JP2001154107A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- observation optical
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Abstract
ることがなく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡
を提供する。 【解決手段】 対物レンズ12の真上に間接観察光学系
30が、対物レンズより前方に直接観察光学系20がそ
れぞれ配置された顕微鏡において、対物レンズの光軸上
に低倍率のチューブレンズ14が配置されるとともに、
このチューブレンズ14を透過した光を、間接観察光学
系および直接観察光学系の少なくとも一方に切り換える
光路切換ミラー16が配置されている。直接観察光学系
は、接眼レンズ29と、光路切換ミラーによって直接観
察光学系に切り換えられた光を接眼レンズへ反射させる
リレー用ミラー24と、このリレー用ミラーおよび接眼
レンズの間に配置されたリレーレンズ25とを含んで構
成されている。
Description
エハなどの検査に適した顕微鏡に関する。詳しくは、被
測定物を載置するステージと、このステージに対向配置
された対物レンズと、この対物レンズの真上に配置され
た間接観察光学系と、対物レンズより前方に配置された
直接観察光学系とを備えた顕微鏡に関する。
三次元方向へ移動可能でかつ検査対象物を載置するステ
ージと、このステージに対向配置された対物レンズと、
この対物レンズの真上に配置された間接観察光学系、た
とえば、CCDカメラと、対物レンズより前方に配置さ
れ観察者が直接観察可能な直接観察光学系とを備えた顕
微鏡が知られている。最近、この種の顕微鏡にあって
は、検査対象物が大型化していることから、それを載置
するステージも大型化する傾向にある。
において、ステージが大型化すると、観察者が直接観察
光学系から検査対象物を直接観察しながら検査対象物を
検査しようとすると、ステージが最大限移動したとき
に、とくに、前方へ移動したとき、ステージが観察者に
干渉する虞が生じるという課題がある。
し、大型のステージを用いても、観察者に干渉すること
なく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡を提供す
ることにある。
目的を達成するため、次の構成を採用する。請求項1に
記載の顕微鏡は、被測定物を載置するステージと、この
ステージに対向配置された対物レンズと、この対物レン
ズの真上に配置された間接観察光学系と、対物レンズよ
り前方に配置された直接観察光学系とを備えた顕微鏡に
おいて、前記対物レンズの光軸上に低倍率のチューブレ
ンズが配置されるとともに、このチューブレンズを透過
した光を、前記間接観察光学系および前記直接観察光学
系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段が配置さ
れ、前記直接観察光学系は、接眼レンズと、前記光路切
換手段によって直接観察光学系に切り換えられた光を前
記接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、このリレ
ー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置されたリレーレ
ンズとを含んで構成されていることを特徴とする。
低倍率のチューブレンズが配置されているから、間接観
察光学系側中間像位置を低く抑えることができる。これ
により、広視野観察が可能で、しかも、その真上に配置
される間接観察光学系の重心位置を低く下げることがで
きるから、間接観察光学系による観察時のぶれを極力抑
えることができる。また、直接観察光学系は、接眼レン
ズと、光路切換手段によって直接観察光学系に切り換え
られた光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、
このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置された
リレーレンズとを含んで構成されているから、とくに、
リレーレンズによって対物レンズの光軸から接眼レンズ
までの距離を大きくとることができる。このため、観察
者が直接観察光学系から検査対象物を直接観察しながら
検査対象物を検査する際、ステージが前方へ最大限移動
しても、ステージが観察者に干渉する虞が少ない。つま
り、上記構成によれば、間接観察光学系の重心位置を低
く抑えつつ、対物レンズの光軸から接眼レンズまでの距
離を大きくとることができるから、間接観察光学系によ
る観察時のぶれを極力抑えつつ、ステージが観察者に干
渉する虞も回避できる。
載の顕微鏡において、前記チューブレンズの倍率は、1
倍以下に設定されていることを特徴とする。この構成に
よれば、チューブレンズの倍率が1倍以下に設定されて
いるから、間接観察光学系による広視野観察が可能で、
しかも、間接観察光学系の重心位置を低く極力抑えるこ
とができる。
は請求項2に記載の顕微鏡において、前記間接観察光学
系は、CCDカメラを含んで構成されていることを特徴
とする。この構成によれば、比較的重量の重いCCDカ
メラを真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑えるこ
とができる。
し請求項3のいずれかに記載の顕微鏡において、前記光
路切換手段は、前記チューブレンズの光軸に対して挿入
可能かつ光軸から退避可能な光路切換ミラーを含んで構
成されていることを特徴とする。この構成によれば、光
路切換手段をプリズムなどで作る場合より、安価にかつ
コンパクトに構成することができる。
に基づいて説明する。図1は本実施形態の顕微鏡の斜視
図である。同顕微鏡は、ベース部1と、そのベース部1
