JP2001152108A - 絶縁接着フィルム及びそれを用いた多層プリント配線板並びにその製造方法 - Google Patents

絶縁接着フィルム及びそれを用いた多層プリント配線板並びにその製造方法

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JP2001152108A
JP2001152108A JP33694999A JP33694999A JP2001152108A JP 2001152108 A JP2001152108 A JP 2001152108A JP 33694999 A JP33694999 A JP 33694999A JP 33694999 A JP33694999 A JP 33694999A JP 2001152108 A JP2001152108 A JP 2001152108A
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wiring board
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Masayuki Hama
真之 浜
Hiroyuki Fukai
弘之 深井
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ガラス転移温度を低下させることなくかつ、可
とう性に優れた絶縁接着フィルムとそれを用いた多層プ
リント配線板並びにその製造方法を提供すること。 【解決手段】三官能以上の多官能のエポキシ樹脂と、2
5℃において液状で、かつ粘度が100ポイズ以下であ
る二官能のエポキシ樹脂ならびにアクリロニトリルブタ
ジエンゴムからなる絶縁接着フィルムと、内層回路を形
成した内層回路基板と、その上に形成した絶縁層と、絶
縁層の表面に形成した外層回路と、内層回路と外層回路
とを接続するバイアホールからなる多層プリント配線板
であって、絶縁層が、その絶縁接着フィルムで構成され
ているプリント配線板と、内層回路を形成した内層回路
基板に、その絶縁接着フィルムを積層接着し、内層回路
に達するバイアホールをあけ、絶縁接着フィルムの表面
に外層回路を形成すると共に、外層回路と内層回路との
電気的接続を行う多層プリント配線板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビルドアップ多層
配線板の絶縁材に好適な絶縁接着フィルムとこれを用い
た多層プリント配線板並びにその製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】半導体チップ等の電子部品は、その集積
密度が非常に高くなって来ており、そのため、半導体チ
ップ等の電子部品を実装するプリント配線板にも、配線
間隔や接続穴間隔の狭小化を行って高密度化が行われて
いる。
【0003】このプリント配線板の高密度化の方法とし
て、予め複数の基板に導体回路を形成し、ガラスクロス
プリプレグを挟んで、積層一体化し、互いに接合して多
層プリント配線板とする方法があり、より一層の高密度
化を得ることができるようになったが、ガラスプクロス
リプレグは、ガラス布を基材としているので、その厚さ
を薄くするにはガラスクロスに用いるガラス繊維の本数
を減らさなければならず、そうすると、含浸できる樹脂
の量が少なくなり、絶縁性が低下してしまったり、含浸
する樹脂量を無理に増加するとガラス繊維の分布がばら
ついて、場所によって寸法変化率が変化してしまい、多
層プリント配線板にとって重要な、各層間の位置合わせ
が困難になるという問題が発生した。
【0004】そこで、ガラスクロスプリプレグではな
く、樹脂のみを用いて、内層回路を形成した内層回路基
板に、樹脂層を絶縁層として形成し、内層回路に達する
バイアホールをあけ、絶縁層の表面に外層回路を形成す
ると共に、外層回路と内層回路との電気的接続を行うビ
ルドアップ多層プリント配線板が、開発され、実施され
ている。このビルドアップ多層プリント配線板に用いる
絶縁層は、通常、樹脂を支持フィルムの上にコーティン
グし、加熱・乾燥して半硬化状にした絶縁接着フィルム
が用いられ、その絶縁接着フィルムをラミネートまたは
プレスすることによって形成されている。そして、バイ
アホールとなる箇所を炭酸ガスレーザー等のレーザー光
で穴明けした後に、絶縁層の表面に外層回路を形成する
と共に、外層回路と内層回路との電気的接続を行うに
は、絶縁層上に選択的にめっきをして外層回路と、バイ
アホールの内壁に導体を形成するアディティブ方式が多
く採用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このような絶縁接着フ
ィルムには、絶縁性、耐熱性、めっきピール強度の特性
に加え、フィルム形成能やフィルムを巻き取る際や巻き
出すに際のフィルムの割れ防止のために液状材料よりも
