JP2001154107A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JP2001154107A JP2001154107A JP33792899A JP33792899A JP2001154107A JP 2001154107 A JP2001154107 A JP 2001154107A JP 33792899 A JP33792899 A JP 33792899A JP 33792899 A JP33792899 A JP 33792899A JP 2001154107 A JP2001154107 A JP 2001154107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- lens
- observation optical
- microscope
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型のステージを用いても、観察者に干渉す
ることがなく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡
を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１２の真上に間接観察光学系
３０が、対物レンズより前方に直接観察光学系２０がそ
れぞれ配置された顕微鏡において、対物レンズの光軸上
に低倍率のチューブレンズ１４が配置されるとともに、
このチューブレンズ１４を透過した光を、間接観察光学
系および直接観察光学系の少なくとも一方に切り換える
光路切換ミラー１６が配置されている。直接観察光学系
は、接眼レンズ２９と、光路切換ミラーによって直接観
察光学系に切り換えられた光を接眼レンズへ反射させる
リレー用ミラー２４と、このリレー用ミラーおよび接眼
レンズの間に配置されたリレーレンズ２５とを含んで構
成されている。
ることがなく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡
を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１２の真上に間接観察光学系
３０が、対物レンズより前方に直接観察光学系２０がそ
れぞれ配置された顕微鏡において、対物レンズの光軸上
に低倍率のチューブレンズ１４が配置されるとともに、
このチューブレンズ１４を透過した光を、間接観察光学
系および直接観察光学系の少なくとも一方に切り換える
光路切換ミラー１６が配置されている。直接観察光学系
は、接眼レンズ２９と、光路切換ミラーによって直接観
察光学系に切り換えられた光を接眼レンズへ反射させる
リレー用ミラー２４と、このリレー用ミラーおよび接眼
レンズの間に配置されたリレーレンズ２５とを含んで構
成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、ＩＣウ
エハなどの検査に適した顕微鏡に関する。詳しくは、被
測定物を載置するステージと、このステージに対向配置
された対物レンズと、この対物レンズの真上に配置され
た間接観察光学系と、対物レンズより前方に配置された
直接観察光学系とを備えた顕微鏡に関する。
エハなどの検査に適した顕微鏡に関する。詳しくは、被
測定物を載置するステージと、このステージに対向配置
された対物レンズと、この対物レンズの真上に配置され
た間接観察光学系と、対物レンズより前方に配置された
直接観察光学系とを備えた顕微鏡に関する。
【０００２】
【背景技術】ＩＣウエハの検査に適した顕微鏡として、
三次元方向へ移動可能でかつ検査対象物を載置するステ
ージと、このステージに対向配置された対物レンズと、
この対物レンズの真上に配置された間接観察光学系、た
とえば、ＣＣＤカメラと、対物レンズより前方に配置さ
れ観察者が直接観察可能な直接観察光学系とを備えた顕
微鏡が知られている。最近、この種の顕微鏡にあって
は、検査対象物が大型化していることから、それを載置
するステージも大型化する傾向にある。
三次元方向へ移動可能でかつ検査対象物を載置するステ
ージと、このステージに対向配置された対物レンズと、
この対物レンズの真上に配置された間接観察光学系、た
とえば、ＣＣＤカメラと、対物レンズより前方に配置さ
れ観察者が直接観察可能な直接観察光学系とを備えた顕
微鏡が知られている。最近、この種の顕微鏡にあって
は、検査対象物が大型化していることから、それを載置
するステージも大型化する傾向にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した構造の顕微鏡
において、ステージが大型化すると、観察者が直接観察
光学系から検査対象物を直接観察しながら検査対象物を
検査しようとすると、ステージが最大限移動したとき
に、とくに、前方へ移動したとき、ステージが観察者に
干渉する虞が生じるという課題がある。
において、ステージが大型化すると、観察者が直接観察
