JP2001146030A - Piezoelectric device, module body, liquid container and ink cartridge - Google Patents

Piezoelectric device, module body, liquid container and ink cartridge

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JP2001146030A
JP2001146030A JP2000147052A JP2000147052A JP2001146030A JP 2001146030 A JP2001146030 A JP 2001146030A JP 2000147052 A JP2000147052 A JP 2000147052A JP 2000147052 A JP2000147052 A JP 2000147052A JP 2001146030 A JP2001146030 A JP 2001146030A
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ink
actuator
liquid
piezoelectric device
container
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Kenji Tsukada
憲児 塚田
Munehide Kanetani
宗秀 金谷
Minoru Usui
稔 碓井
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    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
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    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2966—Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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    • B41J2002/14354—Sensor in each pressure chamber

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect the residual amount of ink without requiring a complicated seal structure caused by the attachment of a detection electrode. SOLUTION: A piezoelectric device is provided to a liquid container to detect the consumption state of the liquid in the liquid container and has a vibration part generating vibration by the deformation of a piezoelectric element. The vibration part has a shape symmetric with respect to the center of the vibration part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、音響インピーダン
スの変化を検出することで、その中でも特に共振周波数
の変化を検出することでインク等の液体を収容する液体
容器内の液体の消費状態を検知するための圧電装置（ア
クチュエータ）が備えられた液体容器に関する。さらに
詳しくは、圧力発生手段により圧力発生室のインクを印
刷データに対応させて加圧し、ノズル開口からインク滴
を吐出させて印刷するインクジェット記録装置に適した
圧電装置、モジュール体、液体容器、及びインクカート
リッジに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a change in acoustic impedance, and more particularly, a change in resonance frequency, thereby detecting a state of consumption of a liquid in a liquid container containing a liquid such as ink. The present invention relates to a liquid container provided with a piezoelectric device (actuator). More specifically, a piezoelectric device, a module, a liquid container suitable for an ink jet recording apparatus that presses ink in a pressure generating chamber by a pressure generating means in accordance with print data and discharges ink droplets from nozzle openings to perform printing. It relates to an ink cartridge.

【０００２】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録装置は、圧力発生室
を加圧する圧力発生手段と、加圧されたインクをノズル
開口からインク滴として吐出するノズル開口とを備えた
インクジェット記録ヘッドをキャリッジに搭載する。イ
ンクジェット記録装置は、インクタンクのインクを流路
を介して記録ヘッドに供給しながら印刷を継続可能に構
成されている。インクタンクは、インクが消費された時
点で、ユーザが簡単に交換できるように着脱可能なカー
トリッジとして構成されている。2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus has a carriage equipped with an ink jet recording head having pressure generating means for pressurizing a pressure generating chamber and a nozzle opening for discharging the pressurized ink from the nozzle opening as ink droplets. The inkjet recording apparatus is configured to be able to continue printing while supplying ink in an ink tank to a recording head via a flow path. The ink tank is configured as a detachable cartridge so that the user can easily replace the ink tank when the ink is consumed.

【０００３】従来、インクカートリッジのインク消費の
管理方法として、記録ヘッドでのインク滴の吐出数やメ
ンテナンスにより吸引されたインク量をソフトウエアに
より積算してインク消費を計算により管理する方法と、
インクカートリッジに液面検出用の電極を取付けること
により、実際にインクが所定量消費された時点を管理す
る方法などがある。Conventionally, as a method of managing ink consumption of an ink cartridge, a method of integrating the number of ink droplets ejected from a recording head and the amount of ink sucked by maintenance by software to manage ink consumption by calculation,
There is a method of managing the point in time when a predetermined amount of ink is actually consumed by attaching an electrode for liquid level detection to the ink cartridge.

【０００４】しかしながら、ソフトウェアによりインク
滴の吐出数やインク量を積算してインク消費を計算上管
理する方法は、ユーザサイドでの印刷形態等により誤差
が生じたり、また同一カートリッジの再装着時には大き
な誤差が生じるという問題がある。また、使用環境によ
り、例えば室温が極端な高低、あるいはインクカートリ
ッジの開封後の経過時間などによってインクカートリッ
ジ内の圧力やインクの粘度が変化して、計算上のインク
消費量と実際の消費量との間に無視できない誤差が生じ
てしまうという問題もあった。一方、電極によりインク
が消費された時点を管理する方法は、インクの実量を検
出できるため、インク残量を高い信頼性で管理できる。
しかしながら、インクの液面の検出をインクの導電性に
頼るので、検出可能なインクの種類が限定されたり、ま
た電極のシール構造が複雑化する問題がある。また、電
極の材料として通常は導電性が良く耐腐食性も高い貴金
属を使用するので、インクカートリッジの製造コストが
かさむという問題もあった。さらに、２本の電極を装着
する必要があるため、製造工程が多くなり結果として製
造コストがかさんでしまうという問題もあった。However, the method of calculating the number of ejected ink droplets and the amount of ink by software and managing the ink consumption in a calculation manner may cause an error due to the printing form on the user side, and may be large when the same cartridge is remounted. There is a problem that an error occurs. Also, depending on the usage environment, the pressure in the ink cartridge and the viscosity of the ink change depending on, for example, the extremely high or low room temperature or the elapsed time after opening the ink cartridge, and the calculated ink consumption and the actual consumption are different. There is also a problem that a non-negligible error occurs between the two. On the other hand, in the method of managing the time when ink is consumed by the electrode, the actual amount of ink can be detected, so that the remaining amount of ink can be managed with high reliability.
However, since the detection of the liquid level of the ink depends on the conductivity of the ink, there are problems that the types of detectable ink are limited and the sealing structure of the electrodes is complicated. In addition, since a noble metal having high conductivity and high corrosion resistance is usually used as a material of the electrode, there is a problem that the manufacturing cost of the ink cartridge is increased. Furthermore, since two electrodes need to be mounted, there is a problem that the number of manufacturing steps is increased and the manufacturing cost is increased as a result.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
の課題を解決することのできる、インク残量を正確に検
出でき、かつ複雑なシール構造を不要とした、液体容器
に装着される圧電装置及びモジュール体を提供すること
を目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立
項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従
属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problems, and can accurately detect the remaining amount of ink and eliminate the need for a complicated seal structure. It is an object to provide an apparatus and a module. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous embodiments of the present invention.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第１の形
態における圧電装置は、液体容器に装着され、液体容器
内の液体の消費状態を検知する圧電装置であって、前記
圧電装置は、圧電体素子の変形によって振動が発生する
振動部を有し、振動部は、その中心に対して対称な形状
を有することが好ましい。That is, a piezoelectric device according to a first embodiment of the present invention is a piezoelectric device which is mounted on a liquid container and detects a consumption state of the liquid in the liquid container. It is preferable that the vibrating portion has a vibrating portion that generates vibration due to deformation of the piezoelectric element, and the vibrating portion has a shape symmetrical with respect to the center thereof.

【０００７】また、圧電装置の振動部は、ほぼ円形の形
状を有することが好ましい。更に、圧電装置が、圧電
層、圧電層の上面に設けられた上部電極、圧電層の下面
に設けられた下部電極、及び上面が下部電極と接し、下
面の一部が液体容器内の液体と接触する振動板を備え、
振動部は、圧電層、上部電極、下部電極、及び振動板の
それぞれの少なくとも一部を含むことが好ましい。更
に、圧電層、上部電極、及び下部電極のそれぞれの主部
が、振動部とほぼ同心円の円形の形状であることが好ま
しい。The vibrating portion of the piezoelectric device preferably has a substantially circular shape. Further, the piezoelectric device has a piezoelectric layer, an upper electrode provided on the upper surface of the piezoelectric layer, a lower electrode provided on the lower surface of the piezoelectric layer, and an upper surface in contact with the lower electrode, and a part of the lower surface is in contact with the liquid in the liquid container. Equipped with a diaphragm that comes in contact with
The vibrating section preferably includes at least a part of each of the piezoelectric layer, the upper electrode, the lower electrode, and the diaphragm. Furthermore, it is preferable that each main part of the piezoelectric layer, the upper electrode, and the lower electrode has a circular shape that is substantially concentric with the vibrating part.

【０００８】また、圧電装置は、上面が振動板の液体と
接触する下面側と接し、下面が液体容器内の液体と接触
する基板を更に備え、基板が、振動部に面する位置に液
体と接触する空洞を有することが好ましい。空洞は、振
動部とほぼ同心円の円形状であることが好ましい。ま
た、残留振動による振動板の変形が、基板の変形よりも
大きいことが好ましい。振動部の振動の節が、空洞の外
周部付近に位置してもよい。圧電装置は、上面が振動板
の液体と接触する下面側と接し、下面が液体容器の内側
を向く取付部材を更に備え、取付部材が、振動部の中心
部に開口を有することが好ましい。更に、上記の圧電装
置が装着された液体容器であることが好ましい。The piezoelectric device further includes a substrate having an upper surface in contact with a lower surface of the vibration plate in contact with the liquid, and a lower surface in contact with the liquid in the liquid container. It is preferred to have a cavity in contact. Preferably, the cavity has a circular shape substantially concentric with the vibrating part. Further, it is preferable that the deformation of the diaphragm due to the residual vibration is larger than the deformation of the substrate. The vibration node of the vibration part may be located near the outer peripheral part of the cavity. It is preferable that the piezoelectric device further includes a mounting member whose upper surface is in contact with the lower surface of the vibration plate that comes into contact with the liquid, and whose lower surface faces the inside of the liquid container. Further, it is preferably a liquid container to which the above-mentioned piezoelectric device is mounted.

【０００９】本発明の第２の形態におけるモジュール体
は、上記の圧電装置と、圧電装置を液体容器に取付ける
ための、圧電装置と一体化された取付構造体とを備える
ことが好ましい。A module according to a second aspect of the present invention preferably includes the piezoelectric device described above, and a mounting structure integrated with the piezoelectric device for mounting the piezoelectric device to a liquid container.

【００１０】取付構造体が、液体容器の内部へ張り出す
張り出し部を含み、張り出し部の中心線上に振動部の中
心が配置されてもよい。更に、張り出し部が、円筒形で
あってもよい。圧電装置の上部電極及び下部電極に駆動
信号を与える端子を更に備えてもよい。また、上記のモ
ジュール体が装着された液体容器であることが好まし
い。また、上記の液体容器にインクジェット記録装置に
供給するインクを収容するインクカートリッジであって
もよい。[0010] The mounting structure may include a projecting portion projecting into the inside of the liquid container, and a center of the vibrating portion may be arranged on a center line of the projecting portion. Further, the overhang may be cylindrical. The piezoelectric device may further include a terminal that supplies a drive signal to the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric device. Further, it is preferable that the liquid container is a liquid container to which the above-mentioned module is mounted. Further, an ink cartridge that stores the ink to be supplied to the ink jet recording apparatus in the above liquid container may be used.

【００１１】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。The above summary of the invention does not enumerate all of the necessary features of the present invention, and a sub-combination of these features can also be an invention.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて
本発明を詳細に説明する。以下の実施形態はクレームに
かかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で
説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手
段に必須であるとは限らない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail through embodiments of the present invention. The following embodiments do not limit the claimed invention, and not all combinations of features described in the embodiments are necessarily essential for solving the invention.

【００１３】本発明の基本的概念は、振動現象を利用す
ることで、液体容器内の液体の状態（液体容器内の液体
の有無、液体の量、液体の水位、液体の種類、液体の組
成を含む）を検出することである。具体的な振動現象を
利用した液体容器内の液体の状態の検出としてはいくつ
かの方法が考えられる。例えば弾性波発生手段が液体容
器の内部に対して弾性波を発生し、液面あるいは対向す
る壁によって反射する反射波を受波することで、液体容
器内の媒体およびその状態の変化を検出する方法があ
る。また、これとは別に、振動する物体の振動特性から
音響インピーダンスの変化を検知する方法もある。音響
インピーダンスの変化を利用する方法としては、圧電素
子を有する圧電装置またはアクチュエータの振動部を振
動させ、その後に振動部に残留する残留振動によって生
ずる逆起電力を測定することによって、共振周波数また
は逆起電力波形の振幅を検出することで音響インピーダ
ンスの変化を検知する方法や、測定機、例えば伝送回路
等のインピーダンスアナライザによって液体のインピー
ダンス特性またはアドミッタンス特性を測定し、電流値
や電圧値の変化または、振動を液体に与えたときの電流
値や電圧値の周波数による変化を測定する方法がある。
以下、圧電装置またはアクチュエータの動作原理の詳細
について説明する。The basic concept of the present invention is to utilize the vibration phenomenon to determine the state of the liquid in the liquid container (the presence or absence of the liquid in the liquid container, the amount of the liquid, the level of the liquid, the type of the liquid, and the composition of the liquid). ). There are several methods for detecting the state of the liquid in the liquid container using a specific vibration phenomenon. For example, the elastic wave generating means generates an elastic wave to the inside of the liquid container and receives a reflected wave reflected by the liquid surface or an opposing wall to detect a medium in the liquid container and a change in its state. There is a way. Alternatively, there is a method of detecting a change in acoustic impedance from the vibration characteristics of a vibrating object. As a method of utilizing the change in acoustic impedance, a vibrating portion of a piezoelectric device or an actuator having a piezoelectric element is vibrated, and then, a back electromotive force generated by residual vibration remaining in the vibrating portion is measured, thereby obtaining a resonance frequency or a reverse frequency. A method of detecting the change in acoustic impedance by detecting the amplitude of the electromotive force waveform, or measuring the impedance characteristic or admittance characteristic of the liquid by using a measuring instrument, for example, an impedance analyzer such as a transmission circuit, and measuring the change in the current value or voltage value or There is a method of measuring a change in current value or voltage value with frequency when vibration is applied to a liquid.
Hereinafter, the operation principle of the piezoelectric device or the actuator will be described in detail.

【００１４】図１および図２は、圧電装置の一実施形態
であるアクチュエータ１０６の詳細および等価回路を示
す。ここでいうアクチュエータは、少なくとも音響イン
ピーダンスの変化を検知して液体容器内の液体の消費状
態を検出する方法に用いられる。特に、残留振動により
共振周波数の検出することで、少なくとも音響インピー
ダンスの変化を検知して液体容器内の液体の消費状態を
検出する方法に用いられる。図１（Ａ）は、アクチュエ
ータ１０６の拡大平面図である。図１（Ｂ）は、アクチ
ュエータ１０６のＢ−Ｂ断面を示す。図１（Ｃ）は、ア
クチュエータ１０６のＣ-Ｃ断面を示す。さらに図２
（Ａ)および図２（Ｂ)は、アクチュエータ１０６の等価
回路を示す。また、図２（Ｃ)および図２（Ｄ)は、それ
ぞれインクカートリッジ内にインクが満たされていると
きのアクチュエータ１０６を含む周辺およびその等価回
路を示し、図２（Ｅ)および図２（Ｆ)は、それぞれイン
クカートリッジ内にインクが無いときのアクチュエータ
１０６を含む周辺およびその等価回路を示す。FIGS. 1 and 2 show details and an equivalent circuit of an actuator 106 which is an embodiment of the piezoelectric device. The actuator referred to here is used in a method of detecting at least a change in acoustic impedance and detecting a consumption state of the liquid in the liquid container. In particular, it is used in a method of detecting a resonance frequency by residual vibration to detect at least a change in acoustic impedance to detect a consumption state of a liquid in a liquid container. FIG. 1A is an enlarged plan view of the actuator 106. FIG. 1B shows a cross section taken along line BB of the actuator 106. FIG. 1C shows a cross section of the actuator 106 taken along line CC. Further FIG.
2A and 2B show an equivalent circuit of the actuator 106. FIG. FIGS. 2C and 2D show the periphery including the actuator 106 when the ink cartridge is filled with ink and its equivalent circuit, respectively, and FIGS. 2E and 2F () Shows the periphery including the actuator 106 when there is no ink in the ink cartridge and its equivalent circuit.

【００１５】アクチュエータ１０６は、ほぼ中央に円形
状の開口１６１を有する基板１７８と、開口１６１を被
覆するように基板１７８の一方の面（以下、表面とい
う）に配備される振動板１７６と、振動板１７６の表面
の側に配置される圧電層１６０と、圧電層１６０を両方
からはさみこむ上部電極１６４および下部電極１６６
と、上部電極１６４と電気的に結合する上部電極端子１
６８と、下部電極１６６と電気的に結合する下部電極端
子１７０と、上部電極１６４および上部電極端子１６８
の間に配設され、かつ両者を電気的に結合する補助電極
１７２と、を有する。圧電層１６０、上部電極１６４お
よび下部電極１６６はそれぞれの主要部として円形部分
を有する。圧電層１６０、上部電極１６４および下部電
極１６６のそれぞれの円形部分は圧電素子を形成する。The actuator 106 includes a substrate 178 having a circular opening 161 substantially at the center, a vibration plate 176 provided on one surface (hereinafter referred to as a surface) of the substrate 178 so as to cover the opening 161, A piezoelectric layer 160 disposed on the side of the surface of the plate 176; and upper and lower electrodes 164 and 166 sandwiching the piezoelectric layer 160 from both sides.
And upper electrode terminal 1 electrically coupled to upper electrode 164
68, a lower electrode terminal 170 electrically coupled to the lower electrode 166, an upper electrode 164 and an upper electrode terminal 168.
And an auxiliary electrode 172 electrically connected therebetween. Each of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 has a circular portion as a main part. Each circular portion of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 forms a piezoelectric element.

【００１６】振動板１７６は、基板１７８の表面に、開
口１６１を覆うように形成される。キャビティ１６２
は、振動板１７６の開口１６１と面する部分と基板１７
８の表面の開口１６１とによって形成される。基板１７
８の圧電素子とは反対側の面（以下、裏面という）は液
体容器側に面しており、キャビティ１６２は液体と接触
するように構成されている。キャビティ１６２内に液体
が入っても基板１７８の表面側に液体が漏れないよう
に、振動板１７６は基板１７８に対して液密に取り付け
られる。The vibration plate 176 is formed on the surface of the substrate 178 so as to cover the opening 161. Cavity 162
Is the portion of the diaphragm 176 facing the opening 161 and the substrate 17
8 is formed by the opening 161 on the surface. Substrate 17
The surface opposite to the piezoelectric element 8 (hereinafter referred to as the back surface) faces the liquid container side, and the cavity 162 is configured to be in contact with the liquid. The vibration plate 176 is attached to the substrate 178 in a liquid-tight manner so that even if the liquid enters the cavity 162, the liquid does not leak to the surface side of the substrate 178.

【００１７】下部電極１６６は振動板１７６の表面、即
ち液体容器とは反対側の面に位置しており、下部電極１
６６の主要部である円形部分の中心と開口１６１の中心
とがほぼ一致するように取り付けられている。なお、下
部電極１６６の円形部分の面積が開口１６１の面積より
も小さくなるように設定されている。一方、下部電極１
６６の表面側には、圧電層１６０が、その円形部分の中
心と開口１６１の中心とがほぼ一致するように形成され
ている。圧電層１６０の円形部分の面積は、開口１６１
の面積よりも小さく、かつ下部電極１６６の円形部分の
面積よりも大きくなるように設定されている。The lower electrode 166 is located on the surface of the vibration plate 176, that is, on the surface opposite to the liquid container.
It is attached so that the center of the circular portion which is the main part of 66 and the center of the opening 161 substantially coincide with each other. The area of the circular portion of the lower electrode 166 is set to be smaller than the area of the opening 161. On the other hand, the lower electrode 1
The piezoelectric layer 160 is formed on the surface side of the substrate 66 such that the center of the circular portion substantially coincides with the center of the opening 161. The area of the circular portion of the piezoelectric layer 160 is
, And larger than the area of the circular portion of the lower electrode 166.

【００１８】一方、圧電層１６０の表面側には、上部電
極１６４が、その主要部である円形部分の中心と開口１
６１の中心とがほぼ一致するように形成される。上部電
極１６４の円形部分の面積は、開口１６１および圧電層
１６０の円形部分の面積よりも小さく、かつ下部電極１
６６の円形部分の面積よりも大きくなるよう設定されて
いる。On the other hand, on the front surface side of the piezoelectric layer 160, an upper electrode 164 is provided at the center of the circular portion which is the main portion thereof and the opening 1 is formed.
61 are formed so as to substantially coincide with the center. The area of the circular portion of the upper electrode 164 is smaller than the area of the opening 161 and the circular portion of the piezoelectric layer 160, and the lower electrode 1
The area is set to be larger than the area of the circular portion 66.

【００１９】したがって、圧電層１６０の主要部は、上
部電極１６４の主要部と下部電極１６６の主要部とによ
って、それぞれ表面側と裏面側とから挟みこまれる構造
となっていて、圧電層１６０を効果的に変形駆動するこ
とができる。圧電層１６０、上部電極１６４および下部
電極１６６のそれぞれの主要部である円形部分がアクチ
ュエータ１０６における圧電素子を形成する。上述のよ
うに圧電素子は振動板１７６に接している。また、上部
電極１６４の円形部分、圧電層１６０の円形部分、下部
電極１６６の円形部分および開口１６１のうちで、面積
が最も大きいのは開口１６１である。この構造によっ
て、振動板１７６のうち実際に振動する振動領域は、開
口１６１によって決定される。また、上部電極１６４の
円形部分、圧電層１６０の円形部分および下部電極１６
６の円形部分は開口１６１より面積が小さいので、振動
板１７６がより振動しやすくなる。さらに、圧電層１６
０と電気的に接続する下部電極１６６の円形部分および
上部電極１６４の円形部分のうち、下部電極１６６の円
形部分の方が小さい。従って、下部端子１６６の円形部
分が圧電層１６０のうち圧電効果を発生する部分を決定
する。Therefore, the main part of the piezoelectric layer 160 is sandwiched by the main part of the upper electrode 164 and the main part of the lower electrode 166 from the front side and the back side, respectively. Deformation driving can be performed effectively. The circular portions that are the main parts of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 form the piezoelectric element of the actuator 106. As described above, the piezoelectric element is in contact with the vibration plate 176. Of the circular portion of the upper electrode 164, the circular portion of the piezoelectric layer 160, the circular portion of the lower electrode 166, and the opening 161, the opening 161 has the largest area. With this structure, the vibration area of the vibration plate 176 that actually vibrates is determined by the opening 161. The circular portion of the upper electrode 164, the circular portion of the piezoelectric layer 160, and the lower electrode 16
Since the circular portion 6 has a smaller area than the opening 161, the diaphragm 176 is more likely to vibrate. Further, the piezoelectric layer 16
Of the circular portion of the lower electrode 166 and the circular portion of the upper electrode 164 electrically connected to 0, the circular portion of the lower electrode 166 is smaller. Therefore, the circular portion of the lower terminal 166 determines a portion of the piezoelectric layer 160 where the piezoelectric effect occurs.

【００２０】したがって、圧電層１６０の主要部は、上
部電極１６４の主要部と下部電極１６６の主要部とによ
って、それぞれ表面側と裏面側とから挟みこまれる構造
となっていて、圧電層１６０を効果的に変形駆動するこ
とができる。圧電層１６０、上部電極１６４および下部
電極１６６のそれぞれの主要部である円形部分がアクチ
ュエータ１０６における圧電素子を形成する。上述のよ
うに圧電素子は振動板１７６に接している。また、上部
電極１６４の円形部分、圧電層１６０の円形部分、下部
電極１６６の円形部分および開口１６１のうちで、面積
が最も大きいのは開口１６１である。この構造によっ
て、振動板１７６のうち実際に振動する振動領域は、開
口１６１によって決定される。また、上部電極１６４の
円形部分、圧電層１６０の円形部分および下部電極１６
６の円形部分は開口１６１より面積が小さいので、振動
板１７６がより振動しやすくなる。さらに、圧電層１６
０と電気的に接続する下部電極１６６の円形部分および
上部電極１６４の円形部分のうち、下部電極１６６の円
形部分の方が小さい。従って、下部端子１６６の円形部
分が圧電層１６０のうち圧電効果を発生する部分を決定
する。Therefore, the main part of the piezoelectric layer 160 is sandwiched by the main part of the upper electrode 164 and the main part of the lower electrode 166 from the front side and the back side, respectively. Deformation driving can be performed effectively. The circular portions that are the main parts of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 form the piezoelectric element of the actuator 106. As described above, the piezoelectric element is in contact with the vibration plate 176. Of the circular portion of the upper electrode 164, the circular portion of the piezoelectric layer 160, the circular portion of the lower electrode 166, and the opening 161, the opening 161 has the largest area. With this structure, the vibration area of the vibration plate 176 that actually vibrates is determined by the opening 161. The circular portion of the upper electrode 164, the circular portion of the piezoelectric layer 160, and the lower electrode 16
Since the circular portion 6 has a smaller area than the opening 161, the diaphragm 176 is more likely to vibrate. Further, the piezoelectric layer 16
Of the circular portion of the lower electrode 166 and the circular portion of the upper electrode 164 electrically connected to 0, the circular portion of the lower electrode 166 is smaller. Therefore, the circular portion of the lower terminal 166 determines a portion of the piezoelectric layer 160 where the piezoelectric effect occurs.

【００２１】圧電素子を形成する圧電層１６０、上部電
極１６４、及び下部電極１６６の円形部分は、その中心
が、開口部１６１の中心とほぼ一致する。また、振動板
１７６の振動部分を決定する円形状の開口部１６１の中
心は、アクチュエータ１０６のほぼ中心に設けられてい
る。したがって、アクチュエータ１０６の振動部の中心
は、アクチュエータの中心とほぼ一致する。更に、圧電
素子の主部及び、振動板１７６の振動部分が、円形な形
状を有するので、アクチュエータ１０６の振動部は、ア
クチュエータ１０６の中心に対して対称な形状である。The centers of the circular portions of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 forming the piezoelectric element substantially coincide with the centers of the openings 161. The center of the circular opening 161 that determines the vibrating portion of the diaphragm 176 is provided substantially at the center of the actuator 106. Therefore, the center of the vibrating part of the actuator 106 substantially coincides with the center of the actuator. Further, since the main part of the piezoelectric element and the vibrating part of the vibration plate 176 have circular shapes, the vibrating part of the actuator 106 has a symmetric shape with respect to the center of the actuator 106.

【００２２】振動部が、アクチュエータ１０６の中心に
対して対称な形状であるので、構造の非対称性から生じ
る不要な振動を励起しないようにすることができる。そ
のため、共振周波数の検出精度が向上する。更に、振動
部が、アクチュエータ中心に対して対称な形状であるの
で、製造しやすく、圧電素子ごとの形状のばらつきを小
さくできる。したがって、圧電素子ごとの共振周波数の
ばらつきが小さくなる。また、振動部が、等方的な形状
であるので、接着の際、固定のばらつきの影響を受けに
くい。液体容器に均等に接着される。したがって、アク
チュエータ１０６の液体容器への実装性がよい。Since the vibrating portion has a symmetrical shape with respect to the center of the actuator 106, it is possible to prevent unnecessary vibration caused by the asymmetry of the structure from being excited. Therefore, the detection accuracy of the resonance frequency is improved. Further, since the vibrating portion has a shape symmetrical with respect to the center of the actuator, it is easy to manufacture, and variation in shape between piezoelectric elements can be reduced. Therefore, the variation of the resonance frequency for each piezoelectric element is reduced. In addition, since the vibrating portion has an isotropic shape, it is less susceptible to variations in fixing during bonding. It is evenly adhered to the liquid container. Therefore, the mountability of the actuator 106 to the liquid container is good.

【００２３】更に、振動板１７６の振動部分が、円形な
形状を有するので、圧電層１６０の残留振動の共振モー
ドにおいて、低次、例えば一次の共振モードが支配的と
なり、単一のピークが出現する。そのため、ピークとノ
イズとを、明確に区別することができるので、共振周波
数を明確に検出することができる。また、円形な形状の
振動板１７６の振動部分の面積を大きくすることによっ
て、逆起電力波形の振幅及び液体の有無による共振周波
数の振幅の差が大きくなり、共振周波数の検出の精度を
更に向上できる。Further, since the vibrating portion of the vibration plate 176 has a circular shape, a low-order, for example, a first-order resonance mode becomes dominant in the resonance mode of the residual vibration of the piezoelectric layer 160, and a single peak appears. I do. Therefore, the peak and the noise can be clearly distinguished, so that the resonance frequency can be clearly detected. In addition, by increasing the area of the vibrating portion of the circular diaphragm 176, the difference between the amplitude of the back electromotive force waveform and the amplitude of the resonance frequency due to the presence or absence of liquid increases, further improving the accuracy of resonance frequency detection. it can.

【００２４】振動板１７６の振動による変位は、基板１
７８の振動による変位よりもはるかに大きい。アクチュ
エータ１０６は、コンプライアンスの小さい、すなわち
振動によって変位しにくい基板１７８と、コンプライア
ンスの大きい、すなわち振動によって変位しやすい振動
板１７６との２層構造を有する。この２層構造によっ
て、基板１７８によって液体容器に確実に固定されなが
ら、かつ振動による振動板１７６の変位を大きくできる
ので、逆起電力波形の振幅及び液体の有無による共振周
波数の振幅の差が大きくなり、共振周波数の検出の精度
が向上できる。更に、振動板１７６のコンプライアンス
が大きいので、振動の減衰が小さくなり、共振周波数の
検出の精度が向上できる。また、アクチュエータ１０６
の振動の節は、キャビティ１６２の外周部、すなわち開
口部１６１の縁付近に位置する。The displacement of the vibration plate 176 due to the vibration is
It is much larger than the displacement due to 78 vibrations. The actuator 106 has a two-layer structure of a substrate 178 having low compliance, that is, not easily displaced by vibration, and a diaphragm 176 having high compliance, that is, easily displaced by vibration. With this two-layer structure, the displacement of the diaphragm 176 due to vibration can be increased while being securely fixed to the liquid container by the substrate 178, so that the difference between the amplitude of the back electromotive force waveform and the amplitude of the resonance frequency due to the presence or absence of liquid is large. Thus, the accuracy of detecting the resonance frequency can be improved. Further, since the compliance of the diaphragm 176 is large, the attenuation of the vibration is reduced, and the accuracy of detecting the resonance frequency can be improved. Also, the actuator 106
The vibration node is located near the outer periphery of the cavity 162, that is, near the edge of the opening 161.

【００２５】上部電極端子１６８は、補助電極１７２を
介して上部電極１６４と電気的に接続するように振動板
１７６の表面側に形成される。一方、下部電極端子１７
０は、下部電極１６６に電気的に接続するように振動板
１７６の表面側に形成される。上部電極１６４は、圧電
層１６０の表面側に形成されるため、上部電極端子１６
８と接続する途中において、圧電層１６０の厚さと下部
電極１６６の厚さとの和に等しい段差を有する必要があ
る。上部電極１６４だけでこの段差を形成することは難
しく、かりに可能であったとしても上部電極１６４と上
部電極端子１６８との接続状態が弱くなってしまい、切
断してしまう危険がある。そこで、補助電極１７２を補
助部材として用いて上部電極１６４と上部電極端子１６
８とを接続させている。このようにすることで、圧電層
１６０も上部電極１６４も補助電極１７２に支持された
構造となり、所望の機械的強度を得ることができ、また
上部電極１６４と上部電極端子１６８との接続を確実に
することが可能となる。The upper electrode terminal 168 is formed on the surface of the diaphragm 176 so as to be electrically connected to the upper electrode 164 via the auxiliary electrode 172. On the other hand, the lower electrode terminal 17
0 is formed on the surface side of diaphragm 176 so as to be electrically connected to lower electrode 166. Since the upper electrode 164 is formed on the surface side of the piezoelectric layer 160, the upper electrode terminal 16
8, it is necessary to have a step equal to the sum of the thickness of the piezoelectric layer 160 and the thickness of the lower electrode 166. It is difficult to form this step only with the upper electrode 164, and even if possible, the connection between the upper electrode 164 and the upper electrode terminal 168 is weakened, and there is a risk of disconnection. Therefore, the upper electrode 164 and the upper electrode terminal 16 are formed by using the auxiliary electrode 172 as an auxiliary member.
8 is connected. By doing so, both the piezoelectric layer 160 and the upper electrode 164 have a structure supported by the auxiliary electrode 172, so that a desired mechanical strength can be obtained, and the connection between the upper electrode 164 and the upper electrode terminal 168 is ensured. It becomes possible to.

