JP2001116931A - Optical fiber film forming device - Google Patents
Optical fiber film forming deviceInfo
- Publication number
- JP2001116931A JP2001116931A JP29374699A JP29374699A JP2001116931A JP 2001116931 A JP2001116931 A JP 2001116931A JP 29374699 A JP29374699 A JP 29374699A JP 29374699 A JP29374699 A JP 29374699A JP 2001116931 A JP2001116931 A JP 2001116931A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- holder
- film forming
- forming apparatus
- fitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバ成膜
装置に関し、特に、複数本の光ファイバを一括して収容
固定する光ファイバホルダ８０を有する光ファイバ成膜
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber film forming apparatus, and more particularly to an optical fiber film forming apparatus having an optical fiber holder 80 for accommodating and fixing a plurality of optical fibers collectively.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図７を参照してイオンビームスパッタ装
置の概略を図示説明する。図７において、６０はイオン
ビームスパッタ装置の真空チャンバを示す。この真空チ
ャンバ６０には、イオンガン６１、ターゲットホルダ６
２、基板ホルダ６３が収容、取り付けられている。真空
チャンバ６０には、更に、真空ポンプ６４が取り付けら
れている。2. Description of the Related Art An ion beam sputtering apparatus will be schematically described with reference to FIG. In FIG. 7, reference numeral 60 denotes a vacuum chamber of the ion beam sputtering apparatus. The vacuum chamber 60 includes an ion gun 61 and a target holder 6.
2. The substrate holder 63 is housed and mounted. The vacuum chamber 60 is further provided with a vacuum pump 64.
【０００３】イオンガン６１は真空チャンバ６０の前壁
内面に取り付け固定されており、そのイオン放射端部に
高電圧が印加されるイオン引き出しグリッドが設置され
ている。ターゲットホルダ６２は真空チャンバ６０の側
壁に気密に貫通挿入されるターゲットホルダ回転軸６２
１により回動支持されている。ターゲットホルダ６２の
両面には成膜しようとする物質より成る第１ターゲット
６２３および第２ターゲット６２４が取り付けられる。
両ターゲットの構成物質は相異なるものとする。このタ
ーゲットホルダ６２はターゲットホルダ回転軸６２１を
介して外部から１８０゜反転駆動される。このターゲッ
トホルダ６２を外部から１８０゜反転駆動することによ
り、成膜されるべきターゲット物質を交換変更すること
ができる。An ion gun 61 is fixedly attached to the inner surface of the front wall of the vacuum chamber 60, and an ion extraction grid to which a high voltage is applied is installed at an ion radiation end thereof. The target holder 62 is a target holder rotating shaft 62 that is airtightly inserted through the side wall of the vacuum chamber 60.
1 and is rotatably supported. A first target 623 and a second target 624 made of a substance to be formed into a film are attached to both surfaces of the target holder 62.
The constituent materials of both targets are different. The target holder 62 is externally driven by 180 ° inversion through a target holder rotation shaft 621. The target material to be formed can be exchanged and changed by inverting the target holder 62 by 180 ° from the outside.
【０００４】基板ホルダ６３は真空チャンバ６０の上壁
に気密に貫通挿入される回転軸６３１により回転支持さ
れている。この基板ホルダ６３は回転軸６３１を介して
外部から回転駆動される。そして、基板ホルダ６３の図
における下面には薄膜が成膜されるべき成膜用サンプル
６３２が取り付けられる。真空チャンバ６０は真空ポン
プ６４により排気される。ターゲットホルダ６２に第１
ターゲット６２３および第２ターゲット６２４を取り付
け、次いで、イオンガン６１からイオンビームを発生さ
せる。イオンガン６１から発生せしめられたイオンビー
ムは、高電圧を印加されたイオン引き出しグリッドによ
り高速に加速されて電子ビームとして引き出し放射され
る。この電子ビームはターゲットホルダ６２に保持され
る第１ターゲット６２３に衝突し、第１ターゲット６２
３を構成する物質をスパッタリングする。第１ターゲッ
ト６２３の材料として、金属材料、絶縁材料その他多種
多様な種類の材料を使用することができる。第１ターゲ
ット６２３からスパッタリングされたターゲット構成物
質の粒子は基板ホルダ６３に保持される薄膜を成膜され
るべき成膜用サンプル６３２の表面に付着し、ここにタ
ーゲット構成物質の薄膜が形成されることになる。この
薄膜を形成している時、基板ホルダ６３は回転軸６３１
により回転されており、これにより形成される薄膜の膜
厚を均一にすることができる。ターゲットホルダ回転軸
６２１を１８０゜回動させることにより、イオンガン６
１に対向する第１ターゲット６２３を他方の面に取り付
けられる第２ターゲット６２４に交換することができ
る。この様にして、成膜用サンプル６３２の表面に多層
膜を形成することを容易にしている。[0004] The substrate holder 63 is rotatably supported by a rotating shaft 631 which is inserted through the upper wall of the vacuum chamber 60 in a gas-tight manner. The substrate holder 63 is driven to rotate from outside via a rotation shaft 631. A film-forming sample 632 on which a thin film is to be formed is attached to the lower surface of the substrate holder 63 in the drawing. The vacuum chamber 60 is evacuated by a vacuum pump 64. The first in the target holder 62
The target 623 and the second target 624 are attached, and then the ion gun 61 generates an ion beam. The ion beam generated from the ion gun 61 is accelerated at a high speed by an ion extraction grid to which a high voltage is applied, and is extracted and emitted as an electron beam. This electron beam collides with the first target 623 held by the target holder 62, and
3 is sputtered. As the material of the first target 623, various kinds of materials such as a metal material, an insulating material, and the like can be used. The particles of the target constituent material sputtered from the first target 623 adhere to the surface of the film forming sample 632 where the thin film held by the substrate holder 63 is to be formed, and the target constituent material thin film is formed thereon. Will be. When this thin film is formed, the substrate holder 63 holds the rotating shaft 631
, So that the thickness of the thin film formed can be made uniform. By rotating the target holder rotation shaft 621 by 180 °, the ion gun 6
The first target 623 facing 1 can be replaced with a second target 624 attached to the other surface. In this manner, it is easy to form a multilayer film on the surface of the film formation sample 632.
