JP2001059824A - Non-destructive x-ray inspection apparatus - Google Patents
Non-destructive x-ray inspection apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体デバイス
などの被検体（検査対象物）の内部を非破壊で検査する
ためのＸ線ＣＴ撮影（コンピュータ断層撮影）を行う非
破壊Ｘ線検査装置に係り、特に撮影対象の被検体に照射
するＸ線の強度調整を正確に行えるようにするための技
術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-destructive X-ray inspection apparatus for performing X-ray CT (computer tomography) for non-destructively inspecting the inside of an object (test object) such as a semiconductor device. In particular, the present invention relates to a technique for accurately adjusting the intensity of X-rays applied to a subject to be imaged.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１２は従来の非破壊Ｘ線検査装置（以
下、適宜「Ｘ線検査装置」と略記）の要部構成を示すブ
ロック図である。図１２のＸ線検査装置では、Ｘ線照射
用のＸ線管５１とＸ線検出用のイメージインテンシファ
イア（Ｉ・Ｉ管）５２とが被検体Ｍを挟んで対向配置さ
れているＸ線撮像部５３と、Ｘ線管５１から照射される
Ｘ線が被検体Ｍの周囲から周方向に沿って照射されてゆ
くように被検体Ｍを回転させる回転駆動部５４とを備え
ており、被検体Ｍは回転駆動部５４により回転されられ
るとともに、Ｘ線管５１により被検体ＭにＸ線が照射さ
れるのに伴ってＩ・Ｉ管５２の後部に一体的に取り付け
られたＴＶカメラ（ＣＣＤカメラ）５２ａからＸ線検出
データとして映像信号が出力される構成となっている。
また、従来のＸ線検査装置の場合、ＴＶカメラ５２ａの
後段に設けられた制御・処理用のコンピュータ（ＣＰ
Ｕ）５５において映像信号に基づきＣＴ画像（Ｘ線コン
ピュータ断層画像）作成用の再構成処理が行われた後、
最終的に作成されるＣＴ画像が表示モニタ５６の画面に
映し出されるよう構成されている。2. Description of the Related Art FIG. 12 is a block diagram showing a main part of a conventional non-destructive X-ray inspection apparatus (hereinafter, abbreviated as "X-ray inspection apparatus" as appropriate). In the X-ray inspection apparatus in FIG. 12, an X-ray tube 51 for X-ray irradiation and an image intensifier (II tube) 52 for X-ray detection are arranged so as to face each other across the subject M. The imaging device includes an imaging unit 53 and a rotation driving unit 54 that rotates the subject M so that X-rays emitted from the X-ray tube 51 are emitted from the periphery of the subject M in a circumferential direction. The sample M is rotated by the rotation drive unit 54, and the X-ray tube 51 irradiates the subject M with X-rays. The camera 52a outputs a video signal as X-ray detection data.
In the case of a conventional X-ray inspection apparatus, a control / processing computer (CP) provided after the TV camera 52a is provided.
U) After performing reconstruction processing for creating a CT image (X-ray computed tomographic image) based on the video signal in 55,
The CT image finally created is displayed on the screen of the display monitor 56.
【０００３】ただ、表示モニタ５６の画面に映し出され
る断層画像が適正画像であるためには、映像信号の信号
強度が適切な範囲になければならない。そして、映像信
号の信号強度はＸ線の強度に比例するので、Ｘ線ＣＴ撮
影を行う前に被検体に照射するＸ線の強度を予め調整し
て、映像信号の信号強度が適切な範囲となるようにする
必要がある。従来のＸ線検査装置では、Ｘ線の強度を調
整する場合は次のようにして行われている。すなわち、
被検体Ｍの回転を停止させた状態でＸ線を照射して透視
画像を得るいわゆるＸ線透視撮影を行いながら、ＣＴ画
像作成対象のスライス断面と対応する走査ラインや、Ｘ
線が被検体Ｍを通らずに直にＩ・Ｉ管５２に到達する走
査ラインの映像信号の信号強度が、図１２に示すよう
に、表示モニタ５６とは別のオシロスコープ５７の画面
に信号強度プロファイルのかたちで映し出されるように
しておいて、信号強度プロファイルを観察しながら信号
強度が適切な範囲となるようＸ線管５１の管電圧や管電
流を変えてＸ線の強度調整をしているのである。However, in order for the tomographic image projected on the screen of the display monitor 56 to be a proper image, the signal strength of the video signal must be within an appropriate range. Since the signal intensity of the video signal is proportional to the intensity of the X-ray, the intensity of the X-ray radiated to the subject is adjusted in advance before performing the X-ray CT imaging, so that the signal intensity of the video signal falls within an appropriate range. It needs to be. In a conventional X-ray inspection apparatus, adjustment of X-ray intensity is performed as follows. That is,
While performing the so-called X-ray fluoroscopy in which X-rays are irradiated to obtain a fluoroscopic image while the rotation of the subject M is stopped, a scan line corresponding to a slice section of a CT image creation target,
As shown in FIG. 12, the signal strength of the video signal of the scanning line where the line directly reaches the I / I tube 52 without passing through the subject M is displayed on the screen of an oscilloscope 57 separate from the display monitor 56. The X-ray intensity is adjusted by changing the tube voltage and the tube current of the X-ray tube 51 so that the signal intensity is in an appropriate range while observing the signal intensity profile while being projected in the form of a profile. It is.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＸ線検査装置の場合、Ｘ線の強度調整を正確には行
えないという問題がある。すなわち従来装置では、オシ
ロスコープ５７の画面にＴＶカメラ５２ａから出力され
た映像信号の全体（具体的には、１フレームを構成する
走査ライン群の映像信号）の信号強度プロファイルを映
し出し、その信号強度が適切な範囲になるようにＸ線の
強度を調整している。つまり、映像信号の平均的なレベ
ルが適切な範囲になるように調整しているだけであるの
で、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインの映
像信号が必ずしも適正な範囲に入っていないこともあ
り、断層画像の画質を低下させる要因になっている。However, in the case of the above-mentioned conventional X-ray inspection apparatus, there is a problem that X-ray intensity adjustment cannot be performed accurately. That is, in the conventional device, the signal intensity profile of the entire video signal output from the TV camera 52a (specifically, the video signal of the scanning line group forming one frame) is displayed on the screen of the oscilloscope 57, and the signal intensity is displayed. The X-ray intensity is adjusted to be in an appropriate range. That is, since the average level of the video signal is merely adjusted to be in an appropriate range, the video signal of the scan line corresponding to the slice cross section of the tomographic image may not necessarily be in the appropriate range. This is a factor that lowers the image quality of the tomographic image.
【０００５】この発明は、上記の事情に鑑み、Ｘ線ＣＴ
撮影の実行に先立って行うＸ線の強度調整を正確に行う
ことができる非破壊Ｘ線検査装置を提供することを課題
とする。[0005] In view of the above circumstances, the present invention provides an X-ray CT.