【００２６】なお、圧電素子と振動板１７６のうちの圧
電素子に直面する振動領域とが、アクチュエータ１０６
において実際に振動する振動部である。また、アクチュ
エータ１０６に含まれる部材は、互いに焼成されること
によって一体的に形成されることが好ましい。アクチュ
エータ１０６を一体的に形成することによって、アクチ
ュエータ１０６の取り扱いが容易になる。さらに、基板
１７８の強度を高めることによって振動特性が向上す
る。即ち、基板１７８の強度を高めることによって、ア
クチュエータ１０６の振動部のみが振動し、アクチュエ
ータ１０６のうち振動部以外の部分が振動しない。ま
た、アクチュエータ１０６の振動部以外の部分が振動し
ないためには、基板１７８の強度を高めるのに対し、ア
クチュエータ１０６の圧電素子を薄くかつ小さくし、振
動板１７６を薄くすることによって達成できる。The piezoelectric element and the vibrating region of the vibration plate 176 facing the piezoelectric element correspond to the actuator 106.
Is a vibrating part that actually vibrates. Further, the members included in the actuator 106 are preferably integrally formed by firing each other. By forming the actuator 106 integrally, handling of the actuator 106 becomes easy. Further, the vibration characteristics are improved by increasing the strength of the substrate 178. That is, by increasing the strength of the substrate 178, only the vibrating portion of the actuator 106 vibrates, and portions of the actuator 106 other than the vibrating portion do not vibrate. Also, in order to prevent portions other than the vibrating portion of the actuator 106 from vibrating, it is possible to increase the strength of the substrate 178 while making the piezoelectric element of the actuator 106 thinner and smaller and the diaphragm 176 thinner.

【００２７】圧電層１６０の材料としては、ジルコン酸
チタン酸鉛（ＰＺＴ）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン
（ＰＬＺＴ）または鉛を使用しない鉛レス圧電膜を用い
ることが好ましく、基板１７８の材料としてジルコニア
またはアルミナを用いることが好ましい。また、振動板
１７６には、基板１７８と同じ材料を用いることが好ま
しい。上部電極１６４、下部電極１６６、上部電極端子
１６８および下部電極端子１７０は、導電性を有する材
料、例えば、金、銀、銅、プラチナ、アルミニウム、ニ
ッケルなどの金属を用いることができる。As the material of the piezoelectric layer 160, it is preferable to use lead zirconate titanate (PZT), lead lanthanum zirconate titanate (PLZT) or a lead-free piezoelectric film which does not use lead, and the material of the substrate 178 is zirconia. Alternatively, it is preferable to use alumina. It is preferable that the same material as the substrate 178 be used for the diaphragm 176. For the upper electrode 164, the lower electrode 166, the upper electrode terminal 168, and the lower electrode terminal 170, a conductive material such as a metal such as gold, silver, copper, platinum, aluminum, or nickel can be used.

【００２８】上述したように構成されるアクチュエータ
１０６は、液体を収容する容器に適用することができ
る。例えば、インクジェット記録装置に用いられるイン
クカートリッジやインクタンク、あるいは記録ヘッドを
洗浄するための洗浄液を収容した容器などに装着するこ
とができる。The actuator 106 configured as described above can be applied to a container for storing a liquid. For example, it can be mounted on an ink cartridge or ink tank used for an ink jet recording apparatus, or a container containing a cleaning liquid for cleaning a recording head.

【００２９】図１および図２に示されるアクチュエータ
１０６は、液体容器の所定の場所に、キャビティ１６２
を液体容器内に収容される液体と接触するように装着さ
れる。液体容器に液体が十分に収容されている場合に
は、キャビティ１６２内およびその外側は液体によって
満たされている。一方、液体容器の液体が消費され、ア
クチュエータの装着位置以下まで液面が降下すると、キ
ャビティ１６２内には液体は存在しないか、あるいはキ
ャビティ１６２内にのみ液体が残存されその外側には気
体が存在する状態となる。アクチュエータ１０６は、こ
の状態の変化に起因する、少なくとも音響インピーダン
スの相違を検出する。それによって、アクチュエータ１
０６は、液体容器に液体が十分に収容されている状態で
あるか、あるいはある一定以上の液体が消費された状態
であるかを検知することができる。さらに、アクチュエ
ータ１０６は、液体容器内の液体の種類も検出すること
が可能である。The actuator 106 shown in FIGS. 1 and 2 has a cavity 162 at a predetermined position in the liquid container.
Is mounted so as to come into contact with the liquid contained in the liquid container. When the liquid is sufficiently stored in the liquid container, the inside and outside of the cavity 162 are filled with the liquid. On the other hand, when the liquid in the liquid container is consumed and the liquid level falls below the mounting position of the actuator, no liquid exists in the cavity 162, or liquid remains only in the cavity 162 and gas exists outside the cavity 162. State. The actuator 106 detects at least a difference in acoustic impedance due to the change in the state. Thereby, the actuator 1
In step 06, it is possible to detect whether the liquid container is in a state where the liquid is sufficiently stored or whether a certain amount or more of the liquid is consumed. Further, the actuator 106 can also detect the type of liquid in the liquid container.

【００３０】ここでアクチュエータによる液面検出の原
理について説明する。Here, the principle of liquid level detection by the actuator will be described.

【００３１】媒体の音響インピーダンスの変化を検出す
るには、媒体のインピーダンス特性またはアドミッタン
ス特性を測定する。インピーダンス特性またはアドミッ
タンス特性を測定する場合には、例えば伝送回路を利用
することができる。伝送回路は、媒体に一定電圧を印加
し、周波数を変えて媒体に流れる電流を測定する。また
は、伝送回路は、媒体に一定電流を供給し、周波数を変
えて媒体に印加される電圧を測定する。伝送回路で測定
された電流値または電圧値の変化は音響インピーダンス
の変化を示す。また、電流値または電圧値が極大または
極小となる周波数ｆｍの変化も音響インピーダンスの変
化を示す。In order to detect a change in the acoustic impedance of the medium, the impedance characteristic or admittance characteristic of the medium is measured. When measuring the impedance characteristic or the admittance characteristic, for example, a transmission circuit can be used. The transmission circuit applies a constant voltage to the medium, changes the frequency, and measures the current flowing through the medium. Alternatively, the transmission circuit supplies a constant current to the medium, changes the frequency, and measures the voltage applied to the medium. A change in the current value or voltage value measured by the transmission circuit indicates a change in acoustic impedance. Further, a change in the frequency fm at which the current value or the voltage value becomes maximum or minimum also indicates a change in acoustic impedance.

【００３２】上記の方法とは別に、アクチュエータは、
液体の音響インピーダンスの変化を共振周波数のみの変
化を用いて検出することができる。液体の音響インピー
ダンスの変化を利用する方法として、アクチュエータの
振動部が振動した後に振動部に残留する残留振動によっ
て生ずる逆起電力を測定することによって共振周波数を
検出する方法を用いる場合には、例えば圧電素子を利用
することができる。圧電素子は、アクチュエータの振動
部に残留する残留振動により逆起電力を発生する素子で
あり、アクチュエータの振動部の振幅によって逆起電力
の大きさが変化する。従って、アクチュエータの振動部
の振幅が大きいほど検出がしやすい。また、アクチュエ
ータの振動部における残留振動の周波数によって逆起電
力の大きさが変化する周期が変わる。従って、アクチュ
エータの振動部の周波数は逆起電力の周波数に対応す
る。ここで、共振周波数は、アクチュエータの振動部と
振動部に接する媒体との共振状態における周波数をい
う。Apart from the above method, the actuator is
A change in the acoustic impedance of the liquid can be detected using only a change in the resonance frequency. As a method using the change in acoustic impedance of the liquid, when using a method of detecting a resonance frequency by measuring a back electromotive force generated by residual vibration remaining in the vibrating portion after the vibrating portion of the actuator vibrates, for example, A piezoelectric element can be used. A piezoelectric element is an element that generates a back electromotive force due to residual vibration remaining in a vibrating part of an actuator, and the magnitude of the back electromotive force changes according to the amplitude of the vibrating part of the actuator. Therefore, the larger the amplitude of the vibrating part of the actuator, the easier it is to detect. Further, the cycle at which the magnitude of the back electromotive force changes depends on the frequency of the residual vibration in the vibrating portion of the actuator. Therefore, the frequency of the vibrating part of the actuator corresponds to the frequency of the back electromotive force. Here, the resonance frequency refers to a frequency in a resonance state between the vibrating portion of the actuator and the medium in contact with the vibrating portion.

【００３３】共振周波数ｆｓを得るために、振動部と媒
体とが共振状態であるときの逆起電力測定によって得ら
れた波形をフーリエ変換する。アクチュエータの振動
は、一方向だけの変形ではなく、たわみや伸長等様々な
変形をともなうので、共振周波数ｆｓを含め様々な周波
数を有する。よって、圧電素子と媒体とが共振状態であ
るときの逆起電力の波形をフーリエ変換し、最も支配的
な周波数成分を特定することで、共振周波数ｆｓを判断
する。In order to obtain the resonance frequency fs, the waveform obtained by the back electromotive force measurement when the vibrating section and the medium are in a resonance state is subjected to Fourier transform. The vibration of the actuator is not only deformed in one direction but is accompanied by various deformations such as bending and elongation, and thus has various frequencies including the resonance frequency fs. Therefore, the resonance frequency fs is determined by Fourier-transforming the waveform of the back electromotive force when the piezoelectric element and the medium are in a resonance state, and specifying the most dominant frequency component.

【００３４】周波数ｆｍは、媒体のアドミッタンスが極
大またはインピーダンスが極小であるときの周波数であ
る。共振周波数ｆｓとすると、周波数ｆｍは、媒体の誘
電損失または機械的損失などによって、共振周波数ｆｓ
に対しわずかな誤差を生ずる。しかし、実測される周波
数ｆｍから共振周波数ｆｓを導出することは手間がかか
るため、一般には、周波数ｆｍを共振周波数に代えて使
用する。ここで、アクチュエータ１０６の出力を伝送回
路に入力することで、アクチュエータ１０６は少なくと
も音響インピーダンスを検出することができる。The frequency fm is a frequency when the admittance of the medium is maximum or the impedance is minimum. Assuming that the resonance frequency is fs, the frequency fm is equal to the resonance frequency fs due to dielectric loss or mechanical loss of the medium.
Causes a slight error. However, deriving the resonance frequency fs from the actually measured frequency fm is troublesome, and therefore, generally, the frequency fm is used instead of the resonance frequency. Here, by inputting the output of the actuator 106 to the transmission circuit, the actuator 106 can detect at least the acoustic impedance.

【００３５】媒体のインピーダンス特性またはアドミッ
タンス特性を測定し周波数ｆｍを測定する方法と、アク
チュエータの振動部における残留振動振動によって生ず
る逆起電力を測定することによって共振周波数ｆｓを測
定する方法と、によって特定される共振周波数に差がほ
とんど無いことが実験によって証明されている。The frequency fm is measured by measuring the impedance characteristic or admittance characteristic of the medium, and the resonance frequency fs is measured by measuring the back electromotive force generated by the residual vibration in the vibrating part of the actuator. It has been proved by experiments that there is almost no difference in the resonance frequencies to be obtained.

【００３６】アクチュエータ１０６の振動領域は、振動
板１７６のうち開口１６１によって決定されるキャビテ
ィ１６２を構成する部分である。液体容器内に液体が充
分に収容されている場合には、キャビティ１６２内に
は、液体が満たされ、振動領域は液体容器内の液体と接
触する。一方で、液体容器内に液体が充分にない場合に
は、振動領域は液体容器内のキャビティに残った液体と
接するか、あるいは液体と接触せず、気体または真空と
接触する。The vibration region of the actuator 106 is a portion of the vibration plate 176 that forms a cavity 162 determined by the opening 161. When the liquid is sufficiently contained in the liquid container, the cavity 162 is filled with the liquid, and the vibrating region comes into contact with the liquid in the liquid container. On the other hand, if there is not enough liquid in the liquid container, the vibrating region will be in contact with the liquid remaining in the cavity in the liquid container, or will not be in contact with the liquid, but will be in contact with gas or vacuum.

【００３７】本発明のアクチュエータ１０６にはキャビ
ティ１６２が設けられ、それによって、アクチュエータ
１０６の振動領域に液体容器内の液体が残るように設計
できる。その理由は次の通りである。The actuator 106 of the present invention is provided with a cavity 162 so that the liquid in the liquid container can be designed to remain in the vibration region of the actuator 106. The reason is as follows.

【００３８】アクチュエータの液体容器への取り付け位
置や取り付け角度によっては、液体容器内の液体の液面
がアクチュエータの装着位置よりも下方にあるにもかか
わらず、アクチュエータの振動領域に液体が付着してし
まう場合がある。振動領域における液体の有無だけでア
クチュエータが液体の有無を検出している場合には、ア
クチュエータの振動領域に付着した液体が液体の有無の
正確な検出を妨げる。たとえば、液面がアクチュエータ
の装着位置よりも下方にある状態のとき、キャリッジの
往復移動などにより液体容器が揺動して液体が波うち、
振動領域に液滴が付着してしまうと、アクチュエータは
液体容器内に液体が充分にあるとの誤った判断をしてし
まう。そこで、逆にそこに液体を残存した場合であって
も液体の有無を正確に検出するように設計されたキャビ
ティを積極的に設けることで、液体容器が揺動して液面
が波立ったとしても、アクチュエータの誤動作を防止す
ることができる。このように、キャビティを有するアク
チュエータを用いることで、誤動作を防ぐことができ
る。Depending on the mounting position and the mounting angle of the actuator to the liquid container, the liquid adheres to the vibration region of the actuator even though the liquid level of the liquid in the liquid container is lower than the mounting position of the actuator. In some cases. When the actuator detects the presence / absence of the liquid only by the presence / absence of the liquid in the vibration region, the liquid attached to the vibration region of the actuator prevents accurate detection of the presence / absence of the liquid. For example, when the liquid level is below the mounting position of the actuator, the liquid container swings due to the reciprocating movement of the carriage or the like, causing the liquid to wave,
If the droplets adhere to the vibrating area, the actuator incorrectly determines that there is sufficient liquid in the liquid container. Therefore, conversely, even if the liquid remains there, by positively providing a cavity designed to accurately detect the presence or absence of the liquid, the liquid container rocked and the liquid surface wavy However, malfunction of the actuator can be prevented. As described above, malfunction can be prevented by using the actuator having the cavity.

【００３９】また、図２（Ｅ)に示すように、液体容器
内に液体が無く、アクチュエータ１０６のキャビティ１
６２に液体容器内の液体が残っている場合を、液体の有
無の閾値とする。すなわち、キャビティ１６２の周辺に
液体が無く、この閾値よりキャビティ内の液体が少ない
場合は、インク無しと判断し、キャビティ１６２の周辺
に液体が有り、この閾値より液体が多い場合は、インク
有りと判断する。例えば、アクチュエータ１０６を液体
容器の側壁に装着した場合、液体容器内の液体がアクチ
ュエータの装着位置よりも下にある場合をインク無しと
判断し、液体容器内の液体がアクチュエータの装着位置
より上にある場合をインク有りと判断する。このように
閾値を設定することによって、キャビティ内のインクが
乾燥してインクが無くなったときであってもインク無し
と判断し、キャビティ内のインクが無くなったところに
キャリッジの揺れなどで再度インクがキャビティに付着
しても閾値を越えないので、インク無しと判断すること
ができる。As shown in FIG. 2E, there is no liquid in the liquid container,
The case where the liquid in the liquid container remains in 62 is set as the threshold value of the presence or absence of the liquid. That is, when there is no liquid around the cavity 162 and the amount of liquid in the cavity is smaller than this threshold, it is determined that there is no ink. When there is liquid around the cavity 162 and there is more liquid than this threshold, there is ink. to decide. For example, when the actuator 106 is mounted on the side wall of the liquid container, it is determined that there is no ink when the liquid in the liquid container is below the mounting position of the actuator, and the liquid in the liquid container is positioned above the mounting position of the actuator. If there is, it is determined that there is ink. By setting the threshold value in this manner, it is determined that there is no ink even when the ink in the cavity has dried and the ink has run out. Since the threshold value is not exceeded even if the ink adheres to the cavity, it can be determined that there is no ink.

【００４０】ここで、図１および図２を参照しながら逆
起電力の測定による媒体とアクチュエータ１０６の振動
部との共振周波数から液体容器内の液体の状態を検出す
る動作および原理について説明する。アクチュエータ１
０６において、上部電極端子１６８および下部電極端子
１７０を介して、それぞれ上部電極１６４および下部電
極１６６に電圧を印加する。圧電層１６０のうち、上部
電極１６４および下部電極１６６に挟まれた部分には電
界が生じる。その電界によって、圧電層１６０は変形す
る。圧電層１６０が変形することによって振動板１７６
のうちの振動領域がたわみ振動する。圧電層１６０が変
形した後しばらくは、たわみ振動がアクチュエータ１０
６の振動部に残留する。Here, the operation and principle of detecting the state of the liquid in the liquid container from the resonance frequency of the medium and the vibrating portion of the actuator 106 by measuring the back electromotive force will be described with reference to FIGS. 1 and 2. Actuator 1
At 06, a voltage is applied to the upper electrode 164 and the lower electrode 166 via the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170, respectively. An electric field is generated in a portion of the piezoelectric layer 160 that is interposed between the upper electrode 164 and the lower electrode 166. The piezoelectric layer 160 is deformed by the electric field. When the piezoelectric layer 160 is deformed, the diaphragm 176
Vibrating region vibrates flexibly. For a while after the piezoelectric layer 160 is deformed, the flexural vibration is applied to the actuator 10.
6 remains in the vibrating part.

【００４１】残留振動は、アクチュエータ１０６の振動
部と媒体との自由振動である。従って、圧電層１６０に
印加する電圧をパルス波形あるいは矩形波とすること
で、電圧を印加した後に振動部と媒体との共振状態を容
易に得ることができる。残留振動は、アクチュエータ１
０６の振動部を振動させるため、圧電層１６０をも変形
する。従って、圧電層１６０は逆起電力を発生する。そ
の逆起電力は、上部電極１６４、下部電極１６６、上部
電極端子１６８および下部電極端子１７０を介して検出
される。検出された逆起電力によって、共振周波数が特
定できるため、液体容器内の液体の状態を検出すること
ができる。The residual vibration is free vibration between the vibration part of the actuator 106 and the medium. Therefore, by making the voltage applied to the piezoelectric layer 160 a pulse waveform or a rectangular wave, a resonance state between the vibrating portion and the medium can be easily obtained after the voltage is applied. The residual vibration is
In order to vibrate the vibrating portion 06, the piezoelectric layer 160 is also deformed. Therefore, the piezoelectric layer 160 generates a back electromotive force. The back electromotive force is detected via the upper electrode 164, the lower electrode 166, the upper electrode terminal 168, and the lower electrode terminal 170. Since the resonance frequency can be specified by the detected back electromotive force, the state of the liquid in the liquid container can be detected.

【００４２】一般に、共振周波数ｆｓは、 ｆｓ＝１／（２＊π＊(Ｍ＊Ｃact)1/2） （式1） で表される。ここで、Ｍは振動部のイナータンスＭact
と付加イナータンスＭ’との和である。Ｃactは振動部
のコンプライアンスである。Generally, the resonance frequency fs is expressed by fs = 1 / (2 * π * (M * Cact) 1/2 ) (Equation 1). Here, M is the inertance Mact of the vibrating part.
And the additional inertance M ′. Cact is the compliance of the vibrating part.

【００４３】図１（Ｃ）は、本実施例において、キャビ
ティにインクが残存していないときのアクチュエータ１
０６の断面図である。図２（Ａ)および図２（Ｂ)は、キ
ャビティにインクが残存していないときのアクチュエー
タ１０６の振動部およびキャビティ１６２の等価回路で
ある。FIG. 1C shows the actuator 1 in this embodiment when no ink remains in the cavity.
It is sectional drawing of 06. FIGS. 2A and 2B are equivalent circuits of the vibrating portion of the actuator 106 and the cavity 162 when no ink remains in the cavity.

【００４４】Ｍactは、振動部の厚さと振動部の密度と
の積を振動部の面積で除したものであり、さらに詳細に
は、図２（Ａ)に示すように、 Ｍact＝Ｍpzt＋Ｍelectrode1＋Ｍelectrode2＋Ｍvib （式２） と表される。ここで、Ｍpztは、振動部における圧電層
１６０の厚さと圧電層１６０の密度との積を圧電層１６
０の面積で除したものである。Ｍelectrode1は、振動部
における上部電極１６４の厚さと上部電極１６４の密度
との積を上部電極１６４の面積で除したものである。Ｍ
electrode2は、振動部における下部電極１６６の厚さと
下部電極１６６の密度との積を下部電極１６６の面積で
除したものである。Ｍvibは、振動部における振動板１
７６の厚さと振動板１７６の密度との積を振動板１７６
の振動領域の面積で除したものである。ただし、Ｍact
を振動部全体としての厚さ、密度および面積から算出す
ることができるように、本実施例では、圧電層１６０、
上部電極１６４、下部電極１６６および振動板１７６の
振動領域のそれぞれの面積は、上述のような大小関係を
有するものの、相互の面積の差は微小であることが好ま
しい。また、本実施例において、圧電層１６０、上部電
極１６４および下部電極１６６においては、それらの主
要部である円形部分以外の部分は、主要部に対して無視
できるほど微小であることが好ましい。従って、アクチ
ュエータ１０６において、Ｍactは、上部電極１６４、
下部電極１６６、圧電層１６０および振動板１７６のう
ちの振動領域のそれぞれのイナータンスの和である。ま
た、コンプライアンスＣactは、上部電極１６４、下部
電極１６６、圧電層１６０および振動板１７６のうちの
振動領域によって形成される部分のコンプライアンスで
ある。Mact is the product of the product of the thickness of the vibrating portion and the density of the vibrating portion divided by the area of the vibrating portion. More specifically, as shown in FIG. 2A, Mact = Mpzt + Melectrode1 + Melectrode2 + Mvib (formula 2) is expressed as Here, Mpzt is the product of the thickness of the piezoelectric layer 160 in the vibrating portion and the density of the piezoelectric layer 160,
It is divided by the area of 0. Melectrode1 is obtained by dividing the product of the thickness of the upper electrode 164 and the density of the upper electrode 164 in the vibrating section by the area of the upper electrode 164. M
electrode2 is the product of the product of the thickness of the lower electrode 166 and the density of the lower electrode 166 in the vibrating section divided by the area of the lower electrode 166. Mvib is the diaphragm 1 in the vibrating section.
The product of the thickness of the diaphragm 76 and the density of the diaphragm 176 is
Of the vibration region. However, Mact
In this embodiment, the piezoelectric layer 160 and the piezoelectric layer 160 can be calculated from the thickness, density, and area of the entire vibrating portion.
Although the respective areas of the upper electrode 164, the lower electrode 166, and the vibration region of the diaphragm 176 have the magnitude relationship as described above, it is preferable that the difference between the areas is small. In the present embodiment, it is preferable that portions of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 other than the circular portion, which are main portions thereof, are so small as to be negligible with respect to the main portion. Therefore, in the actuator 106, Mact is the upper electrode 164,
This is the sum of the inertances of the lower electrode 166, the piezoelectric layer 160, and the vibration area of the vibration plate 176. The compliance Cact is a compliance of a portion formed by the vibration region of the upper electrode 164, the lower electrode 166, the piezoelectric layer 160, and the vibration plate 176.

【００４５】尚、図２（Ａ)、図２（Ｂ)、図２（Ｄ)、
図２（Ｆ)は、アクチュエータ１０６の振動部およびキ
ャビティ１６２の等価回路を示すが、これらの等価回路
において、Ｃactはアクチュエータ１０６の振動部のコ
ンプライアンスを示す。Ｃpzt、Ｃelectrode1、Ｃelect
rode2およびＣvibはそれぞれ振動部における圧電層１６
０、上部電極１６４、下部電極１６６および振動板１７
６のコンプライアンスを示す。Ｃactは、以下の式３で
表される。2 (A), 2 (B), 2 (D),
FIG. 2F shows an equivalent circuit of the vibrating portion of the actuator 106 and the cavity 162. In these equivalent circuits, Cact indicates compliance of the vibrating portion of the actuator 106. Cpzt, Celectrode1, Celect
rode2 and Cvib are the piezoelectric layers 16 in the vibrating part, respectively.
0, upper electrode 164, lower electrode 166 and diaphragm 17
6 shows compliance. Cact is represented by the following equation 3.

【００４６】 1/Ｃact＝（1/Ｃpzt）＋（1/Ｃelectrode1）＋（1/Ｃelectrode2）＋（1/Ｃvib ） （式３） 式２および式３より、図２（Ａ)は、図２（Ｂ)のように
表すこともできる。1 / Cact = (1 / Cpzt) + (1 / Celectrode1) + (1 / Celectrode2) + (1 / Cvib) (Equation 3) From equations 2 and 3, FIG. It can also be expressed as (B).

【００４７】コンプライアンスＣactは、振動部の単位
面積に圧力をかけたときの変形によって媒体を受容でき
る体積を表す。また、コンプライアンスＣactは、変形
のし易さを表すといってもよい。The compliance Cact represents a volume that can receive a medium by deformation when pressure is applied to a unit area of the vibrating portion. Further, the compliance Cact may be said to indicate the ease of deformation.

【００４８】図２（Ｃ)は、液体容器に液体が十分に収
容され、アクチュエータ１０６の振動領域の周辺に液体
が満たされている場合のアクチュエータ１０６の断面図
を示す。図２（Ｃ)のＭ’maxは、液体容器に液体が十分
に収容され、アクチュエータ１０６の振動領域の周辺に
液体が満たされている場合の付加イナータンスの最大値
を表す。Ｍ’maxは、FIG. 2C is a cross-sectional view of the actuator 106 when the liquid is sufficiently contained in the liquid container and the liquid is filled around the vibrating region of the actuator 106. M′max in FIG. 2C represents the maximum value of the additional inertance when the liquid is sufficiently contained in the liquid container and the liquid is filled around the vibration region of the actuator 106. M'max is

【００４９】 Ｍ’max＝(π*ρ/(2*k3))*(2*(2*k*a)3/(3*π))/(π*a2)2 （式４） （ａは振動部の半径、ρは媒体の密度、ｋは波数であ
る。）M′max = (π * ρ / (2 * k 3 )) * (2 * (2 * k * a) 3 / (3 * π)) / (π * a 2 ) 2 (Equation 4) (A is the radius of the vibrating part, ρ is the density of the medium, and k is the wave number.)

【００５０】で表される。尚、式４は、アクチュエータ
１０６の振動領域が半径ａの円形である場合に成立す
る。付加イナータンスＭ’は、振動部の付近にある媒体
の作用によって、振動部の質量が見かけ上増加している
ことを示す量である。式４からわかるように、Ｍ’max
は振動部の半径ａと、媒体の密度ρとによって大きく変
化する。Is represented by Expression 4 holds when the vibration region of the actuator 106 is a circle having a radius a. The additional inertance M ′ is a quantity indicating that the mass of the vibrating part is apparently increased by the action of the medium near the vibrating part. As can be seen from Equation 4, M′max
Varies greatly depending on the radius a of the vibrating portion and the density ρ of the medium.

【００５１】波数kは、 ｋ＝２＊π＊ｆact／ｃ （式５） （factは液体が触れていないときの振動部の共振周波数
である。cは媒体中を伝播する音響の速度である。）The wave number k is as follows: k = 2 * π * fact / c (Equation 5) (Fact is the resonance frequency of the vibrating portion when the liquid is not touching. C is the speed of sound propagating in the medium. .)

【００５２】で表される。Is represented by

【００５３】図２（Ｄ)は、液体容器に液体が十分に収
容され、アクチュエータ１０６の振動領域の周辺に液体
が満たされている図２（Ｃ)の場合のアクチュエータ１
０６の振動部およびキャビティ１６２の等価回路を示
す。FIG. 2 (D) shows the actuator 1 in the case of FIG.
6 shows an equivalent circuit of the vibrating section 06 and the cavity 162.

【００５４】図２（Ｅ)は、液体容器の液体が消費さ
れ、アクチュエータ１０６の振動領域の周辺に液体が無
いものの、アクチュエータ１０６のキャビティ１６２内
には液体が残存している場合のアクチュエータ１０６の
断面図を示す。式４は、例えば、液体容器に液体が満た
されている場合に、インクの密度ρなどから決定される
最大のイナータンスＭ’maxを表す式である。一方、液
体容器内の液体が消費され、キャビティ１６２内に液体
が残留しつつアクチュエータ１０６の振動領域の周辺に
ある液体が気体または真空になった場合には、FIG. 2E shows the state of the actuator 106 when the liquid in the liquid container is consumed and there is no liquid around the vibrating region of the actuator 106 but the liquid remains in the cavity 162 of the actuator 106. FIG. Equation 4 is an equation representing the maximum inertance M′max determined from the density ρ of the ink when the liquid container is filled with the liquid, for example. On the other hand, when the liquid in the liquid container is consumed and the liquid around the vibration region of the actuator 106 becomes gas or vacuum while the liquid remains in the cavity 162,

【００５５】Ｍ’＝ρ*ｔ/Ｓ （式６） と表せる。ｔは、振動にかかわる媒体の厚さである。Ｓ
は、アクチュエータ１０６の振動領域の面積である。こ
の振動領域が半径ａの円形の場合は、Ｓ＝π*ａ2であ
る。従って、付加イナータンスＭ’は、液体容器に液体
が十分に収容され、アクチュエータ１０６の振動領域の
周辺に液体が満たされている場合には、式４に従う。一
方で、液体が消費され、キャビティ１６２内に液体が残
留しつつアクチュエータ１０６の振動領域の周辺にある
液体が気体または真空になった場合には、式６に従う。M ′ = ρ * t / S (Equation 6) t is the thickness of the medium involved in the vibration. S
Is the area of the vibration region of the actuator 106. When this vibration region is a circle having a radius a, S = π * a 2 . Therefore, the additional inertance M ′ follows Expression 4 when the liquid is sufficiently stored in the liquid container and the liquid is filled around the vibration region of the actuator 106. On the other hand, when the liquid is consumed and the liquid around the vibration region of the actuator 106 becomes gas or vacuum while the liquid remains in the cavity 162, Equation 6 is followed.

【００５６】ここで、図２（Ｅ)のように、液体容器の
液体が消費され、アクチュエータ１０６の振動領域の周
辺に液体が無いものの、アクチュエータ１０６のキャビ
ティ１６２内には液体が残存している場合の付加イナー
タンスＭ’を便宜的にＭ’cavとし、アクチュエータ１
０６の振動領域の周辺に液体が満たされている場合の付
加イナータンスＭ’maxと区別する。Here, as shown in FIG. 2E, the liquid in the liquid container is consumed, and there is no liquid around the vibration area of the actuator 106, but the liquid remains in the cavity 162 of the actuator 106. In this case, the additional inertance M ′ is referred to as M′cav for convenience, and the actuator 1
06 is distinguished from the additional inertance M′max when the liquid is filled around the vibration region.

【００５７】図２（Ｆ)は、液体容器の液体が消費さ
れ、アクチュエータ１０６の振動領域の周辺に液体が無
いものの、アクチュエータ１０６のキャビティ１６２内
には液体が残存している図２（Ｅ)の場合のアクチュエ
ータ１０６の振動部およびキャビティ１６２の等価回路
を示す。FIG. 2F shows that the liquid in the liquid container is consumed and no liquid exists around the vibrating region of the actuator 106, but the liquid remains in the cavity 162 of the actuator 106. 5 shows an equivalent circuit of the vibrating section of the actuator 106 and the cavity 162 in the case of FIG.

