JP2001080068A - Ink-jet head - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタに用いるインクジェットヘッドに関し、特に圧電
アクチュエータによりインクを吐出させるものの技術分
野に属する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink-jet head used for an ink-jet printer, and more particularly to a technical field of an apparatus for discharging ink by a piezoelectric actuator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、圧電アクチュエータによりイ
ンクを吐出させるインクジェットヘッドはよく知られて
おり、このものは、例えば図９及び図１０に示すよう
に、インクを供給するための供給口１０２ａとインクを
吐出するための吐出口１０２ｂとを有する複数の圧力室
用凹部１０２が形成されたヘッド本体１０１を備えてい
る。このヘッド本体１０１の各凹部１０２は、該ヘッド
本体１０１の上面において略矩形状にそれぞれ開口され
ていて、各凹部１０２の幅方向に所定間隔をあけて一列
に並べられている。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet head for ejecting ink by a piezoelectric actuator is well known. The ink jet head includes, for example, a supply port 102a for supplying ink and an ink supply port 102a as shown in FIGS. And a head body 101 having a plurality of pressure chamber recesses 102 having discharge ports 102b for discharging the pressure. The concave portions 102 of the head main body 101 are each opened in a substantially rectangular shape on the upper surface of the head main body 101, and are arranged in a line at predetermined intervals in the width direction of the concave portions 102.
【０００３】上記ヘッド本体１０１は、上記各凹部１０
２の側壁部を構成する圧力室部品１０５と、該各凹部１
０２の底壁部を構成しかつ複数の薄板を貼り合せてなる
インク流路部品１０６と、ノズル板１１３とで構成され
ている。上記インク流路部品１０６内には、上記各凹部
１０２の供給口１０２ａにそれぞれ接続された供給用イ
ンク流路１０７と、各凹部１０２の吐出口１０２ｂにそ
れぞれ接続された吐出用インク流路１０８とが形成され
ている。上記各供給用インク流路１０７は、上記各凹部
１０２が並ぶ方向に延びるインク供給室１１０に接続さ
れ、このインク供給室１１０は、圧力室部品１０５及び
インク流路部品１０６に形成されかつ図外のインクタン
クと接続されるインク供給孔１１１に接続されている。
上記ノズル板１１３には、上記各吐出用インク流路１０
８とそれぞれ接続されたノズル孔１１４が形成されてい
る。The head main body 101 is provided with
Pressure chamber component 105 constituting the side wall of
The ink flow path part 106 comprises a bottom wall portion 02 and is formed by laminating a plurality of thin plates, and a nozzle plate 113. In the ink flow path component 106, a supply ink flow path 107 connected to the supply port 102 a of each of the recesses 102, and a discharge ink flow path 108 connected to the discharge port 102 b of each of the recesses 102, respectively. Are formed. Each of the supply ink flow paths 107 is connected to an ink supply chamber 110 extending in a direction in which the respective recesses 102 are arranged. The ink supply chamber 110 is formed in a pressure chamber component 105 and an ink flow path component 106 and is not illustrated. Is connected to an ink supply hole 111 which is connected to the ink tank.
The nozzle plate 113 is provided with each of the ejection ink flow paths 10.
Nozzles 114 connected to the nozzle holes 8 are formed.
【０００４】上記ヘッド本体１０１の圧力室部品１０５
の上面には、上記ヘッド本体１０１の各凹部１０２を塞
いで該凹部１０２と共に圧力室１０３を構成する圧電ア
クチュエータ１２１がそれぞれ設けられている。この各
圧電アクチュエータ１２１は、圧電素子１２３と、該圧
電素子１２３の上記圧力室１０３側の面（下面）に設け
られた下部電極１２２と、圧電素子１２３の圧力室１０
３と反対側面（上面）に設けられた上部電極１２４とを
有している。上記下部電極１２２は、所謂振動板の役割
をも有している。[0004] The pressure chamber component 105 of the head body 101
On the upper surface of each of the piezoelectric actuators 121, there is provided a piezoelectric actuator 121 which covers each of the concave portions 102 of the head body 101 and forms a pressure chamber 103 together with the concave portions 102. Each of the piezoelectric actuators 121 includes a piezoelectric element 123, a lower electrode 122 provided on a surface (lower surface) of the piezoelectric element 123 on the pressure chamber 103 side, and a pressure chamber 10 of the piezoelectric element 123.
3 and an upper electrode 124 provided on the opposite side surface (upper surface). The lower electrode 122 also has a role of a so-called diaphragm.
【０００５】上記各圧電アクチュエータ１２１の圧電素
子１２３は、上記圧力室１０３に対応する部分から圧力
室用凹部１０２開口の長さ方向に延びる延設部１２３ａ
を有し、上記両電極１２２，１２４は、この圧電素子１
２３の延設部１２３ａに重ねられた状態で圧力室１０３
に対応する部分から該延設部１２３ａと同じ方向に延び
る配線部１２２ａ，１２４ａをそれぞれ有している。こ
の両電極１２２，１２４の配線部１２２ａ，１２４ａの
先端部には、各圧電アクチュエータ１２１を駆動するド
ライバＩＣ等と接続するための電気接点部１２２ｂ，１
２４ｂがそれぞれ設けられている。上記配線部１２２
ａ，１２４ａの幅は、圧力室用凹部１０２の開口幅と略
同じに設定されている。また、圧電素子１２３の延設部
１２３ａの幅は、両電極１２２，１２４の配線部１２２
ａ，１２４ａの幅と略同じに設定されている。The piezoelectric element 123 of each of the piezoelectric actuators 121 has an extending portion 123a extending in a length direction of the opening of the pressure chamber concave portion 102 from a portion corresponding to the pressure chamber 103.
The two electrodes 122 and 124 are connected to the piezoelectric element 1.
23 and the pressure chamber 103
And wiring portions 122a and 124a extending in the same direction as the extending portion 123a from the portion corresponding to. Electric contact portions 122b, 1 for connecting to driver ICs or the like for driving the respective piezoelectric actuators 121 are provided at the tips of the wiring portions 122a, 124a of the electrodes 122, 124.
24b are provided. Wiring section 122
The widths of a and 124a are set to be substantially the same as the opening width of the pressure chamber concave portion 102. The width of the extending portion 123a of the piezoelectric element 123 is determined by the width of the wiring portion 122 of the electrodes 122 and 124.
The width is set to be substantially the same as the widths of a and a.
【０００６】そして、上記下部電極１２２と上部電極１
２４との間にパルス状の電圧を印加すると、そのパルス
電圧の立ち上がりにより圧電素子１２３がその厚み方向
と垂直な方向に収縮するのに対し、下部電極１２２及び
上部電極１２４は収縮しないので、いわゆるバイメタル
効果により圧電アクチュエータ１２１の圧力室３に対応
する部分が圧力室３側へ凸状に撓んで変形する。この撓
み変形により圧力室３内に圧力が生じ、この圧力で圧力
室３内のインクが吐出口１０２ｂ及び吐出用インク流路
１０８を経由してノズル孔１１４より外部へ吐出され
て、紙面にドット状に付着することとなる。続いて、上
記パルス電圧の立ち下がりにより圧電素子１２３が伸長
して圧電アクチュエータ１２１の圧力室３に対応する部
分が元の状態に復帰し、このとき、圧力室１０３内には
上記インク供給室１１０より供給用インク流路１０７及
び供給口１０２ａを介してインクが充填される。The lower electrode 122 and the upper electrode 1
When a pulse-like voltage is applied between the piezoelectric element 123 and the piezoelectric element 123, the piezoelectric element 123 contracts in a direction perpendicular to the thickness direction, whereas the lower electrode 122 and the upper electrode 124 do not contract. The portion of the piezoelectric actuator 121 corresponding to the pressure chamber 3 is bent and deformed toward the pressure chamber 3 due to the bimetal effect. Due to this bending deformation, a pressure is generated in the pressure chamber 3, and the ink in the pressure chamber 3 is discharged to the outside from the nozzle hole 114 via the discharge port 102b and the discharge ink flow path 108 by this pressure, and a dot is formed on the paper surface. It will adhere in a shape. Subsequently, the falling of the pulse voltage causes the piezoelectric element 123 to expand, and the portion of the piezoelectric actuator 121 corresponding to the pressure chamber 3 returns to the original state. The ink is filled through the supply ink flow path 107 and the supply port 102a.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に圧電アクチュエータによりインクを吐出させるように
したインクジェットヘッドでは、近年、特に小型化が要
求されており、この要求を満たす１つの方法として、圧
電素子や両電極を薄膜状に形成することが考えられる。In the meantime, in recent years, in particular, in the ink jet head in which the ink is ejected by the piezoelectric actuator as described above, downsizing is required. It is conceivable to form the element and both electrodes into a thin film.
【０００８】しかし、圧電素子を薄膜形成すると、その
成膜時の異物等により圧電素子に微少欠陥部が生じ易
く、この欠陥部により圧電素子の耐電圧性が低下して絶
縁破壊が生じる可能性がある。特に上記従来の圧電アク
チュエータのように両電極の配線部の幅を圧力室用凹部
の開口幅と同じに設定すると、圧電素子の延設部におけ
る電極と接する面積がかなり大きくなり、圧電素子の延
設部で絶縁破壊が生じる割合が高くなる。このような絶
縁破壊が生じると、電極の配線部が断線して圧電素子の
圧力室に対応する部分に電界を発生させることができな
くなる。また、このように配線部の幅が圧力室用凹部の
開口幅と同じであると、圧力室を密に配設してドットの
高密度化を図ることが困難になると共に、インクジェッ
トヘッドの大型化を招いてしまう。However, when a piezoelectric element is formed as a thin film, a minute defect is easily generated in the piezoelectric element due to foreign matter or the like at the time of film formation. There is. In particular, when the width of the wiring portion of both electrodes is set to be equal to the opening width of the concave portion for the pressure chamber as in the above-described conventional piezoelectric actuator, the area in contact with the electrode in the extended portion of the piezoelectric element becomes considerably large, and the extension of the piezoelectric element becomes large. The rate at which dielectric breakdown occurs in the installation portion increases. When such dielectric breakdown occurs, the wiring portion of the electrode is disconnected, and it becomes impossible to generate an electric field in a portion corresponding to the pressure chamber of the piezoelectric element. Further, when the width of the wiring portion is the same as the opening width of the recess for the pressure chamber, it is difficult to densely arrange the pressure chambers to increase the density of dots and to increase the size of the ink jet head. It will lead to conversion.
【０００９】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、圧電アクチュエータに
より圧力室内のインクを吐出させるようにしたインクジ
ェットヘッドに対して、電極の配線部に工夫を凝らすこ
とによって、その電極配線部の断線を出来る限り抑える
と共に、インクジェットヘッドを小型化しかつドットの
高密度化を図れるようにすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and a purpose thereof is to devise an electrode wiring portion for an ink jet head in which ink in a pressure chamber is ejected by a piezoelectric actuator. It is an object of the present invention to suppress disconnection of the electrode wiring portion as much as possible and to reduce the size of the ink jet head and increase the density of dots.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、少なくとも一方の電極において圧
力室用凹部開口の長さ方向に延びる配線部の幅を、該凹
部開口の最大幅の１／２よりも小さく設定するようにし
た。In order to achieve the above object, according to the present invention, the width of the wiring portion extending in the length direction of the pressure chamber concave opening in at least one of the electrodes is set to the maximum width of the concave opening. Is set to be smaller than 1/2.
【００１１】具体的には、請求項１の発明では、インク
を供給するための供給口とインクを吐出するための吐出
口とを有する圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、
該ヘッド本体の凹部を塞いで該凹部と共に圧力室を構成
するように設けられ、圧電素子と該圧電素子の上記圧力
室側及び圧力室と反対側の両面にそれぞれ設けられた電
極とを有する圧電アクチュエータとを備え、該両電極を
介した圧電素子への電圧の印加により該圧電アクチュエ
ータを上記圧力室の容積が減少するように変形させて、
該圧力室内のインクを上記吐出口から吐出させるように
したインクジェットヘッドを対象とする。Specifically, according to the first aspect of the present invention, there is provided a head body having a pressure chamber recess having a supply port for supplying ink and a discharge port for discharging ink.
A piezoelectric element which is provided so as to form a pressure chamber together with the concave part by closing the concave part of the head main body, and has a piezoelectric element and electrodes provided on both sides of the piezoelectric element on the pressure chamber side and on the side opposite to the pressure chamber. Comprising an actuator, deforming the piezoelectric actuator by applying a voltage to the piezoelectric element through the two electrodes so that the volume of the pressure chamber is reduced,
The present invention is directed to an ink jet head configured to discharge ink in the pressure chamber from the discharge port.
【００１２】そして、上記ヘッド本体の圧力室用凹部
は、該ヘッド本体の一側面において所定の方向に延びる
ように開口され、上記圧電アクチュエータの圧電素子
は、上記圧力室に対応する部分から上記凹部開口の長さ
方向に延びる延設部を有し、上記両電極は、上記圧電素
子の延設部に重ねられた状態で上記圧力室に対応する部
分から上記凹部開口の長さ方向に延びる配線部をそれぞ
れ有し、上記両電極の少なくとも一方における配線部の
幅が、上記凹部開口の最大幅の１／２よりも小さく設定
されているものとする。The recess for the pressure chamber of the head body is opened on one side surface of the head body so as to extend in a predetermined direction, and the piezoelectric element of the piezoelectric actuator moves from the portion corresponding to the pressure chamber to the recess. A wiring extending in a length direction of the recess from the portion corresponding to the pressure chamber in a state where the two electrodes overlap with the extension of the piezoelectric element; And the width of the wiring portion in at least one of the two electrodes is set to be smaller than 最大 of the maximum width of the opening of the concave portion.
【００１３】上記の構成により、少なくとも一方の電極
における配線部の幅を圧力室用凹部開口の最大幅の１／
２よりも小さく設定することで、延設部での絶縁破壊の
生じる割合が格段に小さくなる。つまり、圧電素子の延
設部の幅を上記設定した少なくとも一方の電極の配線部
と略同じにすれば、その延設部において、圧電素子を薄
膜形成することに伴う欠陥部が生じる割合が小さくな
り、また延設部の幅を上記少なくとも一方の電極の配線
部よりも大きくすることで欠陥部が生じる割合が高くな
っても、この欠陥部に対応する部分にその電極の配線部
が形成される割合は小さくて、延設部での絶縁破壊の発
生を良好に抑制することができる。この結果、圧電素子
や電極を薄膜状に形成しても、電極の配線部が断線する
のを抑制することができる。また、圧力室を複数設けて
該複数の圧力室を複数列に並べて配設する場合に、相隣
る圧力室間に配線部を配設して電気接点部を１箇所に集
めることができる。この結果、圧力室まわりに電気接点
部を設ける場合よりも圧力室を密に配設することがで
き、インクジェットヘッドを小型化しつつ、ドットの高
密度化を図ることができる。With the above arrangement, the width of the wiring portion of at least one of the electrodes is set to 1 / the maximum width of the opening of the pressure chamber recess.
By setting it to be smaller than 2, the rate of occurrence of dielectric breakdown in the extension portion is significantly reduced. That is, if the width of the extending portion of the piezoelectric element is set to be substantially the same as the wiring portion of at least one electrode set as described above, the rate of occurrence of the defective portion due to the formation of the piezoelectric element as a thin film in the extending portion is small. Even if the width of the extending portion is made larger than the wiring portion of at least one of the electrodes, the wiring portion of the electrode is formed in a portion corresponding to the defective portion even if the ratio of occurrence of the defective portion increases. Is small, and the occurrence of dielectric breakdown in the extended portion can be favorably suppressed. As a result, even if the piezoelectric element or the electrode is formed in a thin film shape, disconnection of the wiring portion of the electrode can be suppressed. Further, in the case where a plurality of pressure chambers are provided and the plurality of pressure chambers are arranged in a plurality of rows, a wiring portion may be provided between adjacent pressure chambers to collect electrical contact portions at one place. As a result, the pressure chambers can be densely arranged as compared with the case where the electric contact portions are provided around the pressure chambers, and the density of dots can be increased while the ink jet head is downsized.
【００１４】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、圧電素子の延設部と両電極の少なくとも一方の配
線部とが、電気的に絶縁されているものとする。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the extended portion of the piezoelectric element and at least one wiring portion of both electrodes are electrically insulated.
【００１５】このことにより、圧電素子の延設部に電界
が生じることはないので、該延設部での絶縁破壊を確実
に抑制することができる。また、圧電素子はこの延設部
では伸縮しなくなるので、ヘッド本体における該延設部
に対応する部分に応力が発生することはなく、ヘッド本
体と圧電アクチュエータとの接合力が低下する等という
不具合の発生を防止することができる。[0015] Thus, no electric field is generated in the extended portion of the piezoelectric element, so that dielectric breakdown in the extended portion can be surely suppressed. In addition, since the piezoelectric element does not expand and contract at the extended portion, no stress is generated in a portion of the head body corresponding to the extended portion, and the joining force between the head body and the piezoelectric actuator is reduced. Can be prevented from occurring.
【００１６】請求項３の発明では、請求項１又は２の発
明において、圧電素子の延設部の幅が、両電極の少なく
とも一方の配線部よりも大きく設定されているものとす
る。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the width of the extending portion of the piezoelectric element is set to be larger than at least one wiring portion of both electrodes.
【００１７】すなわち、圧電素子の延設部の幅がかなり
小さくなると、圧電素子の圧力室と反対側に位置する電
極の配線部を延設部により確実に支持できなくなり、該
配線部が断線する可能性がある。特に、圧電素子の延設
部をエッチングにより形成すると、サイドエッチ（アン
ダーカット）によりその幅が設定値よりも小さくなる傾
向にあり、電極配線部が断線する可能性がさらに高くな
る。しかし、この発明では、電極配線部の幅を小さくし
ても、圧電素子の延設部の幅を大きくすることで電極配
線部の断線を確実に防止することができる。That is, if the width of the extending portion of the piezoelectric element becomes considerably small, the wiring portion of the electrode located on the side opposite to the pressure chamber of the piezoelectric element cannot be reliably supported by the extending portion, and the wiring portion is disconnected. there is a possibility. In particular, when the extended portion of the piezoelectric element is formed by etching, the width tends to be smaller than a set value due to side etching (undercut), and the possibility of disconnection of the electrode wiring portion is further increased. However, according to the present invention, even if the width of the electrode wiring portion is reduced, disconnection of the electrode wiring portion can be reliably prevented by increasing the width of the extending portion of the piezoelectric element.
【００１８】請求項４の発明では、インクを供給するた
めの供給口とインクを吐出するための吐出口とを有する
複数の圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、該ヘッ
ド本体の各凹部を塞いで該凹部と共に圧力室を構成する
ように設けられ、圧電素子と該圧電素子の上記圧力室側
の面に設けられた圧力室側電極と圧電素子の圧力室と反
対側面に設けられた反圧力室側電極とを有する圧電アク
チュエータとを備え、該両電極を介した圧電素子への電
圧の印加により該圧電アクチュエータを上記圧力室の容
積が減少するように変形させて、該圧力室内のインクを
上記吐出口から吐出させるようにしたインクジェットヘ
ッドを対象とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a head body in which a plurality of pressure chamber recesses having a supply port for supplying ink and a discharge port for discharging ink are formed, and each recess of the head body. And a pressure chamber together with the recess is provided to form a pressure chamber, and a piezoelectric element, a pressure chamber side electrode provided on the surface of the piezoelectric element on the pressure chamber side, and a pressure chamber of the piezoelectric element are provided on the side opposite to the pressure chamber. A piezoelectric actuator having an anti-pressure chamber side electrode, and applying a voltage to the piezoelectric element through both electrodes to deform the piezoelectric actuator so that the volume of the pressure chamber is reduced, The present invention is directed to an ink jet head configured to discharge ink from the discharge port.
【００１９】そして、上記ヘッド本体の各圧力室用凹部
は、該ヘッド本体の一側面において所定の方向に延びる
ようにそれぞれ開口され、上記圧電アクチュエータは、
上記圧電素子及び両電極のうち反圧力室側電極のみが上
記複数の圧力室に対して個別に設けられてなり、上記反
圧力室側電極は、上記各圧力室にそれぞれ対応する部分
と該各圧力室対応部分から上記各凹部開口の長さ方向に
それぞれ延びる配線部とを有し、上記反圧力室側電極の
各配線部の幅が、上記各凹部開口の最大幅の１／２より
も小さく設定されているものとする。The pressure chamber recesses of the head main body are respectively opened on one side surface of the head main body so as to extend in a predetermined direction.
Only the anti-pressure chamber side electrode of the piezoelectric element and both electrodes is separately provided for the plurality of pressure chambers, and the anti-pressure chamber side electrode has a portion corresponding to each of the pressure chambers and the respective A wiring portion extending from the pressure chamber corresponding portion in the length direction of each of the recessed openings, wherein the width of each wiring portion of the counter pressure chamber side electrode is larger than 最大 of the maximum width of each of the recessed openings. It is assumed that it is set small.
【００２０】この発明により、請求項１の発明と同様
に、圧電素子の絶縁破壊による配線部の断線を可及的に
抑えることができると共に、圧力室を高密度で配設する
ことができ、しかも、インクジェットヘッドを小型化す
ることができる。また、圧電素子は個別化されていない
ので、請求項３の発明のように、反圧力室側電極の配線
部の支持を確実に行ってその断線を防止することができ
る。According to the present invention, similarly to the first aspect of the present invention, disconnection of the wiring portion due to dielectric breakdown of the piezoelectric element can be suppressed as much as possible, and the pressure chambers can be arranged with high density. In addition, the size of the inkjet head can be reduced. Further, since the piezoelectric elements are not individualized, it is possible to reliably support the wiring portion of the counter pressure chamber side electrode as in the invention of claim 3 and prevent the disconnection thereof.
【００２１】請求項５の発明では、請求項４の発明にお
いて、圧電素子と圧力室側電極とが、反圧力室側電極の
配線部に対応する部分において電気的に絶縁されている
ものとする。また、請求項６の発明では、請求項４の発
明において、圧電素子と反圧力室側電極の配線部とが電
気的に絶縁されているものとする。これらの発明によ
り、請求項２の発明と同様の作用効果を得ることができ
る。According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the present invention, the piezoelectric element and the pressure chamber side electrode are electrically insulated at a portion corresponding to the wiring portion of the counter pressure chamber side electrode. . According to a sixth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the piezoelectric element is electrically insulated from the wiring portion of the counter pressure chamber side electrode. According to these inventions, the same functions and effects as those of the invention of claim 2 can be obtained.
【００２２】請求項７の発明では、請求項４、５又は６
の発明において、圧電素子の各圧力室に対応する部分
が、反圧力室側電極の配線部に対応する部分を除いてス
リット状の貫通孔により周囲から切り離されているもの
とする。In the invention of claim 7, according to claim 4, 5, or 6
In the present invention, the portion corresponding to each pressure chamber of the piezoelectric element is separated from the surroundings by a slit-shaped through hole except for the portion corresponding to the wiring portion of the electrode on the side opposite to the pressure chamber.
【００２３】こうすることで、圧電素子の各圧力室に対
応する部分の変形量を、圧電素子が反圧力室側電極のよ
うに個別化された場合と略同じ程度にすることができ、
インク滴を良好に吐出させることができる。By doing so, the deformation amount of the portion corresponding to each pressure chamber of the piezoelectric element can be made substantially the same as when the piezoelectric element is individualized like the electrode on the side opposite to the pressure chamber.
Ink droplets can be discharged well.
【００２４】請求項８の発明では、請求項７の発明にお
いて、貫通孔内に、電気絶縁材料が充填されているもの
とする。According to an eighth aspect of the present invention, in the seventh aspect, the through hole is filled with an electrically insulating material.
【００２５】このことにより、貫通孔内に異物が入る等
して反圧力室側電極と圧力室側電極とが短絡したり、圧
電素子が絶縁破壊したりするのを防止することができ
る。Thus, it is possible to prevent short-circuiting between the electrode on the opposite side of the pressure chamber and the electrode on the side of the pressure chamber due to entry of foreign matter into the through-hole and dielectric breakdown of the piezoelectric element.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】（実施形態１）図１及び図２は、
本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッドを示
し、このインクジェットヘッドは、インクを供給するた
めの供給口２ａとインクを吐出するための吐出口２ｂと
を有する複数の圧力室用凹部２が形成されたヘッド本体
１を備えている。このヘッド本体１の各凹部２は、該ヘ
ッド本体１の一側面（上面）に略矩形状に開口されてい
て、その幅方向に所定間隔をあけて一列に並べられてい
る。すなわち、上記全ての凹部２は、ヘッド本体１の上
面において図１の左右方向に延びるように開口されてい
る。尚、図１では、各凹部２（後述のノズル孔１４、圧
電素子２３、上部電極２４等）は、煩雑となるのを避け
るために３つしか記載していないが、実際には、多数設
けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Embodiment 1) FIGS.
1 shows an ink jet head according to a first embodiment of the present invention, in which a plurality of pressure chamber recesses 2 having a supply port 2a for supplying ink and a discharge port 2b for discharging ink are formed. The head main body 1 is provided. The recesses 2 of the head main body 1 are opened in a substantially rectangular shape on one side surface (upper surface) of the head main body 1, and are arranged in a line at a predetermined interval in the width direction. That is, all the recesses 2 are opened on the upper surface of the head main body 1 so as to extend in the left-right direction in FIG. In FIG. 1, only three concave portions 2 (nozzle holes 14, piezoelectric elements 23, upper electrodes 24, etc., which will be described later) are shown to avoid complexity, but in reality, many concave portions 2 are provided. Have been.
【００２７】上記ヘッド本体１の各凹部２の側壁部は、
約２００μｍ厚の感光性ガラス製の圧力室部品５で構成
され、各凹部２の底壁部は、この圧力室部品５に固着さ
れかつ複数のステンレス鋼薄板を貼り合せてなるインク
流路部品６で構成されている。このインク流路部品６内
には、上記各凹部２の供給口２ａにそれぞれ接続された
供給用インク流路７と、上記吐出口２ｂにそれぞれ接続
された吐出用インク流路８とが形成されている。上記各
供給用インク流路７は、上記各凹部２が並ぶ方向に延び
るインク供給室１０に接続され、このインク供給室１０
は、上記圧力室部品５及びインク流路部品６に形成され
かつ図外のインクタンクと接続されるインク供給孔１１
に接続されている。上記インク流路部品６の圧力室部品
５と反対側面（下面）には、ステンレス鋼若しくはＮｉ
の電鋳板又はポリイミド等の高分子樹脂からなる約２０
μｍ厚のノズル板１３が設けられ、このノズル板１３に
は、上記各吐出用インク流路８とそれぞれ接続された直
径約２０μｍのノズル孔１４が形成されている。この各
ノズル孔１４は、上記各凹部２の配列方向に延びる一直
線上に配置されている。The side wall of each recess 2 of the head body 1 is
A pressure chamber component 5 made of photosensitive glass having a thickness of about 200 μm, and a bottom wall portion of each concave portion 2 is fixed to the pressure chamber component 5 and an ink flow path component 6 formed by bonding a plurality of stainless steel thin plates. It is composed of In the ink flow path component 6, a supply ink flow path 7 connected to the supply port 2a of each of the concave portions 2 and a discharge ink flow path 8 respectively connected to the discharge port 2b are formed. ing. Each of the supply ink flow paths 7 is connected to an ink supply chamber 10 extending in a direction in which the recesses 2 are arranged.
Are ink supply holes 11 formed in the pressure chamber component 5 and the ink flow path component 6 and connected to an ink tank (not shown).
It is connected to the. The opposite side (lower surface) of the ink channel component 6 from the pressure chamber component 5 is made of stainless steel or Ni.
About 20 made of an electroformed plate or a polymer resin such as polyimide
A nozzle plate 13 having a thickness of μm is provided, and the nozzle plate 13 is formed with a nozzle hole 14 having a diameter of about 20 μm connected to each of the ejection ink flow paths 8. The nozzle holes 14 are arranged on a straight line extending in the arrangement direction of the recesses 2.
【００２８】上記ヘッド本体１の圧力室部品５における
インク流路部品６と反対側面（上面）には、上記ヘッド
本体１の各凹部２を塞いで該凹部２と共に圧力室３を構
成する圧電アクチュエータ２１がそれぞれ設けられてい
る。この各圧電アクチュエータ２１は、チタン酸ジルコ
ン酸鉛（ＰＺＴ）からなる２〜５μｍ厚の圧電素子２３
と、該圧電素子２３の上記圧力室３側の面（下面）に設
けられた１〜３μｍ厚のＣｒ製下部電極２２（圧力室側
電極）と、圧電素子２３の圧力室３と反対側面（上面）
に設けられた０．１μｍ厚のＰｔ製上部電極２４（反圧
力室側電極）とを有している。上記下部電極２２は、所
謂振動板の役割をも有している。On the side (upper surface) of the pressure chamber component 5 of the head main body 1 opposite to the ink flow path component 6, a piezoelectric actuator that covers each of the concave portions 2 of the head main body 1 and forms the pressure chamber 3 together with the concave portions 2 is formed. 21 are provided respectively. Each of the piezoelectric actuators 21 has a piezoelectric element 23 made of lead zirconate titanate (PZT) and having a thickness of 2 to 5 μm.
A Cr lower electrode 22 (pressure chamber side electrode) having a thickness of 1 to 3 μm provided on the surface (lower surface) of the piezoelectric element 23 on the pressure chamber 3 side; Top)
And a 0.1 μm-thick Pt upper electrode 24 (anti-pressure chamber side electrode). The lower electrode 22 also has a role of a so-called diaphragm.
【００２９】上記各圧電アクチュエータ２１の圧電素子
２３は、上記圧力室３に対応する部分（圧力室３の真上
に位置する部分）の一端部から圧力室用凹部２開口の長
さ方向に延びる延設部２３ａを有し、上記両電極２２，
２４は、この圧電素子２３の延設部２３ａに重ねられた
状態で圧力室３に対応する部分の一端部から上記延設部
２３ａと同じ方向（圧力室用凹部２開口の長さ方向）に
延びる配線部２２ａ，２４ａをそれぞれ有している。こ
の各配線部２２ａ，２４ａの先端部には、各圧電アクチ
ュエータ２１を駆動するドライバＩＣ等と接続するため
の電気接点部２２ｂ，２４ｂがそれぞれ設けられてい
る。上記各配線部２２ａ，２４ａ及び圧電素子２３の延
設部２３ａの幅は全て略同じｄ１に設定されていて、上
記圧力室用凹部２の開口幅Ｄ（最大幅）の１／２よりも
小さく設定されている。The piezoelectric element 23 of each of the piezoelectric actuators 21 extends from one end of a portion corresponding to the pressure chamber 3 (a portion located directly above the pressure chamber 3) in the length direction of the opening of the pressure chamber recess 2. It has an extended portion 23a, and the two electrodes 22,
Reference numeral 24 denotes a direction from the one end of the portion corresponding to the pressure chamber 3 in the same direction as the extending portion 23a (the length direction of the opening of the recess 2 for the pressure chamber) in a state of being superposed on the extending portion 23a of the piezoelectric element 23. Extending wiring portions 22a and 24a are provided, respectively. Electric contact portions 22b and 24b for connecting to a driver IC and the like for driving each piezoelectric actuator 21 are provided at the distal ends of the wiring portions 22a and 24a, respectively. The widths of the wiring portions 22a, 24a and the extension portion 23a of the piezoelectric element 23 are all set to substantially the same d1, and are smaller than 1/2 of the opening width D (maximum width) of the pressure chamber concave portion 2. Is set.
【００３０】上記各圧電アクチュエータ２１は、その下
部電極２２と上部電極２４とを介して圧電素子２３に電
圧を印加することにより該圧電アクチュエータ２１の圧
力室３に対応する部分を変形させることで、該圧力室３
内のインクを吐出口２ｂから吐出させるようになってい
る。すなわち、下部電極２２と上部電極２４との間にパ
ルス状の電圧を印加すると、そのパルス電圧の立ち上が
りにより圧電素子２３がその厚み方向と垂直な方向に収
縮するのに対し、下部電極２２及び上部電極２４は収縮
しないので、いわゆるバイメタル効果により圧電アクチ
ュエータ２１の圧力室３に対応する部分が圧力室３側へ
凸状に撓んで変形する。この撓み変形により圧力室３内
に圧力が生じ、この圧力で圧力室３内のインクが吐出口
２ｂ及び吐出用インク流路８を経由してノズル孔１４よ
り外部へ吐出されて、紙面にドット状に付着することと
なる。そして、上記パルス電圧の立ち下がりにより圧電
素子２３が伸長して圧電アクチュエータ２１の圧力室３
に対応する部分が元の状態に復帰し、このとき、圧力室
３内には上記インク供給室１０より供給用インク流路７
及び供給口２ａを介してインクが充填される。尚、１色
のインクだけでなく、例えばブラック、シアン、マゼン
タ及びイエローの各インクを異なるノズル孔１４からそ
れぞれ吐出させるようにして、カラー印刷を行うように
することもできる。Each of the piezoelectric actuators 21 deforms a portion corresponding to the pressure chamber 3 of the piezoelectric actuator 21 by applying a voltage to the piezoelectric element 23 through the lower electrode 22 and the upper electrode 24. The pressure chamber 3
The inner ink is ejected from the ejection port 2b. That is, when a pulse-like voltage is applied between the lower electrode 22 and the upper electrode 24, the rise of the pulse voltage causes the piezoelectric element 23 to contract in a direction perpendicular to the thickness direction, whereas the lower electrode 22 and the upper electrode Since the electrode 24 does not shrink, a portion corresponding to the pressure chamber 3 of the piezoelectric actuator 21 is bent and deformed toward the pressure chamber 3 by the so-called bimetal effect. Due to this bending deformation, a pressure is generated in the pressure chamber 3, and the ink in the pressure chamber 3 is discharged to the outside from the nozzle hole 14 through the discharge port 2 b and the discharge ink flow path 8 by this pressure, and a dot is formed on the paper surface. It will adhere in a shape. The falling of the pulse voltage causes the piezoelectric element 23 to expand and the pressure chamber 3 of the piezoelectric actuator 21 to expand.
Is returned to the original state. At this time, the supply ink flow path 7 from the ink supply chamber 10 is provided in the pressure chamber 3.
And the ink is filled through the supply port 2a. It should be noted that color printing can be performed by ejecting not only one color ink but also, for example, black, cyan, magenta, and yellow inks from different nozzle holes 14, respectively.
【００３１】次に、上記インクジェットヘッドの製造方
法の概略手順について、図３を参照しつつ説明する。
尚、図３においては、図２とインクジェットヘッドの上
下関係が逆になっている。Next, a schematic procedure of the method of manufacturing the ink jet head will be described with reference to FIG.
In FIG. 3, the vertical relationship between the ink jet head and FIG. 2 is reversed.
【００３２】先ず、単結晶ＭｇＯ基板４１上全体にＰｔ
膜４２をスパッタリングにより形成し（図３（ａ）参
照）、その後、このＰｔ膜４２上全体にＰＺＴ膜４３を
スパッタリングにより形成する（図３（ｂ）参照）。そ
して、このＰＺＴ膜４３上全体にＣｒ膜４４をスパッタ
リングにより形成する（図３（ｃ）参照）。First, Pt is formed on the entire surface of the single crystal MgO substrate 41.
A film 42 is formed by sputtering (see FIG. 3A), and then a PZT film 43 is formed on the entire Pt film 42 by sputtering (see FIG. 3B). Then, a Cr film 44 is formed on the entire PZT film 43 by sputtering (see FIG. 3C).
【００３３】次いで、上記Ｃｒ膜４４の上面に、ヘッド
本体１の圧力室部品５を接着剤等により固着し（図３
（ｄ）参照）、その後、上記基板４１を熱燐酸やＫＯＨ
等で溶融・除去する（図３（ｅ）参照）。続いて、上記
圧力室部品５上に、予め一体化したインク流路部品６及
びノズル板１３を固着すると共に、上記Ｐｔ膜４２、Ｐ
ＺＴ膜４３及びＣｒ膜４４をイオンミリング法や反応性
イオンエッチング法等のドライエッチング法にて切断し
て所定の形状に仕上げることで、上部電極２４、圧電素
子２３及び下部電極２２をそれぞれ形成する（図３
（ｆ）参照）。こうしてインクジェットヘッドが完成す
る。Next, the pressure chamber component 5 of the head body 1 is fixed to the upper surface of the Cr film 44 with an adhesive or the like (FIG. 3).
(See (d).) Then, the substrate 41 is heated with hot phosphoric acid or KOH.
(See FIG. 3 (e)). Subsequently, the ink passage component 6 and the nozzle plate 13 that have been integrated in advance are fixed on the pressure chamber component 5, and the Pt films 42, P
The upper electrode 24, the piezoelectric element 23, and the lower electrode 22 are formed by cutting the ZT film 43 and the Cr film 44 by a dry etching method such as an ion milling method or a reactive ion etching method and finishing them in a predetermined shape. (FIG. 3
(F)). Thus, an ink jet head is completed.
【００３４】したがって、上記実施形態１では、下部及
び上部電極２２，２４の配線部２２ａ，２４ａ並びに圧
電素子２３の延設部２３ａの幅が、圧力室用凹部２の開
口幅の１／２よりも小さく設定されているので、圧電素
子２３の延設部２３ａに、スパッタリングにより薄膜形
成することに伴う欠陥部が生じる割合が小さくなり、延
設部２３ａでの絶縁破壊の発生を良好に抑制することが
できる。この結果、圧電素子２３や両電極２２，２４を
薄膜状に形成しても、両電極２２，２４の配線部２２
ａ，２４ａが断線するのを抑制することができる。ま
た、後述の実施形態３のように、複数の圧力室３を複数
列に並べて配設する場合に、或る列の各圧力室３に対応
する部分から延びる配線部２２ａ，２４ａを、他の列に
おいて相隣接する圧力室３間を通るように配設すれば、
電気接点部２２ｂ，２４ｂを１箇所に集めることができ
る。この結果、電気接点部２２ｂ，２４ｂを圧力室３ま
わりに設ける場合よりも圧力室３を密に配設することが
でき、インクジェットヘッドを小型化しつつ、ノズル孔
１４の高密度化（ドットの高密度化）を図ることができ
る。Therefore, in the first embodiment, the widths of the wiring portions 22a, 24a of the lower and upper electrodes 22, 24 and the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 are smaller than １ ／ of the opening width of the recess 2 for the pressure chamber. Is also set to be small, the rate of occurrence of defects due to the formation of a thin film by sputtering in the extended portion 23a of the piezoelectric element 23 is reduced, and the occurrence of dielectric breakdown in the extended portion 23a is favorably suppressed. be able to. As a result, even when the piezoelectric element 23 and the electrodes 22 and 24 are formed in a thin film shape, the wiring portion 22 of the electrodes 22 and 24 is formed.
a, 24a can be prevented from being disconnected. Further, when a plurality of pressure chambers 3 are arranged in a plurality of rows as in a third embodiment described later, wiring portions 22a and 24a extending from a portion corresponding to each pressure chamber 3 in a certain row are connected to other rows. If it is arranged to pass between adjacent pressure chambers 3 in a row,
The electric contact portions 22b and 24b can be collected at one place. As a result, the pressure chambers 3 can be densely arranged as compared with the case where the electric contact portions 22b and 24b are provided around the pressure chambers 3, and the density of the nozzle holes 14 can be increased (the dot height can be increased) while the ink jet head is downsized. Density).
【００３５】尚、上記実施形態１では、下部及び上部電
極２２，２４の各配線部２２ａ，２４ａ並びに圧電素子
２３の延設部２３ａの幅を全て同じにしたが、下部電極
２２の配線部２２ａの幅のみ又は上部電極２４の配線部
２４ａの幅のみを圧力室用凹部２の開口幅の１／２より
も小さく設定するようにしてもよい。この場合、圧電素
子２３の延設部２３ａの幅が大きくなることで欠陥部が
生じる割合が高くなっても、その欠陥部に対応する部分
に配線部２２ａ（２４ａ）が形成される割合は小さく
て、上記実施形態１と同様に、延設部２３ａでの絶縁破
壊の発生を良好に抑制することができる。In the first embodiment, the widths of the wiring portions 22a, 24a of the lower and upper electrodes 22, 24 and the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 are all the same. Or only the width of the wiring portion 24 a of the upper electrode 24 may be set to be smaller than １ ／ of the opening width of the recess 2 for the pressure chamber. In this case, even when the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 increases, the ratio of the occurrence of the defective portion increases, but the ratio of the formation of the wiring portion 22a (24a) in the portion corresponding to the defective portion is small. Thus, similarly to the first embodiment, the occurrence of dielectric breakdown in the extension portion 23a can be satisfactorily suppressed.
【００３６】（実施形態２）図４及び図５は本発明の実
施形態２を示し（尚、以下の各実施形態では、図１及び
図２と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な
説明は省略する）、圧電素子２３の延設部２３ａの幅を
上部電極２４の配線部２４ａよりも大きく設定したもの
である。(Embodiment 2) FIGS. 4 and 5 show Embodiment 2 of the present invention (in the following embodiments, the same parts as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof). The width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 is set to be larger than the width of the wiring portion 24a of the upper electrode 24.
【００３７】すなわち、この実施形態２では、上部電極
２４の配線部２４ａの幅は、上記実施形態１と同様に、
圧力室用凹部２の開口幅Ｄの１／２よりも小さいｄ１に
設定されているが、圧電素子２３の延設部２３ａ及び下
部電極２２の配線部２２ａの幅は共に上部電極２４の配
線部２４ａよりも大きいｄ２（この実施形態２では、圧
力室用凹部２の開口幅の１／２よりも大きい）に設定さ
れている。また、上記圧電素子２３の延設部２３ａと下
部電極２２の配線部２２ａとの間には、電気絶縁材料
（感光性ポリイミド、フォトレジスト、二酸化ケイ素
等）からなる電気絶縁層２６が形成されて、圧電素子２
３の延設部２３ａと下部電極２２の配線部２２ａとが電
気的に絶縁されている。That is, in the second embodiment, the width of the wiring portion 24a of the upper electrode 24 is the same as in the first embodiment.
Although the width d1 is set to be smaller than の of the opening width D of the recess 2 for the pressure chamber, the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 and the width of the wiring portion 22a of the lower electrode 22 are both the same as those of the upper electrode 24. It is set to d2 larger than 24a (in this embodiment 2, larger than １ ／ of the opening width of the pressure chamber concave portion 2). Further, between the extending part 23a of the piezoelectric element 23 and the wiring part 22a of the lower electrode 22, an electric insulating layer 26 made of an electric insulating material (photosensitive polyimide, photoresist, silicon dioxide, etc.) is formed. , Piezoelectric element 2
3 and the wiring portion 22a of the lower electrode 22 are electrically insulated.
【００３８】したがって、上記実施形態２では、圧電素
子２３の延設部２３ａと下部電極２２の配線部２２ａと
の間に電気絶縁層２６が設けられているので、圧電素子
２３の延設部２３ａに電界が生じることはなく、延設部
２３ａでの絶縁破壊を確実に抑制することができる。し
かも、圧電素子２３は延設部２３ａでは伸縮しなくなる
ので、ヘッド本体１上面の延設部２３ａに対応する部分
に応力が発生することはなく、ヘッド本体１と圧電アク
チュエータ２１との接合を良好に維持することができ
る。Therefore, in the second embodiment, since the electrical insulating layer 26 is provided between the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 and the wiring portion 22a of the lower electrode 22, the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 is provided. An electric field is not generated in the extension portion 23, and dielectric breakdown at the extension portion 23a can be reliably suppressed. In addition, since the piezoelectric element 23 does not expand and contract at the extending portion 23a, no stress is generated at a portion corresponding to the extending portion 23a on the upper surface of the head main body 1, and the joining between the head main body 1 and the piezoelectric actuator 21 is good. Can be maintained.
【００３９】また、圧電素子２３の延設部２３ａの幅が
上部電極２４の配線部２４ａよりも大きいので、上部電
極２４を確実に支持することができる。すなわち、上記
実施形態１のように圧電素子２３の延設部２３ａの幅が
小さいと、上部電極２４の配線部２４ａの支持性が不十
分であり、しかも、圧電素子２３の延設部２３ａをエッ
チングにより形成する際に、サイドエッチ（アンダーカ
ット）によりその幅が設定値よりも小さくなって配線部
２４ａの断線が生じ易くなるが、上記実施形態２では、
圧電素子２３の延設部２３ａの幅が十分に大きいので、
配線部２４ａの断線を防止することができる。Further, since the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 is larger than the width of the wiring portion 24a of the upper electrode 24, the upper electrode 24 can be reliably supported. That is, if the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 is small as in the first embodiment, the supportability of the wiring portion 24a of the upper electrode 24 is insufficient. When formed by etching, the width is smaller than the set value due to side etching (undercut), and the wiring portion 24a is apt to be disconnected.
Since the width of the extension 23a of the piezoelectric element 23 is sufficiently large,
Disconnection of the wiring portion 24a can be prevented.
【００４０】尚、上記実施形態２では、圧電素子２３の
延設部２３ａと下部電極２２の配線部２２ａとの間に電
気絶縁層２６を形成したが、この電気絶縁層２６の代わ
りに圧電素子２３の延設部２３ａと上部電極２４の配線
部２４ａとの間に同様の電気絶縁層２６を形成してもよ
く、圧電素子２３の延設部２３ａの厚み方向両側に電気
絶縁層２６をそれぞれ形成してもよい。In the second embodiment, the electric insulating layer 26 is formed between the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 and the wiring portion 22a of the lower electrode 22. A similar electric insulating layer 26 may be formed between the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 and the wiring portion 24a of the upper electrode 24. The electric insulating layers 26 are formed on both sides in the thickness direction of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23, respectively. It may be formed.
【００４１】また、上記実施形態２では、下部及び上部
電極２２，２４の配線部２２ａ，２４ａ並びに圧電素子
２３の延設部２３ａのうち上部電極２４の配線部２４ａ
のみを、圧力室用凹部２の開口幅の１／２よりも小さく
設定したが、下部電極２２２の配線部２２ａのみを、圧
力室用凹部２の開口幅の１／２よりも小さく設定しても
よく、上記実施形態１のように両配線部２２ａ，２４ａ
共に圧力室用凹部２の開口幅の１／２よりも小さく設定
してもよい。そして、圧電素子２３の延設部２３ａの幅
は、両配線部２２ａ，２４ａの少なくとも一方よりも大
きければ、圧力室用凹部２の開口幅の１／２よりも小さ
くてもよい。In the second embodiment, the wiring portions 22a and 24a of the lower and upper electrodes 22 and 24 and the wiring portion 24a of the upper electrode 24 of the extended portions 23a of the piezoelectric element 23 are provided.
Only the width of the opening of the pressure chamber recess 2 is set to be smaller than の of the opening width of the pressure chamber recess 2, but only the wiring portion 22 a of the lower electrode 222 is set to be smaller than １ ／ of the opening width of the pressure chamber recess 2. Alternatively, as in the first embodiment, both wiring portions 22a, 24a
Both may be set to be smaller than 1/2 of the opening width of the recess 2 for the pressure chamber. If the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 is larger than at least one of the wiring portions 22a and 24a, the width may be smaller than １ ／ of the opening width of the recess 2 for the pressure chamber.
【００４２】さらに、圧電素子２３の延設部２３ａの幅
をかなり大きくして相隣接する延設部２３ａ同士を互い
に繋げるようにしてもよい。この場合、下部電極２２の
配線部２２ａも、相隣接するもの同士を互いに繋げるよ
うにすることが望ましい。Further, the width of the extending portion 23a of the piezoelectric element 23 may be considerably increased so that the adjacent extending portions 23a are connected to each other. In this case, it is desirable that the wiring portion 22a of the lower electrode 22 also connects mutually adjacent ones.
【００４３】（実施形態３）図６は本発明の実施形態３
を示し、圧電素子２３及び下部電極２２が複数の圧力室
３に対して個別に設けられておらず、ヘッド本体１上面
の略全体に形成されている点が上記実施形態１，２と異
なる。(Embodiment 3) FIG. 6 shows Embodiment 3 of the present invention.
The second embodiment differs from the first and second embodiments in that the piezoelectric element 23 and the lower electrode 22 are not provided individually for the plurality of pressure chambers 3 but are formed on substantially the entire upper surface of the head main body 1.
【００４４】すなわち、この実施形態３では、下部及び
上部電極２２，２４並びに圧電素子２３のうち上部電極
２４のみが複数の圧力室３に対して個別に設けられてい
て、各圧力室３にそれぞれ対応する部分と該各圧力室３
対応部分の一端部から各圧力室３の長さ方向にそれぞれ
延びる配線部２４ａとを有している。この上部電極２４
の配線部２４ａの幅は、圧力室用凹部２の開口幅Ｄの１
／２よりも小さいｄ１に設定されている。That is, in the third embodiment, only the upper electrode 24 of the lower and upper electrodes 22, 24 and the piezoelectric element 23 is individually provided for the plurality of pressure chambers 3, and each of the pressure chambers 3 Corresponding parts and the respective pressure chambers 3
A wiring portion 24a extending from one end of the corresponding portion in the length direction of each pressure chamber 3; This upper electrode 24
The width of the wiring portion 24a is 1 of the opening width D of the pressure chamber concave portion 2.
D1 smaller than / 2.
【００４５】また、上記複数の圧力室３は２列に並べて
配列されており、上部電極２４において第１列目（図６
の左側の列）の圧力室３に対応する部分から延びる配線
部２４ａは、第２列目（図６の右側の列）において相隣
接する圧力室３間を通るように配設され、各配線部２４
ａの接点部２４ｂがヘッド本体１上面の一側縁部に並ぶ
ようになされている。尚、下部電極２２におけるヘッド
本体１上面の角部に相当する部分には、該下部電極２２
全体を接地するための接点部２２ｂが設けられている。The plurality of pressure chambers 3 are arranged side by side in two rows.
A wiring portion 24a extending from a portion corresponding to the pressure chamber 3 in the left column of FIG. 6 is disposed so as to pass between adjacent pressure chambers 3 in the second column (the right column in FIG. 6), and each wiring Part 24
The contact point 24b is arranged on one side edge of the upper surface of the head main body 1. A portion of the lower electrode 22 corresponding to a corner of the upper surface of the head body 1 is provided with the lower electrode 22.
A contact portion 22b for grounding the whole is provided.
【００４６】上記圧電素子２３と下部電極２２とは、上
部電極２４の各配線部２４ａに対応する部分において電
気的に絶縁されている。つまり、圧電素子２３と下部電
極２２との間における各配線部２４ａの真下部分に、上
記実施形態２と同様に、電気絶縁材料からなる電気絶縁
層２６が形成されている。The piezoelectric element 23 and the lower electrode 22 are electrically insulated at a portion of the upper electrode 24 corresponding to each wiring portion 24a. That is, the electric insulating layer 26 made of an electric insulating material is formed just below the wiring portions 24a between the piezoelectric element 23 and the lower electrode 22, as in the second embodiment.
【００４７】そして、圧電素子２３の各圧力室３に対応
する部分は、上部電極２４の各配線部２４ａに対応する
部分を除いてスリット状の貫通孔２３ｃにより周囲から
切り離されており、この貫通孔２３ｃ内には、上記電気
絶縁層２６と同じ電気絶縁材料が充填されている。The portion of the piezoelectric element 23 corresponding to each pressure chamber 3 is separated from its surroundings by a slit-shaped through hole 23c except for the portion corresponding to each wiring portion 24a of the upper electrode 24. The hole 23c is filled with the same electric insulating material as the electric insulating layer 26.
【００４８】上記インクジェットヘッドの製造方法の概
略手順を図８により説明すると、先ず、単結晶ＭｇＯ基
板４１上全体にＰｔ膜４２をスパッタリングにより形成
し（図８（ａ）参照）、その後、このＰｔ膜４２を、ド
ライエッチング法にて切断して所定の形状に仕上げる
（個別化する）ことで上部電極２４を形成する（図８
（ｂ）参照）。Referring to FIG. 8, a schematic procedure of the method of manufacturing the ink-jet head will be described. First, a Pt film 42 is formed on the entire single-crystal MgO substrate 41 by sputtering (see FIG. 8A). The upper electrode 24 is formed by cutting (individualizing) the film 42 into a predetermined shape by a dry etching method (FIG. 8).
(B)).
【００４９】続いて、上記上部電極２４を形成した基板
４１上全体にＰＺＴ膜４３をスパッタリングにより形成
し（図８（ｃ）参照）、その後、ドライエッチング法に
より貫通孔２３ｃを形成する等して所定の形状に仕上げ
ることで圧電素子２３を形成する（図８（ｄ）参照）。Subsequently, a PZT film 43 is formed on the entire substrate 41 on which the upper electrode 24 is formed by sputtering (see FIG. 8C), and thereafter, a through-hole 23c is formed by dry etching. The piezoelectric element 23 is formed by finishing to a predetermined shape (see FIG. 8D).
【００５０】次いで、上記圧電素子２３を形成した基板
４１上全体に電気絶縁材料を、感光性ポリイミドやフォ
トレジストの場合は回転塗布し、二酸化ケイ素の場合は
スパッタリング又は蒸着により電気絶縁材料膜４５を形
成する（図８（ｅ）参照）。このとき、上記電気絶縁材
料を上記圧電素子２３の貫通孔２３ｃ内に充填させるよ
うにする。Next, an electrically insulating material is spin-coated on the entire substrate 41 on which the piezoelectric element 23 is formed, in the case of photosensitive polyimide or photoresist, and an electrically insulating material film 45 is formed by sputtering or vapor deposition in the case of silicon dioxide. It is formed (see FIG. 8E). At this time, the electric insulating material is filled in the through hole 23c of the piezoelectric element 23.
【００５１】次に、上記電気絶縁材料膜４５の圧電素子
２３上部分をフォトリソグラフィによりパターン化（感
光性ポリイミドやフォトレジストの場合は、未露光部分
（不要部分）をアルカリ溶液で除去し、二酸化ケイ素の
場合はレジストを塗布してパターン化した後にフッ素に
より不要部分を除去することにより個別化）すること
で、上部電極２４の各配線部２４ａに対応する部分に電
気絶縁層２６を形成する（図８（ｆ）参照）。このと
き、圧電素子２３の貫通孔２３ｃ内の電気絶縁材料は除
去しないで残したままにしておく。Next, the portion of the electric insulating material film 45 above the piezoelectric element 23 is patterned by photolithography (in the case of photosensitive polyimide or photoresist, unexposed portions (unnecessary portions) are removed with an alkaline solution, and In the case of silicon, the resist is applied and patterned, and then individualized by removing unnecessary portions with fluorine), thereby forming the electrical insulating layer 26 in a portion of the upper electrode 24 corresponding to each wiring portion 24a ( FIG. 8 (f)). At this time, the electric insulating material in the through hole 23c of the piezoelectric element 23 is left without being removed.