It is an object of the present invention to provide a non-destructive X-ray inspection apparatus capable of accurately performing X-ray intensity adjustment performed prior to execution of imaging.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、請求項１の発明の非破壊Ｘ線検査装置は、Ｘ線管と
２次元Ｘ線検出器とが被検体を挟んで対向配置されてい
るＸ線撮像手段と、被検体の周囲からＸ線が照射されて
ゆくように被検体とＸ線撮像手段とを相対的に回転させ
る回転駆動手段と、Ｘ線管によるＸ線照射に伴って２次
元Ｘ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき断
層画像を再構成するよう構成された非破壊Ｘ線検査装置
において、被検体とＸ線撮像手段との間の相対的な回転
を止めた状態でＸ線を照射するのに伴ってＸ線検出器か
ら出力されるＸ線検出データに基づき得られる透視画像
を記憶する透視画像記憶手段と、前記透視画像における
走査ラインのうち、断層画像のスライス断面に対応する
走査ラインを注目走査ラインとして含むようにして予め
設定された注目走査ラインの画像信号を透視画像記憶手
段から読み出すとともに、注目走査ラインの画像信号の
信号強度をプロファイルのかたちで表示モニタに表示す
る画像信号強度表示手段とを備えている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a non-destructive X-ray inspection apparatus in which an X-ray tube and a two-dimensional X-ray detector are opposed to each other across a subject. X-ray imaging means, rotation driving means for relatively rotating the subject and the X-ray imaging means so that X-rays are radiated from the periphery of the subject, and X-ray irradiation by the X-ray tube In a non-destructive X-ray inspection apparatus configured to reconstruct a tomographic image based on X-ray detection data output from a two-dimensional X-ray detector, relative rotation between a subject and X-ray imaging means is performed. A fluoroscopic image storage unit that stores a fluoroscopic image obtained based on X-ray detection data output from an X-ray detector in conjunction with irradiating X-rays in a state where the scanning line is stopped, Focus on scanning line corresponding to slice cross section of tomographic image Image signal intensity display means for reading out the image signal of the target scan line set in advance so as to be included as a line from the perspective image storage means, and displaying the signal intensity of the image signal of the target scan line on the display monitor in the form of a profile. ing.
【０００７】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
の非破壊Ｘ線検査装置において、注目走査ラインの画像
信号の信号強度の適正範囲を示す適正強度範囲指示用マ
ークを表示モニタに重畳表示する適正強度範囲表示手段
を備えている。According to a second aspect of the present invention, in the nondestructive X-ray inspection apparatus according to the first aspect, a mark for indicating an appropriate intensity range indicating a proper range of the signal intensity of the image signal of the scan line of interest is displayed on the display monitor. An appropriate intensity range display means for superimposed display is provided.
【０００８】また、請求項３の発明は、請求項１または
２に記載の非破壊Ｘ線検査装置において、透視画像記憶
手段から読み出された注目走査ラインの画像信号の信号
強度に基づいて、画像信号の信号強度が適正範囲に納ま
るよう被検体に照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度
調整手段を備えている。According to a third aspect of the present invention, in the non-destructive X-ray inspection apparatus according to the first or second aspect, based on the signal intensity of the image signal of the target scanning line read from the fluoroscopic image storage means, An X-ray intensity adjusting means is provided for adjusting the intensity of X-rays applied to the subject so that the signal intensity of the image signal falls within an appropriate range.
【０００９】また、請求項４の発明は、請求項１から３
のいずれかに記載の非破壊Ｘ線検査装置において、１回
の断層撮影で得られる複数の断層画像に対応する複数個
のスライス断面を予め設定するスライス断面設定手段
と、スライス断面設定手段により設定された各スライス
断面に対応する透視画像での走査ラインを全て注目走査
ラインとして予め設定する注目ライン設定手段を備えて
いるとともに、画像信号強度表示手段が、各注目走査ラ
インの画像信号の信号強度プロファイルを表示モニタに
重畳表示する構成となっている。Further, the invention of claim 4 is the invention according to claims 1 to 3
In the non-destructive X-ray inspection apparatus according to any one of the above, a plurality of slice sections corresponding to a plurality of tomographic images obtained by one tomography are set in advance, and the slice section setting section sets the plurality of slice sections. A target line setting unit that presets all scan lines in the perspective image corresponding to each slice section as target scan lines, and an image signal intensity display unit that outputs a signal intensity of an image signal of each target scan line. The profile is superimposed on the display monitor.
【００１０】〔作用〕次に、この発明のＸ線検査装置に
おいてＸ線ＣＴ撮影の前にＸ線の強度調整を行う際の作
用を説明する。この発明のＸ線検査装置では、Ｘ線ＣＴ
撮影の前にＸ線の強度調整を行う場合、被検体およびＸ
線撮像手段の間の相対的な回転を止めた状態でＸ線管か
らＸ線を照射するとともに、Ｘ線照射に伴って２次元Ｘ
線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき得られ
る透視画像を透視画像記憶手段に記憶する。つまり、Ｘ
線ＣＴ撮影に先立って被検体およびＸ線撮像手段が静止
した状態で先ずＸ線透視撮影を行うのである。そして、
透視画像記憶手段への透視画像の記憶が済むと、画像信
号強度表示手段によって、透視画像の走査ラインをう
ち、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインを注
目走査ラインとして含むようにして予め設定された注目
走査ラインの画像信号が透視画像記憶手段から読み出さ
れるとともに、読み出された注目走査ラインの画像信号
の信号強度がプロファイルのかたちで表示モニタに直ち
に表示される。[Operation] Next, the operation of the X-ray inspection apparatus of the present invention when adjusting the intensity of X-rays before X-ray CT imaging will be described. In the X-ray inspection apparatus of the present invention, the X-ray CT
When performing X-ray intensity adjustment before imaging,
X-rays are emitted from the X-ray tube while the relative rotation between the X-ray imaging means is stopped, and two-dimensional X-rays are emitted with the X-rays.
A perspective image obtained based on the X-ray detection data output from the line detector is stored in a perspective image storage unit. That is, X
Prior to X-ray CT imaging, X-ray fluoroscopy is first performed with the subject and the X-ray imaging means stationary. And
When the storage of the perspective image in the perspective image storage unit is completed, the image signal intensity display unit presets the scan line of the perspective image to include the scan line corresponding to the slice section of the tomographic image as the target scan line. The image signal of the target scanning line is read from the fluoroscopic image storage means, and the signal strength of the read image signal of the target scanning line is immediately displayed on the display monitor in the form of a profile.
【００１１】一方、オペレータ（検査員）は、表示モニ
タの画面の信号強度プロファイルを見ながら、Ｘ線管の
管電圧や管電流を変えてＸ線の強度調整を行う。Ｘ線管
の管電圧や管電流の変化に伴って撮影・記憶される透視
画像も変化し信号強度プロファイルの状態が調整状況に
応じて変化するので、表示モニタの画面の信号強度プロ
ファイルがちょうど適切な状態となったところでＸ線の
強度調整操作が完了することになる。このように、この
発明のＸ線検査装置においては、スライス断面に対応す
る走査ライン（注目走査ライン）の画像信号の信号強度
プロファイルが表示モニタの画面に自動的に表示される
ので、Ｘ線の強度調整を正確に行うことができる。On the other hand, the operator (inspector) adjusts the X-ray intensity by changing the tube voltage and tube current of the X-ray tube while watching the signal intensity profile on the screen of the display monitor. The X-ray tube's tube voltage and tube current change, the fluoroscopic image taken and stored also changes, and the state of the signal intensity profile changes according to the adjustment situation, so the signal intensity profile on the screen of the display monitor is just appropriate At this point, the X-ray intensity adjustment operation is completed. As described above, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the signal intensity profile of the image signal of the scanning line (scanning line of interest) corresponding to the slice cross section is automatically displayed on the screen of the display monitor, so that the X-ray Strength adjustment can be performed accurately.
【００１２】また、請求項２の発明のＸ線検査装置の場
合、オペレータは、適正強度範囲表示手段で表示モニタ
に重畳表示された適正強度範囲指示用マークによって示
される信号強度の適正範囲の中に信号強度プロファイル
が納まるように、Ｘ線管の管電圧や管電流を変える。つ
まり、表示モニタの画面の適正強度範囲指示用マークが
調整の目安となるので、Ｘ線の強度調整は一層正確にな
る。Further, in the case of the X-ray inspection apparatus according to the second aspect of the present invention, the operator can adjust the signal intensity within the appropriate range indicated by the appropriate intensity range indication mark superimposed on the display monitor by the appropriate intensity range display means. The tube voltage and tube current of the X-ray tube are changed so that the signal intensity profile falls within the range. In other words, the mark for indicating the appropriate intensity range on the screen of the display monitor serves as a guide for the adjustment, so that the X-ray intensity adjustment becomes more accurate.