【００５８】ここで、媒体の状態に関係するパラメータ
は、式６において、媒体の密度ρおよび媒体の厚さｔで
ある。液体容器内に液体が充分に収容されている場合
は、アクチュエータ１０６の振動部に液体が接触し、液
体容器内に液体が充分に収容されていない場合は、キャ
ビティ内部に液体が残存するか、もしくはアクチュエー
タ１０６の振動部に気体または真空が接触する。アクチ
ュエータ１０６の周辺の液体が消費され、図２（Ｃ)の
Ｍ’maxから図２（Ｅ)のＭ’cavへ移行する過程におけ
る付加イナータンスをＭ’varとすると、液体容器内の
液体の収容状態によって、媒体の密度ρや媒体の厚さｔ
が変化するため、付加イナータンスＭ’varが変化し、
共振周波数ｆｓも変化することになる。従って、共振周
波数ｆｓを特定することによって、液体容器内の液体の
有無を検出することができる。式６を用いてＭ’cavを
表すと、式６のｔにキャビティの深さｄを代入し、Here, the parameters related to the state of the medium are the density ρ of the medium and the thickness t of the medium in Equation 6. When the liquid is sufficiently stored in the liquid container, the liquid comes into contact with the vibrating portion of the actuator 106. When the liquid is not sufficiently stored in the liquid container, the liquid remains in the cavity or Alternatively, gas or vacuum comes into contact with the vibrating portion of the actuator 106. Assuming that the liquid around the actuator 106 is consumed and the additional inertance in the process of shifting from M′max in FIG. 2C to M′cav in FIG. 2E is M′var, the liquid in the liquid container is stored. Depending on the state, the density ρ of the medium and the thickness t of the medium
Changes, the additional inertance M'var changes,
The resonance frequency fs also changes. Therefore, by specifying the resonance frequency fs, the presence or absence of the liquid in the liquid container can be detected. When M′cav is expressed by using Equation 6, substituting the cavity depth d for t in Equation 6,

【００５９】 Ｍ’cav＝ρ*ｄ/Ｓ （式７） となる。M′cav = ρ * d / S (Equation 7)

【００６０】また、媒体が互いに種類の異なる液体であ
っても、組成の違いによって密度ρが異なるため、付加
イナータンスＭ´が変化し、共振周波数ｆｓも変化す
る。従って、共振周波数ｆｓを特定することで、液体の
種類を検出できる。 尚、アクチュエータ１０６の振動
部にインクまたは空気のいずれか一方のみが接触し、混
在していない場合には、式４によって計算しても、Ｍ’
の相違を検出できる。Further, even if the mediums are liquids of different types, the added inertance M 'changes and the resonance frequency fs changes because the density ρ changes depending on the composition. Therefore, the type of liquid can be detected by specifying the resonance frequency fs. When only one of ink and air comes into contact with the vibrating portion of the actuator 106 and is not mixed, even if it is calculated by Equation 4, M ′
Can be detected.

【００６１】図３（Ａ）は、インクタンク内のインクの
量とインクおよび振動部の共振周波数ｆｓとの関係を示
すグラフである。ここでは液体の１例としてインクにつ
いて説明する。縦軸は、共振周波数ｆｓを示し、横軸
は、インク量を示す。インク組成が一定であるとき、イ
ンク残量の低下に伴い、共振周波数ｆｓは、上昇する。FIG. 3A is a graph showing the relationship between the amount of ink in the ink tank and the ink and the resonance frequency fs of the vibrating section. Here, an ink will be described as an example of the liquid. The vertical axis indicates the resonance frequency fs, and the horizontal axis indicates the ink amount. When the ink composition is constant, the resonance frequency fs increases with a decrease in the remaining amount of ink.

【００６２】インク容器にインクが十分に収容され、ア
クチュエータ１０６の振動領域の周辺にインクが満たさ
れている場合には、その最大付加イナータンスＭ’max
は式４に表わされる値となる。一方で、インクが消費さ
れ、キャビティ１６２内に液体が残留しつつアクチュエ
ータ１０６の振動領域の周辺にインクが満たされていな
いときには、付加イナータンスＭ’varは、媒体の厚さ
ｔに基づいて式６によって算出される。式６中のｔは振
動にかかわる媒体の厚さであるから、アクチュエータ１
０６のキャビティ１６２のｄ(図１（Ｂ）参照)を小さ
く、即ち、基板１７８を十分に薄くすることによって、
インクが徐々に消費されていく過程を検出することもで
きる（図２（Ｃ)参照）。ここで、ｔinkは振動にかかわ
るインクの厚さとし、ｔink−maxはＭ’maxにおけるｔi
nkとする。例えば、インクカートリッジの底面にアクチ
ュエータ１０６をインクの液面に対してほぼ水平に配備
する。インクが消費され、インクの液面がアクチュエー
タ１０６からｔの高さ以下に達すると、式６によりＭ’
varが徐々に変化し、式１により共振周波数ｆｓが徐々
に変化する。従って、インクの液面がｔの範囲内にある
限り、アクチュエータ１０６はインクの消費状態を徐々
に検出することができる。When the ink is sufficiently contained in the ink container and the periphery of the vibration region of the actuator 106 is filled with ink, the maximum additional inertance M′max
Is the value represented by Equation 4. On the other hand, when the ink is consumed and the ink is not filled around the vibration region of the actuator 106 while the liquid remains in the cavity 162, the additional inertance M′var is calculated based on the thickness t of the medium. It is calculated by Since t in Expression 6 is the thickness of the medium involved in the vibration, the actuator 1
By making d (see FIG. 1B) of the cavity 162 of 06 small, that is, by making the substrate 178 sufficiently thin,
A process in which the ink is gradually consumed can also be detected (see FIG. 2C). Here, tink is the thickness of the ink relating to the vibration, and tink-max is ti at M'max.
nk. For example, the actuator 106 is provided on the bottom surface of the ink cartridge substantially horizontally with respect to the ink level. When the ink is consumed and the liquid level of the ink reaches the height of t or less from the actuator 106, M '
var gradually changes, and the resonance frequency fs gradually changes according to the equation (1). Therefore, as long as the ink level is within the range of t, the actuator 106 can gradually detect the ink consumption state.

【００６３】また、アクチュエータ１０６の振動領域を
大きくまたは長くし、かつ縦に配置することによってイ
ンクの消費による液面の位置にしたがって、式６中のＳ
が変化する。従って、アクチュエータ１０６はインクが
徐々に消費されていく過程を検出することもできる。例
えば、インクカートリッジの側壁にアクチュエータ１０
６をインクの液面に対してほぼ垂直に配備する。インク
が消費され、インクの液面がアクチュエータ１０６の振
動領域に達すると、水位の低下に伴い付加イナータンス
Ｍ’が減少するので、式１により共振周波数ｆｓが徐々
に増加する。従って、インクの液面が、キャビティ１６
２の径２ａ（図２（Ｃ)参照）の範囲内にある限り、ア
クチュエータ１０６はインクの消費状態を徐々に検出す
ることができる。Further, by increasing or lengthening the vibration area of the actuator 106 and disposing it vertically, S
Changes. Therefore, the actuator 106 can also detect a process in which the ink is gradually consumed. For example, the actuator 10 is provided on the side wall of the ink cartridge.
6 is arranged substantially perpendicular to the ink level. When the ink is consumed and the liquid level of the ink reaches the vibration region of the actuator 106, the additional inertance M ′ decreases as the water level decreases, so that the resonance frequency fs gradually increases according to Equation 1. Therefore, the liquid level of the ink is
The actuator 106 can gradually detect the ink consumption state as long as it is within the range of the diameter 2a of 2 (see FIG. 2C).

【００６４】図３(Ａ)の曲線Ｘは、アクチュエータ１０
６のキャビティ１６２を十分に浅くした場合や、アクチ
ュエータ１０６の振動領域を十分に大きくまたは長くし
た場合のインクタンク内に収容されたインクの量とイン
クおよび振動部の共振周波数ｆｓとの関係を表わしてい
る。インクタンク内のインクの量が減少するとともに、
インクおよび振動部の共振周波数ｆｓが徐々に変化して
いく様子が理解できる。The curve X in FIG.
6 shows the relationship between the amount of ink contained in the ink tank and the ink and the resonance frequency fs of the vibrating part when the cavity 162 is sufficiently shallow or when the vibration region of the actuator 106 is sufficiently large or long. ing. As the amount of ink in the ink tank decreases,
It can be understood that the resonance frequency fs of the ink and the vibrating part gradually changes.

【００６５】より詳細には、インクが徐々に消費されて
いく過程を検出することができる場合とは、アクチュエ
ータ１０６の振動領域の周辺において、互いに密度が異
なる液体と気体とがともに存在し、かつ振動にかかわる
場合である。インクが徐々に消費されていくに従って、
アクチュエータ１０６の振動領域周辺において振動にか
かわる媒体は、液体が減少する一方で気体が増加する。
例えば、アクチュエータ１０６をインクの液面に対して
水平に配備した場合であって、ｔinkがｔink−maxより
小さいときには、アクチュエータ１０６の振動にかかわ
る媒体はインクと気体との両方を含む。したがって、ア
クチュエータ１０６の振動領域の面積Ｓとすると、式４
のＭ’max以下になった状態をインクと気体の付加質量
で表すと、More specifically, the case where the process in which the ink is gradually consumed can be detected means that both the liquid and the gas having different densities exist around the vibration region of the actuator 106, and This is the case related to vibration. As the ink is gradually consumed,
In the medium related to the vibration around the vibration region of the actuator 106, the liquid increases while the gas increases.
For example, in a case where the actuator 106 is disposed horizontally with respect to the ink level, and when tink is smaller than tink-max, the medium involved in the vibration of the actuator 106 includes both ink and gas. Therefore, assuming that the area S of the vibration region of the actuator 106 is:
When the state of M'max or less is represented by the added mass of ink and gas,

【００６６】 Ｍ’＝Ｍ’air＋Ｍ’ink＝ ρair*ｔair/Ｓ+ρink*ｔink/Ｓ （式８） となる。ここで、Ｍ’airは空気のイナータンスであ
り、Ｍ’inkはインクのイナータンスである。ρairは空
気の密度であり、ρinkはインクの密度である。ｔairは
振動にかかわる空気の厚さであり、ｔinkは振動にかか
わるインクの厚さである。アクチュエータ１０６の振動
領域周辺における振動にかかわる媒体のうち、液体が減
少して気体が増加するに従い、アクチュエータ１０６が
インクの液面に対しほぼ水平に配備されている場合に
は、ｔairが増加し、ｔinkが減少する。それによって、
Ｍ’varが徐々に減少し、共振周波数が徐々に増加す
る。よって、インクタンク内に残存しているインクの量
またはインクの消費量を検出することができる。尚、式
７において液体の密度のみの式となっているのは、液体
の密度に対して、空気の密度が無視できるほど小さい場
合を想定しているからである。M ′ = M′air + M′ink = ρair * tair / S + ρink * tink / S (Equation 8) Here, M'air is the inertance of air, and M'ink is the inertance of ink. ρair is the density of air, and ρink is the density of the ink. tair is the thickness of the air involved in the vibration, and tink is the thickness of the ink involved in the vibration. As the liquid decreases and the gas increases in the medium related to the vibration around the vibration region of the actuator 106, tair increases when the actuator 106 is arranged substantially horizontally with respect to the ink level, tink decreases. Thereby,
M'var gradually decreases, and the resonance frequency gradually increases. Therefore, the amount of ink remaining in the ink tank or the amount of consumed ink can be detected. It should be noted that the reason why only the density of the liquid is used in Equation 7 is that it is assumed that the density of the air is negligibly small compared to the density of the liquid.

【００６７】アクチュエータ１０６がインクの液面に対
しほぼ垂直に配備されている場合には、アクチュエータ
１０６の振動領域のうち、アクチュエータ１０６の振動
にかかわる媒体がインクのみの領域と、アクチュエータ
１０６の振動にかかわる媒体が気体の領域との並列の等
価回路（図示せず）と考えられる。アクチュエータ１０
６の振動にかかわる媒体がインクのみの領域の面積をＳ
inkとし、アクチュエータ１０６の振動にかかわる媒体
が気体のみの領域の面積をＳairとすると、In the case where the actuator 106 is disposed substantially perpendicular to the ink surface, among the vibration regions of the actuator 106, the region related to the vibration of the actuator 106 is the region of only the ink, The medium involved is considered as an equivalent circuit (not shown) in parallel with the region of the gas. Actuator 10
The medium relating to the vibration of No. 6 has the area of the ink-only area as S
Assuming that the area of the region where only the medium relating to the vibration of the actuator 106 is gas is Sair,

【００６８】 1/Ｍ’＝1/Ｍ’air＋1/Ｍ’ink＝Ｓair/（ρair*ｔair）+Ｓink/（ρink*ｔin k ）（式９） となる。1 / M ′ = 1 / M′air + 1 / M′ink = Sair / (ρair * tair) + Sink / (ρink * tink) (Equation 9)

【００６９】尚、式９は、アクチュエータ１０６のキャ
ビティにインクが保持されない場合に適用される。アク
チュエータ１０６のキャビティにインクが保持される場
合については、式７、式８および式９によって計算する
ことができる。Equation 9 is applied when ink is not held in the cavity of the actuator 106. The case where the ink is held in the cavity of the actuator 106 can be calculated by Expressions 7, 8, and 9.

【００７０】一方、基板１７８が厚く、即ち、キャビテ
ィ１６２の深さｄが深く、ｄが媒体の厚さｔink-maxに
比較的近い場合や、液体容器の高さに比して振動領域が
非常に小さいアクチュエータを用いる場合には、実際上
はインクが徐々に減少する過程を検出するというよりは
インクの液面がアクチュエータの装着位置より上位置か
下位置かを検出することになる。換言すると、アクチュ
エータの振動領域におけるインクの有無を検出すること
になる。例えば、図３(Ａ)の曲線Ｙは、小さい円形の振
動領域の場合におけるインクタンク内のインクの量とイ
ンクおよび振動部の共振周波数ｆｓとの関係を示す。イ
ンクタンク内のインクの液面がアクチュエータの装着位
置を通過する前後におけるインク量Ｑの間で、インクお
よび振動部の共振周波数ｆｓが激しく変化している様子
が示される。このことから、インクタンク内にインクが
所定量残存しているか否かを検出することができる。On the other hand, when the substrate 178 is thick, that is, when the depth d of the cavity 162 is deep and d is relatively close to the medium thickness tink-max, or when the vibration region is very large compared to the height of the liquid container. When a small actuator is used, the fact that the ink level is higher or lower than the actuator mounting position is actually detected rather than detecting the process of gradually decreasing the ink. In other words, the presence or absence of ink in the vibration region of the actuator is detected. For example, a curve Y in FIG. 3A shows the relationship between the amount of ink in the ink tank and the ink and the resonance frequency fs of the vibrating part in the case of a small circular vibration region. A state is shown in which the resonance frequency fs of the ink and the vibrating part changes drastically between the ink amounts Q before and after the liquid level of the ink in the ink tank passes through the mounting position of the actuator. From this, it is possible to detect whether a predetermined amount of ink remains in the ink tank.

【００７１】アクチュエータ１０６を用いて液体の有無
を検出する方法は、振動板１７６が、液体と直接接触す
ることで、インクの有無を検出するので、インクの消費
量をソフトウェアによって計算する方法に比べ、検出精
度が高い。更に、電極を用いて、導電性によりインクの
有無を検出する方法は、液体容器への取付位置及びイン
クの種類によって影響されるが、アクチュエータ１０６
を用いて液体の有無を検出する方法は、液体容器への取
付位置及びインクの種類によって、影響されない。更
に、単一のアクチュエータ１０６を用いて、発振と液体
の有無の検出の双方をすることができるので、発振と液
体の有無の検出とを異なったセンサを用いて実施する方
法と比較して液体容器に取付けるセンサの数を減少する
ことができる。したがって、液体容器を安価に製造でき
る。更に、圧電層１６０の振動周波数を非可聴領域に設
定することで、アクチュエータ１０６の動作中に発生す
る音を静かにすることができる。The method of detecting the presence / absence of liquid using the actuator 106 detects the presence / absence of ink when the vibration plate 176 comes into direct contact with the liquid, so that the amount of ink consumption is calculated by software. , High detection accuracy. Furthermore, the method of detecting the presence or absence of ink by conductivity using electrodes is affected by the position of attachment to the liquid container and the type of ink.
The method for detecting the presence / absence of a liquid using the method is not affected by the mounting position on the liquid container and the type of ink. Further, since the oscillation and the detection of the presence or absence of the liquid can be both performed by using the single actuator 106, the oscillation and the detection of the presence or absence of the liquid can be compared with a method in which the oscillation and the detection of the presence or absence of the liquid are performed using different sensors. The number of sensors mounted on the container can be reduced. Therefore, the liquid container can be manufactured at low cost. Further, by setting the vibration frequency of the piezoelectric layer 160 in the non-audible region, the sound generated during the operation of the actuator 106 can be quieted.

【００７２】図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の曲線Ｙにおけ
るインクの密度とインクおよび振動部の共振周波数ｆｓ
との関係を示す。液体の例としてインクを挙げている。
図３（Ｂ）に示すように、インク密度が高くなると、付
加イナータンスが大きくなるので共振周波数ｆｓが低下
する。すなわち、インクの種類によって共振周波数ｆｓ
が異なる。したがって共振周波数ｆｓを測定することに
よって、インクを再充填する際に、密度の異なったイン
クが混入されていないか確認することができる。FIG. 3B shows the relationship between the ink density and the resonance frequency fs of the ink and the vibrating portion in the curve Y in FIG.
The relationship is shown below. Ink is given as an example of the liquid.
As shown in FIG. 3B, when the ink density increases, the additional inertance increases, so that the resonance frequency fs decreases. That is, the resonance frequency fs depends on the type of ink.
Is different. Therefore, by measuring the resonance frequency fs, it is possible to confirm whether inks having different densities are mixed when the ink is refilled.

【００７３】つまり、互いに種類の異なるインクを収容
するインクタンクを識別できる。That is, it is possible to identify ink tanks containing different types of ink.

【００７４】続いて、液体容器内の液体が空の状態であ
ってもアクチュエータ１０６のキャビティ１６２内に液
体が残存するようにキャビティのサイズと形状を設定し
た時の、液体の状態を正確に検出できる条件を詳述す
る。アクチュエータ１０６は、キャビティ１６２内に液
体が満たされている場合に液体の状態を検出できれば、
キャビティ１６２内に液体が満たされていない場合であ
っても液体の状態を検出できる。Subsequently, when the size and shape of the cavity are set so that the liquid remains in the cavity 162 of the actuator 106 even when the liquid in the liquid container is empty, the state of the liquid is accurately detected. The possible conditions will be described in detail. If the actuator 106 can detect the state of the liquid when the cavity 162 is filled with the liquid,
Even when the cavity 162 is not filled with the liquid, the state of the liquid can be detected.

【００７５】共振周波数ｆｓは、イナータンスＭの関数
である。イナータンスＭは、振動部のイナータンスＭac
tと付加イナータンスＭ’との和である。ここで、付加
イナータンスＭ’が液体の状態と関係する。付加イナー
タンスＭ’は、振動部の付近にある媒体の作用によって
振動部の質量が見かけ上増加していることを示す量であ
る。即ち、振動部の振動によって見かけ上媒体を吸収す
ることによる振動部の質量の増加分をいう。The resonance frequency fs is a function of the inertance M. The inertance M is the inertance Mac of the vibrating part.
It is the sum of t and the additional inertance M '. Here, the additional inertance M ′ is related to the state of the liquid. The additional inertance M ′ is an amount indicating that the mass of the vibrating part is apparently increased by the action of the medium near the vibrating part. That is, it means an increase in the mass of the vibrating section due to apparent absorption of the medium by the vibration of the vibrating section.

【００７６】従って、Ｍ’cavが式４におけるＭ’maxよ
りも大きい場合には、見かけ上吸収する媒体は全てキャ
ビティ１６２内に残存する液体である。よって、液体容
器内に液体が満たされている状態と同じである。この場
合にはＭ’が変化しないので、共振周波数ｆｓも変化し
ない。従って、アクチュエータ１０６は、液体容器内の
液体の状態を検出できないことになる。Therefore, when M′cav is larger than M′max in Equation 4, all the apparently absorbing media are liquids remaining in the cavity 162. Therefore, it is the same as the state where the liquid is filled in the liquid container. In this case, since M ′ does not change, the resonance frequency fs does not change. Therefore, the actuator 106 cannot detect the state of the liquid in the liquid container.

【００７７】一方、Ｍ’cavが式４におけるＭ’ maxよ
りも小さい場合には、見かけ上吸収する媒体はキャビテ
ィ１６２内に残存する液体および液体容器内の気体また
は真空である。このときには液体容器内に液体が満たさ
れている状態とは異なりＭ’が変化するので、共振周波
数ｆｓが変化する。従って、アクチュエータ１０６は、
液体容器内の液体の状態を検出できる。On the other hand, when M′cav is smaller than M′max in Equation 4, the medium apparently absorbed is the liquid remaining in the cavity 162 and the gas or vacuum in the liquid container. At this time, unlike the state where the liquid is filled in the liquid container, M ′ changes, so that the resonance frequency fs changes. Therefore, the actuator 106
The state of the liquid in the liquid container can be detected.

【００７８】即ち、液体容器内の液体が空の状態で、ア
クチュエータ１０６のキャビティ１６２内に液体が残存
する場合に、アクチュエータ１０６が液体の状態を正確
に検出できる条件は、Ｍ’cavがＭ’maxよりも小さいこ
とである。尚、アクチュエータ１０６が液体の状態を正
確に検出できる条件Ｍ’max＞Ｍ’cavは、キャビティ１
６２の形状にかかわらない。That is, when the liquid in the liquid container is empty and the liquid remains in the cavity 162 of the actuator 106, the condition under which the actuator 106 can accurately detect the liquid state is that M'cav is M'cav. It is smaller than max. The condition M′max> M′cav at which the actuator 106 can accurately detect the state of the liquid is defined as the cavity 1
Regardless of the shape of 62.

【００７９】ここで、Ｍ’cavは、キャビティ１６２の
容量とほぼ等しい容量の液体の質量である。従って、
Ｍ’max＞Ｍ’cavの不等式から、アクチュエータ１０６
が液体の状態を正確に検出できる条件は、キャビティ１
６２の容量の条件として表すことができる。例えば、円
形状のキャビティ１６２の開口１６１の半径をaとし、
およびキャビティ１６２の深さをｄとすると、Here, M′cav is the mass of the liquid having a volume substantially equal to the volume of the cavity 162. Therefore,
From the inequality M′max> M′cav, the actuator 106
The conditions under which the liquid state can be accurately detected are cavity 1
It can be expressed as a condition of a capacity of 62. For example, let a be the radius of the opening 161 of the circular cavity 162,
And the depth of the cavity 162 is d,

【００８０】Ｍ’max＞ρ＊ｄ/πa2 （式１０） である。式１０を展開するとM′max> ρ * d / πa 2 (Equation 10). Expanding Equation 10 gives

【００８１】ａ／ｄ＞３＊π／８ （式１１） という条件が求められる。尚、式１０、式１１は、キャ
ビティ１６２の形状が円形の場合に限り成立する。円形
でない場合のＭ’maxの式を用い、式１０中のπa 2をそ
の面積と置き換えて計算すれば、キャビティの幅および
長さ等のディメンジョンと深さの関係が導き出せる。The following condition is obtained: a / d> 3 * π / 8 (Equation 11). Equations 10 and 11 are
This is true only when the shape of the bitty 162 is circular. Round
Πa in equation 10 using the equation of M′max TwoTo
By calculating the area of the cavity, the width of the cavity and
The relationship between dimensions such as length and depth can be derived.

【００８２】従って、式１１を満たす開口１６１の半径
aおよびキャビティ１６２の深さｄであるキャビティ１
６２を有するアクチュエータ１０６であれば、液体容器
内の液体が空の状態であって、かつキャビティ１６２内
に液体が残存する場合であっても、誤作動することなく
液体の状態を検出できる。Therefore, the radius of the opening 161 satisfying the equation (11)
a and cavity 1 at depth d of cavity 162
The actuator 106 having 62 can detect the state of the liquid without malfunction even if the liquid in the liquid container is empty and the liquid remains in the cavity 162.

【００８３】付加イナータンスＭ’は音響インピーダン
ス特性にも影響するので、残留振動によりアクチュエー
タ１０６に発生する逆起電力を測定する方法は、少なく
とも音響インピーダンスの変化を検出しているともいえ
る。Since the additional inertance M ′ also affects the acoustic impedance characteristics, it can be said that the method of measuring the back electromotive force generated in the actuator 106 due to the residual vibration detects at least a change in the acoustic impedance.

【００８４】また、本実施例によれば、アクチュエータ
１０６が振動を発生してその後の残留振動によりアクチ
ュエータ１０６に発生する逆起電力を測定している。し
かし、アクチュエータ１０６の振動部が駆動電圧による
自らの振動によって液体に振動を与えることは必ずしも
必要ではない。即ち、振動部が自ら発振しなくても、そ
れと接触しているある範囲の液体と共に振動すること
で、圧電層１６０がたわみ変形する。この残留振動が圧
電層１６０に逆起電力電圧を発生させ、上部電極１６４
および下部電極１６６にその逆起電力電圧を伝達する。
この現象を利用することで媒体の状態を検出してもよ
い。例えば、インクジェット記録装置において、印字時
における印字ヘッドの走査によるキャリッジの往復運動
による振動によって発生するアクチュエータの振動部の
周囲の振動を利用してインクタンクまたはその内部のイ
ンクの状態を検出してもよい。Further, according to the present embodiment, the back electromotive force generated in the actuator 106 due to the vibration generated by the actuator 106 and subsequent residual vibration is measured. However, it is not always necessary for the vibrating section of the actuator 106 to vibrate the liquid by its own vibration due to the drive voltage. That is, even if the vibrating part does not oscillate by itself, it vibrates together with a certain range of liquid in contact with the vibrating part, whereby the piezoelectric layer 160 bends and deforms. This residual vibration generates a back electromotive force voltage in the piezoelectric layer 160, and the upper electrode 164
And the lower electromotive force voltage to lower electrode 166.
The state of the medium may be detected by utilizing this phenomenon. For example, in an ink jet recording apparatus, even if the state of the ink tank or the ink inside the ink tank is detected by using the vibration around the vibration part of the actuator generated by the vibration due to the reciprocating movement of the carriage due to the scan of the print head during printing. Good.

【００８５】図４(Ａ) および図４（Ｂ）は、アクチュ
エータ１０６を振動させた後の、アクチュエータ１０６
の残留振動の波形と残留振動の測定方法とを示す。イン
クカートリッジ内のアクチュエータ１０６の装着位置レ
ベルにおけるインク水位の上下は、アクチュエータ１０
６が発振した後の残留振動の周波数変化や、振幅の変化
によって検出することができる。図４(Ａ) および図４
（Ｂ）において、縦軸はアクチュエータ１０６の残留振
動によって発生した逆起電力の電圧を示し、横軸は時間
を示す。アクチュエータ１０６の残留振動によって、図
４(Ａ) および図４（Ｂ）に示すように電圧のアナログ
信号の波形が発生する。次に、アナログ信号を、信号の
周波数に対応するデジタル数値に変換する。FIGS. 4A and 4B show the state of the actuator 106 after the actuator 106 is vibrated.
2 shows a waveform of the residual vibration and a method of measuring the residual vibration. The ink level at the mounting position level of the actuator 106 in the ink cartridge is
6 can be detected by a change in the frequency of the residual vibration or a change in the amplitude after the oscillation. FIG. 4 (A) and FIG.
In (B), the vertical axis indicates the voltage of the back electromotive force generated by the residual vibration of the actuator 106, and the horizontal axis indicates the time. Due to the residual vibration of the actuator 106, a waveform of a voltage analog signal is generated as shown in FIGS. 4A and 4B. Next, the analog signal is converted into a digital numerical value corresponding to the frequency of the signal.

【００８６】図４(Ａ)および図４（Ｂ）に示した例にお
いては、アナログ信号の４パルス目から８パルス目まで
の４個のパルスが生じる時間を計測することによって、
インクの有無を検出する。In the example shown in FIGS. 4A and 4B, the time during which four pulses from the fourth pulse to the eighth pulse of the analog signal are generated is measured.
Detect ink presence.

【００８７】より詳細には、アクチュエータ１０６が発
振した後、予め設定された所定の基準電圧を低電圧側か
ら高電圧側へ横切る回数をカウントする。デジタル信号
を４カウントから８カウントまでの間をＨｉｇｈとし、
所定のクロックパルスによって４カウントから８カウン
トまでの時間を計測する。More specifically, the number of times the actuator 106 oscillates and crosses a predetermined reference voltage from a low voltage side to a high voltage side after oscillation is counted. A digital signal between 4 and 8 counts is defined as High,
The time from 4 counts to 8 counts is measured by a predetermined clock pulse.

【００８８】図４（Ａ）はアクチュエータ１０６の装着
位置レベルよりも上位にインク液面があるときの波形で
ある。一方、図４（Ｂ）はアクチュエータ１０６の装着
位置レベルにおいてインクが無いときの波形である。図
４（Ａ）と図４（Ｂ）とを比較すると、図４（Ａ）の方
が図４（Ｂ）よりも４カウントから８カウントまでの時
間が長いことがわかる。換言すると、インクの有無によ
って４カウントから８カウントまでの時間が異なる。こ
の時間の相違を利用して、インクの消費状態を検出する
ことができる。アナログ波形の４カウント目から数える
のは、アクチュエータ１０６の振動が安定してから計測
をはじめるためである。４カウント目からとしたのは単
なる一例であって、任意のカウントから数えてもよい。
ここでは、４カウント目から８カウント目までの信号を
検出し、所定のクロックパルスによって４カウント目か
ら８カウント目までの時間を測定する。それによって、
共振周波数を求める。クロックパルスは、インクカート
リッジに取り付けられる半導体記憶装置等を制御するた
めのクロックと等しいクロックのパルスであることが好
ましい。尚、８カウント目までの時間を測定する必要は
無く、任意のカウントまで数えてもよい。図４において
は、４カウント目から８カウント目までの時間を測定し
ているが周波数を検出する回路構成にしたがって、異な
ったカウント間隔内の時間を検出してもよい。FIG. 4A shows a waveform when the ink level is higher than the mounting position level of the actuator 106. On the other hand, FIG. 4B shows a waveform when there is no ink at the mounting position level of the actuator 106. A comparison between FIG. 4A and FIG. 4B shows that FIG. 4A has a longer time from 4 counts to 8 counts than FIG. 4B. In other words, the time from 4 counts to 8 counts differs depending on the presence or absence of ink. The ink consumption state can be detected using the difference in the time. The counting from the fourth count of the analog waveform is for starting the measurement after the vibration of the actuator 106 is stabilized. Starting from the fourth count is merely an example, and counting from an arbitrary count may be performed.
Here, signals from the 4th to 8th counts are detected, and the time from the 4th to 8th counts is measured by a predetermined clock pulse. Thereby,
Find the resonance frequency. The clock pulse is preferably a clock pulse equal to a clock for controlling a semiconductor memory device or the like attached to the ink cartridge. It is not necessary to measure the time up to the eighth count, and the time may be counted up to an arbitrary count. In FIG. 4, the time from the fourth count to the eighth count is measured, but the time within a different count interval may be detected according to the circuit configuration for detecting the frequency.

【００８９】例えば、インクの品質が安定していてピー
クの振幅の変動が小さい場合には、検出の速度を上げる
ために４カウント目から６カウント目までの時間を検出
することにより共振周波数を求めてもよい。また、イン
クの品質が不安定でパルスの振幅の変動が大きい場合に
は、残留振動を正確に検出するために４カウント目から
１２カウント目までの時間を検出してもよい。For example, when the ink quality is stable and the fluctuation of the peak amplitude is small, the resonance frequency is obtained by detecting the time from the fourth count to the sixth count in order to increase the detection speed. You may. When the ink quality is unstable and the pulse amplitude fluctuates greatly, the time from the fourth count to the twelfth count may be detected in order to accurately detect the residual vibration.

【００９０】また、他の実施例として所定期間内におけ
る逆起電力の電圧波形の波数を数えてもよい（図示せ
ず）。この方法によっても共振周波数を求めることがで
きる。より詳細には、アクチュエータ１０６が発振した
後、所定期間だけデジタル信号をＨｉｇｈとし、所定の
基準電圧を低電圧側から高電圧側へ横切る回数をカウン
トする。そのカウント数を計測することによってインク
の有無を検出できるのである。In another embodiment, the wave number of the voltage waveform of the back electromotive force within a predetermined period may be counted (not shown). The resonance frequency can also be obtained by this method. More specifically, after the actuator 106 oscillates, the digital signal is set to High only for a predetermined period, and the number of times the predetermined reference voltage crosses the low voltage side to the high voltage side is counted. By measuring the count, the presence or absence of ink can be detected.

【００９１】さらに、図４(Ａ)および図４(Ｂ)を比較し
て分かるように、インクがインクカートリッジ内に満た
されている場合とインクがインクカートリッジ内に無い
場合とでは、逆起電力波形の振幅が異なる。従って、共
振周波数を求めることなく、逆起電力波形の振幅を測定
することによっても、インクカートリッジ内のインクの
消費状態を検出してもよい。より詳細には、例えば、図
４(Ａ)の逆起電力波形の頂点と図４(Ｂ) の逆起電力波
形の頂点との間に基準電圧を設定する。アクチュエータ
１０６が発振した後、所定時間にデジタル信号をＨｉｇ
ｈとし、逆起電力波形が基準電圧を横切った場合には、
インクが無いと判断する。逆起電力波形が基準電圧を横
切らない場合には、インクが有ると判断する。Further, as can be seen by comparing FIGS. 4A and 4B, the back electromotive force differs between when the ink is filled in the ink cartridge and when the ink is not in the ink cartridge. Waveform amplitude is different. Therefore, the consumption state of the ink in the ink cartridge may be detected by measuring the amplitude of the back electromotive force waveform without obtaining the resonance frequency. More specifically, for example, a reference voltage is set between the top of the back electromotive force waveform of FIG. 4A and the top of the back electromotive force waveform of FIG. 4B. After the actuator 106 oscillates, a digital signal is set to Hig at a predetermined time.
h, and if the back EMF waveform crosses the reference voltage,
Judge that there is no ink. If the back electromotive force waveform does not cross the reference voltage, it is determined that there is ink.