【０００５】ここで、光学的多層膜の如き透明な薄膜を
成膜する以上のイオンビームスパッタ装置の如き薄膜成
膜装置において、薄膜を成膜されるべき成膜用サンプル
６３２を固定するホルダとして、図８に示される基板ホ
ルダ６３が使用される。この基板ホルダ６３は、平面の
成膜用サンプル６３２を嵌合する窪み７１を有してい
る。そして、この基板ホルダ６３の窪み７１に嵌合する
成膜用サンプル６３２はマスク７２により基板ホルダ６
３に保持される。そして、基板ホルダ６３は、上述した
通り、回転軸６３１に取り付け固定され、一定速度で回
転駆動せしめられる。薄膜成膜中においてこの基板ホル
ダ６３が回転駆動されることにより、これに保持される
成膜用サンプル６３２に成膜される膜厚分布を均一にす
ることができる。Here, in a thin film forming apparatus such as an ion beam sputtering apparatus for forming a transparent thin film such as an optical multilayer film, a holder for fixing a film forming sample 632 on which a thin film is to be formed is used. The substrate holder 63 shown in FIG. 8 is used. The substrate holder 63 has a recess 71 into which a planar film-forming sample 632 is fitted. Then, the film-forming sample 632 fitted into the recess 71 of the substrate holder 63 is moved by the mask 72 to the substrate holder 6.
3 is held. Then, as described above, the substrate holder 63 is attached and fixed to the rotating shaft 631, and is driven to rotate at a constant speed. By rotating the substrate holder 63 during the thin film formation, the film thickness distribution formed on the film forming sample 632 held by the substrate holder 63 can be made uniform.
【０００６】更に、光学的薄膜を成膜する対象が光ファ
イバ８３の芯線の端面の場合があるが、これを図９を参
照して説明する。複数本の光ファイバを一括して収容す
る光ファイバホルダ８０が使用される。この光ファイバ
ホルダ８０は、フェルール取り付け基板８１と、フェル
ール取り付け基板８１にネジにより取り付け、取り外し
される光ファイバ保持治具８２より成る。フェルール取
り付け基板８１には、マトリックス状に複数のフェルー
ル挿着孔８１１が形成され、ここにフェルール８１２が
嵌合固定されている。光ファイバ８３はその先端部の芯
線の端面を露出した状態でフェルール８１２に固定さ
れ、光ファイバ８３のその他の部分は光ファイバ保持治
具８２に保持させる。この光ファイバホルダ８０は、図
８の基板ホルダ６３に代えて、ターゲットホルダ６２に
対向した状態で回転軸６３１に取り付け固定される。Further, there is a case where an optical thin film is formed on an end face of a core wire of the optical fiber 83, which will be described with reference to FIG. An optical fiber holder 80 that collectively accommodates a plurality of optical fibers is used. The optical fiber holder 80 includes a ferrule mounting substrate 81 and an optical fiber holding jig 82 which is attached to and removed from the ferrule mounting substrate 81 by screws. A plurality of ferrule insertion holes 811 are formed in a matrix on the ferrule mounting board 81, and a ferrule 812 is fitted and fixed therein. The optical fiber 83 is fixed to the ferrule 812 in a state where the end face of the core wire at the tip is exposed, and the other part of the optical fiber 83 is held by the optical fiber holding jig 82. The optical fiber holder 80 is attached and fixed to the rotating shaft 631 in a state facing the target holder 62 instead of the substrate holder 63 of FIG.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】光学的薄膜を光ファイ
バ８３の端面に成膜するに使用される以上の光ファイバ
ホルダ８０は、基板ホルダ６３に成膜されるべき基板を
載置してこれに光学的薄膜を成膜する場合と同様に、多
数本の光ファイバ８３の端面に形成される膜厚を均等に
することを目的として、成膜工程中は回転駆動される。
ところが、光ファイバ８３は、先端部がフェルール８１
２を介してフェルール挿着孔８１１に嵌合固定されてい
る他は、光ファイバ保持治具８２内において格別に固定
されている訳ではないので、光ファイバ８３の先端部か
ら延伸している部分がが回転駆動中に遠心力により分散
して光ファイバ８３同志が絡まる恐れがある。The optical fiber holder 80 used for forming an optical thin film on the end face of the optical fiber 83 is provided by mounting the substrate to be formed on the substrate holder 63 and holding the substrate. As in the case of forming an optical thin film on the optical fiber 83, the film is rotated during the film forming process for the purpose of equalizing the film thickness formed on the end faces of the large number of optical fibers 83.
However, the tip of the optical fiber 83 is a ferrule 81.
2 is not particularly fixed in the optical fiber holding jig 82 except that it is fitted and fixed to the ferrule insertion hole 811 via the second part 2. However, there is a possibility that the optical fibers 83 may be entangled with each other due to the centrifugal force during rotation driving.
【０００８】この発明は、複数本の光ファイバを一括収
容固定して回転駆動中に生ずる遠心力によっても光ファ
イバを分散させない光ファイバホルダ８０を具備する光
ファイバ成膜装置を提供するものである。The present invention provides an optical fiber film forming apparatus including an optical fiber holder 80 that accommodates and fixes a plurality of optical fibers at a time and does not disperse the optical fibers even by centrifugal force generated during rotational driving. .