光学系から検査対象物を直接観察しながら検査対象物を
検査しようとすると、ステージが最大限移動したとき
に、とくに、前方へ移動したとき、ステージが観察者に
干渉する虞が生じるという課題がある。
【０００４】本発明の目的は、このような課題を解消
し、大型のステージを用いても、観察者に干渉すること
なく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡を提供す
ることにある。
し、大型のステージを用いても、観察者に干渉すること
なく、しかも、安価でかつコンパクトな顕微鏡を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡は、上記
目的を達成するため、次の構成を採用する。請求項１に
記載の顕微鏡は、被測定物を載置するステージと、この
ステージに対向配置された対物レンズと、この対物レン
ズの真上に配置された間接観察光学系と、対物レンズよ
り前方に配置された直接観察光学系とを備えた顕微鏡に
おいて、前記対物レンズの光軸上に低倍率のチューブレ
ンズが配置されるとともに、このチューブレンズを透過
した光を、前記間接観察光学系および前記直接観察光学
系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段が配置さ
れ、前記直接観察光学系は、接眼レンズと、前記光路切
換手段によって直接観察光学系に切り換えられた光を前
記接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、このリレ
ー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置されたリレーレ
ンズとを含んで構成されていることを特徴とする。
目的を達成するため、次の構成を採用する。請求項１に
記載の顕微鏡は、被測定物を載置するステージと、この
ステージに対向配置された対物レンズと、この対物レン
ズの真上に配置された間接観察光学系と、対物レンズよ
り前方に配置された直接観察光学系とを備えた顕微鏡に
おいて、前記対物レンズの光軸上に低倍率のチューブレ
ンズが配置されるとともに、このチューブレンズを透過
した光を、前記間接観察光学系および前記直接観察光学
系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段が配置さ
れ、前記直接観察光学系は、接眼レンズと、前記光路切
換手段によって直接観察光学系に切り換えられた光を前
記接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、このリレ
ー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置されたリレーレ
ンズとを含んで構成されていることを特徴とする。
【０００６】この構成によれば、対物レンズの光軸上に
低倍率のチューブレンズが配置されているから、間接観
察光学系側中間像位置を低く抑えることができる。これ
により、広視野観察が可能で、しかも、その真上に配置
される間接観察光学系の重心位置を低く下げることがで
きるから、間接観察光学系による観察時のぶれを極力抑
えることができる。また、直接観察光学系は、接眼レン
ズと、光路切換手段によって直接観察光学系に切り換え
られた光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、
このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置された
リレーレンズとを含んで構成されているから、とくに、
リレーレンズによって対物レンズの光軸から接眼レンズ
までの距離を大きくとることができる。このため、観察
者が直接観察光学系から検査対象物を直接観察しながら
検査対象物を検査する際、ステージが前方へ最大限移動
しても、ステージが観察者に干渉する虞が少ない。つま
り、上記構成によれば、間接観察光学系の重心位置を低
く抑えつつ、対物レンズの光軸から接眼レンズまでの距
離を大きくとることができるから、間接観察光学系によ
る観察時のぶれを極力抑えつつ、ステージが観察者に干
渉する虞も回避できる。
低倍率のチューブレンズが配置されているから、間接観
察光学系側中間像位置を低く抑えることができる。これ
により、広視野観察が可能で、しかも、その真上に配置
される間接観察光学系の重心位置を低く下げることがで
きるから、間接観察光学系による観察時のぶれを極力抑
えることができる。また、直接観察光学系は、接眼レン
ズと、光路切換手段によって直接観察光学系に切り換え
られた光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、
このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置された
リレーレンズとを含んで構成されているから、とくに、