優れた可とう性が要求される。そこで、通常は、可とう
性とめっきピール強度の両立が可能なアクリロニトリル
ブタジエンゴムを主成分とし、かつ耐熱性を確保するた
めに、フェノール樹脂でアクリロニトリルブタジエンゴ
ムを架橋し、絶縁性を確保するためにエポキシ樹脂及び
その硬化剤、さらに機械強度補強の目的で無機フィラー
を配合する。
【0006】絶縁接着フィルムには、エポキシ樹脂10
0重量部に対して25重量部以上のゴム量が必要であ
り、樹脂硬化物のガラス転移温度が低下しやすく、半導
体チップを搭載するパッケージ分野での用途に要求され
る150℃以上のガラス転移温度を得ることは非常に困
難であった。
【0007】本発明は、ガラス転移温度を低下させるこ
となくかつ、可とう性に優れた絶縁接着フィルムとそれ
を用いた多層プリント配線板並びにその製造方法を提供
することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下のことを
特徴とする。 (1)三官能以上の多官能のエポキシ樹脂と、25℃に
おいて液状で、かつ粘度が100ポイズ以下である二官
能のエポキシ樹脂ならびにアクリロニトリルブタジエン
ゴムからなる絶縁接着フィルム。 (2)多官能エポキシ樹脂が30〜60重量%、二官能
エポキシ樹脂が15〜30重量%、アクリロニトリルブ
タジエンゴムが5〜12重量%である(1)に記載の絶
縁接着フィルム。 (3)内層回路を形成した内層回路基板と、その上に形
成した絶縁層と、絶縁層の表面に形成した外層回路と、
内層回路と外層回路とを接続するバイアホールからなる
多層プリント配線板であって、絶縁層が、(1)または
(2)に記載の絶縁接着フィルムで構成されているプリ
ント配線板。 (4)内層回路を形成した内層回路基板に、(1)また
は(2)に記載の絶縁接着フィルムを積層接着し、内層
回路に達するバイアホールをあけ、絶縁接着フィルムの
表面に外層回路を形成すると共に、外層回路と内層回路
との電気的接続を行う多層プリント配線板の製造方法。
【0009】
【発明の実施の形態】多官能エポキシ樹脂としては各種
のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノ
ボラック型エポキシ樹脂等が使用でき、特に制限はな
い。絶縁樹脂に難燃性を付与するためにこれらを臭素化
したものを用いても良い。その配合量は、30〜60重
量%であることが好ましい。多官能エポキシ樹脂の配合
量が30重量%未満では絶縁硬化物の架橋密度が大きく
低下するためにガラス転移温度が低下するおそれがあ
り、60重量%を越えると絶縁硬化物の可とう性が低下
するおそれがあるためである。
【0010】液状の二官能エポキシ樹脂としては、各種
ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型
エポキシ樹脂、脂肪族型エポキシ樹脂等が使用できる
が、25℃条件下の粘度が100ポイズ以下のものを用
いることが必要である。100ポイズを越える粘度の液
状の二官能エポキシ樹脂や常温で固形の二官能エポキシ
樹脂を用いた場合には、フィルムに十分な可とう性を付
与することができない。このような25℃条件下で10
0ポイズ以下の液状の二官能エポキシ樹脂の市販品とし
ては、エピコート801、815、828、834(い
ずれも油化シェルエポキシ株式会社製、商品名)KRM
2110、2410(いずれも旭電化工業株式会社製、
商品名)等がある。また、上述した液状の二官能エポキ
シ樹脂の配合量は、15〜30重量%であることが好ま
しい。配合量が15重量%未満ではフィルムに十分な可
とう性が得られないおそれがあり、30重量%を越える
とガラス転移温度が大きく低下するおそれがあるためで
ある。
【0011】アクリロニトリルブタジエンゴムは、各種
の分子量のものを用いることができるが、粗化性、弾性
率や他の樹脂との相溶性を考慮して、重量平均分子量
(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより標準
ポリスチレンの検量線を用いて測定したもの)が500
0〜30000程度のものを用いることが好ましい。ま
た、その配合量は5〜12重量%とする。これはアクリ
ロニトリルブタジエンゴムの配合量が5重量%未満では
粗化時に十分な表面凹凸が形成できずにめっきピール強
度が大きく低下するおそれがあり、12重量%を越える
とガラス転移温度が低下するおそれがあるためである。
【0012】多官能及び液状の二官能のエポキシ樹脂の
硬化剤としては、フェノールノボラック、イミダゾー
ル、ポリアミン類等を用いることができ、またアクリロ
ニトリルブタジエンゴムの架橋剤としては各種のアルキ
ルフェノール樹脂を用いることができるが、パッケージ
分野等で要求される150℃以上の高いガラス転移温度
を有する絶縁硬化物を得るためには、フェノールノボラ
