JP2001076624A - Inspecting method of surface defect in metal component, and inspecting device for electron gun of cathode-ray tube - Google Patents
Inspecting method of surface defect in metal component, and inspecting device for electron gun of cathode-ray tubeInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、陰極線
管に内蔵された電子銃の電極の表面等の金属部品の表面
に存在する欠陥を検査する金属部品の表面欠陥検査方法
および陰極線管用電子銃の検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a surface defect of a metal component such as a surface of a metal component such as an electrode surface of an electron gun incorporated in a cathode ray tube, and an electron gun for a cathode ray tube. To an inspection device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】たとえば、陰極線管に内蔵される電子銃
は、構成部品である電極やリード線の表面に、たとえ
ば、傷、微小突起、異物付着、汚損等の欠陥が存在する
と、陰極線管の使用時に当該欠陥箇所に高電圧からの電
界集中を受けやすくなり、放電しやすくなるため、結果
として陰極線管の耐圧性能が低下してしまう。このた
め、電子銃に上記のような欠陥が存在しないかを検査す
る必要がある。従来において、電子銃の欠陥検査は、た
とえば、ストレー検査と呼ばれるガラスの発光現象を利
用した検査によって行っていた。具体的には、陰極線管
の電子銃の電極表面に上記のような欠陥が存在すると、
高電圧からの電界集中を受け冷陰極放射電子が放射され
る。この冷陰極放射電子が高電位に帯電した陰極線管の
ネックガラスに引き寄せられ衝突すると、ネックガラス
からの二次電子放出により更に正に帯電し、この電荷に
よる電界が更に多くの冷陰極放射電子を吸引し、その電
位を高めガラス分子を青色に発光させる。ストレー検査
ではこの発光の有無を検査する。2. Description of the Related Art An electron gun incorporated in a cathode ray tube, for example, has a defect in the surface of an electrode or a lead wire as a component when a defect such as a scratch, a minute projection, a foreign matter adheres, or stains is present. At the time of use, an electric field concentration from a high voltage is easily applied to the defective portion, and the discharge is easily performed. As a result, the withstand voltage performance of the cathode ray tube is reduced. Therefore, it is necessary to inspect the electron gun for the above-mentioned defects. Conventionally, a defect inspection of an electron gun has been performed by, for example, an inspection using a light emission phenomenon of glass called a stray inspection. Specifically, if the above-mentioned defect exists on the electrode surface of the electron gun of the cathode ray tube,
Cold cathode radiated electrons are emitted due to electric field concentration from a high voltage. When these cold cathode emitted electrons are attracted to and collide with the neck glass of the cathode ray tube charged to a high potential, they are more positively charged by secondary electron emission from the neck glass, and the electric field due to this charge causes more cold cathode emitted electrons to be emitted. Suction is applied to increase the potential and cause the glass molecules to emit blue light. In the stray inspection, the presence or absence of this light emission is inspected.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査方法では、電子銃を陰極線管に実際に組込み、陰極
線管の封止、排気を行って陰極線管内を高真空状態にし
てからでなくては行うことができない。このため、電子
銃の電極表面に欠陥が存在した場合に、電子銃を陰極線
管に組み込み陰極線管が完成した後でないと、電子銃の
電極表面に存在する欠陥を発見することができず、不良
品の陰極線管を大量に発生させてしまうおそれがあっ
た。また、上記の検査方法では、完成した陰極線管に対
して検査を行うため、検査装置への装着等に時間を要
し、検査に要する時間が長くなるという不利益も存在し
た。さらに、上記の検査方法では電子銃を陰極線管に組
み込む工程で電子銃の電極に異物等が付着したり、傷が
発生することがあるため、欠陥の発生原因の管理が困難
であった。However, in the above-described inspection method, the electron gun must be actually assembled into the cathode ray tube, the cathode ray tube must be sealed and evacuated to make the inside of the cathode ray tube a high vacuum state. Can't do it. For this reason, when a defect exists on the electrode surface of the electron gun, the defect existing on the electrode surface of the electron gun cannot be found unless the electron gun is assembled into the cathode ray tube and the cathode ray tube is completed. There was a risk that a large number of good cathode ray tubes would be generated. In addition, in the above-described inspection method, the inspection is performed on the completed cathode ray tube, so that it takes time to mount the cathode ray tube on an inspection device and the like, and there is also a disadvantage that the time required for the inspection becomes long. Furthermore, in the above-described inspection method, foreign matter or the like may be attached to the electrode of the electron gun in the step of incorporating the electron gun into the cathode ray tube, or a flaw may be generated. Therefore, it is difficult to manage the cause of the defect.
【０００４】一方、電子銃を陰極線管に組み込む前に未
然に電極表面に存在する欠陥を発見するために、従来に
おいては、組立後の電子銃の電極表面を目視または顕微
鏡を用いて官能検査を行っていた。この官能検査は、た
とえば、電子銃組立工場内で発生する設備や作業者に起
困する異物や汚れの付着、あるいは電子銃の電極やリー
ド線のキズやバリの有無の検査を行うが、その良否判定
レベルの管理が困難な場合もあり、電子銃に存在する欠
陥を確実に検出することが難しい。さらに、電子銃の組
み立てでは、各電極間のギャップを規定するための電極
間に挿入するスペーサーを抜き取る作業の際に、電極に
発生するキズやバリは、電子銃組立後の外観検査では発
見が困難であった。On the other hand, in order to discover defects existing on the electrode surface before assembling the electron gun into the cathode ray tube, conventionally, a sensory inspection is performed on the electrode surface of the assembled electron gun visually or by using a microscope. I was going. In this sensory test, for example, inspection is performed to check for foreign matter and dirt attached to equipment and workers that occur in an electron gun assembly factory, and to check for scratches and burrs on the electrodes and lead wires of the electron gun. In some cases, it is difficult to manage the pass / fail judgment level, and it is difficult to reliably detect a defect present in the electron gun. Furthermore, in assembling the electron gun, scratches and burrs generated on the electrodes during the work of extracting the spacer inserted between the electrodes to define the gap between the electrodes can be found by visual inspection after assembling the electron gun. It was difficult.
【０００５】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
のであって、たとえば、陰極線管に内蔵される電子銃の
電極のような高真空中で使用される金属部品の表面に存
在する欠陥の検出を確実かつ容易に行うことができる表
面欠陥検査方法および陰極線管用電子銃の検査装置を提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and has been made in consideration of, for example, a defect present on a surface of a metal component used in a high vacuum, such as an electrode of an electron gun incorporated in a cathode ray tube. It is an object of the present invention to provide a surface defect inspection method and an inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube, which can surely and easily detect a defect.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に係る金属部品の
表面欠陥検査方法は、金属部品を有する被検査体を当該
金属部品にグロー放電を発生可能な低真空の気体内に置
き、前記金属部品に電圧を印加し、前記金属部品に発生
するグロー放電の発生状況に基づいて前記金属部品の表
面に存在する欠陥を特定する。According to the present invention, there is provided a method for inspecting a surface defect of a metal part, comprising: placing a test object having a metal part in a low-vacuum gas capable of generating a glow discharge in the metal part; A voltage is applied to the component, and a defect existing on the surface of the metal component is specified based on a state of occurrence of a glow discharge generated in the metal component.
【０００７】前記グロー放電が発生する金属部品の位置
に基づいて前記欠陥を特定する。The defect is specified based on the position of the metal part where the glow discharge occurs.
【０００８】前記グロー放電が発生する電圧に基づいて
前記欠陥の度合いを把握する。The degree of the defect is determined based on the voltage at which the glow discharge occurs.
【０００９】前記被検査体は、前記真空度の気体よりも
高真圧下で使用される。The test object is used under a higher true pressure than the vacuum gas.
【００１０】前記被検査体は、陰極線管用の電子銃であ
り、前記電子銃を低真空下に置き、前記電子銃の有する
電極間に電圧を印加し、当該電極に発生するグロー放電
の発生状況に基づいて前記電極表面の欠陥を特定する。The object to be inspected is an electron gun for a cathode ray tube. The electron gun is placed under a low vacuum, a voltage is applied between the electrodes of the electron gun, and the state of glow discharge occurring at the electrodes is generated. The defect on the electrode surface is specified based on
【００１１】前記電子銃を透明なチャンバ内に収容し、
当該チャンバ外から前記グロー放電の発生箇所を観察す
る。[0011] The electron gun is housed in a transparent chamber,
The place where the glow discharge occurs is observed from outside the chamber.
