JP2001123147A - Adhesive - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an adhesive having high adhesive strength without causing a dislocation to an adherend unless irradiated with ultraviolet rays of a specific wavelength region in a term when the adhesive strength is required and capable of being easily peeled from the adherend by irradiating the adhesive with the ultraviolet rays of the specific wavelength region in a term when peeling is required. SOLUTION: The characteristic of this adhesive is that the adhesive strength thereof is remarkably decreased only when irradiating the adhesive with the ultraviolet rays within the wavelength range of 300-600 nm and the adhered adherend can be peeled off.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス
（装置）の製造工程や電子機器の製造工程等において好
適に用いられる接着剤に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adhesive suitably used in a manufacturing process of a semiconductor device (equipment) and a manufacturing process of an electronic device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ＩＣやＬＳＩ等の集積回路は、直径１５
０〜２００ｍｍのシリコンウエハと呼ばれるシリコン単
結晶板上に形成されるが、通常は、多数の集積回路が同
時に形成される。集積回路が形成されたシリコンウエハ
は、この後、電極配線等の実装を行うために、１個づつ
別々に切り離される。2. Description of the Related Art Integrated circuits such as ICs and LSIs have a diameter of 15 mm.
Although formed on a silicon single crystal plate called a silicon wafer of 0 to 200 mm, usually, a large number of integrated circuits are simultaneously formed. Thereafter, the silicon wafers on which the integrated circuits are formed are separately cut one by one in order to mount electrode wirings and the like.

【０００３】このＩＣチップへの分離は、ダイヤモンド
カッター等を用いて行われるが、このシリコンウエハを
正確に切断するために、シリコンウエハを強力に接着、
固定するための接着剤（該接着剤を塗布した接着性シー
ト）が必要とされる。[0003] The separation into the IC chips is performed using a diamond cutter or the like. In order to cut the silicon wafer accurately, the silicon wafer is strongly adhered.
An adhesive (an adhesive sheet coated with the adhesive) for fixing is required.

【０００４】また、この接着剤を塗布した接着性シート
は、シリコンウエハを切断する際には、強力にシリコン
ウエハを接着し、一方、切断工程が終了した後には、Ｉ
Ｃチップを接着性シートから容易に剥離することができ
る必要がある。このような目的に使用されるものとし
て、紫外線を照射した際に接着力が大きく低下するＵＶ
硬化型の接着剤が塗布された、いわゆるＵＶ硬化型ダイ
シングテープが利用されている。Further, the adhesive sheet coated with the adhesive strongly adheres the silicon wafer when cutting the silicon wafer, and after the cutting process is completed,
It is necessary that the C chip can be easily peeled off from the adhesive sheet. For such a purpose, UV, whose adhesive strength is greatly reduced when irradiated with ultraviolet rays, is used.
A so-called UV-curable dicing tape coated with a curable adhesive is used.

【０００５】しかしながら、例えば、シリコンウエハの
集積回路の製造工程が終了する前に、このシリコンウエ
ハを接着性シートに接着し、種々の操作等を行うことが
できれば便利であり、その一つの例として、フォトレジ
ストの形成等において、一般的に使用される波長域の紫
外線照射によっては、その接着力が低下しない接着剤
（接着性シート）が求められている。However, for example, it is convenient if the silicon wafer can be bonded to an adhesive sheet and various operations can be performed before the manufacturing process of the integrated circuit of the silicon wafer is completed. In the formation of photoresists and the like, an adhesive (adhesive sheet) that does not decrease its adhesive strength by ultraviolet irradiation in a wavelength range generally used is required.

