JP2001074768A - Piezoelectric sensor and its manufacture - Google Patents
Piezoelectric sensor and its manufactureInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電センサおよび
その製造方法に関する。The present invention relates to a piezoelectric sensor and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の圧電センサは、磁気ディスク、
ＣＤ−ＲＯＭもしくはＤＶＤ−ＲＯＭ、ＲＡＭ等の各種
のディスク型記録媒体をドライブするディスクドライブ
装置において、加速度や衝撃を検知するのに使用される
ものである。2. Description of the Related Art Piezoelectric sensors of this type include magnetic disks,
This is used for detecting acceleration and impact in a disk drive device for driving various disk-type recording media such as a CD-ROM, a DVD-ROM, and a RAM.
【０００３】ディスクドライブ装置では、そのヘッド
が、ディスクの面方向において、トラッキングするよう
に構成されており、不要な加速度、衝撃があると、正常
なトラッキングができなくなり、書き込みエラー、読み
取りエラー等の誤動作を生じる。特に、書き込みエラー
は、誤動作として致命的なものとなる。圧電センサは、
上述したディスク装置において、加速度検知および衝撃
検知のために用いられる。In a disk drive device, its head is configured to track in the direction of the surface of the disk. If there is an unnecessary acceleration or impact, normal tracking cannot be performed, and a write error, a read error, etc. A malfunction occurs. In particular, a write error is fatal as a malfunction. Piezoelectric sensors are
In the above-described disk device, it is used for acceleration detection and impact detection.
【０００４】この種の圧電センサに関する公知文献とし
ては、例えば、特開平７ー２０２２８３号公報、特開平
８−２９４４７号公報または特開平９−２６４９０１号
公報等がある。これらの先行技術文献に開示された圧電
センサは、一面側に凹部及び凹溝を設けたケース状のベ
ース部材を用い、このベース部材の一面側に圧電素子を
取り付けた構造となっている。圧電素子は、長手方向の
中間部が、ベース部材の凹溝の内部に挿入され、導電性
接着剤によって固定されている。凹部は圧電素子の周り
に振動空間を生じさせるために備えられている。ベース
部材は、セラミック構造体で構成される。ベース部材に
は、圧電素子を覆う蓋が接合される。[0004] Known documents relating to this type of piezoelectric sensor include, for example, JP-A-7-202283, JP-A-8-29447 and JP-A-9-264901. The piezoelectric sensors disclosed in these prior art documents have a structure in which a case-shaped base member provided with a concave portion and a concave groove on one surface side is used, and a piezoelectric element is attached to one surface side of the base member. The piezoelectric element has an intermediate portion in the longitudinal direction inserted into the concave groove of the base member and fixed by a conductive adhesive. The recess is provided to create a vibration space around the piezoelectric element. The base member is formed of a ceramic structure. A lid that covers the piezoelectric element is joined to the base member.
【０００５】この種の圧電センサは、高密度実装装置で
あるディスクドライブ装置に組み込まれるのであるか
ら、たとえ、０．１ｍｍでも、薄ければ薄い程よい。と
ころが、上述した公知文献に開示された圧電センサで
は、その具体的一例を挙げると、ベース部材の厚みが例
えば約０．６ｍｍ程度で、蓋の厚みが約０．６ｍｍ程度
であった。このため、センサ全体としては、約１．２ｍ
ｍ程度までの薄型化が限界であり、それ以下の厚み、例
えば、１．０ｍｍ以下に薄型化することは困難であっ
た。Since this kind of piezoelectric sensor is incorporated in a disk drive device, which is a high-density mounting device, the thinner it is, the better, even if it is 0.1 mm. However, in the piezoelectric sensor disclosed in the above-mentioned known document, the thickness of the base member is, for example, about 0.6 mm and the thickness of the lid is about 0.6 mm, to give a specific example. Therefore, the sensor as a whole is about 1.2 m
It is difficult to reduce the thickness to less than about m, for example, 1.0 mm or less.
【０００６】しかも、ベース部材が、凹部及び凹溝を有
する複雑なセラミック構造体であるため、ベース部材の
コストが高くなり、延ては、圧電センサのコストが高く
なるという難点があった。In addition, since the base member is a complicated ceramic structure having a concave portion and a concave groove, there is a problem that the cost of the base member increases, and the cost of the piezoelectric sensor increases.
【０００７】また、従来の圧電センサは、ケース状のベ
ース部材の凹溝内に圧電素子を入れ、導電性接着剤によ
って固定する構造であったため、その製造作業、特に、
導電性接着剤の供給作業が極めて面倒であった。Further, the conventional piezoelectric sensor has a structure in which a piezoelectric element is placed in a concave groove of a case-shaped base member and fixed by a conductive adhesive, so that the manufacturing operation thereof is particularly difficult.
The operation of supplying the conductive adhesive was extremely troublesome.
【０００８】即ち、この種の圧電センサに用いられる圧
電素子は、厚みが、例えば、０．５ｍｍ程度の微小部品
である。加えて、この種の圧電センサにおいては、直交
２軸方向からの衝撃を検知できるように、圧電素子を、
ある傾斜角度を有して搭載するのが一般的であり、圧電
素子と凹溝表面との間に、鋭角となる側が生じる。鋭角
側では、導電性接着剤を供給するのに十分な空間的広さ
を確保することが困難である。このため、圧電素子及び
凹溝の限定された位置に、導電性接着剤を、的確に供給
することが、極めて困難であった。That is, the piezoelectric element used in this type of piezoelectric sensor is a minute component having a thickness of, for example, about 0.5 mm. In addition, in this type of piezoelectric sensor, a piezoelectric element is provided so that an impact from two orthogonal axes can be detected.
It is common to mount with a certain inclination angle, and an acute angle side is generated between the piezoelectric element and the surface of the concave groove. On the acute angle side, it is difficult to ensure a sufficient spatial area to supply the conductive adhesive. For this reason, it has been extremely difficult to accurately supply the conductive adhesive to the limited positions of the piezoelectric element and the concave groove.
【０００９】更に、ベース部材が、凹部や凹溝を有する
複雑な形状を有しているため、金型で成型せざるを得
ず、ベース部材を成型するための金型が高価になるこ
と、導体パターン形成工程及び圧電素子の組み込み工程
を、ベース部材毎に実行する個別処理を採用せざるを得
ないこと、このため、得られる圧電センサの精度及び信
頼性が低くなると共に、量産性に欠けること等の問題が
あった。Further, since the base member has a complicated shape having a concave portion and a concave groove, it has to be molded by a mold, and the mold for molding the base member becomes expensive. The conductor pattern forming step and the step of incorporating the piezoelectric element must be performed by individual processing for each base member. Therefore, the accuracy and reliability of the obtained piezoelectric sensor are reduced, and mass production is lacking. There were problems.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、非常
に薄い圧電センサを提供することである。It is an object of the present invention to provide a very thin piezoelectric sensor.
【００１１】本発明のもう一つの課題は、コストの安価
な圧電センサを提供することである。Another object of the present invention is to provide a low-cost piezoelectric sensor.
【００１２】本発明の更にもう一つの課題は、高精度
で、信頼性の高い圧電センサを提供することである。Still another object of the present invention is to provide a highly accurate and highly reliable piezoelectric sensor.
【００１３】本発明の更にもう一つの課題は、製造が容
易で、量産性に優れた圧電センサを提供することであ
る。Still another object of the present invention is to provide a piezoelectric sensor which is easy to manufacture and excellent in mass productivity.
【００１４】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
圧電センサを製造するのに適した方法、および、この方
法の実施に適したベース部材を提供することである。Still another object of the present invention is to provide a method suitable for manufacturing the above-described piezoelectric sensor and a base member suitable for carrying out the method.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】＜圧電センサ＞上述した
課題を解決するため、本発明に係る圧電センサは、ベー
ス部材と、圧電素子とを含む。前記ベース部材は、フレ
キシブルシートと、導体パターンとを含む。前記導体パ
ターンが前記フレキシブルシートの一面上に設けられて
いる。前記圧電素子は、前記フレキシブルシートの前記
一面に搭載され、前記導体パターンに固着されている。<Piezoelectric sensor> In order to solve the above-mentioned problems, a piezoelectric sensor according to the present invention includes a base member and a piezoelectric element. The base member includes a flexible sheet and a conductor pattern. The conductor pattern is provided on one surface of the flexible sheet. The piezoelectric element is mounted on the one surface of the flexible sheet, and is fixed to the conductor pattern.
【００１６】上述したように、ベース部材は、フレキシ
ブルシートと導体パターンとを含み、導体パターンがフ
レキシブルシートの一面上に設けられている。したがっ
て、非常に薄い圧電センサが得られる。従来は到底達成
できなかった１．０ｍｍ以下の厚みの圧電センサであっ
ても実現できる。As described above, the base member includes the flexible sheet and the conductor pattern, and the conductor pattern is provided on one surface of the flexible sheet. Therefore, a very thin piezoelectric sensor is obtained. It can be realized even with a piezoelectric sensor having a thickness of 1.0 mm or less, which could not be achieved conventionally.
【００１７】本発明において用いられるベース部材は、
適当な合成樹脂シートに対し、フォトリソグラフィ技術
の適用によって、導体パターンを形成することによって
得ることができる。このため、高精度で、信頼性が高
く、しかも、製造が容易で、量産性に優れたベース部
材、及び、圧電センサを得ることができる。The base member used in the present invention comprises:
It can be obtained by forming a conductor pattern on a suitable synthetic resin sheet by applying photolithography technology. For this reason, it is possible to obtain a base member and a piezoelectric sensor that are highly accurate, highly reliable, easy to manufacture, and excellent in mass productivity.
【００１８】圧電素子は、フレキシブルシートの一面に
搭載され、導体パターンに固着されている。フレキシブ
ルシートに圧電素子を固着するに当たって、フレキシブ
ルシートの開放された平面状の一面上において、導体パ
ターンと圧電素子との間に、導電性接着剤を供給するこ
とができる。このため、導電性接着剤を、圧電素子及び
導体パターンの限定された位置に、的確に供給すること
ができるようになる。The piezoelectric element is mounted on one surface of the flexible sheet and is fixed to the conductor pattern. In fixing the piezoelectric element to the flexible sheet, a conductive adhesive can be supplied between the conductor pattern and the piezoelectric element on one open flat surface of the flexible sheet. For this reason, the conductive adhesive can be accurately supplied to the limited positions of the piezoelectric element and the conductor pattern.
【００１９】しかも、ベース部材は、フレキシブルシー
トを含んでいるから、圧電素子をフレキシブルシートの
一面上に形成された導体パターンに固着する際、フレキ
シブルシートを曲げ、導電性接着剤を充填するのに適し
た空間を生じさせることができる。したがって、圧電素
子をベース部材の導体パターンに固着する際、導電性接
着剤を確実、かつ、容易に充填することができる。In addition, since the base member includes the flexible sheet, when the piezoelectric element is fixed to the conductor pattern formed on one surface of the flexible sheet, it is necessary to bend the flexible sheet and fill the conductive adhesive. A suitable space can be created. Therefore, when the piezoelectric element is fixed to the conductor pattern of the base member, the conductive adhesive can be reliably and easily filled.
【００２０】直交２軸方向からの衝撃を検知できるよう
に、圧電素子を、ある傾斜角度を有して搭載した構造で
あっても、鋭角側で、フレキシブルシートを曲げ、導電
性接着剤を充填するのに適した空間を生じさせることが
できる。したがって、このような圧電センサにおいて
も、導電性接着剤を確実、かつ、容易に供給することが
できる。Even if the piezoelectric element is mounted with a certain inclination angle so that the impact from two orthogonal directions can be detected, the flexible sheet is bent at the acute angle side and filled with a conductive adhesive. To create a space suitable for doing so. Therefore, even in such a piezoelectric sensor, the conductive adhesive can be supplied reliably and easily.
【００２１】＜ベース部材＞本発明に係るベース部材
は、フレキシブルシートと、導体パターンとを含む。前
記フレキシブルシートは、長尺状である。前記導体パタ
ーンは、複数であって、それぞれが、前記フレキシブル
シートの一面上において、長手方向に互いに間隔を隔て
て配列されている。<Base Member> The base member according to the present invention includes a flexible sheet and a conductor pattern. The flexible sheet has a long shape. There are a plurality of the conductor patterns, each of which is arranged on one surface of the flexible sheet at intervals in the longitudinal direction.
【００２２】このようなベース部材は、適当な合成樹脂
シートに対し、フォトリソグラフィ技術を適用すること
によって、導体パターンを形成することによって得るこ
とができる。このようにして得られたベース部材は、導
体パターンの精度及び信頼性が極めて高くなる。しか
も、製造が容易で、量産性にも優れている。Such a base member can be obtained by forming a conductor pattern by applying a photolithography technique to an appropriate synthetic resin sheet. The base member thus obtained has extremely high precision and reliability of the conductor pattern. Moreover, it is easy to manufacture and excellent in mass productivity.