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項１：スパッタ成膜
装置の真空チャンバ６０に気密に貫通挿入される回転軸
６３１により回転駆動される回転ホルダ１１と回転ホル
ダ１１に固定されるケーシング１２より成る光ファイバ
ホルダ８０を具備し、光ファイバホルダ８０内に収容取
り付けられる光ファイバ保持ケース１３を複数個具備
し、光ファイバ８３をその成膜されるべき先端部を外部
に露出して光ファイバ保持ケース１３に保持すると共
に、光ファイバ保持ケース１３をその光ファイバ８３の
先端部を外部に露出した端部を露出して回転ホルダ１１
に取り付けた光ファイバ成膜装置を構成した。Means for Solving the Problems Claim 1: A rotating holder 11 driven to rotate by a rotating shaft 631 that is hermetically inserted into a vacuum chamber 60 of a sputtering film forming apparatus and a casing 12 fixed to the rotating holder 11. A plurality of optical fiber holding cases 13 accommodated and mounted in the optical fiber holder 80, and holding the optical fiber 83 by exposing the tip end where the film is to be formed to the outside. While holding the optical fiber holding case 13 in the case 13 and exposing the end of the optical fiber 83 with the tip end exposed to the outside, the rotary holder 11
The optical fiber film-forming apparatus attached to was constructed.
【００１０】そして、請求項２：請求項１に記載される
光ファイバ成膜装置において、回転ホルダ１１に光ファ
イバ保持ケース１３の端部を嵌合する嵌合凹部１１１を
光ファイバホルダ８０に収容される光ファイバ保持ケー
ス１３の数に対応し形成し、嵌合凹部１１１には窓部１
１２が形成されており、ケーシング１２の上板に嵌合凹
部１１１のそれぞれに対応する上側嵌合凹部１２１を形
成した光ファイバ成膜装置を構成した。Claim 2: In the optical fiber film forming apparatus according to claim 1, the fitting recess 111 for fitting the end of the optical fiber holding case 13 to the rotary holder 11 is accommodated in the optical fiber holder 80. The number of the optical fiber holding cases 13 to be formed is formed.
An optical fiber film forming apparatus was formed in which upper portions 12 were formed and upper fitting recesses 121 corresponding to each of the fitting recesses 111 were formed in the upper plate of the casing 12.
【００１１】また、請求項３：請求項１および請求項２
の内の何れかに記載される光ファイバ成膜装置におい
て、光ファイバ保持ケース１３は対向する１対の端面板
２０、底板を構成する光ファイバ端部固定ホルダ２１、
対向する１対の側面板２２、および蓋板２３より成り、
光ファイバ端部固定ホルダ２１には複数個のフェルール
挿着孔８１１を相互に離隔して一方方向に配列して貫通
形成し、光ファイバ保持ケース１３には、更に、フェル
ール挿着孔８１１の配列される方向に光ファイバ保持シ
ャフト２５を取り付けた光ファイバ成膜装置を構成し
た。[0011] Claim 3: Claims 1 and 2
In the optical fiber film forming apparatus described in any one of the above, the optical fiber holding case 13 includes a pair of opposed end face plates 20, an optical fiber end fixing holder 21 forming a bottom plate,
Consisting of a pair of side plates 22 and a cover plate 23 facing each other,
A plurality of ferrule insertion holes 811 are formed in the optical fiber end fixing holder 21 so as to be spaced apart from each other and arranged in one direction to penetrate therethrough. In the optical fiber holding case 13, an arrangement of the ferrule insertion holes 811 is further provided. An optical fiber film-forming apparatus in which the optical fiber holding shaft 25 was attached in the direction in which the film was formed was constructed.
【００１２】更に、請求項４：請求項３に記載される光
ファイバ成膜装置において、隣接するフェルール挿着孔
８１１の間には光ファイバ仕切り板２４が介在せしめら
れた光ファイバ成膜装置を構成した。また、請求項５：
請求項３および請求項４の内の何れかに記載される光フ
ァイバ成膜装置において、光ファイバ仕切り板２４には
光ファイバ保持シャフト２５に対応してシャフト係合ス
リット２４１を水平方向に形成し、光ファイバ端部固定
ホルダ２１の上面にはフェルール挿着孔８１１の配列方
向に交差して仕切り板嵌合溝２１２を形成すると共に、
同様に蓋板２３下面には仕切り板嵌合溝２３１を形成し
た光ファイバ成膜装置を構成した。Further, in the optical fiber film forming apparatus described in claim 3, the optical fiber film forming apparatus has an optical fiber partition plate 24 interposed between adjacent ferrule insertion holes 811. Configured. Claim 5:
In the optical fiber film forming apparatus according to any one of claims 3 and 4, a shaft engaging slit 241 is formed in the optical fiber partition plate 24 in a horizontal direction corresponding to the optical fiber holding shaft 25. A partition plate fitting groove 212 is formed on the upper surface of the optical fiber end fixing holder 21 so as to intersect with the direction in which the ferrule insertion holes 811 are arranged.
Similarly, an optical fiber film forming apparatus having a partition plate fitting groove 231 formed on the lower surface of the lid plate 23 was constructed.
【００１３】更に、請求項６：請求項３ないし請求項５
の内の何れかに記載される光ファイバ成膜装置におい
て、フェルール挿着孔８１１配列方向に沿って光ファイ
バ端部固定ホルダ２１に案内溝２１３を形成すると共
に、同様にフェルール挿着孔８１１配列方向に沿って蓋
板２３に案内溝２３２を形成し、側面板２２を案内摺動
する光ファイバ成膜装置を構成した。Further, claim 6: claims 3 to 5
In the optical fiber film forming apparatus described in any one of the above, the guide groove 213 is formed in the optical fiber end fixing holder 21 along the direction in which the ferrule insertion holes 811 are arranged, and the ferrule insertion holes 811 are similarly arranged. A guide groove 232 is formed in the cover plate 23 along the direction, and an optical fiber film forming apparatus that guides and slides the side plate 22 is configured.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１、図
２に示される実施例を参照して説明する。図１は光ファ
イバホルダの実施例の斜視図である。図２は光ファイバ
ホルダの内部を上から視たところを示す図である。実施
例において、従来例と共通する部材には共通する参照符
号を付与している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the optical fiber holder. FIG. 2 is a diagram showing the inside of the optical fiber holder as viewed from above. In the embodiments, members common to the conventional example are assigned the same reference numerals.