の後部から垂直に立ち上がったのちベース部1の上方に
伸びるコラム部2とを備えている。ベース部1の上に
は、検査対象物を載置する大型のステージ3が三次元方
向、つまり、左右(X方向)、前後(Y方向)および上
下方向(Z方向)へ移動可能に設けられている。
照射する照明光学系10と、検査対象物からの光を基に
検査対象物の像を観察する間接観察光学系30および直
接観察光学系20とがそれぞれ設けられている。ここで
は、後述する対物レンズ12の真上に間接観察光学系3
0が配置され、対物レンズ12より前方に直接観察光学
系20が配置されている。
源装置11と、レボルバ(図1参照)に取り付けられる
対物レンズ12と、前記光源装置11からの光を反射さ
せ対物レンズ12を通して検査対象物に照射するととも
に検査対象物からの反射光を透過するビームスプリッタ
13とを備える。
ーブレンズ14が配置されるとともに、このチューブレ
ンズ14を透過した光を、前記間接観察光学系30およ
び前記直接観察光学系20の少なくとも一方に切り換え
る光路切換手段15が配置されている。ここでは、チュ
ーブレンズ14として、低倍率のチューブレンズ、具体
的には、0.7倍のチューブレンズが用いられている。
また、光路切換手段15は、前記チューブレンズ14の
光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能で、かつ、
挿入時には前方斜め下方へ光を反射させる光路切換ミラ
ー16を含んで構成されている。
カメラ31が用いられている。CCDカメラ31の撮像
面が、チューブレンズ14の中間像位置に配置されてい
る。従って、光路切換ミラー16をチューブレンズ14
の光軸から退避させれば、チューブレンズ14を通った
光がCCDカメラ31の撮像面に導入される結果、画像
による間接観察が可能になる。
うに、光路切換ミラー16の反射光路上に配置されたフ
ィールドレンズ23およびリレー用ミラー24と、この
リレー用ミラー24の反射光路上に配置されたリレーレ
ンズ25およびプリズム26と、このプリズム26で分
離された各光を観察する光学素子27,28と、接眼レ
ンズ29とを備える。ちなみに、リレーレンズ25の倍
率は1/0.7倍、接眼レンズ29の観察位置での中間
像倍率は1倍である。
前方斜め上方へ反射させるためにリレー用ミラー24が
配置され、このリレー用ミラー24と接眼レンズ29と
間にリレーレンズ25が配置されている。この構成によ
って、対物レンズ12の光軸から接眼レンズ29までの
距離Lが大きく設定されている。
12の光軸上に低倍率のチューブレンズ14を配置した
ので、間接観察光学系30側中間像位置を低く抑えるこ
とができる。これにより、広視野観察が可能で、しか
も、真上に配置される間接観察光学系30の重心位置を
低く下げることができるから、間接観察光学系30によ
る観察時のぶれを極力抑えることができる。とくに、間
接観察光学系30として、比較的重量の重いCCDカメ
ラ31を真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑える
ことができる。
29と、光路切換手段15からの光を接眼レンズ29へ
反射させるリレー用ミラー24と、このリレー用ミラー
24および接眼レンズ29の間に配置されたリレーレン
ズ25とを含んで構成したので、対物レンズ12の光軸
から接眼レンズ29までの距離Lを大きくとることがで
きる。このため、観察者が直接観察光学系20から検査
対象物を直接観察しながら検査対象物を検査する際、ス
テージ3が前方へ最大限移動しても、ステージ3が観察
者に干渉する虞が少ない。
観察光学系30の重心位置を低く抑えつつ、対物レンズ
12の光軸から接眼レンズ29までの距離Lを大きくと
ることができるから、間接観察光学系30による観察時
のぶれを極力抑えつつ、ステージ3が観察者に干渉する
虞も回避できる。
ズ14の光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能な
光路切換ミラー16を含んで構成したので、光路切換ミ
ラー16をプリズムなどで作る場合より、安価にかつコ
ンパクトに構成することができる。また、当然ながら、
この光路切換手段15として、ビームスプリッタを使用
し、テレビ側(CCD側)および接眼レンズ側での同時
観察も可能である。
14は、倍率が0.7倍のものを用いたが、これに限ら
れない。たとえば、1倍以下であればよく、好ましくは
0.8倍以下、より好ましくは0.7倍が最適である。
5の倍率を1/0.7倍、接眼レンズ29の観察位置で
の中間像倍率を1倍としたが、これに限られない。たと
えば、リレーレンズ25の倍率を1/1.4倍、接眼レ
ンズ29の倍率を20倍とすれば、直接観察の倍率を同
じにできる。あるいは、リレーレンズ25の倍率を1/
1.4倍、接眼レンズ29の観察位置での中間倍率を
0.5倍としてもよい。この場合、接眼レンズ29の倍
率を20倍とすれば、直接観察の倍率を同じにできる。
30としてCCDカメラ31を用いたが、これに限ら
ず、観察対象物からの光を撮像できる装置であれば、他
の構造でもよい。
光軸上に低倍率のチューブレンズが配置され、このチュ
ーブレンズを透過した光を、間接観察光学系および直接
観察光学系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段
が配置され、直接観察光学系は、接眼レンズと、光路切
換手段からの光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラ
ーと、このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置
されたリレーレンズとを含んで構成されているから、大
型のステージを用いても、観察者に干渉することがな