【００２３】＜第１の態様に係る製造方法＞第１の態様
に係る製造方法では、前記圧電素子を、前記ベース部材
に対して、ある傾斜角度を付けて仮り止めする。次に、
前記仮り止め後、前記圧電素子と前記ベース部材とのな
す角度が鈍角である側において、前記ベース部材の前記
導体パターンと前記圧電素子の一面側の電極とを導通接
続し、前記圧電素子となす角度が鋭角である側におい
て、前記角度が増大する方向に前記ベース部材を湾曲さ
せ、前記ベース部材の前記導体パターンと前記圧電素子
の他面側の電極とを導通接続する。<Manufacturing Method According to First Aspect> In the manufacturing method according to the first aspect, the piezoelectric element is temporarily fixed to the base member at a certain inclination angle. next,
After the temporary fixing, on the side where the angle between the piezoelectric element and the base member is an obtuse angle, the conductive pattern of the base member and the electrode on one side of the piezoelectric element are conductively connected to form the piezoelectric element. On the side where the angle is acute, the base member is curved in a direction in which the angle increases, and the conductive pattern of the base member and the electrode on the other side of the piezoelectric element are electrically connected.
【００２４】この製造方法によれば、上述した利点を有
する本発明に係る圧電センサが得られることは明らかで
ある。According to this manufacturing method, it is clear that the piezoelectric sensor according to the present invention having the above-mentioned advantages can be obtained.
【００２５】圧電素子となす角度が鋭角である側では、
フレキシブルシートと圧電素子との間に生じる空間領域
が狭くなる。第１の態様に係る製造方法では、圧電素子
となす角度が鋭角である側において、前記角度が増大す
る方向にベース部材を湾曲させるので、前記空間領域を
拡大し、圧電素子を、ある傾斜角度を付けてベース部材
に搭載する際、導通接続を迅速、かつ、確実に実行でき
る。On the side where the angle between the piezoelectric element and the piezoelectric element is acute,
The space area created between the flexible sheet and the piezoelectric element is reduced. In the manufacturing method according to the first aspect, since the base member is curved in a direction in which the angle increases on the side where the angle between the piezoelectric element and the piezoelectric element is an acute angle, the spatial region is enlarged, and the piezoelectric element is tilted at a certain inclination angle. When mounted on the base member with a mark, conductive connection can be quickly and reliably performed.
【００２６】＜第２の態様に係る製造方法＞第２の態様
に係る製造方法では、本発明に係る長尺状のベース部材
を用いる。まず、ベース部材を、互いに間隔を隔てて配
置された第１のローラ及び第２のロ−ラに連接し、前記
第１及び第２のロ−ラを回転させて、前記ベース部材を
一方向に搬送する。<Production Method According to Second Aspect> In the production method according to the second aspect, the elongated base member according to the present invention is used. First, the base member is connected to a first roller and a second roller which are arranged at an interval from each other, and the first and second rollers are rotated to move the base member in one direction. Transport to
【００２７】第１のロ−ラ上において、前記フレキシブ
ルシートに対して、前記圧電素子を搭載すると共に、仮
止めする。第２のロ−ラ上において、前記圧電素子の両
面に設けられた電極と、前記ベース部材の前記導体パタ
ーンとを導通接続する。On the first roller, the piezoelectric element is mounted on the flexible sheet and temporarily fixed. On the second roller, the electrodes provided on both surfaces of the piezoelectric element are electrically connected to the conductor pattern of the base member.
【００２８】第２の態様に係る製造方法によれば、第１
のロ−ラから第２のロ−ラに向かう製造ラインが構成さ
れるから、この製造ライン上において、フレキシブルシ
ートに対する圧電素子の仮止め工程および導通接続工程
を、効率よく実行できる。According to the manufacturing method of the second aspect, the first
Thus, the temporary fixing step and the conductive connection step of the piezoelectric element to the flexible sheet can be efficiently performed on this production line.
【００２９】フレキシブルシートは、第１のロ−ラを通
過する際、ロ−ラの表面形状に合わせて自ら変形する。
その結果、第１のロ−ラ上では、フレキシブルシートは
圧電素子となす角度が増大する方向に折り曲げられた状
態にある。このため、仮止め工程を容易に実行すること
ができる。When the flexible sheet passes through the first roller, it deforms itself according to the surface shape of the roller.
As a result, on the first roller, the flexible sheet is in a state of being bent in a direction in which the angle between the flexible sheet and the piezoelectric element increases. Therefore, the temporary fixing step can be easily performed.
【００３０】フレキシブルシートは、第２のロ−ラを通
過する際、ロ−ラの表面形状に合わせて自ら変形する。
その結果、第２のロ−ラ上では、フレキシブルシートは
圧電素子となす角度が増大する方向に折り曲げられた状
態にある。このため、導通接続工程を容易に実行するこ
とができる。When the flexible sheet passes through the second roller, it deforms itself according to the surface shape of the roller.
As a result, on the second roller, the flexible sheet is bent in a direction in which the angle between the flexible sheet and the piezoelectric element increases. Therefore, the conductive connection step can be easily performed.
【００３１】本発明の目的、特徴および利点について
は、実施例である添付図面を参照して、更に詳しく説明
する。図面は、単に実施例を示すものに過ぎない。The objects, features and advantages of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings which are embodiments. The drawings are merely examples.
【００３２】[0032]
【発明の実施の形態】＜圧電センサ＞図１は本発明に係
る圧電センサの外観斜視図、図２は図１に示された圧電
センサにおいて蓋の一部を取り外した斜視図、図３は図
２に示したベース部材の斜視図、図４はの４−４線に沿
った断面図である。本発明に係る圧電センサは、ベース
部材１と、圧電素子２とを含んでいる。参照符号３は蓋
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <Piezoelectric Sensor> FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a piezoelectric sensor according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the piezoelectric sensor shown in FIG. FIG. 4 is a perspective view of the base member shown in FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 of FIG. The piezoelectric sensor according to the present invention includes a base member 1 and a piezoelectric element 2. Reference numeral 3 is a lid.
【００３３】ベース部材１は、フレキシブルシート１０
と、導体パターン１３、１４とを含む。導体パターン１
３、１４は、フレキシブルシート１０の一面上に設けら
れている。実施例では、フレキシブルシート１０は、耐
熱性、可撓性および電気絶縁性に富む材料、例えば、ポ
リイミド樹脂によって構成されている。フレキシブルシ
ート１０は５０〜１００μｍ程度の厚みを有する。ま
た、導体パターン１３は、素子取り付け部１３１と、端
部電極１３２と、リード導体１３０とを有し、導体パタ
ーン１４は、素子取り付け部１４１と、端部電極１４２
と、リード導体１４０とを有する。The base member 1 comprises a flexible sheet 10
And conductor patterns 13 and 14. Conductor pattern 1
3 and 14 are provided on one surface of the flexible sheet 10. In the embodiment, the flexible sheet 10 is made of a material having high heat resistance, flexibility and electrical insulation, for example, a polyimide resin. The flexible sheet 10 has a thickness of about 50 to 100 μm. The conductor pattern 13 has an element attachment portion 131, an end electrode 132, and a lead conductor 130, and the conductor pattern 14 has an element attachment portion 141, an end electrode 142
And a lead conductor 140.