【００１５】図１において、光ファイバホルダ８０は底
板を構成する回転ホルダ１１と、回転ホルダ１１にネジ
により取り付け、取り外しされるケーシング１２より成
る。この光ファイバホルダ８０は図３の回転軸６３１に
連結しており、回転軸６３１を回転駆動することにより
回転せしめられる。回転ホルダ１１には、光ファイバ保
持ケース１３を嵌合する嵌合凹部１１１が形成されてお
り、この嵌合凹部１１１に光ファイバ保持ケース１３の
下端部を嵌合位置決めする。この嵌合凹部１１１は光フ
ァイバホルダ８０に収容される光ファイバ保持ケース１
３の数に対応して形成される。ケーシング１２の上板に
は、嵌合凹部１１１のそれぞれに対応する上側嵌合凹部
１２１が形成されている。光ファイバ保持ケース１３
は、上側嵌合凹部１２１と嵌合凹部１１１に上下端部を
嵌合させて光ファイバホルダ８０内に収容位置決め保持
されている。光ファイバ保持ケース１３は、回転ホルダ
１１において周方向に２列に配列、位置決め、保持され
ている。In FIG. 1, an optical fiber holder 80 comprises a rotating holder 11 constituting a bottom plate, and a casing 12 which is attached to the rotating holder 11 with screws and is removed. The optical fiber holder 80 is connected to the rotating shaft 631 in FIG. 3, and is rotated by driving the rotating shaft 631 to rotate. The rotary holder 11 is formed with a fitting recess 111 for fitting the optical fiber holding case 13, and the lower end of the optical fiber holding case 13 is fitted and positioned in the fitting recess 111. The fitting recess 111 is used for holding the optical fiber holding case 1 accommodated in the optical fiber holder 80.
It is formed corresponding to the number of 3. Upper fitting recesses 121 corresponding to each of the fitting recesses 111 are formed in the upper plate of the casing 12. Optical fiber holding case 13
The upper and lower end portions are fitted into the upper fitting concave portion 121 and the fitting concave portion 111, and are housed, positioned and held in the optical fiber holder 80. The optical fiber holding case 13 is arranged, positioned, and held in the rotating holder 11 in two rows in the circumferential direction.
【００１６】光ファイバ保持ケース１３の位置決め、保
持の詳細は図４に示される通りである。即ち、光ファイ
バ保持ケース１３の上下端部は、ケーシング１２の上板
に形成される上側嵌合凹部１２１と回転ホルダ１１に形
成される嵌合凹部１１１に嵌合される。そして、嵌合凹
部１１１には大きな窓部１１２が形成されている。光フ
ァイバ保持ケース１３の下端部は、光ファイバホルダ８
０内に収容位置決め保持された状態で、この大きな窓部
１１２を介して外部に露出する。Details of the positioning and holding of the optical fiber holding case 13 are as shown in FIG. That is, the upper and lower ends of the optical fiber holding case 13 are fitted into the upper fitting recess 121 formed in the upper plate of the casing 12 and the fitting recess 111 formed in the rotary holder 11. A large window 112 is formed in the fitting recess 111. The lower end of the optical fiber holding case 13 is
In the state of being housed, positioned, and held in the inner space 0, it is exposed to the outside through the large window 112.
【００１７】図５は光ファイバ保持ケース１３の分解斜
視断図である。図５において、２０は光ファイバ保持ケ
ース１３の１対の対向する端面板、２１は光ファイバ保
持ケース１３の底板を構成する光ファイバ端部固定ホル
ダ、２２は１対の対向する側面板、そして２３は蓋板で
ある。光ファイバ保持ケース１３の光ファイバ端部固定
ホルダ２１には、フェルール挿着孔８１１が複数個直線
状に位置決め形成されている。そして、光ファイバ８３
はその先端部にフェルール８１２が取り付けられてい
る。光ファイバ８３は、その先端部のフェルール８１２
をフェルール挿着孔８１１に嵌入すると共に、光ファイ
バのその他の部分は光ファイバ保持シャフト２５に巻き
付けて光ファイバ保持ケース１３内に保持される。ま
た、隣接するフェルール挿着孔８１１の間には光ファイ
バ仕切り板２４が介在せしめられる。この光ファイバ仕
切り板２４には、光ファイバ保持シャフト２５に対応し
てシャフト係合スリット２４１が水平方向に形成されて
いる。この光ファイバ仕切り板２４は、光ファイバ端部
固定ホルダ２１の上面にフェルール挿着孔８１１の配列
方向に交差して形成される仕切り板嵌合溝２１２に下端
部を嵌合せしめると共に同様に蓋板２３下面に形成され
る仕切り板嵌合溝２３１に嵌合せしめ、更にシャフト係
合スリット２４１を光ファイバ保持シャフト２５に係合
せしめることにより、光ファイバ保持ケース１３に取り
付けられる。この光ファイバ仕切り板２４が介在するこ
とにより、光ファイバ８３をその先端部のフェルール８
１２をフェルール挿着孔８１１に嵌入すると共に光ファ
イバのその他の部分は光ファイバ保持シャフト２５に巻
き付けて光ファイバ保持ケース１３内に保持させた場合
に、光ファイバ８３同志が相互に干渉して絡み合うこと
が防止される。この光ファイバ保持ケース１３の両側面
は、フェルール挿着孔８１１配列方向に沿って光ファイ
バ端部固定ホルダ２１および蓋板２３に形成される案内
溝２１３および案内溝２３２に嵌合して案内される側面
板２２により閉塞される。光ファイバ保持ケース１３は
上述の如く光ファイバ８３を保持し、外部と遮断閉塞す
ることにより、回転駆動中において光ファイバ８３が遠
心力により分散せず、光ファイバ保持ケース１３内に薄
膜材料が侵入することもない。FIG. 5 is an exploded perspective view of the optical fiber holding case 13. In FIG. 5, reference numeral 20 denotes a pair of opposed end face plates of the optical fiber holding case 13, 21 denotes an optical fiber end fixing holder constituting a bottom plate of the optical fiber holding case 13, 22 denotes a pair of opposed side plates, and 23 is a cover plate. A plurality of ferrule insertion holes 811 are linearly positioned and formed in the optical fiber end fixing holder 21 of the optical fiber holding case 13. And the optical fiber 83
Has a ferrule 812 attached to its tip. The optical fiber 83 has a ferrule 812 at its tip.