【００９２】図５は、アクチュエータ１０６の製造方法
を示す。複数のアクチュエータ１０６（図５の例では４
個）が一体に形成されている。図５に示した複数のアク
チュエータの一体成形物を、それぞれのアクチュエータ
１０６において切断することにより、図６に示すアクチ
ュエータ１０６を製造する。図５に示す一体成形された
複数のアクチュエータ１０６のそれぞれの圧電素子が円
形である場合、一体成形物をそれぞれのアクチュエータ
１０６において切断することにより、図１に示すアクチ
ュエータ１０６を製造することができる。複数のアクチ
ュエータ１０６を一体に形成することにより、複数のア
クチュエータ１０６を同時に効率良く製造することがで
き、運搬時の取り扱いが容易となる。FIG. 5 shows a method of manufacturing the actuator 106. A plurality of actuators 106 (4 in the example of FIG. 5)
Are integrally formed. The actuator 106 shown in FIG. 6 is manufactured by cutting the integrally molded product of the plurality of actuators shown in FIG. When each of the piezoelectric elements of the plurality of integrally formed actuators 106 shown in FIG. 5 has a circular shape, the actuator 106 shown in FIG. 1 can be manufactured by cutting the integrally formed product at each actuator 106. By integrally forming the plurality of actuators 106, the plurality of actuators 106 can be manufactured efficiently at the same time, and handling during transportation becomes easy.

【００９３】アクチュエータ１０６は、薄板又は振動板
１７６、基板１７８、弾性波発生手段又は圧電素子１７
４、端子形成部材又は上部電極端子１６８、及び端子形
成部材又は下部電極端子１７０を有する。圧電素子１７
４は、圧電振動板又は圧電層１６０、上電極又は上部電
極１６４、及び下電極又は下部電極１６６を含む。基板
１７８の上面に振動板１７６が、形成され、振動板１７
６の上面に下部電極１６６が形成されている。下部電極
１６６の上面には、圧電層１６０が形成され、圧電層１
６０の上面に、上部電極１６４が、形成されている。し
たがって、圧電層１６０の主要部は、上部電極１６４の
主要部及び下部電極１６６の主要部によって、上下から
挟まれるように形成されている。The actuator 106 includes a thin plate or vibration plate 176, a substrate 178, an elastic wave generating means or a piezoelectric element 17.
4, a terminal forming member or upper electrode terminal 168 and a terminal forming member or lower electrode terminal 170; Piezoelectric element 17
4 includes a piezoelectric diaphragm or piezoelectric layer 160, an upper or upper electrode 164, and a lower or lower electrode 166. A vibration plate 176 is formed on the upper surface of the substrate 178, and the vibration plate 17
6, a lower electrode 166 is formed. On the upper surface of the lower electrode 166, a piezoelectric layer 160 is formed.
An upper electrode 164 is formed on the upper surface of 60. Therefore, the main part of the piezoelectric layer 160 is formed so as to be sandwiched from above and below by the main part of the upper electrode 164 and the main part of the lower electrode 166.

【００９４】振動板１７６上に複数（図５の例では４
個）の圧電素子１７４が形成されている。振動板１７６
の表面に下部電極１６６が形成され、下部電極１６６の
表面に圧電層１６０が形成され、圧電層１６０の上面に
上部電極１６４が形成される。上部電極１６４及び下部
電極１６６の端部に上部電極端子１６８及び下部電極端
子１７０が形成される。４個のアクチュエータ１０６
は、それぞれ別々に切断されて個別に使用される。A plurality (4 in the example of FIG. 5)
) Of piezoelectric elements 174 are formed. Diaphragm 176
The lower electrode 166 is formed on the surface of the piezoelectric layer 160, the piezoelectric layer 160 is formed on the surface of the lower electrode 166, and the upper electrode 164 is formed on the upper surface of the piezoelectric layer 160. An upper electrode terminal 168 and a lower electrode terminal 170 are formed at ends of the upper electrode 164 and the lower electrode 166. Four actuators 106
Are cut separately and used individually.

【００９５】図６は、圧電素子が矩形のアクチュエータ
１０６の一部分の断面を示す。FIG. 6 shows a cross section of a part of an actuator 106 having a rectangular piezoelectric element.

【００９６】図７は、図６に示したアクチュエータ１０
６の全体の断面を示す。基板１７８の圧電素子１７４と
対向する面には、貫通孔１７８ａが形成されている。貫
通孔１７８ａは振動板１７６によって封止されている。
振動板１７６はアルミナや酸化ジルコニア等の電気絶縁
性を備え、かつ弾性変形可能な材料によって形成されて
いる。貫通孔１７８ａと対向するように、圧電素子１７
４が振動板１７６上に形成されている。下部電極１６６
は貫通孔１７８ａの領域から一方向、図７では左方に延
びるように振動板１７６の表面に形成されている。上部
電極１６４は貫通孔１７８ａの領域から下部電極とは反
対の方向に、図７では右方に延びるように圧電層１６０
の表面に形成されている。上部電極端子１６８及び下部
電極端子１７０は、それぞれ補助電極１７２及び下部電
極１６６の上面に形成されている。下部電極端子１７０
は下部電極１６６と電気的に接触し、上部電極端子１６
８は補助電極１７２を介して上部電極１６４と電気的に
接触して、圧電素子とアクチュエータ１０６の外部との
間の信号の受け渡しをする。上部電極端子１６８及び下
部電極端子１７０は、電極と圧電層とを合わせた圧電素
子の高さ以上の高さを有する。FIG. 7 shows the actuator 10 shown in FIG.
6 shows the entire cross section. A through hole 178a is formed on the surface of the substrate 178 facing the piezoelectric element 174. The through hole 178a is sealed by the diaphragm 176.
The vibration plate 176 is formed of a material having electrical insulation such as alumina or zirconia and capable of being elastically deformed. The piezoelectric element 17 is opposed to the through hole 178a.
4 is formed on the diaphragm 176. Lower electrode 166
Is formed on the surface of the diaphragm 176 so as to extend in one direction from the region of the through hole 178a, to the left in FIG. The upper electrode 164 extends from the region of the through hole 178a in the direction opposite to the lower electrode, and to the right in FIG.
Is formed on the surface. The upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 are formed on the upper surface of the auxiliary electrode 172 and the lower electrode 166, respectively. Lower electrode terminal 170
Electrically contacts the lower electrode 166 and the upper electrode terminal 16
Numeral 8 is electrically connected to the upper electrode 164 via the auxiliary electrode 172 to exchange signals between the piezoelectric element and the outside of the actuator 106. The upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 have a height equal to or higher than the height of the piezoelectric element including the electrode and the piezoelectric layer.

【００９７】図８は、図５に示したアクチュエータ１０
６の製造方法を示す。まず、グリーンシート９４０にプ
レスあるいはレーザー加工等を用いて貫通孔９４０ａを
穿孔する。グリーンシート９４０は焼成後に基板１７８
となる。グリーンシート９４０はセラミック等の材料で
形成される。次に、グリーンシート９４０の表面にグリ
ーンシート９４１を積層する。グリーンシート９４１
は、焼成後に振動板１７６となる。グリーンシート９４
１は、酸化ジルコニア等の材料で形成される。次に、グ
リーンシート９４１の表面に導電層９４２、圧電層１６
０、導電層９４４を圧膜印刷等の方法で順次形成する。
導電層９４２は、後に下部電極１６６となり、導電層９
４４は、後に上部電極１６４となる。次に、形成された
グリーンシート９４０、グリーンシート９４１、導電層
９４２、圧電層１６０、及び導電層９４４を乾燥して焼
成する。スペーサ部材９４７、９４８は、上部電極端子
１６８と下部電極端子１７０の高さを底上げして圧電素
子より高くする。スペーサ部材９４７、９４８は、グリ
ーンシート９４０、９４１と同材料を印刷、あるいはグ
リーンシートを積層して形成する。このスペーサ部材９
４７，９４８により貴金属である上部電極端子１６８及
び下部電極端子１７０の材料が少なくて済む上に、上部
電極端子１６８及び下部電極端子１７０の厚みを薄くで
きるので、上部電極端子１６８及び下部電極端子１７０
を精度良く印刷でき、さらに安定した高さとすることが
できる。FIG. 8 shows the actuator 10 shown in FIG.
6 is shown. First, a through hole 940a is formed in the green sheet 940 by using a press or laser processing. The green sheet 940 is a substrate 178 after firing.
Becomes The green sheet 940 is formed of a material such as ceramic. Next, the green sheet 941 is laminated on the surface of the green sheet 940. Green sheet 941
Becomes a vibration plate 176 after firing. Green sheet 94
1 is formed of a material such as zirconia oxide. Next, the conductive layer 942 and the piezoelectric layer 16 are formed on the surface of the green sheet 941.
0, a conductive layer 944 is sequentially formed by a method such as pressure film printing.
The conductive layer 942 will later become the lower electrode 166 and the conductive layer 9
44 will become the upper electrode 164 later. Next, the formed green sheet 940, green sheet 941, conductive layer 942, piezoelectric layer 160, and conductive layer 944 are dried and fired. The spacer members 947 and 948 raise the heights of the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 to be higher than the piezoelectric element. The spacer members 947 and 948 are formed by printing the same material as the green sheets 940 and 941 or by laminating the green sheets. This spacer member 9
47 and 948, the material of the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170, which are noble metals, can be reduced, and the thickness of the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 can be reduced.
Can be printed with high accuracy, and the height can be further stabilized.

【００９８】導電層９４２の形成時に導電層９４４との
接続部９４４’及びスペーサ部材９４７及び９４８を同
時に形成すると、上部電極端子１６８及び下部電極端子
１７０を容易に形成したり、強固に固定することができ
る。最後に、導電層９４２及び導電層９４４の端部領域
に、上部電極端子１６８及び下部電極端子１７０を形成
する。上部電極端子１６８及び下部電極端子１７０を形
成する際、上部電極端子１６８及び下部電極端子１７０
が、圧電層１６０に電気的に接続されるように形成す
る。When the connection portion 944 'with the conductive layer 944 and the spacer members 947 and 948 are simultaneously formed when the conductive layer 942 is formed, the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 can be easily formed or firmly fixed. Can be. Finally, upper electrode terminals 168 and lower electrode terminals 170 are formed in end regions of the conductive layers 942 and 944. When forming the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170, the upper electrode terminal 168 and the lower electrode terminal 170 are formed.
Is formed so as to be electrically connected to the piezoelectric layer 160.

【００９９】図９は、本発明が適用されるインクカート
リッジのさらに他の実施形態を示す。図９（Ａ）は、本
実施形態によるインクカートリッジの底部の断面図であ
る。本実施形態のインクカートリッジは、インクを収容
する容器１の底面１ａに貫通孔１ｃを有する。貫通孔１
ｃの底部はアクチュエータ６５０によって塞がれ、イン
ク溜部を形成する。FIG. 9 shows still another embodiment of the ink cartridge to which the present invention is applied. FIG. 9A is a sectional view of the bottom of the ink cartridge according to the present embodiment. The ink cartridge of the present embodiment has a through hole 1c in the bottom surface 1a of the container 1 that stores ink. Through hole 1
The bottom of c is closed by the actuator 650 to form an ink reservoir.

【０１００】図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示したアクチ
ュエータ６５０及び貫通孔１ｃの詳細な断面を示す。図
９（Ｃ）は、図９（Ｂ）に示したアクチュエータ６５０
及び貫通孔１ｃの平面を示す。アクチュエータ６５０は
振動板７２および振動板７２に固定された圧電素子７３
とを有する。振動板７２及び基板７１を介して圧電素子
７３が貫通孔１ｃに対向するように、アクチュエータ６
５０は、容器１の底面に固定される。振動板７２は、弾
性変形可能で耐インク性を備える。FIG. 9B shows a detailed cross section of the actuator 650 and the through hole 1c shown in FIG. 9A. FIG. 9C shows the actuator 650 shown in FIG. 9B.
And the plane of the through hole 1c. The actuator 650 includes a vibration plate 72 and a piezoelectric element 73 fixed to the vibration plate 72.
And The actuator 6 is moved so that the piezoelectric element 73 faces the through hole 1c via the vibration plate 72 and the substrate 71.
50 is fixed to the bottom surface of the container 1. The diaphragm 72 is elastically deformable and has ink resistance.

【０１０１】容器１のインク量に依存して、圧電素子７
３及び振動板７２の残留振動によって発生する逆起電力
の振幅及び周波数が変化する。アクチュエータ６５０に
対向する位置に貫通孔１ｃが形成されていて、最小限の
一定量のインクが貫通孔１ｃに確保される。したがっ
て、貫通孔１ｃに確保されるインク量により決まるアク
チュエータ６５０の振動の特性を予め測定しておくこと
により、容器１のインクエンドを確実に検出することが
できる。The piezoelectric element 7 depends on the amount of ink in the container 1.
3 and the amplitude and frequency of the back electromotive force generated by the residual vibration of the diaphragm 72 change. The through hole 1c is formed at a position facing the actuator 650, and a minimum amount of ink is secured in the through hole 1c. Therefore, by measuring in advance the characteristics of the vibration of the actuator 650 determined by the amount of ink secured in the through hole 1c, the ink end of the container 1 can be reliably detected.

【０１０２】図１０は貫通孔１ｃの他の実施形態を示
す。図１０（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）のそれぞれにお
いて、左側の図は、貫通孔１ｃにインクＫが無い状態を
示し、右側の図は、貫通孔１ｃにインクＫが残った状態
を示す。図９の実施形態においては、貫通孔１ｃの側面
は垂直な壁として形成されている。図１０（Ａ）におい
ては、貫通孔１ｃは、側面１ｄが上下方向に斜めであり
外側に拡大して開いている。図１０（Ｂ）においては、
段差部１ｅ及び１ｆが、貫通孔１ｃの側面に形成されて
いる。上方にある段差部１ｆが、下方にある段差部１ｅ
より広くなっている。図１０（Ｃ）においては、貫通孔
１ｃは、インクＫを排出しやすい方向、すなわちインク
供給口２の方向へ延びる溝１ｇを有する。FIG. 10 shows another embodiment of the through hole 1c. In each of FIGS. 10A, 10B, and 10C, the diagram on the left shows a state where there is no ink K in the through hole 1c, and the diagram on the right shows a state where the ink K remains in the through hole 1c. Is shown. In the embodiment of FIG. 9, the side surface of the through hole 1c is formed as a vertical wall. In FIG. 10A, the side surface 1d of the through-hole 1c is oblique in the vertical direction and expands outward. In FIG. 10B,
Step portions 1e and 1f are formed on the side surface of the through hole 1c. The upper step 1f is connected to the lower step 1e.
It is getting wider. In FIG. 10C, the through-hole 1c has a groove 1g extending in a direction in which the ink K is easily discharged, that is, in a direction of the ink supply port 2.

【０１０３】図１０(Ａ)〜（Ｃ）に示した貫通孔１ｃの
形状によれば、インク溜部のインクＫの量を少なくでき
る。従って、図１および図２で説明したＭ’ｃａｖを
Ｍ’ｍａｘと比較して小さくすることができるので、イ
ンクエンド時におけるアクチュエータ６５０の振動特性
を、容器１に印刷可能な量のインクＫが残存している場
合と大きく異ならせることができるので、インクエンド
をより確実に検出することができる。According to the shapes of the through holes 1c shown in FIGS. 10A to 10C, the amount of the ink K in the ink reservoir can be reduced. Therefore, M′cav described with reference to FIGS. 1 and 2 can be made smaller than M′max, and the vibration characteristic of the actuator 650 at the time of ink end can be reduced by the amount of ink K that can be printed on the container 1. Since it can be made significantly different from the case where the ink remains, the ink end can be more reliably detected.

【０１０４】図１１はアクチュエータの他の実施形態を
示す斜視図である。アクチュエータ６６０は、アクチュ
エータ６６０を構成する基板または取付プレート７８の
貫通孔１ｃよりも外側にパッキン７６を有する。アクチ
ュエータ６６０の外周にはカシメ孔７７が形成されてい
る。アクチュエータ６６０は、カシメ孔７７を介してカ
シメにより容器１に固定される。FIG. 11 is a perspective view showing another embodiment of the actuator. The actuator 660 has a packing 76 outside the through hole 1c of the substrate or the mounting plate 78 that constitutes the actuator 660. A caulking hole 77 is formed on the outer periphery of the actuator 660. The actuator 660 is fixed to the container 1 by swaging through the swaging hole 77.

【０１０５】図１２（Ａ）、（Ｂ）は、アクチュエータ
の更に他の実施形態を示す斜視図である。本実施形態に
おいては、アクチュエータ６７０は、凹部形成基板８０
および圧電素子８２を備える。凹部形成基板８０の一方
の面には凹部８１がエッチング等の手法により形成さ
れ、他方の面には圧電素子８２が取り付けられる。凹部
形成基板８０のうち、凹部８１の底部が振動領域として
作用する。従って、アクチュエータ６７０の振動領域は
凹部８１の周縁によって規定される。また、アクチュエ
ータ６７０は、図１の実施例によるアクチュエータ１０
６のうち、基板１７８および振動板１７６が一体として
形成された構造と類似する。従って、インクカートリッ
ジを製造する際に製造工程を短縮することができ、コス
トを低減させる。アクチュエータ６７０は、容器１に設
けられた貫通孔１ｃに埋め込み可能なサイズである。そ
れによって、凹部８１がキャビティとしても作用するこ
とができる。尚、図１の実施例によるアクチュエータ１
０６を、図１２の実施例によるアクチュエータ６７０と
同様に貫通孔１ｃに埋め込み可能なように形成してもよ
い。FIGS. 12A and 12B are perspective views showing still another embodiment of the actuator. In the present embodiment, the actuator 670 is connected to the recess forming substrate 80.
And a piezoelectric element 82. A concave portion 81 is formed on one surface of the concave portion forming substrate 80 by a method such as etching, and a piezoelectric element 82 is mounted on the other surface. The bottom of the recess 81 in the recess forming substrate 80 functions as a vibration region. Therefore, the vibration region of the actuator 670 is defined by the periphery of the concave portion 81. Also, the actuator 670 is the actuator 10 according to the embodiment of FIG.
6 is similar to the structure in which the substrate 178 and the diaphragm 176 are integrally formed. Therefore, the manufacturing process when manufacturing the ink cartridge can be shortened, and the cost is reduced. The actuator 670 has a size that can be embedded in the through hole 1c provided in the container 1. Thereby, the concave portion 81 can also function as a cavity. The actuator 1 according to the embodiment shown in FIG.
06 may be formed so as to be embedded in the through-hole 1c similarly to the actuator 670 according to the embodiment of FIG.

【０１０６】図１３は、アクチュエータ１０６を取り付
けモジュール体１００として一体形成した構成を示す斜
視図である。モジュール体１００はインクカートリッジ
の容器１の所定個所に装着される。モジュール体１００
は、インク液中の少なくとも音響インピーダンスの変化
を検出することにより、容器1内の液体の消費状態を検
知するように構成されている。本実施形態のモジュール
体１００は、容器１にアクチュエータ１０６を取り付け
るための液体容器取付部１０１を有する。液体容器取付
部１０１は、平面がほぼ矩形の基台１０２上に駆動信号
により発振するアクチュエータ１０６を収容した円柱部
１１６を載せた構造になっている。モジュール体１００
が、インクカートリッジに装着されたときに、モジュー
ル体１００のアクチュエータ１０６が外部から接触でき
ないように構成されているので、アクチュエータ１０６
を外部の接触から保護することができる。なお、円柱部
１１６の先端側エッジは丸みが付けられていて、インク
カートリッジに形成された孔へ装着する際に嵌めやすく
なっている。FIG. 13 is a perspective view showing a configuration in which the actuator 106 is integrally formed as the mounting module body 100. The module body 100 is mounted at a predetermined position of the container 1 of the ink cartridge. Module body 100
Is configured to detect a consumption state of the liquid in the container 1 by detecting at least a change in acoustic impedance in the ink liquid. The module 100 of the present embodiment has a liquid container mounting portion 101 for mounting the actuator 106 to the container 1. The liquid container mounting portion 101 has a structure in which a cylindrical portion 116 containing an actuator 106 oscillated by a drive signal is mounted on a base 102 having a substantially rectangular plane. Module body 100
Is configured such that the actuator 106 of the module 100 cannot be contacted from the outside when the cartridge is mounted on the ink cartridge.
Can be protected from external contact. In addition, the tip side edge of the cylindrical portion 116 is rounded, so that it can be easily fitted when the cylindrical portion 116 is mounted in a hole formed in the ink cartridge.

【０１０７】図１４は、図１３に示したモジュール体１
００の構成を示す分解図である。モジュール体１００
は、樹脂からなる液体容器取付部１０１と、プレート１
１０および凹部１１３を有する圧電装置装着部１０５と
を含む。さらに、モジュール体１００は、リードワイヤ
１０４ａ及び１０４ｂ、アクチュエータ１０６、および
フィルム１０８を有する。好ましくは、プレート１１０
は、ステンレス又はステンレス合金等の錆びにくい材料
から形成される。液体容器取付部１０１に含まれる円柱
部１１６および基台１０２は、リードワイヤ１０４ａ及
び１０４ｂを収容できるよう中心部に開口部１１４が形
成され、アクチュエータ１０６、フィルム１０８、及び
プレート１１０を収容できるように凹部１１３が形成さ
れる。アクチュエータ１０６はプレート１１０にフィル
ム１０８を介して接合され、プレート１１０およびアク
チュエータ１０６は液体容器取付部１０１に固定され
る。従って、リードワイヤ１０４ａ及び１０４ｂ、アク
チュエータ１０６、フィルム１０８およびプレート１１
０は、液体容器取付部１０１に一体として取り付けられ
る。リードワイヤ１０４ａ及び１０４ｂは、それぞれア
クチュエータ１０６の上部電極及び下部電極と結合して
圧電層に駆動信号を伝達し、一方、アクチュエータ１０
６が検出した共振周波数の信号を記録装置等へ伝達す
る。アクチュエータ１０６は、リードワイヤ１０４ａ及
び１０４ｂから伝達された駆動信号に基づいて一時的に
発振する。アクチュエータ１０６は発振後に残留振動
し、その振動によって逆起電力を発生させる。このと
き、逆起電力波形の振動周期を検出することによって、
液体容器内の液体の消費状態に対応した共振周波数を検
出することができる。フィルム１０８は、アクチュエー
タ１０６とプレート１１０とを接着してアクチュエータ
を液密にする。フィルム１０８は、ポリオレフィン等に
よって形成し、熱融着で接着することが好ましい。フィ
ルム１０８は、アクチュエータ１０６とプレート１１０
とを接着してアクチュエータを液密にする。フィルム１
０８は、ポリオレフィンによって形成し、熱融着で接着
することが好ましい。アクチュエータ１０６とプレート
１１０とをフィルム１０８によって面状に接着して固定
することにより、接着の場所によるばらつきが無くな
り、振動部以外の部分が振動しない。したがって、アク
チュエータ１０６をプレート１１０に接着する前と後に
おける共振周波数の変化が小さい。FIG. 14 shows the module 1 shown in FIG.
FIG. 2 is an exploded view showing the configuration of the 00. Module body 100
The liquid container mounting portion 101 made of resin and the plate 1
10 and a piezoelectric device mounting portion 105 having a concave portion 113. Further, the module body 100 includes lead wires 104a and 104b, an actuator 106, and a film 108. Preferably, plate 110
Is formed from a material that is not easily rusted, such as stainless steel or a stainless alloy. The cylindrical portion 116 and the base 102 included in the liquid container mounting portion 101 are formed with an opening 114 at the center so as to accommodate the lead wires 104a and 104b, so that the actuator 106, the film 108, and the plate 110 can be accommodated. A recess 113 is formed. The actuator 106 is joined to the plate 110 via the film 108, and the plate 110 and the actuator 106 are fixed to the liquid container mounting portion 101. Therefore, the lead wires 104a and 104b, the actuator 106, the film 108 and the plate 11
0 is integrally attached to the liquid container attaching portion 101. Lead wires 104a and 104b couple to the upper and lower electrodes of actuator 106, respectively, to transmit drive signals to the piezoelectric layer while the actuator 10
The signal of the resonance frequency detected by 6 is transmitted to a recording device or the like. The actuator 106 oscillates temporarily based on the drive signal transmitted from the lead wires 104a and 104b. The actuator 106 undergoes residual vibration after oscillation, and generates a back electromotive force by the vibration. At this time, by detecting the oscillation period of the back electromotive force waveform,
The resonance frequency corresponding to the consumption state of the liquid in the liquid container can be detected. The film 108 bonds the actuator 106 and the plate 110 to make the actuator liquid-tight. The film 108 is preferably formed of a polyolefin or the like, and is preferably bonded by heat fusion. The film 108 includes the actuator 106 and the plate 110
To make the actuator liquid-tight. Film 1
08 is preferably made of polyolefin and bonded by heat fusion. By fixing the actuator 106 and the plate 110 in a planar manner by the film 108, there is no variation due to the bonding location, and portions other than the vibrating portion do not vibrate. Therefore, the change in resonance frequency before and after the actuator 106 is bonded to the plate 110 is small.

【０１０８】プレート１１０は円形状であり、基台１０
２の開口部１１４は円筒状に形成されている。アクチュ
エータ１０６及びフィルム１０８は矩形状に形成されて
いる。リードワイヤ１０４、アクチュエータ１０６、フ
ィルム１０８、及びプレート１１０は、基台１０２に対
して着脱可能としてもよい。基台１０２、リードワイヤ
１０４、アクチュエータ１０６、フィルム１０８、及び
プレート１１０は、モジュール体１００の中心軸に対し
て対称に配置されている。更に、基台１０２、アクチュ
エータ１０６、フィルム１０８、及びプレート１１０の
中心は、モジュール体１００のほぼ中心軸上に配置され
ている。The plate 110 has a circular shape.
The second opening 114 is formed in a cylindrical shape. The actuator 106 and the film 108 are formed in a rectangular shape. The lead wire 104, the actuator 106, the film 108, and the plate 110 may be detachable from the base 102. The base 102, the lead wires 104, the actuator 106, the film 108, and the plate 110 are symmetrically arranged with respect to the central axis of the module 100. Further, the centers of the base 102, the actuator 106, the film 108, and the plate 110 are disposed substantially on the central axis of the module 100.

【０１０９】基台１０２の開口部１１４の面積は、アク
チュエータ１０６の振動領域の面積よりも大きく形成さ
れている。プレート１１０の中心でアクチュエータ１０
６の振動部に直面する位置には、貫通孔１１２が形成さ
れている。図１および図２に示したようにアクチュエー
タ１０６にはキャビティ１６２が形成され、貫通孔１１
２とキャビティ１６２は、共にインク溜部を形成する。
プレート１１０の厚さは、残留インクの影響を少なくす
るために貫通孔１１２の径に比べて小さいことが好まし
い。例えば貫通孔１１２の深さはその径の３分の１以下
の大きさであることが好ましい。貫通孔１１２は、モジ
ュール体１００の中心軸に対して対称なほぼ真円の形状
である。また貫通孔１１２の面積は、アクチュエータ１
０６のキャビティ１６２の開口面積よりも大きい。貫通
孔１１２の断面の周縁はテ-パ形状であっても良いしス
テップ形状でもよい。モジュール体１００は、貫通孔１
１２が容器１の内側へ向くように容器１の側部、上部、
又は底部に装着される。インクが消費されアクチュエー
タ１０６周辺のインクがなくなると、アクチュエータ１
０６の共振周波数が大きく変化するので、インクの水位
変化を検出することができる。The area of the opening 114 of the base 102 is larger than the area of the vibration region of the actuator 106. Actuator 10 at the center of plate 110
A through hole 112 is formed at a position facing the vibrating portion of No. 6. As shown in FIGS. 1 and 2, a cavity 162 is formed in the actuator 106 and the through hole 11 is formed.
2 and the cavity 162 together form an ink reservoir.
The thickness of the plate 110 is preferably smaller than the diameter of the through hole 112 in order to reduce the influence of the residual ink. For example, it is preferable that the depth of the through hole 112 is equal to or less than one third of its diameter. The through-hole 112 has a substantially perfect circular shape symmetric with respect to the central axis of the module body 100. Also, the area of the through hole 112 is
06 is larger than the opening area of the cavity 162. The periphery of the cross section of the through hole 112 may be tapered or stepped. The module body 100 has a through hole 1
The side, upper part of the container 1 so that 12 faces the inside of the container 1
Or attached to the bottom. When the ink is consumed and the ink around the actuator 106 runs out, the actuator 1
Since the resonance frequency 06 greatly changes, it is possible to detect a change in the ink level.

【０１１０】図１５は、モジュール体の他の実施形態を
示す斜視図である。本実施形態のモジュール体４００
は、液体容器取付部４０１に圧電装置装着部４０５が形
成されている。液体容器取付部４０１は、平面がほぼ角
丸の正方形上の基台４０２上に円柱状の円柱部４０３が
形成されている。更に、圧電装置装着部４０５は、円柱
部４０３上に立てられた板状要素４０６および凹部４１
３を含む。板状要素４０６の側面に設けられた凹部４１
３には、アクチュエータ１０６が配置される。なお、板
状要素４０６の先端は所定角度に面取りされていて、イ
ンクカートリッジに形成された孔へ装着する際に嵌めや
すくなっている。FIG. 15 is a perspective view showing another embodiment of the module body. Module body 400 of the present embodiment
In the figure, a piezoelectric device mounting portion 405 is formed on a liquid container mounting portion 401. In the liquid container mounting portion 401, a columnar column portion 403 is formed on a base 402 on a square whose plane is almost rounded. Further, the piezoelectric device mounting portion 405 includes a plate-shaped element 406 standing on the cylindrical portion 403 and a concave portion 41.
3 inclusive. The recess 41 provided on the side surface of the plate element 406
An actuator 106 is disposed at 3. Note that the tip of the plate-shaped element 406 is chamfered at a predetermined angle so that it can be easily fitted into a hole formed in the ink cartridge.

【０１１１】図１６は、図１５に示したモジュール体４
００の構成を示す分解斜視図である。図１３に示したモ
ジュール体１００と同様に、モジュール体４００は、液
体容器取付部４０１および圧電装置装着部４０５を含
む。液体容器取付部４０１は基台４０２および円柱部４
０３を有し、圧電装置装着部４０５は板状要素４０６お
よび凹部４１３を有する。アクチュエータ１０６は、プ
レート４１０に接合されて凹部４１３に固定される。モ
ジュール体４００は、リードワイヤ４０４ａ及び４０４
ｂ、アクチュエータ１０６、及びフィルム４０８をさら
に有する。FIG. 16 shows the module 4 shown in FIG.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the 00. Similar to the module 100 shown in FIG. 13, the module 400 includes a liquid container mounting portion 401 and a piezoelectric device mounting portion 405. The liquid container mounting portion 401 includes a base 402 and a cylindrical portion 4.
03, and the piezoelectric device mounting portion 405 has a plate-shaped element 406 and a concave portion 413. The actuator 106 is fixed to the concave portion 413 by being joined to the plate 410. The module 400 includes lead wires 404a and 404
b, the actuator 106, and the film 408.

【０１１２】本実施形態によれば、プレート４１０は矩
形状であり、板状要素４０６に設けられた開口部４１４
は矩形状に形成されている。リードワイヤ４０４ａ及び
４０４ｂ、アクチュエータ１０６、フィルム４０８、及
びプレート４１０は基台４０２に対して着脱可能として
構成しても良い。アクチュエータ１０６、フィルム４０
８、及びプレート４１０は、開口部４１４の中心を通
り、開口部４１４の平面に対して鉛直方向に延びる中心
軸に対して対称に配置されている。更に、アクチュエー
タ４０６、フィルム４０８、及びプレート４１０の中心
は、開口部４１４のほぼ中心軸上に配置されている。According to the present embodiment, the plate 410 has a rectangular shape, and the opening 414 provided in the plate-like element 406 is provided.
Is formed in a rectangular shape. The lead wires 404a and 404b, the actuator 106, the film 408, and the plate 410 may be configured to be detachable from the base 402. Actuator 106, film 40
8 and the plate 410 are symmetrically arranged with respect to a central axis extending through the center of the opening 414 and extending in a direction perpendicular to the plane of the opening 414. Further, the centers of the actuator 406, the film 408, and the plate 410 are disposed substantially on the central axis of the opening 414.