リレーレンズによって対物レンズの光軸から接眼レンズ
までの距離を大きくとることができる。このため、観察
者が直接観察光学系から検査対象物を直接観察しながら
検査対象物を検査する際、ステージが前方へ最大限移動
しても、ステージが観察者に干渉する虞が少ない。つま
り、上記構成によれば、間接観察光学系の重心位置を低
く抑えつつ、対物レンズの光軸から接眼レンズまでの距
離を大きくとることができるから、間接観察光学系によ
る観察時のぶれを極力抑えつつ、ステージが観察者に干
渉する虞も回避できる。
【０００７】請求項２に記載の顕微鏡は、請求項１に記
載の顕微鏡において、前記チューブレンズの倍率は、１
倍以下に設定されていることを特徴とする。この構成に
よれば、チューブレンズの倍率が１倍以下に設定されて
いるから、間接観察光学系による広視野観察が可能で、
しかも、間接観察光学系の重心位置を低く極力抑えるこ
とができる。
載の顕微鏡において、前記チューブレンズの倍率は、１
倍以下に設定されていることを特徴とする。この構成に
よれば、チューブレンズの倍率が１倍以下に設定されて
いるから、間接観察光学系による広視野観察が可能で、
しかも、間接観察光学系の重心位置を低く極力抑えるこ
とができる。
【０００８】請求項３に記載の顕微鏡は、請求項１また
は請求項２に記載の顕微鏡において、前記間接観察光学
系は、ＣＣＤカメラを含んで構成されていることを特徴
とする。この構成によれば、比較的重量の重いＣＣＤカ
メラを真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑えるこ
とができる。
は請求項２に記載の顕微鏡において、前記間接観察光学
系は、ＣＣＤカメラを含んで構成されていることを特徴
とする。この構成によれば、比較的重量の重いＣＣＤカ
メラを真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑えるこ
とができる。
【０００９】請求項４に記載の顕微鏡は、請求項１ない
し請求項３のいずれかに記載の顕微鏡において、前記光
路切換手段は、前記チューブレンズの光軸に対して挿入
可能かつ光軸から退避可能な光路切換ミラーを含んで構
成されていることを特徴とする。この構成によれば、光
路切換手段をプリズムなどで作る場合より、安価にかつ
コンパクトに構成することができる。
し請求項３のいずれかに記載の顕微鏡において、前記光
路切換手段は、前記チューブレンズの光軸に対して挿入
可能かつ光軸から退避可能な光路切換ミラーを含んで構
成されていることを特徴とする。この構成によれば、光
路切換手段をプリズムなどで作る場合より、安価にかつ
コンパクトに構成することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施形態の顕微鏡の斜視
図である。同顕微鏡は、ベース部１と、そのベース部１
の後部から垂直に立ち上がったのちベース部１の上方に
伸びるコラム部２とを備えている。ベース部１の上に
は、検査対象物を載置する大型のステージ３が三次元方
向、つまり、左右（Ｘ方向）、前後（Ｙ方向）および上
下方向（Ｚ方向）へ移動可能に設けられている。
に基づいて説明する。図１は本実施形態の顕微鏡の斜視
図である。同顕微鏡は、ベース部１と、そのベース部１
の後部から垂直に立ち上がったのちベース部１の上方に
伸びるコラム部２とを備えている。ベース部１の上に
は、検査対象物を載置する大型のステージ３が三次元方
向、つまり、左右（Ｘ方向）、前後（Ｙ方向）および上
下方向（Ｚ方向）へ移動可能に設けられている。
【００１１】コラム部２には、検査対象物に対して光を
照射する照明光学系１０と、検査対象物からの光を基に
検査対象物の像を観察する間接観察光学系３０および直
接観察光学系２０とがそれぞれ設けられている。ここで
は、後述する対物レンズ１２の真上に間接観察光学系３
０が配置され、対物レンズ１２より前方に直接観察光学
系２０が配置されている。
照射する照明光学系１０と、検査対象物からの光を基に
検査対象物の像を観察する間接観察光学系３０および直
接観察光学系２０とがそれぞれ設けられている。ここで
は、後述する対物レンズ１２の真上に間接観察光学系３
０が配置され、対物レンズ１２より前方に直接観察光学
系２０が配置されている。
【００１２】照明光学系１０は、図２に示すように、光
源装置１１と、レボルバ（図１参照）に取り付けられる
対物レンズ１２と、前記光源装置１１からの光を反射さ
せ対物レンズ１２を通して検査対象物に照射するととも
に検査対象物からの反射光を透過するビームスプリッタ
１３とを備える。
源装置１１と、レボルバ（図１参照）に取り付けられる
対物レンズ１２と、前記光源装置１１からの光を反射さ
せ対物レンズ１２を通して検査対象物に照射するととも
に検査対象物からの反射光を透過するビームスプリッタ
１３とを備える。
【００１３】ビームスプリッタ１３と同軸上には、チュ
ーブレンズ１４が配置されるとともに、このチューブレ
ンズ１４を透過した光を、前記間接観察光学系３０およ