【０００６】また、他の半導体デバイス（装置）の製造
工程や電子機器の製造工程等において、部材等を接着、
固定させる必要が生ずる場合があるが、この場合にも、
フォトレジストやＵＶ洗浄といった工程があり、この際
に、所定波長域の紫外線を照射した場合にのみ、接着力
が低下する接着剤が求められている。Further, in the manufacturing process of other semiconductor devices (equipment) and the manufacturing process of electronic equipment, members and the like are adhered,
It may be necessary to fix it, but in this case,
There are processes such as photoresist and UV cleaning. At this time, there is a demand for an adhesive whose adhesive strength is reduced only when irradiated with ultraviolet rays in a predetermined wavelength range.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、通常、フォトレジスト等の形成やＵＶ洗浄等におい
てよく用いられる波長域の紫外線照射ではその接着力が
低下せず、通常と異なる波長域の紫外線の照射により、
初めて接着力が低下し、接着した対象物を剥離させるこ
とが可能な接着剤を提供することを目的とするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention does not reduce the adhesive strength by irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range commonly used in the formation of a photoresist or the like or UV cleaning. By irradiating the area with ultraviolet rays,
It is an object of the present invention to provide an adhesive whose adhesive force is reduced for the first time and which can peel off an adhered object.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、３００〜６０
０ｎｍの波長域の紫外線を照射した場合にのみ、その接
着力が大きく低下し、接着した対象物を剥離することが
できることを特徴とする接着剤である。以下に本発明を
詳述する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to
The adhesive is characterized in that its adhesive strength is greatly reduced only when ultraviolet rays in a wavelength range of 0 nm are irradiated, and the adhered object can be peeled off. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【０００９】本発明の接着剤は、３００〜６００ｎｍの
波長域の紫外線を照射した場合にのみ、その接着力が低
下して、接着対象物を容易に剥離させ得るように構成さ
れているので、半導体デバイス（装置）の製造工程や電
子機器の製造工程等の途中で、例えば、低圧水銀灯の２
００〜３００ｎｍの波長を照射しても、接着力は変化せ
ず、上記工程の終了後、例えば、高圧水銀灯を用いた主
波長が３６５ｎｍの紫外線を照射することにより、初め
てその接着力が低下して、接着対象物を容易に剥離させ
ることができる。[0009] The adhesive of the present invention is configured so that the adhesive force is reduced and the object to be bonded can be easily peeled off only when irradiated with ultraviolet rays in the wavelength range of 300 to 600 nm. During the manufacturing process of a semiconductor device (equipment) or the manufacturing process of an electronic device, for example, a low-pressure mercury lamp
Irradiation with a wavelength of 00 to 300 nm does not change the adhesive force, and after the above-mentioned process is completed, for example, by irradiating an ultraviolet ray with a main wavelength of 365 nm using a high-pressure mercury lamp, the adhesive force decreases for the first time. Thus, the object to be bonded can be easily peeled off.

【００１０】本発明の接着剤の用い方としては、通常
は、下記する紫外線透過可能な樹脂シートに本発明の接
着剤を塗布し、接着対象物を接着させることが好ましい
が、接着剤を直接、その接着対象物に塗布し、この接着
対象物を装置等の他の部分に接着させてもよい。ただ
し、この場合には、接着対象物又は接着した部材が紫外
線を透過することができるものである必要がある。ま
た、接着剤を上記樹脂シートの両面に塗布し、両面テー
プとしてもよい。[0010] As for the method of using the adhesive of the present invention, it is usually preferable to apply the adhesive of the present invention to a resin sheet capable of transmitting ultraviolet light as described below and adhere the object to be bonded. It may be applied to the object to be bonded, and the object to be bonded may be bonded to another part such as a device. However, in this case, it is necessary that the object to be bonded or the bonded member be capable of transmitting ultraviolet light. Further, an adhesive may be applied to both sides of the resin sheet to form a double-sided tape.

【００１１】上記樹脂シートとしては、紫外線を透過さ
せ得る樹脂シートであれば特に限定されず、例えば、塩
化ビニル樹脂、塩化ビニル／塩化ビニリデン共重合体樹
脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビ
ニリデン樹脂、ポリオレフィン、ポリビニルアルコー
ル、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ア
セチルセルロース等からなる樹脂シートを挙げることが
できる。The resin sheet is not particularly limited as long as it is a resin sheet capable of transmitting ultraviolet rays. Examples of the resin sheet include vinyl chloride resin, vinyl chloride / vinylidene chloride copolymer resin, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer resin, Examples of the resin sheet include a polyvinylidene chloride resin, polyolefin, polyvinyl alcohol, polyamide, polyester, polycarbonate, acetylcellulose, and the like.

