JP2001100830A - 生産履歴管理検索方法 - Google Patents
生産履歴管理検索方法Info
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ネットワークで結ばれた製造工程での生産履
歴を長期間にわたって安定して保管し、かつ迅速に目的
のワークの生産履歴を抽出できる生産履歴管理検索方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 ワーク６にデータキャリア８を取り付け
て生産ラインに流し、製品処理で発生した全てのデータ
を製品と１対１に関係づけられたデータキャリア８に書
き込んで保持して出荷に際しては取り外してライブラリ
１０に保管する。市場トラブルなど生産完了から大きく
時間が開いてしまい生産管理システム上でのデータ参照
が困難な場合でも、迅速なデータ解析が可能となり、そ
れ以降のトラブル回避等に迅速なフィードバックが反映
できる。
歴を長期間にわたって安定して保管し、かつ迅速に目的
のワークの生産履歴を抽出できる生産履歴管理検索方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 ワーク６にデータキャリア８を取り付け
て生産ラインに流し、製品処理で発生した全てのデータ
を製品と１対１に関係づけられたデータキャリア８に書
き込んで保持して出荷に際しては取り外してライブラリ
１０に保管する。市場トラブルなど生産完了から大きく
時間が開いてしまい生産管理システム上でのデータ参照
が困難な場合でも、迅速なデータ解析が可能となり、そ
れ以降のトラブル回避等に迅速なフィードバックが反映
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】複数の処理装置からなる生産
ラインを、ネットワークを介してホストコンピュータに
接続して前記ホストコンピュータの指示に基づいて前記
処理装置を運転する生産設備に関するものである。
ラインを、ネットワークを介してホストコンピュータに
接続して前記ホストコンピュータの指示に基づいて前記
処理装置を運転する生産設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品の製造業にかかわらず、膨大
かつ複雑な工程を要する製品製造においては、省力化の
観点からコンピュータによる生産情報の管理を行う情報
の自動化が進んでいる。図５はホストコンピュータ１の
指示に基づいて処理装置２ａ〜２ｄを運転する生産設備
の従来例を示す。
かつ複雑な工程を要する製品製造においては、省力化の
観点からコンピュータによる生産情報の管理を行う情報
の自動化が進んでいる。図５はホストコンピュータ１の
指示に基づいて処理装置２ａ〜２ｄを運転する生産設備
の従来例を示す。
【０００３】ホストコンピュータ１はデータベース３に
蓄積されている生産計画に基づいてネットワーク４を介
して各処理装置２ａ〜２ｄを管理する端末コンピュータ
５ａ〜５ｄに処理内容を指示する。処理装置２ａに搬入
されたワーク６は、端末コンピュータ５ａの制御で処理
内容に基づいて運転される処理装置２ａで処理される。
処理装置２ａでの処理が終了したワーク６は、端末コン
ピュータ５ｂの制御で処理内容に基づいて運転される処
理装置２ｂで処理される。以下、同様に処理装置２ｃ，
２ｄに搬入されて処理され、一連の処理が完了したワー
ク６が出荷される。
蓄積されている生産計画に基づいてネットワーク４を介
して各処理装置２ａ〜２ｄを管理する端末コンピュータ
５ａ〜５ｄに処理内容を指示する。処理装置２ａに搬入
されたワーク６は、端末コンピュータ５ａの制御で処理
内容に基づいて運転される処理装置２ａで処理される。
処理装置２ａでの処理が終了したワーク６は、端末コン
ピュータ５ｂの制御で処理内容に基づいて運転される処
理装置２ｂで処理される。以下、同様に処理装置２ｃ，
２ｄに搬入されて処理され、一連の処理が完了したワー
ク６が出荷される。
【０００４】ここで、半導体製造設備におけるワーク６
は搬送容器６ａに入れて供給されるウエハー６ｂで、処
理装置２ａ〜２ｄは洗浄処理，成膜処理，フォトリソグ
ラフィー，エッチング処理などをそれぞれ受け持つ装置
である。処理装置２ａ〜２ｄで実際にウエハー６ｂに対
して実行した処理中の製造情報（生産履歴）は、それぞ
れの端末コンピュータ５ａ〜５ｄからネットワーク４を
介してホストコンピュータ１に報告されてデータベース
３にはワーク６の製造番号と対応させて蓄積される。
は搬送容器６ａに入れて供給されるウエハー６ｂで、処
理装置２ａ〜２ｄは洗浄処理，成膜処理，フォトリソグ
ラフィー，エッチング処理などをそれぞれ受け持つ装置
である。処理装置２ａ〜２ｄで実際にウエハー６ｂに対
して実行した処理中の製造情報（生産履歴）は、それぞ
れの端末コンピュータ５ａ〜５ｄからネットワーク４を
介してホストコンピュータ１に報告されてデータベース
３にはワーク６の製造番号と対応させて蓄積される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような製造システ
ムでは、出荷した製品に市場不良などのクレームが発生
した場合には、生産現場での製品処理時に異常がなかっ
たか否かの参照に生産履歴に関するデータが使用され