【００１３】また、請求項３の発明のＸ線検査装置の場
合、オペレータの代わりにＸ線強度調整手段が注目走査
ラインの画像信号の信号強度に基づき、画像信号の信号
強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ線管の
管電圧や管電流を変えてＸ線の強度を調整する。つま
り、Ｘ線の強度調整が自動的に行われるので、オペレー
タは殆ど操作をせずに表示モニタの画面の信号強度プロ
ファイルの状態を監視する程度のことで事足りる。Further, in the case of the X-ray inspection apparatus according to the third aspect of the present invention, the X-ray intensity adjusting means, instead of the operator, sets the signal intensity of the image signal within an appropriate range based on the signal intensity of the image signal of the scan line of interest. The X-ray intensity is adjusted by changing the tube voltage and tube current of the X-ray tube that irradiates the subject. That is, since the X-ray intensity adjustment is automatically performed, it is sufficient for the operator to monitor the state of the signal intensity profile on the screen of the display monitor with almost no operation.
【００１４】また、請求項４の発明のＸ線検査装置の場
合、スライス断面設定手段により、１回の断層撮影で得
られる複数の断層画像に対応する複数個のスライス断面
が予め設定されるのに伴って、注目ライン設定手段によ
り各スライス断面に対応する透視画像での走査ラインが
全て注目走査ラインとして予め設定される。そして、Ｘ
線透視撮影が実行されるのに伴って、画像信号強度表示
手段により、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プ
ロファイルが表示モニタに重畳表示される。オペレータ
は、表示モニタの画面の各信号強度プロファイルを見な
がら、表示モニタの画面の全信号強度プロファイルが適
切な状態となるようにＸ線管の管電圧や管電流を変えて
Ｘ線の強度調整を行う。１回のＣＴ撮影で複数の断層画
像を得る場合であっても、全スライス断面の信号強度プ
ロファイルが表示モニタの画面に重畳表示されることか
ら、全ての断層画像について適正にＸ線強度を調整する
ことができる。Further, in the case of the X-ray inspection apparatus according to the fourth aspect of the present invention, a plurality of slice sections corresponding to a plurality of tomographic images obtained by one tomography are preset by the slice section setting means. Accordingly, all the scanning lines in the fluoroscopic image corresponding to each slice section are preset as the scanning line of interest by the line of interest setting means. And X
As the fluoroscopy is performed, the signal intensity profile of the image signal of each scan line of interest is superimposed and displayed on the display monitor by the image signal intensity display means. The operator adjusts the X-ray intensity by changing the tube voltage and tube current of the X-ray tube so that all the signal intensity profiles on the display monitor screen are in an appropriate state while watching each signal intensity profile on the display monitor screen. I do. Even when a plurality of tomographic images are obtained by one CT scan, the X-ray intensity is appropriately adjusted for all tomographic images because the signal intensity profiles of all slice sections are superimposed on the display monitor screen. can do.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】続いて、この発明の一実施例を図
面を参照しながら説明する。図１は第１実施例に係る非
破壊Ｘ線検査装置の全体構成を示すブロック図である。
第１実施例のＸ線検査装置は、図１に示すように、Ｘ線
照射用のＸ線管１とＸ線検出用の２次元Ｘ線検出器（面
状Ｘ線検出器）であるイメージインテンシファイア（Ｉ
・Ｉ管）２とが被検体Ｍを挟んで対向配置となるように
して固定的に設置されているＸ線撮像部３と、被検体Ｍ
の周囲から周方向に沿ってＸ線が照射されてゆくように
被検体Ｍを回転させる回転駆動部４と、Ｘ線管１による
Ｘ線照射に伴ってＩ・Ｉ管２の後部に一体的に取り付け
られたＴＶカメラ（ＣＣＤカメラ）２ａからＸ線検出デ
ータとして映像信号が出力される構成となっている。さ
らに、第１実施例装置の場合、ＴＶカメラ２ａの後段に
設けられた制御・処理用のコンピュータ（ＣＰＵ）５に
おいて、増幅器６およびＡＤ変換器７を経てディジタル
化された映像信号に基づきＣＴ画像（コンピュータ断層
画像）作成用の再構成処理が行われた後、最終的に作成
されるＣＴ画像が表示モニタ８の画面に映し出されるよ
う構成されている。以下、第１実施例装置の各部の構成
を具体的に説明する。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the entire configuration of the nondestructive X-ray inspection apparatus according to the first embodiment.
As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus of the first embodiment is an X-ray tube 1 for X-ray irradiation and a two-dimensional X-ray detector (plane X-ray detector) for X-ray detection. Intensifier (I
An X-ray imaging unit 3 fixedly arranged so that the I tube 2 is opposed to the subject M across the subject M;
And a rotation drive unit 4 for rotating the subject M so that X-rays are radiated from the periphery of the I-I tube 2 along with the X-ray irradiation by the X-ray tube 1. A video signal is output as X-ray detection data from a TV camera (CCD camera) 2a attached to the camera. Further, in the case of the device of the first embodiment, a control / processing computer (CPU) 5 provided at the subsequent stage of the TV camera 2a outputs a CT image based on a video signal digitized via an amplifier 6 and an AD converter 7. After the reconstruction processing for (computer tomographic image) creation is performed, the CT image finally created is displayed on the screen of the display monitor 8. Hereinafter, the configuration of each part of the first embodiment will be specifically described.
【００１６】Ｘ線管１は、焦点５μｍ程度のマイクロフ
ォーカス式のＸ線管であって、高電圧発生器などを含む
照射制御部９のコントロールにより、管電圧・管電流等
の設定照射条件に応じたコーン状のＸ線を被検体Ｍに照
射する構成となっている。また、回転駆動部４は、撮影
対象の被検体Ｍが載せられる載置テーブル４ａと、載置
テーブル４ａの中心を通る垂直軸４ｂを回転軸として載
置テーブル４ａを回転させる電動モータ４ｃとを備え、
回転制御部１０のコントロールにより電動モータ４ｃが
回転して載置テーブル４ａが回転するのに伴い載置テー
ブル４ａの上の被検体Ｍが回転することにより、Ｘ線が
被検体Ｍの周囲から周方向に沿って順に照射されてゆく
構成となっている。なお、実施例の場合、被検体Ｍは、
図１に示すように、中央に貫通孔Ｍａを有する円筒体で
あるとする。なお、照射制御部９や回転制御部１０によ
るコントロールは、いずれも、操作卓１１などからの入
力操作等に伴ってコンピュータ５から適時に送出される
指令信号に従って行われる。The X-ray tube 1 is a micro-focus type X-ray tube with a focus of about 5 μm, and is controlled by a radiation control unit 9 including a high-voltage generator to set irradiation conditions such as a tube voltage and a tube current. The subject M is irradiated with the corresponding cone-shaped X-rays. The rotation drive unit 4 includes a mounting table 4a on which the subject M to be imaged is mounted, and an electric motor 4c that rotates the mounting table 4a around a vertical axis 4b passing through the center of the mounting table 4a. Prepared,
When the electric motor 4c rotates under the control of the rotation control unit 10 and the mounting table 4a rotates, the subject M on the mounting table 4a rotates. Irradiation is performed sequentially along the direction. In the case of the embodiment, the subject M is
As shown in FIG. 1, it is assumed that the cylindrical body has a through hole Ma at the center. The control by the irradiation control unit 9 and the rotation control unit 10 is performed in accordance with a command signal transmitted from the computer 5 in a timely manner in response to an input operation from the console 11 or the like.