く、しかも、安価でかつコンパクトに構成することがで
きる。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 被測定物を載置するステージと、このス
テージに対向配置された対物レンズと、この対物レンズ
の真上に配置された間接観察光学系と、対物レンズより
前方に配置された直接観察光学系とを備えた顕微鏡にお
いて、 前記対物レンズの光軸上に低倍率のチューブレンズが配
置されるとともに、 このチューブレンズを透過した光を、前記間接観察光学
系および前記直接観察光学系の少なくとも一方に切り換
える光路切換手段が配置され、 前記直接観察光学系は、接眼レンズと、前記光路切換手
段によって直接観察光学系に切り換えられた光を前記接
眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、このリレー用
ミラーおよび接眼レンズの間に配置されたリレーレンズ
とを含んで構成されていることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項2】 請求項1に記載の顕微鏡において、 前記チューブレンズの倍率は、1倍以下に設定されてい
ることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の顕微鏡
において、 前記間接観察光学系は、CCDカメラを含んで構成され
ていることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかに記
載の顕微鏡において、 前記光路切換手段は、前記チューブレンズの光軸に対し
て挿入可能かつ光軸から退避可能な光路切換ミラーを含
んで構成されていることを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33792899A JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33792899A JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001154107A true JP2001154107A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18313328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33792899A Pending JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001154107A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105830A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | グラビア版セル形状測定装置および測定方法 |
CN102692699A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
JP2013057816A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
JP2013092658A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系およびグリノー式実体顕微鏡 |
JP2013109081A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Olympus Corp | 倒立顕微鏡 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33792899A patent/JP2001154107A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006105830A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | グラビア版セル形状測定装置および測定方法 |
CN102692699A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
JP2012212096A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-11-01 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
CN102692699B (zh) * | 2011-03-23 | 2016-07-06 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
JP2013057816A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
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JP2013109081A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Olympus Corp | 倒立顕微鏡 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060112 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060320 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060411 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061003 |