【００３４】素子取り付け部１３１および素子取り付け
部１４１は、フレキシブルシート１０の長さ方向Ｌの中
間部において、幅方向Ｗに互いに間隔ｇを隔てて設けら
れている。端部電極１３２はフレキシブルシート１０の
長さ方向Ｌの一端側に設けられ、端部電極１４２は、長
さ方向Ｌの他端側に設けられている。素子取り付け部１
３１および端部電極１３２はリード導体１３０によって
接続され、素子取り付け部１４１および端部電極１４２
はリード導体１４０によって接続されている。The element mounting portion 131 and the element mounting portion 141 are provided at an intermediate portion in the length direction L of the flexible sheet 10 with a gap g therebetween in the width direction W. The end electrode 132 is provided at one end in the length direction L of the flexible sheet 10, and the end electrode 142 is provided at the other end in the length direction L. Element mounting part 1
31 and the end electrode 132 are connected by a lead conductor 130, and the element mounting portion 141 and the end electrode 142
Are connected by a lead conductor 140.
【００３５】フレキシブルシート１０の長さ方向Ｌの両
端にある端部電極１３２、１４２は、圧電センサを回路
基板またはその他の外部装置に取り付ける際の接続端子
として用いられる。The end electrodes 132 and 142 at both ends in the length direction L of the flexible sheet 10 are used as connection terminals when the piezoelectric sensor is mounted on a circuit board or other external device.
【００３６】圧電素子２は、フレキシブルシート１０の
一面に搭載され、導体パターン１３、１４に固着されて
いる。具体的には、圧電素子２は、素子接続部１３１お
よび素子接続部１４１の間に瞬間接着剤を用いて仮止め
され、両面の電極２１が素子取り付け部１３１、１４１
に導電性接着剤を用いて導通接続されている。The piezoelectric element 2 is mounted on one surface of the flexible sheet 10 and is fixed to the conductor patterns 13 and 14. Specifically, the piezoelectric element 2 is temporarily fixed using an instant adhesive between the element connection portion 131 and the element connection portion 141, and the electrodes 21 on both surfaces are connected to the element attachment portions 131 and 141.
Are electrically connected using a conductive adhesive.
【００３７】瞬間接着剤としては、光硬化型、プライマ
ー硬化型、湿気硬化型、加熱硬化型等があり、これらの
内、何れか１種を用いてもよいし、２種以上が組み合わ
された短時間硬化型の接着剤を用いてもよい。また実施
例では、導通接続には導電性接着剤が用いられるが、半
田を用いてもよい。As the instant adhesive, there are a light-curing type, a primer-curing type, a moisture-curing type, a heat-curing type and the like, and any one of these may be used or two or more types are combined. A short-curing adhesive may be used. In the embodiment, a conductive adhesive is used for the conductive connection, but solder may be used.
【００３８】実施例では、圧電素子２は、フレキシブル
シート１０の一面に対して、ある傾斜角度αを有して搭
載されている。傾斜角度αとしては、２５〜６５度程度
が望ましい。In the embodiment, the piezoelectric element 2 is mounted at a certain inclination angle α with respect to one surface of the flexible sheet 10. The inclination angle α is desirably about 25 to 65 degrees.
【００３９】圧電素子２の好ましい例は、バイモルフ圧
電素子である。図はバイモルフ圧電素子を示し、一対の
圧電素子２０、２０を有している。一対の圧電素子２
０、２０は、圧電素体の両面に電極２１、２２を有して
おり、一方の圧電素子２０の電極２２と他方の圧電素子
２０の電極２２とが互いに面接触するようにして、重ね
合わされ接合されている。一対の圧電素子２０、２０
は、温度変動によるノイズをキャンセルするため、分極
方向が互いに逆向きとなるように重ね合わされる。別の
例では、一対の圧電素子２０、２０は分極方向がほぼ同
一となるように重ねて結合されることもある。この場合
には、共通に接続された電極が例えばアースに接続され
る。共通に接続される電極間に、導電性を有する金属弾
性板で構成される振動板を介在させ、この振動板をアー
スに接続する構成もよくとられる。バイモルフ圧電素子
を用いた圧電センサは特開昭６４ー７２０１２号公報、
特開平２ー９３３７０号公報で公知である。A preferred example of the piezoelectric element 2 is a bimorph piezoelectric element. The figure shows a bimorph piezoelectric element, which has a pair of piezoelectric elements 20. A pair of piezoelectric elements 2
Nos. 0 and 20 have electrodes 21 and 22 on both surfaces of the piezoelectric element, and are overlapped so that the electrode 22 of one piezoelectric element 20 and the electrode 22 of the other piezoelectric element 20 are in surface contact with each other. Are joined. A pair of piezoelectric elements 20, 20
Are superimposed so that the polarization directions are opposite to each other in order to cancel noise due to temperature fluctuation. In another example, the pair of piezoelectric elements 20, 20 may be overlapped and coupled so that the polarization directions are substantially the same. In this case, the commonly connected electrodes are connected, for example, to ground. A configuration is often adopted in which a diaphragm made of a conductive metal elastic plate is interposed between commonly connected electrodes, and the diaphragm is connected to the ground. A piezoelectric sensor using a bimorph piezoelectric element is disclosed in JP-A-64-72012,
It is known from Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-93370.
【００４０】蓋３は、電気絶縁性セラミックまたはプラ
スチック等によって形成される。用い得るセラミック材
料としては、アルミナ、フォルステライト、ステアタイ
ト等がある。プラスチック材料を用いる場合は、高耐熱
性のものを用いることが望ましい。蓋３はフレキシブル
シート１０の一面側に圧電素子２を包囲するように配置
され、接触端面が接着その他の手段によって、フレキシ
ブルシート１０に接合される。接合面の周囲は樹脂封止
することが望ましい。The lid 3 is formed of an electrically insulating ceramic or plastic. Ceramic materials that can be used include alumina, forsterite, steatite and the like. When using a plastic material, it is desirable to use a high heat-resistant material. The lid 3 is disposed on one side of the flexible sheet 10 so as to surround the piezoelectric element 2, and the contact end face is joined to the flexible sheet 10 by bonding or other means. It is desirable to seal the periphery of the joining surface with resin.
