JP2001135004A - Chucking device - Google Patents
Chucking deviceInfo
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- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
- G11B17/02—Details
- G11B17/022—Positioning or locking of single discs
- G11B17/028—Positioning or locking of single discs of discs rotating during transducing operation
- G11B17/0284—Positioning or locking of single discs of discs rotating during transducing operation by clampers
Landscapes
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、チャッキング装置
にかかり、特に光ディスクなどの情報媒体となるディス
ク、さらに、ディスクの製造に用いられるスタンパの欠
陥を評価する欠陥評価装置のチャッキング装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chucking device, and more particularly, to a disk serving as an information medium such as an optical disk, and a chucking device of a defect evaluation device for evaluating a defect of a stamper used for manufacturing the disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば、光ディスクのような情報媒体と
なるディスクの製造工程には、製造に使用されるスタン
パや、製造されたディスクの信号特性や欠陥(スタンパ
あるいはディスクに製造工程で付着したゴミなど)を評
価する評価工程がある。この評価工程での評価は、専用
の評価装置で行われる。このような評価装置は、ターン
テーブルを備えていて、このターンテーブル上にスタン
パやディスクを載置して回転させる。そして、光学的な
手段を使ってスタンパやディスクの信号特性、あるいは
欠陥を評価する。この際にスタンパやディスクは、回転
中にターンテーブル上から外れたりすることが無いよ
う、ターンテーブル上にチャッキング装置でチャッキン
グされている。2. Description of the Related Art For example, in a manufacturing process of a disk serving as an information medium such as an optical disk, a stamper used for manufacturing, a signal characteristic or a defect of the manufactured disk (dust attached to the stamper or the disk in the manufacturing process) is used. Etc.). The evaluation in this evaluation step is performed by a dedicated evaluation device. Such an evaluation device includes a turntable, on which a stamper or a disc is mounted and rotated. Then, the signal characteristics or defects of the stamper or the disk are evaluated using optical means. At this time, the stamper and the disc are chucked on the turntable by a chucking device so as not to come off from the turntable during rotation.
【0003】既存のチャッキング装置には、例えば、特
開平5−135464号公報、特開平8−339578
号公報に記載された発明がある。このうち、特開平5−
135464号公報に記載された発明では、ターンテー
ブルのディスクなどが載置される面(載置面)の一部にゴ
ム製のシートを固着し、載置されたディスクと載置面と
の間に空間が生じるようにしている。また、ターンテー
ブルに載置面と裏面とをつなぐ貫通孔を設けると共に裏
面に渦巻き状のリブを設け、空間にあった空気がターン
テーブルの回転によって貫通孔およびリブからターンテ
ーブル裏面に排出されるようにしている。このような構
成によって空間内が負圧になり、ディスクなどが大気圧
で押し付けられることによって載置面に固定される。[0003] Existing chucking devices include, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 5-135644 and 8-339578.
There is an invention described in Japanese Patent Publication No. Of these,
According to the invention described in Japanese Patent Application Publication No. 135564, a rubber sheet is fixed to a part of a surface (mounting surface) of the turntable on which a disk or the like is mounted, so that a gap between the mounted disk and the mounting surface is provided. A space is created in the space. In addition, the turntable is provided with a through hole connecting the mounting surface and the back surface, and a spiral rib is provided on the back surface, and the air in the space is discharged from the through hole and the rib to the back surface of the turntable by the rotation of the turntable. Like that. With such a configuration, a negative pressure is generated in the space, and the disk or the like is fixed to the mounting surface by being pressed at atmospheric pressure.
【0004】また、特開平8−339578号公報に
は、ターンテーブルの表面に凹部を設け、この凹部と接
続する空気流路に真空ポンプを接続すると共に空気流路
に切替弁を設けておく。そして、この切替弁によって空
気流路を開き、真空ポンプを作動させることによって凹
部を負圧にし、ターンテーブル上に載置されたスタンパ
をターンテーブル上にチャッキングすることが記載され
ている。さらに特開平8−339578号公報には、タ
ーンテーブルの下方に上下動可能なマグネット保持装置
を設け、ここに保持されたマグネットを上下動すること
によってターンテーブル上に載置されたスタンパに対し
て働く磁力を強める、あるいは弱めることが記載されて
いる。このような構成によれば、ターンテーブル上にス
タンパが載置されているときには強い磁力でスタンパを
チャッキングし、しかもスタンパを取り外すときには磁
力を弱めて容易にターンテーブル上からスタンパを取り
外すことができるようになる。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-339578, a concave portion is provided on the surface of a turntable, a vacuum pump is connected to an air passage connected to the concave portion, and a switching valve is provided in the air passage. It is described that an air flow path is opened by the switching valve, a concave pressure is made negative by operating a vacuum pump, and a stamper placed on the turntable is chucked on the turntable. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-339578 discloses a magnet holding device that can be moved up and down below a turntable, and a magnet held here is moved up and down to a stamper placed on the turntable. It is described that the working magnetic force is strengthened or weakened. According to such a configuration, when the stamper is placed on the turntable, the stamper is chucked with a strong magnetic force, and when the stamper is removed, the magnetic force is weakened and the stamper can be easily removed from the turntable. Become like
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た技術は、以下のような課題を残している。すなわち、
特開平5−135464号公報に記載されているよう
に、ターンテーブル裏面のリブから空気を排出した場
合、回転開始直後にはこのチャッキングが充分でなく、
その上ターンテーブル起動による起動トルクが発生する
ためにディスクが外れることが考えられる。However, the above-described technique has the following problems. That is,
As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-135644, when air is exhausted from the rib on the back surface of the turntable, this chucking is not sufficient immediately after the start of rotation.