【００１７】一方、第１実施例のＸ線検査装置は、装置
全体の稼働を司る制御プログラムを記憶するプログラム
メモリ１２の他に、被検体Ｍの回転を止めて被検体Ｍお
よびＸ線撮像部３の両方が停止した状態でＸ線を照射す
るのに伴ってＴＶカメラ２ａから出力される映像信号に
基づき得られる透視画像を記憶するフレームメモリタイ
プの透視画像メモリ１３を備えている。すなわち、透視
画像メモリ１３には、図２に示すような被検体Ｍの透視
画像ＰＡの画像信号が記憶されるのである。また第１実
施例の装置では、１秒毎に透視画像メモリ１３の記憶内
容（透視画像）が更新される構成となっている。On the other hand, in the X-ray inspection apparatus of the first embodiment, in addition to a program memory 12 for storing a control program for controlling the operation of the entire apparatus, the rotation of the subject M is stopped so that the subject M and the X-ray imaging unit are stopped. 3 is provided with a perspective image memory 13 of a frame memory type for storing a perspective image obtained based on a video signal output from the TV camera 2a as a result of irradiating X-rays with both of them stopped. That is, the image signal of the fluoroscopic image PA of the subject M as shown in FIG. 2 is stored in the fluoroscopic image memory 13. Further, in the apparatus of the first embodiment, the storage contents (perspective image) of the perspective image memory 13 are updated every second.
【００１８】そして、第１実施例のＸ線検査装置におい
て一つの特徴的な構成として、図２に示すように、透視
画像ＰＡを構成する走査ライン群のうち、ＣＴ画像作成
対象のスライス断面と対応する中央走査ラインＬａと、
被検体Ｍの上端より上方でＸ線が被検体Ｍによる吸収を
受けずに直にＩ・Ｉ管２に入射する位置に対応する上方
走査ラインＬｂと、被検体Ｍの下端より下方でＸ線が被
検体Ｍによる吸収を受けずに直にＩ・Ｉ管２に入射する
受けない位置に対応する下方走査ラインＬｃとが、Ｘ線
の強度調整に必要な注目走査ラインとして予め設定され
た３本の各注目走査ラインの画像信号を透視画像メモリ
１３から読み出すとともに、読み出した各注目走査ライ
ンの画像信号の信号強度を、図３に示すように、プロフ
ァイルのかたちで表示モニタ８の画面に重畳表示する画
像信号強度表示手段を備えている。なお、一見すると、
Ｘ線が被検体Ｍを外れる位置の走査ラインは考慮する必
要がないようとも思われるのであるが、ＣＴ画像作成用
の画像再構成の処理ではＸ線の吸収率を算出する際に吸
収度０の信号強度も普通使われるので、Ｘ線が被検体Ｍ
を外れる位置に対応する走査ラインも考慮に入れるので
ある。As one characteristic configuration of the X-ray inspection apparatus of the first embodiment, as shown in FIG. 2, of the scanning line group constituting the fluoroscopic image PA, the slice cross section for CT image creation is A corresponding central scanning line La;
An upper scanning line Lb corresponding to a position where X-rays directly enter the I / I tube 2 above the upper end of the subject M without being absorbed by the subject M, and X-rays below the lower end of the subject M The lower scanning line Lc corresponding to the position where the light does not directly enter the I / I tube 2 without being absorbed by the subject M and the lower scanning line Lc corresponding to the position which is not required for the X-ray intensity adjustment are set in advance 3 The image signal of each target scan line of the book is read from the perspective image memory 13 and the signal strength of the read image signal of each target scan line is superimposed on the screen of the display monitor 8 in the form of a profile as shown in FIG. An image signal strength display means for displaying is provided. At first glance,
Although it seems that there is no need to consider the scan line at the position where the X-ray deviates from the subject M, in the process of image reconstruction for CT image creation, when calculating the X-ray absorptance, the absorbance 0 is used. X-rays are used in the subject M
The scan line corresponding to the position deviating from is also taken into account.
【００１９】ＣＴ画像作成対象のスライス断面は、図１
に示すように、画像再構成処理方式に従って、照射Ｘ線
の中心Ｘａを通る水平断面ＭＡになり、これに対応する
中央走査ラインＬａは透視画像ＰＡの真ん中を左右に走
るラインとなる。また、上方・下方の両走査ラインＬ
ｂ，Ｌｃの位置は被検体Ｍの大きさに応じて決まる。各
注目走査ラインの設定は、垂直方向のアドレスを指定す
ることにより行われる。指定された垂直方向のアドレス
をもつ画像信号が各注目走査ラインの画像信号として透
視画像メモリ１３から読み出されることになる。各注目
走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルＰａ〜Ｐ
ｃは、勿論、横軸（左右）方向が各走査ラインのメモリ
の水平方向アドレスに対応し、縦軸（上下）方向が対応
する水平方向アドレスの画像信号の強度に対応している
ことになる。FIG. 1 shows a slice section of a CT image to be created.
As shown in Fig. 7, according to the image reconstruction processing method, the horizontal cross section MA passes through the center Xa of the irradiation X-ray, and the corresponding central scanning line La is a line running left and right in the middle of the perspective image PA. Also, both upper and lower scanning lines L
The positions of b and Lc are determined according to the size of the subject M. The setting of each target scan line is performed by designating a vertical address. An image signal having the designated vertical address is read from the perspective image memory 13 as an image signal of each target scan line. Signal intensity profiles Pa to P of image signals of each scan line of interest
For c, of course, the horizontal axis (left / right) direction corresponds to the horizontal address of the memory of each scanning line, and the vertical axis (vertical) direction corresponds to the intensity of the image signal at the corresponding horizontal address. .
【００２０】さらに、第１実施例のＸ線検査装置におい
て、もう一つの特徴的な構成として、図３に示すよう
に、各注目走査ラインの画像信号の信号強度の適正範囲
を示す上下限界レベルライン（適正強度範囲指示用マー
ク）ＬＡ，ＬＢを表示モニタ８に重畳表示する適正強度
範囲表示手段を備えている。勿論、上限界レベルライン
ＬＡと下限界レベルラインＬＢの間が信号強度の適正範
囲ということになる。ここでは、表示モニタ８の縦軸が
０〜１０２３段階の信号強度の有効範囲（画像再構成可
能な信号強度の範囲）に一致しており、上限界レベルラ
インＬＡは最大１０２３段目の１０％減の８９９段目の
信号強度に相当する高さを水平に走り、下限界レベルラ
インＬＢは最低０段目の１０％増の１２３段目の信号強
度に相当する高さを水平に走ることになる。有効範囲よ
り若干狭く、上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢを余裕を
持たせて設定すれば、ＣＴ画像が暗すぎたり、逆に明る
すぎたりする心配がなくなる上に、信号変動の影響も心
配する必要がなくなる。Further, in the X-ray inspection apparatus of the first embodiment, as another characteristic configuration, as shown in FIG. 3, an upper and lower limit level indicating an appropriate range of the signal intensity of the image signal of each scanning line of interest. An appropriate intensity range display means for superimposing and displaying lines (marks for indicating an appropriate intensity range) LA and LB on the display monitor 8 is provided. Of course, the range between the upper limit level line LA and the lower limit level line LB is the proper range of the signal strength. Here, the vertical axis of the display monitor 8 matches the effective range of the signal strength of 0 to 1023 steps (the range of the signal strength in which the image can be reconstructed). The lower limit level line LB runs horizontally at a height corresponding to the signal intensity of the 123rd stage, which is at least 0%, and increases by 10% at least at the 0th stage. Become. If the upper and lower limit level lines LA and LB are set to have a margin, which is slightly narrower than the effective range, there is no need to worry about the CT image being too dark or conversely too bright and to be concerned about the influence of signal fluctuation. Disappears.
【００２１】なお、第１実施例装置の場合、各走査ライ
ンＬａ〜Ｌｃのアドレスや上下限界レベルラインＬＡ，
ＬＢに対応する信号強度は、制御プログラムに組み込む
ことにより予め設定されている。また、実施例の場合、
信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃや上下限界レベルライ
ンＬＡ，ＬＢは異なる色で表示モニタ８の画面に表示さ
れる構成となっている。したがって、上述の画像信号強
度表示手段や適正強度範囲表示手段は、コンピュータ５
およびプログラムメモリ１２に格納される制御プログラ
ムを中心に構成されることになる。In the case of the first embodiment, the addresses of the scanning lines La to Lc and the upper and lower limit level lines LA,
The signal strength corresponding to LB is set in advance by incorporating it into the control program. In the case of the embodiment,
The signal intensity profiles Pa to Pc and the upper and lower limit level lines LA and LB are displayed on the screen of the display monitor 8 in different colors. Therefore, the above-mentioned image signal strength display means and appropriate strength range display means are provided by the computer 5
And the control program stored in the program memory 12.
【００２２】続いて、上述した構成を有する実施例の非
破壊Ｘ線検査装置において、本番のＸ線ＣＴ撮影の前に
行うＸ線の強度調整の際の装置動作を、図面を参照しな
がら説明する。図４および図５は、注目走査ラインの画
像信号の信号強度プロファイル表示中の表示モニタの画
面例を示す正面図、図６はＸ線の強度調整の進行状況を
示すフローチャートである。 〔ステップＳ１〕撮影対象である被検体Ｍを載置テーブ
ル４ａの上に置く。Next, the operation of the non-destructive X-ray inspection apparatus of the embodiment having the above-described configuration when adjusting the intensity of X-rays performed before actual X-ray CT imaging will be described with reference to the drawings. I do. 4 and 5 are front views showing examples of screens on the display monitor during the display of the signal intensity profile of the image signal of the target scanning line, and FIG. 6 is a flowchart showing the progress of X-ray intensity adjustment. [Step S1] The subject M to be imaged is placed on the placement table 4a.
【００２３】〔ステップＳ２〕載置テーブル４ａを回転
させない状態で撮影（Ｘ線透視撮影）を開始する。[Step S2] Imaging (X-ray fluoroscopy) is started without rotating the mounting table 4a.
【００２４】〔ステップＳ３〕透視画像メモリ１３に得
られた透視画像の画像信号が記憶される。なお、以後、
透視画像メモリ１３の記憶画像は１秒ごとに更新（リフ
レッシュ）される。[Step S3] The image signal of the obtained perspective image is stored in the perspective image memory 13. After that,
The image stored in the perspective image memory 13 is updated (refreshed) every second.
【００２５】〔ステップＳ４〕各注目走査ラインの画像
信号の信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃ、および、上下
限界レベルラインＬＡ，ＬＢが、全て表示モニタ８の画
面に重畳表示される。[Step S4] The signal intensity profiles Pa to Pc of the image signal of each target scanning line and the upper and lower limit level lines LA and LB are all superimposed and displayed on the screen of the display monitor 8.
【００２６】〔ステップＳ５〕信号強度プロファイルＰ
ａ〜Ｐｃが、図２に示すように、全て上下限界レベルラ
インＬＡ，ＬＢの内側に適当な状態で納まっていれば、
ステップＳ７へ飛ぶ。しかし、図３あるいは図４に示す
ように、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃの少なくとも
一つが、上限界レベルラインＬＡ又は下限界レベルライ
ンＬＢの外側に外れている場合は、次のステップＳ６に
進む。[Step S5] Signal strength profile P
As shown in FIG. 2, if all of a to Pc fall within the upper and lower limit level lines LA and LB in an appropriate state,
Jump to step S7. However, as shown in FIG. 3 or FIG. 4, when at least one of the signal intensity profiles Pa to Pc is out of the upper limit level line LA or the lower limit level line LB, the process proceeds to the next step S6.
【００２７】〔ステップＳ６〕オペレータが操作卓１１
からの入力操作を行ってＸ線管１の管電圧や管電流を変
化させることにより、図３あるいは図４の状態から、図
２に示すように、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃを全
て上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内側に適当な状態
で納まっているようにする。なお、Ｘ線管１の管電圧や
管電流を変化させるとＸ線の強度が変わるので、透視画
像の画像信号が全て変化する結果、上下限界レベルライ
ンＬＡ，ＬＢを外れている強度プロファイル以外の強度
プロファイルも連動して変化するが、全信号強度プロフ
ァイルＰａ〜Ｐｃが表示モニタ８の画面に表示されてお
り、全信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃの状況が一目で
把握できるので調整は全く容易に行うことができる。[Step S6] The operator operates the console 11.
By changing the tube voltage or the tube current of the X-ray tube 1 by performing an input operation from, the signal intensity profiles Pa to Pc are all changed from the state of FIG. 3 or FIG. It is set so as to fit inside the lines LA and LB in an appropriate state. When the tube voltage or the tube current of the X-ray tube 1 is changed, the intensity of the X-rays changes. As a result, all the image signals of the fluoroscopic image change, and as a result, the intensity profiles other than the intensity profiles deviating from the upper and lower limit level lines LA and LB are obtained. Although the intensity profiles also change in conjunction with each other, all the signal intensity profiles Pa to Pc are displayed on the screen of the display monitor 8, and the status of all the signal intensity profiles Pa to Pc can be grasped at a glance, so that the adjustment is easily performed at all. be able to.
【００２８】〔ステップＳ７〕Ｘ線の強度調整は完了と
なり、Ｘ線透視撮影を終え、次の本番のＸ線ＣＴ撮影に
移行する。[Step S7] The X-ray intensity adjustment is completed, the X-ray fluoroscopy is completed, and the process shifts to the next actual X-ray CT.
【００２９】第１実施例のＸ線検査装置の場合、ＣＴ画
像を構成する上で必要な注目走査ラインの画像信号の信
号強度プロファイルが自動的に表示されるので、Ｘ線強
度の調整を正確に行うことができる。さらに、表示モニ
タ８の画面に重畳表示される上下限界レベルラインＬ
Ａ，ＬＢが調整の際の目安となるので、Ｘ線の強度調整
を一層正確に行うことができる。また、実施例装置で
は、従来のように別途にオシロスコープが必要となるこ
ともない。In the case of the X-ray inspection apparatus of the first embodiment, the signal intensity profile of the image signal of the scan line of interest necessary for forming a CT image is automatically displayed, so that the X-ray intensity can be adjusted accurately. Can be done. Further, upper and lower limit level lines L superimposed on the screen of the display monitor 8 are displayed.
Since A and LB are guidelines for adjustment, X-ray intensity adjustment can be performed more accurately. Further, in the apparatus according to the embodiment, a separate oscilloscope is not required unlike the related art.
【００３０】次に、この発明の第２実施例に係る非破壊
Ｘ線検査装置について説明する。第１実施例装置では、
オペレータが操作卓１１からの入力操作を行うことによ
りＸ線管１の管電圧や管電流を変化させてＸ線の強度を
調整する構成であったが、第２実施例のＸ線検査装置
は、透視画像メモリ１３から読み出された注目走査ライ
ンの画像信号の信号強度に基づいて、画像信号の信号強
度が適正範囲に納まるよう被検体Ｍに照射するＸ線の強
度を調整するＸ線強度調整手段を備えている他は第１実
施例装置と同様の装置であるので、相違する部分のみを
説明し、共通する部分の説明は省略する。Next, a non-destructive X-ray inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment,
The X-ray inspection apparatus according to the second embodiment is configured such that the operator performs an input operation from the console 11 to change the tube voltage or the tube current of the X-ray tube 1 to adjust the intensity of the X-ray. X-ray intensity that adjusts the intensity of X-rays applied to the subject M based on the signal intensity of the image signal of the scan line of interest read from the perspective image memory 13 so that the signal intensity of the image signal falls within an appropriate range. Since the apparatus is the same as the apparatus of the first embodiment except for the provision of the adjusting means, only the different parts will be described, and the description of the common parts will be omitted.