る。生産履歴に関するデータが必要になった場合には、
従来ではデータベース３を製造番号を検索キーとして検
索して抽出することになるが、製造システムの記憶容量
の問題で、時期が過去に溯るにつれて、消去されていた
り、保管されていても別媒体に移されていて閲覧、参
照、解析にかかる工数が莫大になり、実用上不便な場合
が多々見受けられる。
ムでは、出荷した製品に市場不良などのクレームが発生
した場合には、生産現場での製品処理時に異常がなかっ
たか否かの参照に生産履歴に関するデータが使用され
る。生産履歴に関するデータが必要になった場合には、
従来ではデータベース３を製造番号を検索キーとして検
索して抽出することになるが、製造システムの記憶容量
の問題で、時期が過去に溯るにつれて、消去されていた
り、保管されていても別媒体に移されていて閲覧、参
照、解析にかかる工数が莫大になり、実用上不便な場合
が多々見受けられる。
【０００６】また、ホストコンピュータ１と端末コンピ
ュータ５ａ〜５ｄが通信しながら処理装置２ａ〜２ｄが
処理しているため、途中でネットワーク４での通信障害
が発生した場合には、生産ラインの復旧に多大な時間と
手間を要求される。本発明は出荷した製品に市場不良な
どのクレームが発生して生産現場での生産履歴に関する
データが必要になった場合であっても、従来に比べてデ
ータの抽出がし易い生産履歴管理検索方法を提供するこ
とを目的とする。
ュータ５ａ〜５ｄが通信しながら処理装置２ａ〜２ｄが
処理しているため、途中でネットワーク４での通信障害
が発生した場合には、生産ラインの復旧に多大な時間と
手間を要求される。本発明は出荷した製品に市場不良な
どのクレームが発生して生産現場での生産履歴に関する
データが必要になった場合であっても、従来に比べてデ
ータの抽出がし易い生産履歴管理検索方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】また、本発明はネットワークでの通信障害
が発生した場合でも生産ラインの迅速な復旧を実現でき
る生産履歴管理検索方法を提供することを目的とする。
が発生した場合でも生産ラインの迅速な復旧を実現でき
る生産履歴管理検索方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
生産履歴管理検索方法は、複数の処理装置からなる生産
ラインを、ネットワークを介してホストコンピュータに
接続して前記ホストコンピュータの指示に基づいて前記
処理装置を運転する生産設備において、ワークを収容し
て前記処理装置にワークを供給する搬送容器に情報を読
み書きできるデータキャリアを取り付け、前記処理装置
で受けた処理の製造情報を前記データキャリアに書き込
み、処理の完了したワークを出荷時に搬送容器から前記
データキャリアを取り外して製造番号と対応させて保管
し、生産履歴の問い合わせに対して保管している前記デ
ータキャリアを検索して該当ワークの生産履歴を読み出
して生産時の異常解析を行うことを特徴とする。
生産履歴管理検索方法は、複数の処理装置からなる生産
ラインを、ネットワークを介してホストコンピュータに
接続して前記ホストコンピュータの指示に基づいて前記
処理装置を運転する生産設備において、ワークを収容し
て前記処理装置にワークを供給する搬送容器に情報を読
み書きできるデータキャリアを取り付け、前記処理装置
で受けた処理の製造情報を前記データキャリアに書き込
み、処理の完了したワークを出荷時に搬送容器から前記
データキャリアを取り外して製造番号と対応させて保管
し、生産履歴の問い合わせに対して保管している前記デ
ータキャリアを検索して該当ワークの生産履歴を読み出
して生産時の異常解析を行うことを特徴とする。
【０００９】本発明の請求項２記載の生産履歴管理検索
方法は、複数の処理装置からなる生産ラインを、ネット
ワークを介してホストコンピュータに接続して前記ホス
トコンピュータの指示に基づいて前記処理装置を運転す
る生産設備において、ワークを収容して前記処理装置に
ワークを供給する搬送容器に情報を読み書きできるデー
タキャリアを取り付け、前記データキャリアには前記ホ
ストコンピュータからネットワークを介して前記搬送容
器中のワークが前記処理装置で受ける処理の内容を書き
込み、前記処理装置が受け入れた搬送容器の前記データ
キャリアから作業内容を読み出して処理を実行し、前記
処理装置で受けた処理の製造情報を前記データキャリア
に書き込み、処理の完了したワークを出荷持に搬送容器
から前記データキャリアを取り外して製造番号と対応さ
せて保管し、生産履歴の問い合わせに対して保管してい
る前記データキャリアを検索して該当ワークの生産履歴
を読み出して生産時の異常解析を行うことを特徴とす
る。
方法は、複数の処理装置からなる生産ラインを、ネット
ワークを介してホストコンピュータに接続して前記ホス
トコンピュータの指示に基づいて前記処理装置を運転す
る生産設備において、ワークを収容して前記処理装置に
ワークを供給する搬送容器に情報を読み書きできるデー
タキャリアを取り付け、前記データキャリアには前記ホ
ストコンピュータからネットワークを介して前記搬送容
器中のワークが前記処理装置で受ける処理の内容を書き
込み、前記処理装置が受け入れた搬送容器の前記データ
キャリアから作業内容を読み出して処理を実行し、前記