び前記直接観察光学系２０の少なくとも一方に切り換え
る光路切換手段１５が配置されている。ここでは、チュ
ーブレンズ１４として、低倍率のチューブレンズ、具体
的には、０．７倍のチューブレンズが用いられている。
また、光路切換手段１５は、前記チューブレンズ１４の
光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能で、かつ、
挿入時には前方斜め下方へ光を反射させる光路切換ミラ
ー１６を含んで構成されている。
ーブレンズ１４が配置されるとともに、このチューブレ
ンズ１４を透過した光を、前記間接観察光学系３０およ
び前記直接観察光学系２０の少なくとも一方に切り換え
る光路切換手段１５が配置されている。ここでは、チュ
ーブレンズ１４として、低倍率のチューブレンズ、具体
的には、０．７倍のチューブレンズが用いられている。
また、光路切換手段１５は、前記チューブレンズ１４の
光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能で、かつ、
挿入時には前方斜め下方へ光を反射させる光路切換ミラ
ー１６を含んで構成されている。
【００１４】前記間接観察光学系３０としては、ＣＣＤ
カメラ３１が用いられている。ＣＣＤカメラ３１の撮像
面が、チューブレンズ１４の中間像位置に配置されてい
る。従って、光路切換ミラー１６をチューブレンズ１４
の光軸から退避させれば、チューブレンズ１４を通った
光がＣＣＤカメラ３１の撮像面に導入される結果、画像
による間接観察が可能になる。
カメラ３１が用いられている。ＣＣＤカメラ３１の撮像
面が、チューブレンズ１４の中間像位置に配置されてい
る。従って、光路切換ミラー１６をチューブレンズ１４
の光軸から退避させれば、チューブレンズ１４を通った
光がＣＣＤカメラ３１の撮像面に導入される結果、画像
による間接観察が可能になる。
【００１５】前記直接観察光学系２０は、図２に示すよ
うに、光路切換ミラー１６の反射光路上に配置されたフ
ィールドレンズ２３およびリレー用ミラー２４と、この
リレー用ミラー２４の反射光路上に配置されたリレーレ
ンズ２５およびプリズム２６と、このプリズム２６で分
離された各光を観察する光学素子２７，２８と、接眼レ
ンズ２９とを備える。ちなみに、リレーレンズ２５の倍
率は１／０．７倍、接眼レンズ２９の観察位置での中間
像倍率は１倍である。
うに、光路切換ミラー１６の反射光路上に配置されたフ
ィールドレンズ２３およびリレー用ミラー２４と、この
リレー用ミラー２４の反射光路上に配置されたリレーレ
ンズ２５およびプリズム２６と、このプリズム２６で分
離された各光を観察する光学素子２７，２８と、接眼レ
ンズ２９とを備える。ちなみに、リレーレンズ２５の倍
率は１／０．７倍、接眼レンズ２９の観察位置での中間
像倍率は１倍である。
【００１６】つまり、フィールドレンズ２３からの光を
前方斜め上方へ反射させるためにリレー用ミラー２４が
配置され、このリレー用ミラー２４と接眼レンズ２９と
間にリレーレンズ２５が配置されている。この構成によ
って、対物レンズ１２の光軸から接眼レンズ２９までの
距離Ｌが大きく設定されている。
前方斜め上方へ反射させるためにリレー用ミラー２４が
配置され、このリレー用ミラー２４と接眼レンズ２９と
間にリレーレンズ２５が配置されている。この構成によ
って、対物レンズ１２の光軸から接眼レンズ２９までの
距離Ｌが大きく設定されている。
【００１７】従って、本実施形態によれば、対物レンズ
１２の光軸上に低倍率のチューブレンズ１４を配置した
ので、間接観察光学系３０側中間像位置を低く抑えるこ
とができる。これにより、広視野観察が可能で、しか
も、真上に配置される間接観察光学系３０の重心位置を
低く下げることができるから、間接観察光学系３０によ
る観察時のぶれを極力抑えることができる。とくに、間
接観察光学系３０として、比較的重量の重いＣＣＤカメ
ラ３１を真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑える
ことができる。
１２の光軸上に低倍率のチューブレンズ１４を配置した
ので、間接観察光学系３０側中間像位置を低く抑えるこ
とができる。これにより、広視野観察が可能で、しか
も、真上に配置される間接観察光学系３０の重心位置を
低く下げることができるから、間接観察光学系３０によ
る観察時のぶれを極力抑えることができる。とくに、間
接観察光学系３０として、比較的重量の重いＣＣＤカメ
ラ３１を真上に搭載しても、観察時のぶれを極力抑える
ことができる。
【００１８】また、直接観察光学系２０は、接眼レンズ
２９と、光路切換手段１５からの光を接眼レンズ２９へ
反射させるリレー用ミラー２４と、このリレー用ミラー
２４および接眼レンズ２９の間に配置されたリレーレン
ズ２５とを含んで構成したので、対物レンズ１２の光軸
から接眼レンズ２９までの距離Ｌを大きくとることがで
きる。このため、観察者が直接観察光学系２０から検査