In addition, it is conceivable that the disk comes off due to the generation of a starting torque by the start of the turntable.
【0006】また、特開平8−339578号公報に記
載されているように、真空ポンプで負圧状態を作り出し
てスタンパをチャッキングする場合、万が一真空ポンプ
に不具合が生じて正常に動作しなかったときにはスタン
パがターンテーブル上から投げ出されてしまう可能性が
ある。Also, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-339578, when a vacuum pump is used to create a negative pressure state to chuck a stamper, the vacuum pump does not operate normally due to a problem. Sometimes the stamper can be thrown from the turntable.
【0007】さらに、磁力によってスタンパをチャッキ
ングする構成では、比較的磁力が強いマグネットを使用
されるためにターンテーブル上から取り外した後にもス
タンパが磁化することがある。磁化したスタンパは、後
工程で金型や工具に引き寄せられ、後工程の作業を行い
難くすることになる。また、スタンパが磁化すると、マ
グネットを下げてターンテーブルから遠ざけた場合にも
スタンパがターンテーブル上から取り外し難くなり、こ
れを取り外す際にスタンパが傷つく虞もある。その上、
マグネットの磁力が経時的に変化するために定期的な交
換が必要で、評価装置のメンテナンスを煩雑にすること
になる。Further, in the configuration in which the stamper is chucked by a magnetic force, a magnet having a relatively strong magnetic force is used, so that the stamper may be magnetized even after being removed from the turntable. The magnetized stamper is attracted to a mold or a tool in a later process, which makes it difficult to perform the work in the later process. Further, when the stamper is magnetized, it is difficult to remove the stamper from the turntable even when the magnet is lowered and moved away from the turntable, and the stamper may be damaged when the stamper is removed. Moreover,
Periodic replacement is necessary because the magnetic force of the magnet changes over time, which makes maintenance of the evaluation device complicated.
【0008】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、真空ポンプやマグネットを使用することな
く、しかも確実にディスク、あるいはスタンパをチャッ
キングできるチャッキング装置を提供することを目的と
するものである。The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to provide a chucking device that can reliably chuck a disk or a stamper without using a vacuum pump or a magnet. It is assumed that.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】以上述べた課題は、以下
の手段によって解決できる。すなわち、請求項1記載の
チャッキング装置は、ディスクあるいはディスクの製造
に使用されるスタンパを評価する評価装置に設けられ、
ディスクあるいはスタンパを評価装置に固定するのに使
用されるチャッキング装置であって、ディスクあるいは
スタンパを載置して回転する回転テーブルと、回転テー
ブル上に設けられた孔部と、ハブ部と弾性体リングが設
けられたボス部とを有し、ボス部を孔部に勘合してディ
スクを回転テーブル上に固定するディスク固定手段と、
孔部を開口端とする外部連通路と、外部連通路上に設け
られ、圧縮空気が供給される真空電磁弁とを有すること
を特徴とするものである。The above-mentioned problems can be solved by the following means. That is, the chucking device according to claim 1 is provided in an evaluation device that evaluates a disk or a stamper used for manufacturing the disk,
A chucking device used to fix a disk or a stamper to an evaluation device, comprising: a rotary table on which the disk or the stamper is mounted and rotated; a hole provided on the rotary table; A disk fixing means having a boss provided with a body ring, and fitting the boss to the hole to fix the disk on the rotary table;
It has an external communication passage having a hole as an opening end, and a vacuum solenoid valve provided on the external communication passage and supplied with compressed air.
【0010】このように構成することにより、固定部に
よる作用と圧力差とによってディスク、あるいはスタン
パをターンテーブルにチャッキングすることができるよ
うになる。このため、一方の作用によるチャッキング効
果が不充分であった場合にも、他方の作用によってディ
スクあるいはスタンパがターンテーブルから落ちること
を防ぐことができる。また、圧縮空気が供給される真空
電磁弁を用いたことにより、比較的簡易な構成で孔部と
外部との圧力差をつけることができるようになる。With this configuration, the disk or the stamper can be chucked to the turntable by the action of the fixing portion and the pressure difference. For this reason, even if the chucking effect by one operation is insufficient, it is possible to prevent the disk or stamper from falling off the turntable by the other operation. Further, by using a vacuum solenoid valve to which compressed air is supplied, a pressure difference between the hole and the outside can be made with a relatively simple configuration.
【0011】請求項2記載の発明は、孔部が、ボス部が
勘合された状態でボス部と孔部底面との間に空間が生じ
るように構成されることを特徴とするものである。The invention according to claim 2 is characterized in that the hole is formed such that a space is created between the boss and the bottom of the hole when the boss is fitted.
【0012】このように構成することにより、孔部が負
圧になったときに孔部内部と外部との圧力差をより大き
くし、より固定部のターンテーブルに対する吸着力を大
きくすることができる。With this configuration, when the pressure of the hole becomes negative, the pressure difference between the inside and the outside of the hole is increased, and the attraction force of the fixed portion to the turntable can be further increased. .
【0013】請求項3記載の発明は、孔部が、内周面に
弾性体リングと係合する溝部を有することを特徴とする
ものである。According to a third aspect of the present invention, the hole has a groove on the inner peripheral surface for engaging with the elastic ring.
【0014】このように構成することにより、圧力差に
よる固定部の吸着が不充分であった場合にも、弾性体リ
ングが溝部にひっかかり、固定部のボス部が孔部から外
れることを防ぐことができる。[0014] With this configuration, even when the suction of the fixing portion due to the pressure difference is insufficient, the elastic ring is prevented from being caught in the groove and the boss of the fixing portion is prevented from coming off the hole. Can be.