Is inserted into the ferrule insertion hole 811, and the other part of the optical fiber is wound around the optical fiber holding shaft 25 and held in the optical fiber holding case 13. The optical fiber partition plate 24 is interposed between the adjacent ferrule insertion holes 811. A shaft engaging slit 241 is formed in the optical fiber partition plate 24 in a horizontal direction corresponding to the optical fiber holding shaft 25. The lower end of the optical fiber partition plate 24 is fitted into a partition plate fitting groove 212 formed on the upper surface of the optical fiber end portion fixing holder 21 so as to intersect with the direction in which the ferrule insertion holes 811 are arranged. It is attached to the optical fiber holding case 13 by fitting it into the partition plate fitting groove 231 formed on the lower surface of the plate 23 and further engaging the shaft engaging slit 241 with the optical fiber holding shaft 25. With the optical fiber partition plate 24 interposed, the optical fiber 83 is connected to the ferrule 8 at the distal end.
When the optical fiber 83 is inserted into the ferrule insertion hole 811 and the other part of the optical fiber is wound around the optical fiber holding shaft 25 and held in the optical fiber holding case 13, the optical fibers 83 interfere with each other and become entangled with each other. Is prevented. Both side surfaces of the optical fiber holding case 13 are fitted and guided in the guide grooves 213 and 232 formed in the optical fiber end fixing holder 21 and the cover plate 23 along the arrangement direction of the ferrule insertion holes 811. Is closed by the side plate 22. The optical fiber holding case 13 holds the optical fiber 83 as described above and shuts off and closes the outside, so that the optical fiber 83 does not disperse due to centrifugal force during rotation driving, and the thin film material enters the optical fiber holding case 13. Nothing to do.
【００１８】図６は光ファイバ端部固定ホルダ２１に設
置されている光ファイバ押さえ部を説明する図である。
図６において、３１は光ファイバ固定ばねである。この
光ファイバ固定ばね３１は、フェルール挿着孔８１１に
関して互いに対向して光ファイバ端部固定ホルダ２１に
螺合される２本の取り付けネジ３２に端部がそれぞれ取
り付けられている。上述した通り、光ファイバ８３には
その先端部にフェルール８１２が付設されている。光フ
ァイバ８３の先端部のフェルール８１２は、光ファイバ
端部固定ホルダ２１のフェルール挿着孔８１１に挿入取
り付けられると共に、その上端部には光ファイバ固定ば
ね３１が挟みつけられて固定される。光ファイバ８３の
先端部の芯線の端面は研磨されており、光ファイバ端部
固定ホルダ２１に取り付けられた状態で研磨端面のみは
下面から外部に露出している。FIG. 6 is a view for explaining the optical fiber pressing portion provided on the optical fiber end fixing holder 21. As shown in FIG.
In FIG. 6, reference numeral 31 denotes an optical fiber fixing spring. The ends of the optical fiber fixing spring 31 are respectively attached to two mounting screws 32 that are screwed to the optical fiber end fixing holder 21 so as to face each other with respect to the ferrule insertion hole 811. As described above, the ferrule 812 is attached to the tip of the optical fiber 83. The ferrule 812 at the distal end of the optical fiber 83 is inserted and attached to the ferrule insertion hole 811 of the optical fiber end fixing holder 21, and the optical fiber fixing spring 31 is sandwiched and fixed to the upper end. The end face of the core wire at the tip of the optical fiber 83 is polished, and only the polished end face is exposed to the outside from the lower surface in a state of being attached to the optical fiber end fixing holder 21.
【００１９】光ファイバ８３の先端部に取り付けられる
フェルール８１２として、２. ０ｍｍ径或いは２. ５ｍ
ｍ径のフェルールが多用されるが、１ｍｍ径程度の特殊
なフェルールが使用される。この発明は、これら多種の
フェルール８１２に対応する光ファイバ保持ケース１３
を準備しておくことにより、これら多種のフェルール８
１２に嵌合された多種の光ファイバ８３を同時に成膜処
理することができる。The ferrule 812 attached to the tip of the optical fiber 83 has a diameter of 2.0 mm or 2.5 m.
A ferrule having a diameter of m is often used, but a special ferrule having a diameter of about 1 mm is used. The present invention provides an optical fiber holding case 13 corresponding to these various ferrules 812.
By preparing the various ferrules 8
The various types of optical fibers 83 fitted to 12 can be simultaneously subjected to film formation processing.
【００２０】１個の光ファイバ保持ケース１３には１０
本程度の光ファイバ８３を収容固定し、この光ファイバ
保持ケース１３を回転ホルダ１１を図２に示される如く
に数１０個位置決め固定する。１個の光ファイバホルダ
８０内に光ファイバ８３を一括して直接装着する図９に
示される従来例の場合と比較して、成膜用光ファイバの
固定は容易となり、成膜取り扱いの作業性は大きく改善
される。One optical fiber holding case 13 has 10
About ten optical fibers 83 are accommodated and fixed, and the optical fiber holding case 13 is positioned and fixed to several tens of rotary holders 11 as shown in FIG. Compared with the conventional example shown in FIG. 9 in which the optical fibers 83 are directly mounted collectively and directly in one optical fiber holder 80, the fixing of the film forming optical fiber becomes easier, and the workability of film forming handling is improved. Is greatly improved.