処理装置で受けた処理の製造情報を前記データキャリア
に書き込み、処理の完了したワークを出荷持に搬送容器
から前記データキャリアを取り外して製造番号と対応さ
せて保管し、生産履歴の問い合わせに対して保管してい
る前記データキャリアを検索して該当ワークの生産履歴
を読み出して生産時の異常解析を行うことを特徴とす
る。
【００１０】本発明の請求項３記載の生産履歴管理検索
方法は、請求項１または請求項２において、データキャ
リアが、ＩＣカードであることを特徴とする。本発明の
請求項４記載の生産履歴管理検索方法は、複数の処理装
置からなる生産ラインを、ネットワークを介してホスト
コンピュータに接続して前記ホストコンピュータの指示
に基づいて前記処理装置を運転する生産設備において、
ワークを収容して前記処理装置にワークを供給する搬送
容器に情報を読み書きできるデータキャリアを取り付
け、前記処理装置で受けた処理の製造情報を前記データ
キャリアに書き込み、処理の完了したワークを出荷持に
搬送容器に取り付けられた前記データキャリアをから保
管用データキャリアに前記製造情報を転送し製造番号と
対応させて保管し、生産履歴の問い合わせに対して保管
している前記保管用データキャリアを検索して該当ワー
クの生産履歴を読み出して生産時の異常解析を行うこと
を特徴とする。
方法は、請求項１または請求項２において、データキャ
リアが、ＩＣカードであることを特徴とする。本発明の
請求項４記載の生産履歴管理検索方法は、複数の処理装
置からなる生産ラインを、ネットワークを介してホスト
コンピュータに接続して前記ホストコンピュータの指示
に基づいて前記処理装置を運転する生産設備において、
ワークを収容して前記処理装置にワークを供給する搬送
容器に情報を読み書きできるデータキャリアを取り付
け、前記処理装置で受けた処理の製造情報を前記データ
キャリアに書き込み、処理の完了したワークを出荷持に
搬送容器に取り付けられた前記データキャリアをから保
管用データキャリアに前記製造情報を転送し製造番号と
対応させて保管し、生産履歴の問い合わせに対して保管
している前記保管用データキャリアを検索して該当ワー
クの生産履歴を読み出して生産時の異常解析を行うこと
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１〜図４は本発明の実施の形態
を示し、従来例を示す図５と同様の作用を成すものには
同一の符号を付けて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の（実施の形態１）を示
す。
を示し、従来例を示す図５と同様の作用を成すものには
同一の符号を付けて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の（実施の形態１）を示
す。
【００１２】搬送容器６ａにはデータキャリアとしての
ＩＣカード８が取り付けられている。また、各処理装置
２ａ〜２ｄには受け入れたワーク６のＩＣカード８に対
して非接触で読み書きできるリーダー／ライタ９ａ〜９
ｄが設けられている。リーダー／ライタ９ａは端末コン
ピュータ５ａを介してホストコンピュータ１と接続され
ている。リーダー／ライタ９ａ〜９ｄも同様である。
ＩＣカード８が取り付けられている。また、各処理装置
２ａ〜２ｄには受け入れたワーク６のＩＣカード８に対
して非接触で読み書きできるリーダー／ライタ９ａ〜９
ｄが設けられている。リーダー／ライタ９ａは端末コン
ピュータ５ａを介してホストコンピュータ１と接続され
ている。リーダー／ライタ９ａ〜９ｄも同様である。
【００１３】ワークコンピュータ１からネットワーク４
を介して端末コンピュータ２ａには、製造番号と、処理
装置２ａ〜２ｄをワーク６が通過することによって受け
る全ての処理指示が与えられる。ワーク６が処理装置２
ａに搬入されると、端末コンピュータ５ａはリーダー／
ライタ９ａを介してＩＣカード８に、処理装置２ａ〜２
ｄをワーク６が通過することによって受ける全ての処理
指示が書き込まれる。
を介して端末コンピュータ２ａには、製造番号と、処理
装置２ａ〜２ｄをワーク６が通過することによって受け
る全ての処理指示が与えられる。ワーク６が処理装置２
ａに搬入されると、端末コンピュータ５ａはリーダー／
ライタ９ａを介してＩＣカード８に、処理装置２ａ〜２
ｄをワーク６が通過することによって受ける全ての処理
指示が書き込まれる。
【００１４】リーダー／ライタ９ａはＩＣカード８から
処理装置２ａでの処理内容を読み取ってこれを目標値と
して端末コンピュータ５ａを介して処理装置２ａを運転
して目的の処理をウエハー６ｂに対して実行する。前記
目標値に対して処理装置２ａでの実際の実行値などの処
理内容の生産履歴はリーダー／ライタ９ａを介してＩＣ
カード８に書き込まれる。
処理装置２ａでの処理内容を読み取ってこれを目標値と
して端末コンピュータ５ａを介して処理装置２ａを運転
して目的の処理をウエハー６ｂに対して実行する。前記
目標値に対して処理装置２ａでの実際の実行値などの処
理内容の生産履歴はリーダー／ライタ９ａを介してＩＣ
カード８に書き込まれる。
【００１５】処理装置２ａで処理が完了したワーク６は
処理装置２ｂに搬入され、リーダー／ライタ９ｂは搬入
されたワーク６に取り付けられているＩＣカード８から