対象物を直接観察しながら検査対象物を検査する際、ス
テージ３が前方へ最大限移動しても、ステージ３が観察
者に干渉する虞が少ない。
２９と、光路切換手段１５からの光を接眼レンズ２９へ
反射させるリレー用ミラー２４と、このリレー用ミラー
２４および接眼レンズ２９の間に配置されたリレーレン
ズ２５とを含んで構成したので、対物レンズ１２の光軸
から接眼レンズ２９までの距離Ｌを大きくとることがで
きる。このため、観察者が直接観察光学系２０から検査
対象物を直接観察しながら検査対象物を検査する際、ス
テージ３が前方へ最大限移動しても、ステージ３が観察
者に干渉する虞が少ない。
【００１９】つまり、本実施形態の構成とすれば、間接
観察光学系３０の重心位置を低く抑えつつ、対物レンズ
１２の光軸から接眼レンズ２９までの距離Ｌを大きくと
ることができるから、間接観察光学系３０による観察時
のぶれを極力抑えつつ、ステージ３が観察者に干渉する
虞も回避できる。
観察光学系３０の重心位置を低く抑えつつ、対物レンズ
１２の光軸から接眼レンズ２９までの距離Ｌを大きくと
ることができるから、間接観察光学系３０による観察時
のぶれを極力抑えつつ、ステージ３が観察者に干渉する
虞も回避できる。
【００２０】また、光路切換手段１５を、チューブレン
ズ１４の光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能な
光路切換ミラー１６を含んで構成したので、光路切換ミ
ラー１６をプリズムなどで作る場合より、安価にかつコ
ンパクトに構成することができる。また、当然ながら、
この光路切換手段１５として、ビームスプリッタを使用
し、テレビ側（ＣＣＤ側）および接眼レンズ側での同時
観察も可能である。
ズ１４の光軸に対して挿入可能かつ光軸から退避可能な
光路切換ミラー１６を含んで構成したので、光路切換ミ
ラー１６をプリズムなどで作る場合より、安価にかつコ
ンパクトに構成することができる。また、当然ながら、
この光路切換手段１５として、ビームスプリッタを使用
し、テレビ側（ＣＣＤ側）および接眼レンズ側での同時
観察も可能である。
【００２１】なお、上記実施形態では、チューブレンズ
１４は、倍率が０．７倍のものを用いたが、これに限ら
れない。たとえば、１倍以下であればよく、好ましくは
０．８倍以下、より好ましくは０．７倍が最適である。
１４は、倍率が０．７倍のものを用いたが、これに限ら
れない。たとえば、１倍以下であればよく、好ましくは
０．８倍以下、より好ましくは０．７倍が最適である。
【００２２】また、上記実施形態では、リレーレンズ２
５の倍率を１／０．７倍、接眼レンズ２９の観察位置で
の中間像倍率を１倍としたが、これに限られない。たと
えば、リレーレンズ２５の倍率を１／１．４倍、接眼レ
ンズ２９の倍率を２０倍とすれば、直接観察の倍率を同
じにできる。あるいは、リレーレンズ２５の倍率を１／
１．４倍、接眼レンズ２９の観察位置での中間倍率を
０．５倍としてもよい。この場合、接眼レンズ２９の倍
率を２０倍とすれば、直接観察の倍率を同じにできる。
５の倍率を１／０．７倍、接眼レンズ２９の観察位置で
の中間像倍率を１倍としたが、これに限られない。たと
えば、リレーレンズ２５の倍率を１／１．４倍、接眼レ
ンズ２９の倍率を２０倍とすれば、直接観察の倍率を同
じにできる。あるいは、リレーレンズ２５の倍率を１／
１．４倍、接眼レンズ２９の観察位置での中間倍率を
０．５倍としてもよい。この場合、接眼レンズ２９の倍
率を２０倍とすれば、直接観察の倍率を同じにできる。
【００２３】また、上記実施形態では、間接観察光学系
３０としてＣＣＤカメラ３１を用いたが、これに限ら
ず、観察対象物からの光を撮像できる装置であれば、他
の構造でもよい。
３０としてＣＣＤカメラ３１を用いたが、これに限ら
ず、観察対象物からの光を撮像できる装置であれば、他
の構造でもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明の顕微鏡によれば、対物レンズの
光軸上に低倍率のチューブレンズが配置され、このチュ
ーブレンズを透過した光を、間接観察光学系および直接
観察光学系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段
が配置され、直接観察光学系は、接眼レンズと、光路切
換手段からの光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラ
ーと、このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置
されたリレーレンズとを含んで構成されているから、大
型のステージを用いても、観察者に干渉することがな
く、しかも、安価でかつコンパクトに構成することがで
きる。
光軸上に低倍率のチューブレンズが配置され、このチュ
ーブレンズを透過した光を、間接観察光学系および直接
観察光学系の少なくとも一方に切り換える光路切換手段
が配置され、直接観察光学系は、接眼レンズと、光路切