【０１１３】プレート４１０の中心に設けられた貫通孔
４１２の面積は、アクチュエータ１０６のキャビティ１
６２の開口の面積よりも大きく形成されている。アクチ
ュエータ１０６のキャビティ１６２と貫通孔４１２と
は、共にインク溜部を形成する。プレート４１０の厚さ
は貫通孔４１２の径に比べて小さく、例えば貫通孔４１
２の径の３分の１以下の大きさに設定することが好まし
い。貫通孔４１２は、モジュール体４００の中心軸に対
して対称なほぼ真円の形状である。貫通孔４１２の断面
の周縁はテ-パ形状であっても良いしステップ形状でも
よい。モジュール体４００は、貫通孔４１２が容器１の
内部に配置されるように容器１の底部に装着することが
できる。アクチュエータ１０６が垂直方向に延びるよう
に容器１内に配置されるので、基台４０２の高さを変え
てアクチュエータ１０６が容器１内に配置される高さを
変えることによりインクエンドの時点の設定を容易に変
えることができる。The area of the through hole 412 provided at the center of the plate 410 is
62 are formed larger than the area of the opening. The cavity 162 and the through hole 412 of the actuator 106 together form an ink reservoir. The thickness of the plate 410 is smaller than the diameter of the through hole 412, for example, the thickness of the through hole 41.
It is preferable to set the size to one third or less of the diameter of 2. The through hole 412 has a substantially perfect circular shape symmetric with respect to the central axis of the module 400. The periphery of the cross section of the through hole 412 may be tapered or stepped. The module 400 can be mounted on the bottom of the container 1 so that the through hole 412 is arranged inside the container 1. Since the actuator 106 is disposed in the container 1 so as to extend in the vertical direction, the height of the base 402 is changed to change the height at which the actuator 106 is disposed in the container 1 so that the setting of the ink end point can be performed. Can be changed easily.

【０１１４】図１７は、モジュール体の更に他の実施形
態を示す。図１３に示したモジュール体１００と同様
に、図１７のモジュール体５００は、基台５０２および
円柱部５０３を有する液体容器取付部５０１を含む。ま
た、モジュール体５００は、リードワイヤ５０４ａ及び
５０４ｂ、アクチュエータ１０６、フィルム５０８、及
びプレート５１０をさらに有する。液体容器取付部５０
１に含まれる基台５０２は、リードワイヤ５０４ａ及び
５０４ｂを収容できるよう中心部に開口部５１４が形成
され、アクチュエータ１０６、フィルム５０８、及びプ
レート５１０を収容できるように凹部５１３が形成され
る。プアクチュエータ１０６はプレート５１０を介して
圧電装置装着部５０５に固定される。従って、リードワ
イヤ５０４ａ及び５０４ｂ、アクチュエータ１０６、フ
ィルム５０８およびプレート５１０は、液体容器取付部
５０１に一体として取り付けられる。本実施形態のモジ
ュール体５００は、平面がほぼ角丸の正方形上の基台上
に上面が上下方向に斜めな円柱部５０３が形成されてい
る。円柱部５０３の上面の上下方向に斜めに設けられた
凹部５１３上にアクチュエータ１０６が配置されてい
る。FIG. 17 shows still another embodiment of the module. Like the module 100 shown in FIG. 13, the module 500 shown in FIG. 17 includes a liquid container mounting portion 501 having a base 502 and a column 503. The module 500 further includes lead wires 504a and 504b, an actuator 106, a film 508, and a plate 510. Liquid container mounting part 50
An opening 514 is formed in the center of the base 502 included in 1 to accommodate the lead wires 504a and 504b, and a recess 513 is formed to accommodate the actuator 106, the film 508, and the plate 510. The actuator 106 is fixed to the piezoelectric device mounting portion 505 via the plate 510. Therefore, the lead wires 504a and 504b, the actuator 106, the film 508, and the plate 510 are integrally attached to the liquid container attachment portion 501. In the module body 500 of the present embodiment, a cylindrical portion 503 whose upper surface is oblique in the vertical direction is formed on a base having a square shape with a substantially round corner. The actuator 106 is disposed on a concave portion 513 provided obliquely in the vertical direction on the upper surface of the columnar portion 503.

【０１１５】モジュール体５００の先端は傾斜してお
り、その傾斜面にアクチュエータ１０６が装着されてい
る。そのため、モジュール体５００が容器１の底部又は
側部に装着されると、アクチュエータ１０６が容器１の
上下方向に対して傾斜する。モジュール体５００の先端
の傾斜角度は、検出性能を鑑みてほぼ３０°から６０°
の間とすることが望ましい。The tip of the module 500 is inclined, and the actuator 106 is mounted on the inclined surface. Therefore, when the module 500 is mounted on the bottom or the side of the container 1, the actuator 106 is inclined with respect to the vertical direction of the container 1. The inclination angle of the tip of the module 500 is approximately 30 ° to 60 ° in view of the detection performance.
It is desirable to be between.

【０１１６】モジュール体５００は、アクチュエータ１
０６が容器１内に配置されるように容器１の底部又は側
部に装着される。モジュール体５００が容器１の側部に
装着される場合には、アクチュエータ１０６が、傾斜し
つつ、容器１の上側、下側、又は横側を向くように容器
１に取り付けられる。一方、モジュール体５００が、容
器１の底部に装着される場合には、アクチュエータ１０
６が、傾斜しつつ、容器１のインク供給口側を向くよう
に容器１に取り付けられることが好ましい。The module 500 includes the actuator 1
06 is mounted on the bottom or side of the container 1 so as to be placed in the container 1. When the module 500 is mounted on the side of the container 1, the actuator 106 is attached to the container 1 so as to face the upper side, the lower side, or the side of the container 1 while being inclined. On the other hand, when the module 500 is mounted on the bottom of the container 1, the actuator 10
6 is preferably attached to the container 1 so as to face the ink supply port side of the container 1 while being inclined.

【０１１７】図１８は、図１３に示したモジュール体１
００を容器１に装着したときのインク容器の底部近傍の
断面図である。モジュール体１００は、容器１の側壁を
貫通するように装着されている。容器１の側壁とモジュ
ール体１００との接合面には、Ｏリング３６５が設けら
れ、モジュール体１００と容器１との液密を保ってい
る。Ｏリングでシールが出来るようにモジュール体１０
０は図１３で説明したような円柱部を備えることが好ま
しい。モジュール体１００の先端が容器１の内部に挿入
されることで、プレート１１０の貫通孔１１２を介して
容器１内のインクがアクチュエータ１０６と接触する。
アクチュエータ１０６の振動部の周囲が液体か気体かに
よってアクチュエータ１０６の残留振動の共振周波数が
異なるので、モジュール体１００を用いてインクの消費
状態を検出することができる。また、モジュール体１０
０に限らず、図１５に示したモジュール体４００、図１
７に示したモジュール体５００、又は図１９及び図２０
に示したモジュール体７００Ａ、７００Ｂ、７５０Ａ、
及び７５０Ｂ、及びモールド構造体６００を容器１に装
着してインクの有無を検出してもよい。FIG. 18 shows the module 1 shown in FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view near the bottom of the ink container when 00 is mounted on the container 1. The module 100 is mounted so as to penetrate the side wall of the container 1. An O-ring 365 is provided on the joint surface between the side wall of the container 1 and the module 100 to keep the module 100 and the container 1 liquid-tight. Module body 10 so that it can be sealed with an O-ring
0 preferably has a columnar portion as described in FIG. When the tip of the module 100 is inserted into the container 1, the ink in the container 1 comes into contact with the actuator 106 through the through hole 112 of the plate 110.
Since the resonance frequency of the residual vibration of the actuator 106 differs depending on whether the surroundings of the vibrating portion of the actuator 106 are liquid or gas, the ink consumption state can be detected using the module 100. Also, the module body 10
0, the module 400 shown in FIG.
7, or FIGS. 19 and 20
The module bodies 700A, 700B, 750A shown in FIG.
And 750B and the mold structure 600 may be attached to the container 1 to detect the presence or absence of ink.

【０１１８】図１９は、モジュール体１００の更に他の
実施形態を示す。図１９（Ａ）のモジュール体７５０Ａ
はアクチュエータ１０６と基台部３６０とを有する。モ
ジュール体７５０Ａは前面が容器１の側壁の内面と同一
面となるように、容器１に装着されている。アクチュエ
ータ１０６は、圧電層１６０、上部電極１６４、下部電
極１６６、及び振動板１７６を含む。振動板１７６の上
面に下部電極１６６が形成されている。下部電極１６６
の上面には圧電層１６０が形成され、圧電層１６０の上
面に上部電極１６４が形成されている。したがって、圧
電層１６０は、上部電極１６４及び下部電極１６６によ
って上下から挟まれるように形成されている。圧電層１
６０、上部電極１６４、及び下部電極１６６は、圧電素
子を形成する。圧電素子は振動板１７６上に形成され
る。圧電素子及び振動板１７６の振動領域はアクチュエ
ータが実際に振動する振動部である。容器１の側壁には
貫通孔３８５が設けられている。したがって、インクは
容器１の貫通孔３８５を介して振動板１７６と接触す
る。FIG. 19 shows still another embodiment of the module body 100. Module body 750A in FIG.
Has an actuator 106 and a base 360. The module body 750A is mounted on the container 1 such that the front surface is flush with the inner surface of the side wall of the container 1. The actuator 106 includes a piezoelectric layer 160, an upper electrode 164, a lower electrode 166, and a diaphragm 176. A lower electrode 166 is formed on the upper surface of diaphragm 176. Lower electrode 166
A piezoelectric layer 160 is formed on the upper surface of the substrate, and an upper electrode 164 is formed on the upper surface of the piezoelectric layer 160. Therefore, the piezoelectric layer 160 is formed so as to be sandwiched between the upper electrode 164 and the lower electrode 166 from above and below. Piezoelectric layer 1
The 60, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 form a piezoelectric element. The piezoelectric element is formed on the vibration plate 176. The vibration area of the piezoelectric element and the vibration plate 176 is a vibration part where the actuator actually vibrates. A through hole 385 is provided in the side wall of the container 1. Therefore, the ink comes into contact with the vibration plate 176 through the through hole 385 of the container 1.

【０１１９】次に図１９（Ａ）に示したモジュール体７
５０Ａの動作について説明する。上部電極１６４及び下
部電極１６６は圧電層１６０に駆動信号を伝達し、圧電
層１６０が検出した共振周波数の信号を記録装置に伝達
する。圧電層１６０は上部電極１６４及び下部電極１６
６によって伝達された駆動信号により発振して残留振動
する。この残留振動により圧電層１６０は逆起電力を発
生する。逆起電力波形の振動周期をカウントし、その時
点での共振周波数を検出することでインクの有無を検出
できる。モジュール体７５０Ａは、アクチュエータ１０
６がアクチュエータ１０６の振動部の圧電素子側とは反
対の面、すなわち、図１９（Ａ）では、振動板１７６の
みが、インク容器１内のインクと接触するように容器１
に装着される。図１９（Ａ）のモジュール体７５０Ａ
は、図１３から図１７に示したリードワイヤ１０４ａ、
１０４ｂ、４０４ａ、４０４ｂ、５０４ａ、及び５０４
ｂの電極のモジュール体１００への埋め込みが不要とな
る。そのため成形工程が簡素化される。更に、モジュー
ル体７５０Ａの交換が可能となりリサイクルが可能とな
る。また更に、アクチュエータ１０６は基台部３６０に
より保護されているのでアクチュエータ１０６を外部と
の接触から保護できる。Next, the module 7 shown in FIG.
The operation of 50A will be described. The upper electrode 164 and the lower electrode 166 transmit a driving signal to the piezoelectric layer 160, and transmit a signal of the resonance frequency detected by the piezoelectric layer 160 to the recording device. The piezoelectric layer 160 includes the upper electrode 164 and the lower electrode 16.
It oscillates due to the drive signal transmitted by 6 and undergoes residual vibration. The piezoelectric layer 160 generates a back electromotive force due to the residual vibration. The presence or absence of ink can be detected by counting the oscillation period of the back electromotive force waveform and detecting the resonance frequency at that time. The module 750A is connected to the actuator 10
In FIG. 19A, only the vibration plate 176 is in contact with the ink in the ink container 1 so that only the vibration plate 176 is in contact with the ink in the ink container 1.
Attached to. Module body 750A in FIG.
Are the lead wires 104a shown in FIGS. 13 to 17,
104b, 404a, 404b, 504a, and 504
The embedding of the electrode b in the module body 100 becomes unnecessary. Therefore, the molding process is simplified. Further, the module body 750A can be exchanged, and the module body 750A can be recycled. Further, since the actuator 106 is protected by the base portion 360, the actuator 106 can be protected from contact with the outside.

【０１２０】図１９（Ｂ）はモジュール体７５０Ｂの更
に他の実施形態を示す。図１９（Ｂ）のモジュール体７
５０Ｂはアクチュエータ１０６と基台部３６０とを有す
る。モジュール体７５０Ｂは前面が容器１の側壁の内面
と同一面となるように、容器１に装着されている。アク
チュエータ１０６は、圧電層１６０、上部電極１６４、
下部電極１６６、及び振動板１７６を含む。振動板１７
６の上面に下部電極１６６が形成されている。下部電極
１６６の上面には圧電層１６０が形成され、圧電層１６
０の上面に上部電極１６４が形成されている。したがっ
て、圧電層１６０は、上部電極１６４及び下部電極１６
６によって上下から挟まれるように形成されている。圧
電層１６０、上部電極１６４、及び下部電極１６６は、
圧電素子を形成する。圧電素子は振動板１７６上に形成
される。圧電素子及び振動板１７６の振動領域はアクチ
ュエータが実際に振動する振動部である。容器１の側壁
には薄壁部３８０が設けられている。モジュール体７５
０Ｂは、アクチュエータ１０６がアクチュエータ１０６
の振動部の圧電素子側とは反対の面、すなわち、図１９
（Ｂ）では、振動板１７６のみが、インク容器１の薄壁
部３８０と接触するように容器１に装着される。したが
って、アクチュエータ１０６の振動部は、薄壁部３８０
と共に残留振動する。FIG. 19B shows still another embodiment of the module body 750B. Module body 7 in FIG.
50B includes the actuator 106 and the base 360. The module body 750B is mounted on the container 1 such that the front surface is flush with the inner surface of the side wall of the container 1. The actuator 106 includes a piezoelectric layer 160, an upper electrode 164,
A lower electrode 166 and a diaphragm 176 are included. Diaphragm 17
6, a lower electrode 166 is formed. On the upper surface of the lower electrode 166, a piezoelectric layer 160 is formed.
The upper electrode 164 is formed on the upper surface of the “0”. Therefore, the piezoelectric layer 160 includes the upper electrode 164 and the lower electrode 16.
6 so as to be sandwiched from above and below. The piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166
A piezoelectric element is formed. The piezoelectric element is formed on the vibration plate 176. The vibration area of the piezoelectric element and the vibration plate 176 is a vibration part where the actuator actually vibrates. A thin wall portion 380 is provided on a side wall of the container 1. Module body 75
0B indicates that the actuator 106 is
19, the surface of the vibrating portion opposite to the piezoelectric element side, that is, FIG.
In (B), only the vibration plate 176 is mounted on the ink container 1 so as to contact the thin wall portion 380 of the ink container 1. Therefore, the vibrating portion of the actuator 106 is
Residual vibration occurs with it.

【０１２１】次に図１９（Ｂ）に示したモジュール体７
５０Ｂの動作について説明する。上部電極１６４及び下
部電極１６６は圧電層１６０に駆動信号を伝達し、圧電
層１６０が検出した共振周波数の信号を記録装置に伝達
する。圧電層１６０は上部電極１６４及び下部電極１６
６によって伝達された駆動信号により発振して共振周期
で振動する。振動板１７６が、容器１の薄壁部３８０と
接触するので、アクチュエータ１０６の振動部は、薄壁
部３８０と共に残留振動する。薄壁部３８０の容器１の
内面側は、インクと接触するので、アクチュエータ１０
６が、薄壁部３８０と共に残留振動する際、この残留振
動の共振周波数及び振幅は、インク残量により変化す
る。この残留振動により圧電層１６０は逆起電力を発生
する。逆起電力波形の振動周期をカウントし、その時の
共振周波数を検出することによりインク残量を検出する
ことができる。Next, the module 7 shown in FIG.
The operation of 50B will be described. The upper electrode 164 and the lower electrode 166 transmit a driving signal to the piezoelectric layer 160, and transmit a signal of the resonance frequency detected by the piezoelectric layer 160 to the recording device. The piezoelectric layer 160 includes the upper electrode 164 and the lower electrode 16.
It oscillates with the drive signal transmitted by 6 and oscillates at a resonance cycle. Since the vibration plate 176 comes into contact with the thin wall portion 380 of the container 1, the vibration portion of the actuator 106 vibrates with the thin wall portion 380. Since the inner surface side of the container 1 of the thin wall portion 380 comes into contact with the ink, the actuator 10
When 6 vibrates together with thin wall portion 380, the resonance frequency and amplitude of the residual vibration change depending on the amount of remaining ink. The piezoelectric layer 160 generates a back electromotive force due to the residual vibration. The remaining ink amount can be detected by counting the oscillation period of the back electromotive force waveform and detecting the resonance frequency at that time.

【０１２２】図１９（Ｂ）のモジュール体７５０Ｂは、
図１３から図１７に示したリードワイヤ１０４ａ、１０
４ｂ、４０４ａ、４０４ｂ、５０４ａ、及び５０４ｂの
電極のモジュール体１００への埋め込みが不要となる。
そのため成形工程が簡素化される。更に、モジュール体
７５０Ｂの交換が可能となりリサイクルが可能となる。
また更に、アクチュエータ１０６は基台部３６０により
保護されているのでアクチュエータ１０６を外部との接
触から保護できる。The module body 750B shown in FIG.
The lead wires 104a and 10a shown in FIGS.
The electrodes 4b, 404a, 404b, 504a, and 504b need not be embedded in the module 100.
Therefore, the molding process is simplified. Further, the module body 750B can be exchanged and recycled.
Further, since the actuator 106 is protected by the base portion 360, the actuator 106 can be protected from contact with the outside.

【０１２３】図２０（Ａ）はモジュール体７００Ｂを容
器１に装着したときのインク容器の断面図を示す。本実
施例では取付構造体の１つとしてモジュール体７００Ｂ
を使用する。モジュール体７００Ｂは、液体容器取付部
３６０が容器１の内部に突出するようにして容器１に装
着されている。取付プレート３５０には貫通孔３７０が
形成され、貫通孔３７０とアクチュエータ１０６の振動
部が面している。更に、モジュール体７００Ｂの底壁に
は孔３８２が形成され、圧電装置装着部３６３が形成さ
れる。アクチュエータ１０６が孔３８２の一方を塞ぐよ
うにして配備される。したがって、インクは、圧電装置
装着部３６３の孔３８２及び取付プレート３５０の貫通
孔３７０を介して振動板１７６と接触する。圧電装置装
着部３６３の孔３８２及び取付プレート３５０の貫通孔
３７０は、共にインク溜部を形成する。圧電装置装着部
３６３とアクチュエータ１０６とは、取付プレート３５
０及びフィルム部材によって固定されている。液体容器
取付部３６０と容器１との接続部にはシーリング構造３
７２が設けられている。シーリング構造３７２は合成樹
脂等の可塑性の材料により形成されてもよいし、Ｏリン
グにより形成されてもよい。図２０（Ａ）のモジュール
体７００Ｂと容器１とは別体であるが、図２０（Ｂ）よ
うにモジュール体７００Ｂの圧電装置装着部を容器１の
一部で構成してもよい。FIG. 20A is a sectional view of the ink container when the module 700B is mounted on the container 1. FIG. In this embodiment, the module 700B is used as one of the mounting structures.
Use The module 700B is mounted on the container 1 such that the liquid container mounting portion 360 projects into the container 1. A through hole 370 is formed in the mounting plate 350, and the through hole 370 and the vibrating portion of the actuator 106 face. Further, a hole 382 is formed in the bottom wall of the module 700B, and a piezoelectric device mounting portion 363 is formed. The actuator 106 is disposed so as to close one of the holes 382. Therefore, the ink comes into contact with the vibration plate 176 via the hole 382 of the piezoelectric device mounting portion 363 and the through hole 370 of the mounting plate 350. The hole 382 of the piezoelectric device mounting portion 363 and the through hole 370 of the mounting plate 350 together form an ink reservoir. The piezoelectric device mounting portion 363 and the actuator 106 are attached to the mounting plate 35.
0 and fixed by a film member. The connecting portion between the liquid container mounting portion 360 and the container 1 has a sealing structure 3
72 are provided. The sealing structure 372 may be formed of a plastic material such as a synthetic resin, or may be formed of an O-ring. Although the module 700B in FIG. 20A and the container 1 are separate bodies, the piezoelectric device mounting portion of the module 700B may be configured as a part of the container 1 as shown in FIG.

【０１２４】図２０（Ａ）のモジュール体７００Ｂは、
図１３から図１７に示したリードワイヤのモジュール体
への埋め込みが不要となる。そのため成形工程が簡素化
される。更に、モジュール体７００Ｂの交換が可能とな
りリサイクルが可能となる。The module 700B shown in FIG.
There is no need to embed the lead wires shown in FIGS. 13 to 17 into the module. Therefore, the molding process is simplified. Further, the module 700B can be replaced, and the module 700B can be recycled.

【０１２５】インクカートリッジが揺れる際にインクが
容器１の上面あるいは側面に付着し、容器１の上面ある
いは側面から垂れてきたインクがアクチュエータ１０６
に接触することでアクチュエータ１０６が誤作動する可
能性がある。しかし、モジュール体７００Ｂは液体容器
取付部３６０が容器１の内部に突出しているので、容器
１の上面や側面から垂れてきたインクによりアクチュエ
ータ１０６が誤作動しない。When the ink cartridge is shaken, the ink adheres to the upper surface or side surface of the container 1 and the ink dripping from the upper surface or side surface of the container 1
, The actuator 106 may malfunction. However, since the liquid container mounting portion 360 of the module 700B protrudes into the container 1, the actuator 106 does not malfunction due to ink dripping from the upper surface or the side surface of the container 1.

【０１２６】また、図２０（Ａ）の実施例では、振動板
１７６と取付プレート３５０の一部のみが、容器１内の
インクと接触するように容器１に装着される。図２０
（Ａ）の実施例では、図１３から図１７に示したリード
ワイヤ１０４ａ、１０４ｂ、４０４ａ、４０４ｂ、５０
４ａ、及び５０４ｂの電極のモジュール体への埋め込み
が不要となる。そのため成形工程が簡素化される。更
に、アクチュエータ１０６の交換が可能となりリサイク
ルが可能となる。In the embodiment shown in FIG. 20A, only the vibration plate 176 and a part of the mounting plate 350 are mounted on the container 1 so as to come into contact with the ink in the container 1. FIG.
In the embodiment of (A), the lead wires 104a, 104b, 404a, 404b, and 50 shown in FIGS.
The embedding of the electrodes 4a and 504b in the module body becomes unnecessary. Therefore, the molding process is simplified. Further, the actuator 106 can be replaced, and recycling can be performed.

【０１２７】図２０（Ｂ）は、アクチュエータ１０６を
容器１に装着したときの実施例としてインク容器の断面
図を示す。図２０（Ｂ）の実施例によるインクカートリ
ッジでは、保護部材３６１はアクチュエータ１０６とは
別体として容器１に取り付けられている。従って、保護
部材３６１とアクチュエータ１０６とはモジュールとし
て一体となっていないが、一方で、保護部材３６１はア
クチュエータ１０６にユーザーの手が触れないように保
護することができる。アクチュエータ１０６の前面に設
けられる孔３８０は、容器１の側壁に配設されている。
アクチュエータ１０６は、圧電層１６０、上部電極１６
４、下部電極１６６、振動板１７６及び取付プレート３
５０を含む。取付プレート３５０の上面に振動板１７６
が形成され、振動板１７６の上面に下部電極１６６が形
成されている。下部電極１６６の上面には圧電層１６０
が形成され、圧電層１６０の上面に上部電極１６４が形
成されている。したがって、圧電層１６０の主要部は、
上部電極１６４の主要部及び下部電極１６６の主要部に
よって上下から挟まれるように形成されている。圧電層
１６０、上部電極１６４、及び下部電極１６６のそれぞ
れの主要部である円形部分は、圧電素子を形成する。圧
電素子は振動板１７６上に形成される。圧電素子及び振
動板１７６の振動領域はアクチュエータが実際に振動す
る振動部である。取付プレート３５０には貫通孔３７０
が設けられている。更に、容器１の側壁には孔３８０が
形成されている。したがって、インクは、容器１の孔３
８０及び取付プレート３５０の貫通孔３７０を介して振
動板１７６と接触する。容器１の孔３８０及び取付プレ
ート３５０の貫通孔３７０は、共にインク溜部を形成す
る。また、図２０（Ｂ）の実施例では、アクチュエータ
１０６は保護部材３６１により保護されているのでアク
チュエータ１０６を外部との接触から保護できる。FIG. 20B is a sectional view of an ink container as an embodiment when the actuator 106 is mounted on the container 1. In the ink cartridge according to the embodiment shown in FIG. 20B, the protection member 361 is attached to the container 1 separately from the actuator 106. Therefore, although the protection member 361 and the actuator 106 are not integrated as a module, the protection member 361 can protect the actuator 106 from being touched by a user's hand. A hole 380 provided on the front surface of the actuator 106 is provided on a side wall of the container 1.
The actuator 106 includes a piezoelectric layer 160, an upper electrode 16
4. Lower electrode 166, diaphragm 176 and mounting plate 3
50. A diaphragm 176 is provided on the upper surface of the mounting plate 350.
Are formed, and a lower electrode 166 is formed on the upper surface of the diaphragm 176. The piezoelectric layer 160 is formed on the upper surface of the lower electrode 166.
Is formed, and an upper electrode 164 is formed on the upper surface of the piezoelectric layer 160. Therefore, the main part of the piezoelectric layer 160 is:
The main portion of the upper electrode 164 and the main portion of the lower electrode 166 are formed so as to be sandwiched from above and below. The circular portions that are the main portions of the piezoelectric layer 160, the upper electrode 164, and the lower electrode 166 form a piezoelectric element. The piezoelectric element is formed on the vibration plate 176. The vibration area of the piezoelectric element and the vibration plate 176 is a vibration part where the actuator actually vibrates. The mounting plate 350 has a through hole 370
Is provided. Further, a hole 380 is formed in the side wall of the container 1. Therefore, the ink is supplied to the holes 3 of the container 1.
The diaphragm 176 is brought into contact with the diaphragm 176 through the through hole 370 of the mounting plate 350. The hole 380 of the container 1 and the through hole 370 of the mounting plate 350 together form an ink reservoir. In the embodiment of FIG. 20B, since the actuator 106 is protected by the protection member 361, the actuator 106 can be protected from contact with the outside.

【０１２８】尚、図２０（Ａ）および（Ｂ）の実施例に
おける取付プレート３５０に代えて、図１の基板１７８
を使用してもよい。Note that, instead of the mounting plate 350 in the embodiment of FIGS. 20A and 20B, the substrate 178 of FIG.
May be used.

【０１２９】図２０（Ｃ）はアクチュエータ１０６を含
むモールド構造体６００を備える実施形態を示す。本実
施例では、取付構造体の１つとしてモールド構造体６０
０を使用する。モールド構造体６００はアクチュエータ
１０６とモールド部３６４とを有する。アクチュエータ
１０６とモールド部３６４とは一体に成形されている。
モールド部３６４はシリコン樹脂等の可塑性の材料によ
って成形される。モールド部３６４は内部にリードワイ
ヤ３６２を有する。モールド部３６４はアクチュエータ
１０６から延びる２本の足を有するように形成されてい
る。モールド部３６４はモールド部３６４と容器１とを
液密に固定するために、モールド部３６４の２本の足の
端が半球状に形成される。モールド部３６４はアクチュ
エータ１０６が容器１の内部に突出するよう容器１に装
着され、アクチュエータ１０６の振動部は容器１内のイ
ンクと接触する。モールド部３６４によって、アクチュ
エータ１０６の上部電極１６４、圧電層１６０、及び下
部電極１６６はインクから保護されている。FIG. 20C shows an embodiment having a mold structure 600 including the actuator 106. In this embodiment, the mold structure 60 is used as one of the mounting structures.
Use 0. The mold structure 600 has the actuator 106 and the mold section 364. The actuator 106 and the mold part 364 are integrally formed.
The mold section 364 is formed of a plastic material such as a silicone resin. The mold part 364 has a lead wire 362 inside. Mold part 364 is formed to have two legs extending from actuator 106. The ends of the two legs of the mold portion 364 are formed in a hemispherical shape in order to fix the mold portion 364 and the container 1 in a liquid-tight manner. The mold part 364 is mounted on the container 1 so that the actuator 106 projects into the container 1, and the vibrating part of the actuator 106 contacts the ink in the container 1. The upper electrode 164, the piezoelectric layer 160, and the lower electrode 166 of the actuator 106 are protected from the ink by the mold portion 364.

【０１３０】図２０（Ｃ）のモールド構造体６００は、
モールド部３６４と容器１との間にシーリング構造３７
２が必要ないので、インクが容器１から漏れにくい。ま
た、容器１の外部からモールド構造体６００が突出しな
い形態であるので、アクチュエータ１０６を外部との接
触から保護することができる。インクカートリッジが揺
れる際に、インクが容器１の上面あるいは側面に付き、
容器１の上面あるいは側面から垂れてきたインクが、ア
クチュエータ１０６に接触することで、アクチュエータ
１０６が、誤作動する可能性がある。モールド構造体６
００は、モールド部３６４が、容器１の内部に突出して
いるので、容器１の上面や側面から垂れてきたインクに
より、アクチュエータ１０６が誤作動しない。The mold structure 600 shown in FIG.
Sealing structure 37 between mold part 364 and container 1
Since the ink 2 is not necessary, the ink hardly leaks from the container 1. Since the mold structure 600 does not protrude from the outside of the container 1, the actuator 106 can be protected from contact with the outside. When the ink cartridge shakes, the ink adheres to the upper surface or the side surface of the container 1,
When the ink dripping from the upper surface or the side surface of the container 1 comes into contact with the actuator 106, the actuator 106 may malfunction. Mold structure 6
In the case of 00, the actuator 106 does not malfunction due to ink dripping from the upper surface or the side surface of the container 1 because the mold portion 364 protrudes into the container 1.

【０１３１】図２１は、図１に示したアクチュエータ１
０６を用いたインクカートリッジ及びインクジェット記
録装置の実施形態を示す。複数のインクカートリッジ１
８０は、それぞれのインクカートリッジ１８０に対応し
た複数のインク導入部１８２及びホルダー１８４を有す
るインクジェット記録装置に装着される。複数のインク
カートリッジ１８０は、それぞれ異なった種類、例えば
色のインクを収容する。複数のインクカートリッジ１８
０のそれぞれの底面には、少なくとも音響インピーダン
スを検出する手段であるアクチュエータ１０６が装着さ
れている。アクチュエータ１０６をインクカートリッジ
１８０に装着することによって、インクカートリッジ１
８０内のインク残量を検出することができる。FIG. 21 shows the actuator 1 shown in FIG.
6 shows an embodiment of an ink cartridge and an ink jet recording apparatus using No. 06. Multiple ink cartridges 1
Reference numeral 80 denotes an ink jet recording apparatus having a plurality of ink introduction portions 182 and holders 184 corresponding to the respective ink cartridges 180. The plurality of ink cartridges 180 store inks of different types, for example, colors. Multiple ink cartridges 18
The actuator 106 as a means for detecting at least acoustic impedance is mounted on the bottom surface of each of the zeros. By mounting the actuator 106 on the ink cartridge 180, the ink cartridge 1
It is possible to detect the remaining amount of ink in 80.

【０１３２】図２２は、インクジェット記録装置のヘッ
ド部周辺の詳細を示す。インクジェット記録装置は、イ
ンク導入部１８２、ホルダー１８４、ヘッドプレート１
８６、及びノズルプレート１８８を有する。インクを噴
射するノズル１９０がノズルプレート１８８に複数形成
されている。インク導入部１８２は空気供給口１８１と
インク導入口１８３とを有する。空気供給口１８１はイ
ンクカートリッジ１８０に空気を供給する。インク導入
口１８３はインクカートリッジ１８０からインクを導入
する。インクカートリッジ１８０は空気導入口１８５と
インク供給口１８７とを有する。空気導入口１８５はイ
ンク導入部１８２の空気供給口１８１から空気を導入す
る。インク供給口１８７はインク導入部１８２のインク
導入口１８３にインクを供給する。インクカートリッジ
１８０がインク導入部１８２から空気を導入することに
よって、インクカートリッジ１８０からインク導入部１
８２へのインクの供給を促す。ホルダー１８４は、イン
クカートリッジ１８０からインク導入部１８２を介して
供給されたインクをヘッドプレート１８６に連通する。FIG. 22 shows details around the head of the ink jet recording apparatus. The ink jet recording apparatus includes an ink introduction unit 182, a holder 184, a head plate 1
86, and a nozzle plate 188. A plurality of nozzles 190 for ejecting ink are formed on the nozzle plate 188. The ink introduction section 182 has an air supply port 181 and an ink introduction port 183. The air supply port 181 supplies air to the ink cartridge 180. The ink inlet 183 introduces ink from the ink cartridge 180. The ink cartridge 180 has an air inlet 185 and an ink supply port 187. The air inlet 185 introduces air from the air supply port 181 of the ink inlet 182. The ink supply port 187 supplies ink to the ink introduction port 183 of the ink introduction unit 182. When the ink cartridge 180 introduces air from the ink introduction unit 182, the ink cartridge 180
The supply of ink to 82 is prompted. The holder 184 communicates the ink supplied from the ink cartridge 180 via the ink introduction unit 182 to the head plate 186.

【０１３３】図２３は、図２０に示したインクカートリ
ッジ１８０の他の実施形態を示す。図２３（Ａ）のイン
クカートリッジ１８０Ａは、上下方向に斜めに形成され
た底面１９４ａにアクチュエータ１０６が装着されてい
る。インクカートリッジ１８０のインク容器１９４の内
部には、インク容器１９４の内部底面から所定の高さ
の、アクチュエータ１０６と直面する位置に防波壁１９
２が設けられている。アクチュエータ１０６が、インク
容器１９４の上下方向に対し斜めに装着されているの
で、インクの掃けが良好になる。FIG. 23 shows another embodiment of the ink cartridge 180 shown in FIG. In the ink cartridge 180A shown in FIG. 23A, the actuator 106 is mounted on a bottom surface 194a formed obliquely in the vertical direction. Inside the ink container 194 of the ink cartridge 180, the wave barrier 19 is located at a predetermined height from the inner bottom surface of the ink container 194 and faces the actuator 106.
2 are provided. Since the actuator 106 is mounted obliquely with respect to the vertical direction of the ink container 194, the ink can be swept well.

【０１３４】アクチュエータ１０６と防波壁１９２との
間には、インクで満たされた間隙が形成される。また、
防波壁１９２とアクチュエータ１０６との間隔は、毛細
管力によりインクが保持されない程度に空けられてい
る。インク容器１９４が横揺れしたときに、横揺れによ
ってインク容器１９４内部にインクの波が発生し、その
衝撃によって、気体や気泡がアクチュエータ１０６によ
って検出されてアクチュエータ１０６が誤作動する可能
性がある。防波壁１９２を設けることによって、アクチ
ュエータ１０６付近のインクの波を防ぎ、アクチュエー
タ１０６の誤作動を防ぐことができる。A gap filled with ink is formed between the actuator 106 and the break wall 192. Also,
The space between the wave preventing wall 192 and the actuator 106 is so large that the ink is not held by the capillary force. When the ink container 194 rolls, a wave of ink is generated inside the ink container 194 due to the roll, and due to the impact, a gas or a bubble is detected by the actuator 106, and the actuator 106 may malfunction. By providing the wave preventing wall 192, a wave of ink near the actuator 106 can be prevented, and malfunction of the actuator 106 can be prevented.

【０１３５】図２３（Ｂ）のインクカートリッジ１８０
Ｂのアクチュエータ１０６は、インク容器１９４の供給
口の側壁上に装着されている。インク供給口１８７の近
傍であれば、アクチュエータ１０６は、インク容器１９
４の側壁又は底面に装着されてもよい。また、アクチュ
エータ１０６はインク容器１９４の幅方向の中心に装着
されることが好ましい。インクは、インク供給口１８７
を通過して外部に供給されるので、アクチュエータ１０
６をインク供給口１８７の近傍に設けることにより、イ
ンクニアエンド時点までインクとアクチュエータ１０６
とが確実に接触する。したがって、アクチュエータ１０
６はインクニアエンドの時点を確実に検出することがで
きる。The ink cartridge 180 shown in FIG.
The B actuator 106 is mounted on the side wall of the supply port of the ink container 194. In the vicinity of the ink supply port 187, the actuator 106
4 may be mounted on the side wall or bottom surface. Further, it is preferable that the actuator 106 is mounted at the center of the ink container 194 in the width direction. The ink is supplied to the ink supply port 187.
Is supplied to the outside through the
6 is provided near the ink supply port 187 so that the ink and the actuator
And make sure contact. Therefore, the actuator 10
No. 6 can reliably detect the time of the ink near end.

【０１３６】更に、アクチュエータ１０６をインク供給
口１８７の近傍に設けることで、インク容器をキャリッ
ジ上のカートリッジホルダに装着する際に、インク容器
上のアクチュエータ１０６とキャリッジ上の接点との位
置決めが確実となる。その理由は、インク容器とキャリ
ッジとの連結において最も重要なのは、インク供給口と
供給針との確実な結合である。少しでもずれがあると供
給針の先端を痛めてしまったりあるいはＯリングなどの
シーリング構造にダメージを与えてしまいインクが漏れ
出してしまうからである。このような問題点を防ぐため
に、通常インクジェットプリンタはインク容器をキャリ
ッジにマウントする時に正確な位置合わせができるよう
な特別な構造を有している。よって供給口近傍にアクチ
ュエータを配置させることにより、アクチュエータの位
置合わせも同時に確実なものとなるのである。さらに、
アクチュエータ１０６をインク容器１９４の幅方向の中
心に装着することで、より確実に位置合わせすることが
できる。インク容器が、ホルダへの装着時に幅方向中心
線を中心として軸揺動した場合に、もっともその揺れが
少ないからである。Further, by providing the actuator 106 near the ink supply port 187, when the ink container is mounted on the cartridge holder on the carriage, the positioning between the actuator 106 on the ink container and the contact point on the carriage is ensured. Become. The most important reason for the connection between the ink container and the carriage is a reliable connection between the ink supply port and the supply needle. This is because if there is any deviation, the tip of the supply needle is damaged, or a sealing structure such as an O-ring is damaged, and the ink leaks out. In order to prevent such a problem, an ink jet printer usually has a special structure that allows accurate alignment when mounting an ink container on a carriage. Therefore, by arranging the actuator near the supply port, the positioning of the actuator can be simultaneously ensured. further,
By mounting the actuator 106 at the center in the width direction of the ink container 194, the alignment can be performed more reliably. This is because when the ink container swings around the center line in the width direction when the ink container is mounted on the holder, the swing is the least.

【０１３７】図２４はインクカートリッジ１８０の更に
他の実施形態を示す。図２４（Ａ）はインクカートリッ
ジ１８０Ｃの断面図、図２４（Ｂ）は図２４（Ａ）に示
したインクカートリッジ１８０Ｃの側壁１９４ｂを拡大
した断面図、及び図２４（Ｃ）はその正面からの透視図
である。インクカートリッジ１８０Ｃは、半導体記憶手
段７とアクチュエータ１０６とが同一の回路基板６１０
上に形成されている。図２４（Ｂ）、（Ｃ）に示すよう
に、半導体記憶手段７は回路基板６１０の上方に形成さ
れ、アクチュエータ１０６は同一の回路基板６１０にお
いて半導体記憶手段７の下方に形成されている。アクチ
ュエータ１０６の周囲を囲むように異型Ｏリング６１４
が、側壁１９４ｂに装着される。側壁１９４ｂには、回
路基板６１０をインク容器１９４に接合するためのカシ
メ部６１６が複数形成されている。カシメ部６１６によ
って回路基板６１０をインク容器１９４に接合し、異型
Ｏリング６１４を回路基板６１０に押しつけることで、
アクチュエータ１０６の振動領域がインクと接触するこ
とをできるようにしつつ、インクカートリッジの外部と
内部とを液密に保つ。FIG. 24 shows still another embodiment of the ink cartridge 180. 24A is a sectional view of the ink cartridge 180C, FIG. 24B is an enlarged sectional view of the side wall 194b of the ink cartridge 180C shown in FIG. 24A, and FIG. It is a perspective view. The ink cartridge 180C has a circuit board 610 on which the semiconductor storage means 7 and the actuator 106 are the same.
Is formed on. As shown in FIGS. 24B and 24C, the semiconductor storage means 7 is formed above the circuit board 610, and the actuator 106 is formed below the semiconductor storage means 7 on the same circuit board 610. O-ring 614 is shaped to surround the periphery of actuator 106.
Is mounted on the side wall 194b. A plurality of caulking portions 616 for joining the circuit board 610 to the ink container 194 are formed on the side wall 194b. By bonding the circuit board 610 to the ink container 194 by the caulking portion 616 and pressing the odd-shaped O-ring 614 against the circuit board 610,
The outside and inside of the ink cartridge are kept liquid-tight, while allowing the vibration area of the actuator 106 to come into contact with the ink.

【０１３８】半導体記憶手段７及び半導体記憶手段７付
近には端子６１２が形成されている。端子６１２は半導
体記憶手段７とインクジェット記憶装置等の外部との間
の信号の受け渡しをする。半導体記憶手段７は、例えば
ＥＥＰＲＯＭなどの書き換え可能な半導体メモリによっ
て構成されてもよい。半導体記憶手段７とアクチュエー
タ１０６とが同一の回路基板６１０上に形成さているの
で、アクチュエータ１０６及び半導体記憶手段７をイン
クカートリッジ１８０Ｃに取付ける際に１回の取付け工
程で済む。また、インクカートリッジ１８０Ｃの製造時
及びリサイクル時の作業工程が簡素化される。更に、部
品の点数が削減されるので、インクカートリッジ１８０
Ｃの製造コストが低減できる。The terminal 612 is formed in the semiconductor storage means 7 and in the vicinity of the semiconductor storage means 7. The terminal 612 exchanges signals between the semiconductor storage means 7 and the outside such as an ink jet storage device. The semiconductor storage means 7 may be constituted by a rewritable semiconductor memory such as an EEPROM. Since the semiconductor storage means 7 and the actuator 106 are formed on the same circuit board 610, only one mounting step is required when mounting the actuator 106 and the semiconductor storage means 7 on the ink cartridge 180C. Further, the working process at the time of manufacturing and recycling the ink cartridge 180C is simplified. Further, since the number of parts is reduced, the ink cartridge 180
The manufacturing cost of C can be reduced.

【０１３９】アクチュエータ１０６は、インク容器１９
４内のインクの消費状態を検知する。半導体記憶手段７
はアクチュエータ１０６が検出したインク残量などイン
クの情報を格納する。すなわち、半導体記憶手段７は検
出する際に用いられるインク及びインクカートリッジの
特性等の特性パラメータに関する情報を格納する。半導
体記憶手段７は、予めインク容器１９４内のインクがフ
ルのとき、すなわちインクがインク容器１９４内に満た
されたとき、又はエンドのとき、すなわちインク容器１
９４内のインクが消費されたときの共振周波数を特性パ
ラメータの一つとして格納する。インク容器１９４内の
インクがフル又はエンド状態の共振周波数は、インク容
器が初めてインクジェット記録装置に装着されたときに
格納されてもよい。また、インク容器１９４内のインク
がフル又はエンド状態の共振周波数は、インク容器１９
４の製造中に格納されてもよい。半導体記憶手段７に予
めインク容器１９４内のインクがフル又はエンドのとき
の共振周波数を格納し、インクジェット記録装置側で共
振周波数のデータを読出すことによりインク残量を検出
する際のばらつきを補正できるので、インク残量が基準
値まで減少したことを正確に検出することができる。The actuator 106 is connected to the ink container 19.
4 is detected. Semiconductor storage means 7
Stores ink information such as the remaining amount of ink detected by the actuator 106. That is, the semiconductor storage means 7 stores information on characteristic parameters such as characteristics of the ink and the ink cartridge used for detection. The semiconductor storage means 7 stores the ink in the ink container 194 in advance when the ink is full, that is, when the ink is filled in the ink container 194, or when the ink is in the end, that is, when the ink
The resonance frequency when the ink in 94 is consumed is stored as one of the characteristic parameters. The resonance frequency of the full or end state of the ink in the ink container 194 may be stored when the ink container is first attached to the ink jet recording apparatus. In addition, the resonance frequency of the ink container 194 in the full or end state of the ink container
4 may be stored during manufacture. The resonance frequency when the ink in the ink container 194 is full or end is stored in advance in the semiconductor storage means 7, and the data of the resonance frequency is read out on the ink jet recording apparatus side to correct the variation in detecting the remaining ink amount. Therefore, it is possible to accurately detect that the remaining amount of ink has decreased to the reference value.

【０１４０】図２５は、インクカートリッジ１８０の更
に他の実施形態を示す。図２５（Ａ）に示すインクカー
トリッジ１８０Ｄは、インク容器１９４の側壁１９４ｂ
に複数のアクチュエータ１０６を装着する。図５に示し
た、一体成形された複数のアクチュエータ１０６を、こ
れら複数のアクチュエータ１０６として用いることが好
ましい。複数のアクチュエータ１０６は、上下方向に間
隔をおいて側壁１９４ｂに配置されている。複数のアク
チュエータ１０６を上下方向に間隔をおいて側壁１９４
ｂに配置することによって、インク残量を段階的に検出
することができる。FIG. 25 shows still another embodiment of the ink cartridge 180. The ink cartridge 180D shown in FIG.
Are mounted with a plurality of actuators 106. It is preferable to use a plurality of integrally formed actuators 106 shown in FIG. 5 as the plurality of actuators 106. The plurality of actuators 106 are arranged on the side wall 194b at intervals in the vertical direction. A plurality of actuators 106 are vertically spaced from each other by side walls 194.
By arranging it at b, the remaining amount of ink can be detected stepwise.

【０１４１】図２５（Ｂ）に示すインクカートリッジ１
８０Ｅは、インク容器１９４の側壁１９４ｂに上下方向
に長いアクチュエータ６０６を装着する。上下方向に長
いアクチュエータ６０６によって、インク容器１９４内
のインク残量の変化を連続的に検出することができる。
アクチュエータ６０６の長さは、側壁１９４ｂに高さの
半分以上の長さを有することが望ましく、図２５（Ｂ）
においては、アクチュエータ６０６は側壁１９４ｂのほ
ぼ上端からほぼ下端までの長さを有する。The ink cartridge 1 shown in FIG.
At 80E, an actuator 606 that is long in the vertical direction is mounted on the side wall 194b of the ink container 194. The change in the remaining amount of ink in the ink container 194 can be continuously detected by the vertically long actuator 606.
It is desirable that the length of the actuator 606 be at least half of the height of the side wall 194b.
In, the actuator 606 has a length from substantially the upper end to the substantially lower end of the side wall 194b.

【０１４２】図２５（Ｃ）に示すインクカートリッジ１
８０Ｆは、図２５（Ａ）に示したインクカートリッジ１
８０Ｄと同様に、インク容器１９４の側壁１９４ｂに複
数のアクチュエータ１０６を装着し、複数のアクチュエ
ータ１０６の直面に所定の間隔をおいて上下方向に長い
防波壁１９２を備える。図５に示した、一体成形された
複数のアクチュエータ１０６を、これら複数のアクチュ
エータ１０６として用いることが好ましい。アクチュエ
ータ１０６と防波壁１９２との間には、インクで満たさ
れた間隙が形成される。また、防波壁１９２とアクチュ
エータ１０６との間隔は、毛細管力によりインクが保持
されない程度に空けられている。インク容器１９４が横
揺れしたときに横揺れによってインク容器１９４内部に
インクの波が発生し、その衝撃によって気体や気泡がア
クチュエータ１０６によって検出されてしまい、アクチ
ュエータ１０６が誤作動する可能性がある。本発明のよ
うに防波壁１９２を設けることによって、アクチュエー
タ１０６付近のインクの波立ちを防ぎ、アクチュエータ
１０６の誤作動を防ぐことができる。また、防波壁１９
２はインクが揺動することで発生した気泡がアクチュエ
ータ１０６に侵入するのを防ぐ。The ink cartridge 1 shown in FIG.
80F is the ink cartridge 1 shown in FIG.
As in the case of 80D, a plurality of actuators 106 are mounted on the side wall 194b of the ink container 194, and a wave preventing wall 192 that is long in the vertical direction is provided at a predetermined interval in the face of the plurality of actuators 106. It is preferable to use a plurality of integrally formed actuators 106 shown in FIG. 5 as the plurality of actuators 106. A gap filled with ink is formed between the actuator 106 and the break wall 192. Further, the gap between the wave preventing wall 192 and the actuator 106 is so large that the ink is not held by the capillary force. When the ink container 194 rolls, a wave of ink is generated inside the ink container 194 due to the roll, and a gas or a bubble is detected by the actuator 106 due to the impact, and the actuator 106 may malfunction. By providing the wave preventing wall 192 as in the present invention, it is possible to prevent ripples of ink near the actuator 106 and prevent the actuator 106 from malfunctioning. In addition, the breakwater wall 19
Numeral 2 prevents bubbles generated by the swinging of the ink from entering the actuator 106.

【０１４３】図２６は、インクカートリッジ１８０の更
に他の実施形態を示す。図２６（Ａ）のインクカートリ
ッジ１８０Ｇは、インク容器１９４の上面１９４ｃから
下方に延びる複数の隔壁２１２を有する。それぞれの隔
壁２１２の下端とインク容器１９４の底面とは所定の間
隔が空けられているので、インク容器１９４の底部は連
通している。インクカートリッジ１８０Ｇは複数の隔壁
２１２のそれぞれによって区画された複数の収容室２１
３を有する。複数の収容室２１３の底部は互いに連通す
る。複数の収容室２１３のそれぞれにおいて、インク容
器１９４の上面１９４ｃにはアクチュエータ１０６が装
着されている。図５に示した、一体成形されたアクチュ
エータ１０６を、これら複数のアクチュエータ１０６と
して用いることが好ましい。アクチュエータ１０６は、
インク容器１９４の収容室２１３の上面１９４ｃのほぼ
中央に配置される。収容室２１３の容量はインク供給口
１８７側が最も大きく、インク供給口１８７からインク
容器１９４の奥へ遠ざかるにつれて、収容室２１３の容
量が徐々に小さくなっている。したがって、アクチュエ
ータ１０６が配置される間隔はインク供給口１８７側が
広く、インク供給口１８７からインク容器１９４の奥へ
と遠ざかるにつれ、狭くなっている。FIG. 26 shows still another embodiment of the ink cartridge 180. The ink cartridge 180G in FIG. 26A has a plurality of partition walls 212 extending downward from the upper surface 194c of the ink container 194. Since the lower end of each partition 212 and the bottom surface of the ink container 194 are spaced apart by a predetermined distance, the bottom of the ink container 194 is in communication. The ink cartridge 180G includes a plurality of storage chambers 21 partitioned by a plurality of partition walls 212, respectively.
3 The bottoms of the plurality of storage chambers 213 communicate with each other. In each of the plurality of storage chambers 213, the actuator 106 is mounted on the upper surface 194c of the ink container 194. It is preferable to use the integrally molded actuator 106 shown in FIG. 5 as the plurality of actuators 106. The actuator 106 is
The ink container 194 is disposed substantially at the center of the upper surface 194c of the storage chamber 213. The capacity of the storage chamber 213 is the largest on the ink supply port 187 side, and the capacity of the storage chamber 213 gradually decreases as the distance from the ink supply port 187 to the depth of the ink container 194 increases. Therefore, the interval at which the actuators 106 are arranged is wide on the ink supply port 187 side, and becomes narrower as the distance from the ink supply port 187 to the depth of the ink container 194 increases.

【０１４４】インクは、インク供給口１８７から排出さ
れ、空気が空気導入口１８５から入るので、インク供給
口１８７側の収容室２１３からインクカートリッジ１８
０Ｇの奥の方の収容室２１３へとインクが消費される。
例えば、インク供給口１８７に最も近い収容室２１３の
インクが消費されて、インク供給口１８７に最も近い収
容室２１３のインクの水位が下がっている間、他の収容
室２１３にはインクが満たされている。インク供給口１
８７に最も近い収容室２１３のインクが消費され尽くす
と、空気が、インク供給口１８７から数えて２番目の収
容室２１３に侵入し、２番目の収容室２１３内のインク
が消費され始めて、２番目の収容室２１３のインクの水
位が下がり始める。この時点で、インク供給室１８７か
ら数えて３番目以降の収容室２１３には、インクが満た
されている。このように、インク供給口１８７に近い収
容室２１３から遠い収容室２１３へと順番にインクが消
費される。The ink is discharged from the ink supply port 187 and air enters through the air introduction port 185. Therefore, the ink cartridge 18 is discharged from the storage chamber 213 on the ink supply port 187 side.
The ink is consumed into the accommodation room 213 at the back of 0G.
For example, while the ink in the storage chamber 213 closest to the ink supply port 187 is consumed and the water level of the ink in the storage chamber 213 closest to the ink supply port 187 is lowered, the other storage chambers 213 are filled with ink. ing. Ink supply port 1
When the ink in the storage chamber 213 closest to 87 is exhausted, air enters the second storage chamber 213 counted from the ink supply port 187, and the ink in the second storage chamber 213 starts to be consumed. The water level of the ink in the second storage chamber 213 starts to drop. At this point, the third and subsequent storage chambers 213 counted from the ink supply chamber 187 are filled with ink. In this manner, ink is consumed in order from the storage chamber 213 near the ink supply port 187 to the storage chamber 213 far from the ink supply port 187.

【０１４５】このように、アクチュエータ１０６がそれ
ぞれの収容室２１３ごとにインク容器１９４の上面１９
４ｃに間隔をおいて配置されているので、アクチュエー
タ１０６はインク量の減少を段階的に検出することがで
きる。更に、収容室２１３の容量が、インク供給口１８
７から収容室２１３の奥へと徐々に小さくなっているの
で、アクチュエータ１０６が、インク量の減少を検出す
る時間間隔が徐々に小さくなり、インクエンドに近づく
ほど頻度を高く検出することができる。As described above, the actuator 106 is connected to the upper surface 19 of the ink container
4C, the actuator 106 can detect a decrease in the amount of ink in a stepwise manner. Furthermore, the capacity of the storage chamber 213 is
7, the time interval at which the actuator 106 detects a decrease in the amount of ink gradually decreases, and the frequency can be increased as the actuator 106 approaches the ink end.

【０１４６】図２６（Ｂ）のインクカートリッジ１８０
Ｈは、インク容器１９４の上面１９４ｃから下方に延び
る一つの隔壁２１２を有する。隔壁２１２の下端とイン
ク容器１９４の底面とは所定の間隔が空けられているの
で、インク容器１９４の底部は連通している。インクカ
ートリッジ１８０Ｈは隔壁２１２によって区画された２
室の収容室２１３ａ及び２１３ｂを有する。収容室２１
３ａ及び２１３ｂの底部は互いに連通する。インク供給
口１８７側の収容室２１３ａの容量はインク供給口１８
７から見て奥の方の収容室２１３ｂの容量より大きい。
収容室２１３ｂの容量は、収容室２１３ａの容量の半分
より小さいことが好ましい。The ink cartridge 180 shown in FIG.
H has one partition 212 extending downward from the upper surface 194c of the ink container 194. Since the lower end of the partition wall 212 and the bottom surface of the ink container 194 are spaced apart from each other by a predetermined distance, the bottom of the ink container 194 is in communication. The ink cartridge 180 </ b> H is divided into two by a partition 212.
It has chamber accommodation rooms 213a and 213b. Accommodation room 21
The bottoms of 3a and 213b communicate with each other. The capacity of the storage chamber 213a on the ink supply port 187 side is
7 is larger than the capacity of the accommodation room 213b at the back.
The capacity of the accommodation room 213b is preferably smaller than half the capacity of the accommodation room 213a.

【０１４７】収容室２１３ｂの上面１９４ｃにアクチュ
エータ１０６が装着される。更に、収容室２１３ｂに
は、インクカートリッジ１８０Ｈの製造時に入る気泡を
捕らえる溝であるバッファ２１４が形成される。図２６
（Ｂ）において、バッファ２１４は、インク容器１９４
の側壁１９４ｂから上方に延びる溝として形成される。
バッファ２１４はインク収容室２１３ｂ内に侵入した気
泡を捕らえるので、気泡によってアクチュエータ１０６
がインクエンドと検出する誤作動を防止することができ
る。また、アクチュエータ１０６を収容室２１３ｂの上
面１９４ｃに設けることにより、インクニアエンドが検
出されてから完全にインクエンド状態になるまでのイン
ク量に対して、ドットカウンタによって把握した収容室
２１３ａでのインクの消費状態に対応した補正をかける
ことで、最後までインクを消費することができる。更
に、収容室２１３ｂの容量を隔壁２１２の長さや間隔を
変えたりすることなどによって調節することにより、イ
ンクニアエンド検出後の消費可能インク量を変えること
ができる。The actuator 106 is mounted on the upper surface 194c of the accommodation room 213b. Further, a buffer 214 is formed in the storage chamber 213b, which is a groove for catching bubbles that enter during the manufacture of the ink cartridge 180H. FIG.
In (B), the buffer 214 includes an ink container 194.
Is formed as a groove extending upward from the side wall 194b of the upper surface.
The buffer 214 captures air bubbles that have entered the ink storage chamber 213b.
Can be prevented from being erroneously detected as being out of ink. Further, by providing the actuator 106 on the upper surface 194c of the storage chamber 213b, the amount of ink in the storage chamber 213a grasped by the dot counter can be compared with the amount of ink from the detection of the ink near end to the complete ink end state. By performing the correction corresponding to the consumption state, the ink can be consumed to the end. Further, by adjusting the capacity of the storage chamber 213b by changing the length and interval of the partition 212, the amount of ink that can be consumed after the detection of the ink near end can be changed.

【０１４８】図２６（Ｃ）は、図２６（Ｂ）のインクカ
ートリッジ１８０Ｉの収容室２１３ｂに多孔質部材２１
６が充填されている。多孔質部材２１６は、収容室２１
３ｂ内の上面から下面までの全空間を埋めるように設置
される。多孔質部材２１６は、アクチュエータ１０６と
接触する。インク容器が倒れたときや、キャリッジ上で
の往復運動中に空気がインク収容室２１３ｂ内に侵入し
てしまい、これがアクチュエータ１０６の誤作動を引き
起こす可能性がある。しかし、多孔質部材２１６が備え
られていれば、空気を捕らえてアクチュエータ１０６に
空気が入るのを防ぐことができる。また、多孔質部材２
１６はインクを保持するのでインク容器が揺れることに
より、インクがアクチュエータ１０６にかかってアクチ
ュエータ１０６がインク無しをインク有りと誤検出する
のを防ぐことができる。多孔質部材２１６は最も容量が
小さい収容室２１３に設置することが好ましい。また、
アクチュエータ１０６を収容質２１３ｂの上面１９４ｃ
に設けることにより、インクニアエンドが検出されてか
ら完全にインクエンド状態になるまでのインク量に補正
をかけ、最後までインクを消費することができる。更
に、収容室２１３ｂの容量を隔壁２１２の長さや間隔を
変えたりすることなどによって調節することにより、イ
ンクニアエンド検出後の消費可能インク量を変えること
ができる。FIG. 26 (C) shows the porous member 21 in the storage chamber 213b of the ink cartridge 180I shown in FIG. 26 (B).
6 are filled. The porous member 216 is provided in the accommodation room 21.
3b is installed so as to fill the entire space from the upper surface to the lower surface. The porous member 216 contacts the actuator 106. When the ink container falls down, or during reciprocation on the carriage, air enters the ink storage chamber 213b, which may cause the actuator 106 to malfunction. However, if the porous member 216 is provided, it is possible to catch air and prevent air from entering the actuator 106. In addition, the porous member 2
Since the ink container 16 holds the ink, the ink container shakes, so that it is possible to prevent the ink from being applied to the actuator 106 and the actuator 106 from erroneously detecting the absence of the ink as the presence of the ink. It is preferable that the porous member 216 be installed in the storage chamber 213 having the smallest capacity. Also,
The actuator 106 is mounted on the upper surface 194c of the housing material 213b.
, The amount of ink from the detection of the ink near end to the complete ink end state can be corrected, and the ink can be consumed to the end. Further, by adjusting the capacity of the storage chamber 213b by changing the length and interval of the partition 212, the amount of ink that can be consumed after the detection of the ink near end can be changed.

【０１４９】図２６（Ｄ）は、図２６（Ｃ）のインクカ
ートリッジ１８０Ｉの多孔質部材２１６が孔径の異なる
２種類の多孔質部材２１６Ａ及び２１６Ｂによって構成
されているインクカートリッジ１８０Ｊを示す。多孔質
部材２１６Ａは、多孔質部材２１６Ｂの上方に配置され
ている。上側の多孔質部材２１６Ａの孔径は、下側の多
孔質部材２１６Ｂの孔径より大きい。もしくは、多孔質
部材２１６Ａは、多孔質部材２１６Ｂよりも液体親和性
が低い部材で形成される。孔径の小さい多孔質部材２１
６Ｂの方が孔径の大きい多孔質部材２１６Ａより毛細管
力は大きいので、収容室２１３ｂ内のインクが下側の多
孔室部材２１６Ｂに集まり、保持される。したがって、
一度空気がアクチュエータ１０６まで到達してインク無
しを検出すると、インクが再度アクチュエータに到達し
てインク有りと検出することが無い。更に、アクチュエ
ータ１０６から遠い側の多孔質部材２１６Ｂにインクが
吸収されることで、アクチュエータ１０６近傍のインク
の捌けが良くなり、インク有無を検出するときの音響イ
ンピーダンス変化の変化量が大きくなる。また、アクチ
ュエータ１０６を収容質２１３ｂの上面１９４ｃに設け
ることにより、インクニアエンドが検出されてから完全
にインクエンド状態になるまでのインク量に補正をか
け、最後までインクを消費することができる。更に、収
容室２１３ｂの容量を隔壁２１２の長さや間隔を変えた
りすることなどによって調節することにより、インクニ
アエンド検出後の消費可能インク量を変えることができ
る。FIG. 26 (D) shows an ink cartridge 180J in which the porous member 216 of the ink cartridge 180I of FIG. 26 (C) is composed of two types of porous members 216A and 216B having different hole diameters. The porous member 216A is arranged above the porous member 216B. The pore size of the upper porous member 216A is larger than the pore size of the lower porous member 216B. Alternatively, the porous member 216A is formed of a member having a lower liquid affinity than the porous member 216B. Porous member 21 with small pore diameter
Since 6B has a larger capillary force than the porous member 216A having a larger pore diameter, the ink in the storage chamber 213b is collected and held in the lower porous chamber member 216B. Therefore,
Once the air reaches the actuator 106 and detects the absence of ink, the ink does not reach the actuator again to detect the presence of ink. Further, the ink is absorbed by the porous member 216B farther from the actuator 106, so that the ink in the vicinity of the actuator 106 is more easily separated, and the amount of change in the acoustic impedance change when detecting the presence or absence of the ink is increased. Further, by providing the actuator 106 on the upper surface 194c of the storage material 213b, the amount of ink from the detection of the ink near end to the complete ink end state can be corrected, and the ink can be consumed to the end. Further, by adjusting the capacity of the storage chamber 213b by changing the length and interval of the partition 212, the amount of ink that can be consumed after the detection of the ink near end can be changed.

【０１５０】図２７は、図２６（Ｃ）に示したインクカ
ートリッジ１８０Ｉの他の実施形態であるインクカート
リッジ１８０Ｋを示す断面図である。図２７に示すイン
クカートリッジ１８０の多孔質部材２１６は、多孔質部
材２１６の下部の水平方向の断面積が、インク容器１９
４の底面の方向にむけて徐々に小さくなるように圧縮さ
れ、孔径が小さくなるよう設計されている。図２７
（Ａ）のインクカートリッジ１８０Ｋは、多孔質部材２
１６の下の方の孔径が小さくなるように圧縮するために
側壁にリブが設けられている。多孔質部材２１６下部の
孔径は圧縮されることにより、小さくなっているので、
インクは多孔質部材２１６下部へと集められ、保持され
る。アクチュエータ１０６から遠い側の多孔質部材２１
６下部にインクが吸収されることで、アクチュエータ１
０６近傍のインクの捌けが良くなり、インク有無を検出
するときの音響インピーダンス変化の変化量が大きくな
る。したがって、インクが揺れることによってインクカ
ートリッジ１８０Ｋ上面に装着されたアクチュエータ１
０６にインクがかかっていしまい、アクチュエータ１０
６が、インク無しをインク有りと誤検出することを防止
することができる。FIG. 27 is a sectional view showing an ink cartridge 180K as another embodiment of the ink cartridge 180I shown in FIG. 26C. The porous member 216 of the ink cartridge 180 shown in FIG. 27 has a horizontal cross-sectional area below the porous member 216 in the ink container 19.
4 is designed so that it is compressed so as to gradually decrease toward the bottom surface, and the hole diameter is reduced. FIG.
The ink cartridge 180K shown in FIG.
Ribs are provided on the side wall to compress the lower hole diameter of the lower part 16. Since the pore diameter at the bottom of the porous member 216 is reduced by being compressed,
The ink is collected and held at the lower part of the porous member 216. Porous member 21 farther from actuator 106
The ink is absorbed in the lower part of the actuator 6 so that the actuator 1
Ink around 06 becomes better and the amount of change in acoustic impedance when detecting the presence or absence of ink becomes larger. Therefore, the actuator 1 mounted on the upper surface of the ink cartridge 180K due to the ink swaying.
06 is covered with ink and the actuator 10
6 can be prevented from erroneously detecting the absence of ink as the presence of ink.

【０１５１】一方、図２７（Ｂ）及び図２７（Ｃ）のイ
ンクカートリッジ１８０Ｌは、多孔質部材２１６の下部
の水平方向の断面積が、インク容器１９４の幅方向にお
いて、インク容器１９４の底面にむけて徐々に小さくな
るよう圧縮するために、収容室の水平方向の断面積がイ
ンク容器１９４の底面の方向にむけて徐々に小さくなっ
ている。多孔質部材２１６下部の孔径は圧縮されること
により、小さくなっているので、インクは多孔質部材２
１６の下部へと集められ、保持される。アクチュエータ
１０６から遠い側の多孔質部材２１６Ｂの下部にインク
が吸収されることで、アクチュエータ１０６近傍のイン
クの捌けが良くなり、インク有無を検出するときの音響
インピーダンス変化の変化量が大きくなる。したがっ
て、インクが揺れることによって、インクカートリッジ
１８０Ｌの上面に装着されたアクチュエータ１０６にイ
ンクがかかっていしまい、アクチュエータ１０６が、イ
ンク無しをインク有りと誤検出することを防止すること
ができる。On the other hand, in the ink cartridge 180L of FIGS. 27B and 27C, the horizontal cross-sectional area of the lower portion of the porous member 216 is smaller than the bottom surface of the ink container 194 in the width direction of the ink container 194. The horizontal cross-sectional area of the storage chamber is gradually reduced toward the bottom surface of the ink container 194 in order to compress the storage container so as to be gradually reduced. Since the pore diameter at the lower portion of the porous member 216 is reduced by being compressed, the ink is
16 are collected and held at the bottom. Since the ink is absorbed in the lower portion of the porous member 216B farther from the actuator 106, the ink in the vicinity of the actuator 106 is more easily separated, and the amount of change in the acoustic impedance change when detecting the presence or absence of the ink is increased. Therefore, it is possible to prevent the actuator 106 mounted on the upper surface of the ink cartridge 180L from being spilled with ink due to the shaking of the ink, and the actuator 106 from erroneously detecting absence of ink as presence of ink.

【０１５２】図２８は、アクチュエータ１０６を用いた
インクカートリッジの更に他の実施形態を示す。図２８
（Ａ）のインクカートリッジ２２０Ａは、インクカート
リッジ２２０Ａの上面から下方へと延びるように設けら
れた第１の隔壁２２２を有する。第１の隔壁２２２の下
端とインクカートリッジ２２０Ａの底面との間には所定
の間隔が空けられているので、インクは、インクカート
リッジ２２０Ａの底面を通じてインク供給口２３０へ流
入できる。第１の隔壁２２２よりインク供給口２３０側
には、インクカートリッジ２２０Ａの底面より上方に延
びるように第２の隔壁２２４が、形成されている。第２
の隔壁２２４の上端とインクカートリッジ２２０Ａ上面
との間には所定の間隔が空けられているので、インク
は、インクカートリッジ２２０Ａの上面を通じてインク
供給口２３０へ流入できる。FIG. 28 shows still another embodiment of the ink cartridge using the actuator 106. FIG.
The ink cartridge 220A of (A) has a first partition 222 provided so as to extend downward from the upper surface of the ink cartridge 220A. Since a predetermined space is provided between the lower end of the first partition wall 222 and the bottom surface of the ink cartridge 220A, ink can flow into the ink supply port 230 through the bottom surface of the ink cartridge 220A. On the ink supply port 230 side from the first partition 222, a second partition 224 is formed so as to extend above the bottom surface of the ink cartridge 220A. Second
A predetermined distance is provided between the upper end of the partition 224 and the upper surface of the ink cartridge 220A, so that the ink can flow into the ink supply port 230 through the upper surface of the ink cartridge 220A.

【０１５３】第１の隔壁２２２によって、インク供給口
２３０から見て、第１の隔壁２２２の奥の方に第１の収
容室２２５ａが形成される。一方、第２の隔壁２２４に
よって、インク供給口２３０から見て第２の隔壁２２４
の手前側に第２の収容室２２５ｂが形成される。第１の
収容室２２５ａの容量は、第２の収容室２２５ｂの容量
より大きい。第１の隔壁２２２及び第２の隔壁２２４の
間に、毛管現象を起こせるだけの間隔が空けられること
により、毛管路２２７が形成される。したがって、第１
の収容室２２５ａのインクは、毛管路２２７の毛細管力
により、毛管路２２７に集められる。そのため、気体や
気泡が第２の収容室２２５ｂへ混入するのを防止するこ
とができる。また、第２の収容室２２５ｂ内のインクの
水位は、安定的に徐々に下降できる。インク供給口２３
０から見て、第１の収容室２２５ａは、第２の収容室２
２５ｂより奥に形成されているので、第１の収容室２２
５ａのインクが消費された後、第２の収容室２２５ｂの
インクが消費される。The first partition 222 forms a first storage chamber 225 a at the back of the first partition 222 when viewed from the ink supply port 230. On the other hand, the second partition 224 is viewed from the ink supply port 230 by the second partition 224.
A second storage chamber 225b is formed in front of the second storage chamber 225b. The capacity of the first storage chamber 225a is larger than the capacity of the second storage chamber 225b. Capillary paths 227 are formed between the first partition wall 222 and the second partition wall 224 by providing an interval sufficient to cause capillary action. Therefore, the first
Is collected in the capillary channel 227 by the capillary force of the capillary channel 227. Therefore, it is possible to prevent gas and bubbles from entering the second storage chamber 225b. Further, the water level of the ink in the second storage chamber 225b can be stably gradually lowered. Ink supply port 23
0, the first accommodation room 225a is the second accommodation room 2
25b, the first storage chamber 22
After the ink in 5a is consumed, the ink in the second storage chamber 225b is consumed.

【０１５４】インクカートリッジ２２０Ａのインク供給
口２３０側の側壁、すなわち第２の収容室２２５ｂのイ
ンク供給口２３０側の側壁には、アクチュエータ１０６
が装着されている。アクチュエータ１０６は、第２の収
容室２２５ｂ内のインクの消費状態を検知する。アクチ
ュエータ１０６を、第２の収容室２２５ｂの側壁に装着
することによって、インクエンドにより近い時点でのイ
ンク残量を安定的に検出することができる。更に、アク
チュエータ１０６を第２の収容室２２５ｂの側壁に装着
する高さを変えることにより、どの時点でのインク残量
をインクエンドにするかを、自由に設定することができ
る。毛管路２２７によって第１の収容室２２５ａから第
２の収容室２２５ｂへインクが供給されることにより、
アクチュエータ１０６は、インクカートリッジ２２０Ａ
の横揺れによるインクの横揺れの影響を受けないので、
アクチュエータ１０６は、インク残量を確実に測定でき
る。更に、毛管路２２７が、インクを保持するので、イ
ンクが第２の収容室２２５ｂから第１の収容室２２５ａ
へ逆流するのを防ぐ。The side wall of the ink cartridge 220A on the ink supply port 230 side, that is, the side wall of the second storage chamber 225b on the ink supply port 230 side is provided.
Is installed. The actuator 106 detects a state of ink consumption in the second storage chamber 225b. By mounting the actuator 106 on the side wall of the second storage chamber 225b, it is possible to stably detect the remaining amount of ink at a point closer to the ink end. Further, by changing the height at which the actuator 106 is mounted on the side wall of the second storage chamber 225b, it is possible to freely set the time when the remaining amount of the ink reaches the ink end. By supplying ink from the first storage chamber 225a to the second storage chamber 225b by the capillary channel 227,
The actuator 106 includes an ink cartridge 220A
Because the ink is not affected by the roll of the ink,
The actuator 106 can reliably measure the remaining amount of ink. Further, since the capillary channel 227 holds the ink, the ink flows from the second storage chamber 225b to the first storage chamber 225a.
Prevent backflow to

【０１５５】インクカートリッジ２２０Ａの上面には、
逆止弁２２８が設けられている。逆止弁２２８によっ
て、インクカートリッジ２２０Ａが横揺れしたときに、
インクがインクカートリッジ２２０Ａ外部に漏れるのを
防ぐことができる。更に、逆止弁２２８をインクカート
リッジ２２０Ａの上面に設置することで、インクのイン
クカートリッジ２２０Ａからの蒸発を防ぐことができ
る。インクカートリッジ２２０Ａ内のインクが消費され
て、インクカートリッジ２２０Ａ内の負圧が逆止弁２２
８の圧力を越えると、逆止弁２２８が開いて、インクカ
ートリッジ２２０Ａに空気を吸入し、その後閉じてイン
クカートリッジ２２０Ａ内の圧力を一定に保持する。On the upper surface of the ink cartridge 220A,
A check valve 228 is provided. When the ink cartridge 220A rolls by the check valve 228,
Ink can be prevented from leaking out of the ink cartridge 220A. Further, by installing the check valve 228 on the upper surface of the ink cartridge 220A, evaporation of ink from the ink cartridge 220A can be prevented. The ink in the ink cartridge 220A is consumed, and the negative pressure in the ink cartridge 220A is reduced by the check valve 22.
When the pressure exceeds 8, the check valve 228 opens to draw air into the ink cartridge 220A, and then closes to keep the pressure inside the ink cartridge 220A constant.

【０１５６】図２８（Ｃ）及び（Ｄ）は、逆止弁２２８
の詳細の断面を示す。図２８（Ｃ）の逆止弁２２８は、
ゴムにより形成された羽根２３２ａを有する弁２３２を
有する。インクカートリッジ２２０の外部との通気孔２
３３が、羽根２３２ａに対向してインクカートリッジ２
２０に設けられる。羽根２３２ａによって、通気孔２３
３が、開閉される。逆止弁２２８は、インクカートリッ
ジ２２０内のインクが減少し、インクカートリッジ２２
０内の負圧が逆止弁２２８の圧力を越えると、羽根２３
２ａが、インクカートリッジ２２０の内側に開き、外部
の空気をインクカートリッジ２２０内に取り入れる。図
２８（Ｄ）の逆止弁２２８は、ゴムにより形成された弁
２３２とバネ２３５とを有する。逆止弁２２８は、イン
クカートリッジ２２０内の負圧が逆止弁２２８の圧力を
越えると、弁２３２が、バネ２３５を押圧して開き、外
部の空気をインクカートリッジ２２０内に吸入し、その
後閉じてインクカートリッジ２２０内の負圧を一定に保
持する。FIGS. 28C and 28D show the check valve 228.
3 shows a cross section of the detail. The check valve 228 in FIG.
It has a valve 232 having vanes 232a formed of rubber. Vent hole 2 with the outside of ink cartridge 220
The ink cartridge 2 faces the blade 232a.
20. The blades 232a allow the ventilation holes 23
3 are opened and closed. The check valve 228 serves to reduce the amount of ink in the ink cartridge 220 and
When the negative pressure within zero exceeds the pressure of the check valve 228, the blade 23
2a opens inside the ink cartridge 220 and takes in external air into the ink cartridge 220. The check valve 228 in FIG. 28D has a valve 232 and a spring 235 formed of rubber. When the negative pressure in the ink cartridge 220 exceeds the pressure of the check valve 228, the check valve 228 opens by pressing the spring 235, sucks external air into the ink cartridge 220, and then closes. Thus, the negative pressure in the ink cartridge 220 is kept constant.

【０１５７】図２８（Ｂ）のインクカートリッジ２２０
Ｂは、図２８（Ａ）のインクカートリッジ２２０Ａにお
いて逆止弁２２８を設ける代わりに第１の収容室２２５
ａに多孔質部材２４２を配置している。多孔質部材２４
２は、インクカートリッジ２２０Ｂ内のインクを保持す
ると共に、インクカートリッジ２２０Ｂが横揺れしたと
きに、インクがインクカートリッジ２２０Ｂの外部へ漏
れるのを防ぐ。The ink cartridge 220 shown in FIG.
B shows the first storage chamber 225 instead of providing the check valve 228 in the ink cartridge 220A of FIG.
The porous member 242 is arranged at a. Porous member 24
2 holds the ink in the ink cartridge 220B and prevents the ink from leaking out of the ink cartridge 220B when the ink cartridge 220B sways.

【０１５８】以上、キャリッジに装着される、キャリッ
ジと別体のインクカートリッジにおいて、インクカート
リッジ又はキャリッジにアクチュエータ１０６を装着す
る場合について述べたが、キャリッジと一体化され、キ
ャリッジと共に、インクジェット記録装置に装着される
インクタンクにアクチュエータ１０６を装着してもよ
い。更に、キャリッジと別体の、チューブ等を介して、
キャリッジにインクを供給するオフキャリッジ方式のイ
ンクタンクにアクチュエータ１０６を装着してもよい。
またさらに、記録ヘッドとインク容器とが一体となって
交換可能に構成されたインクカートリッジに、本発明の
アクチュエータを装着してもよい。As described above, the case where the actuator 106 is mounted on the ink cartridge or the carriage in the ink cartridge separate from the carriage, which is mounted on the carriage, has been described. The actuator 106 may be mounted on the ink tank to be used. Furthermore, through a tube or the like separate from the carriage,
The actuator 106 may be mounted on an off-carriage type ink tank that supplies ink to the carriage.
Further, the actuator of the present invention may be mounted on an ink cartridge in which the recording head and the ink container are integrally exchangeable.

【０１５９】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を
加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、
特許請求の範囲の記載から明らかである。As described above, the present invention has been described using the embodiments. However, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. Various changes or improvements can be added to the above embodiment. It should be noted that such modified or improved embodiments may be included in the technical scope of the present invention.
It is clear from the description of the claims.

【０１６０】[0160]

【発明の効果】本発明の圧電装置、モジュール体、液体
容器、及びインクカートリッジは、液体の残量を正確に
検出でき、かつ複雑なシール構造が不要である。更に、
本発明の圧電装置、モジュール体、液体容器、及びイン
クカートリッジは、安価に製造でき、液体容器への実装
性もよい。The piezoelectric device, module, liquid container, and ink cartridge of the present invention can accurately detect the remaining amount of liquid and do not require a complicated sealing structure. Furthermore,
The piezoelectric device, the module, the liquid container, and the ink cartridge of the present invention can be manufactured at low cost and have good mountability to the liquid container.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】アクチュエータ１０６の詳細を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing details of an actuator 106. FIG.

【図２】アクチュエータ１０６の周辺およびその等価回
路を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the periphery of an actuator 106 and its equivalent circuit.

【図３】インクの密度とアクチュエータ１０６によって
検出されるインクの共振周波数との関係を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between ink density and a resonance frequency of ink detected by an actuator 106.

【図４】アクチュエータ１０６の逆起電力波形を示す図
である。FIG. 4 is a diagram showing a back electromotive force waveform of the actuator 106.

【図５】アクチュエータ１０６の他の実施形態を示す図
である。FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the actuator 106.

【図６】図５に示したアクチュエータ１０６の一部分の
断面を示す図である。FIG. 6 is a view showing a cross section of a part of the actuator 106 shown in FIG. 5;

【図７】図６に示したアクチュエータ１０６の全体の断
面を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a cross section of the entire actuator 106 shown in FIG. 6;

【図８】図５に示したアクチュエータ１０６の製造方法
を示す図である。8 is a diagram illustrating a method of manufacturing the actuator 106 illustrated in FIG.

【図９】本発明のインクカートリッジの更に他の実施形
態を示す図である。FIG. 9 is a view showing still another embodiment of the ink cartridge of the present invention.

【図１０】貫通孔１ｃの他の実施形態を示す図である。FIG. 10 is a view showing another embodiment of the through hole 1c.

【図１１】アクチュエータ６６０の他の実施形態を示す
図である。FIG. 11 is a view showing another embodiment of an actuator 660.

【図１２】アクチュエータ６７０の更に他の実施形態を
示す図である。FIG. 12 is a view showing still another embodiment of an actuator 670.

【図１３】モジュール体１００を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing the module body 100.

【図１４】図１３に示したモジュール体１００の構成を
示す分解図である。FIG. 14 is an exploded view showing the configuration of the module 100 shown in FIG.

【図１５】モジュール体１００の他の実施形態を示す図
である。FIG. 15 is a view showing another embodiment of the module body 100.

【図１６】図１５に示したモジュール体１００の構成を
示す分解図である。FIG. 16 is an exploded view showing the configuration of the module 100 shown in FIG.

【図１７】モジュール体１００の更に他の実施形態を示
す図である。FIG. 17 is a view showing still another embodiment of the module body 100.

【図１８】図１３に示したモジュール体１００をインク
容器１に装着した断面の例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing an example of a cross section in which the module body 100 shown in FIG.

【図１９】モジュール体１００の更に他の実施形態を示
す図である。FIG. 19 is a view showing still another embodiment of the module body 100.

【図２０】モジュール体１００の更に他の実施形態を示
す図である。FIG. 20 is a view showing still another embodiment of the module body 100.

【図２１】図１および図２に示したアクチュエータ１０
６を用いたインクカートリッジ及びインクジェット記録
装置の実施形態を示す図である。FIG. 21 is an actuator 10 shown in FIGS. 1 and 2
6 is a diagram showing an embodiment of an ink cartridge and an ink jet recording apparatus using No. 6; FIG.

【図２２】インクジェット記録装置の詳細を示す図であ
る。FIG. 22 is a diagram illustrating details of an inkjet recording apparatus.

【図２３】図２２に示したインクカートリッジ１８０の
他の実施形態を示す図である。FIG. 23 is a view showing another embodiment of the ink cartridge 180 shown in FIG.

【図２４】インクカートリッジ１８０の更に他の実施形
態を示す図である。FIG. 24 is a view showing still another embodiment of the ink cartridge 180.

【図２５】インクカートリッジ１８０の更に他の実施形
態を示す図である。FIG. 25 is a view showing still another embodiment of the ink cartridge 180.

【図２６】インクカートリッジ１８０の更に他の実施形
態を示す図である。FIG. 26 is a view showing still another embodiment of the ink cartridge 180.

【図２７】図２６（Ｃ）に示したインクカートリッジ１
８０の他の実施形態を示す図である。FIG. 27 is an ink cartridge 1 shown in FIG.
FIG. 28 illustrates another embodiment of the present invention.

【図２８】モジュール体１００を用いたインクカートリ
ッジの更に他の実施形態を示す図である。FIG. 28 is a view showing still another embodiment of an ink cartridge using the module body 100.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・容器 １ａ・・・底面 １ｂ・・・側壁 １ｃ、９４０ａ・・・貫通孔 １ｄ・・・側面 １ｅ、１ｆ・・・段差部 １ｇ、１ｈ・・・溝 ２・・・インク供給口 ６７・・・板材 ６８・・・フロート ７１・・・接着剤層 ７８、８０、１７８・・・基板 ７３、８２、圧電振動板 ７４、７５・・・インク吸収体 ７６・・・パッキン ７７・・・カシメ孔 ８１・・・凹部 １００、４００，５００、７００・・・モジュール体 １０１、４０１、５０１・・・液体容器取付部 １０２・・・基台 １０４、３６２・・・リードワイヤ １０５、４０５、５０５・・・圧電装置装着部 １０６、６５０、６６０、６７０・・・アクチュエータ １０８・・・フィルム １１０・・・プレート １１２、４１２、３７０・・・貫通孔 １１３・・・凹部 １１４・・・開口部 １１６・・・円柱部 １６０・・・圧電層 １６２・・・キャビティ １６４・・・上部電極 １６６・・・下部電極 １６８・・・上部電極端子 １７０・・・下部電極端子 １７２・・・補助電極 １７４・・・圧電素子 １７６・・・振動板 １８０・・・インクカートリッジ １８１・・・空気供給口 １８２・・・インク導入部 １８３・・・インク導入口 １８４・・・ホルダー １８５・・・空気導入口 １８６・・・ヘッドプレート １８７・・・インク供給口 １８８・・・ノズルプレート １９０・・・ノズル １９２・・・防波壁 １９４・・・インク容器 １９４ａ・・・底面 １９４ｂ・・・側壁 １９４ｃ・・・上面 ２１２・・・隔壁 ２１３、２１３ａ、２１３ｂ・・・収容室 ２１４・・・バッファ ２１６、２１６ａ、２１６ｂ・・・多孔質部材 ２２０・・・インクカートリッジ ２２２・・・第１の隔壁 ２２４・・・第２の隔壁 ２２５ａ・・・第１の収容室 ２２５ｂ・・・第２の収容室 ２２７・・・毛管路 ２２８・・・逆止弁 ２３０・・・インク供給口 ２３２・・・弁 ２３２ａ・・・羽根 ２３３・・・通気孔 ２３５・・・バネ ２４２・・・多孔質部材 ２５０・・・キャリッジ ２５２・・・記録ヘッド ２５４・・・インク供給針 ２５６・・・サブタンクユニット ２５８、２５８’・・・凸部 ２６０、２６０’・・・弾性波発生手段 ２６２・・・インク室 ２６６・・・膜弁 ２７０・・・弁体 ２７２・・・インクカートリッジ ２７４・・・容器 ２７４ａ・・・底面 ２７４ｂ・・・側面 ２７６・・・インク供給口 ２７８・・・凹部 ２８０、２８０’・・・ゲル化材 ２８２・・・パッキン ２８４・・・バネ ２８６・・・弁体 ２８８・・・半導体記憶手段 ２９０・・・容器 ２９０ａ・・・底面 ２９２、２９４、２９６・・・インク室 ２９８、３００、３０２・・・インク供給口 ３０４、３０６、３０８・・・ゲル化材 ３１０、３１２、３１４・・・凹部 ３１６・・・板材 ３１８・・・フロート ３５０・・・取付プレート ３６０・・・液体容器取付部 ３６４・・・モールド部 ３７２・・・シーリング構造 ４０２、５０２・・・基台 ４０３、５０３・・・円柱部 ４０４、５０４・・・リードワイヤ ４０８、５０８・・・フィルム ４１０、５１０・・・プレート ４１３、５１３・・・凹部 ４１４、５１４・・・開口部 ６００・・・モールド構造体 ６０６・・・アクチュエータ ６１０・・・回路基板 ６１２・・・端子 ９４０、９４１・・・グリーンシート ９４２、９４４・・・導電層 ９４４’・・・接続部 ９４７、９４８・・・スペーサ部材 Δｈ１、Δｈ２・・・液面の変化 Ｋ・・・インク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container 1a ... Bottom surface 1b ... Side wall 1c, 940a ... Through hole 1d ... Side surface 1e, 1f ... Step part 1g, 1h ... Groove 2 ... Ink supply port 67: Plate material 68: Float 71: Adhesive layer 78, 80, 178: Substrate 73, 82, Piezoelectric vibrating plate 74, 75: Ink absorber 76: Packing 77 ... · Caulking hole 81 ··· Depression 100, 400, 500, 700 ··· Module 101, 401, 501 ··· Liquid container mounting part 102 ··· Base 104, 362 ··· Lead wires 105 and 405 505: piezoelectric device mounting portion 106, 650, 660, 670: actuator 108: film 110: plate 112, 412, 370: through hole 113: concave portion 114 ... Opening 116: Column portion 160: Piezoelectric layer 162: Cavity 164: Upper electrode 166: Lower electrode 168: Upper electrode terminal 170: Lower electrode terminal 172: Auxiliary Electrode 174 ・ ・ ・ Piezoelectric element 176 ・ ・ ・ Vibration plate 180 ・ ・ ・ Ink cartridge 181 ・ ・ ・ Air supply port 182 ・ ・ ・ Ink introduction section 183 ・ ・ ・ Ink introduction port 184 ・ ・ ・ Holder 185 ・ ・ ・ Air Inlet 186 Head plate 187 Ink supply port 188 Nozzle plate 190 Nozzle 192 Wavebreak wall 194 Ink container 194a Bottom surface 194b Side wall 194c ... Upper surface 212 ... Partition walls 213, 213a, 213b ... Storage chamber 214 ... Buffers 216, 216a, 216b ... Porous member 220 ・ ・ ・ Ink cartridge 222 ・ ・ ・ First partition 224 ・ ・ ・ Second partition 225a ・ ・ ・ First storage chamber 225b ・ ・ ・ Second storage chamber 227 ・ ・ ・ Capillary channel 228 ... check valve 230 ... ink supply port 232 ... valve 232a ... blade 233 ... vent hole 235 ... spring 242 ... porous member 250 ... carriage 252 ... Recording head 254 ... Ink supply needle 256 ... Sub tank unit 258,258 '... Protrusion 260,260' ... Elastic wave generating means 262 ... Ink chamber 266 ... Membrane valve 270 ...・ Valve 272 ・ ・ ・ Ink cartridge 274 ・ ・ ・ Container 274a ・ ・ ・ Bottom 274b ・ ・ ・ Side 276 ・ ・ ・ Ink supply port 278 ・ ・ ・ Recess 280, 280 ′ ・ ・ ・ Gellation 282: packing 284: spring 286: valve element 288: semiconductor storage means 290: container 290a: bottom surface 292, 294, 296: ink chambers 298, 300, 302 ... -Ink supply ports 304, 306, 308-Gelling materials 310, 312, 314-Recesses 316-Plates 318-Float 350-Mounting plate 360-Liquid container mounting portion 364- ··· Mold part 372 ··· Sealing structure 402, 502 ··· Base 403, 503 ··· Cylindrical part 404, 504 ··· Lead wire 408, 508 ··· Film 410, 510 ··· Plate 413 513: recess 414, 514: opening 600: mold structure 606: actuator 610: circuit base 612 terminal 940, 941 green sheet 942, 944 conductive layer 944 'connection portion 947, 948 spacer member Δh1, Δh2 liquid level change K ink

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/18 １０１Ｄ (72)発明者 碓井 稔 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 EA29 EB20 EB38 EB45 EB51 FA10 KB05 KB08 KC02 KC11 KC13 KC22 KC27 KD06 2F014 AA01 AA07 AB01 AB02 AB03 CB01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 41/18 101D (72) Inventor Minoru Usui 3-5-3 Yamato, Suwa-shi, Nagano Pref. Seiko Epson Corporation F term (reference) 2C056 EA24 EA29 EB20 EB38 EB45 EB51 FA10 KB05 KB08 KC02 KC11 KC13 KC22 KC27 KD06 2F014 AA01 AA07 AB01 AB02 AB03 CB01

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 液体容器に装着され、該液体容器内の液
体の消費状態を検知する圧電装置であって、 前記圧電装置は、圧電体素子の変形によって振動が発生
する振動部を有し、 該振動部がその中心に対して対称な形状を有することを
特徴とする圧電装置。1. A piezoelectric device mounted on a liquid container and detecting a consumption state of a liquid in the liquid container, wherein the piezoelectric device has a vibrating portion that generates vibration by deformation of a piezoelectric element, A piezoelectric device, wherein the vibrating portion has a symmetrical shape with respect to the center. 【請求項２】 前記圧電装置の前記振動部が、ほぼ円形
の形状を有することを特徴とする請求項１に記載の圧電
装置。2. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the vibrating portion of the piezoelectric device has a substantially circular shape. 【請求項３】 前記圧電装置が、 圧電層、 該圧電層の上面に設けられた上部電極、 前記圧電層の下面に設けられた下部電極、及び上面が前
記下部電極と接し、下面の一部が前記液体容器内の前記
液体と接触する振動板を備え、 前記振動部は、前記圧電層、前記上部電極、前記下部電
極、及び前記振動板のそれぞれの少なくとも一部を含む
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電装置。3. The piezoelectric device, comprising: a piezoelectric layer; an upper electrode provided on an upper surface of the piezoelectric layer; a lower electrode provided on a lower surface of the piezoelectric layer; Comprises a vibrating plate that comes into contact with the liquid in the liquid container, wherein the vibrating part includes at least a part of each of the piezoelectric layer, the upper electrode, the lower electrode, and the vibrating plate. The piezoelectric device according to claim 1. 【請求項４】 前記圧電層、前記上部電極、及び前記下
部電極のそれぞれの主部が、前記振動部とほぼ同心円の
円形の形状であることを特徴とする請求項３に記載の圧
電装置。4. The piezoelectric device according to claim 3, wherein each of the main parts of the piezoelectric layer, the upper electrode, and the lower electrode has a circular shape that is substantially concentric with the vibrating part. 【請求項５】 前記圧電装置は、 上面が前記振動板の前記液体と接触する前記下面側と接
し、下面が前記液体容器内の前記液体と接触する基板を
更に備え、 前記基板が、前記振動部に面する位置に前記液体と接触
する空洞を有することを特徴とする請求項３に記載の圧
電装置。5. The piezoelectric device further includes a substrate having an upper surface in contact with the lower surface of the vibration plate in contact with the liquid, and a lower surface in contact with the liquid in the liquid container. The piezoelectric device according to claim 3, further comprising a cavity in contact with the liquid at a position facing the portion. 【請求項６】 前記空洞が、前記振動部とほぼ同心円の
円形状であることを特徴とする請求項５に記載の圧電装
置。6. The piezoelectric device according to claim 5, wherein the cavity has a circular shape substantially concentric with the vibrating portion. 【請求項７】 前記残留振動による前記振動板の変形
が、前記基板の変形よりも大きいことを特徴とする請求
項５に記載の圧電装置。7. The piezoelectric device according to claim 5, wherein the deformation of the diaphragm due to the residual vibration is larger than the deformation of the substrate. 【請求項８】 前記振動部の振動の節が、前記空洞の外
周部付近に位置することを特徴とする請求項５に記載の
圧電装置。8. The piezoelectric device according to claim 5, wherein a node of the vibration of the vibrating portion is located near an outer peripheral portion of the cavity. 【請求項９】 前記圧電装置は、 上面が前記振動板の前記液体と接触する前記下面側と接
し、下面が前記液体容器の内側を向く取付部材を更に備
え、 前記取付部材が、前記振動部の中心部に開口を有するこ
とを特徴とする請求項３に記載の圧電装置。9. The piezoelectric device further comprises: a mounting member having an upper surface in contact with the lower surface of the vibration plate in contact with the liquid, and a lower surface facing the inside of the liquid container. 4. The piezoelectric device according to claim 3, wherein the piezoelectric device has an opening at a center portion thereof. 【請求項１０】 前記圧電装置が、前記振動部近傍の音
響インピーダンスの変化を検知することにより前記液体
容器内の液体の消費状態を検知することを特徴とする請
求項１に記載の圧電装置。10. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric device detects a state of consumption of the liquid in the liquid container by detecting a change in acoustic impedance near the vibrating portion. 【請求項１１】 前記圧電装置が、前記振動部に残留す
る残留振動によって発生する逆起電力に基づいて前記音
響インピーダンスの変化を検知し、前記液体容器内の液
体の消費状態を検知することを特徴とする請求項１０に
記載の圧電装置。11. The method according to claim 11, wherein the piezoelectric device detects a change in the acoustic impedance based on a back electromotive force generated by residual vibration remaining in the vibrating portion, and detects a consumption state of the liquid in the liquid container. The piezoelectric device according to claim 10, wherein: 【請求項１２】 該振動部が、振動の共振モードにおい
て低次の共振モードに単一のピークが出現する振動を発
生すること特徴とする請求項１に記載の圧電装置。12. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the vibrating section generates a vibration in which a single peak appears in a low-order resonance mode in a vibration resonance mode. 【請求項１３】 請求項１乃至１２記載の圧電装置が装
着されたことを特徴とする液体容器。13. A liquid container to which the piezoelectric device according to claim 1 is mounted. 【請求項１４】 請求項１乃至１２記載の圧電装置と、 前記圧電装置を前記液体容器に取付けるための、前記圧
電装置と一体化された取付構造体とを備えたことを特徴
とするモジュール体。14. A module, comprising: the piezoelectric device according to claim 1; and a mounting structure integrated with the piezoelectric device for mounting the piezoelectric device to the liquid container. . 【請求項１５】 前記取付構造体が、前記液体容器の内
部へ張り出す張り出し部を含み、前記張り出し部の中心
線上に前記振動部の中心が配置されたことを特徴とする
請求項１４に記載のモジュール体。15. The mounting structure according to claim 14, wherein the mounting structure includes a projecting portion projecting into the inside of the liquid container, and a center of the vibrating portion is arranged on a center line of the projecting portion. Module body. 【請求項１６】 前記張り出し部が、円筒形であること
を特徴とする請求項１５に記載のモジュール体。16. The module according to claim 15, wherein the overhang is cylindrical. 【請求項１７】 前記圧電装置の前記上部電極及び前記
下部電極と電気的に接続する端子を更に備えたことを特
徴とする請求項１６に記載のモジュール体。17. The module according to claim 16, further comprising terminals electrically connected to the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric device. 【請求項１８】 請求項１４乃至１７に記載のモジュー
ル体が装着されたことを特徴とする液体容器。18. A liquid container to which the module according to claim 14 is mounted. 【請求項１９】 請求項１３または１８に記載の液体容
器にインクジェット記録装置に供給するインクを収容し
たことを特徴とするインクカートリッジ。19. An ink cartridge comprising the liquid container according to claim 13 and ink to be supplied to an ink jet recording apparatus.
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JP2000146984A Withdrawn JP2001146028A (en) 1999-05-20 2000-05-18 Liquid detecting device, liquid container and ink cartridge
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JP2007004637A Expired - Fee Related JP4161228B2 (en) 1999-05-20 2007-01-12 ink cartridge
JP2007101459A Expired - Fee Related JP4595956B2 (en) 1999-05-20 2007-04-09 Mounting module body for liquid detection, liquid container and ink cartridge
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Country Status (1)