【0015】請求項4記載の発明は、真空電磁弁に供給
される圧縮空気の圧力を設定できる圧力設定バルブをさ
らに有することを特徴とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is further provided a pressure setting valve for setting the pressure of the compressed air supplied to the vacuum solenoid valve.
【0016】このように構成することにより、圧力差に
よる固定部の吸着力を必要に応じて調整することができ
る。With this configuration, the suction force of the fixed portion due to the pressure difference can be adjusted as needed.
【0017】請求項5記載の発明は、外部連通路を真空
電磁弁よりも上流側で分岐して分岐連通路を設けると共
に、分岐連通路に圧縮空気の供給、供給停止を切り替え
る分岐連通路切替弁と、分岐連通路切替弁に供給される
圧縮空気の圧力を設定できる分岐連通路圧力設定バルブ
とを有することを特徴とするものである。According to a fifth aspect of the present invention, a branch communication path is provided by branching an external communication path upstream of a vacuum solenoid valve to provide a branch communication path, and to switch between supply and stop of supply of compressed air to the branch communication path. And a branch communication passage pressure setting valve that can set the pressure of the compressed air supplied to the branch communication passage switching valve.
【0018】このように構成することにより、分岐連通
路から圧縮空気を外部連通路および孔部に真空電磁弁を
介することなく供給することができる。With this configuration, compressed air can be supplied from the branch communication path to the external communication path and the hole without passing through the vacuum solenoid valve.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態1、実
施の形態2、実施の形態3、実施の形態4について説明
する。 (実施の形態1)図1、図2は、実施の形態1のチャッキ
ング装置を説明するための図であって、図1はチャッキ
ング装置の上面図、図2は、図1中の矢線A−A’に沿
う縦断面図である。なお、図1、図2のうち、図1は、
実施の形態1ないし4で共通の図面である。そして、以
降に示す縦断面図は、いずれも図1中の矢線A−A’に
沿うものとする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments 1, 2, 3, and 4 of the present invention will be described below. (Embodiment 1) FIGS. 1 and 2 are views for explaining a chucking device according to Embodiment 1, wherein FIG. 1 is a top view of the chucking device, and FIG. 2 is an arrow in FIG. It is a longitudinal cross-sectional view which follows the line AA '. 1 and FIG. 2, FIG.
It is a drawing common to the first to fourth embodiments. The longitudinal sectional views shown below are all taken along the line AA 'in FIG.
【0020】実施の形態1のチャッキング装置は、光デ
ィスクなどのディスク、あるいはディスクの製造に使用
されるスタンパを評価する評価装置に設けられ、ディス
クやスタンパを評価装置に固定するのに使用されるもの
である。なお、実施の形態1、2では、いずれもチャッ
キング装置でディスクをチャッキングした状態を例にし
てチャッキング装置を説明するものとする。The chucking device according to the first embodiment is provided in an evaluation device for evaluating a disk such as an optical disk or a stamper used for manufacturing the disk, and is used for fixing the disk or the stamper to the evaluation device. Things. In the first and second embodiments, the chucking device will be described by taking as an example a state where the disk is chucked by the chucking device.
【0021】図示した構成は、ディスクを載置して回転
するターンテーブルであるターンテーブル1と、ターン
テーブル1に設けられた孔部6と、ハブ部2aと、弾性
体リング5が設けられたボス部2bとを有し、ボス部2
bが孔部6に勘合してディスク3をターンテーブル1上
に固定するディスク固定手段である固定部2と、孔部6
の底面に開口端を有する連通路15、連通路16、連通
路18でなる外部連通路30上に設けられた真空電磁弁
19とを有している。また、さらに図示したチャッキン
グ装置は、ターンテーブル1が取り付けられるシャフト
7と、シャフト7取付のための軸受け9a、9bを有す
る基台10と、基台10を取り付けて回転する回転モー
タ12とを有している。The illustrated configuration has a turntable 1, which is a turntable on which a disk is mounted and rotated, a hole 6 provided in the turntable 1, a hub 2a, and an elastic ring 5. And a boss 2b.
b: a fixing portion 2 which is a disk fixing means for fixing the disk 3 on the turntable 1 by fitting into the hole 6;
And a vacuum solenoid valve 19 provided on an external communication path 30 composed of a communication path 15, an communication path 16, and a communication path 18 having an open end on the bottom surface. The chucking device further illustrated includes a shaft 7 to which the turntable 1 is attached, a base 10 having bearings 9a and 9b for attaching the shaft 7, and a rotary motor 12 to which the base 10 is attached to rotate. Have.
【0022】実施の形態1では、図1から明らかなよう
にターンテーブル1を円盤状に構成し、この回転軸、つ
まりシャフト7を、円盤の中心を通るように設けてい
る。そして、孔部6をターンテーブル1の回転軸と一致
するようにシャフト7の上に設けている。また、ハブ部
2aも円盤形状を有していて、ボス部2bは、ハブ部2
aの中心に位置してハブ部2aの面に垂直に突出した円
筒形状の部材として構成されている。弾性体リング5
は、この円筒形状の部分の外周面に嵌められ、ボス部2
bを孔部6から脱け難くしている。このような固定部2
は、ターンテーブル1と共にディスク3を挟んで固定し
ている。In the first embodiment, as is apparent from FIG. 1, the turntable 1 is formed in a disk shape, and the rotating shaft, that is, the shaft 7 is provided so as to pass through the center of the disk. The hole 6 is provided on the shaft 7 so as to coincide with the rotation axis of the turntable 1. The hub 2a also has a disc shape, and the boss 2b is
It is configured as a cylindrical member that is located at the center of a and protrudes perpendicularly to the surface of the hub portion 2a. Elastic ring 5
Is fitted on the outer peripheral surface of the cylindrical portion, and the boss 2
b is hardly removed from the hole 6. Such a fixed part 2
Are fixed together with the turntable 1 with the disk 3 interposed therebetween.