【００３１】Ｘ線強度調整手段は、コンピュータ５およ
びプログラムメモリ１２に格納される制御プログラムを
中心に構成されており、以下のようなプロセスでＸ線の
強度調整を実行する。図７は、第２実施例のＸ線検査装
置におけるＸ線強度の自動調整の進行状況を示すフロー
チャートである。 〔ステップＦ１〕コンピュータ５により、注目走査ライ
ンの画像信号の信号強度が上下限界レベルラインＬＡ，
ＬＢの内にある否かがチェックされ、上下限界レベルラ
インＬＡ，ＬＢの内にあれば、ステップＦ３に飛ぶ。上
下限界レベルラインＬＡ，ＬＢを外れていれば、ステッ
プＦ２に進む。The X-ray intensity adjusting means mainly comprises a control program stored in the computer 5 and the program memory 12, and executes X-ray intensity adjustment in the following process. FIG. 7 is a flowchart showing the progress of automatic adjustment of X-ray intensity in the X-ray inspection apparatus of the second embodiment. [Step F1] The computer 5 sets the signal intensity of the image signal of the target scanning line to the upper and lower limit level lines LA,
It is checked whether it is within LB, and if it is within the upper and lower limit level lines LA, LB, the process jumps to step F3. If it is outside the upper and lower limit level lines LA and LB, the process proceeds to step F2.
【００３２】〔ステップＦ２〕注目走査ラインの画像信
号の信号強度が上限界レベルラインＬＡを越えていれ
ば、Ｘ線管１の管電圧や管電流を下げることによりＸ線
の強度を弱めて、注目走査ラインの画像信号の信号強度
を上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内に納め、注目走
査ラインの画像信号の信号強度が下限界レベルラインＬ
Ｂを下回っていれば、Ｘ線管１の管電圧や管電流を上げ
ることによりＸ線の強度を強めて、注目走査ラインの画
像信号の信号強度を上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの
内に納める。勿論、Ｘ線管１の管電圧や管電流の上げ下
げは、コンピュータ５から照射制御部９を通じて行われ
る。[Step F2] If the signal intensity of the image signal of the target scanning line exceeds the upper limit level line LA, the X-ray intensity is reduced by lowering the tube voltage and tube current of the X-ray tube 1, and The signal strength of the image signal of the target scanning line is stored in the upper and lower limit level lines LA and LB, and the signal strength of the image signal of the target scan line is set in the lower limit level line L.
If it is lower than B, the intensity of the X-rays is increased by increasing the tube voltage or the tube current of the X-ray tube 1 so that the signal intensity of the image signal of the scanning line of interest falls within the upper and lower limit level lines LA and LB. . Of course, raising and lowering of the tube voltage and tube current of the X-ray tube 1 are performed from the computer 5 through the irradiation control unit 9.
【００３３】〔ステップＦ３〕コンピュータ５により注
目走査ラインの中の中央走査ラインＬａの画像信号の信
号強度の分布が適当か否かがチェックされる。具体的に
は、図８に示すように、信号強度の分布における画像強
度の中央値の高さでの広がりＷａが所定以上であればＸ
線強度が適正であると判断して、ステップＦ５へ飛び、
そうでなければ（所定未満であれば）、ステップＦ４へ
進む。なお、広がりＷａの代わりに、信号強度の平均値
や、最大強度と最低強度との差を用いて、中央走査ライ
ンＬａの画像信号の信号強度の適否を判定するようにし
てもよい。[Step F3] The computer 5 checks whether the distribution of the signal intensity of the image signal of the central scanning line La in the target scanning line is appropriate. Specifically, as shown in FIG. 8, if the spread Wa at the height of the median image intensity in the signal intensity distribution is equal to or greater than a predetermined value, X
Judging that the line intensity is appropriate, jump to step F5,
Otherwise (if less than the predetermined value), the process proceeds to step F4. Instead of the spread Wa, the appropriateness of the signal intensity of the image signal of the central scanning line La may be determined using the average value of the signal intensity or the difference between the maximum intensity and the minimum intensity.
【００３４】〔ステップＦ４〕Ｘ線管１の管電圧や管電
流を上げるか下げるかしてＸ線の強度を変え、信号強度
の分布における画像信号の中央値の高さでの広がりＷａ
が所定以上になったら、ステップＦ１に戻る。[Step F4] The intensity of the X-ray is changed by raising or lowering the tube voltage or tube current of the X-ray tube 1, and the spread Wa at the height of the median of the image signal in the signal intensity distribution.
Is larger than the predetermined value, the process returns to step F1.
【００３５】〔ステップＦ５〕Ｘ線の強度調整は完了と
なり、Ｘ線透視撮影を終え、本番のＸ線ＣＴ撮影に移行
する。[Step F5] The X-ray intensity adjustment is completed, the X-ray fluoroscopy is completed, and the operation shifts to actual X-ray CT imaging.
【００３６】第２実施例のＸ線検査装置の場合、Ｘ線の
強度調整が自動的に行われるので、オペレータは殆ど操
作をせずに表示モニタ８の画面の信号強度プロファイル
の状態を監視する程度のことで事足りるので、Ｘ線の強
度調整操作は非常に簡単になる。In the case of the X-ray inspection apparatus of the second embodiment, since the X-ray intensity is automatically adjusted, the operator monitors the state of the signal intensity profile on the screen of the display monitor 8 with almost no operation. Since the degree is sufficient, the X-ray intensity adjustment operation becomes very simple.
【００３７】続いて、この発明の第３実施例に係る非破
壊Ｘ線検査装置について説明する。第１，第２実施例装
置では、１回のＸ線ＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象
のスライス断面が１個であったが、第３実施例装置の場
合、１回のＸ線ＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象のス
ライス断面として複数個の断面を予め設定することが可
能である他は第１，第２実施例装置と同様の装置である
ので、相違する部分のみを説明し、共通する部分の説明
は省略する。Next, a nondestructive X-ray inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described. In the apparatus of the first and second embodiments, the number of slice sections to be CT image created in one X-ray CT scan is one. In the case of the apparatus of the third embodiment, the CT slice in one X-ray CT scan is used. Since the apparatus is the same as the apparatus of the first and second embodiments except that a plurality of sections can be set in advance as slice sections to be image-created, only different parts will be described and common parts will be described. Description is omitted.
【００３８】すなわち、第３実施例のＸ線検査装置は、
１回のＸ線ＣＴ撮影で得られる複数の断層画像に対応す
る複数個のスライス断面を予め設定するスライス断面設
定手段と、スライス断面設定手段により設定された各ス
ライス断面に対応する透視画像での走査ラインを全て注
目走査ラインとして予め設定する注目ライン設定手段を
備えているとともに、画像信号強度表示手段は、各注目
走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルを表示モ
ニタに重畳表示するよう構成されている。以下、特徴的
な構成について、図面を参照しながら具体的に説明す
る。図９は被検体ＭにおけるＸ線ＣＴ撮影対象の３個の
スライス断面の位置を示す正面図である。That is, the X-ray inspection apparatus according to the third embodiment
Slice section setting means for presetting a plurality of slice sections corresponding to a plurality of tomographic images obtained by one X-ray CT imaging, and a perspective image corresponding to each slice section set by the slice section setting section. A target line setting unit that presets all the scanning lines as target scanning lines is provided, and the image signal intensity display unit is configured to superimpose and display a signal intensity profile of an image signal of each target scanning line on a display monitor. I have. Hereinafter, the characteristic configuration will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 9 is a front view showing the positions of three slice cross sections of the subject M in the X-ray CT imaging.
【００３９】ＣＴ画像作成対象のスライス断面として複
数個（今は例えば３個として説明）の断面を予め設定す
る場合、図９に示すように、中央のスライス断面ＧＡの
他に上下に二つのスライス断面ＧＢ，ＧＣを設定する場
合、中央のスライス断面ＧＡと各スライス断面ＧＢ，Ｇ
Ｃの距離Ｄａ，Ｄｂを操作卓１１より入力してレジスタ
等の一時メモリに保持する。通常、距離Ｄａ，Ｄｂは例
えば３ｍｍといった、中央のスライス断面ＧＡからあま
り離れていない範囲内で設定される。When a plurality of slices (currently, for example, three slices) are set in advance as slice slices for which a CT image is to be created, as shown in FIG. When setting the sections GB and GC, the center slice section GA and each slice section GB, G
The distances Da and Db of C are input from the console 11 and are stored in a temporary memory such as a register. Usually, the distances Da and Db are set within a range that is not far from the central slice section GA, for example, 3 mm.
【００４０】一方、各スライス断面ＧＢ，ＧＣと対応す
る透視画像での走査ラインは、図１０に示すように、Ｉ
・Ｉ管５における被検体Ｍの拡大率に従って中央走査ラ
インＬａから距離Ｄａ，Ｄｂに対応する距離だけ離れた
走査ラインＬｄ，Ｌｅの垂直方向アドレスをコンピュー
タ５が演算で割り出して、これを注目走査ラインとして
レジスタ等の一時メモリに保持する。On the other hand, as shown in FIG. 10, the scanning lines in the perspective image corresponding to the slice sections GB and GC
The computer 5 calculates the vertical addresses of the scanning lines Ld and Le separated from the central scanning line La by distances corresponding to the distances Da and Db from the central scanning line La in accordance with the magnification of the subject M in the I tube 5, and calculates the vertical address. It is held in a temporary memory such as a register as a line.
【００４１】そして、図１１に示すように、走査ライン
Ｌａの場合と同様、走査ラインＬｄ，Ｌｅの画像信号の
信号強度プロファイルＰｄ，Ｐｅも表示モニタ８に重畳
表示される。Ｘ線の強度調整は、信号強度プロファイル
Ｐａ〜Ｐｅが上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内に納
まるように行われることになる。なお、スライス断面設
定手段や注目ライン設定手段も、やはりコンピュータ５
およびプログラムメモリ１２に格納される制御プログラ
ムを中心に構成されることになる。As shown in FIG. 11, as in the case of the scanning line La, the signal intensity profiles Pd and Pe of the image signals of the scanning lines Ld and Le are also superimposed and displayed on the display monitor 8. The X-ray intensity adjustment is performed so that the signal intensity profiles Pa to Pe fall within the upper and lower limit level lines LA and LB. The slice section setting means and the attention line setting means are also provided by the computer 5.
And the control program stored in the program memory 12.
【００４２】第３実施例のＸ線検査装置の場合、１回の
ＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象のスライス断面が複
数個あっても、全スライス断面の信号強度プロファイル
が表示モニタ８の画面に重畳表示されるので、各ＣＴ画
像についてＸ線強度を正確に調整することができる。In the case of the X-ray inspection apparatus of the third embodiment, even if there are a plurality of slice sections for which a CT image is to be created in one CT scan, the signal intensity profiles of all slice sections are superimposed on the screen of the display monitor 8. Since it is displayed, the X-ray intensity can be adjusted accurately for each CT image.
【００４３】この発明は上記実施の形態に限られること
はなく、下記のように変形実施することができる。 （１）上記実施例では、注目走査ラインが制御プラグラ
ムに予め組み込まれて設定されている構成であったが、
表示モニタ８の上に透視画像を映し出しておいて、画面
上で注目走査ラインを予め設定してから、注目走査ライ
ンの画像信号の読み出し・信号強度プロファイルの表示
を行う構成の装置が、変形例として挙げられる。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as follows. (1) In the above embodiment, the scan line of interest is configured to be incorporated in the control program in advance.
An apparatus having a configuration in which a fluoroscopic image is projected on a display monitor 8, a target scanning line is set in advance on a screen, and then an image signal of the target scanning line is read out and a signal intensity profile is displayed, is a modified example. It is listed as.
【００４４】（２）第３実施例において、第２実施例と
同様に、注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づい
て、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体
に照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度調整手段を備
えている構成の装置が、変形例として挙げられる。(2) In the third embodiment, as in the second embodiment, X is applied to the subject such that the signal intensity of the image signal falls within an appropriate range based on the signal intensity of the image signal of the scan line of interest. An apparatus having a configuration provided with an X-ray intensity adjusting means for adjusting the intensity of a line is given as a modification.
【００４５】（３）上記実施例では、Ｘ線撮像部３の方
が固定されていて、被検体Ｍの方が回転する構成であっ
たが、逆に被検体Ｍの方が固定されていて、Ｘ線撮像部
３の方が被検体Ｍの周りを回転する構成の装置が、変形
例として挙げられる。(3) In the above embodiment, the X-ray imaging unit 3 is fixed and the subject M is rotated. However, the subject M is fixed. An apparatus having a configuration in which the X-ray imaging unit 3 rotates around the subject M is a modified example.
【００４６】（４）上記実施例では、Ｘ線管１のＸ線の
強度だけを調整する構成であったが、Ｘ線管１のＸ線の
強度調整に加えて、必要に応じて増幅器６の増幅率の調
整も行う構成の装置が、変形例として挙げられる。(4) In the above embodiment, only the X-ray intensity of the X-ray tube 1 is adjusted. However, in addition to the X-ray intensity adjustment of the X-ray tube 1, the amplifier 6 An apparatus having a configuration that also adjusts the amplification factor of the first embodiment is a modified example.
【００４７】（５）上記実施例では、Ｘ線の検出をイメ
ージインテンシファイアで行う構成であったが、半導体
式Ｘ線検出素子が縦横に配列されているパネル型Ｘ線セ
ンサによりＸ線を検出する構成の装置が、変形例として
挙げられる。(5) In the above embodiment, X-rays are detected by an image intensifier. However, X-rays are detected by a panel-type X-ray sensor in which semiconductor X-ray detection elements are arranged vertically and horizontally. A device having a configuration for detection is given as a modification.
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１の発明
に係る非破壊Ｘ線検査装置によれば、Ｘ線断層撮影に先
立って被検体およびＸ線撮像手段が静止した状態で行わ
れるＸ線透視撮影による透視画像が透視画像記憶手段に
記憶されるとともに、画像信号強度表示手段により、透
視画像における走査ラインのうち、断層画像のスライス
断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとして含む
ようにして予め設定された注目走査ラインの画像信号の
信号強度プロファイルを表示モニタに自動的に表示させ
ているので、１フレーム内の画像信号の平均的レベルに
着目していた従来装置と比べて、Ｘ線の強度調整を正確
に行うことができる。As described above in detail, according to the non-destructive X-ray inspection apparatus of the first aspect, prior to X-ray tomography, the object and the X-ray imaging means are scanned in a stationary state. A fluoroscopic image obtained by X-ray fluoroscopy is stored in a fluoroscopic image storage unit, and a scan line corresponding to a slice cross section of a tomographic image among scan lines in the fluoroscopic image is included as a target scan line by the image signal intensity display unit. As described above, the signal intensity profile of the image signal of the scan line of interest set in advance is automatically displayed on the display monitor. Therefore, compared with the conventional apparatus that pays attention to the average level of the image signal in one frame, X The line intensity can be adjusted accurately.
【００４９】また、請求項２の発明に係る非破壊Ｘ線検
査装置によれば、適正強度範囲表示手段によって画像信
号の信号強度の適正な範囲を示す適正強度範囲指示用マ
ークが表示モニタに重畳表示される構成を備えていて、
オペレータは、適正強度範囲指示用マークを目安にする
ことにより、Ｘ線の強度調整を一層正確に行うことがで
きる。Further, according to the nondestructive X-ray inspection apparatus of the second aspect of the invention, the appropriate intensity range indicating means superimposes the appropriate intensity range indicating mark indicating the appropriate range of the signal intensity of the image signal on the display monitor. With the configuration shown
The operator can adjust the X-ray intensity more accurately by using the mark for indicating the appropriate intensity range as a guide.