【００１２】本発明の接着剤は、３００〜６００ｎｍの
波長域の紫外線を照射する前の常温における接着力は、
０．３８６Ｎ／ｃｍ以上であることが好ましい。常温で
は、よりしっかりとした接着力が要求されることが多い
からである。The adhesive of the present invention has an adhesive strength at room temperature before irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm.
It is preferably 0.386 N / cm or more. At room temperature, more firm adhesion is often required.

【００１３】上記接着剤は、３００〜６００ｎｍの波長
域の紫外線を照射した後の常温における接着力が０．０
７７２Ｎ／ｃｍ以下であることが好ましい。半導体デバ
イス（装置）の製造工程や電子機器の製造工程等の終了
後、上記波長域の紫外線を照射することにより、極めて
容易に、接着対象物を剥離させることができるからであ
る。The above adhesive has an adhesive strength at room temperature after irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm of 0.0 to 0.06 nm.
It is preferably at most 772 N / cm. This is because the object to be bonded can be peeled off very easily by irradiating ultraviolet rays in the above wavelength range after the completion of the semiconductor device (apparatus) manufacturing process, the electronic device manufacturing process, or the like.

【００１４】なお、上記接着力とは、接着剤を樹脂シー
ト（例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルム等）に塗布した後、その上にＰＥＴフィルム又は
ポリカーボネートフィルム等を重ねてしっかり接着さ
せ、その後、剥離試験を行った際の接着力をいう。The above-mentioned adhesive strength means that after an adhesive is applied to a resin sheet (for example, polyethylene terephthalate (PET) film or the like), a PET film or a polycarbonate film or the like is overlaid thereon and firmly adhered. It refers to the adhesive strength when a peel test is performed.

【００１５】上記接着剤は、例えば、アクリル樹脂系粘
着剤、紫外線架橋性化合物、重合開始剤などを含むもの
が好ましい。The adhesive preferably contains, for example, an acrylic resin-based adhesive, an ultraviolet-crosslinkable compound, a polymerization initiator and the like.

【００１６】上記アクリル樹脂系粘着剤としては、例え
ば、アクリル酸エステルモノマーと他の共重合可能なモ
ノマーとの共重合体等を挙げることができる。このアク
リル酸エステルモノマーと他の共重合可能なモノマーと
の共重合体は、粘着性を付与するために、低いガラス転
移点を有する上記アクリル酸エステルモノマーを主なモ
ノマーとして使用し、一方、上記他の共重合可能なモノ
マーとして、凝集性を付与するために高いガラス転移点
を有する固い重合体を形成することが可能なモノマー
と、架橋性や接着性を改良するためにカルボン酸基、水
酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル基等の官
能基を有するモノマーとを使用することにより得られ
る。The acrylic resin-based pressure-sensitive adhesive includes, for example, a copolymer of an acrylate monomer and another copolymerizable monomer. The copolymer of the acrylate monomer and another copolymerizable monomer uses the acrylate monomer having a low glass transition point as a main monomer to impart tackiness, while the As other copolymerizable monomers, monomers capable of forming a hard polymer having a high glass transition point to impart cohesiveness, and carboxylic acid groups and hydroxyl groups to improve crosslinkability and adhesion And a monomer having a functional group such as amide group, glycidyl group and hydroxyl group.

【００１７】上記アクリル酸エステルモノマーとして
は、例えば、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、ア
クリル酸−２−エチルヘキシル等を挙げることができ
る。The acrylate monomer includes, for example, ethyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate and the like.

【００１８】上記固い重合体を形成することが可能なモ
ノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリ
ル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル
等を挙げることができ、上記官能基を有するモノマーと
しては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシルプ
ロピレンメタクリレート、アクリルアミド、グリシジル
メタクリレート等を挙げることができる。Examples of the monomer capable of forming the hard polymer include vinyl acetate, acrylonitrile, styrene, methyl acrylate, and methyl methacrylate. Examples of the monomer having the functional group include: For example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, hydroxyethyl methacrylate, hydroxylpropylene methacrylate, acrylamide, glycidyl methacrylate and the like can be mentioned.

【００１９】上記紫外線架橋性化合物としては、例え
ば、紫外線の照射により架橋するオリゴマー又はモノマ
ーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステ
ルを挙げることができ、これらは、分子内に少なくとも
２つのアクロイル基又はメタクリロイル基を有するもの
であることが好ましい。Examples of the UV-crosslinkable compound include acrylates or methacrylates as oligomers or monomers which are crosslinked by irradiation with ultraviolet rays. These include at least two acroyl groups or methacryloyl groups in the molecule. Preferably, it has a group.

【００２０】上記オリゴマーとしては、例えば、オリゴ
エステルアクリレート等を挙げることができ、上記モノ
マーとしては、例えば、１，６−ヘキサンジオールアク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート等の多価アルコール
とアクリル酸とのエステル、又は、１，６−ヘキサンジ
オールジアクリレート、トリメチロールプロパントリア
クリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多
価アルコールとメタクリル酸とのエステル等を挙げるこ
とができる。また、そのほかにも、ウレタンアクリレー
ト、エポキシアクリレート等を挙げることができる。Examples of the oligomer include oligoester acrylate, and examples of the monomer include 1,6-hexanediol acrylate, trimethylolpropane triacrylate, and the like.
Ester of polyhydric alcohol such as tetramethylol methane tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and acrylic acid, or 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate An ester of a polyhydric alcohol such as acrylate and methacrylic acid can be exemplified. In addition, urethane acrylate, epoxy acrylate and the like can also be mentioned.

【００２１】上記接着剤を調製する際には、例えば、ア
クリル樹脂系粘着剤１００重量部に対して、上記紫外線
架橋性化合物３０〜１００重量部を添加する。なお、重
量部は、固形分の重量の割合を示す。上記紫外線架橋性
化合物の量が３０重量部未満であると、得られる接着剤
に３００〜６００ｎｍの波長域の紫外線を照射しても、
その接着力が実質的に変化せず、一方、上記紫外線架橋
性化合物の量が１００重量部を超えると、上記波長域の
紫外線照射によって、その接着力を低減させることはで
きるが、剥離時に接着剤が残留することがあり、好まし
くない。In preparing the adhesive, for example, 30 to 100 parts by weight of the ultraviolet-crosslinkable compound is added to 100 parts by weight of the acrylic resin-based adhesive. In addition, a weight part shows the ratio of the weight of a solid content. When the amount of the ultraviolet-crosslinkable compound is less than 30 parts by weight, even if the obtained adhesive is irradiated with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm,
When the adhesive force does not substantially change, and when the amount of the ultraviolet-crosslinkable compound exceeds 100 parts by weight, the adhesive force can be reduced by irradiation with ultraviolet light in the above-mentioned wavelength range. The agent may remain, which is not preferable.

【００２２】上記接着剤は、更に、重合開始剤、粘着付
与剤等を含有していてもよい。上記重合開始剤は、上記
紫外線架橋性化合物の３００〜６００ｎｍの波長域の紫
外線照射による架橋を促進するために用いられるもので
ある。本発明においては、この重合開始剤が重要な役割
を果たし、２００ｎｍ以上３００ｎｍ未満の波長域の紫
外線では殆ど働かず、３００〜６００ｎｍの波長域の紫
外線を照射することにより効果を発揮する。このような
重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインプロピルエーテル等のベンゾインアルキ
ルエーテル類、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾフェノン
等の芳香族オキシケトン類や芳香族ケトン類、ベンジル
ジメチルケタール、ポリビニルベンゾフェノン等を挙げ
ることができる。The above-mentioned adhesive may further contain a polymerization initiator, a tackifier and the like. The polymerization initiator is used to promote crosslinking of the ultraviolet-crosslinkable compound by irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm. In the present invention, the polymerization initiator plays an important role, and hardly works with ultraviolet rays in a wavelength range of 200 nm or more and less than 300 nm, and exhibits an effect by irradiating ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm. Examples of such a polymerization initiator include benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether and benzoin propyl ether, benzoin, benzyl, aromatic oxyketones such as benzophenone, aromatic ketones, benzyl dimethyl ketal, and polyvinyl benzophenone. Can be mentioned.

【００２３】上記粘着付与剤は特に限定されず、従来よ
り粘着剤として用いられているものを使用することがで
きる。このような粘着付与剤としては、例えば、キシレ
ン樹脂、ロジンや重合ロジン、水添ロジン、ロジンエス
テル等の変性ロジン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフ
ェノール樹脂、ロジンフェノール樹脂等のテルペン系樹
脂、脂肪族系、芳香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロ
ン樹脂、スチレン系樹脂、アルキルフェノール樹脂等を
挙げることができる。The tackifier is not particularly limited, and those conventionally used as pressure-sensitive adhesives can be used. Examples of such tackifiers include xylene resins, rosins and polymerized rosins, hydrogenated rosins, modified rosin resins such as rosin esters, terpene resins, terpene phenol resins, terpene resins such as rosin phenol resins, and aliphatic resins. , Aromatic and alicyclic petroleum resins, cumarone resins, styrene resins, alkylphenol resins and the like.

【００２４】上記重合開始剤の配合量は、上記紫外線架
橋性化合物１００重量部に対して１〜２０重量部が好ま
しい。上記接着剤を構成する各成分に、これらを溶解す
る適量の有機溶媒、例えば、芳香族炭化水素、ケトン
類、又は、これらの混合物を添加して、溶解させること
により、均一組成を有する接着剤組成物を得ることがで
きる。そして、この接着剤組成物を樹脂シート上に、従
来より公知の方法により塗布し、乾燥させることによ
り、接着剤層を形成することができる。The amount of the polymerization initiator is preferably 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the ultraviolet-crosslinkable compound. To each component constituting the adhesive, an appropriate amount of an organic solvent for dissolving them, for example, an aromatic hydrocarbon, ketones, or a mixture thereof is added and dissolved to obtain an adhesive having a uniform composition. A composition can be obtained. Then, the adhesive composition is applied onto a resin sheet by a conventionally known method, and dried to form an adhesive layer.

【００２５】上記接着剤に３００〜６００ｎｍの波長域
の紫外線を照射する方法としては、例えば、中圧水銀
灯、高圧水銀灯又は超高圧水銀灯等の紫外線源を用い
て、数秒〜数分間照射する方法等を挙げることができ
る。本発明の接着剤は、ダイシングテープ用の接着剤と
して使用することができるほか、半導体デバイス（装
置）や電子機器に用いられる部品の製造工程等において
の固定用の接着剤として用いることができる。As a method of irradiating the adhesive with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm, for example, a method of irradiating for several seconds to several minutes using an ultraviolet light source such as a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp or an ultra high pressure mercury lamp Can be mentioned. The adhesive of the present invention can be used as an adhesive for dicing tapes, and can also be used as an adhesive for fixing in a manufacturing process of components used for semiconductor devices (equipment) and electronic devices.

【００２６】[0026]

【実施例】以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。なお、以下の実施例及び比較例における各成
分の配合量に関し、溶剤以外のものについては、固形分
の重量部である。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition, regarding the compounding amount of each component in the following Examples and Comparative Examples, those other than the solvent are parts by weight of solid content.

【００２７】実施例１ アクリル樹脂系粘着剤（東亜合成社製、アロンタックＳ
−１６０１）１００重量部、紫外線架橋性化合物（東亜
合成社製、アロニックスＭ−４００）５０重量部、光重
合開始剤（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、イ
ルガキュアー５００）１．６重量部、粘着付与剤（荒川
化学工業社製、ＫＥ−６０４）１６重量部、及び、メチ
ルエチルケトン３３重量部を上記割合で容器にとって混
合することにより、接着剤組成物を得た。Example 1 Acrylic resin-based adhesive (Alontack S, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.)
-1601) 100 parts by weight, UV-crosslinkable compound (Toagosei Co., Aronix M-400) 50 parts by weight, photopolymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., Irgacure 500) 1.6 parts by weight, adhesive An adhesive composition was obtained by mixing 16 parts by weight of a imparting agent (KE-604, manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd.) and 33 parts by weight of methyl ethyl ketone in the above-mentioned ratio in a container.

【００２８】次に、得られた上記接着剤組成物を厚さ２
５μｍ、幅２５０ｍｍのポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）に塗布し、１２０℃で１分間乾燥させること
により、１０μｍの厚みの接着剤層を形成し、更に、離
型処理用ＰＥＴをラミネートさせて、接着性シートを得
た。Next, the obtained adhesive composition was applied to a thickness of 2
A 5 μm, 250 mm wide polyethylene terephthalate (PET) is applied and dried at 120 ° C. for 1 minute to form an adhesive layer with a thickness of 10 μm. I got

【００２９】得られた接着性シートについて、離型ＰＥ
Ｔを剥離した後、高圧水銀灯による紫外線照射前の常温
及び１３０℃雰囲気下での接着力、低圧水銀灯による紫
外線照射後（高圧水銀灯による紫外線照射前）の常温下
での接着力、及び、高圧水銀灯による紫外線照射後の常
温での接着力を、以下に示す方法を用いて測定し、評価
を行った。結果を表１に示した。With respect to the obtained adhesive sheet, release PE
After peeling T, the adhesive strength at room temperature and 130 ° C. before UV irradiation with a high-pressure mercury lamp, the adhesive strength at normal temperature after UV irradiation with a low-pressure mercury lamp (before UV irradiation with a high-pressure mercury lamp), and the high-pressure mercury lamp The adhesive force at room temperature after UV irradiation was measured and evaluated using the following method. The results are shown in Table 1.

【００３０】評価方法 （１）紫外線照射前の接着力の測定 接着剤が塗布された樹脂シートを幅２５ｍｍ、長さ１０
０ｍｍに裁断し、これをＰＣフィルムに、気泡を形成さ
せないようにして重ね、ローラにて２．９４Ｎで押圧し
た状態で５回往復して密着させ、室温で２０分間放置し
たものを試験片とした。次に、インストロン１１７５型
の試験機を用い、常温下、引張速度３００ｍｍ／分の条
件でこの試験片の９０°剥離試験を行い、その接着力を
測定した。[0030]Evaluation method  (1) Measurement of Adhesive Strength Before Irradiation with Ultraviolet Light A resin sheet coated with an adhesive was 25 mm wide and 10 mm long.
This was cut to 0 mm, and this was blown into a PC film to form bubbles.
And press it at 2.94N with a roller.
5 times reciprocally in close contact, leave at room temperature for 20 minutes
Was used as a test piece. Next, Instron 1175
Using a tester at room temperature and a tensile speed of 300 mm / min.
A 90 ° peel test was performed on the test piece to determine the adhesive strength.
It was measured.

【００３１】また、同様にインストロン１１７５型の試
験機を用い、１３０℃の雰囲気下、引張速度３００ｍｍ
／分の条件で、上記方法と同様の方法で作製した別の試
験片の９０°剥離試験を行い、その接着力を測定した。Similarly, using an Instron 1175-type testing machine, under an atmosphere of 130 ° C., a tensile speed of 300 mm
A 90 ° peel test was performed on another test piece prepared in the same manner as described above under the condition of / min, and the adhesive strength was measured.

【００３２】（２）低圧水銀灯による紫外線照射後（高
圧水銀灯による紫外線照射前）の接着力の測定 上記（１）の場合と同様にして作製した試験片を用い、
この試験片にポリエチレンテレフタレート側より、主波
長が２５４ｎｍの波長域の低圧水銀灯による紫外線をラ
ンプ高さ５０ｍｍにて７５秒間照射した後、常温下にお
いて、（１）の場合と同様に試験片の９０°剥離試験を
行い、その接着力を測定した。(2) Measurement of adhesive force after irradiation with ultraviolet light by a low-pressure mercury lamp (before irradiation with ultraviolet light by a high-pressure mercury lamp) Using a test piece prepared in the same manner as in the above (1),
The specimen was irradiated from the polyethylene terephthalate side with ultraviolet rays from a low-pressure mercury lamp in a wavelength range of 254 nm for a period of 75 seconds at a lamp height of 50 mm for 75 seconds. ° A peel test was performed, and the adhesive strength was measured.

