fe, Co, and Ni, and the rare earth element is La,
4. The element according to claim 3, wherein the element is at least one element selected from Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Er, Tm, Yb, Lu, and Y.
Information recording medium as described.
磁化が優勢であることを特徴とする請求項４記載の情報
記録媒体。5. The information recording medium according to claim 4, wherein the first magnetic film has a predominant sub-lattice magnetization of an iron group element.
り選ばれる少なくとも１種類の元素とPt,Pd,Rhの内より
選ばれる少なくとも１種類の元素との合金であるか、あ
るいは、該２種類の元素群より選ばれる元素を交互に積
層した多層膜(人工格子膜)であることを特徴とする請求
項１および２記載の情報記録媒体。6. The second magnetic film is an alloy of at least one element selected from Co or Ni and at least one element selected from Pt, Pd, Rh, or 3. The information recording medium according to claim 1, wherein the information recording medium is a multilayer film (artificial lattice film) in which elements selected from the two kinds of element groups are alternately stacked.
気異方性定数、V:活性化体積、k：ボルツマン定数、T:
温度)で表され、該磁性膜における活性化体積：Vが、該
磁性膜に形成される磁区における体積に相当することを
特徴とする請求項１および２記載の情報記録媒体。7. The physical properties of the magnetic film are KuV / kT (Ku: crystal magnetic anisotropy constant, V: activation volume, k: Boltzmann constant, T:
3. The information recording medium according to claim 1, wherein an activation volume: V in the magnetic film is represented by (temperature) and corresponds to a volume in a magnetic domain formed in the magnetic film.
/cm3以上、保磁力が3kOe以上、膜厚が20nm以下であり、
第２の磁性膜は、飽和磁化が800emu/cm3以上であること
を特徴とする請求項１および２記載の情報記録媒体。8. The first magnetic film has a saturation magnetization of 500 emu.
/ cm 3 or more, coercive force 3 kOe or more, film thickness 20 nm or less,
3. The information recording medium according to claim 1, wherein the second magnetic film has a saturation magnetization of 800 emu / cm 3 or more.
m以下であることを特徴とする請求項８記載の情報記録
媒体。9. The method according to claim 1, wherein the thickness of the first magnetic film is 1 nm or more and 10 n
9. The information recording medium according to claim 8, wherein m is equal to or less than m.
録するための記録ヘッドと、情報を再生するための再生
ヘッドと、情報記録媒体を回転させるための駆動部と、
電気回路を少なくとも具備する情報記憶装置において、
該情報記録媒体は基体と磁性膜を少なくとも具備し、該
磁性膜は互いに磁気的に結合した第１の磁性膜と第２の
磁性膜を少なくとも備え、該第２の磁性膜は該第１の磁
性膜より飽和磁化が大きく、かつ、該第１の磁性膜は基
体面に平行な方向に磁化容易軸を有し垂直磁気異方性エ
ネルギーが1×104erg/cm3以下であり面内の磁気異方性
エネルギーが1×107erg/cm3以上である非晶質フェリ磁
性材料からなる強磁性薄膜であり、該第２の磁性膜は基
体面に平行な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜であ
ることを特徴とする情報記憶装置。10. At least an information recording medium, a recording head for recording information, a reproducing head for reproducing information, a driving unit for rotating the information recording medium,
An information storage device including at least an electric circuit,
The information recording medium includes at least a substrate and a magnetic film, the magnetic film includes at least a first magnetic film and a second magnetic film magnetically coupled to each other, and the second magnetic film includes the first magnetic film and the first magnetic film. The first magnetic film has an easy axis of magnetization in a direction parallel to the substrate surface, has a perpendicular magnetic anisotropy energy of 1 × 10 4 erg / cm 3 or less, and has an in-plane magnetization. Is a ferromagnetic thin film made of an amorphous ferrimagnetic material having a magnetic anisotropy energy of 1 × 10 7 erg / cm 3 or more, and the second magnetic film has an easy axis of magnetization in a direction parallel to the substrate surface. An information storage device comprising a ferromagnetic thin film having the same.
チャを有する円形の基板を用いたことを特徴とする請求
項１０記載の情報記憶装置。11. The information storage device according to claim 10, wherein a circular substrate having an uneven texture on its surface is used as said base.
伴う磁壁の移動を制御し、磁性膜に形成される磁区のデ
ィスク上の位置を制御したことを特徴とする請求項１１
記載の情報記憶装置。12. The structure according to claim 11, wherein the texture controls the movement of the domain wall during recording or erasing, and controls the position of the magnetic domain formed on the magnetic film on the disk.
Information storage device as described.
タ、画像情報、磁気ディスク装置を制御するための制御
情報のうちから選ばれる少なくとも１つの情報であるこ
とを特徴とする請求項１０記載の情報記憶装置。13. The information according to claim 10, wherein the information is at least one information selected from audio information, code data, image information, and control information for controlling a magnetic disk drive. Storage device.
面記録密度で40Gb/in2を超える密度であることを特徴と
する請求項１０記載の情報記憶装置。14. The recording density on the information recording medium is:
Information storage device according to claim 10, wherein the at areal recording density is the density of more than 40 Gb / in 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34827299A JP2001167422A (en) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | Information-recording medium and information storage device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34827299A JP2001167422A (en) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | Information-recording medium and information storage device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001167422A true JP2001167422A (en) | 2001-06-22 |
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ID=18395927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34827299A Withdrawn JP2001167422A (en) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | Information-recording medium and information storage device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001167422A (en) |
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- 1999-12-08 JP JP34827299A patent/JP2001167422A/en not_active Withdrawn
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| RD01 | Notification of change of attorney |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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