【0023】軸受け9a、9bは、その外輪が上軸受固
定リング8、下軸受固定リング11によって、また、そ
の内輪がシャフト7の上部段付部70、固定リング13
によって上下で基台10に固定されている。シャフト7
の外周部と上軸受固定リング8との間には磁性流体4が
封入され、両者の間をシールしている。そして、シャフ
ト7の下端部が、カップリング14を介して回転モータ
12の回転シャフト12aに連結されていることによ
り、ターンテーブル1は基台10に回転自在に取り付け
られる。The outer rings of the bearings 9a and 9b are formed by the upper bearing fixing ring 8 and the lower bearing fixing ring 11, and the inner rings are formed by the upper stepped portion 70 of the shaft 7 and the fixing ring 13
Are fixed to the base 10 vertically. Shaft 7
The magnetic fluid 4 is sealed between the outer peripheral portion of the upper ring and the upper bearing fixing ring 8 to seal between them. The turntable 1 is rotatably attached to the base 10 by connecting the lower end of the shaft 7 to the rotating shaft 12 a of the rotating motor 12 via the coupling 14.
【0024】また、このような構成では、シャフト7に
は連通路15が、基台10には軸受け9a、9b間の空
間に通じる連通路16が設けられいて、さらに連通路1
6が供給口17を介してエアホースなどの連通路18と
接続している。このことから、シャフト7を介してター
ンテーブル1を基台10に取り付けたとき、連通路1
5、連通路16、連通路18が接続して孔部6を開口端
とする外部連通路30が形成できる。さらに、実施の形
態1では、連通路18上に真空電磁弁19を設け、この
供給側口19aから真空電磁弁19に圧縮空気を供給す
るように構成し、真空電磁弁19を電気的な信号によっ
て動作させることによって外部連通路30内を負圧にし
得るよう構成している。In such a configuration, the shaft 7 is provided with the communication path 15, and the base 10 is provided with the communication path 16 communicating with the space between the bearings 9 a and 9 b.
6 is connected to a communication path 18 such as an air hose via a supply port 17. Therefore, when the turntable 1 is attached to the base 10 via the shaft 7, the communication path 1
5, the communication path 16 and the communication path 18 are connected to form an external communication path 30 having the hole 6 as an opening end. Further, in the first embodiment, a vacuum solenoid valve 19 is provided on the communication passage 18 and compressed air is supplied to the vacuum solenoid valve 19 from the supply side port 19a. , The pressure inside the external communication passage 30 can be reduced to a negative pressure.
【0025】以上述べた構成は、以下のように動作す
る。すなわち、ターンテーブル1から固定部2を取り外
しておき、ディスク3を、その内周面とターンテーブル
1の勘合突起部1bとが一致するようにターンテーブル
上に載置する。そして、固定部2を、ボス部2bが孔部
6に勘合するように挿入する。このとき、ボス部2bの
孔部6に挿入される部分の長さは孔部6の深さよりも短
くなっていて、ボス部2bの底面と孔部6の底面との間
に空間6aが生じるようにしている。The configuration described above operates as follows. That is, the fixed portion 2 is removed from the turntable 1, and the disc 3 is placed on the turntable such that the inner peripheral surface thereof and the mating projection 1b of the turntable 1 coincide. Then, the fixing portion 2 is inserted so that the boss portion 2b fits into the hole portion 6. At this time, the length of the portion of the boss 2b inserted into the hole 6 is shorter than the depth of the hole 6, and a space 6a is created between the bottom surface of the boss 2b and the bottom of the hole 6. Like that.
【0026】続いて、真空電磁弁19を動作させて外部
連通路30および空間6aを減圧すると、外部連通路3
0および空間6aが負圧になって固定部2全体が大気圧
によってターンテーブル1に押し付けられる。この結
果、ディスク3が、ターンテーブル1上に押し付けられ
て固定される。この後、回転モータ12を回転させてタ
ーンテーブル1を回転させ、ディスク3を評価装置で評
価する。Subsequently, when the vacuum solenoid valve 19 is operated to reduce the pressure in the external communication path 30 and the space 6a, the external communication path 3
0 and the space 6a become negative pressure, and the whole fixed part 2 is pressed against the turntable 1 by the atmospheric pressure. As a result, the disk 3 is pressed and fixed on the turntable 1. Thereafter, the turntable 1 is rotated by rotating the rotary motor 12, and the disk 3 is evaluated by the evaluation device.
【0027】このような構成により、ターンテーブル1
の回転開始時にもディスク3がターンテーブル上に固定
でき、ディスク3がターンテーブル1から外れることが
なくなる。また、真空電磁弁のような簡易な構成を用い
ることにより、チャッキング装置を小型、簡易、かつ低
コストに構成することができる。その上、実施の形態1
のチャッキング装置は、マグネットを用いていないこと
からスタンパをチャッキングする際にもスタンパを磁化
することがなく、スタンパが磁化することによって後工
程に及ぼす影響をもなくすことができる。With such a configuration, the turntable 1
The disc 3 can be fixed on the turntable at the start of the rotation of the disc, so that the disc 3 does not come off the turntable 1. In addition, by using a simple configuration such as a vacuum solenoid valve, the chucking device can be configured to be small, simple, and low in cost. In addition, Embodiment 1
Since the chucking device does not use a magnet, it does not magnetize the stamper even when chucking the stamper, and can eliminate the influence of the magnetizing of the stamper on the subsequent process.
【0028】以上のようにしてディスク3を評価した
後、ターンテーブル1を停止した後に真空電磁弁19を
解除側に動作させ、空間部6aを常圧にして固定部2の
ボス部2bを孔部6から引き抜いてディスク3をターン
テーブル1上から取り外す。このとき、ディスク3には
何の力も作用していないことから、ディスク3を充分小
さな力でターンテーブル1から取り外すことができ、デ
ィスク3を損なう虞をもなくすことができる。After evaluating the disk 3 as described above, after stopping the turntable 1, the vacuum solenoid valve 19 is operated to the release side, the space 6a is set to normal pressure, and the boss portion 2b of the fixing portion 2 is opened. The disk 3 is removed from the turntable 1 by pulling it out from the part 6. At this time, since no force acts on the disk 3, the disk 3 can be removed from the turntable 1 with a sufficiently small force, and the risk of damaging the disk 3 can be eliminated.
【0029】(実施の形態2)次に、本発明の実施の形態
2について説明する。図3は、本発明の実施の形態2を
説明するための縦断面図である。図示した実施の形態2
のチャッキング装置は、先に示した実施の形態1のチャ
ッキング装置とほぼ同様の構成を有するものである。た
だし、実施の形態2は、チャッキング装置のターンテー
ブル1に設けられた孔部6が、その内周面に弾性体リン
グ5と係合する溝部1aを有することにおいて実施の形
態1のチャッキング装置と相違している。なお、図3に
示したチャッキング装置の構成のうち、図2に示した実
施の形態1のチャッキング装置と同様の部材については
同様の符号を付し、その説明を略するものとする。(Embodiment 2) Next, Embodiment 2 of the present invention will be described. FIG. 3 is a longitudinal sectional view for explaining Embodiment 2 of the present invention. Embodiment 2 illustrated
This chucking device has substantially the same configuration as the above-described chucking device of the first embodiment. However, the chucking device according to the second embodiment is different from the chucking device according to the first embodiment in that the hole 6 provided in the turntable 1 of the chucking device has a groove 1a that engages with the elastic ring 5 on the inner peripheral surface. It is different from the device. In the configuration of the chucking device shown in FIG. 3, the same members as those of the chucking device of the first embodiment shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【0030】実施の形態2では、溝部1aを、ターンテ
ーブル1の回転軸を中心とする環状の溝として構成し、
固定部2をターンテーブル1に取り付けた際、溝部1a
が弾性体リング5と係合するよう構成している。このよ
うな溝部1aを孔部6に設けたことにより、ボス部2b
が孔部6からいっそう外れ難くなる。このため、万が一
真空電磁弁19に不具合が生じてディスク3が充分な強
度で固定されていない状態でターンテーブル1が回転し
たとしても、弾性体リング5が溝部1aに引っかかって
固定部2がターンテーブル1から外れることを防ぐこと
ができる。In the second embodiment, the groove 1a is formed as an annular groove centered on the rotation axis of the turntable 1,
When the fixing part 2 is attached to the turntable 1, the groove 1a
Are configured to engage with the elastic ring 5. By providing such a groove 1a in the hole 6, the boss 2b
Is harder to come off from the hole 6. Therefore, even if the turntable 1 is rotated in a state where the disk 3 is not fixed with sufficient strength due to a failure of the vacuum solenoid valve 19, the elastic ring 5 is caught by the groove 1a and the fixed part 2 is turned. Detachment from the table 1 can be prevented.
【0031】次に、このような溝部1aを有する孔部6
に固定部2を取り付ける手順を、図4(a)ないし(c)を
用いて説明する。まず、ターンテーブル1から固定部2
を取り外しておき、ディスク3を、内周面とターンテー
ブル1の勘合突起部1bとが一致するようにターンテー
ブル上に載置する(a)。そして、ボス部2bが孔部6に
勘合するように固定部2を挿入する(b)。このとき、固
定部2は、孔部6の内周面に勘合されながら、ボス部2
bに設けられた弾性体リング5が溝部1aに達するまで
手作業によって挿入される(c)。そして、真空電磁弁1
9を動作させてディスク3をターンテーブル1上に固定
し、回転モータ12を回転させてターンテーブル1を回
転させる。Next, the hole 6 having such a groove 1a is formed.
The procedure for attaching the fixing portion 2 to the rim will be described with reference to FIGS. First, turntable 1 to fixed part 2
Is removed, and the disk 3 is placed on the turntable such that the inner peripheral surface and the mating projection 1b of the turntable 1 match (a). Then, the fixing portion 2 is inserted so that the boss portion 2b fits into the hole portion 6 (b). At this time, the fixing portion 2 is fitted into the boss portion 2 while being fitted to the inner peripheral surface of the hole portion 6.
The elastic ring 5 provided at the position b is manually inserted until it reaches the groove 1a (c). And the vacuum solenoid valve 1
9 is operated to fix the disk 3 on the turntable 1, and the rotation motor 12 is rotated to rotate the turntable 1.
【0032】このような実施の形態2のチャッキング装
置によれば、先に述べた実施の形態1から得られる効果
に加え、真空電磁弁19に不具合が生じた場合にも固定
部2がターンテーブル1から外れることを防ぎ、ディス
ク3がターンテーブル1から外れて損なわれることを防
ぐことができる。このような点は、ディスク3の製造工
程において歩留まりを高めることに寄与するものであ
る。According to the chucking device of the second embodiment, in addition to the effects obtained in the first embodiment, the fixing portion 2 can be turned even when a failure occurs in the vacuum solenoid valve 19. It is possible to prevent the disk 3 from coming off the table 1 and prevent the disk 3 from coming off the turntable 1 and being damaged. Such a point contributes to increasing the yield in the manufacturing process of the disk 3.