換手段からの光を接眼レンズへ反射させるリレー用ミラ
ーと、このリレー用ミラーおよび接眼レンズの間に配置
されたリレーレンズとを含んで構成されているから、大
型のステージを用いても、観察者に干渉することがな
く、しかも、安価でかつコンパクトに構成することがで
きる。
【図１】本発明の顕微鏡の一実施形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】同上実施形態の光学部品の配置を示す図であ
る。
る。
２ コラム部（顕微鏡本体） ３ ステージ １０ 照明光学系 １１ 光源装置 １２ 対物レンズ １３ ビームスプリッタ １４ チューブレンズ １５ 光路切換手段 １６ 光路切換ミラー ２０ 直接観察光学系 ２４ リレー用ミラー ２５ リレーレンズ ２９ 接眼レンズ ３０ 間接観察光学系 ３１ ＣＣＤカメラ
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定物を載置するステージと、このス
テージに対向配置された対物レンズと、この対物レンズ
の真上に配置された間接観察光学系と、対物レンズより
前方に配置された直接観察光学系とを備えた顕微鏡にお
いて、 前記対物レンズの光軸上に低倍率のチューブレンズが配
置されるとともに、 このチューブレンズを透過した光を、前記間接観察光学
系および前記直接観察光学系の少なくとも一方に切り換
える光路切換手段が配置され、 前記直接観察光学系は、接眼レンズと、前記光路切換手
段によって直接観察光学系に切り換えられた光を前記接
眼レンズへ反射させるリレー用ミラーと、このリレー用
ミラーおよび接眼レンズの間に配置されたリレーレンズ
とを含んで構成されていることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１に記載の顕微鏡において、 前記チューブレンズの倍率は、１倍以下に設定されてい
ることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の顕微鏡
において、 前記間接観察光学系は、ＣＣＤカメラを含んで構成され
ていることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載の顕微鏡において、 前記光路切換手段は、前記チューブレンズの光軸に対し
て挿入可能かつ光軸から退避可能な光路切換ミラーを含
んで構成されていることを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33792899A JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33792899A JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001154107A true JP2001154107A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18313328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33792899A Pending JP2001154107A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001154107A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105830A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | グラビア版セル形状測定装置および測定方法 |
| CN102692699A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
| JP2013057816A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
| JP2013092658A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系およびグリノー式実体顕微鏡 |
| JP2013109081A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Olympus Corp | 倒立顕微鏡 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33792899A patent/JP2001154107A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105830A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | グラビア版セル形状測定装置および測定方法 |