【００２１】以上の図示説明において、光ファイバ成膜
装置において、スパッタ処理はイオンビームスパッタ装
置により実施されたが、これ以外のスパッタ装置により
スパッタ処理を実施することができる。In the above description, the sputtering process is performed by the ion beam sputtering device in the optical fiber film forming apparatus. However, the sputtering process can be performed by another sputtering device.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、スパッタ成膜装置の真空チャンバ６０に気密に貫通
挿入される回転軸６３１により回転駆動される回転ホル
ダ１１と回転ホルダ１１に固定されるケーシング１２よ
り成る光ファイバホルダ８０を具備し、光ファイバホル
ダ８０内に収容取り付けられる光ファイバ保持ケース１
３を複数個具備し、光ファイバ８３をその成膜されるべ
き先端部を外部に露出して光ファイバ保持ケース１３に
保持すると共に光ファイバ保持ケース１３をその光ファ
イバ８３の先端部を外部に露出した端部を露出して回転
ホルダ１１に取り付けた光ファイバ成膜装置を構成し
た。ここで、光ファイバホルダ８０内に光ファイバ保持
ケース１３を複数個具備し、光ファイバ８３を複数に分
割して光ファイバホルダ８０内に収容固定することによ
り、図９に示される従来例の如く１個の光ファイバホル
ダ８０内に光ファイバ８３を一括して直接装着する場合
と比較して、成膜用光ファイバの固定は容易となり、成
膜取り扱いの作業性は大きく改善される。そして、光フ
ァイバの先端形状の異なるものに対して、これらに適合
する光ファイバ保持ケース１３を複数種類準備すること
により、複数種類の形状の光ファイバを同時にセットし
て成膜することができる。As described above, according to the present invention, the rotary holder 11 is driven to rotate by the rotary shaft 631 which is hermetically inserted into the vacuum chamber 60 of the sputtering film forming apparatus, and is fixed to the rotary holder 11. An optical fiber holder 80 comprising an optical fiber holder 80 comprising a casing 12 to be mounted, and an optical fiber holding case 1 accommodated and mounted in the optical fiber holder 80.
The optical fiber 83 is provided with a plurality of optical fibers 83, and the optical fiber 83 is exposed to the outside and held in the optical fiber holding case 13. An optical fiber film-forming apparatus in which the exposed end was exposed and attached to the rotary holder 11 was configured. Here, a plurality of optical fiber holding cases 13 are provided in the optical fiber holder 80, and the optical fiber 83 is divided into a plurality of parts and accommodated and fixed in the optical fiber holder 80, as in the conventional example shown in FIG. Compared with the case where the optical fibers 83 are directly mounted collectively in one optical fiber holder 80, the fixing of the optical fiber for film formation is facilitated, and the workability of the film formation handling is greatly improved. By preparing a plurality of types of optical fiber holding cases 13 suitable for optical fibers having different tip shapes, it is possible to simultaneously set and form films of a plurality of types of optical fibers.
【００２３】また、回転ホルダ１１に光ファイバ保持ケ
ース１３の端部を嵌合する嵌合凹部１１１を光ファイバ
ホルダ８０に収容される光ファイバ保持ケース１３の数
に対応して形成し、嵌合凹部１１１には窓部１１２を形
成すると共に、ケーシング１２の上板に嵌合凹部１１１
のそれぞれに対応する上側嵌合凹部１２１を形成したこ
とにより、光ファイバ保持ケース１３をこれら嵌合凹部
に単に嵌合することのみにより極く簡単に光ファイバ８
３を光ファイバホルダ８０に収容固定することができ
る。Further, fitting recesses 111 for fitting the end portions of the optical fiber holding case 13 to the rotary holder 11 are formed corresponding to the number of the optical fiber holding cases 13 accommodated in the optical fiber holder 80, and are fitted. A window 112 is formed in the recess 111 and a fitting recess 111 is formed in the upper plate of the casing 12.
Is formed, the optical fiber holding case 13 is simply fitted into these fitting recesses, so that the optical fiber 8 can be extremely easily formed.
3 can be housed and fixed in the optical fiber holder 80.
【００２４】更に、光ファイバ保持ケース１３におい
て、光ファイバ端部固定ホルダ２１に複数個のフェルー
ル挿着孔８１１を相互に離隔して一方方向に配列して貫
通形成し、フェルール挿着孔８１１の配列される方向に
光ファイバ保持シャフト２５を取り付けたことにより、
光ファイバ８３をその先端部をフェルール挿着孔８１１
に嵌合固定し、その他の部分は光ファイバ保持シャフト
２５に巻き付けて光ファイバ保持ケース１３内に保持す
ることができ、光ファイバ８３の先端部から延伸してい
る部分がが回転駆動中に遠心力により分散して光ファイ
バ８３同志が絡まる恐れはなくなる。Further, in the optical fiber holding case 13, a plurality of ferrule insertion holes 811 are formed in the optical fiber end fixing holder 21 so as to be spaced apart from each other and arranged in one direction to penetrate therethrough. By attaching the optical fiber holding shaft 25 in the arrangement direction,
The tip of the optical fiber 83 is inserted into a ferrule insertion hole 811.
The other portion can be wound around the optical fiber holding shaft 25 and held in the optical fiber holding case 13, and the portion extending from the tip of the optical fiber 83 can be centrifuged during rotation. There is no possibility that the optical fibers 83 are entangled by being dispersed by the force.
【００２５】そして、隣接するフェルール挿着孔８１１
の間には光ファイバ仕切り板２４が介在せしめられたこ
とにより、相互に絡まる恐れのある光ファイバ８３同志
の分離はより確実になる。また、フェルール挿着孔８１
１配列方向に沿って光ファイバ端部固定ホルダ２１に案
内溝２１３を形成すると共に同様にフェルール挿着孔８
１１配列方向に沿って蓋板２３に案内溝２３２を形成
し、側面板２２を案内摺動する構成を採用することによ
り、光ファイバ保持ケース１３における光ファイバ８３
に対する取り付け、取り外しに際して取り扱いを容易に
することができる。The adjacent ferrule insertion hole 811
Since the optical fiber partition plate 24 is interposed between the optical fibers 83, the separation of the optical fibers 83 that may be entangled with each other becomes more reliable. Also, the ferrule insertion hole 81
A guide groove 213 is formed in the optical fiber end fixing holder 21 along one arrangement direction, and the ferrule insertion hole 8 is similarly formed.