【0033】(実施の形態3)次に、本発明の実施の形
態3について説明する。図5は、本発明の実施の形態3
を説明するための縦断面図である。図示した実施の形態
3のチャッキング装置は、先に示した実施の形態2のチ
ャッキング装置とほぼ同様の構成を有するものである。
ただし、実施の形態3は、真空電磁弁19に供給される
圧縮空気の圧力を設定できる圧力設定バルブ21をさら
に有することにおいて実施の形態2のチャッキング装置
と相違している。なお、図5に示したチャッキング装置
の構成のうち、図3に示した実施の形態2のチャッキン
グ装置と同様の部材については同様の符号を付し、その
説明を略するものとする。(Embodiment 3) Next, Embodiment 3 of the present invention will be described. FIG. 5 shows Embodiment 3 of the present invention.
It is a longitudinal cross-sectional view for explaining. The illustrated chucking device of the third embodiment has substantially the same configuration as the chucking device of the second embodiment described above.
However, the third embodiment is different from the chucking device of the second embodiment in further including a pressure setting valve 21 that can set the pressure of the compressed air supplied to the vacuum solenoid valve 19. In the configuration of the chucking device shown in FIG. 5, the same members as those of the chucking device of the second embodiment shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【0034】圧力設定バルブ21は、真空電磁弁19に
供給される圧縮空気の圧力を調整し、この値を任意に設
定できるように構成されている。圧力設定バルブ21を
使って圧縮空気の圧力を変更することにより、外部連通
路30および空間6aを減圧する能力が変化し、ディス
ク3をターンテーブル1上にチャッキングする力が調整
される。このような構成を有する実施の形態3のチャッ
キング装置では、例えば、弾性体リング5が経時的に劣
化してボス部2bが外れ難くする能力が低下した場合に
も、真空電磁弁19に供給される圧縮空気の圧力を高め
ることによって対処することができる。The pressure setting valve 21 is configured to adjust the pressure of the compressed air supplied to the vacuum solenoid valve 19 and to be able to arbitrarily set this value. By changing the pressure of the compressed air using the pressure setting valve 21, the ability to decompress the external communication passage 30 and the space 6a changes, and the force for chucking the disk 3 on the turntable 1 is adjusted. In the chucking device according to the third embodiment having such a configuration, for example, even when the elastic body ring 5 is deteriorated with time and the ability to prevent the boss portion 2b from being easily detached is reduced, the supply to the vacuum solenoid valve 19 is performed. This can be dealt with by increasing the pressure of the compressed air.
【0035】(実施の形態4)次に、本発明の実施の形態
4について説明する。図6は、本発明の実施の形態4を
説明するための縦断面図である。図示した実施の形態4
のチャッキング装置は、先に示した実施の形態3のチャ
ッキング装置とほぼ同様の構成を有するものである。た
だし、実施の形態4は、実施の形態1で説明した外部連
通路30を真空電磁弁よりも上流側で分岐して分岐連通
路22を設けている。そして、この分岐連通路22に圧
縮空気の供給と、供給停止とを切り替える分岐連通路切
替弁23と、分岐連通路切替弁23に供給される圧縮空
気の圧力を設定できる圧力設定バルブ25とを有するこ
とにおいて実施の形態3のチャッキング装置と相違して
いる。実施の形態4では、この分岐連通路切替弁23と
して、単に分岐連通路を開閉する電磁弁を用いている。
なお、図6に示したチャッキング装置の構成のうち、図
5に示した実施の形態3のチャッキング装置と同様の部
材については同様の符号を付し、その説明を略するもの
とする。(Embodiment 4) Next, Embodiment 4 of the present invention will be described. FIG. 6 is a longitudinal sectional view for explaining Embodiment 4 of the present invention. Embodiment 4 illustrated
This chucking device has substantially the same configuration as the chucking device of the third embodiment described above. However, in the fourth embodiment, the external communication passage 30 described in the first embodiment is branched on the upstream side of the vacuum solenoid valve to provide the branch communication passage 22. A branch communication passage switching valve 23 for switching between supply and stop of the compressed air to the branch communication passage 22 and a pressure setting valve 25 for setting the pressure of the compressed air supplied to the branch communication passage switching valve 23 are provided. It differs from the chucking device of the third embodiment in having. In the fourth embodiment, an electromagnetic valve that simply opens and closes the branch communication path is used as the branch communication path switching valve 23.
In the configuration of the chucking device shown in FIG. 6, the same members as those of the chucking device of the third embodiment shown in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【0036】以上の構成は、以下のように動作する。す
なわち、外部連通路30の真空電磁弁19と分岐連通路
22の分岐連通路切替弁23には同様の圧力を持った圧
縮空気が供給されている。真空電磁弁19、分岐連通路
切替弁23は、ディスク3がターンテーブル1に載置さ
れていないときには共に作動させない、あるいは閉じて
おく。そして、ターンテーブル1にディスク3をチャッ
キングするときには、分岐連通路切替弁23だけを閉じ
た状態で真空電磁弁19だけを作動させる。この結果、
外部連通路30および空間6aが減圧されて負圧にな
り、ディスク3がチャッキングされる。The above configuration operates as follows. That is, compressed air having the same pressure is supplied to the vacuum solenoid valve 19 of the external communication path 30 and the branch communication path switching valve 23 of the branch communication path 22. The vacuum solenoid valve 19 and the branch communication path switching valve 23 are not operated together when the disk 3 is not mounted on the turntable 1, or are closed. When chucking the disk 3 on the turntable 1, only the vacuum solenoid valve 19 is operated with only the branch communication passage switching valve 23 closed. As a result,
The pressure of the external communication passage 30 and the space 6a is reduced to negative pressure, and the disk 3 is chucked.
【0037】以上のようにしてチャッキングされたディ
スク3をターンテーブル1から取り外す際には、真空電
磁弁19の作動を解除する。そして、分岐連通路切替弁
23を開け、圧縮空気を分岐連通路22から真空電磁弁
19を介することなく外部連通路30に供給する。この
結果、空間6aに圧縮空気が供給されて常圧、あるいは
大気圧よりも高圧になり、固定部2を孔部6から引き抜
きやすくする。When removing the chucked disk 3 from the turntable 1, the operation of the vacuum solenoid valve 19 is released. Then, the branch communication path switching valve 23 is opened, and compressed air is supplied from the branch communication path 22 to the external communication path 30 without passing through the vacuum solenoid valve 19. As a result, the compressed air is supplied to the space 6a and the pressure becomes higher than the normal pressure or the atmospheric pressure, and the fixing portion 2 is easily pulled out from the hole 6.
【0038】このような実施の形態4のチャッキング装
置によれば、先に述べた実施の形態1〜3で得られる効
果に加えて、さらに固定部2が簡易に取り外しできるの
で、固定部2を引き抜く際に誤ってディスク3を損なう
可能性がより小さくなる。このことは、ディスク製造工
程の歩留まりを高めることに寄与するものである。According to the chucking device of the fourth embodiment, in addition to the effects obtained in the first to third embodiments, the fixing portion 2 can be further easily removed. The possibility of accidentally damaging the disc 3 when pulling out the disc is reduced. This contributes to increasing the yield of the disk manufacturing process.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上説明した本発明は、以下の効果を奏
することができる。すなわち、請求項1記載の発明は、
固定部を圧力差で吸着してディスク、あるいはスタンパ
をターンテーブルにチャッキングすることができるよう
になる。このため、圧力差に加えて固定部がディスクや
スタンパのチャッキングに寄与し、確実にディスクやス
タンパをターンテーブルにチャッキングすることができ
る。このような効果は、チャッキング装置の信頼性を高
めることに有効である。また、比較的簡易な構成で孔部
と外部との圧力差をつけることができるようになり、チ
ャッキング装置、ひいては評価装置の構成を小型、簡易
かつ低コストなものにすることができる。The present invention described above has the following effects. That is, the invention described in claim 1 is:
The disc or the stamper can be chucked to the turntable by adsorbing the fixed portion with a pressure difference. For this reason, in addition to the pressure difference, the fixed portion contributes to chucking of the disk and the stamper, and the disk and the stamper can be reliably chucked to the turntable. Such an effect is effective in improving the reliability of the chucking device. In addition, a pressure difference between the hole and the outside can be provided with a relatively simple configuration, and the configuration of the chucking device and, consequently, the evaluation device can be reduced in size, simplicity, and cost.
【0040】請求項2記載の発明は、より固定部に対す
る吸着力を大きくすることができる。このため、固定部
による固定が不充分であった場合にも、固定部のボス部
が孔部から外れることを防ぐことができ、チャッキング
装置の信頼性をより高めることができる。According to the second aspect of the present invention, the attraction force to the fixed portion can be further increased. For this reason, even when the fixing by the fixing portion is insufficient, the boss portion of the fixing portion can be prevented from coming off from the hole, and the reliability of the chucking device can be further improved.
【0041】請求項3記載の発明は、圧力差による固定
部の吸着が不充分であった場合にも、固定部のボス部が
孔部から外れることを防ぎ、チャッキング装置の信頼性
をより高めることができる。According to the third aspect of the present invention, even if the suction of the fixing portion due to the pressure difference is insufficient, the boss portion of the fixing portion is prevented from coming off the hole, and the reliability of the chucking device is further improved. Can be enhanced.
【0042】請求項4記載の発明は、評価工程に応じて
チャッキング装置の状態を最適に調整することができ、
チャッキング装置の使い勝手を高めることができる。According to the present invention, the state of the chucking device can be optimally adjusted according to the evaluation step.
The usability of the chucking device can be enhanced.
【0043】請求項5記載の発明は、圧縮空気を供給し
て外部連通路および孔部を常圧、あるいは高圧にするこ
とができ、短時間で固定部を孔部から引き抜きやすい状
態にすることができる。なお、以上のような請求項1な
いし請求項5記載の本願発明は、真空ポンプやマグネッ
トを使用することなく、しかも確実にディスク、あるい
はスタンパをチャッキングできるチャッキング装置を提
供することができるものといえる。According to a fifth aspect of the present invention, the external communication passage and the hole can be supplied with normal pressure or high pressure by supplying compressed air, and the fixing portion can be easily pulled out of the hole in a short time. Can be. The present invention as described in claims 1 to 5 can provide a chucking device that can reliably chuck a disk or a stamper without using a vacuum pump or a magnet. It can be said that.
【図1】本発明の実施の形態1ないし4で共通の図であ
って、チャッキング装置の上面を示す図である。FIG. 1 is a diagram common to Embodiments 1 to 4 of the present invention, showing a top surface of a chucking device.