【００５２】続いて、上記圧電素子２３ないし電気絶縁
層２６上全体にＣｒ膜を形成する（図８（ｇ）参照）。
このＣｒ膜はそのまま下部電極２２となる。そして、こ
の下部電極２２上にヘッド本体１の圧力室部品５を固着
した後、上記基板４１を熱燐酸やＫＯＨ等で溶融・除去
し、さらに圧電素子２３の貫通孔２３ｃ内及び電気絶縁
層２６以外の部分の電気絶縁材料を除去する（図８
（ｈ）参照）。その後、上記圧力室部品５上に、予め一
体化したインク流路部品６及びノズル板１３を固着する
ことで、インクジェットヘッドが完成する。Subsequently, a Cr film is formed on the whole of the piezoelectric element 23 or the electric insulating layer 26 (see FIG. 8G).
This Cr film becomes the lower electrode 22 as it is. After the pressure chamber component 5 of the head main body 1 is fixed on the lower electrode 22, the substrate 41 is melted and removed with hot phosphoric acid, KOH, or the like, and further, the inside of the through hole 23c of the piezoelectric element 23 and the electrical insulating layer 26 are removed. The electrical insulating material other than that is removed (FIG. 8).
(H)). Thereafter, the ink flow path component 6 and the nozzle plate 13 which have been integrated in advance are fixed on the pressure chamber component 5, whereby the ink jet head is completed.
【００５３】したがって、上記実施形態３では、上部電
極２４のみが複数の圧力室３に対して個別に設けられて
いて、その配線部２４ａの幅が圧力室用凹部２の開口幅
の１／２よりも小さく設定されているので、複数の圧力
室３を２列に並べて配設しかつ上部電極２４の各配線部
２４ａの接点部２４ｂをヘッド本体１上面の一側縁部に
集中配置することができ、インクジェットヘッドを小型
化しつつ、圧力室３を高密度で配設することができる。Therefore, in the third embodiment, only the upper electrode 24 is separately provided for the plurality of pressure chambers 3, and the width of the wiring portion 24 a is １ ／ of the opening width of the pressure chamber recess 2. Since the pressure chambers are set smaller than each other, a plurality of pressure chambers 3 are arranged in two rows, and the contact portions 24b of the respective wiring portions 24a of the upper electrode 24 are concentrated on one side edge of the upper surface of the head body 1. Thus, the pressure chambers 3 can be arranged at a high density while the size of the ink jet head is reduced.
【００５４】また、圧電素子２３と下部電極２２との間
において上部電極２４の各配線部２４ａに対応する部分
には電気絶縁層２６が形成されているので、上記実施形
態２と同様に、圧電素子２３の絶縁破壊による配線部２
４ａの断線を防止することができると共に、ヘッド本体
１と圧電アクチュエータ２１との接合不良の発生を防止
することができる。Further, since the electrical insulating layer 26 is formed between the piezoelectric element 23 and the lower electrode 22 at a portion corresponding to each wiring portion 24a of the upper electrode 24, the piezoelectric layer is formed in the same manner as in the second embodiment. Wiring part 2 due to dielectric breakdown of element 23
4a can be prevented, and the occurrence of poor connection between the head body 1 and the piezoelectric actuator 21 can be prevented.
【００５５】さらに、圧電素子２３は個別化されていな
いので、上記実施形態２と同様に、上部電極２４を確実
に支持することができ、この点においても配線部２４ａ
の断線を防止することができる。Further, since the piezoelectric element 23 is not individualized, the upper electrode 24 can be reliably supported as in the second embodiment.
Disconnection can be prevented.
【００５６】また、圧電素子２３の貫通孔２３ｃによ
り、圧電素子２３の圧力室３に対応する部分の変形量
を、圧電素子２３が上部電極２４のように個別化された
場合と略同じ程度にすることができ、インク滴を良好に
吐出させることができる。そして、この貫通孔２３ｃに
は電気絶縁材料が充填されているので、貫通孔２３ｃ内
に異物が入る等して下部電極２２と上部電極２４とが短
絡したり、圧電素子２３が絶縁破壊したりするのを防止
することができる。Further, the amount of deformation of the portion corresponding to the pressure chamber 3 of the piezoelectric element 23 is made substantially the same as the case where the piezoelectric element 23 is individualized like the upper electrode 24 by the through hole 23c of the piezoelectric element 23. Ink droplets can be discharged well. Since the through-hole 23c is filled with an electrically insulating material, a short circuit occurs between the lower electrode 22 and the upper electrode 24 due to a foreign substance entering the through-hole 23c, or the dielectric breakdown of the piezoelectric element 23 occurs. Can be prevented.
【００５７】尚、上記実施形態３では、電気絶縁層２６
を設けたが、この電気絶縁層２６は必ずしも必要ではな
い。この電気絶縁層２６をなくしても、上部電極２４の
配線部２４ａの幅が圧力室用凹部２の開口幅の１／２よ
りも小さく設定されているので、上記実施形態１と同様
に、圧電素子２３の絶縁破壊による各配線部２４ａの断
線をかなり良好に抑制することができる。In the third embodiment, the electric insulating layer 26
However, the electrical insulating layer 26 is not always necessary. Even if the electric insulating layer 26 is omitted, the width of the wiring portion 24a of the upper electrode 24 is set to be smaller than の of the opening width of the recess 2 for the pressure chamber. Disconnection of each wiring portion 24a due to dielectric breakdown of the element 23 can be suppressed very well.
【００５８】また、上記実施形態３では、複数の圧力室
３を２列に並べて配設したが、３列以上に並べて配設し
てもよい。この場合、上部電極２４の各配線部２４ａの
接点部２４ｂをヘッド本体１上面の一側縁部に集中配置
すると、これら接点部２４ｂに最も近い列の圧力室３間
には２つ以上の配線部２４ａが通ることになって配線部
２４ａの幅がかなり小さくなるが、圧電素子２３は上部
電極２４のように個別化されていないので、配線部２４
ａの支持性は維持される。In the third embodiment, the plurality of pressure chambers 3 are arranged in two rows, but may be arranged in three or more rows. In this case, if the contact portions 24b of the respective wiring portions 24a of the upper electrode 24 are concentrated on one side edge of the upper surface of the head body 1, two or more wirings are provided between the pressure chambers 3 in the row closest to the contact portions 24b. Although the width of the wiring portion 24a is considerably reduced due to the passage of the portion 24a, since the piezoelectric element 23 is not individualized like the upper electrode 24,
The supportability of a is maintained.
【００５９】さらに、上記実施形態３では、圧電素子２
３の貫通孔２３ｃ内に、電気絶縁層２６と同じ電気絶縁
材料を充填したが、電気絶縁層２６とは異なる材料であ
ってもよく、何も充填しないようにしてもよい。Further, in the third embodiment, the piezoelectric element 2
The third through hole 23c is filled with the same electric insulating material as the electric insulating layer 26, but may be made of a different material from the electric insulating layer 26, or may be filled with nothing.
【００６０】また、上記実施形態１〜３では、ヘッド本
体１の圧力室用凹部２の開口形状を略矩形状としたが、
長円形状や小判形状にしてもよく、ヘッド本体１上面に
おいて一方向に延びるような形状であればよく、上部電
極２４の配線部２４ａは、圧力室３に対応する部分から
その凹部２開口の長さ方向（長径方向）に延びかつ配線
部２４ａ幅が凹部２開口の最大幅（短径）の１／２より
も小さくなるようにすればよい。In the first to third embodiments, the opening of the pressure chamber recess 2 of the head body 1 is substantially rectangular.
The wiring portion 24a of the upper electrode 24 may be formed in an elliptical shape or an oval shape, and may have a shape extending in one direction on the upper surface of the head main body 1. What is necessary is just to make it extend in the length direction (longitudinal direction) and make the width of the wiring portion 24a smaller than １ ／ of the maximum width (short diameter) of the opening of the recess 2.
【００６１】さらに、上記実施形態１〜３では、下部電
極２２を振動板と兼用したが、振動板を別途に設けても
よい。Further, in the first to third embodiments, the lower electrode 22 is also used as a diaphragm, but a diaphragm may be provided separately.
【００６２】加えて、他の種々の変形が可能であり、例
えば、下部電極２２、圧電素子２３、上部電極２４等
は、上記実施形態と異なる材料や厚みのものを使用して
もよく（例えば下部電極２２をＮｉ製やＴｉ製にす
る）、他の製造方法（例えばＣＶＤ法やゾル−ゲル法
等）により形成してもよい。そして、ヘッド本体１の圧
力室部品５、インク流路部品６及びノズル板１３も、上
記実施形態と異なる材料や厚みのものを使用することが
できる。In addition, other various modifications are possible. For example, the lower electrode 22, the piezoelectric element 23, the upper electrode 24 and the like may be made of a material and a thickness different from those of the above embodiment (for example, The lower electrode 22 may be made of Ni or Ti) or may be formed by another manufacturing method (for example, a CVD method or a sol-gel method). The pressure chamber component 5, the ink flow channel component 6, and the nozzle plate 13 of the head main body 1 can be made of a material and a thickness different from those of the above-described embodiment.
【００６３】[0063]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェットヘッドによると、両電極の少なくとも一方におい
て圧力室用凹部開口の長さ方向に延びる配線部の幅を、
該凹部開口の最大幅の１／２よりも小さく設定したこと
により、電極配線部の断線を出来る限り抑えると共に、
インクジェットヘッドを小型化しかつドットの高密度化
を図ることができる。As described above, according to the ink jet head of the present invention, the width of the wiring portion extending in the length direction of the pressure chamber concave opening in at least one of the two electrodes is reduced.