【００１２】前記電子銃を陰極線管のネック部と同形状
のガラス製の筒体内に挿入した状態で当該電子銃を前記
チャンバ内に収容する。The electron gun is housed in the chamber with the electron gun inserted in a glass cylinder having the same shape as the neck of the cathode ray tube.
【００１３】前記電子銃を０．２〜２０Ｔｏｒｒの低真
空下に置く。The electron gun is placed under a low vacuum of 0.2 to 20 Torr.
【００１４】前記電子銃は、１０-6〜１０-7Ｔｏｒｒの
高真空下で使用される。The electron gun is used under a high vacuum of 10 -6 to 10 -7 Torr.
【００１５】前記電子銃の組み立て工程の各段階で、前
記電極表面の検査を行う。At each stage of the electron gun assembling process, the surface of the electrode is inspected.
【００１６】前記電子銃の各電極を支持する絶縁支持体
を当該各電極に対して融着する工程の後に前記電極表面
の検査を行う。After the step of fusing an insulating support for supporting each electrode of the electron gun to each electrode, the surface of the electrode is inspected.
【００１７】前記電子銃の組み立て時に、前記各電極間
に挿入された当該電極間の距離を規定するスペーサを引
き抜いた後に前記電極表面の検査を行う。At the time of assembling the electron gun, the surface of the electrode is inspected after extracting a spacer inserted between the electrodes and defining a distance between the electrodes.
【００１８】前記電子銃の各電極と電子銃のステムピン
とを導電線で結ぶ継線作業の完了後に、前記電極表面の
検査を行う。After the completion of the connecting work for connecting each electrode of the electron gun to the stem pin of the electron gun with a conductive wire, the surface of the electrode is inspected.
【００１９】前記電子銃の各電極を支持する絶縁支持体
を当該各電極に対して融着する工程の後、前記電子銃を
純水によって超音波洗浄後に、前記電極表面の検査を行
う。After the step of fusing an insulating support supporting each electrode of the electron gun to each electrode, the electron gun is ultrasonically cleaned with pure water, and then the surface of the electrode is inspected.
【００２０】前記電子銃の各電極を支持する絶縁支持体
を加熱するためのガスバーナーの燃焼条件の変更後に、
前記絶縁支持体が融着された電子銃の各電極の表面検査
を行う。After changing the combustion conditions of the gas burner for heating the insulating support supporting each electrode of the electron gun,
A surface inspection of each electrode of the electron gun to which the insulating support is fused is performed.
【００２１】本発明の陰極線管用電子銃の検査装置は、
陰極線管用電子銃の有する電極間にグロー放電を発生さ
せ、当該グロー放電の発生状況から電極表面に存在する
欠陥を検査する陰極線管用電子銃の検査装置であって、
前記電子銃を収容し、外部から前記電子銃の電極表面を
観察可能な真空チャンバと、前記真空チャンバ内の気体
を排気して、前記真空チャンバ内の気圧をグロー放電が
発生可能な真空度にする補助ポンプと、陰極線管用電子
銃の有する電極間に電圧差を発生させる電圧印加手段と
を有する。The inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to the present invention comprises:
An inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube, which generates a glow discharge between electrodes of the electron gun for a cathode ray tube, and inspects a defect existing on an electrode surface from an occurrence state of the glow discharge,
A vacuum chamber that houses the electron gun and allows the electrode surface of the electron gun to be observed from the outside, and that the gas in the vacuum chamber is evacuated and the pressure in the vacuum chamber is reduced to a degree of vacuum at which glow discharge can be generated. And a voltage applying means for generating a voltage difference between electrodes of the cathode ray tube electron gun.
【００２２】前記真空チャンバ内を高真空にする主ポン
プをさらに有する。The apparatus further comprises a main pump for making the inside of the vacuum chamber a high vacuum.
【００２３】前記補助ポンプは、前記真空チャンバ内を
０．２〜２０Ｔｏｒｒの低真空にする。The auxiliary pump makes the inside of the vacuum chamber a low vacuum of 0.2 to 20 Torr.
【００２４】前記真空チャンバ内には、前記電子銃を挿
入する陰極線管のネック部と同形状のガラス製の筒体が
設けられている。A glass cylinder having the same shape as the neck of the cathode ray tube into which the electron gun is inserted is provided in the vacuum chamber.
【００２５】前記筒体の内周面には、前記電圧印加手段
から電圧が供給される導電膜が形成され、前記導電膜に
所定の電極が電気的に接続されている。A conductive film to which a voltage is supplied from the voltage applying means is formed on an inner peripheral surface of the cylindrical body, and a predetermined electrode is electrically connected to the conductive film.
【００２６】前記電子銃の所定の電極と電気的に接続さ
れたステムピンと嵌合するソケットをさらに有し、前記
ソケットは、接続された電極を基準電位に接地する。[0026] The apparatus further comprises a socket fitted with a stem pin electrically connected to a predetermined electrode of the electron gun, and the socket grounds the connected electrode to a reference potential.
【００２７】本発明では、低真空の気体中におかれた２
つの電極間（金属部品）に電位差を与えると、金属部品
間でグロー放電が発生することを利用しており、このグ
ロー放電は、金属部品の表面に傷、微小突起、異物付
着、汚損等の欠陥があると、この欠陥部分から放電が起
きやすく、かつ放電が集中しやすくなる。したがって、
被検査体の有する金属部品の表面のグロー放電の発生箇
所を把握することで、金属部品の表面に存在する欠陥を
特定することができる。また、金属部品の表面に欠陥の
度合いが大きいと、金属部品に印加される電圧が低くて
も、グロー放電が発生しやすい。このことから、グロー
放電の発生開始時の金属部品に印加される電圧から欠陥
の度合いを把握することができる。According to the present invention, 2
When a potential difference is applied between two electrodes (metal parts), a glow discharge is generated between the metal parts. This glow discharge causes scratches, minute projections, adherence of foreign matter, and fouling on the surface of the metal part. If there is a defect, discharge is likely to occur from this defective portion, and the discharge tends to concentrate. Therefore,
By grasping the location where the glow discharge has occurred on the surface of the metal component of the test object, it is possible to identify a defect existing on the surface of the metal component. In addition, if the degree of defects on the surface of the metal component is large, glow discharge is likely to occur even if the voltage applied to the metal component is low. From this, it is possible to grasp the degree of the defect from the voltage applied to the metal component at the start of the glow discharge.
【００２８】[0028]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。検査装置の構成 図１は、本発明の一実施形態に係る陰極線管用電子銃の
検査装置の構成を示す図である。ここで、図１に示す検
査装置１の構成を説明する前に図１に示した検査装置１
によって検査される電子銃５１の構成の一例について説
明する。図２は、図１に示した検査装置１によって検査
される電子銃５１が内蔵される陰極線管の構成の一例を
示す図であり、図３は電子銃５１の構成の一例を示す図
である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Configuration of Inspection Apparatus FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to an embodiment of the present invention. Here, before explaining the configuration of the inspection apparatus 1 shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 shown in FIG.
An example of the configuration of the electron gun 51 to be inspected will be described. FIG. 2 is a diagram showing an example of the configuration of a cathode ray tube in which the electron gun 51 to be inspected by the inspection device 1 shown in FIG. 1 is built, and FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of the electron gun 51. .