【図2】本発明の実施の形態1のチャッキング装置を説
明するための図であって、図1中の矢線A−A’に沿う
縦断面図である。FIG. 2 is a view for explaining the chucking device according to the first embodiment of the present invention, and is a longitudinal sectional view along an arrow AA ′ in FIG. 1;
【図3】本発明の実施の形態2のチャッキング装置を説
明するための図であって、図1中の矢線A−A’に沿う
縦断面図である。FIG. 3 is a view for explaining the chucking device according to the second embodiment of the present invention, and is a longitudinal sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 1;
【図4】図3に示したチャッキング装置において、固定
部を取り付ける手順を説明するための図である。FIG. 4 is a view for explaining a procedure for attaching a fixing portion in the chucking device shown in FIG. 3;
【図5】本発明の実施の形態3のチャッキング装置を説
明するための図であって、図1中の矢線A−A’に沿う
縦断面図である。FIG. 5 is a view for explaining the chucking device according to the third embodiment of the present invention, and is a longitudinal sectional view along the arrow AA ′ in FIG. 1;
【図6】本発明の実施の形態4のチャッキング装置を説
明するための図であって、図1中の矢線A−A’に沿う
縦断面図である。FIG. 6 is a view for explaining a chucking device according to a fourth embodiment of the present invention, and is a longitudinal sectional view along an arrow AA ′ in FIG. 1;
1 ターンテーブル 1a 溝部 2 固定部 2a ハブ部 2b ボス部 3 ディスク 5 弾性体リング 6 孔部 6a 空間 7 シャフト 9a、9b 軸受け 10 基台 15、16、18 連通路 19 真空電磁弁 21、25 圧力設定バルブ 22 分岐連通路 23 分岐連通路切替弁 30 外部連通路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Turntable 1a Groove part 2 Fixed part 2a Hub part 2b Boss part 3 Disk 5 Elastic ring 6 Hole part 6a Space 7 Shaft 9a, 9b Bearing 10 Base 15, 16, 18 Communication passage 19 Vacuum solenoid valve 21, 25 Pressure setting Valve 22 Branch communication passage 23 Branch communication passage switching valve 30 External communication passage
Claims (5)
されるスタンパを評価する評価装置に設けられ、ディス
クあるいはスタンパを評価装置に固定するのに使用され
るチャッキング装置であって、 ディスクあるいはスタンパを載置して回転する回転テー
ブルと、 前記回転テーブル上に設けられた孔部と、 ハブ部と、弾性体リングとが設けられたボス部とを有
し、前記ボス部を前記孔部に勘合してディスクを前記回
転テーブル上に固定するディスク固定手段と、 前記孔部を開口端とする外部連通路と、 前記外部連通路上に設けられて圧縮空気が供給される真
空電磁弁とを有することを特徴とするチャッキング装
置。1. A chucking device which is provided in an evaluation device for evaluating a disk or a stamper used for manufacturing a disk and is used for fixing the disk or the stamper to the evaluation device. A rotary table that is placed and rotated, a hole provided on the rotary table, a hub, and a boss provided with an elastic ring, and the boss is fitted into the hole. Disk fixing means for fixing a disk on the rotary table, an external communication path having the hole as an open end, and a vacuum solenoid valve provided on the external communication path and supplied with compressed air. Characteristic chucking device.
態で前記ボス部と孔部底面との間に空間が生じるように
構成されることを特徴とする請求項1記載のチャッキン
グ装置。2. The chucking device according to claim 1, wherein the hole is configured such that a space is created between the boss and the bottom of the hole when the boss is fitted. apparatus.
と係合する溝部を有することを特徴とする請求項1また
は2に記載のチャッキング装置。3. The chucking device according to claim 1, wherein the hole has a groove that engages with the elastic ring on an inner peripheral surface.
圧力を設定できる圧力設定バルブをさらに有することを
特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のチ
ャッキング装置。4. The chucking device according to claim 1, further comprising a pressure setting valve that can set a pressure of compressed air supplied to the vacuum solenoid valve.
上流側で分岐して分岐連通路を設けると共に、前記分岐
連通路に圧縮空気の供給、供給停止を切り替える分岐連
通路切替弁と、前記分岐連通路切替弁に供給される圧縮
空気の圧力を設定できる分岐連通路圧力設定バルブとを
有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一
つに記載のチャッキング装置。5. A branch communication path switching valve that branches the external communication path upstream of the vacuum solenoid valve to provide a branch communication path, and switches between supply and stop of supply of compressed air to the branch communication path. The chucking device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a branch communication passage pressure setting valve that can set a pressure of the compressed air supplied to the branch communication passage switching valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31708699A JP2001135004A (en) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | Chucking device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31708699A JP2001135004A (en) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | Chucking device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001135004A true JP2001135004A (en) | 2001-05-18 |
Family
ID=18084282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31708699A Pending JP2001135004A (en) | 1999-11-08 | 1999-11-08 | Chucking device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001135004A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006221791A (en) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Guzik Technical Enterp Inc | Head stack locator assembly for testing magnetic head |
GB2441648A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Xyratex Tech Ltd | Attaching a disk to a spindle of a spinstand |
JP2008077823A (en) * | 2006-09-08 | 2008-04-03 | Xyratex Technology Ltd | Apparatus for attaching disk to spindle of spinstand, method for attaching and detaching disk to and from spindle of the spinstand, and movable stage |
-
1999
- 1999-11-08 JP JP31708699A patent/JP2001135004A/en active Pending
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JP2008103059A (en) * | 2006-09-08 | 2008-05-01 | Xyratex Technology Ltd | Apparatus and method for attaching disk to spindle of spinstand |
GB2441648B (en) * | 2006-09-08 | 2009-09-02 | Xyratex Tech Ltd | Apparatus and method for attaching a disk to a spindle of a spinstand |
US7768740B2 (en) | 2006-09-08 | 2010-08-03 | Xyratex Technology Limited | Apparatus and method for attaching a disk to a spindle of a spinstand |
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