Country Link
JP (21) JP2001146031A (en)

Cited By (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1281525A2 (en) * 2001-08-01 2003-02-05 Seiko Epson Corporation Piezo-electric device and ink cartridge having the same
US6675646B2 (en) 2001-03-28 2004-01-13 Seiko Epson Corporation Liquid-quantity monitoring apparatus and liquid-consuming apparatus with the same
WO2004070326A1 (en) * 2003-02-10 2004-08-19 Seiko Epson Corporation Liquid-detecting device and liquid container with the same
WO2006104266A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Seiko Epson Corporation Container having liquid detecting function, and sensor unit
WO2006104267A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Seiko Epson Corporation Liquid container and circuit board for liquid container
JP2006315302A (en) * 2005-05-12 2006-11-24 Seiko Epson Corp Container with liquid detection function
JP2007176131A (en) * 2005-12-28 2007-07-12 Seiko Epson Corp Container equipped with liquid detection function
JP2007218904A (en) * 2006-01-20 2007-08-30 Seiko Epson Corp Liquid detector
JP2007335878A (en) * 2007-06-27 2007-12-27 Seiko Epson Corp Piezoelectric device and ink cartridge provided with the same
JP2008024003A (en) * 2003-02-10 2008-02-07 Seiko Epson Corp Liquid detection device and liquid container having the device
WO2008018602A1 (en) 2006-08-11 2008-02-14 Seiko Epson Corporation Liquid filling method and liquid receiving container
CN100371690C (en) * 2003-02-10 2008-02-27 精工爱普生株式会社 Liquid-detecting device and liquid container with the same
US7424824B2 (en) 2004-11-15 2008-09-16 Seiko Epson Corporation Liquid sensing apparatus for a liquid container for supplying a liquid to a liquid consuming apparatus, and a liquid container in which the liquid sensing apparatus is built
EP1974925A2 (en) 2007-03-30 2008-10-01 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid container using the same, and method of producing liquid detection device
US7444864B2 (en) 2005-03-31 2008-11-04 Seiko Epson Corporation Liquid detecting device, liquid container and method of manufacturing liquid detecting device
US7461909B2 (en) 2004-12-13 2008-12-09 Seiko Epson Corporation Mounting structure of liquid sensor and liquid container
JP2009132085A (en) * 2007-11-30 2009-06-18 Seiko Epson Corp Liquid detecting apparatus, and liquid storing container using the same
US7578567B2 (en) 2004-12-13 2009-08-25 Seiko Epson Corporation Container having liquid detecting function
JP2009279886A (en) * 2008-05-26 2009-12-03 Seiko Epson Corp Liquid container and its manufacturing method
US7699453B2 (en) 2006-03-24 2010-04-20 Seiko Epson Corporation Liquid storage container
US7758138B2 (en) 2007-10-01 2010-07-20 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus and control method configured to reduce effects of electrical fluctuations
US7798620B2 (en) 2000-06-15 2010-09-21 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing a liquid container
EP2237161A1 (en) 2009-04-01 2010-10-06 Seiko Epson Corporation Memory device, circuit board, liquid receptacle, method of accepting from a host circuit data for writing to a data memory section, and system including a memory device electrically connectable to a host circuit
US7854495B2 (en) 2006-08-11 2010-12-21 Seiko Epson Corporation Liquid storage tank
US7942510B2 (en) 2006-08-11 2011-05-17 Seiko Epson Corporation Liquid injecting method and liquid container
US7971945B2 (en) 2000-05-18 2011-07-05 Seiko Epson Corporation Ink consumption detecting method, and ink jet recording apparatus
US7971976B2 (en) 2006-03-24 2011-07-05 Seiko Epson Corporation Liquid storage container
CN101531094B (en) * 2008-03-12 2011-07-06 精工爱普生株式会社 Liquid sensing device and liquid container including the same
US8029120B2 (en) 2007-10-16 2011-10-04 Seiko Epson Corporation Liquid container and method of manufacturing the same
US8033629B2 (en) 2007-10-01 2011-10-11 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus and control method for the same
US8052266B2 (en) 2007-04-23 2011-11-08 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid ejecting apparatus, and method of detecting liquid
US8061800B2 (en) 2007-10-16 2011-11-22 Seiko Epson Corporation Liquid detector and liquid container having the same
US8066343B2 (en) 2007-04-23 2011-11-29 Seiko Epson Corporation Liquid detecting apparatus and liquid ejecting apparatus
EP2390098A1 (en) 2010-05-25 2011-11-30 Seiko Epson Corporation Storage device, board, liquid container, method of receiving data which are to be written in data storage unit from host circuit, and system including storage device which is electrically connectable to host circuit
US8177331B2 (en) 2008-02-21 2012-05-15 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus, liquid container, and method of controlling multiple liquid containers
US8215734B2 (en) 2009-04-01 2012-07-10 Seiko Epson Corporation Liquid consuming system, liquid consuming apparatus, liquid supply unit, and method of supervising a remaining amount of liquid contained in a liquid supply unit
US8230163B2 (en) 2009-04-01 2012-07-24 Seiko Epson Corporation Memory device, host circuit, circuit board, liquid receptacle, method of transmitting data stored in a nonvolatile data memory section to a host circuit, and system including a host circuit and a memory device detachably attachable to the host circuit
US8289788B2 (en) 2009-04-01 2012-10-16 Seiko Epson Corporation System having a plurality of memory devices and data transfer method for the same
US8627190B2 (en) 2009-04-01 2014-01-07 Seiko Epson Corporation Memory device, circuit board, liquid receptacle, method of controlling a nonvolatile data memory section, and system including a memory device detachably connectable to a host circuit
US8782326B2 (en) 2009-04-01 2014-07-15 Seiko Epson Corporation Memory device and system including a memory device electronically connectable to a host circuit
US10386222B2 (en) 2016-11-14 2019-08-20 Seiko Epson Corporation Liquid detecting apparatus and liquid container

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7744202B2 (en) * 2002-01-30 2010-06-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printing-fluid container
JP2004050824A (en) 2002-05-29 2004-02-19 Seiko Epson Corp Ink jet printer, residual ink quantity detection device and method, and ink cartridge
SG147311A1 (en) 2002-07-18 2008-11-28 Seiko Epson Corp Cartridge and printing apparatus
EP1389531B1 (en) 2002-08-12 2007-07-18 Seiko Epson Corporation Container for printing material, technique of detecting information on printing material in container, and technique of allowing for transmission of information between container and printing device
JP4539054B2 (en) * 2002-08-12 2010-09-08 セイコーエプソン株式会社 Storage container for printing material and detection device therefor
US7201463B2 (en) 2002-08-12 2007-04-10 Seiko Epson Corporation Container for printing material and detector used for container
JP4373694B2 (en) 2002-08-22 2009-11-25 セイコーエプソン株式会社 Container for printing materials
JP4175065B2 (en) 2002-09-24 2008-11-05 セイコーエプソン株式会社 Cartridge, printing apparatus, and method for exchanging information with cartridge
US7195330B2 (en) 2002-09-25 2007-03-27 Seiko Epson Corporation Liquid container for a liquid ejection device with a vibration sensor for ink level detection
JP2004142379A (en) 2002-10-28 2004-05-20 Seiko Epson Corp Printer
JP3945411B2 (en) * 2003-02-07 2007-07-18 セイコーエプソン株式会社 Consumable containers that can measure the remaining amount of consumables
JP3945420B2 (en) 2003-02-26 2007-07-18 セイコーエプソン株式会社 Consumable containers that can measure the remaining amount of consumables
JP2004359274A (en) * 2003-06-03 2004-12-24 Sunpot Co Ltd Liquid tank
JPWO2005000591A1 (en) 2003-06-26 2006-08-03 セイコーエプソン株式会社 Consumable containers that can measure the remaining amount of consumables
JP4588796B2 (en) * 2003-11-14 2010-12-01 株式会社リコー Abnormality determination method, and abnormality determination device and image forming apparatus using the same.
KR20070112424A (en) 2004-04-19 2007-11-23 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Liquid container
WO2006004198A2 (en) * 2004-07-01 2006-01-12 Seiko Epson Corporation Liquid sensor and liquid container including the sensor
JP2006029918A (en) * 2004-07-14 2006-02-02 Seiko Epson Corp Liquid detecting method and system
US7322667B2 (en) 2004-07-14 2008-01-29 Seiko Epson Corporation Liquid detecting method and liquid detecting system
KR100867036B1 (en) * 2004-09-01 2008-11-04 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Printing material housing device
WO2006025575A1 (en) * 2004-09-01 2006-03-09 Seiko Epson Corporation Printer
US7459515B2 (en) * 2004-09-15 2008-12-02 Ppg Industries Ohio, Inc. Fast-curing modified siloxane compositions
JP2006142515A (en) 2004-11-16 2006-06-08 Seiko Epson Corp Method for detecting quantity of liquid, printer and print system
JP4788192B2 (en) * 2005-05-12 2011-10-05 セイコーエプソン株式会社 Container with liquid detection function
JP4655617B2 (en) * 2004-12-13 2011-03-23 セイコーエプソン株式会社 Mounting structure of liquid detection device and liquid container
JP4650008B2 (en) * 2005-02-01 2011-03-16 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
JP4710582B2 (en) * 2005-12-12 2011-06-29 セイコーエプソン株式会社 ink cartridge
JP4710581B2 (en) * 2005-12-12 2011-06-29 セイコーエプソン株式会社 ink cartridge
JP4710584B2 (en) * 2005-12-12 2011-06-29 セイコーエプソン株式会社 ink cartridge
JP4710583B2 (en) * 2005-12-12 2011-06-29 セイコーエプソン株式会社 ink cartridge
JP4613667B2 (en) * 2005-03-31 2011-01-19 セイコーエプソン株式会社 Liquid detection device, liquid container, and manufacturing method of liquid detection device
CN1915674A (en) 2005-08-16 2007-02-21 精工爱普生株式会社 Liquid container and liquid ejection device
JP4899452B2 (en) * 2005-12-07 2012-03-21 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
JP4677885B2 (en) * 2005-11-18 2011-04-27 セイコーエプソン株式会社 Liquid detection device and liquid storage container including the same
JP4677886B2 (en) * 2005-11-18 2011-04-27 セイコーエプソン株式会社 Liquid detection device and liquid storage container including the same
JP4677906B2 (en) * 2006-01-16 2011-04-27 セイコーエプソン株式会社 Liquid remaining amount detection device of liquid storage container, liquid storage container, and liquid consumption device
JP4793163B2 (en) 2005-11-30 2011-10-12 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
JP4144637B2 (en) 2005-12-26 2008-09-03 セイコーエプソン株式会社 Printing material container, substrate, printing apparatus, and method for preparing printing material container
JP4371175B2 (en) 2006-03-24 2009-11-25 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
JP2008037097A (en) * 2006-07-10 2008-02-21 Seiko Epson Corp Liquid-supplying system and liquid-consuming apparatus
US7990679B2 (en) * 2006-07-14 2011-08-02 Dais Analytic Corporation Nanoparticle ultracapacitor
JP4400647B2 (en) * 2006-07-28 2010-01-20 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
WO2008018176A1 (en) * 2006-08-08 2008-02-14 Seiko Epson Corporation Liquid container and liquid consuming device
GB2440834B (en) 2006-08-11 2009-04-15 Seiko Epson Corp Liquid injecting method and liquid container
JP4321565B2 (en) 2006-08-12 2009-08-26 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
EP1931089B1 (en) 2006-12-04 2014-05-07 NTT DoCoMo, Inc. Radio communication apparatus and radio communication method
JP2009012483A (en) * 2008-10-08 2009-01-22 Seiko Epson Corp Ink for ink-jet recording
JP5417918B2 (en) * 2009-03-17 2014-02-19 セイコーエプソン株式会社 Functional liquid replacement method for liquid droplet ejection device and liquid droplet ejection device
JP5461337B2 (en) * 2010-07-29 2014-04-02 理想科学工業株式会社 Inkjet printer and ink circulation method thereof
EP2436526B1 (en) 2010-09-30 2014-03-05 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Recording apparatus capable of detecting residual amount of ink in ink cartridge
JP5842516B2 (en) 2010-09-30 2016-01-13 ブラザー工業株式会社 Ink cartridge and recording apparatus
CN102442074B (en) 2010-09-30 2014-09-10 兄弟工业株式会社 Ink cartridge and recording apparatus using the same
JP6168724B2 (en) * 2012-02-14 2017-07-26 株式会社ミマキエンジニアリング Ink storage device
US8646860B1 (en) * 2012-07-23 2014-02-11 Xerox Corporation Piezoelectric sensor arrangement for sensing fluid level in small volume and irregular shape reservoirs
JP2014145715A (en) * 2013-01-30 2014-08-14 Yazaki Corp Liquid level detection device and liquid level detection system including the same
US9897347B2 (en) * 2013-03-15 2018-02-20 Thomas Scott Breidenbach Screw-in geothermal heat exchanger systems and methods
US10151618B2 (en) 2014-01-24 2018-12-11 Versum Materials Us, Llc Ultrasonic liquid level sensing systems
JP6372234B2 (en) * 2014-08-11 2018-08-15 セイコーエプソン株式会社 Liquid container
JP6528564B2 (en) * 2014-08-29 2019-06-12 セイコーエプソン株式会社 Liquid supply unit
JP6508569B2 (en) * 2015-03-31 2019-05-08 ブラザー工業株式会社 Inkjet printer
JP6157658B2 (en) * 2015-05-13 2017-07-05 キヤノン株式会社 Liquid storage container and recording apparatus for mounting liquid storage container
CN107914471B (en) 2015-05-13 2019-09-20 佳能株式会社 Liquid container and the recording device for being equipped with liquid container
CN107848309B (en) * 2015-07-31 2020-05-19 科迪华公司 Ink delivery system and method
JP6759624B2 (en) * 2016-02-25 2020-09-23 セイコーエプソン株式会社 Detachable body for printing equipment
JP6666791B2 (en) * 2016-05-19 2020-03-18 ヤマハ発動機株式会社 Coating agent remaining amount check device, coating device, coating agent remaining amount checking method
KR102614074B1 (en) * 2016-12-05 2023-12-14 주식회사 탑 엔지니어링 Inkjet type liquid dispensing module
JP6922216B2 (en) * 2016-12-28 2021-08-18 ブラザー工業株式会社 Image recording device
JP6919230B2 (en) 2017-02-28 2021-08-18 ブラザー工業株式会社 Image recording device
JP6922258B2 (en) * 2017-03-02 2021-08-18 セイコーエプソン株式会社 Ink replenishment container and ink replenishment system
JP6950228B2 (en) * 2017-03-27 2021-10-13 ブラザー工業株式会社 Liquid cartridges and systems
US10493765B2 (en) 2017-03-27 2019-12-03 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid cartridge capable of reducing leakage of liquid from liquid storage chamber
JP6681031B2 (en) * 2017-05-23 2020-04-15 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 Image forming apparatus and image forming system
TWI614192B (en) * 2017-06-16 2018-02-11 瀚宇彩晶股份有限公司 Liquid containing barrel
CN107284022A (en) * 2017-07-18 2017-10-24 浙江乐佳机电有限公司 One kind is applied on embroidery machine and the accurate adjustable Spraying-drawing apparatus of nozzle angle
EP3626622B1 (en) 2018-09-21 2021-08-18 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Liquid container, and electrostatic atomizing apparatus with liquid container
KR20200117199A (en) * 2019-04-03 2020-10-14 캡시스템(주) Chemical supply system for inkjet printer used in manufacturing display
CN109955598A (en) * 2019-04-26 2019-07-02 南安富诚阁工业设计有限公司 A kind of printing consumables print cartridge with surplus display function and anti-ink residue

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5639413A (en) * 1979-09-10 1981-04-15 Ricoh Co Ltd Ink detector for ink jet recorder
JPS5947829U (en) * 1982-09-24 1984-03-30 富士電気化学株式会社 Liquid level sensor case
JPS59187227A (en) * 1984-03-13 1984-10-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Level detector
JP2594912B2 (en) * 1986-02-12 1997-03-26 キヤノン株式会社 Ink cartridge and recording device
JPH0789075B2 (en) * 1987-02-10 1995-09-27 松下電器産業株式会社 Piezoelectric water level detector
JP2933347B2 (en) * 1989-03-20 1999-08-09 ヒューレット・パッカード・カンパニー Inkjet print head
JPH03169642A (en) * 1989-11-30 1991-07-23 Canon Inc Inkjet recording apparatus
JPH04187448A (en) * 1990-11-21 1992-07-06 Seiko Epson Corp Ink cartridge
JP3165802B2 (en) * 1991-01-18 2001-05-14 キヤノン株式会社 Ink jet recording device
JPH0538814A (en) * 1991-01-19 1993-02-19 Canon Inc Recording head unit, recording head cartridge, recording device mountable with them and manufacture of recording head
JPH0557628U (en) * 1991-12-27 1993-07-30 エヌオーケー株式会社 Liquid level sensor
JPH06155758A (en) * 1992-11-25 1994-06-03 Seiko Epson Corp Ink jet recording apparatus
JP3213431B2 (en) * 1993-04-12 2001-10-02 キヤノン株式会社 Ink jet recording apparatus and ink remaining amount detecting method
JPH07137276A (en) * 1993-06-29 1995-05-30 Canon Inc Ink jet recorder
JPH07171955A (en) * 1993-12-17 1995-07-11 Canon Inc Ink jet recording head and apparatus
JP3340261B2 (en) * 1994-10-07 2002-11-05 能美防災株式会社 Fire detector
JPH08197743A (en) * 1995-01-27 1996-08-06 Fujitsu Ltd Ink cartridge
JPH08310007A (en) * 1995-05-19 1996-11-26 Oki Data:Kk Serial printer
JPH0933318A (en) * 1995-07-20 1997-02-07 Genshiryoku Eng:Kk Ultrasonic liquid level measuring method
JPH0964682A (en) * 1995-08-29 1997-03-07 Murata Mfg Co Ltd Resonator device and method for adjusting its frequency
JP3303003B2 (en) * 1995-09-21 2002-07-15 富士写真フイルム株式会社 Ink jet recording device
JPH09156123A (en) * 1995-12-04 1997-06-17 Brother Ind Ltd Printer
DE69635869T2 (en) * 1995-12-25 2006-10-26 Seiko Epson Corp. INK RADIATOR APPARATUS FOR INK CARTRIDGE
JPH09267488A (en) * 1996-03-29 1997-10-14 Brother Ind Ltd Ink jet recorder
JP3555638B2 (en) * 1996-04-05 2004-08-18 セイコーエプソン株式会社 Ink jet recording head
JP3576352B2 (en) * 1996-05-27 2004-10-13 キヤノンファインテック株式会社 Inkjet printing equipment
JPH10175312A (en) * 1996-12-18 1998-06-30 Canon Inc Apparatus and method for detecting residual amount of ink, ink jet recording apparatus, and recording medium having control program for detecting residual amount of ink recorded thereon
JPH10232157A (en) * 1997-02-19 1998-09-02 Canon Inc Sensor for inspecting remaining amount of liquid and liquid discharging device
JPH10305590A (en) * 1997-05-08 1998-11-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Sensor for detecting amount of remaining ink
US6227643B1 (en) * 1997-05-20 2001-05-08 Encad, Inc. Intelligent printer components and printing system
JPH10329315A (en) * 1997-06-03 1998-12-15 Canon Inc Printer
JPH11277761A (en) * 1998-03-31 1999-10-12 Brother Ind Ltd Apparatus for detecting quantity of ink remaining in recording apparatus or the like
JP2000043266A (en) * 1998-07-24 2000-02-15 Samsung Electro Mech Co Ltd Ink jet printer head

Cited By (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7971945B2 (en) 2000-05-18 2011-07-05 Seiko Epson Corporation Ink consumption detecting method, and ink jet recording apparatus
US7798620B2 (en) 2000-06-15 2010-09-21 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing a liquid container
US6675646B2 (en) 2001-03-28 2004-01-13 Seiko Epson Corporation Liquid-quantity monitoring apparatus and liquid-consuming apparatus with the same
KR20030011716A (en) * 2001-08-01 2003-02-11 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Piezo-electric device and ink cartridge having the same
EP1281525A3 (en) * 2001-08-01 2003-04-02 Seiko Epson Corporation Piezo-electric device and ink cartridge having the same
US6921160B2 (en) 2001-08-01 2005-07-26 Seiko Epson Corporation Piezo-electric device and ink cartridge having the same
EP1281525A2 (en) * 2001-08-01 2003-02-05 Seiko Epson Corporation Piezo-electric device and ink cartridge having the same
WO2004070326A1 (en) * 2003-02-10 2004-08-19 Seiko Epson Corporation Liquid-detecting device and liquid container with the same
EP1593942A4 (en) * 2003-02-10 2007-05-09 Seiko Epson Corp Liquid-detecting device and liquid container with the same
EP1593942A1 (en) * 2003-02-10 2005-11-09 Seiko Epson Corporation Liquid-detecting device and liquid container with the same
CN100371690C (en) * 2003-02-10 2008-02-27 精工爱普生株式会社 Liquid-detecting device and liquid container with the same
US7270386B2 (en) 2003-02-10 2007-09-18 Seiko Epson Corporation Liquid-detecting device and liquid container with the same
JP2008024003A (en) * 2003-02-10 2008-02-07 Seiko Epson Corp Liquid detection device and liquid container having the device
JP4614142B2 (en) * 2003-02-10 2011-01-19 セイコーエプソン株式会社 Liquid detection device and liquid container equipped with the same
US7424824B2 (en) 2004-11-15 2008-09-16 Seiko Epson Corporation Liquid sensing apparatus for a liquid container for supplying a liquid to a liquid consuming apparatus, and a liquid container in which the liquid sensing apparatus is built
US7578567B2 (en) 2004-12-13 2009-08-25 Seiko Epson Corporation Container having liquid detecting function
US7461909B2 (en) 2004-12-13 2008-12-09 Seiko Epson Corporation Mounting structure of liquid sensor and liquid container
US7448717B2 (en) 2005-03-31 2008-11-11 Seiko Epson Corporation Container having liquid detecting function, and sensor unit
US7444864B2 (en) 2005-03-31 2008-11-04 Seiko Epson Corporation Liquid detecting device, liquid container and method of manufacturing liquid detecting device
US7510251B2 (en) 2005-03-31 2009-03-31 Seiko Epson Corporation Liquid container and circuit board for liquid container
US7959273B2 (en) 2005-03-31 2011-06-14 Seiko Epson Corporation Liquid detecting device, liquid container and method of manufacturing liquid detecting device
US7552999B2 (en) 2005-03-31 2009-06-30 Seiko Epson Corporation Liquid container and circuit board for liquid container
WO2006104267A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Seiko Epson Corporation Liquid container and circuit board for liquid container
WO2006104266A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Seiko Epson Corporation Container having liquid detecting function, and sensor unit
JP2006315302A (en) * 2005-05-12 2006-11-24 Seiko Epson Corp Container with liquid detection function
JP2007176131A (en) * 2005-12-28 2007-07-12 Seiko Epson Corp Container equipped with liquid detection function
JP4586804B2 (en) * 2006-01-20 2010-11-24 セイコーエプソン株式会社 Liquid detector
JP2007218904A (en) * 2006-01-20 2007-08-30 Seiko Epson Corp Liquid detector
US7971976B2 (en) 2006-03-24 2011-07-05 Seiko Epson Corporation Liquid storage container
US7699453B2 (en) 2006-03-24 2010-04-20 Seiko Epson Corporation Liquid storage container
US7854495B2 (en) 2006-08-11 2010-12-21 Seiko Epson Corporation Liquid storage tank
EP2353873A1 (en) 2006-08-11 2011-08-10 Seiko Epson Corporation Liquid injecting method and liquid container
US7942510B2 (en) 2006-08-11 2011-05-17 Seiko Epson Corporation Liquid injecting method and liquid container
WO2008018602A1 (en) 2006-08-11 2008-02-14 Seiko Epson Corporation Liquid filling method and liquid receiving container
US8235513B2 (en) 2006-08-11 2012-08-07 Seiko Epson Corporation Liquid injecting method and liquid container
EP1974925A3 (en) * 2007-03-30 2010-05-26 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid container using the same, and method of producing liquid detection device
EP1974925A2 (en) 2007-03-30 2008-10-01 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid container using the same, and method of producing liquid detection device
US7922308B2 (en) 2007-03-30 2011-04-12 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid container using the same, and method of producing liquid detection device
US8066343B2 (en) 2007-04-23 2011-11-29 Seiko Epson Corporation Liquid detecting apparatus and liquid ejecting apparatus
US8052266B2 (en) 2007-04-23 2011-11-08 Seiko Epson Corporation Liquid detection device, liquid ejecting apparatus, and method of detecting liquid
JP2007335878A (en) * 2007-06-27 2007-12-27 Seiko Epson Corp Piezoelectric device and ink cartridge provided with the same
US8033629B2 (en) 2007-10-01 2011-10-11 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus and control method for the same
US7758138B2 (en) 2007-10-01 2010-07-20 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus and control method configured to reduce effects of electrical fluctuations
US8061800B2 (en) 2007-10-16 2011-11-22 Seiko Epson Corporation Liquid detector and liquid container having the same
US8029120B2 (en) 2007-10-16 2011-10-04 Seiko Epson Corporation Liquid container and method of manufacturing the same
JP2009132085A (en) * 2007-11-30 2009-06-18 Seiko Epson Corp Liquid detecting apparatus, and liquid storing container using the same
US7802861B2 (en) 2007-11-30 2010-09-28 Seiko Epson Corporation Liquid detector and liquid container having the same
US8177331B2 (en) 2008-02-21 2012-05-15 Seiko Epson Corporation Liquid jetting apparatus, liquid container, and method of controlling multiple liquid containers
CN101531094B (en) * 2008-03-12 2011-07-06 精工爱普生株式会社 Liquid sensing device and liquid container including the same
US8079657B2 (en) 2008-03-12 2011-12-20 Seiko Epson Corporation Liquid sensing device and liquid container including the same
JP2009279886A (en) * 2008-05-26 2009-12-03 Seiko Epson Corp Liquid container and its manufacturing method
EP2237161A1 (en) 2009-04-01 2010-10-06 Seiko Epson Corporation Memory device, circuit board, liquid receptacle, method of accepting from a host circuit data for writing to a data memory section, and system including a memory device electrically connectable to a host circuit
US8215734B2 (en) 2009-04-01 2012-07-10 Seiko Epson Corporation Liquid consuming system, liquid consuming apparatus, liquid supply unit, and method of supervising a remaining amount of liquid contained in a liquid supply unit
US8230163B2 (en) 2009-04-01 2012-07-24 Seiko Epson Corporation Memory device, host circuit, circuit board, liquid receptacle, method of transmitting data stored in a nonvolatile data memory section to a host circuit, and system including a host circuit and a memory device detachably attachable to the host circuit
US8291154B2 (en) 2009-04-01 2012-10-16 Seiko Epson Corporation Memory device accepting write data and inverted write data from a host circuit
US8289788B2 (en) 2009-04-01 2012-10-16 Seiko Epson Corporation System having a plurality of memory devices and data transfer method for the same
EP2637106A1 (en) 2009-04-01 2013-09-11 Seiko Epson Corporation Memory device, circuit board, liquid receptacle, method of accepting from a host circuit data for writing to a data memory section, and system including a memory device electrically connectable to a host circuit
US8627190B2 (en) 2009-04-01 2014-01-07 Seiko Epson Corporation Memory device, circuit board, liquid receptacle, method of controlling a nonvolatile data memory section, and system including a memory device detachably connectable to a host circuit
US8782326B2 (en) 2009-04-01 2014-07-15 Seiko Epson Corporation Memory device and system including a memory device electronically connectable to a host circuit
EP2390098A1 (en) 2010-05-25 2011-11-30 Seiko Epson Corporation Storage device, board, liquid container, method of receiving data which are to be written in data storage unit from host circuit, and system including storage device which is electrically connectable to host circuit
US8348377B2 (en) 2010-05-25 2013-01-08 Seiko Epson Corporation Storage device, board, liquid container, method of receiving data which are to be written in data storage unit from host circuit, and system including storage device which is electrically connectable to host circuit
US10386222B2 (en) 2016-11-14 2019-08-20 Seiko Epson Corporation Liquid detecting apparatus and liquid container

Also Published As

Publication number Publication date
JP4650517B2 (en) 2011-03-16
JP4595956B2 (en) 2010-12-08
JP2001146025A (en) 2001-05-29
JP2006327203A (en) 2006-12-07
JP2001147147A (en) 2001-05-29
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JP2001146029A (en) 2001-05-29
JP2001146027A (en) 2001-05-29
JP3965865B2 (en) 2007-08-29
JP4240077B2 (en) 2009-03-18
JP2006272972A (en) 2006-10-12
JP4154833B2 (en) 2008-09-24
JP2001146026A (en) 2001-05-29
JP4161228B2 (en) 2008-10-08
JP2008201142A (en) 2008-09-04
JP3804401B2 (en) 2006-08-02
JP2001146031A (en) 2001-05-29
JP2006088710A (en) 2006-04-06
JP2001147146A (en) 2001-05-29
JP2007106130A (en) 2007-04-26
JP2007192838A (en) 2007-08-02
JP2001147145A (en) 2001-05-29
JP4600696B2 (en) 2010-12-15
JP4715481B2 (en) 2011-07-06
JP2008230248A (en) 2008-10-02
JP4715918B2 (en) 2011-07-06
JP3965866B2 (en) 2007-08-29
JP2001146019A (en) 2001-05-29
JP2001146024A (en) 2001-05-29
JP2009080135A (en) 2009-04-16
JP2001146028A (en) 2001-05-29
JP3818018B2 (en) 2006-09-06
JP2001146023A (en) 2001-05-29

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JP4715918B2 (en) Piezoelectric device and liquid container
US7383727B2 (en) Liquid cotainer having a liquid consumption detecting device therein
JP3797535B2 (en) Liquid container
JP4029544B2 (en) Liquid container
JP2002154223A (en) Liquid consumption state detector
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