【００２９】図２において、陰極線管７０は、画像が表
示されるパネル７１と、ファンネル７２とを有し、これ
らはフリットガラスで溶着されている。パネル７１の内
面には、蛍光面７３が形成されている。蛍光面７３の内
側には、色選別機構としてのアパーチャグリル７４が装
着されている。アパーチャグリル７４は、フレーム７５
の前面に接合してあり、フレーム７５の背面側には、内
部磁気シールド７６が装着してある。ファンネル７２の
後端部には、ネック部７７が形成してあり、その内部に
電子銃５１が内蔵してある。電子銃５１からの電子ビー
ム７８は、アパーチャグリル７４のスリットを通して色
選別され、蛍光面７３のランディングポイント８０で蛍
光面を所望の色の光に発光させる。パネル７１とこれに
接合したファンネル７２からなる管体内は、内部の残留
ガスによって電子の飛翔が妨げられないように、およそ
１．０×１０-7Ｔｏｒｒの高真空状態にさせられてい
る。この陰極線管７０の内部を高真空度にするために、
ファンネル７２のネック部７７から真空引きが行われ
る。In FIG. 2, a cathode ray tube 70 has a panel 71 on which an image is displayed and a funnel 72, which are welded with frit glass. A fluorescent screen 73 is formed on the inner surface of the panel 71. Inside the phosphor screen 73, an aperture grill 74 as a color selection mechanism is mounted. The aperture grill 74 includes a frame 75
On the back side of the frame 75, an internal magnetic shield 76 is mounted. A neck portion 77 is formed at the rear end of the funnel 72, and the electron gun 51 is built therein. The electron beam 78 from the electron gun 51 is color-sorted through the slit of the aperture grille 74 and causes the phosphor screen to emit light of a desired color at the landing point 80 of the phosphor screen 73. The inside of the tube composed of the panel 71 and the funnel 72 joined thereto is set in a high vacuum state of about 1.0 × 10 −7 Torr so that the flying of electrons is not hindered by the residual gas inside. In order to make the inside of the cathode ray tube 70 high vacuum,
A vacuum is drawn from the neck 77 of the funnel 72.
【００３０】図３に示すように、電子銃５１は、赤、緑
および青に対応する３本のカソードＫR ，ＫG ，ＫB に
対して共通に順次配列された第１電極Ｇ１，第２電極Ｇ
２，第３電極Ｇ３，第４電極Ｇ４および第５電極Ｇ５を
有しており、第５電極Ｇ５の先端には高圧供給用スプリ
ング５４が設けられている。第１電極Ｇ１，第２電極Ｇ
２，第３電極Ｇ３，第４電極Ｇ４および第５電極Ｇ５
は、たとえば、ガラスからなる絶縁支持体５５にそれぞ
れ固定支持されている。第１電極Ｇ１側には、ステム５
２を貫通しかつステム５２に固着された複数のステムピ
ン５６が設けられている。ステム５２には、陰極線管７
０内を真空引きして封止するのに必要な管部５７が一体
に形成されている。As shown in FIG. 3, the electron gun 51 has a first electrode G1 and a second electrode G which are sequentially arranged in common for three cathodes KR, KG and KB corresponding to red, green and blue.
It has a second electrode G3, a fourth electrode G4, and a fifth electrode G5, and a high-pressure supply spring 54 is provided at the tip of the fifth electrode G5. First electrode G1, second electrode G
2, the third electrode G3, the fourth electrode G4 and the fifth electrode G5
Are fixedly supported by, for example, an insulating support 55 made of glass. A stem 5 is provided on the first electrode G1 side.
2, a plurality of stem pins 56 are provided which are fixed to the stem 52. The stem 52 has a cathode ray tube 7
A tube portion 57 necessary for vacuuming and sealing the inside of 0 is integrally formed.
【００３１】第３電極Ｇ３と第５電極Ｇ５とは、たとえ
ば、リード線５８によって電気的に接続され、これら第
３電極Ｇ３および第５電極Ｇ５には、たとえば、３０ｋ
Ｖ程度の高圧のアノード電圧が供給される。このアノー
ド電圧は、第５電極Ｇ５に設けられた高圧供給用スプリ
ング５４がファンネル７２の内面に形成された内部導電
膜と接触することにより、陰極線管７０のファンネル７
２に設けられた図示しないアノードボタンから上記の内
部導電膜を通じて第５電極Ｇ５に供給され更にリ−ド線
５８を通じて第３電極Ｇ３にもアノ−ド電圧が供給され
る。The third electrode G3 and the fifth electrode G5 are electrically connected by, for example, a lead wire 58, and the third electrode G3 and the fifth electrode G5 are connected to each other by, for example, 30k.
A high anode voltage of about V is supplied. This anode voltage is applied to the funnel 7 of the cathode ray tube 70 when the high voltage supply spring 54 provided on the fifth electrode G5 comes into contact with the internal conductive film formed on the inner surface of the funnel 72.
The anode voltage is supplied to the fifth electrode G5 from the anode button (not shown) provided on the second electrode 2 through the internal conductive film and further to the third electrode G3 via the lead line 58.
【００３２】第４電極Ｇ４はステムピン５６とリード線
５９によって電気的に接続され、第２電極Ｇ２はステム
ピン５６とリード線６１によって電気的に接続され、第
１電極Ｇ１はステムピン５６とリード線６０によって電
気的に接続されており、これら第１、第２および第４電
極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ４は各ステムピン５６を通じて中・低
圧の電圧が供給される。The fourth electrode G4 is electrically connected to the stem pin 56 by a lead wire 59, the second electrode G2 is electrically connected to the stem pin 56 by a lead wire 61, and the first electrode G1 is electrically connected to the stem pin 56 and the lead wire 60. The first, second and fourth electrodes G1, G2, G4 are supplied with a medium / low voltage through each stem pin 56.
【００３３】図１に示す検査装置１は、真空チャンバ２
と、真空チャンバ２内に設置してある基台８上に固定さ
れた電子銃支持台４と、電子銃支持台４上に固定された
ソケット５と、電子銃支持台４を内部に収容するように
基台８上に固定され、内部に導電膜６が形成されたガラ
ス製の筒体３と、真空チャンバ２の外部に設けられた、
主ポンプ１２および補助ポンプ１１と、上記ソケットに
導電線５ａを通じて接続された切換器１５と、切換器１
５と基準電位との間に直列接続され、導電線５ａに流れ
る電流を計測する電流計１６と、筒体３に形成された導
電膜６に電圧を供給する可変電源２１と、可変電源２１
の印加電圧を計測する電圧計２２とを有する。The inspection apparatus 1 shown in FIG.
And an electron gun support 4 fixed on a base 8 installed in the vacuum chamber 2, a socket 5 fixed on the electron gun support 4, and the electron gun support 4 housed therein. The glass cylinder 3 fixed on the base 8 as described above and having the conductive film 6 formed inside, and provided outside the vacuum chamber 2,
A main pump 12 and an auxiliary pump 11; a switch 15 connected to the socket through a conductive wire 5a;
5 is connected in series between the reference potential 5 and the reference potential, and the ammeter 16 measures the current flowing through the conductive line 5a; a variable power supply 21 that supplies a voltage to the conductive film 6 formed on the cylinder 3;
And a voltmeter 22 that measures the applied voltage of
【００３４】真空チャンバ２は、外部から内部を観察可
能なように、たとえば、透明なガラスで構成されてい
る。電子銃支持台４は、基台８上に固定されており、電
子銃５１の管部５７が挿入可能な筒状の部材から構成さ
れている。The vacuum chamber 2 is made of, for example, transparent glass so that the inside can be observed from the outside. The electron gun support 4 is fixed on the base 8 and is formed of a cylindrical member into which the tube portion 57 of the electron gun 51 can be inserted.
【００３５】ソケット５は、電子銃５１の管部５７が挿
入可能なように、リング状の部材から構成され、このリ
ング状の部材には、電子銃５１の各ステムピン５６と嵌
合して当該ステムピン５６と電気的接続をなす図示しな
い端子が設けられている。ソケット５の各端子は、複数
の導電線５ａによって切換器１５の各固定接点１５ａと
接続されている。ソケット５に電子銃５１の各ステムピ
ン５６を装着することで、電子銃５１はソケット５によ
って保持されるとともに、電子銃５１の第１、第２およ
び第４電極Ｇ１、Ｇ２およびＧ４等は、各固定接点１５
ａと電気的に接続される。The socket 5 is formed of a ring-shaped member so that the tube portion 57 of the electron gun 51 can be inserted therein. A terminal (not shown) that electrically connects with the stem pin 56 is provided. Each terminal of the socket 5 is connected to each fixed contact 15a of the switch 15 by a plurality of conductive wires 5a. By attaching each stem pin 56 of the electron gun 51 to the socket 5, the electron gun 51 is held by the socket 5, and the first, second and fourth electrodes G1, G2 and G4 of the electron gun 51 are each Fixed contact 15
a.