【００４１】上述したように、ベース部材１は、フレキ
シブルシート１０と導体パターン（１３、１４）とを含
み、導体パターン（１３、１４）がフレキシブルシート
１０の一面上に設けられている。したがって、非常に薄
い圧電センサが得られる。従来は達成できなかった１．
０ｍｍ以下の厚みの圧電センサであっても実現できる。As described above, the base member 1 includes the flexible sheet 10 and the conductor patterns (13, 14), and the conductor patterns (13, 14) are provided on one surface of the flexible sheet 10. Therefore, a very thin piezoelectric sensor is obtained. Previously, this could not be achieved.
This can be realized even with a piezoelectric sensor having a thickness of 0 mm or less.
【００４２】本発明において用いられるベース部材１
は、ポリイミド樹脂等の合成樹脂でなるシートに対し、
フォトリソグラフィ技術の適用し、導体パターン（１
３、１４）を形成することによって得ることができる。
このため、高精度で、信頼性が高く、しかも、製造が容
易で、量産性に優れたベース部材１、及び、圧電センサ
を得ることができる。Base member 1 used in the present invention
Is for a sheet made of synthetic resin such as polyimide resin.
By applying photolithography technology, the conductor pattern (1
3, 14) can be obtained.
For this reason, it is possible to obtain the base member 1 and the piezoelectric sensor that are highly accurate, highly reliable, easy to manufacture, and excellent in mass productivity.
【００４３】圧電素子２は、フレキシブルシート１０の
一面に搭載され、導体パターン（１３、１４）に固着さ
れている。フレキシブルシート１０に圧電素子２を固着
するに当たって、フレキシブルシート１０の開放された
平面状の一面上において、導体パターン（１３、１４）
と圧電素子２との間に、導電性接着剤４１、４２を供給
することができる。このため、導電性接着剤４１、４２
を、圧電素子２及び導体パターン（１３、１４）の限定
された位置に、的確に供給することができるようにな
る。The piezoelectric element 2 is mounted on one surface of the flexible sheet 10 and is fixed to the conductor patterns (13, 14). In fixing the piezoelectric element 2 to the flexible sheet 10, the conductor patterns (13, 14) are formed on one open flat surface of the flexible sheet 10.
The conductive adhesives 41 and 42 can be supplied between the piezoelectric element 2 and the piezoelectric element 2. Therefore, the conductive adhesives 41, 42
Can be accurately supplied to limited positions of the piezoelectric element 2 and the conductor patterns (13, 14).
【００４４】しかも、ベース部材１は、フレキシブルシ
ート１０を含んでいるから、圧電素子２をフレキシブル
シート１０の一面上に形成された導体パターン（１３、
１４）に固着する際、フレキシブルシート１０を曲げ、
導電性接着剤４１、４２を充填するのに適した空間を生
じさせることができる。したがって、圧電素子２をベー
ス部材１の導体パターン４１、４２に固着する際、導電
性接着剤４１、４２を確実、かつ、容易に充填すること
ができる。Moreover, since the base member 1 includes the flexible sheet 10, the piezoelectric elements 2 are connected to the conductor patterns (13,
14) When fixing the flexible sheet 10,
A space suitable for filling the conductive adhesives 41 and 42 can be created. Therefore, when the piezoelectric element 2 is fixed to the conductor patterns 41, 42 of the base member 1, the conductive adhesives 41, 42 can be reliably and easily filled.
【００４５】実施例のように、直交２軸方向からの衝撃
を検知できるように、圧電素子２を、ある傾斜角度αを
有して搭載した構造であっても、鋭角側で、フレキシブ
ルシート１０を曲げ、導電性接着剤４１、４２を充填す
るのに適した空間を生じさせることができる。したがっ
て、導電性接着剤４１、４２を確実、かつ、容易に充填
することができる。As in the embodiment, even if the piezoelectric element 2 is mounted with a certain inclination angle α so that an impact from two orthogonal directions can be detected, the flexible sheet Can be bent to create a space suitable for filling the conductive adhesives 41 and 42. Therefore, the conductive adhesives 41 and 42 can be reliably and easily filled.
【００４６】＜ベース部材＞図５は本発明に係る圧電セ
ンサ用ベース部材を示す図である。本発明に係るベース
部材は、フレキシブルシート１０と、導体パターン（１
３、１４）とを含む。フレキシブルシート１０は、長尺
状である。導体パターン（１３、１４）は、複数組備え
られ、各組は、フレキシブルシート１０の一面上におい
て、長手方向に互いに間隔を隔てて配列されている。<Base Member> FIG. 5 is a view showing a base member for a piezoelectric sensor according to the present invention. The base member according to the present invention includes a flexible sheet 10 and a conductive pattern (1).
3, 14). The flexible sheet 10 has a long shape. A plurality of sets of the conductor patterns (13, 14) are provided, and each set is arranged on one surface of the flexible sheet 10 at intervals in the longitudinal direction.
【００４７】実施例では、フレキシブルシートは、耐熱
性、可撓性および電気絶縁性に富む材料、例えば、ポリ
イミド樹脂によって構成される。また、導体パターン
（１３、１４）は、１列に配列されているが、２列以上
であってもよい（図示しない）。In the embodiment, the flexible sheet is made of a material having high heat resistance, flexibility and electric insulation, for example, a polyimide resin. The conductor patterns (13, 14) are arranged in one row, but may be two or more rows (not shown).
【００４８】このようなベース部材は、合成樹脂シート
に対し、フォトリソグラフィ技術を適用し、導体パター
ン（１３、１４）を形成することによって得ることがで
きる。このようにして得られたベース部材は、導体パタ
ーン（１３、１４）の精度及び信頼性が極めて高くな
る。しかも、製造が容易で、量産性にも優れている。Such a base member can be obtained by applying a photolithography technique to a synthetic resin sheet to form conductive patterns (13, 14). The accuracy and reliability of the conductor patterns (13, 14) of the base member obtained in this manner are extremely high. Moreover, it is easy to manufacture and excellent in mass productivity.
【００４９】従来の圧電センサでは、ベース部材が複雑
な凹凸を有する立体構造体であった。このため、フォト
リソグラフィの技術を用いて一度に多数の導体パターン
を形成することができず、厚膜印刷、スパッタ、蒸着ま
たはこれらとメッキとの組み合わせ等の技術を用い、ベ
ース部材毎に導体パターンが形成されていた。このた
め、高精度および高精細なパターンを形成することがで
きず、信頼性の高いベース部材を得ることが難しかっ
た。しかも、導体パターンはベース部材毎に形成される
ため、品質にバラツキがあった。In the conventional piezoelectric sensor, the base member is a three-dimensional structure having complicated irregularities. For this reason, it is not possible to form a large number of conductor patterns at once using photolithography technology, and to use a technique such as thick film printing, sputtering, vapor deposition or a combination of these and plating, and to form conductor patterns for each base member. Was formed. For this reason, a high-precision and high-definition pattern cannot be formed, and it has been difficult to obtain a highly reliable base member. In addition, since the conductor pattern is formed for each base member, there is variation in quality.
【００５０】本発明に係るベース部材によれば、これら
の問題を解決できる。According to the base member of the present invention, these problems can be solved.
【００５１】＜第１の態様に係る製造方法＞図６は第１
の態様に係る圧電センサ製造方法を説明する図である。
図において、図１〜図４に表示された構成部分と同一の
構成部分には、同一の参照符号を付してある。<Manufacturing Method According to First Embodiment> FIG.
FIG. 7 is a diagram illustrating a method for manufacturing a piezoelectric sensor according to an embodiment.
In the drawings, the same components as those shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals.
【００５２】まず、図６（ａ）に示した工程では、圧電
素子２を、ベース部材１に対して、ある傾斜角度αを付
けて搭載すると共に、仮り止めする。仮止めには、前述
した瞬間接着剤４０を用いることができる。仮止めする
場合、圧電素子２を所定位置に位置決めした後に、瞬間
接着剤４０を供給するのが好ましい。これとは異なっ
て、瞬間接着剤４０を供給した直後に、圧電素子２を位
置決めしてもよい。First, in the step shown in FIG. 6A, the piezoelectric element 2 is mounted on the base member 1 at a certain inclination angle α and is temporarily fixed. The above-mentioned instant adhesive 40 can be used for the temporary fixing. In the case of temporary fixing, it is preferable to supply the instant adhesive 40 after positioning the piezoelectric element 2 at a predetermined position. Alternatively, the piezoelectric element 2 may be positioned immediately after the instant adhesive 40 is supplied.
【００５３】次に、図６（ｂ）に示した工程では、圧電
素子２となす角度が鋭角αである側において、角度が増
大する方向Ｆ１に、ベース部材１を湾曲させ、ベース部
材１の導体パターン１４と圧電素子２の他面側の電極２
１とを、導電接着剤４１を用いて導通接続する。圧電素
子２となす角度が鋭角αである側では、フレキシブルシ
ート１０と圧電素子２との間に生じる空間領域が狭くな
る。本発明では、圧電素子２となす角度が鋭角αである
側において、角度αが増大する方向Ｆ１にベース部材１
を湾曲させるので、前記空間領域を拡大し、圧電素子２
を、ある傾斜角度αを付けてベース部材１に搭載する
際、導通接続を迅速、かつ、確実に実行できる。Next, in the step shown in FIG. 6B, on the side where the angle between the piezoelectric element 2 and the piezoelectric element 2 is the acute angle α, the base member 1 is curved in the direction F1 in which the angle increases, and The conductor pattern 14 and the electrode 2 on the other side of the piezoelectric element 2
1 is electrically conductively connected using a conductive adhesive 41. On the side where the angle between the piezoelectric element 2 and the piezoelectric element 2 is the acute angle α, a space region generated between the flexible sheet 10 and the piezoelectric element 2 is narrowed. In the present invention, on the side where the angle formed by the piezoelectric element 2 is the acute angle α, the base member 1 is moved in the direction F1 in which the angle α increases.
Is curved, so that the space area is enlarged and the piezoelectric element 2
Is mounted on the base member 1 with a certain inclination angle α, the conductive connection can be quickly and reliably performed.
【００５４】次に、フレキシブルシート１０を、その弾
力性を利用して、もとの平坦な状態に戻した後、図６
（ｃ）に示すように、圧電素子２とベース部材１とのな
す角度が鈍角（π−α）である側に、導電性接着剤４２
を供給し、ベース部材１の導体パターン１４と圧電素子
２の一面側の電極２１とを導通接続する。Next, after returning the flexible sheet 10 to its original flat state by utilizing its elasticity, FIG.
As shown in (c), the conductive adhesive 42 is provided on the side where the angle between the piezoelectric element 2 and the base member 1 is an obtuse angle (π-α).
To electrically connect the conductive pattern 14 of the base member 1 to the electrode 21 on one side of the piezoelectric element 2.
【００５５】図６（ｂ）に示した工程および図６（ｃ）
に示した工程は、どちらが先に実行されてもよい。The process shown in FIG. 6B and the process shown in FIG.
May be performed first.
【００５６】図６に示した製造方法によれば、図１〜図
４に示された圧電センサが得られることは明らかであ
る。It is clear that the piezoelectric sensor shown in FIGS. 1 to 4 can be obtained by the manufacturing method shown in FIG.
【００５７】＜第２の態様に係る製造方法＞図７は第２
の態様に係る圧電センサ製造方法を説明する図である。
図において、図１〜図４に表示された構成部分と同一の
構成部分には、同一の参照符号を付してある。<Manufacturing Method According to Second Aspect> FIG.
FIG. 7 is a diagram illustrating a method for manufacturing a piezoelectric sensor according to an embodiment.
In the drawings, the same components as those shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals.
【００５８】第２の態様に係る製造方法では、図５に示
したベース部材１を用いる。このベース部材１を、互い
に間隔を隔てて配置された第１及び第２のロ−ラ６１、
６２に、順次に連接させる。そして、第１及び第２の２
つのロ−ラ６１、６２を同一方向ｃに回転させて、ベー
ス部材１を一方向ａに搬送する。In the manufacturing method according to the second embodiment, the base member 1 shown in FIG. 5 is used. This base member 1 is provided with first and second rollers 61 spaced from each other,
62 are sequentially connected. And the first and second 2
By rotating the two rollers 61 and 62 in the same direction c, the base member 1 is transported in one direction a.
【００５９】第１のロ−ラ６１上において、ベース部材
１に対して、圧電素子２をある傾斜角度αを付けて搭載
すると共に、仮止めする。次に、第２のロ−ラ６２上に
おいて、圧電素子２の両面に設けられた電極２１と、ベ
ース部材１の導体パターンとを導通接続する。On the first roller 61, the piezoelectric element 2 is mounted on the base member 1 with a certain inclination angle α, and is temporarily fixed. Next, on the second roller 62, the electrodes 21 provided on both surfaces of the piezoelectric element 2 and the conductor pattern of the base member 1 are electrically connected.
【００６０】図示実施例では、上記製造方法の実施に際
して、素子供給手段７１、瞬間接着剤供給手段７２、第
１の導電接着剤供給手段７３および第２の導電接着剤供
給手段７４を含む製造装置が用いられる。素子供給手段
７１および瞬間接着剤供給手段７２は、第１のロ−ラ６
１の近傍に備えられている。素子供給手段７１は、第１
のロ−ラ６１上のベース部材１に対して、圧電素子２を
ある傾斜角度αを付けて搭載する。瞬間接着剤供給手段
７２は、ベース部材１と圧電素子２との間に瞬間接着剤
４０を供給し、ベース部材１に対して圧電素子２を仮止
めする。In the illustrated embodiment, when the above-described manufacturing method is carried out, the manufacturing apparatus includes the element supply means 71, the instant adhesive supply means 72, the first conductive adhesive supply means 73, and the second conductive adhesive supply means 74. Is used. The element supply means 71 and the instant adhesive supply means 72 are provided with the first roller 6.
1 is provided. The element supply means 71 includes a first
The piezoelectric element 2 is mounted on the base member 1 on the roller 61 with a certain inclination angle α. The instant adhesive supply means 72 supplies the instant adhesive 40 between the base member 1 and the piezoelectric element 2, and temporarily fixes the piezoelectric element 2 to the base member 1.
【００６１】第１の導電接着剤供給手段７３および第２
の導電接着剤供給手段７４のそれぞれは、第２のロ−ラ
６２の近傍に備えられ、ベース部材１と圧電素子２との
間に導電性接着剤４１、４２を塗布し、両者を導通接続
する。The first conductive adhesive supply means 73 and the second
Each of the conductive adhesive supply means 74 is provided in the vicinity of the second roller 62, applies conductive adhesives 41 and 42 between the base member 1 and the piezoelectric element 2, and electrically connects the two. I do.
【００６２】上述した製造装置を用いて、本発明に係る
圧電センサを製造するには、まず、第１のロ−ラ６１上
において、素子供給手段７１により、ベース部材１に対
して、圧電素子２をある傾斜角度αを付けて供給する。In order to manufacture the piezoelectric sensor according to the present invention using the above-described manufacturing apparatus, first, the piezoelectric element is supplied to the base member 1 on the first roller 61 by the element supply means 71. 2 is supplied with a certain inclination angle α.
【００６３】次に、第１のロ−ラ６１上において、瞬間
接着剤供給手段７２により、圧電素子２とフレキシブル
シート１０との間に、瞬間接着剤４０を供給する。瞬間
接着剤４０は、鈍角側から供給する。瞬間接着剤４０が
固化するまでは、圧電素子２は素子供給手段７１によっ
て保持しておく。Next, on the first roller 61, the instant adhesive 40 is supplied between the piezoelectric element 2 and the flexible sheet 10 by the instant adhesive supply means 72. The instant adhesive 40 is supplied from the obtuse angle side. Until the instant adhesive 40 is solidified, the piezoelectric element 2 is held by the element supply means 71.
【００６４】ただし、素子供給工程と瞬間接着剤供給と
は、どちらが先に実行されてもよいし、同時に実行され
てもよい。However, either the element supply step or the instant adhesive supply may be performed first or may be performed simultaneously.
【００６５】次に、第２のロ−ラ６２上において、第１
の導電接着剤供給手段７３により、鋭角側から、ベース
部材１と圧電素子２との間に導電性接着剤４１を供給
し、両者を導通接続する。Next, on the second roller 62, the first roller
The conductive adhesive 41 is supplied between the base member 1 and the piezoelectric element 2 from the acute angle side by the conductive adhesive supply means 73 to electrically connect the two.
【００６６】次に、第２のロ−ラ６２上において、第２
の導電接着剤供給手段７４により、鈍角側から、ベース
部材１と圧電素子２との間に、導電性接着剤４２を供給
し、両者を導通接続する。Next, on the second roller 62, the second roller
The conductive adhesive supply means 74 supplies the conductive adhesive 42 between the base member 1 and the piezoelectric element 2 from the obtuse angle side to electrically connect the two.
【００６７】更に、実施例では、導通接続後、圧電素子
２を包囲するように蓋３を配置し、蓋３の下端面を、接
着その他の手段によって、ベース部材１に接合する。こ
れにより、圧電センサの帯が得られる。この後、ベース
部材１を、所定の間隔で切断することにより、最終製品
である圧電センサが得られる（図示しない）。Further, in the embodiment, after the conductive connection, the lid 3 is arranged so as to surround the piezoelectric element 2, and the lower end surface of the lid 3 is joined to the base member 1 by bonding or other means. Thereby, a band of the piezoelectric sensor is obtained. Thereafter, by cutting the base member 1 at a predetermined interval, a piezoelectric sensor as a final product is obtained (not shown).
【００６８】第２の態様に係る製造方法によれば、第１
のロ−ラ６１から第２のロ−ラ６２に向かう製造ライン
が構成されるから、この製造ライン上でベース部材１に
対する圧電素子２の仮止め工程および導通接続工程を、
効率よく実行することができる。According to the manufacturing method of the second aspect, the first
A production line from the roller 61 to the second roller 62 is formed, and the temporary fixing step and the conductive connection step of the piezoelectric element 2 to the base member 1 are performed on this production line.
It can be executed efficiently.
【００６９】ベース部材１は、第１のロ−ラ６１を通過
する際、ロ−ラ６１の表面形状に合わせて自ら変形する
から、第１のロ−ラ６１上では、ベース部材１は、圧電
素子２となす角度が増大する方向に湾曲された状態にあ
る。このため、仮止め工程を容易に実行することができ
る。When the base member 1 passes through the first roller 61, the base member 1 deforms itself according to the surface shape of the roller 61. It is in a state of being curved in a direction in which the angle formed with the piezoelectric element 2 increases. Therefore, the temporary fixing step can be easily performed.
【００７０】また、ベース部材１は、第２のロ−ラ６２
を通過する際、第２のロ−ラ６２の表面形状に合わせて
自ら変形する。その結果、第２のロ−ラ６２上では、ベ
ース部材１は、圧電素子２となす角度が増大する方向に
湾曲された状態にある。このため、導通接続工程を容易
に実行することができる。The base member 1 is provided with a second roller 62.
, It deforms itself according to the surface shape of the second roller 62. As a result, on the second roller 62, the base member 1 is in a state of being curved in a direction in which the angle between the base member 1 and the piezoelectric element 2 increases. Therefore, the conductive connection step can be easily performed.