【００３３】（３）高圧水銀灯による紫外線照射後の接
着力の測定 紫外線照射前の接着力の測定時に用いた試験片と同様の
試験片を作製し、この試験片にポリエチレンテレフタレ
ート側より、主波長３６５μｍ、１２０Ｗ／ｃｍにて紫
外線を７秒間照射した。その後、インストロン１１７５
型の試験機を用い、常温下、引張速度３００ｍｍ／分の
条件で、この試験片の９０°剥離試験を行い、その接着
力を測定した。(3) Measurement of Adhesive Strength After Irradiation with Ultraviolet Light by High Pressure Mercury Lamp A test piece similar to the test piece used at the time of measuring the adhesive force before irradiation with ultraviolet light was prepared, and the main wavelength was measured from the polyethylene terephthalate side. Ultraviolet rays were irradiated for 7 seconds at 365 μm and 120 W / cm. Then, Instron 1175
The test piece was subjected to a 90 ° peel test at room temperature at a tensile speed of 300 mm / min using a mold type testing machine, and the adhesive strength was measured.

【００３４】実施例２ 光重合開始剤として、チバ・スペシャリティ・ケミカル
ズ社製、イルガキュアー５００を用いる代わりに、同社
製のイルガキュアー１８４を２重量部配合したこと以外
は、実施例１と同様にしてＰＥＴフィルム上に接着剤層
を形成し、実施例１と同様にして、種々の特性を測定
し、評価を行った。結果を表１に示した。Example 2 The procedure of Example 1 was repeated, except that 2 parts by weight of Irgacure 184 manufactured by Ciba Specialty Chemicals was used instead of Irgacure 500 manufactured by Ciba Specialty Chemicals as the photopolymerization initiator. Thus, an adhesive layer was formed on the PET film, and various characteristics were measured and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【００３５】実施例３ アクリル樹脂系粘着剤（東亜合成社製、アロンタックＳ
−１６０１）１００重量部、紫外線架橋性化合物（東亜
合成社製、アロニックスＭ−４００）５０重量部、光重
合開始剤（大東化学社製、ダイトキュアーＩＰ）１．６
重量部、粘着付与剤（荒川化学工業社製、ＫＥ−６０
４）１６重量部、及び、メチルエチルケトン３３重量部
を上記割合で容器にとって混合することにより、接着剤
組成物を得た。Example 3 Acrylic resin-based adhesive (Arontack S, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.)
-1601) 100 parts by weight, UV-crosslinkable compound (Toa Gosei Co., Aronix M-400) 50 parts by weight, photopolymerization initiator (Daito Chemical IP, Daito Cure IP) 1.6
Parts by weight, tackifier (KE-60 manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)
4) The adhesive composition was obtained by mixing 16 parts by weight and 33 parts by weight of methyl ethyl ketone in the above ratio in a container.

【００３６】次に、得られた上記接着剤組成物を用い、
実施例１と同様にしてＰＥＴフィルム上に接着剤層を形
成し、接着性シートを得た。得られた接着性シートにつ
いて、実施例１と同様にして、種々の特性を測定し、評
価を行った。結果を表１に示した。Next, using the obtained adhesive composition,
An adhesive layer was formed on a PET film in the same manner as in Example 1 to obtain an adhesive sheet. Various properties of the obtained adhesive sheet were measured and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【００３７】比較例１ アクリル樹脂系粘着剤として、アロンタックＳ−１６０
１の代わりに、東亜合成社製のアロンタックＳ−１６０
５を１００重量部用い、紫外線架橋性化合物及び光重合
開始剤を用いなかったこと以外は実施例１と同様にして
ＰＥＴフィルム上に接着剤層を成形し、実施例１と同様
にして、種々の特性を測定し、評価を行った。結果を表
１に示した。Comparative Example 1 Alontack S-160 was used as an acrylic resin-based pressure-sensitive adhesive.
Alontack S-160 manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.
5 was used, and an adhesive layer was formed on a PET film in the same manner as in Example 1 except that the ultraviolet-crosslinking compound and the photopolymerization initiator were not used. Were measured and evaluated. The results are shown in Table 1.