【００３６】筒体３は、陰極線管７０のネック部７７と
同様の材料で同じ形状に構成されており、筒体３の内周
面３ａの上端側には導電膜６が形成されている。また、
筒体３の上下端は開口している。筒体３に形成された導
電膜６は、導電線２２ａの一端と電気的に接続されてお
り、導電線２２ａの他端は電圧計２２を介して可変電源
２１に接続されている。The cylindrical body 3 is made of the same material as the neck portion 77 of the cathode ray tube 70 and has the same shape, and a conductive film 6 is formed on the upper end side of the inner peripheral surface 3a of the cylindrical body 3. Also,
The upper and lower ends of the cylindrical body 3 are open. The conductive film 6 formed on the cylindrical body 3 is electrically connected to one end of a conductive wire 22a, and the other end of the conductive wire 22a is connected to a variable power supply 21 via a voltmeter 22.
【００３７】補助ポンプ１１は、たとえば、ロータリポ
ンプで構成され、真空チャンバ２内を排気して、電子銃
５１の電極Ｇ１〜Ｇ５間にグロー放電が発生可能な真空
度にする。具体的には、０．２〜２０Ｔｏｒｒ程度の低
真空に真空引きする。主ポンプ１２は、たとえば、クラ
イオポンプで構成され、真空チャンバ２内を排気して、
たとえば、１０-6〜１０-7Ｔｏｒｒの高真空に真空引き
する。この高真空は、実際の陰極線管７０の内部と同程
度の真空度であり、この状態では電子銃５１の電極Ｇ１
〜Ｇ５間にグロー放電が発生しない。The auxiliary pump 11 is constituted by, for example, a rotary pump, and evacuates the inside of the vacuum chamber 2 to a degree of vacuum at which glow discharge can be generated between the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51. Specifically, it is evacuated to a low vacuum of about 0.2 to 20 Torr. The main pump 12 is configured by, for example, a cryopump, and exhausts the inside of the vacuum chamber 2.
For example, it is evacuated to a high vacuum of 10 -6 to 10 -7 Torr. This high vacuum is the same degree of vacuum as the inside of the actual cathode ray tube 70, and in this state, the electrode G1 of the electron gun 51
No glow discharge occurs between G5 and G5.
【００３８】切換器１５は、ソケット５の各端子とそれ
ぞれ接続された複数の固定接点１５ａと可動接点１５ｂ
とを有しており、可動接点１５ｂを操作することによっ
て、任意の固定接点１５ａと接続できる。固定接点１５
ａは、電流計１６を介して基準電位に接地されている。
したがって、可動接点１５ｂを所望の固定接点１５ａと
接続することにより、電子銃５１の第１電極Ｇ１、第２
電極Ｇ２、第４電極Ｇ４等を基準電位に接地することが
できる。The switch 15 has a plurality of fixed contacts 15a and movable contacts 15b connected to the terminals of the socket 5, respectively.
And can be connected to any fixed contact 15a by operating the movable contact 15b. Fixed contact 15
a is grounded to the reference potential via the ammeter 16.
Therefore, by connecting the movable contact 15b to the desired fixed contact 15a, the first electrode G1 and the second
The electrode G2, the fourth electrode G4, and the like can be grounded to the reference potential.
【００３９】次に、上記構成の検査装置１を用いた電子
銃５１の電極表面の欠陥検査方法について説明する。ま
ず、図１に示すように、組立済みの電子銃５１の単品の
システムピン５６をソケット５に装着し、筒体３を上側
から挿入する。電子銃５１に筒体３を装着すると、電子
銃５１の第５電極Ｇ５に取り付けられた高圧供給用スプ
リング５４は、筒体３に形成された導電膜６に接触す
る。Next, a method of inspecting the electrode surface of the electron gun 51 for defects using the inspection apparatus 1 having the above-described configuration will be described. First, as shown in FIG. 1, a single system pin 56 of the assembled electron gun 51 is attached to the socket 5, and the cylinder 3 is inserted from above. When the cylinder 3 is mounted on the electron gun 51, the high-voltage supply spring 54 attached to the fifth electrode G5 of the electron gun 51 comes into contact with the conductive film 6 formed on the cylinder 3.
【００４０】次に、真空チャンバ２内を補助ポンプ１１
で排気し、たとえば、０．２〜２０Ｔｏｒｒ程度の低真
空とする。この状態で、可変電源２１から、例えば、５
００Ｖ程度までの比較的低圧の直流電圧を徐々に印加す
る。可変電源２１から印加された電圧は、電子銃５１の
第５電極Ｇ５および第３電極Ｇ３に印加される。たとえ
ば、第４電極Ｇ４と接続されている固定接点１５ａに切
換器１５の可動接点１５ｂを接続すると、第４電極Ｇ４
は基準電位となり、第４電極Ｇ４と第５電極Ｇ５との間
には電位差が発生し、また、第３電極Ｇ３と第４電極Ｇ
４との間にも電位差が発生する。Next, the auxiliary pump 11
To a low vacuum of, for example, about 0.2 to 20 Torr. In this state, for example, 5
A relatively low DC voltage up to about 00V is gradually applied. The voltage applied from the variable power supply 21 is applied to the fifth electrode G5 and the third electrode G3 of the electron gun 51. For example, when the movable contact 15b of the switch 15 is connected to the fixed contact 15a connected to the fourth electrode G4, the fourth electrode G4
Becomes a reference potential, a potential difference is generated between the fourth electrode G4 and the fifth electrode G5, and the third electrode G3 and the fourth electrode G
4 also generates a potential difference.
【００４１】可変電源２１から供給する電圧を上げてい
くと、第３電極Ｇ３と第４電極Ｇ４との間、第４電極Ｇ
４と第５電極Ｇ５との間及び絶縁支持体５５表面並びに
各電極から筒体３内面との間でグロー放電が発生する。
このグロー放電は、各電極Ｇ３〜Ｇ５の表面に欠陥が存
在すると、この欠陥の位置から最初に発生する。このグ
ロー放電の発生位置を真空チャンバ２の外部から視覚的
に把握することで、第４電極Ｇ４および第５電極Ｇ５の
表面の欠陥の特定が可能となる。また、たとえば、突起
が大きい、異物付着が多い等の欠陥が大きい場合には、
グロー放電は、より低い電圧で発生する。このグロー放
電開始電圧の大きさに基づいて、欠陥の度合いや、欠陥
の良否を判断することができる。When the voltage supplied from the variable power supply 21 is increased, the fourth electrode G is moved between the third electrode G3 and the fourth electrode G4.
A glow discharge is generated between the fourth and fifth electrodes G5 and between the surface of the insulating support 55 and the inner surface of the cylindrical body 3 from each electrode.
This glow discharge occurs first from the position of the defect when a defect exists on the surface of each of the electrodes G3 to G5. By visually grasping the position where the glow discharge occurs from the outside of the vacuum chamber 2, it becomes possible to specify a defect on the surface of the fourth electrode G4 and the fifth electrode G5. Further, for example, when the defect is large, such as a large projection or a large amount of foreign matter adhered,
Glow discharges occur at lower voltages. Based on the magnitude of the glow discharge starting voltage, the degree of the defect and the quality of the defect can be determined.
【００４２】同様の検査を、切換器１５を操作して、他
の電極間で行うことで、電子銃５１の各電極Ｇ１〜Ｇ５
に存在する欠陥を確実に特定することができる。The same inspection is performed between the other electrodes by operating the switching unit 15, and thereby each of the electrodes G 1 to G 5 of the electron gun 51 is performed.
Can be reliably specified.
【００４３】上記のグロー放電を用いた検査では、特定
した各電極Ｇ１〜Ｇ５の表面の欠陥の良否レベルをグロ
ー放電開始電圧から判断するのに、基準となる電圧は、
たとえば、以下のような耐電圧評価方法を利用すること
によって決定することができる。In the inspection using the glow discharge described above, the reference voltage for judging the pass / fail level of the specified surface defect of each of the electrodes G1 to G5 from the glow discharge starting voltage is as follows.
For example, it can be determined by using the following withstand voltage evaluation method.
【００４４】まず、主ポンプ１２によって真空チャンバ
２内を、たとえば、１０-6〜１０-7Ｔｏｒｒ程度の高真
空にする。なお、この状態では上記のグロー放電は発生
しない。次いで、可変電源２１から電圧を徐々に印加し
ていくと、電子銃５１の電極Ｇ１〜Ｇ５の表面に欠陥が
存在した場合には、高電圧からの電界集中を受け冷陰極
放射電子が放射される。この冷陰極放射電子が、対向す
る高電圧側の電極に吸引され、電極間放電したり、ま
た、絶縁支持体５５の表面上を沿面放電することで電極
間放電に至る。あるいは、この冷陰極放射電子が高電位
に帯電した筒体３に引き寄せられ衝突すると、筒体３か
らの二次電子放出により更に正に帯電し、この電荷によ
る電界が更に多くの冷陰極放射電子を吸引し、その電位
を高め筒体３のガラス分子を青色に発光させる。上記の
ような放電が発生して電流計１６に流れる電流が所定の
値、たとえば、３ｎＡに達するのに必要な可変電源２１
の電圧Ｖが予め設定されている良否レベルを判定するた
めの基準電圧Ｖ0 よりも大きいときは、上記の欠陥を良
品と判断し、基準電圧よりも小さいときは不良と判断す
る。First, the main pump 12 evacuates the vacuum chamber 2 to a high vacuum of, for example, about 10 -6 to 10 -7 Torr. In this state, the glow discharge does not occur. Next, when a voltage is gradually applied from the variable power supply 21, if a defect exists on the surface of the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51, the cold cathode radiated electrons are emitted by receiving the electric field concentration from the high voltage. You. The cold cathode emitted electrons are attracted to the opposing high-voltage side electrode and discharge between the electrodes, or discharge across the surface of the insulating support 55 to cause discharge between the electrodes. Alternatively, when the cold cathode emitted electrons are attracted to and collide with the cylinder 3 charged to a high potential, secondary electrons are emitted from the cylinder 3 to be more positively charged, and the electric field due to this charge further increases the cold cathode emitted electrons. To increase the potential and cause the glass molecules of the cylinder 3 to emit blue light. The variable power supply 21 required to cause the current flowing through the ammeter 16 to reach a predetermined value, for example, 3 nA when the above-described discharge occurs.
When the voltage V is greater than the reference voltage V 0 which to judge the quality level set in advance, it is determined as non-defective of the above defects, is smaller than the reference voltage is determined as a defective.
【００４５】本実施形態では、このような耐電圧評価方
法における基準電圧Ｖ0 と、特定の真空度におけるグロ
ー放電開始電圧とを予め実験等によって対応づけて、グ
ロー放電を用いた検査における基準電圧Ｖｇを予め求め
ておく。上記のグロー放電を用いた検査を行い、この基
準電圧Ｖｇを基準として欠陥の良否レベルを判断するこ
とにより、欠陥の良否の判定が確実で正確なものとな
る。In this embodiment, the reference voltage V 0 in such a withstand voltage evaluation method and the glow discharge starting voltage at a specific degree of vacuum are associated in advance by experiments or the like, and the reference voltage V 0 in the inspection using glow discharge is determined. Vg is obtained in advance. By performing the inspection using the above-described glow discharge and judging the pass / fail level of the defect based on the reference voltage Vg, the pass / fail judgment of the defect becomes reliable and accurate.
【００４６】以上のように、本実施形態によれば、グロ
ー放電開始電圧やグロー放電が発生する場所を視覚的に
把握することにより、電子銃５１の各電極Ｇ１〜Ｇ５表
面の欠陥の特定を行うことができ、真空チャンバ２から
電子銃５１を取出した後に欠陥の発生原因の究明および
迅速な対策を図ることができる。また、実際の陰極線管
７０のネック部７７の同形上のガラス製の筒体３を設け
たことで、筒体３において実際の陰極線管７０のネック
部７７の帯電状態を再現することができ、精度の良い欠
陥検査が可能となる。As described above, according to the present embodiment, the defect on the surface of each of the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51 can be specified by visually grasping the glow discharge starting voltage and the place where the glow discharge occurs. After taking out the electron gun 51 from the vacuum chamber 2, it is possible to investigate the cause of the occurrence of the defect and take quick measures. In addition, by providing the glass cylinder 3 having the same shape as the neck portion 77 of the actual cathode ray tube 70, the charged state of the actual neck portion 77 of the cathode ray tube 70 can be reproduced in the cylinder 3. Accurate defect inspection becomes possible.
【００４７】また、実際の陰極線管７０では、電子銃５
１に起因する欠陥以外の、陰極線管７０の製造プロセス
に起因する不具合が合計されてしまうことがある。たと
えば、陰極線管７０の製造時に蛍光面７３側を上向きに
し、電子銃５１を下向きに搬送したような場合や、組み
立て工程で電子銃５１に高電圧を印加した場合等に、陰
極繰管７０のネック部７７に異物が移動してくるような
ケースである。本実施形態では、このような陰極線管７
０の製造プロセスに起因する不具合を排除して純粋に電
子銃５１の電極表面に存在する欠陥の検査を行うことが
可能となる。さらに、本実施形態では、高真空下におい
て行う耐電圧評価とグロー放電を利用した検査とを組み
合わせることで、グロー放電を利用した検査で特定した
欠陥の良否レベルを正確に判定することができる。な
お、図１に示した検査装置１は、単品の電子銃５１を検
査する構成としたが、複数本を同時に検査する構成とす
ることも可能である。In the actual cathode ray tube 70, the electron gun 5
In some cases, defects caused by the manufacturing process of the cathode ray tube 70 other than the defects caused by 1 may be summed up. For example, when manufacturing the cathode ray tube 70, the fluorescent screen 73 is turned upward and the electron gun 51 is conveyed downward, or when a high voltage is applied to the electron gun 51 in the assembling process, etc. This is a case where foreign matter moves to the neck portion 77. In the present embodiment, such a cathode ray tube 7
In this way, it is possible to perform a pure inspection for defects existing on the electrode surface of the electron gun 51 while eliminating defects caused by the manufacturing process of No. 0. Furthermore, in this embodiment, by combining the withstand voltage evaluation performed under a high vacuum and the inspection using the glow discharge, the pass / fail level of the defect specified by the inspection using the glow discharge can be accurately determined. The inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is configured to inspect a single electron gun 51, but may be configured to inspect a plurality of electron guns simultaneously.
【００４８】次に、電子銃５１の組み立て工程の各段階
における電子銃５１の検査方法について説明する。上記
構成の電子銃５１の各電極Ｇ１〜Ｇ５への絶縁支持体５
５の融着は、たとえば、図４に示すような融着用治具９
１を用いる。図４に示す融着用治具９１は、断面が円形
の軸部材９２と、軸部材９２の一端に固定された係止部
材９３と、軸部材９２の他端側から挿入される押圧部材
９５と、軸部材９２の他端側から挿入され軸部材９２の
任意の位置に固定可能なストッパ部材９４と、押圧部材
９５とストッパ部材９４とを連結する、たとえば、コイ
ルばねからなる弾性部材９６とを有している。Next, a method of inspecting the electron gun 51 at each stage of the assembling process of the electron gun 51 will be described. The insulating support 5 to each of the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51 having the above configuration
For example, the welding of the welding jig 9 shown in FIG.
Use 1. A fusion jig 91 shown in FIG. 4 includes a shaft member 92 having a circular cross section, a locking member 93 fixed to one end of the shaft member 92, and a pressing member 95 inserted from the other end of the shaft member 92. A stopper member 94 which is inserted from the other end of the shaft member 92 and which can be fixed to an arbitrary position of the shaft member 92; and an elastic member 96 formed of, for example, a coil spring for connecting the pressing member 95 and the stopper member 94. Have.
【００４９】まず、この融着用治具９１の軸部材９２の
他端側から円筒状の金属部品である各電極Ｇ１〜Ｇ５を
順次嵌合挿入する。なお、各電極Ｇ１〜Ｇ５の外周には
融着用ピン６２が溶接等によって固着されている。この
とき、各電極Ｇ１〜Ｇ５間のギャップを規定するため
に、たとえば、図５に示すようなスペーサ９７を各電極
間に挿入する。スペーサ９７は、たとえば、厚さ１ｍｍ
程度の板状部材からなり、軸部材９２が嵌合する切欠部
９７ａが形成され、両側の面９７ｂが各電極Ｇ１〜Ｇ５
の端部と当接する。各電極間にスペーサ９７を挿入する
と、スペーサ９７の切欠部９７ａが軸部材９２に嵌合す
る。この状態で、弾性部材９６で連結された押圧部材９
５とストッパ部材９４を軸部材９２に挿入し、押圧部材
９５が第１電極Ｇ１の端部を弾性部材９６の弾性力によ
って押圧し、ストッパ部材９４を軸部材９２に対して固
定すると、係止部材９３が第５電極Ｇ５に係止し第１電
極Ｇ１は押圧部材９５によって押圧された状態で、各電
極Ｇ１〜Ｇ５が所定の位置関係になる。First, the electrodes G1 to G5, which are cylindrical metal parts, are sequentially fitted and inserted from the other end of the shaft member 92 of the welding jig 91. A welding pin 62 is fixed to the outer periphery of each of the electrodes G1 to G5 by welding or the like. At this time, in order to define a gap between the electrodes G1 to G5, for example, a spacer 97 as shown in FIG. 5 is inserted between the electrodes. The spacer 97 has, for example, a thickness of 1 mm.
And a notch 97a into which the shaft member 92 is fitted is formed, and the surfaces 97b on both sides are formed with the electrodes G1 to G5.
Abuts the end of the When the spacer 97 is inserted between the electrodes, the notch 97 a of the spacer 97 is fitted to the shaft member 92. In this state, the pressing member 9 connected by the elastic member 96
5 and the stopper member 94 are inserted into the shaft member 92, and the pressing member 95 presses the end of the first electrode G1 by the elastic force of the elastic member 96, and the stopper member 94 is fixed to the shaft member 92. In a state where the member 93 is locked to the fifth electrode G5 and the first electrode G1 is pressed by the pressing member 95, the electrodes G1 to G5 have a predetermined positional relationship.
【００５０】次に、融着用治具９１に装着された各電極
Ｇ１〜Ｇ５に固定された融着用ピン６２を、図６に示す
ように、ガラス材料から形成された絶縁支持体５５に融
着する。絶縁支持体５５は、ビーディングベッド１００
に設けられており、絶縁支持体５５は、ガスバーナーに
よって加熱され、軟化している。なお、ガスバーナーの
ガス流量、酸素流量、ガスバーナーと絶縁支持体５５と
の距離が精密に管理されている。軟化した絶縁支持体５
５に、融着用治具９１に装着された各電極Ｇ１〜Ｇ５の
融着用ピン６２を差し込み、絶縁支持体５５が冷えてか
らスペーサー９７を各電極Ｇ１〜Ｇ５間から引き抜く。Next, as shown in FIG. 6, a welding pin 62 fixed to each of the electrodes G1 to G5 attached to the welding jig 91 is fused to an insulating support 55 made of a glass material. I do. The insulating support 55 is provided on the beading bed 100.
The insulating support 55 is heated and softened by the gas burner. The gas flow rate of the gas burner, the oxygen flow rate, and the distance between the gas burner and the insulating support 55 are precisely controlled. Softened insulating support 5
5, the welding pins 62 of the electrodes G1 to G5 mounted on the welding jig 91 are inserted, and after the insulating support 55 has cooled, the spacer 97 is pulled out from between the electrodes G1 to G5.
【００５１】上記の絶縁支持体５５の融着工程の後、電
子銃５１の構造によっては、たとえば、純温水での超音
波洗浄を行なう。その後、電子銃５１へのリード線の取
付けを行なう継線工程を行う。この継線工程では、たと
えば、マンガンを２％程度含有したニッケル合金材料等
の柔らかく傷の付きやすいリード線を、ピンセットでし
ごくような成形処理をした後、溶接で電子銃５１の各電
極Ｇ１〜Ｇ５に接続する。After the above-mentioned step of fusing the insulating support 55, ultrasonic cleaning with pure hot water is performed depending on the structure of the electron gun 51, for example. Thereafter, a connecting step for attaching a lead wire to the electron gun 51 is performed. In this connecting step, for example, a soft and easily scratched lead wire such as a nickel alloy material containing about 2% of manganese is subjected to an intense forming process with tweezers, and then each of the electrodes G1 to G1 of the electron gun 51 is welded. Connect to G5.
【００５２】上述のような工程を経て電子銃５１は完成
するが、絶縁支持体５５の融着工程では、融着用治具９
１への電極Ｇ１〜Ｇ５の装着が繰り返し行われるうち
に、ガスバーナーの高温や燃焼時の酸化物・硫化物等の
生成物が融着用治具９１の軸部材９２等に付着すること
により、融着用治具９１の押圧部材９５等の可動部分の
円滑な動作を妨げるようになる。そのため、例えば数十
回の融着工程毎に融着用治具９１を分解し、前記の付着
物を清掃・除去し、再度組み立てるメインテナンスを行
なっている。Although the electron gun 51 is completed through the steps described above, in the step of fusing the insulating support 55, the welding jig 9 is used.
While the mounting of the electrodes G1 to G5 to the gas burner 1 is repeatedly performed, the high temperature of the gas burner and products such as oxides and sulfides at the time of combustion adhere to the shaft member 92 and the like of the welding jig 91. The smooth movement of the movable part such as the pressing member 95 of the welding jig 91 is prevented. For this reason, for example, the welding jig 91 is disassembled every several tens of welding steps, the above-mentioned attached matter is cleaned and removed, and maintenance for reassembling is performed.
【００５３】このメインテナンス後に融着した電子銃５
１を、上述したグロー放電を利用し検査によって検査す
ることにより、各電極Ｇ１〜Ｇ５間のギヤップが傾かず
に平行度が得られているかを判断できる。各電極Ｇ１〜
Ｇ５間に電圧を印加し、上述した低真空状態における電
極Ｇ１〜Ｇ５間に発生するグロー放電状態により、傾き
の有無が容易に確認できる。また、融着用治具９１の分
解清掃時に使用する、真空中で電子を放出しやすい例え
ばマグネシウムやアルミニウムを主成分とする研磨剤が
僅かに残留しているような場合には、絶縁支持体５５の
融着時に電子銃５１の電極Ｇ１〜Ｇ５に付着し、その部
分からグローが観察されることでその発見にも利用でき
る。なお、この組み立て段階の電子銃５１には、ステム
ピン５６が設けられていないので、上記検査装置１のソ
ケット５は使用できないため、電極Ｇ１〜Ｇ５へ電圧を
印加するための配線等を用意する必要がある。The electron gun 5 fused after the maintenance
By inspecting No. 1 by inspection using the above-described glow discharge, it can be determined whether or not the gap between the electrodes G1 to G5 is parallel and the parallelism is obtained. Each electrode G1
A voltage is applied between G5, and the presence or absence of the inclination can be easily confirmed by the glow discharge state generated between the electrodes G1 to G5 in the low vacuum state described above. Further, in the case where a small amount of abrasive, for example, mainly composed of magnesium or aluminum, which easily emits electrons in a vacuum and which is used when disassembling and cleaning the welding jig 91, is left, the insulating support 55 may be used. Is adhered to the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51 at the time of fusion, and glow is observed from that portion, so that it can be used for finding it. Since the electron gun 51 in this assembly stage is not provided with the stem pin 56, the socket 5 of the inspection device 1 cannot be used, so that it is necessary to prepare wiring for applying a voltage to the electrodes G1 to G5. There is.
【００５４】前述の絶縁支持体の融着工程において、絶
縁支持体５５が冷えてからスペーサー９７を引き抜く
が、この時、スペーサー９７の両側の面９７ｂは電極Ｇ
１〜Ｇ５間に強固に挟まれており、擦られながら抜き取
られることになる。そのため、たとえば、数十回の融着
工程を繰り返すうちに、スペーサー９７の面９７ｂが荒
れてきて、引き抜き抵抗が大きくなり作業に支障を来た
すと同時に、電極Ｇ１〜Ｇ５の端部にキズやバリを発生
させてしまうことがある。このため、スペーサー９７を
引き抜いた後の電子銃５１を上述した本発明に係るグロ
ー放電を利用した検査で検査することによって、電子銃
５１の電極Ｇ１〜Ｇ５の表面に生じる欠陥を確認するこ
とができる。In the above-described step of fusing the insulating support, the spacer 97 is pulled out after the insulating support 55 has cooled, and at this time, both surfaces 97b of the spacer 97 are
It is firmly sandwiched between 1 to G5, and is extracted while being rubbed. Therefore, for example, as the fusion process is repeated several tens of times, the surface 97b of the spacer 97 becomes rough, and the pull-out resistance increases, which hinders the work. At the same time, the ends of the electrodes G1 to G5 are scratched or burred. May occur. Therefore, by inspecting the electron gun 51 after extracting the spacer 97 by the above-described inspection using the glow discharge according to the present invention, it is possible to confirm a defect generated on the surface of the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51. it can.
【００５５】上述した電子銃５１の純温水による超音波
洗浄工程では、洗浄水の清浄度の管理は重要であり、清
浄度が劣化した水で洗浄した場合には電子銃を逆に汚染
させ耐電圧を劣化させることになる。このため、通常は
洗浄水の電気伝導度で間接的に管理している。この超音
波洗浄工程後の電子銃５１を、上述した本発明に係るグ
ロー放電を利用した検査で検査することによって、洗浄
水の電気伝導度には現れない、洗浄乾燥後の洗浄シミの
影響等を含め、洗浄後の電子銑５１に発生する欠陥の直
接検査を行なうことができる。In the above-described ultrasonic cleaning process of the electron gun 51 using pure hot water, it is important to control the cleanliness of the cleansing water. The voltage will be degraded. For this reason, the cleaning water is usually indirectly controlled by the electric conductivity. By inspecting the electron gun 51 after the ultrasonic cleaning step by the above-described inspection using the glow discharge according to the present invention, the electron gun 51 does not appear in the electric conductivity of the cleaning water, and is not affected by the cleaning stain after cleaning and drying. And a direct inspection for defects occurring in the cleaned electronic pig 51 can be performed.
【００５６】前述の絶縁支持体５５の融着工程では、上
述したように、ガスバーナーのガス流量、酸素流量、バ
ーナーと絶縁支持体５５との距離が精密に管理されてい
る。この条件は、絶縁支持体５５の厚みが変化した場合
や、異なった呈色の絶縁支持体に切り替える場合等に変
更する。その際、ガスと酸素のバランスや、バーナ一の
カロリーや距離が崩れると、ガス燃焼により生じる硫化
物がマガジンや、絶縁支持体５５を融着直前まで保持し
ているビーディングベッド１００に多量に付着してしま
う。この硫化物は電子銃５１の電極Ｇ１〜Ｇ５にも付着
し、耐電圧品質を低下させる要因となる。このため、上
述した本発明に係るグロー放電を利用した検査で検査す
ることによって、電子銃５１の電極Ｇ１〜Ｇ５への付着
物を検出することができる。In the step of fusing the insulating support 55 described above, the gas flow rate of the gas burner, the oxygen flow rate, and the distance between the burner and the insulating support 55 are precisely controlled as described above. This condition is changed when the thickness of the insulating support 55 changes or when the insulating support is switched to a different color. At that time, if the balance between gas and oxygen or the calorie or distance of the burner is lost, a large amount of sulfide generated by gas combustion will be applied to the magazine or the beading bed 100 holding the insulating support 55 immediately before fusion. Will stick. This sulfide also adheres to the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51, and causes a reduction in withstand voltage quality. For this reason, by performing the inspection using the glow discharge according to the present invention described above, it is possible to detect the deposits on the electrodes G1 to G5 of the electron gun 51.
【００５７】電子銃５１へのリード線の取付けを行なう
継線工程においては、上述したように、たとえば、マン
ガンを２％程度含有したニッケル合金材料等の柔らかく
傷の付きやすいリード線を、ピンセットでしごくような
成形処理をした後、溶接で電子銃５１の各電極Ｇ１〜Ｇ
５に接続する。このため、キズ，バリを多量に発生させ
ると共に、リード線の溶接時にスプラッシュと呼ばれる
溶融した金属が飛び散った針状や球状の溶融金属片が付
着し、耐電圧品質を劣化させてしまう。電子銃５１への
リード線の継線工程の後の電子銃５１を、上述した本発
明に係るグロー放電を利用した検査で検査することによ
って、リード線の継線工程で発生する電子銃５１の各電
極Ｇ１〜Ｇ５の表面の欠陥を検出することができる。In the connecting step of attaching the lead wire to the electron gun 51, as described above, for example, a soft and easily scratched lead wire such as a nickel alloy material containing about 2% of manganese is tweezers. After performing an intense forming process, each of the electrodes G1 to G of the electron gun 51 is welded.
Connect to 5. For this reason, a large amount of flaws and burrs are generated, and at the time of welding the lead wire, a needle-shaped or spherical molten metal piece called a splash, in which the molten metal is scattered, adheres, thereby deteriorating the withstand voltage quality. By inspecting the electron gun 51 after the step of connecting the lead wire to the electron gun 51 by the above-described inspection using the glow discharge according to the present invention, the electron gun 51 generated in the step of connecting the lead wire is manufactured. Defects on the surface of each of the electrodes G1 to G5 can be detected.
【００５８】本発明は、上述した実施形態に限定されな
い。上述した実施形態では、本発明の検査方法の被検査
体として電子銃５１の場合について説明したが、本発明
の適用対象はこれに限定されるわけではなく、たとえ
ば、高真空中で使用される金属部品表面の欠陥検査に適
用でき、たとえば、陰極線管内で使用される他の金属部
品の検査に適用できる。The present invention is not limited to the above embodiment. In the above-described embodiment, the case where the electron gun 51 is used as the object to be inspected in the inspection method of the present invention is described. However, the application target of the present invention is not limited to this. The present invention can be applied to defect inspection of the surface of a metal component, for example, to inspection of other metal components used in a cathode ray tube.
【００５９】[0059]
【発明の効果】本発明によれば、たとえば、陰極線管に
内蔵される電子銃の電極のような高真空中で使用される
金属部品の表面に存在する欠陥の検出を確実かつ容易に
行うことができる。また、本発明によれば、陰極線管に
内蔵される電子銃の組み立て工程の各段階で電極表面の
欠陥を確実に検出することができるため、欠陥の発生原
因の管理が容易になり、また、欠陥が存在する陰極線管
が陰極線管に組み込まれることを未然に防ぐことができ
る。According to the present invention, it is possible to reliably and easily detect a defect existing on the surface of a metal component used in a high vacuum such as an electrode of an electron gun built in a cathode ray tube. Can be. Further, according to the present invention, it is possible to reliably detect a defect on the electrode surface at each stage of the assembling process of the electron gun incorporated in the cathode ray tube, so that the management of the cause of the defect becomes easy, A cathode ray tube having a defect can be prevented from being incorporated into the cathode ray tube.
【図１】本発明の陰極線管用電子銃の検査装置の一実施
形態の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of an inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to the present invention.
【図２】陰極線管の構成の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a configuration of a cathode ray tube.
【図３】電子銃の一構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of an electron gun.
【図４】電子銃の組み立て方法を説明するための図であ
る。FIG. 4 is a diagram for explaining a method of assembling the electron gun.
【図５】電子銃の電極間のギャップを規定するために用
いるスペーサの構造を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a structure of a spacer used for defining a gap between electrodes of an electron gun.
【図６】電子銃の電極への絶縁支持体の融着作業を説明
するための図である。FIG. 6 is a view for explaining a work of fusing an insulating support to an electrode of an electron gun.
１…陰極線管用電子銃の検査装置、２…真空チャンバ、
３…筒体、５…ソケット、６…導電膜、８…基台、１１
…補助ポンプ、１２…主ポンプ、１５…切換器、２１…
可変電源、５１…電子銃。1 .... Inspection device for electron gun for cathode ray tube 2 .... Vacuum chamber,
3 ... cylindrical body, 5 ... socket, 6 ... conductive film, 8 ... base, 11
... Auxiliary pump, 12 ... Main pump, 15 ... Switcher, 21 ...
Variable power supply, 51 ... electron gun.
Claims (21)
にグロー放電を発生可能な低真空の気体内に置き、 前記金属部品に電圧を印加し、前記金属部品に発生する
グロー放電の発生状況に基づいて前記金属部品の表面に
存在する欠陥を特定する金属部品の表面欠陥検査方法。A test object having a metal component is placed in a low vacuum gas capable of generating a glow discharge in the metal component, and a voltage is applied to the metal component to generate a glow discharge generated in the metal component. A method for inspecting a surface defect of a metal component, wherein a defect existing on a surface of the metal component is specified based on a situation.
に基づいて前記欠陥を特定する請求項１に記載の金属部
品の表面欠陥検査方法。2. The method according to claim 1, wherein the defect is specified based on a position of the metal component in which the glow discharge occurs.
前記欠陥の度合いを特定する請求項１に記載の金属部品
の表面欠陥検査方法。3. The method according to claim 1, wherein the degree of the defect is specified based on a voltage at which the glow discharge occurs.
高真空下で使用される請求項１に記載の金属部品の表面
欠陥検査方法。4. The method according to claim 1, wherein the object to be inspected is used under a higher vacuum than the gas of the degree of vacuum.
り、 前記電子銃を低真空下に置き、前記電子銃の有する電極
間に電圧を印加し、当該電極に発生するグロー放電の発
生状況に基づいて前記電極表面の欠陥を特定する請求項
１に記載の金属部品の表面欠陥検査方法。5. The object to be inspected is an electron gun for a cathode ray tube, the electron gun is placed under a low vacuum, a voltage is applied between electrodes of the electron gun, and a glow discharge generated at the electrodes is generated. The surface defect inspection method for a metal component according to claim 1, wherein a defect on the electrode surface is specified based on an occurrence state.
当該チャンバ外から前記グロー放電の発生箇所を観察す
る請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検査方法。6. The electron gun is housed in a transparent chamber,
The method for inspecting a surface defect of a metal component according to claim 5, wherein a location where the glow discharge occurs is observed from outside the chamber.
のガラス製の筒体内に挿入した状態で当該電子銃を前記
チャンバ内に収容する請求項６に記載の金属部品の表面
欠陥検査方法。7. The surface defect inspection of a metal part according to claim 6, wherein the electron gun is housed in the chamber with the electron gun inserted into a glass cylinder having the same shape as the neck of the cathode ray tube. Method.
空下に置く請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検査方
法。8. The method according to claim 5, wherein the electron gun is placed under a low vacuum of 0.2 to 20 Torr.
高真空下で使用される請求項５に記載の金属部品の表面
欠陥検査方法。9. The method according to claim 5, wherein said electron gun is used under a high vacuum of 10 -6 to 10 -7 Torr.
前記電極表面の検査を行う請求項５に記載の金属部品の
表面欠陥検査方法。10. At each stage of the assembling process of the electron gun,
The surface defect inspection method for a metal component according to claim 5, wherein the inspection of the electrode surface is performed.
体を当該各電極に対して融着する工程の後に前記電極表
面の検査を行う請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検
査方法。11. The method according to claim 5, wherein the surface of the electrode is inspected after the step of fusing an insulating support supporting each electrode of the electron gun to each electrode. .
間に挿入された当該電極間の距離を規定するスペーサを
引き抜いた後に前記電極表面の検査を行う請求項５に記
載の金属部品の表面欠陥検査方法。12. The surface of a metal part according to claim 5, wherein, at the time of assembling the electron gun, the surface of the electrode is inspected after extracting a spacer inserted between the electrodes and defining a distance between the electrodes. Defect inspection method.
ンとを導電線で結ぶ継線作業の完了後に、前記電極表面
の検査を行う請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検査
方法。13. The method according to claim 5, wherein the surface of the electrode is inspected after completion of a connecting operation for connecting each electrode of the electron gun and a stem pin of the electron gun with a conductive wire.
体を当該各電極に対して融着する工程の後、前記電子銃
を純水によって超音波洗浄後に、前記電極表面の検査を
行う請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検査方法。14. After the step of fusing an insulating support for supporting each electrode of the electron gun to each electrode, the electron gun is ultrasonically cleaned with pure water, and then the surface of the electrode is inspected. A method for inspecting a surface defect of a metal component according to claim 5.
体を加熱するためのガスバーナーの燃焼条件の変更後
に、前記絶縁支持体が融着された電子銃の各電極の表面
検査を行う請求項５に記載の金属部品の表面欠陥検査方
法。15. The surface inspection of each electrode of the electron gun to which the insulating support is fused is performed after changing the combustion condition of the gas burner for heating the insulating support supporting each electrode of the electron gun. A method for inspecting a surface defect of a metal component according to claim 5.
ー放電を発生させ、当該グロー放電の発生状況から電極
表面に存在する欠陥を検査する陰極線管用電子銃の検査
装置であって、 前記電子銃を収容し、外部から前記電子銃の電極表面を
観察可能な真空チャンバと、 前記真空チャンバ内の気体を排気して、前記真空チャン
バ内の気圧をグロー放電が発生可能な真空度にする補助
ポンプと、 陰極線管用電子銃の有する電極間に電圧差を発生させる
電圧印加手段とを有する陰極線管用電子銃の検査装置。16. An inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube, wherein a glow discharge is generated between electrodes of the electron gun for a cathode ray tube, and a defect existing on an electrode surface is inspected based on a state of occurrence of the glow discharge. A vacuum chamber capable of externally observing the electrode surface of the electron gun, and an auxiliary pump for evacuating gas in the vacuum chamber to reduce the air pressure in the vacuum chamber to a degree of vacuum at which glow discharge can be generated. An inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube, comprising: a voltage applying means for generating a voltage difference between electrodes of the electron gun for a cathode ray tube.
ンプをさらに有する請求項１６に記載の陰極線管用電子
銃の検査装置。17. The inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to claim 16, further comprising a main pump for making the inside of said vacuum chamber a high vacuum.
を０．２〜２０Ｔｏｒｒの低真空にする請求項１６に記
載の陰極線管用電子銃の検査装置。18. The inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to claim 16, wherein the auxiliary pump makes the inside of the vacuum chamber a low vacuum of 0.2 to 20 Torr.
挿入する陰極線管のネック部と同形状のガラス製の筒体
が設けられている請求項１６に記載の陰極線管用電子銃
の検査装置。19. An inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to claim 16, wherein a glass cylinder having the same shape as a neck portion of the cathode ray tube into which the electron gun is inserted is provided in the vacuum chamber. .
段から電圧が供給される導電膜が形成され、 前記導電膜に所定の電極が電気的に接続されている請求
項１９に記載の陰極線管用電子銃の検査装置。20. A conductive film to which a voltage is supplied from said voltage applying means is formed on an inner peripheral surface of said cylindrical body, and a predetermined electrode is electrically connected to said conductive film. An inspection apparatus for an electron gun for a cathode ray tube according to the above.
されたステムピンと嵌合するソケットをさらに有し、 前記ソケットは、接続された電極を基準電位に接地する
請求項２０に記載の陰極線管用電子銃の検査装置。21. The electron gun according to claim 20, further comprising a socket fitted with a stem pin electrically connected to a predetermined electrode of the electron gun, wherein the socket grounds the connected electrode to a reference potential. Inspection equipment for electron guns for cathode ray tubes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25155399A JP2001076624A (en) | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Inspecting method of surface defect in metal component, and inspecting device for electron gun of cathode-ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25155399A JP2001076624A (en) | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Inspecting method of surface defect in metal component, and inspecting device for electron gun of cathode-ray tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001076624A true JP2001076624A (en) | 2001-03-23 |
Family
ID=17224548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25155399A Pending JP2001076624A (en) | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Inspecting method of surface defect in metal component, and inspecting device for electron gun of cathode-ray tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001076624A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003245A (en) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Aoi Kiko Kk | Burr detection method and apparatus |
-
1999
- 1999-09-06 JP JP25155399A patent/JP2001076624A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003245A (en) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Aoi Kiko Kk | Burr detection method and apparatus |
| JP4498228B2 (en) * | 2005-06-21 | 2010-07-07 | 葵機工株式会社 | Burr detection method and apparatus |
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