By setting the width smaller than 最大 of the maximum width of the recess opening, disconnection of the electrode wiring portion is suppressed as much as possible.
The size of the ink jet head can be reduced and the density of dots can be increased.
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッ
ドを示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an inkjet head according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG.
【図３】インクジェットヘッドの製造方法を示す概略説
明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory view illustrating a method for manufacturing an ink jet head.
【図４】実施形態２を示す図１相当図である。FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 1 showing a second embodiment.
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. 4;
【図６】実施形態３を示す図１相当図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 1 showing a third embodiment.
【図７】図６のVII−VII線断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII of FIG. 6;
【図８】実施形態３におけるインクジェットヘッドの製
造方法を示す概略説明図である。FIG. 8 is a schematic explanatory view illustrating a method for manufacturing an ink jet head according to a third embodiment.
【図９】インクジェットヘッドの従来例を示す平面図で
ある。FIG. 9 is a plan view showing a conventional example of an ink jet head.
【図１０】図９のＸ−Ｘ線断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line XX of FIG. 9;
１ ヘッド本体 ２ 圧力室用凹部 ２ａ 供給口 ２ｂ 吐出口 ３ 圧力室 ２１ 圧電アクチュエータ ２２ 下部電極 ２２ａ 配線部 ２３ 圧電素子 ２３ａ 延設部 ２４ 上部電極 ２４ａ 配線部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Head main body 2 Pressure chamber recess 2a Supply port 2b Discharge port 3 Pressure chamber 21 Piezoelectric actuator 22 Lower electrode 22a Wiring part 23 Piezoelectric element 23a Extension part 24 Upper electrode 24a Wiring part
フロントページの続き (72)発明者 豊福 洋介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 曽我美 淳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF35 AG12 AG44 AG91 AG93 AG94 BA04 BA14 Continued on the front page (72) Inventor Yosuke Toyofuku 1006 Kazuma Kadoma, Kazuma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Reference) 2C057 AF35 AG12 AG44 AG91 AG93 AG94 BA04 BA14
Claims (8)
を吐出するための吐出口とを有する圧力室用凹部が形成
されたヘッド本体と、該ヘッド本体の凹部を塞いで該凹
部と共に圧力室を構成するように設けられ、圧電素子と
該圧電素子の上記圧力室側及び圧力室と反対側の両面に
それぞれ設けられた電極とを有する圧電アクチュエータ
とを備え、該両電極を介した圧電素子への電圧の印加に
より該圧電アクチュエータを上記圧力室の容積が減少す
るように変形させて、該圧力室内のインクを上記吐出口
から吐出させるようにしたインクジェットヘッドであっ
て、 上記ヘッド本体の圧力室用凹部は、該ヘッド本体の一側
面において所定の方向に延びるように開口され、 上記圧電アクチュエータの圧電素子は、上記圧力室に対
応する部分から上記凹部開口の長さ方向に延びる延設部
を有し、 上記両電極は、上記圧電素子の延設部に重ねられた状態
で上記圧力室に対応する部分から上記凹部開口の長さ方
向に延びる配線部をそれぞれ有し、 上記両電極の少なくとも一方における配線部の幅が、上
記凹部開口の最大幅の１／２よりも小さく設定されてい
ることを特徴とするインクジェットヘッド。1. A head body having a pressure chamber concave portion having a supply port for supplying ink and a discharge port for discharging ink, a pressure chamber together with the concave portion by closing the concave portion of the head body. And a piezoelectric actuator having a piezoelectric element and electrodes respectively provided on both sides of the piezoelectric element on the pressure chamber side and on the side opposite to the pressure chamber, and the piezoelectric element via both electrodes An ink jet head that deforms the piezoelectric actuator by applying a voltage to the pressure chamber so as to reduce the volume of the pressure chamber so that ink in the pressure chamber is ejected from the ejection port. The chamber recess is opened on one side surface of the head main body so as to extend in a predetermined direction, and the piezoelectric element of the piezoelectric actuator is formed from a portion corresponding to the pressure chamber. The two electrodes extend in the length direction of the recess opening from a portion corresponding to the pressure chamber in a state of being overlapped with the extension portion of the piezoelectric element. An ink jet head having a wiring portion, wherein the width of the wiring portion in at least one of the two electrodes is set to be smaller than 最大 of the maximum width of the recess opening.
おいて、 圧電素子の延設部と両電極の少なくとも一方の配線部と
が、電気的に絶縁されていることを特徴とするインクジ
ェットヘッド。2. The ink jet head according to claim 1, wherein the extended portion of the piezoelectric element and at least one of the wiring portions of the two electrodes are electrically insulated.
ッドにおいて、 圧電素子の延設部の幅が、両電極の少なくとも一方の配
線部よりも大きく設定されていることを特徴とするイン
クジェットヘッド。3. The ink-jet head according to claim 1, wherein the width of the extending portion of the piezoelectric element is set to be larger than at least one of the wiring portions of the two electrodes.
を吐出するための吐出口とを有する複数の圧力室用凹部
が形成されたヘッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞
いで該凹部と共に圧力室を構成するように設けられ、圧
電素子と該圧電素子の上記圧力室側の面に設けられた圧
力室側電極と圧電素子の圧力室と反対側面に設けられた
反圧力室側電極とを有する圧電アクチュエータとを備
え、該両電極を介した圧電素子への電圧の印加により該
圧電アクチュエータを上記圧力室の容積が減少するよう
に変形させて、該圧力室内のインクを上記吐出口から吐
出させるようにしたインクジェットヘッドであって、 上記ヘッド本体の各圧力室用凹部は、該ヘッド本体の一
側面において所定の方向に延びるようにそれぞれ開口さ
れ、 上記圧電アクチュエータは、上記圧電素子及び両電極の
うち反圧力室側電極のみが上記複数の圧力室に対して個
別に設けられてなり、 上記反圧力室側電極は、上記各圧力室にそれぞれ対応す
る部分と該各圧力室対応部分から上記各凹部開口の長さ
方向にそれぞれ延びる配線部とを有し、 上記反圧力室側電極の各配線部の幅が、上記各凹部開口
の最大幅の１／２よりも小さく設定されていることを特
徴とするインクジェットヘッド。4. A head body in which a plurality of pressure chamber recesses having a supply port for supplying ink and a discharge port for discharging ink are formed, and the recesses are closed by closing each recess of the head body. A pressure chamber side electrode provided on the surface of the piezoelectric element on the pressure chamber side, and an anti-pressure chamber side electrode provided on the side of the piezoelectric element opposite to the pressure chamber. And applying a voltage to the piezoelectric element via both electrodes to deform the piezoelectric actuator so that the volume of the pressure chamber is reduced, and to discharge the ink in the pressure chamber to the ejection port. A pressure chamber recess of the head body is opened on one side surface of the head body so as to extend in a predetermined direction; Only the anti-pressure chamber side electrode of the piezoelectric element and both electrodes is individually provided for the plurality of pressure chambers, and the anti-pressure chamber side electrodes respectively correspond to the pressure chambers. And a wiring portion extending from the pressure chamber corresponding portion in the length direction of the recess opening, wherein the width of each wiring portion of the counter pressure chamber side electrode is one of the maximum width of the recess opening. / 2, which is smaller than / 2.
おいて、 圧電素子と圧力室側電極とが、反圧力室側電極の配線部
に対応する部分において電気的に絶縁されていることを
特徴とするインクジェットヘッド。5. The ink jet head according to claim 4, wherein the piezoelectric element and the pressure chamber side electrode are electrically insulated at a portion corresponding to a wiring portion of the counter pressure chamber side electrode. head.
おいて、 圧電素子と反圧力室側電極の配線部とが電気的に絶縁さ
れていることを特徴とするインクジェットヘッド。6. The ink-jet head according to claim 4, wherein the piezoelectric element and the wiring portion of the counter pressure chamber side electrode are electrically insulated.
トヘッドにおいて、 圧電素子の各圧力室に対応する部分が、反圧力室側電極
の配線部に対応する部分を除いてスリット状の貫通孔に
より周囲から切り離されていることを特徴とするインク
ジェットヘッド。7. The ink-jet head according to claim 4, wherein a portion corresponding to each pressure chamber of the piezoelectric element has a slit-like through hole except for a portion corresponding to a wiring portion of the electrode on the side opposite to the pressure chamber. An ink jet head characterized by being separated from the surroundings by the
おいて、 貫通孔内に、電気絶縁材料が充填されていることを特徴
とするインクジェットヘッド。8. The ink jet head according to claim 7, wherein an electric insulating material is filled in the through hole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26179699A JP2001080068A (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Ink-jet head |
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|---|---|---|---|
| JP26179699A JP2001080068A (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Ink-jet head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001080068A true JP2001080068A (en) | 2001-03-27 |
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ID=17366844
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| JP26179699A Pending JP2001080068A (en) | 1999-09-16 | 1999-09-16 | Ink-jet head |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001080068A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7533972B2 (en) | 2004-02-06 | 2009-05-19 | Fujifilm Corporation | Inkjet head and manufacturing method thereof |
| US7819509B2 (en) * | 2006-09-29 | 2010-10-26 | Fujifilm Corporation | Liquid ejection head and manufacturing method thereof |
| JP2015171809A (en) * | 2014-02-18 | 2015-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | Liquid injection head and liquid injection device |
-
1999
- 1999-09-16 JP JP26179699A patent/JP2001080068A/en active Pending
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