処理装置２ｂでの処理内容を読み取ってこれを目標値と
して端末コンピュータ５ｂを介して処理装置２ｂを運転
して目的の処理をウエハー６ｂに対して実行する。前記
目標値に対して処理装置２ｂでの実際の実行値などの処
理内容の生産履歴はリーダー／ライタ９ｂを介してＩＣ
カード８に書き込まれる。以下、同様に処理装置２ｃ，
２ｄにおいてもリーダー／ライタ９ｃ，９ｄを介して処
理内容の読み取りならびに生産履歴の書き込みが実行さ
れる。
処理装置２ｂに搬入され、リーダー／ライタ９ｂは搬入
されたワーク６に取り付けられているＩＣカード８から
処理装置２ｂでの処理内容を読み取ってこれを目標値と
して端末コンピュータ５ｂを介して処理装置２ｂを運転
して目的の処理をウエハー６ｂに対して実行する。前記
目標値に対して処理装置２ｂでの実際の実行値などの処
理内容の生産履歴はリーダー／ライタ９ｂを介してＩＣ
カード８に書き込まれる。以下、同様に処理装置２ｃ，
２ｄにおいてもリーダー／ライタ９ｃ，９ｄを介して処
理内容の読み取りならびに生産履歴の書き込みが実行さ
れる。
【００１６】なお、処理装置２ａ〜２ｄの運転状態は端
末コンピュータ５ａ〜５ｄが適当な空き時間にネットワ
ーク４を介してホストコンピュータ１に報告し、生産管
理に供される。処理装置２ｄでの処理が終了して出荷さ
れるワーク６は、ＩＣカード８が搬送容器６ａから取り
外されてライブラリ１０に保管される。生産履歴の問い
合わせに対しては、ライブラリ１０に保管しているＩＣ
カード８を検索して該当ワークの生産履歴を読み出して
生産時の異常解析を行うので、ホストコンピュータ１の
データベースなどを検索しなくても迅速に目的の生産履
歴を抽出できる。また、データベースの更新などの際に
誤って過去の生産履歴を消去してしまう危険性がなく、
安全性が向上する。
末コンピュータ５ａ〜５ｄが適当な空き時間にネットワ
ーク４を介してホストコンピュータ１に報告し、生産管
理に供される。処理装置２ｄでの処理が終了して出荷さ
れるワーク６は、ＩＣカード８が搬送容器６ａから取り
外されてライブラリ１０に保管される。生産履歴の問い
合わせに対しては、ライブラリ１０に保管しているＩＣ
カード８を検索して該当ワークの生産履歴を読み出して
生産時の異常解析を行うので、ホストコンピュータ１の
データベースなどを検索しなくても迅速に目的の生産履
歴を抽出できる。また、データベースの更新などの際に
誤って過去の生産履歴を消去してしまう危険性がなく、
安全性が向上する。
【００１７】また、ワーク６に取り付けられたＩＣカー
ド８に処理内容を書き込んで処理装置２ａ〜２ｄへ移動
するため、途中でネットワーク４に通信障害が発生した
場合であっても、生産ラインの再立ち上げはワーク６の
処理内容に基づいて処理を継続することができ、短時間
で運転を再開できる。なお、上記実施の形態では、出荷
に際してワーク６からＩＣカード８から取り外してライ
ブラリ１０に保管するとして説明したが、ワーク６に取
り付けられたＩＣカード８から別の保管用ＩＣカード
（図示せず）にデータを転送して、保管用ＩＣカードを
ライブラリ１０に保管するようにしても同様の効果を期
待できる。
ド８に処理内容を書き込んで処理装置２ａ〜２ｄへ移動
するため、途中でネットワーク４に通信障害が発生した
場合であっても、生産ラインの再立ち上げはワーク６の
処理内容に基づいて処理を継続することができ、短時間
で運転を再開できる。なお、上記実施の形態では、出荷
に際してワーク６からＩＣカード８から取り外してライ
ブラリ１０に保管するとして説明したが、ワーク６に取
り付けられたＩＣカード８から別の保管用ＩＣカード
（図示せず）にデータを転送して、保管用ＩＣカードを
ライブラリ１０に保管するようにしても同様の効果を期
待できる。
【００１８】（実施の形態２）図２と図３は（実施の形
態２）を示す。図２はＩＣカードリーダ／ライタ（１−
６）の制御を装置コントローラ（１−４）で行う場合を
示している。（１−１）は処理関連のデータベース、
（１−２）はショップフロア・コントローラ、（１−
３）はセル・コントローラ、（１−４）は装置コントロ
ーラ、（１−５）は装置コントローラ（１−４）とは別
のカードリーダ・コントローラ、（１−６）はカード・
リーダ／ライタ、（１−７）は（実施の形態１）におけ
る処理装置２ａ〜２ｄに相当する製造装置である。この
（実施の形態２）においても（実施の形態１）と同じよ
うにワーク６にはＩＣカード８が取り付けられている。
態２）を示す。図２はＩＣカードリーダ／ライタ（１−
６）の制御を装置コントローラ（１−４）で行う場合を
示している。（１−１）は処理関連のデータベース、
（１−２）はショップフロア・コントローラ、（１−
３）はセル・コントローラ、（１−４）は装置コントロ
ーラ、（１−５）は装置コントローラ（１−４）とは別
のカードリーダ・コントローラ、（１−６）はカード・
リーダ／ライタ、（１−７）は（実施の形態１）におけ
る処理装置２ａ〜２ｄに相当する製造装置である。この
（実施の形態２）においても（実施の形態１）と同じよ
うにワーク６にはＩＣカード８が取り付けられている。
【００１９】図３はメッセージ・ハンドリングを示して
いる。装置コントローラ（１−４）以下の構成要素は図
示していないが同一のハブ、もしくはリピータ内で完結
していることが必須である。図２の階層配置で図３のよ
うなメッセージ・ハンドリングで複数のステップの処理
フローデータを一度、装置コントローラ４とＩＣカード
８に渡すことにより、装置コントローラ（１−４）とＩ
Ｃカード・レベルで直接に処理を指示できるようにな
る。一連の動作を以下に述べる。
いる。装置コントローラ（１−４）以下の構成要素は図
示していないが同一のハブ、もしくはリピータ内で完結
していることが必須である。図２の階層配置で図３のよ
うなメッセージ・ハンドリングで複数のステップの処理
フローデータを一度、装置コントローラ４とＩＣカード
８に渡すことにより、装置コントローラ（１−４）とＩ
Ｃカード・レベルで直接に処理を指示できるようにな
る。一連の動作を以下に述べる。
【００２０】まず、処理するロットのワーク６を製造装
置（１−７）に搬入し、プレゼンス・センサ等の検出器
（図示せず）からのトリガ信号によって、ＩＣカード・
リーダ／ライタ（１−６）が搬送容器に取り付けられて
いるＩＣカード８からデータを読み込む。あるいはカー
ド・リーダ／ライタ（１−６）に電磁誘導共鳴などでＩ
Ｃカードの検出を行う機能がある物もあり、この場合
は、プレゼンス・センサに頼らずともＩＣカードの検出
が可能である。
置（１−７）に搬入し、プレゼンス・センサ等の検出器
（図示せず）からのトリガ信号によって、ＩＣカード・
リーダ／ライタ（１−６）が搬送容器に取り付けられて
いるＩＣカード８からデータを読み込む。あるいはカー
ド・リーダ／ライタ（１−６）に電磁誘導共鳴などでＩ
Ｃカードの検出を行う機能がある物もあり、この場合
は、プレゼンス・センサに頼らずともＩＣカードの検出
が可能である。
【００２１】読み込んだデータは、図３の（２−１）に
示すように装置コントローラ（１−４）に受け渡され、
読み込んだ装置ポジションと読み込んだ処理フローデー
タを（２−２）（２−３）でセルコントローラ３を介し
て処理データベース１に照合し、（２−４）（２−５）
を介して装置コントローラ（１−４）が製造装置７に対
し処理データと処理開始指示を発行する（２−６）。
示すように装置コントローラ（１−４）に受け渡され、
読み込んだ装置ポジションと読み込んだ処理フローデー
タを（２−２）（２−３）でセルコントローラ３を介し
て処理データベース１に照合し、（２−４）（２−５）
を介して装置コントローラ（１−４）が製造装置７に対
し処理データと処理開始指示を発行する（２−６）。
【００２２】ＩＣカード・リーダ／ライタ１−６の制御
は、装置コントローラ１−４が直接に行う場合と、専用
のカードリーダ・コントローラ（１−５）が行う場合が
あるが、どちらでもかまわない。また、処理に必要なデ
ータをＩＣカードに書き込む動作を示すと以下のように
なる。
は、装置コントローラ１−４が直接に行う場合と、専用
のカードリーダ・コントローラ（１−５）が行う場合が
あるが、どちらでもかまわない。また、処理に必要なデ
ータをＩＣカードに書き込む動作を示すと以下のように
なる。
【００２３】ロット振り出し、もしくはデータ書き換え
を行う工程にかかったロットに装着されているＩＣカー
ドを検出した装置コントローラ（１−４）は、セル・コ
ントローラ（１−３）に対して、データ吸い上げ、書き
換えの要求を出し（２−２）、その要求を受けたセル・
コントローラ（１−３）はロット処理中などの間にあら
かじめ決められたステップまでの製造条件などの処理デ
ータをショップフロア・コントローラ階層の処理データ
ベース（１−１）を抱える工場コントローラ（１−２）
に対して検索命令を発行し（２−４）、工場コントロー
ラ２からデータを受け取り（２−５）、装置コントロー
ラに渡し（２−３）、装置コントローラ（１−４）は書
き換え準備を行い、ＩＣカード８に書き込む（２−
６）。以後、製造装置に到着したワーク６に取り付けら
れたＩＣカード８より、その工程での製造条件などの処
理データを読み込み処理装置に指示を与える（２−
７）。処理の終了時には、その処理実績をＩＣカード８
に書き込んでおく（２−８）（２−９）（２−１０）。
この一連の動作を各工程で行い、複数工程が実行され
る。上位の処理データベースについては実際の製品処理
の時間中にまとめて通知するため、ネットワークに障害
が発生して上位システムを分断されても、ＩＣカード８
が情報を蓄えている工程での製品処理の時間中に復旧す
れば、製品処理には全く影響を与えないことになる。
を行う工程にかかったロットに装着されているＩＣカー
ドを検出した装置コントローラ（１−４）は、セル・コ
ントローラ（１−３）に対して、データ吸い上げ、書き
換えの要求を出し（２−２）、その要求を受けたセル・
コントローラ（１−３）はロット処理中などの間にあら
かじめ決められたステップまでの製造条件などの処理デ
ータをショップフロア・コントローラ階層の処理データ
ベース（１−１）を抱える工場コントローラ（１−２）
に対して検索命令を発行し（２−４）、工場コントロー
ラ２からデータを受け取り（２−５）、装置コントロー
ラに渡し（２−３）、装置コントローラ（１−４）は書
き換え準備を行い、ＩＣカード８に書き込む（２−
６）。以後、製造装置に到着したワーク６に取り付けら
れたＩＣカード８より、その工程での製造条件などの処
理データを読み込み処理装置に指示を与える（２−
７）。処理の終了時には、その処理実績をＩＣカード８
に書き込んでおく（２−８）（２−９）（２−１０）。
この一連の動作を各工程で行い、複数工程が実行され
る。上位の処理データベースについては実際の製品処理
の時間中にまとめて通知するため、ネットワークに障害
が発生して上位システムを分断されても、ＩＣカード８
が情報を蓄えている工程での製品処理の時間中に復旧す
れば、製品処理には全く影響を与えないことになる。
【００２４】このように、製造工程のＣＩＭを構成する
ネットワークに障害が発生しても、生産進行に必要な情
報は製品が処理装置に到着した時点ですでにセル・コン
トローラ（１−３）上と装置コントローラ（１−４）上
の双方に保持されていて、その処理スタートをＩＣカー
ド８の検出で装置コントローラ（１−４）が発行する形
態で生産を進行する事が出来る。
ネットワークに障害が発生しても、生産進行に必要な情
報は製品が処理装置に到着した時点ですでにセル・コン
トローラ（１−３）上と装置コントローラ（１−４）上
の双方に保持されていて、その処理スタートをＩＣカー
ド８の検出で装置コントローラ（１−４）が発行する形
態で生産を進行する事が出来る。
【００２５】ここでＩＣカード８に、例えば１ロット毎
のデータをＩＣカード単位で保管する事が可能になるた
め、いついかなる時点でもＩＣカード単位で解析出来
る。なお、このシステムで使用されるＩＣカードは、生
産現場の雰囲気を考慮して、無線電力供給・無線リード
／ライト方式を想定しているが、他方式で使用に耐えう
る方式があれば、必ずしも無線式に限定するものではな
い。
のデータをＩＣカード単位で保管する事が可能になるた
め、いついかなる時点でもＩＣカード単位で解析出来
る。なお、このシステムで使用されるＩＣカードは、生
産現場の雰囲気を考慮して、無線電力供給・無線リード
／ライト方式を想定しているが、他方式で使用に耐えう
る方式があれば、必ずしも無線式に限定するものではな
い。
【００２６】（実施の形態３）図４は（実施の形態３）
を示し、（実施の形態２）の変形例で、ＩＣカードリー
ダ・ライタ１−６を別制御でコントロールする点が異な
っているだけで、（実施の形態２）とは物理的構造は異
なるが用途と目的は同一なので、同一システムのバリエ
ーションとして考えられる。
を示し、（実施の形態２）の変形例で、ＩＣカードリー
ダ・ライタ１−６を別制御でコントロールする点が異な
っているだけで、（実施の形態２）とは物理的構造は異
なるが用途と目的は同一なので、同一システムのバリエ
ーションとして考えられる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明の生産履歴管理検索
方法によれば、製品処理で発生した全てのデータを製品
と１対１に関係づけられたデータキャリアで保持して保
管するため、いついかなる時点でもデータキャリア単位
での解析が可能となる。そのため市場トラブルなど生産
完了から大きく時間が開いてしまい生産管理システム上
でのデータ参照が困難な場合でも、迅速なデータ解析が
可能となり、それ以降のトラブル回避などに迅速なフィ
ードバックが反映できるものである。
方法によれば、製品処理で発生した全てのデータを製品
と１対１に関係づけられたデータキャリアで保持して保
管するため、いついかなる時点でもデータキャリア単位
での解析が可能となる。そのため市場トラブルなど生産
完了から大きく時間が開いてしまい生産管理システム上
でのデータ参照が困難な場合でも、迅速なデータ解析が
可能となり、それ以降のトラブル回避などに迅速なフィ
ードバックが反映できるものである。
【００２８】また、ワークに取り付けたデータキャリア
に作業内容を書き込んで搬入されたワークのデータキャ
リアから作業の指示を読み取って処理を実行するように
構成した場合には、ホストコンピュータとを結ぶネット
ワークに通信障害が発生しても、そのワークに対する生
産履歴を参照して迅速に生産ラインを再立ち上げするこ
とができる。
に作業内容を書き込んで搬入されたワークのデータキャ
リアから作業の指示を読み取って処理を実行するように
構成した場合には、ホストコンピュータとを結ぶネット
ワークに通信障害が発生しても、そのワークに対する生
産履歴を参照して迅速に生産ラインを再立ち上げするこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の（実施の形態１）を示す生産工程の構
成図
成図
【図２】本発明の（実施の形態２）を示す生産工程の構
成図
成図
【図３】同実施の形態のデータ処理の通信手順の説明図
【図４】本発明の（実施の形態３）を示す生産工程の構
成図
成図
【図５】従来の生産工程の構成図
１ ホストコンピュータ ２ａ〜２ｄ 処理装置 ４ ネットワーク ５ａ〜５ｄ 端末コンピュータ ６ ワーク ６ａ 搬送容器 ６ｂ ウエハー ８ ＩＣカード（データキャリア） ９ａ〜９ｄ リーダー／ライタ １０ ライブラリー （１−１） 処理関連のデータベース （１−２） ショップフロア・コントローラ （１−３） セル・コントローラ （１−４） 装置コントローラ （１−５） カードリーダ・コントローラ （１−６） カードリータ／ライタ （１−７） 製造装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C042 RH03 RH05 RJ07 RJ13 RJ15 RK15 RK17 RK29 5B049 AA02 BB07 CC21 DD04 EE21 EE59 FF08 5H269 AB27 BB10 KK01 KK03 KK08 QC06 QE34
Claims (4)
- 【請求項１】複数の処理装置からなる生産ラインを、ネ
ットワークを介してホストコンピュータに接続して前記
ホストコンピュータの指示に基づいて前記処理装置を運
転する生産設備において、 ワークを収容して前記処理装置にワークを供給する搬送
容器に情報を読み書きできるデータキャリアを取り付
け、 前記処理装置で受けた処理の製造情報を前記データキャ
リアに書き込み、 処理の完了したワークを出荷持に搬送容器から前記デー
タキャリアを取り外して製造番号と対応させて保管し、 生産履歴の問い合わせに対して保管している前記データ
キャリアを検索して該当ワークの生産履歴を読み出して
生産時の異常解析を行う生産履歴管理検索方法。 - 【請求項２】複数の処理装置からなる生産ラインを、ネ
ットワークを介してホストコンピュータに接続して前記
ホストコンピュータの指示に基づいて前記処理装置を運
転する生産設備において、 ワークを収容して前記処理装置にワークを供給する搬送
容器に情報を読み書きできるデータキャリアを取り付
け、 前記データキャリアには前記ホストコンピュータからネ
ットワークを介して前記搬送容器中のワークが前記処理
装置で受ける処理の内容を書き込み、 前記処理装置が受け入れた搬送容器の前記データキャリ
アから作業内容を読み出して処理を実行し、 前記処理装置で受けた処理の製造情報を前記データキャ
リアに書き込み、 処理の完了したワークを出荷持に搬送容器から前記デー
タキャリアを取り外して製造番号と対応させて保管し、 生産履歴の問い合わせに対して保管している前記データ
キャリアを検索して該当ワークの生産履歴を読み出して
生産時の異常解析を行う生産履歴管理検索方法。 - 【請求項３】データキャリアが、ＩＣカードである請求
項１または請求項２記載の生産履歴管理検索方法。 - 【請求項４】複数の処理装置からなる生産ラインを、ネ
ットワークを介してホストコンピュータに接続して前記
ホストコンピュータの指示に基づいて前記処理装置を運
転する生産設備において、 ワークを収容して前記処理装置にワークを供給する搬送
容器に情報を読み書きできるデータキャリアを取り付
け、 前記処理装置で受けた処理の製造情報を前記データキャ
リアに書き込み、 処理の完了したワークを出荷持に搬送容器に取り付けら
れた前記データキャリアをから保管用データキャリアに
前記製造情報を転送し製造番号と対応させて保管し、 生産履歴の問い合わせに対して保管している前記保管用
データキャリアを検索して該当ワークの生産履歴を読み
出して生産時の異常解析を行う生産履歴管理検索方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27767399A JP2001100830A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 生産履歴管理検索方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27767399A JP2001100830A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 生産履歴管理検索方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001100830A true JP2001100830A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=17586717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27767399A Pending JP2001100830A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 生産履歴管理検索方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001100830A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356226A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Yoshimitsu Kagiwada | 商品管理システム及び商品管理データを記録した媒体 |
| JP2004334365A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Ntn Corp | 機械要素商品の品質管理方法 |
| JP2005050340A (ja) * | 2004-07-26 | 2005-02-24 | Ntn Corp | 機械要素商品の品質管理方法 |
| JP2005050339A (ja) * | 2004-07-26 | 2005-02-24 | Ntn Corp | 機械要素商品の品質管理方法 |