ックや、イミダゾール系の硬化剤を用いるのが好まし
い。特にフェノールノボラック型を塩基性の熱硬化促進
剤と併用した場合には、アクリロニトリルブタジエンゴ
ムも同時に架橋して三次元的な網掛け硬化物を形成でき
るため、より高いガラス転移温度を有する絶縁硬化物を
得ることができる。この場合、樹脂の硬化性や耐熱性を
考慮して、フェノールノボラック型及び塩基性の熱硬化
促進剤は、それぞれエポキシ樹脂100部に対して15
〜40重量%、塩基性の熱硬化促進剤2〜5重量%添加
することが好ましい。
【0013】
【実施例】実施例1 表面を離型剤で離型処理した厚さ25μmのアルミ箔で
あるセパニウムM25(サンアルミ社製、商品名)上
に、下記組成の樹脂組成物を乾燥後膜厚が50μmとな
るように1.0m/分の速度で塗工し、120℃、10
分の条件で乾燥して絶縁接着フィルムを作製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂: ESCN−195(住友化学株式会社製、商品名) …50重量部 ・ビスA型エポキシ樹脂: EP−828(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名) …20重量部 ・アクリロニトリルブタジエンゴム: PNR−1H(JSR株式会社製、商品名) …7重量部 ・フェノールノボラック樹脂: PS−5805(群栄化学工業株式会社製、商品名) …10重量部 ・熱硬化促進剤: CP−66(旭電化工業株式会社製、商品名) …2重量部 ・水酸化アルミニウム: ハイジライトH−42M(昭和電工株式会社製、商品名) …10重量部 ・メチルエチルケトン …50重量部
【0014】実施例2 下記組成の樹脂組成物を実施例1と同様の方法で塗工し
て絶縁接着フィルムを作製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂: ESCN−195(住友化学株式会社製、商品名) …45重量部 ・ビスA型エポキシ樹脂: EP−828(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名) …25重量部 ・アクリロニトリルブタジエンゴム: XER−31(JSR株式会社製、商品名) …10重量部 ・フェノールノボラック樹脂: HP−180R(日立化成工業株式会社製、商品名) …10重量部 ・熱硬化促進剤: CP−66(旭電化工業株式会社製、商品名) …2重量部 ・水酸化アルミニウム: ハイジライトH−42M(昭和電工株式会社製、商品名) …10重量部 ・メチルエチルケトン …50重量部
【0015】実施例3 下記組成の樹脂組成物を実施例1と同様の方法で塗工し
て絶縁接着フィルムを作製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂: KRM−2650(旭電化工業株式会社製、商品名) …40重量部 ・ビスA型エポキシ樹脂: EP−815(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名) …30重量部 ・アクリロニトリルブタジエンゴム: PNR−1H(JSR株式会社製、商品名) …5重量部 ・フェノールノボラック樹脂: PS−5805、(群栄化学工業株式会社製、商品名) …10重量部 ・熱硬化促進剤: CP−66(旭電化工業株式会社製、商品名) …2重量部 ・水酸化アルミニウム: ハイジライトH−42M(昭和電工株式会社製、商品名) …10重量部 ・メチルエチルケトン …50重量部
【0016】比較例1 以下の樹脂組成物を作製し、実施例1と同様の方法で塗
工して絶縁接着フィルムを作製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂: KRM−2650(旭電化工業株式会社製、商品名) …40重量部 ・ビスA型エポキシ樹脂:(25℃で固体) EP−1001(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名) …30重量部 ・アクリロニトリルブタジエンゴム: PNR−1H(JSR株式会社製、商品名) …10重量部 ・フェノールノボラック樹脂: HP−180R(日立化成工業株式会社製、商品名) …10重量部 ・熱硬化促進剤CP−66(旭電化工業株式会社製、商品名) …2重量部 ・水酸化アルミニウム: ハイジライトH−42M(昭和電工株式会社製、商品名) …10重量部 ・メチルエチルケトン …50重量部
【0017】比較例2 以下の樹脂組成物を作製し、実施例1と同様の方法で塗