A guide groove 232 is formed in the cover plate 23 along the direction in which the optical fibers 11 are arranged.
The handling can be facilitated when attaching to and detaching from the device.
【図１】光ファイバホルダの実施例の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of an optical fiber holder.
【図２】光ファイバホルダの実施例を上から視た図。FIG. 2 is a top view of an embodiment of the optical fiber holder.
【図３】光ファイバホルダの実施例を使用したイオンビ
ームスパッタ装置を示す図。FIG. 3 is a diagram showing an ion beam sputtering apparatus using an embodiment of an optical fiber holder.
【図４】光ファイバ保持ケースの光ファイバホルダへの
セット部の断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of a setting portion of an optical fiber holding case to an optical fiber holder.
【図５】光ファイバ保持ケースの斜視図。FIG. 5 is a perspective view of an optical fiber holding case.
【図６】光ファイバ端部固定ホルダを説明する図。FIG. 6 is a diagram illustrating an optical fiber end fixing holder.
【図７】基板ホルダの従来例を使用したイオンビームス
パッタ装置を示す図。FIG. 7 is a diagram showing an ion beam sputtering apparatus using a conventional example of a substrate holder.
【図８】基板ホルダの従来例の斜視図。FIG. 8 is a perspective view of a conventional example of a substrate holder.
【図９】光ファイバホルダの従来例の断面図。FIG. 9 is a sectional view of a conventional example of an optical fiber holder.
１１ 回転ホルダ １１１ 嵌合凹部 １１２ 窓部 １２ ケーシング １２１ 上側嵌合凹部 １３ 光ファイバ保持ケース ２０ 端面板 ２１ 光ファイバ端部固定ホルダ ２１２ 仕切り板嵌合溝 ２１３ 案内溝 ２２ 側面板 ２３ 蓋板 ２３１ 仕切り板嵌合溝 ２３２ 案内溝 ２４ 光ファイバ仕切り板 ２４１ シャフト係合スリット ２５ 光ファイバ保持シャフト ３１ 光ファイバ固定ばね ３２ 取り付けネジ ６０ 真空チャンバ ６１ イオンガン ６２ ターゲットホルダ ６２１ ターゲットホルダ回転軸 ６２３ 第１ターゲット ６２４ 第２ターゲット ６３ 基板ホルダ ６３１ 回転軸 ６３２ 成膜用サンプル ６４ 真空ポンプ ７１ 窪み ７２ マスク ８０ 光ファイバホルダ ８１ フェルール取り付け基板 ８１１ フェルール挿着孔 ８１２ フェルール ８２ 光ファイバ保持治具 ８３ 光ファイバ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Rotation holder 111 Fitting concave part 112 Window part 12 Casing 121 Upper fitting concave part 13 Optical fiber holding case 20 End face plate 21 Optical fiber end fixing holder 212 Partition plate fitting groove 213 Guide groove 22 Side plate 23 Cover plate 231 Partition plate Fitting groove 232 Guide groove 24 Optical fiber partition plate 241 Shaft engaging slit 25 Optical fiber holding shaft 31 Optical fiber fixing spring 32 Mounting screw 60 Vacuum chamber 61 Ion gun 62 Target holder 621 Target holder rotation axis 623 First target 624 Second target 63 Substrate holder 631 Rotating shaft 632 Film forming sample 64 Vacuum pump 71 Depression 72 Mask 80 Optical fiber holder 81 Ferrule mounting substrate 811 Ferrule insertion hole 812 Ferrule 82 Optical fiber Holding jig 83 optical fiber
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H050 AC89 AC90 4G060 AD12 AD58 4K029 AA08 AA23 BB02 BC08 BD00 CA05 DA10 DC16 JA02 JA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H050 AC89 AC90 4G060 AD12 AD58 4K029 AA08 AA23 BB02 BC08 BD00 CA05 DA10 DC16 JA02 JA06
Claims (6)
に貫通挿入される回転軸により回転駆動される回転ホル
ダと回転ホルダに固定されるケーシングより成る光ファ
イバホルダを具備し、 光ファイバホルダ内に収容取り付けられる光ファイバ保
持ケースを複数個具備し、 光ファイバをその成膜されるべき先端部を外部に露出し
て光ファイバ保持ケースに保持すると共に、光ファイバ
保持ケースをその光ファイバの先端部を外部に露出した
端部を露出して回転ホルダに取り付けたことを特徴とす
る光ファイバ成膜装置。1. An optical fiber holder comprising: a rotary holder rotatably driven by a rotary shaft inserted through a vacuum chamber of a sputter deposition apparatus in a gas-tight manner; and a casing fixed to the rotary holder. A plurality of optical fiber holding cases to be accommodated and attached are provided, and the optical fiber holding case is held by exposing the tip of the optical fiber to be formed to the outside and holding the optical fiber holding case to the tip of the optical fiber. An optical fiber film forming apparatus characterized in that an end of the optical fiber is exposed to the outside and attached to a rotary holder.
置において、 回転ホルダに光ファイバ保持ケースの端部を嵌合する嵌
合凹部を光ファイバホルダに収容される光ファイバ保持
ケースの数に対応して形成し、嵌合凹部には窓部が形成
されており、 ケーシングの上板に嵌合凹部のそれぞれに対応する上側
嵌合凹部を形成したことを特徴とする光ファイバ成膜装
置。2. The optical fiber film forming apparatus according to claim 1, wherein the number of the optical fiber holding cases accommodated in the optical fiber holder is a fitting recess for fitting an end of the optical fiber holding case to the rotary holder. An optical fiber film forming apparatus characterized in that a window is formed in the fitting recess, and upper fitting recesses corresponding to each of the fitting recesses are formed in the upper plate of the casing. .