| JP2006053670A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Ntn Corp | 航空・宇宙用機械要素商品の品質管理方法および航空・宇宙用軸受 |
| JP2008112347A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Fujitsu Ltd | Ｒｆ−ｉｄタグとネットワークの間の通信を制御するシステム、装置、方法、プログラム、および当該制御方法を利用して製品を製造する製造方法 |
| JP2009009568A (ja) * | 2008-06-20 | 2009-01-15 | Ntn Corp | 航空・宇宙用転がり軸受の品質管理方法および航空・宇宙用転がり軸受 |
| JP2009033085A (ja) * | 2007-01-24 | 2009-02-12 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | プリント板識別方法及び識別装置 |
| KR101018723B1 (ko) * | 2003-02-14 | 2011-03-04 | 엔티엔 가부시키가이샤 | Ｉｃ 태그를 사용한 기계 부품 및 그 품질 관리 방법 및이상 검사 시스템 |
| US8099314B2 (en) | 2002-11-29 | 2012-01-17 | Keysoft, Inc. | Commodity control system and medium containing commodity control data |
| KR101236854B1 (ko) | 2006-08-22 | 2013-02-26 | 주식회사 비즈모델라인 | 제품 생산 관리 방법 |
| WO2016203632A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム及び製造システムの制御方法 |
| JP2020047299A (ja) * | 2019-12-11 | 2020-03-26 | 株式会社Ｆｕｊｉ | ライン管理装置 |
-
1999
- 1999-09-30 JP JP27767399A patent/JP2001100830A/ja active Pending
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356226A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Yoshimitsu Kagiwada | 商品管理システム及び商品管理データを記録した媒体 |
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| JP2004334365A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Ntn Corp | 機械要素商品の品質管理方法 |
| JP4480501B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2010-06-16 | Ｎｔｎ株式会社 | 機械要素商品の品質管理方法 |
| JP2005050340A (ja) * | 2004-07-26 | 2005-02-24 | Ntn Corp | 機械要素商品の品質管理方法 |
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| US7946486B2 (en) | 2004-08-10 | 2011-05-24 | Ntn Corporation | Quality management method for aerospace machine element product and aerospace bearing |
| KR101236854B1 (ko) | 2006-08-22 | 2013-02-26 | 주식회사 비즈모델라인 | 제품 생산 관리 방법 |
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| WO2016203632A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム及び製造システムの制御方法 |
| CN107636544A (zh) * | 2015-06-19 | 2018-01-26 | 富士机械制造株式会社 | 制造***及制造***的控制方法 |
| JPWO2016203632A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2018-04-05 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム及び製造システムの制御方法 |
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| JP2020047299A (ja) * | 2019-12-11 | 2020-03-26 | 株式会社Ｆｕｊｉ | ライン管理装置 |
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