【００７１】[0071]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）非常に薄い圧電センサを提供できる。 （ｂ）コストの安価な圧電センサを提供できる。 （ｃ）高精度で、信頼性の高い圧電センサを提供でき
る。 （ｄ）製造が容易で、量産性に優れたを提供できる。 （ｅ）上述した圧電センサを製造するのに適した方法、
および、この方法の実施に適したベース部材を提供でき
る。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (A) A very thin piezoelectric sensor can be provided. (B) An inexpensive piezoelectric sensor can be provided. (C) A highly accurate and highly reliable piezoelectric sensor can be provided. (D) It is easy to manufacture and can provide excellent mass productivity. (E) a method suitable for producing the piezoelectric sensor described above,
And a base member suitable for carrying out this method can be provided.
【図１】本発明に係る圧電センサの外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a piezoelectric sensor according to the present invention.
【図２】図１に示された圧電センサにおいて蓋の一部を
取り外した斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the piezoelectric sensor shown in FIG. 1 with a part of a lid removed.
【図３】図２に示したベース部材を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a base member shown in FIG. 2;
【図４】図１の４−４線に沿った断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 1;
【図５】本発明に係るベース部材を示す図である。FIG. 5 is a view showing a base member according to the present invention.
【図６】第１の態様に係る圧電センサ製造方法を説明す
る図である。FIG. 6 is a view for explaining the piezoelectric sensor manufacturing method according to the first embodiment.
【図７】第２の態様に係る圧電センサ製造方法を説明す
る図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a method for manufacturing a piezoelectric sensor according to a second embodiment.
１ ベース部材 １０ フレキシブルシート １３、１４ 導体パターン ２ 圧電素子 ４０ 瞬間接着剤 ４１、４２ 導電性接着剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base member 10 Flexible sheet 13, 14 Conductive pattern 2 Piezoelectric element 40 Instant adhesive 41, 42 Conductive adhesive
Claims (9)
ンサであって、 前記ベース部材は、フレキシブルシートと、導体パター
ンとを含み、前記導体パターンが前記フレキシブルシー
トの一面上に設けられており、 前記圧電素子は、前記フレキシブルシートの前記一面に
搭載され、前記導体パターンに固着されている圧電セン
サ。1. A piezoelectric sensor including a base member and a piezoelectric element, wherein the base member includes a flexible sheet and a conductor pattern, wherein the conductor pattern is provided on one surface of the flexible sheet. A piezoelectric sensor mounted on the one surface of the flexible sheet and fixed to the conductor pattern;
て、 前記圧電素子は、前記フレキシブルシートの前記一面に
対して、ある傾斜角度を有して搭載されている圧電セン
サ。2. The piezoelectric sensor according to claim 1, wherein the piezoelectric element is mounted at a certain inclination angle with respect to the one surface of the flexible sheet.
圧電センサであって、 前記フレキシブルシートは、ポリイミド樹脂でなる圧電
センサ。3. The piezoelectric sensor according to claim 1, wherein the flexible sheet is made of a polyimide resin.
を含む圧電センサ用ベース部材であって、 前記フレキシブルシートは、長尺状であり、 前記導体パターンは、複数であって、それぞれが、前記
フレキシブルシートの一面上において、長手方向に互い
に間隔を隔てて配列されているベース部材。4. A base member for a piezoelectric sensor including a flexible sheet and a conductor pattern, wherein the flexible sheet is elongated, and the plurality of conductor patterns are each provided with the flexible sheet. Base members arranged on one surface of the base member at intervals in the longitudinal direction.
て、 前記フレキシブルシートは、ポリイミド樹脂でなるベー
ス部材。5. The base member according to claim 4, wherein the flexible sheet is made of a polyimide resin.
て仮り止めし、前記ベース部材はフレキシブルシートと
導体パターンとを含み、前記導体パターンが前記フレキ
シブルシートの一面上に設けられており、 前記仮り止め後、前記圧電素子と前記ベース部材とのな
す角度が鈍角である側において、前記ベース部材の前記
導体パターンと前記圧電素子の一面側の電極とを導通接
続し、前記圧電素子と前記ベース部材とのなす角度が鋭
角である側において、前記角度が増大する方向に前記ベ
ース部材を湾曲させ、前記ベース部材の前記導体パター
ンと前記圧電素子の他面側の電極とを導通接続する工程
を含む圧電センサの製造方法。6. A method of manufacturing a piezoelectric sensor, comprising: temporarily fixing a piezoelectric element at a certain inclination angle with respect to a base member, wherein the base member includes a flexible sheet and a conductor pattern; A pattern is provided on one surface of the flexible sheet, and on the side where the angle between the piezoelectric element and the base member is an obtuse angle after the temporary fixing, the conductor pattern of the base member and one surface of the piezoelectric element. The electrode on the side is conductively connected, and on the side where the angle between the piezoelectric element and the base member is an acute angle, the base member is curved in a direction in which the angle increases, and the conductor pattern of the base member and the base member are bent. A method for manufacturing a piezoelectric sensor, comprising a step of electrically connecting an electrode on the other side of a piezoelectric element.
−ラ及び第２のローラに順次に連接させ、前記第１及び
第２のロ−ラを回転させて、前記ベース部材を一方向に
搬送し、前記ベース部材はフレキシブルシートと導体パ
ターンとを含み、前記フレキシブルシートは長尺状であ
り、前記導体パターンは前記フレキシブルシートの一面
上において長手方向に互いに間隔を隔てて配列されてお
り、 前記第１のロ−ラ上において、前記ベース部材の前記フ
レキシブルシートに対して、前記圧電素子を仮止めし、 前記第２のロ−ラ上において、前記圧電素子の両面に設
けられた電極と、前記ベース部材の前記導体パターンと
を導通接続する工程を含む圧電センサの製造方法。7. A method of manufacturing a piezoelectric sensor, comprising: connecting a base member to a first roller and a second roller which are spaced apart from each other in sequence, wherein the first and second base members are connected to each other. The roller is rotated to convey the base member in one direction, the base member includes a flexible sheet and a conductor pattern, the flexible sheet is elongated, and the conductor pattern is The piezoelectric element is temporarily fixed to the flexible sheet of the base member on the first roller, and the piezoelectric element is temporarily fixed on the first roller. -A method for manufacturing a piezoelectric sensor, comprising the step of electrically connecting electrodes provided on both surfaces of the piezoelectric element and the conductor pattern of the base member on the substrate.
製造方法であって、 前記仮止めには、瞬間接着剤を用いる圧電センサの製造
方法。8. The method for manufacturing a piezoelectric sensor according to claim 6, wherein the temporary fixing uses an instant adhesive.
造方法であって、 前記導通接続には、導電性接着剤を用いる圧電センサの
製造方法。9. The method according to claim 6, wherein a conductive adhesive is used for the conductive connection.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25291999A JP2001074768A (en) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | Piezoelectric sensor and its manufacture |
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|---|---|
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