工して絶縁接着フィルムを作製した。 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂: ESCN−195(住友化学株式会社製、商品名) …70重量部 ・アクリロニトリルブタジエンゴム: XER−31(JSR株式会社製、商品名) …20重量部 ・フェノールノボラック樹脂: ポイズ−5805(群栄化学工業株式会社製、商品名) …10重量 部 ・熱硬化促進剤:CP−66(旭電化工業株式会社製、商品名) …2重量部 ・水酸化アルミニウム: ハイジライトH−42M(昭和電工株式会社製、商品名) …10重量部 ・メチルエチルケトン …50重量部
【0018】以上のように作製したアディティブ用絶縁
接着フィルムの特性を以下の項目で評価した。 ・フィルム可とう性 塗工した絶縁接着フィルムの絶縁樹脂側を180°に折
り曲げて、折り目を付けた後に平面に戻し、折り目付近
のフィルムのクラックの発生状況を目視にて観察した。 ・ガラス転移温度 塗工した絶縁接着フィルムを170℃90分+180℃
120分の条件で加熱して硬化物を作製し、TMA引張
り法にてガラス転移温度を測定した。 ・めっきピール強度、層間絶縁抵抗 以下の方法で、多層プリント配線板特性評価用の試料を
作成して評価した。 1)第1の回路を形成した面に、絶縁接着フィルムの絶
縁樹脂が接着するようにして、真空下で加温加圧積層
(高温保持温度170℃、保持圧力3MPa、保持時間
90分)する。 2)真空加圧積層後、アルミ箔を除去する。次いで絶縁
樹脂表面を化学的に粗化するために70℃に加温したア
ルカリ性過マンガン酸カリウム(過マンガン酸量70g
/l)溶液で10分間処理し、硫酸ヒドロキシルアミン
中和液で5分間処理した。 3)粗化処理後に無電解めっき薄付け、電気めっき厚付
けにより導体形成を行った後、不要部分のめっき銅を除
去して第2の回路を形成した。 4)アフターキュア180℃/120分を実施して多層
プリント配線板の試料とし、めっきピール強度、層間絶
縁抵抗を評価した。これらの特性評価結果のまとめを表
1に示す。
【0019】
【表1】
【0020】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明によっ
て、ガラス転移温度を低下させることなくかつ、可とう
性に優れた絶縁接着フィルムとそれを用いた多層プリン
ト配線板並びにその製造方法をていきょうすることがで
きる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J004 AA02 AA05 AA13 AB05 CC02 FA05 5E314 AA32 AA41 AA47 BB02 BB11 BB13 CC15 DD02 DD08 FF06 GG26 5E346 AA12 AA43 CC08 CC09 CC41 EE38 EE39 GG13 GG28 HH07 HH08

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】三官能以上の多官能のエポキシ樹脂と、2
    5℃において液状で、かつ粘度が100ポイズ以下であ
    る二官能のエポキシ樹脂ならびにアクリロニトリルブタ
    ジエンゴムからなる絶縁接着フィルム。
  2. 【請求項2】多官能エポキシ樹脂が30〜60重量%、
    二官能エポキシ樹脂が15〜30重量%、アクリロニト
    リルブタジエンゴムが5〜12重量%である請求項1に
    記載の絶縁接着フィルム。
  3. 【請求項3】内層回路を形成した内層回路基板と、その
    上に形成した絶縁層と、絶縁層の表面に形成した外層回
    路と、内層回路と外層回路とを接続するバイアホールか
    らなる多層プリント配線板であって、絶縁層が、請求項
    1または2に記載の絶縁接着フィルムで構成されている
    プリント配線板。
  4. 【請求項4】内層回路を形成した内層回路基板に、請求
    項1または2に記載の絶縁接着フィルムを積層接着し、
    内層回路に達するバイアホールをあけ、絶縁接着フィル
    ムの表面に外層回路を形成すると共に、外層回路と内層
    回路との電気的接続を行う多層プリント配線板の製造方
    法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004123796A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Hitachi Chem Co Ltd フィルム状接着剤及びこれを用いた半導体装置
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KR101560121B1 (ko) 2014-04-11 2015-10-13 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 금속박 부착 접착 시트, 금속박 적층판, 금속박 부착 다층 기판, 회로 기판의 제조 방법

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