| CN102692699A (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-26 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
| JP2012212096A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-11-01 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
| CN102692699B (zh) * | 2011-03-23 | 2016-07-06 | 奥林巴斯株式会社 | 显微镜光学*** |
| JP2013057816A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系 |
| JP2013092658A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Olympus Corp | 顕微鏡光学系およびグリノー式実体顕微鏡 |
| JP2013109081A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Olympus Corp | 倒立顕微鏡 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6160662A (en) | Inverted microscope having a variable stage position | |
| US7304281B2 (en) | Confocal laser scanning microscope | |
| US20060167344A1 (en) | Confocal probe and endoscope device | |
| US20060250690A1 (en) | Microscope with evanescent sample illumination | |
| US7554726B2 (en) | Objective for evanescent illumination and microscope | |
| JP4854880B2 (ja) | レーザー顕微鏡 | |
| US20020131165A1 (en) | Inverted microscope system | |
| JP3861357B2 (ja) | 光学装置と一体化された顕微鏡用レボルバおよび顕微鏡 | |
| CN101583895B (zh) | 焦点检测装置和显微镜 | |
| JPH10339845A (ja) | モニタ観察型顕微鏡 | |
| JP2001154107A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2005173580A (ja) | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 | |
| JP3879218B2 (ja) | 倒立顕微鏡 | |
| JP3559071B2 (ja) | 画像重ね合わせ光学装置 | |
| JP2004535601A (ja) | 顕微鏡対物レンズの構成 | |
| JP2002196218A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP4046525B2 (ja) | 倒立型顕微鏡 | |
| JP3297647B2 (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
| JP2004177494A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| US20230168484A1 (en) | Method and system for multi-view episcopic selective plane illumination microscope | |
| JP2837492B2 (ja) | 立体撮影装置 | |
| JP4464654B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JP2000035540A (ja) | 微分干渉顕微鏡 | |
| JP2008058910A (ja) | 顕微鏡システム | |
| JP2004361645A (ja) | 実体顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060112 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060320 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060411 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061003 |