【００５０】また、請求項３の発明に係る非破壊Ｘ線検
査装置によれば、Ｘ線強度調整手段が注目走査ラインの
画像信号の信号強度に基づきＸ線の強度調整を自動的に
行う構成を備えていて、オペレータは表示モニタの画面
の信号強度プロファイルの状態を監視する程度のことで
事足りることから、Ｘ線の強度調整は正確で、かつ非常
に簡単なものとなる。According to the third aspect of the present invention, the X-ray intensity adjusting means automatically adjusts the X-ray intensity based on the signal intensity of the image signal of the scan line of interest. Since the operator only needs to monitor the state of the signal intensity profile on the screen of the display monitor, the X-ray intensity adjustment is accurate and very simple.
【００５１】また、請求項４の発明のＸ線検査装置によ
れば、１回の断層撮影において複数の断層画像を得る場
合であっても、全スライス断面の信号強度プロファイル
が表示モニタの画面に重畳表示される構成を備えている
ので、各断層画像について適正にＸ線強度を調整するこ
とができる。Further, according to the X-ray inspection apparatus of the present invention, even when a plurality of tomographic images are obtained by one tomography, the signal intensity profiles of all slice sections are displayed on the display monitor screen. Since the superimposed display is provided, the X-ray intensity can be appropriately adjusted for each tomographic image.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】第１実施例のＸ線検査装置の全体構成を示すブ
ロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating an overall configuration of an X-ray inspection apparatus according to a first embodiment.
【図２】第１実施例装置における透視画像と注目走査ラ
インを示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a perspective image and a scan line of interest in the first embodiment device.
【図３】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画
面の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a display screen of a signal strength profile in the first embodiment.
【図４】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画
面の他の例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another example of the display screen of the signal intensity profile in the first embodiment.
【図５】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画
面の他の例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing another example of the display screen of the signal strength profile in the first embodiment.
【図６】第１実施例でのＸ線の強度調整の進行状況を示
すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing the progress of X-ray intensity adjustment in the first embodiment.
【図７】第２実施例でのＸ線強度の自動調整の進行状況
を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing the progress of automatic adjustment of X-ray intensity in the second embodiment.
【図８】第２実施例の中央走査ラインの画像信号の信号
強度分布を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing a signal intensity distribution of an image signal of a central scanning line according to the second embodiment.
【図９】第３実施例の被検体における撮影対象の３個の
スライス断面の位置を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing positions of three slice cross sections of an imaging target in a subject according to a third embodiment.
【図１０】第３実施例装置における透視画像と注目走査
ラインを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a perspective image and a scan line of interest in the third embodiment device.
【図１１】第３実施例での信号強度プロファイルの表示
画面例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an example of a display screen of a signal strength profile in the third embodiment.
【図１２】従来のＸ線検査装置の要部構成を示す模式図
である。FIG. 12 is a schematic diagram showing a main part configuration of a conventional X-ray inspection apparatus.
１ …Ｘ線管 ２ …イメージインテンシファイア ３ …Ｘ線撮像部 ４ …回転駆動部 ５ …コンピュータ ８ …表示モニタ ９ …照射制御部 １０ …回転制御部 １１ …操作卓 １２ …プログラムメモリ １３ …透視画像メモリ ＬＡ …上限界レベルライン ＬＢ …下限界レベルライン Ｌａ〜Ｌｄ …走査ライン（注目走査ライン） Ｐａ〜Ｐｄ …信号強度プロファイル Ｍ …被検体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray tube 2 ... Image intensifier 3 ... X-ray imaging part 4 ... Rotation drive part 5 ... Computer 8 ... Display monitor 9 ... Irradiation control part 10 ... Rotation control part 11 ... Operation console 12 ... Program memory 13 ... Perspective Image memory LA: upper limit level line LB: lower limit level line La to Ld: scan line (target scan line) Pa to Pd: signal intensity profile M: subject
Claims (4)
んで対向配置されているＸ線撮像手段と、被検体の周囲
からＸ線が照射されてゆくように被検体とＸ線撮像手段
とを相対的に回転させる回転駆動手段と、Ｘ線管による
Ｘ線照射に伴って２次元Ｘ線検出器から出力されるＸ線
検出データに基づき断層画像を再構成するよう構成され
た非破壊Ｘ線検査装置において、被検体とＸ線撮像手段
との間の相対的な回転を止めた状態でＸ線を照射するの
に伴ってＸ線検出器から出力されるＸ線検出データに基
づき得られる透視画像を記憶する透視画像記憶手段と、
前記透視画像における走査ラインのうち、断層画像のス
ライス断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとし
て含むようにして予め設定された注目走査ラインの画像
信号を透視画像記憶手段から読み出すとともに、注目走
査ラインの画像信号の信号強度をプロファイルのかたち
で表示モニタに表示する画像信号強度表示手段とを備え
ていることを特徴とする非破壊Ｘ線検査装置。An X-ray imaging means in which an X-ray tube and a two-dimensional X-ray detector are opposed to each other with a subject interposed therebetween, and an X-ray imaging means for irradiating the subject with X-rays from around the subject. A rotation driving unit that relatively rotates the X-ray imaging unit, and a tomographic image reconstructed based on X-ray detection data output from a two-dimensional X-ray detector accompanying X-ray irradiation by the X-ray tube X-ray detection output from an X-ray detector accompanying irradiation of X-rays with the relative rotation between the subject and X-ray imaging means stopped in the non-destructive X-ray inspection apparatus Perspective image storage means for storing a perspective image obtained based on the data,
Of the scan lines in the perspective image, the image signal of the scan line of interest set in advance to include the scan line corresponding to the slice section of the tomographic image as the scan line of interest is read from the perspective image storage means, and the image of the scan line of interest is read. A non-destructive X-ray inspection apparatus comprising: an image signal intensity display unit for displaying a signal intensity of a signal on a display monitor in the form of a profile.
いて、注目走査ラインの画像信号の信号強度の適正範囲
を示す適正強度範囲指示用マークを表示モニタに重畳表
示する適正強度範囲表示手段を備えている非破壊Ｘ線検
査装置。2. The non-destructive X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein an appropriate intensity range indication mark indicating an appropriate range of the signal intensity of the image signal of the scan line of interest is superimposed and displayed on a display monitor. Non-destructive X-ray inspection apparatus comprising means.
装置において、透視画像記憶手段から読み出された注目
走査ラインの画像信号の信号強度に基づいて、画像信号
の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ
線の強度を調整するＸ線強度調整手段を備えている非破
壊Ｘ線検査装置。3. The nondestructive X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the signal intensity of the image signal is appropriate based on the signal intensity of the image signal of the target scanning line read from the fluoroscopic image storage means. X to irradiate the subject within the range
A non-destructive X-ray inspection apparatus comprising X-ray intensity adjusting means for adjusting the intensity of a ray.
Ｘ線検査装置において、１回の断層撮影で得られる複数
の断層画像に対応する複数個のスライス断面を予め設定
するスライス断面設定手段と、スライス断面設定手段に
より設定された各スライス断面に対応する透視画像での
走査ラインを全て注目走査ラインとして予め設定する注
目ライン設定手段を備えているとともに、画像信号強度
表示手段が、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プ
ロファイルを表示モニタに重畳表示する構成となってい
る非破壊Ｘ線検査装置。4. A slice section in which a plurality of slice sections corresponding to a plurality of tomographic images obtained by one tomography are set in advance in the non-destructive X-ray inspection apparatus according to claim 1. Setting means, and a target line setting means for presetting all the scanning lines in the perspective image corresponding to each slice section set by the slice section setting means as target scanning lines, and the image signal intensity display means, A nondestructive X-ray inspection apparatus configured to superimpose and display a signal intensity profile of an image signal of each scan line of interest on a display monitor.
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ID=17013060
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1999-08-24 JP JP23728099A patent/JP4164955B2/en not_active Expired - Lifetime
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