【００３８】比較例２ 光重合開始剤として、チバ・スペシャリティ・ケミカル
ズ社製、イルガキュアー５００を用いる代わりに、チバ
・スペシャリティ・ケミカルズ社製、イルガキュアー９
０７を用いた以外は、実施例１と同様にしてＰＥＴフィ
ルム上に接着剤層を形成し、実施例１と同様にして、種
々の特性を測定し、評価を行った。結果を表１に示し
た。Comparative Example 2 Instead of using Irgacure 500 manufactured by Ciba Specialty Chemicals as a photopolymerization initiator, Irgacure 9 manufactured by Ciba Specialty Chemicals was used.
An adhesive layer was formed on a PET film in the same manner as in Example 1 except for using 07, and various characteristics were measured and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

【００３９】[0039]

【表１】 [Table 1]

【００４０】[0040]

【発明の効果】本発明の接着剤は、上述の構成からなる
ので、接着力が必要な期間においては、３００〜６００
ｎｍの波長域の紫外線を照射しない限り、高い接着力を
有し、接着対象物にズレ等が生じることがなく、一方、
剥離の必要がある場合には、３００〜６００ｎｍの波長
域の紫外線を照射することにより、接着対象物を容易に
剥離させることができる。Since the adhesive of the present invention has the above-mentioned structure, it can be 300 to 600 during the period in which the adhesive force is required.
As long as it is not irradiated with ultraviolet rays in the wavelength range of nm, it has a high adhesive strength, and the object to be bonded does not have a displacement or the like.
When peeling is necessary, the object to be bonded can be easily peeled by irradiating ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 善男 神戸市兵庫区明和通３−２−15 バンドー 化学株式会社内 Ｆターム(参考） 4J040 DB061 DB062 DE021 DE022 DF011 DF012 DF041 DF042 DF051 DF052 DF061 DF062 DF081 DF082 DF101 DF102 FA131 FA132 FA141 FA142 FA261 FA262 FA291 FA292 GA05 GA07 GA11 GA22 JA01 JA09 JB07 JB09 LA06 NA19 NA20 PA42  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Yoshio Taguchi 3-2-15 Meiwadori, Hyogo-ku, Kobe Bando Chemical Co., Ltd. F-term (reference) 4J040 DB061 DB062 DE021 DE022 DF011 DF012 DF041 DF042 DF051 DF052 DF061 DF062 DF081 DF082 DF101 DF102 FA131 FA132 FA141 FA142 FA261 FA262 FA291 FA292 GA05 GA07 GA11 GA22 JA01 JA09 JB07 JB09 LA06 NA19 NA20 PA42

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ３００〜６００ｎｍの波長域の紫外線を
照射した場合にのみ、その接着力が大きく低下し、接着
した対象物を剥離することができることを特徴とする接
着剤。1. An adhesive characterized in that its adhesive strength is greatly reduced and an adhered object can be peeled off only when ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm are irradiated. 【請求項２】 ３００〜６００ｎｍの波長域の紫外線を
照射する前の常温における接着力は、０．３８６Ｎ／ｃ
ｍ以上である請求項１記載の接着剤。2. The adhesive strength at room temperature before irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm is 0.386 N / c.
The adhesive according to claim 1, wherein the adhesive is at least m. 【請求項３】 ３００〜６００ｎｍの波長域の紫外線を
照射した後の常温における接着力は、０．０７７２Ｎ／
ｃｍ以下である請求項１又は２記載の接着剤。3. The adhesive strength at room temperature after irradiation with ultraviolet rays in a wavelength range of 300 to 600 nm is 0.0772 N /
The adhesive according to claim 1, wherein the adhesive is not more than cm.