記載される光ファイバ成膜装置において、 光ファイバ保持ケースは対向する１対の端面板、底板を
構成する光ファイバ端部固定ホルダ、対向する１対の側
面板、および蓋板より成り、 光ファイバ端部固定ホルダには複数個のフェルール挿着
孔を相互に離隔して一方方向に配列して貫通形成し、 光ファイバ保持ケースには、更に、フェルール挿着孔の
配列される方向に光ファイバ保持シャフトを取り付けた
ことを特徴とする光ファイバ成膜装置。3. The optical fiber film forming apparatus according to claim 1, wherein the optical fiber holding case is fixed to a pair of opposed end face plates and a bottom plate. A holder, a pair of side plates facing each other, and a lid plate, and a plurality of ferrule insertion holes are formed in the optical fiber end fixing holder so as to be spaced apart from each other and arranged in one direction to penetrate; The optical fiber film forming apparatus further comprising an optical fiber holding shaft attached to the case in a direction in which the ferrule insertion holes are arranged.
置において、 隣接するフェルール挿着孔の間には光ファイバ仕切り板
が介在せしめられたことを特徴とする光ファイバ成膜装
置。4. The optical fiber film forming apparatus according to claim 3, wherein an optical fiber partition plate is interposed between adjacent ferrule insertion holes.
記載される光ファイバ成膜装置において、 光ファイバ仕切り板には光ファイバ保持シャフトに対応
してシャフト係合スリットを水平方向に形成し、 光ファイバ端部固定ホルダの上面にはフェルール挿着孔
の配列方向に交差して仕切り板嵌合溝を形成すると共
に、同様に蓋板下面には仕切り板嵌合溝を形成したこと
を特徴とする光ファイバ成膜装置。5. The optical fiber film forming apparatus according to claim 3, wherein a shaft engaging slit is provided in the optical fiber partition plate in a horizontal direction corresponding to the optical fiber holding shaft. A partition plate fitting groove is formed on the upper surface of the optical fiber end fixing holder so as to intersect with the arrangement direction of the ferrule insertion holes, and a partition plate fitting groove is similarly formed on the lower surface of the lid plate. An optical fiber film forming apparatus, characterized in that:
記載される光ファイバ成膜装置において、 フェルール挿着孔配列方向に沿って光ファイバ端部固定
ホルダに案内溝を形成すると共に、同様にフェルール挿
着孔配列方向に沿って蓋板に案内溝を形成し、側面板を
案内摺動することを特徴とする光ファイバ成膜装置。6. The optical fiber film forming apparatus according to claim 3, wherein a guide groove is formed in the optical fiber end fixing holder along the ferrule insertion hole arrangement direction. Similarly, an optical fiber film forming apparatus characterized in that a guide groove is formed in a cover plate along a ferrule insertion hole arrangement direction and a side plate is guided and slid.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29374699A JP4129105B2 (en) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | Optical fiber deposition system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29374699A JP4129105B2 (en) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | Optical fiber deposition system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001116931A true JP2001116931A (en) | 2001-04-27 |
| JP4129105B2 JP4129105B2 (en) | 2008-08-06 |
Family
ID=17798711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29374699A Expired - Fee Related JP4129105B2 (en) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | Optical fiber deposition system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4129105B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102660731A (en) * | 2012-05-11 | 2012-09-12 | 中国计量学院 | Vacuum ion sputtering optical fiber palladium plating alloy device |
| CN114774874A (en) * | 2022-04-13 | 2022-07-22 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | FC type joint optical fiber end face coating clamp, system and use method thereof |
-
1999
- 1999-10-15 JP JP29374699A patent/JP4129105B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102660731A (en) * | 2012-05-11 | 2012-09-12 | 中国计量学院 | Vacuum ion sputtering optical fiber palladium plating alloy device |
| CN114774874A (en) * | 2022-04-13 | 2022-07-22 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | FC type joint optical fiber end face coating clamp, system and use method thereof |
| CN114774874B (en) * | 2022-04-13 | 2023-12-15 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | FC type connector optical fiber end face coating clamp, system and use method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4129105B2 (en) | 2008-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6649208B2 (en) | Apparatus and method for thin film deposition onto substrates | |
| JP3466607B2 (en) | Sputtering equipment | |
| EP1271609A3 (en) | Method and apparatus for maldi analysis | |
| JP2001116931A (en) | Optical fiber film forming device | |
| US6039806A (en) | Precision thickness optical coating system and method of operation thereof | |
| WO2019058790A1 (en) | Laser desorption/ionization method, mass spectrometry method, sample support body, and production method for sample support body | |
| EP1764410B1 (en) | Disk and cell counting and observation apparatus | |
| US4033904A (en) | Interchangeable specimen trays and apparatus for a vacuum type testing system | |
| US20050000451A1 (en) | Clamping jig for semiconductor laser bars | |
| US5482604A (en) | Off-axis radio frequency diode apparatus for sputter deposition of RLG mirrors | |
| US4620103A (en) | Sample holder for mass analysis | |
| JP4573450B2 (en) | Sputtering equipment | |
| GB1329876A (en) | Optical monitoring apparatus | |
| JP2004300495A (en) | Evaporation mask and evaporation method using the same | |
| KR20110041588A (en) | Vacuum vapor deposition apparatus for lens coating | |
| JPH02134542A (en) | Optical monitor apparatus | |
| JPS6353265A (en) | Ion-beam sputtering device | |
| KR100358760B1 (en) | In-situ Physical Vapor Deposition Equipment | |
| Cheng et al. | Recent advances in contact imaging of biological materials | |
| JP2000129435A (en) | Device for producing antireflection film | |
| TWI414616B (en) | Device for optical coating | |
| JPH032228B2 (en) | ||
| JPS5837953Y2 (en) | Base holder for sputter deposition | |
| US20220189757A1 (en) | Sample support | |
| JP4152730B2 (en) | Vacuum deposition system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050928 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050928 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080411 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080513 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080516 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |